チップを用いた検査装置

【課題】平板状のチップを複数個セットさせると共に、チップ内部の試料に光照射することによって試料成分を測定するチップを用いた検査装置であって、チップを縦置きに配置しても、チップの飛び出しを防止するとともに、チップの交換を容易に行うことのできる検査装置を提供する。
【解決手段】チップ２を収納するチップホルダ３と、チップホルダ３が複数個並べて載置された保持台４と、保持台４を回転軸を中心に回転させる回転駆動部６と、チップ２に光を照射し、照射の結果得られた光を検知する測光部９と、保持台４上であってチップ２の重心よりも保持台４の回転中心に近い位置に形成されたロック機構とを備え、ロック機構は、保持台４に設けられたロック４６と、ロック４６に引っ掛かるチップ２に設けられたフック２１とを備え、チップ２の脱着時に、チップホルダ３は、保持台４に対して回転軸８１に対して垂直方向に移動可能であることを特徴とする。

【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、チップを用いた検査装置に係り、特に、チップを回転させて、遠心力等を利用して貯留された試料を光検査するチップを用いた検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、特許文献１には、マイクロチップを横置きした状態で回転させて、遠心力で貯留された試料を光検査するチップを用いた検査装置が開示されている。しかし、マイクロチップを横置きすると、一度に多くのマイクロチップを装置に装着することができず、検査効率を向上させることができなかった。
一方、特許文献２には、チップを縦置き状態で回転させて、遠心力及び重力を利用して貯留された試料を光検査するチップを用いた検査装置が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００８−００８８７５号公報
【特許文献２】特開２００８−２６８１９８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかし、チップを用いた検査装置にチップを縦置きに配置して、チップを回転させると、チップに遠心力が働いた際に、横置きの場合に比べて、飛び出そうとする力が大きくなるという問題がある。
図１５（ａ）、及び図１６（ａ）は、チップ１０１を横置きにした状態で保持台１０２に載置し、保持台１０２を回転させることによってチップ１０１に遠心力を加える場合を示す図であり、図１５（ｂ）、及び図１６（ｂ）は、チップ１０３を縦置きにした状態で保持台１０２に載置し、保持台１０２を回転させることによってチップ１０３に遠心力を加える場合を示す図である。
これらの図において、横置きのチップ１０１と縦置きのチップ１０３のそれぞれを載置する保持台１０２を同じ回転速度で回転させた場合、両チップ１０１、１０３にかかる遠心力の力は同じである。しかし、縦置きのチップ１０３の重心位置は、横置きのチップ１０１の重心位置よりも高いので、遠心力に抗して、チップが保持台１０２にとどまるための突き当て（支点）位置が図１６（ｂ）の位置にある場合、チップ１０３の方が、チップ１０１より大きな上向きの力がはたらく。このため、チップ１０３の方が保持台から飛び出しそうになる。
【０００５】
本発明の目的は、上記の問題点に鑑みて、チップを縦置きに配置しても、チップの飛び出しを防止するとともに、チップの交換を容易に行うことのできるチップを用いた検査装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、上記の課題を解決するために、請求項１に記載の発明は、平板状のチップを複数個セットさせると共に、前記チップの内部に封入された試料に対して光照射することによって試料成分を測定するチップを用いた検査装置であって、前記チップを収納するチップホルダと、該チップホルダが複数個並べて載置された保持台と、該保持台を回転軸を中心に回転させる回転駆動部と、前記チップに光を照射し、照射の結果得られた光を検知する測光部と、前記保持台上であって前記チップの重心よりも前記保持台の回転中心に近い位置に形成されたロック機構と、を備え、該ロック機構は、前記保持台に設けられたロックと、該ロックに引っ掛かる前記チップに設けられたフックと、を備え、前記チップの脱着時に、前記チップホルダは、前記保持台に対して前記回転軸に対して垂直方向に移動可能であることを特徴とするチップを用いた検査装置である。
