搬送システム及び搬送方法
【課題】
処理装置の前面を塞ぐことなく、かつ搬送システムが平面視で占める床面積を小さくしながら、処理装置に物品を速やかに供給搬出する。
【構成】
複数の処理装置間で物品を搬送するため、処理装置のロードポートの上部を通過する第１の軌道と、第１の軌道に沿って走行しかつホイストを備える天井走行車とを設ける。第１の軌道の下方で、ロードポートの上方を通過し、かつ第１の軌道と平行に第２の軌道を配置する。第２の軌道の下方で、ロードポートよりも高い位置に、ロードポートの直上部を物品が鉛直方向に通過自在に物品を置くためのバッファを設ける。バッファ及びロードポートとの間で物品を受け渡しするホイストを備えたローカル台車を、第２の軌道に沿って走行させる。
処理装置の前面を塞ぐことなく、かつ搬送システムが平面視で占める床面積を小さくしながら、処理装置に物品を速やかに供給搬出する。
【構成】
複数の処理装置間で物品を搬送するため、処理装置のロードポートの上部を通過する第１の軌道と、第１の軌道に沿って走行しかつホイストを備える天井走行車とを設ける。第１の軌道の下方で、ロードポートの上方を通過し、かつ第１の軌道と平行に第２の軌道を配置する。第２の軌道の下方で、ロードポートよりも高い位置に、ロードポートの直上部を物品が鉛直方向に通過自在に物品を置くためのバッファを設ける。バッファ及びロードポートとの間で物品を受け渡しするホイストを備えたローカル台車を、第２の軌道に沿って走行させる。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は搬送システムに関し、特に処理装置を待たせずに物品を供給搬出する搬送システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体加工装置及び半導体の検査装置等の処理装置を待たせずに、FOUP（半導体ウェハーを搬送するための密閉型カセット）等の物品を、これらの装置のロードポートに供給及び搬出する必要がある。このために、処理装置の付近にバッファを設け、かつバッファと処理装置間の搬送を行うための第２の搬送装置を設けることが提案されている。例えば特許文献１（JP2006-224944A）では、天井走行車の軌道を天井スペースに平行に複数配置し、一方を長距離搬送用、他方を短距離搬送用とする。そして長距離搬送用の軌道の直下にバッファを、短距離搬送用の軌道の直下に処理装置のロードポートを配置する。長距離搬送用の天井走行車はバッファとの間で物品を受け渡しし、短距離搬送用の天井走行車はバッファとロードポートとの間で物品を受け渡しする。従って処理装置が必要とする物品が予めバッファまで搬送されていると、処理装置への物品の供給を高速で行うことができる。また処理装置のロードポートからの物品の搬出は、短距離搬送用の天井走行車により高速で行われる。しかしながらこのようにすると、同じ高さ位置に平行に軌道を設けるため、搬送システムが平面視で占める床面積が増大する。
【０００３】
特許文献２（JP2005-150129A）では、処理装置の前面に搬送装置を備えたバッファを設け、天井走行車はバッファとの間で物品を受け渡しし、バッファ内の搬送装置がロードポートとの間で物品を受け渡しする。しかしながら処理装置の前面には、稼働状況を示すディスプレイ、マニュアル操作用の操作パネル等が設けられ、バッファでこれらを塞ぐことは好ましくない。またロードポートは自動搬送装置のみが用いるものではなく、人手で物品を供給搬出することもあり、処理装置の前面をバッファで覆うと、人手でのアクセスが難しくなる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】JP2006-224944A
【特許文献２】JP2005-150129A
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
この発明の課題は、処理装置の前面を塞ぐことなく、かつ搬送システムが平面視で占める床面積を小さくしながら、処理装置に物品を速やかに供給及び搬出することにある。
この発明での追加の課題は、ローカル台車の具体的な構成を提供することにある。
この発明での追加の課題は、ローカル台車の給電線を不要にすることにある。
この発明での追加の課題は、ローカル台車が天井走行車の直下に存在することを、追加の装置無しで検出することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
この発明の搬送システムは複数の処理装置間で物品を搬送し、
処理装置のロードポートの上部を通過する第１の軌道と、
第１の軌道に沿って走行しかつホイストを備える天井走行車と、
前記第１の軌道の下方で、前記ロードポートの上方を通過し、かつ前記第１の軌道と平行に配置された第２の軌道と、
前記第２の軌道の下方で、前記ロードポートよりも高い位置に、前記ロードポートの直上部を物品が鉛直方向に通過自在に設けられた、物品を置くためのバッファと、
前記バッファ及び前記ロードポートとの間で物品を受け渡しするホイストを備え、かつ第２の軌道に沿って走行するローカル台車、とが設けられている。
【０００７】
この発明では、天井走行車が走行するスペースとローカル台車が走行するスペースとを鉛直方向に重ねることができる。従って搬送システムが平面視で占める床面積を小さくできる。また処理装置の前面をバッファで塞ぐことがない。そして天井走行車もローカル台車も共に、バッファ及びロードポートの双方との間で物品を受け渡しする。よって処理装置を待たせることが無く、かつ処理装置からの物品を速やかに搬送できる。バッファはロードポートの直上部から外れた位置にのみ設けても良く、あるいはバッファのフレーム等をロードポートの直上部にも配置しても良い。
【０００８】
この発明はまたホイストを備える天井走行車と、処理装置のロードポートの上部を通過する天井走行車の軌道とから成る既設の天井走行車システムに後付けする搬送システムに関する。このシステムは、
天井走行車の軌道の下方で、処理装置のロードポートの上方を通過し、かつ天井走行車の軌道と平行に配置された第２の軌道と、
前記第２の軌道の下方で、前記ロードポートよりも高い位置に、前記ロードポートの直上部を物品が鉛直方向に通過自在に設けられた、物品を置くためのバッファと、
前記バッファ及び前記ロードポートとの間で物品を受け渡しするホイストを備え、かつ第２の軌道に沿って走行するローカル台車、とを備えることを特徴とする。
【０００９】
このようにすると、既設の天井走行車システムに、第２の軌道とローカル台車、及びバッファから成る搬送システムを後付けできる。そして後付けする搬送システムは、処理装置の改造を必要とせず、既存の天井走行車システムに対しても、支柱を兼用する程度の改造しか必要としない。
【００１０】
この発明では、ホイストを備える天井走行車と処理装置のロードポートとの間で物品を受け渡しする。
そして天井走行車は処理装置のロードポートの上部を通過する天井走行車の軌道に沿って走行し、
天井走行車の軌道の下方で、処理装置のロードポートの上方を通過し、かつ天井走行車の軌道と平行に第２の軌道が設けられ、
前記第２の軌道の下方で、前記ロードポートよりも高い位置に、前記ロードポートの直上部を物品が鉛直方向に通過自在に物品を置くためのバッファが設けられ、
前記バッファ及び前記ロードポートとの間で物品を受け渡しするホイストを備え、かつ第２の軌道に沿って走行するローカル台車が設けられ、
天井走行車によりバッファとの間でホイストにより物品を受け渡しするステップと、
ローカル台車により、バッファとロードポートとの間で物品を受け渡しするステップ、とを実行する。
【００１１】
