導電率検出器およびこれを用いた導電率計並びに電磁濃度計
【課題】導電率検出器の耐食性を維持したまま被測定液の温度変化にすばやく追従できる導電率検出器およびこの導電率検出器を用いた導電率計並びに電磁濃度計を提供する。
【解決手段】 被測定液Ｓの導電率に応じた信号および温度信号を出力する電磁誘導式の導電率検出器において、
励磁トランス１０ａおよび検出トランス１０ｂを内蔵した検出部１０を備え、前記被測定液Ｓの導電率に応じた信号を出力する検出器本体１と、
この検出器本体１の外周面全体を覆うとともに前記被測定液Ｓに対して耐食性を有する皮膜Ｌとを備え、
ケース内に温度センサを収納したセンサ部２を前記検出器本体１に連結させ、前記検出部１０とともに前記被測定液Ｓの液面下に位置させるようにした。
【解決手段】 被測定液Ｓの導電率に応じた信号および温度信号を出力する電磁誘導式の導電率検出器において、
励磁トランス１０ａおよび検出トランス１０ｂを内蔵した検出部１０を備え、前記被測定液Ｓの導電率に応じた信号を出力する検出器本体１と、
この検出器本体１の外周面全体を覆うとともに前記被測定液Ｓに対して耐食性を有する皮膜Ｌとを備え、
ケース内に温度センサを収納したセンサ部２を前記検出器本体１に連結させ、前記検出部１０とともに前記被測定液Ｓの液面下に位置させるようにした。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、被測定液の導電率に応じた信号および温度信号を出力する電磁誘導式の導電率検出器およびこの導電率検出器を用いた電磁誘導式の導電率計に関する。さらに、この導電率計を用いた電磁濃度計に関する。
【背景技術】
【０００２】
図４は、従来の電磁誘導式の導電率検出器の一例を示す図である。導電率検出器の検出器本体は、同軸上に配置された励磁トランス１０ａおよび検出トランス１０ｂと、これらのトランスを収納する本体ケース１０ｃからなる検出部１０と、励磁トランス１０ａと検出トランス１０ｂのリード線を収納する支持部１１とから構成されている。本体ケース１０ｃおよび支持部１１は金属製であり、これらの外周面は樹脂などの絶縁物からなる皮膜Ｌで保護されている。本体ケース１０ｃの全体および支持部１１の一部は、被測定液Ｓに浸されている。
【０００３】
励磁トランス１０ａに交流電流を流すと、電磁誘導により被測定液Ｓ中に被測定液Ｓの導電率Ｃに比例した誘導電流Ｉが流れる。一方、検出トランス１０ｂには、誘導電流Ｉに比例した電圧Ｅが発生する。電圧Ｅは被測定液Ｓの導電率Ｃに比例した値となるため、この電圧Ｅを測定することによって被測定液Ｓの導電率Ｃを求めることができる。
【０００４】
ところで、導電率Ｃは被測定液Ｓの温度Ｔによって大きく変化するため、基準温度Ｔsにおける導電率Ｃsに換算する必要がある。そこで、支持部１１の内部に取り付けられた温度センサ１１ｂにより、支持部１１内部の温度を被測定液Ｓの温度Ｔとして検出し、導電率Ｃの温度補償を行う。
【０００５】
このような電磁誘導式の導電率検出器は、接液部に電極などの金属部品が露出していないため、耐食性に優れているという特徴がある。そのため、塩酸（HCl）や苛性ソーダ（NaOH）などの強酸、強アルカリの腐食性液体を被測定液Ｓとした測定に多く利用されている。このような電磁誘導式の導電率計がたとえば特許文献１に記載されている。
また、液体の導電率と濃度には相関があるため、このような導電率検出器を用いた導電率計は、特許文献２に記載されているように、液体の濃度を求める電磁濃度計としても広く利用されている。
【０００６】
【特許文献１】特開平１０−１５３５６４号公報
【特許文献２】特開２００２−２６７６３５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、上記従来の導電率検出器では、温度センサ１１ｂの温度応答が遅いという問題があった。
【０００８】
すなわち、温度センサ１１ｂが取り付けられている支持部１１は比較的大きな体積を有しているため、熱容量が大きい。そのため、被測定液Ｓに温度変化が生じても、支持部１１内部に温度変化が生じるまでに時間がかかり、その結果温度センサ１１ｂで測定される温度に変化が現れるまでに時間がかかってしまう。
【０００９】
また、支持部１１内部における温度センサ１１ｂの取り付け位置は、図４に示すように、導電率検出器の使用状況によっては被測定液Ｓの液面上となってしまう場合もあった。温度センサ１１ｂが被測定液Ｓの液面上となってしまうと、被測定液Ｓの温度変化を検出するまでにさらに時間がかかってしまう。
【００１０】
上記のような理由のため、測定中に被測定液Ｓの温度Ｔが変化すると、導電率Ｃsは一定であるにもかかわらず、まるで導電率Ｃsが変化しているかのような測定誤差を生じさせていた。
【００１１】
温度センサ１１ｂを検出器本体から独立した別体とした上で被測定液Ｓ中に入れることにより、温度センサ１１ｂの温度応答が大きく改善することが見込まれる。
このような構成とした場合には、温度センサ１１ｂと検出器本体との間の信号系統をピン端子コネクタで接続することも考えられるが、ピン端子が被測定液Ｓに濡れて腐食すると、腐食した部分から検出器本体内部に被測定液Ｓが浸入し、検出器本体に悪影響を及ぼすおそれがある。検出器本体は温度センサ１１ｂと比較して高価であるため、コストの観点から容易に交換するのは難しい。
【００１２】
本発明は、従来装置の問題をなくし、検出器本体の耐食性を確保したまま被測定液の温度変化にすばやく追従できる導電率検出器およびこの導電率検出器を用いた導電率計を提供することを目的とする。さらに、このような導電率計を用いた電磁濃度計を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
上記のような目的を達成するために、請求項１の発明は、
被測定液の導電率に応じた信号および温度信号を出力する電磁誘導式の導電率検出器において、
励磁トランスおよび検出トランスを内蔵した検出部を備え、前記被測定液の導電率に応じた信号を出力する検出器本体と、
この検出器本体の外周面全体を覆うとともに前記被測定液に対して耐食性を有する皮膜とを備え、
ケース内に温度センサを収納したセンサ部を前記検出器本体に連結させ、前記検出部とともに前記被測定液の液面下に位置させるようにしたことを特徴とする。
【００１４】