請求項２に記載の発明は、前記保持台に、該保持台が回転された時に、前記チップホルダが前記保持台に位置決めされた状態で、前記チップホルダにかかる遠心方向と同方向に前記チップホルダを押圧するチップホルダ押圧弾性部材を備えたことを特徴とする請求項１に記載のチップを用いた検査装置である。
請求項３に記載の発明は、前記保持台に、該保持台が回転された時に、前記チップにかかる遠心方向と同方向に押圧するチップ押圧用弾性部材を備えたことを特徴とする請求項１または請求項２に記載のチップを用いた検査装置である。
請求項４に記載の発明は、前記チップ押圧用弾性部材は、遠心方向に対して垂直方向にも押圧することを特徴とする請求項３に記載のチップを用いた検査装置である。
請求項５に記載の発明は、前記保持台に、該記保持台が回転された時に、前記チップホルダの回転方向への押圧を抑制する梁を設けたことを特徴とする請求項１ないし請求項４のいずれか１つの請求項に記載のチップを用いた検査装置である。
【発明の効果】
【０００７】
本願発明によれば、チップを縦置きに配置しても、簡便な構成で、チップの飛び出しを防止することができるとともに、チップの交換も容易に行うことのできるチップを用いた検査装置を実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】チップを用いた検査装置の斜視図である。
【図２】図１に示したチップを用いた検査装置の平面図である。
【図３】図２に示したチップを用いた検査装置のＡ−Ａ断面図であり、測定室の上面に蓋部を設けた図である。
【図４】図２に示したチップを用いた検査装置のＢ−Ｂ断面図であり、測定室より下部は省略した図である。
【図５】チップの保持過程を説明するための図である。
【図６】チップの保持過程を説明するための図である。
【図７】チップの保持過程を説明するための図である。
【図８】チップの保持過程を説明するための図である。
【図９】チップの保持過程を説明するための図である。
【図１０】チップの取り出し過程を説明するための図である。
【図１１】チップの取り出し過程を説明するための図である。
【図１２】チップの取り出し過程を説明するための図である。
【図１３】チップの取り出し過程を説明するための図である。
【図１４】チップを保持または取り出す過程における、チップホルダ押圧用弾性部材及びチップ押圧用弾性部材の変位の変化をまとめた図である。
【図１５】チップを保持台に横置きまたは縦置きにして回転させた時の状態を説明するための斜視図である。
【図１６】チップを保持台に横置きまたは縦置きにして回転させた時の状態を説明するための断面図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
本願発明に係るチップを用いた検査装置の実施形態を図１〜図１４を参照して説明する。
図１は本実施形態に係るチップを用いた検査装置の斜視図、図２は図１に示したチップを用いた検査装置の平面図、図３は図２に示したチップを用いた検査装置のＡ−Ａ断面図であり、測定室の上面に蓋部を設けた図、図４は図２に示したチップを用いた検査装置のＢ−Ｂ断面図であり、測定室より下部は省略した図である。
なお、通常、チップはチップを用いた検査装置に複数装着されるが、図３においては、１個のチップ２がチップホルダ３に装着され、対向する位置（紙面右側上部）に配置されるチップ２及びチップホルダ３は省略されている。また、図１、図２、及び図４においては、チップ２の装着は省略されている。
図１に示すように、チップを用いた検査装置１は、複数のチップ２を縦置きに保持するチップホルダ３と、チップホルダ３を載置する保持台４と、測定室ベース板５上に複数の脚６によって支持され、保持台４を取り囲むように収納する略円筒状の測定室７と、保持台４を回転させる回転駆動部（モータ）８と、チップ２内に貯留された試料に光を照射し、照射の結果得られた光を検知する測光部９と、を備える。
【００１０】
図３に示すように、測定室７には蓋部１０が設けられ、測定室７の底部には貫通孔７１が設けられ、貫通孔７１を通って回転駆動部８の回転軸８１が挿通され、保持台４が、回転軸８１に固定され、回転可能に構成されている。さらに、測定室７の底部には、測光部９に対応する位置に、測光部７とチップ２に貯留された試料との間で測光するための光の入出を行う貫通孔７２が設けられる。
