弾性波フィルタ
【課題】通過帯域の劣化を抑制することができ、また小型化を図ることができる弾性波フィルタを提供する。
【解決手段】第１の直列腕２、第２の直列腕３及び並列腕３の弾性波共振子が共通の接続点に接続された回路を備えた弾性波フィルタにおいて、第１の直列腕２と、第２の直列腕３又は並列腕４の一方と、を左右方向に隣接して位置させ、これらの並びの後方側に第２の直列腕３又は並列腕４の他方を位置させ、更に第１の直列腕２、第２の直列腕３、並列腕４内の所定のバスバー２２ｂ、３２ｂ、４２ａを共通の接続点側に位置させる。
【解決手段】第１の直列腕２、第２の直列腕３及び並列腕３の弾性波共振子が共通の接続点に接続された回路を備えた弾性波フィルタにおいて、第１の直列腕２と、第２の直列腕３又は並列腕４の一方と、を左右方向に隣接して位置させ、これらの並びの後方側に第２の直列腕３又は並列腕４の他方を位置させ、更に第１の直列腕２、第２の直列腕３、並列腕４内の所定のバスバー２２ｂ、３２ｂ、４２ａを共通の接続点側に位置させる。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ＳＡＷ（Surface Acoustic Wave）共振子等の弾性波共振子を備えた弾性波フィルタに係る。
【背景技術】
【０００２】
携帯電話等の移動体端末に実装され、高周波信号の弁別を行う弾性波フィルタには、例えば図９に示すように１個の直列腕１０１と１個の並列腕１０２とを基本区間１０３とする定Ｋ形回路を形成し、この定Ｋ形回路の基本区間１０３を複数組直列に接続した構成のラダー型フィルタ１００が採用されている。そして、これら基本区間１０３内の直列腕１０１の共振周波数と並列腕１０２の反共振周波数とをほぼ一致させることにより特定波長を有する信号を通過させることができる。
【０００３】
このような直列腕１０１や並列腕１０２には、小型化が容易でありフォトリソグラフィ技術により複数の共振子を同時に形成可能なＳＡＷ共振子等が採用されることが多い。この場合には、例えば図９中に模式的に示すようにこれらの共振子１０１、１０２を共通のチップ等の上に同時形成することにより既述の定Ｋ形回路の基本区間１０３をモジュール化し、この共振子モジュール１１０を複数個接続してラダー型フィルタ１００を構成することが行われている。
【０００４】
図１０は、従来の共振子モジュール１１０の構成を示した平面図であり、この共振子モジュール１１０には図９に示した２つ分の基本区間１０３ａ、１０３ｂが搭載されている。なお以下の説明においては、図面に向かって上方側を前方側、下方側を後方側として説明をする。図１０に示した共振子モジュール１１０は、圧電基板１３１上に、ＩＤＴ（Interdigital Transducer）電極とその両サイドに設けられた反射器とを含む矩形状の３つの電極部１１１ａ、１１１ｂ、１２１が前後方向に平行に並ぶようにパターニングされ、これらを信号線１３２にて互いに接続した構造となっている。ＳＡＷ共振子は、これら電極部１１１ａ、１１１ｂ、１２１とその下層の圧電基板１３１とから構成され、前方側の電極部１１１ａを入力ポート１３６と接続し、また後方側の電極部１１１ｂを出力ポート１３７と接続することにより、これらのＳＡＷ共振子は図９に示した定Ｋ形回路の基本区間１０３ａ、１０３ｂの直列腕１０１ａ、１０１ｂとして機能する。また中段側の電極部１２１を接地することにより、当該ＳＡＷ共振子は定Ｋ形回路の並列腕１０２として機能する。なお、図１０の中段に示した並列腕１０２は、これ１つで図９に示した基本区間１０３ａ、１０３ｂ夫々に対応する２つ分の並列腕１０２ａ、１０２ｂの役割を果たしている。
【０００５】
図１０に示した共振子モジュール１１０は例えば１．０ｍｍ×１．５ｍｍ程度の圧電基板１３１上に形成され、これまでにも小型化が図られてきたが、図中に一点鎖線で囲った空きスペースＳ１〜Ｓ４が残されており更なる小型化の余地がある。例えば空きスペースＳ１、Ｓ２は、前方側の直列腕１０１ａと後方側の直列腕１０１ｂとを結ぶ幅広の信号線１３２が各電極部１１１ａ、１１１ｂ、１２１の配置された領域の左方へと大きくはみ出していることにより形成されている。また、空きスペースＳ３、Ｓ４は、直列腕１０１ａ、１０１ｂと直列腕１０１との各電極部１１１ａ、１１１ｂ、１２１のサイズの違い（当該例においては幅の違い）により形成されている。また共振子モジュール全体は例えば金属製のカバーにより覆われているが、便宜上図示を省略した。
【０００６】
ここで図１０中の１３３ａ〜１３３ｄは共振子モジュール１１０の方向確認用のアライメントマーク、１３４はパターニングの仕上り確認パターン、１３５は共振子モジュール１１０の品番等識別用の識別コードであり、これらは上述の空き領域Ｓ１〜Ｓ４に設けられている。このように空き領域Ｓ１〜Ｓ４は、共振子モジュール１１０を管理する情報を設ける領域としても活用されているが、全く活用されていない無駄なスペースも多く、共振子モジュール１１０の更なる小型化のためにはこうした無駄なスペースを可能な限り小さくする必要がある。
【０００７】
このような空きスペースＳ１〜Ｓ４は、信号線１３２を細くしたり、各電極部１１１ａ、１１１ｂ、１２１のサイズを揃えたりすることによって解消できるようにも思える。しかしながら信号線１３２の幅は信号のオーミックロス（抵抗損）低減の観点から決定されており、また各電極部１１１ａ、１１１ｂ、１２１のサイズも直列腕１０１ａ、１０１ｂ、並列腕１０２の特性（共振周波数等）に関する設計パラメータとなっていて、いずれの値も空き領域Ｓ１〜Ｓ４の解消という観点だけでは決定できない。
【０００８】
また上述の空きスペースＳ１〜Ｓ４とは別の問題として、オーミックロス防止の観点から図１０に示すような面積の大きな信号線１３２を採用すると、信号線１３２の寄生容量が大きくなってフィルタの通過帯域の劣化を招くという問題もある。
【０００９】
なお特許文献１には、直列腕共振子のＩＤＴ電極間を結ぶ信号線として並列腕共振子の反射器を用いることにより、別途信号線を配置するスペースを省いたラダー型フィルタが記載されている。しかしながら、反射器に多数設けられている電極指は例えば数μｍ程度と非常に細く、このような細い電極指を信号線として用いることはオーミックロスが大きく現実的でない。一方で、反射器全体の面積は従来の信号線と比較しても大きいため、寄生容量が大きくなってフィルタの通過帯域が劣化してしまう。
【特許文献１】特開２０００−３１７８０号公報：第００２３段落、図１
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
本発明はこのような事情に基づいて行われたものであり、その目的は、通過帯域の劣化を抑制することができ、また小型化を図ることができる弾性波フィルタを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明に係わる弾性波フィルタは、第１の直列腕の弾性波共振子、第２の直列腕の弾性波共振子及び並列腕の弾性波共振子が共通の接続点に接続された回路を備えた弾性波フィルタにおいて、
圧電基板上に前後に互いに対向して設けられた第１のバスバー及び第２のバスバーと、これらバスバー間に設けられたＩＤＴ電極と、により前記第１の直列腕の弾性波共振子を構成することと、
この第１の直列腕の弾性波共振子の左右方向に隣接して位置し、圧電基板上に前後に互いに対向して設けられた第３のバスバー及び第４のバスバーと、これらバスバー間に設けられたＩＤＴ電極と、により、前記第２の直列腕の弾性波共振子及び前記並列腕の弾性波共振子のうちの一方を構成することと、
前記第１の直列腕の弾性波共振子と前記第２の直列腕の弾性波共振子及び前記並列腕の弾性波共振子のうちの一方との並びの後方側に位置し、圧電基板上に前後に互いに対向して設けられた第５のバスバー及び第６のバスバーと、これらバスバー間に設けられたＩＤＴ電極と、により、前記第２の直列腕の弾性波共振子及び前記並列腕の弾性波共振子のうちの他方を構成することと、
前記第２のバスバー、第４のバスバー及び第５のバスバーは、前記共通の接続点側に位置していることと、を備えたことを特徴とする。
ここで前記第４のバスバーは、前記第２のバスバーを延長させた部位により構成されていることが好ましく、更に前記第５のバスバーは、前記第２のバスバー及び第４のバスバーと共通化されていることがより好ましい。
【００１２】
また前記弾性波フィルタは、直列腕の弾性波共振子及び並列腕の弾性波共振子により構成された定Ｋ形回路を基本区間とし、この基本区間を２つ以上ラダー型に接続することと、
出力側に並列腕の弾性波共振子が位置する第１の基本区間に含まれる直列腕の弾性波共振子が前記第１の直列腕の弾性波共振子に相当することと、
前記第１の基本区間に隣接し、入力側に並列腕の弾性波共振子が位置する第２の基本区間に含まれる直列腕の弾性波共振子が前記第２の直列腕の弾性波共振子に相当することと、を備えるように構成するとよく、
