フラットパネルディスプレイモジュール用検査装置、及び検査装置用撮像装置
【課題】装置を大型化することなく、ＦＰＤモジュールの画像表示面及び側面の双方から良好な画像を取得することによって外観を検査することができるＦＰＤモジュール用検査装置、及び検査装置用撮像装置を提供する。
【解決手段】本実施形態の液晶表示パネル用検査装置１０ａは、液晶表示パネル２０の上面２０ａの上方にある、照明装置１と、第１群ミラー部４と、第２群ミラー部５ａ・５ｂとが、駆動手段によって主走査方向に沿って移動するように構成されており、第１群ミラー部４は一定速度で一方向に移動するのに対して、第２群ミラー部５ａ・５ｂは上記一軸上を双方向に、且つ速度を可変させて移動する。
【解決手段】本実施形態の液晶表示パネル用検査装置１０ａは、液晶表示パネル２０の上面２０ａの上方にある、照明装置１と、第１群ミラー部４と、第２群ミラー部５ａ・５ｂとが、駆動手段によって主走査方向に沿って移動するように構成されており、第１群ミラー部４は一定速度で一方向に移動するのに対して、第２群ミラー部５ａ・５ｂは上記一軸上を双方向に、且つ速度を可変させて移動する。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、フラットパネルディスプレイモジュールの表面及び側面を撮像し、得られた画像を用いてフラットパネルディスプレイモジュールの外観検査を行うためのフラットパネルディスプレイモジュール用検査装置、及び検査装置用撮像装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶表示パネルのようなフラットパネルディスプレイモジュール（以下、ＦＰＤモジュールと記載する）には、表示品位不良としてムラ、黒点、白点などが生じる場合がある。これらの不良要素は、腕時計などに使用されている小型の表示パネルにおいてはさほど問題にはならないものの、大型の表示パネルにおいては拡大されて目につき易いため、その商品価値を著しく低下させることになる。
【０００３】
ひと昔前までは、このような表示品位不良のチェックは検査員の目視によって行われていた。しかしながら、目視検査では検査員の身体的負担が大きく、また官能検査であるため定量的な判断が難しいといった問題があった。さらに、ＦＰＤの大型化に伴い、検査員の身体的負担がさらに増大することが懸念されていた。そこで、このような問題を解決し、且つ低コスト化も実現するべく、光学系装置を備えたＦＰＤモジュール用検査装置の開発が求められていた。
【０００４】
特許文献１は、表示パネルの表面を測定するための検査装置について開示している。この検査装置１００は、図１８に示すように、検査対象の液晶表示パネル１０１の下方に配置された光源装置１０５と、この光源装置１０５と液晶表示パネル１０１との間に配置された光拡散板１０６と、液晶表示パネル１０１の上方に配置された凹面鏡１０３と、凹面鏡１０３からの反射光Ｌ２の光路上に配置されたＣＣＤカメラ１０２と、このＣＣＤカメラ１０２の前方に、光軸中心にスリットを有し、凹面鏡１０３の焦点位置に配置されたスリット板１０４とを有している。また、検査装置１００には、上記ＣＣＤカメラ１０２に接続された信号処理回路１１１及び演算処理回路１１２が設けられている。このような検査装置１００において、光源装置１０５から発せられた照明光Ｌ１は、光拡散板１０６によって照度が均一にされた状態で液晶表示パネル１０１を透過し、続いて凹面鏡１０３で反射して光路を９０゜曲げられて水平方向に光路をとる。そして、反射光Ｌ２の内、平行光線のみが光軸中心のスリットを通過し、平行光線以外の光はこのスリット板１０４によって遮光される。従って、ＣＣＤカメラ１０２には平行光線だけが導かれる。このような構成によれば、図１８に示すように凹面鏡１０３を挟んでＣＣＤカメラ１０２と反対側の位置に液晶表示パネル１０１の虚像が結ばれ、この虚像が縮小されてＣＣＤカメラ１０２に撮像されることになる。そして、ＣＣＤカメラ１０２からの出力が信号処理回路１１１に入力され、ここで所定の信号処理が行われ演算処理回路１１２に入力される。演算処理回路１１２には、液晶表示パネルの表示品位が良品である場合のデータが予め入力されているため、このデータと信号処理回路１１１より与えられる液晶表示パネル１０１の画像のデータとを比較し、液晶表示パネル１０１にムラ、黒点、白点等の表示品位不良が存在するか否かを判定し、液晶表示パネル１０１の表示品位の良否が判定される。
【０００５】
また、液晶表示パネルの側面を検査する方法としては、液晶表示パネルへの偏光板の貼付け精度を自動的に検査するための精度検査方法が特許文献２に開示されている。この方法では、図１９に示すように、偏光板２０３を液晶パネル２０１に貼付けた後、液晶パネル２０１の側面の端部及びその付近をＣＣＤカメラ２２８、２２９により撮影する。そして、撮影された画像中の液晶パネル２０１端部から偏光板２０３端部までの距離を画像処理により測定し、距離が規定範囲内にあれば液晶表示パネルへの偏光板の貼付け精度が良い、すなわち良品と判定する。
【０００６】
また、特許文献３には、断線欠陥や短絡欠陥を検査するための検査装置であって、反射鏡を移動させることによって光源からの光の照射位置を順次変えて、液晶基板の全面にわたる検査を連続的に行う検査装置が開示されている。以下に、図２０及び図２１を用いて、この検査装置の構成について説明する。
【０００７】
図２０及び図２１は、上記の検査装置の構成を説明するための図である。この検査装置では、図２０に示すように、透明ケースの内部に液晶が封入されてなる液晶シート３１０ａの底面に光反射体３１０ｂを設け、液晶シート３１０ａの上面に薄膜透明電極３１０ｃを形成してなる電気光学素子３１０を用いている。具体的には、上記の検査装置においては、電源３１１により液晶基板３０１と電気光学素子３１０との間に通電すると、液晶基板３０１における欠陥の有無や状況に応じて各画素電極３０５が発生させる電場が変化し、それに伴って電気光学素子３１０の光学的性質が種々に変化することになる。従って、電気光学素子３１０に対して光源３１２から照射された光の反射光を受光器３１３で受光し、その反射光の状態をモニタ３１４により観察し、更に、その画像データを画像処理の手法を用いて解析することによって、電気光学素子３１０の光学的性質の変化を検知することができ、それに基づいて液晶基板３０１の欠陥の有無を検査することができる。
【０００８】
そして、上記の検査装置には、図２１に示すように、電気光学素子３１０の背面側において電気光学素子３１０に対して平行に設けられた一対のガイド部材３２５が設けられているとともに、電気光学素子３１０に対して平行状態を保持しつつガイド部材３２５に沿って移動自在とされた第１のスライダ３２６と、第１のスライダ３２６に取り付けられて第１のスライダ３２６の移動方向と直交する方向に移動自在された第２のスライダ３２７とが設けられている。また、第１のスライダ３２６上には、第１の反射鏡３３０が設けられており、第２のスライダ３２７上には第２の反射鏡３３１が設けられている。加えて、上記の検査装置には、図２１に示すように、第１・第２の反射鏡３３０・３３１の位置を検知して電気光学素子３１０への光の照射位置を検知し、それに基づいて受光器３１３から照射位置までの距離を検知するための位置検査装置３４０と、第１・第２のスライダ３２６・３２７がそれぞれ移動して光の照射位置が刻々と変化しても、受光器３１３の焦点を合致させるための焦点調節装置３２１とが設けられている。尚、焦点調節装置３２１は、レンズ３２０を駆動させて焦点を調節する構成となっている。
【０００９】
このような構成を備えた検査装置は、第１・第２のスライダ３２６・３２７を同期させて移動させることによって、第１・第２の反射鏡３３０・３３１を電気光学素子３１０の背面に沿って移動させて光源３１２からの光の照射位置を順次変えて、液晶基板３０１の全面にわたる検査を連続的に行うことができる。
【００１０】
しかしながら、特許文献１ないし３の構成は何れも、液晶表示パネルの表面及び側面の何れか一方のみを検査するものであり、表面及び側面の双方を一度に検査することができないという欠点がある。さらに、特許文献３の場合は、液晶基板３０１の全面にわたる検査を連続的に行うことができる反面、焦点調節装置３２１を備える必要があるため、検査装置が大型化するという問題もある。
【００１１】
パネルの表面及び側面の外観を検査することができる構成としては、特許文献４に開示された外観検査装置がある。図２２に示す上記外観検査装置５００は、トレー受け５１６と、処理ステージ５１８と、検査ステージ５２０とを有している。検査ステージ５２０に載せられたパネル５１２に光を指向させるべく、検査ステージ５２０の上方には光学系５８０が設けられており、光学系５８０からの光をパネル５１２の側面に指向させると共にパネル５１２の側面で反射した光を上方に反射させる２組の反射体５８２と、光学系５８０からの光をパネル５１２の上面に指向させると共に上面で反射した光を上方に反射させる２組の斜光発生器５８４と、パネル５１２の上面で反射した光、及び側面で反射した光を受けてパネル５１２の上面及び側面を撮影すべく検査ステージ５２０の上方に配置されたテレビカメラ５８６とを備えている。この外観検査装置５００によれば、パネルの表面及び側面を検査することができる。このような外観検査装置としては、他にも特許文献５に開示されたものもある。
【特許文献１】特開平６−２０２０６０号公報（１９９４年７月２２日公開）
【特許文献２】特開２００４−２３３１８４号公報（２００４年８月１９日公開）
【特許文献３】特許第３２７３９７１号（２００２年２月１日登録）
【特許文献４】特開２００５−３４８８号公報（２００５年１月６日公開）
【特許文献５】特開２００６−６４３８７号公報（２００６年３月９日公開）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１２】
しかしながら、特許文献４及び５に開示された構成の外観検査装置の場合、パネル３１２の上面からテレビカメラ３８６までの撮像距離と、パネル３１２の側面からテレビカメラ３８６までの撮像距離とが互いに異なっているため、パネルの上面、及びパネルの側面の両方にピントの合った良好な画像を取得することは困難である。
【００１３】
仮に、それを実現するためには２つの方法が考えられる。１つは、レンズの有効絞りを小さくして、被写界深度を深くとることで、パネルの上面、及びパネルの側面の両方にピントをあわせ、有効絞りを小さくしたことに対応可能な高感度のエリアセンサ（カメラ）を使用する方法である。もう１つは、結像面の大きな撮像素子とレンズを用いて、焦点が合っているとする最小錯乱円を大きくすることで、パネルの上面、及びパネルの側面の両方にピントを合わせる方法である。しかしながら、何れの方法も、高感度のエリアセンサや、結像面の大きな撮像素子とレンズといった非常に高価な構成を必要とするため、現実的な解決策とは言い難い。
【００１４】
そこで、本発明は、上記の問題点に鑑みてなされたものであり、その目的は、装置を大型化することなく、ＦＰＤモジュールの画像表示領域の面（画像表示面）及び側面の双方から良好な画像を取得することによって外観を検査することができるＦＰＤモジュール用検査装置、及び検査装置用撮像装置を提供するものである。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
本発明に係るＦＰＤモジュール用検査装置は、上述した課題を解決するために、ＦＰＤモジュールの、配線及び電極が配されている画像表示面と、該画像表示面と接する側面のうちの少なくとも１つの側面とに光を照らす光源と、位置固定されており、上記画像表示面及び側面で反射した上記光の反射光を受光することによって、該画像表示面及び側面を撮像する撮像手段とを備えた、上記ＦＰＤモジュールの外観を検査するためのＦＰＤモジュール用検査装置であって、上記側面から所定の間隔をあけて配され、該側面で反射した反射光を反射させることによって、該反射光の進行方向を上記画像表示面で反射した反射光の進行方向と平行にする反射手段と、上記反射手段で反射した反射光ａ、及び上記画像表示面で反射した反射光ｂを上記撮像手段に導く導光手段と、上記撮像手段に反射光ａと反射光ｂとが順次受光されるように、上記導光手段及び上記光源を移動させる駆動手段とを備えており、上記導光手段には、反射光ａ及び反射光ｂを入射させるとともに、入射した反射光ａ及び反射光ｂを第２導光部へと導く第１導光部と、該第１導光部からの反射光ａ及び反射光ｂを上記撮像手段に導く第２導光部とが設けられており、上記光源と、上記第１導光部と、上記第２導光部とは、上記画像表示面に対して平行で、且つ直線である同じ移動軸上を移動できるように構成されており、上記駆動手段は、上記第１導光部及び上記光源と、上記第２導光部とを互いに異なる速度で上記移動軸上を移動させるように構成されており、上記撮像手段は、移動中の上記第２導光部から導かれる光を連続的に受光するように構成されていることを特徴としている。
【００１６】
ＦＰＤモジュールは、その製造工程中に、例えば電気的接続が不良となったり、構成部材同士の位置ズレや構成部材にクラックが起こることなどの欠陥が生じる場合がある。このため、良好なＦＰＤモジュールを提供するためには、製造中のある段階で、上記した欠陥を検出する必要がある。そこで従来では、上記した従来構成の装置を用いて、このようなＦＰＤモジュールの外観を検査し、上記欠陥を検出する作業が行われていたが、上述したような問題があった。これに対して、本発明に係るＦＰＤモジュール用検査装置は、上記したように、ＦＰＤモジュールの画像表示面及び側面の各面で反射した光を入射させて第２導光部に向けて出射する第１導光部と、第１導光部から出射した光を入射させて撮像手段に向けて出射させる第２導光部とを有した導光手段が、各面で反射した光が撮像手段に届くまでの光路上に設けられており、且つ、第１導光部と第２導光部とが互いに異なる速度で上記移動軸上を画像表示面に沿って移動するように構成されている。このように構成することによって、側面（または画像表示面）からの反射光が撮像手段に届くまでの光路長を、画像表示面（または側面）からの反射光が撮像手段に届くまでの光路長と等しくすることができる。そのため、焦点調整機構や、高感度のエリアセンサや、結像面の大きな撮像素子とレンズといった非常に高価な構成を必要とすることはない。すなわち、上記の構成とすれば、第１導光部が、移動しながら、ＦＰＤモジュールの側面及び画像表示面から、または画像表示面と側面からの反射光を順次して受光することにより、装置を大型化せずに、ＦＰＤモジュールの画像表示面及び側面の双方の面の良好な画像を一度に得ることができる。
【００１７】
具体的には、上記駆動手段は、上記第１導光部を上記移動軸上を一方向に一定速度Ｖで移動させている間に、上記第２導光部を、上記移動軸上を双方向に移動させ、且つその速度を可変させるように構成されている。換言すれば、上記第１導光部が、上記駆動手段によって、上記移動軸に沿って一定速度Ｖで該軸の一方の端部から他方の端部に至るまで移動するように構成されており、上記第２導光部は、第１導光部が該軸の一方の端部から他方の端部に至るまで移動する間に、上記駆動手段によって、上記移動軸に沿って双方向に移動するとともに、移動中にその速度を可変できるように構成されている。この構成によれば、第１導光部が側面からの反射光を直接受けているのか、それとも画像表示面からの反射光を直接受けているのかによって、第２導光部の移動速度を制御して、第２導光部と第１導光部との相対位置を変化させ、画像表示面及び側面から撮像手段に届くまでの反射光の光路長を等しくなるように調整することができる。
【００１８】
このように第１導光部と第２導光部との相対位置を変化させることによって、画像表示面及び側面から撮像手段に届くまでの反射光の光路長を等しくすることができることから、別途、焦点調整機構を備える必要はない。
【００１９】
加えて、上記のように構成すれば、撮像手段を位置移動させずに固定して配設することができるとともに、従来公知のレンズ及び受光部を使用して実現することができる。そのため、高感度のエリアセンサや、結像面の大きな撮像素子とレンズといった非常に高価な構成を必要とすることもない。
【００２０】
また、本発明に係るＦＰＤモジュール用検査装置によれば、ＦＰＤモジュールの２倍の面積を装置内に確保する必要がある、ＦＰＤモジュールを移動させて側面及び画像表示面の撮像を連続して行う構成と比較して、ＦＰＤモジュールを移動させる必要はなく、導光手段及び光源のみを移動すればよいため、装置をコンパクトに実現することができる。
【００２１】
また、ＦＰＤモジュールを移動させる必要がある構成の場合、重量のあるＦＰＤモジュールを加減速させなければならない。そのため、ＦＰＤモジュールを載置するための、強度とトルクの大きなステージを用いなければならない。これに対して、本発明の構成の場合、導光手段及び光源のみを移動させる構成であるため、比較的強度とトルクの小さなステージを用いることができる。
【００２２】
すなわち、本発明の構成によれば、装置を大型化せずに、ＦＰＤモジュールの画像表示面及び側面の双方から、良好な画像を得ることができるＦＰＤモジュール用検査装置を提供することができる。
【００２３】
より具体的には、本発明に係るＦＰＤモジュール用検査装置は、 上記画像表示面が、互いに平行な少なくとも１組の辺を有する多角形である、フラットパネルディスプレイモジュールを撮像するように構成されており、上記１組の辺のうちの一方の辺Ａから他方の辺Ｄに向かう方向を主走査方向とすると、上記移動軸は主走査方向に対して平行であり、上記反射手段は、上記辺Ａを有する側面Ａ、及び上記辺Ｄを有する側面Ｄの各々に、それぞれ上記所定の距離をあけて配設されており、上記第２導光部は、上記第１導光部から上記第２導光部に導かれる上記反射光ａ及び反射光ｂの光軸が主走査方向に対して平行となるように、上記第１導光部よりも主走査方向の下流に配設されており、上記第２導光部から上記撮像手段に導かれる上記反射光ａ及び反射光ｂは、上記光軸と平行な光軸を有し、且つ上記第１導光部から上記第２導光部に導かれる上記反射光ａ及び反射光ｂの進行方向とは逆方向に進行するように構成されている。
【００２４】
また、本発明に係るＦＰＤモジュール用検査装置は、上記側面Ａは、上記辺Ａに対向する辺Ａ’を有しており、上記側面Ｄは、上記辺Ｄに対向する辺Ｄ’を有しており、上記第１導光部は、上記側面Ａにおける上記辺Ａから上記辺Ａ’に向けて順次上記反射光ａを入射し、その後、上記画像表示面における辺Ａから辺Ｄに向けて順次上記反射光ｂを入射し、更にその後、上記側面Ｄにおける上記辺Ｄ’から上記辺Ｄに向けて順次上記反射光ａを入射するように構成されており、上記駆動手段が、（ｉ）上記第１導光部に反射光ａ及び反射光ｂが入射している間は、上記第２導光部を速度Ｖ／２で主走査方向の上流から下流に移動させ、（ｉｉ）上記第１導光部に上記辺Ａ’からの反射光ａが入射した直後から、上記第１導光部に上記画像表示面における辺Ａからの反射光ｂが入射する直前までの間は、上記第２導光部を、その移動速度がＶ／２よりも速い第１の所定速度で主走査方向の上流から下流に移動させ、（ｉｉｉ）上記第１導光部に上記画像表示面における辺Ｄからの反射光ｂが入射した直後から、上記第１導光部に上記辺Ｄ’からの反射光が入射する直前までの間は、上記第２導光部を第２の所定速度で主走査方向の下流から上流に移動させるように構成されている。
【００２５】
これにより、画像表示面及び側面から撮像手段に届くまでの反射光の光路長を等しくすることができる。
【００２６】
また、本発明に係るＦＰＤモジュール用検査装置は、上記多角形は四角形であり、上記１組の辺とは異なる１組の辺のうちの一方の辺Ｃに設けられた側面Ｃ、及び、他方の辺Ｂに設けられた側面Ｂの各々から所定の間隔をあけて配され、該側面Ｃ及び側面Ｂで反射した反射光ｃを反射させることによって、該反射光ｃの進行方向を上記画像表示面で反射した反射光の進行方向と平行にする、上記反射手段とは異なる第２反射手段を備えており、上記第１導光部は、上記反射光ａ及び反射光ｂを反射させる両用第１導光部と、上記両用第１導光部よりも主走査方向の下流に所定の間隔をあけて配設された、上記反射光ｃを反射させる側面用第１反射部とから構成されていることが好ましい。
【００２７】
上記の構成とすれば、四角形を有する画像表示面に設けられた４つの側面を、導光手段及び光源の一度の走査で撮像可能なＦＰＤモジュール用検査装置を提供することが可能となる。
【００２８】
また、本発明に係るＦＰＤモジュール用検査装置は、上記第２反射手段は、上記側面Ｃ及び側面Ｂで反射した反射光ｃの一部を入射させることができるように構成されており、上記駆動手段は、上記第２反射手段を、上記側面Ｃ及び側面Ｂにおける主走査方向の上流側の端部から下流側の端部まで、上記第１導光部とともに移動させるように構成されていることが好ましい。
【００２９】
上記の構成とすれば、第２反射手段の反射面が側面Ｃ及び側面Ｂの面積と同じまたはそれ以上であると比較して、第２反射手段を小型化することができる。
【００３０】
