吸湿部材の塗布装置及び有機ＥＬパネルの製造方法
【課題】 粘性の高い吸湿部材であっても薄く、かつ均一的に封止基板に塗布することが可能であり、また、塗布工程における歩留まりを向上させることが可能な吸湿部材の塗布装置及び有機ＥＬパネルの製造方法を提供する。
【解決手段】 基板６に粘性を有する吸湿部材７を塗布する吸湿部材７の塗布装置１０であって、吸湿部材７を基板６に吐出可能とする吐出口１２ａを有するニードル部１２と、ニードル部１２内に気体を注入する気体注入部１２ｂと、を少なくとも備えてなる。吐出口１２ａより前記気体を吐出する。前記気体は、低露点ガスである。気体注入部１２ｂは、吸湿部材７の逆流を防止する弁部１２ｃを有してなる。
【解決手段】 基板６に粘性を有する吸湿部材７を塗布する吸湿部材７の塗布装置１０であって、吸湿部材７を基板６に吐出可能とする吐出口１２ａを有するニードル部１２と、ニードル部１２内に気体を注入する気体注入部１２ｂと、を少なくとも備えてなる。吐出口１２ａより前記気体を吐出する。前記気体は、低露点ガスである。気体注入部１２ｂは、吸湿部材７の逆流を防止する弁部１２ｃを有してなる。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板に吸湿部材を塗布する吸湿部材の塗布装置及びこの塗布装置を用いた有機ＥＬ（エレクトロルミネッセンス）パネルの製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、自発光素子として少なくとも発光層を有する有機層を一対の電極で挟持した有機ＥＬ素子が知られている。かかる有機ＥＬ素子を用いた有機ＥＬパネルは、支持基板上に形成された有機ＥＬ素子を例えば凹形状の封止基板によって気密的に覆うとともに、前記封止基板の前記有機ＥＬ素子との対向面に水分を吸湿する吸湿部材を配設することが知られており、例えば、特許文献１に開示されている。かかる構成により、前記有機ＥＬ素子が水分や酸素と反応してダークフレームと称される非発光部が発生・成長して前記有機ＥＬ素子の発光寿命が損なわれることを抑制している。
【０００３】
前記吸湿部材は、例えばフッ素系オイルからなる不活性液体中に固体の吸着剤を所定の割合で混合することによって得られるクリーム状の吸湿部材を前記封止基板の前記有機ＥＬ素子との対向面に薄く均一的に塗布されている。このような前記吸湿部材を塗布する塗布装置としては、特許文献１に開示されるように、粘性を有する吸湿部材をディスペンスポンプによって送り出し、ニードル部に設けられた吐出口から吐出しながら前記ニードル部を前記封止基板の前記対向面に対して平行移動させて、前記吸湿部材を前記対向面に前記有機ＥＬ素子に当接しないように薄く均一的に塗布するものである。
【特許文献１】特開２００３−１６３０７６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、前記吸湿部材は、有機ＥＬパネルの使用状況による液だれや分離を防止するため、フッ素系オイルからなる不活性液体中に所定量の吸着剤と樹脂微粒子とを混合して粘性の高いクリーム状に形成され、前記封止基板の前記対向面に塗布されるものである。しかしながら、粘性が高い吸湿部材を用いた場合、前記ニードル部を前記対向面に塗布された前記吸湿部材から切り離す際に、前記吸湿部材が前記ニードル部によって引っ張られることで前記吸湿部材の厚さが部分的に著しく変化し、他の個所よりも厚い個所が生じる。この部分的に厚い個所は前記有機ＥＬ素子に接触することで電極を損傷させる等によって製品寿命を短くするおそれがあり、前記吸湿部材の塗布工程において歩留まりが低下するという問題点があった。
【０００５】
