シート材貼り合わせ装置およびシート材の製造方法

【課題】高精度に位置合わせて貼り合わせることができる、シート材貼り合わせ装置及びその製造方法を提供する。
【解決手段】シート材（複層のシート材、例えばセラミックシート、プリント基板等）を貼り合わせるためのもので、上下に対峙するように近接させて、例えばＸ，Ｙ，Ｚ、θ方向に移動可能な構成の第１のユニット１１と第２のユニット１２とを備える。
これら第１ユニット１１における第１ケース１５、並びに第２ユニット１２における第２ケース２８に、互いに貼り合わせるべきシート材をそれぞれ搭載して、第１、第２ケース１５、２８を、互いに位置決め調整して押圧当接させて密閉空間を作り、減圧して、加熱状態でシート材を貼り合わせる構成とする。

【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、複数のシートを貼り合わせる際に用いられる、シート材貼り合わせ装置およびシート材の製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
複数のシートを貼り合わせて、貼り合わせシートを形成する際に、それぞれのシートがずれないように貼り合わせるための手段が、従来から種々、提案されている。
ここで、貼り合わせシートとしては、適宜な素材のシート材を複数貼り合わせて複層のシート材、例えばセラミックシート、プリント基板等を挙げることができる。
【０００３】
それぞれのシートがずれないように貼り合わせるための手段としては、例えば、特許文献１では、多層積層時の層間ずれ（横ずれ）を防止するために、絶縁性基材と接着層を貫通する複数個の穴のうちの一部の穴に接着剤を充填し、接着層による層間接着に先立って、接着剤によって仮接着を行うようにしている。
【０００４】
【特許文献１】特開２００５−２６５８７号公報
【０００５】
また、異なる素材構成のシートを、高精度に位置合わせて貼り合わせるには、例えば図１２に示すように、真空容器１の下半部を形成する第１ケース２内に、第１保持具３を配置すると共に、第１保持具３に設けた基準ピン４にシート材Ａの基準穴５を嵌め込んで、シート材Ａを位置決め保持し、一方、真空容器１の上半部を形成する第２ケース６内に、第２保持具７を配置すると共に、第２保持具７に設けた基準ピン８にシート材Ｂの基準穴９を嵌め込んで、シート材Ｂを位置決め保持し、次いで、これら第１、第２ケース２，６を互いに密接させ（図１３参照）、これら第１、第２ケース２，６内を減圧し、そして、第１、第２ケース２，６を互いに位置決めして加圧、加熱し、シート材Ａとシート材Ｂを貼り合わせるようにしている（図１４参照）。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、このような手段では、シート材Ａとシート材Ｂを、高精度に位置合わせて貼り合わせるには、基準ピン４、８と、基準穴５、９のクリアランスによる位置ずれ、第１保持具３と第２保持具７の位置合わせ時の誤差が累積され、大きなばらつきが生ずるということが判明した。
本発明は、上述の如き課題を克服するために提案されたものであって、貼り合わせるべきシート材を貼り合わせる前に先立って、シート材の位置ずれを検出して位置ずれを修正後、貼り合わせるようにした、シート材貼り合わせ装置およびシート材の製造方法を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記の課題を解決するために、請求項１に記載の発明では、互いに貼り合わせるべき第１シート材（１３）を第１保持具（１４）を介して収容する第１ケース（１５）と、第２シート材（２５）を第２保持具（２６）を介して収容する第２ケース（２７）とを備え、第１ケース（１５）は、支持