更には前記第１の直列腕の弾性波共振子及び第２の直列腕の弾性波共振子は、左右方向に並んで配置され、
前記基本区間に含まれる並列腕の弾性波共振子は、前記第１の直列腕の弾性波共振子及び第２の直列腕の弾性波共振子の並びの後方側に位置するよう構成するとよい。
【００１３】
更にまた、各々、上述の弾性波フィルタからなる第１の弾性波フィルタと第２の弾性波フィルタとを互いに接続し、この第１の弾性波フィルタに設けられた第６のバスバーと、第２の弾性波フィルタに設けられた第６のバスバーと、が互いに隣接して平行に伸びるようにこれらの弾性波フィルタを配置して、夫々の弾性波フィルタの第６のバスバー同士を接続するように構成してもよく、これに加えて前記第１の弾性波フィルタの第６のバスバーと、第２の弾性波フィルタの第６のバスバーとを共通化してもよい。このとき、前記第１の弾性波フィルタ及び第２の弾性波フィルタの全てのＩＤＴ電極及びバスバーは、共通の圧電基板上に設けられていることが好ましい。
これとは別に、上述の各弾性波フィルタの第１の直列腕の弾性波共振子、第２の直列腕の弾性波共振子及び並列腕の弾性波共振子からなる回路を、モジュール用の圧電基板を用いて共振子モジュールとして構成し、これら共振子モジュールを配線基板上に複数搭載してもよい。
【００１４】
この他、各弾性波共振子内の２本のバスバー及びＩＤＴ電極を電極部とすると、
前記第１の直列腕、第２の直列腕及び並列腕の各弾性波共振子の電極部が収まる矩形領域の面積に対し、これら各弾性波共振子の電極部の設置領域の面積の合計値の比が０．８以上であることが好適であり、前記電極部には、前記ＩＤＴ電極に併設された反射器を含んでいてもよい。
【発明の効果】
【００１５】
本発明によれば、共通の接続点にて接続された第１、第２の直列腕及び並列腕を構成する３つの弾性波共振子のうち２つを左右方向に隣接して並べ、残る１つをこれらの並びの後方側に位置させているので、共通の接続点に接続される各弾性波共振子のバスバーを互いに近接させることができる。この結果、これらのバスバーの接続点となる信号線を短くすることが可能となり、信号線を引き回すことによって生じる空きスペースを小さく抑え、弾性波フィルタの更なる小型化が可能となる。また、各弾性波共振子のバスバーを共通化して信号線として用いた場合には、信号線の引き回しを起因とする空きスペースを無くすことが可能となり弾性波フィルタを更に小さくできる。
更にまた、上述のように信号線を短くし、またバスバーを信号線として活用することにより、幅広の長い信号線を引き回す場合と比較して、オーミックロスによる信号損失や寄生容量増大によるフィルタの通過帯域の劣化を抑えることが可能となり、当該フィルタの性能向上に貢献する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
以下、本発明に係る実施の形態として、弾性波共振子にＳＡＷ共振子を用いた共振子モジュールについて説明をする。図１は、本実施の形態に係る共振子モジュール１の平面図である。共振子モジュール１は、２つの直列腕２、３と、これらの直列腕２、３に共通して用いられる１つの並列腕４と、からなる定Ｋ形回路として構成され、図９に示した２組分の基本区間１０３ａ、１０３ｂがモジュール化されている。以下、２つの直列腕２、３を区別するため、後述の入力ポート５２と接続された直列腕を第１の直列腕２、出力ポート５３と接続された直列腕を第２の直列腕３と呼ぶ。
【００１７】
第１の直列腕２、第２の直列腕３、並列腕４は、夫々周知のＳＡＷ共振子から構成されており、サイズや互いの接続部位が異なる他は、ほぼ同様の構成を有しているので、これらを代表して第１の直列腕２の構成について説明する。第１の直列腕２は、ＬｉＴａＯ３やＬｉＮｂＯ３、ＳｉＯ２等の圧電基板５１上の予め定めた領域に電極部２０を配置することによって形成され、電極部２０はＩＤＴ電極２１ａ、２１ｂと、これらＩＤＴ電極２１ａ、２１ｂの左右に配置された反射器２４ａ、２４ｂとにより構成されている。
【００１８】
ＩＤＴ電極２１ａ、２１ｂは、前後に互いに対向して設けられた細長い矩形状のバスバー（第１のバスバー２２ａ、第２のバスバー２２ｂ）に多数の電極指２３ａ、２３ｂを櫛歯状に接続した形状をしており、互いの電極指２３ａ、２３ｂを交差指状に交差させて、前後方向に相対配置させた構成となっている。これらのＩＤＴ電極２１ａ、２１ｂのうち、前方側の第１のバスバー２２ａは入力ポート５２と接続され、後方側の第２のバスバー２２ｂは他の共振子（第２の直列腕３、並列腕４）と接続される。これにより、前方側のＩＤＴ電極２１ａに入力された電気信号は、交差された電極指２３ａ、２３ｂ間で電気-機械変換され弾性表面波（ＳＡＷ）となって圧電基板５１表面を伝搬し、対向する後方側のＩＤＴ電極２１ｂにて逆変換され、再び電気信号として取り出される。
【００１９】
反射器２４ａ、２４ｂは、ＩＤＴ電極２１ａ、２１ｂの左右外側へ伝搬したＳＡＷを反射して、反射器２４ａ、２４ｂ内にＳＡＷを閉じ込める役割を果たす。これらＩＤＴ電極２１ａ、２１ｂ、反射器２４ａ、２４ｂは、例えばアルミニウムからなる電極部材をフォトリソグラフィによってパターニングすることにより他の電極部３０、４０と同時期に形成される。また図１に示すように、これらＩＤＴ電極２１ａ、２１ｂ、反射器２４ａ、２４ｂから構成される電極部２０は全体として「高さＨ１１×幅Ｌ１１」の矩形状となっている。
【００２０】
第２の直列腕３は、上述の第１の直列腕２と同様の構成を備えている。但し、前後に互いに対向して設けられたバスバー３２ａ、３２ｂのうち、前方側の第３のバスバー３２ａは出力ポート５３と接続され、後方側の第４のバスバー３２ｂは、他の共振子（第１の直列腕２、並列腕４）と接続されている点と、電極部３０の幅が「Ｌ１２（＞Ｌ１１）」となっている点と、において第１の直列腕２と異なっている。
【００２１】
並列腕４についてもその構成については第１の直列腕２と同様であるが、前後に互いに対向して設けられたバスバー４２ａ、４２ｂのうち、前方側の第５のバスバー４２ａは他の直列腕２、３と接続され、後方側の第６のバスバー４２ｂは接地されている点と、電極部４０全体のサイズ（設置領域の面積）が「高さＨ１２×幅Ｌ１（＝Ｌ１１＋Ｌ１２）」となっている点と、において既述の直列腕２、３の構成と異なる。
【００２２】
以上の構成を備えた３つのＳＡＷ共振子２〜４は、背景技術において説明した空きスペースの発生を抑え、共振子モジュール１をより小型化しつつその性能を向上させるように、図１０に示した従来型の共振子モジュール１１０とは異なるパターンで配置されている。以下、これらの配置パターンについて説明する。
【００２３】
ＳＡＷ共振子２〜４の配置パターンに関し本実施の形態に係る共振子モジュール１は、圧電基板５１表面の前方側に第１の直列腕２、第２の直列腕３を左右に隣接させて配置し、これら第１の直列腕２、第２の直列腕３の並びの後方側に並列腕４を配置した構成となっている。３つのＳＡＷ共振子２〜４をこのように配置することにより、互いに接続され合う直列腕２、３の第２、第４のバスバー２２ｂ、３２ｂと並列腕４の第５のバスバー４２ａとが隣り合う状態となる。そこで更に、これら隣り合うバスバー（第２のバスバー２２ｂ、第４のバスバー３２ｂ、第５のバスバー４２ａ）を共通化して各ＳＡＷ共振子２〜４の接続点（共通バスバー１０）を構成し、この共通バスバー１０を信号線として用いることで、従来例のような信号線１３２を引き回すスペースを省略することが可能となり、図１０中に示した空きスペースＳ１、Ｓ２を生じないようにしている。
【００２４】
また本実施の形態では、図１に示すように配置された３つのＳＡＷ共振子２〜４の各電極部２０〜４０のサイズを既述のように構成することで、前方側に隣接して並ぶ２つの電極部２０、３０の高さを揃えることができ、更にこれら２つの電極部２０、３０全体の左右外端位置と後方側の電極部４０の左右外端位置とを揃えることができる。
【００２５】
この結果、３つの電極部２０〜４０全体は「高さＨ１（＝Ｈ１１＋Ｈ１２）×幅Ｌ１」の矩形領域内に納められ、当該矩形領域とほぼ同サイズ（例えば、高さＨ０（≒Ｈ１）×幅Ｌ０（≒Ｌ１）（但し、Ｈ０≧Ｈ１、Ｌ０≧Ｌ１））の圧電基板５１上に共振子モジュール１を形成できる。この結果、図１０に示したＳＡＷ共振子サイズの違いに基づく空きスペースＳ３、Ｓ４を生じさせないようにすることが可能となる。
【００２６】
以上に説明したように、直列腕２、３、並列腕４の電極部２０〜４０形状及びそのサイズを図１のように構成することで、空きスペースの殆どない配置を実現することができる。しかしながら背景技術にて説明したように、各電極部２０〜４０の高さや幅はＳＡＷ共振子２〜４の特性を決定する設計パラメータとなっているため、必ずしも図１に示したような理想的なサイズ構成に設計できるとは限らない。そこで、このように電極部２０〜４０のサイズが不揃いとなっている場合の配置パターンについて以下に説明する。
【００２７】