好ましい搬送システムでは、前記第２の軌道は少なくとも一対のレールを備え、さらに前記一対のレール間に前記物品が鉛直方向に通過自在な隙間が設けられている。この態様では、第２の軌道でのローカル台車を支持する一対のレール間の隙間を物品の奥行きよりも大きくすること等によって、物品は第２の軌道を鉛直方向に通過できる。従って、第１の軌道と第２の軌道とロードポートとが鉛直方向に重なるように配置でき、物品の受け渡しが簡単になる。またローカル台車を一対のレールで支持できる。
【００１２】
より好ましい搬送システムでは、第１の軌道と第２の軌道とバッファとが、平行に平面視で重なるように、処理装置の前面に配置されている。そしてロードポートの上部でバッファはバッファの隙間を備え、バッファの隙間を介して天井走行車もローカル台車もロードポートとの間で物品を受け渡し自在にされている。このようにすると、天井走行車もローカル台車も共にロードポートにアクセスできる。
【００１３】
特に好ましい搬送システムでは、物品が置かれているバッファの上部を、物品を搬送しているローカル台車が通過できる高さに、バッファが配置されている。このようにすると、天井走行車とローカル台車はバッファ上の任意の空位置に物品を荷下ろしし、任意の位置から物品を搬出できる。
【００１４】
あるいはまた、物品が置かれているバッファの上部を、物品を搬送していないローカル台車は通過できるが、物品を搬送しているローカル台車が通過できない高さに、バッファを配置しても良い。このようにするとローカル台車によるバッファとの物品の搬出入の順序に制約が生じるが、バッファと第２の軌道との高さの差を小さくし、バッファの設置を容易にできる。
【００１５】
例えば、天井走行車とローカル台車を制御する手段を設けて、天井走行車は前記バッファへの物品の搬入と、前記ロードポートからの物品の搬出とを行い、前記ローカル台車は前記バッファから前記ロードポートへの物品の搬入を行うように制御する。このようにすると、天井走行車側からすると、バッファが物品の搬入専用のロードポート、処理装置のロードポートが物品の搬出専用のロードポートとなり、ロードポートへ物品を搬入できないとのトラブルを減らすことができる。また処理装置側からすると、処理する予定の物品をバッファに蓄積できる。
【００１６】
好ましくは、前記ローカル台車はバッテリ駆動で、かつローカル台車のバッテリを充電するための充電装置が、第２の軌道に沿って、前記ロードポートの直上部からも前記バッファの直上部からも外れた位置に設けられている。このようにすると、ロードポート及びバッファへの物品の搬出入を妨げずに、ローカル台車がバッテリへ充電できる。
【００１７】
あるいは好ましくは、ローカル台車は蓄電器からの電力で駆動され、かつローカル台車のバッテリを充電するための充電装置がローカル台車の第２の軌道に沿う各停止位置に設けられている。ローカル台車は停止する毎に充電できるので、バッテリあるいは電気二重層キャパシタ等の蓄電器で駆動でき、かつ蓄電器が充電不足になることが無い。
【００１８】
好ましくは、天井走行車は、ロードポートの直上の位置で、光軸が上下方向を向きかつローカル台車の走行経路を通過する光により、ロードポートと光通信を行うための光通信部を備えている。このようにすると、ローカル台車がロードポートの直上に位置すると、天井走行車はロードポートとの光通信ができなくなる。従ってロードポートとの光通信を利用して、天井走行車とロードポート間の物品の移載にローカル台車が干渉する可能性を排除できる。
【００１９】
またローカル台車のコントローラにより、天井走行車とローカル台車と処理装置とに対し通信するようにしても良い。例えばローカル台車のコントローラは天井走行車と光もしくは無線で通信し、ローカル台車及び処理装置とは光、無線あるいは有線で通信する。このようにすると、ローカル台車のコントローラによりバッファ及びロードポートへの物品の搬出入を制御できる。
【００２０】
好ましい搬送システムでは、前記ロードポート側の干渉物を検出するルックダウンセンサが前記バッファに設けられている。ここにロードポート側は、ロードポートの付近あるいはその近傍を意味する。そしてこのセンサの信号により、コントローラを介してローカル台車と天井走行車とを制御すると、人などのロードポート付近の干渉物と、ローカル台車及び天井走行車の移載装置動作とが干渉することを防止できる。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】実施例の搬送システムの要部側面図
【図２】図１からバッファの高さレベルを変えた変形例の搬送システムの要部側面図
【図３】実施例の搬送システムの要部平面図
【図４】変形例の搬送システムの要部平面図
【図５】ローカル台車の側面図
【図６】ローカル台車がモノレールで走行する変形例の要部平面図
【図７】最適実施例の搬送システムの要部側面図
【発明を実施するための形態】
【００２２】
以下に本発明を実施するための最適実施例を示す。この発明の範囲は、特許請求の範囲の記載に基づき、明細書の記載とこの分野での周知技術とを参酌し、当業者の理解に従って定められるべきである。
【実施例】
【００２３】
図１〜図７に、実施例の搬送システムとその変形とを示す。図１〜図５において、２は天井走行車で、例えば半導体工場内で工程間搬送と工程内搬送とを行う。４はローカル台車で、個々の処理装置１２に対するFOUP等の物品２４の供給と搬出とを行い、あるいは隣接した数台の処理装置１２に対する物品の供給と搬出とを行う。６は天井走行車の軌道で、走行レールと給電レールとから成る。８はローカル台車４の軌道で、図３などに示す一対のレール９，９から成り、レール９，９間の隙間を物品２４が上下に通過できる。ローカル台車４は軌道８の上方を走行するが、軌道８の下方を走行しても良い。処理装置１２は１個〜複数個のロードポート１４を備え、処理装置１２の前面に平行に軌道６，８とバッファ１０が延びている。１６はクリーンルームなどの天井で、支柱１７〜１９により、軌道６，８とバッファ１０とが支持されている。
【００２４】
１０はバッファで、物品２４を仮置きし、軌道８の下方に、軌道６，８と平行に配置されている。軌道８を走行するローカル台車４は、物品２４が仮置きされているバッファ１０の上部を、物品２４を搬送していない場合は通過できるが、物品２４を搬送している場合は通過できない。このためバッファ１０に多数の物品が仮置きされている場合、ローカル台車４がバッファ１０内で物品２４を搬送する際に、搬送に順序が生じる。これに対して図２のように、バッファ１０の高さレベルを下げてバッファ１１とし、物品２４が仮置きされているバッファ１１の上部を、物品２４を搬送しているローカル台車４が通過できるようにしても良い。例えば軌道８の底部とバッファ１１の上部との間に、物品２４の高さの２倍以上の間隔を設ける。このようにすると、天井走行車２とローカル台車４はバッファ１１上の任意の空位置に物品２４を荷下ろしし、任意の位置から物品２４を搬出できる。高さレベルが低い点を除いて、バッファ１１はバッファ１０と同一で、実施例ではバッファ１０，１１のいずれを用いても良い。
【００２５】
天井走行車の軌道６が最も高い位置にあり、その例えば直下にローカル台車の軌道８があり、軌道６，８は平行で上下に重なっている。軌道６，８の直下にこれらと平行にバッファ１０，１１があり、ロードポート１４は軌道６，８の直下にある。実施例のようにバッファ１０，１１とロードポート１４とが平面視で重なるように配置する場合、物品が２４が鉛直方向に通過するための隙間３０を、ロードポートの直上部で、バッファ１０，１１に設ける。あるいはまた、ロードポート１４と平面視で重なる位置を避けるように、バッファ１０，１１を設けても良い。ローカル台車の軌道８では、例えばその一端でロードポート１４ともバッファ１０，１１とも平面視で重ならない位置に充電装置２０があり、ローカル台車４のバッテリを充電する。なお充電装置２０はバッファ１０，１１の物品２４と鉛直方向に重なる位置に設けてもよい。しかしこのようにするとローカル台車４への充電と天井走行車２とバッファ１０，１１との間での物品の受け渡しとが干渉する。従って、軌道８の端部で、ロードポート１４ともバッファ１０，１１とも鉛直方向に重ならない位置に、充電装置２０を設けることが好ましい。
