インクジェット装置
【課題】非使用状態が長期間続く場合などに、ノズル詰まりを防止するために吐出ヘッドの吐出面に粘着テープを貼着する際、多連ヘッド構成であっても各吐出ヘッドに対してほぼ同時にしかもほぼ同じ押し付け圧で粘着テープを貼着できるようにした、インクジェット装置を提供する。
【解決手段】ノズルを有する吐出ヘッド３４を備えたインクジェット装置である。ノズルを覆って粘着テープ１００を吐出ヘッド３４のノズル形成面に貼着するテープ貼着手段２２０を有している。テープ貼着手段２２０は風船状の加圧体２２１と、加圧体２２１内への流体の供給及び流体の排出を行う流体給排手段２２２とを備え、加圧体２２１に流体を供給して膨らませ、膨らませた加圧体２２１の内圧で粘着テープ１００を吐出ヘッド３４のノズル形成面に押し付けることで粘着テープ１００を貼着するよう構成されている。
【解決手段】ノズルを有する吐出ヘッド３４を備えたインクジェット装置である。ノズルを覆って粘着テープ１００を吐出ヘッド３４のノズル形成面に貼着するテープ貼着手段２２０を有している。テープ貼着手段２２０は風船状の加圧体２２１と、加圧体２２１内への流体の供給及び流体の排出を行う流体給排手段２２２とを備え、加圧体２２１に流体を供給して膨らませ、膨らませた加圧体２２１の内圧で粘着テープ１００を吐出ヘッド３４のノズル形成面に押し付けることで粘着テープ１００を貼着するよう構成されている。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、インクジェット装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
民生用のプリンタや工業用の成膜装置などとして用いられているインクジェット装置は、圧電素子等のアクチュエーターによってインクに対し瞬間的に圧力を加え、ノズルからインクを液滴として吐出するように構成されている。
【０００３】
ところで、このようなインクジェット装置にあっては、非使用状態が長期間続くと、ノズル内にて外気に接しているメニスカス部分からインク中の溶媒が気化し、ノズル内でインクが固化してノズル詰まりが起こってしまう。
【０００４】
このようなノズル詰まりを防止するため、従来では、例えば非記録時に、吐出部を粘着テープで塞ぐようにした技術が提供されている（例えば、特許文献１参照）。
【０００５】
また、印刷に伴って吐出部に付着するインクミスト等の汚れを取り除くため、吐出部に粘着性のクリーニングテープを貼り付けるようにしたインクジェット記録装置も提供されている（例えば、特許文献２参照）。
【特許文献１】特開平５−８４９２５号公報
【特許文献２】特開平１１−３２０９００号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、前記のクリーニングテープを貼り付けるようにしたインクジェット記録装置におけるテープ貼着機構（テープ貼着手段）では、この貼着機構を、特に吐出部となる吐出ヘッドを複数備えた、いわゆる多連ヘッド構成のインクジェット記録装置に適用しようとした場合、複数の吐出ヘッドに対して個別に粘着テープ（クリーニングテープ）を貼着する必要があることから、処理に手間がかかってしまう。また、各吐出ヘッドに対して同じ押し付け圧で粘着テープを貼着するのが難しく、したがって各吐出ヘッド毎に異なる押し付け圧で粘着テープが貼着されてしまうおそれがある。
【０００７】
本発明は前記事情に鑑みてなされたもので、その目的とするところは、例えば非使用状態が長期間続く場合などに、ノズル詰まりを防止するために吐出ヘッドの吐出面に粘着テープを貼着する際、多連ヘッド構成であっても各吐出ヘッドに対してほぼ同時にしかもほぼ同じ押し付け圧で粘着テープを貼着できるようにした、インクジェット装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明のインクジェット装置は、インクを吐出するためのノズルを有した吐出ヘッドを備えてなるインクジェット装置において、
前記ノズルを覆って粘着テープを前記吐出ヘッドのノズル形成面に貼着するテープ貼着手段を有し、
前記テープ貼着手段は、風船状の加圧体と、該加圧体内への流体の供給及び該流体の排出を行う流体給排手段とを備え、前記加圧体に流体を供給して膨らませ、膨らませた前記加圧体の内圧で前記粘着テープを前記吐出ヘッドのノズル形成面に押し付けることで該粘着テープを貼着するよう構成されていることを特徴としている。
【０００９】
このインクジェット装置によれば、例えば非使用状態が長期間続く場合などに、ノズル詰まりを防止するために吐出ヘッドの吐出面に粘着テープを貼着する際、流体給排手段により加圧体内に流体を供給してこれを膨らませ、その内圧で前記粘着テープを前記吐出ヘッドのノズル形成面に押し付けることにより、該粘着テープを加圧体の内圧による押し付け圧で均一に貼着することができる。特に、吐出ヘッドが多連ヘッド構成であっても、各吐出ヘッドに貼着させる粘着テープを、加圧体によってその全面を同時に押圧することで、各吐出ヘッドに対して粘着テープをほぼ同時に貼着することができる。さらに、加圧体はその内圧が一定であることから、粘着テープの全面をほぼ同じ押し付け圧で貼着することができる。
【００１０】
また、前記インクジェット装置においては、前記ノズルが、インクのメニスカスを位置させるノズル孔部と、該ノズル孔部より吐出側において、ノズル孔部より大きな開口からなる吐出側開口部とから構成されている場合、前記粘着テープを前記吐出ヘッドのノズル形成面に押し付ける際の前記加圧体の内圧Ｐが、下記式で表される圧に調整されているのが好ましい。
【００１１】
Ｐ＜Ｙｄ／ｔ …式
（ただし、ｄは前記吐出側開口部の厚さ、Ｙは粘着テープの粘着層のヤング率、ｔは粘着層の厚さであって前記ｄより大である）
このように、粘着テープを吐出ヘッドのノズル形成面に押し付ける際の加圧体の内圧Ｐが、前記式で表される圧に調整されていれば、この内圧Ｐで粘着テープが前記吐出ヘッドのノズル形成面に押し付けられ貼着されることにより、後述するように、粘着テープの粘着層がノズルのノズル孔部を直接塞がないようになる。したがって、粘着テープを剥がした際、粘着層の材料の一部がノズル孔部の開口縁部に残ってしまい、その後の吐出性能を損なってしまうといったおそれが無くなる。また、粘着テープがノズル孔部内のインクのメニスカスに直接接触してしまい、インクを変質させてしまうおそれも無くなる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
以下、本発明を詳しく説明する。
【００１３】
まず、本発明のインクジェット装置の概略構成について説明する。なお、本発明は、カラーフィルタ等の薄膜の形成や、配線パターンなどのパターン形成などに用いられる工業用のインクジェット装置、さらには、記録用紙に印刷を行うための民生用のインクジェットプリンタ（インクジェット装置）の、いずれにも適用される。
【００１４】
まず、工業用のインクジェット装置の一例について図１を参照して説明する。図１において符号３０はインクジェット装置であり、このインクジェット装置３０は、ベース３１、基板移動手段３２、ヘッド移動手段３３、吐出ヘッド３４、液供給手段３５、前記吐出ヘッドを制御するための制御装置４０等を有して構成されたものである。なお、図１に示す例では、説明を容易にするため吐出ヘッド３４が一つであるものとして、図示し説明するが、後述するように吐出ヘッド３４が複数設けられた、いわゆる多連ヘッド構成のインクジェット装置であってもよいのはもちろんである。
【００１５】
ベース３１は、その上に前記基板移動手段３２、ヘッド移動手段３３を設置したものである。
【００１６】
基板移動手段３２は、ベース３１上に設けられたもので、Ｙ軸方向に沿って配置されたガイドレール３６を有したものである。この基板移動手段３２は、例えばリニアモータ（図示せず）により、スライダ３７をガイドレール３６に沿って移動させるよう構成されたものである。
【００１７】
スライダ３７上にはステージ３９が固定されている。よって、基板移動手段３２がステージ３９の移動軸となる。このステージ３９は、基板Ｓを位置決めし保持するためのものである。すなわち、このステージ３９は、公知の吸着保持手段（図示せず）を有し、この吸着保持手段を作動させることにより、基板Ｓをステージ３９の上に吸着保持するようになっている。基板Ｓは、例えばステージ３９の位置決めピン（図示せず）により、ステージ３９上の所定位置に正確に位置決めされ、保持されるようになっている。
【００１８】
前記ヘッド移動手段３３は、ベース３１の後部側に立てられた一対の架台３３ａ、３３ａと、これら架台３３ａ、３３ａ上に設けられた走行路３３ｂとを備えてなるもので、該走行路３３ｂをＸ軸方向、すなわち前記の基板移動手段３２のＹ軸方向と直交する方向に沿って配置したものである。走行路３３ｂは、架台３３ａ、３３ａ間に渡された保持板３３ｃと、この保持板３３ｃ上に設けられた一対のガイドレール３３ｄ、３３ｄとを有して形成されたもので、ガイドレール３３ｄ、３３ｄの長さ方向に吐出ヘッド３４を搭載するキャリッジ４２を移動可能に保持したものである。キャリッジ４２は、リニアモータ（図示せず）等の作動によってガイドレール３３ｄ、３３ｄ上を走行し、これにより吐出ヘッド３４をＸ軸方向に移動させるよう構成されたものである。
【００１９】
ここで、このキャリッジ４２は、ガイドレール３３ｄ、３３ｄの長さ方向、すなわちＸ軸方向に例えば１μｍ単位で移動が可能になっており、このような移動は制御装置４０によって制御されるようになっている。吐出ヘッド３４は、前記キャリッジ４２に取付部４３を介して回動可能に取り付けられたものである。取付部４３にはモータ４４が設けられており、吐出ヘッド３４はその支持軸（図示せず）がモータ４４に連結している。このような構成のもとに、吐出ヘッド３４はその周方向に回動可能となっている。また、モータ４４も前記制御装置４０に接続されており、これによって吐出ヘッド３４はその周方向への回動も、制御装置４０によって制御されるようになっている。なお、前記制御装置４０は、後述するように予め設定された駆動波形を吐出ヘッド３４に印加することにより、吐出ヘッド３４の吐出を制御するようになっている。
【００２０】
図２（ａ）、（ｂ）は、前記インクジェット装置３０が備えた吐出ヘッド３４の概略構成を説明するための図である。前記吐出ヘッド３４は、図２（ａ）に示すように例えばステンレス製のノズルプレート１２と振動板１３とを備え、両者を仕切部材（リザーバプレート）１４を介して接合したものである。ノズルプレート１２と振動板１３との間には、仕切部材１４によって複数のキャビティ１５とリザーバ１６とが形成されており、これらキャビティ１５とリザーバ１６とは流路１７を介して連通している。
【００２１】