図２（ａ）、図２（ｂ）は第１の直列腕２と第２の直列腕３との電極部２０、３０の高さが揃っておらず、且つ第１の直列腕２、第２の直列腕３トータルの電極部２０、３０の幅と並列腕４の電極部４０の幅とが異なっている場合の平面図である。このような場合においては、図１に示したように第１の直列腕２、第２の直列腕３、並列腕４全体の電極部２０〜４０の形状を矩形状にすることができないため、図２（ａ）にＲ１〜Ｒ３で示し、図２（ｂ）にＲ’１、Ｒ’２で示した空きスペースを生じている。
【００２８】
しかしながら図２（ａ）、図２（ｂ）の場合においても共通バスバー１０を共通化しているので、図１０に示したような信号線１３２を引き回すことによる空きスペースは生じていない。また、第１の直列腕２、第２の直列腕３全体の電極部２０、３０の幅と、並列腕４の電極部４０の幅とを比較して、いずれか幅の狭い方の左右外端の位置を幅の広い方の左右外端の位置よりも内側に位置させるように各電極部２０〜４０を配置している。このような配置により、幅の狭い方の電極部２０〜４０の外端が幅の広いほうの電極部２０〜４０の外端よりも外側にはみ出すことによる更なる空きスペースの発生を避けている。
【００２９】
更に、電極部２０〜４０のサイズ（設置領域の面積）が不揃いであるために空きスペースを生じてしまう場合であっても、例えば以下の手順で空きスペースの大きさを予め設定した許容率以内に抑えることができる。
（手順１）３つのＳＡＷ共振子２〜４が収まる矩形領域のサイズ（幅ＬＴ×高さＨＴ）を決定する。
（手順２）（手順１）にて設定した矩形領域に対して、許容できる空きスペースの割合（空きスペース許容率）を設定する。
（手順３）仕様に基づいて第１の直列腕２の電極部２０サイズ（幅Ｌ２１×高さＨ２１）、第２の直列腕３の電極部３０サイズ（幅Ｌ２２×高さＨ２２）、並列腕４の電極部４０サイズ（幅Ｌ２３×高さＨ２３）を設計する。
（手順４）設計した各電極部２０〜４０サイズが以下の（１）式を満足するか確認する。
（ＨＴ×ＬＴ−Σ（Ｈ２ｎ×Ｌ２ｎ））／（ＨＴ×ＬＴ）≦ｘ…（１）
（ｎ＝１，２，３）
ここで、
ＨＴ：Ｈ２１＋Ｈ２３、Ｈ２２＋Ｈ２３のうちいずれか大きい値
ＬＴ：Ｌ２１＋Ｌ２２、Ｌ２３のうちいずれか大きい値
ｘ：空きスペース許容率
（手順５）（１）式を満足する結果となった場合には設計を完了し、満足しなかった場合には、結果が収束するまで（手順３）〜（手順４）を繰り返す。
（手順６）（手順５）の結果が収束しなかった場合には、矩形領域のサイズ（幅ＬＴ×高さＨＴ）を変更して（手順１）〜（手順５）までを繰り返す。
なお、上記（１）式に代えて以下の（１）’式を用いても同様の結果を得られる。
Σ（Ｈ２ｎ×Ｌ２ｎ）／（ＨＴ×ＬＴ）≧１−ｘ…（１）’
（ｎ＝１，２，３）
【００３０】
以上の手順で設計されたＳＡＷ共振子２〜４の配置パターンにおいては、前方側の第１の直列腕２と第２の直列腕３との電極部２０、３０のうち、前方側へ飛び出している縁の延長線と、これら２つの直列腕２、３全体の電極部２０、３０の左右外端と、後方側の並列腕４の電極部４０の左右外端とのうち外側に位置する方の左右外端の延長線と、並列腕４の電極部４０の後方側の縁の延長線と、により囲まれる矩形領域に対し、３つのＳＡＷ共振子２〜４全体の電極部２０〜４０の占有面積の比が予め定められた値「１−ｘ」以上となる。この結果、空きスペースを許容率「ｘ」以内の値に抑えつつ、仕様通りの性能を備えた共振子モジュール１が得られる。空きスペース許容率は、例えば０．２以下となることが好ましい。
【００３１】
このようにして設計された共振子モジュール１は、例えば図３に示すように、第１の共振子モジュール１ａ（図３中、前方側に示してある）の第６のバスバー４２１ｂと、第２の共振子モジュール１ｂ（図３中、後方側）の第６のバスバー４２２ｂとが互いに隣接して平行に伸びるようにこれら２つの共振子モジュール１ａ、１ｂを構成するＩＤＴ電極を共通の圧電基板５１上にパターニングし、更に夫々の第６のバスバー４２１ｂ、４２２ｂ同士を共通化して接続することにより、これらの共振子モジュール１ａ、１ｂを一体に構成できる。そして第１の共振子モジュール１ａの第１の直列腕２ａを入力ポート５２ａと接続し、第２の共振子モジュール１ｂの第２の直列腕３ｂを出力ポート５３ｂと接続することにより図４の回路図に示すように、各共振子モジュール１ａ、１ｂを形成する定Ｋ形回路がラダー型に接続されたラダー型フィルタ１００を１つのチップ内に構成することができる。更に、圧電基板５１上に形成する共振子モジュール１の数を更に増やすことにより、これらを直列に接続することで、より多くの定Ｋ形回路を含むラダー型フィルタ１００を形成することもできる。なお、第１、第２の共振子モジュール１ａ、１ｂにおける各直列腕２ａ、２ｂ、３ａ、３ｂ及び並列腕４ａ、４ｂの配列法については、図６（ａ）、図６（ｂ）の説明にて後述する。
【００３２】
また、ラダー型フィルタ１００の構成法は、図３、図４に示した例に限定されるものではなく、例えば図１に示した各共振子モジュール１を小さなチップ状に製造し、図５に示すようにこれらを共通の配線基板５４上に複数個並べて搭載し、互いの出力ポート５３と入力ポート５２とをボンディングすることによりＫ形回路をラダー型に接続したラダー型フィルタ１００を構成してもよい。
【００３３】
以上に説明した本発明の実施の形態によれば以下の効果が得られる。弾性波フィルタの直列腕、並列腕を構成する３つのＳＡＷ共振子１〜３のうち２つ（第１の直列腕２、第２の直列腕３）をその左右方向に隣接して並べ、残る１つ（並列腕４）をこれらの並びの後方側に位置させることにより、各ＳＡＷ共振子２〜４のバスバー（第２のバスバー２２ｂ、第４のバスバー３２ｂ、第５のバスバー４２ａ）を互いに近接させることができる。この結果、これらのバスバーの接続点を共通化して共通バスバー１０を構成し、この共通バスバー１０に信号線として利用することができるので、図１０に示した空きスペースＳ１、Ｓ２がなくなって、共振子モジュール１の更なる小型化が可能となる。
【００３４】
また、共通バスバー１０を信号線として用いることにより、従来のように幅広の長い信号線を引き回す必要がなくなるので、信号線部分でのオーミックロスによる信号損失や寄生容量の増大によるフィルタの通過帯域の劣化を防止することが可能となり、当該フィルタの性能向上に貢献する。
【００３５】
なお、図１、図２（ａ）、図２（ｂ）に示した共振子モジュール１においては、前方側に左右に並べて第１の直列腕２、第２の直列腕３を配置し、これらの並びの後方に並列腕４を配置した例を示したが、前方側、後方側に夫々配するＳＡＷ共振子２〜３は、このパターンに限定されない。例えば図６（ａ）に示すように、前方側に第１の直列腕２と並列腕４とを並べて配置し、後方側に第２の直列腕３を配置してもよく、また図６（ｂ）に示すように、第１の直列腕２を後方側へ配置してもよい。
【００３６】
ここで、空きスペース発生の防止、オーミックロスや寄生容量低減の観点からは、共通バスバー１０を信号線として用いることが好ましいが、必要のある場合には、各バスバー（第２のバスバー２２ｂ、第４のバスバー３２ｂ、第５のバスバー４２ａ）を共通化せずに別途信号線を設け、共通の接続点にて接続してもよい。実施の形態に係る既述の配置パターンを選択することで、これらのバスバー２２ｂ、３２ｂ、４２ａは互いに近接した位置に配置されるので、信号線の長さを必要最小限に抑えることが可能となり、空きスペースやオーミックロス、寄生容量の増加を抑えることができる。
【００３７】
また、図１０の従来例にて説明したアライメントマーク１３３ａ〜１３３ｄ、仕上り確認パターン１３４、識別コード１３５を設ける場合には、例えば図２（ａ）や図２（ｂ）に示した空きスペースにこれらを配置するとよい。また、図１のように空きスペースが殆どない場合には、これらを配置できるように圧電基板５１をひとまわり大きくしてもよく、また例えば図１に示した圧電基板５１の四隅に対応する反射器２４ａ、３４ｂ、４４ａ、４４ｂの角部等にアライメントマーク１３３ａ〜１３３ｄや識別コード１３５を印刷するようにしてもよい。また、実施の形態においては、ＬｉＴａＯ３やＬｉＮｂＯ３、ＳｉＯ２等の圧電基板５１上にＳＡＷ共振子２〜４を形成した場合について例示したが、圧電基板５１の構成はこの例に限定されるものではない。例えばガラス基板上に圧電薄膜層を形成したもの等も本発明の圧電基板に含まれる。
【００３８】
更にまた、上述の各実施の形態においては、弾性波共振子としてＳＡＷ共振子を採用した場合について説明したが、本発明に適用可能な弾性波共振子の種類はこれに限られない。例えば弾性境界波を利用するタイプの弾性波共振子であってもよい。
【実施例】
【００３９】
図１、図１０に夫々示す共振子モジュール１、１１０と同様の構造を有するフィルタモデルを作成し、夫々のフィルタモデルについてのフィルタ特性をシミュレーションした。
（シミュレーション１）