また、本発明に係るＦＰＤモジュール用検査装置は、上述した課題を解決するために、ＦＰＤモジュールの、配線及び電極が配されている四角形を有する画像表示面と、該画像表示面と接する４つの側面のうちの少なくとも１つの側面とに光を照射する光源と、位置固定されており、上記光が上記画像表示面及び側面で反射した反射光を受光することによって、該画像表示面及び側面を撮像する撮像手段と、上記画像表示面及び側面から上記撮像手段までの間の上記反射光の光路上に設けられた、入射した光を入射方向とは異なる方向に反射させる反射体とを備えている、上記モジュールの外観を検査するためのＦＰＤモジュール用検査装置であって、上記画像表示面の２組の対向辺のうち、一方の組の一方の辺Ａから他方の辺Ｄに向かう方向を主走査方向とすると、上記反射体は、上記辺Ａを有する側面Ａと、上記辺Ｄを有する側面Ｄとでそれぞれ反射した上記光源からの光の反射光を反射させる第４反射部と、上記第４反射部で反射した反射光、及び上記画像表示面で光源から出射した光が反射した反射光を上記画像表示面に沿って主走査方向に反射させる第１反射部と、上記第１反射部で反射した反射光を反射させて、該反射光の光軸と平行な光軸を有し、且つ該反射光の進行方向とは逆向きに進行する反射光を生成する第２反射部とを備えており、上記光源、第１反射部及び第２反射部は、上記画像表示面のの近傍に配設されており、光源及び第１反射部を、上記画像表示面に沿って主走査方向の上流から下流に速度Ｖで移動させるとともに、上記第１反射部の移動中に、上記第２反射部を、上記画像表示面に沿って主走査方向の上流から下流に、及び下流から上流に速度Ｖとは異なる速度で移動させる駆動手段を備えており、上記撮像手段は、主走査方向に移動中の上記第２反射部が生成する反射光を連続して受光するように構成されていることを特徴としている。
【００３１】
ＦＰＤモジュールは、その製造工程中に、例えば電気的接続が不良となったり、構成部材同士の位置ズレや構成部材にクラックが起こることなどの欠陥が生じる場合がある。このため、良好なＦＰＤモジュールを提供するためには、製造中のある段階で、上記した欠陥を検出する必要がある。そこで従来では、上記した従来構成の装置を用いて、このようなＦＰＤモジュールの外観を検査し、上記欠陥を検出する作業が行われていたが、上述したような問題があった。これに対して、本発明に係るＦＰＤモジュール用検査装置は、上記したように、画像表示面及び側面の各面で反射した光を直接入射させて第２導光部に向けて出射する第１導光部と、第１導光部から出射した光を撮像手段に向けて出射させる第２導光部とを有した導光手段が、各面で反射した光が撮像手段に届くまでの光路上に設けられており、且つ、第１導光部と第２導光部とが互いに異なる速度で画像表示面に沿って移動するように構成されている。このように構成することによって、側面からの反射光が撮像手段に届くまでの光路長を、画像表示面からの反射光が撮像手段に届くまでの光路長と等しくすることができる。そのため、焦点調整機構や、高感度のエリアセンサや、結像面の大きな撮像素子とレンズといった非常に高価な構成を必要とすることはない。すなわち、上記の構成とすれば、第１導光部が、側面に続いて画像表示面、または画像表示面に続いて側面から連続して反射光を受けることにより、装置を大型化せずに、ＦＰＤモジュールの画像表示面及び側面の双方の面の良好な画像を一度に得ることができる。
【００３２】
具体的には、このように構成することによって、第１導光部が側面からの反射光を直接受けているのか、それとも画像表示面からの反射光を直接受けているのかによって、第２導光部の移動速度を制御して、第２導光部と第１導光部との相対位置を変化させ、画像表示面及び側面から撮像手段に届くまでの反射光の光路長を等しくなるように調整することができる。
【００３３】
このように第１導光部と第２導光部との相対位置を変化させることによって、画像表示面及び側面から撮像手段に届くまでの反射光の光路長を等しくすることができることから、別途、焦点調整機構を備える必要はない。
【００３４】
加えて、上記のように構成すれば、撮像手段を位置移動させることなく固定して配設することができるとともに、従来公知のレンズ及び受光部を使用して実現することができる。そのため、高感度のエリアセンサや、結像面の大きな撮像素子とレンズといった非常に高価な構成を必要とすることもない。
【００３５】
また、上記のように、本発明に係るＦＰＤモジュール用検査装置によれば、導光手段及び光源のみを移動させる構成であり、ＦＰＤモジュールを移動させることない。ここで、ＦＰＤモジュールを移動させて側面及び画像表示面の撮像を連続して行う構成の場合、ＦＰＤモジュールの２倍の面積を装置内に確保する必要がある。しかしながら、本発明の構成の場合、ＦＰＤモジュールの面積が確保されていればよい。そのため、装置をコンパクトに実現することができる。
【００３６】
さらに、ＦＰＤモジュールを移動させる構成の場合、重量のあるＦＰＤモジュールを加減速させなければならないため、ＦＰＤモジュールを載知するための、強度とトルクの大きなステージを用いなければならない。これに対して、本発明の構成の場合、導光手段及び光源のみを移動させる構成であるため、比較的強度とトルクの小さなステージを用いることができる。
【００３７】
すなわち、上記の構成によれば、本発明に係るＦＰＤモジュール用検査装置は、装置を大型化せずに、ＦＰＤモジュールの画像表示面及び側面の双方から、良好な画像を得ることができる。
【００３８】
また、本発明に係る検査装置用撮像装置は、上述した課題を解決するために、被検査対象物の主面と、該主面と接する側面のうちの少なくとも１つの側面とに光を照らす光源と、位置固定されており、上記主面及び上記側面で反射した上記光の反射光を受光することによって、該主面及び側面を撮像する撮像手段とを備えた、上記被検査対象物の外観を検査するための検査装置用撮像装置であって、上記側面から所定の間隔をあけて配され、該側面で反射した反射光を反射させることによって、該反射光の進行方向を上記主面で反射した反射光の進行方向と平行にする反射手段と、上記反射手段で反射した反射光ａ、及び上記主面で反射した反射光ｂを上記撮像手段に導く導光手段と、上記撮像手段に反射光ａと反射光ｂとが順次受光されるように、上記導光手段及び上記光源を移動させる駆動手段とを備えており、上記導光手段には、反射光ａ及び反射光ｂを入射させるとともに、入射した反射光ａ及び反射光ｂを第２導光部へと導く第１導光部と、該第１導光部から導かれた反射光ａ及び反射光ｂを上記撮像手段に導く第２導光部とが設けられており、上記光源と、上記第１導光部と、上記第２導光部とは、上記主面に対して平行で、且つ直線である同じ移動軸上を移動できるように構成されており、上記駆動手段は、上記第１導光部及び上記光源と、上記第２導光部とを互いに異なる速度で上記移動軸上を移動させるように構成されており、上記撮像手段は、移動中の上記第２導光部から導かれる光を連続的に受光するように構成されていることを特徴としている。
【００３９】
上記の構成によれば、第１導光部と第２導光部とが互いに異なる速度で同一の移動軸上で移動させることができるため、第１導光部と第２導光との相対位置を変化させることができる。よって、主面及び側面から撮像手段に届くまでの反射光の光路長を等しくなるように調整することができる。
【００４０】
このように主面及び側面から撮像手段に届くまでの反射光の光路長を等しくすることができることから、第１導光部が、側面に続いて主面、または主面に続いて側面から連続して反射光を受けることにより、装置を大型化せずに、被検査対象物の主面及び側面の双方の面の良好な画像を一度に得ることができ、その際、別途、焦点調整機構を備える必要はない。
【００４１】
加えて、上記のように構成すれば、撮像手段を位置移動させることなく固定して配設することができるとともに、従来公知のレンズ及び受光部を使用して実現することができる。そのため、高感度のエリアセンサや、結像面の大きな撮像素子とレンズといった非常に高価な構成を必要とすることもない。
【００４２】
また、上記のように、本発明に係る検査装置用撮像装置によれば、導光手段及び光源のみを移動させる構成であり、被検査対象物を移動させることない。ここで、被検査対象物を移動させて側面及び主面の撮像を連続して行う構成の場合、被検査対象物の２倍の面積を装置内に確保する必要がある。しかしながら、本発明の構成の場合、被検査対象物の面積が確保されていればよい。そのため、装置をコンパクトに実現することができる。
【００４３】
さらに、被検査対象物を移動させる構成の場合、被検査対象物が重量のあるものの際、その被検査対象物を加減速させなければならないため、被検査対象物を載知するための、強度とトルクの大きなステージを用いなければならない。これに対して、本発明の構成の場合、導光手段及び光源のみを移動させる構成であるため、比較的強度とトルクの小さなステージを用いることができる。
【００４４】
すなわち、上記の構成によれば、本発明に係る検査装置用撮像装置は、装置を大型化せずに、被検査対象物の主面及び側面の双方から、良好な画像を得ることができる。
【発明の効果】
【００４５】
本発明に係るＦＰＤモジュール用検査装置は、以上のように、ＦＰＤモジュールの、配線及び電極が配されている画像表示面と、該画像表示面と接する側面のうちの少なくとも１つの側面とに光を照らす光源と、位置固定されており、上記画像表示面及び側面で反射した上記光の反射光を受光することによって、該画像表示面及び側面を撮像する撮像手段とを備えた、上記ＦＰＤモジュールの外観を検査するためのＦＰＤモジュール用検査装置であって、上記側面から所定の間隔をあけて配され、該側面で反射した反射光を反射させることによって、該反射光の進行方向を上記画像表示面で反射した反射光の進行方向と平行にする反射手段と、上記反射手段で反射した反射光ａ、及び上記画像表示面で反射した反射光ｂを上記撮像手段に導く導光手段と、上記撮像手段に反射光ａと反射光ｂとが順次受光されるように、上記導光手段及び上記光源を移動させる駆動手段とを備えており、上記導光手段には、反射光ａ及び反射光ｂを入射させるとともに、入射した反射光ａ及び反射光ｂを第２導光部へと導く第１導光部と、該第１導光部からの反射光ａ及び反射光ｂを上記撮像手段に導く第２導光部とが設けられており、上記光源と、上記第１導光部と、上記第２導光部とは、上記画像表示面に対して平行で、且つ直線である同じ移動軸上を移動できるように構成されており、上記駆動手段は、上記第１導光部及び上記光源と、上記第２導光部とを互いに異なる速度で上記移動軸上を移動させるように構成されており、上記撮像手段は、移動中の上記第２導光部から導かれる光を連続的に受光するように構成されていることを特徴としている。また、本発明に係るＦＰＤモジュール用検査装置は、以上のように、ＦＰＤモジュールの、配線及び電極が配されている四角形を有する画像表示面と、該画像表示面と接する４つの側面のうちの少なくとも１つの側面とに光を照射する光源と、位置固定されており、上記光が上記画像表示面及び側面で反射した反射光を受光することによって、該画像表示面及び側面を撮像する撮像手段と、上記画像表示面及び側面から上記撮像手段までの間の上記反射光の光路上に設けられた、入射した光を入射方向とは異なる方向に反射させる反射体とを備えている、上記モジュールの外観を検査するためのＦＰＤモジュール用検査装置であって、上記画像表示面の２組の対向辺のうち、一方の組の一方の辺Ａから、他方の辺Ｄに向かう方向を主走査方向とすると、上記反射体は、上記辺Ａを有する側面Ａと、辺Ｄを有する側面Ｄとでそれぞれ反射した上記光源からの光の反射光を反射させる第４反射部と、上記第４反射部で反射した反射光、及び上記画像表示面で光源から出射した光が反射した反射光を上記画像表示面に沿って主走査方向に反射させる第１反射部と、上記第１反射部で反射した反射光を反射させて、該反射光の光軸と平行な光軸を有し、且つ該反射光の進行方向とは逆向きに進行する反射光を生成する第２反射部とを備えており、光源、第１反射部及び第２反射部は、上記画像表示面の近傍に配設されており、光源及び第１反射部を、上記画像表示面に沿って主走査方向の上流から下流に速度Ｖで移動させるとともに、上記第１反射部の移動中に、上記第２反射部を、上記画像表示面に沿って主走査方向の上流から下流に、及び下流から上流に速度Ｖとは異なる速度で移動させる駆動手段を備えており、上記撮像手段は、主走査方向に移動中の上記第２反射部が生成する反射光を連続して受光するように構成されていることを特徴としていると換言することもできる。
【００４６】
以上の構成とすれば、装置を大型化せずに、ＦＰＤモジュールの画像表示面及び側面の双方から、良好な画像を得ることができるＦＰＤモジュール用検査装置を提供することができる。
【００４７】
また、本発明に係る検査装置用撮像装置は、以上のように、被検査対象物の主面と、該主面と接する側面のうちの少なくとも１つの側面とに光を照らす光源と、位置固定されており、上記主面及び上記側面で反射した上記光の反射光を受光することによって、該主面及び側面を撮像する撮像手段とを備えた、上記被検査対象物の外観を検査するための検査装置用撮像装置であって、上記側面から所定の間隔をあけて配され、該側面で反射した反射光を反射させることによって、該反射光の進行方向を上記主面で反射した反射光の進行方向と平行にする反射手段と、上記反射手段で反射した反射光ａ、及び上記主面で反射した反射光ｂを上記撮像手段に導く導光手段と、上記撮像手段に反射光ａと反射光ｂとが順次受光されるように、上記導光手段及び上記光源を移動させる駆動手段とを備えており、上記導光手段には、反射光ａ及び反射光ｂを入射させるとともに、入射した反射光ａ及び反射光ｂを第２導光部へと導く第１導光部と、該第１導光部から導かれた反射光ａ及び反射光ｂを上記撮像手段に導く第２導光部とが設けられており、上記光源と、上記第１導光部と、上記第２導光部とは、上記主面に対して平行で、且つ直線である同じ移動軸上を移動できるように構成されており、上記駆動手段は、上記第１導光部及び上記光源と、上記第２導光部とを互いに異なる速度で上記移動軸上を移動させるように構成されており、上記撮像手段は、移動中の上記第２導光部から導かれる光を連続的に受光するように構成されていることを特徴としている。
【００４８】
以上の構成とすれば、装置を大型化せずに、被検査対象物の主面及び側面の双方から、良好な画像を得ることができる検査装置用撮像装置を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００４９】
〔実施の形態１〕
本発明に係るＦＰＤモジュール用検査装置（検査装置用撮像装置）についての一実施形態を図１ないし図１６に基づいて説明する。尚、以下の説明では、本発明を実施するために技術的に好ましい種々の限定が付されているが、本発明の範囲が以下の実施形態および図面に限定されるものではない。
【００５０】
図１は、本実施形態における液晶表示パネル用検査装置の構成を示す斜視図である。本実施形態の液晶表示パネル用検査装置１０ａは、液晶表示パネルにおけるムラ、黒点、白点などのいわゆる表示品位不良の有無を検査するために、液晶表示パネルの外観を撮像することができるように構成されている。そのため、液晶表示パネル用検査装置１０ａは、図１に示すように、照明装置１（光源）と、ラインセンサ２及びレンズ３（撮像手段）と、第１群ミラー部４（導光手段、第１導光部）と、第２群ミラー部５ａ・５ｂ（導光手段、第２導光部）と、第３群ミラー部６ａ・６ｂ（第２反射手段）と、第４群ミラー部７ａ・７ｂ（反射手段）と、図示しない駆動手段とを備えている。
【００５１】
本実施形態の液晶表示パネル用検査装置１０ａは、検査対象（撮像対象）である液晶表示パネル２０（ＦＰＤモジュール）を図示しない載置台に載置できるように構成されており、その際、液晶表示パネル２０は、図示しない配線及び電極が配されている上面（画像表示面、主面）２０ａが、載置台の載置面に対向する面とは反対側の面になるように載置される。
【００５２】
ここで、本実施形態における液晶表示パネル用検査装置１０ａは、四角形の画像表示面を有する液晶表示パネル２０を対象とする形態となっている。そこで、以下の説明では、液晶表示パネル用検査装置１０ａを構成する各構成部材の位置関係などを、載置台に載置した四角形の上面２０ａの４辺（辺Ａ〜Ｄ）及び各該辺を有する４つの側面（側面Ａ〜Ｄ）を基準にして説明する。尚、辺Ａと辺Ｄとが互いに平行な１組の辺であり、辺Ｂと辺Ｄとが互いに平行な１組の辺である。そして、辺Ａから辺Ｄに向かう方向であって、且つ上面２０ａと平行な方向を、液晶表示パネル用検査装置１０ａの「主走査方向」と規定する。また、辺Ｃから辺Ｂに向かう方向であって、且つ上面２０ａと平行な方向を、液晶表示パネル用検査装置１０ａの「副走査方向」と規定する。各方向は、図１にも示している。
【００５３】
本実施形態では、上記載置台が、上面２０ａが水平になるように液晶表示パネル２０を載置できる構成となっている。そして、ラインセンサ２と、レンズ３と、照明装置１と、第１群ミラー部４と、第２群ミラー部５ａ・５ｂとは、上面２０ａの上方に配設されている。また、第４群ミラー部７ａは、図１に示すように、液晶表示パネル２０の側面Ａから所定の間隔をあけた位置に配設されており、第４群ミラー部７ｂは、側面Ｄから所定の間隔をあけた位置に配設されている。また、第３群ミラー部６ａは、側面Ｂから所定の間隔をあけて位置に配設されており、第３群ミラー部６ｂは、側面Ｃから所定の間隔をあけた位置に配設されている。
【００５４】
図２は、本実施形態の液晶表示パネル用検査装置１０ａの斜視図であって、図１のものとは異なる時点における状態を示している。また、図３も、本実施形態の液晶表示パネル用検査装置１０ａの斜視図であって、図１及び図２とは異なる時点における状態を示している。図１〜図３に示すように、本実施形態の液晶表示パネル用検査装置１０ａは、上面２０ａの上方にある照明装置１と、第１群ミラー部４と、第２群ミラー部５ａ・５ｂとが、図示しない駆動手段によって図１に示す状態から図２に示す状態に移動できるように構成されており、更に、図２に示す状態から図３に示す状態に移動することができるように構成されている。詳細は後述する。
【００５５】
以下に、上記した各構成部材について詳述する。
【００５６】
上記ラインセンサ２及びレンズ３は、図示しない固定手段によって位置固定されているおり、第２群ミラー部５ａ・５ｂで反射した反射光を受光している間に、その位置が移動することはない。ラインセンサ２は、上面２０ａ及び側面Ａ・Ｂ・Ｃ・Ｄで反射した後に第１群ミラー部４と第２群ミラー部５ａ・５ｂとによって反射して最後に上記レンズ３で集光された反射光を受光できるように構成されており、受光した光に基づいて、各面の画像信号を生成することができるように構成されている。
【００５７】
上記照明装置１は、第１群ミラー部４と一体となって、図１〜図３に示すように主走査方向に上流から下流に、すなわち、第４群ミラー部７ａの位置から第４群ミラー部７ｂの位置までを、移動することができるように構成されている。照明装置１は、従来公知のものを用いることができ、図示しない上記駆動手段によって、図示しないガイドレールに沿って上記のように移動することができる。上記のように移動する照明装置１は、側面Ａ、次に上面２０ａ及び側面Ｂ・Ｃ、そして次に、側面Ｄに対して光を順次照射することができる。
【００５８】
照明装置１には、光を出射するための開口部（不図示）が設けられており、この開口部は、上面２０ａの辺Ａに沿って細長い形状を有している。上記照明装置１は、具体的には、辺Ａに沿って並んだ３つの照明部１ａ〜１ｃから構成されており、この３つの照明部１ａ〜１ｃが一体となって既述のように移動する。
【００５９】
３つの照明部のうちの中央に位置する照明部１ｂは、既述のように移動することによって、側面Ａ、上面２０ａ、側面Ｄに向けて光を順に照射することができる。また、照明部１ｂの一端側にある照明部１ａは、側面Ｂに向けて光を照射することができ、照明部１ｂの他端側にある照明部１ｃは、側面Ｃに向けて光を照射することができる。本実施形態は、このように照明部を複数設け、各照明部から出射する出射光の角度及び強度（明度）を、照射対象の面と、出射口から各面までの距離に応じて変えている。これにより、何れの面からも均一な強度の反射光を得ることができる。
【００６０】
上記照明部１ａ〜１ｃは、各々独立して出射光の強度を調整することができる。例えば、照明部１ｂは、側面Ａ及び側面Ｄに照射する場合と、上面２０ａに照射する場合とで、出射光の強度を可変させることができる。具体的には、側面Ａ及び側面Ｄに照射する場合には、上面２０ａに照射する場合よりも光の強度を高くすることができる。
【００６１】
また、照明部１ｂが側面Ａまたは側面Ｄに照射する間は、照明部１ａ・１ｃを消灯させることも可能である。このように必要のない間だけ照明部１ａ・１ｃを消灯させることにより、液晶表示パネル用検査装置１０ａの消費電力量を抑制することができる。
【００６２】