【００１１】
また、図３に示すように、測光部９は、測光部９の側面に基板９２を介して、例えば、ＬＥＤ等からなるチップ２内に貯留された試料に光を照射するための光源部９１と、光源部９１から出射した光をチップ２内に貯留された試料の方向に反射し、また、チップ２内に貯留された試料に対する光の照射の結果得られた蛍光を透過する傾斜配置されたハーフミラー９３と、ハーフミラー９３とチップ２との間に設けられ、凸面がハーフミラー９３と対向し、平面がチップ２に対向し、材質が、光源部９１からの光を透過でき、且つ、チップ２内に貯留された試料からの蛍光を透過することのできる、例えば、ガラスからなる平凸レンズ９４と、チップ２内に貯留された試料から平凸レンズ９４、ハーフミラー９３を透過した蛍光を検知する検知部９５と、を備える。なお、検知部９５には、例えば、光電子増倍管（ＰｈｏｔｏＭｕｌｔｉｐｌｉｅｒＴｕｂｅ：ＰＭＴ）やフォトダイオード（Ｐｈｏｔｏｄｉｏｄｅ）が用いられる。
【００１２】
図１〜図３に示すように、保持台４は、チップホルダ３を載置する円板状部分４１と、円板状部分４１の外周縁に、円板の中心軸方向に沿って延びる円筒状部分４２とを備え、材質は、例えば、アルミニウムのような金属部材が用いられる。
【００１３】
図１に示すように、チップホルダ３は、保持台４の中心軸から周縁に向かって延びるように、放射状に複数（図１では６個）配置される。
また、図３及び図４に示すように、チップホルダ３は、保持台４に設けた開口部分４３を通って一部下方側に突出する突出部３１を有し、側面には保持台４から落下しないように、保持台４の上面に摺動可能な摺動部３２が設けられる。チップホルダ３は、保持台４の開口部分４３とチップホルダ３の摺動部３２とによって、保持台４に対して回転軸に対して垂直方向に移動可能に構成される。
【００１４】
図３に示すように、保持台４には、チップ２を保持台４の周縁方向に向かって押圧するチップ押圧用弾性部材４４が設けられており、チップ２は、チップホルダ３（紙面左側の部分）に当接される。チップ押圧用弾性部材４４としては、例えば、板ばねを用いることができる。更に、保持台４には、チップホルダ３を周縁方向に向かって押圧するチップホルダ押圧用弾性部材４５が設けられる。チップホルダ押圧用弾性部材４５としては、例えば、板ばねを用いることができる。
【００１５】
また、図３に示すように、チップホルダ３には、内部に試料を注入されたチップ２が挿入される。このとき、チップ２は平板状であり、縦に装着される。
なお、ここで言うチップ２の縦置きとは、図４で見たときに、チップ２の紙面左右方向の長さに対して、紙面上下方向の長さが長くなるようにチップ２を置いたときのことである。
【００１６】
また、図３に示すように、チップ２には、フック２１が設けられており、フック２１に、保持台４に固定されたロック４６が引っかかるように配置される。
【００１７】
次に、本実施形態に係るチップを用いた検査装置１の動作について説明する。
まず、図３に示すように、チップ２を図３の状態で保持して、回転駆動部８によって回転駆動し、チップ２に遠心力をかける。この遠心力を利用してチップ２は、内部に保持された試料が分離や試薬との反応・撹拌を経て、チップ２の測定領域に処理した試料を移動させる。このとき、チップ２は縦置きされているために、遠心力によって飛び出そうとする力が大きくかかる（横置きより大きいという意味）。しかし、本装置では、チップ２が遠心方向（保持台４における中心軸から周縁に向かう方向）に向かってチップホルダ３に当接されるため、この方向への力は規制される。また、図３における紙面上方向への移動は、チップ２のフック２１と保持台４のロック４６とが引っかかって、その方向への移動が規制される。チップ２に遠心力を加えるときに、この遠心力はチップ２にかかるため、フック２１とロック４６とのロック機構を、チップ２の重心より保持台４の周縁側に位置させるよりも、チップ２の重心より中心軸側に位置させた方が小さな力でチップ２の飛び出しを抑制できる。そのため、本装置では、ロック機構をチップ２の重心より保持台４の中心軸側に位置させることによって、チップ２を縦置きにし、遠心力がかかっても、チップ２の飛び出しを抑制することができる。
【００１８】
