撮像検査装置および撮像検査方法
【課題】被検査物のパターンを検査して求めた欠陥を再検査するレビュー動作の時間を短縮できる撮像検査装置を提供する。
【解決手段】被検査物（１０９）と被検査物（１０９）を撮像走査して欠陥を検出する検査光学系（１０３）をＸ方向に相対移動させる検査光学系移動機構（１０７）と、被検査物と欠陥の周辺のみを撮像するレビュー光学系（１０４）をＸ方向に相対移動させつつ、検査光学系（１０３）とレビュー光学系（１０４）をＸ方向と直交するＹ方向に相対移動させるレビュー光学系移動機構（１０５）と、検査光学系移動機構（１０７）とレビュー光学系移動機構（１０５）を運転する制御機構（３００）を有し、制御機構（３００）が、検査光学系（１０３）の撮像走査中にレビュー光学系（１０４）を制御して欠陥の周辺を撮像させる。
【解決手段】被検査物（１０９）と被検査物（１０９）を撮像走査して欠陥を検出する検査光学系（１０３）をＸ方向に相対移動させる検査光学系移動機構（１０７）と、被検査物と欠陥の周辺のみを撮像するレビュー光学系（１０４）をＸ方向に相対移動させつつ、検査光学系（１０３）とレビュー光学系（１０４）をＸ方向と直交するＹ方向に相対移動させるレビュー光学系移動機構（１０５）と、検査光学系移動機構（１０７）とレビュー光学系移動機構（１０５）を運転する制御機構（３００）を有し、制御機構（３００）が、検査光学系（１０３）の撮像走査中にレビュー光学系（１０４）を制御して欠陥の周辺を撮像させる。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板の上に形成されたパターンの形状を、撮像検査する装置および方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
プラズマ表示装置や液晶表示装置や太陽電池などの製造では、被検査物である基板１０９の上に形成されたパターンの形状を検査光学系２０３によって撮像して、このパターンの形状を検査している。この撮像と検査には、図３１に示す撮像検査装置を使用する。
【０００３】
この検査によって第１欠陥群の欠陥と判断された部分を、検査光学系２０３とは別に備えたレビュー光学系２０４によって、再度撮像することがある。このように再度撮像することで、より詳細な情報を得ることができる。
【０００４】
ここでは、レビュー光学系２０４によって第１欠陥郡の周辺を撮像し、その撮像結果に基づいて、第２欠陥群として、より高精度に欠陥を検出することをレビューと呼ぶ。
このレビュー光学系２０４は、検査光学系２０３とは光学分解能が異なっている場合や、光学系を構成するレンズの開口数が異なっている場合や、カラー撮像が行えるカメラである場合がある。この検査装置の基板１０９の両側のステージには、Ｘ軸レール２０７が設けられている。検査光学系２０３とレビュー光学系２０４は、Ｙ軸可動子２０１に取り付けられている。Ｙ軸可動子２０１の移動経路となるＹ軸レール２０６は、Ｘ軸可動子２０８に設けられている。このＸ軸可動子２０８は、Ｘ軸レール２０７に跨った基板１０９の上方位置を、Ｘ軸レール２０７に沿って移動する。
【０００５】
前記レビューで得られた画像により、検査光学系２０３によって第１欠陥群と判断された欠陥の部分についてのより詳細な情報が得られる。そして、得られた詳細な情報を用いて、第２欠陥群として、その部分が実際に欠陥であるのか、またどのような欠陥の種類であるのか、といった判断を、より高精度に行う。
【０００６】
しかしながら、この検査装置では、検査光学系２０３による検査動作が完了した後に前記レビュー動作を行っているため、検査とレビューを合わせた時間が長いという課題がある。例えば、特許文献１には、半導体ＬＳＩを対象として、欠陥を光学的手段で検出し、その検出結果を同一装置内の別な電子光学系により観察する機能を有する装置が開示されている。
【０００７】
これを解決するために、図３２に示すように、特許文献１の検査装置２１０では、検査光学系２０３によって被検査物の基板１０９を撮像して検査し、レビュー光学系２０４を備えた検査装置２１０とは別のレビュー装置２１１に移し替えている。このように移し替えることで、パイプライン式に２つの動作を疑似的に並行して、検査光学系２０３による検査と、レビュー光学系２０４によるレビューとを動作させている。特許文献２には半導体ＬＳＩを対象として、欠陥を光学的手段で検出し、その結果を同一または検出情報を別装置へ転送し、別な電子光学系により観察する機能を有する装置が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】特開昭６０−２１８８４５号公報
【特許文献２】特開昭５８−３３１５４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
特許文献２では、検査時間を短縮できるが、検査装置の面積が２倍程度必要なため、全体として装置が大型化する課題がある。被検査物が大型化するに伴い、このような方法による解決は困難になる。
【００１０】
本発明は、検査後のレビュー動作の時間を短縮することができ、しかも被検査物が大型化にも対応できる撮像検査装置および方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明の撮像検査装置は、被検査物を載置する載置部と、前記被検査物を撮像して第１欠陥群として欠陥を検出する検査光学系と、前記被検査物と前記検査光学系をＸ方向に相対移動させる検査光学系移動機構と、前記検査光学系で検出された前記第１欠陥群を撮像して第２欠陥群として欠陥を検出するレビュー光学系と、前記被検査物と前記レビュー光学系を前記Ｘ方向に相対移動させつつ、前記検査光学系と前記レビュー光学系を前記Ｘ方向と直交するＹ方向に相対移動させるレビュー光学系移動機構と、前記検査光学系の撮像中に前記レビュー光学系に前記第１欠陥群を撮像させ、前記第２欠陥群とレビュー光学系で撮像されていない前記第１欠陥群を欠陥として検出する制御機構とを備えたことを特徴とする。
【００１２】
具体的には、前記レビュー光学系のＹ方向の相対移動量が、前記検査光学系のＹ方向の相対移動量と等しいことを特徴とする。また、複数の前記検査光学系と複数の前記レビュー光学系とを有し、前記Ｙ方向において、前記レビュー光学系が前記検査光学系から独立して前記被検査物の全幅に移動可能であることを特徴とする。また、複数の前記検査光学系と１つの前記レビュー光学系とを有し、前記Ｙ方向において、前記レビュー光学系が前記検査光学系から独立して前記被検査物の全幅に移動可能であることを特徴とする。また、複数の前記検査光学系と複数の前記レビュー光学系とを有し、前記Ｙ方向において、前記複数のレビュー光学系が前記検査光学系に対して相対的に移動可能であることを特徴とする。
【００１３】
本発明の撮像検査方法は、検査光学系とレビュー光学系を前記検査対象物上でＸ方向に相対移動させると共にＹ方向に移動させ、前記検査光学系の撮像結果に基づいて検出された第１欠陥群の欠陥を前記レビュー光学系によって撮像して第２欠陥群の欠陥を検出する方法であって、前記検査光学系がＹ方向の１走査を終了するたびに、それまで検出された第１欠陥群のうちの前記レビュー光学系によって撮像されていない欠陥について、前記レビュー光学系で撮像できる欠陥の数が最大となるスケジュールになるように、前記レビュー光学系による撮像のレビュースケジュールを計算し、前記検査光学系のＹ方向の次の走査において、前記レビュースケジュールに従って前記レビュー光学系を撮像させることを特徴とする。
【００１４】
具体的には、前記レビュースケジュールの計算は、検出された前記欠陥の特徴量に基づいて優先順位を決定し、前記優先順位および欠陥の個数に基づく評価値を算出し、前記評価値が最大になるように計算されることを特徴とする。また、前記欠陥の特徴量は、欠陥の反射率、面積、形状、座標のいずれかを少なくとも含むことを特徴とする。また、前記レビュースケジュールの計算は、検出された第１欠陥群の欠陥の特徴量に基づいて優先順位を決定し、前記優先順位および欠陥の個数に基づくスケジュールの評価値を算出し、前記評価値が最大になるように計算され第１のスケジュールと、前記第１のスケジュールから優先順位の高い欠陥を除外した後、前記優先順位および欠陥の個数に基づく評価値を算出し、前記評価値が最大になるように計算され計算した第２のスケジュールとを比較して、評価値の高いスケジュールをレビュースケジュールとして計算されることを特徴とする。また、検出された複数の前記欠陥の特徴量の総和：をＰとし、検出された前記欠陥の数をＮとした場合に、
Ｅ ＝ ｋ・Ｐ＋ｊ・Ｎ
なお、ｋはＰの重み付け係数、ｊはＮの重み付け係数
によってスケジュールの評価値Ｅを計算し、前記評価値Ｅの大きいスケジュールを、レビュースケジュールとして計算することを特徴とする。
【００１５】
本発明の撮像検査方法は、被検査物と検査光学系とをＸ方向に相対移動させながら前記被検査物を前記検査光学系で撮像して第１欠陥群として欠陥を検出する第１欠陥群検出工程と、前記被検査物とレビュー光学系とを前記Ｘ方向に相対移動させながら、前記第１欠陥群検出工程で検出された欠陥を前記レビュー光学系で撮像して第２欠陥群として欠陥を検出するレビュー工程と、前記第２欠陥群と前記レビュー工程で撮像されなかった前記第１欠陥群を欠陥として検出する欠陥検出工程とを有し、前記検査光学系と前記レビュー光学系とは、前記Ｘ方向では独立して相対移動し、前記Ｘ方向と直交するＹ方向では連携して相対移動して、前記第１欠陥群検出工程と前記レビュー工程とを同時に行うことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１６】
この構成によれば、被検査物とレビュー光学系をＸ方向に相対移動させつつ、レビュー光学系移動機構によって検査光学系とレビュー光学系をＹ方向に相対移動させ、制御機構によって検査光学系の撮像走査中に欠陥の周辺をレビュー光学系に撮像するので、検査後のレビュー動作の時間を従来と比較して短縮できる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】本発明の実施の形態１における検査光学系が移動する撮像検査装置の斜視図
【図２】同実施の形態１における図１の撮像検査装置の正面の模式図と側面の模式図
【図３】同実施の形態１における被検査物が移動する撮像検査装置の斜視図
【図４】同実施の形態１における図３の撮像検査装置の正面の模式図と側面の模式図
【図５】同実施の形態１における撮像検査装置の正面の模式図と側面の模式図
【図６】同実施の形態１における検査とレビューを同時に行う際のフローチャート
【図７】スケジュール作成の処理フローの前半部分を説明するフローチャート
【図８】同実施の形態１における検査光学系とレビュー光学系の軌跡を示す図
【図９】レビューが完了していない第１欠陥群のリストを示す図
【図１０】スケジュール作成途中における第１欠陥群リストの状態（欠陥数１個）を示す図
【図１１】スケジュール作成途中における第１欠陥群リストの状態（欠陥数２個）を示す図
【図１２】スケジュール作成途中における第１欠陥群リストの状態（欠陥数３個）を示す図
【図１３】スケジュール作成が完了した第１欠陥群リストの状態を示す図
【図１４】ある第１欠陥群をレビューすることで多くの第１欠陥群がレビューできなくなる例の説明図
【図１５】より効率的なスケジュールを算出するフローチャート
【図１６】改善対象となるスケジュールの説明図
【図１７】スケジュールを改善中の状態の説明図
【図１８】本発明の実施の形態２における撮像検査装置の斜視図
【図１９】同実施の形態２における撮像検査装置の正面の模式図と側面の模式図
【図２０】本発明の実施の形態３における撮像検査装置の正面の模式図と側面の模式図
【図２１】本発明の実施の形態４における実施例１の撮像検査装置の斜視図
【図２２】同実施の形態４における実施例１における撮像検査装置の正面の模式図と側面の模式図
【図２３】同実施の形態４における実施例２の撮像検査装置の斜視図
【図２４】同実施の形態４における実施例２における撮像検査装置の正面の模式図と側面の模式図
【図２５】同実施の形態４における実施例３の撮像検査装置の斜視図
【図２６】同実施の形態４における実施例３における撮像検査装置の正面の模式図と側面の模式図
【図２７】本発明の実施の形態５における撮像検査装置の正面の模式図と側面の模式図
【図２８】本発明の実施の形態６における実施例６の撮像検査装置の正面の模式図と側面の模式図
【図２９】同実施の形態６における実施例７の撮像検査装置の正面の模式図と側面の模式図
【図３０】本発明の実施の形態７における移動機構の制御を説明する図
【図３１】従来例の撮像検査装置の斜視図
【図３２】別の従来例の撮像検査装置の斜視図
【発明を実施するための形態】
【００１８】
以下、図面を参照して本発明における実施の形態を詳細に説明する。なお、以下の説明において、同じ構成には同じ符号を付けて説明する。
（実施の形態１）
図１〜図１７は本発明の実施の形態１を示す。
【００１９】
被検査物の基板１０９がセットされる撮像検査装置２００のステージには、両側にＸ軸レール１０７が設けられている。この両側のＸ軸レール１０７に跨ってＸ軸可動子１０８に設けられている。
【００２０】
具体的には、Ｘ軸レール１０７が送りねじで構成されており、この送りねじに螺合するナットがＸ軸可動子１０８に設けられている。Ｘ軸可動子１０８の移動量に応じてＸ軸レール１０７としての送りねじがモータによって回転駆動される。
【００２１】
Ｘ軸可動子１０８には、Ｘ軸レール１０７と交差する方向に第１のＹ軸レール１０６と第２のＹ軸レール１０５が設けられている。第１のＹ軸レール１０６には第１のＹ軸可動子１０１が設けられている。第１のＹ軸可動子１０１には、基板１０９を撮像するように検査光学系１０３が取り付けられている。第２のＹ軸レール１０５には第２のＹ軸可動子１０２が設けられている。第２のＹ軸可動子１０２には、基板１０９を撮像するようにレビュー光学系１０４が取り付けられている。