請求項２の発明は、請求項１に記載の導電率検出器において、
前記検出器本体から前記センサ部に無接点で電力を供給する伝送モジュールを備えたことを特徴とする。
【００１５】
請求項３の発明は、請求項２に記載の導電率検出器において、
前記伝送モジュールは、
前記検出器本体内部に配置された１次コイルを含む１次伝送モジュールと、
前記センサ部内部に配置された２次コイルを含む２次伝送モジュールとからなり、
電磁誘導により前記１次コイルから前記２次コイルに起電力を発生させることにより、前記１次伝送モジュールから前記２次伝送モジュールに対して電力を伝送することを特徴とする。
【００１６】
請求項４の発明は、請求項２または３に記載の導電率検出器において、
前記伝送モジュールは、前記センサ部で測定された温度情報を、負荷変調を利用してデータ伝送を行う方式で前記センサ部から前記検出器本体へ伝送することを特徴とする。
【００１７】
請求項５の発明は、請求項１〜４のいずれかに記載の導電率検出器において、
前記センサ部のケースは、金属製であることを特徴とする。
【００１８】
請求項６の発明は、請求項１〜５のいずれかに記載の導電率検出器において、
前記センサ部のケースは、前記検出器本体と同じ皮膜で覆われたことを特徴とする。
【００１９】
請求項７の発明は、請求項６に記載の導電率検出器において、
前記センサ部のケースは、皮膜が前記検出器本体の皮膜の肉厚よりも薄く形成されていることを特徴とする。
【００２０】
請求項８の発明は、請求項１〜７のいずれかに記載の導電率検出器において、
前記皮膜は、フッ素樹脂またはＰＥＥＫ（登録商標）樹脂であることを特徴とする。
【００２１】
請求項９の発明は、請求項１〜８のいずれかに記載の導電率検出器において、
前記センサ部は、圧入構造、ねじこみ構造、またはラッチ構造のいずれかで前記検出器本体に連結されることを特徴とする。
【００２２】
請求項１０の発明は、
請求項１〜９のいずれかに記載の導電率検出器と、
この導電率検出器から出力される導電率に応じた信号および温度信号に基づいて、前記被測定液の基準温度における導電率を求める導電率変換部と、
を備えたことを特徴とする導電率計である。
【００２３】
請求項１１の発明は、
請求項１０に記載の導電率計と、
この導電率計で測定した導電率に基づいて前記被測定液の濃度を求める演算部と、
を備えたことを特徴とする電磁濃度計である。
【発明の効果】
【００２４】
請求項１の発明によれば、
センサ部を検出器本体から着脱可能な別体としたことにより、センサ部のケースが小さなもので済み、センサ部全体の熱容量を小さくすることができる。そのため、センサ部内部に収納された温度センサは、被測定液の温度変化にすばやく追従することができる。
また、センサ部を検出部とともに被測定液の液面下に位置させるようにしたため、より被測定液の温度変化にすばやく追従することができる。さらに、検出器本体は従来通り外周面全体が皮膜で保護されている。
以上より、検出器本体の耐食性を確保したまま被測定液の温度変化にすばやく追従できる導電率検出器を実現できる。
【００２５】
請求項２の発明によれば、
検出器本体からセンサ部に無接点で電力を供給する伝送モジュールを備えているため、検出器本体とセンサ部とをピン端子コネクタで接続することなく、センサ部に電力供給を行うことができる。
【００２６】
請求項３の発明によれば、
伝送モジュールを電磁誘導式としたことにより、伝送モジュールの物理的構造が簡単となり、センサ部の形状の自由度を高めることができる。また、センサ部の小型化が容易である。
【００２７】
請求項４の発明によれば、
センサ部で測定された温度情報を、負荷変調を利用してデータ伝送を行う方式で検出器本体へ伝送することにより、センサ部に無線通信機などの温度情報伝送用のモジュールを追加することなく、温度情報の伝送を行うことができる。
【００２８】
請求項５の発明によれば、
センサ部のケースを金属製としたことにより、温度応答を大幅に向上できる。
【００２９】
請求項６の発明によれば、
センサ部のケースが耐食性のある皮膜で覆われているため、被測定液に破壊されにくい。
【００３０】
請求項７の発明によれば、
センサ部のケースの皮膜が検出器本体の皮膜の肉厚よりも薄く形成されているため、検出器本体の皮膜と同じ肉厚で形成された場合と比較して、温度応答がよい。
【００３１】
請求項８の発明によれば、
皮膜がフッ素樹脂またはＰＥＥＫ樹脂であるため、さまざまな腐食性液体の測定に対応できる。
【００３２】
請求項９の発明によれば、
前記センサ部は、圧入構造、ねじこみ構造、またはラッチ構造のいずれかで検出器本体に連結されるため、簡易な構造でセンサ部を検出器本体に連結させることができる。
【００３３】
請求項１０の発明によれば、
請求項１〜９に記載の導電率検出器を用いることにより、検出器本体の耐食性を維持したまま被測定液の温度変化にすばやく追従できる導電率計を実現できる。
【００３４】
請求項１１の発明によれば、
請求項１０に記載の導電率計を用いることにより、検出器本体の耐食性を維持したまま被測定液の温度変化にすばやく追従できる電磁濃度計を実現できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３５】
図１、図２は本発明の導電率計の一実施例を示す図である。図１は本発明の導電率計の導電率検出器の斜視図である。図２の（ａ）は図１の導電率検出器の正面図、（ｂ）は側面図、（ｃ）は突起部１２とセンサ部２の部分断面図である。従来例と同じ構成要素には同じ番号を付して説明を省略する。
【実施例１】
【００３６】
検出部１０と支持部１１で検出器本体１が構成されている。検出器本体１は、支持部１１に収納されたリード線１１ａにより、図示しない制御部２００に接続されている。支持部１１は、検出部１０との接合部付近に突起部１２が形成されている。さらに、突起部１２は検出部１０側にセンサ部取り付け面を有しており、ここに被測定液Ｓの温度Ｔを測定するセンサ部２が取り付けられている。
【００３７】
突起部１２のセンサ部取り付け面は、検出部１０と支持部１１の接合部とほぼ同じ高さに形成されている。センサ部２は、導電率検出器の使用時において、検出部１０とともに被測定液Ｓの液面下に配置される。検出器本体１とセンサ部２で、導電率検出器１００を構成している。