本発明は、前述した問題点に着目し、粘性の高い吸湿部材であっても薄くかつ均一的に封止基板に塗布することが可能であり、塗布工程における歩留まりを向上させることが可能な吸湿部材の塗布装置及び有機ＥＬパネルの製造方法を提供することを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の吸湿部材の塗布装置は、前記課題を解決するため、基板に粘性を有する吸湿部材を塗布する吸湿部材の塗布装置であって、前記吸湿部材を前記基板に吐出可能とする吐出口を有するニードル部と、前記ニードル部内に気体を注入する気体注入部と、を少なくとも備えてなることを特徴とする。
【０００７】
また、前記吐出口より前記気体を吐出することを特徴とする。
【０００８】
また、前記気体は、低露点ガスであることを特徴とする。
【０００９】
また、前記気体注入部は、前記吸湿部材の逆流を防止する弁部を有してなることを特徴とする。
【００１０】
本発明の有機ＥＬパネルの製造方法は、前記課題を解決するために、少なくとも発光層を含む有機層を一対の電極により狭持してなる有機ＥＬ素子を透光性の支持基板上に配設し、封止基板の前記有機ＥＬ素子との対向面に粘性を有する吸湿部材を塗布し、前記有機ＥＬ素子を封止基板によって気密的に収納してなる有機ＥＬパネルの製造方法であって、前記封止基板の前記対向面に対して前記吸湿部材を吐出するニードル部の吐出口を接近配置させ、前記吸湿部材を供給しながら前記ニードル部を前記対向面に対して略平行に所定距離移動させ、前記ニードル部内に気体を注入して前記吸湿部材を切断し、その後前記ニードル部を前記対向面から離すことを特徴とする。
【００１１】
また、前記吐出口より前記気体を吐出することを特徴とする。
【００１２】
また、前記気体は、低露点ガスであることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１３】
本発明は、基板に吸湿部材を塗布する吸湿部材の塗布装置及びこの塗布装置を用いた有機ＥＬパネルの製造方法に関し、粘性の高い吸湿部材であっても薄く、かつ均一的に封止基板に塗布することができ、また塗布工程における歩留まりを向上させることができるものである。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
以下、本発明の実施形態を添付図面に基づいて説明する。
【００１５】
図１及び図２を用いて有機ＥＬパネルの構造について説明する。有機ＥＬパネル１は、支持基板２と、第一電極３と、有機層４と、第二電極５と、封止基板６と、吸湿部材７と、を備えている。
【００１６】
支持基板２は、長方形形状からなり、透光性のガラス基板によって形成されている。
【００１７】
第一電極３は、有機層４に正孔を注入する陽極となるものであり、支持基板１上にインジウム錫酸化物（ＩＴＯ）やインジウム亜鉛酸化物（ＩＺＯ）あるいは酸化亜鉛（ＺｎＯ）等の透光性導電材料をスパッタリング法等の手段によって層状に形成してなり、フォトエッチング等の手段によって所定の形状にパターニングされる。
【００１８】
有機層４は、少なくとも正孔及び電子の再結合によって光を発する発光層を有するものであれば良いが、本発明の実施形態においては正孔注入層，正孔輸送層，発光層及び電子輸送層を順次積層して形成してなるものである。
【００１９】
第二電極５は、有機層４に電子を注入する陰極となるものであり、有機層４上に例えばＡｌ等の低抵抗の導電材料を蒸着法等の手段によって層状に形成してなる反射電極である。
【００２０】
以上のように、支持基板２上に前述した第一電極３と有機層４と第二電極５とを順次積層し積層体を形成することによって有機ＥＬ素子が設けられる。
【００２１】
封止基板６は、ガラス材料から構成されるもので、本実施形態においては凹形状となるように形成される。封止基板６は、前記有機ＥＬ素子との対向面６ａに吸湿部材７が塗布されている。また、封止基板６は、周辺部６ｂが紫外線硬化型の接着剤８を介して支持基板２と接着固定され、前記有機ＥＬ素子を気密的に収納する収納空間を構成する。
【００２２】
