【課題】水素センサシステムの校正を精度良く行う。
【解決手段】水素センサシステムは、雰囲気中の水素濃度に応じた出力を示す水素検知素子と、水素検知素子の出力を水素濃度に対応付けるための対応データを記憶する記憶手段と、対応データに基づいて水素検知素子の出力を水素濃度に変換する制御手段とを有しており、制御手段は、水素検知素子の雰囲気が大気状態とみなし得る所定のタイミングで計測された出力に基づいて、水素濃度がゼロの場合の特性を示すゼロ点のズレを補正するゼロ点補正を行い（ステップＳ４）、水素検知素子の劣化度合いに関係するパラメータに基づいて、出力に対する水素濃度の比率を調整する（ステップＳ６）。 （もっと読む）

【課題】化学感応性電界効果トランジスタが自己診断機能によって、該化学感応性電界効果トランジスタの少なくとも１つの動作の仕方を良好に識別できるようにすること。
【解決手段】前記課題は、化学感応性電界効果トランジスタのドレインコンタクトとソースコンタクトとの間に電圧（Ｕ_ＤＳ）を調整し、該ソースコンタクトとゲート電極との間に電圧（Ｕ_Ｇ）を調整するステップ（１０２）と、該ドレインコンタクトと該ソースコンタクトとの間の電流（Ｉ_ＤＳ）を使用して化学感応性電界効果トランジスタの動作の仕方を監視するために、該ドレインコンタクトと該ソースコンタクトとの間の電流（Ｉ_ＤＳ）を検出するステップ（１０４）とを有する方法によって解決される。 （もっと読む）

【課題】 酸素が存在する被検出ガス中のＮＯｘ濃度を容易に高い精度で検知できる窒素酸化物センサおよび窒素酸化物検出方法を提供する。
【解決手段】 窒素酸化物センサは、センサ素子１５の酸素反応抵抗Ｒｏ_２と酸素濃度Ｃｏ_２との関係を示す式１、センサ素子１５のＮＯｘ反応抵抗Ｒｎｏ_ｘとＮＯｘ濃度Ｃｎｏ_ｘとの関係を示す式２、およびセンサ素子１５の実抵抗が保存されている関係式記憶手段と、被検出ガス中で実際に測定したセンサ素子１５の一対の電極１３ａ、１３ｂ間の全抵抗Ｒａと、被検出ガス中で実際に測定した酸素濃度Ｃｏ_２と式１とを用いて求めた酸素反応抵抗Ｒｏ_２と、予め求めた実抵抗Ｒｒと、ＮＯｘ反応抵抗Ｒｎｏ_ｘを求める式３とを用いて、被検出ガス中におけるセンサ素子１５のＮＯｘ反応抵抗Ｒｎｏ_ｘを求め、式２からＮＯｘ濃度Ｃｎｏ_ｘを求める算出手段とを具備する。 （もっと読む）

【課題】高精度な測定ができるガスセンサを提案する。
【解決手段】ガスセンサ１００は、外界雰囲気の検知量を検知する検知用感温素子１０と、温度補償する参照用感温素子２０と、検知用感温素子１０及び参照用感温素子２０を作動温度に加熱するヒータ３０とを有する検出部５０と、検出部５０が形成される基板６０とを備える。検知用感温素子１０及び参照用感温素子２０は、ヒータ３０を介して逆側の位置に形成されており、検知用感温素子１０は、検出部５０が外界雰囲気に面する側に形成されており、参照用感温素子２０は、検出部５０が基板６０に面する側に形成されている。 （もっと読む）

【目的】簡易な構成により被測定ガス中に含まれるＰＭの濃度を検出するパティキュレート検出素子であって、発熱体によって加熱できない非加熱領域へのＰＭの堆積を抑制すると共に、再生時の加熱時間を短くして、又は、加熱温度を低くして耐久性を向上させた信頼性の高いパティキュレート検出素子を提供する。
【解決手段】被測定ガスに晒され、電気絶縁性耐熱基板１３の表面に所定の間隙を設けて対向する一対の検出電極１１、１２を設けた検出部１００と、検出部１００を所定の温度に加熱する発熱体１４０とを具備し、被測定ガス６００中の導電性微粒子ＰＭの濃度を検出するパティキュレート検出素子１０において、被測定ガス６００に晒される部位の少なくとも一部に、導電性微粒子ＰＭを酸化可能な触媒層２０を設ける。 （もっと読む）

【課題】被毒による接触燃焼式ガスセンサの感度低下を補正すること。
【解決手段】接触燃焼式ガスセンサからなる測定用検出素子1と前記測定用素子1とは被毒による感度の低下度が相違する接触燃焼式ガスセンサからなる感度変化検出用素子2と、前記測定用検出素子1と感度変化検出用素子2のそれぞれの検出出力の差分を検出し、前記差分に基づいて前記測定用検出素子1の出力を補正する感度補正手段3とを有する。 （もっと読む）