ところで、照明装置１とともに移動しながら、上面２０ａで反射した反射光、及び各側面で反射した反射光を入射できるように構成されている第１群ミラー部４は、上面２０ａの上方にある。そのため、図２に示すように中央に位置する照明部１ｂが上面２０ａに対して光を照射できる位置にあって、照明部１ｂから出射した出射光が上面２０ａで反射するときには、その反射光（図２の反射光Ｃ）は、上面２０ａに対して略垂直方向の光軸を有しているので、上面２０ａの上方にある第１群ミラー部４にそのまま入射できる。一方、照明部１ｂが図１に示すように側面Ａに対して光を照射できる位置にあるとき、側面Ａで反射した反射光Ａは側面Ａに対して垂直または略垂直方向の光軸を有している。また同じく、照明部１ｂが図３に示すように側面Ｄに対して光を照射できる位置にあるとき、側面Ｄで反射した反射光Ａも側面Ｄに対して垂直または略垂直方向の光軸を有している。そこで、側面Ａ及び側面Ｄで反射した反射光Ａを、上面２０ａの上方にある第１群ミラー部４に入射させるために、液晶表示パネル用検査装置１０ａは、上記第４群ミラー部７ａ・７ｂを備えている。
【００６３】
上記第４群ミラー部７ａは、側面Ａから所定の間隔をあけた位置に配設されており、辺Ａに沿って細長い形状を有している。また、第４群ミラー部７ｂは、側面Ｄから所定の間隔をあけた位置に配設されており、辺Ｄに沿って細長い形状を有している。第４群ミラー部７ａ及び第４群ミラー部７ｂの具体的な配設位置については後述する。第４群ミラー部７ａに入射した側面Ａで反射した反射光Ａは、反射して上記反射光Ｃの光軸と平行な光軸を有する反射光Ｂとなって第１群ミラー部４に入射する。また、第４群ミラー部７ｂに入射した側面Ｄで反射した反射光Ａも、反射して上記反射光Ｃの光軸と平行な光軸を有する反射光Ｂとなって第１群ミラー部４に入射する。尚、ここで「平行」とは、反射光Ｃの光軸に対して完全に平行である状態のことを示す以外に、反射光Ｃと同様に上面２０ａの上方にある第１群ミラー部４に入射させることができる程度の光の光軸のことも示すこととする。
【００６４】
また、照明部１ｂが図２に示すように上面２０ａに対して光を照射できる位置にあるとき、照明部１ａは側面Ｂに対して光を照射できる位置にあり、且つ、照明部１ｃは側面Ｃに対して光を照射できる位置にある。このとき、側面Ｂ・Ｃで反射した反射光Ｓは、側面Ｂ・Ｃに対して略垂直方向の光軸を有する。そこで、第４群ミラー部７ａ・７ｂと同様に、側面Ｂ・Ｃに対して略垂直方向の光軸を、上面２０ａに対して略垂直方向の光軸を有する上記反射光Ｃの光軸と平行にするために、液晶表示パネル用検査装置１０ａは、上記第３群ミラー部６ａ・６ｂを備えている。尚、ここで「平行」とは、反射光Ｃの光軸に対して完全に平行である状態のことを示す以外に、反射光Ｃと同様に上面２０ａの上方にある第１群ミラー部４に入射させることができる程度の光の光軸のことも示すこととする。
【００６５】
上記第３群ミラー部６ａは、図２に示すように、側面Ｂから所定の間隔をあけた位置に配設されており、辺Ｂに沿って辺Ｂよりも僅かに長い細長形状の反射面を有している。また、上記第３群ミラー部６ｂは、側面Ｃから所定の間隔をあけた位置に配設されており、辺Ｃに沿って辺Ｂよりも僅かに長い細長形状の反射面を有している。第３群ミラー部６ａ・６ｂに入射した反射光Ｓは、反射され、上記反射光Ｃの光軸と平行な光軸を有する反射光Ｔとなり、反射光Ｃとともに第１群ミラー部４に入射する。
【００６６】
上記のような機能を果たす第３群ミラー部６ａ・６ｂ及び第４群ミラー部７ａ・７ｂとして、具体的には、図１〜図３に示すような、液晶表示パネルの側面と対向する面が反射面となっているミラー体を用いることができる。この反射面は、反射面における上記載置面と近接している側を中心として、側面に対して約４５°傾斜している。
【００６７】
ここで、上記第３群ミラー部６ａ・６ｂ及び上記第４群ミラー部７ａ・７ｂの配設位置について詳述する。
【００６８】
図５は、第３群ミラー部６ａ・６ｂの液晶表示パネル２０との相対位置について示したものであり、図１に示した液晶表示パネル用検査装置１０ａを、主走査方向の下流から上流に向けて見た状態を示している。尚、説明の便宜上、図５では、第３群ミラー部６ａ・６ｂと、液晶表示パネル２０との相対位置のみを示しているため、他の構成部材は省略している。
【００６９】
図５に示すように、第３群ミラー部６ａ・６ｂは共に、側面に最も近い反射面の端部ｊが、側面における上記載置面と近接した端部ｋから式（１）で示される距離ｕほど副走査方向に沿って離されており、且つ、側面の端部ｋから式（２）で示される距離ｖほど載置台の載置面よりも沈下している。
【００７０】
【数１】
【００７１】
【数２】
【００７２】
尚、このときｔａｎθは、下記の式（３）を満たすものとする。
【００７３】
【数３】
【００７４】
ここで、式（３）中のｗ，ｄ，ｔについて図６（ａ）・（ｂ）を用いて説明する。尚、図６（ｂ）は、図６（ａ）に示した構成の一部を拡大した図である。図６に示すように、ｗは、液晶表示パネル２０の上面２０ａの半幅を示し、ｄは、液晶表示パネル２０の面からレンズ３に至るまでの光路長、すなわち撮像距離を示し、ｈは、液晶表示パネル２０の高さ（つまり側面の短辺側の長さ）を示している。図６（ｂ）から、ｔは、ｕ＋ｖで示され、角度θを有する４つの三角形について（ｈ＋ｖ）：ｕ ＝ ｕ：ｖ ＝ （ｈ＋ｖ＋ｕ）：（ｖ＋ｕ） ＝ ｄ：（ｗ＋ｕ＋ｖ）という関係となり、そのうちの（ｈ＋ｖ＋ｕ）：（ｖ＋ｕ） ＝ ｄ：（ｗ＋ｕ＋ｖ）に、ｕ＋ｖ＝ｔを代入して、（ｈ＋ｔ）：ｔ ＝ ｄ：（ｗ＋ｔ）が導出され、ここから、図６（ａ）・（ｂ）のｔは、下記の式（４）で示される隙間の距離となる。
【００７５】
【数４】
【００７６】
このように第３群ミラー部６ａ・６ｂを配設することによって、液晶表示パネルの上面２０ａと側面Ｂ・Ｄとを隙間なく撮像することができ（図１５を参照）、よって、ラインセンサの素子の長さを最低限短くすることができる。
【００７７】
すなわち、ラインセンサ２及びレンズ３は、図６に示すように液晶表示パネル２０の上面２０ａの半幅ｗと、液晶表示パネル２０の高さ（つまり側面の短辺側の長さ）ｈと、上記式（４）で示した隙間ｔとを加えた幅の２倍の幅を撮像できるように構成されていればよく、この条件を満たすことができるものであれば、レンズ３及びラインセンサ２は共に、従来公知のものを用いることができる。
【００７８】
また、第４群ミラー部７ａ及び第４群ミラー部７ｂの具体的な配設位置について、図７に基づいて説明する。図７は、第４群ミラー部７ａ及び第４群ミラー部７ｂの配設位置を示した側面図であり、第４群ミラー部７ａ及び第４群ミラー部７ｂを、副走査方向の下流から上流に向けて見た状態の側面図である。尚、図７は、第４群ミラー部７ａ及び第４群ミラー部７ｂと、液晶表示パネル２０との相対位置のみを示しているため、他の構成部材は省略している。
【００７９】
第４群ミラー部７ａ及び第４群ミラー部７ｂは、図１〜図３に示すような液晶表示パネルの側面と対向する面が反射面となっているミラー体を用いることができる。この反射面は、反射面における上記載置面と近接している側を中心として、側面に対して約４５°傾斜している。そして、図７に示すように、第４群ミラー部７ａにおける側面Ａに最も近い端部は、側面Ａから距離ｐだけ離されている。そして、第４群ミラー部７ｂにおける側面Ｄに最も近い端部は、側面Ｄから距離ｑだけ離されている。距離ｐと距離ｑとは異なる距離を有しており、距離ｐはｔ＋ｈより長い距離を有している。尚、ｔ及びｈは上記の通りである。
【００８０】
第３群ミラー部６ａ・６ｂ及び第４群ミラー部７ａ・７ｂで反射された反射光Ｂ、及び上記反射光Ｃが入射する上記第１群ミラー部４は、図１に示すように、辺Ａに沿って並んだ３つのミラー４ａ〜４ｃから構成されており、この３つのミラー４ａ〜４ｃが一体となって既述のように移動するように構成されている。３つのミラー４ａ〜４ｃのうちの中央に位置するミラー４ｂ（両用第１導光部）は、辺Ａの長さと同じもしくは辺Ａの長さよりも長い細長形状の反射体であり、既述のように移動することによって、側面Ａと第４群ミラー部７ａとで反射した反射光Ｂ（図１）、上面２０ａで反射した反射光Ｃ（図２）、側面Ｄと第４群ミラー部７ｂとで反射した反射光Ｂ（図３）を順次入射させることができる。また、ミラー４ｂの一端側にあるミラー４ａ（側面用第１導光部）は、側面Ｂと第３群ミラー部６ａとで反射した反射光Ｔ（図２）を入射させることができる。また、ミラー４ｂの他端側にあるミラー４ｃ（側面用第１導光部）は、側面Ｃと第３群ミラー部６ｂとで反射した反射光Ｔ（図２）を入射させることができる。そして、第１群ミラー部４は、これらを反射させることによって、主走査方向を上流から下流に向けて進む反射光Ｄを生成するように構成されている。
【００８１】
第１群ミラー部４も、照明装置１と同じく図示しない上記駆動手段によって、図示しないガイドレールに沿って移動する構成となっている。尚、第１群ミラー部４と照明装置１とが図示しない接続部材によって互いに固定されている場合は、例えば、照明装置１に駆動手段を配設し、駆動手段によって照明装置１が移動するのに伴って、第１群ミラー部４が移動するように構成してもよい。また、その逆であってもよい。駆動手段の機能については後で詳述する。
【００８２】
図４は、第１群ミラー部４を、主走査方向の下流から上流に向けて見た状態を示している。尚、説明の便宜上、図４では、第１群ミラー部４のミラー４ａ及びミラー４ｃと、液晶表示パネル２０との相対位置のみを示しているため、他の構成部材は省略している。
【００８３】
上記ミラー４ａは、図４に示すように、第３群ミラー部６ａの真上の位置よりもミラー４ｂ側に寄った位置に配設されており、ミラー４ｃも、第３群ミラー部６ｂの真上の位置よりもミラー４ｂ側に寄った位置に配設されている。
【００８４】
また、ミラー４ａ・４ｃは、その反射面が、ミラー４ｂの反射面に比べて主走査方向下流にずれた位置にある（図８を参照）。このずれ量は、上面２０ａで反射した反射光がラインセンサ２に至るまでの距離（撮像距離）と、側面Ｂ・Ｃで反射した反射光がラインセンサ２に至るまでの距離（撮像距離）とが一致する条件を満たす量である。具体的には、図８に示すように、ミラー４ａ（ミラー４ｃ）と、ミラー４ｂとの間（図８のｅ−ｅ’間）の距離がｔ＋ｈを満たしている。尚、ｔ及びｈは上記の通りである。
【００８５】
第１群ミラー部４の各ミラーで反射して生成された反射光Ｄは、次に、第２群ミラー部５ａ・５ｂに入射する。
【００８６】
上記第２群ミラー部５ａ・５ｂは、図１〜３に示すように、第１群ミラー部４及び照明装置１よりも主走査方向下流に配置されており、第１群ミラー部４及び照明装置１と同じ移動軸上で、主走査方向を上流から下流へ、及び下流から上流へ移動することができるように構成されている。この移動は、第１群ミラー部４及び照明装置１と同じく、図示しない上記駆動手段によって、図示しないガイドレールに沿って行う。
【００８７】
第２群ミラー部５ａ・５ｂは、移動しながら、同じく移動する第１群ミラー部４によって生成される上記反射光Ｄを入射させ、これを反射させることによって、主走査方向を下流から上流に向けて進む反射光Ｅ（図１〜図３）を生成することができる。
【００８８】
具体的には、第２群ミラー部５ａ・５ｂは、図１〜３に示すように辺Ａに沿って細長い形状を有している。この第２群ミラー部５ａは、反射光Ｄを入射させ、これを反射させることによって、上面２０ａに対して垂直方向で、且つ上面２０ａの上方に向けて進む反射光Ｄ’を生成することができる。また、第２群ミラー部５ｂは、上記反射光Ｄ’を入射できるように、第２群ミラー部５ａの上方、すなわち上面２０ａに対して垂直で、且つ上面２０ａから更に離れた位置に配設されている。そして、第２群ミラー部５ｂは、入射した反射光Ｄ’を入射させ、これを反射させることによって、主走査方向を下流から上流に進む反射光Ｆを生成する。
【００８９】
尚、本実施形態では、第２群ミラー部５ａ及び第２群ミラー部５ｂという各々別体の２つの反射部材を設けている。しかしながら、本発明はこれに限定されるものではなく、内部に第２群ミラー部５ａ及び第２群ミラー部５ｂと同じ機能を有した面を備えた１つの部材から構成してもよい。１つの部材から構成すれば、互いの位置決めが不要であり、位置ズレが生じる虞もなくなる。また、本実施形態では、反射光Ｄから反射光Ｆが生成されるまでの間に、２つの反射部材を用いているが、反射部材同士の相対的な位置が変化しなければ２つに限定されるものではなく、３つ以上の反射部材を用いてもよい。
【００９０】
上記駆動手段は、第１群ミラー部４及び照明装置１を主走査方向の上流から下流に一定速度で移動させることができるとともに、第２群ミラー部５ａ・５ｂを、移動速度を可変させながら主走査方向の上流から下流に、及び下流から上流に移動させることができ、第１群ミラー部４と第２群ミラー部５ａ・５ｂとの相対位置、すなわち第１群ミラー部４と第２群ミラー部５ａ・５ｂとの間の距離を調整することができる。その調整は、撮像する間の第１群ミラー部４と第２群ミラー部５ａ・５ｂとの相対位置を駆動手段に予め設定しておき、その設定に応じて、駆動手段が第１群ミラー部４と第２群ミラー部５ａ・５ｂと移動させる構成とすればよい。また他にも、例えば、一定速度で移動する第１群ミラー部４の位置を駆動手段によって検出し、この位置に応じて、駆動手段が第２群ミラー部５ａ・５ｂの移動速度及び移動方向を調整する構成であってもよい。
【００９１】
尚、本実施形態では、第１群ミラー部４（及び照明装置１）と、第２群ミラー部５ａ・５ｂとを１つの駆動手段によって駆動しているが、本発明はこれに限定されるものではなく、第１群ミラー部４と第２群ミラー部５ａ・５ｂとをそれぞれ別の駆動手段によって駆動してもよい。
【００９２】
第２群ミラー部５ｂから反射した反射光Ｆは、既述したレンズ３によって集光され、ラインセンサ２で受光される。
【００９３】
ラインセンサ２は、レンズ３によって集光された光を受けて、電気信号を生成することができるものであれば既述したように従来公知のものを用いて構成することができる。また、例えば、該電気信号に基づいて形成された各面の画像を表示できる表示装置がラインセンサ２に接続されていてもよい。
【００９４】
また、ラインセンサ２もしくはラインセンサ２に配設された他の装置に、予め液晶表示パネルの表示品位不良の有無を判別するためのデータを設定しておき、上記電気信号に基づいて、検査中の液晶表示パネルの表示品位不良の有無を判定させるように構成することも可能である。
【００９５】
以下に、上記の構成を備えた液晶表示パネル用検査装置１０ａを用いた撮像方法を説明する。
【００９６】
図８〜図１３は、液晶表示パネル２０の上面及び４つの側面Ａ〜Ｄを液晶表示パネル用検査装置１０ａを用いて撮像する間の、第１群ミラー部４と第２群ミラー部５ａ・５ｂとの相対位置を各工程に沿って示した液晶表示パネル用検査装置１０ａの側面図である。尚、図８〜図１３は何れも、図１〜図３に示した液晶表示パネル用検査装置１０ａを、副走査方向の下流から上流に向けて見た状態を示している。
【００９７】
図８は、撮像を開始した時点の状態を示している。撮像が開始された時点では、照明装置１及び第１群ミラー部４は、第４群ミラー部７ａの上方に位置しており、第１群ミラー部４には、図８に示すように、第４群ミラー部７ａにおけるＬ１の位置で反射した反射光Ｂがミラー４ｂに入射する。このＬ１の位置で反射した反射光は、側面Ａにおける辺Ａ付近で反射した光に由来する。このとき、第２群ミラー部５ａ・５ｂは、液晶表示パネルの上面２０ａの上方に位置している。
【００９８】
そして、駆動手段は、第１群ミラー部４と照明装置１を、図８に示す位置から主走査方向に沿って上流から下流に、一定速度Ｖで駆動（移動）させる。一定速度Ｖで移動することによって、第１群ミラー部４に入射する反射光Ｂは、第４群ミラー部７ａにおけるＬ１の位置で反射した反射光Ｂから、側面Ａの面内で反射した反射光に由来するＬ１−Ｌ２間で反射した反射光Ｂを経て、側面Ａにおける辺Ａの対辺である辺Ａ’付近の反射光に由来した、第４群ミラー部７ａにおけるＬ２の位置で反射した反射光Ｂに順次変化する。また、駆動手段は、第１群ミラー部４を移動させるのと同時に、主走査方向に沿って上流から下流に上記速度Ｖの半分の速度（速度Ｖ／２）で第２群ミラー部５ａ・５ｂを移動させる。このように第１群ミラー部４及び第２群ミラー部５ａ・５ｂが移動することによって、側面Ａの辺Ａ付近で反射した反射光がラインセンサ２に受光され始めた時点から、側面Ａの辺Ａ’付近で反射した反射光がラインセンサ２に受光され終わる時点までの間の、側面Ａからラインセンサ２までの反射光の光路長（これを撮像距離Ｒとする）を一定にすることができる。
【００９９】
図９は、第１群ミラー部４のミラー４ｂに第４群ミラー部７ａにおけるＬ２の位置で反射した反射光が入射している状態であり、側面Ａの撮像が完了した時点を示している。この状態から第１群ミラー部４は、更に一定速度Ｖで移動して後述する液晶表示パネルの上面２０ａ及び側面Ｂ・Ｃを撮像する工程（図１０）に入るわけだが、図９に示す状態から、第１群ミラー部４のミラー４ａ・４ｃが第３群ミラー部６ａで反射した反射光Ｔ（側面Ｂ・Ｃで反射したものに由来）を入射するまで、すなわちＬ４の位置での反射光を入射するまでの間は、第２群ミラー部５ａ・５ｂが移動速度を変化させ、速度Ｖ／２よりも速い第１の所定速度で主走査方向の上流から下流に移動する。
【０１００】
ここで、上記第１の所定速度とは、上面２０ａ及び側面Ｂ・Ｃで反射した反射光がラインセンサ２に受光され始める時点での撮像距離が、上記撮像距離Ｒと等しくなる速度である。
【０１０１】
尚、本実施形態では、第１群ミラー部４が主走査方向の上流から下流まで移動する間に上面２０ａとともに側面Ａ〜Ｄの全ての側面を撮像する構成について説明している。しかしながら、全ての側面を撮像する構成に限定されるものではなく、上面２０ａとともに、主走査方向の上流と下流に位置する側面Ａ・Ｄの２つの側面を撮像する構成であってもよい。この場合は、図９に示した時点から、第１群ミラー部４のミラー４ｂに上面２０ａの辺Ａ付近（すなわち、図９におけるＬ４の位置）で反射した反射光Ｃを入射するまでの間、第２群ミラー部５ａ・５ｂを上記第１の所定速度で主走査方向の上流から下流に移動させる。
【０１０２】
図１０は、第１群ミラー部４のミラー４ａ・４ｃに、第３群ミラー部６ａで反射した反射光Ｔ（側面Ｂ・Ｃで反射したものに由来）が入射し始めた時点を示している。第１群ミラー部４のミラー４ａ・４ｃに、第３群ミラー部６ａで反射した反射光Ｔが入射し始めるとすぐに、第２群ミラー部５ａ・５ｂは再び移動速度を速度Ｖ／２に変化させて主走査方向の上流から下流に移動し始める。そして、上面２０ａでの反射光Ｃは第１群ミラー部４のミラー４ｂと第２群ミラー部５ａ・５ｂとを経て、そして、側面Ｂでの反射光Ｔは、第１群ミラー部４のミラー４ａと第２群ミラー部５ａ・５ｂとを経て、また、側面Ｃでの反射光Ｔは、第１群ミラー部４のミラー４ｃと第２群ミラー部５ａ・５ｂとを経て、それぞれラインセンサ２に受光される。上面２０ａ及び側面Ｂ・Ｄの各々からラインセンサ２までの撮像距離は互いに等しく、且つ、上記撮像距離Ｒとも等しい。
【０１０３】
図１１は、上面２０ａと側面Ｂ・Ｃとの撮像が完了した時点を示しており、具体的には、第１群ミラー部４のミラー４ｂが、Ｌ５の位置にあって、上面２０ａの辺Ｄ付近での反射光Ｃを受光した直後の状態を示している。この状態から第１群ミラー部４は、更に一定速度Ｖで移動して後述する液晶表示パネルの側面Ｄを撮像する工程（図１２）に入るわけだが、図１１に示す状態から、第１群ミラー部４のミラー４ｂが第４群ミラー部７ｂで反射した反射光Ｂ（側面Ｄで反射したものに由来）を入射するまで、すなわちＬ６の位置での反射光を入射するまでの間は、第２群ミラー部５ａ・５ｂが移動速度を変化させ、速度Ｖ／２よりも遅い第２の所定速度で主走査方向の下流から上流に移動する。
【０１０４】
ここで、上記第２の所定速度とは、側面Ｄで反射した反射光がラインセンサ２に受光され始める時点での撮像距離が、上記撮像距離Ｒと等しくなる速度である。
【０１０５】
図１２は、第１群ミラー部４のミラー４ｂに、第４群ミラー部７ｂにおけるＬ６で反射した反射光Ｂ（側面Ｄの辺Ｄの対辺（辺Ｄ’）付近で反射した反射光に由来）が入射し始めた時点を示している。ミラー４ｂに、第４群ミラー部７ｂにおけるＬ６で反射した反射光Ｂが入射し始めるとすぐに、第２群ミラー部５ａ・５ｂは再び移動速度を速度Ｖ／２に変化させて主走査方向の上流から下流に移動し始める。そして、第１群ミラー部４に入射する反射光Ｂは、側面Ｄの辺Ｄの対辺（辺Ｄ’）付近の反射光に由来した、第４群ミラー部７ａにおけるＬ６の位置で反射した反射光Ｂから、側面Ｄの面内で反射した反射光に由来するＬ６−Ｌ７間で反射した反射光Ｂを経て、図１３に示す側面Ｄにおける辺Ｄ付近の反射光に由来した、第４群ミラー部７ｂにおけるＬ７の位置で反射した反射光Ｂに順次変化する。このように第１群ミラー部４及び第２群ミラー部５ａ・５ｂが移動することによって、側面Ｄの辺Ｄ’付近で反射した反射光がラインセンサ２に受光され始めた時点から、側面Ｄの辺Ｄ付近で反射した反射光がラインセンサ２に受光され終わる時点までの間の、側面Ｄからラインセンサ２までの反射光の撮像距離が一定になり、且つ、上記撮像距離Ｒと等しくなる。
【０１０６】
