検査済み基板仕分け回収機構
【課題】ダメージを与えずに基板の良否を仕分けして確実に積載でき、機構全体の省スペース化をも図れる検査済み基板仕分け回収機構の提供。
【解決手段】被検査基板を搬送する搬送レールをレール幅の拡開を可能にして具備させたアンローダー搬送ユニット２２と、搬送レール上の被検査基板の吸着昇降と横移動とを可能にして配設される基板吸着・横搬送ユニットと、アンローダー搬送ユニット２２の直下位置に配設される一側リフター４２と、基板吸着・横搬送ユニットの横移動方向での一側リフター４２の横並び位置に配設される他側リフター５２とを備え、一側リフター４２には、基板吸着・横搬送ユニットを介して良否判別後のいずれか一方の被検査基板を載置させ、他側リフター５２には、良否判別後の他方の被検査基板を載置させることで、被検査基板の良否別の仕分け回収を可能とした。
【解決手段】被検査基板を搬送する搬送レールをレール幅の拡開を可能にして具備させたアンローダー搬送ユニット２２と、搬送レール上の被検査基板の吸着昇降と横移動とを可能にして配設される基板吸着・横搬送ユニットと、アンローダー搬送ユニット２２の直下位置に配設される一側リフター４２と、基板吸着・横搬送ユニットの横移動方向での一側リフター４２の横並び位置に配設される他側リフター５２とを備え、一側リフター４２には、基板吸着・横搬送ユニットを介して良否判別後のいずれか一方の被検査基板を載置させ、他側リフター５２には、良否判別後の他方の被検査基板を載置させることで、被検査基板の良否別の仕分け回収を可能とした。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、被検査基板の表裏両面のキズ、汚れ、異物等の欠陥を検査カメラを用いて最終的に外観検査した後に、良品と不良品とに仕分けて回収する際に好適に用いることができる基板外観検査装置のための検査済み基板仕分け回収機構に関する技術である。
【背景技術】
【０００２】
プリント基板からなる被検査基板の外観上の適否を最終的に検査する外観検査手法には、人間が目視確認する検査手法のほか、例えば特許文献１に開示されている「プリント基板の穴充填部欠陥検査システム」などのような被検査基板外観検査用撮像ユニットを用いる検査手法もある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００８−１２４３０６号公報
【０００４】
そして、特許文献１に開示されているような被検査基板外観検査用撮像ユニットを備える基板外観検査装置は、例えばスルーホールに充填材料が充填されたプリント基板を被検査基板とし、該被検査基板の穴充填部に形成される凹部の深さを高精度に検出して、欠陥の有無を高精度に判定できるようにしようとするものであった。
【０００５】
また、基板外観検査のための全体システムは、特許文献１の図１にも示されているように、被検査基板を搬入する基板搬入手段（ローダー）と、搬入された被検査基板をその搬送中に検査カメラで撮像する撮像検査手段と、該撮像検査手段を経ることで判別された良否結果に基づいて良品基板と不良品基板とに仕分けて回収する基板選別回収手段（アンローダー）とで構成される例が多い。
【０００６】
そして、従来からある基板選別回収手段は、良品基板と不良品基板とに仕分けるためのＮＧ側搬送レールとＯＫ側搬送レールとを備えて構成されている。
【０００７】
このため、従来からある基板選別回収手段によれば、検査済みの被検査基板がまずＮＧ側搬送レールに送り込まれ、それが不良品基板であれば該ＮＧ側搬送レールを開いて不良品用リフター上に落下させた後に再び閉じ、閉じられているＮＧ側搬送レールを通過してＯＫ側搬送レールに送り込まれた良品基板であれば該ＯＫ側搬送レールを開いて良品用リフター上に落下させた後に再び閉じることで、次の被検査基板を受け入れることができることになる。
【０００８】
つまり、従来からある上記基板選別回収手段によれば、被検査基板を良否選別した上で、それが不良品基板であれば不良品用リフター上に落下させ、良品基板であれば良品用リフター上に落下させて回収することができるので、良否いずれもレールからリフターまでの移動距離を短くして短時間で回収することができることになる。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
しかし、従来からある上記基板選別回収手段による場合には、被検査基板の搬送高さ位置とリフター上の積載高さ位置との間の距離として搬送レールの高さ分以上の間隔を確保しなければならず、その間を落下させる際に被検査基板を傷付けてしまうなどのダメージを与えるおそれがあった。
【００１０】
また、仕分けられた被検査基板をリフター上に落下させる際には、必ずしも水平状の落下姿勢をとる限らないことから、その落下時に例えば３００ｍｍ程度の高さとなっている被検査基板の積載山を崩してその積載順が不明となり、検査時の撮像順と整合しなくなる結果、検査をやり直さなければならなくなるという不都合があった。
【００１１】
