レーザ共振器
【課題】光学部品の損傷防止と共振器の高効率動作を両立させることができ、波長変換素子へ入射するレーザ光の偏光を波長変換素子に適した本来の偏光方向に固定することができ、かつ単一の偏光選択素子を用いて装置構成を簡略化できるレーザ共振器を提供する。
【解決手段】第１波長のレーザ光（基本波４）を励起するレーザ媒体１２と、第１波長のレーザ光をこれと異なる第２波長（波長変換光５）に変換する波長変換素子１７とを備えたレーザ共振器。レーザ媒体と波長変換素子の間に、基本波４の偏光状態を制御する偏光制御素子１５ｂと、基本波４のうち波長変換素子に適した偏光成分を波長変換素子に向けて伝搬させ、その他の偏光成分を損失光として飛散させる偏光選択素子１５ａとを順に備える。
【解決手段】第１波長のレーザ光（基本波４）を励起するレーザ媒体１２と、第１波長のレーザ光をこれと異なる第２波長（波長変換光５）に変換する波長変換素子１７とを備えたレーザ共振器。レーザ媒体と波長変換素子の間に、基本波４の偏光状態を制御する偏光制御素子１５ｂと、基本波４のうち波長変換素子に適した偏光成分を波長変換素子に向けて伝搬させ、その他の偏光成分を損失光として飛散させる偏光選択素子１５ａとを順に備える。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、レーザ共振器に関する。
【背景技術】
【０００２】
高効率のレーザ共振器として、例えば特許文献１〜３が既に提案されている。
【０００３】
特許文献１の「Ｑスイッチレーザ」は、稜線の直交する一対のルーフプリズムにより共振器を構成し偏光分離素子からジャイアントパルスを取り出すＱスイッチレーザの高効率化を簡易に行い、効率の経時変化を少なくすることを目的とする。
そのため、このレーザ共振器は、図５に示すように、一対のルーフプリズム５１，５２の一方の稜線方向を偏光分離素子５５の偏光面と略平行に設定し、電圧スイッチング回路５７によりスイッチング電圧を発生しこれをポッケルスセル５４に印加することでＱスイッチ動作を得ると共に、出力量調整電圧発生回路５８により発生させた電圧をポッケルセル５４に印加することで共振器から取り出す光出力の割合を設定するものである。なお５３は、レーザ媒体である。
【０００４】
特許文献２の「光共振器、それを備えたレーザ発振器及び波長変換装置」は、連続発振及びパルス発振の波長可変レーザ、固体レーザなどの各種レーザにおける共振器の出力ミラーの透過率（反射率）を、同じレーザ装置で連続発振、パルス発振などの発振形態に合わせて共振器内の光学素子を交換することなく、最適化でき、波長変換装置の光共振器としても適用できることを目的とする。
そのため、このレーザ共振器は、図６に示すように、従来の光共振器の出力ミラーに用いられてきた、多層膜コーティング部分反射ミラーをポラライザー６２と偏光回転素子６３を組み合わせた構成に置き換えたものである。
【０００５】
特許文献３の「レーザ発振器」は、内部波長変換型のレーザ共振器において光学部品の損傷防止と共振器の高効率動作を両立させることを目的とする。
そのため、このレーザ共振器は、図７に示すように、レーザ媒質７２を励起して第１波長のレーザ光を発生させるレーザ共振器７０において、レーザ共振器７０の光路上に設置され、第１波長のレーザ光をこの第１波長と異なる第２波長のレーザ光に変換する波長変換素子７４と、レーザ共振器の光路上に設置され、第１波長のレーザ光の損失を制御する損失制御素子７５とを有するものである。
【０００６】
【特許文献１】特開平５−２０６５６０号公報、「Ｑスイッチレーザ」
【特許文献２】特開２００２−３４４０５１号公報、「光共振器、それを備えたレーザ発振器及び波長変換装置」
【特許文献３】特開２００７−５３１６０号公報、「レーザ共振器」
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
上述した特許文献３のレーザ共振器は、損失制御素子７５により第１波長のレーザ光の損失を制御するので、初期条件設定時や共振器立ち上げ時など、波長変換素子７４における波長変換効率が低い状態においても、レーザ共振器内部のレーザ強度の過度の上昇を抑え、光学部品の損傷を防止することができる。
従って、このレーザ共振器は、光学部品の損傷防止と共振器の高効率動作を両立させることができる特徴を有している。
【０００８】
しかし、このレーザ共振器では、楕円偏光のレーザ光が波長変換素子７４に入射する。波長変換素子は本来の偏光成分と、それと直交する偏光成分に対して異なる屈折率を持つため、本来の偏光成分以外が含まれるレーザ光が入射すると波長変換素子内での複屈折作用により偏光の乱れが生じる問題点があった。
【０００９】
図８は、特許文献３のレーザ共振器の第１実施形態図である。この図において、７１ａ，７１ｂは終端ミラー（全反射ミラー）、７２はレーザ媒質（Ｎｄ：ＹＡＧ，Ｎｄ：ＹＬＦなど）、７３は共振器内を往復するレーザ光、７４はパルス動作用のＱスイッチ、７５は損失制御素子、７５ａは偏光選択素子（例えばＰＢＳ）、７５ｂは偏光制御素子（例えば１／４波長板）、７６は出力ミラー、７７は波長変換素子（ＬＢＯ，ＢＢＯなど）、７８は損失光、７９はレーザ光出力（波長変換光）である。
この実施態様では、損失制御素子７５を偏光選択素子７５ａと偏光制御素子７５ｂで構成し、レーザの動作状況に応じて１／４波長板７５ｂを調整し、偏光選択素子７５ａにおける損失光７８を制御する。
【００１０】
しかし、１／４波長板７５ｂを通過した楕円偏光のレーザ光が波長変換素子７７に入射するため、上述した複屈折により１／４波長板７５ｂの回転角度により生じる損失に本来の設計との誤差が生じる。この複屈折作用は結晶長などの設計によって異なるが、これが特に大きくなるような設計においては不適切な調整により光学部品損傷のおそれがある。
手動で１／４波長板７５ｂを調整する場合にはパワーメータ等でレーザの出力、すなわち動作状態を監視しながら調整することにより回避が可能であるが、自動運転などでは出力のフィードバック機構が必要になるほか、制御ロジックも複雑になるという問題点がある。
【００１１】