【００２６】
２２はローカルコントローラで、ローカル台車４を制御し、実施例では充電装置２０の付近に設けて、光通信などでローカル台車４と通信する。なおローカルコントローラ２２は地上側に設けてもよい。また充電装置２０への給電は例えば支柱１８に沿って設けた図示しない給電線により行う。
【００２７】
天井走行車２は例えば前後に落下防止カバー２５，２５を備え、昇降台２６を図示しないホイストにより昇降させて、鉛直方向に沿って物品２４を移載する。天井走行車２にはこれ以外に、物品２４を横送りするための横送り機構等を設けてもよい。天井走行車２は光通信部３１を備え、ロードポート１４の側に設けた光通信部３１’との間で、光軸が上下方向を向き、かつローカル台車４の走行経路を通過する光での光通信により物品の受け渡し前のインターロックを行う。ここで天井走行車２とロードポート１４との間にローカル台車４が存在すると、光通信部３１，３１’間の光軸が遮られるように、光通信部３１，３１’を配置する。これによってローカル台車４を検出するための余分の装置無しで、天井走行車２とロードポート１４との間にローカル台車が存在しないことを確認できる。さらに天井走行車２にはローカルコントローラ２２との通信手段（不図示）を設けて、バッファ１０，１１との間で物品を受け渡しする際に、ローカルコントローラ２２と通信する。
【００２８】
処理装置１２はここでは加工装置の他に検査装置も含むものとする。処理装置１２の前面にはロードポート１４が設けられ、ロードポート１４との間で、天井走行車２、ローカル台車４、及び地上を移動する人が物品２４を受け渡しする。処理装置１２の前面にはロードポート１４の他に、ディスプレイ２８と操作パネル２９などが設けられ、処理装置１２の稼働状況を監視し、かつ人手で処理装置１２を制御できるようにする。
【００２９】
ローカル台車の軌道８は一対のレール９，９から成り、レール９，９間の幅Ｄ（図３）は物品２４の奥行きよりも大きく、物品２４は昇降台２６と共にレール９，９間の隙間を鉛直方向に通過できる。さらにバッファ１０，１１では、ロードポート１４，１４の上部に隙間３０を設け、物品２４がバッファ１０，１１を鉛直方向に通過できるようにする。あるいはまた、ロードポート１４の直上部を外すようにバッファ１０，１１を配置する。これらのため、軌道６，８とロードポート１４とが鉛直方向に重なるように配置しても、天井走行車２はロードポート１４及びバッファ１０，１１に対して物品の受け渡しができる。同様にローカル台車４はバッファ１０，１１及びロードポート１４に対し、物品の受け渡しができる。従って平面視で搬送システムが占める床面積を最小にできる。
【００３０】
ローカル台車の軌道８の直下のバッファ１０等のみではバッファの容量が不足する場合、図４のように、追加のバッファ３２を設けて、支柱３４で天井などから支持してもよい。この場合、追加のバッファ３２は例えばバッファ１０等と高さ位置を揃えて配置し、天井走行車２及びローカル台車４にホイストを横送りする機構などを設ける。
【００３１】
図５はローカル台車４の構造を示し、４０は走行モータで、走行車輪４１などによりレール９，９上を走行する。４２はホイストで、吊持材４３を巻き取りあるいは繰り出すことにより、昇降台２７により支持された物品２４を昇降させる。４５はバッテリ、４６はコネクタで、充電装置２０によるバッテリ４５の充電を行う。４７は光通信部で、天井走行車２の光通信部３１と同様にして、ロードポート１４の光通信部３１’との間で、インターロックのための通信を行う。なお光通信部４７を設けず、ロードポート１４とのインターロックを、ローカルコントローラ２２経由で行うようにしてもよい。ローカル台車４は走行距離が短く、物品の横送り等の機構を備えず、走行ルートの選択、他の台車との干渉の回避などの情報処理機構を備えない簡素なものである。例えば１台のローカル台車４を軌道８に沿って走行させ、処理装置１２の前面と前面からやや離れた位置との間を、ローカルコントローラ２２の制御で往復させる。そしてローカル台車４は、天井走行車の軌道６の直下の軌道８を走行するので、追加の床面積を必要としない。また軌道８でのレール９，９間の隙間Ｄは、物品２４の奥行きよりも大きいので、軌道８を鉛直方向に通過するように物品２４を受け渡しできる。
【００３２】
図６に変形例の搬送システムを示し、図１〜図５と同じ符号は同じものを表し、図６では天井走行車２に対し、落下防止カバー２５を外して示す。この変形例ではローカル台車の軌道８’はモノレールから成る。その断面形状はここではＬ字状としたが、形状は任意である。ローカル台車４’は例えば３種類のガイドローラ５１〜５３を備え、これらを軌道８’でガイドすることにより、ローカル台車４’の姿勢を維持する。ガイドローラ５３は設けなくても良い。１０’は新たなバッファで隙間３０を備え、物品２４は鉛直方向に隙間３０を通過する。図６の変形例では、モノレールでローカル台車４’を支持するため、ローカル台車４’の姿勢が不安定になりやすい。
【００３３】
実施例での天井走行車２とローカル台車４の制御を示す。天井走行車２は図示しない上位コントローラにより制御され、ローカルコントローラ２０は上位コントローラ及び天井走行車２，ローカル台車４との間で通信する。天井走行車１４及びローカル台車４がロードポート１４との間で物品２４を受け渡しする場合、光通信部３１，３１’，４７を用いてインターロックを行う。ロードポート１４の直上にローカル台車４が存在すると、天井走行車２は、光通信ができずインターロックが成立しないことにより、ローカル台車４が他の位置へ移動するまで、物品の受け渡しを遅らせる。バッファ１０，１１等と天井走行車２との間の物品２４の受け渡しは、天井走行車２とローカルコントローラ２２との間の通信によりインターロックを成立させる。またローカル台車４は、ローカルコントローラ２２からの指示により、バッファ１０等と物品２４を受け渡しし、受け渡し前のインターロックは行わない。
【００３４】
以上の通信により、バッファ１０等のどの位置にどの物品が所在するかの在庫データが得られ、ローカルコントローラ２２が記憶する。バッファ１０等の物品２４はローカルコントローラ２２が管理する。そしてロードポート１４とのインターロックは天井走行車２及びローカル台車との直接通信、あるいはローカルコントローラ２２を介しての通信により成立させる。
【００３５】
最適実施例
図7に最適実施例を示し、図１〜図６と同じ符号は同じものを表し、特に指摘した点以外は図２の変形例と同様である。６０はルックダウンセンサで、レーザ光を照射し、人などの干渉物により反射すると受光素子により検出する。そしてレーザ光の向きを変えて走査し、反射光とレーザ光の位相差を用いることなどにより、ロードポート１４付近の鎖線で示す監視範囲内の干渉物を検出する。ルックダウンセンサ６０の信号はコントローラ２２からローカル台車４と天井走行車２とに伝えられ、干渉物が存在する際に、ロードポート１４への荷下ろしと荷積みとが禁止される。なお干渉物の検出用のセンサの種類は任意である。
【００３６】
充電装置２０は例えば軌道８に沿って、ローカル台車４の停止位置毎に設けられ、ローカル台車４は停止すると、任意の位置でバッテリへの充電を受けることができる。ただしロードポート１４の直上部はローカル台車４の待機位置としては好ましくないので、充電装置２０をロードポート１４の直上部には設けないようにしても良い。またリチウムイオン電池等のバッテリの代わりに、電気二重層キャパシタ等の蓄電器を用いても良い。
【００３７】
ローカルコントローラ２２は、天井走行車２と光もしくは無線で通信し、ローカル台車４及び処理装置１２と光、無線、あるいは有線で通信する。これによって天井走行車２及びローカル台車４がバッファ１１及びロードポート１４と物品２４を移載する際のインターロックを、ローカルコントローラ２２を介して成立させることができる。