プレート（１７）を介し、第１軸方向に移動調節するための第１駆動手段（１８）と、第２軸方向に移動調節するための第２駆動手段（１９）と、これら第１駆動手段（１８）、第２駆動手段（１９）の動きを伝達する伝達体（２１）と、この伝達体（２１）上に配置した可撓体（２２）と、第３軸方向に移動調節する第３駆動手段（２０）とにより支持する構成とし、第２ケース（２７）は、第１ケース（１５）に当接離隔可能に設けて、第２シート材（２５）を搭載する第２保持具（２６）を回転駆動する回転駆動手段（２８）を備え、第１シート材（１３）および第２シート材（２５）の位置ずれを検出して、これら検出信号に基づいて第１、第２駆動手段（１８、１９）を制御して第１シート材（１３）の位置合わせを行う一方、回転駆動手段（２８）を制御して第２シート材（２５）の位置合わせを行い、これら第１、第２ケース（１５、２８）を、互いに当接させて密閉空間を形成すると共に、この密閉空間内において、減圧下、加熱下において第１、第２シート材（１５、２６）を貼り合わせる構成としたことを特徴とする。
【０００８】
これにより、第１シート材（１３）と第２シート材（２５）とを貼り合わせる前に、それぞれのシート材の位置ずれを検出して、第１シート材（１３）は、第１、第２駆動手段（１８、１９）を制御して位置合わせを行い、第２シート材（２５）は、回転駆動手段（２８）を制御して位置合わせを行い、第１シート材（１３）と第２シート材（２５）とを貼り合わせるようにしたので、互いにずれなく、第１シート材（１３）と第２シート材（２５）とを好適に貼り合わせることができる。
【０００９】
また、請求項２に記載の発明では、第１シート材（１３）、第２シート材（２５）の基準点の位置をそれぞれ計測する計測器（２３、３０）を備え、計測器（２３）による計測値に基づいて移動量を算出して、第１、第２駆動手段（１８、１９）を制御して第１シート材（１３）の位置合わせを行う一方、計測器（２９）による計測値に基づいて移動量を算出して、回転駆動手段（２８）を制御して第２シート材（２５）の位置合わせを行う処理制御部（２５）を備えたことを特徴とする。
【００１０】
第１シート材（１３）と第２シート材（２５）とを貼り合わせる前に、それぞれのシート材の基準点の位置をそれぞれ計測器（２３、３０）により計測し、処理制御部（２５）において、計測器（２３、３０）による計測値に基づいて移動量を算出して、第１、第２駆動手段（１８、１９）に第１シート材（１３）の位置合わせを行うべく制御指令を送出し、回転駆動手段（２８）に第２シート材（２５）の位置合わせを行うべく制御指令を送出する。
【００１１】
また、請求項３に記載の発明では、第３駆動手段（２０）は、非圧縮性流体圧駆動シリンダ（２０ａ）と、先端側を、第１軸−第２軸を含む面方向に撓み可能な支持ロッド（２０ｂ）とにより構成したことを特徴とする。
【００１２】
これにより、第１、第２駆動手段（１８、１９）が伝達体（２１）と、この伝達体（２１）上に配置した可撓体（２２）を介し、第１ケース（１５）を支える支持プレート（１７）を第１軸方向、第２軸方向に追従させて移動調節することができる。
【００１３】
また、請求項４に記載の発明では、可撓体（２２）内には、第１ケース（１５）内に連通する吸引パイプ（２４）を配設したことを特徴とする。
【００１４】
これにより、第１ケース（１５）と第２ケース（２７）とを当接させて形成した密閉空間を好適に減圧することができる。
【００１５】