各キャビティ１５とリザーバ１６は、その内部にインクを満たしてこれを収容するようになっており、これらの間の流路１７はリザーバ１６からキャビティ１５にインクを供給する供給口として機能するようになっている。ノズルプレート１２には、図２（ｂ）に示すようにその吐出側（外側）にクレータメッキ１２ａが施されており、これによって撥液性が付与されている。なお、このクレータメッキ１２ａの外面が、本発明における吐出ヘッド３４のノズル形成面、すなわち吐出面となっている。
【００２２】
また、このクレータメッキ１２ａを形成したノズルプレート１２には、キャビティ１５からインクを吐出するための孔状のノズル１８が縦横に整列した状態で複数形成されている。ノズル１８は、ノズルプレート１２に形成されたノズル孔部１８ａと、該ノズル孔部１８ａより吐出側、すなわち外側において、クレータメッキ１２ａに形成された吐出側開口部１８ｂとから構成されている。これらノズル孔部１８ａと吐出側開口部１８ｂとは、いずれも開口形状が円形のもので、同一の中心軸を有するものである。また、吐出側開口部１８ｂは、ノズル孔部１８ａより大きな内径を有する開口からなっている。
【００２３】
一方、振動板１３には、図２（ａ）に示すようにリザーバ１６内に開口する孔１９が形成されており、この孔１９には液供給手段３５が接続されるようになっている。また、前記液供給手段３５は、インクを充填したタンク４５と、このタンク４５からインクを供給するためのチューブ４６とからなっていて、前記チューブ４６が前記孔１９に接続している。
【００２４】
また、振動板１３のキャビティ１５に向く面と反対の側の面上には、図２（ｂ）に示すように圧電素子（ピエゾ素子）２０が接合されている。この圧電素子２０は、吐出ヘッド３４においてアクチュエーターとして機能するもので、一対の電極２１、２１間に挟持され、インクジェット装置３０が備えている制御装置４０によって外側に突出するようにして撓ませるように構成されたものである。
【００２５】
すなわち、圧電素子２０は、その電極２１、２１間に通電されて吐出波形が印加されると撓曲する。そして、このように圧電素子２０が撓曲すると、圧電素子２０に接合された振動板１３は、圧電素子２０と一体になって同時に外側へ撓曲し、これによりキャビティ１５の容積を増大させる。すると、キャビティ１５内とリザーバ１６内とが連通しており、リザーバ１６内にインクが充填されている場合には、キャビティ１５内に増大した容積分に相当するインクが、リザーバ１６から流路１７を介して流入する。
【００２６】
そして、このような状態から圧電素子２０への通電を解除し、あるいは逆の電位で通電すると、圧電素子２０と振動板１３はともに元の形状に戻る。よって、キャビティ１５も元の容積に戻ることから、キャビティ１５内部のインクの圧力が上昇し、ノズル１８のノズル開口９からインクが液滴２２となって吐出される。
【００２７】
また、このようにして吐出動作を行うと、キャビティ１５内のインクの一部がノズル１８のノズル孔部１８ａ内に残った状態となり、図２（ｂ）に示したようにこのノズル孔部１８ａにインクのメニスカスＭが位置させられた状態となる。
【００２８】
次に、民生用のインクジェットプリンタ（インクジェット装置）の一例について図３を参照して説明する。なお、この例でも、説明を容易にするため吐出ヘッドが一つであるものとして、図示し説明するが、多連ヘッド構成のインクジェット装置であってもよいのは、前記例と同様である。
【００２９】
図３において符号６００はインクジェットプリンタであり、このインクジェットプリンタ６００は、装置本体６２０と、記録用紙Ｐを設置するトレイ６２１と、記録用紙Ｐを排出する排出口６２２と、装置本体６２０の上面に配置された操作パネル６７０とを備えて構成されたものである。
【００３０】
装置本体６２０の内部には、印刷装置６４０と、記録用紙Ｐを印刷装置６４０に送り込む給紙装置６５０と、印刷装置６４０および給紙装置６５０を制御する制御部６６０とが設けられている。
【００３１】
印刷装置６４０は、往復動するヘッドユニット６３０と、ヘッドユニット６３０の駆動源となるキャリッジモータ６４１と、キャリッジモータ６４１の回転を受けて、ヘッドユニット６３０を往復動させる往復動機構６４２とを有したものである。
【００３２】
ヘッドユニット６３０は、吐出ヘッド５０と、この吐出ヘッド５０にインクを供給するインクカートリッジ６３１と、ヘッド５０およびインクカートリッジ６３１を搭載したキャリッジ６３２と、を備えてなるものである。ここで、吐出ヘッド５０は、図２（ａ）、（ｂ）に示した吐出ヘッド３４と基本的に同じ構成を有したものであり、ノズル孔部１８ａと吐出側開口部１８ｂとからなるノズル１８を多数有したものである。
【００３３】
往復動機構６４２は、その両端がフレーム（図示せず）に支持されたキャリッジガイド軸６４４と、キャリッジガイド軸６４４と平行に延在するタイミングベルト６４３とを有したものである。キャリッジガイド軸６４４は、キャリッジ６３２が自在に往復動できるようにしながら、キャリッジ６３２を支持している。さらに、キャリッジ６３２は、タイミングベルト６４３の一部に固定されている。キャリッジモータ６４１の作動により、タイミングベルト６４３を走行させると、キャリッジガイド軸６４４に導かれて、ヘッドユニット６３０が往復動する。この往復動の際に、吐出ヘッド５０から適宜インクが吐出され、記録用紙Ｐへの印刷が行われる。
【００３４】
給紙装置６５０は、その駆動源となる給紙モータ６５１と、給紙モータ６５１の作動により回転する給紙ローラ６５２とを有したものである。給紙ローラ６５２は、記録用紙Ｐの送り経路を挟んで上下に対向する、従動ローラ６５２ａと、駆動ローラ６５２ｂとを備えている。駆動ローラ６５２ｂは、給紙モータ６５１に連結されている。
【００３５】
このような構成のインクジェットプリンタ６００において、使用されるインクとしては、基本的には染料や顔料等の固形分を溶媒に溶解したものである。また、前記のインクジェット装置３０において用いられるインクとしては、その工業的用途に応じて種々のものが用いられる。具体的には、カラーフィルタの成膜の場合、カラーフィルタの形成材料を溶媒に溶解したものが用いられ、金属配線の形成の場合、銀や金などの金属微粒子を分散媒に分散させたものが用いられる。
【００３６】
このようなインクジェットプリンタ６００やインクジェット装置３０では、使用中における比較的短時間（数十秒〜数分、数十分程度）の吐出休止時には、吐出ヘッド３４（５０）は必要に応じてゴムや軟質樹脂等からなるキャップ材などでキャッピングされ、インク中の溶媒（分散媒）が気化してノズル詰まりが生じるのが防止される。しかし、例えば数時間以上、または１日以上の長期に亘って非使用状態が続く場合には、キャップ材によるキャッピングではノズル詰まりの防止効果が十分に得られない。
【００３７】
そこで、本発明では、このように特に長期に亘って非使用状態が続く場合などに、ノズル詰まりを確実に防止するため、前記ノズル１８を覆って粘着テープを前記吐出ヘッド３４（５０）のノズル形成面に貼着するテープ貼着手段を有している。
【００３８】
図４は前記テープ貼着手段としての貼着装置２２０を示す図であり、この貼着装置２２０は、主に図１に示した工業用のインクジェット装置３０に備えられるものである。ただし、全体を小型化することなどにより、図３に示した民生用のインクジェットプリンタ（インクジェット装置）にも適用可能なのはもちろんである。
【００３９】
貼着装置２２０は、粘着テープ１００を前記吐出ヘッド３４（５０）の吐出面（ノズル形成面）に貼着するためのテープ貼着手段であって、特にこの例では、一つのキャリッジ４２に三つの吐出ヘッド３４が設けられた、いわゆる多連ヘッド構成のインクジェット装置に、備えられたものである。この貼着装置２２０は、巻回した粘着テープ１００を送り出して供給する供給リール２０１と、供給リール２０１から送られた粘着テープ１００を巻き取る巻取リール２０２と、剥離ローラ２０４とを備え、さらに、風船状の加圧体２２１と、該加圧体２３０内への流体の供給及び該流体の排出を行う流体給排手段２２２とを備えたものである。
【００４０】
供給リール２０１、巻取リール２０２は、モータ等の駆動手段（図示せず）によって同時に回転させられるよう構成されたものである。また、これら供給リール２０１、巻取リール２０２間に張架された粘着テープ１００の上方には、前記キャリッジ４２の側方となる位置に、前記吐出ヘッド３４から粘着テープ１００を剥離するための剥離ローラ２０４が複数（図４では一対）配設されている。
【００４１】
これら剥離ローラ２０４は、図示しない駆動手段により、粘着テープ１００をその上面側から押圧するべく、昇降可能に構成されている。このような構成によって剥離ローラ２０４は、粘着テープ１００の上方に待機した状態から、下降して粘着テープ１００の上面を押圧することにより、吐出ヘッド３４から粘着テープ１００を剥離するようになっている。
【００４２】
一方、供給リール２０１、巻取リール２０２間に張架された粘着テープ１００の下方には、前記の風船状の加圧体２２１が配設されている。この加圧体２２１は、ゴムや軟質の合成樹脂等からなるもので、内部に空気や水等の流体が供給されることで膨らみ、その内圧によって均一な押圧力を発生するものである。
【００４３】
流体給排手段２２２は、加圧体２２１の口部２２１ａに連通するフレキシブルチューブ２２３と、このフレキシブルチューブ２２３に接続する開閉弁２２４と、この開閉弁２２４に配管２２５を介して接続されたポンプやコンプレッサー等の流体供給源２２６とを備えたものである。開閉弁２２４及び流体供給源２２６には制御部２２７が接続され、加圧体２２１にはその内圧を検知する圧力計（図示せず）が設けられている。制御部２２７は、加圧体２２１による加圧時には、開閉弁２２４を開くとともに、流体供給源２２６を作動させる。そして、加圧体２２１内の内圧Ｐが所定の圧、例えば後述する式（１）に規定する圧となると、これを検知した圧力計からの信号を受け、開閉弁２２４を閉じるとともに、流体供給源２２６の作動を停止させるようになっている。
【００４４】
なお、加圧体２２１は、流体が供給されて膨らんだ際、その上部側が、前記供給リール２０１と巻取リール２０２との間に張架された粘着テープ１００に当接し、これを押圧するように配置されている。または、この加圧体２２１に昇降機構（図示せず）を設けておき、加圧体２２１を膨らませた後、これを上昇させて粘着テープ１００に当接させ、これを押圧するように構成してもよい。
【００４５】
ここで、貼着に使用する粘着テープ１００としては、基本的には図５（ａ）に示すようにテープ基材１０１と、このテープ基材１０１上に設けられた粘着層１０２とを有してなるものである。これらテープ基材１０１、粘着層１０２は、いずれも使用するインクに対して耐性を有するもの、すなわち耐インク性のものとされる。また、特にテープ基材１０１については、インク中の溶媒蒸気に対してガスバリア性を有したものとされる。さらに、粘着テープ１００は、使用するインクと反応せず、したがって該インクの性状、例えばその組成や分散性、溶解性を変化させない材料からなるものとされる。
