水平搬送型表面処理装置
【課題】板体が、薄物（例えば厚み０．０６ｍｍ未満）搬送時であっても、板体の搬送性を確保しながら、表面処理を効率よく行うことができる水平搬送型表面処理装置を提供する。
【解決手段】板体５を上下のローラ１〜３で挟持し水平搬送しながら、板体に表面処理液を接触させて表面処理を施す装置において、スプレーにより液を噴射するスプレー領域２３と、このスプレー領域より下流にて板体に付着した液体を液切りする液切り領域２４を備え、上記スプレー領域が板体を搬送する搬送ローラ１を有し、上記液切り領域が板体を搬送し液切りする搬送ローラ２を有し、上記搬送ローラ１の径を搬送ローラ２の径よりも大とする水平搬送型表面処理装置。
【解決手段】板体５を上下のローラ１〜３で挟持し水平搬送しながら、板体に表面処理液を接触させて表面処理を施す装置において、スプレーにより液を噴射するスプレー領域２３と、このスプレー領域より下流にて板体に付着した液体を液切りする液切り領域２４を備え、上記スプレー領域が板体を搬送する搬送ローラ１を有し、上記液切り領域が板体を搬送し液切りする搬送ローラ２を有し、上記搬送ローラ１の径を搬送ローラ２の径よりも大とする水平搬送型表面処理装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、板体（板状ワーク）を上下のローラで挟むようにして水平に搬送しながら、板体に粗化処理等の表面処理を施す水平搬送型表面処理装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
水平搬送型表面処理装置は、図５に示すように、板体を上側ローラ２０と下側ローラ２１とで挟むようにして水平搬送しながら、板体に対して上下からスプレーノズル４により表面処理液を噴霧し、表面処理を施す。
板体の搬送経路は、スプレーノズル４により板体に表面処理液を接触させるスプレー領域２３と、このスプレー領域より下流にて板体に付着した液体を液切する液切領域２４の組合せになる。
そして、図６に示すように、スプレー領域２３には、表面処理液と板体を効率よく接触させるため、軸棒の周囲に適宜間隔を設けてリングを固着させたリングローラ２５を用い、液切領域２４には、液切り性能を確保するため、ストレートローラ２６を用いている。
更に、リングローラ２５とストレートローラ２６とは、共通の回転駆動シャフトにより回転させるため、同じ径のものを用いている。
【０００３】
液切領域２４におけるストレートローラ間の水平方向距離は、相互のローラが干渉しないように、ローラ外径より大きくなっている。一方のスプレー領域２３では、板体上にスプレーの力及び表面処理液の重量が掛かっているので、搬送性を確保するため、リングローラが互い違いでオーバーラップしており、ローラ間の水平方向距離は、ローラ外径より小さくなっている。
【０００４】
図５及び図６にて説明した水平搬送型表面処理装置は、主にプリント配線板の製造工程に用いられることが多く、近年の電子機器に対する小型化、軽量化の影響を受け、それに使用されるプリント配線板も薄葉化が進み、搬送性を確保するため、ローラの外径が小さくなってきている。
【特許文献１】特開２０００−３１５８４９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、ローラの外径を小さくすることは、即ち、ローラ間の距離が狭くなり、スプレー領域において、板体とスプレーとの間に介在するリングローラ及びシャフトにより、スプレーから噴霧される液体が板体に降りかかる面積を減少させ、表面処理液と板体との接触効率が悪くなる課題がある。
【０００６】
また、ローラ間の距離が狭くなるにつれ、駆動受動歯車取り付け寸法の制約で、メインの駆動シャフトを装置の表側と裏側の両方で取り付ける必要が生じる可能性があり、このようになると、清掃点検等のメンテナンスのため、装置の表側と裏側の両方で点検窓を取り付ける必要性がでてくる。
【０００７】
更に、ローラ間の距離が狭くなるにつれ、部品総数が増えるため、装置の製造コストが上がる上に、メンテナンスの手間が増えて、作業効率が悪くなる。
【０００８】
本発明は、板体が、薄物（例えば厚み０．０６ｍｍ未満）搬送時であっても、板体の搬送性を確保しながら、表面処理を効率よく行うことができる水平搬送型表面処理装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明は、以下のものに関する。
（１）板体を上下のローラで挟持し水平搬送しながら、上記板体に表面処理液を接触させて表面処理を施す装置において、スプレーにより液を噴射するスプレー領域と、このスプレー領域より下流にて板体に付着した液体を液切りする液切り領域を備え、上記スプレー領域が板体を搬送する搬送ローラＡを有し、上記液切り領域が板体を搬送し液切りする搬送ローラＢを有し、上記搬送ローラＡの径を搬送ローラＢの径よりも大とする水平搬送型表面処理装置。