このように、本実施形態の液晶表示パネル用検査装置１０ａを用いることによって、例えば、液晶表示パネル２０の各面に図１４に示すように文字Ｆが印字されているならば、図１５に示すような状態の画像を得ることができる。尚、図１５におけるＬ１〜Ｌ７は、図８〜図１３に示したＬ１〜Ｌ７である。
【０１０７】
また、図１６に、第１群ミラー部４及び第２群ミラー部５ａ・５ｂの位置と速度との関係についてダイアグラムにまとめている。尚、図１６の縦軸のＬ１〜Ｌ７は、図８〜図１３に示したＬ１〜Ｌ７である。
【０１０８】
以上のように、本実施形態の液晶表示パネル用検査装置１０ａは、上面２０ａの上方において第１群ミラー部４及び照明装置１の移動軸と、第２群ミラー部５ａ・５ｂの移動軸とが一致した状態で、第１群ミラー部４（及び照明装置１）と第２群ミラー部５ａ・５ｂとを互いに異なる速度で移動させる駆動手段を備えており、ラインセンサ２及びレンズ３は、位置固定されており、移動中の第２群ミラー部５ａ・５ｂから導かれる各面からの反射光を連続的に受光するように構成されている。これにより、従来構成のような焦点調整機構や、高感度のエリアセンサや、結像面の大きな撮像素子とレンズといった非常に高価な構成を必要とすることはなく、液晶表示パネルの上面及び側面の双方の面の良好な画像を一度に得ることができる。
【０１０９】
尚、本実施形態では、ＦＰＤモジュールとして液晶表示パネルを挙げて説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、ＥＬ（エレクトロルミネセンス）表示体や、ＦＥＤ（電解放出ディスプレイ）やＰＦＰ（プラズマディスプレイパネル）等であっても適用できる。
【０１１０】
また、本実施形態では、上記載置台が、上面２０ａが水平になるように液晶表示パネル２０を載置できる構成となっている。しかしながら、本発明はこれに限定されるものではなく、上面２０ａが水平面に対して所定の角度を有して傾斜するように液晶表示パネル２０を載置する構成であってもよく、また、上面２０ａが水平面に対して垂直になるように載置できる構成であってもよい。
【０１１１】
また、本実施形態では、第１群ミラー部４が、主走査方向の上流から下流まで移動した時点で撮像を終了しているが、本発明はこれに限定されるものではなく、例えば、主走査方向の下流まで移動した後に、また下流から上流へ移動するように構成していても良い。また、主走査方向の下流から撮像を開始し、上流まで移動した時点で撮像を完了させる構成であってもよい。
【０１１２】
また、本実施形態では、上面２０ａとともに側面Ａ〜Ｄの全ての側面を撮像する構成について説明しているが、本発明はこれに限定されるものではなく、第１群ミラー部４が主走査方向の上流から下流まで移動する間に上面２０ａとともに側面Ａ・Ｄの２つの側面を撮像する構成であってもよい。この場合は、第３群ミラー部６ａ・６ｂは不要となり、側面Ｂ・Ｃの撮像は、上面２０ａ及び側面Ａ・Ｄの撮像が終わった後に、液晶表示パネルを載置台上で回転させ、側面Ａ・Ｄを撮像した方法で側面Ｂ・Ｃを撮像すればよい。
【０１１３】
更に、本実施形態では四角形の液晶表示パネル（上面）を対象とする場合について説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、互いに平行な２つの辺（本実施形態の場合は辺Ａ及び辺Ｄ）を有する形状の多角形であれば適用することができる。例えば、正六角形の上面を有するものであっても適用することができる。この場合は、上記と同じように第３群ミラー部６ａ・６ｂは不要である。
【０１１４】
また、本発明の検査装置は、ＦＰＤモジュールの外観を検査する用途以外にも、例えば液晶パネルの点灯検査を行うための検査装置としても適用することができる。液晶パネルのようなＦＰＤモジュールには、一般的に、多数の画素電極や走査線や信号線が配されているが、製造過程でこれらが断線したり短絡したりする場合があるので、その有無を検査するために、本実施形形態で説明した構成部材に加えて、液晶表示パネルを点灯させるための電源回路や制御回路、並びにバックライトを配設することによって、液晶表示パネルの外観の検査と同時に、液晶表示パネルの点灯検査を行うことが可能となる。
【０１１５】
また本発明の構成は、フラットパネルディスプレイモジュール以外にも、上面（主面）及び側面を有する物体（被検査対象物）であれば撮像対象とすることができる。すなわち、本発明の構成は、上面及び側面を有する物体を検査するための検査装置用撮像装置としても適用することができる。このような物体としては、外面に印刷が施された箱や、ノートパソコンなどを挙げることができる。
【０１１６】
また、本発明に係るＦＰＤモジュール用検査装置は、以下の構成を特徴としていると換言することができる。
すなわち、ＦＰＤモジュール用検査装置は、ＦＰＤモジュールの表面と平行な平面上を副走査方向に一定速度ｖで移動する第１群ミラー部と、第１群ミラー部に対しＶ／２の速度で移動する第２群ミラー部と、ＦＰＤモジュールの表面からの光を第１群ミラー部、第２群ミラー部を経由し集光する結像レンズによって主走査方向に伸びたラインセンサに導光し、ＦＰＤモジュールの表面全体を撮像するＦＰＤモジュール用検査装置において、ＦＰＤモジュールの主走査方向の側面を撮像するための第３群ミラー部と、ＦＰＤモジュールの側面からの光を第３群ミラー部、第１群ミラー部、第２群ミラー部、結像レンズを解しラインセンサに導光する際に、前記表面からの光を導光する光路長と、ＦＰＤモジュールの側面からの光を導光する光路長が等しくなるように、第１群ミラー部の一部を副走査方向へ移動させたことを特徴としていると換言することができる。また、上記の構成において、第３群ミラー部が被撮像物側面全体を反射するよう構成されていることが好ましい。
【０１１７】
〔実施の形態２〕
本発明にかかる他の実施の形態について、図１７に基づいて説明すれば以下の通りである。尚、本実施の形態では、上記実施の形態１との相違点について説明するため、説明の便宜上、実施の形態１で説明した部材と同一の機能を有する部材には同一の部材番号を付し、その説明を省略する。
【０１１８】
図１７は、本実施形態の液晶表示パネル用検査装置１０ｂの構成を示す斜視図である。
【０１１９】
上記実施の形態１における液晶表示パネル用検査装置１０ａでは、第３群ミラー部６ａは、図１〜図３に示したように、側面Ｂから所定の間隔をあけた位置に配設されており、辺Ｂに沿って辺Ｂよりも僅かに長い細長形状の反射面を有している。また、第３群ミラー部６ｂは、側面Ｃから所定の間隔をあけた位置に配設されており、辺Ｃに沿って辺Ｂよりも僅かに長い細長形状の反射面を有している。これに対して、本実施形態の液晶表示パネル用検査装置１０ｂに設けられた第３群ミラー部６ａ’・６ｂ’は、図１７に示すように、その長さが何れも辺Ｂ及び辺Ｃよりも短い矩形の反射面を有している。
【０１２０】
そして、本実施形態の液晶表示パネル用検査装置１０ｂでは、上記第３群ミラー部６ａ’・６ｂ’が、上記実施の形態１で説明した第１群ミラー部４と一体となっており、第１群ミラー部４が主走査方向の上流から下流へ移動するのに伴って、主走査方向の上流から下流へ移動するように構成されている。
【０１２１】
すなわち、上記第３群ミラー部６ａ’は、第１群ミラー部４の移動に伴って、側面Ｂにおける側面Ａと隣接している端部から、側面Ｂにおける側面Ｄと隣接している端部まで移動し、図１７に示すように、反射光Ｓを第１群ミラー部４のミラーａに向けて反射させる。また、上記第３群ミラー部６ｂ’は、第１群ミラー部４の移動に伴って、側面Ｃにおける側面Ａと隣接している端部から、側面Ｃにおける側面Ｄと隣接している端部まで移動し、図１７に示すように、反射光Ｓを第１群ミラー部４のミラーｃに向けて反射させる。
【０１２２】
以上のように構成した液晶表示パネル用検査装置１０ｂを用いて、液晶表示パネル２０を撮像した場合であっても、上記実施の形態１における液晶表示パネル用検査装置１０ａと同様に、図１５に示した画像を得ることができる。
【０１２３】
このように、本実施形態の構成によれば、上記実施の形態１の場合と比較して、第３群ミラー部の大きさを小さくすることができる。
【０１２４】
尚、本発明は上述した各実施の形態に限定されるものではなく、請求項に示した範囲で種々の変更が可能であり、異なる実施形態にそれぞれ開示された技術的手段を適宜組み合わせて得られる実施形態についても本発明の技術的範囲に含まれる。
【産業上の利用可能性】
【０１２５】
本発明のＦＰＤモジュール用検査装置（検査装置用撮像装置）は、装置を大型化せずに、ＦＰＤモジュール上面及び側面の双方から、良好な画像を得ることができる。
【０１２６】
従って、液晶表示パネルや、ＥＬ（エレクトロルミネセンス）表示体といったＦＰＤモジュールを検査するための検査装置として適用できる他、外面に印刷が施された箱の該印刷を検査するための検査装置や、ノートパソコンの外観検査装置として適用することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【０１２７】
【図１】本発明の第１の実施形態に係る液晶表示パネル用検査装置の構成を示す斜視図である。
【図２】本発明の第１の実施形態に係る液晶表示パネル用検査装置の構成を示す斜視図であり、図１に示したものとは第１群ミラー部及び第２群ミラー部の位置が異なっている状態を示している。
【図３】本発明の第１の実施形態に係る液晶表示パネル用検査装置の構成を示す斜視図であり、図１及び図２に示したものとは第１群ミラー部及び第２群ミラー部の位置が異なっている状態を示している。
【図４】図１に示した液晶表示パネル用検査装置に設けられた第１群ミラー部の具体的な構成を示した側面図である。
【図５】図１に示した液晶表示パネル用検査装置に設けられた第３群ミラー部の配設位置について示した側面図である。
【図６】（ａ）・（ｂ）ともに、図１に示した液晶表示パネル用検査装置の撮像範囲を説明した図である。
【図７】図１に示した液晶表示パネル用検査装置に設けられた第４群ミラー部の配設位置について示した側面図である。
【図８】本発明の第１の実施形態に係る液晶表示パネル用検査装置を用いて液晶表示パネルを撮像する過程を示した側面図である。
【図９】本発明の第１の実施形態に係る液晶表示パネル用検査装置を用いて液晶表示パネルを撮像する過程を示した側面図である。
【図１０】本発明の第１の実施形態に係る液晶表示パネル用検査装置を用いて液晶表示パネルを撮像する過程を示した側面図である。
【図１１】本発明の第１の実施形態に係る液晶表示パネル用検査装置を用いて液晶表示パネルを撮像する過程を示した側面図である。
【図１２】本発明の第１の実施形態に係る液晶表示パネル用検査装置を用いて液晶表示パネルを撮像する過程を示した側面図である。
【図１３】本発明の第１の実施形態に係る液晶表示パネル用検査装置を用いて液晶表示パネルを撮像する過程を示した側面図である。
【図１４】本発明の第１の実施形態に係る液晶表示パネル用検査装置で撮像される液晶表示パネルを示した斜視図である。
【図１５】本発明の第１の実施形態に係る液晶表示パネル用検査装置で撮像された図１４の液晶表示パネルの画像を示した図である。
【図１６】本発明の第１の実施形態に係る液晶表示パネル用検査装置に設けられた第１群ミラー部及び第２群ミラー部の位置と速度との関係をダイアグラムにまとめた図である。
【図１７】本発明の第１の実施形態に係る液晶表示パネル用検査装置の構成を示した斜視図である。
【図１８】従来技術の構成を示した図である。
【図１９】従来技術の構成を示した図である。
【図２０】従来技術の構成を示した図である。
【図２１】従来技術の構成を示した図である。
【図２２】従来技術の構成を示した図である。
【符号の説明】
【０１２８】
１ 照明装置（光源）
１ａ〜１ｃ 照明部（光源）
２ ラインセンサ（撮像手段）
３ レンズ（撮像手段）
４ 第１群ミラー部（導光手段、第１導光部）
４ａ，４ｃ ミラー（側面用第１導光部）
４ｂ ミラー（両用第１導光部）
５ａ・５ｂ 第２群ミラー部（導光手段、第２導光部）
６ａ・６ｂ・６ａ’・６ｂ’ 第３群ミラー部（第２反射手段）
７ａ・７ｂ 第４群ミラー部（反射手段）
１０ａ・１０ｂ 液晶表示パネル用検査装置（フラットパネルディスプレイモジュール用検査装置、検査装置用撮像装置）
２０ 液晶表示パネル（フラットパネルディスプレイモジュール、被検査対象物）
２０ａ 上面（画像表示面、主面）
【技術分野】
【０００１】
本発明は、フラットパネルディスプレイモジュールの表面及び側面を撮像し、得られた画像を用いてフラットパネルディスプレイモジュールの外観検査を行うためのフラットパネルディスプレイモジュール用検査装置、及び検査装置用撮像装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶表示パネルのようなフラットパネルディスプレイモジュール（以下、ＦＰＤモジュールと記載する）には、表示品位不良としてムラ、黒点、白点などが生じる場合がある。これらの不良要素は、腕時計などに使用されている小型の表示パネルにおいてはさほど問題にはならないものの、大型の表示パネルにおいては拡大されて目につき易いため、その商品価値を著しく低下させることになる。
【０００３】
ひと昔前までは、このような表示品位不良のチェックは検査員の目視によって行われていた。しかしながら、目視検査では検査員の身体的負担が大きく、また官能検査であるため定量的な判断が難しいといった問題があった。さらに、ＦＰＤの大型化に伴い、検査員の身体的負担がさらに増大することが懸念されていた。そこで、このような問題を解決し、且つ低コスト化も実現するべく、光学系装置を備えたＦＰＤモジュール用検査装置の開発が求められていた。
【０００４】
特許文献１は、表示パネルの表面を測定するための検査装置について開示している。この検査装置１００は、図１８に示すように、検査対象の液晶表示パネル１０１の下方に配置された光源装置１０５と、この光源装置１０５と液晶表示パネル１０１との間に配置された光拡散板１０６と、液晶表示パネル１０１の上方に配置された凹面鏡１０３と、凹面鏡１０３からの反射光Ｌ２の光路上に配置されたＣＣＤカメラ１０２と、このＣＣＤカメラ１０２の前方に、光軸中心にスリットを有し、凹面鏡１０３の焦点位置に配置されたスリット板１０４とを有している。また、検査装置１００には、上記ＣＣＤカメラ１０２に接続された信号処理回路１１１及び演算処理回路１１２が設けられている。このような検査装置１００において、光源装置１０５から発せられた照明光Ｌ１は、光拡散板１０６によって照度が均一にされた状態で液晶表示パネル１０１を透過し、続いて凹面鏡１０３で反射して光路を９０゜曲げられて水平方向に光路をとる。そして、反射光Ｌ２の内、平行光線のみが光軸中心のスリットを通過し、平行光線以外の光はこのスリット板１０４によって遮光される。従って、ＣＣＤカメラ１０２には平行光線だけが導かれる。このような構成によれば、図１８に示すように凹面鏡１０３を挟んでＣＣＤカメラ１０２と反対側の位置に液晶表示パネル１０１の虚像が結ばれ、この虚像が縮小されてＣＣＤカメラ１０２に撮像されることになる。そして、ＣＣＤカメラ１０２からの出力が信号処理回路１１１に入力され、ここで所定の信号処理が行われ演算処理回路１１２に入力される。演算処理回路１１２には、液晶表示パネルの表示品位が良品である場合のデータが予め入力されているため、このデータと信号処理回路１１１より与えられる液晶表示パネル１０１の画像のデータとを比較し、液晶表示パネル１０１にムラ、黒点、白点等の表示品位不良が存在するか否かを判定し、液晶表示パネル１０１の表示品位の良否が判定される。
【０００５】
また、液晶表示パネルの側面を検査する方法としては、液晶表示パネルへの偏光板の貼付け精度を自動的に検査するための精度検査方法が特許文献２に開示されている。この方法では、図１９に示すように、偏光板２０３を液晶パネル２０１に貼付けた後、液晶パネル２０１の側面の端部及びその付近をＣＣＤカメラ２２８、２２９により撮影する。そして、撮影された画像中の液晶パネル２０１端部から偏光板２０３端部までの距離を画像処理により測定し、距離が規定範囲内にあれば液晶表示パネルへの偏光板の貼付け精度が良い、すなわち良品と判定する。
【０００６】
また、特許文献３には、断線欠陥や短絡欠陥を検査するための検査装置であって、反射鏡を移動させることによって光源からの光の照射位置を順次変えて、液晶基板の全面にわたる検査を連続的に行う検査装置が開示されている。以下に、図２０及び図２１を用いて、この検査装置の構成について説明する。
【０００７】
図２０及び図２１は、上記の検査装置の構成を説明するための図である。この検査装置では、図２０に示すように、透明ケースの内部に液晶が封入されてなる液晶シート３１０ａの底面に光反射体３１０ｂを設け、液晶シート３１０ａの上面に薄膜透明電極３１０ｃを形成してなる電気光学素子３１０を用いている。具体的には、上記の検査装置においては、電源３１１により液晶基板３０１と電気光学素子３１０との間に通電すると、液晶基板３０１における欠陥の有無や状況に応じて各画素電極３０５が発生させる電場が変化し、それに伴って電気光学素子３１０の光学的性質が種々に変化することになる。従って、電気光学素子３１０に対して光源３１２から照射された光の反射光を受光器３１３で受光し、その反射光の状態をモニタ３１４により観察し、更に、その画像データを画像処理の手法を用いて解析することによって、電気光学素子３１０の光学的性質の変化を検知することができ、それに基づいて液晶基板３０１の欠陥の有無を検査することができる。
【０００８】
そして、上記の検査装置には、図２１に示すように、電気光学素子３１０の背面側において電気光学素子３１０に対して平行に設けられた一対のガイド部材３２５が設けられているとともに、電気光学素子３１０に対して平行状態を保持しつつガイド部材３２５に沿って移動自在とされた第１のスライダ３２６と、第１のスライダ３２６に取り付けられて第１のスライダ３２６の移動方向と直交する方向に移動自在された第２のスライダ３２７とが設けられている。また、第１のスライダ３２６上には、第１の反射鏡３３０が設けられており、第２のスライダ３２７上には第２の反射鏡３３１が設けられている。加えて、上記の検査装置には、図２１に示すように、第１・第２の反射鏡３３０・３３１の位置を検知して電気光学素子３１０への光の照射位置を検知し、それに基づいて受光器３１３から照射位置までの距離を検知するための位置検査装置３４０と、第１・第２のスライダ３２６・３２７がそれぞれ移動して光の照射位置が刻々と変化しても、受光器３１３の焦点を合致させるための焦点調節装置３２１とが設けられている。尚、焦点調節装置３２１は、レンズ３２０を駆動させて焦点を調節する構成となっている。
【０００９】
このような構成を備えた検査装置は、第１・第２のスライダ３２６・３２７を同期させて移動させることによって、第１・第２の反射鏡３３０・３３１を電気光学素子３１０の背面に沿って移動させて光源３１２からの光の照射位置を順次変えて、液晶基板３０１の全面にわたる検査を連続的に行うことができる。
【００１０】
しかしながら、特許文献１ないし３の構成は何れも、液晶表示パネルの表面及び側面の何れか一方のみを検査するものであり、表面及び側面の双方を一度に検査することができないという欠点がある。さらに、特許文献３の場合は、液晶基板３０１の全面にわたる検査を連続的に行うことができる反面、焦点調節装置３２１を備える必要があるため、検査装置が大型化するという問題もある。
【００１１】
パネルの表面及び側面の外観を検査することができる構成としては、特許文献４に開示された外観検査装置がある。図２２に示す上記外観検査装置５００は、トレー受け５１６と、処理ステージ５１８と、検査ステージ５２０とを有している。検査ステージ５２０に載せられたパネル５１２に光を指向させるべく、検査ステージ５２０の上方には光学系５８０が設けられており、光学系５８０からの光をパネル５１２の側面に指向させると共にパネル５１２の側面で反射した光を上方に反射させる２組の反射体５８２と、光学系５８０からの光をパネル５１２の上面に指向させると共に上面で反射した光を上方に反射させる２組の斜光発生器５８４と、パネル５１２の上面で反射した光、及び側面で反射した光を受けてパネル５１２の上面及び側面を撮影すべく検査ステージ５２０の上方に配置されたテレビカメラ５８６とを備えている。この外観検査装置５００によれば、パネルの表面及び側面を検査することができる。このような外観検査装置としては、他にも特許文献５に開示されたものもある。
【特許文献１】特開平６−２０２０６０号公報（１９９４年７月２２日公開）
【特許文献２】特開２００４−２３３１８４号公報（２００４年８月１９日公開）
【特許文献３】特許第３２７３９７１号（２００２年２月１日登録）
【特許文献４】特開２００５−３４８８号公報（２００５年１月６日公開）
【特許文献５】特開２００６−６４３８７号公報（２００６年３月９日公開）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１２】
しかしながら、特許文献４及び５に開示された構成の外観検査装置の場合、パネル３１２の上面からテレビカメラ３８６までの撮像距離と、パネル３１２の側面からテレビカメラ３８６までの撮像距離とが互いに異なっているため、パネルの上面、及びパネルの側面の両方にピントの合った良好な画像を取得することは困難である。