【００２２】
具体的には、第１，第２のＹ軸レール１０６，１０５が送りねじで構成されており、この送りねじに螺合するナットが第１のＹ軸可動子１０１，第２のＹ軸可動子１０２に設けられている。第１のＹ軸可動子１０１の移動量に応じて第１のＹ軸レール１０６としての送りねじがモータによって回転駆動される。第２のＹ軸可動子１０２の移動量に応じて第２のＹ軸レール１０５としての送りねじがモータによって回転駆動される。
【００２３】
本発明では、検査光学系１０３で検出された欠陥である第１欠陥群のうち、より重要なものをレビュー光学系１０４で第２欠陥群として検出する。そして、演算装置３０１による検査結果として、第２欠陥群と、レビューされなかった第１欠陥群とを、その検査での欠陥とする。
【００２４】
制御機構３００は、載置部に載置された基板１０９と検査光学系１０３をＸ方向に相対移動させる検査光学系移動機構と、検査光学系１０３とレビュー光学系１０４をＹ方向に相対移動させるレビュー光学系移動機構との動作を制御する。この制御機構３００の制御により、基板１０９とレビュー光学系１０４をＸ方向に相対移動させつつ、検査光学系１０３の撮像走査中にレビュー光学系１０４の位置制御を実行して撮像させる。この制御機構３００は、マイクロコンピュータを主要部とした演算装置３０１によって構成されている。
【００２５】
この演算装置の構成を動作に基づいて具体的に説明する。
先ず、この撮像検査装置２００のＸ方向の動作について述べる。
検査動作は、図２（ａ）（ｂ）に示すように基板１０９を撮像検査装置２００のステージに固定して、Ｘ軸可動子１０８をＸ軸レール１０７に沿って移動させることによって、検査光学系１０３とレビュー光学系１０４をＸ方向に移動させる。
【００２６】
なお、ここでは、撮像検査装置２００が、図１に示すように構成された場合を例に挙げて説明するが、撮像検査装置２００が、図３および図４（ａ）（ｂ）に示すように検査光学系１０３とレビュー光学系１０４を固定して基板１０９を動かすように構成されている場合も同様である。図３の撮像検査装置２００では、ステージのＹ軸方向の中央付近に間隔を空けてＸ軸レール１０７が設けられており、基板１０９は、このＸ軸レール１０７に沿ってＸ軸方向に移動する。検査光学系１０３とレビュー光学系１０４を搭載しているＸ軸可動子１０８は、ステージのＸ軸方向の中央付近に固定されている。そして、基板１０９がＸ軸可動子１０８の内側を通過する際に撮像する。
【００２７】
また、撮像検査装置２００が、図５（ａ）（ｂ）に示すように基板１０９をＸ軸方向に移動させると共に、Ｘ軸可動子１０８をＸ軸方向に移動させることによって、検査光学系１０３とレビュー光学系１０４をＸ方向に動かすように構成されている場合も同様である。
【００２８】
図１〜図５に示したように、基板１０９と検査光学系１０３を相対的に移動させて、Ｘ軸方向に基板１０９を走査する。
次に、撮像検査装置２００のＹ方向の動作について述べる。
【００２９】
検査光学系１０３の視野は、一般に基板１０９の幅よりも小さいため、１回の動作で基板１０９の全面を走査することができない。そのため、本発明の撮像検査装置２００では、Ｙ方向へピッチ送り動作をしながら、Ｘ軸可動子１０８をＸ方向へ移動させて複数回の走査を行うことで、基板１０９の全面を走査する。そのために、本発明の撮像検査装置２００は、検査光学系１０３とレビュー光学系１０４とが、Ｙ方向への移動を行うための機構を持つ。
【００３０】
撮像検査装置２００のレビュー光学系１０４について述べる。
レビュー光学系１０４は、Ｘ方向においては検査光学系１０３と一体として設置する。このレビュー光学系１０４は、図１〜図５に示したように、検査光学系１０３と独立してＹ方向に移動可能な機構を持って設置されている。レビュー光学系１０４の移動可能な範囲は、基板１０９のＹ方向の幅よりも大きくする。
【００３１】
続いて、レビューの動作について述べる。
レビュー光学系１０４での撮像は、検査光学系１０３での検査動作と同時に実行することができる。検査光学系１０３での検査の走査が行われているとき、前述のようにＸ方向においては、基板１０９と検査光学系１０３とが相対速度（以下、Ｘ方向の相対速度、とする。）を持った状態で、検査範囲を移動走査する。ここで、レビュー光学系１０４はＸ方向において検査光学系１０３と一体であるから、レビュー光学系１０４も、基板１０９に対して相対速度を持った状態で、同様に検査範囲を移動する。すなわち、Ｘ方向について、基板１０９の全幅をレビュー光学系１０４の視野が通過することになる。
【００３２】
なお、検査光学系１０３とレビュー光学系１０４が、Ｘ方向においてずれた位置に設置されている場合には、レビュー光学系１０４のＸ方向の移動範囲をそのずれの量だけ増加させる必要がある。またＹ方向については、レビュー光学系１０４自身が移動機構を持ち、その移動可能な範囲が基板１０９よりも大きいとしているので、基板１０９の任意の位置へレビュー光学系１０４が移動できる。
【００３３】
このようにしてレビュー光学系１０４は、基板１０９の任意の場所を視野にとらえて撮像することができる。本実施の形態においては、レビュー光学系１０４は、Ｙ方向については静止して撮像することができるが、Ｘ方向については基板１０９との間で相対的に静止せず通過するため、タイミングを計って撮像を行うことで第１欠陥群の欠陥の画像を得る。
【００３４】
このときの動作例のフローチャートを図６に示す。
まず、ステップＳ６０１では、検査光学系１０３を用いて基板１０９の１ライン目の検査走査が行われる。装置の構成によっては、検査光学系１０３が基板１０９の欠陥の上を通過した瞬間にその欠陥の位置を把握することも可能である。だが、ここでは説明を平易とするため、１ラインの検査走査が終了したタイミングで、その走査ライン上に存在する欠陥の位置が把握できるものとする。ステップＳ６０１では、欠陥の位置を把握し、第１欠陥群として検出する。
【００３５】
ステップＳ６０２では、検査光学系１０３による基板１０９の２ライン目の走査と同時に、ステップＳ６０１で検出した第１欠陥群の欠陥の位置について、どの順序でレビュー光学系１０４を用いて１ライン目のレビューをすれば良いかを計算により求める。
【００３６】
なお、必ずしも全ての第１欠陥群の欠陥のレビューが必要であるとは限らないし、必ずしも全ての第１欠陥群の欠陥のレビューが可能であるとも限らない。そのため、ここではレビューが必要な第１欠陥群の欠陥のうち、優先順位を設けてレビュー可能な第１欠陥群の欠陥を抽出し、レビュー光学系１０４を移動するためのレビュースケジュールを作成する。レビュースケジュールを作成する具体例は後述する。
【００３７】
ステップＳ６０２でのレビュースケジュール作成が終了したら、ステップＳ６０３では、検査光学系１０３による基板１０９の２ライン目の検査走査（ステップＳ６０３−ａ）を行う。この検査走査（ステップＳ６０３−ａ）と同時並行に、ステップＳ６０２で計算して作成したスケジュールに従って１ライン目で検出された第１欠陥群のレビュー（ステップＳ６０３−ｂ）を行う。ステップＳ６０４以降は、ラインを１つずつずらしながら、この繰り返しを行う。
【００３８】
つまり、ステップＳ６０４では、ステップＳ６０３において検出された２ライン目の第１欠陥群のうちレビューが必要な第１欠陥群の欠陥と、ステップＳ６０１において検出されたがステップＳ６０３−ａにおいてレビューが行われていない１ライン目の第１欠陥群の欠陥をあわせた第１欠陥群の集合について、レビュースケジュールを計算する。ここで、ステップＳ６０１において検出されたがステップＳ６０３−ａにおいてレビューが行われていない第１欠陥群の欠陥は、レビューが必要であるにもかかわらずスケジュールの都合によりレビューが行われなかった第１欠陥群である。
【００３９】
ステップＳ６０５では、３ライン目の検査走査（ステップＳ６０５−ａ）と、ステップＳ６０４にて作成したスケジュールによる１ライン目および２ライン目のレビュー（ステップＳ６０５−ｂ）を同時並行に実行する。ステップＳ６０６、ステップＳ６０７も同様である。
【００４０】
つまり、ステップＳ６０６では、ステップＳ６０５において検出された３ライン目の第１欠陥群のうちレビューが必要なものと、ステップＳ６０１，ステップＳ６０３−ａ，ステップＳ６０５−ａにおいて検出され、レビューが必要であるにもかかわらずスケジュールの都合によりレビューが行われていない１〜３ライン目の第１欠陥群をあわせた第１欠陥群の集合について、レビュースケジュールを計算する。
【００４１】
ステップＳ６０７では、４ライン目の検査走査（ステップＳ６０７−ａ）と、ステップＳ６０６にて作成したスケジュールによる１〜３ライン目のレビュー（ステップＳ６０７−ｂ）を同時並行に実行する。
【００４２】
ステップＳ６０８は検査動作における最終ライン（Ｎライン目）での動作を示す。
本実施の形態では、検査走査が終了するまで最終ラインの第１欠陥群の欠陥の位置が確定できないと定義したため、この走査ラインで検出された第１欠陥群の欠陥は検査と同時にレビューすることができない。そこで、最終ラインの走査検査が終了した後、レビューが必要な第１欠陥群のうちレビューが完了していない欠陥がある場合、ステップＳ６０９において、検査走査と同時並行でない通常のレビューを行う。
【００４３】
検査光学系１０３の動作する軌跡を図８（ａ）に示す。
７０１は検査光学系１０３の走査１ライン目の軌跡、７０６は走査１ライン目で検査される領域、黒丸で示されている７０５は検出された第１欠陥群を表している。同様に、７０２〜７０４は検査光学系１０３の走査２〜４ライン目の軌跡、７０７〜７０９は走査２〜４ライン目で検査される領域である。
【００４４】
レビュー光学系１０４の動作する軌跡を図８（ｂ）に示す。
７１０はレビュー光学系１０４の走査２ライン目の軌跡、７１１はレビュー光学系１０４の走査３ライン目の軌跡、７１２はレビュー光学系１０４の走査４ライン目の軌跡である。
【００４５】
なお、この図８（ａ）（ｂ）においては、検査は２往復、計４回の走査によって行われるものとする。図６で示した例と同様に、各走査が完了したタイミングで、直前に走査したラインの第１欠陥群の欠陥の位置を把握できるものとしている。この場合、検査Ｎライン目の走査と同時にレビューすることのできる第１欠陥群は、Ｎライン目から１ライン前（（Ｎ−１）ライン目）で検出されたものである。実際には、第１欠陥群の欠陥の位置が把握できるタイミングはその構成により様々である。
【００４６】
レビュースケジュールを作成する具体例について述べる。
検査の走査と同時にレビューを実施する目的から必然的に、レビューする順序は第１欠陥群の座標によって一意に決まる。第１欠陥群それぞれについて、レビューするかしないかの２通りを取り得るので、Ｎ個の第１欠陥群をレビューするときのレビュースケジュールには２Ｎ通りの組み合わせがある。すなわち、レビュースケジュールを得るための演算量は、ランダウ（Landau）の記号Ｏを用いて、Ｏ（２Ｎ）のオーダであると言える。一般にレビュースケジュール作成の対象となる第１欠陥群の欠陥の数は１０００個程度のオーダであることを考えると、総当たりによってレビューのスケジュールを求めることは現実的ではなく、何らかの効率的な手段によらなければならない。その効率的な手段として、まず、Ｎ個の第１欠陥群の欠陥に対するレビュースケジュールを、Ｎ回の演算によって、すなわちＯ（ｎ）のオーダの演算量で決定できる手法を示す。
【００４７】
検出された欠陥は、それぞれ特徴量を持つ。特徴量とは、欠陥のさまざまな性質を数値で表したものである。この特徴量は、例えば、欠陥の反射率や面積、形状、欠陥の座標などである。この特徴量に基づいて、第１欠陥群のうちで、どのような欠陥を優先的にレビューしたいのか、予め決める。例えば、面積が大きい欠陥を優先する、反射率が小さい欠陥を優先する、などである。そのうえで、第１欠陥群のうちで、レビュー対象となる欠陥の数を最大化できるような経路を求める。
【００４８】
レビューする欠陥に優先順位を設定したくない場合、すなわちレビューする欠陥を特徴量によらずランダムに決定したい場合は、あらかじめ特徴量として乱数をとっておく。これにより、乱数による特徴量が大きい欠陥を優先すると考えれば良い。また、２種類以上の特徴量を使って優先順位を決定しても良い。なお、以下は説明を容易にするため、ある１種類の特徴量のみを対象とし、この特徴量の値が大きい欠陥を優先してレビューするレビュースケジュールを作成する例を示す。
【００４９】
すでに検出している第１欠陥群のうち、まだレビューが完了していない第１欠陥群のリスト（以下、レビュースケジュールリスト、とする。）が、図９のように、第１欠陥群が欠陥８０１，８０２，８０３，８０４の４つで構成されている場合の例を示す。欠陥を撮像する優先順位も、この順に高いものとする。
【００５０】
図６に示したスケジュール作成の処理フローの前半部分の例を図７に示す。
ここでは、最も優先順位の高い欠陥から処理を行う。最初、レビュースケジュールリストには、何も含まれていないとする（ステップＳ１）。まず、第１欠陥群のうちで、優先順位が最も高い欠陥である欠陥８０１を、レビュースケジュールリストに加える。これにより、レビュースケジュールリストはただ１個の欠陥８０１で構成されることになる。このときの様子を図１０に示す。レビュー対象が１個のみであれば、その対象は当然レビュー可能である。あらかじめレビュー光学系１０４を欠陥の位置へ移動しておけば良いからである。このときレビュー光学系１０４の取る軌跡を矢印９０１で示す。
【００５１】