【課題】低濃度側の検出範囲の拡大を図ったガスセンサを提供する。
【解決手段】圧力センサ６が、ガスセンサ２を収容するセンサ室５の圧力を検出する。吸気ポンプ７が、センサ室５に雰囲気を流入してセンサ室５を加圧する。バルブ８が、弁開してセンサ室５内の雰囲気を流出してセンサ室５を減圧する。ＣＰＵ９１が、圧力センサ６により検出された圧力に基づいてセンサ室５の圧力が雰囲気圧よりも高い値になるように吸気ポンプ７及びバルブ８を制御する。 （もっと読む）

【課題】、環境温度による影響を受け難いガス検知素子を提供する。
【解決手段】被検知ガスと接触自在に設けられたガス感応部１２を備え、自己加熱可能なガス検知素子１であって、ガス拡散性と少なくともガス感応部１２が到達する温度に対する耐熱性とを有する保温部材１３で、ガス感応部１２を被覆してある。 （もっと読む）

【課題】高温側部と低温側部との分離が良好にでき、ノイズが少なくて精度がよく、要求される広範囲の濃度測定が可能な熱電式ガスセンサの提供を課題とする。
【解決手段】被検出ガス成分と触媒材６０との触媒反応によって発生した熱を、熱電素子４０による熱電変換効果により電気信号に変換し、この電気信号を検出信号として被検出ガスのガス濃度を検出するようにした熱電式ガスセンサであって、相互に空間的に隔離された２つのメンブレン１０、２０の一方に前記熱電素子４０の低温側部を設けると共に、他方のメンブレン２０には前記触媒材６０と前記熱電素子４０の高温側部とを設けることで、熱電素子４０を２つの隔離されたメンブレン１０、２０間にブリッジさせて配置した。 （もっと読む）

本発明は、少なくとも１つの感受性の構成部材（３）を有し、上記感受性の構成部材（３）上に熱的に残らず分解可能な材料からなるマスキング層（３１）を設け、上記感受性の構成部材（３）を上記マスキング層（３１）によりほぼ完全に覆い、上記マスキング層（３１）上に温度安定性の材料からなる保護層（３３）を設け、上記マスキング層（３１）を熱分解又は低温運転する酸素プラズマによって除去するセンサ素子（１）の製造方法に関する。本発明は、更に、少なくとも１つの感受性の構成部材（３）及び温度安定性の材料からなる保護層（３３）を有し、上記感受性の構成部材（３）は上記温度安定性の材料からなる上記保護層（３３）により覆われていて、上記感受性の構成部材（３）及び上記保護層（３３）は互いに間隔を空けて配置されている、センサ素子に関する。
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【課題】本発明は、一つのパルス通電により加熱される一つのセンサ素子（ガス検知層）の電気抵抗値を用いて、検出対象ガスおよび湿度の検出を行い、装置構成の簡略化、消費電力の低減を図りつつ、より正確な湿度を検出できる技術の提供を提供する。
【解決手段】検出対象ガスとの接触により電気的特性が変化するガス検知層、及びガス検知層を加熱するヒータ層を形成したセンサ素子と、ヒータ層への通電を断続的に行って、ガス検知層の温度を変化させる通電駆動手段と、ヒータ層通電時のガス検知層の電気的特性に基づいて、検出対象ガスを検出するガス検出手段とを備えたガス検知装置であって、ヒータ層への通電を停止してから再度通電が開始されるまでのヒータ層通電停止時のガス検知層の電気的特性を用いて、検出対象ガスが含まれる被検出ガスの湿度を検出する湿度検出手段を備える。 （もっと読む）

【課題】検知対象ガスに感応するセンサ素子の周辺温度の変化に拘わらず、当該センサ素子の動作温度を所定の温度に保つことのできるガス検知装置を提供する。
【解決手段】検知対象ガスに感応して電気抵抗値が変化するガス感応層１、及びガス感応層１を加熱するヒータ層２が形成されたセンサ素子１０と、ヒータ層２への通電を通電状態と通電停止状態との２状態間で制御するヒータ制御手段４と、センサ素子１０の周辺温度を検出する温度検出手段５と、ガス感応層１の電気抵抗値及び周辺温度に基づいて、検知対象ガスを検出するガス検出手段６と、周辺温度に基づいて、ヒータ層２が通電状態に駆動される際の駆動電力を制御する駆動電力制御手段７と、を備える。 （もっと読む）

【課題】正確にセンサ素子の劣化を検出できる劣化検出装置を提供する。
【解決手段】ステップ電圧供給部１８が、所定期間毎にセンサ素子８の両端電圧にステップ電圧を供給する。ＣＰＵ４１が、ステップ電圧の供給が開始されてからセンサ素子８の両端電圧が定常状態に達するまでの間に定められた時間ｔ１後のセンサ素子８の両端電圧、及び、定常状態に達した後のセンサ素子８の両端電圧、を測定する。そして、ＣＰＵ４１は、定常状態に達した後のセンサ素子８の両端電圧に対する時間ｔ１後のセンサ素子８の両端電圧の割合である両端電圧％を求めて、この求めた両端電圧％が閾値以下のときに劣化を検出する。 （もっと読む）