共通バスバー１０、信号線１３２内で発生するオーミックロスを一定とし、これらの中で発生する寄生容量がフィルタの通過特性に与える影響を調べた。
（実施例１）
図１に示した共振子モジュール１の通過特性をシミュレーションした。
シミュレーション条件
圧電基板：ＬｉＴａＯ３
チップサイズ：１．２ｍｍ×０．５ｍｍ
（比較例１）
図１０に示した共振子モジュール１の通過特性をシミュレーションした。
シミュレーション条件
圧電基板：ＬｉＴａＯ３
チップサイズ：１．０ｍｍ×１．５ｍｍ
【００４０】
（シミュレーション結果）
図７（ａ）、図７（ｂ）にシミュレーション結果を示す。図７（ａ）は各共振子モジュール１、１１０の通過特性の全体図であり、図７（ｂ）は通過帯域における通過特性の拡大図を示している。各図の横軸は周波数［ＭＨｚ］、縦軸は減衰量［ｄＢ］を示しており、図中の実線は（実施例１）、破線は（比較例１）のシミュレーション結果を表している。
【００４１】
図７（ａ）に示すように、（実施例１）、（比較例１）は、全体としては似た通過特性を示しているが、図７（ｂ）の通過帯域の拡大図を見ると、（実施例１）と比して（比較例１）においては通過帯域中央部の減衰量に凹みが見られる。これは、図１０に示す幅広の信号線１３２を長く引き回していることによるオーミックロスに起因する差であると考えられる。なお、図７（ｂ）上にて（実施例１）、（比較例１）を目視比較すると、減衰量の差はわずかであるようにも見えるが、当図では減衰量はデシベル単位で表示されているので、電気信号の入出力の差としてみるとかなり大きな差異となっており、移動体端末の電池寿命に大きな差が出る。
【００４２】
（シミュレーション２）
共通バスバー１０、信号線１３２内で発生する寄生容量を一定とし、これらの中で発生するオーミックロスがフィルタの通過特性に与える影響を調べた。
（実施例２）
図１に示した共振子モジュール１の通過特性をシミュレーションした。
シミュレーション条件
圧電基板：ＬｉＴａＯ３
チップサイズ：１．２ｍｍ×０．５ｍｍ
（比較例２）
図１０に示した共振子モジュール１の通過特性をシミュレーションした。
シミュレーション条件
圧電基板：ＬｉＴａＯ３
チップサイズ：１．０ｍｍ×１．５ｍｍ
【００４３】
（シミュレーション結果）
図８（ａ）、図８（ｂ）にシミュレーション結果を示す。図８（ａ）は各共振子モジュール１、１１０の通過特性の全体図であり、図８（ｂ）は通過帯域における通過特性の拡大図を示している。図中の実線は（実施例２）、破線は（比較例２）のシミュレーション結果を表しており、横軸及び縦軸の表示は図７（ａ）、図７（ｂ）と同様である。
【００４４】
図８（ａ）、図８（ｂ）に示した結果からも分かるように、（実施例２）と（比較例２）との間においても通過帯域中央部の減衰量に差が見られる。これは、長い信号線１３２を引き回している従来の共振子モジュール１１０と、共通バスバー１０に信号線の機能を持たせた実施の形態に係る共振子モジュール１とで、信号線１３２、共通バスバー１０内に発生する寄生容量に差が生じた結果であると考えられる。
【図面の簡単な説明】
【００４５】
【図１】実施の形態に係る共振子モジュールの構成を示す平面図である。
【図２】前記共振子モジュールの変形例を示す平面図である。
【図３】複数のＩＤＴ電極が共通の圧電基板上に形成されたラダー型フィルタの平面図である。
【図４】上記ラダー型フィルタの回路図である。
【図５】配線基板上に複数の共振子モジュールが搭載されたラダー型フィルタの説明図である。
【図６】前記共振子モジュールの第２の変形例を示す平面図である。
【図７】実施の形態に係る弾性波フィルタの通過特性を示す特性図である。
【図８】上記弾性波フィルタの通過特性を示す第２の特性図である。
【図９】ラダー型フィルタの構成例を示す回路図である。
【図１０】共振子モジュールの従来例を示す平面図である。
【符号の説明】
【００４６】
Ｓ１〜Ｓ４ 空き領域
１、１ａ、１ｂ
共振子モジュール
２、２ａ、２ｂ
第１の直列腕
３、３ａ、３ｂ
第２の直列腕
４、４ａ、４ｂ
並列腕
１０ 共通バスバー
２０ 電極部
２１ａ、２１ｂ
ＩＤＴ電極
２２ａ 第１のバスバー
２２ｂ 第２のバスバー
２３ａ、２３ｂ
電極指
２４ａ、２４ｂ
反射器
３０ 電極部
３１ａ、３１ｂ
ＩＤＴ電極
３２ａ 第３のバスバー
３２ｂ 第４のバスバー
３４ａ、３４ｂ
反射器
４０ 電極部
４１ａ、４１ｂ
ＩＤＴ電極
４２ａ 第５のバスバー
４２ｂ、４２１ｂ、４２２ｂ
第６のバスバー
４４ａ、４４ｂ
反射器
５１ 圧電基板
５２、５２ａ
入力ポート
５３、５３ｂ
出力ポート
５４ 配線基板
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ＳＡＷ（Surface Acoustic Wave）共振子等の弾性波共振子を備えた弾性波フィルタに係る。
【背景技術】
【０００２】
携帯電話等の移動体端末に実装され、高周波信号の弁別を行う弾性波フィルタには、例えば図９に示すように１個の直列腕１０１と１個の並列腕１０２とを基本区間１０３とする定Ｋ形回路を形成し、この定Ｋ形回路の基本区間１０３を複数組直列に接続した構成のラダー型フィルタ１００が採用されている。そして、これら基本区間１０３内の直列腕１０１の共振周波数と並列腕１０２の反共振周波数とをほぼ一致させることにより特定波長を有する信号を通過させることができる。
【０００３】
このような直列腕１０１や並列腕１０２には、小型化が容易でありフォトリソグラフィ技術により複数の共振子を同時に形成可能なＳＡＷ共振子等が採用されることが多い。この場合には、例えば図９中に模式的に示すようにこれらの共振子１０１、１０２を共通のチップ等の上に同時形成することにより既述の定Ｋ形回路の基本区間１０３をモジュール化し、この共振子モジュール１１０を複数個接続してラダー型フィルタ１００を構成することが行われている。
【０００４】
図１０は、従来の共振子モジュール１１０の構成を示した平面図であり、この共振子モジュール１１０には図９に示した２つ分の基本区間１０３ａ、１０３ｂが搭載されている。なお以下の説明においては、図面に向かって上方側を前方側、下方側を後方側として説明をする。図１０に示した共振子モジュール１１０は、圧電基板１３１上に、ＩＤＴ（Interdigital Transducer）電極とその両サイドに設けられた反射器とを含む矩形状の３つの電極部１１１ａ、１１１ｂ、１２１が前後方向に平行に並ぶようにパターニングされ、これらを信号線１３２にて互いに接続した構造となっている。ＳＡＷ共振子は、これら電極部１１１ａ、１１１ｂ、１２１とその下層の圧電基板１３１とから構成され、前方側の電極部１１１ａを入力ポート１３６と接続し、また後方側の電極部１１１ｂを出力ポート１３７と接続することにより、これらのＳＡＷ共振子は図９に示した定Ｋ形回路の基本区間１０３ａ、１０３ｂの直列腕１０１ａ、１０１ｂとして機能する。また中段側の電極部１２１を接地することにより、当該ＳＡＷ共振子は定Ｋ形回路の並列腕１０２として機能する。なお、図１０の中段に示した並列腕１０２は、これ１つで図９に示した基本区間１０３ａ、１０３ｂ夫々に対応する２つ分の並列腕１０２ａ、１０２ｂの役割を果たしている。
【０００５】
図１０に示した共振子モジュール１１０は例えば１．０ｍｍ×１．５ｍｍ程度の圧電基板１３１上に形成され、これまでにも小型化が図られてきたが、図中に一点鎖線で囲った空きスペースＳ１〜Ｓ４が残されており更なる小型化の余地がある。例えば空きスペースＳ１、Ｓ２は、前方側の直列腕１０１ａと後方側の直列腕１０１ｂとを結ぶ幅広の信号線１３２が各電極部１１１ａ、１１１ｂ、１２１の配置された領域の左方へと大きくはみ出していることにより形成されている。また、空きスペースＳ３、Ｓ４は、直列腕１０１ａ、１０１ｂと直列腕１０１との各電極部１１１ａ、１１１ｂ、１２１のサイズの違い（当該例においては幅の違い）により形成されている。また共振子モジュール全体は例えば金属製のカバーにより覆われているが、便宜上図示を省略した。
【０００６】
ここで図１０中の１３３ａ〜１３３ｄは共振子モジュール１１０の方向確認用のアライメントマーク、１３４はパターニングの仕上り確認パターン、１３５は共振子モジュール１１０の品番等識別用の識別コードであり、これらは上述の空き領域Ｓ１〜Ｓ４に設けられている。このように空き領域Ｓ１〜Ｓ４は、共振子モジュール１１０を管理する情報を設ける領域としても活用されているが、全く活用されていない無駄なスペースも多く、共振子モジュール１１０の更なる小型化のためにはこうした無駄なスペースを可能な限り小さくする必要がある。
【０００７】
このような空きスペースＳ１〜Ｓ４は、信号線１３２を細くしたり、各電極部１１１ａ、１１１ｂ、１２１のサイズを揃えたりすることによって解消できるようにも思える。しかしながら信号線１３２の幅は信号のオーミックロス（抵抗損）低減の観点から決定されており、また各電極部１１１ａ、１１１ｂ、１２１のサイズも直列腕１０１ａ、１０１ｂ、並列腕１０２の特性（共振周波数等）に関する設計パラメータとなっていて、いずれの値も空き領域Ｓ１〜Ｓ４の解消という観点だけでは決定できない。