（２）項（１）において、搬送ローラＡ、Ｂが共通の回転シャフトからの回転力を用いて回転させられる水平搬送型表面処理装置。
（３）項（１）又は（２）において、搬送ローラＡと搬送ローラＢとが、同じ周速度にて回転させられる水平搬送型表面処理装置。
（４）項（１）乃至（３）の何れかにおいて、搬送ローラＡ及び搬送ローラＢが、各々のローラを駆動する駆動歯車Ａ、駆動歯車Ｂを転位させ、駆動シャフトの中心から搬送ローラの上面までの距離を同じとする水平搬送型表面処理装置。
（５）項（１）乃至（４）の何れかにおいて、搬送ローラＡと搬送ローラＢとが、その間に搬送ローラＢと同径の搬送ローラＣを設置される水平搬送型表面処理装置。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、スプレー領域に使用されるローラの径と、液切り領域に使用されるローラの径とで、その径を変化させることにより、板体が薄物であっても、搬送性を確保しながら、表面処理を効率よく行うことができる。
より詳細に述べると、液切領域の搬送ローラＢの径を小さくしたまま、スプレー領域の搬送ローラＡの水平方向ローラ間距離を十分に確保できるので、スプレー領域で液とワークを効率よく接触させることができる。
また、搬送ローラＡと、搬送ローラＢとを、共通の回転シャフトからの回転力を用いて回転させることにより、異なる径の搬送ローラＡと搬送ローラＢであっても、一つの駆動力で回転させることができるので、装置コストやメンテナンス作業を低減することができる。
更に、搬送ローラＡと、搬送ローラＢとを、同じ周速度にて回転させることにより、異なる径の搬送ローラＡと搬送ローラＢであっても、スプレー領域と液切領域の搬送速度を同じにできるので、安定した搬送を行うことができる。
搬送ローラＡ、Ｂの駆動歯車Ａ、Ｂを転位させ、駆動シャフトの中心から搬送ローラの上面までの距離（即ちパスライン）を同じとすることにより、異なる径の搬送ローラＡと搬送ローラＢを共通の回転シャフトからの回転力を用いて回転させても、板体を直線的に搬送することができるので、板体の曲りや折れを防止することができる。
搬送ローラＡと搬送ローラＢとの間に搬送ローラＢと同径の搬送ローラＣ（リングローラ）を設置し、搬送ローラＡと搬送ローラＢとの距離を小さくすることにより、搬送ローラＡと搬送ローラＢ間における、板体の乗り継ぎをより安定させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
本発明にて述べる板体とは、上下に略平面を有したものであり、平面視での形状は特に限定されるものでなく、三角形、四角形、五角形、六角形等の多角形、曲線形状等とすることができる。より具体的には、半導体業界で使われているガラス基板やリードフレーム、プリント基板業界で使われている積層板やフレキシブル基板等である。
【００１２】
本発明にて述べるスプレー領域とは、板体に対しスプレーノズルにより表面処理液を噴射できる領域を示し、スプレーノズルは、上面のみ、下面のみ、上下面両方等、任意に設置することができる。
また、スプレーノズルを上下に配置した場合は、その噴射圧を上下で等しくしても、異ならせても良い。
【００１３】
本発明にて述べる液切領域とは、先に述べたスプレー領域の下流に配置され、板体に付着した表面処理液を液切できる領域を示す。
尚、液切りは、具体的にはストレートローラや吸水ローラなどにより行われる。
【００１４】
本発明にて述べる搬送ローラＡとは、シャフトと、このシャフトに固着されているリングコマとを備えたリングローラを意味する。
【００１５】
本発明にて述べる搬送ローラＢとは、シャフトと、このシャフトに固着されているゴム等の弾性体で構成されているストレートローラを意味する。
【００１６】
本発明にて述べる搬送ローラＣとは、シャフトと、このシャフトに固着されているリングコマとを備えたリングローラを意味する。搬送ローラＣのリングコマの外径は搬送ローラＢと同じで、リングコマ間ピッチは搬送ローラＡと同じである。
【００１７】
本発明にて述べる回転シャフトとは、シャフトと、このシャフトに固着されている駆動歯車とを備えたものであり、搬送ローラに対し回転力を伝達する。
【００１８】
本発明にて述べる周速度とは、搬送ローラ外周上の点が、単位時間当たりに走行する距離である。異なる径のローラに対し、同じ周速度にするためには、搬送ローラ外径別に駆動装置を設け、回転速度を調整する方法と、同一の駆動系で噛合い歯車の歯数を調整する方法があるが、部品点数を減らせることから、後者の方法を用いることが好ましい。
【実施例】
【００１９】