【００４６】
インクとして、例えば銀微粒子を分散液である水に分散させてなるものを用いた場合、テープ基材１０１としてはポリイミドが、また粘着層１０２としてはアクリル系粘着材が好適に用いられる。具体的には、ピロメリット酸二無水物と４，４’−ジアミノジフェニルエーテルの重合によって得られるカプトン［登録商標］や、ポリイミドフィルムカプトン［登録商標］などがより好適とされる。なお、このような粘着テープ１００の厚さとしては、特に限定されることなく、任意のものが使用可能である。一例として、テープ基材１０１の厚さが１００μｍ程度、粘着層１０２の厚さが１０μｍ程度のものが好適に使用可能である。ただし、非使用状態が特に長期になる場合などでは、これらテープ基材１０１や粘着層１０２の厚さを適宜厚くすることも可能である。
【００４７】
また、インクとして、顔料を水系の溶媒に溶解してなるインクジェットプリンタ６００用のものを用いた場合には、図５（ｂ）に示すように、テープ基材１０１を三層構造で形成することもできる。すなわち、粘着層１０２側から順に耐溶剤層１０３、ガスバリア層１０４、保護層１０５の三層を配し、これら三層によってテープ基材１０１を構成してもよい。このような構造において、テープ基材１０１における耐溶剤層１０３とガスバリア層１０４との間、およびガスバリア層１０４と保護層１０５との間については、例えば互いの層間を融着することで接着することができる。
【００４８】
具体的には、耐溶剤層１０３と保護層１０５とをそれぞれ厚さ２００μｍ程度のポリエチレン（ＰＥ）で形成し、ガスバリア層１０４を厚さ２００μｍ程度のエチレンビニルアルコール（ＥＶＯＨ）で形成することができる。エチレンビニルアルコールはガスバリア性が高いものの、耐水性が低いため、耐水性の高いポリエチレンでその表裏を覆うことにより、耐水性にもガスバリア性にも優れたテープ基材１０１を形成することができる。なお、耐溶剤層１０３及び保護層１０５としては、ポリエチレンに代えてポリプロピレンを用いることもできる。
【００４９】
また、このようにテープ基材１０１を三層構造で形成する場合に、耐溶剤層１０３とガスバリア層１０４との間、およびガスバリア層１０４と保護層１０５との間の融着による接着層（図示せず）については、厚さ５０μｍ程度とすることで層間を良好に接着することができる。なお、粘着層１０２については、図５（ａ）に示した場合と同様に、アクリル系粘着材が好適に用いられ、その厚さについても、１０μｍ程度とするのが好ましい。
【００５０】
また、このようにテープ基材１０１を三層構造で形成した粘着テープ１００を、前記したような銀微粒子を分散液である水に分散させてなるインクを用いた場合に適用することもできる。
【００５１】
また、インクとして、前記したような銀微粒子を分散液である水に分散させてなるインクを用いた場合、テープ基材１０１としては、例えば図５（ｃ）に示すように、テープ基材１０１を二層構造で形成することもできる。すなわち、粘着層１０２側から順に耐溶剤層１０６、金属層１０７の二層を配し、これら二層によってテープ基材１０１を構成してもよい。具体的には、耐溶剤層１０６を耐溶剤性を有する絶縁性材料、例えば厚さ１００μｍ程度のポリエチレン（ＰＥ）で形成し、金属層１０７をガスバリア性と耐溶剤性を有する金属、例えば厚さ１００μｍ程度のアルミ箔や、金箔、ＳＵＳ３０４等のステンレスによって形成することができる。なお、粘着層１０２については、図５（ａ）に示した場合と同様に、アクリル系粘着材が好適に用いられ、その厚さについても、１０μｍ程度とするのが好ましい。
【００５２】
このように、金属層１０７の粘着層１０２側に絶縁性の耐溶剤層１０６を配することにより、インク中の銀微粒子と金属層１０７との間、すなわち異種金属間でボルタ電池が形成されてしまい、電流が生じてしまうのを防止することができる。ただし、粘着層１０２が良好な絶縁性を有し、かつ絶縁性を発揮するに十分な厚さを有している場合には、耐溶剤層１０６を省略して金属層１０７のみからテープ基材１０１を構成することもできる。
【００５３】
また、インクとして、例えばカラーフィルタの形成材料を溶媒に溶解したもののような有機系のインクを用いた場合、前記した、金属層１０７のみからテープ基材１０１を構成した粘着テープ１００を用いることができる。
【００５４】
なお、粘着テープ１００としては、前記した構成のものに限定されることなく種々のものが使用可能である。例えば、図５（ａ）に示した構成においてテープ基材１０１としては、ポリオレフィン、ポリエチレン、塩化ビニリデン、ポリプロピレン、ポリ塩化ビニル、ポリエチレンテレフタレート、ポリブチレンテレフタレート等の樹脂や、これら樹脂にアルミニウム等の金属層を蒸着法やスパッタ法で形成したものが使用可能である。
【００５５】
また、図５（ａ）に示した構成において粘着層１０２としては、前記したアクリル系粘着材（難燃性アクリル系を含む）以外にも、シリコン系粘着材、ゴム系粘着材（天然ゴム系、合成ゴム系、再生ゴム系、熱硬化性ゴム系、スチレン・イソプレン・スチレン系）、ペトロラタム系粘着材等が使用可能である。
【００５６】
このような粘着テープ１００を、図６（ａ）、（ｂ）に示すように前記吐出ヘッド３４の吐出面となるノズル形成面に貼着する際には、粘着テープ１００の粘着層１０２がノズルプレート１２に直接当接し、ノズル孔部１８ａを塞がないようにするのが好ましい。粘着層１０２がノズルプレート１２に直接当接してノズル孔部１８ａを塞ぐと、粘着テープ１００を剥がした際、粘着層１０２の材料の一部がノズル孔部１８ａの開口縁部に残ってしまい、その後の吐出性能を損なってしまうおそれがあるからである。また、粘着テープ１００がノズル孔部１８ａに接触し、その粘着層１０２がノズル孔部１８ａ内のインクのメニスカスＭに直接接触してしまうと、特に粘着層１０２がインクと反応し易い場合には、インクを変質させてしまうおそれがあるからである。
【００５７】
なお、吐出側開口部１８ａについては、ノズル孔部１８ａから吐出される液滴の吐出性に関して影響する度合いが少なく、仮にその開口縁部に粘着層１０２の材料の一部が残ってしまっても、実質的に吐出性能を損なうことはない。
【００５８】
また、本例で使用する粘着テープ１００は、前述したようにその粘着層１０２も使用するインクと反応せず、したがって該インクの性状、例えばその組成や分散性、溶解性を変化させない材料からなっているので、これがインクに直接接触しても、インクの性状を変化させることはない。
【００５９】
このように、粘着層１０２がノズルプレート１２に直接当接し、ノズル孔部１８ａを塞がないようにして、粘着テープ１００をノズル形成面、すなわちクレータメッキ１２ａの外面に貼着するには、前記したように、特に下記式（１）で表される圧Ｐで押し付け、貼着するのが好ましい。
【００６０】
Ｐ＜Ｙ・ｄ／ｔ …式（１）
ここで、前記式においてｄは前記吐出側開口部１８ｂの厚さ（深さ）［μｍ］、Ｙは粘着テープの粘着層１０２のヤング率［Ｐａ］、ｔは粘着テープ１００の粘着層１０２の厚さ［μｍ］である。前記式（１）に示したように、押し付け圧Ｐは、特にその上限が粘着層１０２のヤング率、すなわち粘着層１０２の材質によって大きく依存することになる。なお、ここでは、前記粘着テープ１００の粘着層１０２の厚さｔが、前記吐出側開口部１８ｂの厚さｄより大であるものとする。
【００６１】
粘着テープ１００をクレータメッキ１２ａの外面に押し付け圧Ｐで押し付け、貼着すると、粘着層１０２には、図６（ｂ）に示すようにクレータメッキ１２ａの外面に直接押し付けられた部分と、吐出側開口部１８ｂ内にてクレータメッキ１２ａの外面に直接押しつけられない部分との間で、歪みΔｔが生じる。このΔｔは、粘着層１０２の材質に依存する値であり、下記式（２）を満足する値となる。
【００６２】
Ｐ＝Ｙ・Δｔ／ｔ …式（２）
Δｔは、前記したように粘着層１０２がノズルプレート１２に直接当接し、ノズル孔部１８ａを塞がないようにするためには、下記式（３）を満足する必要がある。
【００６３】
Δｔ＜ｄ …式（３）
したがって、前記式（２）、式（３）より、前記式（１）が導かれるのである。
【００６４】
例えば、粘着テープ１００として、アクリル樹脂系粘着材によって粘着層１０２が形成され、該粘着層１０２の厚さ（ｔ）が１０μｍであるものを用い、これを、クレータメッキ１２ａの厚さ、すなわち吐出側開口部１８ｂの厚さ（ｄ）が５μｍである吐出ヘッド３４（５０）に対して貼着する場合、その押し付け圧Ｐとしては、アクリル樹脂系粘着材のヤング率（Ｙ）が２×１０４Ｐａであることから、
Ｐ＜２×１０４［Ｐａ］×５［μｍ］／１０［μｍ］となり、
Ｐ＜１０４［Ｐａ］＝１０［ｋＰａ］となる。
【００６５】
そして、前記貼着装置２２０は、前記したように、加圧体２２１によって前記粘着テープ１００を吐出ヘッド３４の吐出面に押し付ける際の内圧（押し付け圧）Ｐを、前記の式（１）に規定した圧とするようになっている。すなわち、この貼着装置２２０は、その流体供給源２２６による加圧体２２１への流体供給により、加圧体２２１の内圧Ｐを前記の式（１）に規定した圧とし、これによってこの内圧Ｐを押し付け圧として、粘着テープ１００を吐出ヘッド３４の吐出面に押し付け、貼着させるるようになっているのである。
【００６６】
このような構成からなる貼着装置２２０は、例えば図１に示したインクジェット装置３０において、基板移動手段３２の側方に設けられ、非使用時において動作させられるようになっている。その場合、貼着装置２２０に移動機構を設けておき、貼着装置２２０を吐出ヘッド３４の直下に移動させ、該吐出ヘッド３４の吐出面に粘着テープ１００を貼着するようにしてもよい。または、貼着装置２２０をヘッド移動手段３３によるキャリッジ４２の移動範囲内に配置しておき、キャッリジ４２を貼着装置２２０の直上に移動させることにより、吐出ヘッド３４の吐出面に粘着テープ１００を貼着するようにしてもよい。
【００６７】
このような貼着装置２２０を備えたインクジェット装置３０にあっては、非使用状態が長期間続く場合、その保守方法として、前記貼着装置２２０によって前記粘着テープ１００を前記吐出ヘッド３４の吐出面に貼着する。すなわち、まず、吐出ヘッド３４の直下に貼着装置２２０を相対的に位置させる。また、これに先立ち、あるいはこれの後、供給リール２０１から使用前の粘着テープ１００を送り出し、該供給リール２０１と巻取リール２０２との間に使用前の粘着テープ１００を張架させておく。その際、張架された粘着テープ１００を、吐出ヘッド３４の下面に当接させず、該下面から僅かに離間させておく。なお、粘着テープ１００については、その粘着層１０２を上側（吐出ヘッド３４側）に向けて張架させておく。