【００１３】
仮に、それを実現するためには２つの方法が考えられる。１つは、レンズの有効絞りを小さくして、被写界深度を深くとることで、パネルの上面、及びパネルの側面の両方にピントをあわせ、有効絞りを小さくしたことに対応可能な高感度のエリアセンサ（カメラ）を使用する方法である。もう１つは、結像面の大きな撮像素子とレンズを用いて、焦点が合っているとする最小錯乱円を大きくすることで、パネルの上面、及びパネルの側面の両方にピントを合わせる方法である。しかしながら、何れの方法も、高感度のエリアセンサや、結像面の大きな撮像素子とレンズといった非常に高価な構成を必要とするため、現実的な解決策とは言い難い。
【００１４】
そこで、本発明は、上記の問題点に鑑みてなされたものであり、その目的は、装置を大型化することなく、ＦＰＤモジュールの画像表示領域の面（画像表示面）及び側面の双方から良好な画像を取得することによって外観を検査することができるＦＰＤモジュール用検査装置、及び検査装置用撮像装置を提供するものである。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
本発明に係るＦＰＤモジュール用検査装置は、上述した課題を解決するために、ＦＰＤモジュールの、配線及び電極が配されている画像表示面と、該画像表示面と接する側面のうちの少なくとも１つの側面とに光を照らす光源と、位置固定されており、上記画像表示面及び側面で反射した上記光の反射光を受光することによって、該画像表示面及び側面を撮像する撮像手段とを備えた、上記ＦＰＤモジュールの外観を検査するためのＦＰＤモジュール用検査装置であって、上記側面から所定の間隔をあけて配され、該側面で反射した反射光を反射させることによって、該反射光の進行方向を上記画像表示面で反射した反射光の進行方向と平行にする反射手段と、上記反射手段で反射した反射光ａ、及び上記画像表示面で反射した反射光ｂを上記撮像手段に導く導光手段と、上記撮像手段に反射光ａと反射光ｂとが順次受光されるように、上記導光手段及び上記光源を移動させる駆動手段とを備えており、上記導光手段には、反射光ａ及び反射光ｂを入射させるとともに、入射した反射光ａ及び反射光ｂを第２導光部へと導く第１導光部と、該第１導光部からの反射光ａ及び反射光ｂを上記撮像手段に導く第２導光部とが設けられており、上記光源と、上記第１導光部と、上記第２導光部とは、上記画像表示面に対して平行で、且つ直線である同じ移動軸上を移動できるように構成されており、上記駆動手段は、上記第１導光部及び上記光源と、上記第２導光部とを互いに異なる速度で上記移動軸上を移動させるように構成されており、上記撮像手段は、移動中の上記第２導光部から導かれる光を連続的に受光するように構成されていることを特徴としている。
【００１６】
ＦＰＤモジュールは、その製造工程中に、例えば電気的接続が不良となったり、構成部材同士の位置ズレや構成部材にクラックが起こることなどの欠陥が生じる場合がある。このため、良好なＦＰＤモジュールを提供するためには、製造中のある段階で、上記した欠陥を検出する必要がある。そこで従来では、上記した従来構成の装置を用いて、このようなＦＰＤモジュールの外観を検査し、上記欠陥を検出する作業が行われていたが、上述したような問題があった。これに対して、本発明に係るＦＰＤモジュール用検査装置は、上記したように、ＦＰＤモジュールの画像表示面及び側面の各面で反射した光を入射させて第２導光部に向けて出射する第１導光部と、第１導光部から出射した光を入射させて撮像手段に向けて出射させる第２導光部とを有した導光手段が、各面で反射した光が撮像手段に届くまでの光路上に設けられており、且つ、第１導光部と第２導光部とが互いに異なる速度で上記移動軸上を画像表示面に沿って移動するように構成されている。このように構成することによって、側面（または画像表示面）からの反射光が撮像手段に届くまでの光路長を、画像表示面（または側面）からの反射光が撮像手段に届くまでの光路長と等しくすることができる。そのため、焦点調整機構や、高感度のエリアセンサや、結像面の大きな撮像素子とレンズといった非常に高価な構成を必要とすることはない。すなわち、上記の構成とすれば、第１導光部が、移動しながら、ＦＰＤモジュールの側面及び画像表示面から、または画像表示面と側面からの反射光を順次して受光することにより、装置を大型化せずに、ＦＰＤモジュールの画像表示面及び側面の双方の面の良好な画像を一度に得ることができる。
【００１７】
具体的には、上記駆動手段は、上記第１導光部を上記移動軸上を一方向に一定速度Ｖで移動させている間に、上記第２導光部を、上記移動軸上を双方向に移動させ、且つその速度を可変させるように構成されている。換言すれば、上記第１導光部が、上記駆動手段によって、上記移動軸に沿って一定速度Ｖで該軸の一方の端部から他方の端部に至るまで移動するように構成されており、上記第２導光部は、第１導光部が該軸の一方の端部から他方の端部に至るまで移動する間に、上記駆動手段によって、上記移動軸に沿って双方向に移動するとともに、移動中にその速度を可変できるように構成されている。この構成によれば、第１導光部が側面からの反射光を直接受けているのか、それとも画像表示面からの反射光を直接受けているのかによって、第２導光部の移動速度を制御して、第２導光部と第１導光部との相対位置を変化させ、画像表示面及び側面から撮像手段に届くまでの反射光の光路長を等しくなるように調整することができる。
【００１８】
このように第１導光部と第２導光部との相対位置を変化させることによって、画像表示面及び側面から撮像手段に届くまでの反射光の光路長を等しくすることができることから、別途、焦点調整機構を備える必要はない。
【００１９】
加えて、上記のように構成すれば、撮像手段を位置移動させずに固定して配設することができるとともに、従来公知のレンズ及び受光部を使用して実現することができる。そのため、高感度のエリアセンサや、結像面の大きな撮像素子とレンズといった非常に高価な構成を必要とすることもない。
【００２０】
また、本発明に係るＦＰＤモジュール用検査装置によれば、ＦＰＤモジュールの２倍の面積を装置内に確保する必要がある、ＦＰＤモジュールを移動させて側面及び画像表示面の撮像を連続して行う構成と比較して、ＦＰＤモジュールを移動させる必要はなく、導光手段及び光源のみを移動すればよいため、装置をコンパクトに実現することができる。
【００２１】
また、ＦＰＤモジュールを移動させる必要がある構成の場合、重量のあるＦＰＤモジュールを加減速させなければならない。そのため、ＦＰＤモジュールを載置するための、強度とトルクの大きなステージを用いなければならない。これに対して、本発明の構成の場合、導光手段及び光源のみを移動させる構成であるため、比較的強度とトルクの小さなステージを用いることができる。
【００２２】
すなわち、本発明の構成によれば、装置を大型化せずに、ＦＰＤモジュールの画像表示面及び側面の双方から、良好な画像を得ることができるＦＰＤモジュール用検査装置を提供することができる。
【００２３】
より具体的には、本発明に係るＦＰＤモジュール用検査装置は、 上記画像表示面が、互いに平行な少なくとも１組の辺を有する多角形である、フラットパネルディスプレイモジュールを撮像するように構成されており、上記１組の辺のうちの一方の辺Ａから他方の辺Ｄに向かう方向を主走査方向とすると、上記移動軸は主走査方向に対して平行であり、上記反射手段は、上記辺Ａを有する側面Ａ、及び上記辺Ｄを有する側面Ｄの各々に、それぞれ上記所定の距離をあけて配設されており、上記第２導光部は、上記第１導光部から上記第２導光部に導かれる上記反射光ａ及び反射光ｂの光軸が主走査方向に対して平行となるように、上記第１導光部よりも主走査方向の下流に配設されており、上記第２導光部から上記撮像手段に導かれる上記反射光ａ及び反射光ｂは、上記光軸と平行な光軸を有し、且つ上記第１導光部から上記第２導光部に導かれる上記反射光ａ及び反射光ｂの進行方向とは逆方向に進行するように構成されている。
【００２４】
また、本発明に係るＦＰＤモジュール用検査装置は、上記側面Ａは、上記辺Ａに対向する辺Ａ’を有しており、上記側面Ｄは、上記辺Ｄに対向する辺Ｄ’を有しており、上記第１導光部は、上記側面Ａにおける上記辺Ａから上記辺Ａ’に向けて順次上記反射光ａを入射し、その後、上記画像表示面における辺Ａから辺Ｄに向けて順次上記反射光ｂを入射し、更にその後、上記側面Ｄにおける上記辺Ｄ’から上記辺Ｄに向けて順次上記反射光ａを入射するように構成されており、上記駆動手段が、（ｉ）上記第１導光部に反射光ａ及び反射光ｂが入射している間は、上記第２導光部を速度Ｖ／２で主走査方向の上流から下流に移動させ、（ｉｉ）上記第１導光部に上記辺Ａ’からの反射光ａが入射した直後から、上記第１導光部に上記画像表示面における辺Ａからの反射光ｂが入射する直前までの間は、上記第２導光部を、その移動速度がＶ／２よりも速い第１の所定速度で主走査方向の上流から下流に移動させ、（ｉｉｉ）上記第１導光部に上記画像表示面における辺Ｄからの反射光ｂが入射した直後から、上記第１導光部に上記辺Ｄ’からの反射光が入射する直前までの間は、上記第２導光部を第２の所定速度で主走査方向の下流から上流に移動させるように構成されている。
【００２５】
これにより、画像表示面及び側面から撮像手段に届くまでの反射光の光路長を等しくすることができる。
【００２６】
また、本発明に係るＦＰＤモジュール用検査装置は、上記多角形は四角形であり、上記１組の辺とは異なる１組の辺のうちの一方の辺Ｃに設けられた側面Ｃ、及び、他方の辺Ｂに設けられた側面Ｂの各々から所定の間隔をあけて配され、該側面Ｃ及び側面Ｂで反射した反射光ｃを反射させることによって、該反射光ｃの進行方向を上記画像表示面で反射した反射光の進行方向と平行にする、上記反射手段とは異なる第２反射手段を備えており、上記第１導光部は、上記反射光ａ及び反射光ｂを反射させる両用第１導光部と、上記両用第１導光部よりも主走査方向の下流に所定の間隔をあけて配設された、上記反射光ｃを反射させる側面用第１反射部とから構成されていることが好ましい。
【００２７】
上記の構成とすれば、四角形を有する画像表示面に設けられた４つの側面を、導光手段及び光源の一度の走査で撮像可能なＦＰＤモジュール用検査装置を提供することが可能となる。
【００２８】
また、本発明に係るＦＰＤモジュール用検査装置は、上記第２反射手段は、上記側面Ｃ及び側面Ｂで反射した反射光ｃの一部を入射させることができるように構成されており、上記駆動手段は、上記第２反射手段を、上記側面Ｃ及び側面Ｂにおける主走査方向の上流側の端部から下流側の端部まで、上記第１導光部とともに移動させるように構成されていることが好ましい。
【００２９】
上記の構成とすれば、第２反射手段の反射面が側面Ｃ及び側面Ｂの面積と同じまたはそれ以上であると比較して、第２反射手段を小型化することができる。
【００３０】
また、本発明に係るＦＰＤモジュール用検査装置は、上述した課題を解決するために、ＦＰＤモジュールの、配線及び電極が配されている四角形を有する画像表示面と、該画像表示面と接する４つの側面のうちの少なくとも１つの側面とに光を照射する光源と、位置固定されており、上記光が上記画像表示面及び側面で反射した反射光を受光することによって、該画像表示面及び側面を撮像する撮像手段と、上記画像表示面及び側面から上記撮像手段までの間の上記反射光の光路上に設けられた、入射した光を入射方向とは異なる方向に反射させる反射体とを備えている、上記モジュールの外観を検査するためのＦＰＤモジュール用検査装置であって、上記画像表示面の２組の対向辺のうち、一方の組の一方の辺Ａから他方の辺Ｄに向かう方向を主走査方向とすると、上記反射体は、上記辺Ａを有する側面Ａと、上記辺Ｄを有する側面Ｄとでそれぞれ反射した上記光源からの光の反射光を反射させる第４反射部と、上記第４反射部で反射した反射光、及び上記画像表示面で光源から出射した光が反射した反射光を上記画像表示面に沿って主走査方向に反射させる第１反射部と、上記第１反射部で反射した反射光を反射させて、該反射光の光軸と平行な光軸を有し、且つ該反射光の進行方向とは逆向きに進行する反射光を生成する第２反射部とを備えており、上記光源、第１反射部及び第２反射部は、上記画像表示面のの近傍に配設されており、光源及び第１反射部を、上記画像表示面に沿って主走査方向の上流から下流に速度Ｖで移動させるとともに、上記第１反射部の移動中に、上記第２反射部を、上記画像表示面に沿って主走査方向の上流から下流に、及び下流から上流に速度Ｖとは異なる速度で移動させる駆動手段を備えており、上記撮像手段は、主走査方向に移動中の上記第２反射部が生成する反射光を連続して受光するように構成されていることを特徴としている。
【００３１】
ＦＰＤモジュールは、その製造工程中に、例えば電気的接続が不良となったり、構成部材同士の位置ズレや構成部材にクラックが起こることなどの欠陥が生じる場合がある。このため、良好なＦＰＤモジュールを提供するためには、製造中のある段階で、上記した欠陥を検出する必要がある。そこで従来では、上記した従来構成の装置を用いて、このようなＦＰＤモジュールの外観を検査し、上記欠陥を検出する作業が行われていたが、上述したような問題があった。これに対して、本発明に係るＦＰＤモジュール用検査装置は、上記したように、画像表示面及び側面の各面で反射した光を直接入射させて第２導光部に向けて出射する第１導光部と、第１導光部から出射した光を撮像手段に向けて出射させる第２導光部とを有した導光手段が、各面で反射した光が撮像手段に届くまでの光路上に設けられており、且つ、第１導光部と第２導光部とが互いに異なる速度で画像表示面に沿って移動するように構成されている。このように構成することによって、側面からの反射光が撮像手段に届くまでの光路長を、画像表示面からの反射光が撮像手段に届くまでの光路長と等しくすることができる。そのため、焦点調整機構や、高感度のエリアセンサや、結像面の大きな撮像素子とレンズといった非常に高価な構成を必要とすることはない。すなわち、上記の構成とすれば、第１導光部が、側面に続いて画像表示面、または画像表示面に続いて側面から連続して反射光を受けることにより、装置を大型化せずに、ＦＰＤモジュールの画像表示面及び側面の双方の面の良好な画像を一度に得ることができる。
【００３２】
具体的には、このように構成することによって、第１導光部が側面からの反射光を直接受けているのか、それとも画像表示面からの反射光を直接受けているのかによって、第２導光部の移動速度を制御して、第２導光部と第１導光部との相対位置を変化させ、画像表示面及び側面から撮像手段に届くまでの反射光の光路長を等しくなるように調整することができる。
【００３３】
このように第１導光部と第２導光部との相対位置を変化させることによって、画像表示面及び側面から撮像手段に届くまでの反射光の光路長を等しくすることができることから、別途、焦点調整機構を備える必要はない。
【００３４】
加えて、上記のように構成すれば、撮像手段を位置移動させることなく固定して配設することができるとともに、従来公知のレンズ及び受光部を使用して実現することができる。そのため、高感度のエリアセンサや、結像面の大きな撮像素子とレンズといった非常に高価な構成を必要とすることもない。
【００３５】
また、上記のように、本発明に係るＦＰＤモジュール用検査装置によれば、導光手段及び光源のみを移動させる構成であり、ＦＰＤモジュールを移動させることない。ここで、ＦＰＤモジュールを移動させて側面及び画像表示面の撮像を連続して行う構成の場合、ＦＰＤモジュールの２倍の面積を装置内に確保する必要がある。しかしながら、本発明の構成の場合、ＦＰＤモジュールの面積が確保されていればよい。そのため、装置をコンパクトに実現することができる。
【００３６】
さらに、ＦＰＤモジュールを移動させる構成の場合、重量のあるＦＰＤモジュールを加減速させなければならないため、ＦＰＤモジュールを載知するための、強度とトルクの大きなステージを用いなければならない。これに対して、本発明の構成の場合、導光手段及び光源のみを移動させる構成であるため、比較的強度とトルクの小さなステージを用いることができる。
【００３７】
すなわち、上記の構成によれば、本発明に係るＦＰＤモジュール用検査装置は、装置を大型化せずに、ＦＰＤモジュールの画像表示面及び側面の双方から、良好な画像を得ることができる。
【００３８】
また、本発明に係る検査装置用撮像装置は、上述した課題を解決するために、被検査対象物の主面と、該主面と接する側面のうちの少なくとも１つの側面とに光を照らす光源と、位置固定されており、上記主面及び上記側面で反射した上記光の反射光を受光することによって、該主面及び側面を撮像する撮像手段とを備えた、上記被検査対象物の外観を検査するための検査装置用撮像装置であって、上記側面から所定の間隔をあけて配され、該側面で反射した反射光を反射させることによって、該反射光の進行方向を上記主面で反射した反射光の進行方向と平行にする反射手段と、上記反射手段で反射した反射光ａ、及び上記主面で反射した反射光ｂを上記撮像手段に導く導光手段と、上記撮像手段に反射光ａと反射光ｂとが順次受光されるように、上記導光手段及び上記光源を移動させる駆動手段とを備えており、上記導光手段には、反射光ａ及び反射光ｂを入射させるとともに、入射した反射光ａ及び反射光ｂを第２導光部へと導く第１導光部と、該第１導光部から導かれた反射光ａ及び反射光ｂを上記撮像手段に導く第２導光部とが設けられており、上記光源と、上記第１導光部と、上記第２導光部とは、上記主面に対して平行で、且つ直線である同じ移動軸上を移動できるように構成されており、上記駆動手段は、上記第１導光部及び上記光源と、上記第２導光部とを互いに異なる速度で上記移動軸上を移動させるように構成されており、上記撮像手段は、移動中の上記第２導光部から導かれる光を連続的に受光するように構成されていることを特徴としている。
【００３９】
上記の構成によれば、第１導光部と第２導光部とが互いに異なる速度で同一の移動軸上で移動させることができるため、第１導光部と第２導光との相対位置を変化させることができる。よって、主面及び側面から撮像手段に届くまでの反射光の光路長を等しくなるように調整することができる。
【００４０】
このように主面及び側面から撮像手段に届くまでの反射光の光路長を等しくすることができることから、第１導光部が、側面に続いて主面、または主面に続いて側面から連続して反射光を受けることにより、装置を大型化せずに、被検査対象物の主面及び側面の双方の面の良好な画像を一度に得ることができ、その際、別途、焦点調整機構を備える必要はない。
【００４１】
加えて、上記のように構成すれば、撮像手段を位置移動させることなく固定して配設することができるとともに、従来公知のレンズ及び受光部を使用して実現することができる。そのため、高感度のエリアセンサや、結像面の大きな撮像素子とレンズといった非常に高価な構成を必要とすることもない。
【００４２】
また、上記のように、本発明に係る検査装置用撮像装置によれば、導光手段及び光源のみを移動させる構成であり、被検査対象物を移動させることない。ここで、被検査対象物を移動させて側面及び主面の撮像を連続して行う構成の場合、被検査対象物の２倍の面積を装置内に確保する必要がある。しかしながら、本発明の構成の場合、被検査対象物の面積が確保されていればよい。そのため、装置をコンパクトに実現することができる。
【００４３】
さらに、被検査対象物を移動させる構成の場合、被検査対象物が重量のあるものの際、その被検査対象物を加減速させなければならないため、被検査対象物を載知するための、強度とトルクの大きなステージを用いなければならない。これに対して、本発明の構成の場合、導光手段及び光源のみを移動させる構成であるため、比較的強度とトルクの小さなステージを用いることができる。
【００４４】
すなわち、上記の構成によれば、本発明に係る検査装置用撮像装置は、装置を大型化せずに、被検査対象物の主面及び側面の双方から、良好な画像を得ることができる。
【発明の効果】
【００４５】
