【課題】振動電極板が対向電極板に固着して振動電極板の振動が妨げられる現象を効果的に軽減することのできる音響センサを提供する。
【解決手段】音圧に感応する振動電極板２４が対向電極板２５に対向し、静電容量型の音響センサを構成する。対向電極板２５には、振動を通過させるための音響孔３１が開口し、また振動電極板２４と対向する面には複数の突起３６が突設している。振動電極板２４の柔軟性の高い領域に対向する対向電極板２５の対向領域における隣接する突起３６どうしの間隔は、振動電極板２４の柔軟性の低い領域に対向する対向電極板２５の対向領域における隣接する突起３６どうしの間隔よりも小さい。 （もっと読む）

【課題】送信する超音波の周波数帯域にばらつきが生じる場合であっても、効率よく反射波を受信でき、感度および動作信頼性を高めることができる超音波探触子を提供する。
【解決手段】圧電型振動素子を用いる送信部から送信する超音波の反射波を、静電容量型振動素子を用いる受信部が受信する。圧電型振動素子を用いる場合に比べ、静電容量型振動素子を用いる方が、使用超音波周波数帯域が広いので、送信部から送信する超音波の周波数帯域にばらつきが生じる場合に対応できる。 （もっと読む）

【課題】機械的強度、長時間の動作での信頼性、及び送受信感度が既存のＣＭＵＴデバイスに比べて高く、周波数帯域が広いＣＭＵＴ型超音波振動子ユニットの提供を目的とする。
【解決手段】超音波振動子１０は、凹部２２を有する基板２０と、基板２０に対して装着された振動膜３０と、基板２０及び振動膜３０の間に形成されたキャビティ４０とを有する。キャビティ４０の内部には、凹部２０の底面２２ａ側から振動膜３０側に隆起した柱状部２６が形成されている。超音波振動子１０においては、柱状部２６によって振動膜３０のばね定数が増加され、送受信感度が向上される。また、振動膜の変位量が少なくなるため、上下電極間の距離を狭めることができ、送受信感度が高くなる。更に、デバイス共振周波数の一次及び二次モードが近いため、送受信の周波数帯域が広くなる。 （もっと読む）

【課題】振動膜に対して衝突に伴う反発力を作用させることにより送受信感度を上昇させることが可能であると共に、振動膜の振動及び衝突に伴う故障が発生しにくい構造の超音波振動子ユニット、及びこの超音波振動子ユニットを備えた超音波プローブの提供を目的とした。
【解決手段】超音波振動子１０は、凹部２２を有する基板２０と、基板２０に対して装着された振動膜３０と、基板２０及び振動膜３０の間に形成されたキャビティ４０とを有する。キャビティ４０の内部には、凹部２０の底面２２ａ側から振動膜３０側に隆起した隆起部２６が形成されている。超音波振動子１０は、振動膜３０が振動する際に隆起部２６と振動膜３０とが衝突する。これにより発生する反発力により、振動膜３０の振動が増幅される。 （もっと読む）

【課題】電気機械変換エレメントの可動領域以外の部分からの反射波を抑制する事で、測定対象から発生した音響波の検出性能を向上させる事が可能な電気機械変換装置を提供する。
【解決手段】静電容量型超音波変換装置などの電気機械変換装置は、被検体から放出される音響波を受信するための可動領域１６を有する電気機械変換エレメント１０と、エレメント１０と電気的接続を取る電気配線基板１３と、反射抑制層１２を有する。反射抑制層１２は、被検体側に面する面のうちの、可動領域以外の少なくとも一部に設けられ、可動領域以外に到達する音響波が音響波源側に反射する事を抑制する。 （もっと読む）