次に、優先順位が２位の欠陥８０２をレビュースケジュールリストに加える（ステップＳ２）。すなわち、レビュースケジュールリストは２個の欠陥８０１、８０２で構成されていることになる。このリストを図１１に示す。レビュースケジュールリストに新たな欠陥を加える場合は、その欠陥の検査走査軸方向の座標が、レビュー開始時のレビュー光学系１０４の位置に近い順となるようにする。加えた欠陥８０２の前後について、レビュー光学系１０４の移動が可能かどうかを判定する（ステップＳ３）。レビュー光学系１０４の移動が可能かどうかは、レビュー光学系１０４の取り付けられている軸の運動性能、すなわち最高速度や加速度と、検査走査軸の速度、欠陥の間の距離から決まる。すなわち、２つの欠陥の、検査走査方向の距離と検査走査軸の速度から得られる到達時間（ｔ１とする）に対し、２つの欠陥のレビュー光学系１０４の軸方向の距離とレビュー光学系１０４の運動性能から得られる到達時間（ｔ２とする）の関係が、下記（式１）であればレビュー光学系１０４の移動が可能である。なお、ｄは余裕時間である。
【００５２】
ｔ１＞ ｔ２＋ｄ ・・・（式１）
図１１に示した例では、欠陥８０１から欠陥８０２へのレビュー光学系１０４の移動が可能であるとした。レビュースケジュールリストに加えた欠陥の前後いずれ（前後いずれかしか存在しない場合は、そのいずれか）の場合にもレビュー光学系１０４の移動が可能である場合、加えた欠陥はそのままレビュースケジュールリストに残す（ステップＳ６）。このときレビュー光学系１０４の取る軌跡を矢印１００１で示す。
【００５３】
同様に、優先順位が３位の欠陥８０３をレビュースケジュールリストに加える。すなわち、レビュースケジュールリストは３個の欠陥８０１，８０３，８０２で構成されていることになる。これを図１２に示す。
【００５４】
前回と同様に、レビュースケジュールリストに加えた欠陥８０３の前後について、レビュー光学系１０４の移動が可能かどうかを判定する。この例では、欠陥８０１と欠陥８０３の検査走査方向への距離が小さいことから、欠陥８０１から欠陥８０３へのレビュー光学系１０４の移動はできないとする。逆に、欠陥８０３から欠陥８０２へのレビュー光学系１０４の移動はできるとする。レビュー光学系１０４の取る軌跡を矢印１１０１で示す。移動できない軌跡は点線で示した。
【００５５】
レビュースケジュールリストに加えた欠陥の前後いずれか、もしくは両方について、レビュー光学系１０４の移動ができない場合、加えた欠陥（ここでは８０３）をレビュースケジュールリストから削除する（ステップＳ４）。すなわち、レビュースケジュールリストは図１１の状態に戻ることになる。
【００５６】
これを繰り返す（ステップＳ５）ことで、第１欠陥群のうちのＮ個の欠陥に対するレビュースケジュールを、Ｎ回のループ処理によって得ることができる。処理の結果を図１３に示す。このときレビュー光学系１０４の取る軌跡を１２０１に示す。
【００５７】
しかしながら、この方法によって得られたスケジュールは、特徴量による優先順位に束縛される。例えば、図１４に示すように、優先順位が５位の欠陥１３０１をレビューすることで、優先順位が６位の欠陥１３０２、優先順位が７位の欠陥１３０３、優先順位が８位の欠陥１３０４、優先順位が９位の欠陥１３０５、優先順位が１０位の欠陥１３０８の５個の欠陥の全てのレビューができなくなるという状況を仮定する。上記の手法では、優先順位が５位の欠陥１３０１をレビューする軌跡１３０７で示すスケジュールが得られる。しかし、欠陥をレビューする機会は検査光学系が往復する度に複数回あるので、軌跡１３０８のように優先順位が６位から１０位の５個の欠陥１３０２，１３０３，１３０４，１３０５，１３０８のレビューを実施し、優先順位が５位の欠陥１３０１については、次以降の検査走査の機会や、検査走査が終了した後に改めてレビューするようにした方が、全体として多くの欠陥をレビューできる場合（第１欠陥群のうちで、レビューできる欠陥の数が最大となる場合）がある。
【００５８】
より多くの欠陥をレビューするため、一旦得られたレビュースケジュールについて、スケジュールの再計算を行うことで改善できる具体例を示す。
まず、得られたレビュースケジュールの優劣を定量的に評価し、いくつかのレビュースケジュールを比較できるように、レビュースケジュールの評価値を算出する例を示す。レビュースケジュールの評価値として、例えばレビュー対象の欠陥の特徴量の総和がある。仮に特徴量が大きい欠陥を優先的にレビューする場合、この評価値が大きいレビュースケジュールほど優れたスケジュールであると言える。また、レビュー対象の欠陥の数が多いほど優れたスケジュールであるとするならば、その数を評価値とすることもできる。もちろん、両者を組み合わせても良い。特徴量の総和をＰ、レビュー対象の欠陥の数をＮとすると、レビュースケジュールの評価値Ｅを、下記（式２）と定義し、係数ｋとｊを適当に決めることで、両者を組み合わせることができる。
【００５９】
Ｅ ＝ ｋ×Ｐ＋ｊ×Ｎ ・・・（式２）
特徴量が大きい欠陥を優先的にレビューする場合はｋを正の数に、特徴量が小さい欠陥を優先的にレビューする場合はｋを負の数にする。ｊは常に０または正の数とする。こうすることで、評価値Ｅが大きな値をとるレビュースケジュールほど優れたスケジュールであると言える。
【００６０】
レビュースケジュールを定量評価する手法を用いて、評価の高いレビュースケジュールを効率的に求める具体例を図１５に示す。このフローを、第１欠陥群の欠陥の総数が２０個の場合を例に説明する。なお、このフローは図６に示したステップＳ６０４，Ｓ６０６，Ｓ６０９において実行されている。
【００６１】
ステップＳ１４０１では、これらの２０個の欠陥について、先に示した図７でスケジュールを算出し、得られたスケジュールをＳ１とする。この様子を図１６に示す。ここで、レビュー対象となる欠陥は全部で６個あるとし、それぞれレビューする順に１５０１〜１５０６とする。レビュー対象でない残りの１４個の欠陥をまとめて第１欠陥群１５０７とする。
【００６２】
ステップＳ１４０２では、スケジュールＳ１の評価値を（式２）によって算出する。算出した結果をＥ１とする。
ステップＳ１４０２−１を経てステップＳ１４０３では、最初のレビュー対象の欠陥１５０１を除いた場合（欠陥１５０１が存在しなかった場合）のレビュースケジュールを、前述のように作成する。作成したスケジュールをＳ２とする。
【００６３】
ステップＳ１４０４では、スケジュールＳ２の評価値を（式２）によって算出する。算出した結果をＥ２とする。
ステップＳ１４０５では、Ｅ１とＥ２を比較する。これにより、欠陥１５０１のレビューを取り止めた場合、第１欠陥群１５０７のいくつかがレビュー可能となり、結果としてより高い評価値を持つレビュースケジュールが得られないかどうかを調べる。このときの様子を図１７に示す。この例では、欠陥１５０１のレビューを取り止めることで、新たに欠陥１６０１，１６０２，１６０３がレビュー可能になる。
【００６４】
ステップＳ１４０５における比較の結果、スケジュールＳ１がスケジュールＳ２より優れたスケジュールだった場合には、欠陥１５０１のレビューを取り止めるべきでないことになる。この場合は、ステップＳ１４０５−１，ステップＳ１４０５−２を経てステップＳ１４０３に戻って、次の欠陥１５０２について同様に処理を行う。
【００６５】
なお、ステップＳ１４０５−１ではＮをＮ＋１し、ステップＳ１４０５−２では、そのときのＮがレビュースケジュールの対象となる欠陥数であるか判定し、Ｎがレビュースケジュールの対象となる欠陥数でない場合にステップＳ１４０３に戻る。
【００６６】
ステップＳ１４０５における比較の結果、スケジュールＳ２がスケジュールＳ１より優れたレビュースケジュールであった場合、欠陥１５０１のレビューを取り止めたほうがよいということになる。この場合は、ステップＳ１４０６，ステップＳ１４０７を経てステップＳ１４０２−１に戻る。
【００６７】
ステップＳ１４０６では、レビュースケジュールの対象とする第１欠陥群から欠陥１５０１を取り除く。
ステップＳ１４０７では、スケジュールＳ１をスケジュールＳ２に置き換えるとともに、評価値Ｅ１を評価値Ｅ２に置き換え、もういちど最初の欠陥から処理を行う。
【００６８】
これを最後の欠陥１５０６まで順に処理することで、優れたレビュースケジュールを得ることができる。ここに示す手段の演算量は、スケジュール対象となる欠陥の数をｎ、最初に得られたレビュースケジュールにおいてレビュー可能な欠陥の数をｍとして、Ｏ（ｎ×ｍ）のオーダである。定義より、ｎ ≧ ｍである。レビュー光学系１０４の軸移動速度が律速するため、通常は ｎ ＞＞ ｍ である。ただし、ｎが小さい値の場合にはこの限りではない。すなわち、演算量は最悪の場合Ｏ(ｎ２ ）のオーダであるが、多くの場合にはＯ(ｎ）のオーダに近いため、ここで示したアルゴリズムは、少ない演算量で優れたスケジュールを求めることができる。
【００６９】
レビュー光学系１０４が欠陥を撮像できる機会は、基板１０９上における欠陥の位置によるが、一般的に複数回ある。これは、検査光学系１０３とレビュー光学系１０４が、基板１０９をＸ方向に複数回走査するからである。より早い時刻でなされた走査において検出された欠陥の方が、より遅い時刻でなされた走査において検出された欠陥よりもレビュー光学系１０４で撮像しうる機会が多いため、検査の走査と同時にレビューできる可能性が高い。すなわち、最後の走査で検出された欠陥（最終ラインの欠陥）は、検査走査と同時にレビューできる可能性が低い。
【００７０】
また、同一ライン上に存在するＸ方向で近接する欠陥同士を、１回の走査の間にレビュー光学系１０４が撮像することは困難である。これは、レビュー光学系１０４のＹ方向移動機構の速度や加速度が律速するからである。すなわち、検査走査が完了した段階でどの程度レビューが完了しているかは、主として基板１０９上の欠陥の分布状態とＸ方向の検査走査速度と、Ｙ方向のレビュー光学系１０４の運動性能に依存する。第１欠陥群のうちで、検査の走査と同時にレビューできなかった欠陥については、検査が終了した後に従来と同様にして、１つずつレビュー光学系１０４で撮像すれば良い。
【００７１】
先にも触れたように、レビュー光学系１０４が撮像を行う際、Ｘ方向については移動中に撮像することとなる。移動を一旦止めることができればレビュー光学系１０４にとって都合が良いが、困難である場合が多い。なぜならば、検査光学系１０３にラインセンサやＴＤＩ（Time Delay Integration）動作のイメージセンサを用いた場合、そのセンサの性質上、基板１０９と検査光学系１０３の相対速度を一定に保つことが望ましいからである。検査光学系１０３で得られる画像に影響が及ばないような方法で、走査の途中でＸ方向の動作を停止させたり速度を遅くすることは困難である。また、速度を遅くすれば当然に検査に要する時間が増大する。
【００７２】
レビュー光学系１０４の撮像において相対速度を持った状態で撮像する（移動中に撮像する）と、撮像した画像に被写体ブレが発生する。そのため、この被写体ブレに対する対策が必要である。ここで、被写体ブレの程度は、Ｘ方向の相対速度とレビュー光学系１０４の分解能とレビュー光学系１０４の露光時間によって決まる。Ｘ方向の相対速度が大きいほど、またレビュー光学系１０４の分解能が小さいほど、またその露光時間が長いほど、それぞれ被写体ブレが大きく発生する。
【００７３】
逆に、Ｘ方向の相対速度がゼロでない限り、被写体ブレをなくすことはできない。被写体ブレの対策とは、被写体ブレの影響を知覚できない、あるいは実用上影響がないと見なせる程度まで軽減することを意味する。
【００７４】
様々な実験の結果、被写体ブレが知覚できないレビュー光学系１０４と基板１０９の相対速度の上限は、相対速度をＶ［ｍ／ｓ］、レビュー光学系１０４の分解能をＲ［ｍ／ｐｉｘ］、レビュー光学系１０４のカメラの露光時間（またはカメラの露光中に照明が照射されている時間、以下同じ）をＴ［ｓ］とすると、下記（式３）として表されることがわかった。
【００７５】
Ｖ ＝ （０．５×Ｒ）÷Ｔ ・・・（式３）
例えば、レビュー光学系１０４の分解能Ｒを０．５×１０−６［ｍ／ｐｉｘ］（＝０．５［μｍ／ｐｉｘ］）、その露光時間Ｔを１×１０−３［ｓ］（＝１［ｍｓ］）とすると、相対速度Ｖ＝０．０００２５［ｍ／ｓ］、すなわちＶ＝０．２５［ｍｍ／ｓ］よりも相対速度を大きくすると被写体ブレが発生する。
【００７６】
しかしながら、検査光学系１０３は一般的に１００［ｍｍ／ｓ］以上の相対速度で動作するため、被写体ブレが発生してしまい、何らかの対策が必要である。この対策として、前記（式３）よりレビュー光学系１０４のカメラの露光時間Ｔを短くすることが考えられる。露光時間Ｔを短くすれば、検査動作に必要な相対速度Ｖを満足しつつ被写体ブレを知覚できない画像を撮像することができる。例えば、相対速度Ｖとして１００［ｍｍ／ｓ］を得たい場合、露光時間Ｔを前記（式３）より算出される２．５［μｓ］以下にすれば良い。具体的には、レビュー光学系１０４のカメラに電子シャッタを用いるなどにより、短い露光時間を実現できる。
【００７７】
しかしながら、単に露光時間を短くするだけでは得られる画像が暗くなる。これについては、高感度のカメラを使ったり、高輝度な照明を使ったりすることで解決できるが、現在のところ高感度が得られるカメラは非常に高価であり、またそのようなものを用いても露光時間を１０［μｓ］以下とすることは困難であることがわかっている。また、高輝度照明も同様であり、照度を高めることによる被検査物への悪影響も懸念される。
【００７８】
そこで、本実施の形態では、単に露光時間を短くするだけではなく、ストロボに代表される閃光照明を用いている。この閃光照明を用いると、照明がなされている時間を短くすることができるため、連続光照明において露光時間を短くした場合と同様の効果が得られる。ストロボには閃光時間が１［μｓ］程度と高速なものが存在し、単位時間あたりの光量も大きい。そのため、このようなストロボと通常感度のカメラを組み合わせることで、相対速度Ｖ＝５００［ｍｍ／ｓ］程度の速度でも被写体ブレが知覚できない画像の撮像が可能である。また、同様の目的で照明にレーザを用いても良い。この場合、さらに短い閃光時間が実現でき、また単位時間あたりの光量も大きくできる。
【００７９】
なお、被検査物の欠陥を修正できるレーザ光や装置を用いることで、検査と同時に欠陥を修正可能な構成とすることもできる。
（実施の形態２）
図１８と図１９（ａ）（ｂ）は本発明の実施の形態２を示す。
【００８０】
