保持パッド
【課題】長期間安定して被研磨物を保持することができる保持パッドを提供する。
【解決手段】保持パッド１０では、湿式成膜法により複数の発泡３と多数の微細孔６とが連続状に形成された発泡構造を有するポリウレタン樹脂製の発泡シート２を備えている。多数の微細孔６の大きさは、発泡３の大きさより小さく形成されている。発泡シート２に形成された発泡構造において、多数の微細孔６内に耐性樹脂５が、微細孔６の容積に対する耐性樹脂５の体積の割合が３０％以上となるように存在している。耐性樹脂５は、樹脂エマルションを発泡シート２に含浸させることで形成されたものである。耐性樹脂５により発泡シート２の発泡構造が補強され、微細孔６の表面が保護される。
【解決手段】保持パッド１０では、湿式成膜法により複数の発泡３と多数の微細孔６とが連続状に形成された発泡構造を有するポリウレタン樹脂製の発泡シート２を備えている。多数の微細孔６の大きさは、発泡３の大きさより小さく形成されている。発泡シート２に形成された発泡構造において、多数の微細孔６内に耐性樹脂５が、微細孔６の容積に対する耐性樹脂５の体積の割合が３０％以上となるように存在している。耐性樹脂５は、樹脂エマルションを発泡シート２に含浸させることで形成されたものである。耐性樹脂５により発泡シート２の発泡構造が補強され、微細孔６の表面が保護される。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、保持パッドにかかり、特に、被研磨物を保持するための保持面を有しており、湿式成膜法により、複数の発泡と、多数の微細孔とが連続状に形成された発泡構造を有する発泡シートを備えた保持パッドに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、レンズ、平行平面板、反射ミラー等の光学材料、ハードディスク用アルミニウム基板、半導体デバイス用シリコンウエハ、液晶ディスプレイ用マザーガラス、例えば、ＳＴＮ（Ｓｕｐｅｒ−Ｔｗｉｓｔｅｄ Ｎｅｍａｔｉｃ）液晶やＴＮ（Ｔｗｉｓｔｅｄ Ｎｅｍａｔｉｃ）液晶のソーダライムガラス、また、ＴＦＴ（Ｔｈｉｎ Ｆｉｌｍ Ｔｒａｎｓｉｓｔｏｒ）液晶の無アルカリガラス等、高精度に平坦性が要求される材料（被研磨物）では、それらの製造過程で研磨加工が行われている。通常、これらの被研磨物の研磨加工には、被研磨物を片面ずつ研磨加工する片面研磨機や被研磨物の両面を同時に研磨加工する両面研磨機等が使用されている。片面研磨機では、表面が平坦な保持定盤に被研磨物の一面側を保持させ、表面が平坦な研磨定盤に貼付した研磨パッドにより、研磨液（スラリ）を供給しながら被研磨物の他面側（加工表面）に研磨加工が行われている。
【０００３】
片面研磨機を使用した研磨加工では、保持定盤および研磨パッド間の平行度のバラツキや研磨加工中に発生する偏荷重を吸収し、被研磨物を保持定盤に略平坦に保持する目的で、保持定盤に保持パッドが装着されている。通常、保持パッドには、湿式成膜法で形成されたポリウレタン樹脂製の発泡シートが使用されている。湿式成膜法では、ポリウレタン樹脂を水混和性の有機溶媒に溶解させた樹脂溶液をシート状の成膜基材に塗布後、水系凝固液中に浸漬することで樹脂がシート状に凝固再生される。得られた発泡シートでは、被研磨物と接触する面側に緻密なスキン層を有し、スキン層より内側に厚さ方向に縦長で、スキン層の反対の面（以下、裏面という。）側で拡径された複数の発泡と、発泡の平均径より小さい平均径の多数の微細孔とが連続状に形成された発泡構造を有している。このような発泡構造を有することで、研磨加工中にクッション性が発揮されるので、被研磨物を略平坦に保持することができる。スキン層は、表面が平坦で被研磨物との接触性に優れるため、水張り吸着により固定することで被研磨物を確実に保持できる。つまり、スキン層の表面が被研磨物を保持するための保持面となる。
【０００４】
ところが、湿式成膜法により形成された保持パッドでは、研磨加工中に、酸性やアルカリ性の性質を有するスラリや、被研磨物からの溶出成分、例えば、上述したソーダライムガラスから溶出したアルカリ成分がスキン層に接触するために、長期間使用するとスキン層が劣化することがある。また、スラリや被研磨物からの溶出成分が劣化したスキン層を介して徐々に内部に浸透することもある。スラリや被研磨物からの溶出成分が発泡シート内部に形成された発泡や微細孔内に入り込むと、これらの化学的作用により、発泡シートの樹脂部分が発泡や微細孔内から浸食され、発泡シートの劣化が急速に進行してしまう。また、研磨加工では発泡シートと被研磨物とが摺接するため、発泡シートに繰り返し剪断応力がかかる。このため、発泡シートの微細孔が形成されている樹脂部分がちぎれやすく、発泡構造が破壊され元に戻らなくなる、いわゆる「凝集破壊」が発生しやすくなる。凝集破壊が発生すると、クッション性が損なわれるので、被研磨物を略平坦に保持することできなくなる。
【０００５】
これらの問題を回避するために、例えば、保持パッドの耐酸性、耐アルカリ性を改善する技術として、例えば、エアバック方式の研磨ヘッドに半導体を保持させるために塩化ビニルを材料とする弾性体が開示されている（特許文献１参照）。また、耐酸性、耐アルカリ性を有するポリオレフィンやポリフェニレンスルフィドの繊維を用いた保持パッドが開示されている（特許文献２参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００７−３２４４９７号公報
【特許文献２】特開２００９−８８４５６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、特許文献１の技術では、水の表面張力等により弾性体の表面で被研磨物を保持することができるものの、上述した湿式成膜法による発泡シートと比べると被研磨物保持性が十分とはいえず、被研磨物の横ずれを抑制することが難しい。特許文献２では、繊維材を用いたことで研磨加工中に被研磨物の横ずれを抑制することが難しくなる。被研磨物の保持に必要なクッション性や保持性を長期間維持すること、すなわち、酸性やアルカリ性による発泡シートの劣化を抑制し、発泡構造を維持することができれば、長期間安定して被研磨物を保持することが期待できる。
【０００８】
本発明は上記事案に鑑み、長期間安定して被研磨物を保持することができる保持パッドを提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記課題を解決するために、被研磨物を保持するための保持面を有しており、湿式成膜法により、前記保持面より内側に、複数の発泡と、前記複数の発泡間に該複数の発泡の平均径より小さい平均径の多数の微細孔とが連続状に形成された発泡構造を有する発泡シートを備えた保持パッドにおいて、前記発泡シートは、ポリウレタン系の第１の樹脂で形成されており、前記多数の微細孔内に、前記第１の樹脂より耐酸性ないし耐アルカリ性の高い第２の樹脂が前記微細孔の容積に対する前記第２の樹脂の存在する体積の割合が３０％以上となるように含有されたことを特徴とする。
【００１０】
本発明では、発泡シートの微細孔内にポリウレタン系の第１の樹脂より耐酸性ないし耐アルカリ性の高い第２の樹脂が、微細孔の容積に対する第２の樹脂の存在する体積の割合が３０％以上となるように含有されたため、微細孔の表面が第２の樹脂で保護されることで、研磨加工時に供給されるスラリや被研磨物からの溶出成分の化学的作用による保持面ないし発泡シート内部の劣化が抑制されると共に、発泡構造が第２の樹脂により補強されるので、研磨加工時に発泡シートに剪断応力がかかっても、長期間安定して被研磨物を保持することができる。
【００１１】
この場合において、第２の樹脂は、多数の微細孔の表面に被膜を形成すると共に、微細孔内に存在する容積の割合が微細孔の体積に対して７０％以上となるように含有されることが好ましい。第２の樹脂を発泡構造を有する発泡シートに樹脂エマルションを含浸させることで形成することができる。樹脂エマルションの分散相の径を１μｍ以下とすることが好ましい。樹脂エマルションをシリコーンゴム、フッ素ゴム、塩素化ポリエチレンゴム、クロロスルホン化ポリエチレンゴム、エピクロロヒドリンゴム、アクリロニトリルブタジエンゴム、水素化アクリロニトリル−ブタジエンゴム、エチレン−プロピレンゴム、クロロプレンゴム、ブチルゴム、スチレン−ブタジエンゴム、ブタジエンゴム、から選択される少なくとも１種で形成することができる。発泡シートでは液温が４０℃でｐＨ１４の水酸化ナトリウム水溶液に８時間浸漬した前後における引張強度保持率が８０％以上であることが好ましい。発泡シートでは液温が４０℃でｐＨ１の塩酸水溶液に２４時間浸漬した前後における引張強度保持率が８０％以上であることが好ましい。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、発泡シートの微細孔内にポリウレタン系の第１の樹脂より耐酸性ないし耐アルカリ性の高い第２の樹脂が、微細孔の容積に対する第２の樹脂の存在する体積の割合が３０％以上となるように含有されたため、微細孔の表面が第２の樹脂で保護されることで、研磨加工時に供給されるスラリや被研磨物からの溶出成分の化学的作用による保持面ないし発泡シート内部の劣化が抑制されると共に、発泡構造が第２の樹脂により補強されるので、研磨加工時に発泡シートに剪断応力がかかっても、長期間安定して被研磨物を保持することができる、という効果を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】本発明を適用した実施形態の保持パッドを模式的に示す断面図である。