【００３８】
センサ部２は、ステンレス製のケース２０の内部に温度センサ２２等を収納した着脱式のユニットとして構成されている。突起部１２のセンサ部取り付け面には、センサ部２取り付け用の圧入孔が形成されている。センサ部２にはこの圧入孔に接合する凸部が形成されており、圧入により突起部１２に連結される。突起部１２は、圧入孔部分も含めて支持部１１に一体形成されている。検出器本体１は、突起部１２を含め外周面全体がフッ素樹脂の皮膜Ｌで覆われている。
【００３９】
突起部１２とセンサ部２は、それぞれ内部に基板１２１，２１を備えている。基板１２１と基板２１は、センサ部２が突起部１２に取り付けられた状態において対向するように配置されている。基板１２１，２１には、各種回路が形成されている。さらに、基板２１には、温度センサ２２が接続されている。
【００４０】
符号３０は、突起部１２からセンサ部２に駆動電力Ｐを供給するとともに、センサ部２から突起部１２に被測定液Ｓの温度Ｔを送信する伝送モジュールである。
伝送モジュール３０は、基板１２１に形成された１次伝送モジュール３１と、基板２１に形成された２次伝送モジュール３２から構成されている。１次伝送モジュール３１は１次コイルを、２次伝送モジュール３２は２次コイルを備えており、電磁誘導により１次コイルから２次コイルに電流を発生させることにより、１次伝送モジュール３１側から２次伝送モジュール３２側に無接点で電力Ｐが伝送される。
また、伝送モジュール３０は、２次コイルに負荷変調をかけてデータ伝送を行う方式により、温度Ｔを１次伝送モジュール３１へと伝送する。伝送された温度Ｔは、導電率Ｃの温度補償に利用される。
【００４１】
図３は、本発明の導電率計のブロック図である。導電率計は、検出器本体１およびセンサ部２からなる導電率検出器１００と、導電率検出器１００を制御する制御部２００、導電率Ｃsを表示する表示部３００から構成されている。
【００４２】
検出器本体１は、励磁トランス１０ａ、検出トランス１０ｂ、１次伝送モジュール３１を備えており、１次伝送モジュール３１は、送信回路３１ａ、１次コイル３１ｂ、受信回路３１ｃ、復調回路３１ｄから構成されている。
センサ部２は、温度センサ２２、センサ電圧測定回路２３、制御回路２４、２次伝送モジュール３２を備えており、２次伝送モジュール３２は、２次コイル３２ａ、整流回路３２ｂ、変調回路３２ｃ、負荷変調回路３２ｄから構成されている。
制御部２００は、励磁トランス１０ａを制御するトランス制御回路２１０、センサ部２への電力伝送を制御する駆動電力制御回路２２０、被測定液Ｓの基準温度における導電率Ｃsを求める導電率変換部２３０から構成されている。
【００４３】
トランス制御回路２１０は、励磁用の交流電流を励磁トランス１０ａに供給する。検出トランス１０ｂに発生した電圧Ｅは、導電率変換部２３０に入力される。
【００４４】
駆動電力制御回路２２０は、センサ部２への電力供給に必要な交流電流Ｉm1を生成し、送信回路３１ａに出力する。送信回路３１ａは、フィルタで不要な周波数を減衰し、コイル３１ｂに交流電流Ｉm1’を供給する。
コイル３１ｂに交流電流Ｉm1’が供給されると、電磁誘導により、２次コイル３２ａに交流電流Ｉm2が発生する。２次コイルに発生した交流電流Ｉm2は、整流回路３２ｂにより直流に変換され、センサ部２内の各回路を駆動する電力Ｐとして利用される。
【００４５】
温度センサ２２は、センサ電圧測定回路２３を介して駆動され、温度Ｔを電圧Ｅtに変換する。センサ電圧測定回路２３は、温度センサ２２に発生した電圧Ｅtを測定し、制御回路２４に出力する。制御回路２４は、電圧Ｅtを温度情報に変換して、変調回路３２ｃに出力する。
【００４６】
変調回路３２ｃは、制御回路２４から入力された温度情報を、データ伝送に適した送信データＳtに変換し、この送信データＳtに応じて負荷変調回路３２ｄを制御する。
負荷変調回路３２ｄは、２次コイル３２ａに並列に接続されたスイッチおよび抵抗成分からなる負荷から構成されている。負荷変調回路３２ｄは、２次コイル３２ａを適当な抵抗値を介して短絡させて２次コイル３２ａの負荷変調を行い、２次コイル３２ａによって生じる反磁界に変化を生じさせる。反磁界を変化させることにより１次コイルに流れる電流Ｉm1’に送信データを重畳させ、１次コイル３１ｂ側へデータ伝送を行う。
【００４７】
受信回路３１ｃは、重畳された送信データＳtを１次コイル３１ｂに流れる電流Ｉm1’から取り出し、復調回路３１ｄに出力する。復調回路３１ｄは、送信データＳtを温度情報に変換し、導電率変換部２３０に出力する。
【００４８】
導電率変換部２３０は、検出トランス１０ｂから入力される電圧Ｅを導電率Ｃに変換する。さらに、導電率変換部２３０は、導電率Ｃに対して温度情報に基づいて温度補償を行い、基準温度Ｔsにおける導電率Ｃsに変換する。得られた導電率Ｃsは、液晶表示器などの表示部３００で表示される。
【００４９】
本実施例は以上のように構成され、
センサ部２を検出器本体１から着脱可能な別体としたことにより、センサ部２のケース２０が小さなもので済み、センサ部２全体の熱容量を小さくすることができる。そのため、センサ部２内部に収納された温度センサ２２は、被測定液Ｓの温度変化にすばやく追従することができる。
また、センサ部２を検出部１０とともに被測定液Ｓの液面下に位置させるように構成したため、より被測定液Ｓの温度変化にすばやく追従することができる。さらに、センサ部２が検出部１０の近くで連結されているため、温度補償の精度がさらに向上する。
また、検出器本体１は従来通り外周面全体が皮膜Ｌで覆われているため、被測定液Ｓによる腐食から保護されている。
以上より、検出器本体１の耐食性を確保したまま被測定液Ｓの温度変化にすばやく追従できる導電率検出器１００を実現できる。
なお、センサ部２は着脱可能であるため、センサ部２が被測定液Ｓで破壊されたとしても、容易にセンサ部２を交換できる。
【００５０】
また、検出器本体１からセンサ部２に無接点で電力を供給する伝送モジュール３０を備えているため、検出器本体１とセンサ部２とをピン接続することなく、センサ部２に電力供給を行うことができる。
【００５１】
また、伝送モジュール３０を電磁誘導式としたことにより、伝送モジュール３０の物理的構造が簡単となり、センサ部２の形状の自由度を高めることができる。また、センサ部２の小型化が容易である。