さらに、ＮＧ側搬送レールとＯＫ側搬送レールとは、検査済みの被検査基板の搬送方向が同一方向に連続するワンウエイ方式のもとでレイアウトされていることから、装置の全体長さもそれだけ長くなってしまい、省スペース化の要請への対応が困難になるという不具合もあった。
【００１２】
本発明は、従来技術にみられた上記課題に鑑み、検査済みの被検査基板に対しダメージを与えることなく順に仕分け積載することができるばかりでなく、装置全体の設置面の省スペース化を図ることもできるようにした基板外観検査装置のための検査済み基板仕分け回収機構を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
本発明は、上記目的を達成すべくなされたものであり、検査を終えて搬入された被検査基板を所定位置にまで搬送する一対の搬送レールをレール幅の拡開を可能にして具備させたアンローダー搬送ユニットと、前記搬送レール上の前記被検査基板の吸着昇降と横移動とを可能にして配設される基板吸着・横搬送ユニットと、前記アンローダー搬送ユニットの直下位置に配設される一側リフターと、前記基板吸着・横搬送ユニットの横移動方向での前記一側リフターの横並び位置に配設される他側リフターとを備え、前記一側リフターには、前記基板吸着・横搬送ユニットを介して良否判別後のいずれか一方の前記被検査基板を載置させ、前記他側リフターには、前記基板吸着・横搬送ユニットを介して良否判別後の他方の前記被検査基板を載置させることで、被検査基板の良否別の仕分け回収を可能としたことを最も主要な特徴とする。
【００１４】
この場合、前記一側リフターは、不良品リフターとし、前記他側リフターは、良品リフターとして配設するのが好ましい。
【発明の効果】
【００１５】
請求項１に係る発明によれば、良否判別後の被検査基板が例えば不良品であれば、初期状態位置にある基板吸着・横搬送ユニットの直下に配設されている一側リフターに、例えば良品であれば基板吸着・横搬送ユニット３２を横移動させて一側リフターと横並びに配設されている他側リフターに、それぞれそっと置くようにして置き去ることができるので、傷付けるなどのダメージを与えることなく良否の別に仕分けて検査済みの被検査基板を回収することができる。
【００１６】
また、検査済みの被検査基板は、例えばアンローダー搬送ユニットの搬送レールを拡開させて下方に落下させるというような従来プロセスをなくして、基板吸着・横搬送ユニット側を下降させることで良否の別に１枚ずつつ確実に積み上げていくことができるので、被検査基板の積載山が崩れてその積載順が不明となって検査時の撮像順と整合しなくなって再検査を余儀なくせざるを得なくなるというような不測の事態の発生をなくすことができる。
【００１７】
さらに、基板吸着・横搬送ユニットは、アンローダー搬送ユニットの直下に配置された一側リフターと、該一側リフターとは横並びに配置された他側リフターとの上方を横移動させる配置関係を採用したことにより、機構全体をそれだけコンパクト化することで、省スペース化の要請にも対応させることができる。
【００１８】
また、請求項２に係る発明によれば、一側リフターは不良品リフターとして、他側リフターは良品リフターとしてそれぞれが配設されているので、良品と判別される圧倒的に多数の被検査基板の仕分けは、アンローダー搬送ユニットに搬送レールの拡開動作を行わせることなく、直ちに基板吸着・横搬送ユニットを良品リフター側に横移動させて載置することで行うことができ、それだけ仕分け処理時間の短縮化を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】本発明の一例を示す全体斜視図。
【図２】本発明を構成するアンローダー搬送ユニットの一例を示す斜視図。
【図３】本発明を構成する基板吸着・横搬送ユニットの一例を示す斜視図。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
本発明は、検査を終えて図示しない基板外観検査装置側から図２に示すように搬送されてくる被検査基板Ｐをその良否の別に仕分ける検査済み基板仕分け回収機構１１に関するものであり、図１に示すように基板外観検査装置における装置本体１２の基台１３上には、アンローダー搬送ユニット２２と、該アンローダー搬送ユニット２２の上方に配置される基板吸着・横搬送ユニット３２と、アンローダー搬送ユニット２２の直下に配設される一側リフター４２と、基板吸着・横搬送ユニット３２の横移動方向にて一側リフター４２と横並びに配設される他側リフター５２とを、所定の支枠材１４を介して設置することでその全体が構成されている。
【００２１】
これらのうち、アンローダー搬送ユニット２２は、図２にも示されているように、基台１３上に立設配置される支脚部２３と、該支脚部２３に支持される支持部材２４と、支持部材２４，２４相互間に架け渡される支杆材２５と、各支持部材２４に対し進退可能に配設される搬送レール２７と、該搬送レール２７を各別にその横方向での位置を幅調整するために進退移動させる開閉シリンダ２８とを少なくとも備えて形成されている。
【００２２】