さらに、請求項５に記載の発明では、貼り合わせすべき第１シート材（１３）、第２シート材（２５）をそれぞれ第１ケース（１５）、第２ケース（２７）内に収容すると共に、第１ケース（１５）と第２ケース（２７）とを当接させて密閉空間を作り、この密閉空間内の空気を排出して減圧し、第１シート材（１３）と第２シート材（２５）とを、第１軸−第２軸方向に移動して、一方の基準点を撮像して基準点の位置を計測し、次いで、第１シート材（１３）と第２シート材（２５）とを逆方向に移動して、他方の基準点を撮像して基準点の位置を計測し、求めた基準点の位置から、基準点が一致するための移動量を計算し、求めた移動量を基に第１シート材（１３）の第１軸−第２軸方向の移動と、第２シート材（２５）の回転移動を行い、しかるのち、加熱下において第１シート材（１３）に第２シート材（２５）を押圧して貼り合わせるようにしたことを特徴とする。
【００１６】
これにより、第１シート材（１３）と第２シート材（２５）とを貼り合わせるに先立ち、一方、他方の基準点の位置から、移動量を求めて、第１シート材（１３）の第１軸−第２軸方向の移動と、第２シート材（２５）の回転移動を行って、第１シート材（１３）と第２シート材（２５）との位置を修正するようにしたので、第１シート材（１３）と第２シート材（２５）とを、ずれることなく貼り合わせることができる。
【００１７】
なお、上記各手段の括弧内の符号は、後述する実施形態に記載の具体的手段との対応関係を示す一例である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
図１、図２に本発明にかかるシート材貼り合わせ装置１０を模式的に示す。
このシート材貼り合わせ装置１０は、適宜な素材のシート材を複数貼り合わせて複層のシート材、例えばセラミックシート、プリント基板等を製造するためのもので、このシート材貼り合わせ装置１０は、上下に対峙するように配置して、複軸（例えばＸ，Ｙ，Ｚ、θ）方向に作動させる構成の第１のユニット１１と第２のユニット１２とを備えている。
すなわち、これら第１ユニット１１、第２ユニット１２には、互いに貼り合わせるべきシート材（後述）をそれぞれ第１、第２ケース（後述）に搭載して、これら第１、第２ケースを、互いに位置決め調整して押圧当接させて密閉空間を形成し、減圧して、加熱状態でシート材を貼り合わせる構成としている。
なお、ここでのシート材は、上述のように、電子部品を実装するプリント基板、パッケージ基板として用いられるシート材用基材、あるいは複層のセラミックシートを対象としており、熱可塑性樹脂素材から構成されている。
【００１９】
第１ユニット１１は、第１のシート材１３を保持する第１の保持具１４を収容した、真空容器の下半部を構成する第１のケース１５を備えている。
すなわち第１ユニット１１は、第１ケース１５を、基台１６上に支持プレート１７を介し、第１軸としてＸ軸方向に作動させる第１駆動手段１８と、第２軸としてＹ軸方向に作動させる第２駆動手段１９と、第３軸としてＺ軸方向に作動させる第３駆動手段２０とによって、Ｘ軸方向、Ｙ軸方向、Ｚ軸方向に制御可能に支持する構成としている。
【００２０】
第１駆動手段１８は、伝達体２１のうちのＸ伝達体２１Ｘと接続して、Ｘ伝達体２１ＸをＸ軸方向に往復動する構成とし、第２駆動手段１９は、Ｘ伝達体２１Ｘ上にあって、Ｙ伝達体２１Ｙと接続して、Ｙ伝達体２１ＹをＹ軸方向に往復動する構成としている。
Ｙ伝達体２１Ｙ上には可撓体２２を配置して、可撓体２２を支持プレート１７に接続すると共に、可撓体２２内に、支持手段を兼ねた吸引パイプ（後述）を、第１ケース１５内空間と連通すると共に、第１シート材１３を搭載する第１保持具１４に接続している。
なお、第３駆動手段２０は、基台１６上に支持プレート１７に向かって鉛直状に配置した油圧駆動シリンダ２０ａを備えている。そして、この油圧駆動シリンダ２０ａのロッド先端側は、ある程度Ｘ軸Ｙ軸を含む面方向に撓み可能な支持ロッド２０ｂとして支持プレート１７に接続している。
また、第１駆動手段１８、第２駆動手段１９には、直動駆動機構を採用することができる。
