ガスセンサ
【課題】特定の取付穴に取り付け可能で、かつ、応答性を高くできるガスセンサを提供すること。
【解決手段】ガスセンサ１００は、感ガス膜１１１を有するガスセンサ素子１１０と、ガスセンサ素子１１０を支持するセンサ支持体１２０と、これらを収容するケース１５０と、ケース１５０に設けられたガス導入口１５１を閉塞するフィルタ膜１６０とを備える。また、ガスセンサ１００は、外部の取付穴ＴＴＣに取り付けられるセンサ取付部１８０であって、環境気体を導入するための開口部１８１を有するセンサ取付部１８０を備える。更に、ガスセンサ１００は、このセンサ取付部１８０の開口部１８１からフィルタ膜１６０に至る気体誘導路ＹＲを構成する気体誘導部１９０を備える。
【解決手段】ガスセンサ１００は、感ガス膜１１１を有するガスセンサ素子１１０と、ガスセンサ素子１１０を支持するセンサ支持体１２０と、これらを収容するケース１５０と、ケース１５０に設けられたガス導入口１５１を閉塞するフィルタ膜１６０とを備える。また、ガスセンサ１００は、外部の取付穴ＴＴＣに取り付けられるセンサ取付部１８０であって、環境気体を導入するための開口部１８１を有するセンサ取付部１８０を備える。更に、ガスセンサ１００は、このセンサ取付部１８０の開口部１８１からフィルタ膜１６０に至る気体誘導路ＹＲを構成する気体誘導部１９０を備える。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、環境気体中の特定ガスの濃度を検知するガスセンサ素子を有するガスセンサに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、環境気体中の特定ガス成分の濃度を検出するガスセンサ素子を有するガスセンサが知られている。例えば、特許文献１〜３にこのようなガスセンサが開示されている。これらのガスセンサは、自動車に装着され、外気中あるいは内気中に存在する特定ガス成分の濃度を検知し、車内に外気を取り入れる外気ダクトと、内気を循環させる内気ダクトとを切り替えるフラップの自動制御などに利用される。
【０００３】
【特許文献１】特開平９−１８４８１７号公報
【特許文献２】特開２００２−３１８２１６号公報
【特許文献３】特開２００６−５８０９８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本発明者は、上記のようなガスセンサとして、図４に概略を示すガスセンサ９００を発案した。このガスセンサ９００は、ガスセンサ素子９１０、センサ支持体９２０、配線基板９３０、ピン９４０、ケース９５０、フィルタ膜９６０，コネクタ部９７０等から構成されている。
ガスセンサ素子９１０は、貫通孔を有するＳｉ基板と、この貫通孔の一端側の開口を塞ぐようにＳｉ基板上に形成された薄膜状の支持膜とを有するダイアフラムの表面に、感ガス膜９１１を形成した構成をなしている。このガスセンサ素子９１０は、センサ支持体９２０のキャビティ（凹部）９２１内に載置されている。ガスセンサ素子９１０を搭載したセンサ支持体９２０は、板状をなす配線基板９３０の所定位置に固定されている。また、この配線基板９３０には、入出力端子としてのピン９４０，９４０，…が複数立設されている。そして、これらは、外形が直方体形状をなすケース９５０内に収容されている。
【０００５】
ケース９５０の表面部９５３（図４中、上方）には、ガス（環境気体）をケース外部からケース内部に導入するガス導入口９５１が形成されている。このガス導入口９５１は、通気性及び撥水性を有するフィルタ膜９６０により閉塞されている。また、ガスセンサ９００には、ケース９５０から突出し、外部との接続に利用されるコネクタ部９７０が設けられている。このコネクタ部９７０の内側には、上記のピン９４０，９４０，…が配置されている。
【０００６】
ここで、このガスセンサ９００を、図５に示すような形態をなす外部の取付部ＴＴの取付穴ＴＴＣに取り付ける場合を考える。なお、矢印は、ガス（環境気体）の流通方向を示している。上記ガスセンサ９００の形態と取付部ＴＴの形態を考慮すると、図６に示すように、ガスセンサ９００と取付部ＴＴとが互いに干渉してしまい、ガスセンサ９００を取付部ＴＴ（取付穴ＴＴＣ）に取り付けることができない。仮に、コネクタ部９７０の突出方向を反対側（図６中、右側）に設計変更したとしても、やはりガスセンサ９００と取付部ＴＴとが互いに干渉してしまい、取り付けが不可能である。
【０００７】
そこで、本発明者は、次に図７に示す形態のガスセンサ８００を発案した。このガスセンサ８００も、上記ガスセンサ９００と同様に、ガスセンサ素子８１０、センサ支持体８２０、配線基板８３０、ピン８４０、ケース８５０、フィルタ膜８６０、コネクタ部８７０等から構成されている。しかしながら、ケース８５０の形態やフィルタ膜８６０の取り付け位置などが、上記ガスセンサ９００と異なる。上記ガスセンサ９００では、ケース９５０の表面部９５３にガス導入口９５１を設けていたのに対し、このガスセンサ８００では、ケース８５０の側面部８５５にガス導入口８５１を設けている。そしてこれに伴い、ガス導入口８５１を閉塞するフィルタ膜８６０も、ケース８５０の側面部８５５に取り付けられている。
【０００８】
このようなガスセンサ８００は、図７に示すように、取付部ＴＴの取付穴ＴＴＣに取り付けることが可能であり、このように取り付けることにより、ガス（環境気体）中の特定ガスの濃度を検知することができる。
しかしながら、このガスセンサ８００では、上記ガスセンサ９００に比して、フィルタ膜８６０からガスセンサ素子８１０の感ガス膜８１１までの距離がどうしても長くなる。上記ガスセンサ９００のように、フィルタ膜９６０と感ガス膜９１１とが対向して平行に配置されていないからである。このため、フィルタ膜８６０を通過したガス（環境気体）が感ガス膜８１１まで拡散するのに時間が掛かるので、ガスセンサ８００の応答性が低くなりがちである。
【０００９】
