説明

光学ガラス

【課題】著しいショート・フリント特性、良好な化学安定性、優れた結晶化安定性、良好なソラリゼーション安定性と共に1.60≦n≦1.80の屈折率n及び/又は30≦ν≦40のアッベ数νを有し、画像、センサー、鏡検法、医療技術、デジタル映写、フォトリソグラフィー、レーザー技術、ウェハー/チップ技術の応用分野や、電気通信、光通信技術及び自動車部門でのオプチクス/照明等の応用分野に用いる光学ガラスを提供する。
【解決手段】光学ガラスは、酸化物基準の質量%表示で以下の組成:SiO 19〜45%、B 3〜7.5%、Nb 25〜31%、KO 2〜8%、TiO 0.1〜2%、ZrO 6〜10%、Ta 0.5〜8%を有する。

【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、光学ガラス、そのようなガラスの使用、光学素子もしくはそのような光学素子のプリフォーム(予備成形物)、そのような光学素子の製造方法及びそのような光学素子を含む光学部材又は光学部品に関する。
【背景技術】
【0002】
本明細書に開示されているような光学特性(重(heavy)フリント及び極端なバリウムの重フリント特性)を有する、画像、センサー、鏡検法、医療技術、デジタル映写、フォトリソグラフィー、レーザー技術、ウェハー/チップ技術の応用分野や、電気通信、光通信技術及び自動車部門でのオプチクス/照明用の従来の光学ガラスは、所望の光学特性、即ち1.60≦n≦1.80の屈折率n及び/又は30≦ν≦40のアッベ数νを達成するために、一般にPbOを含有している。PbOはまた、著しいショート・フリント特性を調整するためにしばしば用いられる。これにより、これらのガラスの化学的安定性が悪くなる。この場合、清澄剤としてAsもしばしば用いられる。近年、ガラス成分PbO及びAsは環境的に問題となる物質とみなされているため、光学機器や製品の製造業者の殆どは、PbOを含有せず、またAsも含有しないガラスを好んで用いる傾向がある。高価格領域の製品に用いるためには、化学的安定性が向上したガラスもまたコンスタントに重要性を増している。
【0003】
これらの光学特性を有する公知の鉛フリーのガラスは、一般に珪酸塩マトリックス(母材)中にTiOを使用することに基づいており、これにより、一方ではガラスに結晶化に対する感受性をもたらし、従ってしばしば二次熱間成形工程で加工できなくなり、また他方では、高い硬度のために機械的に加工することが非常に困難になる。
【0004】
高品質光学系においては、色収差の補正は系の設計から既に重要な問題となっている。優れた色収差補正のためには、著しいショート・フリント特性を有するガラスは必要不可欠である。これらは、その相対的な部分分散が標準グレードと異なるガラスであり、従って色収差を補正するために特に適したガラスである。この光学特性は、しばしばPbOの使用によるものであるが、この成分は前記した生態学的理由からその使用が規制される。
【0005】
従来のブロック状もしくはインゴット状のガラスからの光学部品の慣用的な機械加工に代えて、直接プレス、即ちブランク・プレスもしくは精密プレスされた光学部品及び/又はできるだけ最終形状に近い再ブレス用プリフォーム、所謂「精密たね」をガラス溶融の最終段階で直接得ることができる製造方法が、消費者市場にとっても、また高品質部門にとっても、最近ますます重要になってきている。「精密たね」は、一般に、各種製造プロセスを介して得ることができる、好ましくは完全に火炎磨きされたセミフリー又はフリー・フォーミングされたガラス部分を意味する。このために、「ショート・ガラス」、即ち比較的僅かな温度変化で粘度が著しく変わるガラスに対する要望が溶融及び熱間成形プロセス技術の面からますます強くなっていると報告されている。この方法は、最終寸法形状に近い精密熱間成形において、熱間成形時間、従って金型閉鎖時間を短縮できるという利点を有する。