図９は、特許文献３のレーザ共振器の第２実施形態図である。この図において、７５ａは偏光選択素子（例えばＰＢＳ）、７５ｂは偏光制御素子（例えば１／２波長板）、７５ｃは偏光選択素子（例えばＰＢＳ）であり、その他の符号は、図８と同様である。
この実施態様では、損失制御素子７５を偏光選択素子７５ａ、偏光制御素子７５ｂ、及び偏光選択素子７５ｃで構成し、レーザの動作状況に応じて１／２波長板７５ｂを調整し、偏光選択素子７５ａ，７５ｃにおける損失光７８を制御する。
この実施形態では、偏光選択素子７５ｃによって波長変換素子７７へ入射するレーザ光の偏光が本来の偏光方向に固定されるため上記の現象は起こらないが、偏光選択素子が複数必要であるなど装置が複雑になる問題点がある。
【００１２】
本発明は、上述した問題点を解決するために創案されたものである。
すなわち、本発明の目的は、光学部品の損傷防止と共振器の高効率動作を両立させることができ、波長変換素子へ入射するレーザ光の偏光を波長変換素子に適した本来の偏光方向に固定することができ、かつ単一の偏光選択素子を用いて装置構成を簡略化できるレーザ共振器を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
本発明によれば、第１波長のレーザ光を発生するレーザ媒体と、第１波長のレーザ光をこれと異なる第２波長に変換する波長変換素子とを備えたレーザ共振器であって、
前記レーザ媒体と波長変換素子の間に、第１波長のレーザ光の偏光状態を制御する偏光制御素子と、第１波長のレーザ光のうち波長変換素子に適した偏光成分を前記波長変換素子に向けて伝搬させ、その他の偏光成分を損失光として飛散させる偏光選択素子とを順に備える、ことを特徴とするレーザ共振器が提供される。
【００１４】
本発明の好ましい実施形態によれば、互いに交叉しない第１と第２の直線光路と、該２つの直線光路に交叉する第３の直線光路とを有し、
前記第１直線光路に、第１直線光路上のレーザ光を全反射する第１終端ミラーと、前記波長変換素子と、第１直線光路と第３直線光路の交点に位置し、第１波長のレーザ光を第２直線光路と第３直線光路の交点に向けて高反射し、第２波長のレーザ光を高透過させる出力ミラーとを順に備え、
前記第２直線光路に、第２直線光路上のレーザ光を全反射する第２終端ミラーと、前記レーザ媒体と、前記偏光制御素子と、前記偏光選択素子とを順に備え、
該偏光選択素子は、第２直線光路と第３直線光路の交点に位置し、第１波長のレーザ光のうち波長変換素子に適した偏光成分を前記出力ミラーに向けて反射し、その他の偏光成分を損失光として透過させる。
【００１５】
前記偏光制御素子は、１／４波長板又はポッケルス素子であり、前記偏光選択素子は、ポラライザーであるのがよい。
【００１６】
また、前記第２直線光路の偏光制御素子と偏光選択素子の間にＱスイッチを備えることが好ましい。
【００１７】
また、第２直線光路のレーザ媒体と偏光制御素子の間にＱスイッチを備えてもよい。
【００１８】
また、第１直線光路の波長変換素子と出力ミラーの間にＱスイッチを備えてもよい。
【００１９】
また、第３直線光路の偏光選択素子と出力ミラーの間にＱスイッチを備えてもよい。
【発明の効果】
【００２０】
上記本発明の構成によれば、レーザ媒体と波長変換素子の間に、第１波長のレーザ光の偏光状態を制御する偏光制御素子と、第１波長のレーザ光のうち波長変換素子に適した偏光成分を前記波長変換素子に向けて伝搬させ、その他の偏光成分を損失光として飛散させる偏光選択素子とを順に備えるので、波長変換素子へ入射するレーザ光の偏光を偏光選択素子により波長変換素子に適した本来の偏光方向に固定することができる。
【００２１】
また、本発明の好ましい実施形態によれば、第１終端ミラー、出力ミラー、偏光選択素子、レーザ媒体、および第２終端ミラーの間で第１波長のレーザ光が閉じ込められて往復し、その間に第１波長のレーザ光のビームエネルギーを蓄積することができる。
また、波長変換素子により第１波長のレーザ光をこれと異なる第２波長に変換し、これを出力ミラーを透して外部に波長変換光として出力することができる。
【００２２】
さらに、偏光制御素子と偏光選択素子により、波長変換素子に適した偏光成分以外を損失光として透過させることができるので、光学部品の損傷防止と共振器の高効率動作を両立させることができ、同時に波長変換素子へ入射するレーザ光の偏光を波長変換素子に適した本来の偏光方向に固定することができる。
また、上記構成により偏光選択素子（ポラライザー）は１つで足り、かつ全体構成を簡略化できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２３】
以下、本発明の好ましい実施形態を図面を参照して説明する。なお各図において、共通する部分には同一の符号を付し、重複した説明は省略する。
【００２４】
図１は、本発明によるレーザ共振器の第１実施形態図である。
この図において、本発明のレーザ共振器１０は、第１波長のレーザ光４（以下、基本波という）を励起するレーザ媒体１２と、第１波長のレーザ光をこれと異なる第２波長５（以下、波長変換光という）に変換する波長変換素子１７とを備える。
【００２５】
また本発明のレーザ共振器１０は、さらに、レーザ媒体１２と波長変換素子１７の間に、第１波長のレーザ光の偏光状態を制御する偏光制御素子１５ｂと、第１波長のレーザ光のうち波長変換素子に適した偏光成分を波長変換素子に向けて伝搬させ、その他の偏光成分を損失光として飛散させる偏光選択素子１５ａとを順に備える。
以下、図１に基づき具体的に説明する。
【００２６】
図１において、本発明のレーザ共振器１０は、互いに交叉しない第１と第２の直線光路１，２と、この２つの直線光路１，２に交叉する第３の直線光路３とを有する。
第１直線光路１と第２直線光路２は、この例では互いに平行であるが、本発明はこれに限定されず、互いに交叉しない限りで斜め又は直交してもよい。
第３直線光路３は、この例では第１直線光路１及び第２直線光路２と垂直に交叉しているが、本発明はこれに限定されず、両者に交叉する限りで斜めでもよい。
【００２７】