【００３８】
図７の搬送システムは例えば以下のように運用する。
１)天井走行車２は、バッファ１１への物品２４の荷下ろしと、ロードポート１４からの搬出を行う。バッファ１１を設けたので、天井走行車２が物品２４を荷下ろしできないとのトラブルを減らすことができ、処理装置１２はバッファ１１に次に処理する物品２４をストックできる。
２)バッファ１１からロードポート１４への搬入は、ローカル台車４が行う。
３)ただしロードポート１４が物品２４でオーバーフローするおそれがある場合は、ローカル台車４により物品２４をバッファ１１へ搬出する。
４)特急品は天井走行車２が直接ロードポート１４へ荷下ろししても良い。
５)ローカル台車４の待機位置は、ロードポート１４の直上部を除く位置で、かつ次にロードポート１４へ荷下ろしする物品の上部である。これによって、ロードポート１４への搬入を速やかに行うことができる。
６)ローカル台車４は停止中は任意の位置で充電する。これによって小さな容量のバッテリでローカル台車４を駆動することができる。
７)天井走行車２がロードポート１４から物品を搬出することと並行して、ローカル台車４がロードポート１４へ搬入する物品を荷掴みする。従って次の物品をロードポート１４へ速やかに搬入できる。
８)ロードポート１４に搬出すべき物品がある場合、ロードポート１４への搬入物品を搬送している天井走行車２はロードポート１４の上流側でバッファ１１へ物品を荷下ろしし、次いで同じ天井走行車２がロードポート１４から物品を搬出する。すると効率的に物品を搬送できる。
【００３９】
実施例では以下の効果が得られる。
(1) 処理装置１２の前面を塞がずにバッファ１０等を設けることができる。
(2) 軌道６，８を鉛直方向に重なるように配置し、軌道８に設けた隙間を物品２４が通過するので、天井走行車２もローカル台車４も横送り機構を必要としない。
(3) 軌道８を長くすることにより、処理装置１２に対し充分な容量のバッファ１０，１１を用意できる。
(4) 天井走行車２もローカル台車４も、共にロードポート１４とバッファ１０，１１の双方に対し物品を受け渡しできる。このため、ロードポート１４及びバッファ１０，１１に対する物品２４の供給と搬出を効率的に行える。
【００４０】
なお全ての処理装置１２に対して、バッファ１０，ローカル台車４の軌道８及びローカル台車４から成るシステムを設ける必要はなく、物品２４の処理数が多い処理装置１２に対してのみ、上記のシステムを設けても良い。搬送物品の種類は任意で、例えば半導体の露光用のレチクルを収容したカセット、フラットパネルディスプレイの基板等でも良い。
【符号の説明】
【００４１】
２ 天井走行車
４ ローカル台車
６ 天井走行車の軌道
８ ローカル台車の軌道
９ レール
１０，１１ バッファ
１２ 処理装置
１４ ロードポート
１６ 天井
１７〜１９ 支柱
２０ 充電装置
２２ ローカルコントローラ
２４ 物品
２５ 落下防止カバー
２６，２７ 昇降台
２８ ディスプレイ
２９ 操作パネル
３０ 隙間
３１ 光通信部
３２ バッファ
３４ 支柱
４０ 走行モータ
４１ 走行車輪
４２，５０ ホイスト
４３ 吊持材
４５ バッテリ
４６ コネクタ
４７ 光通信部
５１〜５３ ガイドローラ
【技術分野】
【０００１】
この発明は搬送システムに関し、特に処理装置を待たせずに物品を供給搬出する搬送システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体加工装置及び半導体の検査装置等の処理装置を待たせずに、FOUP（半導体ウェハーを搬送するための密閉型カセット）等の物品を、これらの装置のロードポートに供給及び搬出する必要がある。このために、処理装置の付近にバッファを設け、かつバッファと処理装置間の搬送を行うための第２の搬送装置を設けることが提案されている。例えば特許文献１（JP2006-224944A）では、天井走行車の軌道を天井スペースに平行に複数配置し、一方を長距離搬送用、他方を短距離搬送用とする。そして長距離搬送用の軌道の直下にバッファを、短距離搬送用の軌道の直下に処理装置のロードポートを配置する。長距離搬送用の天井走行車はバッファとの間で物品を受け渡しし、短距離搬送用の天井走行車はバッファとロードポートとの間で物品を受け渡しする。従って処理装置が必要とする物品が予めバッファまで搬送されていると、処理装置への物品の供給を高速で行うことができる。また処理装置のロードポートからの物品の搬出は、短距離搬送用の天井走行車により高速で行われる。しかしながらこのようにすると、同じ高さ位置に平行に軌道を設けるため、搬送システムが平面視で占める床面積が増大する。
【０００３】
特許文献２（JP2005-150129A）では、処理装置の前面に搬送装置を備えたバッファを設け、天井走行車はバッファとの間で物品を受け渡しし、バッファ内の搬送装置がロードポートとの間で物品を受け渡しする。しかしながら処理装置の前面には、稼働状況を示すディスプレイ、マニュアル操作用の操作パネル等が設けられ、バッファでこれらを塞ぐことは好ましくない。またロードポートは自動搬送装置のみが用いるものではなく、人手で物品を供給搬出することもあり、処理装置の前面をバッファで覆うと、人手でのアクセスが難しくなる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】JP2006-224944A
【特許文献２】JP2005-150129A
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
この発明の課題は、処理装置の前面を塞ぐことなく、かつ搬送システムが平面視で占める床面積を小さくしながら、処理装置に物品を速やかに供給及び搬出することにある。
この発明での追加の課題は、ローカル台車の具体的な構成を提供することにある。
この発明での追加の課題は、ローカル台車の給電線を不要にすることにある。
この発明での追加の課題は、ローカル台車が天井走行車の直下に存在することを、追加の装置無しで検出することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
この発明の搬送システムは複数の処理装置間で物品を搬送し、
処理装置のロードポートの上部を通過する第１の軌道と、
第１の軌道に沿って走行しかつホイストを備える天井走行車と、
前記第１の軌道の下方で、前記ロードポートの上方を通過し、かつ前記第１の軌道と平行に配置された第２の軌道と、
前記第２の軌道の下方で、前記ロードポートよりも高い位置に、前記ロードポートの直上部を物品が鉛直方向に通過自在に設けられた、物品を置くためのバッファと、
前記バッファ及び前記ロードポートとの間で物品を受け渡しするホイストを備え、かつ第２の軌道に沿って走行するローカル台車、とが設けられている。
【０００７】
この発明では、天井走行車が走行するスペースとローカル台車が走行するスペースとを鉛直方向に重ねることができる。従って搬送システムが平面視で占める床面積を小さくできる。また処理装置の前面をバッファで塞ぐことがない。そして天井走行車もローカル台車も共に、バッファ及びロードポートの双方との間で物品を受け渡しする。よって処理装置を待たせることが無く、かつ処理装置からの物品を速やかに搬送できる。バッファはロードポートの直上部から外れた位置にのみ設けても良く、あるいはバッファのフレーム等をロードポートの直上部にも配置しても良い。
【０００８】
この発明はまたホイストを備える天井走行車と、処理装置のロードポートの上部を通過する天井走行車の軌道とから成る既設の天井走行車システムに後付けする搬送システムに関する。このシステムは、
天井走行車の軌道の下方で、処理装置のロードポートの上方を通過し、かつ天井走行車の軌道と平行に配置された第２の軌道と、