【０００８】
また上述の空きスペースＳ１〜Ｓ４とは別の問題として、オーミックロス防止の観点から図１０に示すような面積の大きな信号線１３２を採用すると、信号線１３２の寄生容量が大きくなってフィルタの通過帯域の劣化を招くという問題もある。
【０００９】
なお特許文献１には、直列腕共振子のＩＤＴ電極間を結ぶ信号線として並列腕共振子の反射器を用いることにより、別途信号線を配置するスペースを省いたラダー型フィルタが記載されている。しかしながら、反射器に多数設けられている電極指は例えば数μｍ程度と非常に細く、このような細い電極指を信号線として用いることはオーミックロスが大きく現実的でない。一方で、反射器全体の面積は従来の信号線と比較しても大きいため、寄生容量が大きくなってフィルタの通過帯域が劣化してしまう。
【特許文献１】特開２０００−３１７８０号公報：第００２３段落、図１
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
本発明はこのような事情に基づいて行われたものであり、その目的は、通過帯域の劣化を抑制することができ、また小型化を図ることができる弾性波フィルタを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明に係わる弾性波フィルタは、第１の直列腕の弾性波共振子、第２の直列腕の弾性波共振子及び並列腕の弾性波共振子が共通の接続点に接続された回路を備えた弾性波フィルタにおいて、
圧電基板上に前後に互いに対向して設けられた第１のバスバー及び第２のバスバーと、これらバスバー間に設けられたＩＤＴ電極と、により前記第１の直列腕の弾性波共振子を構成することと、
この第１の直列腕の弾性波共振子の左右方向に隣接して位置し、圧電基板上に前後に互いに対向して設けられた第３のバスバー及び第４のバスバーと、これらバスバー間に設けられたＩＤＴ電極と、により、前記第２の直列腕の弾性波共振子及び前記並列腕の弾性波共振子のうちの一方を構成することと、
前記第１の直列腕の弾性波共振子と前記第２の直列腕の弾性波共振子及び前記並列腕の弾性波共振子のうちの一方との並びの後方側に位置し、圧電基板上に前後に互いに対向して設けられた第５のバスバー及び第６のバスバーと、これらバスバー間に設けられたＩＤＴ電極と、により、前記第２の直列腕の弾性波共振子及び前記並列腕の弾性波共振子のうちの他方を構成することと、
前記第２のバスバー、第４のバスバー及び第５のバスバーは、前記共通の接続点側に位置していることと、を備えたことを特徴とする。
ここで前記第４のバスバーは、前記第２のバスバーを延長させた部位により構成されていることが好ましく、更に前記第５のバスバーは、前記第２のバスバー及び第４のバスバーと共通化されていることがより好ましい。
【００１２】
また前記弾性波フィルタは、直列腕の弾性波共振子及び並列腕の弾性波共振子により構成された定Ｋ形回路を基本区間とし、この基本区間を２つ以上ラダー型に接続することと、
出力側に並列腕の弾性波共振子が位置する第１の基本区間に含まれる直列腕の弾性波共振子が前記第１の直列腕の弾性波共振子に相当することと、
前記第１の基本区間に隣接し、入力側に並列腕の弾性波共振子が位置する第２の基本区間に含まれる直列腕の弾性波共振子が前記第２の直列腕の弾性波共振子に相当することと、を備えるように構成するとよく、
更には前記第１の直列腕の弾性波共振子及び第２の直列腕の弾性波共振子は、左右方向に並んで配置され、
前記基本区間に含まれる並列腕の弾性波共振子は、前記第１の直列腕の弾性波共振子及び第２の直列腕の弾性波共振子の並びの後方側に位置するよう構成するとよい。
【００１３】
更にまた、各々、上述の弾性波フィルタからなる第１の弾性波フィルタと第２の弾性波フィルタとを互いに接続し、この第１の弾性波フィルタに設けられた第６のバスバーと、第２の弾性波フィルタに設けられた第６のバスバーと、が互いに隣接して平行に伸びるようにこれらの弾性波フィルタを配置して、夫々の弾性波フィルタの第６のバスバー同士を接続するように構成してもよく、これに加えて前記第１の弾性波フィルタの第６のバスバーと、第２の弾性波フィルタの第６のバスバーとを共通化してもよい。このとき、前記第１の弾性波フィルタ及び第２の弾性波フィルタの全てのＩＤＴ電極及びバスバーは、共通の圧電基板上に設けられていることが好ましい。
これとは別に、上述の各弾性波フィルタの第１の直列腕の弾性波共振子、第２の直列腕の弾性波共振子及び並列腕の弾性波共振子からなる回路を、モジュール用の圧電基板を用いて共振子モジュールとして構成し、これら共振子モジュールを配線基板上に複数搭載してもよい。
【００１４】
この他、各弾性波共振子内の２本のバスバー及びＩＤＴ電極を電極部とすると、
前記第１の直列腕、第２の直列腕及び並列腕の各弾性波共振子の電極部が収まる矩形領域の面積に対し、これら各弾性波共振子の電極部の設置領域の面積の合計値の比が０．８以上であることが好適であり、前記電極部には、前記ＩＤＴ電極に併設された反射器を含んでいてもよい。
【発明の効果】
【００１５】
本発明によれば、共通の接続点にて接続された第１、第２の直列腕及び並列腕を構成する３つの弾性波共振子のうち２つを左右方向に隣接して並べ、残る１つをこれらの並びの後方側に位置させているので、共通の接続点に接続される各弾性波共振子のバスバーを互いに近接させることができる。この結果、これらのバスバーの接続点となる信号線を短くすることが可能となり、信号線を引き回すことによって生じる空きスペースを小さく抑え、弾性波フィルタの更なる小型化が可能となる。また、各弾性波共振子のバスバーを共通化して信号線として用いた場合には、信号線の引き回しを起因とする空きスペースを無くすことが可能となり弾性波フィルタを更に小さくできる。
更にまた、上述のように信号線を短くし、またバスバーを信号線として活用することにより、幅広の長い信号線を引き回す場合と比較して、オーミックロスによる信号損失や寄生容量増大によるフィルタの通過帯域の劣化を抑えることが可能となり、当該フィルタの性能向上に貢献する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
以下、本発明に係る実施の形態として、弾性波共振子にＳＡＷ共振子を用いた共振子モジュールについて説明をする。図１は、本実施の形態に係る共振子モジュール１の平面図である。共振子モジュール１は、２つの直列腕２、３と、これらの直列腕２、３に共通して用いられる１つの並列腕４と、からなる定Ｋ形回路として構成され、図９に示した２組分の基本区間１０３ａ、１０３ｂがモジュール化されている。以下、２つの直列腕２、３を区別するため、後述の入力ポート５２と接続された直列腕を第１の直列腕２、出力ポート５３と接続された直列腕を第２の直列腕３と呼ぶ。
【００１７】
第１の直列腕２、第２の直列腕３、並列腕４は、夫々周知のＳＡＷ共振子から構成されており、サイズや互いの接続部位が異なる他は、ほぼ同様の構成を有しているので、これらを代表して第１の直列腕２の構成について説明する。第１の直列腕２は、ＬｉＴａＯ３やＬｉＮｂＯ３、ＳｉＯ２等の圧電基板５１上の予め定めた領域に電極部２０を配置することによって形成され、電極部２０はＩＤＴ電極２１ａ、２１ｂと、これらＩＤＴ電極２１ａ、２１ｂの左右に配置された反射器２４ａ、２４ｂとにより構成されている。
【００１８】
ＩＤＴ電極２１ａ、２１ｂは、前後に互いに対向して設けられた細長い矩形状のバスバー（第１のバスバー２２ａ、第２のバスバー２２ｂ）に多数の電極指２３ａ、２３ｂを櫛歯状に接続した形状をしており、互いの電極指２３ａ、２３ｂを交差指状に交差させて、前後方向に相対配置させた構成となっている。これらのＩＤＴ電極２１ａ、２１ｂのうち、前方側の第１のバスバー２２ａは入力ポート５２と接続され、後方側の第２のバスバー２２ｂは他の共振子（第２の直列腕３、並列腕４）と接続される。これにより、前方側のＩＤＴ電極２１ａに入力された電気信号は、交差された電極指２３ａ、２３ｂ間で電気-機械変換され弾性表面波（ＳＡＷ）となって圧電基板５１表面を伝搬し、対向する後方側のＩＤＴ電極２１ｂにて逆変換され、再び電気信号として取り出される。
【００１９】
反射器２４ａ、２４ｂは、ＩＤＴ電極２１ａ、２１ｂの左右外側へ伝搬したＳＡＷを反射して、反射器２４ａ、２４ｂ内にＳＡＷを閉じ込める役割を果たす。これらＩＤＴ電極２１ａ、２１ｂ、反射器２４ａ、２４ｂは、例えばアルミニウムからなる電極部材をフォトリソグラフィによってパターニングすることにより他の電極部３０、４０と同時期に形成される。また図１に示すように、これらＩＤＴ電極２１ａ、２１ｂ、反射器２４ａ、２４ｂから構成される電極部２０は全体として「高さＨ１１×幅Ｌ１１」の矩形状となっている。
【００２０】
