ガス識別装置
【課題】可燃性ガスの濃度範囲を限定することなく、簡易な処理で可燃性ガスの識別ができるガス識別装置を提供する。
【解決手段】ガス識別装置は、識別対象となる可燃性ガスを第1ガスセンサ10A及び第2ガスセンサ10Bに供給して、各ガスセンサ10A、10Bの吸着燃焼時の出力を時系列的に取得する。これらの時系列的に取得した出力から、各ガスセンサ10A、10Bのそれぞれにおける出力の積分値を算出する。これら算出した積分値の比を算出する。算出した積分値の比を、特定の可燃性ガスを識別するための積分値比判定情報と比較して、吸着性の高い可燃性ガスを識別する。
【解決手段】ガス識別装置は、識別対象となる可燃性ガスを第1ガスセンサ10A及び第2ガスセンサ10Bに供給して、各ガスセンサ10A、10Bの吸着燃焼時の出力を時系列的に取得する。これらの時系列的に取得した出力から、各ガスセンサ10A、10Bのそれぞれにおける出力の積分値を算出する。これら算出した積分値の比を算出する。算出した積分値の比を、特定の可燃性ガスを識別するための積分値比判定情報と比較して、吸着性の高い可燃性ガスを識別する。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、ガス種が不明な単一の可燃性ガスを識別するガス識別装置に関する。
【背景技術】
【0002】
上述した従来のガス識別装置として、例えば、特許文献1に記載されたガス識別装置が提案されている。このガス識別装置は、それぞれ触媒としてルテニウム(Ru)、パラジウム(Pd)、白金(Pt)を備えた3つの接触燃焼式ガスセンサを有しており、これら接触燃焼式ガスセンサを用いて、水素、プロパン、エタノール、トルエン、及び、キシレンの識別を行う。
【0003】
このガス識別装置で用いられる接触燃焼式ガスセンサは、MEMS(Micro Electro Mechanical System 微小電気機械システム)技術を用いて形成されており、燃焼状態に対する高速応答性に優れている。そして、このような接触燃焼式ガスセンサを用いて可燃性ガスに対する出力波形を測定すると、吸着性の低いガスに対しては定常的な出力(定常出力という)が観測されるのみであるが、吸着性の高いガスに対しては上記定常出力に加えて、低温時に触媒表面に吸着したガスが、高温時に瞬時に燃焼することによるピーク状の大きな出力(ピーク出力という)が観測される。これら定常出力及びピーク出力は、触媒と可燃性ガスの種類との組み合わせでそれぞれ出力の大きさに差異があることが判っており、このガス識別装置では、これらの差異を用いて可燃性ガスを識別する。
【0004】
上記ガス識別装置は、まず、各接触燃焼式ガスセンサにおける、識別対象となる可燃性ガスに対する出力波形を測定して、それぞれの接触燃焼式ガスセンサにおけるピーク出力である第1燃焼値及び定常出力である第2燃焼値を得る。そして、Pd触媒を備えた接触燃焼式ガスセンサにおける第1燃焼値と第2燃焼値との比(第1比(Pd−A/Pd−C)という)を求めて、この第1比(Pd−A/Pd−C)を、所定の閾値(吸着判定値)と比較する。この比較結果に基づいて、識別対象となる可燃性ガスを、上記第1比(Pd−A/Pd−C)が高いガス(即ち、定常出力とピーク出力との差が大きく、Pd触媒に対する吸着性の高いガスであるエタノール、トルエン、又は、キシレン)と、上記第1比(Pd−A/Pd−C)が低いガス(即ち、定常出力とピーク出力との差が小さく、Pd触媒に対する吸着性の低いガスである水素又はプロパン)と、に識別する。
【0005】
上記第1比(Pd−A/Pd−C)が高いガス(即ち、吸着性の高いガス)として識別されると、次に、Ru触媒を備えた接触燃焼式ガスセンサにおける第1比(Ru−A/Ru−C)を求め、この第1比(Ru−A/Ru−C)を所定の閾値(第1閾値)と比較する。そして、この第1比(Ru−A/Ru−C)が第1閾値以上のときにエタノールと識別し、この第1比(Ru−A/Ru−C)が第1閾値より小さいときにトルエン又はキシレンと識別する。この第1閾値は、Ru触媒を備えた接触燃焼式ガスセンサに、エタノール、トルエン、キシレンを供給したときの出力に基づいて定められている。
【0006】
また、上記第1比(Pd−A/Pd−C)が低いガス(即ち、吸着性の低いガス)として識別されると、次に、Pd触媒を備えた接触燃焼式ガスセンサの第2燃焼値とRu触媒を備えた接触燃焼式ガスセンサの第2燃焼値との比(第2比(Pd−C/Ru−C))、Pt触媒を備えた接触燃焼式ガスセンサの第2燃焼値とRu触媒を備えた接触燃焼式ガスセンサの第2燃焼値との比(第2比(Pt−C/Ru−C))、をそれぞれ求めて、これらの2つの第2比を、それぞれに対する所定の閾値(水素判定値X1、X2)と比較する。そして、これら2つの第2比がともに水素判定値X1、X2より大きいときに水素と識別し、これら2つの第2比がともに水素判定値X1、X2以下のときにプロパンと識別する。これら水素判定値X1、X2は、Ru触媒、Pd触媒、Pt触媒を備えた接触燃焼式ガスセンサに、水素、プロパンを供給したときの出力に基づいて定められている。
【0007】
このように、上記ガス識別装置によれば、複数の接触燃焼式ガスセンサを用いて吸着性の高いガス同士、吸着性の低いガス同士を識別することができるので、接触燃焼式ガスセンサを用いて性質の似た可燃性ガスを識別することができた。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0008】
【特許文献1】特開2008−185333号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0009】
しかしながら、上述したガス識別装置は、吸着性の高いガスと識別された可燃性ガスについて、Ru触媒を備えた接触燃焼式ガスセンサにおける第1比(Ru−A/Ru−C)、即ち、ピーク出力の大きさに基づいて、エタノールと、トルエン又はキシレンと、に識別するものであるが、この接触燃焼式ガスセンサにおけるピーク出力の大きさは可燃性ガスの濃度に応じて変動するので、トルエン又はキシレンにおいてもその濃度によっては第1比(Ru−A/Ru−C)が上記第1閾値以上となる場合があった。そのため、このガス識別装置では、識別可能な可燃性ガスの濃度範囲が限られるという問題があった。また、ピーク出力の大きさに基づいて識別するので、正確なピーク出力が必要とされるが、ガスの種類や濃度によっては、ピーク出力の位置(時間)が変動してしまい、正確なピーク出力を求めるために複雑な処理を要するという問題があった。
【0010】
また、上述した従来のガス識別装置は、水素判定値X1が、Ru触媒、Pd触媒を備えた接触燃焼式ガスセンサに、水素、プロパンを供給したときの定常出力の比(第2比(Pd−C/Ru―C))に基づいて定められており、そして、水素判定値X2が、Ru触媒、Pt触媒を備えた接触燃焼式ガスセンサに、水素、プロパンを供給したときの定常出力の比(第2比(Pt−C/Ru―C))に基づいて定められているので、水素判定値X1、X2の取りうる値の範囲(値幅)が非常に狭く、測定値に対して十分なマージンを設けることができず、例えば、接触燃焼式ガスセンサの個体差や、シリコンや硫黄化合物を原因とする触媒の被毒などにより、ガス識別装置において測定した上記第2比に誤差が生じたときに、これら水素判定値X1、X2を超えてしまう恐れがあった。そのため、可燃性ガスを正確に識別することができない可能性があり、信頼性が低いという問題があった。また、2つの水素判定値X1、X2を用いて識別を行うため、処理が煩雑という問題があった。そして、本発明が解決しようとする課題は、上記した従来技術において生じる、識別可能な可燃性ガスの濃度範囲が限られるという問題が一例として挙げられる。
【0011】
本発明は、上記課題に係る問題を解決することを目的としている。即ち、本発明は、可燃性ガスの濃度範囲を限定することなく、簡易な処理で可燃性ガスの識別ができるガス識別装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【0012】
請求項1に記載された発明は、上記目的を達成するために、図12の基本構成図に示すように、可燃性ガスを識別するガス識別装置において、前記可燃性ガスを吸着する第1の触媒を備えた接触燃焼式の第1センサ素子が設けられた第1ガスセンサ10Aと、前記可燃性ガスを吸着する、前記第1の触媒とは異なる、第2の触媒を備えた接触燃焼式の第2センサ素子が設けられた第2ガスセンサ10Bと、前記第1センサ素子及び前記第2センサ素子のそれぞれの温度が、前記可燃性ガスと接触燃焼しない低温及び前記可燃性ガスと接触燃焼する高温に順次切り替わるように、前記第1ガスセンサ10A及び前記第2ガスセンサ10Bのそれぞれに通電する通電制御手段21A1と、前記第1センサ素子の前記低温時に前記第1の触媒に吸着した前記可燃性ガスが、燃焼しているときの前記第1ガスセンサ10Aの出力を時系列的に取得する第1時系列出力取得手段21C1と、前記第2センサ素子の前記低温時に前記第2の触媒に吸着した前記可燃性ガスが、燃焼しているときの前記第2ガスセンサ10Bの出力を時系列的に取得する第2時系列出力取得手段21C2と、前記第1時系列出力取得手段21C1によって時系列的に取得された前記出力から、前記第1ガスセンサ10Aの前記出力の積分値を算出する第1積分値算出手段21D1と、前記第2時系列出力取得手段21C2によって時系列的に取得された前記出力から、前記第2ガスセンサ10Bの前記出力の積分値を算出する第2積分値算出手段21D2と、前記第1積分値算出手段21D1によって算出された前記積分値と前記第2積分値算出手段21D2によって算出された前記積分値との比を算出する積分値比算出手段21D3と、前記積分値比算出手段21D3によって算出された前記積分値の比から、前記可燃性ガスを識別するための積分値比判定情報を記憶する積分値比判定情報記憶手段21E1と、前記積分値比算出手段21D3によって算出された前記積分値の比を、前記積分値比判定情報記憶手段21E1に記憶された前記積分値比判定情報と比較することによって、前記可燃性ガスを識別する吸着性ガス識別手段21D4と、を有していることを特徴とするガス識別装置である。
【0013】
請求項2に記載された発明は、図13の基本構成図に示すように、可燃性ガスを水素とアルカン類ガスとに識別するガス識別装置において、パラジウム触媒を備えた接触燃焼式のPdセンサ素子が設けられたPd触媒ガスセンサ12と、白金触媒を備えた接触燃焼式のPtセンサ素子が設けられたPt触媒ガスセンサ13と、前記Pdセンサ素子及び前記Ptセンサ素子のそれぞれの温度が、前記可燃性ガスと接触燃焼しない低温及び前記可燃性ガスと接触燃焼する高温に順次切り替わるように、前記Pd触媒ガスセンサ12及び前記Pt触媒ガスセンサ13のそれぞれに通電する通電制御手段21A2と、前記Pdセンサ素子の前記低温時に前記パラジウム触媒に吸着した前記可燃性ガスの燃焼が、終了した後の前記Pd触媒ガスセンサ12の出力を取得する第1出力取得手段21C3と、前記Ptセンサ素子の前記低温時に前記白金触媒に吸着した前記可燃性ガスの燃焼が、終了した後の前記Pt触媒ガスセンサ13の出力を取得する第2出力取得手段21C4と、前記第1出力取得手段21C3によって取得された前記出力と前記第2出力取得手段21C4によって取得された前記出力との比を算出する出力比算出手段21D5と、前記出力比算出手段21D5によって算出された前記出力の比から、前記可燃性ガスを前記水素と前記アルカン類ガスとに識別するための出力比判定情報を記憶する出力比判定情報記憶手段21E2と、前記出力比算出手段21D5によって算出された前記出力の比を、前記出力比判定情報記憶手段21E2に記憶された前記出力比判定情報と比較することによって、前記可燃性ガスを前記水素と前記アルカン類ガスとに識別する非吸着性ガス識別手段21D6と、を有していることを特徴とするガス識別装置である。
【発明の効果】