【図２】実施形態の保持パッドの製造工程の概略を示す工程図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下、図面を参照して、本発明を適用した保持パッドの実施の形態について説明する。
【００１５】
（構成）
図１に示すように、本実施形態の保持パッド１０は、湿式成膜法によりポリウレタン系の第１の樹脂で形成された発泡シート２を備えている。ポリウレタン系の第１の樹脂は、主鎖中にウレタン結合をもつ樹脂であり、本例では、ポリウレタン樹脂が用いられている。発泡シート２は、保持面Ｐを有している。
【００１６】
発泡シート２は、保持面Ｐ側に湿式成膜時に形成されたスキン層４を有しており、保持面Ｐの反対の面（以下、裏面Ｑという。）側に厚みが一様となるようにバフ処理が施されている。発泡シート２には、厚み方向に沿って丸みを帯びた断面三角状の複数の発泡３が略均等に分散した状態で形成されている。発泡３は、保持面Ｐ側の平均孔径が裏面Ｑ側の平均孔径より小さく形成されている。すなわち、発泡３は保持面Ｐ側より裏面Ｑ側で拡径されている。複数の発泡３には、発泡シート２の厚さ全体に亘り縦長の発泡３や、発泡シート２の厚さの半分に満たない長さの発泡３がある。発泡シート２では、裏面Ｑ側がバフ処理されており、複数の発泡３の少なくとも一部がバフ処理された面（裏面Ｑ）側で開口している。発泡３の間のポリウレタン樹脂中には、平均孔径が発泡３より小さい多数の微細孔６が形成されている。電子顕微鏡写真で観察した発泡シート２の断面画像を二値化処理することで計測した微細孔６の円相当径は、１５μｍ以下に設定されている。発泡シート２の発泡３および微細孔６は、連通孔で網目状に連通されている。すなわち、発泡シート２は連続状の発泡構造を有している。湿式成膜法で形成された発泡シート２の連続状の発泡構造において、多数の微細孔６のうち少なくとも一部の微細孔６の表面に、第２の樹脂としての耐性樹脂５が連続状の被膜を形成するように存在している。すなわち、微細孔６内には、耐性樹脂５の相が形成されている。
【００１７】
ここで、耐性樹脂５について説明する。耐性樹脂５は、連通孔を通して微細孔６の表面がほぼコートされた状態（被膜の状態）で連続状に形成されている。耐性樹脂５が連続状の相をなしている。微細孔６では、１つの微細孔６内の大部分に耐性樹脂５の相が形成されている微細孔６と、耐性樹脂５の相が殆ど形成されていない微細孔６とが形成されている。すなわち、個々の微細孔６内に存在する耐性樹脂５の量は、耐性樹脂５の被膜の厚さによって異なる。耐性樹脂５の相の形成前の多数の微細孔６に対する耐性樹脂５の充填率は、３０％以上に設定されている。耐性樹脂５の充填率は、耐性樹脂５の相の形成前の多数の微細孔６の空隙部分の体積に対する、耐性樹脂５の体積が占める割合を百分率で表したものである。
【００１８】
耐性樹脂５の充填率の算出方法について説明する。まず、耐性樹脂５の相の形成前に、発泡シートの断面写真を走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）にて撮影し、二値化処理した画像から、微細孔６の孔径を円相当径として面積を発泡シート１ｍ２のうち５点を測定し、この平均の値をＡとすると、耐性樹脂５の形成前の微細孔６の空隙部分の体積（微細孔６の容積）はπＡ３／６で表される。同様にして、耐性樹脂５の相を形成後に、多数の微細孔６の空隙部分（耐性樹脂５の相が形成されていない部分）の孔径を円相当径として測定し、この平均の値をＢとすると、耐性樹脂５の形成後の微細孔６の空隙部分の容積はπＢ３／６で表される。耐性樹脂５の存在する体積を、耐性樹脂５の相の形成前と形成後との微細孔６の空隙部分の体積の差、すなわち、π（Ａ３−Ｂ３）／６とすると、耐性樹脂５の充填率は（Ａ３−Ｂ３）／Ａ３×１００の式で算出される。
【００１９】
耐性樹脂５は、発泡シート２を形成するポリウレタン樹脂と比べて耐酸性ないし耐アルカリ性の高い樹脂で形成される。耐酸性としては、耐性樹脂５の相が形成された発泡シート２を液温が４０℃でｐＨ１の塩酸水溶液に２４時間浸漬した後の引張強度をＡ１とし、当該塩酸水溶液に浸漬する前の引張強度をＢ１としたときに、Ａ１／Ｂ１×１００で表される引張強度保持率が８０％以上を示す。一方、耐アルカリ性としては、液温が４０℃でｐＨ１４の水酸化ナトリウム水溶液に８時間浸漬した後の引張強度をＡ２とし、当該水酸化ナトリウム水溶液に浸漬する前の引張強度をＢ２としたときに、Ａ２／Ｂ２×１００で表される引張強度保持率が８０％以上を示す。このような樹脂としては、ゴム材を挙げることができ、具体的には、シリコーンゴム、フッ素ゴム、塩素化ポリエチレンゴム、クロロスルホン化ポリエチレンゴム、エピクロロヒドリンゴム、アクリロニトリルブタジエンゴム、水素化アクリロニトリル−ブタジエンゴム、エチレン−プロピレンゴム、クロロプレンゴム、ブチルゴム、スチレン−ブタジエンゴム、ブタジエンゴム、から選択される少なくとも１種が使用されている。本例では、耐性樹脂５として、耐酸性および耐アルカリ性の両性質共にポリウレタン樹脂より高いクロロプレンゴムが用いられている。耐酸性ないし耐アルカリ性に優れた耐性樹脂５が微細孔６内に存在することで、耐性樹脂５が発泡シート２を保護する機能を果たすこととなる。
【００２０】
耐性樹脂５は、クロロプレンゴムのエマルション（樹脂エマルション）を発泡シート２に含浸させることで形成される。樹脂エマルションの分散相の径は、１μｍ以下に設定されている。発泡シート２において、裏面Ｑ側に発泡３が開口した開口４が形成され、発泡３および微細孔６が連通孔で連通されて形成された発泡構造を有しているため、発泡シート２に樹脂エマルションを含浸させることで、樹脂エマルションを発泡３や連通孔を通して微細孔６内に浸透させることができる。
【００２１】
また、保持パッド１０は、裏面Ｑ側に、研磨機に保持パッド１０を装着するための両面テープ７の一面側が貼り合わされている。両面テープ７は、ポリエチレンテレフタレート（以下、ＰＥＴと略記する。）等の基材を有しており、その両表面に粘着剤が塗布されている。両面テープ７の他面側（最下面側）に剥離紙８を有している。
【００２２】
（製造）
図２に示すように、保持パッド１０は、ポリウレタン樹脂を溶解させた樹脂溶液を準備する準備工程、樹脂溶液を成膜基材に連続的に塗布する塗布工程、水系凝固液中でポリウレタン樹脂をシート状に凝固再生させる凝固再生工程、凝固再生したポリウレタン樹脂を洗浄し乾燥させる洗浄・乾燥工程、厚みを均一化させるように研削処理を施す研削工程、発泡シート２に樹脂エマルションを含浸させ、乾燥させる含浸・乾燥工程、発泡シート２と両面テープ７とを貼り合わせるラミネート加工工程を経て製造される。以下、工程順に説明する。
【００２３】
準備工程では、ポリウレタン樹脂、ポリウレタン樹脂を溶解可能な水混和性の有機溶媒のＮ，Ｎ−ジメチルホルムアミド（以下、ＤＭＦと略記する。）および添加剤を混合してポリウレタン樹脂を溶解させる。ポリウレタン樹脂には、ポリエステル系、ポリエーテル系、ポリカーボネート系等の樹脂から１００％樹脂モジュラスが５〜２０ＭＰａの範囲の樹脂を選択して用い、例えば、ポリウレタン樹脂が３０質量％となるようにＤＭＦに溶解させる。添加剤としては、発泡３の大きさや数量（個数）を制御するため、カーボンブラック等の顔料、発泡形成を促進させる親水性活性剤およびポリウレタン樹脂の凝固再生を安定化させる疎水性活性剤等を用いることができる。得られた溶液を減圧下で脱泡してポリウレタン樹脂溶液を得る。
【００２４】
塗布工程では、準備工程で調製されたポリウレタン樹脂溶液を常温下でナイフコータ等の塗布装置により帯状の成膜基材に略均一に塗布する。このとき、ナイフコータと成膜基材との間隙を調整することで、ポリウレタン樹脂溶液の塗布厚み（塗布量）を調整する。成膜基材には、不織布、織布等を用いることもできるが、本例では、ＰＥＴ製フィルムを用いる。
【００２５】
凝固再生工程では、塗布工程で成膜基材に塗布されたポリウレタン樹脂溶液を、ポリウレタン樹脂に対して貧溶媒である水を主成分とする凝固液（水系凝固液）に案内する。凝固液中では、まず、塗布されたポリウレタン樹脂溶液の表面側に厚さ数μｍ程度のスキン層４が形成される。その後、ポリウレタン樹脂溶液中のＤＭＦと凝固液との置換の進行によりポリウレタン樹脂が成膜基材の片面にシート状に凝固再生する。ＤＭＦがポリウレタン樹脂溶液から脱溶媒し、ＤＭＦと凝固液とが置換することにより、スキン層４の内側（ポリウレタン樹脂中）に発泡３および多数の微細孔６が形成され、発泡３および多数の微細孔６を網目状に連通する連通孔が形成される。このとき、成膜基材のＰＥＴ製フィルムが水を浸透させないため、ポリウレタン樹脂溶液の表面側（スキン層４側）で脱溶媒が生じて成膜基材側が表面側より大きな発泡３が形成される。