吸湿部材７は、支持基板２上に配設された封止基板６の前記有機ＥＬ素子との対向面６ａに配設され、前記収納空間内及び前記有機ＥＬ素子に含まれる水分を吸着するものである。吸湿部材７としては、たとえば活性アルミナ，モレキュラーシーブス，酸化カルシウム及び酸化バリウムなどの物理的あるいは化学的に水分を吸着する吸着剤と、耐熱温度が１５０℃以上で含水率が０．５％以下のシリコーンゴムからなりその平均粒径が５μｍ程度の球体からなる樹脂微粒子と、をフッ素系オイルからなる不活性液体中に混合してなるものが用いられ、吸着剤が流動しない程度の粘性（例えば５０，０００ｃｐ）を有するクリーム状部材であることが好ましい。吸湿部材７は、封止基板６を支持基板２上に配設した際に対向面６ａに塗布される吸湿部材７が前記有機ＥＬ素子に当接しないように薄く均一的に形成される。
【００２３】
次に、封止基板６に吸湿部材７を塗布する塗布装置１０と、有機ＥＬパネル１の製造方法における吸湿部材７の塗布工程と、について図２から図５を用いて説明する。塗布装置１０は、図２に示すように吸湿部材供給機構（ディスペンスポンプ）１１を備える。
【００２４】
吸湿部材供給機構１１は、ニードル部１２を備え、封止基板６の対向面６ａに吸湿部材７を所定量吐出するものである。また、吸湿部材供給機構１１は、図示しないアクチュエータやサーボモータなどから構成されるＸ−Ｙ−Ｚ移動手段によって横（Ｘ），縦（Ｙ）及び高さ（Ｚ）方向に移動できるように構成されている。
【００２５】
ニードル部１２は、吸湿部材供給機構１１から供給される吸湿部材７を封止基板６に向けて吐出する吐出口１２ａと、ニードル部１２内に気体を注入する気体注入部１２ｂと、気体注入部１２ｂの先端部に設けられニードル部１２内に向けて回動可能に支持される弁部１２ｃと、を有する。
【００２６】
上述した構成からなる塗布装置１０は、まず、吸湿部材供給機構１１を前記Ｘ−Ｙ−Ｚ移動手段によって封止基板６の前記有機ＥＬ素子との対向面６ａ側に下降させ、ニードル部１２と対向面６ａとの距離が所定間隔となるようにニードル部１２の吐出口１２ａを近接配置させる（図２参照）。次に、ニードル部１２内への吸湿部材７の供給動作を開始して吐出口１２ａから吸湿部材７を吐出させ、さらに、吸湿部材７の供給動作を維持したままニードル部１２を前記Ｘ−Ｙ−Ｚ移動手段によって封止基板６の対向面６ａに対して一定の高さを確保（間隔を維持）しつつ、かつ一定速度にて所定距離平行移動させる（図３参照）。次に、ニードル部１２が所定距離移動すると、図示しないエアーポンプ等の気体供給機構から気体注入部１２ｂに前記気体を導入し、気体注入部１２ｂから前記気体をニードル部１２内に注入する（図４参照）。ニードル部１２内に前記気体が注入されると、前記気体によってニードル部１２内の吸湿部材７が切断される。また、注入される前記気体によって弁部１２ｃがニードル部１２ｂ内に向かって回動されニードル部１２ｂ内を塞ぎ、吐出口１２ａ側に向けて更なる吸湿部材７が供給されて後に気体注入部１２ｂに吸湿部材７が逆流するのを防止する。なお、前記気体の注入とともに吸湿部材７の供給動作を停止させることが望ましい。前記気体は、吸湿部材７の機能を阻害しないよう窒素やドライエアー等の低露点ガスを用いるのが好適である。また、前記気体の注入タイミングは、吸湿部材７の塗布量やニードル部１２ｂの移動速度、あるいは塗布面積等の種々の塗布条件によって適宜決定される。そして、前記気体を注入しながらさらに所定距離移動させてニードル部１２に残留する吸湿部材７を塗布した後にニードル部１２ｂを停止させ、その後前記Ｘ−Ｙ−Ｚ移動手段によって吸湿部材供給機構１１を上昇させてニードル部１２を封止基板６の対向面６ａから引き離す（図５参照）。なお、ニードル部１２ｂ内に注入された前記気体は吐出口１２ａから吐出される。
【００２７】