本発明のレーザ共振器１０は、さらに、第１直線光路１上に、第１終端ミラー１１ａ、波長変換素子１７、出力ミラー１６を（この図で左から）順に備える。
【００２８】
第１終端ミラー１１ａは、全反射ミラーであり、第１直線光路１上のレーザ光を全反射する。このレーザ光には、第１波長のレーザ光（基本波４）と第２波長のレーザ光（波長変換光５）が含まれる。
【００２９】
波長変換素子１７は、ＬＢＯ，ＢＢＯなどであり、光軸方向に光を透過させ、入射する第１波長のレーザ光（基本波４）をこれと異なる第２波長（波長変換光５）に変換して出射する。従って、第１直線光路１上には基本波４と波長変換光５が混在する。
【００３０】
出力ミラー１６は、基本波４に対して高反射ミラーであり、第１直線光路１と第３直線光路３の交点に光軸に対して傾斜して位置する。この傾斜角は、第１直線光路１の光を第３直線光路３に向けて反射するように設定されている。この構成により、出力ミラー１６は、第１波長のレーザ光（基本波４）を第２直線光路２と第３直線光路３の交点に向けて高反射する。
第２直線光路２と第３直線光路３の交点には、後述する偏光選択素子１５ａが配置されており、偏光選択素子１５ａから出力ミラー１６に向かう光（基本波４）は、同様に出力ミラー１６で、第１直線光路１上の波長変換素子１７に向けて高反射される。
出力ミラー１６は、第２波長のレーザ光（波長変換光５）に対しては高透過性を有し、波長変換素子１７を出た波長変換光５をそのまま透過させ、レーザ光出力として外部に取出される。
【００３１】
本発明のレーザ共振器１０は、さらに、第２直線光路２上に、第２終端ミラー１１ｂ、レーザ媒体１２、偏光制御素子１５ｂ、偏光選択素子１５ａを（この図で左から）順に備える。
【００３２】
第２終端ミラー１１ｂは、全反射ミラーであり、第２直線光路２上のレーザ光を全反射する。このレーザ光は、第１波長のレーザ光（基本波４）である。
【００３３】
レーザ媒体１２は、例えばＮｄ：ＹＡＧ，Ｎｄ：ＹＬＦ等の固体レーザ媒体であり、図示しない励起源によりレーザ媒体が励起され、第１波長のレーザ光（基本波４）が発生して第２直線光路２上に出力する。
【００３４】
この例において、偏光選択素子１５ａと偏光制御素子１５ｂにより損失制御素子１５が構成されている。
【００３５】
偏光制御素子１５ｂは、好ましくは１／４波長板であるが、ポッケルス素子であってもよい。偏光制御素子１５ｂは、第１波長のレーザ光（基本波４）の偏光状態を制御する機能を有する。この制御は、偏光状態を変化しない場合と、偏光状態を変化させる場合とを手動又はフィードバックを伴う自動で行う。偏光状態の変化は、偏光方向の変化でも直線偏光を楕円偏光にさせる場合のいずれでもよい。
【００３６】
１／４波長板は、入射方位角が０又は９０度では直線偏光をそのまま通過させ、それ以外の入射方位角では直線偏光を楕円偏光に変換する機能を有する。従って、偏光制御素子１５ｂが１／４波長板である場合、その第２直線光路２に対する回転により第１波長のレーザ光（基本波４）の偏光方向をそのまま通過させることも、楕円偏光に変換することもできる。
【００３７】
ポッケルス素子は、電界を加えると偏光が変化する素子である。従って、偏光制御素子１５ｂがポッケルス素子である場合、電界を加えるための印加電圧のＯＮ／ＯＦＦにより、基本波４の偏光方向を制御することができる。この場合、印加電圧をＯＦＦすることにより、基本波４の偏光方向を変化させないこともできる。
【００３８】
偏光選択素子１５ａは、例えばポラライザーであり、第２直線光路２と第３直線光路３の交点に位置する。偏光選択素子１５ａは、第１波長のレーザ光（基本波４）のうち波長変換素子１７に適した偏光成分を出力ミラー１６に向けて反射し、その他の偏光成分を損失光１８として透過させるようになっている。
【００３９】
上述した本発明の構成によれば、第１終端ミラー１１ａ、出力ミラー１６、偏光選択素子１５ａ、レーザ媒体１２、および第２終端ミラー１１ｂの間で第１波長のレーザ光（基本波４）が閉じ込められて往復し、その間に基本波４のビームエネルギーを蓄積することができる。
また、波長変換素子１７により基本波４をこれと異なる第２波長に変換し、これを出力ミラー１６を透して外部に波長変換光５として出力することができる。
【００４０】
さらに、偏光選択素子１５ａと偏光制御素子１５ｂにより損失制御素子１５が構成されているので、偏光制御素子１５ａと偏光選択素子１５ｂにより、波長変換素子１７に適した偏光成分以外を損失光１８として透過させることができるので、光学部品の損傷防止と共振器の高効率動作を両立させることができる。
【００４１】
すなわち、偏光制御素子１５ｂ（１／４波長板）により偏光状態を変えられたレーザ光は本来の偏光成分と、それに直交する偏光成分からなる。偏光制御素子１５ｂ（ＰＢＳ）により、直交する偏光成分に相当する出力は損失光１８として共振器外に排出される。共振器内に残った出力は偏光制御素子１５ｂ（ＰＢＳ）によって本来の偏光成分のみに戻っているため、波長変換素子１７において複屈折作用を生じない。
従って、偏光選択素子１５ａにより、波長変換素子１７へ入射するレーザ光（基本波４）の偏光を波長変換素子１７に適した本来の偏光方向に固定することができる。
また、上記構成により偏光選択素子１５ａは１つで足り、かつ全体構成を簡略化できる。
【００４２】
図１において、本発明のレーザ共振器１０は、さらに、第２直線光路２の偏光制御素子１５ｂと偏光選択素子１５ａの間にＱスイッチ１４を備える。Ｑスイッチ１４は、好ましくは、ＡＯ−Ｑスイッチ又はＥＯ−Ｑスイッチであるのがよい。
すなわち、本発明のレーザ共振器１０をＡＯ-Ｑスイッチ（又はＥＯ−Ｑスイッチ）によりパルス動作させる場合、偏光制御素子１５ｂ（１／４波長板）の位置は図１のようにＱスイッチ１４を挟んで偏光選択素子１５ａ（ＰＢＳ）の反対側であることが望ましい。
この構成により、本発明のレーザ共振器１０をＱスイッチ１４により作動する高出力パルスレーザとして用いることができる。
【００４３】
図１のレーザ共振器は基本的には直線偏光動作であるため、Ｑスイッチ１４は無偏光用より性能が高い直線偏光用のものを用いる。ただし、直線偏光用のＱスイッチは本来の偏光成分と直交する偏光成分に対しては性能が低い。