【００６８】
次に、流体供給源２２６によって加圧体２２１に流体を供給し、加圧体２２１を膨らませてその内圧Ｐを前記の式（１）に規定した圧とする。これにより、粘着テープ１００を下から押し上げ、その粘着層１０２側を吐出ヘッド３４の吐出面（下面）に押し付けることができる。粘着テープ１００を吐出ヘッド３４の吐出面に押し付ける際の押し付け圧は、前記したように加圧体２２１の内圧Ｐとなり、この加圧体２２１に押圧された箇所は全て内圧Ｐで押圧される。したがって、粘着テープ１００は吐出ヘッド３４の吐出面（下面）に均一に押し付けられ、貼着されることになる。
【００６９】
このようにして吐出ヘッド３４の下面に粘着テープ１００を貼着することにより、吐出ヘッド３４のノズル１８の吐出側開口部１８ｂを覆うことができる。これにより、吐出ヘッド３４内のインクは、特にノズル１８のノズル孔部１８ａ内に位置しているメニスカスＭ部分において固化し、ノズル詰まりが起こるといったことが抑えられる。ただし、このように単に粘着テープ１００を貼着しただけでは、図７（ａ）に示したようにインクのメニスカスＭ部分と粘着テープ１００の貼着面（粘着層１０２の外面）との間に空気が残留することから、特に非使用状態が長期間続く場合には、これだけではノズル詰まりが起こるおそれがある。
【００７０】
すなわち、吐出ヘッド３４内のインクは、前記したようにノズル１８のノズル孔部１８ａ内においてメニスカスＭを形成し、このメニスカスＭ部分が外気に接することでインク中の溶媒を気化させる。このメニスカスＭ部分は、非吐出時には吐出ヘッド３４のノズル形成面より奥側に引っ込んだ位置に形成されることから、単に粘着テープ１００を吐出ヘッド３４のノズル形成面に貼着するだけでは、この粘着テープ１００の貼着面と前記メニスカスＭ部分との間に空気が残ってしまう。すると、メニスカスＭ部分からインク中の溶媒が気化してその蒸気が空気層に移行し、結果としてメニスカスＭ部分が僅かながらも固化し、ノズル詰まりが生じてしまうおそれがあるのである。
【００７１】
そこで、このようなノズル詰まりをより確実に防止するためには、特に粘着テープ１００として、その粘着層１０２が使用するインクと反応せず、したがって該インクの性状、例えばその組成や分散性、溶解性を変化させない材料からなっている場合、粘着テープ１００でノズル１８の吐出側開口部１８ｂを覆った状態のもとで、該ノズル１８のノズル孔部１８ａからインクを押し出し、図７（ｂ）に示すようにノズル１８内と前記粘着テープ１００の貼着面との間をインクＩで満たすのが好ましい。
【００７２】
ノズル１８からのインクＩの押し出しについては、吐出ヘッド３４によるノズル１８からの通常のインク吐出動作、すなわち圧電素子（アクチュエーター）２０への吐出波形の印加によって行うことができる。このような通常のインク吐出動作を用いるようにすれば、特にインクジェット装置３０としてその装置構成を変えることなく、ノズル１８内と粘着テープ１００の貼着面との間をインクで容易に満たすことができ、これによりノズル詰まりを確実に防止することができる。
【００７３】
また、ノズル１８からのインクＩの押し出しを、該ノズル１８にインクを供給するインク供給系を加圧することにより、行うようにしてもよい。ノズル１８にインクを供給するインク供給系として、例えばインクＩの流路となるチューブを加圧したり、インクＩを貯留するタンクやカートリッジの位置を上昇させることで水頭値を高くすることにより、ノズル１８からインクＩを押し出すことができる。このようにしても、ノズル１８内と粘着テープ１００の貼着面との間をインクＩで満たし、ノズル詰まりを確実に防止することができる。
【００７４】
ここで、このようにして吐出ヘッド３４の下面に粘着テープ１００を貼着し、吐出ヘッド３４のノズル１８を覆った状態ノズル１８内と粘着テープ１００の貼着面との間をインクＩで満たしておくと、粘着テープ１００とインクＩとは直接接触することになる。しかし、粘着テープ１００として、前述したように使用するインクＩに対して耐性を有し、該インクＩと反応せず該インクＩの性状を変化させない材料からなっているテープを用いているので、非使用時においてインクＩが変質してしまうことを防止することができる。また、テープ基材１０１がインクＩ中の溶媒蒸気に対してガスバリア性を有しているので、インクＩ中の溶媒が気化してその蒸気がテープ基材１０１を透過し、インクＩが固化するといったことも防止することができる。
【００７５】
このようにして吐出ヘッド３４のノズル詰まりを防止し、その状態で長期間保持した後、再度使用する際には、粘着テープ１００の上方に待機させておいた剥離ローラ２０４を下降させ、これで粘着テープ１００の上面を押圧することにより、吐出ヘッド３４から粘着テープ１００を剥離する。なお、貼り付け用ローラ２０３については、粘着テープ１００を剥離する前に下降させ、粘着テープ１００から離間させておく。
【００７６】
このようにして吐出ヘッド３４から粘着テープ１００を剥離したら、吐出ヘッド３４または貼着装置２２０を移動させて貼着装置２２０を吐出ヘッド３４の使用時における可動範囲から退避させ、保守状態を終了する。そして、吐出ヘッド３４に対し吸引手段（図示せず）によりそのノズル１８からインクを吸引し、また吐出面をワイピングして粘着層１０２の残留物等を除去し、さらにフラッシングや微振動等の予備動作を行うことなどにより、使用状態にする。
【００７７】
このようにして使用状態にすると、吐出ヘッド３４は、前述したように粘着テープ１００の粘着層１０２によってノズル１８のノズル孔部１８ａが直接塞がれず、したがって粘着層１０２の材料の一部がノズル孔部１８ａの開口縁部に残っていないので、その後の吐出性能が損なわれるといったことが確実に防止されている。
【００７８】
なお、吐出ヘッド３４の下面に粘着テープ１００を貼着する場合、吐出ヘッド３４の数やその配置等に応じて、貼着装置２２０の構成やその数、さらには粘着テープ１００の幅などを適宜に変更することができる。
【００７９】
例えば、図８（ａ）に示すように一つのキャリッジ４２に対して１２個（６対）の吐出ヘッド３４が設けられており、吐出ヘッド３４が６個（３対）一列に配列され、これら６個の吐出ヘッド３４からなる列が２列直線状に配置されている多連ヘッド構成の場合には、前記の貼着装置２２０を二つ用い、各列毎に６個の吐出ヘッド３４を一つの連続した粘着テープ１００で覆うようにすることができる。または、図８（ｂ）に示すように各列間において斜め方向に隣り合う２対の吐出ヘッド３４を、一つの貼着装置２２０を用いてその粘着テープ１００で覆い、同様に他の２対の吐出ヘッド３４についても、それぞれ一つの貼着装置２２０を用いてその粘着テープ１００で覆い、したがって計三つの貼着装置２２０を用いて１２個（６対）の吐出ヘッド３４の吐出面を覆うようにしてもよい。
【００８０】
また、図８（ａ）、（ｂ）に示したような吐出ヘッド３４の配列の場合にも、粘着テープ１００として特に幅の広いものを用いることにより、一つの貼着装置２２０で全ての吐出ヘッド３４の吐出面を、連続した粘着テープ１００によって一括して覆うようにしてもよい。
【００８１】
このような多連ヘッド構成の場合に、特にこの貼着装置２２０にあっては、対象となる複数の吐出ヘッド３４の全ての吐出面を、粘着テープ１００によってほぼ同時に一括して覆い、これら吐出面に粘着テープ１００をほぼ同時に貼着することができる。したがって、貼着処理が容易になる。また、加圧体２２１はその内圧Ｐが一定であることから、粘着テープ１００の全面をほぼ同じ押し付け圧で貼着することができる。
【００８２】
なお、多連ヘッド構成のインクジェット装置に対応する貼着装置としては、供給リール２０１と巻取リール２０２とを複数ずつ備えてこれらの間に複数の粘着テープ１００を張架させ、これら複数の粘着テープ１００を加圧体２２１によってほぼ同時に一括して押圧するように構成してもよい。また、粘着テープ１００として特に幅の広いものを用い、この粘着テープ１００で複数の吐出ヘッド３４の全ての吐出面を覆うようにしてもよい。その場合にも、この幅広の粘着テープ１００のほぼ全面を加圧体によって一括して押圧することができる。したがって粘着テープ１００の貼着処理を容易にかつ迅速に行うことができる。
【００８３】
なお、前記貼着装置２２０については、図１に示したインクジェット装置３０における吐出ヘッド３４への粘着テープ１００の貼着に適用した場合を例にして説明したが、図３に示したインクジェットプリンタ（インクジェット装置）６００の吐出ヘッド５０への粘着テープ１００の貼着にも適用できるのはもちろんである。
【００８４】
なお、本発明は前記実施形態に限定されることなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において種々の変更が可能である。
【図面の簡単な説明】
【００８５】
【図１】本発明に係るインクジェット装置の斜面図である。
【図２】（ａ）は、吐出ヘッドの斜視図、（ｂ）は、（ａ）の要部側断面図である。
【図３】本発明に係るインクジェットプリンタの斜面図である。
【図４】本発明に係る貼着装置の一例を示す図である。
【図５】（ａ）〜（ｃ）は粘着テープの概略構成を示す側断面図である。
【図６】（ａ）、（ｂ）は吐出ヘッドへの粘着テープの貼着の説明図である。
【図７】（ａ）、（ｂ）は粘着テープを貼着した後の吐出ヘッドの説明図である。
【図８】（ａ）、（ｂ）は粘着テープの貼着方法を説明する模式図である。
【符号の説明】
【００８６】
１２…ノズルプレート、１２ａ…クレータメッキ、１５…キャビティ、１８…ノズル、１８ａ…ノズル孔部、１８ｂ…吐出側開口部、３０…インクジェット装置、３４、５０、３００…吐出ヘッド、１００…粘着テープ、１０１…テープ基材、１０２…粘着層、２２０…貼着装置（テープ貼着手段）、２２１…加圧体、２２２…流体給排手段、Ｉ…インク
【技術分野】
【０００１】
本発明は、インクジェット装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
民生用のプリンタや工業用の成膜装置などとして用いられているインクジェット装置は、圧電素子等のアクチュエーターによってインクに対し瞬間的に圧力を加え、ノズルからインクを液滴として吐出するように構成されている。
【０００３】
ところで、このようなインクジェット装置にあっては、非使用状態が長期間続くと、ノズル内にて外気に接しているメニスカス部分からインク中の溶媒が気化し、ノズル内でインクが固化してノズル詰まりが起こってしまう。
【０００４】
このようなノズル詰まりを防止するため、従来では、例えば非記録時に、吐出部を粘着テープで塞ぐようにした技術が提供されている（例えば、特許文献１参照）。
【０００５】