このようにして、一方では、処理量を増大し、即ちサイクル時間を短くでき、他方では、それにより金型材料が節約され、また全体の製造コストに良い影響を有する。さらに、ショート・ガラスのより急速な固化のために、結晶化傾向の強いガラスも加工でき、後の二次熱間成形段階で問題を生じ得る予備核形成が回避され、あるいは少なくとも著しく低減される。このために、同様に、絶対的な意味でのその温度−粘度プロファイル(曲線)が熱間成形領域で低温からなるガラスに対する要望がある。低いプロセス温度により、これはまた金型の寿命が増大するのに寄与し、またより急速な応力フリーの冷却により、予備核形成率が低くなるのに寄与する。これはまた、潜在的によりコスト的に有効な金型材料の範囲を大きくし、これは特に最終寸法形状に近い精密熱間成形において重要である。
【0006】
最近の高性能オプチックスにおいては、非常に大きな要求がまた画像の正確性及び解像度に向けられている。このことは、一方では、非常に大きな画像及び映写面が達成されるが、他方では、描画されるべき構造は非常に小さくなければならず、点及び詳細について非常に正確に描画されねばならない。このために、非常に短い波長で、即ち高エネルギーの光で照明を行う必要があり、これは光学素子に対するエネルギー負荷を増大する。多重な技術分野、例えばマイクロリソグラフィーにおいては、生産速度を上げるために非常に短い露光時間がさらに要求され、そのためオプチックスを通して供給される輻射力又はビーム密度、即ち単位時間当りの輻射負荷は必然的に増大せざるを得ない。光学系においては、特に通信技術及び電気通信においては、高い視感度、即ち高透過率を得ることがさらに望ましい。
【0007】
このことは、それぞれのオプチックスの開発だけでなく、オプチックスに使用されるガラスに対しても非常に要求されることになる。例えば、高エネルギー密度の使用によりソラリゼーションと呼ばれる現象、即ちガラスの内部構造の輻射線により誘起される変性がもたらされるが、これは、透過率、即ち光学素子の輻射線透明性を著しく低減する。従って、ソラリゼーションに対する高い安定性を有するガラスが必要である。
【0008】
本発明に関連した従来技術としては、下記特許文献に列挙したようなものが挙げられる。それらによれば、類似の光学特性あるいは比較し得る化学組成を有するガラスを製造することができるが、本発明のガラスと比べて重大な欠点を有する。
【0009】
特開昭60−221338号(特許文献1)にはランタンホウ酸塩ガラスが開示されている。ここでは、青色スペクトル領域で固有吸収を示すLaが、所望の屈折率特性を達成するために用いられている。このガラス類に固有の結晶化に対する強い感受性に加えて、これらのガラスは従ってLa−フリーのガラスに比べて青色スペクトル領域で透過率が著しく減少する。
【0010】
ドイツ特許第3 420 306号(特許文献2)には、高いレベルでアルカリ土類金属酸化物を含有するニオブ珪酸塩ガラスが開示されており、その網状構造は、高いアルカリ土類金属酸化物含有量、ここでは特に8〜42質量%のCaO及び16〜42質量%の(CaO+MgO)により不安定にされている。このため、粘度−温度プロファイルに強い影響をもたらし、従って、最終寸法形状に近い熱間成形及び/又は二次熱間成形にあまりにもショートなガラスとなる。さらに、低屈折率のアルカリ土類金属酸化物の含有量が多いにも拘らず高い屈折率を達成するためには、多量の高屈折率であるが核形成する成分が許容されねばならないことになる。
【0011】
同様に、ドイツ特許第2 655 857号(特許文献3)にはニオブ珪酸塩ガラスが開示されているが、異なる光学特性(低い屈折率と分散)を有する。従って、屈折率を維持するためには、高屈折率であるが核形成する成分を多量に使用することなく、アルカリ土類金属酸化物の含有量を多く(例えば、CaOを5〜35質量%)することが許容され得る。
【0012】