【００５２】
また、センサ部２で測定された温度Ｔを、負荷変調を利用してデータ伝送を行う方式で検出器本体１へ伝送することにより、センサ部２に無線通信機などの温度情報伝送用のモジュールを追加することなく、温度情報の伝送を行うことができる。
【００５３】
また、センサ部２のケース２０を熱伝導度の高いステンレス製としたことにより、温度応答を大幅に向上できる。
【００５４】
また、皮膜Ｌがフッ素樹脂であるため、さまざまな腐食性液体を被測定液Ｓとした測定に対応できる。
【００５５】
また、センサ部２は、圧入構造で検出器本体１に連結されるため、簡易な構造でセンサ部２を検出器本体１に連結させることができる。
【００５６】
また、このような導電率検出器１００を用いることにより、検出器本体１の耐食性を維持したまま被測定液Ｓの温度変化にすばやく追従できる導電率計を実現できる。
さらに、このような導電率計を用いることにより、検出器本体１の耐食性を維持したまま被測定液Ｓの温度変化にすばやく追従できる電磁濃度計を実現できる。
【００５７】
なお、本実施例では、検出器本体１を覆う皮膜をフッ素樹脂としたが、ＰＥＥＫ樹脂など他の樹脂を利用してもよい。ＰＥＥＫ樹脂を利用した場合には、フッ素樹脂と同様に、さまざまな腐食性液体の測定に対応できる。
【００５８】
また、本実施例では、センサ部２を圧入構造により検出器本体１に連結したが、圧入構造に限らず、ねじ込み構造やラッチ構造を採用してもよい。
【００５９】
また、本実施例では、センサ部２のケース２０をステンレス製としたが、ハステロイなどの他の金属で形成してもよい。
さらに、ケース２０は、検出器本体１と同様に皮膜Ｌで覆われていてもよい。皮膜Ｌで覆われている場合は、覆われていない場合よりは温度応答低下が見込まれるが、被測定液Ｓによって破壊されにくくなり、長期にわたりセンサ部２を交換せずに済む。
なお、センサ部２の皮膜を検出器本体１の皮膜の肉厚よりも薄く形成すれば、被測定液Ｓに対する耐食性を確保しながら、さらに温度応答性を向上させることができる。
【００６０】
また、本実施例では、伝送モジュール３０を電磁誘導式のものを用いたが、無接点で電力を供給できれば、他の方式の伝送モジュールでもよい。
【００６１】
また、本実施例では、温度Ｔの測定のために、温度センサ２２に発生する電圧を測定するセンサ電圧測定回路２３を設けた。しかし、センサ電圧測定回路２３は、温度センサ２２の抵抗値変化を測定するセンサ抵抗測定回路としてもよい。
【００６２】
また、本実施例では、導電率Ｃsを求める導電率変換部２３０は制御部２００の一部として構成されているが、導電率検出器１００の一部として構成されていてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００６３】
【図１】本発明の導電率計の構成を示す図である。
【図２】本発明の導電率計の構成を示す図である。
【図３】本発明の導電率計のブロック図である。
【図４】従来の電磁誘導式の導電率計の一例を示す図である。
【符号の説明】
【００６４】
１ 検出器本体
１０ 検出部
１０ａ 励磁トランス
１０ｂ 検出トランス
１０ｃ 本体ケース
１１ 支持部
１１ａ リード線
１２ 突起部
１２１ 基板
２ センサ部
２０ ケース
２１ 基板
２２ 温度センサ
２３ センサ電圧測定回路
２４ 制御回路
３０ 伝送モジュール
３１ １次伝送モジュール
３１ａ 送信回路
３１ｂ １次コイル
３１ｃ 受信回路
３１ｄ 復調回路
３２ ２次伝送モジュール
３２ａ ２次コイル
３２ｂ 整流回路
３２ｃ 変調回路
３２ｄ 負荷変調回路
１００ 導電率検出器
２００ 制御部
２１０ トランス制御回路
２２０ 駆動電力制御回路
２３０ 導電率変換部
３００ 表示部
Ｌ 皮膜
Ｓ 被測定液
【技術分野】
【０００１】
本発明は、被測定液の導電率に応じた信号および温度信号を出力する電磁誘導式の導電率検出器およびこの導電率検出器を用いた電磁誘導式の導電率計に関する。さらに、この導電率計を用いた電磁濃度計に関する。
【背景技術】
【０００２】
図４は、従来の電磁誘導式の導電率検出器の一例を示す図である。導電率検出器の検出器本体は、同軸上に配置された励磁トランス１０ａおよび検出トランス１０ｂと、これらのトランスを収納する本体ケース１０ｃからなる検出部１０と、励磁トランス１０ａと検出トランス１０ｂのリード線を収納する支持部１１とから構成されている。本体ケース１０ｃおよび支持部１１は金属製であり、これらの外周面は樹脂などの絶縁物からなる皮膜Ｌで保護されている。本体ケース１０ｃの全体および支持部１１の一部は、被測定液Ｓに浸されている。
【０００３】
励磁トランス１０ａに交流電流を流すと、電磁誘導により被測定液Ｓ中に被測定液Ｓの導電率Ｃに比例した誘導電流Ｉが流れる。一方、検出トランス１０ｂには、誘導電流Ｉに比例した電圧Ｅが発生する。電圧Ｅは被測定液Ｓの導電率Ｃに比例した値となるため、この電圧Ｅを測定することによって被測定液Ｓの導電率Ｃを求めることができる。
【０００４】
ところで、導電率Ｃは被測定液Ｓの温度Ｔによって大きく変化するため、基準温度Ｔsにおける導電率Ｃsに換算する必要がある。そこで、支持部１１の内部に取り付けられた温度センサ１１ｂにより、支持部１１内部の温度を被測定液Ｓの温度Ｔとして検出し、導電率Ｃの温度補償を行う。
【０００５】
このような電磁誘導式の導電率検出器は、接液部に電極などの金属部品が露出していないため、耐食性に優れているという特徴がある。そのため、塩酸（HCl）や苛性ソーダ（NaOH）などの強酸、強アルカリの腐食性液体を被測定液Ｓとした測定に多く利用されている。このような電磁誘導式の導電率計がたとえば特許文献１に記載されている。
また、液体の導電率と濃度には相関があるため、このような導電率検出器を用いた導電率計は、特許文献２に記載されているように、液体の濃度を求める電磁濃度計としても広く利用されている。
【０００６】
【特許文献１】特開平１０−１５３５６４号公報
【特許文献２】特開２００２−２６７６３５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、上記従来の導電率検出器では、温度センサ１１ｂの温度応答が遅いという問題があった。
【０００８】