また、印刷に伴って吐出部に付着するインクミスト等の汚れを取り除くため、吐出部に粘着性のクリーニングテープを貼り付けるようにしたインクジェット記録装置も提供されている（例えば、特許文献２参照）。
【特許文献１】特開平５−８４９２５号公報
【特許文献２】特開平１１−３２０９００号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、前記のクリーニングテープを貼り付けるようにしたインクジェット記録装置におけるテープ貼着機構（テープ貼着手段）では、この貼着機構を、特に吐出部となる吐出ヘッドを複数備えた、いわゆる多連ヘッド構成のインクジェット記録装置に適用しようとした場合、複数の吐出ヘッドに対して個別に粘着テープ（クリーニングテープ）を貼着する必要があることから、処理に手間がかかってしまう。また、各吐出ヘッドに対して同じ押し付け圧で粘着テープを貼着するのが難しく、したがって各吐出ヘッド毎に異なる押し付け圧で粘着テープが貼着されてしまうおそれがある。
【０００７】
本発明は前記事情に鑑みてなされたもので、その目的とするところは、例えば非使用状態が長期間続く場合などに、ノズル詰まりを防止するために吐出ヘッドの吐出面に粘着テープを貼着する際、多連ヘッド構成であっても各吐出ヘッドに対してほぼ同時にしかもほぼ同じ押し付け圧で粘着テープを貼着できるようにした、インクジェット装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明のインクジェット装置は、インクを吐出するためのノズルを有した吐出ヘッドを備えてなるインクジェット装置において、
前記ノズルを覆って粘着テープを前記吐出ヘッドのノズル形成面に貼着するテープ貼着手段を有し、
前記テープ貼着手段は、風船状の加圧体と、該加圧体内への流体の供給及び該流体の排出を行う流体給排手段とを備え、前記加圧体に流体を供給して膨らませ、膨らませた前記加圧体の内圧で前記粘着テープを前記吐出ヘッドのノズル形成面に押し付けることで該粘着テープを貼着するよう構成されていることを特徴としている。
【０００９】
このインクジェット装置によれば、例えば非使用状態が長期間続く場合などに、ノズル詰まりを防止するために吐出ヘッドの吐出面に粘着テープを貼着する際、流体給排手段により加圧体内に流体を供給してこれを膨らませ、その内圧で前記粘着テープを前記吐出ヘッドのノズル形成面に押し付けることにより、該粘着テープを加圧体の内圧による押し付け圧で均一に貼着することができる。特に、吐出ヘッドが多連ヘッド構成であっても、各吐出ヘッドに貼着させる粘着テープを、加圧体によってその全面を同時に押圧することで、各吐出ヘッドに対して粘着テープをほぼ同時に貼着することができる。さらに、加圧体はその内圧が一定であることから、粘着テープの全面をほぼ同じ押し付け圧で貼着することができる。
【００１０】
また、前記インクジェット装置においては、前記ノズルが、インクのメニスカスを位置させるノズル孔部と、該ノズル孔部より吐出側において、ノズル孔部より大きな開口からなる吐出側開口部とから構成されている場合、前記粘着テープを前記吐出ヘッドのノズル形成面に押し付ける際の前記加圧体の内圧Ｐが、下記式で表される圧に調整されているのが好ましい。
【００１１】
Ｐ＜Ｙｄ／ｔ …式
（ただし、ｄは前記吐出側開口部の厚さ、Ｙは粘着テープの粘着層のヤング率、ｔは粘着層の厚さであって前記ｄより大である）
このように、粘着テープを吐出ヘッドのノズル形成面に押し付ける際の加圧体の内圧Ｐが、前記式で表される圧に調整されていれば、この内圧Ｐで粘着テープが前記吐出ヘッドのノズル形成面に押し付けられ貼着されることにより、後述するように、粘着テープの粘着層がノズルのノズル孔部を直接塞がないようになる。したがって、粘着テープを剥がした際、粘着層の材料の一部がノズル孔部の開口縁部に残ってしまい、その後の吐出性能を損なってしまうといったおそれが無くなる。また、粘着テープがノズル孔部内のインクのメニスカスに直接接触してしまい、インクを変質させてしまうおそれも無くなる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
以下、本発明を詳しく説明する。
【００１３】
まず、本発明のインクジェット装置の概略構成について説明する。なお、本発明は、カラーフィルタ等の薄膜の形成や、配線パターンなどのパターン形成などに用いられる工業用のインクジェット装置、さらには、記録用紙に印刷を行うための民生用のインクジェットプリンタ（インクジェット装置）の、いずれにも適用される。
【００１４】
まず、工業用のインクジェット装置の一例について図１を参照して説明する。図１において符号３０はインクジェット装置であり、このインクジェット装置３０は、ベース３１、基板移動手段３２、ヘッド移動手段３３、吐出ヘッド３４、液供給手段３５、前記吐出ヘッドを制御するための制御装置４０等を有して構成されたものである。なお、図１に示す例では、説明を容易にするため吐出ヘッド３４が一つであるものとして、図示し説明するが、後述するように吐出ヘッド３４が複数設けられた、いわゆる多連ヘッド構成のインクジェット装置であってもよいのはもちろんである。
【００１５】
ベース３１は、その上に前記基板移動手段３２、ヘッド移動手段３３を設置したものである。
【００１６】
基板移動手段３２は、ベース３１上に設けられたもので、Ｙ軸方向に沿って配置されたガイドレール３６を有したものである。この基板移動手段３２は、例えばリニアモータ（図示せず）により、スライダ３７をガイドレール３６に沿って移動させるよう構成されたものである。
【００１７】
スライダ３７上にはステージ３９が固定されている。よって、基板移動手段３２がステージ３９の移動軸となる。このステージ３９は、基板Ｓを位置決めし保持するためのものである。すなわち、このステージ３９は、公知の吸着保持手段（図示せず）を有し、この吸着保持手段を作動させることにより、基板Ｓをステージ３９の上に吸着保持するようになっている。基板Ｓは、例えばステージ３９の位置決めピン（図示せず）により、ステージ３９上の所定位置に正確に位置決めされ、保持されるようになっている。
【００１８】
前記ヘッド移動手段３３は、ベース３１の後部側に立てられた一対の架台３３ａ、３３ａと、これら架台３３ａ、３３ａ上に設けられた走行路３３ｂとを備えてなるもので、該走行路３３ｂをＸ軸方向、すなわち前記の基板移動手段３２のＹ軸方向と直交する方向に沿って配置したものである。走行路３３ｂは、架台３３ａ、３３ａ間に渡された保持板３３ｃと、この保持板３３ｃ上に設けられた一対のガイドレール３３ｄ、３３ｄとを有して形成されたもので、ガイドレール３３ｄ、３３ｄの長さ方向に吐出ヘッド３４を搭載するキャリッジ４２を移動可能に保持したものである。キャリッジ４２は、リニアモータ（図示せず）等の作動によってガイドレール３３ｄ、３３ｄ上を走行し、これにより吐出ヘッド３４をＸ軸方向に移動させるよう構成されたものである。
【００１９】
ここで、このキャリッジ４２は、ガイドレール３３ｄ、３３ｄの長さ方向、すなわちＸ軸方向に例えば１μｍ単位で移動が可能になっており、このような移動は制御装置４０によって制御されるようになっている。吐出ヘッド３４は、前記キャリッジ４２に取付部４３を介して回動可能に取り付けられたものである。取付部４３にはモータ４４が設けられており、吐出ヘッド３４はその支持軸（図示せず）がモータ４４に連結している。このような構成のもとに、吐出ヘッド３４はその周方向に回動可能となっている。また、モータ４４も前記制御装置４０に接続されており、これによって吐出ヘッド３４はその周方向への回動も、制御装置４０によって制御されるようになっている。なお、前記制御装置４０は、後述するように予め設定された駆動波形を吐出ヘッド３４に印加することにより、吐出ヘッド３４の吐出を制御するようになっている。
【００２０】
図２（ａ）、（ｂ）は、前記インクジェット装置３０が備えた吐出ヘッド３４の概略構成を説明するための図である。前記吐出ヘッド３４は、図２（ａ）に示すように例えばステンレス製のノズルプレート１２と振動板１３とを備え、両者を仕切部材（リザーバプレート）１４を介して接合したものである。ノズルプレート１２と振動板１３との間には、仕切部材１４によって複数のキャビティ１５とリザーバ１６とが形成されており、これらキャビティ１５とリザーバ１６とは流路１７を介して連通している。
【００２１】
各キャビティ１５とリザーバ１６は、その内部にインクを満たしてこれを収容するようになっており、これらの間の流路１７はリザーバ１６からキャビティ１５にインクを供給する供給口として機能するようになっている。ノズルプレート１２には、図２（ｂ）に示すようにその吐出側（外側）にクレータメッキ１２ａが施されており、これによって撥液性が付与されている。なお、このクレータメッキ１２ａの外面が、本発明における吐出ヘッド３４のノズル形成面、すなわち吐出面となっている。
【００２２】
また、このクレータメッキ１２ａを形成したノズルプレート１２には、キャビティ１５からインクを吐出するための孔状のノズル１８が縦横に整列した状態で複数形成されている。ノズル１８は、ノズルプレート１２に形成されたノズル孔部１８ａと、該ノズル孔部１８ａより吐出側、すなわち外側において、クレータメッキ１２ａに形成された吐出側開口部１８ｂとから構成されている。これらノズル孔部１８ａと吐出側開口部１８ｂとは、いずれも開口形状が円形のもので、同一の中心軸を有するものである。また、吐出側開口部１８ｂは、ノズル孔部１８ａより大きな内径を有する開口からなっている。
【００２３】
一方、振動板１３には、図２（ａ）に示すようにリザーバ１６内に開口する孔１９が形成されており、この孔１９には液供給手段３５が接続されるようになっている。また、前記液供給手段３５は、インクを充填したタンク４５と、このタンク４５からインクを供給するためのチューブ４６とからなっていて、前記チューブ４６が前記孔１９に接続している。
【００２４】
また、振動板１３のキャビティ１５に向く面と反対の側の面上には、図２（ｂ）に示すように圧電素子（ピエゾ素子）２０が接合されている。この圧電素子２０は、吐出ヘッド３４においてアクチュエーターとして機能するもので、一対の電極２１、２１間に挟持され、インクジェット装置３０が備えている制御装置４０によって外側に突出するようにして撓ませるように構成されたものである。
【００２５】
すなわち、圧電素子２０は、その電極２１、２１間に通電されて吐出波形が印加されると撓曲する。そして、このように圧電素子２０が撓曲すると、圧電素子２０に接合された振動板１３は、圧電素子２０と一体になって同時に外側へ撓曲し、これによりキャビティ１５の容積を増大させる。すると、キャビティ１５内とリザーバ１６内とが連通しており、リザーバ１６内にインクが充填されている場合には、キャビティ１５内に増大した容積分に相当するインクが、リザーバ１６から流路１７を介して流入する。
