【課題】ガス感応膜を挟む電極間のギャップを容易に非常に小さく形成することができるとともに、ガス感応膜が外気と接触できる面積及び電極がガス感応膜に対して接触できる面積を両方とも大きくとることができ、製造が容易でセンサ感度の優れた半導体ガスセンサを提供する。
【解決手段】電極層１、３、５、と、金属酸化物半導体からなるガス感応膜層２、４とが交互に複数回積層された積層体９を有する半導体ガスセンサであって、少なくとも１つのガス感応膜層４の両面を挟む２つの電極層３、５について、当該ガス感応膜層４の各面の略全域にわたって、金属からなる電極部３１、５１と、厚さ方向に貫通する空隙部３２、５２とを交互に形成した。 （もっと読む）

【課題】イオン性金属触媒が導入された炭素材を用いた高感度ガスセンサー及びその製造方法を提供する。
【解決手段】製造方法は、（１）水酸化物を蒸留水に溶解させて水酸化物溶液を製造する第１ステップと、（２）第１ステップの過程を通じて製造された水酸化物溶液に金属触媒を投入して溶解させる第２ステップと、（３）第２ステップの過程を通じて得られた溶液に炭素材を担持させ、攪拌する第３ステップと、（４）第３ステップの過程を通じて得られた混合物を熱処理する第４ステップと、（５）第４ステップの過程を通じて熱処理された炭素材を洗浄する第５ステップと、（６）第５ステップの過程を通じて洗浄された炭素材を乾燥する第６ステップと、（７）第６ステップの過程を通じて得られた炭素材を基板にローディングしてガスセンサーを製造する第７ステップと、を含む。常温でも敏感度及び応答性に優れるガスセンサーを得ることができる。 （もっと読む）

【課題】化学センサを具備する半導体装置の製造コストを低減し、あるいは、複数の測定原理によって精度の高い検出をする。
【解決手段】半導体装置は、第１のセンサ素子及び第２のセンサ素子を具備し、第１のセンサ素子は、第１の導電層と、第１の導電層上に形成された第１の感応膜とを有し、第２のセンサ素子は、第１の導電層とは異なる第２の導電層と、第２の導電層上に形成された第２の感応膜とを有する。センサ素子の製造方法は、センサ素子のうち導電層を半導体基板に又は半導体基板上に形成する工程（ａ）と、感応膜を構成する成分を含む液体を導電層上にインクジェット装置によって吐出して、感応膜を形成する工程（ｂ）と、を具備する。 （もっと読む）

【課題】燃焼プロセス排ガス等の多成分ガス系に含まれる窒素酸化物、炭化水素、一酸化炭素、酸素等を直接検知可能な化学センサーアレイ及び方法を提供する。
【解決手段】（ｉ）少なくとも２つの化学／電気活性材料のアレイを含んでなる化学センサーを多成分ガス系に暴露する工程、応答を検出する工程、各化学／電気活性材料の応答を直接測定する工程とを含んでなる。化学／電気活性材料は半導体材料である。測定される応答は、静電容量、電圧、電流、ＡＣインピーダンスまたは、ＤＣ抵抗値である。 （もっと読む）

【課題】ウエハをメタルマスクで覆ってスパッタリングを行う際に、ウエハを覆うメタルマスクの位置を精度良く定めることができるダイヤフラム構造体を有する半導体素子の製造方法を提供する。
【解決手段】酸化性ガスを検知するガスセンサ素子の製造工程において、周知の方法によりシリコンウエハ１００の第二面１０１に電極５０，発熱体４０等を形成した後に、第一面１０２に、空洞部１２と、メタルマスクを保持する保持部材を取り付ける孔部７０を形成するための空洞部１４のパターニングを行う。そして、エッチング処理を行い空洞部１２，１４を形成し（図３（ａ）参照）、空洞部１４の底部をなす絶縁層２０を針等の貫通部材で貫通することにより、シリコンウエハ１００のデッドスペースに孔部７０を形成する（図３（ｂ）参照）。 （もっと読む）

【課題】衝撃や振動等によるダイヤフラム構造体上に設けられた層状部の剥離を抑制すると共に、生産性に優れたガスセンサを提供する。
【解決手段】ダイヤフラム構造体３９Ｄ、４９Ｄと、ダイヤフラム構造体の絶縁層上に形成されたガス検知層を含む層状部３１、４１と、ガス検知層を介して互いに接続する一対の検知電極３６Ａ，３６Ｂ、４６Ａ，４６Ｂと、電極取出し辺３Ｐ、４Ｐに沿って設置されて検知電極に接続する一対の検知パッド３３、４３とを有するガス検出素子３、４と、検知パッドに接続する基板側パッド２３が表面に形成され、複数のガス検出素子が一列に並ぶよう実装された配線基板２とを備え、ガス検出素子の下面Ｒ１と配線基板の表面との間に介装される第１接着層６１，６２と、隣接するガス検出素子の下面Ｒ２同士を跨ぐように当該下面と配線基板の表面との間に介装される第２接着層６３とを備えるガスセンサ１０である。 （もっと読む）