かかる吸湿部材７の塗布装置１０及びこれを用いた有機ＥＬパネル１の製造方法は、ニードル部１２の上昇位置において既に吸湿部材７が切断されているため、ニードル部１２の上昇によって封止基板６の厚さ方向に引っ張られることがなく、吸湿部材７が部分的に著しく厚くなることを防止することが可能となるため、盛り上がりを抑制しつつ吸湿部材７を均一的でかつ薄く形成することができる。また、吸湿部材７を切断するためにニードル部１２を吸湿部材７の塗布終了位置からさらに空走りさせる必要がなく、封止基板６の対向面６ａ全体に吸湿部材７を塗布することができ、特に小型の有機ＥＬパネルにおいて十分な吸湿性能を確保することができる。
【００２８】
また、ニードル部１２ｂ内に注入された前記気体を吸湿部材７と同様に吐出口１２ａから吐出することにより、ニードル部１２の構造を複雑化させずに前記気体を外部に吐出することができる。なお、吐出口１２ａから吐出される前記気体を封止基板６に塗布された吸湿部材７に吹きつけ、さらに吸湿部材７を薄型化させても良い。
【００２９】
また、気体注入部１２ｂに吸湿部材７の逆流を防止する弁部１２ｃを設けることによって、吸湿部材７が気体注入部１２ｂに入り込むことによってその後の吸湿部材７の塗布量にバラツキが生じることがなく、吸湿部材７の塗布を連続的に行う場合であっても塗布動作の精度を保つことができる。
【００３０】
なお、本実施形態において塗布装置１０は、前記気体の注入を吸湿部材７の塗布終了位置手前で開始しその後塗布終了まで継続するものであったが、塗布装置１０は、ニードル部１２の移動中に間欠的に前記気体を注入するものであってもよい。
【００３１】
また、本実施形態における封止基板６は凹部形状をなすものであったが、平板状の封止基板を用いるものであっても良い。
【図面の簡単な説明】
【００３２】
【図１】本発明の実施形態における有機ＥＬパネルの要部断面図である。
【図２】同上実施形態の塗布装置を示す図である。
【図３】同上実施形態における吸湿部材の塗布工程を示す図である。
【図４】同上実施形態における吸湿部材の塗布工程を示す図である。
【図５】同上実施形態における吸湿部材の塗布工程を示す図である。
【符号の説明】
【００３３】
１ 有機ＥＬパネル
２ 支持基板
３ 第一電極
４ 有機層
５ 第二電極
６ 封止基板
６ａ 対向面
６ｂ 周辺部
７ 吸湿部材
８ 接着剤
１０ 塗布装置
１１ 吸湿部材供給機構
１２ ニードル部
１２ａ 吐出口
１２ｂ 気体注入部
１２ｃ 弁部
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板に吸湿部材を塗布する吸湿部材の塗布装置及びこの塗布装置を用いた有機ＥＬ（エレクトロルミネッセンス）パネルの製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、自発光素子として少なくとも発光層を有する有機層を一対の電極で挟持した有機ＥＬ素子が知られている。かかる有機ＥＬ素子を用いた有機ＥＬパネルは、支持基板上に形成された有機ＥＬ素子を例えば凹形状の封止基板によって気密的に覆うとともに、前記封止基板の前記有機ＥＬ素子との対向面に水分を吸湿する吸湿部材を配設することが知られており、例えば、特許文献１に開示されている。かかる構成により、前記有機ＥＬ素子が水分や酸素と反応してダークフレームと称される非発光部が発生・成長して前記有機ＥＬ素子の発光寿命が損なわれることを抑制している。
【０００３】
前記吸湿部材は、例えばフッ素系オイルからなる不活性液体中に固体の吸着剤を所定の割合で混合することによって得られるクリーム状の吸湿部材を前記封止基板の前記有機ＥＬ素子との対向面に薄く均一的に塗布されている。このような前記吸湿部材を塗布する塗布装置としては、特許文献１に開示されるように、粘性を有する吸湿部材をディスペンスポンプによって送り出し、ニードル部に設けられた吐出口から吐出しながら前記ニードル部を前記封止基板の前記対向面に対して平行移動させて、前記吸湿部材を前記対向面に前記有機ＥＬ素子に当接しないように薄く均一的に塗布するものである。