第２の直列腕３は、上述の第１の直列腕２と同様の構成を備えている。但し、前後に互いに対向して設けられたバスバー３２ａ、３２ｂのうち、前方側の第３のバスバー３２ａは出力ポート５３と接続され、後方側の第４のバスバー３２ｂは、他の共振子（第１の直列腕２、並列腕４）と接続されている点と、電極部３０の幅が「Ｌ１２（＞Ｌ１１）」となっている点と、において第１の直列腕２と異なっている。
【００２１】
並列腕４についてもその構成については第１の直列腕２と同様であるが、前後に互いに対向して設けられたバスバー４２ａ、４２ｂのうち、前方側の第５のバスバー４２ａは他の直列腕２、３と接続され、後方側の第６のバスバー４２ｂは接地されている点と、電極部４０全体のサイズ（設置領域の面積）が「高さＨ１２×幅Ｌ１（＝Ｌ１１＋Ｌ１２）」となっている点と、において既述の直列腕２、３の構成と異なる。
【００２２】
以上の構成を備えた３つのＳＡＷ共振子２〜４は、背景技術において説明した空きスペースの発生を抑え、共振子モジュール１をより小型化しつつその性能を向上させるように、図１０に示した従来型の共振子モジュール１１０とは異なるパターンで配置されている。以下、これらの配置パターンについて説明する。
【００２３】
ＳＡＷ共振子２〜４の配置パターンに関し本実施の形態に係る共振子モジュール１は、圧電基板５１表面の前方側に第１の直列腕２、第２の直列腕３を左右に隣接させて配置し、これら第１の直列腕２、第２の直列腕３の並びの後方側に並列腕４を配置した構成となっている。３つのＳＡＷ共振子２〜４をこのように配置することにより、互いに接続され合う直列腕２、３の第２、第４のバスバー２２ｂ、３２ｂと並列腕４の第５のバスバー４２ａとが隣り合う状態となる。そこで更に、これら隣り合うバスバー（第２のバスバー２２ｂ、第４のバスバー３２ｂ、第５のバスバー４２ａ）を共通化して各ＳＡＷ共振子２〜４の接続点（共通バスバー１０）を構成し、この共通バスバー１０を信号線として用いることで、従来例のような信号線１３２を引き回すスペースを省略することが可能となり、図１０中に示した空きスペースＳ１、Ｓ２を生じないようにしている。
【００２４】
また本実施の形態では、図１に示すように配置された３つのＳＡＷ共振子２〜４の各電極部２０〜４０のサイズを既述のように構成することで、前方側に隣接して並ぶ２つの電極部２０、３０の高さを揃えることができ、更にこれら２つの電極部２０、３０全体の左右外端位置と後方側の電極部４０の左右外端位置とを揃えることができる。
【００２５】
この結果、３つの電極部２０〜４０全体は「高さＨ１（＝Ｈ１１＋Ｈ１２）×幅Ｌ１」の矩形領域内に納められ、当該矩形領域とほぼ同サイズ（例えば、高さＨ０（≒Ｈ１）×幅Ｌ０（≒Ｌ１）（但し、Ｈ０≧Ｈ１、Ｌ０≧Ｌ１））の圧電基板５１上に共振子モジュール１を形成できる。この結果、図１０に示したＳＡＷ共振子サイズの違いに基づく空きスペースＳ３、Ｓ４を生じさせないようにすることが可能となる。
【００２６】
以上に説明したように、直列腕２、３、並列腕４の電極部２０〜４０形状及びそのサイズを図１のように構成することで、空きスペースの殆どない配置を実現することができる。しかしながら背景技術にて説明したように、各電極部２０〜４０の高さや幅はＳＡＷ共振子２〜４の特性を決定する設計パラメータとなっているため、必ずしも図１に示したような理想的なサイズ構成に設計できるとは限らない。そこで、このように電極部２０〜４０のサイズが不揃いとなっている場合の配置パターンについて以下に説明する。
【００２７】
図２（ａ）、図２（ｂ）は第１の直列腕２と第２の直列腕３との電極部２０、３０の高さが揃っておらず、且つ第１の直列腕２、第２の直列腕３トータルの電極部２０、３０の幅と並列腕４の電極部４０の幅とが異なっている場合の平面図である。このような場合においては、図１に示したように第１の直列腕２、第２の直列腕３、並列腕４全体の電極部２０〜４０の形状を矩形状にすることができないため、図２（ａ）にＲ１〜Ｒ３で示し、図２（ｂ）にＲ’１、Ｒ’２で示した空きスペースを生じている。
【００２８】
しかしながら図２（ａ）、図２（ｂ）の場合においても共通バスバー１０を共通化しているので、図１０に示したような信号線１３２を引き回すことによる空きスペースは生じていない。また、第１の直列腕２、第２の直列腕３全体の電極部２０、３０の幅と、並列腕４の電極部４０の幅とを比較して、いずれか幅の狭い方の左右外端の位置を幅の広い方の左右外端の位置よりも内側に位置させるように各電極部２０〜４０を配置している。このような配置により、幅の狭い方の電極部２０〜４０の外端が幅の広いほうの電極部２０〜４０の外端よりも外側にはみ出すことによる更なる空きスペースの発生を避けている。
【００２９】
更に、電極部２０〜４０のサイズ（設置領域の面積）が不揃いであるために空きスペースを生じてしまう場合であっても、例えば以下の手順で空きスペースの大きさを予め設定した許容率以内に抑えることができる。
（手順１）３つのＳＡＷ共振子２〜４が収まる矩形領域のサイズ（幅ＬＴ×高さＨＴ）を決定する。
（手順２）（手順１）にて設定した矩形領域に対して、許容できる空きスペースの割合（空きスペース許容率）を設定する。
（手順３）仕様に基づいて第１の直列腕２の電極部２０サイズ（幅Ｌ２１×高さＨ２１）、第２の直列腕３の電極部３０サイズ（幅Ｌ２２×高さＨ２２）、並列腕４の電極部４０サイズ（幅Ｌ２３×高さＨ２３）を設計する。
（手順４）設計した各電極部２０〜４０サイズが以下の（１）式を満足するか確認する。
（ＨＴ×ＬＴ−Σ（Ｈ２ｎ×Ｌ２ｎ））／（ＨＴ×ＬＴ）≦ｘ…（１）
（ｎ＝１，２，３）
ここで、
ＨＴ：Ｈ２１＋Ｈ２３、Ｈ２２＋Ｈ２３のうちいずれか大きい値
ＬＴ：Ｌ２１＋Ｌ２２、Ｌ２３のうちいずれか大きい値
ｘ：空きスペース許容率
（手順５）（１）式を満足する結果となった場合には設計を完了し、満足しなかった場合には、結果が収束するまで（手順３）〜（手順４）を繰り返す。
（手順６）（手順５）の結果が収束しなかった場合には、矩形領域のサイズ（幅ＬＴ×高さＨＴ）を変更して（手順１）〜（手順５）までを繰り返す。
なお、上記（１）式に代えて以下の（１）’式を用いても同様の結果を得られる。
Σ（Ｈ２ｎ×Ｌ２ｎ）／（ＨＴ×ＬＴ）≧１−ｘ…（１）’
（ｎ＝１，２，３）
【００３０】
以上の手順で設計されたＳＡＷ共振子２〜４の配置パターンにおいては、前方側の第１の直列腕２と第２の直列腕３との電極部２０、３０のうち、前方側へ飛び出している縁の延長線と、これら２つの直列腕２、３全体の電極部２０、３０の左右外端と、後方側の並列腕４の電極部４０の左右外端とのうち外側に位置する方の左右外端の延長線と、並列腕４の電極部４０の後方側の縁の延長線と、により囲まれる矩形領域に対し、３つのＳＡＷ共振子２〜４全体の電極部２０〜４０の占有面積の比が予め定められた値「１−ｘ」以上となる。この結果、空きスペースを許容率「ｘ」以内の値に抑えつつ、仕様通りの性能を備えた共振子モジュール１が得られる。空きスペース許容率は、例えば０．２以下となることが好ましい。
【００３１】
このようにして設計された共振子モジュール１は、例えば図３に示すように、第１の共振子モジュール１ａ（図３中、前方側に示してある）の第６のバスバー４２１ｂと、第２の共振子モジュール１ｂ（図３中、後方側）の第６のバスバー４２２ｂとが互いに隣接して平行に伸びるようにこれら２つの共振子モジュール１ａ、１ｂを構成するＩＤＴ電極を共通の圧電基板５１上にパターニングし、更に夫々の第６のバスバー４２１ｂ、４２２ｂ同士を共通化して接続することにより、これらの共振子モジュール１ａ、１ｂを一体に構成できる。そして第１の共振子モジュール１ａの第１の直列腕２ａを入力ポート５２ａと接続し、第２の共振子モジュール１ｂの第２の直列腕３ｂを出力ポート５３ｂと接続することにより図４の回路図に示すように、各共振子モジュール１ａ、１ｂを形成する定Ｋ形回路がラダー型に接続されたラダー型フィルタ１００を１つのチップ内に構成することができる。更に、圧電基板５１上に形成する共振子モジュール１の数を更に増やすことにより、これらを直列に接続することで、より多くの定Ｋ形回路を含むラダー型フィルタ１００を形成することもできる。なお、第１、第２の共振子モジュール１ａ、１ｂにおける各直列腕２ａ、２ｂ、３ａ、３ｂ及び並列腕４ａ、４ｂの配列法については、図６（ａ）、図６（ｂ）の説明にて後述する。
【００３２】
また、ラダー型フィルタ１００の構成法は、図３、図４に示した例に限定されるものではなく、例えば図１に示した各共振子モジュール１を小さなチップ状に製造し、図５に示すようにこれらを共通の配線基板５４上に複数個並べて搭載し、互いの出力ポート５３と入力ポート５２とをボンディングすることによりＫ形回路をラダー型に接続したラダー型フィルタ１００を構成してもよい。
【００３３】