さらに、可撓体２２に近接した位置には、第１ケース１５内の第１保持具１４に搭載される第１シート材１３の基準点の位置を計測する２つの計測器２３を備えている。
【００２１】
可撓体２２は、いわゆる蛇腹状部材であり、上下方向に伸縮可能に構成されると共に、側方に撓み変位可能に構成されている。
また可撓体２２内には、図示は省略するが、第１ケース１５内に連通する支柱部材を兼ねた吸引パイプ２４が配設されている。この吸引パイプ２４には、真空吸引手段（図示省略）につながっている。
【００２２】
計測器２３は撮像手段（カメラ）であり、第１ケース１５内の第１保持具１４に載置される第１シート材１３の基準点の位置を計測するもので、可撓体２２の側面近傍に配設されている。すなわち、例えば第１シート材１３の基準穴の位置に対応する基準マーカー（図示省略）を支持プレート１７に設けて、この基準マーカーを、計測器２３の光軸により読み取ることで、第１保持具１４に載置される第１シート材１３の位置を計測している（図３参照）。
すなわち、計測器２３の光軸が第１シート材１３に設けられた基準点からずれるのを検出することで、第１、第２駆動手段１８、１９により、Ｘ軸、Ｙ軸方向に適宜調整移動して、第１シート材１３を所定の位置に修正するようにしている。
そして、これら計測器２３によるずれに係る検出信号は、処理制御部２５に送出して、この検出信号に基づいて、移動量（ずれ量）を算出し、移動量に基づく制御信号をＸ軸方向、Ｙ軸方向の動作信号（アライメント信号）として、第１、第２駆動手段１８、１９に送出される構成である。
【００２３】
次に、第２ユニット１２について説明する。
第２ユニット１２は、第１ユニット１１の上方に、図示しない周知の駆動機構（例えばロボット搬送機構等）により、昇降可能に設けられている。
すなわち、第２ユニット１２は、第２のシート材２６を搭載する第２の保持具２７と、真空容器の上半部を形成する第２のケース２８と、第２保持具２７を回転駆動する回転駆動手段２９と、第２シート材２６の基準点の位置を計測する２つの計測器３０とを備えている。
回転駆動手段２９は、駆動機構（図示省略）により昇降可能に取付けられた上部基台３１に搭載され、中間基台３２を貫通して、第２ケース２８内の第２保持具２７と動力伝達機構３３を介して、回転変位可能に連結している。
そして、中間基台３２には、計測器３０が配設されている。
【００２４】
以上のように構成されたシート材貼り合わせ装置１０においては、操作指令により、上下に対峙する第１、第２ユニット１１、１２における第１、第２ケース１５、２８に対し、貼り合わせるべきシート材をそれぞれ搭載して、第１、第２ケース１５、２８を、互いに位置決め調整して押圧当接させて密閉空間を画成し、双方のシート材を位置ずれなく貼り合わせるために、第１ユニット１１側に配設した計測器２３により第１シート材１３の基準点を計測する一方、第２ユニット１２側に配設した計測器３０により、第２シート材２６の基準点を計測して処理制御部２５に送出し、これら検出信号に基づいて移動量を算出して、この算出した信号に基づき，適宜制御されたＸ軸方向、Ｙ軸方向、θ方向（Ｚ軸回り）の制御信号を動作信号（アライメント信号）として、第１、第２駆動手段１８、１９、および回転駆動手段２９に送出する構成である。
【００２５】
次に本発明にかかるシート材貼り合わせ装置１０を用いたシート材の製造方法を説明する。
先ず、貼り合わせすべき第１、第２シート材１５、２６を、それぞれ、第１ユニット１１における第１ケース１５内の第１保持具１４、第２ユニット１２における第２ケース２８内の第２保持具２７に搭載する（図２参照）。
このとき、第１、第２シート材１５、２６には、基準点の位置を計測するために供する例えば基準マーカー（他基準穴）の位置が所定の位置にもたらされるようになる（図３参照）。