本発明は、かかる現状に鑑みてなされたものであって、特定の取付穴に取り付け可能で、かつ、応答性を高くできるガスセンサを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
その解決手段は、環境気体中の特定ガスの濃度を検知する感ガス膜を有するガスセンサ素子と、配線基板と、前記ガスセンサ素子と前記配線基板との間に介在して、前記ガスセンサ素子を支持するセンサ支持体と、前記ガスセンサ素子、前記配線基板及び前記センサ支持体を収容するケースであって、前記環境気体をケース外部からケース内部に導入するガス導入口を有するケースと、前記ガス導入口を閉塞するフィルタ膜と、を備えるガスセンサであって、外部の取付穴に取り付けられるセンサ取付部であって、前記取付穴から前記環境気体を導入するための開口部を有するセンサ取付部を備え、前記フィルタ膜は、その厚み方向が前記センサ取付部の前記開口部の軸線方向と直交する姿勢に配置されてなり、前記ガスセンサ素子の前記感ガス膜が、前記フィルタ膜に対向して平行に配置されてなり、かつ、前記環境気体が前記フィルタ膜を通過してから前記感ガス膜に達するまでの通気最短距離が、前記感ガス膜の厚み方向に平面視したときの、前記感ガス膜の外周縁から前記センサ支持体の外周縁までの周縁最短距離よりも小さくされてなり、前記センサ取付部の前記開口部から前記フィルタ膜に至る気体誘導路を構成する気体誘導部を備えるガスセンサである。
【００１１】
本発明によれば、ガスセンサ素子の感ガス膜が、フィルタ膜に対向して平行に配置されており、かつ、環境気体がフィルタ膜を通過してから感ガス膜に達するまでの通気最短距離が、感ガス膜の厚み方向に平面視したときの、感ガス膜の外周縁からセンサ支持体の外周縁までの周縁最短距離よりも小さくされている。つまり、フィルタ膜から感ガス膜までの距離（通気最短距離）が非常に短くされている。このため、環境気体は、フィルタ膜通過後、拡散してすぐに感ガス膜に至るので、ガスセンサの応答性を高くできる。
その上、本発明のガスセンサは、センサ取付部の開口部からフィルタ膜に至る気体誘導路を構成する気体誘導部を備えるので、外部の取付穴から導入された環境気体を、センサ取付部の開口部からフィルタ膜まで速やかに導くことができる。従って、ガスセンサの応答性を更に向上させることができる。
【００１２】
なお、「ガスセンサ素子」は、上記のように感ガス膜を有するものであればよく、その用途などに応じて、その形態や構造、大きさ、材質等を適宜変更できる。例えば、貫通孔を有するＳｉ基板と、この貫通孔の一端側の開口を塞ぐようにＳｉ基板上に形成された薄膜状の支持膜とを有するダイアフラムの表面に、感ガス膜を形成したものなどが挙げられる。また、ガスセンサ素子の内部にヒータなどを形成してもよい。
「センサ支持体」は、上記のようにガスセンサ素子を支持するものであればよく、ガスセンサ素子の形状等を考慮して、その形態や大きさ、材質等を適宜変更できる。例えば、外形が直方体形状をなし、ガスセンサ素子を収容するキャビティ（凹部）が形成されたものや（金属）管パッケージなどが挙げられる。更に、そのガスセンサ素子を収容したキャビティ等を、通気孔を有する保護カバーなどで覆ってもよい。
【００１３】
「ケース」は、上記の要件を満たすものであればよく、外部の取付部の形状などを考慮して、その形態や大きさ、材質等は適宜変更できる。また、ケースに設けるガス導入口も、通気性等を考慮して、その形状や大きさを適宜変更できる。
「フィルタ膜」は、ケースに設けられたガス導入口を閉塞するものであればよく、その通気性や撥水性、防塵性等を考慮して、その構造や材質、大きさ（厚み）等を適宜変更できる。
「センサ取付部」は、上記の要件を満たすものであればよく、外部の取付穴の形状等を考慮して、その形態や大きさ等を適宜変更できる。例えば、センサ取付部をクリップ式により取付穴に取り付ける形態とすることができる。
【００１４】
「通気最短距離」とは、上記のように、環境気体がフィルタ膜を通過してから感ガス膜に達するまでの最短距離を指す。フィルタ膜と感ガス膜とは対向して平行に配置されているので、ガスセンサ素子が保護カバー等で覆われていない場合は、フィルタ膜と感ガス膜との間隙が通気最短距離に相当する。一方、ガスセンサ素子が保護カバー等で覆われている場合には、フィルタ膜から保護カバー等の通気孔を経由して感ガス膜に至るまでの最短の距離が通気最短距離に相当する。
「気体誘導部」は、上記の要件を満たすものであればよく、気体誘導路の形態等を考慮して、その形態や材質等を適宜変更できる。また、気体誘導部は、ケースと一体的に成形されたものでも、ケースと別体に成形されたものでもよい。
【００１５】
更に、上記のガスセンサであって、前記配線基板は、入出力端子としてのピンが立設されてなり、前記ケースから突出する共に、前記ピンを内側に配置し、外部との接続に利用されるコネクタ部を備え、前記コネクタ部と気体誘導部とが、前記配線基板に対して同じ側に設けられてなるガスセンサとすると良い。
【００１６】
本発明によれば、コネクタ部と気体誘導路とが、配線基板に対して同じ側に設けられている。このようにすれば、コネクタ部と気体誘導路とを配線基板に対して互いに異なる側に配設するよりも、ガスセンサを低背化できる。従って、外部の取付部のスペースが小さくても、容易に取り付けやすい。
【００１７】
更に、上記のいずれかに記載のガスセンサであって、前記気体誘導部は、その内壁面のうち少なくとも一部に、前記フィルタ膜に近づく方向に滑らかに曲げられてなる屈曲部を有するガスセンサとすると良い。
【００１８】
本発明によれば、気体誘導部は、その内壁面の少なくとも一部に、フィルタ膜に近づく方向に滑らかに曲げられた屈曲部を有する。このような屈曲部を設けることで、環境気体が屈曲部に沿ってスムーズに移動できるので、環境気体をフィルタ膜にスムーズに導入できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