この場合、例えば略Ｌ字状を呈するなど、適宜の形状と高さとを備える支脚部２３は、検査済みの被検査基板Ｐの搬入方向に位置する基台１３上の計４箇所に立設配置されている。
【００２３】
支持部材２４は、各支脚部２３にそれぞれの始端部２４ａ側と終端部２４ｂ側とを下支えさせることで、被検査基板Ｐの搬入方向を列方向とする２列となって配設されている。
【００２４】
支杆材２５は、支持部材２４，２４相互の始端部２４ａ側と終端部２４ｂ側とに対し各別に架け渡した状態のもとで配設されている。
【００２５】
一対の搬送レール２７，２７は、各支持部材２４の始端部２４ａ側と終端部２４ｂ側とに位置する各部位にその突出方向を内側として各別に突設されたガイド支杆２６を介してそれぞれが進退可能に配設されている。
【００２６】
開閉シリンダ２８は、各支持部材２４に設置されて搬送レール２７を各ガイド支杆２６の軸方向に沿わせて各別に進退移動できる配置関係のもとで各支持部材２４に設置されている。
【００２７】
また、アンローダー搬送ユニット２２の上方に配設される基板吸着・横搬送ユニット３２は、図１に示す基台１３上の支枠材１４を介して配設される図３にも示されているガイド部３３と、該ガイド部３３に移動可能に配設される摺動部３４と、該摺動部３４を駆動制御するために電動モータなどを含んで構成されている駆動制御部３５と、摺動部３４側に固定配置される方形囲枠材３７と、該方形囲枠材３７に設置された基板吸着パッド３９とを少なくとも備えて形成されている。
【００２８】
この場合、ガイド部３３は、搬送レール２７の長さ方向とは直交する位置関係のもとで、基台１３上の所定高さ位置に配置されている支枠材１４を介して配設されている。
【００２９】
摺動部３４は、ガイド部３３に対しその長さ方向に沿わせての移動を可能にして配設されているほか、基板吸着パッド３９などに一方の管端を接続させた図示しない可撓管の他方の管端を接続するための接続口４０を備えおり、該接続口４０を介して基板吸着パッド３９からの空気引きが可能になっている。
【００３０】
駆動制御部３５は、ガイド部３３に沿わせて摺動部３４を摺動させる際にその動きを制御するためのものであり、例えば図示例のようにその開放端部４１ａ側を摺動部３４に連結させた駆動ベルト４１を電動モータなどの駆動手段を介して駆動制御できるようにするなどして形成されている。
【００３１】
アンローダー搬送ユニット２２の搬送レール２７上に位置する被検査基板Ｐの面サイズと略同等の面サイズが付与されて形成される方形囲枠材３７は、駆動制御部３５との間に介在部材３６を介在させることで、搬送レール２７上に載置されている被検査基板Ｐの面方向とその面方向が対面する位置関係のもとで配設されている。
【００３２】
基板吸着パッド３９は、方形囲枠材３７における各搬送レール２７と対向する各対向辺３８の始端部３８ａ近傍位置と終端部３８ｂ近傍位置とに各別に設置されており、それぞれの吸着部３９ａは方形囲枠材３７の下方に向けて突出配置されている。
【００３３】
例えば不良品用リフター４３として配置される一側リフター４２は、アンローダー搬送ユニット２２の直下に配置される載置台４４と、該載置台４４を昇降自在に下支えする図示しない適宜の昇降手段とを備えて形成されている。
【００３４】
一側リフター４２と横並びに例えば良品用リフター５３として配置される他側リフター５２は、載置台５３と、該載置台５３を昇降自在に下支えする図示しない適宜の昇降手段とを備えて形成されている。
【００３５】
次に、上記構成からなる本発明の作用効果を説明すれば、図示しない基板外観検査装置による検査を終えた被検査基板Ｐは、まず、図２に示すアンローダー搬送ユニット２２方向へと搬入され、予め定められている搬送レール２７，２７上の所定位置へと搬送される。
【００３６】
このような状態のもとでは、まず、その直上位置にある基板吸着・横搬送ユニット３２が備える各基板吸着パッド３９を下降させてそれぞれの吸着部３９ａを搬送レール２７，２７上の被検査基板Ｐに押し当てた上で吸引を開始し、該被検査基板Ｐを吸着した状態のもとで基板吸着パッド３９を上昇させることで被検査基板Ｐを持ち上げる。
【００３７】
しかる後、今回搬入された被検査基板Ｐが図示しない基板外観検査装置により例えば不良品であると判別された場合には、アンローダー搬送ユニット２２における搬送レール２７，２７をそれぞれの開閉シリンダ２８を介して開方向へと移動させる。
【００３８】
搬送レール２７，２７を開いた後は、基板吸着・横搬送ユニット３２の全体を下降させ、アンローダー搬送ユニット２２の下方に控える一側リフター４２としての不良品用リフター４３の載置台４４上に被検査基板Ｐを位置させた上で、基板吸着パッド３９による吸着状態を解除することで載置台４４上に被検査基板Ｐを置き去るようにして積載する。
【００３９】
不基板吸着・横搬送ユニット３２は、不良品の被検査基板Ｐを一側リフター４２としての不良品用リフター４３側に積載した後に初期状態位置に復帰させた上で、次の被検査基板Ｐがアンローダー搬送ユニット２２を介して搬送レール２７，２７上の所定位置へと搬送されるのを待つ。