【特許文献１】特開２００３−１６３０７６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、前記吸湿部材は、有機ＥＬパネルの使用状況による液だれや分離を防止するため、フッ素系オイルからなる不活性液体中に所定量の吸着剤と樹脂微粒子とを混合して粘性の高いクリーム状に形成され、前記封止基板の前記対向面に塗布されるものである。しかしながら、粘性が高い吸湿部材を用いた場合、前記ニードル部を前記対向面に塗布された前記吸湿部材から切り離す際に、前記吸湿部材が前記ニードル部によって引っ張られることで前記吸湿部材の厚さが部分的に著しく変化し、他の個所よりも厚い個所が生じる。この部分的に厚い個所は前記有機ＥＬ素子に接触することで電極を損傷させる等によって製品寿命を短くするおそれがあり、前記吸湿部材の塗布工程において歩留まりが低下するという問題点があった。
【０００５】
本発明は、前述した問題点に着目し、粘性の高い吸湿部材であっても薄くかつ均一的に封止基板に塗布することが可能であり、塗布工程における歩留まりを向上させることが可能な吸湿部材の塗布装置及び有機ＥＬパネルの製造方法を提供することを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の吸湿部材の塗布装置は、前記課題を解決するため、基板に粘性を有する吸湿部材を塗布する吸湿部材の塗布装置であって、前記吸湿部材を前記基板に吐出可能とする吐出口を有するニードル部と、前記ニードル部内に気体を注入する気体注入部と、を少なくとも備えてなることを特徴とする。
【０００７】
また、前記吐出口より前記気体を吐出することを特徴とする。
【０００８】
また、前記気体は、低露点ガスであることを特徴とする。
【０００９】
また、前記気体注入部は、前記吸湿部材の逆流を防止する弁部を有してなることを特徴とする。
【００１０】
本発明の有機ＥＬパネルの製造方法は、前記課題を解決するために、少なくとも発光層を含む有機層を一対の電極により狭持してなる有機ＥＬ素子を透光性の支持基板上に配設し、封止基板の前記有機ＥＬ素子との対向面に粘性を有する吸湿部材を塗布し、前記有機ＥＬ素子を封止基板によって気密的に収納してなる有機ＥＬパネルの製造方法であって、前記封止基板の前記対向面に対して前記吸湿部材を吐出するニードル部の吐出口を接近配置させ、前記吸湿部材を供給しながら前記ニードル部を前記対向面に対して略平行に所定距離移動させ、前記ニードル部内に気体を注入して前記吸湿部材を切断し、その後前記ニードル部を前記対向面から離すことを特徴とする。
【００１１】
また、前記吐出口より前記気体を吐出することを特徴とする。
【００１２】
また、前記気体は、低露点ガスであることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１３】
本発明は、基板に吸湿部材を塗布する吸湿部材の塗布装置及びこの塗布装置を用いた有機ＥＬパネルの製造方法に関し、粘性の高い吸湿部材であっても薄く、かつ均一的に封止基板に塗布することができ、また塗布工程における歩留まりを向上させることができるものである。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
以下、本発明の実施形態を添付図面に基づいて説明する。
【００１５】
図１及び図２を用いて有機ＥＬパネルの構造について説明する。有機ＥＬパネル１は、支持基板２と、第一電極３と、有機層４と、第二電極５と、封止基板６と、吸湿部材７と、を備えている。
【００１６】
支持基板２は、長方形形状からなり、透光性のガラス基板によって形成されている。
【００１７】