この例では、偏光選択素子１５ａにより本来の直線偏光になった光がそのままＱスイッチ１４に（この図で左向きに）入射するためＱスイッチ１４が最適動作する。ただし、レーザ媒質側からＱスイッチ１４へ（この図で右向きに）入射する光は直交する偏光成分を含んでしまうため、その分はＱスイッチの性能低下が生じる。
【００４４】
図２は、本発明によるレーザ共振器の第２実施形態図である。この図において、本発明のレーザ共振器１０は、第２直線光路２のレーザ媒体１２と偏光制御素子１５ｂの間にＱスイッチ１４を備える。その他の構成は図１と同様である。
この構成により、本発明のレーザ共振器１０をＱスイッチ１４により作動する高出力パルスレーザとして用いることができる。
この例では、偏光選択素子１５ａを通過した本来の直線偏光成分のみの光が偏光制御素子１５ｂ（１／４波長板）によって偏光状態を変えられ、直交する偏光成分を含んだ状態でＱスイッチ１４に入射してしまうためＱスイッチ１４の性能が低下する。
【００４５】
図３は、本発明によるレーザ共振器の第３実施形態図である。この図において、本発明のレーザ共振器１０は、第１直線光路１の波長変換素子１７と出力ミラー１６の間にＱスイッチ１４を備える。その他の構成は図１と同様である。
この構成により、本発明のレーザ共振器１０をＱスイッチ１４により作動する高出力パルスレーザとして用いることができる。
この例では、偏光選択素子１５ａを通過した本来の直線偏光成分のみの光がＱスイッチ１４に両方向において入射するためＱスイッチ１４が最適動作する。
【００４６】
図４は、本発明によるレーザ共振器の第４実施形態図である。この図において、本発明のレーザ共振器１０は、第３直線光路３の偏光選択素子１５ａと出力ミラー１６の間にＱスイッチを備える。その他の構成は図１と同様である。
この構成により、本発明のレーザ共振器１０をＱスイッチ１４により作動する高出力パルスレーザとして用いることができる。
この例では、偏光選択素子１５ａを通過した本来の直線偏光成分のみの光がＱスイッチ１４に両方向において入射するためＱスイッチ１４が最適動作する。
【００４７】
上述したように、図１〜図４に示した本発明の第１〜第４実施形態のいずれによっても、偏光制御素子１５ｂと偏光選択素子１５ａにより、波長変換素子１７に適した偏光成分以外を損失光として透過させることができるので、光学部品の損傷防止と共振器の高効率動作を両立させることができ、同時に波長変換結晶１７へ入射するレーザ光の偏光を波長変換素子に適した本来の偏光方向に固定することができる。
また、上記構成により偏光選択素子（ポラライザー）は１つで足り、かつ全体構成を簡略化できる。
さらに、本発明のレーザ共振器１０をＱスイッチ１４により作動する高出力パルスレーザとして用いることができる。
【００４８】
なお、本発明は、上述した実施形態に限定されず、本発明の要旨を逸脱しない範囲で種々に変更することができることは勿論である。
【図面の簡単な説明】
【００４９】
【図１】本発明によるレーザ共振器の第１実施形態図である。
【図２】本発明によるレーザ共振器の第２実施形態図である。
【図３】本発明によるレーザ共振器の第３実施形態図である。
【図４】本発明によるレーザ共振器の第４実施形態図である。
【図５】特許文献１の「Ｑスイッチレーザ」の模式図である。
【図６】特許文献２の「光共振器」の模式図である。
【図７】特許文献３の「レーザ発振器」の模式図である。
【図８】特許文献３のレーザ共振器の第１実施形態図である。
【図９】特許文献３のレーザ共振器の第２実施形態図である。
【符号の説明】
【００５０】
１ 第１直線光路、２ 第２直線光路、３ 第３直線光路、
４ 第１波長のレーザ光（基本波）、
５ 第２波長のレーザ光（波長変換光）、
１０ レーザ共振器、
１１ａ 第１終端ミラー、１１ｂ 第２終端ミラー、
１２ レーザ媒体、１５ 損失制御素子、
１５ａ 偏光選択素子、１５ｂ 偏光制御素子、
１６出力ミラー、１７ 波長変換素子、１８ 損失光
【技術分野】
【０００１】
本発明は、レーザ共振器に関する。
【背景技術】
【０００２】
高効率のレーザ共振器として、例えば特許文献１〜３が既に提案されている。
【０００３】
特許文献１の「Ｑスイッチレーザ」は、稜線の直交する一対のルーフプリズムにより共振器を構成し偏光分離素子からジャイアントパルスを取り出すＱスイッチレーザの高効率化を簡易に行い、効率の経時変化を少なくすることを目的とする。
そのため、このレーザ共振器は、図５に示すように、一対のルーフプリズム５１，５２の一方の稜線方向を偏光分離素子５５の偏光面と略平行に設定し、電圧スイッチング回路５７によりスイッチング電圧を発生しこれをポッケルスセル５４に印加することでＱスイッチ動作を得ると共に、出力量調整電圧発生回路５８により発生させた電圧をポッケルセル５４に印加することで共振器から取り出す光出力の割合を設定するものである。なお５３は、レーザ媒体である。
【０００４】
特許文献２の「光共振器、それを備えたレーザ発振器及び波長変換装置」は、連続発振及びパルス発振の波長可変レーザ、固体レーザなどの各種レーザにおける共振器の出力ミラーの透過率（反射率）を、同じレーザ装置で連続発振、パルス発振などの発振形態に合わせて共振器内の光学素子を交換することなく、最適化でき、波長変換装置の光共振器としても適用できることを目的とする。
そのため、このレーザ共振器は、図６に示すように、従来の光共振器の出力ミラーに用いられてきた、多層膜コーティング部分反射ミラーをポラライザー６２と偏光回転素子６３を組み合わせた構成に置き換えたものである。
【０００５】
特許文献３の「レーザ発振器」は、内部波長変換型のレーザ共振器において光学部品の損傷防止と共振器の高効率動作を両立させることを目的とする。
そのため、このレーザ共振器は、図７に示すように、レーザ媒質７２を励起して第１波長のレーザ光を発生させるレーザ共振器７０において、レーザ共振器７０の光路上に設置され、第１波長のレーザ光をこの第１波長と異なる第２波長のレーザ光に変換する波長変換素子７４と、レーザ共振器の光路上に設置され、第１波長のレーザ光の損失を制御する損失制御素子７５とを有するものである。
