【構成】
MEMSガスセンサは、シリコン基板に設けた絶縁膜に、SnO2膜とヒータ膜とを設けると共に、SnO2へ到達するガスを処理するフィルタと備えている。電源によりヒータ膜に電力を供給し、SnO2膜を間欠的にかつパルス的に可燃性ガスの検出温度へ加熱し、可燃性ガスを検出すると共に、100〜200℃の被毒ガスの除去温度へSnO2膜を間欠的に加熱する。
【効果】 フィルタを通過した被毒ガスによる被毒を防止できる。 （もっと読む）

【課題】検出時間を短縮でき、しかもコストを抑えることができるガス検知システムを提供する。
【解決手段】検知素子Ｓと温度補償素子Ｒとにより構成された接触燃焼式の水素センサ１０において、水素濃度が所定水素濃度未満の場合には、切替スイッチＳＷを固定抵抗Ｒｍ３側に切り替えて、温度補償素子Ｒを熱伝導式で作動させて水素濃度を検出し、水素濃度が所定水素濃度以上の場合には、切替スイッチＳＷを検知素子Ｓ側に切り替えて、温度補償素子Ｒおよび検知素子Ｓを接触燃焼式で動作させて水素濃度を検出する制御装置１９を備える。 （もっと読む）

【構成】
半導体基板の空洞に、薄膜ヒータをメタンの燃焼触媒で被覆した検知片と、薄膜ヒータを補償用材料で被覆した補償片とを設け、ブリッジ回路に組み込む。検知片がメタンの着火点以上に昇温しないように、駆動回路により電力を加えた際のブリッジ回路の出力を０点出力とし、複数の０点出力を基に基準値を発生させて記憶する。検知片がメタンの着火点以上の温度でのブリッジ回路の出力を、基準値により補正してメタンを検出する。
【効果】
半導体基板の空洞にヒータ薄膜を設けた接触燃焼式メタンセンサに対して、ヒータ抵抗のドリフトを補正する。 （もっと読む）

【課題】 比較的製造が容易で、信頼性が高く高感度で長寿命の接触燃焼式ガスセンサ及びその製造方法の提供。
【解決手段】 相互に熱隔離した検知素子１及び参照素子２を対にして備える接触燃焼式ガスセンサにおいて、検知素子１は、サーミスタ・セラミクス３ａに白金系電極線４を埋め込むと共に、当該サーミスタ・セラミクス３ａの表面に検知ガスの反応触媒を混合した反応膜１ａを備え、参照素子２は、サーミスタ・セラミクス３ａに白金系電極線４を埋め込むと共に、当該サーミスタ・セラミクス３ａの表面に検知ガスの反応触媒を含まず前記反応膜１ａと熱容量が等しい非反応膜２ａを備え、検知素子１及び参照素子２に、各々の電極線４に繋がる端子５を備える接触燃焼式ガスセンサ。 （もっと読む）

【課題】イオン性金属触媒が導入された炭素材を用いた高感度ガスセンサー及びその製造方法を提供する。
【解決手段】製造方法は、（１）水酸化物を蒸留水に溶解させて水酸化物溶液を製造する第１ステップと、（２）第１ステップの過程を通じて製造された水酸化物溶液に金属触媒を投入して溶解させる第２ステップと、（３）第２ステップの過程を通じて得られた溶液に炭素材を担持させ、攪拌する第３ステップと、（４）第３ステップの過程を通じて得られた混合物を熱処理する第４ステップと、（５）第４ステップの過程を通じて熱処理された炭素材を洗浄する第５ステップと、（６）第５ステップの過程を通じて洗浄された炭素材を乾燥する第６ステップと、（７）第６ステップの過程を通じて得られた炭素材を基板にローディングしてガスセンサーを製造する第７ステップと、を含む。常温でも敏感度及び応答性に優れるガスセンサーを得ることができる。 （もっと読む）

【課題】測定感度、熱応答速度および測定精度がより向上した接触燃焼式ガスセンサを提供する。
【解決手段】 触媒膜を有しこの触媒膜に接触した測定ガスの燃焼時に発生する反応熱を検出する検知素子およびこの検知素子の温度補償を行うための補償素子を用いてブリッジ回路を構成し、前記反応熱に応じた検出信号を出力する接触燃焼式ガスセンサにおいて、
前記検知素子および前記補償素子をダイヤモンド構造を有する導電性炭素質で形成したことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】燃焼プロセス排ガス等の多成分ガス系に含まれる窒素酸化物、炭化水素、一酸化炭素、酸素等を直接検知可能な化学センサーアレイ及び方法を提供する。
【解決手段】（ｉ）少なくとも２つの化学／電気活性材料のアレイを含んでなる化学センサーを多成分ガス系に暴露する工程、応答を検出する工程、各化学／電気活性材料の応答を直接測定する工程とを含んでなる。化学／電気活性材料は半導体材料である。測定される応答は、静電容量、電圧、電流、ＡＣインピーダンスまたは、ＤＣ抵抗値である。 （もっと読む）