特開昭52−45612号(特許文献4)には、任意成分として最大5質量%の酸化ホウ素を含有するニオブ珪酸塩ガラスが開示されている。これらの低い含有量は、最終寸法形状に近い熱間成形及び/又は二次熱間成形にとって必要な結晶化に対する安定化効果を示さず、ニオブ珪酸塩ガラス系においては高いレベルの高屈折率成分により不安定にされる。
【特許文献1】特開昭60−221338号公報
【特許文献2】ドイツ特許第3 420 306号公報
【特許文献3】ドイツ特許第2 655 857号公報
【特許文献4】特開昭52−45612号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【0013】
従って、本発明の目的は、低いTiO含有量で、生態学的配慮の為にPbOを使用しなくても、またできるだけAs、Bi、及びLaを使用することなく、所望の光学特性を達成できる組成範囲内にある光学ガラスを提供することにある。これらのガラスは、著しいショート・フリント特性と共に、優れた結晶化安定性を有していなければならない。これらのガラスはまた、できるだけ精密プレス法により加工できなければならず、低いガラス転移温度Tgを有していなければならない。さらにこれらのガラスは、容易に溶解可能且つ加工可能であり、連続操業プラントにおける製造を可能とする充分な結晶化安定性を有さねばならない。できるだけショートで107.6〜1013dPasの粘度範囲にあるガラスがさらに望ましい。これらは、画像、センサー、鏡検法、医療技術、デジタル映写、フォトリソグラフィー、レーザー技術、ウェハー/チップ技術の応用分野や、電気通信、光通信技術及び自動車部門でのオプチクス/照明用の使用に適していなければならない。
【課題を解決するための手段】
【0014】
前記目的は、特許請求の範囲に記載の本発明の各種態様によって達成される。特に、本発明によれば、酸化物基準で以下の組成
SiO 19〜45質量%、
3〜7.5質量%、
Nb 25〜31質量%、
O 2〜8質量%、
TiO 0.1〜2質量%、
ZrO 6〜10質量%、
Ta 0.5〜8質量%
を有することを特徴とする光学ガラスが提供される。
【発明の効果】
【0015】
本発明に係るガラスは、これらのガラス特性について公知の光学ガラスと共通した光学特性を有する。しかしながら、本発明に係るガラスは、著しいショート・フリント特性、良好な化学安定性及び加工特性、低い原材料及び加工コストによる低い製造コスト、それらのショート性による充分な結晶化安定性、良好なソラリゼーション安定性、並びに良好な溶融及び加工性によって識別される。本発明に係るガラスを用いることにより、結晶化安定性及び粘度−温度プロファイルの調整が達成され、それによりガラスを(例えばプレスにより又は再プレスにより)さらに加熱処理することが可能となる。
【0016】
本発明に係るガラスは、好ましくは、1.60≦n≦1.80の屈折率n及び/又は30≦ν≦40のアッベ数νを有し、1.65≦n≦1.75の屈折率n、及び/又は33≦ν≦38のアッベ数ν及びがより好ましい。
【0017】
一つの態様によれば、本発明に係るガラスは、107.6〜1013dPasの粘度範囲においてできるだけ「ショート」である。この点において、「ショート・ガラス」は、特定の粘度範囲において比較的僅かの温度変化によりその粘度が大きく変化するガラスを意味するものとする。このガラスの粘度が107.6dPasから1013dPasへ増大する温度間隔ΔTは、好ましくは100K以下である。
【0018】
以下の説明において、用語「X−フリー」又は「成分Xがフリー」は、ガラスは実質的にこの成分Xを含有しない、即ちそのような成分はせいぜいガラス中に不純物として存在するが、個々の成分としてガラス組成物に添加されていないことを意味する。ここで、Xは例えばLiOなどの所望の成分を指している。
【発明を実施するための最良の形態】
【0019】