前記第２の軌道の下方で、前記ロードポートよりも高い位置に、前記ロードポートの直上部を物品が鉛直方向に通過自在に設けられた、物品を置くためのバッファと、
前記バッファ及び前記ロードポートとの間で物品を受け渡しするホイストを備え、かつ第２の軌道に沿って走行するローカル台車、とを備えることを特徴とする。
【０００９】
このようにすると、既設の天井走行車システムに、第２の軌道とローカル台車、及びバッファから成る搬送システムを後付けできる。そして後付けする搬送システムは、処理装置の改造を必要とせず、既存の天井走行車システムに対しても、支柱を兼用する程度の改造しか必要としない。
【００１０】
この発明では、ホイストを備える天井走行車と処理装置のロードポートとの間で物品を受け渡しする。
そして天井走行車は処理装置のロードポートの上部を通過する天井走行車の軌道に沿って走行し、
天井走行車の軌道の下方で、処理装置のロードポートの上方を通過し、かつ天井走行車の軌道と平行に第２の軌道が設けられ、
前記第２の軌道の下方で、前記ロードポートよりも高い位置に、前記ロードポートの直上部を物品が鉛直方向に通過自在に物品を置くためのバッファが設けられ、
前記バッファ及び前記ロードポートとの間で物品を受け渡しするホイストを備え、かつ第２の軌道に沿って走行するローカル台車が設けられ、
天井走行車によりバッファとの間でホイストにより物品を受け渡しするステップと、
ローカル台車により、バッファとロードポートとの間で物品を受け渡しするステップ、とを実行する。
【００１１】
好ましい搬送システムでは、前記第２の軌道は少なくとも一対のレールを備え、さらに前記一対のレール間に前記物品が鉛直方向に通過自在な隙間が設けられている。この態様では、第２の軌道でのローカル台車を支持する一対のレール間の隙間を物品の奥行きよりも大きくすること等によって、物品は第２の軌道を鉛直方向に通過できる。従って、第１の軌道と第２の軌道とロードポートとが鉛直方向に重なるように配置でき、物品の受け渡しが簡単になる。またローカル台車を一対のレールで支持できる。
【００１２】
より好ましい搬送システムでは、第１の軌道と第２の軌道とバッファとが、平行に平面視で重なるように、処理装置の前面に配置されている。そしてロードポートの上部でバッファはバッファの隙間を備え、バッファの隙間を介して天井走行車もローカル台車もロードポートとの間で物品を受け渡し自在にされている。このようにすると、天井走行車もローカル台車も共にロードポートにアクセスできる。
【００１３】
特に好ましい搬送システムでは、物品が置かれているバッファの上部を、物品を搬送しているローカル台車が通過できる高さに、バッファが配置されている。このようにすると、天井走行車とローカル台車はバッファ上の任意の空位置に物品を荷下ろしし、任意の位置から物品を搬出できる。
【００１４】
あるいはまた、物品が置かれているバッファの上部を、物品を搬送していないローカル台車は通過できるが、物品を搬送しているローカル台車が通過できない高さに、バッファを配置しても良い。このようにするとローカル台車によるバッファとの物品の搬出入の順序に制約が生じるが、バッファと第２の軌道との高さの差を小さくし、バッファの設置を容易にできる。
【００１５】
例えば、天井走行車とローカル台車を制御する手段を設けて、天井走行車は前記バッファへの物品の搬入と、前記ロードポートからの物品の搬出とを行い、前記ローカル台車は前記バッファから前記ロードポートへの物品の搬入を行うように制御する。このようにすると、天井走行車側からすると、バッファが物品の搬入専用のロードポート、処理装置のロードポートが物品の搬出専用のロードポートとなり、ロードポートへ物品を搬入できないとのトラブルを減らすことができる。また処理装置側からすると、処理する予定の物品をバッファに蓄積できる。
【００１６】
好ましくは、前記ローカル台車はバッテリ駆動で、かつローカル台車のバッテリを充電するための充電装置が、第２の軌道に沿って、前記ロードポートの直上部からも前記バッファの直上部からも外れた位置に設けられている。このようにすると、ロードポート及びバッファへの物品の搬出入を妨げずに、ローカル台車がバッテリへ充電できる。
【００１７】
あるいは好ましくは、ローカル台車は蓄電器からの電力で駆動され、かつローカル台車のバッテリを充電するための充電装置がローカル台車の第２の軌道に沿う各停止位置に設けられている。ローカル台車は停止する毎に充電できるので、バッテリあるいは電気二重層キャパシタ等の蓄電器で駆動でき、かつ蓄電器が充電不足になることが無い。
【００１８】
好ましくは、天井走行車は、ロードポートの直上の位置で、光軸が上下方向を向きかつローカル台車の走行経路を通過する光により、ロードポートと光通信を行うための光通信部を備えている。このようにすると、ローカル台車がロードポートの直上に位置すると、天井走行車はロードポートとの光通信ができなくなる。従ってロードポートとの光通信を利用して、天井走行車とロードポート間の物品の移載にローカル台車が干渉する可能性を排除できる。
【００１９】
またローカル台車のコントローラにより、天井走行車とローカル台車と処理装置とに対し通信するようにしても良い。例えばローカル台車のコントローラは天井走行車と光もしくは無線で通信し、ローカル台車及び処理装置とは光、無線あるいは有線で通信する。このようにすると、ローカル台車のコントローラによりバッファ及びロードポートへの物品の搬出入を制御できる。
【００２０】
好ましい搬送システムでは、前記ロードポート側の干渉物を検出するルックダウンセンサが前記バッファに設けられている。ここにロードポート側は、ロードポートの付近あるいはその近傍を意味する。そしてこのセンサの信号により、コントローラを介してローカル台車と天井走行車とを制御すると、人などのロードポート付近の干渉物と、ローカル台車及び天井走行車の移載装置動作とが干渉することを防止できる。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】実施例の搬送システムの要部側面図
【図２】図１からバッファの高さレベルを変えた変形例の搬送システムの要部側面図
【図３】実施例の搬送システムの要部平面図
【図４】変形例の搬送システムの要部平面図
【図５】ローカル台車の側面図
【図６】ローカル台車がモノレールで走行する変形例の要部平面図
【図７】最適実施例の搬送システムの要部側面図
【発明を実施するための形態】
【００２２】
以下に本発明を実施するための最適実施例を示す。この発明の範囲は、特許請求の範囲の記載に基づき、明細書の記載とこの分野での周知技術とを参酌し、当業者の理解に従って定められるべきである。
【実施例】
【００２３】
図１〜図７に、実施例の搬送システムとその変形とを示す。図１〜図５において、２は天井走行車で、例えば半導体工場内で工程間搬送と工程内搬送とを行う。４はローカル台車で、個々の処理装置１２に対するFOUP等の物品２４の供給と搬出とを行い、あるいは隣接した数台の処理装置１２に対する物品の供給と搬出とを行う。６は天井走行車の軌道で、走行レールと給電レールとから成る。８はローカル台車４の軌道で、図３などに示す一対のレール９，９から成り、レール９，９間の隙間を物品２４が上下に通過できる。ローカル台車４は軌道８の上方を走行するが、軌道８の下方を走行しても良い。処理装置１２は１個〜複数個のロードポート１４を備え、処理装置１２の前面に平行に軌道６，８とバッファ１０が延びている。１６はクリーンルームなどの天井で、支柱１７〜１９により、軌道６，８とバッファ１０とが支持されている。
【００２４】