【０００６】
【特許文献１】特開平５−２０６５６０号公報、「Ｑスイッチレーザ」
【特許文献２】特開２００２−３４４０５１号公報、「光共振器、それを備えたレーザ発振器及び波長変換装置」
【特許文献３】特開２００７−５３１６０号公報、「レーザ共振器」
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
上述した特許文献３のレーザ共振器は、損失制御素子７５により第１波長のレーザ光の損失を制御するので、初期条件設定時や共振器立ち上げ時など、波長変換素子７４における波長変換効率が低い状態においても、レーザ共振器内部のレーザ強度の過度の上昇を抑え、光学部品の損傷を防止することができる。
従って、このレーザ共振器は、光学部品の損傷防止と共振器の高効率動作を両立させることができる特徴を有している。
【０００８】
しかし、このレーザ共振器では、楕円偏光のレーザ光が波長変換素子７４に入射する。波長変換素子は本来の偏光成分と、それと直交する偏光成分に対して異なる屈折率を持つため、本来の偏光成分以外が含まれるレーザ光が入射すると波長変換素子内での複屈折作用により偏光の乱れが生じる問題点があった。
【０００９】
図８は、特許文献３のレーザ共振器の第１実施形態図である。この図において、７１ａ，７１ｂは終端ミラー（全反射ミラー）、７２はレーザ媒質（Ｎｄ：ＹＡＧ，Ｎｄ：ＹＬＦなど）、７３は共振器内を往復するレーザ光、７４はパルス動作用のＱスイッチ、７５は損失制御素子、７５ａは偏光選択素子（例えばＰＢＳ）、７５ｂは偏光制御素子（例えば１／４波長板）、７６は出力ミラー、７７は波長変換素子（ＬＢＯ，ＢＢＯなど）、７８は損失光、７９はレーザ光出力（波長変換光）である。
この実施態様では、損失制御素子７５を偏光選択素子７５ａと偏光制御素子７５ｂで構成し、レーザの動作状況に応じて１／４波長板７５ｂを調整し、偏光選択素子７５ａにおける損失光７８を制御する。
【００１０】
しかし、１／４波長板７５ｂを通過した楕円偏光のレーザ光が波長変換素子７７に入射するため、上述した複屈折により１／４波長板７５ｂの回転角度により生じる損失に本来の設計との誤差が生じる。この複屈折作用は結晶長などの設計によって異なるが、これが特に大きくなるような設計においては不適切な調整により光学部品損傷のおそれがある。
手動で１／４波長板７５ｂを調整する場合にはパワーメータ等でレーザの出力、すなわち動作状態を監視しながら調整することにより回避が可能であるが、自動運転などでは出力のフィードバック機構が必要になるほか、制御ロジックも複雑になるという問題点がある。
【００１１】
図９は、特許文献３のレーザ共振器の第２実施形態図である。この図において、７５ａは偏光選択素子（例えばＰＢＳ）、７５ｂは偏光制御素子（例えば１／２波長板）、７５ｃは偏光選択素子（例えばＰＢＳ）であり、その他の符号は、図８と同様である。
この実施態様では、損失制御素子７５を偏光選択素子７５ａ、偏光制御素子７５ｂ、及び偏光選択素子７５ｃで構成し、レーザの動作状況に応じて１／２波長板７５ｂを調整し、偏光選択素子７５ａ，７５ｃにおける損失光７８を制御する。
この実施形態では、偏光選択素子７５ｃによって波長変換素子７７へ入射するレーザ光の偏光が本来の偏光方向に固定されるため上記の現象は起こらないが、偏光選択素子が複数必要であるなど装置が複雑になる問題点がある。
【００１２】
本発明は、上述した問題点を解決するために創案されたものである。
すなわち、本発明の目的は、光学部品の損傷防止と共振器の高効率動作を両立させることができ、波長変換素子へ入射するレーザ光の偏光を波長変換素子に適した本来の偏光方向に固定することができ、かつ単一の偏光選択素子を用いて装置構成を簡略化できるレーザ共振器を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
本発明によれば、第１波長のレーザ光を発生するレーザ媒体と、第１波長のレーザ光をこれと異なる第２波長に変換する波長変換素子とを備えたレーザ共振器であって、
前記レーザ媒体と波長変換素子の間に、第１波長のレーザ光の偏光状態を制御する偏光制御素子と、第１波長のレーザ光のうち波長変換素子に適した偏光成分を前記波長変換素子に向けて伝搬させ、その他の偏光成分を損失光として飛散させる偏光選択素子とを順に備える、ことを特徴とするレーザ共振器が提供される。
【００１４】
本発明の好ましい実施形態によれば、互いに交叉しない第１と第２の直線光路と、該２つの直線光路に交叉する第３の直線光路とを有し、
前記第１直線光路に、第１直線光路上のレーザ光を全反射する第１終端ミラーと、前記波長変換素子と、第１直線光路と第３直線光路の交点に位置し、第１波長のレーザ光を第２直線光路と第３直線光路の交点に向けて高反射し、第２波長のレーザ光を高透過させる出力ミラーとを順に備え、
前記第２直線光路に、第２直線光路上のレーザ光を全反射する第２終端ミラーと、前記レーザ媒体と、前記偏光制御素子と、前記偏光選択素子とを順に備え、
該偏光選択素子は、第２直線光路と第３直線光路の交点に位置し、第１波長のレーザ光のうち波長変換素子に適した偏光成分を前記出力ミラーに向けて反射し、その他の偏光成分を損失光として透過させる。
【００１５】
前記偏光制御素子は、１／４波長板又はポッケルス素子であり、前記偏光選択素子は、ポラライザーであるのがよい。
【００１６】
また、前記第２直線光路の偏光制御素子と偏光選択素子の間にＱスイッチを備えることが好ましい。
【００１７】
また、第２直線光路のレーザ媒体と偏光制御素子の間にＱスイッチを備えてもよい。
【００１８】
また、第１直線光路の波長変換素子と出力ミラーの間にＱスイッチを備えてもよい。
【００１９】
また、第３直線光路の偏光選択素子と出力ミラーの間にＱスイッチを備えてもよい。
【発明の効果】
【００２０】