本発明に係るＦＰＤモジュール用検査装置は、以上のように、ＦＰＤモジュールの、配線及び電極が配されている画像表示面と、該画像表示面と接する側面のうちの少なくとも１つの側面とに光を照らす光源と、位置固定されており、上記画像表示面及び側面で反射した上記光の反射光を受光することによって、該画像表示面及び側面を撮像する撮像手段とを備えた、上記ＦＰＤモジュールの外観を検査するためのＦＰＤモジュール用検査装置であって、上記側面から所定の間隔をあけて配され、該側面で反射した反射光を反射させることによって、該反射光の進行方向を上記画像表示面で反射した反射光の進行方向と平行にする反射手段と、上記反射手段で反射した反射光ａ、及び上記画像表示面で反射した反射光ｂを上記撮像手段に導く導光手段と、上記撮像手段に反射光ａと反射光ｂとが順次受光されるように、上記導光手段及び上記光源を移動させる駆動手段とを備えており、上記導光手段には、反射光ａ及び反射光ｂを入射させるとともに、入射した反射光ａ及び反射光ｂを第２導光部へと導く第１導光部と、該第１導光部からの反射光ａ及び反射光ｂを上記撮像手段に導く第２導光部とが設けられており、上記光源と、上記第１導光部と、上記第２導光部とは、上記画像表示面に対して平行で、且つ直線である同じ移動軸上を移動できるように構成されており、上記駆動手段は、上記第１導光部及び上記光源と、上記第２導光部とを互いに異なる速度で上記移動軸上を移動させるように構成されており、上記撮像手段は、移動中の上記第２導光部から導かれる光を連続的に受光するように構成されていることを特徴としている。また、本発明に係るＦＰＤモジュール用検査装置は、以上のように、ＦＰＤモジュールの、配線及び電極が配されている四角形を有する画像表示面と、該画像表示面と接する４つの側面のうちの少なくとも１つの側面とに光を照射する光源と、位置固定されており、上記光が上記画像表示面及び側面で反射した反射光を受光することによって、該画像表示面及び側面を撮像する撮像手段と、上記画像表示面及び側面から上記撮像手段までの間の上記反射光の光路上に設けられた、入射した光を入射方向とは異なる方向に反射させる反射体とを備えている、上記モジュールの外観を検査するためのＦＰＤモジュール用検査装置であって、上記画像表示面の２組の対向辺のうち、一方の組の一方の辺Ａから、他方の辺Ｄに向かう方向を主走査方向とすると、上記反射体は、上記辺Ａを有する側面Ａと、辺Ｄを有する側面Ｄとでそれぞれ反射した上記光源からの光の反射光を反射させる第４反射部と、上記第４反射部で反射した反射光、及び上記画像表示面で光源から出射した光が反射した反射光を上記画像表示面に沿って主走査方向に反射させる第１反射部と、上記第１反射部で反射した反射光を反射させて、該反射光の光軸と平行な光軸を有し、且つ該反射光の進行方向とは逆向きに進行する反射光を生成する第２反射部とを備えており、光源、第１反射部及び第２反射部は、上記画像表示面の近傍に配設されており、光源及び第１反射部を、上記画像表示面に沿って主走査方向の上流から下流に速度Ｖで移動させるとともに、上記第１反射部の移動中に、上記第２反射部を、上記画像表示面に沿って主走査方向の上流から下流に、及び下流から上流に速度Ｖとは異なる速度で移動させる駆動手段を備えており、上記撮像手段は、主走査方向に移動中の上記第２反射部が生成する反射光を連続して受光するように構成されていることを特徴としていると換言することもできる。
【００４６】
以上の構成とすれば、装置を大型化せずに、ＦＰＤモジュールの画像表示面及び側面の双方から、良好な画像を得ることができるＦＰＤモジュール用検査装置を提供することができる。
【００４７】
また、本発明に係る検査装置用撮像装置は、以上のように、被検査対象物の主面と、該主面と接する側面のうちの少なくとも１つの側面とに光を照らす光源と、位置固定されており、上記主面及び上記側面で反射した上記光の反射光を受光することによって、該主面及び側面を撮像する撮像手段とを備えた、上記被検査対象物の外観を検査するための検査装置用撮像装置であって、上記側面から所定の間隔をあけて配され、該側面で反射した反射光を反射させることによって、該反射光の進行方向を上記主面で反射した反射光の進行方向と平行にする反射手段と、上記反射手段で反射した反射光ａ、及び上記主面で反射した反射光ｂを上記撮像手段に導く導光手段と、上記撮像手段に反射光ａと反射光ｂとが順次受光されるように、上記導光手段及び上記光源を移動させる駆動手段とを備えており、上記導光手段には、反射光ａ及び反射光ｂを入射させるとともに、入射した反射光ａ及び反射光ｂを第２導光部へと導く第１導光部と、該第１導光部から導かれた反射光ａ及び反射光ｂを上記撮像手段に導く第２導光部とが設けられており、上記光源と、上記第１導光部と、上記第２導光部とは、上記主面に対して平行で、且つ直線である同じ移動軸上を移動できるように構成されており、上記駆動手段は、上記第１導光部及び上記光源と、上記第２導光部とを互いに異なる速度で上記移動軸上を移動させるように構成されており、上記撮像手段は、移動中の上記第２導光部から導かれる光を連続的に受光するように構成されていることを特徴としている。
【００４８】
以上の構成とすれば、装置を大型化せずに、被検査対象物の主面及び側面の双方から、良好な画像を得ることができる検査装置用撮像装置を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００４９】
〔実施の形態１〕
本発明に係るＦＰＤモジュール用検査装置（検査装置用撮像装置）についての一実施形態を図１ないし図１６に基づいて説明する。尚、以下の説明では、本発明を実施するために技術的に好ましい種々の限定が付されているが、本発明の範囲が以下の実施形態および図面に限定されるものではない。
【００５０】
図１は、本実施形態における液晶表示パネル用検査装置の構成を示す斜視図である。本実施形態の液晶表示パネル用検査装置１０ａは、液晶表示パネルにおけるムラ、黒点、白点などのいわゆる表示品位不良の有無を検査するために、液晶表示パネルの外観を撮像することができるように構成されている。そのため、液晶表示パネル用検査装置１０ａは、図１に示すように、照明装置１（光源）と、ラインセンサ２及びレンズ３（撮像手段）と、第１群ミラー部４（導光手段、第１導光部）と、第２群ミラー部５ａ・５ｂ（導光手段、第２導光部）と、第３群ミラー部６ａ・６ｂ（第２反射手段）と、第４群ミラー部７ａ・７ｂ（反射手段）と、図示しない駆動手段とを備えている。
【００５１】
本実施形態の液晶表示パネル用検査装置１０ａは、検査対象（撮像対象）である液晶表示パネル２０（ＦＰＤモジュール）を図示しない載置台に載置できるように構成されており、その際、液晶表示パネル２０は、図示しない配線及び電極が配されている上面（画像表示面、主面）２０ａが、載置台の載置面に対向する面とは反対側の面になるように載置される。
【００５２】
ここで、本実施形態における液晶表示パネル用検査装置１０ａは、四角形の画像表示面を有する液晶表示パネル２０を対象とする形態となっている。そこで、以下の説明では、液晶表示パネル用検査装置１０ａを構成する各構成部材の位置関係などを、載置台に載置した四角形の上面２０ａの４辺（辺Ａ〜Ｄ）及び各該辺を有する４つの側面（側面Ａ〜Ｄ）を基準にして説明する。尚、辺Ａと辺Ｄとが互いに平行な１組の辺であり、辺Ｂと辺Ｄとが互いに平行な１組の辺である。そして、辺Ａから辺Ｄに向かう方向であって、且つ上面２０ａと平行な方向を、液晶表示パネル用検査装置１０ａの「主走査方向」と規定する。また、辺Ｃから辺Ｂに向かう方向であって、且つ上面２０ａと平行な方向を、液晶表示パネル用検査装置１０ａの「副走査方向」と規定する。各方向は、図１にも示している。
【００５３】
本実施形態では、上記載置台が、上面２０ａが水平になるように液晶表示パネル２０を載置できる構成となっている。そして、ラインセンサ２と、レンズ３と、照明装置１と、第１群ミラー部４と、第２群ミラー部５ａ・５ｂとは、上面２０ａの上方に配設されている。また、第４群ミラー部７ａは、図１に示すように、液晶表示パネル２０の側面Ａから所定の間隔をあけた位置に配設されており、第４群ミラー部７ｂは、側面Ｄから所定の間隔をあけた位置に配設されている。また、第３群ミラー部６ａは、側面Ｂから所定の間隔をあけて位置に配設されており、第３群ミラー部６ｂは、側面Ｃから所定の間隔をあけた位置に配設されている。
【００５４】
図２は、本実施形態の液晶表示パネル用検査装置１０ａの斜視図であって、図１のものとは異なる時点における状態を示している。また、図３も、本実施形態の液晶表示パネル用検査装置１０ａの斜視図であって、図１及び図２とは異なる時点における状態を示している。図１〜図３に示すように、本実施形態の液晶表示パネル用検査装置１０ａは、上面２０ａの上方にある照明装置１と、第１群ミラー部４と、第２群ミラー部５ａ・５ｂとが、図示しない駆動手段によって図１に示す状態から図２に示す状態に移動できるように構成されており、更に、図２に示す状態から図３に示す状態に移動することができるように構成されている。詳細は後述する。
【００５５】
以下に、上記した各構成部材について詳述する。
【００５６】
上記ラインセンサ２及びレンズ３は、図示しない固定手段によって位置固定されているおり、第２群ミラー部５ａ・５ｂで反射した反射光を受光している間に、その位置が移動することはない。ラインセンサ２は、上面２０ａ及び側面Ａ・Ｂ・Ｃ・Ｄで反射した後に第１群ミラー部４と第２群ミラー部５ａ・５ｂとによって反射して最後に上記レンズ３で集光された反射光を受光できるように構成されており、受光した光に基づいて、各面の画像信号を生成することができるように構成されている。
【００５７】
上記照明装置１は、第１群ミラー部４と一体となって、図１〜図３に示すように主走査方向に上流から下流に、すなわち、第４群ミラー部７ａの位置から第４群ミラー部７ｂの位置までを、移動することができるように構成されている。照明装置１は、従来公知のものを用いることができ、図示しない上記駆動手段によって、図示しないガイドレールに沿って上記のように移動することができる。上記のように移動する照明装置１は、側面Ａ、次に上面２０ａ及び側面Ｂ・Ｃ、そして次に、側面Ｄに対して光を順次照射することができる。
【００５８】
照明装置１には、光を出射するための開口部（不図示）が設けられており、この開口部は、上面２０ａの辺Ａに沿って細長い形状を有している。上記照明装置１は、具体的には、辺Ａに沿って並んだ３つの照明部１ａ〜１ｃから構成されており、この３つの照明部１ａ〜１ｃが一体となって既述のように移動する。
【００５９】
３つの照明部のうちの中央に位置する照明部１ｂは、既述のように移動することによって、側面Ａ、上面２０ａ、側面Ｄに向けて光を順に照射することができる。また、照明部１ｂの一端側にある照明部１ａは、側面Ｂに向けて光を照射することができ、照明部１ｂの他端側にある照明部１ｃは、側面Ｃに向けて光を照射することができる。本実施形態は、このように照明部を複数設け、各照明部から出射する出射光の角度及び強度（明度）を、照射対象の面と、出射口から各面までの距離に応じて変えている。これにより、何れの面からも均一な強度の反射光を得ることができる。
【００６０】
上記照明部１ａ〜１ｃは、各々独立して出射光の強度を調整することができる。例えば、照明部１ｂは、側面Ａ及び側面Ｄに照射する場合と、上面２０ａに照射する場合とで、出射光の強度を可変させることができる。具体的には、側面Ａ及び側面Ｄに照射する場合には、上面２０ａに照射する場合よりも光の強度を高くすることができる。
【００６１】
また、照明部１ｂが側面Ａまたは側面Ｄに照射する間は、照明部１ａ・１ｃを消灯させることも可能である。このように必要のない間だけ照明部１ａ・１ｃを消灯させることにより、液晶表示パネル用検査装置１０ａの消費電力量を抑制することができる。
【００６２】
ところで、照明装置１とともに移動しながら、上面２０ａで反射した反射光、及び各側面で反射した反射光を入射できるように構成されている第１群ミラー部４は、上面２０ａの上方にある。そのため、図２に示すように中央に位置する照明部１ｂが上面２０ａに対して光を照射できる位置にあって、照明部１ｂから出射した出射光が上面２０ａで反射するときには、その反射光（図２の反射光Ｃ）は、上面２０ａに対して略垂直方向の光軸を有しているので、上面２０ａの上方にある第１群ミラー部４にそのまま入射できる。一方、照明部１ｂが図１に示すように側面Ａに対して光を照射できる位置にあるとき、側面Ａで反射した反射光Ａは側面Ａに対して垂直または略垂直方向の光軸を有している。また同じく、照明部１ｂが図３に示すように側面Ｄに対して光を照射できる位置にあるとき、側面Ｄで反射した反射光Ａも側面Ｄに対して垂直または略垂直方向の光軸を有している。そこで、側面Ａ及び側面Ｄで反射した反射光Ａを、上面２０ａの上方にある第１群ミラー部４に入射させるために、液晶表示パネル用検査装置１０ａは、上記第４群ミラー部７ａ・７ｂを備えている。
【００６３】
上記第４群ミラー部７ａは、側面Ａから所定の間隔をあけた位置に配設されており、辺Ａに沿って細長い形状を有している。また、第４群ミラー部７ｂは、側面Ｄから所定の間隔をあけた位置に配設されており、辺Ｄに沿って細長い形状を有している。第４群ミラー部７ａ及び第４群ミラー部７ｂの具体的な配設位置については後述する。第４群ミラー部７ａに入射した側面Ａで反射した反射光Ａは、反射して上記反射光Ｃの光軸と平行な光軸を有する反射光Ｂとなって第１群ミラー部４に入射する。また、第４群ミラー部７ｂに入射した側面Ｄで反射した反射光Ａも、反射して上記反射光Ｃの光軸と平行な光軸を有する反射光Ｂとなって第１群ミラー部４に入射する。尚、ここで「平行」とは、反射光Ｃの光軸に対して完全に平行である状態のことを示す以外に、反射光Ｃと同様に上面２０ａの上方にある第１群ミラー部４に入射させることができる程度の光の光軸のことも示すこととする。
【００６４】
また、照明部１ｂが図２に示すように上面２０ａに対して光を照射できる位置にあるとき、照明部１ａは側面Ｂに対して光を照射できる位置にあり、且つ、照明部１ｃは側面Ｃに対して光を照射できる位置にある。このとき、側面Ｂ・Ｃで反射した反射光Ｓは、側面Ｂ・Ｃに対して略垂直方向の光軸を有する。そこで、第４群ミラー部７ａ・７ｂと同様に、側面Ｂ・Ｃに対して略垂直方向の光軸を、上面２０ａに対して略垂直方向の光軸を有する上記反射光Ｃの光軸と平行にするために、液晶表示パネル用検査装置１０ａは、上記第３群ミラー部６ａ・６ｂを備えている。尚、ここで「平行」とは、反射光Ｃの光軸に対して完全に平行である状態のことを示す以外に、反射光Ｃと同様に上面２０ａの上方にある第１群ミラー部４に入射させることができる程度の光の光軸のことも示すこととする。
【００６５】
上記第３群ミラー部６ａは、図２に示すように、側面Ｂから所定の間隔をあけた位置に配設されており、辺Ｂに沿って辺Ｂよりも僅かに長い細長形状の反射面を有している。また、上記第３群ミラー部６ｂは、側面Ｃから所定の間隔をあけた位置に配設されており、辺Ｃに沿って辺Ｂよりも僅かに長い細長形状の反射面を有している。第３群ミラー部６ａ・６ｂに入射した反射光Ｓは、反射され、上記反射光Ｃの光軸と平行な光軸を有する反射光Ｔとなり、反射光Ｃとともに第１群ミラー部４に入射する。
【００６６】
上記のような機能を果たす第３群ミラー部６ａ・６ｂ及び第４群ミラー部７ａ・７ｂとして、具体的には、図１〜図３に示すような、液晶表示パネルの側面と対向する面が反射面となっているミラー体を用いることができる。この反射面は、反射面における上記載置面と近接している側を中心として、側面に対して約４５°傾斜している。
【００６７】
ここで、上記第３群ミラー部６ａ・６ｂ及び上記第４群ミラー部７ａ・７ｂの配設位置について詳述する。
【００６８】
図５は、第３群ミラー部６ａ・６ｂの液晶表示パネル２０との相対位置について示したものであり、図１に示した液晶表示パネル用検査装置１０ａを、主走査方向の下流から上流に向けて見た状態を示している。尚、説明の便宜上、図５では、第３群ミラー部６ａ・６ｂと、液晶表示パネル２０との相対位置のみを示しているため、他の構成部材は省略している。
【００６９】
図５に示すように、第３群ミラー部６ａ・６ｂは共に、側面に最も近い反射面の端部ｊが、側面における上記載置面と近接した端部ｋから式（１）で示される距離ｕほど副走査方向に沿って離されており、且つ、側面の端部ｋから式（２）で示される距離ｖほど載置台の載置面よりも沈下している。
【００７０】
【数１】
【００７１】
【数２】
【００７２】
尚、このときｔａｎθは、下記の式（３）を満たすものとする。
【００７３】
【数３】
【００７４】
ここで、式（３）中のｗ，ｄ，ｔについて図６（ａ）・（ｂ）を用いて説明する。尚、図６（ｂ）は、図６（ａ）に示した構成の一部を拡大した図である。図６に示すように、ｗは、液晶表示パネル２０の上面２０ａの半幅を示し、ｄは、液晶表示パネル２０の面からレンズ３に至るまでの光路長、すなわち撮像距離を示し、ｈは、液晶表示パネル２０の高さ（つまり側面の短辺側の長さ）を示している。図６（ｂ）から、ｔは、ｕ＋ｖで示され、角度θを有する４つの三角形について（ｈ＋ｖ）：ｕ ＝ ｕ：ｖ ＝ （ｈ＋ｖ＋ｕ）：（ｖ＋ｕ） ＝ ｄ：（ｗ＋ｕ＋ｖ）という関係となり、そのうちの（ｈ＋ｖ＋ｕ）：（ｖ＋ｕ） ＝ ｄ：（ｗ＋ｕ＋ｖ）に、ｕ＋ｖ＝ｔを代入して、（ｈ＋ｔ）：ｔ ＝ ｄ：（ｗ＋ｔ）が導出され、ここから、図６（ａ）・（ｂ）のｔは、下記の式（４）で示される隙間の距離となる。
【００７５】
【数４】
【００７６】
このように第３群ミラー部６ａ・６ｂを配設することによって、液晶表示パネルの上面２０ａと側面Ｂ・Ｄとを隙間なく撮像することができ（図１５を参照）、よって、ラインセンサの素子の長さを最低限短くすることができる。
【００７７】
すなわち、ラインセンサ２及びレンズ３は、図６に示すように液晶表示パネル２０の上面２０ａの半幅ｗと、液晶表示パネル２０の高さ（つまり側面の短辺側の長さ）ｈと、上記式（４）で示した隙間ｔとを加えた幅の２倍の幅を撮像できるように構成されていればよく、この条件を満たすことができるものであれば、レンズ３及びラインセンサ２は共に、従来公知のものを用いることができる。
【００７８】
また、第４群ミラー部７ａ及び第４群ミラー部７ｂの具体的な配設位置について、図７に基づいて説明する。図７は、第４群ミラー部７ａ及び第４群ミラー部７ｂの配設位置を示した側面図であり、第４群ミラー部７ａ及び第４群ミラー部７ｂを、副走査方向の下流から上流に向けて見た状態の側面図である。尚、図７は、第４群ミラー部７ａ及び第４群ミラー部７ｂと、液晶表示パネル２０との相対位置のみを示しているため、他の構成部材は省略している。
【００７９】
第４群ミラー部７ａ及び第４群ミラー部７ｂは、図１〜図３に示すような液晶表示パネルの側面と対向する面が反射面となっているミラー体を用いることができる。この反射面は、反射面における上記載置面と近接している側を中心として、側面に対して約４５°傾斜している。そして、図７に示すように、第４群ミラー部７ａにおける側面Ａに最も近い端部は、側面Ａから距離ｐだけ離されている。そして、第４群ミラー部７ｂにおける側面Ｄに最も近い端部は、側面Ｄから距離ｑだけ離されている。距離ｐと距離ｑとは異なる距離を有しており、距離ｐはｔ＋ｈより長い距離を有している。尚、ｔ及びｈは上記の通りである。
【００８０】
第３群ミラー部６ａ・６ｂ及び第４群ミラー部７ａ・７ｂで反射された反射光Ｂ、及び上記反射光Ｃが入射する上記第１群ミラー部４は、図１に示すように、辺Ａに沿って並んだ３つのミラー４ａ〜４ｃから構成されており、この３つのミラー４ａ〜４ｃが一体となって既述のように移動するように構成されている。３つのミラー４ａ〜４ｃのうちの中央に位置するミラー４ｂ（両用第１導光部）は、辺Ａの長さと同じもしくは辺Ａの長さよりも長い細長形状の反射体であり、既述のように移動することによって、側面Ａと第４群ミラー部７ａとで反射した反射光Ｂ（図１）、上面２０ａで反射した反射光Ｃ（図２）、側面Ｄと第４群ミラー部７ｂとで反射した反射光Ｂ（図３）を順次入射させることができる。また、ミラー４ｂの一端側にあるミラー４ａ（側面用第１導光部）は、側面Ｂと第３群ミラー部６ａとで反射した反射光Ｔ（図２）を入射させることができる。また、ミラー４ｂの他端側にあるミラー４ｃ（側面用第１導光部）は、側面Ｃと第３群ミラー部６ｂとで反射した反射光Ｔ（図２）を入射させることができる。そして、第１群ミラー部４は、これらを反射させることによって、主走査方向を上流から下流に向けて進む反射光Ｄを生成するように構成されている。
【００８１】
第１群ミラー部４も、照明装置１と同じく図示しない上記駆動手段によって、図示しないガイドレールに沿って移動する構成となっている。尚、第１群ミラー部４と照明装置１とが図示しない接続部材によって互いに固定されている場合は、例えば、照明装置１に駆動手段を配設し、駆動手段によって照明装置１が移動するのに伴って、第１群ミラー部４が移動するように構成してもよい。また、その逆であってもよい。駆動手段の機能については後で詳述する。
【００８２】
図４は、第１群ミラー部４を、主走査方向の下流から上流に向けて見た状態を示している。尚、説明の便宜上、図４では、第１群ミラー部４のミラー４ａ及びミラー４ｃと、液晶表示パネル２０との相対位置のみを示しているため、他の構成部材は省略している。
【００８３】
上記ミラー４ａは、図４に示すように、第３群ミラー部６ａの真上の位置よりもミラー４ｂ側に寄った位置に配設されており、ミラー４ｃも、第３群ミラー部６ｂの真上の位置よりもミラー４ｂ側に寄った位置に配設されている。
【００８４】
また、ミラー４ａ・４ｃは、その反射面が、ミラー４ｂの反射面に比べて主走査方向下流にずれた位置にある（図８を参照）。このずれ量は、上面２０ａで反射した反射光がラインセンサ２に至るまでの距離（撮像距離）と、側面Ｂ・Ｃで反射した反射光がラインセンサ２に至るまでの距離（撮像距離）とが一致する条件を満たす量である。具体的には、図８に示すように、ミラー４ａ（ミラー４ｃ）と、ミラー４ｂとの間（図８のｅ−ｅ’間）の距離がｔ＋ｈを満たしている。尚、ｔ及びｈは上記の通りである。
【００８５】
第１群ミラー部４の各ミラーで反射して生成された反射光Ｄは、次に、第２群ミラー部５ａ・５ｂに入射する。