前述の実施の形態１では、図１〜図５に示したように検査光学系１０３とレビュー光学系１０４は、それぞれ独立してＹ方向に移動するように構成し、レビュー光学系１０４は基板１０９の全幅を移動するよう構成したが、この実施の形態２では、レビュー光学系１０４を検査光学系１０３に対して相対的にＹ方向に移動させるように構成した点が異なっている。
【００８１】
つまり、検査光学系１０３が搭載されているＹ軸可動子１０１に、Ｙ軸可動子１０１の範囲内でＹ方向に移動するようにレビュー光学系１０４が取りつけられている。なお、レビュー光学系１０４のＹ方向の移動機構は、検査光学系１０３が１回に走査できるＹ方向の範囲よりも大きい。
【００８２】
この構成によると、レビュー光学系１０４が備えるＹ方向の移動機構の移動可能範囲が狭くても、基板１０９の全幅をレビュー光学系で撮像することができるので、レビュー光学系１０４が備えるＹ方向の移動機構の移動範囲が小さい場合でも、レビュー光学系１０４が第１欠陥群の欠陥を撮像しうる機会が減少することはない。
【００８３】
（実施の形態３）
図２０（ａ）（ｂ）は本発明の実施の形態３を示す。
実施の形態２では、レビュー光学系１０４のＹ方向の移動機構は、検査光学系１０３が１回に走査できるＹ方向の範囲よりも大きいものであったが、この実施の形態３ではレビュー光学系１０４が最小限備えるべきＹ方向の移動機構は、検査光学系１０３が１回に走査できるＹ方向の範囲に等しい。
【００８４】
この構成によると、レビュー光学系１０４が第１欠陥群の欠陥を撮像しうる機会は１回である。
（実施の形態４）
図２１と図２２（ａ）（ｂ），図２３と図２４（ａ）（ｂ），図２５,図２６は、それぞれ本発明の実施の形態４を示す。
【００８５】
上記の各実施の形態において検査光学系１０３とレビュー光学系１０４は、それぞれ単数であったが、この実施の形態４では複数の検査光学系１０３と、複数のレビュー光学系１０４を有している点が異なっている。
【００８６】
図２１と図２２（ａ）（ｂ）に示す実施の形態４の実施例１では、Ｘ軸可動子１０８の上に４つのＹ軸可動子１０１−１，１０１−２，１０１−３，１０１−４が設けられている。Ｙ軸可動子１０１−１には第１検査光学系１０３−１が設けられている。Ｙ軸可動子１０１−１には第２検査光学系１０３−２が設けられている。Ｙ軸可動子１０１−１には第３検査光学系１０３−３が設けられている。Ｙ軸可動子１０１−４には第４検査光学系１０３−４が設けられている。また、Ｘ軸可動子１０８の上には、２つのＹ軸可動子１０２−１，１０２−２が設けられている。Ｙ軸可動子１０２−１には第１レビュー光学系１０４−１が設けられている。Ｙ軸可動子１０２−２には第２レビュー光学系１０４−２が設けられている。
【００８７】
実施の形態４の実施例１ではＹ軸可動子１０２−１，１０２−２が、共通のレビュー光学系Ｙ軸１０５の上を移動するように構成されていたが、図２３および図２４（ａ）（ｂ）に示す実施の形態４の実施例２では、レビュー光学系Ｙ軸１０５−１，１０５−２が、間隔を空けて並列に設けられている。Ｙ軸可動子１０２−１がレビュー光学系Ｙ軸１０５−１の上を移動するように構成され、Ｙ軸可動子１０２−２が、レビュー光学系Ｙ軸１０５−２の上を移動するように構成されている点が実施例１と異なっている。この場合には、Ｙ軸可動子１０２−１，１０２−２が移動することによって、基板１０９の全幅にわたって第１レビュー光学系１０４−１と第２レビュー光学系１０４−２が、順次に撮像できる。
【００８８】
図２５（ａ）（ｂ）に示す実施例３では、レビュー光学系Ｙ軸１０５−１とレビュー光学系Ｙ軸１０５−２がＹ軸方向にずらせて設けられており、第１レビュー光学系１０４−１と第２レビュー光学系１０４−２とで基板１０９の全幅をカバーするように構成されている。
【００８９】
この実施の形態４の実施例１〜実施例３に示すように、実際の検査装置においては、複数の検査光学系１０３と、複数のレビュー光学系１０４を備えている場合があって、検査光学系１０３とレビュー光学系１０４がそれぞれ独立してＹ方向に可動し、全体として基板１０９の全幅を移動できる機構を備えるように構成されていれば良い。また、検査光学系１０３とレビュー光学系１０４の数は異なっていても良い。
【００９０】
また、図２６（ａ）（ｂ）に示す実施の形態４の実施例４のように、レビュー光学系Ｙ軸１０５−２に第２レビュー光学系１０４−２と第３レビュー光学系１０４−３の複数のレビュー光学系１０４を設けても良い。同一の軸上に複数のレビュー光学系１０４が配置される場合には、レビュー光学系１０４同士が衝突しないよう配慮する必要がある。このためには、複数のレビュー光学系１０４は、それぞれ基板１０９に対するレビュー範囲をあらかじめ決めておいても良いし、衝突しないように電気的あるいは機械的な方法で制御されていても良い。もちろん検査光学系１０３が１組の場合にも、このようにレビュー光学系１０４を複数個備えることで、検査の走査と同時にレビューが可能である確率を上げることができる。
【００９１】
（実施の形態５）
図２７は本発明の実施の形態５を示す。
図２０と図２１（ａ）（ｂ）に示した実施の形態４の実施例１では、レビュー光学系Ｙ軸１０５に複数のレビュー光学系１０４を備えていたが、この実施の形態５の実施例５ではレビュー光学系Ｙ軸１０５に単数のレビュー光学系１０４を設けて、このレビュー光学系１０４が基板１０９の全幅を移動できるように構成されている点だけが異なっている。
【００９２】
（実施の形態６）
図２８（ａ）（ｂ），図２９（ａ）（ｂ）はそれぞれ本発明の実施の形態６を示す。
図２８（ａ）（ｂ）に示す実施の形態６の実施例６では、Ｘ軸可動子１０８の上面に設けられた第１のＹ軸レール１０６に沿って移動するＹ軸可動子１０１に、第１検査光学系１０３−１と第２検査光学系１０３−２が間隔を空けて設けられている。Ｙ軸可動子１０１には、第１，第２レビュー光学系Ｙ軸１０５−１，１０５−２が、間隔を空けて並列に設けられている。第１レビュー光学系Ｙ軸１０５−１には第１レビュー光学系１０４−１が設けられている。第２レビュー光学系Ｙ軸１０５−２には第２レビュー光学系１０４−２が設けられている。
【００９３】
図２９（ａ）（ｂ）に示す実施の形態６の実施例７では、第１，第２レビュー光学系１０４−１，１０４−２が共通の第１レビュー光学系Ｙ軸１０５−１に沿って移動するように構成されている点が、実施の形態６の実施例６とは異なっている。
【００９４】
この実施の形態６の実施例６，実施例７のように、複数のレビュー光学系として第１，第２レビュー光学系１０４−１，１０４−２を搭載する場合にも、図１８と図１９（ａ）（ｂ）に示した実施の形態２で説明したのと同様に、移動範囲が狭い移動機構を用いることができる。
【００９５】
（実施の形態７）
図３０は本発明の実施の形態７を示す。
図１〜図１７に示した実施の形態１で説明したように、基板１０９を静止させずにレビュー光学系１０４が撮像を行うためには被写体ブレへの対策が必要である。実施の形態１で説明した方法でも対策は可能であるが、この実施の形態７では、被写体ブレの影響を軽減するために、レビュー光学系１０４にＸ方向への移動機構を、さらに設けた点が実施の形態１とは異なっている。
【００９６】
このレビュー光学系１０４にＸ方向への移動機構は、レビュー光学系１０４が撮像を行う期間に、基板１０９とレビュー光学系１０４の相対速度を打ち消す方向へ、この移動機構を駆動する。
【００９７】
図３０では、１１１が基板１０９とレビュー光学系１０４の相対速度と方向を表している。相対速度と方向１１１は既知であるから、実施の形態７では被写体ブレの影響を軽減するために、レビュー光学系１０４を、相対速度と方向１１１と速度が同じで向きが逆である１１０で示すキャンセル速度で駆動を行えば良い。
【００９８】
具体的には、この移動機構は図５に示すよう基板１０９と光学系の両方を動かせるような機構で実現できる。また、この移動機構はレビュー光学系１０４の視野中心がＸ方向へ可動できれば十分であるため、必ずしもＸ軸方向への平行移動機構によらず、例えばレビュー光学系１０４を傾けるなどの手段で視野中心を可動させる機構によって実現することもできる。
【産業上の利用可能性】
【００９９】
本発明は液晶表示装置やプラズマ表示装置や太陽電池などに用いられる大型の基板の生産性の向上に寄与できる。
【符号の説明】
【０１００】
２００ 撮像検査装置
３００ 制御機構
３０１ 演算装置
１０１ 第１のＹ軸可動子
１０２ 第２のＹ軸可動子
１０３ 検査光学系
１０４ レビュー光学系
１０５ 第２のＹ軸レール
１０６ 第１のＹ軸レール
１０７ Ｘ軸レール
１０８ Ｘ軸可動子
１０９ 基板
１１０ キャンセル速度と方向
１１１ 基板１０９とレビュー光学系１０４の相対速度と方向
７０１ 検査光学系の走査１ライン目の軌跡
７０２〜７０４ 検査光学系の走査２〜４ライン目の軌跡
７０５ 欠陥
７０６ 走査１ライン目で検査される領域
７０７〜７０９ 走査２〜４ライン目で検査される領域
７１０ レビュー光学系の走査２ライン目の軌跡
７１１ レビュー光学系の走査３ライン目の軌跡
７１２ レビュー光学系の走査４ライン目の軌跡
８０１，８０２，８０３，８０４ 欠陥
９０１，１００１，１１０１，１２０１ レビュー光学系の軌跡
Ｐ 特徴量の総和
Ｎ レビュー対象の第１欠陥群の数
Ｅ スケジュールの評価値
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板の上に形成されたパターンの形状を、撮像検査する装置および方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
プラズマ表示装置や液晶表示装置や太陽電池などの製造では、被検査物である基板１０９の上に形成されたパターンの形状を検査光学系２０３によって撮像して、このパターンの形状を検査している。この撮像と検査には、図３１に示す撮像検査装置を使用する。
【０００３】
この検査によって第１欠陥群の欠陥と判断された部分を、検査光学系２０３とは別に備えたレビュー光学系２０４によって、再度撮像することがある。このように再度撮像することで、より詳細な情報を得ることができる。
【０００４】
ここでは、レビュー光学系２０４によって第１欠陥郡の周辺を撮像し、その撮像結果に基づいて、第２欠陥群として、より高精度に欠陥を検出することをレビューと呼ぶ。
このレビュー光学系２０４は、検査光学系２０３とは光学分解能が異なっている場合や、光学系を構成するレンズの開口数が異なっている場合や、カラー撮像が行えるカメラである場合がある。この検査装置の基板１０９の両側のステージには、Ｘ軸レール２０７が設けられている。検査光学系２０３とレビュー光学系２０４は、Ｙ軸可動子２０１に取り付けられている。Ｙ軸可動子２０１の移動経路となるＹ軸レール２０６は、Ｘ軸可動子２０８に設けられている。このＸ軸可動子２０８は、Ｘ軸レール２０７に跨った基板１０９の上方位置を、Ｘ軸レール２０７に沿って移動する。
【０００５】
前記レビューで得られた画像により、検査光学系２０３によって第１欠陥群と判断された欠陥の部分についてのより詳細な情報が得られる。そして、得られた詳細な情報を用いて、第２欠陥群として、その部分が実際に欠陥であるのか、またどのような欠陥の種類であるのか、といった判断を、より高精度に行う。
【０００６】
しかしながら、この検査装置では、検査光学系２０３による検査動作が完了した後に前記レビュー動作を行っているため、検査とレビューを合わせた時間が長いという課題がある。例えば、特許文献１には、半導体ＬＳＩを対象として、欠陥を光学的手段で検出し、その検出結果を同一装置内の別な電子光学系により観察する機能を有する装置が開示されている。
【０００７】
これを解決するために、図３２に示すように、特許文献１の検査装置２１０では、検査光学系２０３によって被検査物の基板１０９を撮像して検査し、レビュー光学系２０４を備えた検査装置２１０とは別のレビュー装置２１１に移し替えている。このように移し替えることで、パイプライン式に２つの動作を疑似的に並行して、検査光学系２０３による検査と、レビュー光学系２０４によるレビューとを動作させている。特許文献２には半導体ＬＳＩを対象として、欠陥を光学的手段で検出し、その結果を同一または検出情報を別装置へ転送し、別な電子光学系により観察する機能を有する装置が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】特開昭６０−２１８８４５号公報
【特許文献２】特開昭５８−３３１５４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
特許文献２では、検査時間を短縮できるが、検査装置の面積が２倍程度必要なため、全体として装置が大型化する課題がある。被検査物が大型化するに伴い、このような方法による解決は困難になる。
【００１０】
本発明は、検査後のレビュー動作の時間を短縮することができ、しかも被検査物が大型化にも対応できる撮像検査装置および方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明の撮像検査装置は、被検査物を載置する載置部と、前記被検査物を撮像して第１欠陥群として欠陥を検出する検査光学系と、前記被検査物と前記検査光学系をＸ方向に相対移動させる検査光学系移動機構と、前記検査光学系で検出された前記第１欠陥群を撮像して第２欠陥群として欠陥を検出するレビュー光学系と、前記被検査物と前記レビュー光学系を前記Ｘ方向に相対移動させつつ、前記検査光学系と前記レビュー光学系を前記Ｘ方向と直交するＹ方向に相対移動させるレビュー光学系移動機構と、前記検査光学系の撮像中に前記レビュー光学系に前記第１欠陥群を撮像させ、前記第２欠陥群とレビュー光学系で撮像されていない前記第１欠陥群を欠陥として検出する制御機構とを備えたことを特徴とする。
【００１２】