【００２６】
洗浄・乾燥工程では、凝固再生工程で凝固再生したシート状のポリウレタン樹脂（以下、成膜樹脂という。）を成膜基材から剥離し、水等の洗浄液中で洗浄して成膜樹脂中に残留するＤＭＦを除去する。洗浄後、成膜樹脂をシリンダ乾燥機で乾燥させる。シリンダ乾燥機は内部に熱源を有するシリンダを備えている。成膜樹脂がシリンダの周面に沿って通過することで乾燥する。乾燥後の成膜樹脂は、ロール状に巻き取られる。
【００２７】
研削処理工程では、成膜樹脂のスキン層４と反対の面側にバフ処理等の研削処理を施す。すなわち、圧接治具の略平坦な表面を成膜樹脂のスキン層４の表面に圧接し、スキン層４の反対面側にバフ処理を施す。これにより、複数の発泡３の少なくとも一部が開口した裏面Ｑが形成され、成膜樹脂の厚みが均一化される。
【００２８】
含浸・乾燥工程では、耐酸性および耐アルカリ性を有するクロロプレンゴムを水等の分散媒に分散させた樹脂エマルションをバフ処理後の成膜樹脂に含浸もしくはコーティングする。樹脂エマルションに含浸された成膜樹脂では、裏面Ｑ側に形成された発泡３の開口から樹脂エマルションが浸入し、発泡３や連通孔を通して微細孔６内にまで入り込む。すなわち、成膜樹脂は樹脂エマルションで濡れることとなる。含浸後、成膜樹脂は低荷重下でマングルローラにより余分な樹脂エマルションが絞り落とされる。微細孔６内に残る樹脂エマルションの量は、微細孔６の大きさや、微細孔６の発泡３からの距離によっても左右されるが、マングルローラの荷重を調整することで、調整することができる。このとき、発泡３が拡径された裏面Ｑ側で開口しているため、発泡シート２に樹脂エマルションを含浸させると、発泡３では樹脂エマルションが開口からすぐに流れ出るのに対して、微細孔６では樹脂エマルションの表面張力により樹脂エマルションの多くが微細孔６内に残る。この結果、樹脂エマルションは、発泡３内には殆ど存在せず、微細孔６内に多く入り込むこととなる。その後、成膜樹脂を乾燥機で乾燥させる。このとき、樹脂エマルションのうち、分散媒の水等が先に蒸発し、分散相のポリウレタン樹脂が後で固化する。同様の操作を２〜５回繰り返し行うことで充填率を調整し、耐性樹脂５で微細孔６の表面がほぼコートされた状態で発泡シート２が形成される。
【００２９】
ラミネート加工工程では、得られた発泡シート２の裏面Ｑに両面テープ７の一面側を貼り合わせる。両面テープ７の他面側は剥離紙８で覆われている。汚れや異物等の付着がないことを確認する等の検査を行い、保持パッド１０を完成させる。
【００３０】
（作用）
次に、本実施形態の保持パッド１０の作用等について説明する。
【００３１】
本実施形態では、多くの微細孔６内に耐性樹脂５の相が形成されている。耐性樹脂５では、ポリウレタン樹脂より耐酸性および耐アルカリ性の高いクロロプレンゴムが用いられている。耐性樹脂５を形成するクロロプレンゴムが発泡シート２を形成するポリウレタン樹脂より耐酸性および耐アルカリ性に優れるため、微細孔６の表面が耐性樹脂５で保護される。すなわち、研磨加工時に供給されるスラリや被研磨物から溶出するアルカリ等の成分でスキン層４が劣化し、その劣化したスキン層４を介して微細孔６内に徐々に浸透しても、耐性樹脂５により発泡シート２が内部から保護される。また、耐性樹脂５は、微細孔６内に存在することで発泡シート２を補強する機能も有している。このため、研磨加工時に剪断応力がかかっても、発泡構造が保たれるので、長期間安定して被研磨物を保持することができる。
【００３２】
また、本実施形態では、微細孔６の表面が耐性樹脂５で保護されることで、スラリや被研磨物の溶出成分の化学的作用による劣化が抑制されるため、スラリの液性や被研磨物の溶出成分が発泡構造に与える影響を低減することができる。この結果、被研磨物やスラリの液性に制限されることなく保持パッド１０を使用することができ、長期間の安定使用が可能な分、保持パッド１０自体の交換頻度が低減し研磨効率の向上を図ることができる。
【００３３】
更に、本実施形態では、耐性樹脂５の形成前の多数の微細孔６に対する耐性樹脂５の充填率が３０％以上に設定されている。耐性樹脂５の充填率が３０％を下回る場合、スラリが微細孔６の表面に接触する割合が多くなり、耐性樹脂５の保護機能が不十分となるため、スラリによる発泡シート２の劣化を抑制する効果が得られなくなる。また、耐性樹脂５の発泡シート２を補強する機能も十分に発揮されず、研磨加工中に発泡シート２に繰り返しかかる剪断応力による発泡シート２の破壊を抑制することが難しくなる。このため、被研磨物を長期間安定して保持することができなくなり、被研磨物が保持パッドから外れて破損してしまう。
【００３４】
また更に、本実施形態では、耐性樹脂５が樹脂エマルションの含浸により形成されている。また、樹脂エマルションの分散相の径が１μｍ以下に設定されている。このため、樹脂エマルションが発泡３や連通孔を通して微細孔６まで浸透することで、耐性樹脂５を微細孔６内に連続状に形成することができる。また、本実施形態では、研削処理により複数の発泡３が開口している。このため、含浸・乾燥工程において、発泡３や連通孔を通して微細孔６内に樹脂エマルションを容易に浸透させることができる。
【００３５】
なお、本実施形態では、耐性樹脂５の相が微細孔６内に形成されている例を示したが、本発明はこれに限定されるものではなく、発泡３の表面の少なくとも一部にも形成されていてもよい。このことは、裏面Ｑ側における発泡３の開口の大きさを調整すること、すなわち、研削処理工程でのバフ量の調整や、含浸・乾燥工程でのマングルローラの荷重調整により実現することができる。このようにすれば、耐性樹脂５が、発泡構造を補強する機能をより向上させることができる。また、本実施形態では、耐性樹脂５の相の形成前の多数の微細孔６に対する耐性樹脂５の充填率が３０％以上に設定されている例を示したが、発泡構造をより補強させることを考慮すれば、耐性樹脂５の充填率を７０％以上とすることがより好ましい。
【００３６】
また、本実施形態では、耐性樹脂５、すなわち、樹脂エマルションに用いる樹脂として耐酸性および耐アルカリ性の両性質がポリウレタン樹脂より高いクロロプレンゴムを例示したが、本発明はこれに限定されるものでない。発泡シート２を形成するポリウレタン樹脂と比べて、耐酸性ないし耐アルカリ性が高い材料、換言すれば、耐酸性および耐アルカリ性のうち少なくとも一方が高い材料であれば、いかなる材料も使用することができる。このような材料としては、例えば、フッ素ゴム、塩素化ポリエチレンゴム、クロロスルホン化ポリエチレンゴム、エピクロロヒドリンゴム、アクリロニトリル−ブタジエンゴム、水素化アクリロニトリル−ブタジエンゴム、エチレン−プロピレンゴム、クロロプレンゴム、ブチルゴム、スチレン−ブタジエンゴム、ブタジエンゴムから選択される少なくとも１種を挙げることができる。耐性樹脂５として、ポリウレタン樹脂と比べて耐酸性のみが高い材料を用いた場合、酸性のスラリを使用することができる。反対に、ポリウレタン樹脂と比べて耐アルカリ性のみが高い材料を用いた場合、アルカリ性のスラリを使用することができる。
【００３７】
更に、本実施形態では、樹脂エマルションの分散媒として水等を用いる例を示したが、本発明はこれに限定されるものではなく、発泡シート２に用いるポリウレタン系の樹脂を溶解しなければ、水以外の液体を使用してもよい。例えば、分散媒としてアルコール等を含ませた液体を使用してもよい。また、本実施形態では、耐性樹脂５の形成に樹脂エマルションを用いる例を示したが、本発明はこれに限定されるものではない。例えば、樹脂エマルション以外に樹脂溶液を用いてもよい。この場合、樹脂溶液に使用する溶媒を、耐性樹脂５に用いる樹脂を溶解可能で、発泡シート２に用いるポリウレタン系の樹脂を溶解しないものとすることが好ましい。また、本実施形態では、樹脂エマルションの分散相の径を１μｍ以下とする例を示したが、本発明はこれに制限されるものではない、微細孔６内に樹脂エマルション（分散相）を十分に、かつ、偏在することなく浸透させることを考慮すれば、分散相の径を１μｍ以下とすることが好ましい。
【００３８】
また更に、本実施形態では、発泡シート２にポリウレタン樹脂を用いる例を示したが、本発明はこれに限定されるものではなく、ポリウレタン系であれば、他の樹脂を使用してもよい。例えば、ポリウレタン系グラフト共重合体やポリウレタン系ブロック共重合体等を使用してもよい。また、本実施形態では、発泡シート２に用いるポリウレタン樹脂には、ポリエステル系、ポリエーテル系、ポリカーボネート系等の樹脂から１００％樹脂モジュラス（２倍長に引っ張る時の張力）が５〜２０ＭＰａの範囲の樹脂を選択して用いることが好ましい。このようにすれば、保持パッド１０の保持面Ｐに被研磨物を密着するように保持させることができる。また、耐性樹脂５を微細孔６内に含有させても、保持パッドとして必要なクッション性も確保することができる。
【００３９】