【００８６】
上記第２群ミラー部５ａ・５ｂは、図１〜３に示すように、第１群ミラー部４及び照明装置１よりも主走査方向下流に配置されており、第１群ミラー部４及び照明装置１と同じ移動軸上で、主走査方向を上流から下流へ、及び下流から上流へ移動することができるように構成されている。この移動は、第１群ミラー部４及び照明装置１と同じく、図示しない上記駆動手段によって、図示しないガイドレールに沿って行う。
【００８７】
第２群ミラー部５ａ・５ｂは、移動しながら、同じく移動する第１群ミラー部４によって生成される上記反射光Ｄを入射させ、これを反射させることによって、主走査方向を下流から上流に向けて進む反射光Ｅ（図１〜図３）を生成することができる。
【００８８】
具体的には、第２群ミラー部５ａ・５ｂは、図１〜３に示すように辺Ａに沿って細長い形状を有している。この第２群ミラー部５ａは、反射光Ｄを入射させ、これを反射させることによって、上面２０ａに対して垂直方向で、且つ上面２０ａの上方に向けて進む反射光Ｄ’を生成することができる。また、第２群ミラー部５ｂは、上記反射光Ｄ’を入射できるように、第２群ミラー部５ａの上方、すなわち上面２０ａに対して垂直で、且つ上面２０ａから更に離れた位置に配設されている。そして、第２群ミラー部５ｂは、入射した反射光Ｄ’を入射させ、これを反射させることによって、主走査方向を下流から上流に進む反射光Ｆを生成する。
【００８９】
尚、本実施形態では、第２群ミラー部５ａ及び第２群ミラー部５ｂという各々別体の２つの反射部材を設けている。しかしながら、本発明はこれに限定されるものではなく、内部に第２群ミラー部５ａ及び第２群ミラー部５ｂと同じ機能を有した面を備えた１つの部材から構成してもよい。１つの部材から構成すれば、互いの位置決めが不要であり、位置ズレが生じる虞もなくなる。また、本実施形態では、反射光Ｄから反射光Ｆが生成されるまでの間に、２つの反射部材を用いているが、反射部材同士の相対的な位置が変化しなければ２つに限定されるものではなく、３つ以上の反射部材を用いてもよい。
【００９０】
上記駆動手段は、第１群ミラー部４及び照明装置１を主走査方向の上流から下流に一定速度で移動させることができるとともに、第２群ミラー部５ａ・５ｂを、移動速度を可変させながら主走査方向の上流から下流に、及び下流から上流に移動させることができ、第１群ミラー部４と第２群ミラー部５ａ・５ｂとの相対位置、すなわち第１群ミラー部４と第２群ミラー部５ａ・５ｂとの間の距離を調整することができる。その調整は、撮像する間の第１群ミラー部４と第２群ミラー部５ａ・５ｂとの相対位置を駆動手段に予め設定しておき、その設定に応じて、駆動手段が第１群ミラー部４と第２群ミラー部５ａ・５ｂと移動させる構成とすればよい。また他にも、例えば、一定速度で移動する第１群ミラー部４の位置を駆動手段によって検出し、この位置に応じて、駆動手段が第２群ミラー部５ａ・５ｂの移動速度及び移動方向を調整する構成であってもよい。
【００９１】
尚、本実施形態では、第１群ミラー部４（及び照明装置１）と、第２群ミラー部５ａ・５ｂとを１つの駆動手段によって駆動しているが、本発明はこれに限定されるものではなく、第１群ミラー部４と第２群ミラー部５ａ・５ｂとをそれぞれ別の駆動手段によって駆動してもよい。
【００９２】
第２群ミラー部５ｂから反射した反射光Ｆは、既述したレンズ３によって集光され、ラインセンサ２で受光される。
【００９３】
ラインセンサ２は、レンズ３によって集光された光を受けて、電気信号を生成することができるものであれば既述したように従来公知のものを用いて構成することができる。また、例えば、該電気信号に基づいて形成された各面の画像を表示できる表示装置がラインセンサ２に接続されていてもよい。
【００９４】
また、ラインセンサ２もしくはラインセンサ２に配設された他の装置に、予め液晶表示パネルの表示品位不良の有無を判別するためのデータを設定しておき、上記電気信号に基づいて、検査中の液晶表示パネルの表示品位不良の有無を判定させるように構成することも可能である。
【００９５】
以下に、上記の構成を備えた液晶表示パネル用検査装置１０ａを用いた撮像方法を説明する。
【００９６】
図８〜図１３は、液晶表示パネル２０の上面及び４つの側面Ａ〜Ｄを液晶表示パネル用検査装置１０ａを用いて撮像する間の、第１群ミラー部４と第２群ミラー部５ａ・５ｂとの相対位置を各工程に沿って示した液晶表示パネル用検査装置１０ａの側面図である。尚、図８〜図１３は何れも、図１〜図３に示した液晶表示パネル用検査装置１０ａを、副走査方向の下流から上流に向けて見た状態を示している。
【００９７】
図８は、撮像を開始した時点の状態を示している。撮像が開始された時点では、照明装置１及び第１群ミラー部４は、第４群ミラー部７ａの上方に位置しており、第１群ミラー部４には、図８に示すように、第４群ミラー部７ａにおけるＬ１の位置で反射した反射光Ｂがミラー４ｂに入射する。このＬ１の位置で反射した反射光は、側面Ａにおける辺Ａ付近で反射した光に由来する。このとき、第２群ミラー部５ａ・５ｂは、液晶表示パネルの上面２０ａの上方に位置している。
【００９８】
そして、駆動手段は、第１群ミラー部４と照明装置１を、図８に示す位置から主走査方向に沿って上流から下流に、一定速度Ｖで駆動（移動）させる。一定速度Ｖで移動することによって、第１群ミラー部４に入射する反射光Ｂは、第４群ミラー部７ａにおけるＬ１の位置で反射した反射光Ｂから、側面Ａの面内で反射した反射光に由来するＬ１−Ｌ２間で反射した反射光Ｂを経て、側面Ａにおける辺Ａの対辺である辺Ａ’付近の反射光に由来した、第４群ミラー部７ａにおけるＬ２の位置で反射した反射光Ｂに順次変化する。また、駆動手段は、第１群ミラー部４を移動させるのと同時に、主走査方向に沿って上流から下流に上記速度Ｖの半分の速度（速度Ｖ／２）で第２群ミラー部５ａ・５ｂを移動させる。このように第１群ミラー部４及び第２群ミラー部５ａ・５ｂが移動することによって、側面Ａの辺Ａ付近で反射した反射光がラインセンサ２に受光され始めた時点から、側面Ａの辺Ａ’付近で反射した反射光がラインセンサ２に受光され終わる時点までの間の、側面Ａからラインセンサ２までの反射光の光路長（これを撮像距離Ｒとする）を一定にすることができる。
【００９９】
図９は、第１群ミラー部４のミラー４ｂに第４群ミラー部７ａにおけるＬ２の位置で反射した反射光が入射している状態であり、側面Ａの撮像が完了した時点を示している。この状態から第１群ミラー部４は、更に一定速度Ｖで移動して後述する液晶表示パネルの上面２０ａ及び側面Ｂ・Ｃを撮像する工程（図１０）に入るわけだが、図９に示す状態から、第１群ミラー部４のミラー４ａ・４ｃが第３群ミラー部６ａで反射した反射光Ｔ（側面Ｂ・Ｃで反射したものに由来）を入射するまで、すなわちＬ４の位置での反射光を入射するまでの間は、第２群ミラー部５ａ・５ｂが移動速度を変化させ、速度Ｖ／２よりも速い第１の所定速度で主走査方向の上流から下流に移動する。
【０１００】
ここで、上記第１の所定速度とは、上面２０ａ及び側面Ｂ・Ｃで反射した反射光がラインセンサ２に受光され始める時点での撮像距離が、上記撮像距離Ｒと等しくなる速度である。
【０１０１】
尚、本実施形態では、第１群ミラー部４が主走査方向の上流から下流まで移動する間に上面２０ａとともに側面Ａ〜Ｄの全ての側面を撮像する構成について説明している。しかしながら、全ての側面を撮像する構成に限定されるものではなく、上面２０ａとともに、主走査方向の上流と下流に位置する側面Ａ・Ｄの２つの側面を撮像する構成であってもよい。この場合は、図９に示した時点から、第１群ミラー部４のミラー４ｂに上面２０ａの辺Ａ付近（すなわち、図９におけるＬ４の位置）で反射した反射光Ｃを入射するまでの間、第２群ミラー部５ａ・５ｂを上記第１の所定速度で主走査方向の上流から下流に移動させる。
【０１０２】
図１０は、第１群ミラー部４のミラー４ａ・４ｃに、第３群ミラー部６ａで反射した反射光Ｔ（側面Ｂ・Ｃで反射したものに由来）が入射し始めた時点を示している。第１群ミラー部４のミラー４ａ・４ｃに、第３群ミラー部６ａで反射した反射光Ｔが入射し始めるとすぐに、第２群ミラー部５ａ・５ｂは再び移動速度を速度Ｖ／２に変化させて主走査方向の上流から下流に移動し始める。そして、上面２０ａでの反射光Ｃは第１群ミラー部４のミラー４ｂと第２群ミラー部５ａ・５ｂとを経て、そして、側面Ｂでの反射光Ｔは、第１群ミラー部４のミラー４ａと第２群ミラー部５ａ・５ｂとを経て、また、側面Ｃでの反射光Ｔは、第１群ミラー部４のミラー４ｃと第２群ミラー部５ａ・５ｂとを経て、それぞれラインセンサ２に受光される。上面２０ａ及び側面Ｂ・Ｄの各々からラインセンサ２までの撮像距離は互いに等しく、且つ、上記撮像距離Ｒとも等しい。
【０１０３】
図１１は、上面２０ａと側面Ｂ・Ｃとの撮像が完了した時点を示しており、具体的には、第１群ミラー部４のミラー４ｂが、Ｌ５の位置にあって、上面２０ａの辺Ｄ付近での反射光Ｃを受光した直後の状態を示している。この状態から第１群ミラー部４は、更に一定速度Ｖで移動して後述する液晶表示パネルの側面Ｄを撮像する工程（図１２）に入るわけだが、図１１に示す状態から、第１群ミラー部４のミラー４ｂが第４群ミラー部７ｂで反射した反射光Ｂ（側面Ｄで反射したものに由来）を入射するまで、すなわちＬ６の位置での反射光を入射するまでの間は、第２群ミラー部５ａ・５ｂが移動速度を変化させ、速度Ｖ／２よりも遅い第２の所定速度で主走査方向の下流から上流に移動する。
【０１０４】
ここで、上記第２の所定速度とは、側面Ｄで反射した反射光がラインセンサ２に受光され始める時点での撮像距離が、上記撮像距離Ｒと等しくなる速度である。
【０１０５】
図１２は、第１群ミラー部４のミラー４ｂに、第４群ミラー部７ｂにおけるＬ６で反射した反射光Ｂ（側面Ｄの辺Ｄの対辺（辺Ｄ’）付近で反射した反射光に由来）が入射し始めた時点を示している。ミラー４ｂに、第４群ミラー部７ｂにおけるＬ６で反射した反射光Ｂが入射し始めるとすぐに、第２群ミラー部５ａ・５ｂは再び移動速度を速度Ｖ／２に変化させて主走査方向の上流から下流に移動し始める。そして、第１群ミラー部４に入射する反射光Ｂは、側面Ｄの辺Ｄの対辺（辺Ｄ’）付近の反射光に由来した、第４群ミラー部７ａにおけるＬ６の位置で反射した反射光Ｂから、側面Ｄの面内で反射した反射光に由来するＬ６−Ｌ７間で反射した反射光Ｂを経て、図１３に示す側面Ｄにおける辺Ｄ付近の反射光に由来した、第４群ミラー部７ｂにおけるＬ７の位置で反射した反射光Ｂに順次変化する。このように第１群ミラー部４及び第２群ミラー部５ａ・５ｂが移動することによって、側面Ｄの辺Ｄ’付近で反射した反射光がラインセンサ２に受光され始めた時点から、側面Ｄの辺Ｄ付近で反射した反射光がラインセンサ２に受光され終わる時点までの間の、側面Ｄからラインセンサ２までの反射光の撮像距離が一定になり、且つ、上記撮像距離Ｒと等しくなる。
【０１０６】
このように、本実施形態の液晶表示パネル用検査装置１０ａを用いることによって、例えば、液晶表示パネル２０の各面に図１４に示すように文字Ｆが印字されているならば、図１５に示すような状態の画像を得ることができる。尚、図１５におけるＬ１〜Ｌ７は、図８〜図１３に示したＬ１〜Ｌ７である。
【０１０７】
また、図１６に、第１群ミラー部４及び第２群ミラー部５ａ・５ｂの位置と速度との関係についてダイアグラムにまとめている。尚、図１６の縦軸のＬ１〜Ｌ７は、図８〜図１３に示したＬ１〜Ｌ７である。
【０１０８】
以上のように、本実施形態の液晶表示パネル用検査装置１０ａは、上面２０ａの上方において第１群ミラー部４及び照明装置１の移動軸と、第２群ミラー部５ａ・５ｂの移動軸とが一致した状態で、第１群ミラー部４（及び照明装置１）と第２群ミラー部５ａ・５ｂとを互いに異なる速度で移動させる駆動手段を備えており、ラインセンサ２及びレンズ３は、位置固定されており、移動中の第２群ミラー部５ａ・５ｂから導かれる各面からの反射光を連続的に受光するように構成されている。これにより、従来構成のような焦点調整機構や、高感度のエリアセンサや、結像面の大きな撮像素子とレンズといった非常に高価な構成を必要とすることはなく、液晶表示パネルの上面及び側面の双方の面の良好な画像を一度に得ることができる。
【０１０９】
尚、本実施形態では、ＦＰＤモジュールとして液晶表示パネルを挙げて説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、ＥＬ（エレクトロルミネセンス）表示体や、ＦＥＤ（電解放出ディスプレイ）やＰＦＰ（プラズマディスプレイパネル）等であっても適用できる。
【０１１０】
また、本実施形態では、上記載置台が、上面２０ａが水平になるように液晶表示パネル２０を載置できる構成となっている。しかしながら、本発明はこれに限定されるものではなく、上面２０ａが水平面に対して所定の角度を有して傾斜するように液晶表示パネル２０を載置する構成であってもよく、また、上面２０ａが水平面に対して垂直になるように載置できる構成であってもよい。
【０１１１】
また、本実施形態では、第１群ミラー部４が、主走査方向の上流から下流まで移動した時点で撮像を終了しているが、本発明はこれに限定されるものではなく、例えば、主走査方向の下流まで移動した後に、また下流から上流へ移動するように構成していても良い。また、主走査方向の下流から撮像を開始し、上流まで移動した時点で撮像を完了させる構成であってもよい。
【０１１２】
また、本実施形態では、上面２０ａとともに側面Ａ〜Ｄの全ての側面を撮像する構成について説明しているが、本発明はこれに限定されるものではなく、第１群ミラー部４が主走査方向の上流から下流まで移動する間に上面２０ａとともに側面Ａ・Ｄの２つの側面を撮像する構成であってもよい。この場合は、第３群ミラー部６ａ・６ｂは不要となり、側面Ｂ・Ｃの撮像は、上面２０ａ及び側面Ａ・Ｄの撮像が終わった後に、液晶表示パネルを載置台上で回転させ、側面Ａ・Ｄを撮像した方法で側面Ｂ・Ｃを撮像すればよい。
【０１１３】
更に、本実施形態では四角形の液晶表示パネル（上面）を対象とする場合について説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、互いに平行な２つの辺（本実施形態の場合は辺Ａ及び辺Ｄ）を有する形状の多角形であれば適用することができる。例えば、正六角形の上面を有するものであっても適用することができる。この場合は、上記と同じように第３群ミラー部６ａ・６ｂは不要である。
【０１１４】
また、本発明の検査装置は、ＦＰＤモジュールの外観を検査する用途以外にも、例えば液晶パネルの点灯検査を行うための検査装置としても適用することができる。液晶パネルのようなＦＰＤモジュールには、一般的に、多数の画素電極や走査線や信号線が配されているが、製造過程でこれらが断線したり短絡したりする場合があるので、その有無を検査するために、本実施形形態で説明した構成部材に加えて、液晶表示パネルを点灯させるための電源回路や制御回路、並びにバックライトを配設することによって、液晶表示パネルの外観の検査と同時に、液晶表示パネルの点灯検査を行うことが可能となる。
【０１１５】
また本発明の構成は、フラットパネルディスプレイモジュール以外にも、上面（主面）及び側面を有する物体（被検査対象物）であれば撮像対象とすることができる。すなわち、本発明の構成は、上面及び側面を有する物体を検査するための検査装置用撮像装置としても適用することができる。このような物体としては、外面に印刷が施された箱や、ノートパソコンなどを挙げることができる。
【０１１６】
また、本発明に係るＦＰＤモジュール用検査装置は、以下の構成を特徴としていると換言することができる。
すなわち、ＦＰＤモジュール用検査装置は、ＦＰＤモジュールの表面と平行な平面上を副走査方向に一定速度ｖで移動する第１群ミラー部と、第１群ミラー部に対しＶ／２の速度で移動する第２群ミラー部と、ＦＰＤモジュールの表面からの光を第１群ミラー部、第２群ミラー部を経由し集光する結像レンズによって主走査方向に伸びたラインセンサに導光し、ＦＰＤモジュールの表面全体を撮像するＦＰＤモジュール用検査装置において、ＦＰＤモジュールの主走査方向の側面を撮像するための第３群ミラー部と、ＦＰＤモジュールの側面からの光を第３群ミラー部、第１群ミラー部、第２群ミラー部、結像レンズを解しラインセンサに導光する際に、前記表面からの光を導光する光路長と、ＦＰＤモジュールの側面からの光を導光する光路長が等しくなるように、第１群ミラー部の一部を副走査方向へ移動させたことを特徴としていると換言することができる。また、上記の構成において、第３群ミラー部が被撮像物側面全体を反射するよう構成されていることが好ましい。
【０１１７】
〔実施の形態２〕
本発明にかかる他の実施の形態について、図１７に基づいて説明すれば以下の通りである。尚、本実施の形態では、上記実施の形態１との相違点について説明するため、説明の便宜上、実施の形態１で説明した部材と同一の機能を有する部材には同一の部材番号を付し、その説明を省略する。
【０１１８】
図１７は、本実施形態の液晶表示パネル用検査装置１０ｂの構成を示す斜視図である。
【０１１９】
上記実施の形態１における液晶表示パネル用検査装置１０ａでは、第３群ミラー部６ａは、図１〜図３に示したように、側面Ｂから所定の間隔をあけた位置に配設されており、辺Ｂに沿って辺Ｂよりも僅かに長い細長形状の反射面を有している。また、第３群ミラー部６ｂは、側面Ｃから所定の間隔をあけた位置に配設されており、辺Ｃに沿って辺Ｂよりも僅かに長い細長形状の反射面を有している。これに対して、本実施形態の液晶表示パネル用検査装置１０ｂに設けられた第３群ミラー部６ａ’・６ｂ’は、図１７に示すように、その長さが何れも辺Ｂ及び辺Ｃよりも短い矩形の反射面を有している。
【０１２０】
そして、本実施形態の液晶表示パネル用検査装置１０ｂでは、上記第３群ミラー部６ａ’・６ｂ’が、上記実施の形態１で説明した第１群ミラー部４と一体となっており、第１群ミラー部４が主走査方向の上流から下流へ移動するのに伴って、主走査方向の上流から下流へ移動するように構成されている。
【０１２１】
すなわち、上記第３群ミラー部６ａ’は、第１群ミラー部４の移動に伴って、側面Ｂにおける側面Ａと隣接している端部から、側面Ｂにおける側面Ｄと隣接している端部まで移動し、図１７に示すように、反射光Ｓを第１群ミラー部４のミラーａに向けて反射させる。また、上記第３群ミラー部６ｂ’は、第１群ミラー部４の移動に伴って、側面Ｃにおける側面Ａと隣接している端部から、側面Ｃにおける側面Ｄと隣接している端部まで移動し、図１７に示すように、反射光Ｓを第１群ミラー部４のミラーｃに向けて反射させる。
【０１２２】
以上のように構成した液晶表示パネル用検査装置１０ｂを用いて、液晶表示パネル２０を撮像した場合であっても、上記実施の形態１における液晶表示パネル用検査装置１０ａと同様に、図１５に示した画像を得ることができる。
【０１２３】
このように、本実施形態の構成によれば、上記実施の形態１の場合と比較して、第３群ミラー部の大きさを小さくすることができる。
【０１２４】
尚、本発明は上述した各実施の形態に限定されるものではなく、請求項に示した範囲で種々の変更が可能であり、異なる実施形態にそれぞれ開示された技術的手段を適宜組み合わせて得られる実施形態についても本発明の技術的範囲に含まれる。
【産業上の利用可能性】
【０１２５】
本発明のＦＰＤモジュール用検査装置（検査装置用撮像装置）は、装置を大型化せずに、ＦＰＤモジュール上面及び側面の双方から、良好な画像を得ることができる。
【０１２６】
従って、液晶表示パネルや、ＥＬ（エレクトロルミネセンス）表示体といったＦＰＤモジュールを検査するための検査装置として適用できる他、外面に印刷が施された箱の該印刷を検査するための検査装置や、ノートパソコンの外観検査装置として適用することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【０１２７】
【図１】本発明の第１の実施形態に係る液晶表示パネル用検査装置の構成を示す斜視図である。
【図２】本発明の第１の実施形態に係る液晶表示パネル用検査装置の構成を示す斜視図であり、図１に示したものとは第１群ミラー部及び第２群ミラー部の位置が異なっている状態を示している。
【図３】本発明の第１の実施形態に係る液晶表示パネル用検査装置の構成を示す斜視図であり、図１及び図２に示したものとは第１群ミラー部及び第２群ミラー部の位置が異なっている状態を示している。
【図４】図１に示した液晶表示パネル用検査装置に設けられた第１群ミラー部の具体的な構成を示した側面図である。
【図５】図１に示した液晶表示パネル用検査装置に設けられた第３群ミラー部の配設位置について示した側面図である。
【図６】（ａ）・（ｂ）ともに、図１に示した液晶表示パネル用検査装置の撮像範囲を説明した図である。
【図７】図１に示した液晶表示パネル用検査装置に設けられた第４群ミラー部の配設位置について示した側面図である。
【図８】本発明の第１の実施形態に係る液晶表示パネル用検査装置を用いて液晶表示パネルを撮像する過程を示した側面図である。
【図９】本発明の第１の実施形態に係る液晶表示パネル用検査装置を用いて液晶表示パネルを撮像する過程を示した側面図である。