飛び出しを抑制されたチップ２は、内部の試料を良好に処理することができ、この処理を終えると、処理された試料は、チップ２の測定領域に移動され、測光部９で検知される。より詳細には、光源部９１から出射した光は、ハーフミラー９３で反射され、レンズ９４に入射される。レンズ９４に入射した光は、チップ２の測定領域付近で集光する。チップ２の測定領域に位置する処理された試料は光が照射されると蛍光を発し、この蛍光はレンズ９４、ハーフミラー９３を通過して検知部９５で検知される。
【００１９】
試料が入っているチップ２は、本装置１で検査処理を終えると、再利用されることなく、交換される。このため、上述のようにチップ２のフック２１を保持台４のロック４６に引っかけ、飛び出すことを抑制することはできるが、これだけではチップ交換ができず、チップを用いた検査装置として利用することができない。
そのため、本実施形態に係るチップを用いた検査装置では、チップ２の飛び出しを抑制できるとともに、チップ２の交換も容易に行えるものである。以下に、図３及び図５〜図１３を参照して、チップ２を保持させる工程とチップ２を取り出す工程について詳述する。
【００２０】
図５〜図１３は、図３に示したチップ押圧用弾性部材４４及びチップホルダ押圧用弾性部材４５の周辺を拡大した図であり、図５〜図９はチップを保持させる工程、図１０〜図１３はチップ２を取り出す工程を説明するための図である。図１４は、チップを保持させる工程（図５〜図９）、及びチップ２を取り出す工程（図１０〜図１３）における、チップホルダ押圧用弾性部材４５及びチップ押圧用弾性部材４４の変位の変化をまとめた図である。
【００２１】
まず、チップ２を保持させる工程について説明する。はじめに、チップ２がチップホルダ３に保持されていない、空のチップホルダ３の状態では、チップホルダ押圧用弾性部材４５によって、チップホルダ３は遠心方向（保持台４の中心から周縁に向かう方向）に向かって押圧され、保持台４に当接されている。このときのチップホルダ押圧用弾性部材４５の変位を、図１４に示すようにＡとし、また、チップ押圧用弾性部材４４の変位をＣとする。
次に、図５に示すように、チップホルダ３にチップ２を上側から下側に向かって挿入する。チップ２には遠心方向に向かって突出するフック２１が設けられ、このフック２１の下面にテーパー部２１１が形成されている。ロック４６には、このテーパー部２１１と略平行なロック４６のテーパー部４６１が形成されており、両者のテーパー部２１１、４６１が対向する。
次に、図６に示すように、チップ２を挿入していくと、フック２１とロック４６との両者のテーパー部２１１、４６１が当接する。ロック４６は保持台４に対して固定されているのに対し、チップ２が挿入されたチップホルダ３は保持台４に対して可動である。このため、チップ２を更に挿入していくと、ロック４６のテーパー部４６１に沿ってチップ２とチップホルダ３とが遠心方向と逆方向（図６の紙面右方向）に移動される。この移動に伴って、チップホルダ押圧用弾性手段４５はチップホルダ３に押されて、遠心方向と逆方向に向かって撓む。従って、図１４に示すように、チップ２の挿入に伴って、チップホルダ押圧用弾性部材４５は、ＡからＢの変位に向かって撓む。さらに、チップ２とチップホルダ３とが遠心方向と逆方向（図６の紙面右方向）に移動されると、チップホルダ３に押されて、保持台に固定されたチップ押圧用弾性部材４４も撓む。このとき、チップ押圧用弾性部材４４は、図１４に示すように、ＣからＥの変位に向かって撓む。
次に、図７に示すように、チップ２のフック２１がロック４６のテーパー部４６１を通過した後、ロック４６の垂直方向に延びる面４６２にフック２１が当接し、その垂直方向に沿ってチップ２が移動される。このとき、チップホルダ３は、移動しないので、図１４に示すように、チップホルダ押圧用弾性部材４５は変位Ｂを保持したまま、またチップ押圧用弾性部材４４は変位Ｅを保持したままである。
次に、図８に示すように、チップ２をチップホルダ３に挿入しきった時に、チップ２がチップ押圧用弾性部材４４を押圧し、チップ押圧用弾性部材４４を撓ませる。このとき、図１４に示すように、チップ押圧用弾性部材４４は、ＥからＤの変位になる。また、図９に示すように、フック２１は、ロック４６との当接部分がなくなる。これにより、チップ２がチップホルダ３を遠心方向と逆方向に押す力がなくなるので、チップホルダ押圧用弾性部材４５は、チップホルダ３を遠心方向に押圧することになり、同時にチップ押圧用弾性部材４４もチップ２を遠心方向に押圧することになる。その結果、チップホルダ３は遠心方向に位置する保持台４に当接され、チップ２は遠心方向に位置するチップホルダ３に当接され、フック２１とロック４６とが引っかかり状態となる。従って、このようなフック２１とロック４６とが引っかかり状態となったとき、図１４に示すように、チップホルダ押圧用弾性部材４５の変位は、当初のＡの変位に戻り、さらに、チップ押圧用弾性部材４４の変位も当初のＣの変位に戻ることになる。