【0014】
請求項1に記載された発明によれば、第1ガスセンサ10A及び第2ガスセンサ10Bのそれぞれが備える第1センサ素子及び第2センサ素子の低温時にそれぞれの触媒に吸着した可燃性ガスが燃焼しているときの各ガスセンサ10A、10Bにおける出力の積分値を求めて、これら積分値の比に基づいて可燃性ガスの識別を行っているので、可燃性ガスはその燃焼特性と吸着特性に応じてピーク出力の大きさ及び幅が決まり、上記出力の積分値を用いることで触媒に吸着したガスの特徴を的確に捉えることができ、また、各ガスセンサ10A、10Bにおける出力の積分値の比をとることにより、濃度による出力の変動を各ガスセンサ10A、10B間で相殺して、濃度の影響を回避できる。そのため、濃度範囲を限定することなく正確に可燃性ガスの識別ができる。また、各ガスセンサ10A、10Bにおいて吸着燃焼時の出力を時系列的に取得するので、正確なピーク出力(位置)を求める必要がなく、そのため、簡易な処理で可燃性ガスの識別ができる。
【0015】
請求項2に記載された発明によれば、Pd触媒ガスセンサ12及びPt触媒ガスセンサ13のそれぞれが備えるPdセンサ素子及びPtセンサ素子の低温時にそれぞれの触媒に吸着した可燃性ガスの燃焼が終了した後の各ガスセンサ12、13の出力、即ち、定常出力を取得して、これら出力の比(即ち、第2比(Pd−C/Pt−C))に基づいて可燃性ガスの識別を行うので、Pd触媒ガスセンサ12は水素及びアルカン類ガスに対してほぼ同じ出力をするのに対し、Pt触媒ガスセンサ13は、水素に対する出力に比べ、アルカン類ガスに対する出力が極端に小さく、そのため、水素を供給したときの第2比(Pd−C/Pt−C)とアルカン類ガスを供給したときの第2比(Pd−C/Pt−C)との差が大きく、識別に用いる出力比判定情報(即ち、水素判定値)の取りうる値幅を大きくすることができる。したがって、ガス識別装置で算出された上記出力の比に対する出力比判定情報のマージンを大きくすることができ、識別の信頼性を向上させることができる。また、1つの出力比判定情報を用いて識別を行うため、簡素な処理で可燃性ガスの識別ができる。また、可燃性ガスの濃度に応じてPd触媒ガスセンサ12及びPt触媒ガスセンサ13の定常出力が同様に変化するので、各ガスセンサの出力の比を用いることにより、濃度の影響を小さくすることができる。
【図面の簡単な説明】
【0016】
【図1】本発明のガス識別装置の一実施の形態を示すブロック図である。
【図2】図1に示すRu触媒ガスセンサ、Pd触媒ガスセンサ、Pt触媒ガスセンサの詳細な回路図である。
【図3】(A)〜(C)は、図1に示すRu触媒ガスセンサ、Pd触媒ガスセンサ、Pt触媒ガスセンサの平面図、背面図及びA−A線に沿う断面図である。
【図4】(A)〜(C)は、o−キシレン、m−キシレン、p−キシレンを、各々100ppm供給したときのRu触媒ガスセンサ、Pd触媒ガスセンサ、Pt触媒ガスセンサ出力を示すグラフである。
【図5】(A)〜(C)は、トルエン、p−キシレンを、各々100ppm供給したときのRu触媒ガスセンサ、Pd触媒ガスセンサ、Pt触媒ガスセンサ出力を示すグラフである。
【図6】(A)〜(C)は、トルエン、エタノールを、各々100ppm供給したときのRu触媒ガスセンサ、Pd触媒ガスセンサ、Pt触媒ガスセンサ出力を示すグラフである。
【図7】(A)〜(C)は、トルエンを100ppm、プロパンを1000ppm供給したときのRu触媒ガスセンサ、Pd触媒ガスセンサ、Pt触媒ガスセンサ出力を示すグラフである。
【図8】(A)〜(C)は、水素、プロパンを、各々1000ppm供給したときのRu触媒ガスセンサ、Pd触媒ガスセンサ、Pt触媒ガスセンサ出力を示すグラフである。
【図9】(A)〜(C)は、エタノール、トルエン、o−キシレンを、各々100ppm供給したときのRu触媒ガスセンサ、Pd触媒ガスセンサ、Pt触媒ガスセンサ出力を示すグラフである。
【図10】図1に示すガス識別装置を構成するコントローラの処理手順を示すフローチャートである。
【図11】ガスセンサの出力の積分値の概要を示す説明図である。
【図12】本発明のガス識別装置の基本構成図である。
【図13】本発明のガス識別装置の他の基本構成図である。
【発明を実施するための形態】
【0017】
以下、本発明の一実施の形態を図面に基づいて説明する。図1は、本発明のガス識別装置の一実施の形態を示すブロック図である。図2は、図1に示すRu触媒ガスセンサ、Pd触媒ガスセンサ、Pt触媒ガスセンサの詳細な回路図である。図3(A)〜(C)は、図1に示すRu触媒ガスセンサ、Pd触媒ガスセンサ、Pt触媒ガスセンサの平面図、背面図及びA−A線に沿う断面図である。
【0018】
同図に示すように、ガス識別装置は、Ru触媒ガスセンサ11と、Pd触媒ガスセンサ12と、Pt触媒ガスセンサ13と、コントローラ20と、駆動電源30と、ガス検知出力部40とを備えている。このガス識別装置は、一例として、水素、プロパン、エタノール、トルエン、キシレン(o−キシレン、m−キシレン、p−キシレン)の各可燃性ガスを識別する。
【0019】
上記ガスセンサ11、12、13はそれぞれ、図2に示すように、可燃性ガスと接触燃焼する接触燃焼式のガス検知素子(センサ素子)8及び比較素子9を有している。ガス検知素子8は、図3に示すように、白金から成るPtヒータ10sと、このPtヒータ10s上に設けられた、可燃ガスの接触燃焼を促進する触媒層11s(触媒)とで構成されている。比較素子9は、Ptヒータ10rと、このPtヒータ10r上に設けられたアルミナ(Al2O3)層11rとで構成されている。
【0020】
図3(A)及び(B)に示すように、各ガスセンサ11、12、13は、シリコン(Si)ウエハ41の上に、(酸化)SiO2膜48c、(窒化)SiN膜48b及び(酸化ハフニウム)HfO2膜48aからなる絶縁薄膜が生膜され、その上に、ガス検知素子8としてPtヒータ10s及び触媒層11s、比較素子9としてPtヒータ10r及びAl2O3層11rが形成されている。また、図3(C)に示すように、Siウエハ41を異方性エッチングして凹部46及び47を形成して、それぞれ薄膜ダイヤフラムDs及びDrを形成することにより熱容量を小さくしている。
【0021】
上記ガス検知素子8のPtヒータ10sと、比較素子9のPtヒータ10rとは、可燃性ガスのない空気中では等しい抵抗値になるように設けられている。また、Ru触媒ガスセンサ11は上記触媒層11sとしてルテニウム(以下Ru)を用い、Pd触媒ガスセンサ12は上記触媒層11sとしてパラジウム(以下Pd)を用い、Pt触媒ガスセンサ13は上記触媒層11sとして白金(以下Pt)を用いている。これにより、Ru、Pd、Ptを各々触媒とした複数のガスセンサ11、12、13を用いてガスの識別を行うことができる。触媒層11sとしてルテニウムを用いたガス検知素子8が、請求項中の第1センサ素子に相当し、触媒層11sとして白金を用いたガス検知素子8が、請求項中の第2センサ素子に相当する。また、触媒層11sとしてパラジウムを用いたガス検知素子8が、請求項中のPdセンサ素子に相当し、触媒層11sとして白金を用いたガス検知素子8が、請求項中のPtセンサ素子に相当する。
【0022】
上述したガス検知素子8及び比較素子9は、図2に示すように、抵抗12、13と共にブリッジ回路14を構成している。このブリッジ回路14の端子aと端子bとの間には、ヒータ駆動回路21Aからパルス状のセンサ駆動電圧が供給される。
【0023】
以上の構成によれば、ブリッジ回路14は可燃性ガスのない空気中では平衡状態となり、c、d間に電位差が生じない。これに対して、可燃性ガスを含む空気中では可燃性ガスとの燃焼熱によりガス検知素子8のPtヒータ10sの抵抗値が増加するため不平衡状態となり、c、d間に電位差が生じる。この電位差は可燃性ガスの濃度に比例した値である。そして、ブリッジ回路14の端子c、端子d間に接続されたセンサ出力検出器16が、上記電位差を増幅してセンサ出力V1として出力する。
【0024】
また、ブリッジ回路14に供給されるセンサ駆動電圧は、所定の周期で低電圧、高電圧を繰り返し出力する信号であり、高電圧時間が400msで低電圧時間が10秒である。これら時間は一例であり、適宜調整可能である。このセンサ駆動電圧の高電圧時間中にガス検知素子8及び比較素子9が高温に制御されガス検知素子8が可燃ガスと接触燃焼する。一方、低電圧時間中にガス検知素子8及び比較素子9が低温に制御されガス検知素子8は可燃ガスと接触燃焼しない。このヒータ駆動回路21Aは、請求項中の通電制御手段に相当する。
【0025】
また、上述したコントローラ20は、周知のマイクロコンピュータ及びその周辺回路で構成されており、ヒータ駆動回路21Aと、補正部21Bと、センサ出力取得部21Cと、ガス種分別部21Dと、メモリ21Eと、を備えている。ヒータ駆動回路21Aは、上述したように駆動電源30の供給電圧からパルス状のセンサ駆動電圧を作ってブリッジ回路14に供給する回路である。本実施形態においてヒータ駆動回路21Aは、センサ駆動電圧の高電圧時に各ガスセンサ11、12、13が450℃になり、低電圧時に各ガスセンサ11、12、13が200℃となるようなセンサ駆動電圧を供給する。この温度は一例で適宜調整可能である。
【0026】
補正部21Bは、ガスセンサ11、12、13の出力の温度補正などを行うものである。センサ出力取得部21Cは、補正部21Bによって補正されたガスセンサ11、12、13の出力を取得してガス種分別部21Dに供給するものである。ガス種分別部21Dは、上記ガスセンサ11、12、13の出力に基づいてガスの識別を行うものである。ガス種分別部21Dによる識別結果は、ガス検知出力部40によって外部の装置などに送られる。また、メモリ21Eには、後述する各種閾値などが格納されている。
【0027】
ところで、エタノールなどの吸着性の高い可燃性ガスは、センサ駆動電圧が低電圧のときに触媒層11s表面に吸着した分が、センサ駆動電圧が高電圧になったとき瞬間的に燃焼(この現象を吸着燃焼という)して、ピーク状の出力となる。一方、吸着性の低い水素等の一般的な可燃ガスは、触媒層11s表面への吸着量が少ないので、センサ駆動電圧が高電圧になったときに雰囲気中の可燃性ガスが燃焼(即ち、接触燃焼)して、その出力が小さく定常的な出力となる。
【0028】
従って、このピークの有無により吸着性の高いガスと吸着性の低いガスとの識別を行うことができる。また、吸着性の高いガスは、触媒を変えることによりガスセンサ11、12、13の出力のピーク値が変化する。これに対して吸着性の低いガスは、触媒を変えることによりガスセンサ11、12、13の出力の定常値が変化する。本実施形態は、上記ピーク値を第1燃焼値、上記定常値を第2燃焼値として取得し、各ガスセンサの第1燃焼値、第2燃焼値の違いを利用して、ガス種や異性体の同定と定量を行う。また、上記吸着燃焼中の出力を時系列的に取得し、該出力の積分値に基づいて吸着性の高いガス種の識別を行う。
【0029】
次に、本願発明者らは、各可燃性ガスと、ガスセンサ11、12、13の出力との関係を調べた。結果を図4〜図8に示す。図4(A)〜(C)は、o−キシレン、m−キシレン、p−キシレンを、各々100ppm供給したときの各ガスセンサ11、12、13の出力を示すグラフである。図5(A)〜(C)は、トルエン、p−キシレンを、各々100ppm供給したときの各ガスセンサ11、12、13の出力を示すグラフである。図6(A)〜(C)は、トルエン、エタノールを、各々100ppm供給したときの各ガスセンサ11、12、13の出力をそれぞれ示すグラフである。図7(A)〜(C)は、トルエンを100ppm、プロパンを1000ppm、供給したときの各ガスセンサ11、12、13の出力を示すグラフである。図8(A)〜(C)は、水素、プロパンを、各々1000ppmに供給したときの各ガスセンサ11、12、13の出力を示すグラフである。図9(A)〜(C)は、エタノール、トルエン、o−キシレンを各々100ppm供給したときの各ガスセンサ11、12、13の出力を示すグラフである。なお、図4〜図7の(B)、(C)については、Pd触媒ガスセンサ12及びPt触媒ガスセンサ13に、高電圧時に400℃となるようなセンサ駆動電圧が供給されたときの出力のグラフを示しているが、これらグラフについて、高電圧時に450℃となるようなセンサ駆動電圧が供給されたときのものと同様の傾向にあることが、本発明者による試験、調査等により分かっている。