【００２６】
そして、このような状態から圧電素子２０への通電を解除し、あるいは逆の電位で通電すると、圧電素子２０と振動板１３はともに元の形状に戻る。よって、キャビティ１５も元の容積に戻ることから、キャビティ１５内部のインクの圧力が上昇し、ノズル１８のノズル開口９からインクが液滴２２となって吐出される。
【００２７】
また、このようにして吐出動作を行うと、キャビティ１５内のインクの一部がノズル１８のノズル孔部１８ａ内に残った状態となり、図２（ｂ）に示したようにこのノズル孔部１８ａにインクのメニスカスＭが位置させられた状態となる。
【００２８】
次に、民生用のインクジェットプリンタ（インクジェット装置）の一例について図３を参照して説明する。なお、この例でも、説明を容易にするため吐出ヘッドが一つであるものとして、図示し説明するが、多連ヘッド構成のインクジェット装置であってもよいのは、前記例と同様である。
【００２９】
図３において符号６００はインクジェットプリンタであり、このインクジェットプリンタ６００は、装置本体６２０と、記録用紙Ｐを設置するトレイ６２１と、記録用紙Ｐを排出する排出口６２２と、装置本体６２０の上面に配置された操作パネル６７０とを備えて構成されたものである。
【００３０】
装置本体６２０の内部には、印刷装置６４０と、記録用紙Ｐを印刷装置６４０に送り込む給紙装置６５０と、印刷装置６４０および給紙装置６５０を制御する制御部６６０とが設けられている。
【００３１】
印刷装置６４０は、往復動するヘッドユニット６３０と、ヘッドユニット６３０の駆動源となるキャリッジモータ６４１と、キャリッジモータ６４１の回転を受けて、ヘッドユニット６３０を往復動させる往復動機構６４２とを有したものである。
【００３２】
ヘッドユニット６３０は、吐出ヘッド５０と、この吐出ヘッド５０にインクを供給するインクカートリッジ６３１と、ヘッド５０およびインクカートリッジ６３１を搭載したキャリッジ６３２と、を備えてなるものである。ここで、吐出ヘッド５０は、図２（ａ）、（ｂ）に示した吐出ヘッド３４と基本的に同じ構成を有したものであり、ノズル孔部１８ａと吐出側開口部１８ｂとからなるノズル１８を多数有したものである。
【００３３】
往復動機構６４２は、その両端がフレーム（図示せず）に支持されたキャリッジガイド軸６４４と、キャリッジガイド軸６４４と平行に延在するタイミングベルト６４３とを有したものである。キャリッジガイド軸６４４は、キャリッジ６３２が自在に往復動できるようにしながら、キャリッジ６３２を支持している。さらに、キャリッジ６３２は、タイミングベルト６４３の一部に固定されている。キャリッジモータ６４１の作動により、タイミングベルト６４３を走行させると、キャリッジガイド軸６４４に導かれて、ヘッドユニット６３０が往復動する。この往復動の際に、吐出ヘッド５０から適宜インクが吐出され、記録用紙Ｐへの印刷が行われる。
【００３４】
給紙装置６５０は、その駆動源となる給紙モータ６５１と、給紙モータ６５１の作動により回転する給紙ローラ６５２とを有したものである。給紙ローラ６５２は、記録用紙Ｐの送り経路を挟んで上下に対向する、従動ローラ６５２ａと、駆動ローラ６５２ｂとを備えている。駆動ローラ６５２ｂは、給紙モータ６５１に連結されている。
【００３５】
このような構成のインクジェットプリンタ６００において、使用されるインクとしては、基本的には染料や顔料等の固形分を溶媒に溶解したものである。また、前記のインクジェット装置３０において用いられるインクとしては、その工業的用途に応じて種々のものが用いられる。具体的には、カラーフィルタの成膜の場合、カラーフィルタの形成材料を溶媒に溶解したものが用いられ、金属配線の形成の場合、銀や金などの金属微粒子を分散媒に分散させたものが用いられる。
【００３６】
このようなインクジェットプリンタ６００やインクジェット装置３０では、使用中における比較的短時間（数十秒〜数分、数十分程度）の吐出休止時には、吐出ヘッド３４（５０）は必要に応じてゴムや軟質樹脂等からなるキャップ材などでキャッピングされ、インク中の溶媒（分散媒）が気化してノズル詰まりが生じるのが防止される。しかし、例えば数時間以上、または１日以上の長期に亘って非使用状態が続く場合には、キャップ材によるキャッピングではノズル詰まりの防止効果が十分に得られない。
【００３７】
そこで、本発明では、このように特に長期に亘って非使用状態が続く場合などに、ノズル詰まりを確実に防止するため、前記ノズル１８を覆って粘着テープを前記吐出ヘッド３４（５０）のノズル形成面に貼着するテープ貼着手段を有している。
【００３８】
図４は前記テープ貼着手段としての貼着装置２２０を示す図であり、この貼着装置２２０は、主に図１に示した工業用のインクジェット装置３０に備えられるものである。ただし、全体を小型化することなどにより、図３に示した民生用のインクジェットプリンタ（インクジェット装置）にも適用可能なのはもちろんである。
【００３９】
貼着装置２２０は、粘着テープ１００を前記吐出ヘッド３４（５０）の吐出面（ノズル形成面）に貼着するためのテープ貼着手段であって、特にこの例では、一つのキャリッジ４２に三つの吐出ヘッド３４が設けられた、いわゆる多連ヘッド構成のインクジェット装置に、備えられたものである。この貼着装置２２０は、巻回した粘着テープ１００を送り出して供給する供給リール２０１と、供給リール２０１から送られた粘着テープ１００を巻き取る巻取リール２０２と、剥離ローラ２０４とを備え、さらに、風船状の加圧体２２１と、該加圧体２３０内への流体の供給及び該流体の排出を行う流体給排手段２２２とを備えたものである。
【００４０】
供給リール２０１、巻取リール２０２は、モータ等の駆動手段（図示せず）によって同時に回転させられるよう構成されたものである。また、これら供給リール２０１、巻取リール２０２間に張架された粘着テープ１００の上方には、前記キャリッジ４２の側方となる位置に、前記吐出ヘッド３４から粘着テープ１００を剥離するための剥離ローラ２０４が複数（図４では一対）配設されている。
【００４１】
これら剥離ローラ２０４は、図示しない駆動手段により、粘着テープ１００をその上面側から押圧するべく、昇降可能に構成されている。このような構成によって剥離ローラ２０４は、粘着テープ１００の上方に待機した状態から、下降して粘着テープ１００の上面を押圧することにより、吐出ヘッド３４から粘着テープ１００を剥離するようになっている。
【００４２】
一方、供給リール２０１、巻取リール２０２間に張架された粘着テープ１００の下方には、前記の風船状の加圧体２２１が配設されている。この加圧体２２１は、ゴムや軟質の合成樹脂等からなるもので、内部に空気や水等の流体が供給されることで膨らみ、その内圧によって均一な押圧力を発生するものである。
【００４３】
流体給排手段２２２は、加圧体２２１の口部２２１ａに連通するフレキシブルチューブ２２３と、このフレキシブルチューブ２２３に接続する開閉弁２２４と、この開閉弁２２４に配管２２５を介して接続されたポンプやコンプレッサー等の流体供給源２２６とを備えたものである。開閉弁２２４及び流体供給源２２６には制御部２２７が接続され、加圧体２２１にはその内圧を検知する圧力計（図示せず）が設けられている。制御部２２７は、加圧体２２１による加圧時には、開閉弁２２４を開くとともに、流体供給源２２６を作動させる。そして、加圧体２２１内の内圧Ｐが所定の圧、例えば後述する式（１）に規定する圧となると、これを検知した圧力計からの信号を受け、開閉弁２２４を閉じるとともに、流体供給源２２６の作動を停止させるようになっている。
【００４４】
なお、加圧体２２１は、流体が供給されて膨らんだ際、その上部側が、前記供給リール２０１と巻取リール２０２との間に張架された粘着テープ１００に当接し、これを押圧するように配置されている。または、この加圧体２２１に昇降機構（図示せず）を設けておき、加圧体２２１を膨らませた後、これを上昇させて粘着テープ１００に当接させ、これを押圧するように構成してもよい。
【００４５】
ここで、貼着に使用する粘着テープ１００としては、基本的には図５（ａ）に示すようにテープ基材１０１と、このテープ基材１０１上に設けられた粘着層１０２とを有してなるものである。これらテープ基材１０１、粘着層１０２は、いずれも使用するインクに対して耐性を有するもの、すなわち耐インク性のものとされる。また、特にテープ基材１０１については、インク中の溶媒蒸気に対してガスバリア性を有したものとされる。さらに、粘着テープ１００は、使用するインクと反応せず、したがって該インクの性状、例えばその組成や分散性、溶解性を変化させない材料からなるものとされる。
【００４６】
インクとして、例えば銀微粒子を分散液である水に分散させてなるものを用いた場合、テープ基材１０１としてはポリイミドが、また粘着層１０２としてはアクリル系粘着材が好適に用いられる。具体的には、ピロメリット酸二無水物と４，４’−ジアミノジフェニルエーテルの重合によって得られるカプトン［登録商標］や、ポリイミドフィルムカプトン［登録商標］などがより好適とされる。なお、このような粘着テープ１００の厚さとしては、特に限定されることなく、任意のものが使用可能である。一例として、テープ基材１０１の厚さが１００μｍ程度、粘着層１０２の厚さが１０μｍ程度のものが好適に使用可能である。ただし、非使用状態が特に長期になる場合などでは、これらテープ基材１０１や粘着層１０２の厚さを適宜厚くすることも可能である。
【００４７】
また、インクとして、顔料を水系の溶媒に溶解してなるインクジェットプリンタ６００用のものを用いた場合には、図５（ｂ）に示すように、テープ基材１０１を三層構造で形成することもできる。すなわち、粘着層１０２側から順に耐溶剤層１０３、ガスバリア層１０４、保護層１０５の三層を配し、これら三層によってテープ基材１０１を構成してもよい。このような構造において、テープ基材１０１における耐溶剤層１０３とガスバリア層１０４との間、およびガスバリア層１０４と保護層１０５との間については、例えば互いの層間を融着することで接着することができる。
【００４８】
具体的には、耐溶剤層１０３と保護層１０５とをそれぞれ厚さ２００μｍ程度のポリエチレン（ＰＥ）で形成し、ガスバリア層１０４を厚さ２００μｍ程度のエチレンビニルアルコール（ＥＶＯＨ）で形成することができる。エチレンビニルアルコールはガスバリア性が高いものの、耐水性が低いため、耐水性の高いポリエチレンでその表裏を覆うことにより、耐水性にもガスバリア性にも優れたテープ基材１０１を形成することができる。なお、耐溶剤層１０３及び保護層１０５としては、ポリエチレンに代えてポリプロピレンを用いることもできる。
【００４９】