第一電極３は、有機層４に正孔を注入する陽極となるものであり、支持基板１上にインジウム錫酸化物（ＩＴＯ）やインジウム亜鉛酸化物（ＩＺＯ）あるいは酸化亜鉛（ＺｎＯ）等の透光性導電材料をスパッタリング法等の手段によって層状に形成してなり、フォトエッチング等の手段によって所定の形状にパターニングされる。
【００１８】
有機層４は、少なくとも正孔及び電子の再結合によって光を発する発光層を有するものであれば良いが、本発明の実施形態においては正孔注入層，正孔輸送層，発光層及び電子輸送層を順次積層して形成してなるものである。
【００１９】
第二電極５は、有機層４に電子を注入する陰極となるものであり、有機層４上に例えばＡｌ等の低抵抗の導電材料を蒸着法等の手段によって層状に形成してなる反射電極である。
【００２０】
以上のように、支持基板２上に前述した第一電極３と有機層４と第二電極５とを順次積層し積層体を形成することによって有機ＥＬ素子が設けられる。
【００２１】
封止基板６は、ガラス材料から構成されるもので、本実施形態においては凹形状となるように形成される。封止基板６は、前記有機ＥＬ素子との対向面６ａに吸湿部材７が塗布されている。また、封止基板６は、周辺部６ｂが紫外線硬化型の接着剤８を介して支持基板２と接着固定され、前記有機ＥＬ素子を気密的に収納する収納空間を構成する。
【００２２】
吸湿部材７は、支持基板２上に配設された封止基板６の前記有機ＥＬ素子との対向面６ａに配設され、前記収納空間内及び前記有機ＥＬ素子に含まれる水分を吸着するものである。吸湿部材７としては、たとえば活性アルミナ，モレキュラーシーブス，酸化カルシウム及び酸化バリウムなどの物理的あるいは化学的に水分を吸着する吸着剤と、耐熱温度が１５０℃以上で含水率が０．５％以下のシリコーンゴムからなりその平均粒径が５μｍ程度の球体からなる樹脂微粒子と、をフッ素系オイルからなる不活性液体中に混合してなるものが用いられ、吸着剤が流動しない程度の粘性（例えば５０，０００ｃｐ）を有するクリーム状部材であることが好ましい。吸湿部材７は、封止基板６を支持基板２上に配設した際に対向面６ａに塗布される吸湿部材７が前記有機ＥＬ素子に当接しないように薄く均一的に形成される。
【００２３】
次に、封止基板６に吸湿部材７を塗布する塗布装置１０と、有機ＥＬパネル１の製造方法における吸湿部材７の塗布工程と、について図２から図５を用いて説明する。塗布装置１０は、図２に示すように吸湿部材供給機構（ディスペンスポンプ）１１を備える。
【００２４】
吸湿部材供給機構１１は、ニードル部１２を備え、封止基板６の対向面６ａに吸湿部材７を所定量吐出するものである。また、吸湿部材供給機構１１は、図示しないアクチュエータやサーボモータなどから構成されるＸ−Ｙ−Ｚ移動手段によって横（Ｘ），縦（Ｙ）及び高さ（Ｚ）方向に移動できるように構成されている。
【００２５】
ニードル部１２は、吸湿部材供給機構１１から供給される吸湿部材７を封止基板６に向けて吐出する吐出口１２ａと、ニードル部１２内に気体を注入する気体注入部１２ｂと、気体注入部１２ｂの先端部に設けられニードル部１２内に向けて回動可能に支持される弁部１２ｃと、を有する。
【００２６】
上述した構成からなる塗布装置１０は、まず、吸湿部材供給機構１１を前記Ｘ−Ｙ−Ｚ移動手段によって封止基板６の前記有機ＥＬ素子との対向面６ａ側に下降させ、ニードル部１２と対向面６ａとの距離が所定間隔となるようにニードル部１２の吐出口１２ａを近接配置させる（図２参照）。次に、ニードル部１２内への吸湿部材７の供給動作を開始して吐出口１２ａから吸湿部材７を吐出させ、さらに、吸湿部材７の供給動作を維持したままニードル部１２を前記Ｘ−Ｙ−Ｚ移動手段によって封止基板６の対向面６ａに対して一定の高さを確保（間隔を維持）しつつ、かつ一定速度にて所定距離平行移動させる（図３参照）。次に、ニードル部１２が所定距離移動すると、図示しないエアーポンプ等の気体供給機構から気体注入部１２ｂに前記気体を導入し、気体注入部１２ｂから前記気体をニードル部１２内に注入する（図４参照）。