【００２２】
次に、チップ２を取り出す工程について説明する。図１０に示す状態で、チップホルダ３を遠心方向と逆方向に押していくと、チップホルダ３を押圧していたチップホルダ押圧用弾性部材４５が撓みつつ、チップ押圧用弾性部材４４も押圧されて撓む。従って、図１４に示すように、チップホルダ３の移動に伴って、チップホルダ押圧用弾性部材４５は、ＡからＢの変位に向かって撓み、さらにチップ押圧用弾性部材４４は、ＣからＤの変位に向かって撓む。
次に、図１１に示すように、チップホルダ３を押し切ってチップホルダ３が可動できるところまで移動させると、チップホルダ３の移動に伴ってチップ２も移動されることから、フック２１とロック４６との引っかかり状態がなくなる。チップ押圧用弾性部材４４は、傾斜した板バネであり、その機能はチップ２を傾斜した板ばねに対して垂直方向（図１１では紙面右下から左上に向かう方向）に押圧するものである。従って、チップ押圧用弾性部材４４には、遠心方向に向かって押圧する成分と、遠心方向に対して垂直方向（図１１の紙面上側）に向かって押圧する成分とがある。このため、図１４に示すＤの変位には、遠心方向に向かう変位と、遠心方向に対して垂直方向への変位とがあり、図１１に示すように、チップ押圧用弾性部材４４を撓ませた状態でフック２１とロック４６の引っかかり状態がなくなったとき、図１４のＤの変位のうち、遠心方向に対して垂直方向へ変位していた分の付勢が生じ、図１２に示すように、チップ押圧用弾性部材４４が紙面上側に向かってチップ２を押圧し、チップ２をロック４６の垂直方向に延びる面４６２に沿ってフック２１が移動する。このチップ押圧用弾性部材４４の押圧による移動が終わると、チップ押圧用弾性部材４４へは、遠心方向に向かう変位が残っているので、図１４に示すように、チップ押圧用弾性部材４４の変位はＥになる。さらに、フック２１を垂直方向に移動させるに従って、フック２１のテーパー部２１１とロック４６のテーパー部４６１とが対向されたときに、チップホルダ押圧用弾性部材４５がチップホルダ３を押圧する力によって、フック２１のテーパー部２１１とロック４６のテーパー部４６１とが摺動され、このテーパー部２１１、４６１の摺動に伴って、チップ２とチップホルダ３が遠心方向に移動される。その移動に伴って、図１４に示すようにチップホルダ押圧用弾性部材４５は、その変位をＢからＡに変化させ、さらにチップ押圧用弾性部材４４は、その変位をＥからＣに変化させる。そして、その結果、図１３に示すように、この両テーパー部２１１、４６１の摺動を終え、チップ２は上方向に持ち上げられ、取り出すことができる。このようにチップ２が取り出されることで、図１４に示すように、チップホルダ押圧用弾性部材４５の変位は、当初のＡの変位に戻り、さらに、チップ押圧用弾性部材４４の変位も当初のＣの変位に戻ることになる。
なお、上記では、フック２１とロック４６との引っかかり状態を無くす工程（図１１）で、チップホルダ３を押圧していたが、チップ２を遠心方向と逆方向に押圧しても（但し、チップ２の重力方向への押圧が弱い場合）、フック２１とロック４６との引っかかり状態を無くすことができる。
【００２３】
このように、本実施形態に係るチップを用いた検査装置によれば、チップ２のフック２１と、保持台４に固定されたロック４６と、遠心方向及び遠心方向と逆方向に移動可能な構成、換言すると、回転軸に対して垂直方向への移動可能な構成と、チップホルダ３を保持台４に対して遠心方向に押圧するチップホルダ押圧用弾性部材４５と、チップ２を遠心方向及び遠心方向に対して垂直方向に押圧するチップ押圧用弾性部４４と、を備えることによって、チップ２の飛び出しを防止でき、且つ、チップ２の取り付け・取り出しを良好に行なうことができる。特に、チップ２を取り出すときに、チップ押圧用弾性部材４４がチップ２を垂直方向に押圧することによって、チップ２の垂直方向への取り出しを補助することができ、チップ２の取り出しを容易に行なうことができる。
【００２４】