以下、本発明の実施の形態を、図面を参照しつつ説明する。図１に本実施形態に係るガスセンサ１００の概略を示す。また、図２にこのガスセンサ１００を外部の取付穴ＴＴＣに取り付けた状態を示す。更に、図３にガスセンサ１００のうちのガスセンサ素子１１０近傍の拡大図を示す。このガスセンサ１００は、ガスセンサ素子１１０、センサ支持体１２０、配線基板１３０、ピン１４０、ケース１５０、フィルタ膜１６０、コネクタ部１７０、センサ取付部１８０、気体誘導部１９０等から構成されている。
【００２０】
このうちガスセンサ素子１１０は、図３に示すように、貫通孔１１３ｋを有するＳｉ基板１１３と、この貫通孔１１３ｋの一端側の開口（図３中、上側の開口）を塞ぐようにＳｉ基板１１３上に形成された薄膜状の支持膜１１５とを有するダイアフラムの表面に、感ガス膜１１１を形成した構成をなしている。感ガス膜１１１の表面には、触媒としてＡｕ粒子が分散して形成されており、ガス（環境気体）中の特定ガス（具体的には、ＮＯｘ）の濃度変化に応じて感ガス膜１１１の抵抗値が変化する性質を有する。また、ガスセンサ素子１１０には、感ガス膜１１１と電気的に接続される一対の検知電極（図示しない）や、感ガス膜１１１を活性化させるためのヒータ（図示しない）などが設けられている。また、ガスセンサ素子１１０の外部には、上記の検知電極やヒータと電気的に接続し、次述するセンサ支持体１２０との電気的な接続に利用される複数の端子パッド（図示しない）などが形成されている。
【００２１】
センサ支持体１２０は、直方体形状をなし、表面１２０ａ側（図１〜図３中、上方の面側）に開口する大きなキャビティ（凹部）１２１が設けられている（図３参照）。センサ支持体１２０は、複数のセラミック層が積層されてなり、その内部や外部には、配線や端子パッド（図示しない）が複数形成されている。センサ支持体１２０のキャビティ１２１内には、上記ガスセンサ素子１１０が収容され、ガスセンサ素子１１０の端子パッドとセンサ支持体の端子パッドとが、図示しないボンディングワイヤにより電気的に接続されている。そして、このキャビティ１２１上（センサ支持体１２０の表面１２０ａ上）には、キャビティ１２１の外部と内部の間を連通させる複数の通気孔１２５ｃを有する金属製の保護カバー１２５が取り付けられている。
【００２２】
配線基板１３０は、表面１３０ａと裏面１３０ｂとを有する板状をなす（図１参照）。この配線基板１３０には、その内部や表面１３０ａ及び裏面１３０ｂに、図示しない配線や端子パッドが複数設けられている。そして、配線基板１３０の表面１３０ａ上の所定位置には、ガスセンサ素子１１０を収容したセンサ支持体１２０が固着され、センサ支持体１２０の端子パッドと配線基板１３０の端子パッドとが電気的に接続されている。また、この配線基板１３０の所定位置には、入出力端子としてのピン１４０，１４０，…が複数立設されている。
【００２３】
ケース１５０は、表面部１５０ａと裏面部１５０ｂと４つの側面部１５０ｃを有し、外形が直方体形状をなす（図１参照）。ケース１５０内には、上述のガスセンサ素子１１０、センサ支持体１２０、配線基板１３０等が収容されている。ケース１５０の表面部１５０ａの所定位置には、ガス（環境気体）をケース外部からケース内部に導入するためのガス導入口１５１が形成されている。このガス導入口１５１は、ケース１５０に固着されたフィルタ膜１６０により閉塞されている（図３も参照）。これにより、ガスをケース内部に導入する一方、水や異物がケース内部に進入するのを防止する。
【００２４】
このフィルタ膜１６０は、ガスセンサ素子１１０の感ガス膜１１１と対向して平行に配置されている（図３参照）。また、このフィルタ膜１６０は、図１に示すように、その厚み方向（図中、上下方向）が、後述するセンサ取付部１８０の開口部１８１の軸線ＡＸ方向と直交する姿勢に配置されている。
そして、ガスがフィルタ膜１６０を通過してから、保護カバー１２５の通気孔１２５ｃを通じて感ガス膜１１１に達するまでの通気最短距離ＴＫは、１．８ｍｍとされている。一方、感ガス膜１１１の厚み方向（図３中、上下方向）に平面視したときの、感ガス膜１１１の外周縁１１１ｓからセンサ支持体１２０の外周縁１２０ｓまでの周縁最短距離ＳＫは、２．０ｍｍとされている。従って、通気最短距離ＴＫは、周縁最短距離ＳＫよりも小さくされている。
【００２５】
また、ガスセンサ１００には、ケース１５０から筒状に突出し、外部との接続に利用されるコネクタ部１７０がケース１５０と一体的に形成されている。このコネクタ部１７０の内側には、上記のピン１４０，１４０，…が配置されている。このコネクタ部１７０は、配線基板１３０の表面１３０ａ側に設けられている。
【００２６】
ガスセンサ１００は、外部の取付部ＴＴの取付穴ＴＴＣにクリップ式により取り付けられる筒状のセンサ取付部１８０を有する（図１及び図２参照）。このセンサ取付部１８０は、外部の取付穴ＴＴＣからガスを導入するための開口部１８１を有する。具体的には、このセンサ取付部１８０の先端（図中、左側）の上端には、上方に突出する上側突起部１８３が設けられ、センサ取付部１８０の先端の下端には、下方に突出する下側突起部１８４が設けられている。また、センサ取付部１８０の基端（図中、右側）には、径方向外側に拡がる円盤状延出部１８５が設けられている。更に、この円盤状延出部１８５の上端には、上方に延びる上方延出部１８６が設けられ、この上方延出部１８６の上端には、先端側（図中、左側）に向かって突出する係合部１８７が設けられている。
このようなセンサ取付部１８０を取付部ＴＴの取付穴ＴＴＣに対して回り止めすると、図２に示すように、センサ取付部１８０の上側突起部１８３及び下側突起部１８４と円盤状延出部１８５及び上方延出部１８６との間に、取付部ＴＴのうち取付穴ＴＴＣの周縁部分が狭持される。また、センサ取付部１８０の係合部１８７が、取付部ＴＴの所定位置に設けられた凹部ＴＴＨに係合する。これにより、ガスセンサ１００が取付部ＴＴに固定される。
【００２７】
また、ガスセンサ１００は、図１に示すように、センサ取付部１８０の開口部１８１からフィルタ膜１６０に至る気体誘導路ＹＲを構成する気体誘導部１９０を有する。この気体誘導部１９０は、ケース１５０の表面部１５０ａの一部と、この上に配設された半円筒状のトンネル部１９１とから構成されている。このトンネル部１９１は、ケース１５０及びセンサ取付部１８０と一体的に形成されている。