以上に説明した本発明の実施の形態によれば以下の効果が得られる。弾性波フィルタの直列腕、並列腕を構成する３つのＳＡＷ共振子１〜３のうち２つ（第１の直列腕２、第２の直列腕３）をその左右方向に隣接して並べ、残る１つ（並列腕４）をこれらの並びの後方側に位置させることにより、各ＳＡＷ共振子２〜４のバスバー（第２のバスバー２２ｂ、第４のバスバー３２ｂ、第５のバスバー４２ａ）を互いに近接させることができる。この結果、これらのバスバーの接続点を共通化して共通バスバー１０を構成し、この共通バスバー１０に信号線として利用することができるので、図１０に示した空きスペースＳ１、Ｓ２がなくなって、共振子モジュール１の更なる小型化が可能となる。
【００３４】
また、共通バスバー１０を信号線として用いることにより、従来のように幅広の長い信号線を引き回す必要がなくなるので、信号線部分でのオーミックロスによる信号損失や寄生容量の増大によるフィルタの通過帯域の劣化を防止することが可能となり、当該フィルタの性能向上に貢献する。
【００３５】
なお、図１、図２（ａ）、図２（ｂ）に示した共振子モジュール１においては、前方側に左右に並べて第１の直列腕２、第２の直列腕３を配置し、これらの並びの後方に並列腕４を配置した例を示したが、前方側、後方側に夫々配するＳＡＷ共振子２〜３は、このパターンに限定されない。例えば図６（ａ）に示すように、前方側に第１の直列腕２と並列腕４とを並べて配置し、後方側に第２の直列腕３を配置してもよく、また図６（ｂ）に示すように、第１の直列腕２を後方側へ配置してもよい。
【００３６】
ここで、空きスペース発生の防止、オーミックロスや寄生容量低減の観点からは、共通バスバー１０を信号線として用いることが好ましいが、必要のある場合には、各バスバー（第２のバスバー２２ｂ、第４のバスバー３２ｂ、第５のバスバー４２ａ）を共通化せずに別途信号線を設け、共通の接続点にて接続してもよい。実施の形態に係る既述の配置パターンを選択することで、これらのバスバー２２ｂ、３２ｂ、４２ａは互いに近接した位置に配置されるので、信号線の長さを必要最小限に抑えることが可能となり、空きスペースやオーミックロス、寄生容量の増加を抑えることができる。
【００３７】
また、図１０の従来例にて説明したアライメントマーク１３３ａ〜１３３ｄ、仕上り確認パターン１３４、識別コード１３５を設ける場合には、例えば図２（ａ）や図２（ｂ）に示した空きスペースにこれらを配置するとよい。また、図１のように空きスペースが殆どない場合には、これらを配置できるように圧電基板５１をひとまわり大きくしてもよく、また例えば図１に示した圧電基板５１の四隅に対応する反射器２４ａ、３４ｂ、４４ａ、４４ｂの角部等にアライメントマーク１３３ａ〜１３３ｄや識別コード１３５を印刷するようにしてもよい。また、実施の形態においては、ＬｉＴａＯ３やＬｉＮｂＯ３、ＳｉＯ２等の圧電基板５１上にＳＡＷ共振子２〜４を形成した場合について例示したが、圧電基板５１の構成はこの例に限定されるものではない。例えばガラス基板上に圧電薄膜層を形成したもの等も本発明の圧電基板に含まれる。
【００３８】
更にまた、上述の各実施の形態においては、弾性波共振子としてＳＡＷ共振子を採用した場合について説明したが、本発明に適用可能な弾性波共振子の種類はこれに限られない。例えば弾性境界波を利用するタイプの弾性波共振子であってもよい。
【実施例】
【００３９】
図１、図１０に夫々示す共振子モジュール１、１１０と同様の構造を有するフィルタモデルを作成し、夫々のフィルタモデルについてのフィルタ特性をシミュレーションした。
（シミュレーション１）
共通バスバー１０、信号線１３２内で発生するオーミックロスを一定とし、これらの中で発生する寄生容量がフィルタの通過特性に与える影響を調べた。
（実施例１）
図１に示した共振子モジュール１の通過特性をシミュレーションした。
シミュレーション条件
圧電基板：ＬｉＴａＯ３
チップサイズ：１．２ｍｍ×０．５ｍｍ
（比較例１）
図１０に示した共振子モジュール１の通過特性をシミュレーションした。
シミュレーション条件
圧電基板：ＬｉＴａＯ３
チップサイズ：１．０ｍｍ×１．５ｍｍ
【００４０】
（シミュレーション結果）
図７（ａ）、図７（ｂ）にシミュレーション結果を示す。図７（ａ）は各共振子モジュール１、１１０の通過特性の全体図であり、図７（ｂ）は通過帯域における通過特性の拡大図を示している。各図の横軸は周波数［ＭＨｚ］、縦軸は減衰量［ｄＢ］を示しており、図中の実線は（実施例１）、破線は（比較例１）のシミュレーション結果を表している。
【００４１】
図７（ａ）に示すように、（実施例１）、（比較例１）は、全体としては似た通過特性を示しているが、図７（ｂ）の通過帯域の拡大図を見ると、（実施例１）と比して（比較例１）においては通過帯域中央部の減衰量に凹みが見られる。これは、図１０に示す幅広の信号線１３２を長く引き回していることによるオーミックロスに起因する差であると考えられる。なお、図７（ｂ）上にて（実施例１）、（比較例１）を目視比較すると、減衰量の差はわずかであるようにも見えるが、当図では減衰量はデシベル単位で表示されているので、電気信号の入出力の差としてみるとかなり大きな差異となっており、移動体端末の電池寿命に大きな差が出る。
【００４２】
（シミュレーション２）
共通バスバー１０、信号線１３２内で発生する寄生容量を一定とし、これらの中で発生するオーミックロスがフィルタの通過特性に与える影響を調べた。
（実施例２）
図１に示した共振子モジュール１の通過特性をシミュレーションした。
シミュレーション条件
圧電基板：ＬｉＴａＯ３
チップサイズ：１．２ｍｍ×０．５ｍｍ
（比較例２）
図１０に示した共振子モジュール１の通過特性をシミュレーションした。
シミュレーション条件
圧電基板：ＬｉＴａＯ３
チップサイズ：１．０ｍｍ×１．５ｍｍ
【００４３】
（シミュレーション結果）
図８（ａ）、図８（ｂ）にシミュレーション結果を示す。図８（ａ）は各共振子モジュール１、１１０の通過特性の全体図であり、図８（ｂ）は通過帯域における通過特性の拡大図を示している。図中の実線は（実施例２）、破線は（比較例２）のシミュレーション結果を表しており、横軸及び縦軸の表示は図７（ａ）、図７（ｂ）と同様である。
【００４４】
図８（ａ）、図８（ｂ）に示した結果からも分かるように、（実施例２）と（比較例２）との間においても通過帯域中央部の減衰量に差が見られる。これは、長い信号線１３２を引き回している従来の共振子モジュール１１０と、共通バスバー１０に信号線の機能を持たせた実施の形態に係る共振子モジュール１とで、信号線１３２、共通バスバー１０内に発生する寄生容量に差が生じた結果であると考えられる。
【図面の簡単な説明】
【００４５】
【図１】実施の形態に係る共振子モジュールの構成を示す平面図である。
【図２】前記共振子モジュールの変形例を示す平面図である。
【図３】複数のＩＤＴ電極が共通の圧電基板上に形成されたラダー型フィルタの平面図である。
【図４】上記ラダー型フィルタの回路図である。
【図５】配線基板上に複数の共振子モジュールが搭載されたラダー型フィルタの説明図である。
【図６】前記共振子モジュールの第２の変形例を示す平面図である。
【図７】実施の形態に係る弾性波フィルタの通過特性を示す特性図である。
【図８】上記弾性波フィルタの通過特性を示す第２の特性図である。
【図９】ラダー型フィルタの構成例を示す回路図である。
【図１０】共振子モジュールの従来例を示す平面図である。
【符号の説明】
【００４６】
Ｓ１〜Ｓ４ 空き領域
１、１ａ、１ｂ
共振子モジュール
２、２ａ、２ｂ
第１の直列腕
３、３ａ、３ｂ
第２の直列腕
４、４ａ、４ｂ
並列腕
１０ 共通バスバー
２０ 電極部
２１ａ、２１ｂ
ＩＤＴ電極
２２ａ 第１のバスバー
２２ｂ 第２のバスバー
２３ａ、２３ｂ
電極指
２４ａ、２４ｂ
反射器
３０ 電極部
３１ａ、３１ｂ
ＩＤＴ電極
３２ａ 第３のバスバー
３２ｂ 第４のバスバー
３４ａ、３４ｂ
反射器
４０ 電極部
４１ａ、４１ｂ
ＩＤＴ電極
４２ａ 第５のバスバー
４２ｂ、４２１ｂ、４２２ｂ
第６のバスバー
４４ａ、４４ｂ
反射器
５１ 圧電基板
５２、５２ａ
入力ポート
５３、５３ｂ
出力ポート
５４ 配線基板
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１の直列腕の弾性波共振子、第２の直列腕の弾性波共振子及び並列腕の弾性波共振子が共通の接続点に接続された回路を備えた弾性波フィルタにおいて、
圧電基板上に前後に互いに対向して設けられた第１のバスバー及び第２のバスバーと、これらバスバー間に設けられたＩＤＴ電極と、により前記第１の直列腕の弾性波共振子を構成することと、
この第１の直列腕の弾性波共振子の左右方向に隣接して位置し、圧電基板上に前後に互いに対向して設けられた第３のバスバー及び第４のバスバーと、これらバスバー間に設けられたＩＤＴ電極と、により、前記第２の直列腕の弾性波共振子及び前記並列腕の弾性波共振子のうちの一方を構成することと、