すなわち、温度センサ１１ｂが取り付けられている支持部１１は比較的大きな体積を有しているため、熱容量が大きい。そのため、被測定液Ｓに温度変化が生じても、支持部１１内部に温度変化が生じるまでに時間がかかり、その結果温度センサ１１ｂで測定される温度に変化が現れるまでに時間がかかってしまう。
【０００９】
また、支持部１１内部における温度センサ１１ｂの取り付け位置は、図４に示すように、導電率検出器の使用状況によっては被測定液Ｓの液面上となってしまう場合もあった。温度センサ１１ｂが被測定液Ｓの液面上となってしまうと、被測定液Ｓの温度変化を検出するまでにさらに時間がかかってしまう。
【００１０】
上記のような理由のため、測定中に被測定液Ｓの温度Ｔが変化すると、導電率Ｃsは一定であるにもかかわらず、まるで導電率Ｃsが変化しているかのような測定誤差を生じさせていた。
【００１１】
温度センサ１１ｂを検出器本体から独立した別体とした上で被測定液Ｓ中に入れることにより、温度センサ１１ｂの温度応答が大きく改善することが見込まれる。
このような構成とした場合には、温度センサ１１ｂと検出器本体との間の信号系統をピン端子コネクタで接続することも考えられるが、ピン端子が被測定液Ｓに濡れて腐食すると、腐食した部分から検出器本体内部に被測定液Ｓが浸入し、検出器本体に悪影響を及ぼすおそれがある。検出器本体は温度センサ１１ｂと比較して高価であるため、コストの観点から容易に交換するのは難しい。
【００１２】
本発明は、従来装置の問題をなくし、検出器本体の耐食性を確保したまま被測定液の温度変化にすばやく追従できる導電率検出器およびこの導電率検出器を用いた導電率計を提供することを目的とする。さらに、このような導電率計を用いた電磁濃度計を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
上記のような目的を達成するために、請求項１の発明は、
被測定液の導電率に応じた信号および温度信号を出力する電磁誘導式の導電率検出器において、
励磁トランスおよび検出トランスを内蔵した検出部を備え、前記被測定液の導電率に応じた信号を出力する検出器本体と、
この検出器本体の外周面全体を覆うとともに前記被測定液に対して耐食性を有する皮膜とを備え、
ケース内に温度センサを収納したセンサ部を前記検出器本体に連結させ、前記検出部とともに前記被測定液の液面下に位置させるようにしたことを特徴とする。
【００１４】
請求項２の発明は、請求項１に記載の導電率検出器において、
前記検出器本体から前記センサ部に無接点で電力を供給する伝送モジュールを備えたことを特徴とする。
【００１５】
請求項３の発明は、請求項２に記載の導電率検出器において、
前記伝送モジュールは、
前記検出器本体内部に配置された１次コイルを含む１次伝送モジュールと、
前記センサ部内部に配置された２次コイルを含む２次伝送モジュールとからなり、
電磁誘導により前記１次コイルから前記２次コイルに起電力を発生させることにより、前記１次伝送モジュールから前記２次伝送モジュールに対して電力を伝送することを特徴とする。
【００１６】
請求項４の発明は、請求項２または３に記載の導電率検出器において、
前記伝送モジュールは、前記センサ部で測定された温度情報を、負荷変調を利用してデータ伝送を行う方式で前記センサ部から前記検出器本体へ伝送することを特徴とする。
【００１７】
請求項５の発明は、請求項１〜４のいずれかに記載の導電率検出器において、
前記センサ部のケースは、金属製であることを特徴とする。
【００１８】
請求項６の発明は、請求項１〜５のいずれかに記載の導電率検出器において、
前記センサ部のケースは、前記検出器本体と同じ皮膜で覆われたことを特徴とする。
【００１９】
請求項７の発明は、請求項６に記載の導電率検出器において、
前記センサ部のケースは、皮膜が前記検出器本体の皮膜の肉厚よりも薄く形成されていることを特徴とする。
【００２０】
請求項８の発明は、請求項１〜７のいずれかに記載の導電率検出器において、
前記皮膜は、フッ素樹脂またはＰＥＥＫ（登録商標）樹脂であることを特徴とする。
【００２１】
請求項９の発明は、請求項１〜８のいずれかに記載の導電率検出器において、
前記センサ部は、圧入構造、ねじこみ構造、またはラッチ構造のいずれかで前記検出器本体に連結されることを特徴とする。
【００２２】
請求項１０の発明は、
請求項１〜９のいずれかに記載の導電率検出器と、
この導電率検出器から出力される導電率に応じた信号および温度信号に基づいて、前記被測定液の基準温度における導電率を求める導電率変換部と、
を備えたことを特徴とする導電率計である。
【００２３】
請求項１１の発明は、
請求項１０に記載の導電率計と、
この導電率計で測定した導電率に基づいて前記被測定液の濃度を求める演算部と、
を備えたことを特徴とする電磁濃度計である。
【発明の効果】
【００２４】
請求項１の発明によれば、
センサ部を検出器本体から着脱可能な別体としたことにより、センサ部のケースが小さなもので済み、センサ部全体の熱容量を小さくすることができる。そのため、センサ部内部に収納された温度センサは、被測定液の温度変化にすばやく追従することができる。
また、センサ部を検出部とともに被測定液の液面下に位置させるようにしたため、より被測定液の温度変化にすばやく追従することができる。さらに、検出器本体は従来通り外周面全体が皮膜で保護されている。
以上より、検出器本体の耐食性を確保したまま被測定液の温度変化にすばやく追従できる導電率検出器を実現できる。
【００２５】
請求項２の発明によれば、
検出器本体からセンサ部に無接点で電力を供給する伝送モジュールを備えているため、検出器本体とセンサ部とをピン端子コネクタで接続することなく、センサ部に電力供給を行うことができる。
【００２６】
請求項３の発明によれば、
伝送モジュールを電磁誘導式としたことにより、伝送モジュールの物理的構造が簡単となり、センサ部の形状の自由度を高めることができる。また、センサ部の小型化が容易である。
【００２７】
請求項４の発明によれば、
センサ部で測定された温度情報を、負荷変調を利用してデータ伝送を行う方式で検出器本体へ伝送することにより、センサ部に無線通信機などの温度情報伝送用のモジュールを追加することなく、温度情報の伝送を行うことができる。
【００２８】
請求項５の発明によれば、
センサ部のケースを金属製としたことにより、温度応答を大幅に向上できる。