また更に、本実施形態では、発泡シート２の作製時に、ポリウレタン樹脂を凝固再生させた後、成膜基材を剥離して、両面テープ７を貼り合わせる例を示したが、本発明はこれに限定されるものではない。例えば、ポリウレタン樹脂を凝固再生させた後、成膜基材を剥離せず、両面テープ７を貼り合わせてもよい。また、成膜樹脂と成膜基材とが剥離しにくいように、予め接着性のよい樹脂を塗布した成膜基材上にポリウレタン樹脂を凝固再生させて、成膜基材をそのまま残してもよい。また、成膜基材に不織布を用いた場合は、成膜樹脂から剥離することが難しいため、成膜基材を剥離せずそのまま乾燥させてもよい。更に、両面テープ７としては、基材の両面に粘着剤が塗布されていてもよく、基材を有することなく粘着剤のみで構成されてもよい。
【００４０】
また、本実施形態では、研削処理工程で発泡シート２の裏面Ｑ側をバフ処理する例を示したが、本発明はこれに限定されるものではない。例えば、研削工程ではバフ処理以外にも、発泡３を開口させることができる方法であればよい。例えば、スライス機を用いたスライス処理等を施してもよい。また、保持面Ｐ側にスキン層４が除去されない程度の軽度なサンディング（ドレス処理）を施してもよく、保持面Ｐ側にバフ処理やスライス処理を施しスキン層４を除去してもよい。保持面Ｐにドレス処理やバフ処理等を施した場合、研磨加工後に被研磨物を保持パッドから取り外す作業が容易となるため、被研磨物の破損を防ぐことができる。
【実施例】
【００４１】
以下、本実施形態に従い製造した発泡シート２の実施例について説明する。なお、比較のために製造した比較例の発泡シートについても併記する。
【００４２】
（実施例１）
実施例１では、発泡シート２の作製にポリウレタン樹脂として、ポリエステルＭＤＩ（ジフェニルメタンジイソシアネート）ポリウレタン樹脂を用いた。このポリウレタン樹脂を溶解させた３０質量％の溶液１００部に対して、溶媒のＤＭＦの４５部、顔料としてカーボンブラックの３０質量％を含むＤＭＦ分散液の４０部を添加し混合してポリウレタン樹脂溶液を調製した。得られたポリウレタン樹脂溶液を成膜基材に塗布後、凝固液中で凝固再生させた。凝固再生後のポリウレタン樹脂から成膜基材を剥離し、洗浄・乾燥後、厚さが一様となるように裏面Ｑ側に研削処理を施し、厚さ１ｍｍの発泡シート２を得た。クロロプレンゴム（電気化学工業株式会社製、ＬＭ−５０）を水等に分散させた樹脂エマルションを研削処理後のポリウレタン樹脂に含浸・乾燥させる操作を３回繰り返し行い、耐性樹脂５の相が形成された実施例１の発泡シート２を得た。このとき、耐性樹脂５の充填率が３０％であった。
【００４３】
（実施例２）
実施例２では、含浸・乾燥工程での繰り返し回数を増やし耐性樹脂５の充填率を７０％とすること以外は実施例１と同様にして実施例２の発泡シート２を作製した。
【００４４】
（比較例１）
比較例１では、研削処理後のポリウレタン樹脂に耐性樹脂５の相を形成しないこと以外は実施例１と同様にして比較例１の発泡シートを作製した。すなわち、比較例１の発泡シートは、従来の発泡シートである。
【００４５】
（比較例２）
比較例２では、含浸・乾燥工程での繰り返し回数を減らし耐性樹脂５の充填率を１５％とすること以外は実施例１と同様にして比較例２の発泡シートを作製した。
【００４６】
（評価１）
各実施例及び比較例の発泡シートについて、それぞれ引張強度を測定した。測定では、各発泡シートから切り出した試料片、すなわち、幅１０ｍｍの短冊状の試料片（厚さはいずれも１ｍｍ。）を用い、引張万能試験機（エイ・アンド・デイ社製、ＲＴＣ−１２１０Ａ）を使用した。測定方法は日本工業規格（ＪＩＳ Ｋ６５５０）に準じた方法で測定した。その後、実施例及び比較例の発泡シートを液温が４０℃でｐＨ１４の水酸化ナトリウム水溶液に８時間浸漬した。浸漬後、それぞれの発泡シートについて、再度、引張強度を測定した。水酸化ナトリウム水溶液に浸漬前後における引張強度保持率を算出した。引張強度の測定結果および引張強度保持率を下表１に示す。
【００４７】
【表１】
【００４８】
表１に示すように、引張強度保持率において、耐性樹脂５が形成されていない比較例１では６６％、耐性樹脂５の充填率が１５％の比較例２では７１％を示した。これらに対して、耐性樹脂５の充填率が３０％の実施例１では８９％、耐性樹脂５の充填率が７０％の実施例２では９７％を示した。すなわち、比較例１では最も低い値を示し、比較例２では比較例１より高い値を示したものの、実施例１、２より低い値を示した。これは、比較例１では耐性樹脂５が形成されておらず、比較例２では耐性樹脂５で微細孔６表面が十分に被覆されないため、いずれも微細孔６表面の水酸化ナトリウム水溶液と接触する割合が実施例１、２より大きく、発泡シートの劣化、すなわち、加水分解の進行を抑制することができないためと考えられる。これらに対して、実施例１、２では、比較例１、２より高い値を示し、いずれも８０％以上であった。これは、実施例１、２では、微細孔６の表面が耐性樹脂５で保護されたことで、発泡シート２の劣化が抑制されたためと考えられる。これにより、実施例１、２は耐アルカリ性に優れており、研磨加工時に発泡シートに剪断応力がかかっても、長期間安定した研磨加工を行うことが期待できる。
【００４９】
（評価２）
各実施例及び比較例の発泡シートについて、それぞれ引張強度を測定した。測定では、引張万能試験機（エイ・アンド・デイ社製、ＲＴＣ−１２１０Ａ）を使用した。測定方法は日本工業規格（ＪＩＳ Ｋ６５５０）に準じた方法で測定した。その後、実施例及び比較例の発泡シートを液温が４０℃でｐＨ１の塩酸水溶液に２４時間浸漬した。浸漬後、それぞれの発泡シートについて、再度、引張強度を測定した。塩酸水溶液に浸漬前後における引張強度保持率を算出した。引張強度の測定結果および引張強度保持率を下表１に示す。
【００５０】
【表２】
【００５１】
表２に示すように、引張強度保持率において、耐性樹脂５が形成されていない比較例１では７０％、耐性樹脂５の充填率が１５％の比較例２では７７％を示した。これらに対して、耐性樹脂５の充填率が３０％の実施例１では８９％、耐性樹脂５の充填率が７０％の実施例２では９２％を示した。すなわち、比較例１では最も低い値を示し、比較例２では比較例１より高い値を示したものの、実施例１、２より低い値を示した。これは、比較例１では耐性樹脂５が形成されておらず、比較例２では耐性樹脂５で微細孔６表面が十分に被覆されないため、いずれも微細孔６表面の塩酸水溶液と接触する割合が実施例１、２より大きく、発泡シートの劣化、すなわち、加水分解の進行を抑制することができないためと考えられる。これらに対して、実施例１、２では、比較例１、２より高い値を示し、いずれも８０％以上であった。これは、実施例１、２では、微細孔６の表面が耐性樹脂５で保護されたことで、発泡シート２の劣化が抑制されたためと考えられる。これにより、実施例１、２は耐酸性に優れており、研磨加工時に発泡シートに剪断応力がかかっても、長期間安定した研磨加工を行うことが期待できる。
【産業上の利用可能性】
【００５２】
本発明は、長期間安定して被研磨物を保持することができる保持パッドを提供するものであるため、保持パッドの製造、販売に寄与するので、産業上の利用可能性を有する。
【符号の説明】
【００５３】
Ｐ 保持面
２ 発泡シート
３ 発泡
５ 耐性樹脂（第２の樹脂）
６ 微細孔
１０ 保持パッド
【技術分野】
【０００１】
本発明は、保持パッドにかかり、特に、被研磨物を保持するための保持面を有しており、湿式成膜法により、複数の発泡と、多数の微細孔とが連続状に形成された発泡構造を有する発泡シートを備えた保持パッドに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、レンズ、平行平面板、反射ミラー等の光学材料、ハードディスク用アルミニウム基板、半導体デバイス用シリコンウエハ、液晶ディスプレイ用マザーガラス、例えば、ＳＴＮ（Ｓｕｐｅｒ−Ｔｗｉｓｔｅｄ Ｎｅｍａｔｉｃ）液晶やＴＮ（Ｔｗｉｓｔｅｄ Ｎｅｍａｔｉｃ）液晶のソーダライムガラス、また、ＴＦＴ（Ｔｈｉｎ Ｆｉｌｍ Ｔｒａｎｓｉｓｔｏｒ）液晶の無アルカリガラス等、高精度に平坦性が要求される材料（被研磨物）では、それらの製造過程で研磨加工が行われている。通常、これらの被研磨物の研磨加工には、被研磨物を片面ずつ研磨加工する片面研磨機や被研磨物の両面を同時に研磨加工する両面研磨機等が使用されている。片面研磨機では、表面が平坦な保持定盤に被研磨物の一面側を保持させ、表面が平坦な研磨定盤に貼付した研磨パッドにより、研磨液（スラリ）を供給しながら被研磨物の他面側（加工表面）に研磨加工が行われている。
【０００３】