【００２８】
トンネル部１９１は、ケース１５０の表面部１５０ａに沿って（図１及び図２中、左右方向に）設けられている。そして、トンネル部１９１の内壁面１９１ｎのうち、センサ取付部１８０と反対側の端部は、フィルタ膜１６０に近づく方向に滑らかに曲げられてなる屈曲部１９３とされている。このような屈曲部１９３を設けることで、ガスが屈曲部１９３に沿ってスムーズに移動できるので、ガスをフィルタ膜１６０までスムーズに導入できる。
【００２９】
気体誘導部１９０は、配線基板１３０の表面１３０ａ側に形成されている。従って、気体誘導部１９０と前述のコネクタ部１７０とは、配線基板１３０に対して同じ側に設けられていることになる。このような形態とすることにより、コネクタ部１７０と気体誘導路１９０とを配線基板１３０に対して互いに異なる側に配設するよりも、ガスセンサ１００を低背化できる。
【００３０】
以上で説明したように、本実施形態のガスセンサ１００は、ガスセンサ素子１１０の感ガス膜１１１（詳細には感ガス膜１１１の表面）が、フィルタ膜１６０（詳細はフィルタ膜１６０の裏面）に対向して平行に配置されており、かつ、ガスがフィルタ膜１６０を通過してから感ガス膜１１１に達するまでの通気最短距離ＴＫが、感ガス膜１１１の厚み方向に平面視したときの、感ガス膜１１１の外周縁１１１ｓからセンサ支持体１２０の外周縁１２０ｓまでの周縁最短距離ＳＫよりも小さくされている。つまり、フィルタ膜１６０から感ガス膜１１１までの距離（通気最短距離ＴＫ）が非常に短くされている。このため、ガスは、フィルタ膜１６０を通過した後、拡散してすぐに感ガス膜１１１に至るので、ガスセンサ１００の応答性を高くできる。
【００３１】
その上、ガスセンサ１００は、センサ取付部１８０の開口部１８１からフィルタ膜１６０に至る気体誘導路ＹＲを構成する気体誘導部１９０を備えるので、外部の取付穴ＴＴＣから導入されたガスを、センサ取付部１８０の開口部１８１からフィルタ膜１６０まで速やかに導くことができる。従って、ガスセンサ１００の応答性を更に向上させることができる。
【００３２】
以上において、本発明を実施形態に即して説明したが、本発明は上述の実施形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で、適宜変更して適用できることはいうまでもない。
例えば、上記実施形態では、センサ支持体１２０に１つのガスセンサ素子１１０を収容した形態を示したが、センサ支持体に複数のガスセンサ素子を収容するようにしてもよい。なお、この場合には、各ガスセンサ素子を対象としたときに、上記通気最短距離ＴＫが上記周縁最短距離ＳＫよりもそれぞれ小さくなる形態でガスセンサを構成する必要がある。
また、上記実施形態では、ガスセンサ素子１１０として、ＮＯｘの濃度変化に応じて抵抗値が変化する感ガス膜１１１を有するものを例示したが、感ガス膜はこれに限定されず、ＨＣ，ＣＯ等の還元性ガスの濃度変化に応じて抵抗値が変化する感ガス膜を設けるようにしてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００３３】
【図１】実施形態に係るガスセンサの概略を示す断面図である。
【図２】実施形態に係るガスセンサを外部の取付穴に取り付けた状態を示す説明図である。
【図３】実施形態に係るガスセンサのうち、ガスセンサ素子近傍の概略を示す部分断面図である。
【図４】参考形態に係るガスセンサの概略を示す断面図である。
【図５】参考形態に係り、外部の取付穴等を示す説明図である。
【図６】参考形態に係るガスセンサを外部の取付穴に取り付ける場合を説明する説明図である。
【図７】参考形態に係る他のガスセンサを外部の取付穴に取り付けた状態を示す説明図である。
【符号の説明】
【００３４】
１００ ガスセンサ
１１０ ガスセンサ素子
１１１ 感ガス膜
１１１ｓ 周縁
１２０ センサ支持体
１２０ｓ 周縁
１３０ 配線基板
１４０ ピン
１５０ ケース
１５１ ガス導入口
１６０ フィルタ膜
１７０ コネクタ部
１８０ センサ取付部
１８１ 開口部
１９０ 気体誘導部
１９１ トンネル部
１９１ｎ 内壁面
１９３ 屈曲部
ＡＸ 軸線
ＴＫ 通気最短距離
ＳＫ 周縁最短距離
ＹＲ 気体誘導路
【技術分野】
【０００１】
本発明は、環境気体中の特定ガスの濃度を検知するガスセンサ素子を有するガスセンサに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、環境気体中の特定ガス成分の濃度を検出するガスセンサ素子を有するガスセンサが知られている。例えば、特許文献１〜３にこのようなガスセンサが開示されている。これらのガスセンサは、自動車に装着され、外気中あるいは内気中に存在する特定ガス成分の濃度を検知し、車内に外気を取り入れる外気ダクトと、内気を循環させる内気ダクトとを切り替えるフラップの自動制御などに利用される。
【０００３】
【特許文献１】特開平９−１８４８１７号公報
【特許文献２】特開２００２−３１８２１６号公報
【特許文献３】特開２００６−５８０９８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本発明者は、上記のようなガスセンサとして、図４に概略を示すガスセンサ９００を発案した。このガスセンサ９００は、ガスセンサ素子９１０、センサ支持体９２０、配線基板９３０、ピン９４０、ケース９５０、フィルタ膜９６０，コネクタ部９７０等から構成されている。
ガスセンサ素子９１０は、貫通孔を有するＳｉ基板と、この貫通孔の一端側の開口を塞ぐようにＳｉ基板上に形成された薄膜状の支持膜とを有するダイアフラムの表面に、感ガス膜９１１を形成した構成をなしている。このガスセンサ素子９１０は、センサ支持体９２０のキャビティ（凹部）９２１内に載置されている。ガスセンサ素子９１０を搭載したセンサ支持体９２０は、板状をなす配線基板９３０の所定位置に固定されている。また、この配線基板９３０には、入出力端子としてのピン９４０，９４０，…が複数立設されている。そして、これらは、外形が直方体形状をなすケース９５０内に収容されている。