これにより、第１シート材１３は、可撓体２２の側面近傍に配設されている計測器２３、第２シート材２６は、上部基台３１の中間基台３２に配設した計測器３０により、基準点を計測するための基準マーカーを撮像することができる状態となる。
【００２６】
次いで、第１ケース１５と第２ケース２８とを一体的に密接させて密閉空間を形成するために、第１ケース１５を上昇させる一方（図４参照）、第２ケース２８を下降させて、互いに当接結合させる（図５参照）。
この際、第１ケース１５は、支持プレート１７に向かって第３駆動手段２０である油圧駆動シリンダ２０ａを駆動して支持ロッド２０ｂを伸長させることで、支持プレート１７は、中央に配置した可撓体２２の伸長を伴って上昇する。この際、支持プレート１７、すなわち第１ケース１５のみＺ方向に上昇することで、第１保持具１４に搭載される第１シート材１３の位置は第１ケース１５の周縁部の位置より低くなる。
【００２７】
一方、第２ケース２８を下降させるには、ロボット搬送機構により上部基台３１を介して下降させ、これによって、第２ケース２８が下降して第１ケース１５に当接して、第１ケース１５と第２ケース２８との周縁部が当接し、第１ケース１５と第２ケース２８とにより密閉空間が画成される。そして、ロボット搬送機構により第１ケース１５と第２ケース２８との周縁部がずれないように調整して（図６、図７参照）当接させることができる。
この状態においては、第１ユニット１１側では、第１ケース１５のみが第３駆動手段２０により上昇して、第２ケース２８との周縁部と当接して密閉空間を形成するため、これら第１、第２ケース１５、２８内の第１、第２シート材１５、２６は、密閉空間内で互いに離隔した状態となる。
【００２８】
ここで、第１シート材１３は、可撓体２２の側面近傍の計測器２３、第２シート材２６は、上部基台３１の中間基台３２に配設した計測器３０により、基準点を計測するための基準マーカーを撮像する。
第１シート材１３は、可撓体２２の側面近傍の計測器２３により、支持プレート１７側に設けた第１シート材１３の基準穴の位置に対応する基準マーカーを撮像する。
一方、第２シート材２６は、上部基台３１の中間基台３２に配設した計測器３０により、第２ケース２８側の基準マーカーを撮像する。
これら計測器２３、３０で計測された計測にかかる信号は、それぞれ、処理制御部２５に送出され、この検出信号に基づいて移動量を算出され、この算出された信号に基づき，適宜制御された制御信号が動作信号（アライメント信号）として、第１、第２駆動手段１８、１９及び回転駆動手段２９に送出される。
【００２９】
これにより、第１、第２駆動手段１８、１９を制御動作させ、Ｘ伝達体２１Ｘ、Ｙ伝達体２１Ｙを通じて、可撓体２２から第１保持具１４に伝達され、第１保持具１４をＸ軸−Ｙ軸方向に微調整することができる。この場合、支持プレート１７は、可撓体２２からＸ軸−Ｙ軸を含む面内で変動するが、支持プレート１７は、油圧駆動シリンダ２０ａの支持ロッド２０ｂによって、ある程度ぶれ移動可能に支持されているため、第１保持具１４の微調整が妨げられるようなことはない。
【００３０】
一方、第２ケース２８内の第２保持具２７上の第２シート材２６は、アライメント信号により、回転駆動手段２９を駆動させることで、動力伝達機構３３を介して、第２保持具２７を回転変位させて、Ｚ軸回り（θ）に回転微調整することで、第１シート材１３と第２シート材２６との位置合わせを完了することができる（図８、図９参照）。
【００３１】
そして、第１ケース１５と第２ケース２８とにより画成された密閉空間に対し、真空吸引手段を作動して吸引を行う。この際、真空吸引手段の吸引パイプ２４は、蛇腹状可撓体２２内を通過し、第１ケース１５内に連通しているので、密閉空間内は容易に吸引され、減圧状態とすることができる（図１０参照）。