上記本発明の構成によれば、レーザ媒体と波長変換素子の間に、第１波長のレーザ光の偏光状態を制御する偏光制御素子と、第１波長のレーザ光のうち波長変換素子に適した偏光成分を前記波長変換素子に向けて伝搬させ、その他の偏光成分を損失光として飛散させる偏光選択素子とを順に備えるので、波長変換素子へ入射するレーザ光の偏光を偏光選択素子により波長変換素子に適した本来の偏光方向に固定することができる。
【００２１】
また、本発明の好ましい実施形態によれば、第１終端ミラー、出力ミラー、偏光選択素子、レーザ媒体、および第２終端ミラーの間で第１波長のレーザ光が閉じ込められて往復し、その間に第１波長のレーザ光のビームエネルギーを蓄積することができる。
また、波長変換素子により第１波長のレーザ光をこれと異なる第２波長に変換し、これを出力ミラーを透して外部に波長変換光として出力することができる。
【００２２】
さらに、偏光制御素子と偏光選択素子により、波長変換素子に適した偏光成分以外を損失光として透過させることができるので、光学部品の損傷防止と共振器の高効率動作を両立させることができ、同時に波長変換素子へ入射するレーザ光の偏光を波長変換素子に適した本来の偏光方向に固定することができる。
また、上記構成により偏光選択素子（ポラライザー）は１つで足り、かつ全体構成を簡略化できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２３】
以下、本発明の好ましい実施形態を図面を参照して説明する。なお各図において、共通する部分には同一の符号を付し、重複した説明は省略する。
【００２４】
図１は、本発明によるレーザ共振器の第１実施形態図である。
この図において、本発明のレーザ共振器１０は、第１波長のレーザ光４（以下、基本波という）を励起するレーザ媒体１２と、第１波長のレーザ光をこれと異なる第２波長５（以下、波長変換光という）に変換する波長変換素子１７とを備える。
【００２５】
また本発明のレーザ共振器１０は、さらに、レーザ媒体１２と波長変換素子１７の間に、第１波長のレーザ光の偏光状態を制御する偏光制御素子１５ｂと、第１波長のレーザ光のうち波長変換素子に適した偏光成分を波長変換素子に向けて伝搬させ、その他の偏光成分を損失光として飛散させる偏光選択素子１５ａとを順に備える。
以下、図１に基づき具体的に説明する。
【００２６】
図１において、本発明のレーザ共振器１０は、互いに交叉しない第１と第２の直線光路１，２と、この２つの直線光路１，２に交叉する第３の直線光路３とを有する。
第１直線光路１と第２直線光路２は、この例では互いに平行であるが、本発明はこれに限定されず、互いに交叉しない限りで斜め又は直交してもよい。
第３直線光路３は、この例では第１直線光路１及び第２直線光路２と垂直に交叉しているが、本発明はこれに限定されず、両者に交叉する限りで斜めでもよい。
【００２７】
本発明のレーザ共振器１０は、さらに、第１直線光路１上に、第１終端ミラー１１ａ、波長変換素子１７、出力ミラー１６を（この図で左から）順に備える。
【００２８】
第１終端ミラー１１ａは、全反射ミラーであり、第１直線光路１上のレーザ光を全反射する。このレーザ光には、第１波長のレーザ光（基本波４）と第２波長のレーザ光（波長変換光５）が含まれる。
【００２９】
波長変換素子１７は、ＬＢＯ，ＢＢＯなどであり、光軸方向に光を透過させ、入射する第１波長のレーザ光（基本波４）をこれと異なる第２波長（波長変換光５）に変換して出射する。従って、第１直線光路１上には基本波４と波長変換光５が混在する。
【００３０】
出力ミラー１６は、基本波４に対して高反射ミラーであり、第１直線光路１と第３直線光路３の交点に光軸に対して傾斜して位置する。この傾斜角は、第１直線光路１の光を第３直線光路３に向けて反射するように設定されている。この構成により、出力ミラー１６は、第１波長のレーザ光（基本波４）を第２直線光路２と第３直線光路３の交点に向けて高反射する。
第２直線光路２と第３直線光路３の交点には、後述する偏光選択素子１５ａが配置されており、偏光選択素子１５ａから出力ミラー１６に向かう光（基本波４）は、同様に出力ミラー１６で、第１直線光路１上の波長変換素子１７に向けて高反射される。
出力ミラー１６は、第２波長のレーザ光（波長変換光５）に対しては高透過性を有し、波長変換素子１７を出た波長変換光５をそのまま透過させ、レーザ光出力として外部に取出される。
【００３１】
本発明のレーザ共振器１０は、さらに、第２直線光路２上に、第２終端ミラー１１ｂ、レーザ媒体１２、偏光制御素子１５ｂ、偏光選択素子１５ａを（この図で左から）順に備える。
【００３２】
第２終端ミラー１１ｂは、全反射ミラーであり、第２直線光路２上のレーザ光を全反射する。このレーザ光は、第１波長のレーザ光（基本波４）である。
【００３３】
レーザ媒体１２は、例えばＮｄ：ＹＡＧ，Ｎｄ：ＹＬＦ等の固体レーザ媒体であり、図示しない励起源によりレーザ媒体が励起され、第１波長のレーザ光（基本波４）が発生して第２直線光路２上に出力する。
【００３４】
この例において、偏光選択素子１５ａと偏光制御素子１５ｂにより損失制御素子１５が構成されている。
【００３５】
偏光制御素子１５ｂは、好ましくは１／４波長板であるが、ポッケルス素子であってもよい。偏光制御素子１５ｂは、第１波長のレーザ光（基本波４）の偏光状態を制御する機能を有する。この制御は、偏光状態を変化しない場合と、偏光状態を変化させる場合とを手動又はフィードバックを伴う自動で行う。偏光状態の変化は、偏光方向の変化でも直線偏光を楕円偏光にさせる場合のいずれでもよい。
【００３６】
１／４波長板は、入射方位角が０又は９０度では直線偏光をそのまま通過させ、それ以外の入射方位角では直線偏光を楕円偏光に変換する機能を有する。従って、偏光制御素子１５ｂが１／４波長板である場合、その第２直線光路２に対する回転により第１波長のレーザ光（基本波４）の偏光方向をそのまま通過させることも、楕円偏光に変換することもできる。
【００３７】
ポッケルス素子は、電界を加えると偏光が変化する素子である。従って、偏光制御素子１５ｂがポッケルス素子である場合、電界を加えるための印加電圧のＯＮ／ＯＦＦにより、基本波４の偏光方向を制御することができる。この場合、印加電圧をＯＦＦすることにより、基本波４の偏光方向を変化させないこともできる。