【００２９】
請求項６の発明によれば、
センサ部のケースが耐食性のある皮膜で覆われているため、被測定液に破壊されにくい。
【００３０】
請求項７の発明によれば、
センサ部のケースの皮膜が検出器本体の皮膜の肉厚よりも薄く形成されているため、検出器本体の皮膜と同じ肉厚で形成された場合と比較して、温度応答がよい。
【００３１】
請求項８の発明によれば、
皮膜がフッ素樹脂またはＰＥＥＫ樹脂であるため、さまざまな腐食性液体の測定に対応できる。
【００３２】
請求項９の発明によれば、
前記センサ部は、圧入構造、ねじこみ構造、またはラッチ構造のいずれかで検出器本体に連結されるため、簡易な構造でセンサ部を検出器本体に連結させることができる。
【００３３】
請求項１０の発明によれば、
請求項１〜９に記載の導電率検出器を用いることにより、検出器本体の耐食性を維持したまま被測定液の温度変化にすばやく追従できる導電率計を実現できる。
【００３４】
請求項１１の発明によれば、
請求項１０に記載の導電率計を用いることにより、検出器本体の耐食性を維持したまま被測定液の温度変化にすばやく追従できる電磁濃度計を実現できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３５】
図１、図２は本発明の導電率計の一実施例を示す図である。図１は本発明の導電率計の導電率検出器の斜視図である。図２の（ａ）は図１の導電率検出器の正面図、（ｂ）は側面図、（ｃ）は突起部１２とセンサ部２の部分断面図である。従来例と同じ構成要素には同じ番号を付して説明を省略する。
【実施例１】
【００３６】
検出部１０と支持部１１で検出器本体１が構成されている。検出器本体１は、支持部１１に収納されたリード線１１ａにより、図示しない制御部２００に接続されている。支持部１１は、検出部１０との接合部付近に突起部１２が形成されている。さらに、突起部１２は検出部１０側にセンサ部取り付け面を有しており、ここに被測定液Ｓの温度Ｔを測定するセンサ部２が取り付けられている。
【００３７】
突起部１２のセンサ部取り付け面は、検出部１０と支持部１１の接合部とほぼ同じ高さに形成されている。センサ部２は、導電率検出器の使用時において、検出部１０とともに被測定液Ｓの液面下に配置される。検出器本体１とセンサ部２で、導電率検出器１００を構成している。
【００３８】
センサ部２は、ステンレス製のケース２０の内部に温度センサ２２等を収納した着脱式のユニットとして構成されている。突起部１２のセンサ部取り付け面には、センサ部２取り付け用の圧入孔が形成されている。センサ部２にはこの圧入孔に接合する凸部が形成されており、圧入により突起部１２に連結される。突起部１２は、圧入孔部分も含めて支持部１１に一体形成されている。検出器本体１は、突起部１２を含め外周面全体がフッ素樹脂の皮膜Ｌで覆われている。
【００３９】
突起部１２とセンサ部２は、それぞれ内部に基板１２１，２１を備えている。基板１２１と基板２１は、センサ部２が突起部１２に取り付けられた状態において対向するように配置されている。基板１２１，２１には、各種回路が形成されている。さらに、基板２１には、温度センサ２２が接続されている。
【００４０】
符号３０は、突起部１２からセンサ部２に駆動電力Ｐを供給するとともに、センサ部２から突起部１２に被測定液Ｓの温度Ｔを送信する伝送モジュールである。
伝送モジュール３０は、基板１２１に形成された１次伝送モジュール３１と、基板２１に形成された２次伝送モジュール３２から構成されている。１次伝送モジュール３１は１次コイルを、２次伝送モジュール３２は２次コイルを備えており、電磁誘導により１次コイルから２次コイルに電流を発生させることにより、１次伝送モジュール３１側から２次伝送モジュール３２側に無接点で電力Ｐが伝送される。
また、伝送モジュール３０は、２次コイルに負荷変調をかけてデータ伝送を行う方式により、温度Ｔを１次伝送モジュール３１へと伝送する。伝送された温度Ｔは、導電率Ｃの温度補償に利用される。
【００４１】
図３は、本発明の導電率計のブロック図である。導電率計は、検出器本体１およびセンサ部２からなる導電率検出器１００と、導電率検出器１００を制御する制御部２００、導電率Ｃsを表示する表示部３００から構成されている。
【００４２】
検出器本体１は、励磁トランス１０ａ、検出トランス１０ｂ、１次伝送モジュール３１を備えており、１次伝送モジュール３１は、送信回路３１ａ、１次コイル３１ｂ、受信回路３１ｃ、復調回路３１ｄから構成されている。
センサ部２は、温度センサ２２、センサ電圧測定回路２３、制御回路２４、２次伝送モジュール３２を備えており、２次伝送モジュール３２は、２次コイル３２ａ、整流回路３２ｂ、変調回路３２ｃ、負荷変調回路３２ｄから構成されている。
制御部２００は、励磁トランス１０ａを制御するトランス制御回路２１０、センサ部２への電力伝送を制御する駆動電力制御回路２２０、被測定液Ｓの基準温度における導電率Ｃsを求める導電率変換部２３０から構成されている。
【００４３】
トランス制御回路２１０は、励磁用の交流電流を励磁トランス１０ａに供給する。検出トランス１０ｂに発生した電圧Ｅは、導電率変換部２３０に入力される。
【００４４】
駆動電力制御回路２２０は、センサ部２への電力供給に必要な交流電流Ｉm1を生成し、送信回路３１ａに出力する。送信回路３１ａは、フィルタで不要な周波数を減衰し、コイル３１ｂに交流電流Ｉm1’を供給する。
コイル３１ｂに交流電流Ｉm1’が供給されると、電磁誘導により、２次コイル３２ａに交流電流Ｉm2が発生する。２次コイルに発生した交流電流Ｉm2は、整流回路３２ｂにより直流に変換され、センサ部２内の各回路を駆動する電力Ｐとして利用される。
【００４５】
温度センサ２２は、センサ電圧測定回路２３を介して駆動され、温度Ｔを電圧Ｅtに変換する。センサ電圧測定回路２３は、温度センサ２２に発生した電圧Ｅtを測定し、制御回路２４に出力する。制御回路２４は、電圧Ｅtを温度情報に変換して、変調回路３２ｃに出力する。
【００４６】
変調回路３２ｃは、制御回路２４から入力された温度情報を、データ伝送に適した送信データＳtに変換し、この送信データＳtに応じて負荷変調回路３２ｄを制御する。