具体的には、前記レビュー光学系のＹ方向の相対移動量が、前記検査光学系のＹ方向の相対移動量と等しいことを特徴とする。また、複数の前記検査光学系と複数の前記レビュー光学系とを有し、前記Ｙ方向において、前記レビュー光学系が前記検査光学系から独立して前記被検査物の全幅に移動可能であることを特徴とする。また、複数の前記検査光学系と１つの前記レビュー光学系とを有し、前記Ｙ方向において、前記レビュー光学系が前記検査光学系から独立して前記被検査物の全幅に移動可能であることを特徴とする。また、複数の前記検査光学系と複数の前記レビュー光学系とを有し、前記Ｙ方向において、前記複数のレビュー光学系が前記検査光学系に対して相対的に移動可能であることを特徴とする。
【００１３】
本発明の撮像検査方法は、検査光学系とレビュー光学系を前記検査対象物上でＸ方向に相対移動させると共にＹ方向に移動させ、前記検査光学系の撮像結果に基づいて検出された第１欠陥群の欠陥を前記レビュー光学系によって撮像して第２欠陥群の欠陥を検出する方法であって、前記検査光学系がＹ方向の１走査を終了するたびに、それまで検出された第１欠陥群のうちの前記レビュー光学系によって撮像されていない欠陥について、前記レビュー光学系で撮像できる欠陥の数が最大となるスケジュールになるように、前記レビュー光学系による撮像のレビュースケジュールを計算し、前記検査光学系のＹ方向の次の走査において、前記レビュースケジュールに従って前記レビュー光学系を撮像させることを特徴とする。
【００１４】
具体的には、前記レビュースケジュールの計算は、検出された前記欠陥の特徴量に基づいて優先順位を決定し、前記優先順位および欠陥の個数に基づく評価値を算出し、前記評価値が最大になるように計算されることを特徴とする。また、前記欠陥の特徴量は、欠陥の反射率、面積、形状、座標のいずれかを少なくとも含むことを特徴とする。また、前記レビュースケジュールの計算は、検出された第１欠陥群の欠陥の特徴量に基づいて優先順位を決定し、前記優先順位および欠陥の個数に基づくスケジュールの評価値を算出し、前記評価値が最大になるように計算され第１のスケジュールと、前記第１のスケジュールから優先順位の高い欠陥を除外した後、前記優先順位および欠陥の個数に基づく評価値を算出し、前記評価値が最大になるように計算され計算した第２のスケジュールとを比較して、評価値の高いスケジュールをレビュースケジュールとして計算されることを特徴とする。また、検出された複数の前記欠陥の特徴量の総和：をＰとし、検出された前記欠陥の数をＮとした場合に、
Ｅ ＝ ｋ・Ｐ＋ｊ・Ｎ
なお、ｋはＰの重み付け係数、ｊはＮの重み付け係数
によってスケジュールの評価値Ｅを計算し、前記評価値Ｅの大きいスケジュールを、レビュースケジュールとして計算することを特徴とする。
【００１５】
本発明の撮像検査方法は、被検査物と検査光学系とをＸ方向に相対移動させながら前記被検査物を前記検査光学系で撮像して第１欠陥群として欠陥を検出する第１欠陥群検出工程と、前記被検査物とレビュー光学系とを前記Ｘ方向に相対移動させながら、前記第１欠陥群検出工程で検出された欠陥を前記レビュー光学系で撮像して第２欠陥群として欠陥を検出するレビュー工程と、前記第２欠陥群と前記レビュー工程で撮像されなかった前記第１欠陥群を欠陥として検出する欠陥検出工程とを有し、前記検査光学系と前記レビュー光学系とは、前記Ｘ方向では独立して相対移動し、前記Ｘ方向と直交するＹ方向では連携して相対移動して、前記第１欠陥群検出工程と前記レビュー工程とを同時に行うことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１６】
この構成によれば、被検査物とレビュー光学系をＸ方向に相対移動させつつ、レビュー光学系移動機構によって検査光学系とレビュー光学系をＹ方向に相対移動させ、制御機構によって検査光学系の撮像走査中に欠陥の周辺をレビュー光学系に撮像するので、検査後のレビュー動作の時間を従来と比較して短縮できる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】本発明の実施の形態１における検査光学系が移動する撮像検査装置の斜視図
【図２】同実施の形態１における図１の撮像検査装置の正面の模式図と側面の模式図
【図３】同実施の形態１における被検査物が移動する撮像検査装置の斜視図
【図４】同実施の形態１における図３の撮像検査装置の正面の模式図と側面の模式図
【図５】同実施の形態１における撮像検査装置の正面の模式図と側面の模式図
【図６】同実施の形態１における検査とレビューを同時に行う際のフローチャート
【図７】スケジュール作成の処理フローの前半部分を説明するフローチャート
【図８】同実施の形態１における検査光学系とレビュー光学系の軌跡を示す図
【図９】レビューが完了していない第１欠陥群のリストを示す図
【図１０】スケジュール作成途中における第１欠陥群リストの状態（欠陥数１個）を示す図
【図１１】スケジュール作成途中における第１欠陥群リストの状態（欠陥数２個）を示す図
【図１２】スケジュール作成途中における第１欠陥群リストの状態（欠陥数３個）を示す図
【図１３】スケジュール作成が完了した第１欠陥群リストの状態を示す図
【図１４】ある第１欠陥群をレビューすることで多くの第１欠陥群がレビューできなくなる例の説明図
【図１５】より効率的なスケジュールを算出するフローチャート
【図１６】改善対象となるスケジュールの説明図
【図１７】スケジュールを改善中の状態の説明図
【図１８】本発明の実施の形態２における撮像検査装置の斜視図
【図１９】同実施の形態２における撮像検査装置の正面の模式図と側面の模式図
【図２０】本発明の実施の形態３における撮像検査装置の正面の模式図と側面の模式図
【図２１】本発明の実施の形態４における実施例１の撮像検査装置の斜視図
【図２２】同実施の形態４における実施例１における撮像検査装置の正面の模式図と側面の模式図
【図２３】同実施の形態４における実施例２の撮像検査装置の斜視図
【図２４】同実施の形態４における実施例２における撮像検査装置の正面の模式図と側面の模式図
【図２５】同実施の形態４における実施例３の撮像検査装置の斜視図
【図２６】同実施の形態４における実施例３における撮像検査装置の正面の模式図と側面の模式図
【図２７】本発明の実施の形態５における撮像検査装置の正面の模式図と側面の模式図
【図２８】本発明の実施の形態６における実施例６の撮像検査装置の正面の模式図と側面の模式図
【図２９】同実施の形態６における実施例７の撮像検査装置の正面の模式図と側面の模式図
【図３０】本発明の実施の形態７における移動機構の制御を説明する図
【図３１】従来例の撮像検査装置の斜視図
【図３２】別の従来例の撮像検査装置の斜視図
【発明を実施するための形態】
【００１８】
以下、図面を参照して本発明における実施の形態を詳細に説明する。なお、以下の説明において、同じ構成には同じ符号を付けて説明する。
（実施の形態１）
図１〜図１７は本発明の実施の形態１を示す。
【００１９】
被検査物の基板１０９がセットされる撮像検査装置２００のステージには、両側にＸ軸レール１０７が設けられている。この両側のＸ軸レール１０７に跨ってＸ軸可動子１０８に設けられている。
【００２０】
具体的には、Ｘ軸レール１０７が送りねじで構成されており、この送りねじに螺合するナットがＸ軸可動子１０８に設けられている。Ｘ軸可動子１０８の移動量に応じてＸ軸レール１０７としての送りねじがモータによって回転駆動される。
【００２１】
Ｘ軸可動子１０８には、Ｘ軸レール１０７と交差する方向に第１のＹ軸レール１０６と第２のＹ軸レール１０５が設けられている。第１のＹ軸レール１０６には第１のＹ軸可動子１０１が設けられている。第１のＹ軸可動子１０１には、基板１０９を撮像するように検査光学系１０３が取り付けられている。第２のＹ軸レール１０５には第２のＹ軸可動子１０２が設けられている。第２のＹ軸可動子１０２には、基板１０９を撮像するようにレビュー光学系１０４が取り付けられている。
【００２２】
具体的には、第１，第２のＹ軸レール１０６，１０５が送りねじで構成されており、この送りねじに螺合するナットが第１のＹ軸可動子１０１，第２のＹ軸可動子１０２に設けられている。第１のＹ軸可動子１０１の移動量に応じて第１のＹ軸レール１０６としての送りねじがモータによって回転駆動される。第２のＹ軸可動子１０２の移動量に応じて第２のＹ軸レール１０５としての送りねじがモータによって回転駆動される。
【００２３】
本発明では、検査光学系１０３で検出された欠陥である第１欠陥群のうち、より重要なものをレビュー光学系１０４で第２欠陥群として検出する。そして、演算装置３０１による検査結果として、第２欠陥群と、レビューされなかった第１欠陥群とを、その検査での欠陥とする。
【００２４】
制御機構３００は、載置部に載置された基板１０９と検査光学系１０３をＸ方向に相対移動させる検査光学系移動機構と、検査光学系１０３とレビュー光学系１０４をＹ方向に相対移動させるレビュー光学系移動機構との動作を制御する。この制御機構３００の制御により、基板１０９とレビュー光学系１０４をＸ方向に相対移動させつつ、検査光学系１０３の撮像走査中にレビュー光学系１０４の位置制御を実行して撮像させる。この制御機構３００は、マイクロコンピュータを主要部とした演算装置３０１によって構成されている。
【００２５】
この演算装置の構成を動作に基づいて具体的に説明する。
先ず、この撮像検査装置２００のＸ方向の動作について述べる。
検査動作は、図２（ａ）（ｂ）に示すように基板１０９を撮像検査装置２００のステージに固定して、Ｘ軸可動子１０８をＸ軸レール１０７に沿って移動させることによって、検査光学系１０３とレビュー光学系１０４をＸ方向に移動させる。
【００２６】
なお、ここでは、撮像検査装置２００が、図１に示すように構成された場合を例に挙げて説明するが、撮像検査装置２００が、図３および図４（ａ）（ｂ）に示すように検査光学系１０３とレビュー光学系１０４を固定して基板１０９を動かすように構成されている場合も同様である。図３の撮像検査装置２００では、ステージのＹ軸方向の中央付近に間隔を空けてＸ軸レール１０７が設けられており、基板１０９は、このＸ軸レール１０７に沿ってＸ軸方向に移動する。検査光学系１０３とレビュー光学系１０４を搭載しているＸ軸可動子１０８は、ステージのＸ軸方向の中央付近に固定されている。そして、基板１０９がＸ軸可動子１０８の内側を通過する際に撮像する。
【００２７】
また、撮像検査装置２００が、図５（ａ）（ｂ）に示すように基板１０９をＸ軸方向に移動させると共に、Ｘ軸可動子１０８をＸ軸方向に移動させることによって、検査光学系１０３とレビュー光学系１０４をＸ方向に動かすように構成されている場合も同様である。
【００２８】
図１〜図５に示したように、基板１０９と検査光学系１０３を相対的に移動させて、Ｘ軸方向に基板１０９を走査する。
次に、撮像検査装置２００のＹ方向の動作について述べる。
【００２９】
検査光学系１０３の視野は、一般に基板１０９の幅よりも小さいため、１回の動作で基板１０９の全面を走査することができない。そのため、本発明の撮像検査装置２００では、Ｙ方向へピッチ送り動作をしながら、Ｘ軸可動子１０８をＸ方向へ移動させて複数回の走査を行うことで、基板１０９の全面を走査する。そのために、本発明の撮像検査装置２００は、検査光学系１０３とレビュー光学系１０４とが、Ｙ方向への移動を行うための機構を持つ。
【００３０】
撮像検査装置２００のレビュー光学系１０４について述べる。
レビュー光学系１０４は、Ｘ方向においては検査光学系１０３と一体として設置する。このレビュー光学系１０４は、図１〜図５に示したように、検査光学系１０３と独立してＹ方向に移動可能な機構を持って設置されている。レビュー光学系１０４の移動可能な範囲は、基板１０９のＹ方向の幅よりも大きくする。
【００３１】
続いて、レビューの動作について述べる。
レビュー光学系１０４での撮像は、検査光学系１０３での検査動作と同時に実行することができる。検査光学系１０３での検査の走査が行われているとき、前述のようにＸ方向においては、基板１０９と検査光学系１０３とが相対速度（以下、Ｘ方向の相対速度、とする。）を持った状態で、検査範囲を移動走査する。ここで、レビュー光学系１０４はＸ方向において検査光学系１０３と一体であるから、レビュー光学系１０４も、基板１０９に対して相対速度を持った状態で、同様に検査範囲を移動する。すなわち、Ｘ方向について、基板１０９の全幅をレビュー光学系１０４の視野が通過することになる。
【００３２】
なお、検査光学系１０３とレビュー光学系１０４が、Ｘ方向においてずれた位置に設置されている場合には、レビュー光学系１０４のＸ方向の移動範囲をそのずれの量だけ増加させる必要がある。またＹ方向については、レビュー光学系１０４自身が移動機構を持ち、その移動可能な範囲が基板１０９よりも大きいとしているので、基板１０９の任意の位置へレビュー光学系１０４が移動できる。
【００３３】
このようにしてレビュー光学系１０４は、基板１０９の任意の場所を視野にとらえて撮像することができる。本実施の形態においては、レビュー光学系１０４は、Ｙ方向については静止して撮像することができるが、Ｘ方向については基板１０９との間で相対的に静止せず通過するため、タイミングを計って撮像を行うことで第１欠陥群の欠陥の画像を得る。
【００３４】
このときの動作例のフローチャートを図６に示す。
まず、ステップＳ６０１では、検査光学系１０３を用いて基板１０９の１ライン目の検査走査が行われる。装置の構成によっては、検査光学系１０３が基板１０９の欠陥の上を通過した瞬間にその欠陥の位置を把握することも可能である。だが、ここでは説明を平易とするため、１ラインの検査走査が終了したタイミングで、その走査ライン上に存在する欠陥の位置が把握できるものとする。ステップＳ６０１では、欠陥の位置を把握し、第１欠陥群として検出する。
【００３５】
ステップＳ６０２では、検査光学系１０３による基板１０９の２ライン目の走査と同時に、ステップＳ６０１で検出した第１欠陥群の欠陥の位置について、どの順序でレビュー光学系１０４を用いて１ライン目のレビューをすれば良いかを計算により求める。
【００３６】