【０００５】
ケース９５０の表面部９５３（図４中、上方）には、ガス（環境気体）をケース外部からケース内部に導入するガス導入口９５１が形成されている。このガス導入口９５１は、通気性及び撥水性を有するフィルタ膜９６０により閉塞されている。また、ガスセンサ９００には、ケース９５０から突出し、外部との接続に利用されるコネクタ部９７０が設けられている。このコネクタ部９７０の内側には、上記のピン９４０，９４０，…が配置されている。
【０００６】
ここで、このガスセンサ９００を、図５に示すような形態をなす外部の取付部ＴＴの取付穴ＴＴＣに取り付ける場合を考える。なお、矢印は、ガス（環境気体）の流通方向を示している。上記ガスセンサ９００の形態と取付部ＴＴの形態を考慮すると、図６に示すように、ガスセンサ９００と取付部ＴＴとが互いに干渉してしまい、ガスセンサ９００を取付部ＴＴ（取付穴ＴＴＣ）に取り付けることができない。仮に、コネクタ部９７０の突出方向を反対側（図６中、右側）に設計変更したとしても、やはりガスセンサ９００と取付部ＴＴとが互いに干渉してしまい、取り付けが不可能である。
【０００７】
そこで、本発明者は、次に図７に示す形態のガスセンサ８００を発案した。このガスセンサ８００も、上記ガスセンサ９００と同様に、ガスセンサ素子８１０、センサ支持体８２０、配線基板８３０、ピン８４０、ケース８５０、フィルタ膜８６０、コネクタ部８７０等から構成されている。しかしながら、ケース８５０の形態やフィルタ膜８６０の取り付け位置などが、上記ガスセンサ９００と異なる。上記ガスセンサ９００では、ケース９５０の表面部９５３にガス導入口９５１を設けていたのに対し、このガスセンサ８００では、ケース８５０の側面部８５５にガス導入口８５１を設けている。そしてこれに伴い、ガス導入口８５１を閉塞するフィルタ膜８６０も、ケース８５０の側面部８５５に取り付けられている。
【０００８】
このようなガスセンサ８００は、図７に示すように、取付部ＴＴの取付穴ＴＴＣに取り付けることが可能であり、このように取り付けることにより、ガス（環境気体）中の特定ガスの濃度を検知することができる。
しかしながら、このガスセンサ８００では、上記ガスセンサ９００に比して、フィルタ膜８６０からガスセンサ素子８１０の感ガス膜８１１までの距離がどうしても長くなる。上記ガスセンサ９００のように、フィルタ膜９６０と感ガス膜９１１とが対向して平行に配置されていないからである。このため、フィルタ膜８６０を通過したガス（環境気体）が感ガス膜８１１まで拡散するのに時間が掛かるので、ガスセンサ８００の応答性が低くなりがちである。
【０００９】
本発明は、かかる現状に鑑みてなされたものであって、特定の取付穴に取り付け可能で、かつ、応答性を高くできるガスセンサを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
その解決手段は、環境気体中の特定ガスの濃度を検知する感ガス膜を有するガスセンサ素子と、配線基板と、前記ガスセンサ素子と前記配線基板との間に介在して、前記ガスセンサ素子を支持するセンサ支持体と、前記ガスセンサ素子、前記配線基板及び前記センサ支持体を収容するケースであって、前記環境気体をケース外部からケース内部に導入するガス導入口を有するケースと、前記ガス導入口を閉塞するフィルタ膜と、を備えるガスセンサであって、外部の取付穴に取り付けられるセンサ取付部であって、前記取付穴から前記環境気体を導入するための開口部を有するセンサ取付部を備え、前記フィルタ膜は、その厚み方向が前記センサ取付部の前記開口部の軸線方向と直交する姿勢に配置されてなり、前記ガスセンサ素子の前記感ガス膜が、前記フィルタ膜に対向して平行に配置されてなり、かつ、前記環境気体が前記フィルタ膜を通過してから前記感ガス膜に達するまでの通気最短距離が、前記感ガス膜の厚み方向に平面視したときの、前記感ガス膜の外周縁から前記センサ支持体の外周縁までの周縁最短距離よりも小さくされてなり、前記センサ取付部の前記開口部から前記フィルタ膜に至る気体誘導路を構成する気体誘導部を備えるガスセンサである。
【００１１】
本発明によれば、ガスセンサ素子の感ガス膜が、フィルタ膜に対向して平行に配置されており、かつ、環境気体がフィルタ膜を通過してから感ガス膜に達するまでの通気最短距離が、感ガス膜の厚み方向に平面視したときの、感ガス膜の外周縁からセンサ支持体の外周縁までの周縁最短距離よりも小さくされている。つまり、フィルタ膜から感ガス膜までの距離（通気最短距離）が非常に短くされている。このため、環境気体は、フィルタ膜通過後、拡散してすぐに感ガス膜に至るので、ガスセンサの応答性を高くできる。
その上、本発明のガスセンサは、センサ取付部の開口部からフィルタ膜に至る気体誘導路を構成する気体誘導部を備えるので、外部の取付穴から導入された環境気体を、センサ取付部の開口部からフィルタ膜まで速やかに導くことができる。従って、ガスセンサの応答性を更に向上させることができる。
【００１２】
なお、「ガスセンサ素子」は、上記のように感ガス膜を有するものであればよく、その用途などに応じて、その形態や構造、大きさ、材質等を適宜変更できる。例えば、貫通孔を有するＳｉ基板と、この貫通孔の一端側の開口を塞ぐようにＳｉ基板上に形成された薄膜状の支持膜とを有するダイアフラムの表面に、感ガス膜を形成したものなどが挙げられる。また、ガスセンサ素子の内部にヒータなどを形成してもよい。
「センサ支持体」は、上記のようにガスセンサ素子を支持するものであればよく、ガスセンサ素子の形状等を考慮して、その形態や大きさ、材質等を適宜変更できる。例えば、外形が直方体形状をなし、ガスセンサ素子を収容するキャビティ（凹部）が形成されたものや（金属）管パッケージなどが挙げられる。更に、そのガスセンサ素子を収容したキャビティ等を、通気孔を有する保護カバーなどで覆ってもよい。