【００４０】
搬送レール２７，２７上の所定位置に次の被検査基板Ｐが搬送された後は、その直上位置にある基板吸着・横搬送ユニット３２が備える各基板吸着パッド３９を下降させてそれぞれの吸着部３９ａを搬送レール２７，２７上の被検査基板Ｐに押し当てた上で吸引を開始し、該被検査基板Ｐを吸着した状態のもとで基板吸着パッド３９を上昇させることで被検査基板Ｐを持ち上げる。
【００４１】
このとき、今回の被検査基板Ｐが基板外観検査装置により不良品であると再び判別された場合は、上記した処理手順のもとで処理されることになる。しかし、良品であると判別された場合には、基板吸着・横搬送ユニット３２が備える駆動制御部３５を駆動させて摺動部３４をガイド部３３を介して横移動させることで、被検査基板Ｐを一側リフター４２である不良品用リフター４３と横並びに配設されている他側リフター５２としての良品用リフター５３の直上位置へと搬送する。
【００４２】
しかる後、基板吸着・横搬送ユニット３２側を下降させ、その直下に位置している他側リフター５２である良品用リフター５３の載置台５４上に被検査基板Ｐを位置させた上で、各基板吸着パッド３９による空気引き状態を解除することで載置台５４上に被検査基板Ｐを置き去るようにして積載する。
【００４３】
基板吸着・横搬送ユニット３２は、良品の被検査基板Ｐを他側リフター５２である良品用リフター５３側に積載した後に初期状態位置に復帰させた上で、次の被検査基板Ｐがアンローダー搬送ユニット２２を介して搬送レール２７，２７上の所定位置へと搬送されるのを待つ。以後、被検査基板Ｐの良否の別に応じて同様の処理が繰り返される。
【００４４】
このため、本発明によれば、被検査基板Ｐが不良品であれば、初期状態位置にある基板吸着・横搬送ユニット３２の直下に配設されている一側リフター４２である不良品用リフター４３の載置台４４上に、良品であれば基板吸着・横搬送ユニット３２を横移動させて該不良品用リフター４３と横並びに配設されている他側リフター５２である良品用リフター５３の載置台５４上に、それぞれそっと乗せ置くようにして置き去ることができるので、傷付けるなどのダメージを与えることなく良否の別に仕分けて検査済みの被検査基板Ｐを回収することができる。
【００４５】
また、検査済みの被検査基板Ｐは、例えばアンローダー搬送ユニット２２の搬送レール２７，２７相互を開いて下方に落下させるというプロセスをなくし、基板吸着・横搬送ユニット３２側を下降させることで１枚ずつつ確実に積み上げていくことができるので、被検査基板Ｐの積載山が崩れてその積載順が不明となって検査時の撮像順と整合しなくなって再検査を余儀なくせざるを得なくなるというような不測の事態の発生をなくすことができる。
【００４６】
さらに、基板吸着・横搬送ユニット３２は、アンローダー搬送ユニット２２の直下に配置された一側リフター４２である不良品用リフター４３と、該不良品用リフター４３とは横並びに配置された他側リフター５２である良品用リフター５３との上方を横移動させる配置関係を採用したことにより、機構全体をそれだけコンパクト化することで、省スペース化の要請にも対応させることができる。
【００４７】
また、一側リフター４２を不良品リフター４３として、他側リフター５２を良品リフター５３としてそれぞれを配設する場合には、良品と判別される圧倒的に多数の被検査基板Ｐの仕分けは、アンローダー搬送ユニット２２側に搬送レール２７の拡開動作を行わせることなく、直ちに基板吸着・横搬送ユニット３２を良品リフター５３側に横移動させて良品基板を載置することで行うことができるので、それだけ仕分け処理時間の短縮化を図ることができる。
【符号の説明】
【００４８】
１１ 検査済み基板仕分け回収機構
１２ 装置本体
１３ 基台
１４ 支枠材
２２ アンローダー搬送ユニット
２３ 支脚部
２４ 支持部材
２４ａ 始端部
２４ｂ 終端部
２５ 支杆材
２６ ガイド支杆
２７ 搬送レール
２８ 開閉シリンダ
３２ 基板吸着・横搬送ユニット
３３ ガイド部材
３４ 摺動部
３５ 駆動制御部
３６ 介在部材
３７ 方形囲枠材
３８対向辺
３８ａ 始端部
３８ｂ 終端部
３９ 基板吸着パッド
３９ａ 吸着部
４０ 接続口
４１ 駆動ベルト
４１ａ 開放端部
４２ 一側リフター
４３ 不良品用リフター
４４ 載置台
５２ 他側リフター
５３ 良品用リフター
５４ 載置台
Ｐ 被検査基板
【技術分野】
【０００１】
本発明は、被検査基板の表裏両面のキズ、汚れ、異物等の欠陥を検査カメラを用いて最終的に外観検査した後に、良品と不良品とに仕分けて回収する際に好適に用いることができる基板外観検査装置のための検査済み基板仕分け回収機構に関する技術である。
【背景技術】
【０００２】
プリント基板からなる被検査基板の外観上の適否を最終的に検査する外観検査手法には、人間が目視確認する検査手法のほか、例えば特許文献１に開示されている「プリント基板の穴充填部欠陥検査システム」などのような被検査基板外観検査用撮像ユニットを用いる検査手法もある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００８−１２４３０６号公報