ニードル部１２内に前記気体が注入されると、前記気体によってニードル部１２内の吸湿部材７が切断される。また、注入される前記気体によって弁部１２ｃがニードル部１２ｂ内に向かって回動されニードル部１２ｂ内を塞ぎ、吐出口１２ａ側に向けて更なる吸湿部材７が供給されて後に気体注入部１２ｂに吸湿部材７が逆流するのを防止する。なお、前記気体の注入とともに吸湿部材７の供給動作を停止させることが望ましい。前記気体は、吸湿部材７の機能を阻害しないよう窒素やドライエアー等の低露点ガスを用いるのが好適である。また、前記気体の注入タイミングは、吸湿部材７の塗布量やニードル部１２ｂの移動速度、あるいは塗布面積等の種々の塗布条件によって適宜決定される。そして、前記気体を注入しながらさらに所定距離移動させてニードル部１２に残留する吸湿部材７を塗布した後にニードル部１２ｂを停止させ、その後前記Ｘ−Ｙ−Ｚ移動手段によって吸湿部材供給機構１１を上昇させてニードル部１２を封止基板６の対向面６ａから引き離す（図５参照）。なお、ニードル部１２ｂ内に注入された前記気体は吐出口１２ａから吐出される。
【００２７】
かかる吸湿部材７の塗布装置１０及びこれを用いた有機ＥＬパネル１の製造方法は、ニードル部１２の上昇位置において既に吸湿部材７が切断されているため、ニードル部１２の上昇によって封止基板６の厚さ方向に引っ張られることがなく、吸湿部材７が部分的に著しく厚くなることを防止することが可能となるため、盛り上がりを抑制しつつ吸湿部材７を均一的でかつ薄く形成することができる。また、吸湿部材７を切断するためにニードル部１２を吸湿部材７の塗布終了位置からさらに空走りさせる必要がなく、封止基板６の対向面６ａ全体に吸湿部材７を塗布することができ、特に小型の有機ＥＬパネルにおいて十分な吸湿性能を確保することができる。
【００２８】
また、ニードル部１２ｂ内に注入された前記気体を吸湿部材７と同様に吐出口１２ａから吐出することにより、ニードル部１２の構造を複雑化させずに前記気体を外部に吐出することができる。なお、吐出口１２ａから吐出される前記気体を封止基板６に塗布された吸湿部材７に吹きつけ、さらに吸湿部材７を薄型化させても良い。
【００２９】
また、気体注入部１２ｂに吸湿部材７の逆流を防止する弁部１２ｃを設けることによって、吸湿部材７が気体注入部１２ｂに入り込むことによってその後の吸湿部材７の塗布量にバラツキが生じることがなく、吸湿部材７の塗布を連続的に行う場合であっても塗布動作の精度を保つことができる。
【００３０】
なお、本実施形態において塗布装置１０は、前記気体の注入を吸湿部材７の塗布終了位置手前で開始しその後塗布終了まで継続するものであったが、塗布装置１０は、ニードル部１２の移動中に間欠的に前記気体を注入するものであってもよい。
【００３１】
また、本実施形態における封止基板６は凹部形状をなすものであったが、平板状の封止基板を用いるものであっても良い。
【図面の簡単な説明】
【００３２】
【図１】本発明の実施形態における有機ＥＬパネルの要部断面図である。
【図２】同上実施形態の塗布装置を示す図である。
【図３】同上実施形態における吸湿部材の塗布工程を示す図である。
【図４】同上実施形態における吸湿部材の塗布工程を示す図である。
【図５】同上実施形態における吸湿部材の塗布工程を示す図である。
【符号の説明】
【００３３】
１ 有機ＥＬパネル
２ 支持基板
３ 第一電極
４ 有機層
５ 第二電極
６ 封止基板
６ａ 対向面
６ｂ 周辺部
７ 吸湿部材
８ 接着剤
１０ 塗布装置
１１ 吸湿部材供給機構
１２ ニードル部
１２ａ 吐出口
１２ｂ 気体注入部
１２ｃ 弁部
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板に粘性を有する吸湿部材を塗布する吸湿部材の塗布装置であって、