【0030】
図4に示すように、Ru触媒ガスセンサ11は、キシレンに対する出力が小さく、特にo−キシレンに対する出力が小さく、どの異性体にもピーク状の出力は現れないことが分かった。Pd触媒ガスセンサ12は、ピーク状の出力は現れるが、異性体による差はないことが分かった。Pt触媒ガスセンサ13は、ピーク状の出力が現れ、そのピーク値が異性体によって異なることが分かった。このことから、キシレンの異性体、o−キシレン、m−キシレン、p−キシレンを識別できることが分かる。
【0031】
また、図5に示すように、Ru触媒ガスセンサ11は、トルエンとp−キシレンとでは出力に差がないことが分かった。Pd触媒ガスセンサ12は、ピーク状の出力が現れ、ピーク値はp−キシレンの方が大きく、定常値は逆にトルエンの方が大きいことが分かった。Pt触媒ガスセンサ13は、ピーク値、定常値ともトルエンの方が大きいことが分かった。このことから、p−キシレンとトルエンとを識別することができることが分かる。
【0032】
また、図6に示すように、Ru触媒ガスセンサ11は、トルエンではピークが無いのに対してエタノールではピークが現れることが分かった。Pd触媒ガスセンサ12は、トルエン、エタノールともピーク状の出力が現れたが、ピーク値と定常値との比がトルエンの方が大きいと分かった。Pt触媒ガスセンサ13は、トルエン、エタノールともピーク状の出力が現れたが、ピーク値と定常値との比がエタノールの方が大きかった。
【0033】
また、図7に示すように、Ru触媒ガスセンサ11は、トルエン、プロパンともにピーク状の出力が現れないことが分かった。Pd触媒ガスセンサ12は、トルエンでピーク状の出力が現れたのに対してプロパンではピーク状の出力が現れないことが分かった。Pt触媒ガスセンサ13は、Pd触媒ガスセンサ12と同様の傾向であるが、プロパンではPd触媒ガスセンサ12の出力に比べて著しく小さな値となることが分かった。このことから、トルエンとプロパンを識別することができる。
【0034】
また、図8に示すように、Ru触媒ガスセンサ11は、水素、プロパン共にほぼ同じ定常出力を示すことが分かった。Pd触媒ガスセンサ12は、水素、プロパン共にほぼ同じ定常出力を示すことが分かった。Pt触媒ガスセンサ13は、水素での出力に比べてプロパンでの定常出力が著しく小さな値となることが分かった。このことから、水素とプロパンとを識別することができる。
【0035】
また、図9に示すように、Pt触媒ガスセンサ13は、エタノール、トルエン、o−キシレンの全てでピーク状の出力が現れるが、エタノールのピーク値が最も小さいことが分かった(図9(C))。一方で、Ru触媒ガスセンサ11は、トルエン及びo−キシレンに対しては、Pt触媒ガスセンサよりも小さいピーク値となるが、エタノールに対してはPt触媒ガスセンサ13よりも大きいピーク値となることが分かった(図9(A))。なお、図からも明らかなように、ピーク値が大きくなるとピーク出力の面積(後述)も大きくなり、ピーク値が小さくなるとピーク出力の面積も小さくなる。このことから、エタノールと、トルエン及びキシレンと、を識別することができることが分かる。
【0036】
上述したガス種による各ガスセンサ11、12、13の出力の違いを利用してコントローラ20が行うガス種識別動作について図10のフローチャートを参照して以下説明する。まず、電源投入に応じてコントローラ20内のヒータ駆動回路21Aが、センサ駆動電圧をブリッジ回路14に供給する。
【0037】
次に、上記コントローラ20内のセンサ出力取得部21Cは、センサ駆動電圧が高電圧の期間の各ガスセンサ11、12、13の出力Ru−O、Pd−O、Pt−Oを所定の間隔(例えば、1ms)で時系列的に取得する(ステップS0)。そして、これら時系列的に取得した出力Ru−O、Pd−O、Pt−Oから、センサ駆動電圧が低電圧から高電圧になった直後に各ガスセンサ11、12、13の出力に現れるピーク値(即ち低電圧から高電圧になってから一定時間(例えば50ms)経過する間のセンサ出力V1のピーク値)を第1燃焼値Ru−A、Pd−A、Pt−Aとして取得し(ステップS1)、また、センサ駆動電圧が高電圧から低電圧になる直前のピーク終了後の定常値を第2燃焼値Ru−C、Pd−C、Pt−Cとして取得する(ステップS2)。以上のステップS0、S2から明らかなようにセンサ出力取得部21Cが請求項中の第1時系列出力取得手段、第2時系列出力取得手段、第1出力取得手段、及び、第2出力取得手段に相当する。
【0038】
次に、コントローラ20内のガス種分別部21Dは、Pd触媒ガスセンサ12の第1燃焼値Pd−A及び第2燃焼値Pd−Cの第1比(Pd−A/Pd−C)を演算する(ステップS3)。そして、ガス種分別部21Dは、ステップS3で演算した第1比(Pd−A/Pd−C)が吸着判定値である「2」よりも小さければ(ステップS4でY)、Pd触媒ガスセンサ12の出力にピークがないと判定し吸着性の低い水素かプロパンであると判定する(ステップS5)。なお、上述した吸着判定値は、予め計測したキシレン、トルエン、エタノール、プロパン、水素を供給したときの各Pd触媒ガスセンサ12の出力から定めた値である。また、上記「2」は吸着判定値の一例であり、吸着性の高いガスか低いガスかを判定できれば別の値でもよい。
【0039】
次に、ガス種分別部21Dは、出力比算出手段として働き、Pd触媒ガスセンサ12の第2燃焼値Pd−C及びPt触媒ガスセンサ13の第2燃焼値Pt−Cの第2比(Pd−C/Pt−C)を演算する(ステップS6)。このように比を演算することによりガス濃度による変動を受けにくくすることができ、第2比(Pd−C/Pt−C)はガス濃度に依存して変動しにくい値となる。そして、図8に示すように、水素であれば第2比(Pd−C/Pt−C)が小さく、プロパンであれば第2比(Pd−C/Pt−C)が大きい。
【0040】
以上のことに着目し、ガス種分別部21Dは、非吸着性ガス識別手段として働き、第2比(Pd−C/Pt−C)と水素判定値X3とを比較する。なお、上述した水素判定値X3は、予め測定した水素、プロパンを供給したときのPd触媒ガスセンサ12及びPt触媒ガスセンサ13の第2燃焼値Pd−C、Pt−Cから定めた値であり、メモリ21Eに予め記憶されている。このことから明らかなように、水素判定値X3は請求項中の出力比判定情報に相当し、メモリ21Eは請求項中の出力比判定情報記憶手段に相当する。
【0041】
そして、ガス種分別部21Dは、第2比(Pd−C/Pt−C)が水素判定値X3より小さければ(ステップS7でY)、水素と判定して(ステップS8)、ガス濃度を演算した後(ステップS9)、ステップS0に戻る。これに対して、ガス種分別部21Dは、第2比(Pd−C/Pt−C)が水素判定値X3以上であれば(ステップS7でN)、プロパンと判定して(ステップS10)、上記ステップS9に進む。これにより、吸着性の低いガス同士のうち水素とプロパンとを識別することができる。
【0042】
一方、ガス種分別部21Dは、ステップS3で演算した第1比(Pd−A/Pd−C)が吸着判定値である「2」以上であれば(ステップS4でN)、Pd触媒ガスセンサ12の出力にピークが現れていると判定し吸着性の高いエタノールかトルエンかキシレンであると判定する(ステップS11)。
【0043】
次に、ガス種分別部21Dは、第1積分値算出手段及び第2積分値算出手段として働き、Ru触媒ガスセンサ11において時系列的に取得した出力Ru−Oのうち、時刻50ms〜400msの間で第2燃焼値Ru−Cを超えるものに対して上記所定の間隔をそれぞれに掛け合わせて積分値(Ruピーク積分値)を演算し、また、Pt触媒ガスセンサ13において時系列的に取得したPt−Oのうち、時刻50ms〜400msの間で第2燃焼値Pt−Cを超えるものに対して上記所定の間隔をそれぞれに掛け合わせて積分値(Ptピーク積分値)を演算する(ステップS12)。これら演算によって算出される積分値のイメージを図11に示し、図中、グラフの網掛け部分の面積(即ち、ピーク出力の面積)が積分値によって示される。なお、積分値を算出する上記時刻範囲は一例であり、本発明の目的に反しない限り、上記時刻範囲は任意である。そして、ガス種分別部21Dは、積分値比算出手段として働き、Ruピーク積分値とPtピーク積分値との比(積分値比(Ruピーク積分値/Ptピーク積分値)という)を演算する(ステップS121)。そして、エタノールであれば、Ru触媒ガスセンサ11におけるピーク出力の面積が、Pt触媒ガスセンサ13におけるピーク出力の面積より大きいので、積分値比(Ruピーク積分値/Ptピーク積分値)が大きく、一方で、トルエン、キシレンであれば、Ru触媒ガスセンサ11におけるピーク出力の面積が、Pt触媒ガスセンサ13におけるピーク出力の面積より小さいので、積分値比(Ruピーク積分値/Ptピーク積分値)が小さい。
【0044】
以上のことに着目し、ガス種分別部21Dは、吸着性ガス識別手段として働き、積分値比(Ruピーク積分値/Ptピーク積分値)とエタノール判定値X5とを比較する。なお、上述したエタノール判定値X5は、予め測定したエタノール、トルエン、キシレンを供給したときのRu触媒ガスセンサ11及びPt触媒ガスセンサ13のそれぞれの出力の積分値の比から定めた値であり、メモリ21Eに予め記憶されている。このことから明らかなように、エタノール判定値X5は、請求項中の積分値比判定情報に相当し、メモリ21Eは、請求項中の積分値比判定情報記憶手段に相当する。また、Ru触媒が、請求項中の第1の触媒に相当し、Pt触媒が、請求項中の第2の触媒に相当し、触媒層としてRuを用いたガス検知素子8が、請求項中の第1センサ素子に相当し、触媒層としてPtを用いたガス検知素子8が、請求項中の第2センサ素子に相当し、Ru触媒ガスセンサ11が、請求項中の第1ガスセンサに相当し、Pt触媒ガスセンサ13が、請求項中の第2ガスセンサに相当する。
【0045】
そして、ガス種分別部21Dは、積分値比(Ruピーク積分値/Ptピーク積分値)がエタノール判定値X5以上であれば(ステップS13でY)、エタノールと判定して(ステップS14)、ガス濃度を演算した後(ステップS9)、ステップS0に戻る。これに対して、積分値比(Ruピーク積分値/Ptピーク積分値)がエタノール判定値X5より小さければ(ステップS13でN)、トルエンかキシレンであると判定する(ステップS15)。これにより、吸着性の高いガス同士のうちエタノールと、トルエン又はキシレンとを識別することができる。つまり、エタノール判定値X5を用いて、積分値比(Ruピーク積分値/Ptピーク積分値)からエタノール(アルコール類ガス)とトルエン及びキシレン(芳香族化合物ガス)とを識別する。
【0046】
その後、ガス種分別部21Dは、Pd触媒ガスセンサ12の第1燃焼値Pd−A及び第2燃焼値Pd−Cの第1比(Pd−A/Pd−C)と、Pt触媒ガスセンサ13の第1燃焼値Pt−A及び第2燃焼値Pt−Cの第1比(Pt−A/Pt−C)とを演算する(ステップ16)。図5に示すように、トルエンであれば第1比(Pd−A/Pd−C)と第1(Pt−A/Pt−C)とがほぼ等しくなるのに対して、キシレンは第1比(Pd−A/Pd−C)と第1(Pt−A/Pt−C)とが等しくならない。
【0047】
以上のことに着目して、ガス種分別部21Dは、第1比(Pd−A/Pd−C)と第1(Pt−A/Pt−C)とがほぼ等しければ(ステップS17でY)、トルエンと判定した後(ステップS18)、ステップS9に進む。一方、等しくなければ(ステップS17でN)、キシレンと判定する(ステップS19)。これにより、吸着性の高いガス同士のうちトルエンとキシレンとを識別することができる。