【００１３】
「ケース」は、上記の要件を満たすものであればよく、外部の取付部の形状などを考慮して、その形態や大きさ、材質等は適宜変更できる。また、ケースに設けるガス導入口も、通気性等を考慮して、その形状や大きさを適宜変更できる。
「フィルタ膜」は、ケースに設けられたガス導入口を閉塞するものであればよく、その通気性や撥水性、防塵性等を考慮して、その構造や材質、大きさ（厚み）等を適宜変更できる。
「センサ取付部」は、上記の要件を満たすものであればよく、外部の取付穴の形状等を考慮して、その形態や大きさ等を適宜変更できる。例えば、センサ取付部をクリップ式により取付穴に取り付ける形態とすることができる。
【００１４】
「通気最短距離」とは、上記のように、環境気体がフィルタ膜を通過してから感ガス膜に達するまでの最短距離を指す。フィルタ膜と感ガス膜とは対向して平行に配置されているので、ガスセンサ素子が保護カバー等で覆われていない場合は、フィルタ膜と感ガス膜との間隙が通気最短距離に相当する。一方、ガスセンサ素子が保護カバー等で覆われている場合には、フィルタ膜から保護カバー等の通気孔を経由して感ガス膜に至るまでの最短の距離が通気最短距離に相当する。
「気体誘導部」は、上記の要件を満たすものであればよく、気体誘導路の形態等を考慮して、その形態や材質等を適宜変更できる。また、気体誘導部は、ケースと一体的に成形されたものでも、ケースと別体に成形されたものでもよい。
【００１５】
更に、上記のガスセンサであって、前記配線基板は、入出力端子としてのピンが立設されてなり、前記ケースから突出する共に、前記ピンを内側に配置し、外部との接続に利用されるコネクタ部を備え、前記コネクタ部と気体誘導部とが、前記配線基板に対して同じ側に設けられてなるガスセンサとすると良い。
【００１６】
本発明によれば、コネクタ部と気体誘導路とが、配線基板に対して同じ側に設けられている。このようにすれば、コネクタ部と気体誘導路とを配線基板に対して互いに異なる側に配設するよりも、ガスセンサを低背化できる。従って、外部の取付部のスペースが小さくても、容易に取り付けやすい。
【００１７】
更に、上記のいずれかに記載のガスセンサであって、前記気体誘導部は、その内壁面のうち少なくとも一部に、前記フィルタ膜に近づく方向に滑らかに曲げられてなる屈曲部を有するガスセンサとすると良い。
【００１８】
本発明によれば、気体誘導部は、その内壁面の少なくとも一部に、フィルタ膜に近づく方向に滑らかに曲げられた屈曲部を有する。このような屈曲部を設けることで、環境気体が屈曲部に沿ってスムーズに移動できるので、環境気体をフィルタ膜にスムーズに導入できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
以下、本発明の実施の形態を、図面を参照しつつ説明する。図１に本実施形態に係るガスセンサ１００の概略を示す。また、図２にこのガスセンサ１００を外部の取付穴ＴＴＣに取り付けた状態を示す。更に、図３にガスセンサ１００のうちのガスセンサ素子１１０近傍の拡大図を示す。このガスセンサ１００は、ガスセンサ素子１１０、センサ支持体１２０、配線基板１３０、ピン１４０、ケース１５０、フィルタ膜１６０、コネクタ部１７０、センサ取付部１８０、気体誘導部１９０等から構成されている。
【００２０】
このうちガスセンサ素子１１０は、図３に示すように、貫通孔１１３ｋを有するＳｉ基板１１３と、この貫通孔１１３ｋの一端側の開口（図３中、上側の開口）を塞ぐようにＳｉ基板１１３上に形成された薄膜状の支持膜１１５とを有するダイアフラムの表面に、感ガス膜１１１を形成した構成をなしている。感ガス膜１１１の表面には、触媒としてＡｕ粒子が分散して形成されており、ガス（環境気体）中の特定ガス（具体的には、ＮＯｘ）の濃度変化に応じて感ガス膜１１１の抵抗値が変化する性質を有する。また、ガスセンサ素子１１０には、感ガス膜１１１と電気的に接続される一対の検知電極（図示しない）や、感ガス膜１１１を活性化させるためのヒータ（図示しない）などが設けられている。また、ガスセンサ素子１１０の外部には、上記の検知電極やヒータと電気的に接続し、次述するセンサ支持体１２０との電気的な接続に利用される複数の端子パッド（図示しない）などが形成されている。
【００２１】
センサ支持体１２０は、直方体形状をなし、表面１２０ａ側（図１〜図３中、上方の面側）に開口する大きなキャビティ（凹部）１２１が設けられている（図３参照）。センサ支持体１２０は、複数のセラミック層が積層されてなり、その内部や外部には、配線や端子パッド（図示しない）が複数形成されている。センサ支持体１２０のキャビティ１２１内には、上記ガスセンサ素子１１０が収容され、ガスセンサ素子１１０の端子パッドとセンサ支持体の端子パッドとが、図示しないボンディングワイヤにより電気的に接続されている。そして、このキャビティ１２１上（センサ支持体１２０の表面１２０ａ上）には、キャビティ１２１の外部と内部の間を連通させる複数の通気孔１２５ｃを有する金属製の保護カバー１２５が取り付けられている。
【００２２】
配線基板１３０は、表面１３０ａと裏面１３０ｂとを有する板状をなす（図１参照）。この配線基板１３０には、その内部や表面１３０ａ及び裏面１３０ｂに、図示しない配線や端子パッドが複数設けられている。そして、配線基板１３０の表面１３０ａ上の所定位置には、ガスセンサ素子１１０を収容したセンサ支持体１２０が固着され、センサ支持体１２０の端子パッドと配線基板１３０の端子パッドとが電気的に接続されている。また、この配線基板１３０の所定位置には、入出力端子としてのピン１４０，１４０，…が複数立設されている。
【００２３】
ケース１５０は、表面部１５０ａと裏面部１５０ｂと４つの側面部１５０ｃを有し、外形が直方体形状をなす（図１参照）。ケース１５０内には、上述のガスセンサ素子１１０、センサ支持体１２０、配線基板１３０等が収容されている。ケース１５０の表面部１５０ａの所定位置には、ガス（環境気体）をケース外部からケース内部に導入するためのガス導入口１５１が形成されている。このガス導入口１５１は、ケース１５０に固着されたフィルタ膜１６０により閉塞されている（図３も参照）。これにより、ガスをケース内部に導入する一方、水や異物がケース内部に進入するのを防止する。