１０はバッファで、物品２４を仮置きし、軌道８の下方に、軌道６，８と平行に配置されている。軌道８を走行するローカル台車４は、物品２４が仮置きされているバッファ１０の上部を、物品２４を搬送していない場合は通過できるが、物品２４を搬送している場合は通過できない。このためバッファ１０に多数の物品が仮置きされている場合、ローカル台車４がバッファ１０内で物品２４を搬送する際に、搬送に順序が生じる。これに対して図２のように、バッファ１０の高さレベルを下げてバッファ１１とし、物品２４が仮置きされているバッファ１１の上部を、物品２４を搬送しているローカル台車４が通過できるようにしても良い。例えば軌道８の底部とバッファ１１の上部との間に、物品２４の高さの２倍以上の間隔を設ける。このようにすると、天井走行車２とローカル台車４はバッファ１１上の任意の空位置に物品２４を荷下ろしし、任意の位置から物品２４を搬出できる。高さレベルが低い点を除いて、バッファ１１はバッファ１０と同一で、実施例ではバッファ１０，１１のいずれを用いても良い。
【００２５】
天井走行車の軌道６が最も高い位置にあり、その例えば直下にローカル台車の軌道８があり、軌道６，８は平行で上下に重なっている。軌道６，８の直下にこれらと平行にバッファ１０，１１があり、ロードポート１４は軌道６，８の直下にある。実施例のようにバッファ１０，１１とロードポート１４とが平面視で重なるように配置する場合、物品が２４が鉛直方向に通過するための隙間３０を、ロードポートの直上部で、バッファ１０，１１に設ける。あるいはまた、ロードポート１４と平面視で重なる位置を避けるように、バッファ１０，１１を設けても良い。ローカル台車の軌道８では、例えばその一端でロードポート１４ともバッファ１０，１１とも平面視で重ならない位置に充電装置２０があり、ローカル台車４のバッテリを充電する。なお充電装置２０はバッファ１０，１１の物品２４と鉛直方向に重なる位置に設けてもよい。しかしこのようにするとローカル台車４への充電と天井走行車２とバッファ１０，１１との間での物品の受け渡しとが干渉する。従って、軌道８の端部で、ロードポート１４ともバッファ１０，１１とも鉛直方向に重ならない位置に、充電装置２０を設けることが好ましい。
【００２６】
２２はローカルコントローラで、ローカル台車４を制御し、実施例では充電装置２０の付近に設けて、光通信などでローカル台車４と通信する。なおローカルコントローラ２２は地上側に設けてもよい。また充電装置２０への給電は例えば支柱１８に沿って設けた図示しない給電線により行う。
【００２７】
天井走行車２は例えば前後に落下防止カバー２５，２５を備え、昇降台２６を図示しないホイストにより昇降させて、鉛直方向に沿って物品２４を移載する。天井走行車２にはこれ以外に、物品２４を横送りするための横送り機構等を設けてもよい。天井走行車２は光通信部３１を備え、ロードポート１４の側に設けた光通信部３１’との間で、光軸が上下方向を向き、かつローカル台車４の走行経路を通過する光での光通信により物品の受け渡し前のインターロックを行う。ここで天井走行車２とロードポート１４との間にローカル台車４が存在すると、光通信部３１，３１’間の光軸が遮られるように、光通信部３１，３１’を配置する。これによってローカル台車４を検出するための余分の装置無しで、天井走行車２とロードポート１４との間にローカル台車が存在しないことを確認できる。さらに天井走行車２にはローカルコントローラ２２との通信手段（不図示）を設けて、バッファ１０，１１との間で物品を受け渡しする際に、ローカルコントローラ２２と通信する。
【００２８】
処理装置１２はここでは加工装置の他に検査装置も含むものとする。処理装置１２の前面にはロードポート１４が設けられ、ロードポート１４との間で、天井走行車２、ローカル台車４、及び地上を移動する人が物品２４を受け渡しする。処理装置１２の前面にはロードポート１４の他に、ディスプレイ２８と操作パネル２９などが設けられ、処理装置１２の稼働状況を監視し、かつ人手で処理装置１２を制御できるようにする。
【００２９】
ローカル台車の軌道８は一対のレール９，９から成り、レール９，９間の幅Ｄ（図３）は物品２４の奥行きよりも大きく、物品２４は昇降台２６と共にレール９，９間の隙間を鉛直方向に通過できる。さらにバッファ１０，１１では、ロードポート１４，１４の上部に隙間３０を設け、物品２４がバッファ１０，１１を鉛直方向に通過できるようにする。あるいはまた、ロードポート１４の直上部を外すようにバッファ１０，１１を配置する。これらのため、軌道６，８とロードポート１４とが鉛直方向に重なるように配置しても、天井走行車２はロードポート１４及びバッファ１０，１１に対して物品の受け渡しができる。同様にローカル台車４はバッファ１０，１１及びロードポート１４に対し、物品の受け渡しができる。従って平面視で搬送システムが占める床面積を最小にできる。
【００３０】
ローカル台車の軌道８の直下のバッファ１０等のみではバッファの容量が不足する場合、図４のように、追加のバッファ３２を設けて、支柱３４で天井などから支持してもよい。この場合、追加のバッファ３２は例えばバッファ１０等と高さ位置を揃えて配置し、天井走行車２及びローカル台車４にホイストを横送りする機構などを設ける。
【００３１】
図５はローカル台車４の構造を示し、４０は走行モータで、走行車輪４１などによりレール９，９上を走行する。４２はホイストで、吊持材４３を巻き取りあるいは繰り出すことにより、昇降台２７により支持された物品２４を昇降させる。４５はバッテリ、４６はコネクタで、充電装置２０によるバッテリ４５の充電を行う。４７は光通信部で、天井走行車２の光通信部３１と同様にして、ロードポート１４の光通信部３１’との間で、インターロックのための通信を行う。なお光通信部４７を設けず、ロードポート１４とのインターロックを、ローカルコントローラ２２経由で行うようにしてもよい。ローカル台車４は走行距離が短く、物品の横送り等の機構を備えず、走行ルートの選択、他の台車との干渉の回避などの情報処理機構を備えない簡素なものである。例えば１台のローカル台車４を軌道８に沿って走行させ、処理装置１２の前面と前面からやや離れた位置との間を、ローカルコントローラ２２の制御で往復させる。そしてローカル台車４は、天井走行車の軌道６の直下の軌道８を走行するので、追加の床面積を必要としない。また軌道８でのレール９，９間の隙間Ｄは、物品２４の奥行きよりも大きいので、軌道８を鉛直方向に通過するように物品２４を受け渡しできる。
【００３２】
図６に変形例の搬送システムを示し、図１〜図５と同じ符号は同じものを表し、図６では天井走行車２に対し、落下防止カバー２５を外して示す。この変形例ではローカル台車の軌道８’はモノレールから成る。その断面形状はここではＬ字状としたが、形状は任意である。ローカル台車４’は例えば３種類のガイドローラ５１〜５３を備え、これらを軌道８’でガイドすることにより、ローカル台車４’の姿勢を維持する。ガイドローラ５３は設けなくても良い。１０’は新たなバッファで隙間３０を備え、物品２４は鉛直方向に隙間３０を通過する。図６の変形例では、モノレールでローカル台車４’を支持するため、ローカル台車４’の姿勢が不安定になりやすい。
【００３３】
実施例での天井走行車２とローカル台車４の制御を示す。天井走行車２は図示しない上位コントローラにより制御され、ローカルコントローラ２０は上位コントローラ及び天井走行車２，ローカル台車４との間で通信する。天井走行車１４及びローカル台車４がロードポート１４との間で物品２４を受け渡しする場合、光通信部３１，３１’，４７を用いてインターロックを行う。ロードポート１４の直上にローカル台車４が存在すると、天井走行車２は、光通信ができずインターロックが成立しないことにより、ローカル台車４が他の位置へ移動するまで、物品の受け渡しを遅らせる。バッファ１０，１１等と天井走行車２との間の物品２４の受け渡しは、天井走行車２とローカルコントローラ２２との間の通信によりインターロックを成立させる。またローカル台車４は、ローカルコントローラ２２からの指示により、バッファ１０等と物品２４を受け渡しし、受け渡し前のインターロックは行わない。
【００３４】