【０００４】
そして、特許文献１に開示されているような被検査基板外観検査用撮像ユニットを備える基板外観検査装置は、例えばスルーホールに充填材料が充填されたプリント基板を被検査基板とし、該被検査基板の穴充填部に形成される凹部の深さを高精度に検出して、欠陥の有無を高精度に判定できるようにしようとするものであった。
【０００５】
また、基板外観検査のための全体システムは、特許文献１の図１にも示されているように、被検査基板を搬入する基板搬入手段（ローダー）と、搬入された被検査基板をその搬送中に検査カメラで撮像する撮像検査手段と、該撮像検査手段を経ることで判別された良否結果に基づいて良品基板と不良品基板とに仕分けて回収する基板選別回収手段（アンローダー）とで構成される例が多い。
【０００６】
そして、従来からある基板選別回収手段は、良品基板と不良品基板とに仕分けるためのＮＧ側搬送レールとＯＫ側搬送レールとを備えて構成されている。
【０００７】
このため、従来からある基板選別回収手段によれば、検査済みの被検査基板がまずＮＧ側搬送レールに送り込まれ、それが不良品基板であれば該ＮＧ側搬送レールを開いて不良品用リフター上に落下させた後に再び閉じ、閉じられているＮＧ側搬送レールを通過してＯＫ側搬送レールに送り込まれた良品基板であれば該ＯＫ側搬送レールを開いて良品用リフター上に落下させた後に再び閉じることで、次の被検査基板を受け入れることができることになる。
【０００８】
つまり、従来からある上記基板選別回収手段によれば、被検査基板を良否選別した上で、それが不良品基板であれば不良品用リフター上に落下させ、良品基板であれば良品用リフター上に落下させて回収することができるので、良否いずれもレールからリフターまでの移動距離を短くして短時間で回収することができることになる。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
しかし、従来からある上記基板選別回収手段による場合には、被検査基板の搬送高さ位置とリフター上の積載高さ位置との間の距離として搬送レールの高さ分以上の間隔を確保しなければならず、その間を落下させる際に被検査基板を傷付けてしまうなどのダメージを与えるおそれがあった。
【００１０】
また、仕分けられた被検査基板をリフター上に落下させる際には、必ずしも水平状の落下姿勢をとる限らないことから、その落下時に例えば３００ｍｍ程度の高さとなっている被検査基板の積載山を崩してその積載順が不明となり、検査時の撮像順と整合しなくなる結果、検査をやり直さなければならなくなるという不都合があった。
【００１１】
さらに、ＮＧ側搬送レールとＯＫ側搬送レールとは、検査済みの被検査基板の搬送方向が同一方向に連続するワンウエイ方式のもとでレイアウトされていることから、装置の全体長さもそれだけ長くなってしまい、省スペース化の要請への対応が困難になるという不具合もあった。
【００１２】
本発明は、従来技術にみられた上記課題に鑑み、検査済みの被検査基板に対しダメージを与えることなく順に仕分け積載することができるばかりでなく、装置全体の設置面の省スペース化を図ることもできるようにした基板外観検査装置のための検査済み基板仕分け回収機構を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
本発明は、上記目的を達成すべくなされたものであり、検査を終えて搬入された被検査基板を所定位置にまで搬送する一対の搬送レールをレール幅の拡開を可能にして具備させたアンローダー搬送ユニットと、前記搬送レール上の前記被検査基板の吸着昇降と横移動とを可能にして配設される基板吸着・横搬送ユニットと、前記アンローダー搬送ユニットの直下位置に配設される一側リフターと、前記基板吸着・横搬送ユニットの横移動方向での前記一側リフターの横並び位置に配設される他側リフターとを備え、前記一側リフターには、前記基板吸着・横搬送ユニットを介して良否判別後のいずれか一方の前記被検査基板を載置させ、前記他側リフターには、前記基板吸着・横搬送ユニットを介して良否判別後の他方の前記被検査基板を載置させることで、被検査基板の良否別の仕分け回収を可能としたことを最も主要な特徴とする。
【００１４】
この場合、前記一側リフターは、不良品リフターとし、前記他側リフターは、良品リフターとして配設するのが好ましい。
【発明の効果】
【００１５】
請求項１に係る発明によれば、良否判別後の被検査基板が例えば不良品であれば、初期状態位置にある基板吸着・横搬送ユニットの直下に配設されている一側リフターに、例えば良品であれば基板吸着・横搬送ユニット３２を横移動させて一側リフターと横並びに配設されている他側リフターに、それぞれそっと置くようにして置き去ることができるので、傷付けるなどのダメージを与えることなく良否の別に仕分けて検査済みの被検査基板を回収することができる。
【００１６】