【００２４】
このフィルタ膜１６０は、ガスセンサ素子１１０の感ガス膜１１１と対向して平行に配置されている（図３参照）。また、このフィルタ膜１６０は、図１に示すように、その厚み方向（図中、上下方向）が、後述するセンサ取付部１８０の開口部１８１の軸線ＡＸ方向と直交する姿勢に配置されている。
そして、ガスがフィルタ膜１６０を通過してから、保護カバー１２５の通気孔１２５ｃを通じて感ガス膜１１１に達するまでの通気最短距離ＴＫは、１．８ｍｍとされている。一方、感ガス膜１１１の厚み方向（図３中、上下方向）に平面視したときの、感ガス膜１１１の外周縁１１１ｓからセンサ支持体１２０の外周縁１２０ｓまでの周縁最短距離ＳＫは、２．０ｍｍとされている。従って、通気最短距離ＴＫは、周縁最短距離ＳＫよりも小さくされている。
【００２５】
また、ガスセンサ１００には、ケース１５０から筒状に突出し、外部との接続に利用されるコネクタ部１７０がケース１５０と一体的に形成されている。このコネクタ部１７０の内側には、上記のピン１４０，１４０，…が配置されている。このコネクタ部１７０は、配線基板１３０の表面１３０ａ側に設けられている。
【００２６】
ガスセンサ１００は、外部の取付部ＴＴの取付穴ＴＴＣにクリップ式により取り付けられる筒状のセンサ取付部１８０を有する（図１及び図２参照）。このセンサ取付部１８０は、外部の取付穴ＴＴＣからガスを導入するための開口部１８１を有する。具体的には、このセンサ取付部１８０の先端（図中、左側）の上端には、上方に突出する上側突起部１８３が設けられ、センサ取付部１８０の先端の下端には、下方に突出する下側突起部１８４が設けられている。また、センサ取付部１８０の基端（図中、右側）には、径方向外側に拡がる円盤状延出部１８５が設けられている。更に、この円盤状延出部１８５の上端には、上方に延びる上方延出部１８６が設けられ、この上方延出部１８６の上端には、先端側（図中、左側）に向かって突出する係合部１８７が設けられている。
このようなセンサ取付部１８０を取付部ＴＴの取付穴ＴＴＣに対して回り止めすると、図２に示すように、センサ取付部１８０の上側突起部１８３及び下側突起部１８４と円盤状延出部１８５及び上方延出部１８６との間に、取付部ＴＴのうち取付穴ＴＴＣの周縁部分が狭持される。また、センサ取付部１８０の係合部１８７が、取付部ＴＴの所定位置に設けられた凹部ＴＴＨに係合する。これにより、ガスセンサ１００が取付部ＴＴに固定される。
【００２７】
また、ガスセンサ１００は、図１に示すように、センサ取付部１８０の開口部１８１からフィルタ膜１６０に至る気体誘導路ＹＲを構成する気体誘導部１９０を有する。この気体誘導部１９０は、ケース１５０の表面部１５０ａの一部と、この上に配設された半円筒状のトンネル部１９１とから構成されている。このトンネル部１９１は、ケース１５０及びセンサ取付部１８０と一体的に形成されている。
【００２８】
トンネル部１９１は、ケース１５０の表面部１５０ａに沿って（図１及び図２中、左右方向に）設けられている。そして、トンネル部１９１の内壁面１９１ｎのうち、センサ取付部１８０と反対側の端部は、フィルタ膜１６０に近づく方向に滑らかに曲げられてなる屈曲部１９３とされている。このような屈曲部１９３を設けることで、ガスが屈曲部１９３に沿ってスムーズに移動できるので、ガスをフィルタ膜１６０までスムーズに導入できる。
【００２９】
気体誘導部１９０は、配線基板１３０の表面１３０ａ側に形成されている。従って、気体誘導部１９０と前述のコネクタ部１７０とは、配線基板１３０に対して同じ側に設けられていることになる。このような形態とすることにより、コネクタ部１７０と気体誘導路１９０とを配線基板１３０に対して互いに異なる側に配設するよりも、ガスセンサ１００を低背化できる。
【００３０】
以上で説明したように、本実施形態のガスセンサ１００は、ガスセンサ素子１１０の感ガス膜１１１（詳細には感ガス膜１１１の表面）が、フィルタ膜１６０（詳細はフィルタ膜１６０の裏面）に対向して平行に配置されており、かつ、ガスがフィルタ膜１６０を通過してから感ガス膜１１１に達するまでの通気最短距離ＴＫが、感ガス膜１１１の厚み方向に平面視したときの、感ガス膜１１１の外周縁１１１ｓからセンサ支持体１２０の外周縁１２０ｓまでの周縁最短距離ＳＫよりも小さくされている。つまり、フィルタ膜１６０から感ガス膜１１１までの距離（通気最短距離ＴＫ）が非常に短くされている。このため、ガスは、フィルタ膜１６０を通過した後、拡散してすぐに感ガス膜１１１に至るので、ガスセンサ１００の応答性を高くできる。
【００３１】
その上、ガスセンサ１００は、センサ取付部１８０の開口部１８１からフィルタ膜１６０に至る気体誘導路ＹＲを構成する気体誘導部１９０を備えるので、外部の取付穴ＴＴＣから導入されたガスを、センサ取付部１８０の開口部１８１からフィルタ膜１６０まで速やかに導くことができる。従って、ガスセンサ１００の応答性を更に向上させることができる。
【００３２】
以上において、本発明を実施形態に即して説明したが、本発明は上述の実施形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で、適宜変更して適用できることはいうまでもない。
例えば、上記実施形態では、センサ支持体１２０に１つのガスセンサ素子１１０を収容した形態を示したが、センサ支持体に複数のガスセンサ素子を収容するようにしてもよい。なお、この場合には、各ガスセンサ素子を対象としたときに、上記通気最短距離ＴＫが上記周縁最短距離ＳＫよりもそれぞれ小さくなる形態でガスセンサを構成する必要がある。