【0048】
また、図4(C)に示すように、o−キシレンであれば第1比(Pt−A/Pt−C)が最も大きくなり、m−キシレンであれば第1比(Pt−A/Pt−C)が2番目に大きくなり、p−キシレンであれば第1比(Pt−A/Pt−C)が最も小さくなる。
【0049】
以上のことに着目して、ガス種分別部21Dは、ステップS16で求めた第1比(Pt−A/Pt−C)が第2閾値である「5」以上であれば(ステップS20でY)、o−キシレンと判定した後(ステップS21)、ステップS9に進む。また、ガス種分別部21Dは、ステップS16で求めた第1比(Pt−A/Pt−C)が第2閾値である「5」未満であり第3閾値である「4」以上であれば(ステップS22でY)、m−キシレンであると判定した後(ステップS23)、ステップS9に進む。
【0050】
また、ガス種分別部21Dは、ステップS16で求めた第1比(Pt−A/Pt−C)が第3閾値である「4」未満であれば(ステップS22でN)、p−キシレンであると判定した後(ステップS24)、ステップS9に進む。これにより、キシレンのうちo−キシレン、m−キシレン、p−キシレンを識別することができる。なお、上述した第2閾値及び第3閾値は、予め測定したo−キシレン、m−キシレン、p−キシレンを供給したときのPt触媒ガスセンサ13の出力から定めた値である。また、上記「5」は第2閾値の一例であり、「4」は第3閾値の一例であり、o−キシレン、m−キシレン、p−キシレンを識別できる値であれば別の値でもよい。
【0051】
このようにして、上述したガス識別装置によって、水素、プロパン、エタノール、トルエン、キシレン(o−キシレン、m−キシレン、p−キシレン)を識別できる。本実施形態において、エタノール(アルコール類ガス)、トルエン、キシレン(芳香族化合物ガス)が、請求項1中の可燃性ガスに相当し、水素、プロパン(アルカン類ガス)が、請求項2中の可燃性ガスに相当する。
【0052】
以上より、本発明によれば、Ru触媒ガスセンサ11及びPt触媒ガスセンサ13のそれぞれが備えるRuセンサ素子及びPtセンサ素子の低温時にそれぞれの触媒に吸着した可燃性ガスが燃焼しているときの各ガスセンサ11、13における出力の積分値を求めて、これら積分値の比に基づいて可燃性ガスの識別を行っているので、可燃性ガスはその燃焼特性と吸着特性に応じてピーク出力の大きさ及び幅が決まり、上記出力の積分値を用いることで触媒に吸着したガスの特徴を的確に捉えることができ、また、各ガスセンサ11、13における出力の積分値の比をとることにより、濃度による出力の変動を各ガスセンサ11、13間で相殺して、濃度の影響を回避できる。そのため、濃度範囲を限定することなく正確に可燃性ガスの識別ができる。また、各ガスセンサ11、13において吸着燃焼時の出力を時系列的に取得するので、正確なピーク出力(位置)を求める必要がなく、そのため、簡易な処理で可燃性ガスの識別ができる。
【0053】
また、Pd触媒ガスセンサ12及びPt触媒ガスセンサ13のそれぞれが備えるPdセンサ素子及びPtセンサ素子の低温時にそれぞれの触媒に吸着した可燃性ガスの燃焼が終了した後の各ガスセンサ12、13の出力、即ち、定常出力を取得して、これら出力の比(即ち、第2比(Pd−C/Pt−C))に基づいて可燃性ガスの識別を行うので、Pd触媒ガスセンサ12は水素及びプロパンに対してほぼ同じ出力をするのに対し、Pt触媒ガスセンサ13は、水素に対する出力に比べ、プロパンに対する出力が極端に小さく、そのため、水素を供給したときの第2比(Pd−C/Pt−C)とプロパンを供給したときの第2比(Pd−C/Pt−C)との差が大きく、識別に用いる水素判定値X3の取りうる値幅を大きくすることができる。したがって、ガス識別装置で算出された上記出力の比に対する水素判定値X3のマージンを大きくすることができ、識別の信頼性を向上させることができる。また、1つの水素判定値X3を用いて識別を行うため、簡素な処理で可燃性ガスの識別ができる。また、可燃性ガスの濃度に応じてPd触媒ガスセンサ12及びPt触媒ガスセンサ13の定常出力が同様に変化するので、各ガスセンサの出力の比を用いることにより、濃度の影響を小さくすることができる。
【0054】
上述した実施形態では、触媒としてRu、Pd、Ptを用いていたが、本発明はこれに限ったものではない。各種ガスが識別できれば別の触媒であってもよい。また、上述した実施形態では、水素、プロパン、エタノール、トルエン、キシレンを識別するものであったが、これに限ったものではなく、プロパンに代えてこれと同様の性質を有するブタンなどのアルカン類ガス、エタノールに代えてこれと同様の性質を有するメタノールなどのアルコール類ガス、トルエン又はキシレンに代えてこれらと同様の性質を有するエチルベンゼン、スチレンなどの芳香族化合物ガス、などの識別することができる。この場合、識別するガスについて事前に測定を行って適宜閾値を再設定するなどの調整が必要である。
【0055】
次に、本発明者らは、図8のグラフから、従来のガス識別装置において可燃性ガスを水素とプロパンとに識別するときに用いる第2比(Pd−C/Ru−C)及び第2比(Pt−C/Ru−C)と、本発明のガス識別装置において可燃性ガスを水素とプロパンとに識別するときに用いる第2比(Pd−C/Pt−C)とを算出した。これら値を表1に示す。
【0056】
【表1】
【0057】
第2比(Pd−C/Ru−C)は、従来のガス識別装置における水素判定値X1の取りうる値の範囲を示しており、その値幅は1.64となり、また、第2比(Pt−C/Ru−C)は、従来のガス識別装置における水素判定値X2の取りうる値の範囲を示しており、その値幅は5.04となる。一方、第2比(Pd−C/Pt−C)は、本発明のガス識別装置における水素判定値X3の取りうる値の範囲を示しており、その値幅は11.37となり、上述した従来の水素判定値X1、X2の2倍以上の値幅となる。そのため、本発明において、水素判定値X3に、ガス識別装置における測定値に対して十分大きなマージンを設けることができ、測定の信頼性を向上させることができることが、このことからも分かる。
【0058】
また、本発明者らは、図9のグラフから、従来のガス識別装置において可燃性ガスをエタノールとトルエン及びキシレンとに識別するときに用いる第1比(Ru−A/Ru−C)と、本発明のガス識別装置において可燃性ガスをエタノールとトルエン及びキシレンとに識別するときに用いる積分値比(Ruピーク積分値/Ptピーク積分値)と、を算出した。これら値を表2に示す。
【0059】
【表2】
【0060】
第1比(Ru−A/Ru−C)は、Ru触媒ガスセンサ11のピーク出力を定常出力で割った値であり、上述したように可燃性ガスの濃度によってピーク出力が変動するので、これら値に基づいて識別を行うには、識別対象となるガスの濃度を限定する必要がある。一方、図9のグラフから、Ru触媒ガスセンサ11はPt触媒ガスセンサ13に比べて、エタノールを吸着する能力が高いと考えられ、そのため、Pt触媒ガスセンサ13における出力の積分値(Ptピーク積分値)は、Ru触媒ガスセンサ11における出力の積分値(Ruピーク積分値)を超えることはない。また、各ガスセンサ11、13の出力は、濃度の変化に応じて同様に変化するので、積分値の比を用いることで、濃度の変化に伴う出力の変化が各ガスセンサ11、13の間で相殺されて、濃度の影響を回避することができる。よって、濃度範囲を限定することなく正確に可燃性ガスの識別ができる。
【0061】
なお、前述した実施形態は本発明の代表的な形態を示したに過ぎず、本発明は、実施形態に限定されるものではない。即ち、本発明の骨子を逸脱しない範囲で種々変形して実施することができる。
【符号の説明】
【0062】
8 ガス検知素子(第1センサ素子、第2センサ素子、Pdセンサ素子、Ptセンサ素子)
11 Ru触媒ガスセンサ(第1ガスセンサ)
12 Pd触媒ガスセンサ
13 Pt触媒ガスセンサ(第2ガスセンサ)
20 コントローラ
21A ヒータ駆動回路(通電制御手段)
21C センサ出力取得部(第1時系列出力取得手段、第2時系列出力取得手段、第1出力取得手段、第2出力取得手段)
21D ガス種分別部(第1積分値算出手段、第2積分値算出手段、積分値比算出手段、吸着性ガス識別手段、出力比算出手段、非吸着性ガス識別手段)
21E メモリ(積分値比判定情報記憶手段、出力比判定情報記憶手段)
X3 水素判定値(出力比判定情報)
X5 エタノール判定値(積分値比判定情報)
【技術分野】
【0001】
本発明は、ガス種が不明な単一の可燃性ガスを識別するガス識別装置に関する。
【背景技術】
【0002】
上述した従来のガス識別装置として、例えば、特許文献1に記載されたガス識別装置が提案されている。このガス識別装置は、それぞれ触媒としてルテニウム(Ru)、パラジウム(Pd)、白金(Pt)を備えた3つの接触燃焼式ガスセンサを有しており、これら接触燃焼式ガスセンサを用いて、水素、プロパン、エタノール、トルエン、及び、キシレンの識別を行う。
【0003】
このガス識別装置で用いられる接触燃焼式ガスセンサは、MEMS(Micro Electro Mechanical System 微小電気機械システム)技術を用いて形成されており、燃焼状態に対する高速応答性に優れている。そして、このような接触燃焼式ガスセンサを用いて可燃性ガスに対する出力波形を測定すると、吸着性の低いガスに対しては定常的な出力(定常出力という)が観測されるのみであるが、吸着性の高いガスに対しては上記定常出力に加えて、低温時に触媒表面に吸着したガスが、高温時に瞬時に燃焼することによるピーク状の大きな出力(ピーク出力という)が観測される。これら定常出力及びピーク出力は、触媒と可燃性ガスの種類との組み合わせでそれぞれ出力の大きさに差異があることが判っており、このガス識別装置では、これらの差異を用いて可燃性ガスを識別する。
【0004】
上記ガス識別装置は、まず、各接触燃焼式ガスセンサにおける、識別対象となる可燃性ガスに対する出力波形を測定して、それぞれの接触燃焼式ガスセンサにおけるピーク出力である第1燃焼値及び定常出力である第2燃焼値を得る。そして、Pd触媒を備えた接触燃焼式ガスセンサにおける第1燃焼値と第2燃焼値との比(第1比(Pd−A/Pd−C)という)を求めて、この第1比(Pd−A/Pd−C)を、所定の閾値(吸着判定値)と比較する。この比較結果に基づいて、識別対象となる可燃性ガスを、上記第1比(Pd−A/Pd−C)が高いガス(即ち、定常出力とピーク出力との差が大きく、Pd触媒に対する吸着性の高いガスであるエタノール、トルエン、又は、キシレン)と、上記第1比(Pd−A/Pd−C)が低いガス(即ち、定常出力とピーク出力との差が小さく、Pd触媒に対する吸着性の低いガスである水素又はプロパン)と、に識別する。
【0005】
上記第1比(Pd−A/Pd−C)が高いガス(即ち、吸着性の高いガス)として識別されると、次に、Ru触媒を備えた接触燃焼式ガスセンサにおける第1比(Ru−A/Ru−C)を求め、この第1比(Ru−A/Ru−C)を所定の閾値(第1閾値)と比較する。そして、この第1比(Ru−A/Ru−C)が第1閾値以上のときにエタノールと識別し、この第1比(Ru−A/Ru−C)が第1閾値より小さいときにトルエン又はキシレンと識別する。この第1閾値は、Ru触媒を備えた接触燃焼式ガスセンサに、エタノール、トルエン、キシレンを供給したときの出力に基づいて定められている。
【0006】