また、検査済みの被検査基板は、例えばアンローダー搬送ユニットの搬送レールを拡開させて下方に落下させるというような従来プロセスをなくして、基板吸着・横搬送ユニット側を下降させることで良否の別に１枚ずつつ確実に積み上げていくことができるので、被検査基板の積載山が崩れてその積載順が不明となって検査時の撮像順と整合しなくなって再検査を余儀なくせざるを得なくなるというような不測の事態の発生をなくすことができる。
【００１７】
さらに、基板吸着・横搬送ユニットは、アンローダー搬送ユニットの直下に配置された一側リフターと、該一側リフターとは横並びに配置された他側リフターとの上方を横移動させる配置関係を採用したことにより、機構全体をそれだけコンパクト化することで、省スペース化の要請にも対応させることができる。
【００１８】
また、請求項２に係る発明によれば、一側リフターは不良品リフターとして、他側リフターは良品リフターとしてそれぞれが配設されているので、良品と判別される圧倒的に多数の被検査基板の仕分けは、アンローダー搬送ユニットに搬送レールの拡開動作を行わせることなく、直ちに基板吸着・横搬送ユニットを良品リフター側に横移動させて載置することで行うことができ、それだけ仕分け処理時間の短縮化を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】本発明の一例を示す全体斜視図。
【図２】本発明を構成するアンローダー搬送ユニットの一例を示す斜視図。
【図３】本発明を構成する基板吸着・横搬送ユニットの一例を示す斜視図。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
本発明は、検査を終えて図示しない基板外観検査装置側から図２に示すように搬送されてくる被検査基板Ｐをその良否の別に仕分ける検査済み基板仕分け回収機構１１に関するものであり、図１に示すように基板外観検査装置における装置本体１２の基台１３上には、アンローダー搬送ユニット２２と、該アンローダー搬送ユニット２２の上方に配置される基板吸着・横搬送ユニット３２と、アンローダー搬送ユニット２２の直下に配設される一側リフター４２と、基板吸着・横搬送ユニット３２の横移動方向にて一側リフター４２と横並びに配設される他側リフター５２とを、所定の支枠材１４を介して設置することでその全体が構成されている。
【００２１】
これらのうち、アンローダー搬送ユニット２２は、図２にも示されているように、基台１３上に立設配置される支脚部２３と、該支脚部２３に支持される支持部材２４と、支持部材２４，２４相互間に架け渡される支杆材２５と、各支持部材２４に対し進退可能に配設される搬送レール２７と、該搬送レール２７を各別にその横方向での位置を幅調整するために進退移動させる開閉シリンダ２８とを少なくとも備えて形成されている。
【００２２】
この場合、例えば略Ｌ字状を呈するなど、適宜の形状と高さとを備える支脚部２３は、検査済みの被検査基板Ｐの搬入方向に位置する基台１３上の計４箇所に立設配置されている。
【００２３】
支持部材２４は、各支脚部２３にそれぞれの始端部２４ａ側と終端部２４ｂ側とを下支えさせることで、被検査基板Ｐの搬入方向を列方向とする２列となって配設されている。
【００２４】
支杆材２５は、支持部材２４，２４相互の始端部２４ａ側と終端部２４ｂ側とに対し各別に架け渡した状態のもとで配設されている。
【００２５】
一対の搬送レール２７，２７は、各支持部材２４の始端部２４ａ側と終端部２４ｂ側とに位置する各部位にその突出方向を内側として各別に突設されたガイド支杆２６を介してそれぞれが進退可能に配設されている。
【００２６】
開閉シリンダ２８は、各支持部材２４に設置されて搬送レール２７を各ガイド支杆２６の軸方向に沿わせて各別に進退移動できる配置関係のもとで各支持部材２４に設置されている。
【００２７】
また、アンローダー搬送ユニット２２の上方に配設される基板吸着・横搬送ユニット３２は、図１に示す基台１３上の支枠材１４を介して配設される図３にも示されているガイド部３３と、該ガイド部３３に移動可能に配設される摺動部３４と、該摺動部３４を駆動制御するために電動モータなどを含んで構成されている駆動制御部３５と、摺動部３４側に固定配置される方形囲枠材３７と、該方形囲枠材３７に設置された基板吸着パッド３９とを少なくとも備えて形成されている。
【００２８】
この場合、ガイド部３３は、搬送レール２７の長さ方向とは直交する位置関係のもとで、基台１３上の所定高さ位置に配置されている支枠材１４を介して配設されている。
【００２９】
摺動部３４は、ガイド部３３に対しその長さ方向に沿わせての移動を可能にして配設されているほか、基板吸着パッド３９などに一方の管端を接続させた図示しない可撓管の他方の管端を接続するための接続口４０を備えおり、該接続口４０を介して基板吸着パッド３９からの空気引きが可能になっている。
【００３０】
駆動制御部３５は、ガイド部３３に沿わせて摺動部３４を摺動させる際にその動きを制御するためのものであり、例えば図示例のようにその開放端部４１ａ側を摺動部３４に連結させた駆動ベルト４１を電動モータなどの駆動手段を介して駆動制御できるようにするなどして形成されている。