【００３８】
偏光選択素子１５ａは、例えばポラライザーであり、第２直線光路２と第３直線光路３の交点に位置する。偏光選択素子１５ａは、第１波長のレーザ光（基本波４）のうち波長変換素子１７に適した偏光成分を出力ミラー１６に向けて反射し、その他の偏光成分を損失光１８として透過させるようになっている。
【００３９】
上述した本発明の構成によれば、第１終端ミラー１１ａ、出力ミラー１６、偏光選択素子１５ａ、レーザ媒体１２、および第２終端ミラー１１ｂの間で第１波長のレーザ光（基本波４）が閉じ込められて往復し、その間に基本波４のビームエネルギーを蓄積することができる。
また、波長変換素子１７により基本波４をこれと異なる第２波長に変換し、これを出力ミラー１６を透して外部に波長変換光５として出力することができる。
【００４０】
さらに、偏光選択素子１５ａと偏光制御素子１５ｂにより損失制御素子１５が構成されているので、偏光制御素子１５ａと偏光選択素子１５ｂにより、波長変換素子１７に適した偏光成分以外を損失光１８として透過させることができるので、光学部品の損傷防止と共振器の高効率動作を両立させることができる。
【００４１】
すなわち、偏光制御素子１５ｂ（１／４波長板）により偏光状態を変えられたレーザ光は本来の偏光成分と、それに直交する偏光成分からなる。偏光制御素子１５ｂ（ＰＢＳ）により、直交する偏光成分に相当する出力は損失光１８として共振器外に排出される。共振器内に残った出力は偏光制御素子１５ｂ（ＰＢＳ）によって本来の偏光成分のみに戻っているため、波長変換素子１７において複屈折作用を生じない。
従って、偏光選択素子１５ａにより、波長変換素子１７へ入射するレーザ光（基本波４）の偏光を波長変換素子１７に適した本来の偏光方向に固定することができる。
また、上記構成により偏光選択素子１５ａは１つで足り、かつ全体構成を簡略化できる。
【００４２】
図１において、本発明のレーザ共振器１０は、さらに、第２直線光路２の偏光制御素子１５ｂと偏光選択素子１５ａの間にＱスイッチ１４を備える。Ｑスイッチ１４は、好ましくは、ＡＯ−Ｑスイッチ又はＥＯ−Ｑスイッチであるのがよい。
すなわち、本発明のレーザ共振器１０をＡＯ-Ｑスイッチ（又はＥＯ−Ｑスイッチ）によりパルス動作させる場合、偏光制御素子１５ｂ（１／４波長板）の位置は図１のようにＱスイッチ１４を挟んで偏光選択素子１５ａ（ＰＢＳ）の反対側であることが望ましい。
この構成により、本発明のレーザ共振器１０をＱスイッチ１４により作動する高出力パルスレーザとして用いることができる。
【００４３】
図１のレーザ共振器は基本的には直線偏光動作であるため、Ｑスイッチ１４は無偏光用より性能が高い直線偏光用のものを用いる。ただし、直線偏光用のＱスイッチは本来の偏光成分と直交する偏光成分に対しては性能が低い。
この例では、偏光選択素子１５ａにより本来の直線偏光になった光がそのままＱスイッチ１４に（この図で左向きに）入射するためＱスイッチ１４が最適動作する。ただし、レーザ媒質側からＱスイッチ１４へ（この図で右向きに）入射する光は直交する偏光成分を含んでしまうため、その分はＱスイッチの性能低下が生じる。
【００４４】
図２は、本発明によるレーザ共振器の第２実施形態図である。この図において、本発明のレーザ共振器１０は、第２直線光路２のレーザ媒体１２と偏光制御素子１５ｂの間にＱスイッチ１４を備える。その他の構成は図１と同様である。
この構成により、本発明のレーザ共振器１０をＱスイッチ１４により作動する高出力パルスレーザとして用いることができる。
この例では、偏光選択素子１５ａを通過した本来の直線偏光成分のみの光が偏光制御素子１５ｂ（１／４波長板）によって偏光状態を変えられ、直交する偏光成分を含んだ状態でＱスイッチ１４に入射してしまうためＱスイッチ１４の性能が低下する。
【００４５】
図３は、本発明によるレーザ共振器の第３実施形態図である。この図において、本発明のレーザ共振器１０は、第１直線光路１の波長変換素子１７と出力ミラー１６の間にＱスイッチ１４を備える。その他の構成は図１と同様である。
この構成により、本発明のレーザ共振器１０をＱスイッチ１４により作動する高出力パルスレーザとして用いることができる。
この例では、偏光選択素子１５ａを通過した本来の直線偏光成分のみの光がＱスイッチ１４に両方向において入射するためＱスイッチ１４が最適動作する。
【００４６】
図４は、本発明によるレーザ共振器の第４実施形態図である。この図において、本発明のレーザ共振器１０は、第３直線光路３の偏光選択素子１５ａと出力ミラー１６の間にＱスイッチを備える。その他の構成は図１と同様である。
この構成により、本発明のレーザ共振器１０をＱスイッチ１４により作動する高出力パルスレーザとして用いることができる。
この例では、偏光選択素子１５ａを通過した本来の直線偏光成分のみの光がＱスイッチ１４に両方向において入射するためＱスイッチ１４が最適動作する。
【００４７】
上述したように、図１〜図４に示した本発明の第１〜第４実施形態のいずれによっても、偏光制御素子１５ｂと偏光選択素子１５ａにより、波長変換素子１７に適した偏光成分以外を損失光として透過させることができるので、光学部品の損傷防止と共振器の高効率動作を両立させることができ、同時に波長変換結晶１７へ入射するレーザ光の偏光を波長変換素子に適した本来の偏光方向に固定することができる。
また、上記構成により偏光選択素子（ポラライザー）は１つで足り、かつ全体構成を簡略化できる。
さらに、本発明のレーザ共振器１０をＱスイッチ１４により作動する高出力パルスレーザとして用いることができる。
【００４８】
なお、本発明は、上述した実施形態に限定されず、本発明の要旨を逸脱しない範囲で種々に変更することができることは勿論である。
【図面の簡単な説明】
【００４９】
【図１】本発明によるレーザ共振器の第１実施形態図である。
【図２】本発明によるレーザ共振器の第２実施形態図である。
【図３】本発明によるレーザ共振器の第３実施形態図である。
【図４】本発明によるレーザ共振器の第４実施形態図である。
【図５】特許文献１の「Ｑスイッチレーザ」の模式図である。