また、上記第1比(Pd−A/Pd−C)が低いガス(即ち、吸着性の低いガス)として識別されると、次に、Pd触媒を備えた接触燃焼式ガスセンサの第2燃焼値とRu触媒を備えた接触燃焼式ガスセンサの第2燃焼値との比(第2比(Pd−C/Ru−C))、Pt触媒を備えた接触燃焼式ガスセンサの第2燃焼値とRu触媒を備えた接触燃焼式ガスセンサの第2燃焼値との比(第2比(Pt−C/Ru−C))、をそれぞれ求めて、これらの2つの第2比を、それぞれに対する所定の閾値(水素判定値X1、X2)と比較する。そして、これら2つの第2比がともに水素判定値X1、X2より大きいときに水素と識別し、これら2つの第2比がともに水素判定値X1、X2以下のときにプロパンと識別する。これら水素判定値X1、X2は、Ru触媒、Pd触媒、Pt触媒を備えた接触燃焼式ガスセンサに、水素、プロパンを供給したときの出力に基づいて定められている。
【0007】
このように、上記ガス識別装置によれば、複数の接触燃焼式ガスセンサを用いて吸着性の高いガス同士、吸着性の低いガス同士を識別することができるので、接触燃焼式ガスセンサを用いて性質の似た可燃性ガスを識別することができた。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0008】
【特許文献1】特開2008−185333号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0009】
しかしながら、上述したガス識別装置は、吸着性の高いガスと識別された可燃性ガスについて、Ru触媒を備えた接触燃焼式ガスセンサにおける第1比(Ru−A/Ru−C)、即ち、ピーク出力の大きさに基づいて、エタノールと、トルエン又はキシレンと、に識別するものであるが、この接触燃焼式ガスセンサにおけるピーク出力の大きさは可燃性ガスの濃度に応じて変動するので、トルエン又はキシレンにおいてもその濃度によっては第1比(Ru−A/Ru−C)が上記第1閾値以上となる場合があった。そのため、このガス識別装置では、識別可能な可燃性ガスの濃度範囲が限られるという問題があった。また、ピーク出力の大きさに基づいて識別するので、正確なピーク出力が必要とされるが、ガスの種類や濃度によっては、ピーク出力の位置(時間)が変動してしまい、正確なピーク出力を求めるために複雑な処理を要するという問題があった。
【0010】
また、上述した従来のガス識別装置は、水素判定値X1が、Ru触媒、Pd触媒を備えた接触燃焼式ガスセンサに、水素、プロパンを供給したときの定常出力の比(第2比(Pd−C/Ru―C))に基づいて定められており、そして、水素判定値X2が、Ru触媒、Pt触媒を備えた接触燃焼式ガスセンサに、水素、プロパンを供給したときの定常出力の比(第2比(Pt−C/Ru―C))に基づいて定められているので、水素判定値X1、X2の取りうる値の範囲(値幅)が非常に狭く、測定値に対して十分なマージンを設けることができず、例えば、接触燃焼式ガスセンサの個体差や、シリコンや硫黄化合物を原因とする触媒の被毒などにより、ガス識別装置において測定した上記第2比に誤差が生じたときに、これら水素判定値X1、X2を超えてしまう恐れがあった。そのため、可燃性ガスを正確に識別することができない可能性があり、信頼性が低いという問題があった。また、2つの水素判定値X1、X2を用いて識別を行うため、処理が煩雑という問題があった。そして、本発明が解決しようとする課題は、上記した従来技術において生じる、識別可能な可燃性ガスの濃度範囲が限られるという問題が一例として挙げられる。
【0011】
本発明は、上記課題に係る問題を解決することを目的としている。即ち、本発明は、可燃性ガスの濃度範囲を限定することなく、簡易な処理で可燃性ガスの識別ができるガス識別装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【0012】
請求項1に記載された発明は、上記目的を達成するために、図12の基本構成図に示すように、可燃性ガスを識別するガス識別装置において、前記可燃性ガスを吸着する第1の触媒を備えた接触燃焼式の第1センサ素子が設けられた第1ガスセンサ10Aと、前記可燃性ガスを吸着する、前記第1の触媒とは異なる、第2の触媒を備えた接触燃焼式の第2センサ素子が設けられた第2ガスセンサ10Bと、前記第1センサ素子及び前記第2センサ素子のそれぞれの温度が、前記可燃性ガスと接触燃焼しない低温及び前記可燃性ガスと接触燃焼する高温に順次切り替わるように、前記第1ガスセンサ10A及び前記第2ガスセンサ10Bのそれぞれに通電する通電制御手段21A1と、前記第1センサ素子の前記低温時に前記第1の触媒に吸着した前記可燃性ガスが、燃焼しているときの前記第1ガスセンサ10Aの出力を時系列的に取得する第1時系列出力取得手段21C1と、前記第2センサ素子の前記低温時に前記第2の触媒に吸着した前記可燃性ガスが、燃焼しているときの前記第2ガスセンサ10Bの出力を時系列的に取得する第2時系列出力取得手段21C2と、前記第1時系列出力取得手段21C1によって時系列的に取得された前記出力から、前記第1ガスセンサ10Aの前記出力の積分値を算出する第1積分値算出手段21D1と、前記第2時系列出力取得手段21C2によって時系列的に取得された前記出力から、前記第2ガスセンサ10Bの前記出力の積分値を算出する第2積分値算出手段21D2と、前記第1積分値算出手段21D1によって算出された前記積分値と前記第2積分値算出手段21D2によって算出された前記積分値との比を算出する積分値比算出手段21D3と、前記積分値比算出手段21D3によって算出された前記積分値の比から、前記可燃性ガスを識別するための積分値比判定情報を記憶する積分値比判定情報記憶手段21E1と、前記積分値比算出手段21D3によって算出された前記積分値の比を、前記積分値比判定情報記憶手段21E1に記憶された前記積分値比判定情報と比較することによって、前記可燃性ガスを識別する吸着性ガス識別手段21D4と、を有していることを特徴とするガス識別装置である。
【0013】
請求項2に記載された発明は、図13の基本構成図に示すように、可燃性ガスを水素とアルカン類ガスとに識別するガス識別装置において、パラジウム触媒を備えた接触燃焼式のPdセンサ素子が設けられたPd触媒ガスセンサ12と、白金触媒を備えた接触燃焼式のPtセンサ素子が設けられたPt触媒ガスセンサ13と、前記Pdセンサ素子及び前記Ptセンサ素子のそれぞれの温度が、前記可燃性ガスと接触燃焼しない低温及び前記可燃性ガスと接触燃焼する高温に順次切り替わるように、前記Pd触媒ガスセンサ12及び前記Pt触媒ガスセンサ13のそれぞれに通電する通電制御手段21A2と、前記Pdセンサ素子の前記低温時に前記パラジウム触媒に吸着した前記可燃性ガスの燃焼が、終了した後の前記Pd触媒ガスセンサ12の出力を取得する第1出力取得手段21C3と、前記Ptセンサ素子の前記低温時に前記白金触媒に吸着した前記可燃性ガスの燃焼が、終了した後の前記Pt触媒ガスセンサ13の出力を取得する第2出力取得手段21C4と、前記第1出力取得手段21C3によって取得された前記出力と前記第2出力取得手段21C4によって取得された前記出力との比を算出する出力比算出手段21D5と、前記出力比算出手段21D5によって算出された前記出力の比から、前記可燃性ガスを前記水素と前記アルカン類ガスとに識別するための出力比判定情報を記憶する出力比判定情報記憶手段21E2と、前記出力比算出手段21D5によって算出された前記出力の比を、前記出力比判定情報記憶手段21E2に記憶された前記出力比判定情報と比較することによって、前記可燃性ガスを前記水素と前記アルカン類ガスとに識別する非吸着性ガス識別手段21D6と、を有していることを特徴とするガス識別装置である。
【発明の効果】
【0014】
請求項1に記載された発明によれば、第1ガスセンサ10A及び第2ガスセンサ10Bのそれぞれが備える第1センサ素子及び第2センサ素子の低温時にそれぞれの触媒に吸着した可燃性ガスが燃焼しているときの各ガスセンサ10A、10Bにおける出力の積分値を求めて、これら積分値の比に基づいて可燃性ガスの識別を行っているので、可燃性ガスはその燃焼特性と吸着特性に応じてピーク出力の大きさ及び幅が決まり、上記出力の積分値を用いることで触媒に吸着したガスの特徴を的確に捉えることができ、また、各ガスセンサ10A、10Bにおける出力の積分値の比をとることにより、濃度による出力の変動を各ガスセンサ10A、10B間で相殺して、濃度の影響を回避できる。そのため、濃度範囲を限定することなく正確に可燃性ガスの識別ができる。また、各ガスセンサ10A、10Bにおいて吸着燃焼時の出力を時系列的に取得するので、正確なピーク出力(位置)を求める必要がなく、そのため、簡易な処理で可燃性ガスの識別ができる。
【0015】
請求項2に記載された発明によれば、Pd触媒ガスセンサ12及びPt触媒ガスセンサ13のそれぞれが備えるPdセンサ素子及びPtセンサ素子の低温時にそれぞれの触媒に吸着した可燃性ガスの燃焼が終了した後の各ガスセンサ12、13の出力、即ち、定常出力を取得して、これら出力の比(即ち、第2比(Pd−C/Pt−C))に基づいて可燃性ガスの識別を行うので、Pd触媒ガスセンサ12は水素及びアルカン類ガスに対してほぼ同じ出力をするのに対し、Pt触媒ガスセンサ13は、水素に対する出力に比べ、アルカン類ガスに対する出力が極端に小さく、そのため、水素を供給したときの第2比(Pd−C/Pt−C)とアルカン類ガスを供給したときの第2比(Pd−C/Pt−C)との差が大きく、識別に用いる出力比判定情報(即ち、水素判定値)の取りうる値幅を大きくすることができる。したがって、ガス識別装置で算出された上記出力の比に対する出力比判定情報のマージンを大きくすることができ、識別の信頼性を向上させることができる。また、1つの出力比判定情報を用いて識別を行うため、簡素な処理で可燃性ガスの識別ができる。また、可燃性ガスの濃度に応じてPd触媒ガスセンサ12及びPt触媒ガスセンサ13の定常出力が同様に変化するので、各ガスセンサの出力の比を用いることにより、濃度の影響を小さくすることができる。
【図面の簡単な説明】
【0016】
【図1】本発明のガス識別装置の一実施の形態を示すブロック図である。
【図2】図1に示すRu触媒ガスセンサ、Pd触媒ガスセンサ、Pt触媒ガスセンサの詳細な回路図である。
【図3】(A)〜(C)は、図1に示すRu触媒ガスセンサ、Pd触媒ガスセンサ、Pt触媒ガスセンサの平面図、背面図及びA−A線に沿う断面図である。
【図4】(A)〜(C)は、o−キシレン、m−キシレン、p−キシレンを、各々100ppm供給したときのRu触媒ガスセンサ、Pd触媒ガスセンサ、Pt触媒ガスセンサ出力を示すグラフである。
【図5】(A)〜(C)は、トルエン、p−キシレンを、各々100ppm供給したときのRu触媒ガスセンサ、Pd触媒ガスセンサ、Pt触媒ガスセンサ出力を示すグラフである。
【図6】(A)〜(C)は、トルエン、エタノールを、各々100ppm供給したときのRu触媒ガスセンサ、Pd触媒ガスセンサ、Pt触媒ガスセンサ出力を示すグラフである。
【図7】(A)〜(C)は、トルエンを100ppm、プロパンを1000ppm供給したときのRu触媒ガスセンサ、Pd触媒ガスセンサ、Pt触媒ガスセンサ出力を示すグラフである。
【図8】(A)〜(C)は、水素、プロパンを、各々1000ppm供給したときのRu触媒ガスセンサ、Pd触媒ガスセンサ、Pt触媒ガスセンサ出力を示すグラフである。
【図9】(A)〜(C)は、エタノール、トルエン、o−キシレンを、各々100ppm供給したときのRu触媒ガスセンサ、Pd触媒ガスセンサ、Pt触媒ガスセンサ出力を示すグラフである。
【図10】図1に示すガス識別装置を構成するコントローラの処理手順を示すフローチャートである。
【図11】ガスセンサの出力の積分値の概要を示す説明図である。
【図12】本発明のガス識別装置の基本構成図である。
【図13】本発明のガス識別装置の他の基本構成図である。
【発明を実施するための形態】
【0017】
以下、本発明の一実施の形態を図面に基づいて説明する。図1は、本発明のガス識別装置の一実施の形態を示すブロック図である。図2は、図1に示すRu触媒ガスセンサ、Pd触媒ガスセンサ、Pt触媒ガスセンサの詳細な回路図である。図3(A)〜(C)は、図1に示すRu触媒ガスセンサ、Pd触媒ガスセンサ、Pt触媒ガスセンサの平面図、背面図及びA−A線に沿う断面図である。