本発明の基本ガラス系は、ニオブ珪酸塩ガラス系であり、ここでは僅かにBを含有する珪酸塩網状構造に埋め込まれたNbは主として要求された光学特性を調整するのに供される。このため、25〜31質量%、好ましくは30質量%以下、より好ましくは29質量%以下のNbが用いられる。同様に、Nbの下限含有量は26質量%であることが好ましい。上記範囲より低い含有量では、低いアッベ数で適度に高い屈折率を達成することはできなかった。Nbの核形成特性のために、上記範囲より高い含有量では結晶化され易いガラスとなり、その狭い加工範囲のために溶融プロセス又は二次熱間成形プロセスにおいて低い収率となってしまう。
【0020】
Nbが束縛される珪酸塩網状構造は、19〜45質量%、好ましくは少なくとも24質量%、より好ましくは少なくとも28質量%のSiOに基づいている。しかしながら、SiOのレベルは40質量%以下、より好ましくは36質量%以下に制限されることが好ましい。上記範囲よりも低いSiO含有量では、不安定な網状構造となり、従って失透し易くなり、あるいは少なくともガラスは結晶化され易くなる。上記範囲よりも高いSiO含有量では、非常に「ロング」なガラスとなり、即ちその粘度が温度の上昇又は加工に伴ってほんのゆっくりと変化するガラスになる。さらに、多量のSiOを含有するガラスは大抵非常に溶融し易くなる。これらの2つの特性は、最終寸法形状に近く熱間成形プロセスで加工しようとするガラスにとって禁止される。
【0021】
このため、多量の高屈折率物質により不安定化された網状構造は、二次網状構造形成剤であるBにより安定化され、この成分はその融剤に似た特性により、「ロング」ガラスも、また非常に溶融され易いガラスも生じない。この場合、3〜7.5質量%、好ましくは少なくとも5質量%のBが用いられ、特に好適な態様においては5〜6質量%のBを含有する。上記範囲よりも低い含有量では、所望の安定化効果を示さず、一方、上記範囲よりも高い含有量では、イオン移動度を増大させることにより本発明に係るガラスの結晶化感受性を増大し易くなる。
【0022】
Nbの他に、本発明に係るガラスの所望の光学特性を調整するために、高屈折率成分ZrOが6〜10質量%、好ましくは少なくとも7質量%及び/又は9質量%以下の割合で、またTaが0.5〜8質量%、好ましくは少なくとも0.5質量%及び/又は6質量%以下の割合で用いられる。これにより、本発明に従って、多量に用いるとガラスの結晶化感受性を増大するNbを少量で用いることが可能となる。さらに、Nbとは対照的に、両成分は光学ガラスの青色スペクトル端部での強い吸収がなく、そのため、所望の量の高屈折率成分を好ましいZrO及びTaに割り振ることにより、高いNb含有量のガラスに比べて透過率改善を達成できる。さらに、ZrO及び特にTaは波長依存屈折率プロファイル(分散)を促進し、それにより著しいショート・フリント特性をもたらす。
しかしながら、成分Nb、ZrO及びTaの核形成特性のために、それらの合計含有量は好ましくは47質量%、より好ましくは45質量%を超えるべきではない。
【0023】
TiOもまた、ZrO及びTaと同様に、屈折率を増大し、従って核形成作用を有する。さらに、TiO含有量が本発明で規定する範囲よりも高くなると、所定の範囲を超えてガラスの分散を増大させ、青色スペクトル端部でのそれらの透過率を低減させる。従って、本発明に係るガラス組成物は、0.1〜2質量%、好ましくは0.5質量%以下、より好ましくは0.45質量%以下の割合でTiOを含有する。しかしながら、それは長期間の輻射ダメージ、即ちソラリゼーションに対してガラスを安定化させるために、TiOを添加することが必要である。
【0024】
Oは、最終寸法形状に近い熱間成形に有利な光学特性及び温度−粘度プロファイルの両方の柔軟な微調整のために、2〜8質量%、好ましくは6質量%以下、より好ましくは少なくとも2.5質量%及び/又は4.5質量%以下のレベルで用いられる。上記範囲よりも低い割合では所望の効果は得られず、一方、上記範囲よりも高い割合では低屈折率及び/又は「ロング」ガラスになり易い傾向が過剰に強くなる。
【0025】