【課題】混合ガスからエタノールのみを選択的に高感度に検知することが可能な接触燃焼式ガスセンサを提供する。
【解決手段】センサ抵抗７Ｒｓが、Ｌａ_２Ｏ_３を含むＰｔ／Ａｌ_２Ｏ_３でなるセンサ触媒層８で覆われてなるセンサ素子部５と、リファレンス抵抗７Ｒｒが、Ｃｒ_２０_３を含むＰｔ／Ａｌ_２Ｏ_３でなるリファレンス触媒層９で覆われてなるリファレンス素子部６と、を備え、センサ素子部５とリファレンス素子部６とがパルス駆動されることで、混合ガスからエタノールのみを選択的に検知することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】気体熱伝導度式ガスセンサにおいて、製造が容易なガスセンサを提供する。
【解決手段】雰囲気中のガス濃度を検知する検知素子Ｒｓ、および検知素子の温度補償を行う補償素子Ｒｒがブリッジ回路に組み込まれ、検知素子の抵抗値の変化によってガス濃度を検知する気体熱伝導度式ガスセンサ１において、検知素子Ｒｓを白金コイルに高熱伝導材料でコーティングし、放熱速度によって抵抗値が変化する第一の発熱体で構成され、補償素子Ｒｒを白金コイルに低熱伝導材料でコーティングして形成して、第一の発熱体と熱伝導率の異なる材質で形成された第二の発熱体で構成されている。それらをブリッジ回路１０に組み込んで気体熱伝導度式ガスセンサ１を構成する。 （もっと読む）

本発明は、ガス混合気中のガス成分を検出するためのガスセンサのセンサ素子に関している。ここでは電界効果トランジスタ及び／又はダイオードが含まれており、検出すべきガスと接触した場合に電流通流に変化を生じ、さらに保護キャップによってガス混合気の直接の進入から保護されるように固定されている。さらに前記保護キャップ（１８）は、加熱手段（２４）と、ガラス形成剤（３４）及び／又は酸化触媒コンバータ（３２）を有している。
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【課題】ダイアフラム構造の薄膜ガスセンサにおけるガス選択性を、従来のものより向上させる。
【解決手段】感知層７を、第１層としてドナーとなる＋５価または＋６価の元素を添加したＳｎＯ２層９、その上の第２層として触媒となる元素を添加したＳｎＯ２層１０の、２層構造とするものは既に公知であるが、ガス選択性の点でいまだ不十分なので、この発明では、第２層１０における触媒添加量を１０ｗｔ％を超え６０ｗｔ％以下とすることにより、水素ガス選択性，メタンガス選択性ともに向上させる。 （もっと読む）

【課題】可燃性ガスの濃度範囲を限定することなく、簡易な処理で可燃性ガスの識別ができるガス識別装置を提供する。
【解決手段】ガス識別装置は、識別対象となる可燃性ガスを第１ガスセンサ１０Ａ及び第２ガスセンサ１０Ｂに供給して、各ガスセンサ１０Ａ、１０Ｂの吸着燃焼時の出力を時系列的に取得する。これらの時系列的に取得した出力から、各ガスセンサ１０Ａ、１０Ｂのそれぞれにおける出力の積分値を算出する。これら算出した積分値の比を算出する。算出した積分値の比を、特定の可燃性ガスを識別するための積分値比判定情報と比較して、吸着性の高い可燃性ガスを識別する。 （もっと読む）

【課題】燃焼部の燃焼開始初期の燃料漏れをも的確に検知することができながら、燃料漏れと不完全燃焼とを的確に検知し得る燃焼装置のガス検出装置を提供する。
【解決手段】高温作動状態で可燃性ガスを検出し且つ低温作動状態で不完全燃焼ガスを検出する通常検出モードを実行する制御手段１６が設けられ、制御手段１６が、燃焼部の燃焼開始操作を受け付けた後、初期検出用設定時間の間、その初期検出用設定時間以下に設定された比較用設定時間の間における高温作動状態で可燃性ガスを検出する回数を通常検出モードよりも多くする形態で、ガス検知体１の電気的特性に基づいて高温作動状態で可燃性ガスを検出し且つ低温作動状態で不完全燃焼ガスを検出すべく、ガス検知体１を高温作動状態と低温作動状態とに切り換えるように加熱手段２の作動を制御する初期検出モードを通常検出モードに先立って実行するように構成されている。 （もっと読む）