【0018】
同図に示すように、ガス識別装置は、Ru触媒ガスセンサ11と、Pd触媒ガスセンサ12と、Pt触媒ガスセンサ13と、コントローラ20と、駆動電源30と、ガス検知出力部40とを備えている。このガス識別装置は、一例として、水素、プロパン、エタノール、トルエン、キシレン(o−キシレン、m−キシレン、p−キシレン)の各可燃性ガスを識別する。
【0019】
上記ガスセンサ11、12、13はそれぞれ、図2に示すように、可燃性ガスと接触燃焼する接触燃焼式のガス検知素子(センサ素子)8及び比較素子9を有している。ガス検知素子8は、図3に示すように、白金から成るPtヒータ10sと、このPtヒータ10s上に設けられた、可燃ガスの接触燃焼を促進する触媒層11s(触媒)とで構成されている。比較素子9は、Ptヒータ10rと、このPtヒータ10r上に設けられたアルミナ(Al2O3)層11rとで構成されている。
【0020】
図3(A)及び(B)に示すように、各ガスセンサ11、12、13は、シリコン(Si)ウエハ41の上に、(酸化)SiO2膜48c、(窒化)SiN膜48b及び(酸化ハフニウム)HfO2膜48aからなる絶縁薄膜が生膜され、その上に、ガス検知素子8としてPtヒータ10s及び触媒層11s、比較素子9としてPtヒータ10r及びAl2O3層11rが形成されている。また、図3(C)に示すように、Siウエハ41を異方性エッチングして凹部46及び47を形成して、それぞれ薄膜ダイヤフラムDs及びDrを形成することにより熱容量を小さくしている。
【0021】
上記ガス検知素子8のPtヒータ10sと、比較素子9のPtヒータ10rとは、可燃性ガスのない空気中では等しい抵抗値になるように設けられている。また、Ru触媒ガスセンサ11は上記触媒層11sとしてルテニウム(以下Ru)を用い、Pd触媒ガスセンサ12は上記触媒層11sとしてパラジウム(以下Pd)を用い、Pt触媒ガスセンサ13は上記触媒層11sとして白金(以下Pt)を用いている。これにより、Ru、Pd、Ptを各々触媒とした複数のガスセンサ11、12、13を用いてガスの識別を行うことができる。触媒層11sとしてルテニウムを用いたガス検知素子8が、請求項中の第1センサ素子に相当し、触媒層11sとして白金を用いたガス検知素子8が、請求項中の第2センサ素子に相当する。また、触媒層11sとしてパラジウムを用いたガス検知素子8が、請求項中のPdセンサ素子に相当し、触媒層11sとして白金を用いたガス検知素子8が、請求項中のPtセンサ素子に相当する。
【0022】
上述したガス検知素子8及び比較素子9は、図2に示すように、抵抗12、13と共にブリッジ回路14を構成している。このブリッジ回路14の端子aと端子bとの間には、ヒータ駆動回路21Aからパルス状のセンサ駆動電圧が供給される。
【0023】
以上の構成によれば、ブリッジ回路14は可燃性ガスのない空気中では平衡状態となり、c、d間に電位差が生じない。これに対して、可燃性ガスを含む空気中では可燃性ガスとの燃焼熱によりガス検知素子8のPtヒータ10sの抵抗値が増加するため不平衡状態となり、c、d間に電位差が生じる。この電位差は可燃性ガスの濃度に比例した値である。そして、ブリッジ回路14の端子c、端子d間に接続されたセンサ出力検出器16が、上記電位差を増幅してセンサ出力V1として出力する。
【0024】
また、ブリッジ回路14に供給されるセンサ駆動電圧は、所定の周期で低電圧、高電圧を繰り返し出力する信号であり、高電圧時間が400msで低電圧時間が10秒である。これら時間は一例であり、適宜調整可能である。このセンサ駆動電圧の高電圧時間中にガス検知素子8及び比較素子9が高温に制御されガス検知素子8が可燃ガスと接触燃焼する。一方、低電圧時間中にガス検知素子8及び比較素子9が低温に制御されガス検知素子8は可燃ガスと接触燃焼しない。このヒータ駆動回路21Aは、請求項中の通電制御手段に相当する。
【0025】
また、上述したコントローラ20は、周知のマイクロコンピュータ及びその周辺回路で構成されており、ヒータ駆動回路21Aと、補正部21Bと、センサ出力取得部21Cと、ガス種分別部21Dと、メモリ21Eと、を備えている。ヒータ駆動回路21Aは、上述したように駆動電源30の供給電圧からパルス状のセンサ駆動電圧を作ってブリッジ回路14に供給する回路である。本実施形態においてヒータ駆動回路21Aは、センサ駆動電圧の高電圧時に各ガスセンサ11、12、13が450℃になり、低電圧時に各ガスセンサ11、12、13が200℃となるようなセンサ駆動電圧を供給する。この温度は一例で適宜調整可能である。
【0026】
補正部21Bは、ガスセンサ11、12、13の出力の温度補正などを行うものである。センサ出力取得部21Cは、補正部21Bによって補正されたガスセンサ11、12、13の出力を取得してガス種分別部21Dに供給するものである。ガス種分別部21Dは、上記ガスセンサ11、12、13の出力に基づいてガスの識別を行うものである。ガス種分別部21Dによる識別結果は、ガス検知出力部40によって外部の装置などに送られる。また、メモリ21Eには、後述する各種閾値などが格納されている。
【0027】
ところで、エタノールなどの吸着性の高い可燃性ガスは、センサ駆動電圧が低電圧のときに触媒層11s表面に吸着した分が、センサ駆動電圧が高電圧になったとき瞬間的に燃焼(この現象を吸着燃焼という)して、ピーク状の出力となる。一方、吸着性の低い水素等の一般的な可燃ガスは、触媒層11s表面への吸着量が少ないので、センサ駆動電圧が高電圧になったときに雰囲気中の可燃性ガスが燃焼(即ち、接触燃焼)して、その出力が小さく定常的な出力となる。
【0028】
従って、このピークの有無により吸着性の高いガスと吸着性の低いガスとの識別を行うことができる。また、吸着性の高いガスは、触媒を変えることによりガスセンサ11、12、13の出力のピーク値が変化する。これに対して吸着性の低いガスは、触媒を変えることによりガスセンサ11、12、13の出力の定常値が変化する。本実施形態は、上記ピーク値を第1燃焼値、上記定常値を第2燃焼値として取得し、各ガスセンサの第1燃焼値、第2燃焼値の違いを利用して、ガス種や異性体の同定と定量を行う。また、上記吸着燃焼中の出力を時系列的に取得し、該出力の積分値に基づいて吸着性の高いガス種の識別を行う。
【0029】
次に、本願発明者らは、各可燃性ガスと、ガスセンサ11、12、13の出力との関係を調べた。結果を図4〜図8に示す。図4(A)〜(C)は、o−キシレン、m−キシレン、p−キシレンを、各々100ppm供給したときの各ガスセンサ11、12、13の出力を示すグラフである。図5(A)〜(C)は、トルエン、p−キシレンを、各々100ppm供給したときの各ガスセンサ11、12、13の出力を示すグラフである。図6(A)〜(C)は、トルエン、エタノールを、各々100ppm供給したときの各ガスセンサ11、12、13の出力をそれぞれ示すグラフである。図7(A)〜(C)は、トルエンを100ppm、プロパンを1000ppm、供給したときの各ガスセンサ11、12、13の出力を示すグラフである。図8(A)〜(C)は、水素、プロパンを、各々1000ppmに供給したときの各ガスセンサ11、12、13の出力を示すグラフである。図9(A)〜(C)は、エタノール、トルエン、o−キシレンを各々100ppm供給したときの各ガスセンサ11、12、13の出力を示すグラフである。なお、図4〜図7の(B)、(C)については、Pd触媒ガスセンサ12及びPt触媒ガスセンサ13に、高電圧時に400℃となるようなセンサ駆動電圧が供給されたときの出力のグラフを示しているが、これらグラフについて、高電圧時に450℃となるようなセンサ駆動電圧が供給されたときのものと同様の傾向にあることが、本発明者による試験、調査等により分かっている。
【0030】
図4に示すように、Ru触媒ガスセンサ11は、キシレンに対する出力が小さく、特にo−キシレンに対する出力が小さく、どの異性体にもピーク状の出力は現れないことが分かった。Pd触媒ガスセンサ12は、ピーク状の出力は現れるが、異性体による差はないことが分かった。Pt触媒ガスセンサ13は、ピーク状の出力が現れ、そのピーク値が異性体によって異なることが分かった。このことから、キシレンの異性体、o−キシレン、m−キシレン、p−キシレンを識別できることが分かる。
【0031】
また、図5に示すように、Ru触媒ガスセンサ11は、トルエンとp−キシレンとでは出力に差がないことが分かった。Pd触媒ガスセンサ12は、ピーク状の出力が現れ、ピーク値はp−キシレンの方が大きく、定常値は逆にトルエンの方が大きいことが分かった。Pt触媒ガスセンサ13は、ピーク値、定常値ともトルエンの方が大きいことが分かった。このことから、p−キシレンとトルエンとを識別することができることが分かる。
【0032】
また、図6に示すように、Ru触媒ガスセンサ11は、トルエンではピークが無いのに対してエタノールではピークが現れることが分かった。Pd触媒ガスセンサ12は、トルエン、エタノールともピーク状の出力が現れたが、ピーク値と定常値との比がトルエンの方が大きいと分かった。Pt触媒ガスセンサ13は、トルエン、エタノールともピーク状の出力が現れたが、ピーク値と定常値との比がエタノールの方が大きかった。
【0033】
また、図7に示すように、Ru触媒ガスセンサ11は、トルエン、プロパンともにピーク状の出力が現れないことが分かった。Pd触媒ガスセンサ12は、トルエンでピーク状の出力が現れたのに対してプロパンではピーク状の出力が現れないことが分かった。Pt触媒ガスセンサ13は、Pd触媒ガスセンサ12と同様の傾向であるが、プロパンではPd触媒ガスセンサ12の出力に比べて著しく小さな値となることが分かった。このことから、トルエンとプロパンを識別することができる。
【0034】
また、図8に示すように、Ru触媒ガスセンサ11は、水素、プロパン共にほぼ同じ定常出力を示すことが分かった。Pd触媒ガスセンサ12は、水素、プロパン共にほぼ同じ定常出力を示すことが分かった。Pt触媒ガスセンサ13は、水素での出力に比べてプロパンでの定常出力が著しく小さな値となることが分かった。このことから、水素とプロパンとを識別することができる。
【0035】
また、図9に示すように、Pt触媒ガスセンサ13は、エタノール、トルエン、o−キシレンの全てでピーク状の出力が現れるが、エタノールのピーク値が最も小さいことが分かった(図9(C))。一方で、Ru触媒ガスセンサ11は、トルエン及びo−キシレンに対しては、Pt触媒ガスセンサよりも小さいピーク値となるが、エタノールに対してはPt触媒ガスセンサ13よりも大きいピーク値となることが分かった(図9(A))。なお、図からも明らかなように、ピーク値が大きくなるとピーク出力の面積(後述)も大きくなり、ピーク値が小さくなるとピーク出力の面積も小さくなる。このことから、エタノールと、トルエン及びキシレンと、を識別することができることが分かる。
【0036】
上述したガス種による各ガスセンサ11、12、13の出力の違いを利用してコントローラ20が行うガス種識別動作について図10のフローチャートを参照して以下説明する。まず、電源投入に応じてコントローラ20内のヒータ駆動回路21Aが、センサ駆動電圧をブリッジ回路14に供給する。
【0037】
次に、上記コントローラ20内のセンサ出力取得部21Cは、センサ駆動電圧が高電圧の期間の各ガスセンサ11、12、13の出力Ru−O、Pd−O、Pt−Oを所定の間隔(例えば、1ms)で時系列的に取得する(ステップS0)。そして、これら時系列的に取得した出力Ru−O、Pd−O、Pt−Oから、センサ駆動電圧が低電圧から高電圧になった直後に各ガスセンサ11、12、13の出力に現れるピーク値(即ち低電圧から高電圧になってから一定時間(例えば50ms)経過する間のセンサ出力V1のピーク値)を第1燃焼値Ru−A、Pd−A、Pt−Aとして取得し(ステップS1)、また、センサ駆動電圧が高電圧から低電圧になる直前のピーク終了後の定常値を第2燃焼値Ru−C、Pd−C、Pt−Cとして取得する(ステップS2)。以上のステップS0、S2から明らかなようにセンサ出力取得部21Cが請求項中の第1時系列出力取得手段、第2時系列出力取得手段、第1出力取得手段、及び、第2出力取得手段に相当する。