より低い含有量のアルカリ金属酸化物LiO(8質量%以下、好ましくは少なくとも1質量%、より好ましくは少なくとも3質量%及び/又は8質量%以下、さらに好ましくは6質量%以下)及びNaO(10質量%以下、好ましくは少なくとも2質量%、より好ましくは少なくとも5質量%及び/又は10質量%以下、さらに好ましくは8質量%以下)は、融剤としてのそれらの特性のために、応用特有の別の適応性、例えばイオン交換性(5質量%以下の任意成分AgOに加えて)及び粘度−温度プロファイルの僅かな変化のために添加される。
【0026】
それにも拘らず、本発明に係るガラスの好適な態様によれば、アルカリ金属酸化物の合計含有量は20質量%、好ましくは18質量%、特に好ましくは16質量%を超えるべきではない。上記範囲よりも高い含有量では低屈折率及び/又は「ロング」ガラスになり易い傾向が受け入れ難いほど強くなる。リチウム含有量が高すぎるとさらに溶解時に耐火材料に対するガラスの攻撃性が強くなり易くなる。これにより、より短い装置寿命に加えて、耐火材料のガラス中への侵入が強くなる。白金の場合、これにより青色スペクトル端部での透過損失をもたらし、セラミック材料の場合、異質結晶核の侵入により溶解並びに一次及び二次熱間成形(例えば、再プレス)の両方において結晶化感受性が強くなる。
【0027】
粘度−温度プロファイルを微調整する目的で、本発明に係るガラスは、好ましくは、18質量%以下、好ましくは12質量%以下の含有量で、MgO、CaO、SrO、BaO、ZnOのグループの成分MOを含有する。この場合、これらの成分の各々は、それぞれの含有量で8質量%以下、好ましくは5質量%以下である。他の好適な態様では、MgO及び/又はSrOを含有しない。CaOについては、より好ましくは、5質量%未満、最も好ましくは4質量%以下及び/又は少なくとも2質量%が望ましく、BaOについては、より好ましくは少なくとも0.1質量%及び/又は2質量%以下が望ましく、またZnについては、同様により好ましくは少なくとも0.1質量%及び/又は2質量%以下が望ましい。これらの上限を超えれば、粘度−温度プロファイルに対する著しい影響(ガラスは過度にショートになる)に加えて、高いアッベ数で屈折率の重大な低減をもたらし、従って、ここで規定した好適な光学特性範囲を外れてしまう。さらにMgO及びSrOは、その原料が高品質オプチックスに必要な量で容易に入手困難な成分であり、従って他のアルカリ土類金属酸化物よりもよりコスト高となる。しかしながら、これらの成分MOの代表例をさらに不要とし、即ちこれらの成分の一つに焦点を当てることは、粘度−温度プロファイルの可変性を制限することになり、同様に上記下限値よりも少なくすることはこれに負の影響を及ぼすことになる。
【0028】
達成し得る光学特性範囲内で特殊の点のより柔軟な調整のためには、本発明に係るガラスは、さらに、P、Y、Gd、GeO、Yb、WOのグループの酸化物又はFを5質量%以下の合計含有量で含有できる。F、P、Y、Gd、GeO、Yb、WOのグループの合計含有量及び/又は酸化銀含有量がそれぞれ5質量%を超えて増大すると、透過率の損失(AgO、Y、Gd、Yb、WOによる)に加えて、失透感受性の増大(Y、Gd、Ybによる)及び/又は望ましくないガラス「長さ」(GeOによる)及び/又はバッチ調製及び溶解プロセスにおける取り扱い及び作業保護の問題(F、Pによる)を生じ易くなる。
【0029】
本発明に係るガラスは、好ましくはLa−フリーである。Laは青色波長範囲内に強い吸収を持ち、このためLa含有ガラスの透過率端部(50%透過率値の波長)は受け入れ難いほど長波長側にシフトされる。酸化ランタンは、さらに光学ガラスの結晶化感受性を非常に著しく増大する。同じ理由により、本発明に係るガラスは、好ましくはB−フリーである。この成分は、溶解プロセスにおいて、酸化還元条件に弱いためにガラスに強い変色をさらにもたらす。そのようなガラスのプロセス幅(windows)は非常に狭く、従って従来の光学ガラスにとって不経済である。
【0030】