片面研磨機を使用した研磨加工では、保持定盤および研磨パッド間の平行度のバラツキや研磨加工中に発生する偏荷重を吸収し、被研磨物を保持定盤に略平坦に保持する目的で、保持定盤に保持パッドが装着されている。通常、保持パッドには、湿式成膜法で形成されたポリウレタン樹脂製の発泡シートが使用されている。湿式成膜法では、ポリウレタン樹脂を水混和性の有機溶媒に溶解させた樹脂溶液をシート状の成膜基材に塗布後、水系凝固液中に浸漬することで樹脂がシート状に凝固再生される。得られた発泡シートでは、被研磨物と接触する面側に緻密なスキン層を有し、スキン層より内側に厚さ方向に縦長で、スキン層の反対の面（以下、裏面という。）側で拡径された複数の発泡と、発泡の平均径より小さい平均径の多数の微細孔とが連続状に形成された発泡構造を有している。このような発泡構造を有することで、研磨加工中にクッション性が発揮されるので、被研磨物を略平坦に保持することができる。スキン層は、表面が平坦で被研磨物との接触性に優れるため、水張り吸着により固定することで被研磨物を確実に保持できる。つまり、スキン層の表面が被研磨物を保持するための保持面となる。
【０００４】
ところが、湿式成膜法により形成された保持パッドでは、研磨加工中に、酸性やアルカリ性の性質を有するスラリや、被研磨物からの溶出成分、例えば、上述したソーダライムガラスから溶出したアルカリ成分がスキン層に接触するために、長期間使用するとスキン層が劣化することがある。また、スラリや被研磨物からの溶出成分が劣化したスキン層を介して徐々に内部に浸透することもある。スラリや被研磨物からの溶出成分が発泡シート内部に形成された発泡や微細孔内に入り込むと、これらの化学的作用により、発泡シートの樹脂部分が発泡や微細孔内から浸食され、発泡シートの劣化が急速に進行してしまう。また、研磨加工では発泡シートと被研磨物とが摺接するため、発泡シートに繰り返し剪断応力がかかる。このため、発泡シートの微細孔が形成されている樹脂部分がちぎれやすく、発泡構造が破壊され元に戻らなくなる、いわゆる「凝集破壊」が発生しやすくなる。凝集破壊が発生すると、クッション性が損なわれるので、被研磨物を略平坦に保持することできなくなる。
【０００５】
これらの問題を回避するために、例えば、保持パッドの耐酸性、耐アルカリ性を改善する技術として、例えば、エアバック方式の研磨ヘッドに半導体を保持させるために塩化ビニルを材料とする弾性体が開示されている（特許文献１参照）。また、耐酸性、耐アルカリ性を有するポリオレフィンやポリフェニレンスルフィドの繊維を用いた保持パッドが開示されている（特許文献２参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００７−３２４４９７号公報
【特許文献２】特開２００９−８８４５６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、特許文献１の技術では、水の表面張力等により弾性体の表面で被研磨物を保持することができるものの、上述した湿式成膜法による発泡シートと比べると被研磨物保持性が十分とはいえず、被研磨物の横ずれを抑制することが難しい。特許文献２では、繊維材を用いたことで研磨加工中に被研磨物の横ずれを抑制することが難しくなる。被研磨物の保持に必要なクッション性や保持性を長期間維持すること、すなわち、酸性やアルカリ性による発泡シートの劣化を抑制し、発泡構造を維持することができれば、長期間安定して被研磨物を保持することが期待できる。
【０００８】
本発明は上記事案に鑑み、長期間安定して被研磨物を保持することができる保持パッドを提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記課題を解決するために、被研磨物を保持するための保持面を有しており、湿式成膜法により、前記保持面より内側に、複数の発泡と、前記複数の発泡間に該複数の発泡の平均径より小さい平均径の多数の微細孔とが連続状に形成された発泡構造を有する発泡シートを備えた保持パッドにおいて、前記発泡シートは、ポリウレタン系の第１の樹脂で形成されており、前記多数の微細孔内に、前記第１の樹脂より耐酸性ないし耐アルカリ性の高い第２の樹脂が前記微細孔の容積に対する前記第２の樹脂の存在する体積の割合が３０％以上となるように含有されたことを特徴とする。
【００１０】
本発明では、発泡シートの微細孔内にポリウレタン系の第１の樹脂より耐酸性ないし耐アルカリ性の高い第２の樹脂が、微細孔の容積に対する第２の樹脂の存在する体積の割合が３０％以上となるように含有されたため、微細孔の表面が第２の樹脂で保護されることで、研磨加工時に供給されるスラリや被研磨物からの溶出成分の化学的作用による保持面ないし発泡シート内部の劣化が抑制されると共に、発泡構造が第２の樹脂により補強されるので、研磨加工時に発泡シートに剪断応力がかかっても、長期間安定して被研磨物を保持することができる。
【００１１】
この場合において、第２の樹脂は、多数の微細孔の表面に被膜を形成すると共に、微細孔内に存在する容積の割合が微細孔の体積に対して７０％以上となるように含有されることが好ましい。第２の樹脂を発泡構造を有する発泡シートに樹脂エマルションを含浸させることで形成することができる。樹脂エマルションの分散相の径を１μｍ以下とすることが好ましい。樹脂エマルションをシリコーンゴム、フッ素ゴム、塩素化ポリエチレンゴム、クロロスルホン化ポリエチレンゴム、エピクロロヒドリンゴム、アクリロニトリルブタジエンゴム、水素化アクリロニトリル−ブタジエンゴム、エチレン−プロピレンゴム、クロロプレンゴム、ブチルゴム、スチレン−ブタジエンゴム、ブタジエンゴム、から選択される少なくとも１種で形成することができる。発泡シートでは液温が４０℃でｐＨ１４の水酸化ナトリウム水溶液に８時間浸漬した前後における引張強度保持率が８０％以上であることが好ましい。発泡シートでは液温が４０℃でｐＨ１の塩酸水溶液に２４時間浸漬した前後における引張強度保持率が８０％以上であることが好ましい。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、発泡シートの微細孔内にポリウレタン系の第１の樹脂より耐酸性ないし耐アルカリ性の高い第２の樹脂が、微細孔の容積に対する第２の樹脂の存在する体積の割合が３０％以上となるように含有されたため、微細孔の表面が第２の樹脂で保護されることで、研磨加工時に供給されるスラリや被研磨物からの溶出成分の化学的作用による保持面ないし発泡シート内部の劣化が抑制されると共に、発泡構造が第２の樹脂により補強されるので、研磨加工時に発泡シートに剪断応力がかかっても、長期間安定して被研磨物を保持することができる、という効果を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】本発明を適用した実施形態の保持パッドを模式的に示す断面図である。
【図２】実施形態の保持パッドの製造工程の概略を示す工程図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下、図面を参照して、本発明を適用した保持パッドの実施の形態について説明する。
【００１５】
（構成）
図１に示すように、本実施形態の保持パッド１０は、湿式成膜法によりポリウレタン系の第１の樹脂で形成された発泡シート２を備えている。ポリウレタン系の第１の樹脂は、主鎖中にウレタン結合をもつ樹脂であり、本例では、ポリウレタン樹脂が用いられている。発泡シート２は、保持面Ｐを有している。
【００１６】
発泡シート２は、保持面Ｐ側に湿式成膜時に形成されたスキン層４を有しており、保持面Ｐの反対の面（以下、裏面Ｑという。）側に厚みが一様となるようにバフ処理が施されている。発泡シート２には、厚み方向に沿って丸みを帯びた断面三角状の複数の発泡３が略均等に分散した状態で形成されている。発泡３は、保持面Ｐ側の平均孔径が裏面Ｑ側の平均孔径より小さく形成されている。すなわち、発泡３は保持面Ｐ側より裏面Ｑ側で拡径されている。複数の発泡３には、発泡シート２の厚さ全体に亘り縦長の発泡３や、発泡シート２の厚さの半分に満たない長さの発泡３がある。発泡シート２では、裏面Ｑ側がバフ処理されており、複数の発泡３の少なくとも一部がバフ処理された面（裏面Ｑ）側で開口している。発泡３の間のポリウレタン樹脂中には、平均孔径が発泡３より小さい多数の微細孔６が形成されている。電子顕微鏡写真で観察した発泡シート２の断面画像を二値化処理することで計測した微細孔６の円相当径は、１５μｍ以下に設定されている。発泡シート２の発泡３および微細孔６は、連通孔で網目状に連通されている。すなわち、発泡シート２は連続状の発泡構造を有している。湿式成膜法で形成された発泡シート２の連続状の発泡構造において、多数の微細孔６のうち少なくとも一部の微細孔６の表面に、第２の樹脂としての耐性樹脂５が連続状の被膜を形成するように存在している。すなわち、微細孔６内には、耐性樹脂５の相が形成されている。
【００１７】
ここで、耐性樹脂５について説明する。耐性樹脂５は、連通孔を通して微細孔６の表面がほぼコートされた状態（被膜の状態）で連続状に形成されている。耐性樹脂５が連続状の相をなしている。微細孔６では、１つの微細孔６内の大部分に耐性樹脂５の相が形成されている微細孔６と、耐性樹脂５の相が殆ど形成されていない微細孔６とが形成されている。すなわち、個々の微細孔６内に存在する耐性樹脂５の量は、耐性樹脂５の被膜の厚さによって異なる。耐性樹脂５の相の形成前の多数の微細孔６に対する耐性樹脂５の充填率は、３０％以上に設定されている。耐性樹脂５の充填率は、耐性樹脂５の相の形成前の多数の微細孔６の空隙部分の体積に対する、耐性樹脂５の体積が占める割合を百分率で表したものである。