【0038】
次に、コントローラ20内のガス種分別部21Dは、Pd触媒ガスセンサ12の第1燃焼値Pd−A及び第2燃焼値Pd−Cの第1比(Pd−A/Pd−C)を演算する(ステップS3)。そして、ガス種分別部21Dは、ステップS3で演算した第1比(Pd−A/Pd−C)が吸着判定値である「2」よりも小さければ(ステップS4でY)、Pd触媒ガスセンサ12の出力にピークがないと判定し吸着性の低い水素かプロパンであると判定する(ステップS5)。なお、上述した吸着判定値は、予め計測したキシレン、トルエン、エタノール、プロパン、水素を供給したときの各Pd触媒ガスセンサ12の出力から定めた値である。また、上記「2」は吸着判定値の一例であり、吸着性の高いガスか低いガスかを判定できれば別の値でもよい。
【0039】
次に、ガス種分別部21Dは、出力比算出手段として働き、Pd触媒ガスセンサ12の第2燃焼値Pd−C及びPt触媒ガスセンサ13の第2燃焼値Pt−Cの第2比(Pd−C/Pt−C)を演算する(ステップS6)。このように比を演算することによりガス濃度による変動を受けにくくすることができ、第2比(Pd−C/Pt−C)はガス濃度に依存して変動しにくい値となる。そして、図8に示すように、水素であれば第2比(Pd−C/Pt−C)が小さく、プロパンであれば第2比(Pd−C/Pt−C)が大きい。
【0040】
以上のことに着目し、ガス種分別部21Dは、非吸着性ガス識別手段として働き、第2比(Pd−C/Pt−C)と水素判定値X3とを比較する。なお、上述した水素判定値X3は、予め測定した水素、プロパンを供給したときのPd触媒ガスセンサ12及びPt触媒ガスセンサ13の第2燃焼値Pd−C、Pt−Cから定めた値であり、メモリ21Eに予め記憶されている。このことから明らかなように、水素判定値X3は請求項中の出力比判定情報に相当し、メモリ21Eは請求項中の出力比判定情報記憶手段に相当する。
【0041】
そして、ガス種分別部21Dは、第2比(Pd−C/Pt−C)が水素判定値X3より小さければ(ステップS7でY)、水素と判定して(ステップS8)、ガス濃度を演算した後(ステップS9)、ステップS0に戻る。これに対して、ガス種分別部21Dは、第2比(Pd−C/Pt−C)が水素判定値X3以上であれば(ステップS7でN)、プロパンと判定して(ステップS10)、上記ステップS9に進む。これにより、吸着性の低いガス同士のうち水素とプロパンとを識別することができる。
【0042】
一方、ガス種分別部21Dは、ステップS3で演算した第1比(Pd−A/Pd−C)が吸着判定値である「2」以上であれば(ステップS4でN)、Pd触媒ガスセンサ12の出力にピークが現れていると判定し吸着性の高いエタノールかトルエンかキシレンであると判定する(ステップS11)。
【0043】
次に、ガス種分別部21Dは、第1積分値算出手段及び第2積分値算出手段として働き、Ru触媒ガスセンサ11において時系列的に取得した出力Ru−Oのうち、時刻50ms〜400msの間で第2燃焼値Ru−Cを超えるものに対して上記所定の間隔をそれぞれに掛け合わせて積分値(Ruピーク積分値)を演算し、また、Pt触媒ガスセンサ13において時系列的に取得したPt−Oのうち、時刻50ms〜400msの間で第2燃焼値Pt−Cを超えるものに対して上記所定の間隔をそれぞれに掛け合わせて積分値(Ptピーク積分値)を演算する(ステップS12)。これら演算によって算出される積分値のイメージを図11に示し、図中、グラフの網掛け部分の面積(即ち、ピーク出力の面積)が積分値によって示される。なお、積分値を算出する上記時刻範囲は一例であり、本発明の目的に反しない限り、上記時刻範囲は任意である。そして、ガス種分別部21Dは、積分値比算出手段として働き、Ruピーク積分値とPtピーク積分値との比(積分値比(Ruピーク積分値/Ptピーク積分値)という)を演算する(ステップS121)。そして、エタノールであれば、Ru触媒ガスセンサ11におけるピーク出力の面積が、Pt触媒ガスセンサ13におけるピーク出力の面積より大きいので、積分値比(Ruピーク積分値/Ptピーク積分値)が大きく、一方で、トルエン、キシレンであれば、Ru触媒ガスセンサ11におけるピーク出力の面積が、Pt触媒ガスセンサ13におけるピーク出力の面積より小さいので、積分値比(Ruピーク積分値/Ptピーク積分値)が小さい。
【0044】
以上のことに着目し、ガス種分別部21Dは、吸着性ガス識別手段として働き、積分値比(Ruピーク積分値/Ptピーク積分値)とエタノール判定値X5とを比較する。なお、上述したエタノール判定値X5は、予め測定したエタノール、トルエン、キシレンを供給したときのRu触媒ガスセンサ11及びPt触媒ガスセンサ13のそれぞれの出力の積分値の比から定めた値であり、メモリ21Eに予め記憶されている。このことから明らかなように、エタノール判定値X5は、請求項中の積分値比判定情報に相当し、メモリ21Eは、請求項中の積分値比判定情報記憶手段に相当する。また、Ru触媒が、請求項中の第1の触媒に相当し、Pt触媒が、請求項中の第2の触媒に相当し、触媒層としてRuを用いたガス検知素子8が、請求項中の第1センサ素子に相当し、触媒層としてPtを用いたガス検知素子8が、請求項中の第2センサ素子に相当し、Ru触媒ガスセンサ11が、請求項中の第1ガスセンサに相当し、Pt触媒ガスセンサ13が、請求項中の第2ガスセンサに相当する。
【0045】
そして、ガス種分別部21Dは、積分値比(Ruピーク積分値/Ptピーク積分値)がエタノール判定値X5以上であれば(ステップS13でY)、エタノールと判定して(ステップS14)、ガス濃度を演算した後(ステップS9)、ステップS0に戻る。これに対して、積分値比(Ruピーク積分値/Ptピーク積分値)がエタノール判定値X5より小さければ(ステップS13でN)、トルエンかキシレンであると判定する(ステップS15)。これにより、吸着性の高いガス同士のうちエタノールと、トルエン又はキシレンとを識別することができる。つまり、エタノール判定値X5を用いて、積分値比(Ruピーク積分値/Ptピーク積分値)からエタノール(アルコール類ガス)とトルエン及びキシレン(芳香族化合物ガス)とを識別する。
【0046】
その後、ガス種分別部21Dは、Pd触媒ガスセンサ12の第1燃焼値Pd−A及び第2燃焼値Pd−Cの第1比(Pd−A/Pd−C)と、Pt触媒ガスセンサ13の第1燃焼値Pt−A及び第2燃焼値Pt−Cの第1比(Pt−A/Pt−C)とを演算する(ステップ16)。図5に示すように、トルエンであれば第1比(Pd−A/Pd−C)と第1(Pt−A/Pt−C)とがほぼ等しくなるのに対して、キシレンは第1比(Pd−A/Pd−C)と第1(Pt−A/Pt−C)とが等しくならない。
【0047】
以上のことに着目して、ガス種分別部21Dは、第1比(Pd−A/Pd−C)と第1(Pt−A/Pt−C)とがほぼ等しければ(ステップS17でY)、トルエンと判定した後(ステップS18)、ステップS9に進む。一方、等しくなければ(ステップS17でN)、キシレンと判定する(ステップS19)。これにより、吸着性の高いガス同士のうちトルエンとキシレンとを識別することができる。
【0048】
また、図4(C)に示すように、o−キシレンであれば第1比(Pt−A/Pt−C)が最も大きくなり、m−キシレンであれば第1比(Pt−A/Pt−C)が2番目に大きくなり、p−キシレンであれば第1比(Pt−A/Pt−C)が最も小さくなる。
【0049】
以上のことに着目して、ガス種分別部21Dは、ステップS16で求めた第1比(Pt−A/Pt−C)が第2閾値である「5」以上であれば(ステップS20でY)、o−キシレンと判定した後(ステップS21)、ステップS9に進む。また、ガス種分別部21Dは、ステップS16で求めた第1比(Pt−A/Pt−C)が第2閾値である「5」未満であり第3閾値である「4」以上であれば(ステップS22でY)、m−キシレンであると判定した後(ステップS23)、ステップS9に進む。
【0050】
また、ガス種分別部21Dは、ステップS16で求めた第1比(Pt−A/Pt−C)が第3閾値である「4」未満であれば(ステップS22でN)、p−キシレンであると判定した後(ステップS24)、ステップS9に進む。これにより、キシレンのうちo−キシレン、m−キシレン、p−キシレンを識別することができる。なお、上述した第2閾値及び第3閾値は、予め測定したo−キシレン、m−キシレン、p−キシレンを供給したときのPt触媒ガスセンサ13の出力から定めた値である。また、上記「5」は第2閾値の一例であり、「4」は第3閾値の一例であり、o−キシレン、m−キシレン、p−キシレンを識別できる値であれば別の値でもよい。
【0051】
このようにして、上述したガス識別装置によって、水素、プロパン、エタノール、トルエン、キシレン(o−キシレン、m−キシレン、p−キシレン)を識別できる。本実施形態において、エタノール(アルコール類ガス)、トルエン、キシレン(芳香族化合物ガス)が、請求項1中の可燃性ガスに相当し、水素、プロパン(アルカン類ガス)が、請求項2中の可燃性ガスに相当する。
【0052】
以上より、本発明によれば、Ru触媒ガスセンサ11及びPt触媒ガスセンサ13のそれぞれが備えるRuセンサ素子及びPtセンサ素子の低温時にそれぞれの触媒に吸着した可燃性ガスが燃焼しているときの各ガスセンサ11、13における出力の積分値を求めて、これら積分値の比に基づいて可燃性ガスの識別を行っているので、可燃性ガスはその燃焼特性と吸着特性に応じてピーク出力の大きさ及び幅が決まり、上記出力の積分値を用いることで触媒に吸着したガスの特徴を的確に捉えることができ、また、各ガスセンサ11、13における出力の積分値の比をとることにより、濃度による出力の変動を各ガスセンサ11、13間で相殺して、濃度の影響を回避できる。そのため、濃度範囲を限定することなく正確に可燃性ガスの識別ができる。また、各ガスセンサ11、13において吸着燃焼時の出力を時系列的に取得するので、正確なピーク出力(位置)を求める必要がなく、そのため、簡易な処理で可燃性ガスの識別ができる。
【0053】
また、Pd触媒ガスセンサ12及びPt触媒ガスセンサ13のそれぞれが備えるPdセンサ素子及びPtセンサ素子の低温時にそれぞれの触媒に吸着した可燃性ガスの燃焼が終了した後の各ガスセンサ12、13の出力、即ち、定常出力を取得して、これら出力の比(即ち、第2比(Pd−C/Pt−C))に基づいて可燃性ガスの識別を行うので、Pd触媒ガスセンサ12は水素及びプロパンに対してほぼ同じ出力をするのに対し、Pt触媒ガスセンサ13は、水素に対する出力に比べ、プロパンに対する出力が極端に小さく、そのため、水素を供給したときの第2比(Pd−C/Pt−C)とプロパンを供給したときの第2比(Pd−C/Pt−C)との差が大きく、識別に用いる水素判定値X3の取りうる値幅を大きくすることができる。したがって、ガス識別装置で算出された上記出力の比に対する水素判定値X3のマージンを大きくすることができ、識別の信頼性を向上させることができる。また、1つの水素判定値X3を用いて識別を行うため、簡素な処理で可燃性ガスの識別ができる。また、可燃性ガスの濃度に応じてPd触媒ガスセンサ12及びPt触媒ガスセンサ13の定常出力が同様に変化するので、各ガスセンサの出力の比を用いることにより、濃度の影響を小さくすることができる。
【0054】