本発明の殆どの態様によれば、本発明に係るガラスは、好ましくは酸化アルミニウムを含有しない。しかしながら、本発明の特定の態様によれば、ガラスはまたイオン交換プロセスにも適している。この態様によれば、ガラスはAlを含有することが好ましい。6質量%以下の低いAl含有量は材料中の構造形成を促進し、これはまたイオン移動度を増大することによりイオン交換を助成する。しかしながら、6質量%を超えてAl含有量が増大すると、失透感受性が増大し、望ましくない「長さ」のガラスを生じ易くなり、従って、好ましくない。この態様のガラスはまた、5質量%以下、好ましくは2質量%以下の割合で酸化銀を含有することもできる。しかしながら、5質量%を超えて酸化銀の含有量が多くなると、ガラスの透過率の損失をもたらす。
【0031】
光学ガラスとして、本発明に係るガラスは、好ましくはまた着色剤及び/又は光学的に活性な例えばレーザー活性成分も含有しない。
本発明の他の態様によれば、光学ガラス又は固体レーザーのベース・ガラスとして、本発明に係るガラスは5質量%以下の含有量で着色剤及び/又は光学的に活性な例えばレーザー活性成分を含有してもよく、この量はガラス組成物の他の成分100質量%に添加する量としてさらに添加される。
【0032】
本発明の一つの態様によれば、好ましくは、本発明に係るガラスの少なくとも90質量%、より好ましくは少なくとも95質量%が前記した成分からなる。
本発明の他の態様によれば、本発明に係るガラスはまた、好ましくは、前述しなかった他の成分を含有せず、即ち、そのような態様によれば、ガラスは実質的に前記した成分からなる。ここで、用語「実質的に…からなる」は、この場合、他の成分はせいぜい不純物としては存在するが、ガラス組成物に個々の成分として故意に添加されていないことを意味する。
【0033】
本発明に係るガラスは、通常の清澄剤を少量で含有することができる。添加される清澄剤の合計量は、好ましくは、ガラス組成物の他の成分100質量%に添加する量として、最大2.0質量%、より好ましく最大1.0質量%である。本発明に係るガラスは、以下の成分の少なくとも1種を清澄剤として含有することができる(ガラス組成物の他の成分に対する添加量として、質量%で)。
Sb 0〜1%及び/又は
SnO 0〜1%及び/又は
SO2− 0〜1%及び/又は
NaCl 0〜1%及び/又は
As 0〜0.1%及び/又は
0〜1%。
【0034】
本発明に係るガラスの好適な一つの態様は、酸化物基準で以下の組成
SiO 28〜36質量%、
5〜7.5質量%、
Nb 26〜29質量%、
LiO 3〜6質量%、
NaO 5〜8質量%、
O 2.5〜4.5質量%、
CaO 2〜4質量%、
BaO 0.1〜2質量%、
ZnO 0.1〜2質量%、
TiO 0.1〜0.45質量%、
ZrO 7〜9質量%、
Ta 0.5〜6質量%
を有する。
【0035】
本発明に係るガラスは全て、さらに良好な化学安定性と結晶化に対する安定性、即ち結晶化安定性を有する。これらはさらに、良好な溶融性と最終寸法形状に近い柔軟な加工性、低いプロセスコストによる低い製造コスト、良好なイオン交換特性、良好なソラリゼーション安定性、及び良好な環境に対するやさしさによって識別される。
【0036】
本発明に係るガラスは、640℃以下のTgを有し、結晶化安定性であり、また良く加工できる。
本発明に係るガラスは、約7K/hの冷却速度で冷却した測定サンプルについて、−50×10−3以下の負の異常相対部分分散を有する。
本発明に係るガラスは、10.5×10−7/K以下の熱膨張率αを有する。これにより、さらなる加工及び組立技術における熱応力の問題を回避できる。
【0037】
本発明に係るガラスは、3.6g/cm以下の比密度を有する。本発明に係るガラスは、鉛含有のものに比べて非常に不活性な物質であるため、それらから作製された光学素子(光学要素)及び/又は光学部品は特に移動/携帯装置に適している。
【0038】