また、このようにテープ基材１０１を三層構造で形成する場合に、耐溶剤層１０３とガスバリア層１０４との間、およびガスバリア層１０４と保護層１０５との間の融着による接着層（図示せず）については、厚さ５０μｍ程度とすることで層間を良好に接着することができる。なお、粘着層１０２については、図５（ａ）に示した場合と同様に、アクリル系粘着材が好適に用いられ、その厚さについても、１０μｍ程度とするのが好ましい。
【００５０】
また、このようにテープ基材１０１を三層構造で形成した粘着テープ１００を、前記したような銀微粒子を分散液である水に分散させてなるインクを用いた場合に適用することもできる。
【００５１】
また、インクとして、前記したような銀微粒子を分散液である水に分散させてなるインクを用いた場合、テープ基材１０１としては、例えば図５（ｃ）に示すように、テープ基材１０１を二層構造で形成することもできる。すなわち、粘着層１０２側から順に耐溶剤層１０６、金属層１０７の二層を配し、これら二層によってテープ基材１０１を構成してもよい。具体的には、耐溶剤層１０６を耐溶剤性を有する絶縁性材料、例えば厚さ１００μｍ程度のポリエチレン（ＰＥ）で形成し、金属層１０７をガスバリア性と耐溶剤性を有する金属、例えば厚さ１００μｍ程度のアルミ箔や、金箔、ＳＵＳ３０４等のステンレスによって形成することができる。なお、粘着層１０２については、図５（ａ）に示した場合と同様に、アクリル系粘着材が好適に用いられ、その厚さについても、１０μｍ程度とするのが好ましい。
【００５２】
このように、金属層１０７の粘着層１０２側に絶縁性の耐溶剤層１０６を配することにより、インク中の銀微粒子と金属層１０７との間、すなわち異種金属間でボルタ電池が形成されてしまい、電流が生じてしまうのを防止することができる。ただし、粘着層１０２が良好な絶縁性を有し、かつ絶縁性を発揮するに十分な厚さを有している場合には、耐溶剤層１０６を省略して金属層１０７のみからテープ基材１０１を構成することもできる。
【００５３】
また、インクとして、例えばカラーフィルタの形成材料を溶媒に溶解したもののような有機系のインクを用いた場合、前記した、金属層１０７のみからテープ基材１０１を構成した粘着テープ１００を用いることができる。
【００５４】
なお、粘着テープ１００としては、前記した構成のものに限定されることなく種々のものが使用可能である。例えば、図５（ａ）に示した構成においてテープ基材１０１としては、ポリオレフィン、ポリエチレン、塩化ビニリデン、ポリプロピレン、ポリ塩化ビニル、ポリエチレンテレフタレート、ポリブチレンテレフタレート等の樹脂や、これら樹脂にアルミニウム等の金属層を蒸着法やスパッタ法で形成したものが使用可能である。
【００５５】
また、図５（ａ）に示した構成において粘着層１０２としては、前記したアクリル系粘着材（難燃性アクリル系を含む）以外にも、シリコン系粘着材、ゴム系粘着材（天然ゴム系、合成ゴム系、再生ゴム系、熱硬化性ゴム系、スチレン・イソプレン・スチレン系）、ペトロラタム系粘着材等が使用可能である。
【００５６】
このような粘着テープ１００を、図６（ａ）、（ｂ）に示すように前記吐出ヘッド３４の吐出面となるノズル形成面に貼着する際には、粘着テープ１００の粘着層１０２がノズルプレート１２に直接当接し、ノズル孔部１８ａを塞がないようにするのが好ましい。粘着層１０２がノズルプレート１２に直接当接してノズル孔部１８ａを塞ぐと、粘着テープ１００を剥がした際、粘着層１０２の材料の一部がノズル孔部１８ａの開口縁部に残ってしまい、その後の吐出性能を損なってしまうおそれがあるからである。また、粘着テープ１００がノズル孔部１８ａに接触し、その粘着層１０２がノズル孔部１８ａ内のインクのメニスカスＭに直接接触してしまうと、特に粘着層１０２がインクと反応し易い場合には、インクを変質させてしまうおそれがあるからである。
【００５７】
なお、吐出側開口部１８ａについては、ノズル孔部１８ａから吐出される液滴の吐出性に関して影響する度合いが少なく、仮にその開口縁部に粘着層１０２の材料の一部が残ってしまっても、実質的に吐出性能を損なうことはない。
【００５８】
また、本例で使用する粘着テープ１００は、前述したようにその粘着層１０２も使用するインクと反応せず、したがって該インクの性状、例えばその組成や分散性、溶解性を変化させない材料からなっているので、これがインクに直接接触しても、インクの性状を変化させることはない。
【００５９】
このように、粘着層１０２がノズルプレート１２に直接当接し、ノズル孔部１８ａを塞がないようにして、粘着テープ１００をノズル形成面、すなわちクレータメッキ１２ａの外面に貼着するには、前記したように、特に下記式（１）で表される圧Ｐで押し付け、貼着するのが好ましい。
【００６０】
Ｐ＜Ｙ・ｄ／ｔ …式（１）
ここで、前記式においてｄは前記吐出側開口部１８ｂの厚さ（深さ）［μｍ］、Ｙは粘着テープの粘着層１０２のヤング率［Ｐａ］、ｔは粘着テープ１００の粘着層１０２の厚さ［μｍ］である。前記式（１）に示したように、押し付け圧Ｐは、特にその上限が粘着層１０２のヤング率、すなわち粘着層１０２の材質によって大きく依存することになる。なお、ここでは、前記粘着テープ１００の粘着層１０２の厚さｔが、前記吐出側開口部１８ｂの厚さｄより大であるものとする。
【００６１】
粘着テープ１００をクレータメッキ１２ａの外面に押し付け圧Ｐで押し付け、貼着すると、粘着層１０２には、図６（ｂ）に示すようにクレータメッキ１２ａの外面に直接押し付けられた部分と、吐出側開口部１８ｂ内にてクレータメッキ１２ａの外面に直接押しつけられない部分との間で、歪みΔｔが生じる。このΔｔは、粘着層１０２の材質に依存する値であり、下記式（２）を満足する値となる。
【００６２】
Ｐ＝Ｙ・Δｔ／ｔ …式（２）
Δｔは、前記したように粘着層１０２がノズルプレート１２に直接当接し、ノズル孔部１８ａを塞がないようにするためには、下記式（３）を満足する必要がある。
【００６３】
Δｔ＜ｄ …式（３）
したがって、前記式（２）、式（３）より、前記式（１）が導かれるのである。
【００６４】
例えば、粘着テープ１００として、アクリル樹脂系粘着材によって粘着層１０２が形成され、該粘着層１０２の厚さ（ｔ）が１０μｍであるものを用い、これを、クレータメッキ１２ａの厚さ、すなわち吐出側開口部１８ｂの厚さ（ｄ）が５μｍである吐出ヘッド３４（５０）に対して貼着する場合、その押し付け圧Ｐとしては、アクリル樹脂系粘着材のヤング率（Ｙ）が２×１０４Ｐａであることから、
Ｐ＜２×１０４［Ｐａ］×５［μｍ］／１０［μｍ］となり、
Ｐ＜１０４［Ｐａ］＝１０［ｋＰａ］となる。
【００６５】
そして、前記貼着装置２２０は、前記したように、加圧体２２１によって前記粘着テープ１００を吐出ヘッド３４の吐出面に押し付ける際の内圧（押し付け圧）Ｐを、前記の式（１）に規定した圧とするようになっている。すなわち、この貼着装置２２０は、その流体供給源２２６による加圧体２２１への流体供給により、加圧体２２１の内圧Ｐを前記の式（１）に規定した圧とし、これによってこの内圧Ｐを押し付け圧として、粘着テープ１００を吐出ヘッド３４の吐出面に押し付け、貼着させるるようになっているのである。
【００６６】
このような構成からなる貼着装置２２０は、例えば図１に示したインクジェット装置３０において、基板移動手段３２の側方に設けられ、非使用時において動作させられるようになっている。その場合、貼着装置２２０に移動機構を設けておき、貼着装置２２０を吐出ヘッド３４の直下に移動させ、該吐出ヘッド３４の吐出面に粘着テープ１００を貼着するようにしてもよい。または、貼着装置２２０をヘッド移動手段３３によるキャリッジ４２の移動範囲内に配置しておき、キャッリジ４２を貼着装置２２０の直上に移動させることにより、吐出ヘッド３４の吐出面に粘着テープ１００を貼着するようにしてもよい。
【００６７】
このような貼着装置２２０を備えたインクジェット装置３０にあっては、非使用状態が長期間続く場合、その保守方法として、前記貼着装置２２０によって前記粘着テープ１００を前記吐出ヘッド３４の吐出面に貼着する。すなわち、まず、吐出ヘッド３４の直下に貼着装置２２０を相対的に位置させる。また、これに先立ち、あるいはこれの後、供給リール２０１から使用前の粘着テープ１００を送り出し、該供給リール２０１と巻取リール２０２との間に使用前の粘着テープ１００を張架させておく。その際、張架された粘着テープ１００を、吐出ヘッド３４の下面に当接させず、該下面から僅かに離間させておく。なお、粘着テープ１００については、その粘着層１０２を上側（吐出ヘッド３４側）に向けて張架させておく。
【００６８】
次に、流体供給源２２６によって加圧体２２１に流体を供給し、加圧体２２１を膨らませてその内圧Ｐを前記の式（１）に規定した圧とする。これにより、粘着テープ１００を下から押し上げ、その粘着層１０２側を吐出ヘッド３４の吐出面（下面）に押し付けることができる。粘着テープ１００を吐出ヘッド３４の吐出面に押し付ける際の押し付け圧は、前記したように加圧体２２１の内圧Ｐとなり、この加圧体２２１に押圧された箇所は全て内圧Ｐで押圧される。したがって、粘着テープ１００は吐出ヘッド３４の吐出面（下面）に均一に押し付けられ、貼着されることになる。
【００６９】
このようにして吐出ヘッド３４の下面に粘着テープ１００を貼着することにより、吐出ヘッド３４のノズル１８の吐出側開口部１８ｂを覆うことができる。これにより、吐出ヘッド３４内のインクは、特にノズル１８のノズル孔部１８ａ内に位置しているメニスカスＭ部分において固化し、ノズル詰まりが起こるといったことが抑えられる。ただし、このように単に粘着テープ１００を貼着しただけでは、図７（ａ）に示したようにインクのメニスカスＭ部分と粘着テープ１００の貼着面（粘着層１０２の外面）との間に空気が残留することから、特に非使用状態が長期間続く場合には、これだけではノズル詰まりが起こるおそれがある。
【００７０】
すなわち、吐出ヘッド３４内のインクは、前記したようにノズル１８のノズル孔部１８ａ内においてメニスカスＭを形成し、このメニスカスＭ部分が外気に接することでインク中の溶媒を気化させる。このメニスカスＭ部分は、非吐出時には吐出ヘッド３４のノズル形成面より奥側に引っ込んだ位置に形成されることから、単に粘着テープ１００を吐出ヘッド３４のノズル形成面に貼着するだけでは、この粘着テープ１００の貼着面と前記メニスカスＭ部分との間に空気が残ってしまう。すると、メニスカスＭ部分からインク中の溶媒が気化してその蒸気が空気層に移行し、結果としてメニスカスＭ部分が僅かながらも固化し、ノズル詰まりが生じてしまうおそれがあるのである。
【００７１】
そこで、このようなノズル詰まりをより確実に防止するためには、特に粘着テープ１００として、その粘着層１０２が使用するインクと反応せず、したがって該インクの性状、例えばその組成や分散性、溶解性を変化させない材料からなっている場合、粘着テープ１００でノズル１８の吐出側開口部１８ｂを覆った状態のもとで、該ノズル１８のノズル孔部１８ａからインクを押し出し、図７（ｂ）に示すようにノズル１８内と前記粘着テープ１００の貼着面との間をインクＩで満たすのが好ましい。