上述した実施形態では、触媒としてRu、Pd、Ptを用いていたが、本発明はこれに限ったものではない。各種ガスが識別できれば別の触媒であってもよい。また、上述した実施形態では、水素、プロパン、エタノール、トルエン、キシレンを識別するものであったが、これに限ったものではなく、プロパンに代えてこれと同様の性質を有するブタンなどのアルカン類ガス、エタノールに代えてこれと同様の性質を有するメタノールなどのアルコール類ガス、トルエン又はキシレンに代えてこれらと同様の性質を有するエチルベンゼン、スチレンなどの芳香族化合物ガス、などの識別することができる。この場合、識別するガスについて事前に測定を行って適宜閾値を再設定するなどの調整が必要である。
【0055】
次に、本発明者らは、図8のグラフから、従来のガス識別装置において可燃性ガスを水素とプロパンとに識別するときに用いる第2比(Pd−C/Ru−C)及び第2比(Pt−C/Ru−C)と、本発明のガス識別装置において可燃性ガスを水素とプロパンとに識別するときに用いる第2比(Pd−C/Pt−C)とを算出した。これら値を表1に示す。
【0056】
【表1】
【0057】
第2比(Pd−C/Ru−C)は、従来のガス識別装置における水素判定値X1の取りうる値の範囲を示しており、その値幅は1.64となり、また、第2比(Pt−C/Ru−C)は、従来のガス識別装置における水素判定値X2の取りうる値の範囲を示しており、その値幅は5.04となる。一方、第2比(Pd−C/Pt−C)は、本発明のガス識別装置における水素判定値X3の取りうる値の範囲を示しており、その値幅は11.37となり、上述した従来の水素判定値X1、X2の2倍以上の値幅となる。そのため、本発明において、水素判定値X3に、ガス識別装置における測定値に対して十分大きなマージンを設けることができ、測定の信頼性を向上させることができることが、このことからも分かる。
【0058】
また、本発明者らは、図9のグラフから、従来のガス識別装置において可燃性ガスをエタノールとトルエン及びキシレンとに識別するときに用いる第1比(Ru−A/Ru−C)と、本発明のガス識別装置において可燃性ガスをエタノールとトルエン及びキシレンとに識別するときに用いる積分値比(Ruピーク積分値/Ptピーク積分値)と、を算出した。これら値を表2に示す。
【0059】
【表2】
【0060】
第1比(Ru−A/Ru−C)は、Ru触媒ガスセンサ11のピーク出力を定常出力で割った値であり、上述したように可燃性ガスの濃度によってピーク出力が変動するので、これら値に基づいて識別を行うには、識別対象となるガスの濃度を限定する必要がある。一方、図9のグラフから、Ru触媒ガスセンサ11はPt触媒ガスセンサ13に比べて、エタノールを吸着する能力が高いと考えられ、そのため、Pt触媒ガスセンサ13における出力の積分値(Ptピーク積分値)は、Ru触媒ガスセンサ11における出力の積分値(Ruピーク積分値)を超えることはない。また、各ガスセンサ11、13の出力は、濃度の変化に応じて同様に変化するので、積分値の比を用いることで、濃度の変化に伴う出力の変化が各ガスセンサ11、13の間で相殺されて、濃度の影響を回避することができる。よって、濃度範囲を限定することなく正確に可燃性ガスの識別ができる。
【0061】
なお、前述した実施形態は本発明の代表的な形態を示したに過ぎず、本発明は、実施形態に限定されるものではない。即ち、本発明の骨子を逸脱しない範囲で種々変形して実施することができる。
【符号の説明】
【0062】
8 ガス検知素子(第1センサ素子、第2センサ素子、Pdセンサ素子、Ptセンサ素子)
11 Ru触媒ガスセンサ(第1ガスセンサ)
12 Pd触媒ガスセンサ
13 Pt触媒ガスセンサ(第2ガスセンサ)
20 コントローラ
21A ヒータ駆動回路(通電制御手段)
21C センサ出力取得部(第1時系列出力取得手段、第2時系列出力取得手段、第1出力取得手段、第2出力取得手段)
21D ガス種分別部(第1積分値算出手段、第2積分値算出手段、積分値比算出手段、吸着性ガス識別手段、出力比算出手段、非吸着性ガス識別手段)
21E メモリ(積分値比判定情報記憶手段、出力比判定情報記憶手段)
X3 水素判定値(出力比判定情報)
X5 エタノール判定値(積分値比判定情報)
【特許請求の範囲】
【請求項1】
可燃性ガスを識別するガス識別装置において、
前記可燃性ガスを吸着する第1の触媒を備えた接触燃焼式の第1センサ素子が設けられた第1ガスセンサと、
前記可燃性ガスを吸着する、前記第1の触媒とは異なる、第2の触媒を備えた接触燃焼式の第2センサ素子が設けられた第2ガスセンサと、
前記第1センサ素子及び前記第2センサ素子のそれぞれの温度が、前記可燃性ガスと接触燃焼しない低温及び前記可燃性ガスと接触燃焼する高温に順次切り替わるように、前記第1ガスセンサ及び前記第2ガスセンサのそれぞれに通電する通電制御手段と、
前記第1センサ素子の前記低温時に前記第1の触媒に吸着した前記可燃性ガスが、燃焼しているときの前記第1ガスセンサの出力を時系列的に取得する第1時系列出力取得手段と、
前記第2センサ素子の前記低温時に前記第2の触媒に吸着した前記可燃性ガスが、燃焼しているときの前記第2ガスセンサの出力を時系列的に取得する第2時系列出力取得手段と、
前記第1時系列出力取得手段によって時系列的に取得された前記出力から、前記第1ガスセンサの前記出力の積分値を算出する第1積分値算出手段と、
前記第2時系列出力取得手段によって時系列的に取得された前記出力から、前記第2ガスセンサの前記出力の積分値を算出する第2積分値算出手段と、
前記第1積分値算出手段によって算出された前記積分値と前記第2積分値算出手段によって算出された前記積分値との比を算出する積分値比算出手段と、
前記積分値比算出手段によって算出された前記積分値の比から、前記可燃性ガスを識別するための積分値比判定情報を記憶する積分値比判定情報記憶手段と、
前記積分値比算出手段によって算出された前記積分値の比を、前記積分値比判定情報記憶手段に記憶された前記積分値比判定情報と比較することによって、前記可燃性ガスを識別する吸着性ガス識別手段と、
を有していることを特徴とするガス識別装置。
【請求項2】
可燃性ガスを水素とアルカン類ガスとに識別するガス識別装置において、
パラジウム触媒を備えた接触燃焼式のPdセンサ素子が設けられたPd触媒ガスセンサと、
白金触媒を備えた接触燃焼式のPtセンサ素子が設けられたPt触媒ガスセンサと、
前記Pdセンサ素子及び前記Ptセンサ素子のそれぞれの温度が、前記可燃性ガスと接触燃焼しない低温及び前記可燃性ガスと接触燃焼する高温に順次切り替わるように、前記Pd触媒ガスセンサ及び前記Pt触媒ガスセンサのそれぞれに通電する通電制御手段と、
前記Pdセンサ素子の前記低温時に前記パラジウム触媒に吸着した前記可燃性ガスの燃焼が、終了した後の前記Pd触媒ガスセンサの出力を取得する第1出力取得手段と、
前記Ptセンサ素子の前記低温時に前記白金触媒に吸着した前記可燃性ガスの燃焼が、終了した後の前記Pt触媒ガスセンサの出力を取得する第2出力取得手段と、
前記第1出力取得手段によって取得された前記出力と前記第2出力取得手段によって取得された前記出力との比を算出する出力比算出手段と、
前記出力比算出手段によって算出された前記出力の比から、前記可燃性ガスを前記水素と前記アルカン類ガスとに識別するための出力比判定情報を記憶する出力比判定情報記憶手段と、
前記出力比算出手段によって算出された前記出力の比を、前記出力比判定情報記憶手段に記憶された前記出力比判定情報と比較することによって、前記可燃性ガスを前記水素と前記アルカン類ガスとに識別する非吸着性ガス識別手段と、
を有していることを特徴とするガス識別装置。
【請求項1】
可燃性ガスを識別するガス識別装置において、
前記可燃性ガスを吸着する第1の触媒を備えた接触燃焼式の第1センサ素子が設けられた第1ガスセンサと、
前記可燃性ガスを吸着する、前記第1の触媒とは異なる、第2の触媒を備えた接触燃焼式の第2センサ素子が設けられた第2ガスセンサと、
前記第1センサ素子及び前記第2センサ素子のそれぞれの温度が、前記可燃性ガスと接触燃焼しない低温及び前記可燃性ガスと接触燃焼する高温に順次切り替わるように、前記第1ガスセンサ及び前記第2ガスセンサのそれぞれに通電する通電制御手段と、
前記第1センサ素子の前記低温時に前記第1の触媒に吸着した前記可燃性ガスが、燃焼しているときの前記第1ガスセンサの出力を時系列的に取得する第1時系列出力取得手段と、
前記第2センサ素子の前記低温時に前記第2の触媒に吸着した前記可燃性ガスが、燃焼しているときの前記第2ガスセンサの出力を時系列的に取得する第2時系列出力取得手段と、
前記第1時系列出力取得手段によって時系列的に取得された前記出力から、前記第1ガスセンサの前記出力の積分値を算出する第1積分値算出手段と、
前記第2時系列出力取得手段によって時系列的に取得された前記出力から、前記第2ガスセンサの前記出力の積分値を算出する第2積分値算出手段と、
前記第1積分値算出手段によって算出された前記積分値と前記第2積分値算出手段によって算出された前記積分値との比を算出する積分値比算出手段と、
前記積分値比算出手段によって算出された前記積分値の比から、前記可燃性ガスを識別するための積分値比判定情報を記憶する積分値比判定情報記憶手段と、
前記積分値比算出手段によって算出された前記積分値の比を、前記積分値比判定情報記憶手段に記憶された前記積分値比判定情報と比較することによって、前記可燃性ガスを識別する吸着性ガス識別手段と、
を有していることを特徴とするガス識別装置。
【請求項2】
可燃性ガスを水素とアルカン類ガスとに識別するガス識別装置において、
パラジウム触媒を備えた接触燃焼式のPdセンサ素子が設けられたPd触媒ガスセンサと、
白金触媒を備えた接触燃焼式のPtセンサ素子が設けられたPt触媒ガスセンサと、
前記Pdセンサ素子及び前記Ptセンサ素子のそれぞれの温度が、前記可燃性ガスと接触燃焼しない低温及び前記可燃性ガスと接触燃焼する高温に順次切り替わるように、前記Pd触媒ガスセンサ及び前記Pt触媒ガスセンサのそれぞれに通電する通電制御手段と、
前記Pdセンサ素子の前記低温時に前記パラジウム触媒に吸着した前記可燃性ガスの燃焼が、終了した後の前記Pd触媒ガスセンサの出力を取得する第1出力取得手段と、
前記Ptセンサ素子の前記低温時に前記白金触媒に吸着した前記可燃性ガスの燃焼が、終了した後の前記Pt触媒ガスセンサの出力を取得する第2出力取得手段と、
前記第1出力取得手段によって取得された前記出力と前記第2出力取得手段によって取得された前記出力との比を算出する出力比算出手段と、
前記出力比算出手段によって算出された前記出力の比から、前記可燃性ガスを前記水素と前記アルカン類ガスとに識別するための出力比判定情報を記憶する出力比判定情報記憶手段と、
前記出力比算出手段によって算出された前記出力の比を、前記出力比判定情報記憶手段に記憶された前記出力比判定情報と比較することによって、前記可燃性ガスを前記水素と前記アルカン類ガスとに識別する非吸着性ガス識別手段と、
を有していることを特徴とするガス識別装置。
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】
【図12】
【図13】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】
【図12】
【図13】
【公開番号】特開2010−164460(P2010−164460A)
【公開日】平成22年7月29日(2010.7.29)
【国際特許分類】
【出願番号】特願2009−7555(P2009−7555)
【出願日】平成21年1月16日(2009.1.16)
【出願人】(000006895)矢崎総業株式会社 (7,019)
【Fターム(参考)】
【公開日】平成22年7月29日(2010.7.29)
【国際特許分類】
【出願日】平成21年1月16日(2009.1.16)
【出願人】(000006895)矢崎総業株式会社 (7,019)
【Fターム(参考)】
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