【００３２】
そして、第１シート材１３と第２シート材２６との位置合わせが完了したところで、密閉空間内の第１、第２シート材１５、２６を、相互に貼り合わせるべく第３駆動手段２０および回転駆動手段２９を作動し、第１シート材１３、第２シート材２６を支持する第１保持具１４、第２保持具２７近傍に配置されたヒータＨにより加熱して、加熱状態で加圧を行い、位置ずれなく貼り合わせた複合シートが得られる（図１１参照）。
このようにして得られたシートは、この場合、２層ということになるが、さらに複層のシートを得るためには、さらに一連の貼り合わせ工程を繰り返し実行すればよい。
【００３３】
以上のように、本発明では、貼り合わせるべきシート材をそれぞれ搭載して、第１、第２ユニット１１、１２における第１、第２ケース１５、２８を、互いに位置決め調整して押圧当接させて、第１、第２ケース１５、２８により密閉空間を画成し、双方のシート材を位置ずれなく貼り合わせるために、第１ユニット１１側に配設した計測器２３により第１シート材１３の基準点を計測する一方、第２ユニット１２側に配設した計測器３０により、第２シート材２６の基準点を計測して処理制御部２５に送出し、この検出信号に基づいて移動量を算出し、この算出した信号に基づき，適宜制御された制御信号を動作信号（アライメント信号）として、第１、第２駆動手段１８、１９、及び回転駆動手段２９に送出して、Ｘ−Ｙ方向に移動すると共にＺ軸回りに回転調整し、第１シート材１３に、第２シート材２６を押圧して貼り合わせるようにしたので、第１シート材１３と第２シート材２６との高精度な位置決め、貼り合わせが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００３４】
【図１】本発明にかかるシート材貼り合わせ装置の一例を示す、模式的な斜視説明図である。
【図２】図１に示すシート材貼り合わせ装置の一側面図である。
【図３】貼り合わせるべきシート材を、第１ケース、第２ケースにセットしたところを示す、模式的な断面説明図である。
【図４】図１に示すシート材貼り合わせ装置において、第１ユニットの第１ケースを持ち上げ上昇させたところを示す、側面図である。
【図５】図１に示すシート材貼り合わせ装置において、第２ユニットの第２ケースを下降させて第１ケースと第２ケースとを当接したところを示す、側面図である。
【図６】第１ケースと第２ケースとを当接した状態において、第１ケース側を位置合わせをする際の、模式的な断面説明図である。
【図７】第１ケースと第２ケースとを当接した状態において、第２ケース側を位置合わせをする際の、模式的な断面説明図である。
【図８】第１ケースと第２ケースとを当接した状態において、第１シート材と、第２シート材とを位置合わせする際の、模式的な断面説明図である。
【図９】位置合わせ後の、シート材貼り合わせ装置の一側面図である。
【図１０】第１ケースと第２ケースとによって形成される密閉空間を吸引して減圧する際の、模式的な断面説明図である。
【図１１】密閉空間内において、加熱下において、第１シート材に第２シート材を押圧して貼り合わせた状態を示す、模式的な断面説明図である。
【図１２】従来のシート貼り合わせ工程の一例を示した、模式的な断面説明図である。
【図１３】従来のシート貼り合わせ工程の一例を示した、模式的な断面説明図である。
【図１４】従来のシート貼り合わせ工程の一例を示した、模式的な断面説明図である。
【符号の説明】
【００３５】
１０シート材貼り合わせ装置
１１第１ユニット
１２第２ユニット
１３第１シート材
１４第１保持具
１５第１ケース
１６基台
１７支持プレート
１８第１駆動手段