【００７２】
ノズル１８からのインクＩの押し出しについては、吐出ヘッド３４によるノズル１８からの通常のインク吐出動作、すなわち圧電素子（アクチュエーター）２０への吐出波形の印加によって行うことができる。このような通常のインク吐出動作を用いるようにすれば、特にインクジェット装置３０としてその装置構成を変えることなく、ノズル１８内と粘着テープ１００の貼着面との間をインクで容易に満たすことができ、これによりノズル詰まりを確実に防止することができる。
【００７３】
また、ノズル１８からのインクＩの押し出しを、該ノズル１８にインクを供給するインク供給系を加圧することにより、行うようにしてもよい。ノズル１８にインクを供給するインク供給系として、例えばインクＩの流路となるチューブを加圧したり、インクＩを貯留するタンクやカートリッジの位置を上昇させることで水頭値を高くすることにより、ノズル１８からインクＩを押し出すことができる。このようにしても、ノズル１８内と粘着テープ１００の貼着面との間をインクＩで満たし、ノズル詰まりを確実に防止することができる。
【００７４】
ここで、このようにして吐出ヘッド３４の下面に粘着テープ１００を貼着し、吐出ヘッド３４のノズル１８を覆った状態ノズル１８内と粘着テープ１００の貼着面との間をインクＩで満たしておくと、粘着テープ１００とインクＩとは直接接触することになる。しかし、粘着テープ１００として、前述したように使用するインクＩに対して耐性を有し、該インクＩと反応せず該インクＩの性状を変化させない材料からなっているテープを用いているので、非使用時においてインクＩが変質してしまうことを防止することができる。また、テープ基材１０１がインクＩ中の溶媒蒸気に対してガスバリア性を有しているので、インクＩ中の溶媒が気化してその蒸気がテープ基材１０１を透過し、インクＩが固化するといったことも防止することができる。
【００７５】
このようにして吐出ヘッド３４のノズル詰まりを防止し、その状態で長期間保持した後、再度使用する際には、粘着テープ１００の上方に待機させておいた剥離ローラ２０４を下降させ、これで粘着テープ１００の上面を押圧することにより、吐出ヘッド３４から粘着テープ１００を剥離する。なお、貼り付け用ローラ２０３については、粘着テープ１００を剥離する前に下降させ、粘着テープ１００から離間させておく。
【００７６】
このようにして吐出ヘッド３４から粘着テープ１００を剥離したら、吐出ヘッド３４または貼着装置２２０を移動させて貼着装置２２０を吐出ヘッド３４の使用時における可動範囲から退避させ、保守状態を終了する。そして、吐出ヘッド３４に対し吸引手段（図示せず）によりそのノズル１８からインクを吸引し、また吐出面をワイピングして粘着層１０２の残留物等を除去し、さらにフラッシングや微振動等の予備動作を行うことなどにより、使用状態にする。
【００７７】
このようにして使用状態にすると、吐出ヘッド３４は、前述したように粘着テープ１００の粘着層１０２によってノズル１８のノズル孔部１８ａが直接塞がれず、したがって粘着層１０２の材料の一部がノズル孔部１８ａの開口縁部に残っていないので、その後の吐出性能が損なわれるといったことが確実に防止されている。
【００７８】
なお、吐出ヘッド３４の下面に粘着テープ１００を貼着する場合、吐出ヘッド３４の数やその配置等に応じて、貼着装置２２０の構成やその数、さらには粘着テープ１００の幅などを適宜に変更することができる。
【００７９】
例えば、図８（ａ）に示すように一つのキャリッジ４２に対して１２個（６対）の吐出ヘッド３４が設けられており、吐出ヘッド３４が６個（３対）一列に配列され、これら６個の吐出ヘッド３４からなる列が２列直線状に配置されている多連ヘッド構成の場合には、前記の貼着装置２２０を二つ用い、各列毎に６個の吐出ヘッド３４を一つの連続した粘着テープ１００で覆うようにすることができる。または、図８（ｂ）に示すように各列間において斜め方向に隣り合う２対の吐出ヘッド３４を、一つの貼着装置２２０を用いてその粘着テープ１００で覆い、同様に他の２対の吐出ヘッド３４についても、それぞれ一つの貼着装置２２０を用いてその粘着テープ１００で覆い、したがって計三つの貼着装置２２０を用いて１２個（６対）の吐出ヘッド３４の吐出面を覆うようにしてもよい。
【００８０】
また、図８（ａ）、（ｂ）に示したような吐出ヘッド３４の配列の場合にも、粘着テープ１００として特に幅の広いものを用いることにより、一つの貼着装置２２０で全ての吐出ヘッド３４の吐出面を、連続した粘着テープ１００によって一括して覆うようにしてもよい。
【００８１】
このような多連ヘッド構成の場合に、特にこの貼着装置２２０にあっては、対象となる複数の吐出ヘッド３４の全ての吐出面を、粘着テープ１００によってほぼ同時に一括して覆い、これら吐出面に粘着テープ１００をほぼ同時に貼着することができる。したがって、貼着処理が容易になる。また、加圧体２２１はその内圧Ｐが一定であることから、粘着テープ１００の全面をほぼ同じ押し付け圧で貼着することができる。
【００８２】
なお、多連ヘッド構成のインクジェット装置に対応する貼着装置としては、供給リール２０１と巻取リール２０２とを複数ずつ備えてこれらの間に複数の粘着テープ１００を張架させ、これら複数の粘着テープ１００を加圧体２２１によってほぼ同時に一括して押圧するように構成してもよい。また、粘着テープ１００として特に幅の広いものを用い、この粘着テープ１００で複数の吐出ヘッド３４の全ての吐出面を覆うようにしてもよい。その場合にも、この幅広の粘着テープ１００のほぼ全面を加圧体によって一括して押圧することができる。したがって粘着テープ１００の貼着処理を容易にかつ迅速に行うことができる。
【００８３】
なお、前記貼着装置２２０については、図１に示したインクジェット装置３０における吐出ヘッド３４への粘着テープ１００の貼着に適用した場合を例にして説明したが、図３に示したインクジェットプリンタ（インクジェット装置）６００の吐出ヘッド５０への粘着テープ１００の貼着にも適用できるのはもちろんである。
【００８４】
なお、本発明は前記実施形態に限定されることなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において種々の変更が可能である。
【図面の簡単な説明】
【００８５】
【図１】本発明に係るインクジェット装置の斜面図である。
【図２】（ａ）は、吐出ヘッドの斜視図、（ｂ）は、（ａ）の要部側断面図である。
【図３】本発明に係るインクジェットプリンタの斜面図である。
【図４】本発明に係る貼着装置の一例を示す図である。
【図５】（ａ）〜（ｃ）は粘着テープの概略構成を示す側断面図である。
【図６】（ａ）、（ｂ）は吐出ヘッドへの粘着テープの貼着の説明図である。
【図７】（ａ）、（ｂ）は粘着テープを貼着した後の吐出ヘッドの説明図である。
【図８】（ａ）、（ｂ）は粘着テープの貼着方法を説明する模式図である。
【符号の説明】
【００８６】
１２…ノズルプレート、１２ａ…クレータメッキ、１５…キャビティ、１８…ノズル、１８ａ…ノズル孔部、１８ｂ…吐出側開口部、３０…インクジェット装置、３４、５０、３００…吐出ヘッド、１００…粘着テープ、１０１…テープ基材、１０２…粘着層、２２０…貼着装置（テープ貼着手段）、２２１…加圧体、２２２…流体給排手段、Ｉ…インク
【特許請求の範囲】
【請求項１】
インクを吐出するためのノズルを有した吐出ヘッドを備えてなるインクジェット装置において、
前記ノズルを覆って粘着テープを前記吐出ヘッドのノズル形成面に貼着するテープ貼着手段を有し、
前記テープ貼着手段は、風船状の加圧体と、該加圧体内への流体の供給及び該流体の排出を行う流体給排手段とを備え、前記加圧体に流体を供給して膨らませ、膨らませた前記加圧体の内圧で前記粘着テープを前記吐出ヘッドのノズル形成面に押し付けることで該粘着テープを貼着するよう構成されていることを特徴とするインクジェット装置。
【請求項２】
前記ノズルが、インクのメニスカスを位置させるノズル孔部と、該ノズル孔部より吐出側において、ノズル孔部より大きな開口からなる吐出側開口部とから構成されており、
前記粘着テープを前記吐出ヘッドのノズル形成面に押し付ける際の前記加圧体の内圧Ｐが、下記式で表される圧に調整されていることを特徴とする請求項１記載のインクジェット装置。
Ｐ＜Ｙｄ／ｔ …式
（ただし、ｄは前記吐出側開口部の厚さ、Ｙは粘着テープの粘着層のヤング率、ｔは粘着層の厚さであって前記ｄより大である）
【請求項１】
インクを吐出するためのノズルを有した吐出ヘッドを備えてなるインクジェット装置において、
前記ノズルを覆って粘着テープを前記吐出ヘッドのノズル形成面に貼着するテープ貼着手段を有し、
前記テープ貼着手段は、風船状の加圧体と、該加圧体内への流体の供給及び該流体の排出を行う流体給排手段とを備え、前記加圧体に流体を供給して膨らませ、膨らませた前記加圧体の内圧で前記粘着テープを前記吐出ヘッドのノズル形成面に押し付けることで該粘着テープを貼着するよう構成されていることを特徴とするインクジェット装置。
【請求項２】
前記ノズルが、インクのメニスカスを位置させるノズル孔部と、該ノズル孔部より吐出側において、ノズル孔部より大きな開口からなる吐出側開口部とから構成されており、
前記粘着テープを前記吐出ヘッドのノズル形成面に押し付ける際の前記加圧体の内圧Ｐが、下記式で表される圧に調整されていることを特徴とする請求項１記載のインクジェット装置。
Ｐ＜Ｙｄ／ｔ …式
（ただし、ｄは前記吐出側開口部の厚さ、Ｙは粘着テープの粘着層のヤング率、ｔは粘着層の厚さであって前記ｄより大である）
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【公開番号】特開２００７−３２６２９３（Ｐ２００７−３２６２９３Ａ）
【公開日】平成１９年１２月２０日（２００７．１２．２０）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００６−１５９３８４（Ｐ２００６−１５９３８４）
【出願日】平成１８年６月８日（２００６．６．８）
【出願人】（０００００２３６９）セイコーエプソン株式会社 (51,324)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成１９年１２月２０日（２００７．１２．２０）
【国際特許分類】
【出願日】平成１８年６月８日（２００６．６．８）
【出願人】（０００００２３６９）セイコーエプソン株式会社 (51,324)
【Ｆターム（参考）】
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