なお、必ずしも全ての第１欠陥群の欠陥のレビューが必要であるとは限らないし、必ずしも全ての第１欠陥群の欠陥のレビューが可能であるとも限らない。そのため、ここではレビューが必要な第１欠陥群の欠陥のうち、優先順位を設けてレビュー可能な第１欠陥群の欠陥を抽出し、レビュー光学系１０４を移動するためのレビュースケジュールを作成する。レビュースケジュールを作成する具体例は後述する。
【００３７】
ステップＳ６０２でのレビュースケジュール作成が終了したら、ステップＳ６０３では、検査光学系１０３による基板１０９の２ライン目の検査走査（ステップＳ６０３−ａ）を行う。この検査走査（ステップＳ６０３−ａ）と同時並行に、ステップＳ６０２で計算して作成したスケジュールに従って１ライン目で検出された第１欠陥群のレビュー（ステップＳ６０３−ｂ）を行う。ステップＳ６０４以降は、ラインを１つずつずらしながら、この繰り返しを行う。
【００３８】
つまり、ステップＳ６０４では、ステップＳ６０３において検出された２ライン目の第１欠陥群のうちレビューが必要な第１欠陥群の欠陥と、ステップＳ６０１において検出されたがステップＳ６０３−ａにおいてレビューが行われていない１ライン目の第１欠陥群の欠陥をあわせた第１欠陥群の集合について、レビュースケジュールを計算する。ここで、ステップＳ６０１において検出されたがステップＳ６０３−ａにおいてレビューが行われていない第１欠陥群の欠陥は、レビューが必要であるにもかかわらずスケジュールの都合によりレビューが行われなかった第１欠陥群である。
【００３９】
ステップＳ６０５では、３ライン目の検査走査（ステップＳ６０５−ａ）と、ステップＳ６０４にて作成したスケジュールによる１ライン目および２ライン目のレビュー（ステップＳ６０５−ｂ）を同時並行に実行する。ステップＳ６０６、ステップＳ６０７も同様である。
【００４０】
つまり、ステップＳ６０６では、ステップＳ６０５において検出された３ライン目の第１欠陥群のうちレビューが必要なものと、ステップＳ６０１，ステップＳ６０３−ａ，ステップＳ６０５−ａにおいて検出され、レビューが必要であるにもかかわらずスケジュールの都合によりレビューが行われていない１〜３ライン目の第１欠陥群をあわせた第１欠陥群の集合について、レビュースケジュールを計算する。
【００４１】
ステップＳ６０７では、４ライン目の検査走査（ステップＳ６０７−ａ）と、ステップＳ６０６にて作成したスケジュールによる１〜３ライン目のレビュー（ステップＳ６０７−ｂ）を同時並行に実行する。
【００４２】
ステップＳ６０８は検査動作における最終ライン（Ｎライン目）での動作を示す。
本実施の形態では、検査走査が終了するまで最終ラインの第１欠陥群の欠陥の位置が確定できないと定義したため、この走査ラインで検出された第１欠陥群の欠陥は検査と同時にレビューすることができない。そこで、最終ラインの走査検査が終了した後、レビューが必要な第１欠陥群のうちレビューが完了していない欠陥がある場合、ステップＳ６０９において、検査走査と同時並行でない通常のレビューを行う。
【００４３】
検査光学系１０３の動作する軌跡を図８（ａ）に示す。
７０１は検査光学系１０３の走査１ライン目の軌跡、７０６は走査１ライン目で検査される領域、黒丸で示されている７０５は検出された第１欠陥群を表している。同様に、７０２〜７０４は検査光学系１０３の走査２〜４ライン目の軌跡、７０７〜７０９は走査２〜４ライン目で検査される領域である。
【００４４】
レビュー光学系１０４の動作する軌跡を図８（ｂ）に示す。
７１０はレビュー光学系１０４の走査２ライン目の軌跡、７１１はレビュー光学系１０４の走査３ライン目の軌跡、７１２はレビュー光学系１０４の走査４ライン目の軌跡である。
【００４５】
なお、この図８（ａ）（ｂ）においては、検査は２往復、計４回の走査によって行われるものとする。図６で示した例と同様に、各走査が完了したタイミングで、直前に走査したラインの第１欠陥群の欠陥の位置を把握できるものとしている。この場合、検査Ｎライン目の走査と同時にレビューすることのできる第１欠陥群は、Ｎライン目から１ライン前（（Ｎ−１）ライン目）で検出されたものである。実際には、第１欠陥群の欠陥の位置が把握できるタイミングはその構成により様々である。
【００４６】
レビュースケジュールを作成する具体例について述べる。
検査の走査と同時にレビューを実施する目的から必然的に、レビューする順序は第１欠陥群の座標によって一意に決まる。第１欠陥群それぞれについて、レビューするかしないかの２通りを取り得るので、Ｎ個の第１欠陥群をレビューするときのレビュースケジュールには２Ｎ通りの組み合わせがある。すなわち、レビュースケジュールを得るための演算量は、ランダウ（Landau）の記号Ｏを用いて、Ｏ（２Ｎ）のオーダであると言える。一般にレビュースケジュール作成の対象となる第１欠陥群の欠陥の数は１０００個程度のオーダであることを考えると、総当たりによってレビューのスケジュールを求めることは現実的ではなく、何らかの効率的な手段によらなければならない。その効率的な手段として、まず、Ｎ個の第１欠陥群の欠陥に対するレビュースケジュールを、Ｎ回の演算によって、すなわちＯ（ｎ）のオーダの演算量で決定できる手法を示す。
【００４７】
検出された欠陥は、それぞれ特徴量を持つ。特徴量とは、欠陥のさまざまな性質を数値で表したものである。この特徴量は、例えば、欠陥の反射率や面積、形状、欠陥の座標などである。この特徴量に基づいて、第１欠陥群のうちで、どのような欠陥を優先的にレビューしたいのか、予め決める。例えば、面積が大きい欠陥を優先する、反射率が小さい欠陥を優先する、などである。そのうえで、第１欠陥群のうちで、レビュー対象となる欠陥の数を最大化できるような経路を求める。
【００４８】
レビューする欠陥に優先順位を設定したくない場合、すなわちレビューする欠陥を特徴量によらずランダムに決定したい場合は、あらかじめ特徴量として乱数をとっておく。これにより、乱数による特徴量が大きい欠陥を優先すると考えれば良い。また、２種類以上の特徴量を使って優先順位を決定しても良い。なお、以下は説明を容易にするため、ある１種類の特徴量のみを対象とし、この特徴量の値が大きい欠陥を優先してレビューするレビュースケジュールを作成する例を示す。
【００４９】
すでに検出している第１欠陥群のうち、まだレビューが完了していない第１欠陥群のリスト（以下、レビュースケジュールリスト、とする。）が、図９のように、第１欠陥群が欠陥８０１，８０２，８０３，８０４の４つで構成されている場合の例を示す。欠陥を撮像する優先順位も、この順に高いものとする。
【００５０】
図６に示したスケジュール作成の処理フローの前半部分の例を図７に示す。
ここでは、最も優先順位の高い欠陥から処理を行う。最初、レビュースケジュールリストには、何も含まれていないとする（ステップＳ１）。まず、第１欠陥群のうちで、優先順位が最も高い欠陥である欠陥８０１を、レビュースケジュールリストに加える。これにより、レビュースケジュールリストはただ１個の欠陥８０１で構成されることになる。このときの様子を図１０に示す。レビュー対象が１個のみであれば、その対象は当然レビュー可能である。あらかじめレビュー光学系１０４を欠陥の位置へ移動しておけば良いからである。このときレビュー光学系１０４の取る軌跡を矢印９０１で示す。
【００５１】
次に、優先順位が２位の欠陥８０２をレビュースケジュールリストに加える（ステップＳ２）。すなわち、レビュースケジュールリストは２個の欠陥８０１、８０２で構成されていることになる。このリストを図１１に示す。レビュースケジュールリストに新たな欠陥を加える場合は、その欠陥の検査走査軸方向の座標が、レビュー開始時のレビュー光学系１０４の位置に近い順となるようにする。加えた欠陥８０２の前後について、レビュー光学系１０４の移動が可能かどうかを判定する（ステップＳ３）。レビュー光学系１０４の移動が可能かどうかは、レビュー光学系１０４の取り付けられている軸の運動性能、すなわち最高速度や加速度と、検査走査軸の速度、欠陥の間の距離から決まる。すなわち、２つの欠陥の、検査走査方向の距離と検査走査軸の速度から得られる到達時間（ｔ１とする）に対し、２つの欠陥のレビュー光学系１０４の軸方向の距離とレビュー光学系１０４の運動性能から得られる到達時間（ｔ２とする）の関係が、下記（式１）であればレビュー光学系１０４の移動が可能である。なお、ｄは余裕時間である。
【００５２】
ｔ１＞ ｔ２＋ｄ ・・・（式１）
図１１に示した例では、欠陥８０１から欠陥８０２へのレビュー光学系１０４の移動が可能であるとした。レビュースケジュールリストに加えた欠陥の前後いずれ（前後いずれかしか存在しない場合は、そのいずれか）の場合にもレビュー光学系１０４の移動が可能である場合、加えた欠陥はそのままレビュースケジュールリストに残す（ステップＳ６）。このときレビュー光学系１０４の取る軌跡を矢印１００１で示す。
【００５３】
同様に、優先順位が３位の欠陥８０３をレビュースケジュールリストに加える。すなわち、レビュースケジュールリストは３個の欠陥８０１，８０３，８０２で構成されていることになる。これを図１２に示す。
【００５４】
前回と同様に、レビュースケジュールリストに加えた欠陥８０３の前後について、レビュー光学系１０４の移動が可能かどうかを判定する。この例では、欠陥８０１と欠陥８０３の検査走査方向への距離が小さいことから、欠陥８０１から欠陥８０３へのレビュー光学系１０４の移動はできないとする。逆に、欠陥８０３から欠陥８０２へのレビュー光学系１０４の移動はできるとする。レビュー光学系１０４の取る軌跡を矢印１１０１で示す。移動できない軌跡は点線で示した。
【００５５】
レビュースケジュールリストに加えた欠陥の前後いずれか、もしくは両方について、レビュー光学系１０４の移動ができない場合、加えた欠陥（ここでは８０３）をレビュースケジュールリストから削除する（ステップＳ４）。すなわち、レビュースケジュールリストは図１１の状態に戻ることになる。
【００５６】
これを繰り返す（ステップＳ５）ことで、第１欠陥群のうちのＮ個の欠陥に対するレビュースケジュールを、Ｎ回のループ処理によって得ることができる。処理の結果を図１３に示す。このときレビュー光学系１０４の取る軌跡を１２０１に示す。
【００５７】
しかしながら、この方法によって得られたスケジュールは、特徴量による優先順位に束縛される。例えば、図１４に示すように、優先順位が５位の欠陥１３０１をレビューすることで、優先順位が６位の欠陥１３０２、優先順位が７位の欠陥１３０３、優先順位が８位の欠陥１３０４、優先順位が９位の欠陥１３０５、優先順位が１０位の欠陥１３０８の５個の欠陥の全てのレビューができなくなるという状況を仮定する。上記の手法では、優先順位が５位の欠陥１３０１をレビューする軌跡１３０７で示すスケジュールが得られる。しかし、欠陥をレビューする機会は検査光学系が往復する度に複数回あるので、軌跡１３０８のように優先順位が６位から１０位の５個の欠陥１３０２，１３０３，１３０４，１３０５，１３０８のレビューを実施し、優先順位が５位の欠陥１３０１については、次以降の検査走査の機会や、検査走査が終了した後に改めてレビューするようにした方が、全体として多くの欠陥をレビューできる場合（第１欠陥群のうちで、レビューできる欠陥の数が最大となる場合）がある。
【００５８】
より多くの欠陥をレビューするため、一旦得られたレビュースケジュールについて、スケジュールの再計算を行うことで改善できる具体例を示す。
まず、得られたレビュースケジュールの優劣を定量的に評価し、いくつかのレビュースケジュールを比較できるように、レビュースケジュールの評価値を算出する例を示す。レビュースケジュールの評価値として、例えばレビュー対象の欠陥の特徴量の総和がある。仮に特徴量が大きい欠陥を優先的にレビューする場合、この評価値が大きいレビュースケジュールほど優れたスケジュールであると言える。また、レビュー対象の欠陥の数が多いほど優れたスケジュールであるとするならば、その数を評価値とすることもできる。もちろん、両者を組み合わせても良い。特徴量の総和をＰ、レビュー対象の欠陥の数をＮとすると、レビュースケジュールの評価値Ｅを、下記（式２）と定義し、係数ｋとｊを適当に決めることで、両者を組み合わせることができる。
【００５９】
Ｅ ＝ ｋ×Ｐ＋ｊ×Ｎ ・・・（式２）
特徴量が大きい欠陥を優先的にレビューする場合はｋを正の数に、特徴量が小さい欠陥を優先的にレビューする場合はｋを負の数にする。ｊは常に０または正の数とする。こうすることで、評価値Ｅが大きな値をとるレビュースケジュールほど優れたスケジュールであると言える。
【００６０】
レビュースケジュールを定量評価する手法を用いて、評価の高いレビュースケジュールを効率的に求める具体例を図１５に示す。このフローを、第１欠陥群の欠陥の総数が２０個の場合を例に説明する。なお、このフローは図６に示したステップＳ６０４，Ｓ６０６，Ｓ６０９において実行されている。
【００６１】
ステップＳ１４０１では、これらの２０個の欠陥について、先に示した図７でスケジュールを算出し、得られたスケジュールをＳ１とする。この様子を図１６に示す。ここで、レビュー対象となる欠陥は全部で６個あるとし、それぞれレビューする順に１５０１〜１５０６とする。レビュー対象でない残りの１４個の欠陥をまとめて第１欠陥群１５０７とする。
【００６２】
ステップＳ１４０２では、スケジュールＳ１の評価値を（式２）によって算出する。算出した結果をＥ１とする。
ステップＳ１４０２−１を経てステップＳ１４０３では、最初のレビュー対象の欠陥１５０１を除いた場合（欠陥１５０１が存在しなかった場合）のレビュースケジュールを、前述のように作成する。作成したスケジュールをＳ２とする。
【００６３】
ステップＳ１４０４では、スケジュールＳ２の評価値を（式２）によって算出する。算出した結果をＥ２とする。