【課題】従来から、薄膜型ガスセンサを構成する梁部は、その薄膜化にともない梁部の耐久性が損なわれ、梁部に亀裂が入ってしまうか、損壊してしまうことがあった。梁部の亀裂はセンサとしての信頼性の悪化を招き、損壊に至るとセンサとして機能しないため、大きな問題であった。
【解決手段】本発明の薄膜型ガスセンサは、梁部を第１の絶縁層で形成し、さらにこの梁部と支持基板とを第２の絶縁層で接続する。この第２の絶縁層を設けることで、梁部を支えるメンブレン支持構造体として強度が増すのである。したがって、梁部に対してガスの流入に伴う外力が印加しても、支持基板と梁部とが接する部分への応力集中を緩和し、梁部の破壊を防止することができる。 （もっと読む）

【課題】消費電力が少なく熱絶縁性・熱衝撃に優れた耐久性を有するガス検知素子を提供する。
【解決手段】ガス感応部１１および加熱手段を設けた被支持基板部１０が、複数の架橋部２０によって支持基板部３０に支持してあるガス検知素子Ｘであって、１つの架橋部２０では、被支持基板部１０に対する架橋部２０の延出方向と、支持基板部３０に対する架橋部２０の延出方向とを、異なる方向に設定してある。 （もっと読む）

【課題】素子形状等による感度及びガス検知の応答性への影響を抑制するセンサ装置を提供する。
【解決手段】素子３００をケース２００内に収容して備え特定ガスを検出する装置１００であって、ケース２００は素子３００を収容している凹形状をなす収容部２１１を有するケース本体部２１０と、天板２２１を有すると共に本体部２１０に装着されて収容部を閉塞している内蓋部２２０と、内蓋部２２０を覆って内蓋部の天板の外表面との間に対象ガスを導く間隙を形成している外蓋部２３０とを備え、内蓋部２２０の天板２２１は、収容部２２１内に収容された素子３００に向かって突出して形成されると共に素子３００に近い側の端部に測定対象ガスを導くガス流通口を形成してなる筒状部２２２を備え、その端部に、ガス流通口を閉塞する形態でフィルタ２２４が配置されている。 （もっと読む）

【課題】排気ガス中の硫黄成分を検出する。
【解決手段】排気ガスの流通路内に排気ガス中の硫黄成分を捕獲しうる金属又は金属化合物１０を配置する。時間の経過に伴ない金属又は金属化合物１０に捕獲された硫黄成分の量が増大したときにこの捕獲硫黄成分の量の増大に伴ない変化する金属又は金属化合物１０の物性を計測し、計測された物性からガス中の硫黄成分を検出する。 （もっと読む）

【課題】シリコン化合物が触媒に堆積しても、これに影響されることなく、可燃性ガスを
精度よく検出し得るようにした接触燃焼式ガス検出装置を提供する。
【解決手段】ステップ３４００で算出された出力電圧Ｖｏが閾値電圧Ｖｔｈよりも低いときには、出力電圧Ｖｏが、式Ｖｏｆｆ＝Ｖｚ−Ｖｏに基づき算出されたオフセット値Ｖｏｆｆ及びステップ３４００で先回算出済みの出力電圧Ｖｏでもって、式Ｖｏ＝Ｖｏ＋Ｖｏｆｆから算出される。従って、ステップ３４００で算出した出力電圧Ｖｏが、触媒膜に対するシリコン化合物の体堆積量に対応するオフセット値Ｖｏｆｆでもって、適正に補正されることとなる。 （もっと読む）

ガス分析のためのアセンブリーと方法。前記アセンブリーは、ガス標本の成分を触媒によって反応させ、１種類もしくはそれ以上のガス種を生成物として生成するための触媒コンパートメントを備えている。生成物コンパートメントが前記ガス種を受け入れ、前記コンパートメント内の検知素子が、前記１種類もしくはそれ以上のガス種の量を検知する。この量と、非触媒ガス標本を含む参照コンパートメント内に存在する同じのガス種の量とが比較され、触媒反応によって生成されたガス種の量が与えられる。この値を用いて、ガス標本におけるガス成分の含有量が、触媒反応の化学量に基づいて計算される。好ましい実施形態では、分析するガスは、燃料生産用のプロセスガスであり、触媒は、一酸化炭素と水との反応を触媒して、水素と二酸化炭素に転換させる、高温転化触媒である。
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【課題】接触燃焼式ガスセンサ素子において、耐衝撃性を損なうことなく、検知対象ガスに対するガス感度および応答速度を向上させること。
【解決手段】筒状で中空の多孔質セラミックス体と、多孔質セラミックス体の表面にらせん状に巻かれたヒーターコイルと、多孔質セラミックス体を内包しながらヒーターコイルの一部を覆う、熱伝導層および触媒層を有する焼結体とを備えた接触燃焼式ガスセンサ素子は中空の構造を有しており、ガスの流通が向上し、また、接触燃焼が可能な面積が大きくなるため、検知対象ガスに対する応答時間が短くなり、ガス感度は高くなり、さらに耐衝撃性にも優れている。 （もっと読む）