前記第１の直列腕の弾性波共振子と前記第２の直列腕の弾性波共振子及び前記並列腕の弾性波共振子のうちの一方との並びの後方側に位置し、圧電基板上に前後に互いに対向して設けられた第５のバスバー及び第６のバスバーと、これらバスバー間に設けられたＩＤＴ電極と、により、前記第２の直列腕の弾性波共振子及び前記並列腕の弾性波共振子のうちの他方を構成することと、
前記第２のバスバー、第４のバスバー及び第５のバスバーは、前記共通の接続点側に位置していることと、を備えたことを特徴とする弾性波フィルタ。
【請求項２】
前記第４のバスバーは、前記第２のバスバーを延長させた部位により構成されていることを特徴とする請求項１記載の弾性波フィルタ。
【請求項３】
前記第５のバスバーは、前記第２のバスバー及び第４のバスバーと共通化されていることを特徴とする請求項２記載の弾性波フィルタ。
【請求項４】
直列腕の弾性波共振子及び並列腕の弾性波共振子により構成された定Ｋ形回路を基本区間とし、この基本区間を２つ以上ラダー型に接続することと、
出力側に並列腕の弾性波共振子が位置する第１の基本区間に含まれる直列腕の弾性波共振子が前記第１の直列腕の弾性波共振子に相当することと、
前記第１の基本区間に隣接し、入力側に並列腕の弾性波共振子が位置する第２の基本区間に含まれる直列腕の弾性波共振子が前記第２の直列腕の弾性波共振子に相当することと、を備えたことを特徴とする請求項１ないし３のいずれか一つに記載の弾性波フィルタ。
【請求項５】
前記第１の直列腕の弾性波共振子及び第２の直列腕の弾性波共振子は、左右方向に並んで配置され、
前記基本区間に含まれる並列腕の弾性波共振子は、前記第１の直列腕の弾性波共振子及び第２の直列腕の弾性波共振子の並びの後方側に配置されることを特徴とする請求項４記載の弾性波フィルタ。
【請求項６】
各々、請求項１ないし５のいずれか一つに記載の弾性波フィルタからなる第１の弾性波フィルタと第２の弾性波フィルタとを互いに接続したことを特徴とする弾性波フィルタ。
【請求項７】
前記第１の弾性波フィルタに設けられた第６のバスバーと、第２の弾性波フィルタに設けられた第６のバスバーと、が互いに隣接して平行に伸びるようにこれらの弾性波フィルタを配置し、夫々の弾性波フィルタの第６のバスバー同士を接続したことを特徴とする請求項６に記載の弾性波フィルタ。
【請求項８】
前記第１の弾性波フィルタの第６のバスバーと、第２の弾性波フィルタの第６のバスバーとが共通化されていることを特徴とする請求項７に記載の弾性波フィルタ。
【請求項９】
前記第１の弾性波フィルタ及び第２の弾性波フィルタの全てのＩＤＴ電極及びバスバーは、共通の圧電基板上に設けられていることを特徴とする請求項６ないし８のいずれか一つに記載の弾性波フィルタ。
【請求項１０】
第１の直列腕の弾性波共振子、第２の直列腕の弾性波共振子及び並列腕の弾性波共振子からなる回路は、モジュール用の圧電基板を用いて共振子モジュールとして構成され、
これら共振子モジュールを配線基板上に複数搭載することにより構成されたことを特徴とする請求項１ないし５のいずれか一つに記載の弾性波フィルタ。
【請求項１１】
各弾性波共振子内の２本のバスバー及びＩＤＴ電極を電極部とすると、
前記第１の直列腕、第２の直列腕及び並列腕の各弾性波共振子の電極部が収まる矩形領域の面積に対し、これら各弾性波共振子の電極部の設置領域の面積の合計値の比が０．８以上であることを特徴とする請求項１ないし１０のいずれか一つに記載の弾性波フィルタ。
【請求項１２】
前記電極部には、前記ＩＤＴ電極に併設された反射器を含むことを特徴とする請求項１１に記載の弾性波フィルタ。
【請求項１】
第１の直列腕の弾性波共振子、第２の直列腕の弾性波共振子及び並列腕の弾性波共振子が共通の接続点に接続された回路を備えた弾性波フィルタにおいて、
圧電基板上に前後に互いに対向して設けられた第１のバスバー及び第２のバスバーと、これらバスバー間に設けられたＩＤＴ電極と、により前記第１の直列腕の弾性波共振子を構成することと、
この第１の直列腕の弾性波共振子の左右方向に隣接して位置し、圧電基板上に前後に互いに対向して設けられた第３のバスバー及び第４のバスバーと、これらバスバー間に設けられたＩＤＴ電極と、により、前記第２の直列腕の弾性波共振子及び前記並列腕の弾性波共振子のうちの一方を構成することと、
前記第１の直列腕の弾性波共振子と前記第２の直列腕の弾性波共振子及び前記並列腕の弾性波共振子のうちの一方との並びの後方側に位置し、圧電基板上に前後に互いに対向して設けられた第５のバスバー及び第６のバスバーと、これらバスバー間に設けられたＩＤＴ電極と、により、前記第２の直列腕の弾性波共振子及び前記並列腕の弾性波共振子のうちの他方を構成することと、
前記第２のバスバー、第４のバスバー及び第５のバスバーは、前記共通の接続点側に位置していることと、を備えたことを特徴とする弾性波フィルタ。
【請求項２】
前記第４のバスバーは、前記第２のバスバーを延長させた部位により構成されていることを特徴とする請求項１記載の弾性波フィルタ。
【請求項３】
前記第５のバスバーは、前記第２のバスバー及び第４のバスバーと共通化されていることを特徴とする請求項２記載の弾性波フィルタ。
【請求項４】
直列腕の弾性波共振子及び並列腕の弾性波共振子により構成された定Ｋ形回路を基本区間とし、この基本区間を２つ以上ラダー型に接続することと、
出力側に並列腕の弾性波共振子が位置する第１の基本区間に含まれる直列腕の弾性波共振子が前記第１の直列腕の弾性波共振子に相当することと、
前記第１の基本区間に隣接し、入力側に並列腕の弾性波共振子が位置する第２の基本区間に含まれる直列腕の弾性波共振子が前記第２の直列腕の弾性波共振子に相当することと、を備えたことを特徴とする請求項１ないし３のいずれか一つに記載の弾性波フィルタ。
【請求項５】
前記第１の直列腕の弾性波共振子及び第２の直列腕の弾性波共振子は、左右方向に並んで配置され、
前記基本区間に含まれる並列腕の弾性波共振子は、前記第１の直列腕の弾性波共振子及び第２の直列腕の弾性波共振子の並びの後方側に配置されることを特徴とする請求項４記載の弾性波フィルタ。
【請求項６】
各々、請求項１ないし５のいずれか一つに記載の弾性波フィルタからなる第１の弾性波フィルタと第２の弾性波フィルタとを互いに接続したことを特徴とする弾性波フィルタ。
【請求項７】
前記第１の弾性波フィルタに設けられた第６のバスバーと、第２の弾性波フィルタに設けられた第６のバスバーと、が互いに隣接して平行に伸びるようにこれらの弾性波フィルタを配置し、夫々の弾性波フィルタの第６のバスバー同士を接続したことを特徴とする請求項６に記載の弾性波フィルタ。
【請求項８】
前記第１の弾性波フィルタの第６のバスバーと、第２の弾性波フィルタの第６のバスバーとが共通化されていることを特徴とする請求項７に記載の弾性波フィルタ。
【請求項９】
前記第１の弾性波フィルタ及び第２の弾性波フィルタの全てのＩＤＴ電極及びバスバーは、共通の圧電基板上に設けられていることを特徴とする請求項６ないし８のいずれか一つに記載の弾性波フィルタ。
【請求項１０】
第１の直列腕の弾性波共振子、第２の直列腕の弾性波共振子及び並列腕の弾性波共振子からなる回路は、モジュール用の圧電基板を用いて共振子モジュールとして構成され、
これら共振子モジュールを配線基板上に複数搭載することにより構成されたことを特徴とする請求項１ないし５のいずれか一つに記載の弾性波フィルタ。
【請求項１１】
各弾性波共振子内の２本のバスバー及びＩＤＴ電極を電極部とすると、
前記第１の直列腕、第２の直列腕及び並列腕の各弾性波共振子の電極部が収まる矩形領域の面積に対し、これら各弾性波共振子の電極部の設置領域の面積の合計値の比が０．８以上であることを特徴とする請求項１ないし１０のいずれか一つに記載の弾性波フィルタ。
【請求項１２】
前記電極部には、前記ＩＤＴ電極に併設された反射器を含むことを特徴とする請求項１１に記載の弾性波フィルタ。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【公開番号】特開２００９−８８９９９（Ｐ２００９−８８９９９Ａ）
【公開日】平成２１年４月２３日（２００９．４．２３）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００７−２５５９４６（Ｐ２００７−２５５９４６）
【出願日】平成１９年９月２８日（２００７．９．２８）
【出願人】（０００２３２４８３）日本電波工業株式会社 (1,148)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２１年４月２３日（２００９．４．２３）
【国際特許分類】
【出願日】平成１９年９月２８日（２００７．９．２８）
【出願人】（０００２３２４８３）日本電波工業株式会社 (1,148)
【Ｆターム（参考）】
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