前記吸湿部材を前記基板に吐出可能とする吐出口を有するニードル部と、前記ニードル部内に気体を注入する気体注入部と、を少なくとも備えてなることを特徴とする吸湿部材の塗布装置。
【請求項２】
前記吐出口より前記気体を吐出することを特徴とする請求項１に記載の吸湿部材の塗布装置。
【請求項３】
前記気体は、低露点ガスであることを特徴とする請求項１に記載の吸湿部材の塗布装置。
【請求項４】
前記気体注入部は、前記吸湿部材の逆流を防止する弁部を有してなることを特徴とする請求項１に記載の吸湿部材の塗布装置。
【請求項５】
少なくとも発光層を含む有機層を一対の電極により狭持してなる有機ＥＬ素子を透光性の支持基板上に配設し、封止基板の前記有機ＥＬ素子との対向面に粘性を有する吸湿部材を塗布し、前記有機ＥＬ素子を封止基板によって気密的に収納してなる有機ＥＬパネルの製造方法であって、
前記封止基板の前記対向面に対して前記吸湿部材を吐出するニードル部の吐出口を接近配置させ、前記吸湿部材を供給しながら前記ニードル部を前記対向面に対して略平行に所定距離移動させ、前記ニードル部内に気体を注入して前記吸湿部材を切断し、その後前記ニードル部を前記対向面から離すことを特徴とする有機ＥＬパネルの製造方法。
【請求項６】
前記吐出口より前記気体を吐出することを特徴とする請求項５に記載の有機ＥＬパネルの製造方法。
【請求項７】
前記気体は、低露点ガスであることを特徴とする請求項５に記載の有機ＥＬパネルの製造方法。
【請求項１】
基板に粘性を有する吸湿部材を塗布する吸湿部材の塗布装置であって、
前記吸湿部材を前記基板に吐出可能とする吐出口を有するニードル部と、前記ニードル部内に気体を注入する気体注入部と、を少なくとも備えてなることを特徴とする吸湿部材の塗布装置。
【請求項２】
前記吐出口より前記気体を吐出することを特徴とする請求項１に記載の吸湿部材の塗布装置。
【請求項３】
前記気体は、低露点ガスであることを特徴とする請求項１に記載の吸湿部材の塗布装置。
【請求項４】
前記気体注入部は、前記吸湿部材の逆流を防止する弁部を有してなることを特徴とする請求項１に記載の吸湿部材の塗布装置。
【請求項５】
少なくとも発光層を含む有機層を一対の電極により狭持してなる有機ＥＬ素子を透光性の支持基板上に配設し、封止基板の前記有機ＥＬ素子との対向面に粘性を有する吸湿部材を塗布し、前記有機ＥＬ素子を封止基板によって気密的に収納してなる有機ＥＬパネルの製造方法であって、
前記封止基板の前記対向面に対して前記吸湿部材を吐出するニードル部の吐出口を接近配置させ、前記吸湿部材を供給しながら前記ニードル部を前記対向面に対して略平行に所定距離移動させ、前記ニードル部内に気体を注入して前記吸湿部材を切断し、その後前記ニードル部を前記対向面から離すことを特徴とする有機ＥＬパネルの製造方法。
【請求項６】
前記吐出口より前記気体を吐出することを特徴とする請求項５に記載の有機ＥＬパネルの製造方法。
【請求項７】
前記気体は、低露点ガスであることを特徴とする請求項５に記載の有機ＥＬパネルの製造方法。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【公開番号】特開２０１０−８００６１（Ｐ２０１０−８００６１Ａ）
【公開日】平成２２年４月８日（２０１０．４．８）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００８−２４３４６７（Ｐ２００８−２４３４６７）
【出願日】平成２０年９月２３日（２００８．９．２３）
【出願人】（０００２３１５１２）日本精機株式会社 (1,561)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２２年４月８日（２０１０．４．８）
【国際特許分類】
【出願日】平成２０年９月２３日（２００８．９．２３）
【出願人】（０００２３１５１２）日本精機株式会社 (1,561)
【Ｆターム（参考）】
[ Back to top ]