以上の通信により、バッファ１０等のどの位置にどの物品が所在するかの在庫データが得られ、ローカルコントローラ２２が記憶する。バッファ１０等の物品２４はローカルコントローラ２２が管理する。そしてロードポート１４とのインターロックは天井走行車２及びローカル台車との直接通信、あるいはローカルコントローラ２２を介しての通信により成立させる。
【００３５】
最適実施例
図7に最適実施例を示し、図１〜図６と同じ符号は同じものを表し、特に指摘した点以外は図２の変形例と同様である。６０はルックダウンセンサで、レーザ光を照射し、人などの干渉物により反射すると受光素子により検出する。そしてレーザ光の向きを変えて走査し、反射光とレーザ光の位相差を用いることなどにより、ロードポート１４付近の鎖線で示す監視範囲内の干渉物を検出する。ルックダウンセンサ６０の信号はコントローラ２２からローカル台車４と天井走行車２とに伝えられ、干渉物が存在する際に、ロードポート１４への荷下ろしと荷積みとが禁止される。なお干渉物の検出用のセンサの種類は任意である。
【００３６】
充電装置２０は例えば軌道８に沿って、ローカル台車４の停止位置毎に設けられ、ローカル台車４は停止すると、任意の位置でバッテリへの充電を受けることができる。ただしロードポート１４の直上部はローカル台車４の待機位置としては好ましくないので、充電装置２０をロードポート１４の直上部には設けないようにしても良い。またリチウムイオン電池等のバッテリの代わりに、電気二重層キャパシタ等の蓄電器を用いても良い。
【００３７】
ローカルコントローラ２２は、天井走行車２と光もしくは無線で通信し、ローカル台車４及び処理装置１２と光、無線、あるいは有線で通信する。これによって天井走行車２及びローカル台車４がバッファ１１及びロードポート１４と物品２４を移載する際のインターロックを、ローカルコントローラ２２を介して成立させることができる。
【００３８】
図７の搬送システムは例えば以下のように運用する。
１)天井走行車２は、バッファ１１への物品２４の荷下ろしと、ロードポート１４からの搬出を行う。バッファ１１を設けたので、天井走行車２が物品２４を荷下ろしできないとのトラブルを減らすことができ、処理装置１２はバッファ１１に次に処理する物品２４をストックできる。
２)バッファ１１からロードポート１４への搬入は、ローカル台車４が行う。
３)ただしロードポート１４が物品２４でオーバーフローするおそれがある場合は、ローカル台車４により物品２４をバッファ１１へ搬出する。
４)特急品は天井走行車２が直接ロードポート１４へ荷下ろししても良い。
５)ローカル台車４の待機位置は、ロードポート１４の直上部を除く位置で、かつ次にロードポート１４へ荷下ろしする物品の上部である。これによって、ロードポート１４への搬入を速やかに行うことができる。
６)ローカル台車４は停止中は任意の位置で充電する。これによって小さな容量のバッテリでローカル台車４を駆動することができる。
７)天井走行車２がロードポート１４から物品を搬出することと並行して、ローカル台車４がロードポート１４へ搬入する物品を荷掴みする。従って次の物品をロードポート１４へ速やかに搬入できる。
８)ロードポート１４に搬出すべき物品がある場合、ロードポート１４への搬入物品を搬送している天井走行車２はロードポート１４の上流側でバッファ１１へ物品を荷下ろしし、次いで同じ天井走行車２がロードポート１４から物品を搬出する。すると効率的に物品を搬送できる。
【００３９】
実施例では以下の効果が得られる。
(1) 処理装置１２の前面を塞がずにバッファ１０等を設けることができる。
(2) 軌道６，８を鉛直方向に重なるように配置し、軌道８に設けた隙間を物品２４が通過するので、天井走行車２もローカル台車４も横送り機構を必要としない。
(3) 軌道８を長くすることにより、処理装置１２に対し充分な容量のバッファ１０，１１を用意できる。
(4) 天井走行車２もローカル台車４も、共にロードポート１４とバッファ１０，１１の双方に対し物品を受け渡しできる。このため、ロードポート１４及びバッファ１０，１１に対する物品２４の供給と搬出を効率的に行える。
【００４０】
なお全ての処理装置１２に対して、バッファ１０，ローカル台車４の軌道８及びローカル台車４から成るシステムを設ける必要はなく、物品２４の処理数が多い処理装置１２に対してのみ、上記のシステムを設けても良い。搬送物品の種類は任意で、例えば半導体の露光用のレチクルを収容したカセット、フラットパネルディスプレイの基板等でも良い。
【符号の説明】
【００４１】
２ 天井走行車
４ ローカル台車
６ 天井走行車の軌道
８ ローカル台車の軌道
９ レール
１０，１１ バッファ
１２ 処理装置
１４ ロードポート
１６ 天井
１７〜１９ 支柱
２０ 充電装置
２２ ローカルコントローラ
２４ 物品
２５ 落下防止カバー
２６，２７ 昇降台
２８ ディスプレイ
２９ 操作パネル
３０ 隙間
３１ 光通信部
３２ バッファ
３４ 支柱
４０ 走行モータ
４１ 走行車輪
４２，５０ ホイスト
４３ 吊持材
４５ バッテリ
４６ コネクタ
４７ 光通信部
５１〜５３ ガイドローラ
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の処理装置間で物品を搬送する搬送システムであって、
処理装置のロードポートの上部を通過する第１の軌道と、
第１の軌道に沿って走行しかつホイストを備える天井走行車と、
前記第１の軌道の下方で、前記ロードポートの上方を通過し、かつ前記第１の軌道と平行に配置された第２の軌道と、
前記第２の軌道の下方で、前記ロードポートよりも高い位置に、前記ロードポートの直上部を物品が鉛直方向に通過自在に設けられた、物品を置くためのバッファと、
前記バッファ及び前記ロードポートとの間で物品を受け渡しするホイストを備え、かつ第２の軌道に沿って走行するローカル台車、とが設けられている、搬送システム。
【請求項２】
前記第２の軌道は少なくとも一対のレールを備え、さらに前記一対のレール間に前記物品が鉛直方向に通過自在な隙間が設けられていることを特徴とする、請求項１の搬送システム。
【請求項３】
第１の軌道と第２の軌道とバッファとが、平行に平面視で重なるように、処理装置の前面に配置され、
ロードポートの上部でバッファは隙間を備え、バッファの隙間を介して天井走行車もローカル台車もロードポートとの間で物品を受け渡し自在にされていることを特徴とする、請求項１または２の搬送システム。
【請求項４】
物品が置かれているバッファの上部を、物品を搬送しているローカル台車が通過できる高さに、バッファが配置されていることを特徴とする、請求項１〜３のいずれかの搬送システム。
【請求項５】
物品が置かれているバッファの上部を、物品を搬送していないローカル台車は通過できるが、物品を搬送しているローカル台車が通過できない高さに、バッファが配置されていることを特徴とする、請求項１〜３のいずれか搬送システム。
【請求項６】
前記ロードポート側の干渉物を検出するルックダウンセンサが前記バッファに設けられていることを特徴とする、請求項1〜５のいずれかの搬送システム。
【請求項７】
前記天井走行車は前記バッファへの物品の搬入と、前記ロードポートからの物品の搬出とを行い、前記ローカル台車は前記バッファから前記ロードポートへの物品の搬入を行うように、天井走行車とローカル台車を制御する手段をさらに備えていることを特徴とする、請求項１〜６のいずれかの搬送システム。
【請求項８】
前記ローカル台車はバッテリ駆動で、かつローカル台車のバッテリを充電するための充電装置が、第２の軌道に沿って、前記ロードポートの直上部からも前記バッファの直上部からも外れた位置に設けられていることを特徴とする、請求項1〜７のいずれかの搬送システム。
【請求項９】
前記ローカル台車は蓄電器からの電力で駆動され、かつローカル台車のバッテリを充電するための充電装置が前記ローカル台車の第２の軌道に沿う各停止位置に設けられていることを特徴とする、請求項1〜７のいずれかの搬送システム。
【請求項１０】