ステップＳ１４０５では、Ｅ１とＥ２を比較する。これにより、欠陥１５０１のレビューを取り止めた場合、第１欠陥群１５０７のいくつかがレビュー可能となり、結果としてより高い評価値を持つレビュースケジュールが得られないかどうかを調べる。このときの様子を図１７に示す。この例では、欠陥１５０１のレビューを取り止めることで、新たに欠陥１６０１，１６０２，１６０３がレビュー可能になる。
【００６４】
ステップＳ１４０５における比較の結果、スケジュールＳ１がスケジュールＳ２より優れたスケジュールだった場合には、欠陥１５０１のレビューを取り止めるべきでないことになる。この場合は、ステップＳ１４０５−１，ステップＳ１４０５−２を経てステップＳ１４０３に戻って、次の欠陥１５０２について同様に処理を行う。
【００６５】
なお、ステップＳ１４０５−１ではＮをＮ＋１し、ステップＳ１４０５−２では、そのときのＮがレビュースケジュールの対象となる欠陥数であるか判定し、Ｎがレビュースケジュールの対象となる欠陥数でない場合にステップＳ１４０３に戻る。
【００６６】
ステップＳ１４０５における比較の結果、スケジュールＳ２がスケジュールＳ１より優れたレビュースケジュールであった場合、欠陥１５０１のレビューを取り止めたほうがよいということになる。この場合は、ステップＳ１４０６，ステップＳ１４０７を経てステップＳ１４０２−１に戻る。
【００６７】
ステップＳ１４０６では、レビュースケジュールの対象とする第１欠陥群から欠陥１５０１を取り除く。
ステップＳ１４０７では、スケジュールＳ１をスケジュールＳ２に置き換えるとともに、評価値Ｅ１を評価値Ｅ２に置き換え、もういちど最初の欠陥から処理を行う。
【００６８】
これを最後の欠陥１５０６まで順に処理することで、優れたレビュースケジュールを得ることができる。ここに示す手段の演算量は、スケジュール対象となる欠陥の数をｎ、最初に得られたレビュースケジュールにおいてレビュー可能な欠陥の数をｍとして、Ｏ（ｎ×ｍ）のオーダである。定義より、ｎ ≧ ｍである。レビュー光学系１０４の軸移動速度が律速するため、通常は ｎ ＞＞ ｍ である。ただし、ｎが小さい値の場合にはこの限りではない。すなわち、演算量は最悪の場合Ｏ(ｎ２ ）のオーダであるが、多くの場合にはＯ(ｎ）のオーダに近いため、ここで示したアルゴリズムは、少ない演算量で優れたスケジュールを求めることができる。
【００６９】
レビュー光学系１０４が欠陥を撮像できる機会は、基板１０９上における欠陥の位置によるが、一般的に複数回ある。これは、検査光学系１０３とレビュー光学系１０４が、基板１０９をＸ方向に複数回走査するからである。より早い時刻でなされた走査において検出された欠陥の方が、より遅い時刻でなされた走査において検出された欠陥よりもレビュー光学系１０４で撮像しうる機会が多いため、検査の走査と同時にレビューできる可能性が高い。すなわち、最後の走査で検出された欠陥（最終ラインの欠陥）は、検査走査と同時にレビューできる可能性が低い。
【００７０】
また、同一ライン上に存在するＸ方向で近接する欠陥同士を、１回の走査の間にレビュー光学系１０４が撮像することは困難である。これは、レビュー光学系１０４のＹ方向移動機構の速度や加速度が律速するからである。すなわち、検査走査が完了した段階でどの程度レビューが完了しているかは、主として基板１０９上の欠陥の分布状態とＸ方向の検査走査速度と、Ｙ方向のレビュー光学系１０４の運動性能に依存する。第１欠陥群のうちで、検査の走査と同時にレビューできなかった欠陥については、検査が終了した後に従来と同様にして、１つずつレビュー光学系１０４で撮像すれば良い。
【００７１】
先にも触れたように、レビュー光学系１０４が撮像を行う際、Ｘ方向については移動中に撮像することとなる。移動を一旦止めることができればレビュー光学系１０４にとって都合が良いが、困難である場合が多い。なぜならば、検査光学系１０３にラインセンサやＴＤＩ（Time Delay Integration）動作のイメージセンサを用いた場合、そのセンサの性質上、基板１０９と検査光学系１０３の相対速度を一定に保つことが望ましいからである。検査光学系１０３で得られる画像に影響が及ばないような方法で、走査の途中でＸ方向の動作を停止させたり速度を遅くすることは困難である。また、速度を遅くすれば当然に検査に要する時間が増大する。
【００７２】
レビュー光学系１０４の撮像において相対速度を持った状態で撮像する（移動中に撮像する）と、撮像した画像に被写体ブレが発生する。そのため、この被写体ブレに対する対策が必要である。ここで、被写体ブレの程度は、Ｘ方向の相対速度とレビュー光学系１０４の分解能とレビュー光学系１０４の露光時間によって決まる。Ｘ方向の相対速度が大きいほど、またレビュー光学系１０４の分解能が小さいほど、またその露光時間が長いほど、それぞれ被写体ブレが大きく発生する。
【００７３】
逆に、Ｘ方向の相対速度がゼロでない限り、被写体ブレをなくすことはできない。被写体ブレの対策とは、被写体ブレの影響を知覚できない、あるいは実用上影響がないと見なせる程度まで軽減することを意味する。
【００７４】
様々な実験の結果、被写体ブレが知覚できないレビュー光学系１０４と基板１０９の相対速度の上限は、相対速度をＶ［ｍ／ｓ］、レビュー光学系１０４の分解能をＲ［ｍ／ｐｉｘ］、レビュー光学系１０４のカメラの露光時間（またはカメラの露光中に照明が照射されている時間、以下同じ）をＴ［ｓ］とすると、下記（式３）として表されることがわかった。
【００７５】
Ｖ ＝ （０．５×Ｒ）÷Ｔ ・・・（式３）
例えば、レビュー光学系１０４の分解能Ｒを０．５×１０−６［ｍ／ｐｉｘ］（＝０．５［μｍ／ｐｉｘ］）、その露光時間Ｔを１×１０−３［ｓ］（＝１［ｍｓ］）とすると、相対速度Ｖ＝０．０００２５［ｍ／ｓ］、すなわちＶ＝０．２５［ｍｍ／ｓ］よりも相対速度を大きくすると被写体ブレが発生する。
【００７６】
しかしながら、検査光学系１０３は一般的に１００［ｍｍ／ｓ］以上の相対速度で動作するため、被写体ブレが発生してしまい、何らかの対策が必要である。この対策として、前記（式３）よりレビュー光学系１０４のカメラの露光時間Ｔを短くすることが考えられる。露光時間Ｔを短くすれば、検査動作に必要な相対速度Ｖを満足しつつ被写体ブレを知覚できない画像を撮像することができる。例えば、相対速度Ｖとして１００［ｍｍ／ｓ］を得たい場合、露光時間Ｔを前記（式３）より算出される２．５［μｓ］以下にすれば良い。具体的には、レビュー光学系１０４のカメラに電子シャッタを用いるなどにより、短い露光時間を実現できる。
【００７７】
しかしながら、単に露光時間を短くするだけでは得られる画像が暗くなる。これについては、高感度のカメラを使ったり、高輝度な照明を使ったりすることで解決できるが、現在のところ高感度が得られるカメラは非常に高価であり、またそのようなものを用いても露光時間を１０［μｓ］以下とすることは困難であることがわかっている。また、高輝度照明も同様であり、照度を高めることによる被検査物への悪影響も懸念される。
【００７８】
そこで、本実施の形態では、単に露光時間を短くするだけではなく、ストロボに代表される閃光照明を用いている。この閃光照明を用いると、照明がなされている時間を短くすることができるため、連続光照明において露光時間を短くした場合と同様の効果が得られる。ストロボには閃光時間が１［μｓ］程度と高速なものが存在し、単位時間あたりの光量も大きい。そのため、このようなストロボと通常感度のカメラを組み合わせることで、相対速度Ｖ＝５００［ｍｍ／ｓ］程度の速度でも被写体ブレが知覚できない画像の撮像が可能である。また、同様の目的で照明にレーザを用いても良い。この場合、さらに短い閃光時間が実現でき、また単位時間あたりの光量も大きくできる。
【００７９】
なお、被検査物の欠陥を修正できるレーザ光や装置を用いることで、検査と同時に欠陥を修正可能な構成とすることもできる。
（実施の形態２）
図１８と図１９（ａ）（ｂ）は本発明の実施の形態２を示す。
【００８０】
前述の実施の形態１では、図１〜図５に示したように検査光学系１０３とレビュー光学系１０４は、それぞれ独立してＹ方向に移動するように構成し、レビュー光学系１０４は基板１０９の全幅を移動するよう構成したが、この実施の形態２では、レビュー光学系１０４を検査光学系１０３に対して相対的にＹ方向に移動させるように構成した点が異なっている。
【００８１】
つまり、検査光学系１０３が搭載されているＹ軸可動子１０１に、Ｙ軸可動子１０１の範囲内でＹ方向に移動するようにレビュー光学系１０４が取りつけられている。なお、レビュー光学系１０４のＹ方向の移動機構は、検査光学系１０３が１回に走査できるＹ方向の範囲よりも大きい。
【００８２】
この構成によると、レビュー光学系１０４が備えるＹ方向の移動機構の移動可能範囲が狭くても、基板１０９の全幅をレビュー光学系で撮像することができるので、レビュー光学系１０４が備えるＹ方向の移動機構の移動範囲が小さい場合でも、レビュー光学系１０４が第１欠陥群の欠陥を撮像しうる機会が減少することはない。
【００８３】
（実施の形態３）
図２０（ａ）（ｂ）は本発明の実施の形態３を示す。
実施の形態２では、レビュー光学系１０４のＹ方向の移動機構は、検査光学系１０３が１回に走査できるＹ方向の範囲よりも大きいものであったが、この実施の形態３ではレビュー光学系１０４が最小限備えるべきＹ方向の移動機構は、検査光学系１０３が１回に走査できるＹ方向の範囲に等しい。
【００８４】
この構成によると、レビュー光学系１０４が第１欠陥群の欠陥を撮像しうる機会は１回である。
（実施の形態４）
図２１と図２２（ａ）（ｂ），図２３と図２４（ａ）（ｂ），図２５,図２６は、それぞれ本発明の実施の形態４を示す。
【００８５】
上記の各実施の形態において検査光学系１０３とレビュー光学系１０４は、それぞれ単数であったが、この実施の形態４では複数の検査光学系１０３と、複数のレビュー光学系１０４を有している点が異なっている。
【００８６】
図２１と図２２（ａ）（ｂ）に示す実施の形態４の実施例１では、Ｘ軸可動子１０８の上に４つのＹ軸可動子１０１−１，１０１−２，１０１−３，１０１−４が設けられている。Ｙ軸可動子１０１−１には第１検査光学系１０３−１が設けられている。Ｙ軸可動子１０１−１には第２検査光学系１０３−２が設けられている。Ｙ軸可動子１０１−１には第３検査光学系１０３−３が設けられている。Ｙ軸可動子１０１−４には第４検査光学系１０３−４が設けられている。また、Ｘ軸可動子１０８の上には、２つのＹ軸可動子１０２−１，１０２−２が設けられている。Ｙ軸可動子１０２−１には第１レビュー光学系１０４−１が設けられている。Ｙ軸可動子１０２−２には第２レビュー光学系１０４−２が設けられている。
【００８７】
実施の形態４の実施例１ではＹ軸可動子１０２−１，１０２−２が、共通のレビュー光学系Ｙ軸１０５の上を移動するように構成されていたが、図２３および図２４（ａ）（ｂ）に示す実施の形態４の実施例２では、レビュー光学系Ｙ軸１０５−１，１０５−２が、間隔を空けて並列に設けられている。Ｙ軸可動子１０２−１がレビュー光学系Ｙ軸１０５−１の上を移動するように構成され、Ｙ軸可動子１０２−２が、レビュー光学系Ｙ軸１０５−２の上を移動するように構成されている点が実施例１と異なっている。この場合には、Ｙ軸可動子１０２−１，１０２−２が移動することによって、基板１０９の全幅にわたって第１レビュー光学系１０４−１と第２レビュー光学系１０４−２が、順次に撮像できる。
【００８８】
図２５（ａ）（ｂ）に示す実施例３では、レビュー光学系Ｙ軸１０５−１とレビュー光学系Ｙ軸１０５−２がＹ軸方向にずらせて設けられており、第１レビュー光学系１０４−１と第２レビュー光学系１０４−２とで基板１０９の全幅をカバーするように構成されている。
【００８９】
この実施の形態４の実施例１〜実施例３に示すように、実際の検査装置においては、複数の検査光学系１０３と、複数のレビュー光学系１０４を備えている場合があって、検査光学系１０３とレビュー光学系１０４がそれぞれ独立してＹ方向に可動し、全体として基板１０９の全幅を移動できる機構を備えるように構成されていれば良い。また、検査光学系１０３とレビュー光学系１０４の数は異なっていても良い。
【００９０】
また、図２６（ａ）（ｂ）に示す実施の形態４の実施例４のように、レビュー光学系Ｙ軸１０５−２に第２レビュー光学系１０４−２と第３レビュー光学系１０４−３の複数のレビュー光学系１０４を設けても良い。同一の軸上に複数のレビュー光学系１０４が配置される場合には、レビュー光学系１０４同士が衝突しないよう配慮する必要がある。このためには、複数のレビュー光学系１０４は、それぞれ基板１０９に対するレビュー範囲をあらかじめ決めておいても良いし、衝突しないように電気的あるいは機械的な方法で制御されていても良い。もちろん検査光学系１０３が１組の場合にも、このようにレビュー光学系１０４を複数個備えることで、検査の走査と同時にレビューが可能である確率を上げることができる。
【００９１】
（実施の形態５）
図２７は本発明の実施の形態５を示す。
図２０と図２１（ａ）（ｂ）に示した実施の形態４の実施例１では、レビュー光学系Ｙ軸１０５に複数のレビュー光学系１０４を備えていたが、この実施の形態５の実施例５ではレビュー光学系Ｙ軸１０５に単数のレビュー光学系１０４を設けて、このレビュー光学系１０４が基板１０９の全幅を移動できるように構成されている点だけが異なっている。
【００９２】
（実施の形態６）
図２８（ａ）（ｂ），図２９（ａ）（ｂ）はそれぞれ本発明の実施の形態６を示す。
図２８（ａ）（ｂ）に示す実施の形態６の実施例６では、Ｘ軸可動子１０８の上面に設けられた第１のＹ軸レール１０６に沿って移動するＹ軸可動子１０１に、第１検査光学系１０３−１と第２検査光学系１０３−２が間隔を空けて設けられている。Ｙ軸可動子１０１には、第１，第２レビュー光学系Ｙ軸１０５−１，１０５−２が、間隔を空けて並列に設けられている。第１レビュー光学系Ｙ軸１０５−１には第１レビュー光学系１０４−１が設けられている。第２レビュー光学系Ｙ軸１０５−２には第２レビュー光学系１０４−２が設けられている。
【００９３】