【００１８】
耐性樹脂５の充填率の算出方法について説明する。まず、耐性樹脂５の相の形成前に、発泡シートの断面写真を走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）にて撮影し、二値化処理した画像から、微細孔６の孔径を円相当径として面積を発泡シート１ｍ２のうち５点を測定し、この平均の値をＡとすると、耐性樹脂５の形成前の微細孔６の空隙部分の体積（微細孔６の容積）はπＡ３／６で表される。同様にして、耐性樹脂５の相を形成後に、多数の微細孔６の空隙部分（耐性樹脂５の相が形成されていない部分）の孔径を円相当径として測定し、この平均の値をＢとすると、耐性樹脂５の形成後の微細孔６の空隙部分の容積はπＢ３／６で表される。耐性樹脂５の存在する体積を、耐性樹脂５の相の形成前と形成後との微細孔６の空隙部分の体積の差、すなわち、π（Ａ３−Ｂ３）／６とすると、耐性樹脂５の充填率は（Ａ３−Ｂ３）／Ａ３×１００の式で算出される。
【００１９】
耐性樹脂５は、発泡シート２を形成するポリウレタン樹脂と比べて耐酸性ないし耐アルカリ性の高い樹脂で形成される。耐酸性としては、耐性樹脂５の相が形成された発泡シート２を液温が４０℃でｐＨ１の塩酸水溶液に２４時間浸漬した後の引張強度をＡ１とし、当該塩酸水溶液に浸漬する前の引張強度をＢ１としたときに、Ａ１／Ｂ１×１００で表される引張強度保持率が８０％以上を示す。一方、耐アルカリ性としては、液温が４０℃でｐＨ１４の水酸化ナトリウム水溶液に８時間浸漬した後の引張強度をＡ２とし、当該水酸化ナトリウム水溶液に浸漬する前の引張強度をＢ２としたときに、Ａ２／Ｂ２×１００で表される引張強度保持率が８０％以上を示す。このような樹脂としては、ゴム材を挙げることができ、具体的には、シリコーンゴム、フッ素ゴム、塩素化ポリエチレンゴム、クロロスルホン化ポリエチレンゴム、エピクロロヒドリンゴム、アクリロニトリルブタジエンゴム、水素化アクリロニトリル−ブタジエンゴム、エチレン−プロピレンゴム、クロロプレンゴム、ブチルゴム、スチレン−ブタジエンゴム、ブタジエンゴム、から選択される少なくとも１種が使用されている。本例では、耐性樹脂５として、耐酸性および耐アルカリ性の両性質共にポリウレタン樹脂より高いクロロプレンゴムが用いられている。耐酸性ないし耐アルカリ性に優れた耐性樹脂５が微細孔６内に存在することで、耐性樹脂５が発泡シート２を保護する機能を果たすこととなる。
【００２０】
耐性樹脂５は、クロロプレンゴムのエマルション（樹脂エマルション）を発泡シート２に含浸させることで形成される。樹脂エマルションの分散相の径は、１μｍ以下に設定されている。発泡シート２において、裏面Ｑ側に発泡３が開口した開口４が形成され、発泡３および微細孔６が連通孔で連通されて形成された発泡構造を有しているため、発泡シート２に樹脂エマルションを含浸させることで、樹脂エマルションを発泡３や連通孔を通して微細孔６内に浸透させることができる。
【００２１】
また、保持パッド１０は、裏面Ｑ側に、研磨機に保持パッド１０を装着するための両面テープ７の一面側が貼り合わされている。両面テープ７は、ポリエチレンテレフタレート（以下、ＰＥＴと略記する。）等の基材を有しており、その両表面に粘着剤が塗布されている。両面テープ７の他面側（最下面側）に剥離紙８を有している。
【００２２】
（製造）
図２に示すように、保持パッド１０は、ポリウレタン樹脂を溶解させた樹脂溶液を準備する準備工程、樹脂溶液を成膜基材に連続的に塗布する塗布工程、水系凝固液中でポリウレタン樹脂をシート状に凝固再生させる凝固再生工程、凝固再生したポリウレタン樹脂を洗浄し乾燥させる洗浄・乾燥工程、厚みを均一化させるように研削処理を施す研削工程、発泡シート２に樹脂エマルションを含浸させ、乾燥させる含浸・乾燥工程、発泡シート２と両面テープ７とを貼り合わせるラミネート加工工程を経て製造される。以下、工程順に説明する。
【００２３】
準備工程では、ポリウレタン樹脂、ポリウレタン樹脂を溶解可能な水混和性の有機溶媒のＮ，Ｎ−ジメチルホルムアミド（以下、ＤＭＦと略記する。）および添加剤を混合してポリウレタン樹脂を溶解させる。ポリウレタン樹脂には、ポリエステル系、ポリエーテル系、ポリカーボネート系等の樹脂から１００％樹脂モジュラスが５〜２０ＭＰａの範囲の樹脂を選択して用い、例えば、ポリウレタン樹脂が３０質量％となるようにＤＭＦに溶解させる。添加剤としては、発泡３の大きさや数量（個数）を制御するため、カーボンブラック等の顔料、発泡形成を促進させる親水性活性剤およびポリウレタン樹脂の凝固再生を安定化させる疎水性活性剤等を用いることができる。得られた溶液を減圧下で脱泡してポリウレタン樹脂溶液を得る。
【００２４】
塗布工程では、準備工程で調製されたポリウレタン樹脂溶液を常温下でナイフコータ等の塗布装置により帯状の成膜基材に略均一に塗布する。このとき、ナイフコータと成膜基材との間隙を調整することで、ポリウレタン樹脂溶液の塗布厚み（塗布量）を調整する。成膜基材には、不織布、織布等を用いることもできるが、本例では、ＰＥＴ製フィルムを用いる。
【００２５】
凝固再生工程では、塗布工程で成膜基材に塗布されたポリウレタン樹脂溶液を、ポリウレタン樹脂に対して貧溶媒である水を主成分とする凝固液（水系凝固液）に案内する。凝固液中では、まず、塗布されたポリウレタン樹脂溶液の表面側に厚さ数μｍ程度のスキン層４が形成される。その後、ポリウレタン樹脂溶液中のＤＭＦと凝固液との置換の進行によりポリウレタン樹脂が成膜基材の片面にシート状に凝固再生する。ＤＭＦがポリウレタン樹脂溶液から脱溶媒し、ＤＭＦと凝固液とが置換することにより、スキン層４の内側（ポリウレタン樹脂中）に発泡３および多数の微細孔６が形成され、発泡３および多数の微細孔６を網目状に連通する連通孔が形成される。このとき、成膜基材のＰＥＴ製フィルムが水を浸透させないため、ポリウレタン樹脂溶液の表面側（スキン層４側）で脱溶媒が生じて成膜基材側が表面側より大きな発泡３が形成される。
【００２６】
洗浄・乾燥工程では、凝固再生工程で凝固再生したシート状のポリウレタン樹脂（以下、成膜樹脂という。）を成膜基材から剥離し、水等の洗浄液中で洗浄して成膜樹脂中に残留するＤＭＦを除去する。洗浄後、成膜樹脂をシリンダ乾燥機で乾燥させる。シリンダ乾燥機は内部に熱源を有するシリンダを備えている。成膜樹脂がシリンダの周面に沿って通過することで乾燥する。乾燥後の成膜樹脂は、ロール状に巻き取られる。
【００２７】
研削処理工程では、成膜樹脂のスキン層４と反対の面側にバフ処理等の研削処理を施す。すなわち、圧接治具の略平坦な表面を成膜樹脂のスキン層４の表面に圧接し、スキン層４の反対面側にバフ処理を施す。これにより、複数の発泡３の少なくとも一部が開口した裏面Ｑが形成され、成膜樹脂の厚みが均一化される。
【００２８】
含浸・乾燥工程では、耐酸性および耐アルカリ性を有するクロロプレンゴムを水等の分散媒に分散させた樹脂エマルションをバフ処理後の成膜樹脂に含浸もしくはコーティングする。樹脂エマルションに含浸された成膜樹脂では、裏面Ｑ側に形成された発泡３の開口から樹脂エマルションが浸入し、発泡３や連通孔を通して微細孔６内にまで入り込む。すなわち、成膜樹脂は樹脂エマルションで濡れることとなる。含浸後、成膜樹脂は低荷重下でマングルローラにより余分な樹脂エマルションが絞り落とされる。微細孔６内に残る樹脂エマルションの量は、微細孔６の大きさや、微細孔６の発泡３からの距離によっても左右されるが、マングルローラの荷重を調整することで、調整することができる。このとき、発泡３が拡径された裏面Ｑ側で開口しているため、発泡シート２に樹脂エマルションを含浸させると、発泡３では樹脂エマルションが開口からすぐに流れ出るのに対して、微細孔６では樹脂エマルションの表面張力により樹脂エマルションの多くが微細孔６内に残る。この結果、樹脂エマルションは、発泡３内には殆ど存在せず、微細孔６内に多く入り込むこととなる。その後、成膜樹脂を乾燥機で乾燥させる。このとき、樹脂エマルションのうち、分散媒の水等が先に蒸発し、分散相のポリウレタン樹脂が後で固化する。同様の操作を２〜５回繰り返し行うことで充填率を調整し、耐性樹脂５で微細孔６の表面がほぼコートされた状態で発泡シート２が形成される。
【００２９】
ラミネート加工工程では、得られた発泡シート２の裏面Ｑに両面テープ７の一面側を貼り合わせる。両面テープ７の他面側は剥離紙８で覆われている。汚れや異物等の付着がないことを確認する等の検査を行い、保持パッド１０を完成させる。
【００３０】
（作用）
次に、本実施形態の保持パッド１０の作用等について説明する。
【００３１】
本実施形態では、多くの微細孔６内に耐性樹脂５の相が形成されている。耐性樹脂５では、ポリウレタン樹脂より耐酸性および耐アルカリ性の高いクロロプレンゴムが用いられている。耐性樹脂５を形成するクロロプレンゴムが発泡シート２を形成するポリウレタン樹脂より耐酸性および耐アルカリ性に優れるため、微細孔６の表面が耐性樹脂５で保護される。すなわち、研磨加工時に供給されるスラリや被研磨物から溶出するアルカリ等の成分でスキン層４が劣化し、その劣化したスキン層４を介して微細孔６内に徐々に浸透しても、耐性樹脂５により発泡シート２が内部から保護される。また、耐性樹脂５は、微細孔６内に存在することで発泡シート２を補強する機能も有している。このため、研磨加工時に剪断応力がかかっても、発泡構造が保たれるので、長期間安定して被研磨物を保持することができる。