１９第２駆動手段
２０第３駆動手段
２１ＸＸ伝達体
２１ＹＹ伝達体
２２可撓体
２３計測器
２４吸引パイプ
２５処理制御部
２６第２シート材
２７第２保持具
２８第２ケース
２９回転駆動手段
３０計測器
３１上部基台
３２中間基台
３３動力伝達機構

【特許請求の範囲】
【請求項１】
シート材を複数貼り合わせて複層のシート材を製造するシート材貼り合わせ装置（１０）において、
互いに貼り合わせるべき第１のシート材（１３）を第１保持具（１４）を介して収容する第１のケース（１５）と、第２のシート材（２５）を第２の保持具（２６）を介して収容する第２のケース（２７）とを備え、
前記第１ケース（１５）は、支持プレート（１７）を介し、第１の軸方向に移動調節するための第１駆動手段（１８）と、第２の軸方向に移動調節するための第２駆動手段（１９）と、これら第１駆動手段（１８）、第２駆動手段（１９）の動きを伝達する伝達体（２１）と、この伝達体（２１）上に配置した可撓体（２２）と、第３の軸方向に移動調節する第３の駆動手段（２０）とにより支持する構成とし、
前記第２ケース（２７）は、前記第１ケース（１５）に当接離隔可能に設けて、前記第２シート材（２５）を搭載する第２保持具（２６）を回転駆動する回転駆動手段（２８）を備え、
前記第１シート材（１３）および第２シート材（２５）の位置ずれを検出して、これら検出信号に基づいて前記第１、第２駆動手段（１８、１９）を制御して第１シート材（１３）の位置合わせを行う一方、前記回転駆動手段（２８）を制御して第２シート材（２５）の位置合わせを行い、これら第１、第２ケース（１５、２８）を、互いに当接させて密閉空間を形成すると共に、この密閉空間内において、減圧下、加熱下において前記第１、第２シート材（１５、２６）を貼り合わせる構成としたことを特徴とするシート材貼り合わせ装置。
【請求項２】
前記第１シート材（１３）、第２シート材（２５）の基準点の位置をそれぞれ計測する計測器（２３、３０）を備え、
前記計測器（２３）による計測値に基づいて移動量を算出して、前記第１、第２駆動手段（１８、１９）を制御して第１シート材（１３）の位置合わせを行う一方、
前記計測器（２９）による計測値に基づいて移動量を算出して、前記回転駆動手段（２８）を制御して第２シート材（２５）の位置合わせを行う処理制御部（２５）を備えたことを特徴とする請求項１記載のシート材貼り合わせ装置。
【請求項３】
前記第３駆動手段（２０）は、非圧縮性流体圧駆動シリンダ（２０ａ）と、先端側を、第１軸第２軸を含む面方向に撓み可能な支持ロッド（２０ｂ）とにより構成したことを特徴とする請求項１記載のシート材貼り合わせ装置。
【請求項４】
前記可撓体（２２）内には、前記第１ケース（１５）内に連通する吸引パイプ（２４）を配設したことを特徴とする請求項１記載のシート材貼り合わせ装置。
【請求項５】
貼り合わせすべき第１シート材（１３）、第２シート材（２５）をそれぞれ第１ケース（１５）、第２ケース（２７）内に収容すると共に、前記第１ケース（１５）と第２ケース（２７）とを当接させて密閉空間を作り、この密閉空間内の空気を排出して減圧し、
前記第１シート材（１３）と第２シート材（２５）とを、第１軸−第２軸方向に移動して、一方の基準点を撮像して基準点の位置を計測し、
次いで、前記第１シート材（１３）と第２シート材（２５）とを逆方向に移動して、他方の基準点を撮像して基準点の位置を計測し、求めた基準点の位置から、基準点が一致するための移動量を計算し、
求めた移動量を基に第１シート材（１３）のＸ軸−Ｙ軸方向の移動と、第２シート材（２５）の回転移動を行い、
しかるのち、加熱下において前記第１シート材（１３）に前記第２シート材（２５）を押圧して貼り合わせるようにしたことを特徴とするシート材の製造方法。

【図１】