図２９（ａ）（ｂ）に示す実施の形態６の実施例７では、第１，第２レビュー光学系１０４−１，１０４−２が共通の第１レビュー光学系Ｙ軸１０５−１に沿って移動するように構成されている点が、実施の形態６の実施例６とは異なっている。
【００９４】
この実施の形態６の実施例６，実施例７のように、複数のレビュー光学系として第１，第２レビュー光学系１０４−１，１０４−２を搭載する場合にも、図１８と図１９（ａ）（ｂ）に示した実施の形態２で説明したのと同様に、移動範囲が狭い移動機構を用いることができる。
【００９５】
（実施の形態７）
図３０は本発明の実施の形態７を示す。
図１〜図１７に示した実施の形態１で説明したように、基板１０９を静止させずにレビュー光学系１０４が撮像を行うためには被写体ブレへの対策が必要である。実施の形態１で説明した方法でも対策は可能であるが、この実施の形態７では、被写体ブレの影響を軽減するために、レビュー光学系１０４にＸ方向への移動機構を、さらに設けた点が実施の形態１とは異なっている。
【００９６】
このレビュー光学系１０４にＸ方向への移動機構は、レビュー光学系１０４が撮像を行う期間に、基板１０９とレビュー光学系１０４の相対速度を打ち消す方向へ、この移動機構を駆動する。
【００９７】
図３０では、１１１が基板１０９とレビュー光学系１０４の相対速度と方向を表している。相対速度と方向１１１は既知であるから、実施の形態７では被写体ブレの影響を軽減するために、レビュー光学系１０４を、相対速度と方向１１１と速度が同じで向きが逆である１１０で示すキャンセル速度で駆動を行えば良い。
【００９８】
具体的には、この移動機構は図５に示すよう基板１０９と光学系の両方を動かせるような機構で実現できる。また、この移動機構はレビュー光学系１０４の視野中心がＸ方向へ可動できれば十分であるため、必ずしもＸ軸方向への平行移動機構によらず、例えばレビュー光学系１０４を傾けるなどの手段で視野中心を可動させる機構によって実現することもできる。
【産業上の利用可能性】
【００９９】
本発明は液晶表示装置やプラズマ表示装置や太陽電池などに用いられる大型の基板の生産性の向上に寄与できる。
【符号の説明】
【０１００】
２００ 撮像検査装置
３００ 制御機構
３０１ 演算装置
１０１ 第１のＹ軸可動子
１０２ 第２のＹ軸可動子
１０３ 検査光学系
１０４ レビュー光学系
１０５ 第２のＹ軸レール
１０６ 第１のＹ軸レール
１０７ Ｘ軸レール
１０８ Ｘ軸可動子
１０９ 基板
１１０ キャンセル速度と方向
１１１ 基板１０９とレビュー光学系１０４の相対速度と方向
７０１ 検査光学系の走査１ライン目の軌跡
７０２〜７０４ 検査光学系の走査２〜４ライン目の軌跡
７０５ 欠陥
７０６ 走査１ライン目で検査される領域
７０７〜７０９ 走査２〜４ライン目で検査される領域
７１０ レビュー光学系の走査２ライン目の軌跡
７１１ レビュー光学系の走査３ライン目の軌跡
７１２ レビュー光学系の走査４ライン目の軌跡
８０１，８０２，８０３，８０４ 欠陥
９０１，１００１，１１０１，１２０１ レビュー光学系の軌跡
Ｐ 特徴量の総和
Ｎ レビュー対象の第１欠陥群の数
Ｅ スケジュールの評価値
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被検査物を載置する載置部と、
前記被検査物を撮像して第１欠陥群として欠陥を検出する検査光学系と、
前記被検査物と前記検査光学系をＸ方向に相対移動させる検査光学系移動機構と、
前記検査光学系で検出された前記第１欠陥群を撮像して第２欠陥群として欠陥を検出するレビュー光学系と、
前記被検査物と前記レビュー光学系を前記Ｘ方向に相対移動させつつ、前記検査光学系と前記レビュー光学系を前記Ｘ方向と直交するＹ方向に相対移動させるレビュー光学系移動機構と、
前記検査光学系の撮像中に前記レビュー光学系に前記第１欠陥群を撮像させ、前記第２欠陥群とレビュー光学系で撮像されていない前記第１欠陥群を欠陥として検出する制御機構と
を備えた撮像検査装置。
【請求項２】
前記レビュー光学系のＹ方向の相対移動量が、前記検査光学系のＹ方向の相対移動量と等しい
請求項１に記載の撮像検査装置。
【請求項３】
複数の前記検査光学系と複数の前記レビュー光学系とを有し、
前記Ｙ方向において、前記レビュー光学系が前記検査光学系から独立して前記被検査物の全幅に移動可能である
請求項１に記載の撮像検査装置。
【請求項４】
複数の前記検査光学系と１つの前記レビュー光学系とを有し、
前記Ｙ方向において、前記レビュー光学系が前記検査光学系から独立して前記被検査物の全幅に移動可能である
請求項１に記載の撮像検査装置。
【請求項５】
複数の前記検査光学系と複数の前記レビュー光学系とを有し、
前記Ｙ方向において、前記複数のレビュー光学系が前記検査光学系に対して相対的に移動可能である
請求項１に記載の撮像検査装置。
【請求項６】
検査光学系とレビュー光学系を前記検査対象物上でＸ方向に相対移動させると共にＹ方向に移動させ、前記検査光学系の撮像結果に基づいて検出された第１欠陥群の欠陥を前記レビュー光学系によって撮像して第２欠陥群の欠陥を検出する方法であって、
前記検査光学系がＹ方向の１走査を終了するたびに、それまで検出された第１欠陥群のうちの前記レビュー光学系によって撮像されていない欠陥について、前記レビュー光学系で撮像できる欠陥の数が最大となるスケジュールになるように、前記レビュー光学系による撮像のレビュースケジュールを計算し、
前記検査光学系のＹ方向の次の走査において、前記レビュースケジュールに従って前記レビュー光学系を撮像させる
撮像検査方法。
【請求項７】
前記レビュースケジュールの計算は、
検出された前記欠陥の特徴量に基づいて優先順位を決定し、前記優先順位および欠陥の個数に基づく評価値を算出し、前記評価値が最大になるように計算される
請求項６記載の撮像検査方法。
【請求項８】
前記欠陥の特徴量は、欠陥の反射率、面積、形状、座標のいずれかを少なくとも含む
請求項６記載の撮像検査方法。
【請求項９】
前記レビュースケジュールの計算は、
検出された第１欠陥群の欠陥の特徴量に基づいて優先順位を決定し、前記優先順位および欠陥の個数に基づくスケジュールの評価値を算出し、前記評価値が最大になるように計算され第１のスケジュールと、
前記第１のスケジュールから優先順位の高い欠陥を除外した後、前記優先順位および欠陥の個数に基づく評価値を算出し、前記評価値が最大になるように計算され計算した第２のスケジュールとを比較して、評価値の高いスケジュールをレビュースケジュールとして計算される
請求項６記載の撮像検査方法。
【請求項１０】
検出された複数の前記欠陥の特徴量の総和：をＰとし、検出された前記欠陥の数をＮとした場合に、下記（式２）によってスケジュールの評価値Ｅを計算し、前記評価値Ｅの大きいスケジュールを、レビュースケジュールとして計算する
請求項７記載の撮像検査方法。
Ｅ ＝ ｋ・Ｐ＋ｊ・Ｎ ・・・（式２）
なお、ｋはＰの重み付け係数、ｊはＮの重み付け係数
【請求項１１】
被検査物と検査光学系とをＸ方向に相対移動させながら前記被検査物を前記検査光学系で撮像して第１欠陥群として欠陥を検出する第１欠陥群検出工程と、
前記被検査物とレビュー光学系とを前記Ｘ方向に相対移動させながら、前記第１欠陥群検出工程で検出された欠陥を前記レビュー光学系で撮像して第２欠陥群として欠陥を検出するレビュー工程と、
前記第２欠陥群と前記レビュー工程で撮像されなかった前記第１欠陥群を欠陥として検出する欠陥検出工程と
を有し、前記検査光学系と前記レビュー光学系とは、前記Ｘ方向では独立して相対移動し、前記Ｘ方向と直交するＹ方向では連携して相対移動して、前記第１欠陥群検出工程と前記レビュー工程とを同時に行う
撮像検査方法。
【請求項１】
被検査物を載置する載置部と、
前記被検査物を撮像して第１欠陥群として欠陥を検出する検査光学系と、
前記被検査物と前記検査光学系をＸ方向に相対移動させる検査光学系移動機構と、
前記検査光学系で検出された前記第１欠陥群を撮像して第２欠陥群として欠陥を検出するレビュー光学系と、
前記被検査物と前記レビュー光学系を前記Ｘ方向に相対移動させつつ、前記検査光学系と前記レビュー光学系を前記Ｘ方向と直交するＹ方向に相対移動させるレビュー光学系移動機構と、
前記検査光学系の撮像中に前記レビュー光学系に前記第１欠陥群を撮像させ、前記第２欠陥群とレビュー光学系で撮像されていない前記第１欠陥群を欠陥として検出する制御機構と
を備えた撮像検査装置。
【請求項２】
前記レビュー光学系のＹ方向の相対移動量が、前記検査光学系のＹ方向の相対移動量と等しい
請求項１に記載の撮像検査装置。
【請求項３】
複数の前記検査光学系と複数の前記レビュー光学系とを有し、
前記Ｙ方向において、前記レビュー光学系が前記検査光学系から独立して前記被検査物の全幅に移動可能である
請求項１に記載の撮像検査装置。
【請求項４】
複数の前記検査光学系と１つの前記レビュー光学系とを有し、
前記Ｙ方向において、前記レビュー光学系が前記検査光学系から独立して前記被検査物の全幅に移動可能である
請求項１に記載の撮像検査装置。
【請求項５】
複数の前記検査光学系と複数の前記レビュー光学系とを有し、
前記Ｙ方向において、前記複数のレビュー光学系が前記検査光学系に対して相対的に移動可能である
請求項１に記載の撮像検査装置。
【請求項６】
検査光学系とレビュー光学系を前記検査対象物上でＸ方向に相対移動させると共にＹ方向に移動させ、前記検査光学系の撮像結果に基づいて検出された第１欠陥群の欠陥を前記レビュー光学系によって撮像して第２欠陥群の欠陥を検出する方法であって、
前記検査光学系がＹ方向の１走査を終了するたびに、それまで検出された第１欠陥群のうちの前記レビュー光学系によって撮像されていない欠陥について、前記レビュー光学系で撮像できる欠陥の数が最大となるスケジュールになるように、前記レビュー光学系による撮像のレビュースケジュールを計算し、
前記検査光学系のＹ方向の次の走査において、前記レビュースケジュールに従って前記レビュー光学系を撮像させる
撮像検査方法。
【請求項７】
前記レビュースケジュールの計算は、
検出された前記欠陥の特徴量に基づいて優先順位を決定し、前記優先順位および欠陥の個数に基づく評価値を算出し、前記評価値が最大になるように計算される
請求項６記載の撮像検査方法。
【請求項８】
前記欠陥の特徴量は、欠陥の反射率、面積、形状、座標のいずれかを少なくとも含む
請求項６記載の撮像検査方法。
【請求項９】
前記レビュースケジュールの計算は、
検出された第１欠陥群の欠陥の特徴量に基づいて優先順位を決定し、前記優先順位および欠陥の個数に基づくスケジュールの評価値を算出し、前記評価値が最大になるように計算され第１のスケジュールと、
前記第１のスケジュールから優先順位の高い欠陥を除外した後、前記優先順位および欠陥の個数に基づく評価値を算出し、前記評価値が最大になるように計算され計算した第２のスケジュールとを比較して、評価値の高いスケジュールをレビュースケジュールとして計算される
請求項６記載の撮像検査方法。
【請求項１０】
検出された複数の前記欠陥の特徴量の総和：をＰとし、検出された前記欠陥の数をＮとした場合に、下記（式２）によってスケジュールの評価値Ｅを計算し、前記評価値Ｅの大きいスケジュールを、レビュースケジュールとして計算する
請求項７記載の撮像検査方法。
Ｅ ＝ ｋ・Ｐ＋ｊ・Ｎ ・・・（式２）
なお、ｋはＰの重み付け係数、ｊはＮの重み付け係数
【請求項１１】
被検査物と検査光学系とをＸ方向に相対移動させながら前記被検査物を前記検査光学系で撮像して第１欠陥群として欠陥を検出する第１欠陥群検出工程と、
前記被検査物とレビュー光学系とを前記Ｘ方向に相対移動させながら、前記第１欠陥群検出工程で検出された欠陥を前記レビュー光学系で撮像して第２欠陥群として欠陥を検出するレビュー工程と、
前記第２欠陥群と前記レビュー工程で撮像されなかった前記第１欠陥群を欠陥として検出する欠陥検出工程と
を有し、前記検査光学系と前記レビュー光学系とは、前記Ｘ方向では独立して相対移動し、前記Ｘ方向と直交するＹ方向では連携して相対移動して、前記第１欠陥群検出工程と前記レビュー工程とを同時に行う
撮像検査方法。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【図１４】
【図１５】
【図１６】
【図１７】
【図１８】
【図１９】
【図２０】
【図２１】
【図２２】
【図２３】
【図２４】
【図２５】
【図２６】
【図２７】
【図２８】
【図２９】
【図３０】
【図３１】
【図３２】
【図２】
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【図２１】
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【図２３】
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【図２７】
【図２８】
【図２９】
【図３０】
【図３１】
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【公開番号】特開２０１０−２５６３３８（Ｐ２０１０−２５６３３８Ａ）
【公開日】平成２２年１１月１１日（２０１０．１１．１１）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２０１０−５１２０５（Ｐ２０１０−５１２０５）
【出願日】平成２２年３月９日（２０１０．３．９）
【出願人】（０００００５８２１）パナソニック株式会社 (73,050)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２２年１１月１１日（２０１０．１１．１１）
【国際特許分類】
【出願日】平成２２年３月９日（２０１０．３．９）
【出願人】（０００００５８２１）パナソニック株式会社 (73,050)
【Ｆターム（参考）】
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