【図１０】本発明の第１の実施形態に係る液晶表示パネル用検査装置を用いて液晶表示パネルを撮像する過程を示した側面図である。
【図１１】本発明の第１の実施形態に係る液晶表示パネル用検査装置を用いて液晶表示パネルを撮像する過程を示した側面図である。
【図１２】本発明の第１の実施形態に係る液晶表示パネル用検査装置を用いて液晶表示パネルを撮像する過程を示した側面図である。
【図１３】本発明の第１の実施形態に係る液晶表示パネル用検査装置を用いて液晶表示パネルを撮像する過程を示した側面図である。
【図１４】本発明の第１の実施形態に係る液晶表示パネル用検査装置で撮像される液晶表示パネルを示した斜視図である。
【図１５】本発明の第１の実施形態に係る液晶表示パネル用検査装置で撮像された図１４の液晶表示パネルの画像を示した図である。
【図１６】本発明の第１の実施形態に係る液晶表示パネル用検査装置に設けられた第１群ミラー部及び第２群ミラー部の位置と速度との関係をダイアグラムにまとめた図である。
【図１７】本発明の第１の実施形態に係る液晶表示パネル用検査装置の構成を示した斜視図である。
【図１８】従来技術の構成を示した図である。
【図１９】従来技術の構成を示した図である。
【図２０】従来技術の構成を示した図である。
【図２１】従来技術の構成を示した図である。
【図２２】従来技術の構成を示した図である。
【符号の説明】
【０１２８】
１ 照明装置（光源）
１ａ〜１ｃ 照明部（光源）
２ ラインセンサ（撮像手段）
３ レンズ（撮像手段）
４ 第１群ミラー部（導光手段、第１導光部）
４ａ，４ｃ ミラー（側面用第１導光部）
４ｂ ミラー（両用第１導光部）
５ａ・５ｂ 第２群ミラー部（導光手段、第２導光部）
６ａ・６ｂ・６ａ’・６ｂ’ 第３群ミラー部（第２反射手段）
７ａ・７ｂ 第４群ミラー部（反射手段）
１０ａ・１０ｂ 液晶表示パネル用検査装置（フラットパネルディスプレイモジュール用検査装置、検査装置用撮像装置）
２０ 液晶表示パネル（フラットパネルディスプレイモジュール、被検査対象物）
２０ａ 上面（画像表示面、主面）
【特許請求の範囲】
【請求項１】
フラットパネルディスプレイモジュールの、配線及び電極が配されている画像表示面と、該画像表示面と接する側面のうちの少なくとも１つの側面とに光を照らす光源と、
位置固定されており、上記画像表示面及び側面で反射した上記光の反射光を受光することによって、該画像表示面及び側面を撮像する撮像手段とを備えた、上記モジュールの外観を検査するためのフラットパネルディスプレイモジュール用検査装置であって、
上記側面から所定の間隔をあけて配され、該側面で反射した反射光を反射させることによって、該反射光の進行方向を上記画像表示面で反射した反射光の進行方向と平行にする反射手段と、
上記反射手段で反射した反射光ａ、及び上記画像表示面で反射した反射光ｂを上記撮像手段に導く導光手段と、
上記撮像手段に反射光ａと反射光ｂとが順次受光されるように、上記導光手段及び上記光源を移動させる駆動手段とを備えており、
上記導光手段には、反射光ａ及び反射光ｂを入射させるとともに、入射した反射光ａ及び反射光ｂを第２導光部へと導く第１導光部と、該第１導光部からの反射光ａ及び反射光ｂを上記撮像手段に導く第２導光部とが設けられており、
上記光源と、上記第１導光部と、上記第２導光部とは、上記画像表示面に対して平行で、且つ直線である同じ移動軸上を移動できるように構成されており、
上記駆動手段は、上記第１導光部及び上記光源と、上記第２導光部とを互いに異なる速度で上記移動軸上を移動させるように構成されており、
上記撮像手段は、移動中の上記第２導光部から導かれる光を連続的に受光するように構成されていることを特徴とするフラットパネルディスプレイモジュール用検査装置。
【請求項２】
上記駆動手段は、上記第１導光部を上記移動軸上を一方向に一定速度Ｖで移動させている間に、上記第２導光部を、上記移動軸上を双方向に移動させ、且つその速度を可変させることを特徴とする請求項１に記載のフラットパネルディスプレイモジュール用検査装置。
【請求項３】
上記画像表示面が、互いに平行な少なくとも１組の辺を有する多角形である、フラットパネルディスプレイモジュールを撮像するように構成されており、
上記１組の辺のうちの一方の辺Ａから他方の辺Ｄに向かう方向を主走査方向とすると、上記移動軸は主走査方向に対して平行であり、
上記反射手段は、上記辺Ａを有する側面Ａ、及び上記辺Ｄを有する側面Ｄの各々に、それぞれ上記所定の距離をあけて配設されており、
上記第２導光部は、上記第１導光部から上記第２導光部に導かれる上記反射光ａ及び反射光ｂの光軸が主走査方向に対して平行となるように、上記第１導光部よりも主走査方向の下流に配設されており、
上記第２導光部から上記撮像手段に導かれる上記反射光ａ及び反射光ｂは、上記光軸と平行な光軸を有し、且つ上記第１導光部から上記第２導光部に導かれる上記反射光ａ及び反射光ｂの進行方向とは逆方向に進行するように構成されていることを特徴とする請求項２に記載のフラットパネルディスプレイモジュール用検査装置。
【請求項４】
上記側面Ａは、上記辺Ａに対向する辺Ａ’を有しており、上記側面Ｄは、上記辺Ｄに対向する辺Ｄ’を有しており、
上記第１導光部は、上記側面Ａにおける上記辺Ａから上記辺Ａ’に向けて順次上記反射光ａを入射し、その後、上記画像表示面における辺Ａから辺Ｄに向けて順次上記反射光ｂを入射し、更にその後、上記側面Ｄにおける上記辺Ｄ’から上記辺Ｄに向けて順次上記反射光ａを入射するように構成されている請求項３に記載のフラットパネルディスプレイモジュール用検査装置。
【請求項５】
上記駆動手段は、
（ｉ）上記第１導光部に反射光ａ及び反射光ｂが入射している間は、上記第２導光部を速度Ｖ／２で主走査方向の上流から下流に移動させ、
（ｉｉ）上記第１導光部に上記辺Ａ’からの反射光ａが入射した直後から、上記第１導光部に上記画像表示面における辺Ａからの反射光ｂが入射する直前までの間は、上記第２導光部を、その移動速度がＶ／２よりも速い第１の所定速度で主走査方向の上流から下流に移動させ、
（ｉｉｉ）上記第１導光部に上記画像表示面における辺Ｄからの反射光ｂが入射した直後から、上記第１導光部に上記辺Ｄ’からの反射光が入射する直前までの間は、上記第２導光部を第２の所定速度で主走査方向の下流から上流に移動させることを特徴とする請求項４に記載のフラットパネルディスプレイモジュール用検査装置。
【請求項６】
上記多角形は四角形であり、上記１組の辺とは異なる１組の辺のうちの一方の辺Ｃに設けられた側面Ｃ、及び、他方の辺Ｂに設けられた側面Ｂの各々から所定の間隔をあけて配され、該側面Ｃ及び側面Ｂで反射した反射光ｃを反射させることによって、該反射光ｃの進行方向を上記画像表示面で反射した反射光の進行方向と平行にする、上記反射手段とは異なる第２反射手段を備えており、
上記第１導光部は、
上記反射光ａ及び反射光ｂを反射させる両用第１導光部と、
上記両用第１導光部よりも主走査方向の下流に所定の間隔をあけて配設された、上記反射光ｃを反射させる側面用第１反射部とから構成されていることを特徴とする請求項３から５の何れか１項に記載のフラットパネルディスプレイモジュール用検査装置。
【請求項７】
上記第２反射手段は、上記側面Ｃ及び側面Ｂで反射した反射光ｃの一部を入射させることができるように構成されており、
上記駆動手段は、上記第２反射手段を、上記側面Ｃ及び側面Ｂにおける主走査方向の上流側の端部から下流側の端部まで、上記第１導光部とともに移動させるように構成されていることを特徴とする請求項４に記載のフラットパネルディスプレイモジュール用検査装置。
【請求項８】
フラットパネルディスプレイモジュールの、配線及び電極が配されている四角形を有する画像表示面と、該画像表示面と接する４つの側面のうちの少なくとも１つの側面とに光を照射する光源と、
位置固定されており、上記光が上記画像表示面及び側面で反射した反射光を受光することによって、該画像表示面及び側面を撮像する撮像手段と、
上記画像表示面及び側面から上記撮像手段までの間の上記反射光の光路上に設けられた、入射した光を入射方向とは異なる方向に反射させる反射体とを備えている、上記モジュールの外観を検査するためのフラットパネルディスプレイモジュール用検査装置であって、
上記画像表示面の２組の対向辺のうち、一方の組の一方の辺Ａから他方の辺Ｄに向かう方向を主走査方向とすると、
上記反射体は、
上記辺Ａを有する側面Ａと、上記辺Ｄを有する側面Ｄとでそれぞれ反射した上記光源からの光の反射光を反射させる第４反射部と、
上記第４反射部で反射した反射光、及び上記画像表示面で光源から出射した光が反射した反射光を上記画像表示面に沿って主走査方向に反射させる第１反射部と、
上記第１反射部で反射した反射光を反射させて、該反射光の光軸と平行な光軸を有し、且つ該反射光の進行方向とは逆向きに進行する反射光を生成する第２反射部とを備えており、
上記光源、第１反射部及び第２反射部は、上記画像表示面の近傍に配設されており、
光源及び第１反射部を、上記画像表示面に沿って主走査方向の上流から下流に速度Ｖで移動させるとともに、上記第１反射部の移動中に、上記第２反射部を、上記画像表示面に沿って主走査方向の上流から下流に、及び下流から上流に速度Ｖとは異なる速度で移動させる駆動手段を備えており、
上記撮像手段は、主走査方向に移動中の上記第２反射部が生成する反射光を連続して受光するように構成されていることを特徴とするフラットパネルディスプレイモジュール用検査装置。
【請求項９】
被検査対象物の主面と、該主面と接する側面のうちの少なくとも１つの側面とに光を照らす光源と、
位置固定されており、上記主面及び上記側面で反射した上記光の反射光を受光することによって、該主面及び側面を撮像する撮像手段とを備えた、上記被検査対象物の外観を検査するための検査装置用撮像装置であって、
上記側面から所定の間隔をあけて配され、該側面で反射した反射光を反射させることによって、該反射光の進行方向を上記主面で反射した反射光の進行方向と平行にする反射手段と、
上記反射手段で反射した反射光ａ、及び上記主面で反射した反射光ｂを上記撮像手段に導く導光手段と、
上記撮像手段に反射光ａと反射光ｂとが順次受光されるように、上記導光手段及び上記光源を移動させる駆動手段とを備えており、
上記導光手段には、反射光ａ及び反射光ｂを入射させるとともに、入射した反射光ａ及び反射光ｂを第２導光部へと導く第１導光部と、該第１導光部から導かれた反射光ａ及び反射光ｂを上記撮像手段に導く第２導光部とが設けられており、
上記光源と、上記第１導光部と、上記第２導光部とは、上記主面に対して平行で、且つ直線である同じ移動軸上を移動できるように構成されており、
上記駆動手段は、上記第１導光部及び上記光源と、上記第２導光部とを互いに異なる速度で上記移動軸上を移動させるように構成されており、
上記撮像手段は、移動中の上記第２導光部から導かれる光を連続的に受光するように構成されていることを特徴とする検査装置用撮像装置。
【請求項１】
フラットパネルディスプレイモジュールの、配線及び電極が配されている画像表示面と、該画像表示面と接する側面のうちの少なくとも１つの側面とに光を照らす光源と、
位置固定されており、上記画像表示面及び側面で反射した上記光の反射光を受光することによって、該画像表示面及び側面を撮像する撮像手段とを備えた、上記モジュールの外観を検査するためのフラットパネルディスプレイモジュール用検査装置であって、
上記側面から所定の間隔をあけて配され、該側面で反射した反射光を反射させることによって、該反射光の進行方向を上記画像表示面で反射した反射光の進行方向と平行にする反射手段と、
上記反射手段で反射した反射光ａ、及び上記画像表示面で反射した反射光ｂを上記撮像手段に導く導光手段と、
上記撮像手段に反射光ａと反射光ｂとが順次受光されるように、上記導光手段及び上記光源を移動させる駆動手段とを備えており、
上記導光手段には、反射光ａ及び反射光ｂを入射させるとともに、入射した反射光ａ及び反射光ｂを第２導光部へと導く第１導光部と、該第１導光部からの反射光ａ及び反射光ｂを上記撮像手段に導く第２導光部とが設けられており、
上記光源と、上記第１導光部と、上記第２導光部とは、上記画像表示面に対して平行で、且つ直線である同じ移動軸上を移動できるように構成されており、
上記駆動手段は、上記第１導光部及び上記光源と、上記第２導光部とを互いに異なる速度で上記移動軸上を移動させるように構成されており、
上記撮像手段は、移動中の上記第２導光部から導かれる光を連続的に受光するように構成されていることを特徴とするフラットパネルディスプレイモジュール用検査装置。
【請求項２】
上記駆動手段は、上記第１導光部を上記移動軸上を一方向に一定速度Ｖで移動させている間に、上記第２導光部を、上記移動軸上を双方向に移動させ、且つその速度を可変させることを特徴とする請求項１に記載のフラットパネルディスプレイモジュール用検査装置。
【請求項３】
上記画像表示面が、互いに平行な少なくとも１組の辺を有する多角形である、フラットパネルディスプレイモジュールを撮像するように構成されており、
上記１組の辺のうちの一方の辺Ａから他方の辺Ｄに向かう方向を主走査方向とすると、上記移動軸は主走査方向に対して平行であり、
上記反射手段は、上記辺Ａを有する側面Ａ、及び上記辺Ｄを有する側面Ｄの各々に、それぞれ上記所定の距離をあけて配設されており、
上記第２導光部は、上記第１導光部から上記第２導光部に導かれる上記反射光ａ及び反射光ｂの光軸が主走査方向に対して平行となるように、上記第１導光部よりも主走査方向の下流に配設されており、
上記第２導光部から上記撮像手段に導かれる上記反射光ａ及び反射光ｂは、上記光軸と平行な光軸を有し、且つ上記第１導光部から上記第２導光部に導かれる上記反射光ａ及び反射光ｂの進行方向とは逆方向に進行するように構成されていることを特徴とする請求項２に記載のフラットパネルディスプレイモジュール用検査装置。
【請求項４】
上記側面Ａは、上記辺Ａに対向する辺Ａ’を有しており、上記側面Ｄは、上記辺Ｄに対向する辺Ｄ’を有しており、
上記第１導光部は、上記側面Ａにおける上記辺Ａから上記辺Ａ’に向けて順次上記反射光ａを入射し、その後、上記画像表示面における辺Ａから辺Ｄに向けて順次上記反射光ｂを入射し、更にその後、上記側面Ｄにおける上記辺Ｄ’から上記辺Ｄに向けて順次上記反射光ａを入射するように構成されている請求項３に記載のフラットパネルディスプレイモジュール用検査装置。
【請求項５】
上記駆動手段は、
（ｉ）上記第１導光部に反射光ａ及び反射光ｂが入射している間は、上記第２導光部を速度Ｖ／２で主走査方向の上流から下流に移動させ、
（ｉｉ）上記第１導光部に上記辺Ａ’からの反射光ａが入射した直後から、上記第１導光部に上記画像表示面における辺Ａからの反射光ｂが入射する直前までの間は、上記第２導光部を、その移動速度がＶ／２よりも速い第１の所定速度で主走査方向の上流から下流に移動させ、
（ｉｉｉ）上記第１導光部に上記画像表示面における辺Ｄからの反射光ｂが入射した直後から、上記第１導光部に上記辺Ｄ’からの反射光が入射する直前までの間は、上記第２導光部を第２の所定速度で主走査方向の下流から上流に移動させることを特徴とする請求項４に記載のフラットパネルディスプレイモジュール用検査装置。
【請求項６】
上記多角形は四角形であり、上記１組の辺とは異なる１組の辺のうちの一方の辺Ｃに設けられた側面Ｃ、及び、他方の辺Ｂに設けられた側面Ｂの各々から所定の間隔をあけて配され、該側面Ｃ及び側面Ｂで反射した反射光ｃを反射させることによって、該反射光ｃの進行方向を上記画像表示面で反射した反射光の進行方向と平行にする、上記反射手段とは異なる第２反射手段を備えており、
上記第１導光部は、
上記反射光ａ及び反射光ｂを反射させる両用第１導光部と、
上記両用第１導光部よりも主走査方向の下流に所定の間隔をあけて配設された、上記反射光ｃを反射させる側面用第１反射部とから構成されていることを特徴とする請求項３から５の何れか１項に記載のフラットパネルディスプレイモジュール用検査装置。
【請求項７】
上記第２反射手段は、上記側面Ｃ及び側面Ｂで反射した反射光ｃの一部を入射させることができるように構成されており、
上記駆動手段は、上記第２反射手段を、上記側面Ｃ及び側面Ｂにおける主走査方向の上流側の端部から下流側の端部まで、上記第１導光部とともに移動させるように構成されていることを特徴とする請求項４に記載のフラットパネルディスプレイモジュール用検査装置。
【請求項８】
フラットパネルディスプレイモジュールの、配線及び電極が配されている四角形を有する画像表示面と、該画像表示面と接する４つの側面のうちの少なくとも１つの側面とに光を照射する光源と、
位置固定されており、上記光が上記画像表示面及び側面で反射した反射光を受光することによって、該画像表示面及び側面を撮像する撮像手段と、
上記画像表示面及び側面から上記撮像手段までの間の上記反射光の光路上に設けられた、入射した光を入射方向とは異なる方向に反射させる反射体とを備えている、上記モジュールの外観を検査するためのフラットパネルディスプレイモジュール用検査装置であって、
上記画像表示面の２組の対向辺のうち、一方の組の一方の辺Ａから他方の辺Ｄに向かう方向を主走査方向とすると、
上記反射体は、
上記辺Ａを有する側面Ａと、上記辺Ｄを有する側面Ｄとでそれぞれ反射した上記光源からの光の反射光を反射させる第４反射部と、
上記第４反射部で反射した反射光、及び上記画像表示面で光源から出射した光が反射した反射光を上記画像表示面に沿って主走査方向に反射させる第１反射部と、
上記第１反射部で反射した反射光を反射させて、該反射光の光軸と平行な光軸を有し、且つ該反射光の進行方向とは逆向きに進行する反射光を生成する第２反射部とを備えており、
上記光源、第１反射部及び第２反射部は、上記画像表示面の近傍に配設されており、
光源及び第１反射部を、上記画像表示面に沿って主走査方向の上流から下流に速度Ｖで移動させるとともに、上記第１反射部の移動中に、上記第２反射部を、上記画像表示面に沿って主走査方向の上流から下流に、及び下流から上流に速度Ｖとは異なる速度で移動させる駆動手段を備えており、
上記撮像手段は、主走査方向に移動中の上記第２反射部が生成する反射光を連続して受光するように構成されていることを特徴とするフラットパネルディスプレイモジュール用検査装置。
【請求項９】
被検査対象物の主面と、該主面と接する側面のうちの少なくとも１つの側面とに光を照らす光源と、
位置固定されており、上記主面及び上記側面で反射した上記光の反射光を受光することによって、該主面及び側面を撮像する撮像手段とを備えた、上記被検査対象物の外観を検査するための検査装置用撮像装置であって、
上記側面から所定の間隔をあけて配され、該側面で反射した反射光を反射させることによって、該反射光の進行方向を上記主面で反射した反射光の進行方向と平行にする反射手段と、
上記反射手段で反射した反射光ａ、及び上記主面で反射した反射光ｂを上記撮像手段に導く導光手段と、
上記撮像手段に反射光ａと反射光ｂとが順次受光されるように、上記導光手段及び上記光源を移動させる駆動手段とを備えており、
上記導光手段には、反射光ａ及び反射光ｂを入射させるとともに、入射した反射光ａ及び反射光ｂを第２導光部へと導く第１導光部と、該第１導光部から導かれた反射光ａ及び反射光ｂを上記撮像手段に導く第２導光部とが設けられており、
上記光源と、上記第１導光部と、上記第２導光部とは、上記主面に対して平行で、且つ直線である同じ移動軸上を移動できるように構成されており、
上記駆動手段は、上記第１導光部及び上記光源と、上記第２導光部とを互いに異なる速度で上記移動軸上を移動させるように構成されており、
上記撮像手段は、移動中の上記第２導光部から導かれる光を連続的に受光するように構成されていることを特徴とする検査装置用撮像装置。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【図１４】
【図１５】
【図１６】
【図１７】
【図１８】
【図１９】
【図２０】
【図２１】
【図２２】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【図１４】
【図１５】
【図１６】
【図１７】
【図１８】
【図１９】
【図２０】
【図２１】
【図２２】
【公開番号】特開２００８−１４５１９８（Ｐ２００８−１４５１９８Ａ）
【公開日】平成２０年６月２６日（２００８．６．２６）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００６−３３１０５８（Ｐ２００６−３３１０５８）
【出願日】平成１８年１２月７日（２００６．１２．７）
【出願人】（０００００５０４９）シャープ株式会社 (33,933)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２０年６月２６日（２００８．６．２６）
【国際特許分類】
【出願日】平成１８年１２月７日（２００６．１２．７）
【出願人】（０００００５０４９）シャープ株式会社 (33,933)
【Ｆターム（参考）】
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