前記天井走行車は、前記ロードポートの直上の位置で、光軸が上下方向を向きかつローカル台車の走行経路を通過する光により、ロードポートと光通信を行うための光通信部を備えていることを特徴とする、請求項1〜９のいずれかの搬送システム。
【請求項１１】
さらにローカル台車のコントローラが、前記天井走行車と前記ローカル台車と処理装置とに対し通信自在に設けられていることを特徴とする、請求項1〜９のいずれかの搬送システム。
【請求項１２】
ホイストを備える天井走行車と、処理装置のロードポートの上部を通過する天井走行車の軌道とから成る既設の天井走行車システムに後付けする搬送システムであって、
天井走行車の軌道の下方で、処理装置のロードポートの上方を通過し、かつ天井走行車の軌道と平行に配置された第２の軌道と、
前記第２の軌道の下方で、前記ロードポートよりも高い位置に、前記ロードポートの直上部を物品が鉛直方向に通過自在に設けられた、物品を置くためのバッファと、
前記バッファ及び前記ロードポートとの間で物品を受け渡しするホイストを備え、かつ第２の軌道に沿って走行するローカル台車、とを備える搬送システム。
【請求項１３】
ホイストを備える天井走行車と処理装置のロードポートとの間で物品を受け渡しする方法であって、
天井走行車は処理装置のロードポートの上部を通過する天井走行車の軌道に沿って走行し、
天井走行車の軌道の下方で、処理装置のロードポートの上方を通過し、かつ天井走行車の軌道と平行に第２の軌道が設けられ、
前記第２の軌道の下方で、前記ロードポートよりも高い位置に、前記ロードポートの直上部を物品が鉛直方向に通過自在に物品を置くためのバッファが設けられ、
前記バッファ及び前記ロードポートとの間で物品を受け渡しするホイストを備え、かつ第２の軌道に沿って走行するローカル台車が設けられ、
天井走行車によりバッファとの間でホイストにより物品を受け渡しするステップと、
ローカル台車により、バッファとロードポートとの間で物品を受け渡しするステップ、とを実行する搬送方法。
【請求項１】
複数の処理装置間で物品を搬送する搬送システムであって、
処理装置のロードポートの上部を通過する第１の軌道と、
第１の軌道に沿って走行しかつホイストを備える天井走行車と、
前記第１の軌道の下方で、前記ロードポートの上方を通過し、かつ前記第１の軌道と平行に配置された第２の軌道と、
前記第２の軌道の下方で、前記ロードポートよりも高い位置に、前記ロードポートの直上部を物品が鉛直方向に通過自在に設けられた、物品を置くためのバッファと、
前記バッファ及び前記ロードポートとの間で物品を受け渡しするホイストを備え、かつ第２の軌道に沿って走行するローカル台車、とが設けられている、搬送システム。
【請求項２】
前記第２の軌道は少なくとも一対のレールを備え、さらに前記一対のレール間に前記物品が鉛直方向に通過自在な隙間が設けられていることを特徴とする、請求項１の搬送システム。
【請求項３】
第１の軌道と第２の軌道とバッファとが、平行に平面視で重なるように、処理装置の前面に配置され、
ロードポートの上部でバッファは隙間を備え、バッファの隙間を介して天井走行車もローカル台車もロードポートとの間で物品を受け渡し自在にされていることを特徴とする、請求項１または２の搬送システム。
【請求項４】
物品が置かれているバッファの上部を、物品を搬送しているローカル台車が通過できる高さに、バッファが配置されていることを特徴とする、請求項１〜３のいずれかの搬送システム。
【請求項５】
物品が置かれているバッファの上部を、物品を搬送していないローカル台車は通過できるが、物品を搬送しているローカル台車が通過できない高さに、バッファが配置されていることを特徴とする、請求項１〜３のいずれか搬送システム。
【請求項６】
前記ロードポート側の干渉物を検出するルックダウンセンサが前記バッファに設けられていることを特徴とする、請求項1〜５のいずれかの搬送システム。
【請求項７】
前記天井走行車は前記バッファへの物品の搬入と、前記ロードポートからの物品の搬出とを行い、前記ローカル台車は前記バッファから前記ロードポートへの物品の搬入を行うように、天井走行車とローカル台車を制御する手段をさらに備えていることを特徴とする、請求項１〜６のいずれかの搬送システム。
【請求項８】
前記ローカル台車はバッテリ駆動で、かつローカル台車のバッテリを充電するための充電装置が、第２の軌道に沿って、前記ロードポートの直上部からも前記バッファの直上部からも外れた位置に設けられていることを特徴とする、請求項1〜７のいずれかの搬送システム。
【請求項９】
前記ローカル台車は蓄電器からの電力で駆動され、かつローカル台車のバッテリを充電するための充電装置が前記ローカル台車の第２の軌道に沿う各停止位置に設けられていることを特徴とする、請求項1〜７のいずれかの搬送システム。
【請求項１０】
前記天井走行車は、前記ロードポートの直上の位置で、光軸が上下方向を向きかつローカル台車の走行経路を通過する光により、ロードポートと光通信を行うための光通信部を備えていることを特徴とする、請求項1〜９のいずれかの搬送システム。
【請求項１１】
さらにローカル台車のコントローラが、前記天井走行車と前記ローカル台車と処理装置とに対し通信自在に設けられていることを特徴とする、請求項1〜９のいずれかの搬送システム。
【請求項１２】
ホイストを備える天井走行車と、処理装置のロードポートの上部を通過する天井走行車の軌道とから成る既設の天井走行車システムに後付けする搬送システムであって、
天井走行車の軌道の下方で、処理装置のロードポートの上方を通過し、かつ天井走行車の軌道と平行に配置された第２の軌道と、
前記第２の軌道の下方で、前記ロードポートよりも高い位置に、前記ロードポートの直上部を物品が鉛直方向に通過自在に設けられた、物品を置くためのバッファと、
前記バッファ及び前記ロードポートとの間で物品を受け渡しするホイストを備え、かつ第２の軌道に沿って走行するローカル台車、とを備える搬送システム。
【請求項１３】
ホイストを備える天井走行車と処理装置のロードポートとの間で物品を受け渡しする方法であって、
天井走行車は処理装置のロードポートの上部を通過する天井走行車の軌道に沿って走行し、
天井走行車の軌道の下方で、処理装置のロードポートの上方を通過し、かつ天井走行車の軌道と平行に第２の軌道が設けられ、
前記第２の軌道の下方で、前記ロードポートよりも高い位置に、前記ロードポートの直上部を物品が鉛直方向に通過自在に物品を置くためのバッファが設けられ、
前記バッファ及び前記ロードポートとの間で物品を受け渡しするホイストを備え、かつ第２の軌道に沿って走行するローカル台車が設けられ、
天井走行車によりバッファとの間でホイストにより物品を受け渡しするステップと、
ローカル台車により、バッファとロードポートとの間で物品を受け渡しするステップ、とを実行する搬送方法。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【公開番号】特開２０１２−１１１６３５（Ｐ２０１２−１１１６３５Ａ）
【公開日】平成２４年６月１４日（２０１２．６．１４）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２０１１−１８７１１９（Ｐ２０１１−１８７１１９）
【出願日】平成２３年８月３０日（２０１１．８．３０）
【出願人】（３０９０３１４６６）ムラテックオートメーション株式会社 (52)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２４年６月１４日（２０１２．６．１４）
【国際特許分類】
【出願日】平成２３年８月３０日（２０１１．８．３０）
【出願人】（３０９０３１４６６）ムラテックオートメーション株式会社 (52)
【Ｆターム（参考）】
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