【課題】材料の感度を増大させること、化学／電気活性材料の電気応答特性の安定性を増大させること、または、化学／電気活性材料の電気応答特性の変化を検出する速度を増大させることにより、化学／電気活性材料を改良する。
【解決手段】化学／電気活性材料の温度を、化学／電気活性材料の感度が、第１の感度より大きい第２の感度まで増大する第２の温度まで上げるステップを含んでなり、化学／電気活性材料の感度が、ΔＲ／ΔＣにより与えられる比であり、ΔＲが、選択された温度で、多成分混合ガス中の成分ガスまたはガスのサブグループの濃度の変化の結果として、化学／電気活性材料が受ける、抵抗の変化、または、抵抗に比例する信号サイズの変化であり、ΔＣが、成分ガスまたはガスのサブグループの濃度の変化である、方法。 （もっと読む）

【課題】金属酸化物を含有した多孔性ナノ繊維を用いてガスセンサーを製造する方法及びこれによって製造されたガスセンサーを提供する。
【解決手段】（１）ポリマー前駆体と溶媒とを混合するステップと、（２）上記第１ステップの過程を通じて得られた混合物に金属酸化物を分散させるステップと、（３）上記第２ステップの過程を通じて得られた混合物を電気放射してナノ繊維を製造するステップと、（４）上記第３ステップの過程を通じて得られたナノ繊維を酸化させるステップと、（５）上記第４ステップの過程を通じて酸化されたナノ繊維を炭化させるステップと、（６）上記第５ステップの過程を通じて炭化されたナノ繊維を活性化させるステップと、（７）上記第６ステップの過程を通じて活性化されたナノ繊維をシリコンウエーハ電極の間に蒸着させてガスセンサーを製造するステップと、を含んでなる。 （もっと読む）

本発明は、ドープした強誘電性材料を使用したガスセンサーに関する。センサーは、ガスサンプルの異なるガス相成分を検出するために、異なる部分のアレイが、別々に独立して制御される温度で操作できるアレイとして形成することができる。好適な態様は、糖尿病のような状態の診断に使用することができる。 （もっと読む）

例えば喘息、糖尿病、血中コレステロール、および肺ガンを含む様々な疾患および状態のための個人向けの携帯モニタリングデバイスを含む医学的診断用に、信頼性があり迅速でしかも廉価な呼気検出システム。ガスを検出するためのセンサーデバイス（１００）は、標的ガスの存在下で変化する電気抵抗を有するセンサー素子（１０９）；標的ガスの存在によりセンサー素子に電気的に連結し、そして測定値をデジタル信号に変換する読み出し回路；およびセンサー素子のベースライン抵抗の変動を補正するためのデジタルユニット（２０５）から読み出し回路へのフィードバックループ（２０３）を含む。 （もっと読む）

【課題】生体情報に含まれるマーカに対して、マーカ選択性と高い性能とを有する化学物質センシング素子を製造できる方法を提供する。
【解決手段】導電性基体の表面を特定化学物質に特異的に吸着し得る材料で表面修飾してなる、特定化学物質を検出するための化学物質センシング素子を製造する方法であって、特定化学物質との結合に関係する特定化学物質の電子軌道に吸着し得る可能性を有する候補材料について、それぞれの特定化学物質との吸着エネルギーを算出し、その結果に基づいて、上記候補材料の中から導電性基体の表面修飾材料に適すると予測される材料を選択する工程を含む、化学物質センシング素子の製造方法。 （もっと読む）

【課題】数ｐｐｂレベルの低濃度ＮＯ_２を高感度に検出することが可能なガスセンサを提供する。
【解決手段】内部にサンプルガスが通過可能な間隙が形成されており、少なくとも前記間隙の表面に銀が表出している銀触媒部材４と、ｎ型酸化物半導体からなるガス感応膜が形成されている第１の半導体式ガスセンサ素子５と、前記銀触媒部材と前記第１の半導体式ガスセンサ素子とを連通して、前記銀触媒部材から前記第１の半導体式ガスセンサ素子に向かう方向へサンプルガスを流通させる主流路２とを少なくとも備えているようにした。 （もっと読む）

【課題】使用状況下での時間経過に伴いガス検出素子の特性変化（劣化）が生じる場合であっても、検出対象ガスのガス検出精度の低下を抑制するガス検出装置を提供する。
【解決手段】ガス検出装置１５０は、劣化判定処理（Ｓ１４０）にてＤ素子３が劣化状態であると判定された場合には、ガス検知性能設定処理（Ｓ１５０）において、ガス検知判定処理（Ｓ１６０）でのガス検出感度を上げるための補正処理を行う。このようにしてガス検出感度（酸化性ガス検知閾値Ｔｄ）の補正処理を行うことで、Ｄ素子３が劣化して酸化性ガス検出時における電気的特性の正方向への変化量が減少した場合であっても、ガス検知判定処理（Ｓ１６０）での判定精度が低下するのを抑制できる。ガス検出装置１５０によれば、使用状況下での時間経過に伴い酸化性ガス用ガスセンサ素子３の特性変化（劣化）が生じる場合であっても、検出対象ガスの検出精度が低下するのを抑制できる。 （もっと読む）