【００３１】
アンローダー搬送ユニット２２の搬送レール２７上に位置する被検査基板Ｐの面サイズと略同等の面サイズが付与されて形成される方形囲枠材３７は、駆動制御部３５との間に介在部材３６を介在させることで、搬送レール２７上に載置されている被検査基板Ｐの面方向とその面方向が対面する位置関係のもとで配設されている。
【００３２】
基板吸着パッド３９は、方形囲枠材３７における各搬送レール２７と対向する各対向辺３８の始端部３８ａ近傍位置と終端部３８ｂ近傍位置とに各別に設置されており、それぞれの吸着部３９ａは方形囲枠材３７の下方に向けて突出配置されている。
【００３３】
例えば不良品用リフター４３として配置される一側リフター４２は、アンローダー搬送ユニット２２の直下に配置される載置台４４と、該載置台４４を昇降自在に下支えする図示しない適宜の昇降手段とを備えて形成されている。
【００３４】
一側リフター４２と横並びに例えば良品用リフター５３として配置される他側リフター５２は、載置台５３と、該載置台５３を昇降自在に下支えする図示しない適宜の昇降手段とを備えて形成されている。
【００３５】
次に、上記構成からなる本発明の作用効果を説明すれば、図示しない基板外観検査装置による検査を終えた被検査基板Ｐは、まず、図２に示すアンローダー搬送ユニット２２方向へと搬入され、予め定められている搬送レール２７，２７上の所定位置へと搬送される。
【００３６】
このような状態のもとでは、まず、その直上位置にある基板吸着・横搬送ユニット３２が備える各基板吸着パッド３９を下降させてそれぞれの吸着部３９ａを搬送レール２７，２７上の被検査基板Ｐに押し当てた上で吸引を開始し、該被検査基板Ｐを吸着した状態のもとで基板吸着パッド３９を上昇させることで被検査基板Ｐを持ち上げる。
【００３７】
しかる後、今回搬入された被検査基板Ｐが図示しない基板外観検査装置により例えば不良品であると判別された場合には、アンローダー搬送ユニット２２における搬送レール２７，２７をそれぞれの開閉シリンダ２８を介して開方向へと移動させる。
【００３８】
搬送レール２７，２７を開いた後は、基板吸着・横搬送ユニット３２の全体を下降させ、アンローダー搬送ユニット２２の下方に控える一側リフター４２としての不良品用リフター４３の載置台４４上に被検査基板Ｐを位置させた上で、基板吸着パッド３９による吸着状態を解除することで載置台４４上に被検査基板Ｐを置き去るようにして積載する。
【００３９】
不基板吸着・横搬送ユニット３２は、不良品の被検査基板Ｐを一側リフター４２としての不良品用リフター４３側に積載した後に初期状態位置に復帰させた上で、次の被検査基板Ｐがアンローダー搬送ユニット２２を介して搬送レール２７，２７上の所定位置へと搬送されるのを待つ。
【００４０】
搬送レール２７，２７上の所定位置に次の被検査基板Ｐが搬送された後は、その直上位置にある基板吸着・横搬送ユニット３２が備える各基板吸着パッド３９を下降させてそれぞれの吸着部３９ａを搬送レール２７，２７上の被検査基板Ｐに押し当てた上で吸引を開始し、該被検査基板Ｐを吸着した状態のもとで基板吸着パッド３９を上昇させることで被検査基板Ｐを持ち上げる。
【００４１】
このとき、今回の被検査基板Ｐが基板外観検査装置により不良品であると再び判別された場合は、上記した処理手順のもとで処理されることになる。しかし、良品であると判別された場合には、基板吸着・横搬送ユニット３２が備える駆動制御部３５を駆動させて摺動部３４をガイド部３３を介して横移動させることで、被検査基板Ｐを一側リフター４２である不良品用リフター４３と横並びに配設されている他側リフター５２としての良品用リフター５３の直上位置へと搬送する。
【００４２】
しかる後、基板吸着・横搬送ユニット３２側を下降させ、その直下に位置している他側リフター５２である良品用リフター５３の載置台５４上に被検査基板Ｐを位置させた上で、各基板吸着パッド３９による空気引き状態を解除することで載置台５４上に被検査基板Ｐを置き去るようにして積載する。
【００４３】
基板吸着・横搬送ユニット３２は、良品の被検査基板Ｐを他側リフター５２である良品用リフター５３側に積載した後に初期状態位置に復帰させた上で、次の被検査基板Ｐがアンローダー搬送ユニット２２を介して搬送レール２７，２７上の所定位置へと搬送されるのを待つ。以後、被検査基板Ｐの良否の別に応じて同様の処理が繰り返される。
【００４４】
このため、本発明によれば、被検査基板Ｐが不良品であれば、初期状態位置にある基板吸着・横搬送ユニット３２の直下に配設されている一側リフター４２である不良品用リフター４３の載置台４４上に、良品であれば基板吸着・横搬送ユニット３２を横移動させて該不良品用リフター４３と横並びに配設されている他側リフター５２である良品用リフター５３の載置台５４上に、それぞれそっと乗せ置くようにして置き去ることができるので、傷付けるなどのダメージを与えることなく良否の別に仕分けて検査済みの被検査基板Ｐを回収することができる。
【００４５】