【課題】硫化水素による被毒を可及的に少なくした接触燃焼式ガスセンサを提供すること。
【解決手段】電気抵抗体1の外周に電気絶縁層2を介して貴金属粒子からなる感応層を形成して感応層3に可燃性ガスが接触することにより生じる熱を電気ヒータ1の抵抗変化として検出する接触燃焼式ガスセンサにおいて、前記感応層が、結晶子径25.0〜26.0nmの複数のパラジウムの結晶子の集合体からなる粒子により構成した。 （もっと読む）

【課題】感度劣化物質に被毒しやすい環境に設置される接触燃焼式ガスセンサの製造方法を提案する。
【解決手段】測温抵抗体に付着させた金属酸化物焼結体の担体に触媒を担持させてなる接触燃焼式ガスセンサにおいて、接触燃焼式ガスセンサを１３０℃乃至５００℃とし、ヘキサメチルジシロキサン、ヘキサメチルジシラザン、及びヘキサメチルジシランのうちの少なくとも１種を１０ｐｐｍ乃至３００００ｐｐｍを含む雰囲気で前記触媒の触媒能の経時的変化が所定値に安定するまで被毒させる。 （もっと読む）

【課題】簡単な構造で自己診断機能を有するガスセンサを提供する。
【解決手段】２つの電界効果型トランジスタからなり、該２つの電界効果型トランジスタのゲート絶縁膜２４上にゲート電極を設け、該ゲート電極によりガスを検知するガスセンサ３０であって、一方の電界効果型トランジスタに設けられた第一ゲート電極５と、他方の電界効果型トランジスタに設けられた第二ゲート電極６と、前記第一ゲート電極５と前記第二ゲート電極６との間を配線により接続して同電位あるいは一定電圧差の直流電圧あるいは交流電圧を印加する電圧印加手段と、を備え、前記第一ゲート電極５と前記第二ゲート電極６とは、それぞれ異なる金属からなるとともに、一方の電界効果型トランジスタと他方の電界効果型トランジスタの構造を同じにする。 （もっと読む）

【課題】誤報を少なくすることができるガスセンサを提供する。
【解決手段】検出素子６が、白金コイル６２と、この白金コイル６２を覆うメタンガス、水素ガス、エタノールガス、一酸化炭素との接触燃焼を促進するパラジウム触媒を担持したγアルミナ６１と、から構成されている。比較素子７が、白金コイル７２と、この白金コイル７２を覆うメタンガスとの接触燃焼は促進せずに水素ガス、エタノールガス、一酸化炭素と接触燃焼を促進するセリア触媒７１と、から構成されている。そして、ブリッジ回路４が、上記検出素子６及び比較素子７から構成されている。 （もっと読む）

【課題】ガス中に含まれている窒素酸化物或いは硫黄酸化物の量及び濃度の少なくとも一方を検知できるようにしたガスセンサ及びガス検知方法を提供する。
【解決手段】空燃比がリーンの時にはガス中のＮＯｘまたはＳＯｘを触媒中に捕捉し、その後、該触媒に接触させるガスの空燃比をストイキもしくはリッチに切り替えることにより、捕捉したＮＯｘまたはＳＯｘを還元する際に発生する熱を検知してリーンガス中のＮＯｘ，ＳＯｘ量を計測する。 （もっと読む）

保護コーティングは、水素の電気化学的解離を促進する触媒層を含む固体水素センサーの長期性能を維持する。触媒は、一酸化炭素、硫化水素、塩素、水、及び酸素を含む少なくとも１つの汚染物質の存在下で、劣化しやすい。コーティングは、水素を触媒層に拡散させ且つ汚染物質の触媒層への拡散を抑制する厚みを有する少なくとも一層の二酸化ケイ素を含む。好ましいコーティングは、保護コーティングを通して水が触媒層に拡散することを抑制するために、少なくとも一層の疎水性組成物、好ましくはポリテトラフルオロエチレンをさらに含む。好ましい保護コーティングは、保護コーティングを通して酸素が触媒層に拡散することを抑制するために、少なくとも一層のアルミナをさらに含む。保護的コーティングセンサーの製造において、二酸化ケイ素層は好ましくはアニール処理される。
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【課題】例えば排気ガスの流れるボイラー煙道のような劣悪な環境に設置されても長期間に亘って安定した出力特性を得ることができるガスセンサチップ及びこれを備えたガスセンサを提供する。
【解決手段】被測定ガスに接触する触媒担体が伝熱体１１３の一方の側に配置され、伝熱体の他方の側であって被測定ガスに接触しない領域に温度検出部１２０が配置され、かつ伝熱体を介して触媒担体の温度に対応する温度を温度検出部が測定するようになったバックサイド構造を有することで、温度検出部が被測定ガスによる悪影響を受けずに長期に亘る流量の検出が可能となる。 （もっと読む）