【課題】 シリコン等の被毒物質に対する被毒耐性が高く、ガス感度の経時的な変化を長期間に亘って抑制できるガスセンサを提供すること。
【解決手段】 ガスセンサ１００は、酸化物半導体からなる感ガス膜１３１と、この感ガス膜１３１上に分散された触媒粒子１３３と、これら感ガス膜１３１及び触媒粒子１３３上に形成された保護層１４０とを有する。このうち保護層１４０は、平均粒子径Ｄが５００ｎｍ以下の酸化物粒子１４１から構成されている。また、保護層１４０は、平均粒子径をＤ（ｎｍ）、保護層１４０の厚みをＴＨ（ｎｍ）としたとき、２０≦ＴＨ／Ｄ≦５００となる形態とされている。 （もっと読む）

【課題】超高感度、高応答性、高選択性、長期安定性の優秀な特性を有する商業的環境有害ガスセンサー具現のための半導体酸化物ナノ繊維を利用したガスセンサー及びそのナノ繊維の製造方法を提供する。
【解決手段】本発明によるセンサーは、絶縁基板と、前記絶縁基板上に形成されている金属電極と、前記金属電極上に形成されており、酸化物半導体Ｌａ_n+1Ｎｉ_nＯ_3n+1（ｎ＝１、２、３）ナノ繊維を含む感知層とを含む。したがって、酸化物半導体Ｌａ_n+1Ｎｉ_nＯ_3n+1（ｎ＝１、２、３）は、ＡＢＯ₃型の基本結晶構造を有するので、構造的に安定し、酸素欠陥による非化学量論的な組成を有する代表的な物質であって、表面に多い酸素欠陥を有していて、酸化物の表面で反応ガス吸着及び酸化／還元反応によって大きい電気抵抗の変化を有することができる。 （もっと読む）

【課題】特定ガスに高感応性を有するナノサイズの金属酸化物または金属触媒粒子が塗布された酸化物半導体ナノ繊維を利用したガスセンサーを提供する。
【解決手段】本発明によるガスセンサーは、絶縁基板と、該絶縁基板の上部に形成された金属電極と、該金属電極の上部に形成された高感応性を有するナノ粒子が塗布された酸化物半導体ナノ繊維層とを含む。本発明によれば、酸化物を電気放射用溶液で製造した後、これを電気放射し、熱処理して酸化物半導体ナノ繊維を形成し、次いで、大きい比表面積を有するナノ繊維の表面に特定ガスに高感応性を有するナノサイズの金属酸化物または金属触媒粒子を部分的に塗布し、超高感度、高選択性、高応答性、長期安定性の特性を有する酸化物半導体ナノ繊維ガスセンサーを製作することができる。 （もっと読む）

ＮＯ_ｘ貯蔵材料が、担体、即ち、担体上に含浸されたカリウム塩を包含し、その担体上に含浸されたカリウムが、白金族金属と共に促進され、及び、ＮＯ_ｘ貯蔵材料は、ＮＯ_ｘ貯蔵材料上のＮＯ_ｘ充填の量に基づき変化する電気特性を有する。直接のＮＯ_ｘ測定の装置は、ＮＯ_ｘ貯蔵材料で被覆されたセンサーを含む。ＮＯ_ｘ含有ガスのＮＯ_ｘフラックスを決定する方法は、ガスをその装置に曝し、且つ、装置により生成された信号を、ＮＯ_ｘフラックスの信号見本に転化することを含む。 （もっと読む）

【課題】 感度および応答速度を低下させることなく消費電力の低減可能なガスセンサおよびその製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】 絶縁性の基材上に設けられたプラス側電極とマイナス側電極とを電気的に接続するように配置されたガス感応部とを備えた、検知対象ガスを電気抵抗の変化によって検知するガスセンサであって、前記電極は、平均粒径が１〜１０μｍの第一の導電性粒子と、平均粒径が５〜５０ｎｍの第二の導電性粒子とを含む導電性ペーストにより形成されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 感度および応答速度を向上させることができる、検知対象ガスを電気抵抗の変化によって検知するガスセンサおよびその製造方法を提供する。
【解決手段】 絶縁性の基材と、前記基材上に配置されたプラス側電極およびマイナス側電極と、前記プラス側電極および前記マイナス側電極と電気的に接続するように配置されたガス感応部とを備え、前記ガス感応部は、表面が金属酸化物層で覆われている金属粒子を含んでいることを特徴とするガスセンサ。 （もっと読む）

【課題】 応答速度および検知限界低濃度を拡大させることができるガスセンサおよびその製造方法を提供する。
【解決手段】
絶縁性の基材１と、基材上に位置し、電位差が付されたプラス側電極層１１およびマイナス側電極層１２と、プラス側電極層に電気的に接続するプラス側感応層３１と、マイナス側電極層に電気的に接続するマイナス側感応層３２とを備え、プラス側感応層とマイナス側感応層とは、ギャップＧが０．１μｍ以下であり、非連結であることを特徴とする。 （もっと読む）