【００３２】
また、本実施形態では、微細孔６の表面が耐性樹脂５で保護されることで、スラリや被研磨物の溶出成分の化学的作用による劣化が抑制されるため、スラリの液性や被研磨物の溶出成分が発泡構造に与える影響を低減することができる。この結果、被研磨物やスラリの液性に制限されることなく保持パッド１０を使用することができ、長期間の安定使用が可能な分、保持パッド１０自体の交換頻度が低減し研磨効率の向上を図ることができる。
【００３３】
更に、本実施形態では、耐性樹脂５の形成前の多数の微細孔６に対する耐性樹脂５の充填率が３０％以上に設定されている。耐性樹脂５の充填率が３０％を下回る場合、スラリが微細孔６の表面に接触する割合が多くなり、耐性樹脂５の保護機能が不十分となるため、スラリによる発泡シート２の劣化を抑制する効果が得られなくなる。また、耐性樹脂５の発泡シート２を補強する機能も十分に発揮されず、研磨加工中に発泡シート２に繰り返しかかる剪断応力による発泡シート２の破壊を抑制することが難しくなる。このため、被研磨物を長期間安定して保持することができなくなり、被研磨物が保持パッドから外れて破損してしまう。
【００３４】
また更に、本実施形態では、耐性樹脂５が樹脂エマルションの含浸により形成されている。また、樹脂エマルションの分散相の径が１μｍ以下に設定されている。このため、樹脂エマルションが発泡３や連通孔を通して微細孔６まで浸透することで、耐性樹脂５を微細孔６内に連続状に形成することができる。また、本実施形態では、研削処理により複数の発泡３が開口している。このため、含浸・乾燥工程において、発泡３や連通孔を通して微細孔６内に樹脂エマルションを容易に浸透させることができる。
【００３５】
なお、本実施形態では、耐性樹脂５の相が微細孔６内に形成されている例を示したが、本発明はこれに限定されるものではなく、発泡３の表面の少なくとも一部にも形成されていてもよい。このことは、裏面Ｑ側における発泡３の開口の大きさを調整すること、すなわち、研削処理工程でのバフ量の調整や、含浸・乾燥工程でのマングルローラの荷重調整により実現することができる。このようにすれば、耐性樹脂５が、発泡構造を補強する機能をより向上させることができる。また、本実施形態では、耐性樹脂５の相の形成前の多数の微細孔６に対する耐性樹脂５の充填率が３０％以上に設定されている例を示したが、発泡構造をより補強させることを考慮すれば、耐性樹脂５の充填率を７０％以上とすることがより好ましい。
【００３６】
また、本実施形態では、耐性樹脂５、すなわち、樹脂エマルションに用いる樹脂として耐酸性および耐アルカリ性の両性質がポリウレタン樹脂より高いクロロプレンゴムを例示したが、本発明はこれに限定されるものでない。発泡シート２を形成するポリウレタン樹脂と比べて、耐酸性ないし耐アルカリ性が高い材料、換言すれば、耐酸性および耐アルカリ性のうち少なくとも一方が高い材料であれば、いかなる材料も使用することができる。このような材料としては、例えば、フッ素ゴム、塩素化ポリエチレンゴム、クロロスルホン化ポリエチレンゴム、エピクロロヒドリンゴム、アクリロニトリル−ブタジエンゴム、水素化アクリロニトリル−ブタジエンゴム、エチレン−プロピレンゴム、クロロプレンゴム、ブチルゴム、スチレン−ブタジエンゴム、ブタジエンゴムから選択される少なくとも１種を挙げることができる。耐性樹脂５として、ポリウレタン樹脂と比べて耐酸性のみが高い材料を用いた場合、酸性のスラリを使用することができる。反対に、ポリウレタン樹脂と比べて耐アルカリ性のみが高い材料を用いた場合、アルカリ性のスラリを使用することができる。
【００３７】
更に、本実施形態では、樹脂エマルションの分散媒として水等を用いる例を示したが、本発明はこれに限定されるものではなく、発泡シート２に用いるポリウレタン系の樹脂を溶解しなければ、水以外の液体を使用してもよい。例えば、分散媒としてアルコール等を含ませた液体を使用してもよい。また、本実施形態では、耐性樹脂５の形成に樹脂エマルションを用いる例を示したが、本発明はこれに限定されるものではない。例えば、樹脂エマルション以外に樹脂溶液を用いてもよい。この場合、樹脂溶液に使用する溶媒を、耐性樹脂５に用いる樹脂を溶解可能で、発泡シート２に用いるポリウレタン系の樹脂を溶解しないものとすることが好ましい。また、本実施形態では、樹脂エマルションの分散相の径を１μｍ以下とする例を示したが、本発明はこれに制限されるものではない、微細孔６内に樹脂エマルション（分散相）を十分に、かつ、偏在することなく浸透させることを考慮すれば、分散相の径を１μｍ以下とすることが好ましい。
【００３８】
また更に、本実施形態では、発泡シート２にポリウレタン樹脂を用いる例を示したが、本発明はこれに限定されるものではなく、ポリウレタン系であれば、他の樹脂を使用してもよい。例えば、ポリウレタン系グラフト共重合体やポリウレタン系ブロック共重合体等を使用してもよい。また、本実施形態では、発泡シート２に用いるポリウレタン樹脂には、ポリエステル系、ポリエーテル系、ポリカーボネート系等の樹脂から１００％樹脂モジュラス（２倍長に引っ張る時の張力）が５〜２０ＭＰａの範囲の樹脂を選択して用いることが好ましい。このようにすれば、保持パッド１０の保持面Ｐに被研磨物を密着するように保持させることができる。また、耐性樹脂５を微細孔６内に含有させても、保持パッドとして必要なクッション性も確保することができる。
【００３９】
また更に、本実施形態では、発泡シート２の作製時に、ポリウレタン樹脂を凝固再生させた後、成膜基材を剥離して、両面テープ７を貼り合わせる例を示したが、本発明はこれに限定されるものではない。例えば、ポリウレタン樹脂を凝固再生させた後、成膜基材を剥離せず、両面テープ７を貼り合わせてもよい。また、成膜樹脂と成膜基材とが剥離しにくいように、予め接着性のよい樹脂を塗布した成膜基材上にポリウレタン樹脂を凝固再生させて、成膜基材をそのまま残してもよい。また、成膜基材に不織布を用いた場合は、成膜樹脂から剥離することが難しいため、成膜基材を剥離せずそのまま乾燥させてもよい。更に、両面テープ７としては、基材の両面に粘着剤が塗布されていてもよく、基材を有することなく粘着剤のみで構成されてもよい。
【００４０】
また、本実施形態では、研削処理工程で発泡シート２の裏面Ｑ側をバフ処理する例を示したが、本発明はこれに限定されるものではない。例えば、研削工程ではバフ処理以外にも、発泡３を開口させることができる方法であればよい。例えば、スライス機を用いたスライス処理等を施してもよい。また、保持面Ｐ側にスキン層４が除去されない程度の軽度なサンディング（ドレス処理）を施してもよく、保持面Ｐ側にバフ処理やスライス処理を施しスキン層４を除去してもよい。保持面Ｐにドレス処理やバフ処理等を施した場合、研磨加工後に被研磨物を保持パッドから取り外す作業が容易となるため、被研磨物の破損を防ぐことができる。
【実施例】
【００４１】
以下、本実施形態に従い製造した発泡シート２の実施例について説明する。なお、比較のために製造した比較例の発泡シートについても併記する。
【００４２】
（実施例１）
実施例１では、発泡シート２の作製にポリウレタン樹脂として、ポリエステルＭＤＩ（ジフェニルメタンジイソシアネート）ポリウレタン樹脂を用いた。このポリウレタン樹脂を溶解させた３０質量％の溶液１００部に対して、溶媒のＤＭＦの４５部、顔料としてカーボンブラックの３０質量％を含むＤＭＦ分散液の４０部を添加し混合してポリウレタン樹脂溶液を調製した。得られたポリウレタン樹脂溶液を成膜基材に塗布後、凝固液中で凝固再生させた。凝固再生後のポリウレタン樹脂から成膜基材を剥離し、洗浄・乾燥後、厚さが一様となるように裏面Ｑ側に研削処理を施し、厚さ１ｍｍの発泡シート２を得た。クロロプレンゴム（電気化学工業株式会社製、ＬＭ−５０）を水等に分散させた樹脂エマルションを研削処理後のポリウレタン樹脂に含浸・乾燥させる操作を３回繰り返し行い、耐性樹脂５の相が形成された実施例１の発泡シート２を得た。このとき、耐性樹脂５の充填率が３０％であった。
【００４３】
（実施例２）
実施例２では、含浸・乾燥工程での繰り返し回数を増やし耐性樹脂５の充填率を７０％とすること以外は実施例１と同様にして実施例２の発泡シート２を作製した。
【００４４】
（比較例１）
比較例１では、研削処理後のポリウレタン樹脂に耐性樹脂５の相を形成しないこと以外は実施例１と同様にして比較例１の発泡シートを作製した。すなわち、比較例１の発泡シートは、従来の発泡シートである。
【００４５】
（比較例２）
比較例２では、含浸・乾燥工程での繰り返し回数を減らし耐性樹脂５の充填率を１５％とすること以外は実施例１と同様にして比較例２の発泡シートを作製した。
【００４６】
（評価１）