また、上記実施形態では、ガスセンサ素子１１０として、ＮＯｘの濃度変化に応じて抵抗値が変化する感ガス膜１１１を有するものを例示したが、感ガス膜はこれに限定されず、ＨＣ，ＣＯ等の還元性ガスの濃度変化に応じて抵抗値が変化する感ガス膜を設けるようにしてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００３３】
【図１】実施形態に係るガスセンサの概略を示す断面図である。
【図２】実施形態に係るガスセンサを外部の取付穴に取り付けた状態を示す説明図である。
【図３】実施形態に係るガスセンサのうち、ガスセンサ素子近傍の概略を示す部分断面図である。
【図４】参考形態に係るガスセンサの概略を示す断面図である。
【図５】参考形態に係り、外部の取付穴等を示す説明図である。
【図６】参考形態に係るガスセンサを外部の取付穴に取り付ける場合を説明する説明図である。
【図７】参考形態に係る他のガスセンサを外部の取付穴に取り付けた状態を示す説明図である。
【符号の説明】
【００３４】
１００ ガスセンサ
１１０ ガスセンサ素子
１１１ 感ガス膜
１１１ｓ 周縁
１２０ センサ支持体
１２０ｓ 周縁
１３０ 配線基板
１４０ ピン
１５０ ケース
１５１ ガス導入口
１６０ フィルタ膜
１７０ コネクタ部
１８０ センサ取付部
１８１ 開口部
１９０ 気体誘導部
１９１ トンネル部
１９１ｎ 内壁面
１９３ 屈曲部
ＡＸ 軸線
ＴＫ 通気最短距離
ＳＫ 周縁最短距離
ＹＲ 気体誘導路
【特許請求の範囲】
【請求項１】
環境気体中の特定ガスの濃度を検知する感ガス膜を有するガスセンサ素子と、
配線基板と、
前記ガスセンサ素子と前記配線基板との間に介在して、前記ガスセンサ素子を支持するセンサ支持体と、
前記ガスセンサ素子、前記配線基板及び前記センサ支持体を収容するケースであって、前記環境気体をケース外部からケース内部に導入するガス導入口を有するケースと、
前記ガス導入口を閉塞するフィルタ膜と、
を備えるガスセンサであって、
外部の取付穴に取り付けられるセンサ取付部であって、前記取付穴から前記環境気体を導入するための開口部を有するセンサ取付部を備え、
前記フィルタ膜は、その厚み方向が前記センサ取付部の前記開口部の軸線方向と直交する姿勢に配置されてなり、
前記ガスセンサ素子の前記感ガス膜が、前記フィルタ膜に対向して平行に配置されてなり、かつ、前記環境気体が前記フィルタ膜を通過してから前記感ガス膜に達するまでの通気最短距離が、前記感ガス膜の厚み方向に平面視したときの、前記感ガス膜の外周縁から前記センサ支持体の外周縁までの周縁最短距離よりも小さくされてなり、
前記センサ取付部の前記開口部から前記フィルタ膜に至る気体誘導路を構成する気体誘導部を備える
ガスセンサ。
【請求項２】
請求項１に記載のガスセンサであって、
前記配線基板は、入出力端子としてのピンが立設されてなり、
前記ケースから突出する共に、前記ピンを内側に配置し、外部との接続に利用されるコネクタ部を備え、
前記コネクタ部と気体誘導部とが、前記配線基板に対して同じ側に設けられてなる
ガスセンサ。
【請求項３】
請求項１または請求項２に記載のガスセンサであって、
前記気体誘導部は、その内壁面のうち少なくとも一部に、前記フィルタ膜に近づく方向に滑らかに曲げられてなる屈曲部を有する
ガスセンサ。
【請求項１】
環境気体中の特定ガスの濃度を検知する感ガス膜を有するガスセンサ素子と、
配線基板と、
前記ガスセンサ素子と前記配線基板との間に介在して、前記ガスセンサ素子を支持するセンサ支持体と、
前記ガスセンサ素子、前記配線基板及び前記センサ支持体を収容するケースであって、前記環境気体をケース外部からケース内部に導入するガス導入口を有するケースと、
前記ガス導入口を閉塞するフィルタ膜と、
を備えるガスセンサであって、
外部の取付穴に取り付けられるセンサ取付部であって、前記取付穴から前記環境気体を導入するための開口部を有するセンサ取付部を備え、
前記フィルタ膜は、その厚み方向が前記センサ取付部の前記開口部の軸線方向と直交する姿勢に配置されてなり、
前記ガスセンサ素子の前記感ガス膜が、前記フィルタ膜に対向して平行に配置されてなり、かつ、前記環境気体が前記フィルタ膜を通過してから前記感ガス膜に達するまでの通気最短距離が、前記感ガス膜の厚み方向に平面視したときの、前記感ガス膜の外周縁から前記センサ支持体の外周縁までの周縁最短距離よりも小さくされてなり、
前記センサ取付部の前記開口部から前記フィルタ膜に至る気体誘導路を構成する気体誘導部を備える
ガスセンサ。
【請求項２】
請求項１に記載のガスセンサであって、
前記配線基板は、入出力端子としてのピンが立設されてなり、
前記ケースから突出する共に、前記ピンを内側に配置し、外部との接続に利用されるコネクタ部を備え、
前記コネクタ部と気体誘導部とが、前記配線基板に対して同じ側に設けられてなる
ガスセンサ。
【請求項３】
請求項１または請求項２に記載のガスセンサであって、
前記気体誘導部は、その内壁面のうち少なくとも一部に、前記フィルタ膜に近づく方向に滑らかに曲げられてなる屈曲部を有する
ガスセンサ。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【公開番号】特開２００８−５１６２７（Ｐ２００８−５１６２７Ａ）
【公開日】平成２０年３月６日（２００８．３．６）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００６−２２７４７３（Ｐ２００６−２２７４７３）
【出願日】平成１８年８月２４日（２００６．８．２４）
【出願人】（０００００４５４７）日本特殊陶業株式会社 (2,912)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２０年３月６日（２００８．３．６）
【国際特許分類】
【出願日】平成１８年８月２４日（２００６．８．２４）
【出願人】（０００００４５４７）日本特殊陶業株式会社 (2,912)
【Ｆターム（参考）】
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