本発明に係るガラスを用いることにより、高感度な精密機械によってさえも最終寸法形状に近い非常に細かく規定された熱間成形を確実に行えるように、光学特性、粘度−温度プロファイル及び作業温度の調整を達成できる。結晶化安定性と粘度−温度プロファイルの相関関係もさらに達成でき、その後のガラスのさらなる熱処理、例えばプレス又は再プレス、あるいはイオン交換プロセスも容易に可能である。
【0039】
本発明はさらに、本発明に係るガラスの画像、センサー、鏡検法、医療技術、デジタル映写、電気通信、光通信技術/情報伝達、自動車部門でのオプチクス/照明、フォトリソグラフィー、ステッパー、エキシマレーザー、ウェハー、コンピューター・チップ及び/又は集積回路、及びそのような回路やチップを含む電子機器の応用分野における使用にも関する。
【0040】
本発明はさらに、本発明に係るガラスを含む光学素子にも関する。この場合、光学素子は、特にレンズ、プリズム、光導波路ロッド、アレー、光ファイバー、勾配部材、光学窓及びコンパクト部品であり得る。本発明によれば、用語「光学素子」は、例えば、たね、精密たね、等のこの種の光学素子のプリフォームも包含する。
【0041】
本発明はさらに、本発明に係る光学ガラスを精密プレスする工程からなる光学素子の製造方法にも関する。
本発明はさらに、光学部材や光学部品、例えばセンサー、鏡検法、医療技術、デジタル映写、電気通信、光通信技術/情報伝達、自動車部門でのオプチクス/照明、フォトリソグラフィー、ステッパー、エキシマレーザー、ウェハー、コンピューター・チップ及び/又は集積回路、及びそのような回路やチップを含む電子機器などを製造するための、そのような光学素子の使用にも関する。
【0042】
本発明はさらに、例えばセンサー、鏡検法、医療技術、デジタル映写、電気通信、光通信技術/情報伝達、自動車部門でのオプチクス/照明、フォトリソグラフィー、ステッパー、エキシマレーザー、ウェハー、コンピューター・チップ及び/又は集積回路、及びそのような回路やチップを含む電子機器用の光学部材や光学部品にも関する。
【実施例】
【0043】
以下に実施例を示して本発明について具体的に説明するが、本発明が以下の実施例に限定されるものでないことは言うまでもない。
【0044】
本発明の好適な組成範囲の8のガラス(実施例1〜8)及び比較例のガラスを表2及び表3にまとめて示す。本発明のガラスは以下のようにして製造した。
酸化物用の原料、好ましくは対応する炭酸塩を計量し、Sbなどの1種以上の清澄剤を加え、次いで充分に混合した。ガラスバッチをバッチ溶解装置内で約1250℃で溶解し、次いで清澄化し(1300℃)、均質化した。ガラスは約1000℃の注型温度で注型でき、所望の寸法に加工した。大容積の連続装置では、経験から、温度は少なくとも約100K低くでき、材料は最終形状に近い熱間成形法により、例えば精密プレス法で加工できる。
ガラス100kgの溶解例(計算値)の一例を表1に示す。なお、下記溶解例に従って得られたガラスは、表2に示す実施例2の特性を有していた。
【表1】

【0045】
下記表2及び表3には、本発明に係る実施例1〜8及び比較例1、2の組成(質量%)及び特性が示されている。特性としては、屈折率n、アッベ数ν、スペクトルの青色領域における部分分散Pg,F及びこの部分分散の標準直線からの偏差ΔPg,F[10−4]、試料厚さ25mmでの波長420nmの光透過率τ、熱膨張率α20−300[10−6/K]、ガラス転移温度Tg[℃]及び密度ρ[g/cm]を示す。
なお、比較例の組成では透明なガラスは得られず、むしろ冷却時に部分的な結晶化が生じ、ガラスセラミックを生成するような組成であった。従って、光学データを測定することができなかった。
【表2】

【0046】
【表3】


【特許請求の範囲】
【請求項1】
酸化物基準で以下の組成
SiO 19〜45質量%、
3〜7.5質量%、
Nb 25〜31質量%、
O 2〜8質量%、
TiO 0.1〜2質量%、
ZrO 6〜10質量%、
Ta 0.5〜8質量%