負荷変調回路３２ｄは、２次コイル３２ａに並列に接続されたスイッチおよび抵抗成分からなる負荷から構成されている。負荷変調回路３２ｄは、２次コイル３２ａを適当な抵抗値を介して短絡させて２次コイル３２ａの負荷変調を行い、２次コイル３２ａによって生じる反磁界に変化を生じさせる。反磁界を変化させることにより１次コイルに流れる電流Ｉm1’に送信データを重畳させ、１次コイル３１ｂ側へデータ伝送を行う。
【００４７】
受信回路３１ｃは、重畳された送信データＳtを１次コイル３１ｂに流れる電流Ｉm1’から取り出し、復調回路３１ｄに出力する。復調回路３１ｄは、送信データＳtを温度情報に変換し、導電率変換部２３０に出力する。
【００４８】
導電率変換部２３０は、検出トランス１０ｂから入力される電圧Ｅを導電率Ｃに変換する。さらに、導電率変換部２３０は、導電率Ｃに対して温度情報に基づいて温度補償を行い、基準温度Ｔsにおける導電率Ｃsに変換する。得られた導電率Ｃsは、液晶表示器などの表示部３００で表示される。
【００４９】
本実施例は以上のように構成され、
センサ部２を検出器本体１から着脱可能な別体としたことにより、センサ部２のケース２０が小さなもので済み、センサ部２全体の熱容量を小さくすることができる。そのため、センサ部２内部に収納された温度センサ２２は、被測定液Ｓの温度変化にすばやく追従することができる。
また、センサ部２を検出部１０とともに被測定液Ｓの液面下に位置させるように構成したため、より被測定液Ｓの温度変化にすばやく追従することができる。さらに、センサ部２が検出部１０の近くで連結されているため、温度補償の精度がさらに向上する。
また、検出器本体１は従来通り外周面全体が皮膜Ｌで覆われているため、被測定液Ｓによる腐食から保護されている。
以上より、検出器本体１の耐食性を確保したまま被測定液Ｓの温度変化にすばやく追従できる導電率検出器１００を実現できる。
なお、センサ部２は着脱可能であるため、センサ部２が被測定液Ｓで破壊されたとしても、容易にセンサ部２を交換できる。
【００５０】
また、検出器本体１からセンサ部２に無接点で電力を供給する伝送モジュール３０を備えているため、検出器本体１とセンサ部２とをピン接続することなく、センサ部２に電力供給を行うことができる。
【００５１】
また、伝送モジュール３０を電磁誘導式としたことにより、伝送モジュール３０の物理的構造が簡単となり、センサ部２の形状の自由度を高めることができる。また、センサ部２の小型化が容易である。
【００５２】
また、センサ部２で測定された温度Ｔを、負荷変調を利用してデータ伝送を行う方式で検出器本体１へ伝送することにより、センサ部２に無線通信機などの温度情報伝送用のモジュールを追加することなく、温度情報の伝送を行うことができる。
【００５３】
また、センサ部２のケース２０を熱伝導度の高いステンレス製としたことにより、温度応答を大幅に向上できる。
【００５４】
また、皮膜Ｌがフッ素樹脂であるため、さまざまな腐食性液体を被測定液Ｓとした測定に対応できる。
【００５５】
また、センサ部２は、圧入構造で検出器本体１に連結されるため、簡易な構造でセンサ部２を検出器本体１に連結させることができる。
【００５６】
また、このような導電率検出器１００を用いることにより、検出器本体１の耐食性を維持したまま被測定液Ｓの温度変化にすばやく追従できる導電率計を実現できる。
さらに、このような導電率計を用いることにより、検出器本体１の耐食性を維持したまま被測定液Ｓの温度変化にすばやく追従できる電磁濃度計を実現できる。
【００５７】
なお、本実施例では、検出器本体１を覆う皮膜をフッ素樹脂としたが、ＰＥＥＫ樹脂など他の樹脂を利用してもよい。ＰＥＥＫ樹脂を利用した場合には、フッ素樹脂と同様に、さまざまな腐食性液体の測定に対応できる。
【００５８】
また、本実施例では、センサ部２を圧入構造により検出器本体１に連結したが、圧入構造に限らず、ねじ込み構造やラッチ構造を採用してもよい。
【００５９】
また、本実施例では、センサ部２のケース２０をステンレス製としたが、ハステロイなどの他の金属で形成してもよい。
さらに、ケース２０は、検出器本体１と同様に皮膜Ｌで覆われていてもよい。皮膜Ｌで覆われている場合は、覆われていない場合よりは温度応答低下が見込まれるが、被測定液Ｓによって破壊されにくくなり、長期にわたりセンサ部２を交換せずに済む。
なお、センサ部２の皮膜を検出器本体１の皮膜の肉厚よりも薄く形成すれば、被測定液Ｓに対する耐食性を確保しながら、さらに温度応答性を向上させることができる。
【００６０】
また、本実施例では、伝送モジュール３０を電磁誘導式のものを用いたが、無接点で電力を供給できれば、他の方式の伝送モジュールでもよい。
【００６１】
また、本実施例では、温度Ｔの測定のために、温度センサ２２に発生する電圧を測定するセンサ電圧測定回路２３を設けた。しかし、センサ電圧測定回路２３は、温度センサ２２の抵抗値変化を測定するセンサ抵抗測定回路としてもよい。
【００６２】
また、本実施例では、導電率Ｃsを求める導電率変換部２３０は制御部２００の一部として構成されているが、導電率検出器１００の一部として構成されていてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００６３】
【図１】本発明の導電率計の構成を示す図である。
【図２】本発明の導電率計の構成を示す図である。
【図３】本発明の導電率計のブロック図である。
【図４】従来の電磁誘導式の導電率計の一例を示す図である。
【符号の説明】
【００６４】
１ 検出器本体
１０ 検出部
１０ａ 励磁トランス
１０ｂ 検出トランス
１０ｃ 本体ケース
１１ 支持部
１１ａ リード線
１２ 突起部
１２１ 基板
２ センサ部
２０ ケース
２１ 基板
２２ 温度センサ
２３ センサ電圧測定回路
２４ 制御回路
３０ 伝送モジュール
３１ １次伝送モジュール
３１ａ 送信回路
３１ｂ １次コイル
３１ｃ 受信回路
３１ｄ 復調回路
３２ ２次伝送モジュール
３２ａ ２次コイル
３２ｂ 整流回路
３２ｃ 変調回路
３２ｄ 負荷変調回路
１００ 導電率検出器
２００ 制御部
２１０ トランス制御回路
２２０ 駆動電力制御回路
２３０ 導電率変換部
３００ 表示部
Ｌ 皮膜
Ｓ 被測定液
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被測定液の導電率に応じた信号および温度信号を出力する電磁誘導式の導電率検出器において、