各実施例及び比較例の発泡シートについて、それぞれ引張強度を測定した。測定では、各発泡シートから切り出した試料片、すなわち、幅１０ｍｍの短冊状の試料片（厚さはいずれも１ｍｍ。）を用い、引張万能試験機（エイ・アンド・デイ社製、ＲＴＣ−１２１０Ａ）を使用した。測定方法は日本工業規格（ＪＩＳ Ｋ６５５０）に準じた方法で測定した。その後、実施例及び比較例の発泡シートを液温が４０℃でｐＨ１４の水酸化ナトリウム水溶液に８時間浸漬した。浸漬後、それぞれの発泡シートについて、再度、引張強度を測定した。水酸化ナトリウム水溶液に浸漬前後における引張強度保持率を算出した。引張強度の測定結果および引張強度保持率を下表１に示す。
【００４７】
【表１】
【００４８】
表１に示すように、引張強度保持率において、耐性樹脂５が形成されていない比較例１では６６％、耐性樹脂５の充填率が１５％の比較例２では７１％を示した。これらに対して、耐性樹脂５の充填率が３０％の実施例１では８９％、耐性樹脂５の充填率が７０％の実施例２では９７％を示した。すなわち、比較例１では最も低い値を示し、比較例２では比較例１より高い値を示したものの、実施例１、２より低い値を示した。これは、比較例１では耐性樹脂５が形成されておらず、比較例２では耐性樹脂５で微細孔６表面が十分に被覆されないため、いずれも微細孔６表面の水酸化ナトリウム水溶液と接触する割合が実施例１、２より大きく、発泡シートの劣化、すなわち、加水分解の進行を抑制することができないためと考えられる。これらに対して、実施例１、２では、比較例１、２より高い値を示し、いずれも８０％以上であった。これは、実施例１、２では、微細孔６の表面が耐性樹脂５で保護されたことで、発泡シート２の劣化が抑制されたためと考えられる。これにより、実施例１、２は耐アルカリ性に優れており、研磨加工時に発泡シートに剪断応力がかかっても、長期間安定した研磨加工を行うことが期待できる。
【００４９】
（評価２）
各実施例及び比較例の発泡シートについて、それぞれ引張強度を測定した。測定では、引張万能試験機（エイ・アンド・デイ社製、ＲＴＣ−１２１０Ａ）を使用した。測定方法は日本工業規格（ＪＩＳ Ｋ６５５０）に準じた方法で測定した。その後、実施例及び比較例の発泡シートを液温が４０℃でｐＨ１の塩酸水溶液に２４時間浸漬した。浸漬後、それぞれの発泡シートについて、再度、引張強度を測定した。塩酸水溶液に浸漬前後における引張強度保持率を算出した。引張強度の測定結果および引張強度保持率を下表１に示す。
【００５０】
【表２】
【００５１】
表２に示すように、引張強度保持率において、耐性樹脂５が形成されていない比較例１では７０％、耐性樹脂５の充填率が１５％の比較例２では７７％を示した。これらに対して、耐性樹脂５の充填率が３０％の実施例１では８９％、耐性樹脂５の充填率が７０％の実施例２では９２％を示した。すなわち、比較例１では最も低い値を示し、比較例２では比較例１より高い値を示したものの、実施例１、２より低い値を示した。これは、比較例１では耐性樹脂５が形成されておらず、比較例２では耐性樹脂５で微細孔６表面が十分に被覆されないため、いずれも微細孔６表面の塩酸水溶液と接触する割合が実施例１、２より大きく、発泡シートの劣化、すなわち、加水分解の進行を抑制することができないためと考えられる。これらに対して、実施例１、２では、比較例１、２より高い値を示し、いずれも８０％以上であった。これは、実施例１、２では、微細孔６の表面が耐性樹脂５で保護されたことで、発泡シート２の劣化が抑制されたためと考えられる。これにより、実施例１、２は耐酸性に優れており、研磨加工時に発泡シートに剪断応力がかかっても、長期間安定した研磨加工を行うことが期待できる。
【産業上の利用可能性】
【００５２】
本発明は、長期間安定して被研磨物を保持することができる保持パッドを提供するものであるため、保持パッドの製造、販売に寄与するので、産業上の利用可能性を有する。
【符号の説明】
【００５３】
Ｐ 保持面
２ 発泡シート
３ 発泡
５ 耐性樹脂（第２の樹脂）
６ 微細孔
１０ 保持パッド
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被研磨物を保持するための保持面を有しており、湿式成膜法により、前記保持面より内側に、複数の発泡と、前記複数の発泡間に該複数の発泡の平均径より小さい平均径の多数の微細孔とが連続状に形成された発泡構造を有する発泡シートを備えた保持パッドにおいて、前記発泡シートは、ポリウレタン系の第１の樹脂で形成されており、前記多数の微細孔内に、前記第１の樹脂より耐酸性ないし耐アルカリ性の高い第２の樹脂が前記微細孔の容積に対する前記第２の樹脂の存在する体積の割合が３０％以上となるように含有されたことを特徴とする保持パッド。
【請求項２】
前記第２の樹脂は、前記多数の微細孔の表面に被膜を形成すると共に、前記微細孔内に存在する体積の割合が前記微細孔の容積に対して７０％以上となるように含有されたことを特徴とする請求項１に記載の保持パッド。
【請求項３】
前記第２の樹脂は、前記発泡シートに樹脂エマルションを含浸させることで形成されたものであることを特徴とする請求項２に記載の保持パッド。
【請求項４】
前記樹脂エマルションは、分散相の径が１μｍ以下であることを特徴とする請求項３に記載の保持パッド。
【請求項５】
前記樹脂エマルションは、シリコーンゴム、フッ素ゴム、塩素化ポリエチレンゴム、クロロスルホン化ポリエチレンゴム、エピクロロヒドリンゴム、アクリロニトリル−ブタジエンゴム、水素化アクリロニトリル−ブタジエンゴム、エチレン−プロピレンゴム、クロロプレンゴム、ブチルゴム、スチレン−ブタジエンゴム、ブタジエンゴム、から選択される少なくとも１種で形成されていることを特徴とする請求孔４に記載の保持パッド。
【請求項６】
前記発泡シートは、液温が４０℃でｐＨ１４の水酸化ナトリウム水溶液に８時間浸漬した前後における引張強度保持率が８０％以上であることを特徴とする請求項１に記載の保持パッド。
【請求項７】
前記発泡シートは、液温が４０℃でｐＨ１の塩酸水溶液に２４時間浸漬した前後における引張強度保持率が８０％以上であることを特徴とする請求項６に記載の保持パッド。
【請求項１】
被研磨物を保持するための保持面を有しており、湿式成膜法により、前記保持面より内側に、複数の発泡と、前記複数の発泡間に該複数の発泡の平均径より小さい平均径の多数の微細孔とが連続状に形成された発泡構造を有する発泡シートを備えた保持パッドにおいて、前記発泡シートは、ポリウレタン系の第１の樹脂で形成されており、前記多数の微細孔内に、前記第１の樹脂より耐酸性ないし耐アルカリ性の高い第２の樹脂が前記微細孔の容積に対する前記第２の樹脂の存在する体積の割合が３０％以上となるように含有されたことを特徴とする保持パッド。
【請求項２】
前記第２の樹脂は、前記多数の微細孔の表面に被膜を形成すると共に、前記微細孔内に存在する体積の割合が前記微細孔の容積に対して７０％以上となるように含有されたことを特徴とする請求項１に記載の保持パッド。
【請求項３】
前記第２の樹脂は、前記発泡シートに樹脂エマルションを含浸させることで形成されたものであることを特徴とする請求項２に記載の保持パッド。
【請求項４】
前記樹脂エマルションは、分散相の径が１μｍ以下であることを特徴とする請求項３に記載の保持パッド。
【請求項５】
前記樹脂エマルションは、シリコーンゴム、フッ素ゴム、塩素化ポリエチレンゴム、クロロスルホン化ポリエチレンゴム、エピクロロヒドリンゴム、アクリロニトリル−ブタジエンゴム、水素化アクリロニトリル−ブタジエンゴム、エチレン−プロピレンゴム、クロロプレンゴム、ブチルゴム、スチレン−ブタジエンゴム、ブタジエンゴム、から選択される少なくとも１種で形成されていることを特徴とする請求孔４に記載の保持パッド。
【請求項６】
前記発泡シートは、液温が４０℃でｐＨ１４の水酸化ナトリウム水溶液に８時間浸漬した前後における引張強度保持率が８０％以上であることを特徴とする請求項１に記載の保持パッド。
【請求項７】
前記発泡シートは、液温が４０℃でｐＨ１の塩酸水溶液に２４時間浸漬した前後における引張強度保持率が８０％以上であることを特徴とする請求項６に記載の保持パッド。
【図１】
【図２】
【図２】
【公開番号】特開２０１２−７６１６９（Ｐ２０１２−７６１６９Ａ）
【公開日】平成２４年４月１９日（２０１２．４．１９）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２０１０−２２２１１２（Ｐ２０１０−２２２１１２）
【出願日】平成２２年９月３０日（２０１０．９．３０）
【出願人】（０００００５３５９）富士紡ホールディングス株式会社 (180)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２４年４月１９日（２０１２．４．１９）
【国際特許分類】
【出願日】平成２２年９月３０日（２０１０．９．３０）
【出願人】（０００００５３５９）富士紡ホールディングス株式会社 (180)
【Ｆターム（参考）】
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