また、検査済みの被検査基板Ｐは、例えばアンローダー搬送ユニット２２の搬送レール２７，２７相互を開いて下方に落下させるというプロセスをなくし、基板吸着・横搬送ユニット３２側を下降させることで１枚ずつつ確実に積み上げていくことができるので、被検査基板Ｐの積載山が崩れてその積載順が不明となって検査時の撮像順と整合しなくなって再検査を余儀なくせざるを得なくなるというような不測の事態の発生をなくすことができる。
【００４６】
さらに、基板吸着・横搬送ユニット３２は、アンローダー搬送ユニット２２の直下に配置された一側リフター４２である不良品用リフター４３と、該不良品用リフター４３とは横並びに配置された他側リフター５２である良品用リフター５３との上方を横移動させる配置関係を採用したことにより、機構全体をそれだけコンパクト化することで、省スペース化の要請にも対応させることができる。
【００４７】
また、一側リフター４２を不良品リフター４３として、他側リフター５２を良品リフター５３としてそれぞれを配設する場合には、良品と判別される圧倒的に多数の被検査基板Ｐの仕分けは、アンローダー搬送ユニット２２側に搬送レール２７の拡開動作を行わせることなく、直ちに基板吸着・横搬送ユニット３２を良品リフター５３側に横移動させて良品基板を載置することで行うことができるので、それだけ仕分け処理時間の短縮化を図ることができる。
【符号の説明】
【００４８】
１１ 検査済み基板仕分け回収機構
１２ 装置本体
１３ 基台
１４ 支枠材
２２ アンローダー搬送ユニット
２３ 支脚部
２４ 支持部材
２４ａ 始端部
２４ｂ 終端部
２５ 支杆材
２６ ガイド支杆
２７ 搬送レール
２８ 開閉シリンダ
３２ 基板吸着・横搬送ユニット
３３ ガイド部材
３４ 摺動部
３５ 駆動制御部
３６ 介在部材
３７ 方形囲枠材
３８対向辺
３８ａ 始端部
３８ｂ 終端部
３９ 基板吸着パッド
３９ａ 吸着部
４０ 接続口
４１ 駆動ベルト
４１ａ 開放端部
４２ 一側リフター
４３ 不良品用リフター
４４ 載置台
５２ 他側リフター
５３ 良品用リフター
５４ 載置台
Ｐ 被検査基板
【特許請求の範囲】
【請求項１】
検査を終えて搬入された被検査基板を所定位置にまで搬送する一対の搬送レールをレール幅の拡開を可能にして具備させたアンローダー搬送ユニットと、前記搬送レール上の前記被検査基板の吸着昇降と横移動とを可能にして配設される基板吸着・横搬送ユニットと、前記アンローダー搬送ユニットの直下位置に配設される一側リフターと、前記基板吸着・横搬送ユニットの横移動方向での前記一側リフターの横並び位置に配設される他側リフターとを備え、
前記一側リフターには、前記基板吸着・横搬送ユニットを介して良否判別後のいずれか一方の前記被検査基板を載置させ、前記他側リフターには、前記基板吸着・横搬送ユニットを介して良否判別後の他方の前記被検査基板を載置させることで、被検査基板の良否別の仕分け回収を可能としたことを特徴とする検査済み基板仕分け回収機構。
【請求項２】
前記一側リフターを不良品リフターとし、前記他側リフターを良品リフターとした請求項１に記載の検査済み基板仕分け回収機構。
【請求項１】
検査を終えて搬入された被検査基板を所定位置にまで搬送する一対の搬送レールをレール幅の拡開を可能にして具備させたアンローダー搬送ユニットと、前記搬送レール上の前記被検査基板の吸着昇降と横移動とを可能にして配設される基板吸着・横搬送ユニットと、前記アンローダー搬送ユニットの直下位置に配設される一側リフターと、前記基板吸着・横搬送ユニットの横移動方向での前記一側リフターの横並び位置に配設される他側リフターとを備え、
前記一側リフターには、前記基板吸着・横搬送ユニットを介して良否判別後のいずれか一方の前記被検査基板を載置させ、前記他側リフターには、前記基板吸着・横搬送ユニットを介して良否判別後の他方の前記被検査基板を載置させることで、被検査基板の良否別の仕分け回収を可能としたことを特徴とする検査済み基板仕分け回収機構。
【請求項２】
前記一側リフターを不良品リフターとし、前記他側リフターを良品リフターとした請求項１に記載の検査済み基板仕分け回収機構。
【図１】
【図２】
【図３】
【図２】
【図３】
【公開番号】特開２０１１−２２８４１３（Ｐ２０１１−２２８４１３Ａ）
【公開日】平成２３年１１月１０日（２０１１．１１．１０）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２０１０−９５６０１（Ｐ２０１０−９５６０１）
【出願日】平成２２年４月１９日（２０１０．４．１９）
【出願人】（０００２２７１８０）日置電機株式会社 (982)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２３年１１月１０日（２０１１．１１．１０）
【国際特許分類】
【出願日】平成２２年４月１９日（２０１０．４．１９）
【出願人】（０００２２７１８０）日置電機株式会社 (982)
【Ｆターム（参考）】
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