【課題】接触抵抗の増加を抑制し、ガスの発生を抑えつつ、構成の簡素化を図ることが可能なヒータユニット及びヒータユニットの組み立て構造を提供する。
【解決手段】ヒータユニット１は、チャンバ１０内に設けられたヒータ２０に電力を供給して発熱させ、ヒータ２０の発熱により被加熱体を加熱するものであって、ヒータ２０に一体的に接続された炭化ケイ素よりなる電極棒３０と、電力供給源に電気接続されると共に、ベース部材１０の壁面に固定されるコネクタ式電極４０とを備えている。また、コネクタ式電極４０は、電極棒３０を挿入支持可能な凹部４３，５３と、凹部４３，５３内において電極棒３０に弾性接触するインコネルよりなる接触部材４４，５４とを有する。 （もっと読む）

電気抵抗素子の端子（２、３）のための弾性支持装置（１）であって、端子が、本体（５）を垂直に貫通し、かつ、本体の上面（６）に対して取り付けられており、端子（２、３）は下方へ延びる軸状素子の形状で抵抗素子のホットゾーン（４）へ繋がり、ホットゾーン（４）が一つ又はいくつかの軸状体（７、８）の本体の下面（１１）に取り付けられたフック（９、１０）によって支持される、弾性支持装置（１）。この発明は、弾性支持装置（１）が、それぞれの端子のために本体（５）の上面（６）に対して取り付けられる第１の取付け具（１２）及び端子に対し取り付けられる第２の取付け具（１３、１４）を具備し、かつ、弾性構造体（１５）が第１の取付け具（１２）と、第２の取付け具（１３、１４）との間に介装されて、弾性構造体（１５）は、第２の取付け具（１３、１４）の第１の取付け具（１２）に対する垂直方向への移動を可能にするように配置されることを特徴とした、弾性支持装置（１）。
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【課題】面状ヒータの下方への輻射熱の伝播を抑制する面状ヒータであって、特に、面状ヒータのシャフト部を構成する前記大径のシリカガラス管内部を通過する輻射熱の伝播を抑制する面状ヒータを提供する。
【解決手段】電力を供給する電源端子部１０８が前記シリカガラス板状体１０２の下面中央部に設けられた面状ヒータ１であって、前記電源端子部は、カーボンワイヤー発熱体に電力を供給する接続線を収容する小径のシリカガラス管１０５ａ，１０６ａと、小径のシリカガラス管１０５ａ，１０６ａを収容する大径のシリカガラス管２とを備え、前記大径のシリカガラス管２の下端部にはフランジ部２ａが形成されると共に、前記上端部と前記フランジ部２ａとの間に径を異ならしめた屈曲部２ｂが形成され、かつ前記屈曲部下方の大径のシリカガラス管内に、金属板あるいは不透明シリカガラス板からなる第１の熱遮蔽板１９，２０，２１が収容されている。 （もっと読む）

【課題】端子５と電極３間の接合状態が不安定な場合に簡便な構成で安全に導通不能にする端子構成を持つ発熱体を提供する。
【解決手段】電極３に端子５を接着し、電気絶縁性基材２と接着される電気絶縁性被覆基材８からなる面状発熱体において、端子５と端子５の近傍を覆い、電気絶縁性基材２の熱膨張収縮抑制手段である熱膨張収縮テープ１０を電気絶縁性基材２面に備えたものである。 （もっと読む）

【課題】本発明は、小型で効率が高く、高い指向性と均一な加熱及び立ち上りの早い発熱体ユニット、及びその発熱体ユニットを用いた加熱装置を提供することを目的とする。
【解決手段】発熱体ユニットにおける発熱体２の端部に係止用貫通孔３ｅ設けるとともに、発熱体２の端部を挟持する保持具３を構成する第１の保持部材３ａと第２の保持部材３ａにそれぞれ形成された貫通孔３ａｃ，３ｂｃに固定部材５係合せしめて発熱体２の端部を保持することにより、熱ストレスにおいても安定したストレス吸収と熱拡散ができる安定した発熱体ユニット及びその発熱体ユニットにて加熱装置を構成する。 （もっと読む）

ケイ化モリブデン又はこの材料の合金からなる電気抵抗素子用の端子であって、この端子１は、炉の壁３又は炉の天井又は対応する絶縁壁を貫通するべく配列され、素子２のホットゾーン４のそれぞれの端部に配置された端子１は、素子のホットゾーン４の直径よりも大きな直径を具備する。本発明は、端子コネクタ５が、それぞれの端子１に接続され、端子コネクタ５は、アルミニウムから製造され、且つ、端子コネクタ５は、合計端子長の長さを完全に又は部分的に構成する長さを具備することを特徴とし、合計端子長とは、素子の関連する端子１及び端子コネクタ５の長さである。 （もっと読む）

本発明は、ディスクの導電部材（１１）へと溶接またははんだ付けされるように設けられ、一部分が電気的な接続のために部材（１１）へと溶接またははんだ付けされるように設けられ、残りの剛性部分がディスクの外側の方向に接続されるように設けられている導電性の本体（２０）を備える電気接続エレメント（２）であって、本体が、１から５００μｍの間の厚さを有する導電ホイル（２１）を含んでおり、仲介手段（５、６）が、接続エレメントの本体の剛性部分とディスクとの間で衝撃吸収手段として機能することを特徴とする電気接続エレメントに関する。
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【課題】フィルム加熱方式の加熱装置の非通紙部昇温を改善するともに、被加熱材搬送方向の発熱分布に関する自由度を高めることにより、被加熱材の加熱性と非通紙部昇温対策の両立を図る。
【解決手段】加熱体２５の通電発熱体４３の裏面に絶縁層４５を設け、絶縁層４５に開口部４６を形成し、開口部４６から電極を確保して絶縁層４５上に導電パターン５１〜５６を形成することにより、通電発熱体４３の長手方向発熱領域を調整することを可能にする。 （もっと読む）

【課題】連結部材によって電線外被をむき出す脱皮作業が不要であり、さらに別の熱源による加熱作業なしに一度に電線と発熱棒を堅固に結合することができ、作業が容易にかつ迅速になり、同時に作業工程を減らして簡素化することで製造費用を節減することができる暖房用発熱装置を提供する。
【解決手段】この発熱装置は複数の発熱棒、電線、及び連結部材を含む。加熱棒は導電性カーボン発熱体と前記カーボン発熱体をくるむ絶縁外皮とを含む。前記電線は前記発熱棒の両端にそれぞれ結合されて前記カーボン発熱体に通電させる。前記連結部材は挿入部と少なくとも一つの着座部を含む。前記挿入部は前記電線を貫いて前記発熱棒カーボン発熱体に挿入される先端部を含む。前記着座部は前記挿入部の上端に備えられて前記電線にかかる。 （もっと読む）

【目的】パルスヒーター電源部に固定する熱電対の寿命を延ばし、かつ高精度に温度測定し制御する。
【構成】パルスヒーター電極部を本体とパルスヒーターに２分割し、この間に極うす熱電対をはさみネジで固定する。
【効果】熱電対はろう付されておらずある程度自由に動けるので熱膨張率のミスマッチに起因する応力が小さく長寿命、さらに熱電対の接触面積が大きく高精度温度制御ができる。 （もっと読む）