【図６】特許文献２の「光共振器」の模式図である。
【図７】特許文献３の「レーザ発振器」の模式図である。
【図８】特許文献３のレーザ共振器の第１実施形態図である。
【図９】特許文献３のレーザ共振器の第２実施形態図である。
【符号の説明】
【００５０】
１ 第１直線光路、２ 第２直線光路、３ 第３直線光路、
４ 第１波長のレーザ光（基本波）、
５ 第２波長のレーザ光（波長変換光）、
１０ レーザ共振器、
１１ａ 第１終端ミラー、１１ｂ 第２終端ミラー、
１２ レーザ媒体、１５ 損失制御素子、
１５ａ 偏光選択素子、１５ｂ 偏光制御素子、
１６出力ミラー、１７ 波長変換素子、１８ 損失光
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１波長のレーザ光を発生するレーザ媒体と、第１波長のレーザ光をこれと異なる第２波長に変換する波長変換素子とを備えたレーザ共振器であって、
前記レーザ媒体と波長変換素子の間に、第１波長のレーザ光の偏光状態を制御する偏光制御素子と、第１波長のレーザ光のうち波長変換素子に適した偏光成分を前記波長変換素子に向けて伝搬させ、その他の偏光成分を損失光として飛散させる偏光選択素子とを順に備える、ことを特徴とするレーザ共振器。
【請求項２】
互いに交叉しない第１と第２の直線光路と、該２つの直線光路に交叉する第３の直線光路とを有し、
前記第１直線光路に、第１直線光路上のレーザ光を全反射する第１終端ミラーと、前記波長変換素子と、第１直線光路と第３直線光路の交点に位置し、第１波長のレーザ光を第２直線光路と第３直線光路の交点に向けて高反射し、第２波長のレーザ光を高透過させる出力ミラーとを順に備え、
前記第２直線光路に、第２直線光路上のレーザ光を全反射する第２終端ミラーと、前記レーザ媒体と、前記偏光制御素子と、前記偏光選択素子とを順に備え、
該偏光選択素子は、第２直線光路と第３直線光路の交点に位置し、第１波長のレーザ光のうち波長変換素子に適した偏光成分を前記出力ミラーに向けて反射し、その他の偏光成分を損失光として透過させる、ことを特徴とする請求項１に記載のレーザ共振器。
【請求項３】
前記偏光制御素子は、１／４波長板又はポッケルス素子であり、
前記偏光選択素子は、ポラライザーである、ことを特徴とする請求項１又は２に記載のレーザ共振器。
【請求項４】
前記第２直線光路の偏光制御素子と偏光選択素子の間にＱスイッチを備える、ことを特徴とする請求項２に記載のレーザ共振器。
【請求項５】
前記第２直線光路のレーザ媒体と偏光制御素子の間にＱスイッチを備える、ことを特徴とする請求項２に記載のレーザ共振器。
【請求項６】
前記第１直線光路の波長変換素子と出力ミラーの間にＱスイッチを備える、ことを特徴とする請求項２に記載のレーザ共振器。
【請求項７】
前記第３直線光路の偏光選択素子と出力ミラーの間にＱスイッチを備える、ことを特徴とする請求項２に記載のレーザ共振器。
【請求項１】
第１波長のレーザ光を発生するレーザ媒体と、第１波長のレーザ光をこれと異なる第２波長に変換する波長変換素子とを備えたレーザ共振器であって、
前記レーザ媒体と波長変換素子の間に、第１波長のレーザ光の偏光状態を制御する偏光制御素子と、第１波長のレーザ光のうち波長変換素子に適した偏光成分を前記波長変換素子に向けて伝搬させ、その他の偏光成分を損失光として飛散させる偏光選択素子とを順に備える、ことを特徴とするレーザ共振器。
【請求項２】
互いに交叉しない第１と第２の直線光路と、該２つの直線光路に交叉する第３の直線光路とを有し、
前記第１直線光路に、第１直線光路上のレーザ光を全反射する第１終端ミラーと、前記波長変換素子と、第１直線光路と第３直線光路の交点に位置し、第１波長のレーザ光を第２直線光路と第３直線光路の交点に向けて高反射し、第２波長のレーザ光を高透過させる出力ミラーとを順に備え、
前記第２直線光路に、第２直線光路上のレーザ光を全反射する第２終端ミラーと、前記レーザ媒体と、前記偏光制御素子と、前記偏光選択素子とを順に備え、
該偏光選択素子は、第２直線光路と第３直線光路の交点に位置し、第１波長のレーザ光のうち波長変換素子に適した偏光成分を前記出力ミラーに向けて反射し、その他の偏光成分を損失光として透過させる、ことを特徴とする請求項１に記載のレーザ共振器。
【請求項３】
前記偏光制御素子は、１／４波長板又はポッケルス素子であり、
前記偏光選択素子は、ポラライザーである、ことを特徴とする請求項１又は２に記載のレーザ共振器。
【請求項４】
前記第２直線光路の偏光制御素子と偏光選択素子の間にＱスイッチを備える、ことを特徴とする請求項２に記載のレーザ共振器。
【請求項５】
前記第２直線光路のレーザ媒体と偏光制御素子の間にＱスイッチを備える、ことを特徴とする請求項２に記載のレーザ共振器。
【請求項６】
前記第１直線光路の波長変換素子と出力ミラーの間にＱスイッチを備える、ことを特徴とする請求項２に記載のレーザ共振器。
【請求項７】
前記第３直線光路の偏光選択素子と出力ミラーの間にＱスイッチを備える、ことを特徴とする請求項２に記載のレーザ共振器。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【公開番号】特開２００９−２１２４０６（Ｐ２００９−２１２４０６Ａ）
【公開日】平成２１年９月１７日（２００９．９．１７）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００８−５５７４５（Ｐ２００８−５５７４５）
【出願日】平成２０年３月６日（２００８．３．６）
【出願人】（０００００００９９）株式会社ＩＨＩ (5,014)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２１年９月１７日（２００９．９．１７）
【国際特許分類】
【出願日】平成２０年３月６日（２００８．３．６）
【出願人】（０００００００９９）株式会社ＩＨＩ (5,014)
【Ｆターム（参考）】
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