励磁トランスおよび検出トランスを内蔵した検出部を備え、前記被測定液の導電率に応じた信号を出力する検出器本体と、
この検出器本体の外周面全体を覆うとともに前記被測定液に対して耐食性を有する皮膜とを備え、
ケース内に温度センサを収納したセンサ部を前記検出器本体に連結させ、前記検出部とともに前記被測定液の液面下に位置させるようにしたことを特徴とする導電率検出器。
【請求項２】
前記検出器本体から前記センサ部に無接点で電力を供給する伝送モジュールを備えたことを特徴とする請求項１に記載の導電率検出器。
【請求項３】
前記伝送モジュールは、
前記検出器本体内部に配置された１次コイルを含む１次伝送モジュールと、
前記センサ部内部に配置された２次コイルを含む２次伝送モジュールとからなり、
電磁誘導により前記１次コイルから前記２次コイルに起電力を発生させることにより、前記１次伝送モジュールから前記２次伝送モジュールに対して電力を伝送することを特徴とする請求項２に記載の導電率検出器。
【請求項４】
前記伝送モジュールは、前記センサ部で測定された温度情報を、負荷変調を利用してデータ伝送を行う方式で前記センサ部から前記検出器本体へ伝送することを特徴とする請求項２または３に記載の導電率検出器。
【請求項５】
前記センサ部のケースは、金属製であることを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載の導電率検出器。
【請求項６】
前記センサ部のケースは、前記検出器本体と同じ皮膜で覆われたことを特徴とする請求項１〜５のいずれかに記載の導電率検出器。
【請求項７】
前記センサ部のケースは、皮膜が前記検出器本体の皮膜の肉厚よりも薄く形成されていることを特徴とする請求項６に記載の導電率検出器。
【請求項８】
前記皮膜は、フッ素樹脂またはＰＥＥＫ（登録商標）樹脂であることを特徴とする請求項１〜７のいずれかに記載の導電率検出器。
【請求項９】
前記センサ部は、圧入構造、ねじこみ構造、またはラッチ構造のいずれかで前記検出器本体に連結されることを特徴とする請求項１〜８のいずれかに記載の導電率検出器。
【請求項１０】
請求項１〜９のいずれかに記載の導電率検出器と、
この導電率検出器から出力される導電率に応じた信号および温度信号に基づいて、前記被測定液の基準温度における導電率を求める導電率変換部と、
を備えたことを特徴とする導電率計。
【請求項１１】
請求項１０に記載の導電率計と、
この導電率計で測定した導電率に基づいて前記被測定液の濃度を求める演算部と、
を備えたことを特徴とする電磁濃度計。
【請求項１】
被測定液の導電率に応じた信号および温度信号を出力する電磁誘導式の導電率検出器において、
励磁トランスおよび検出トランスを内蔵した検出部を備え、前記被測定液の導電率に応じた信号を出力する検出器本体と、
この検出器本体の外周面全体を覆うとともに前記被測定液に対して耐食性を有する皮膜とを備え、
ケース内に温度センサを収納したセンサ部を前記検出器本体に連結させ、前記検出部とともに前記被測定液の液面下に位置させるようにしたことを特徴とする導電率検出器。
【請求項２】
前記検出器本体から前記センサ部に無接点で電力を供給する伝送モジュールを備えたことを特徴とする請求項１に記載の導電率検出器。
【請求項３】
前記伝送モジュールは、
前記検出器本体内部に配置された１次コイルを含む１次伝送モジュールと、
前記センサ部内部に配置された２次コイルを含む２次伝送モジュールとからなり、
電磁誘導により前記１次コイルから前記２次コイルに起電力を発生させることにより、前記１次伝送モジュールから前記２次伝送モジュールに対して電力を伝送することを特徴とする請求項２に記載の導電率検出器。
【請求項４】
前記伝送モジュールは、前記センサ部で測定された温度情報を、負荷変調を利用してデータ伝送を行う方式で前記センサ部から前記検出器本体へ伝送することを特徴とする請求項２または３に記載の導電率検出器。
【請求項５】
前記センサ部のケースは、金属製であることを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載の導電率検出器。
【請求項６】
前記センサ部のケースは、前記検出器本体と同じ皮膜で覆われたことを特徴とする請求項１〜５のいずれかに記載の導電率検出器。
【請求項７】
前記センサ部のケースは、皮膜が前記検出器本体の皮膜の肉厚よりも薄く形成されていることを特徴とする請求項６に記載の導電率検出器。
【請求項８】
前記皮膜は、フッ素樹脂またはＰＥＥＫ（登録商標）樹脂であることを特徴とする請求項１〜７のいずれかに記載の導電率検出器。
【請求項９】
前記センサ部は、圧入構造、ねじこみ構造、またはラッチ構造のいずれかで前記検出器本体に連結されることを特徴とする請求項１〜８のいずれかに記載の導電率検出器。
【請求項１０】
請求項１〜９のいずれかに記載の導電率検出器と、
この導電率検出器から出力される導電率に応じた信号および温度信号に基づいて、前記被測定液の基準温度における導電率を求める導電率変換部と、
を備えたことを特徴とする導電率計。
【請求項１１】
請求項１０に記載の導電率計と、
この導電率計で測定した導電率に基づいて前記被測定液の濃度を求める演算部と、
を備えたことを特徴とする電磁濃度計。
【図３】
【図１】
【図２】
【図４】
【図１】
【図２】
【図４】
【公開番号】特開２０１０−８５２１６（Ｐ２０１０−８５２１６Ａ）
【公開日】平成２２年４月１５日（２０１０．４．１５）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００８−２５３８５６（Ｐ２００８−２５３８５６）
【出願日】平成２０年９月３０日（２００８．９．３０）
【出願人】（０００００６５０７）横河電機株式会社 (4,443)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２２年４月１５日（２０１０．４．１５）
【国際特許分類】
【出願日】平成２０年９月３０日（２００８．９．３０）
【出願人】（０００００６５０７）横河電機株式会社 (4,443)
【Ｆターム（参考）】
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