【課題】基板内に侵入した弾性波による影響を受信特性が受け難くできる静電容量型電気機械変換装置を提供する。
【解決手段】静電容量型電気機械変換装置は、第１の電極１０２と、第１の電極と間隙を介して対向して第１の基板１０６の面に配置された第２の電極１０５と、を有し、弾性波を受けて第１の電極１０２が振動することにより弾性波を受信する受信動作を少なくとも行う。第２の電極１０５に接続し、第１及び第２の電極が設けられた面とは逆側の第１の基板１０６の面側に第２の電極１０５を引き出す第１の電気接続部１１１が設けられている。第１及び第２の電極が設けられた第１の基板１０６の面側に、第１の基板の厚さ方向から見て第１の電気接続部１１１を覆い隠すための振動膜１０１が形成されている。 （もっと読む）

【課題】平板状の波面を有する超音波を射出できる超音波発生ユニットを提供する。
【解決手段】ｃＭＵＴ１００において、基板１１０上に、円板形状の下部電極１２２を有する底面部１２０が形成され、その上には中空の円筒形状をした支持部１３０が形成されている。支持部１３０上には、輪帯形状をした上部電極１４２と、上部電極１４２の中心軸Ｃ側に形成された非導電性の振動質量部１４４とを含む上面部１４０が形成されている。下部電極１２２と上部電極１４２との間に交流電圧を印加すると、それら電極が対向する部分に静電吸引力が作用する。一方、振動質量部１４４は、他の部分よりも剛性が高く変形しにくい。その結果、上面部１４０は、上部電極１４２を含む周辺部分が湾曲し、振動質量部１４４を含む中心部分は平板形状を維持したまま振動する。したがって、ｃＭＵＴ１００は、その波面が平板状であり、指向性が良い超音波を射出できる。 （もっと読む）

【課題】送受信できる周波数帯域を広帯域化したｃＭＵＴを有する、超音波プローブ装置及びその制御方法を提供する。
【解決手段】ｃＭＵＴアレイ１００は、第１のｃＭＵＴ１３０と第２のｃＭＵＴ１４０とを有する。帯域制御部２２０は、異なる２種類のバイアス電圧を算出する。一方のバイアス電圧は、第１のバイアス調整器２７２を介して第１のｃＭＵＴ１３０に印加され、他方は、第２のバイアス調整器２７４を介して第２のｃＭＵＴ１４０に印加される。異なるバイアス電圧が印加された第１のｃＭＵＴ１３０と第２のｃＭＵＴ１４０とは、異なる周波数帯域で機能する。この異なる周波数帯域は、その一部が重なるか、隣接するように帯域制御部２２０によって決定されている。したがって、第１のｃＭＵＴ１３０と第２のｃＭＵＴ１４０とを有するｃＭＵＴアレイ１００は全体として、広い周波数帯域で機能する。 （もっと読む）

【課題】機械強度を低下させずに電気信号を取り出す構成を有する静電容量型トランスデューサアレイなどの電気機械変換装置及びその作製方法を提供する。
【解決手段】電気機械変換装置は、半導体基板７と、半導体振動膜４と、基板７の一方の表面と振動膜４との間に間隙が形成される様に振動膜を支持する振動膜支持部６で形成されるセル構造１を１つ以上有するエレメント３を複数有する。複数のエレメントは、振動膜を含む半導体膜１２の分割個所１１で電気的に分割される。エレメント３は、支持部を含む第一の絶縁層と半導体基板とを貫通する貫通孔内に形成された、振動膜を含む半導体膜１２と電気的に接続する導体１０と、導体１０と半導体基板７との間を絶縁する第二の絶縁層９を有する。 （もっと読む）

【課題】突起を形成するための追加の工程を必要としない容量型ＭＥＭＳセンサおよびその製造方法を提供する。
【解決手段】可動部を構成するダイアフラム膜１３上に、犠牲層１４と固定電極１５を積層形成する。固定電極には貫通孔１７を形成し、この貫通孔から等方性のエッチングを行う。その結果、貫通孔から最も遠い位置のダイアフラム膜上に、犠牲層の一部を残すことができる。この犠牲層の一部を突起２１として利用し、可動部と固定電極とが貼り付くことを防止する。 （もっと読む）