を有することを特徴とする光学ガラス。
【請求項2】
5質量%以下の量でAlを含有することを特徴とする請求項1に記載の光学ガラス。
【請求項3】
20質量%以下の量でLiO、NaO、KOよりなる群から選ばれた1種以上の成分を含有し、LiOの最大含有量が8質量%、NaOの最大含有量が10質量%であることを特徴とする請求項1又は2に記載の光学ガラス。
【請求項4】
4質量%以下、好ましくは2〜4質量%の量でCaOを含有することを特徴とする請求項1乃至3のいずれか一項に記載の光学ガラス。
【請求項5】
18質量%以下の量でMgO、CaO、SrO、BaO、ZnOよりなる群から選ばれた1種以上の成分を含有し、各成分の個々の含有量が8質量%以下であることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか一項に記載の光学ガラス。
【請求項6】
酸化物基準で以下の組成
SiO 28〜36質量%、
5〜7.5質量%、
Nb 26〜29質量%、
LiO 3〜6質量%、
NaO 5〜8質量%、
O 2.5〜4.5質量%、
CaO 2〜4質量%、
BaO 0.1〜2質量%、
ZnO 0.1〜2質量%、
TiO 0.1〜0.45質量%、
ZrO 7〜9質量%、
Ta 0.5〜6質量%
を有することを特徴とする請求項1乃至5のいずれか一項に記載の光学ガラス。
【請求項7】
合計量で5質量%以下の量でF、P、Y、Gd、GeO、Yb、WOよりなる群から選ばれた1種以上の成分を含有することを特徴とする請求項1乃至6のいずれか一項に記載の光学ガラス。
【請求項8】
清澄剤として少なくとも1種の以下の成分
Sb 0〜1質量%及び/又は
SnO 0〜1質量%及び/又は
NaCl 0〜1質量%及び/又は
SO2− 0〜1質量%及び/又は
0〜1質量%
を含有することを特徴とする請求項1乃至7のいずれか一項に記載の光学ガラス。
【請求項9】
1.60≦n≦1.80の屈折率n及び/又は30≦ν≦40のアッベ数νを有することを特徴とする請求項1乃至8のいずれか一項に記載の光学ガラス。
【請求項10】
前記請求項1乃至9のいずれか一項に記載のガラスのレンズ、プリズム、光導波路ロッド、アレー、光ファイバー、勾配部材、及び光学窓等の光学素子としての使用。
【請求項11】
前記請求項1乃至9のいずれか一項に記載のガラスを精密プレスする工程からなる光学素子の製造方法。
【請求項12】
前記請求項1乃至9のいずれか一項に記載のガラスを含む、レンズ、プリズム、光導波路ロッド、アレー、光ファイバー、勾配部材、及び光学窓等の光学素子。
【請求項13】
前記請求項12に記載の1つ以上の光学素子を含む、画像、センサー、鏡検法、医療技術、デジタル映写、電気通信、光通信技術/情報伝達、自動車部門でのオプチクス/照明、フォトリソグラフィー、ステッパー、エキシマレーザー、ウェハー、コンピューター・チップ及び/又は集積回路、及びそのような回路やチップを含む電子機器用の光学部材又は光学部品。
【請求項14】
画像、センサー、鏡検法、医療技術、デジタル映写、電気通信、光通信技術/情報伝達、自動車部門でのオプチクス/照明、フォトリソグラフィー、ステッパー、エキシマレーザー、ウェハー、コンピューター・チップ及び/又は集積回路、及びそのような回路やチップを含む電子機器用の光学部材又は光学部品を製造するための前記請求項12に記載の光学素子の使用。

【公開番号】特開2007−169157(P2007−169157A)
【公開日】平成19年7月5日(2007.7.5)
【国際特許分類】
【出願番号】特願2006−348695(P2006−348695)
【出願日】平成18年12月25日(2006.12.25)
【出願人】(504299782)ショット アクチエンゲゼルシャフト (346)
【氏名又は名称原語表記】Schott AG
【住所又は居所原語表記】Hattenbergstr.10,D−55122 Mainz,Germany
【Fターム(参考)】