なお、処理された試料を検知する工程において、チップ２が所期の位置にいないと、検知が行なえないことがあるが、本装置では、チップホルダ３をチップホルダ押圧用弾性部材４５によって保持台４に押圧することによって、チップホルダ３を保持台４に位置決めし、チップ２をチップ押圧用弾性部材４４によってチップホルダ３に押圧することによって、チップ２をチップホルダ３に位置決めされる。これにより、結果的に、本装置では、チップ２を保持台４に位置決めすることができる。
【００２５】
また、保持台４を回転させると、チップホルダ３には、回転方向（図４における紙面左右方向）にも力がかかり、縦置きに対応したチップホルダ３も縦長になり、回転方向への力が大きくかかって、撓むことがある。このため、チップホルダ３の回転方向における側面に、保持台４に固定された梁４７を当接させることによって、チップホルダ３が回転方向に撓むことを抑制することができる。
【００２６】
なお、本発明に係るチップを用いた検査装置には、試料として、その用途に応じたものを用いることができる。例えば医学用途においては、血液や尿などの体液を試料として用いることができ、また、例えば環境用途においては、河川の水などを試料として用いることができ、さらにまた、例えば食品用途においては、食品に付着したカビなどを溶媒に溶かし、そのカビを溶かした溶媒を試料として用いることができる。
本発明に係るチップを用いた検査装置は、チップに遠心力を効果的に付加できることから、例えば血液のように、血漿を含む液体と血球を含む液体との複数の液体で構成される場合、遠心力を付加することでそれぞれの液体で分離させ、一方の成分を検査することができるものである。人体から得られる体液は例えば数分〜数十分で５００Ｇのような大きな遠心力を付加することで分離されるものであり、試料を貯留するチップにも５００Ｇのような大きな遠心力が付加される。本発明に係るチップを用いた検査装置は、上述のように、遠心力によるチップの飛び出しを抑制するものであるので、付加される遠心力が大きな血液や尿などの体液を試料する用途においては、特に好適に用いることができる。
【符号の説明】
【００２７】
１チップを用いた検査装置
２チップ（マイクロチップ）
２１フック
３チップホルダ
３１突出部
３２摺動部
４保持台
４１円板状部分
４２円筒状部分
４３開口部分
４４チップ押圧用弾性部材
４５チップホルダ押圧用弾性部材
４６ロック
５測定室ベース板
６脚
７測定室
７１貫通孔
７２貫通孔
８回転駆動部（モータ）
８１回転軸
９測光部
９１光源部
９２基板
９３ハーフミラー
９４レンズ（平凸レンズ）
９５検知部
１０蓋部

【特許請求の範囲】
【請求項１】
平板状のチップを複数個セットさせると共に、前記チップの内部に封入された試料に対して光照射することによって試料成分を測定するチップを用いた検査装置であって、
前記チップを収納するチップホルダと、
該チップホルダが複数個並べて載置された保持台と、
該保持台を回転軸を中心に回転させる回転駆動部と、
前記チップに光を照射し、照射の結果得られた光を検知する測光部と、
前記保持台上であって前記チップの重心よりも前記保持台の回転中心に近い位置に形成されたロック機構と、を備え、
該ロック機構は、前記保持台に設けられたロックと、該ロックに引っ掛かる前記チップに設けられたフックと、を備え、
前記チップの脱着時に、前記チップホルダは、前記保持台に対して前記回転軸に対して垂直方向に移動可能であることを特徴とするチップを用いた検査装置。
【請求項２】
前記保持台に、該保持台が回転された時に、前記チップホルダが前記保持台に位置決めされた状態で、前記チップホルダにかかる遠心方向と同方向に前記チップホルダを押圧するチップホルダ押圧弾性部材を備えた
ことを特徴とする請求項１に記載のチップを用いた検査装置。
【請求項３】
前記保持台に、該保持台が回転された時に、前記チップにかかる遠心方向と同方向に押圧するチップ押圧用弾性部材を備えた
ことを特徴とする請求項１または請求項２に記載のチップを用いた検査装置。
【請求項４】
前記チップ押圧用弾性部材は、遠心方向に対して垂直方向にも押圧することを特徴とする請求項３に記載のチップを用いた検査装置。
【請求項５】
前記保持台に、該記保持台が回転された時に、前記チップホルダの回転方向への押圧を抑制する梁を設けたことを特徴とする請求項１ないし請求項４のいずれか１つの請求項に記載のチップを用いた検査装置。

【図１】