本実施例の板状ワークの水平搬送型表面処理装置は、厚さ０．１ｍｍ未満である薄物板状ワークを主として表面処理するものである。図１は本実施例の板状ワークの水平搬送型表面処理装置に用いる上下のローラを示す正面図、図２は隣接ローラや点検窓を含んだ平面図、図３は上下搬送ローラＡ及び駆動歯車を含んだ図２のＧ−Ｇ断面に相当する図、図４は上下搬送ローラＢ及び駆動歯車を含んだ図２のＨ−Ｈ断面に相当する図である
【００２０】
本実施例では、搬送ローラＡ１が、外径１０ｍｍのステンレスシャフトと、外径ΦＡ＝４５ｍｍの樹脂リングコマで構成されたリングローラであり、搬送ローラＢ２が、外径１０ｍｍのステンレスシャフトと、外径ΦＢ＝３０ｍｍのゴムで構成されたストレートローラで、搬送ローラＣ３が、外径１０ｍｍのステンレスシャフトと外径３０ｍｍの樹脂リングコマで構成されたリングローラである。搬送ローラＡの間の距離Ｐａ（図１参照）は３０ｍｍで、搬送ローラＢの間の距離Ｐｂ（図１参照）は３２ｍｍとしている。
【００２１】
スプレー領域２３で、ローラのシャフトによって隠されている部分の比率は、０．３３（シャフト外径：搬送ローラＡ間距離Ｐａ＝１０：３０＝０．３３）となっている。
【００２２】
図７は、本発明と従来装置の搬送ローラＡのリングローラ寸法比較図である。左図は本発明で、右図は従来装置である。ここで、Φ１＝４５、Φ２＝３０、Φ３＝１０、Ｐ１＝３０、Ｐ２＝２６とすると、Θ１＝９６°、Θ２＝６０°、ｈ１＝５．７、ｈ２＝７．５である。ｈ１とｈ２は板状ワークがローラ間を乗り継ぐときに、板状ワーク５の端部が垂下がる最大量であり、当然ながら垂下がりが多いほど板状ワーク５の曲り、折れ、ローラへの巻込みが発生しやすくなり、搬送性が悪化する。本発明によればコマ外径を大きくすることによってローラ間ピッチを広くしても、板状ワーク５の垂下がりを少なくすることができ、従来装置同等以上の搬送性が確保できる。
【００２３】
図３と図４において、受動歯車Ａ８及び受動歯車Ｂ１４の歯数は同じ９で、駆動歯車Ａ９の歯数ＴＡは１２で、駆動歯車Ａ１５の歯数ＴＢは１８である。ここで、搬送ローラＡ１のリングローラ外径ΦＡ、搬送ローラＢ２のストレートローラ外径ΦＢ、駆動歯車Ａ９の歯数ＴＡ、駆動歯車Ａ１５の歯数ＴＢとの間にΦＡ：ΦＢ＝ＴＢ：ＴＡ（４５：３０＝１８：１２）の関係が成立し、同一の駆動軸で搬送ローラＡと搬送ローラＢを同じ周速度（即ち搬送速度）で回転させることができる。
【００２４】
受動歯車Ａ８及び受動歯車Ｂ１４はモジュール２（モジュール：歯車の歯の大きさを表す指標）、ネジレ角４５°、歯数９で、駆動歯車Ａ９はモジュール２、ネジレ角４５°、歯数１２で、駆動歯車Ａ１５はモジュール２、ネジレ角４５°、歯数１８である。
このままだと、駆動歯車Ａ９と駆動歯車Ａ１５の直径が異なるので、スプレー領域２３の駆動歯車Ａ９中心から下側搬送ローラＡ１２の上面までの距離Ｈａが５２．２ｍｍ、液切り領域の駆動歯車Ａ１５中心から下側搬送ローラＢ１６の上面までの距離Ｈｂが５３．２ｍｍとなり、液切り領域のパスラインの高さがスプレー領域２３のパスラインより１．０ｍｍ高くなるため、板体ワーク５の搬送に支障がある。
そこで、駆動歯車Ａ９をプラス転位（転位係数０．３）、駆動歯車Ａ１５をマイナス転位（転位係数−０．２）させることによって、駆動シャフト中心からローラ上面の距離ＨａとＨｂは同じ５２．６ｍｍになるため、パスラインが同じとなり、スムーズなワーク搬送ができる。
なお、本実施例では上側の搬送ローラには駆動が必要ではなかったため、フリーローラとしているが、上側搬送ローラにも駆動が必要な場合であっても、下側ローラと同様にしてパスラインを合わせることができる。
【００２５】
図５は従来装置の正面図であり、図６は従来装置の平面図である。本実施例と従来装置のどちらでも、受動歯車Ａ８と受動歯車Ｂ１４は共に安定搬送するため、最低歯数９を必要とし、歯先円直径が２９．５ｍｍとなる。従来装置は板状ワーク５を安定して搬送するために、スプレー領域２３のローラ間距離を２６ｍｍ以下にする必要があるので、受動歯車同士が干渉し、両側駆動としなければならない。一方、本発明では搬送ローラＡ１の径を大きくすることにより、スプレー領域２３と液切領域２４の両方ともローラ間距離を３０ｍｍ以上にすることができるため、表側の片側駆動ですべてのローラを回転させることができる。その結果、裏側のローラガイドと外壁間の距離Ｅを短縮することができ（−１００ｍｍ）、裏側点検窓７も省略できる（−１５０ｍｍ）ので、従来装置より装置巾を２５０ｍｍ狭くすることができる。
また、片側駆動とすることでメンテナンスが容易で安価な装置とすることができる。
【００２６】
図８は搬送ローラＣの役割を説明する図である。搬送ローラＣがない場合、搬送ローラＢ２はストレートローラであるため、搬送ローラＡ１とオーバーラップできないので、ローラ間の距離Ｐ３がローラ半径の和以上（３９ｍｍ）必要となり、板状ワーク５の搬送性が低下する要因となる。搬送ローラＣ３を追加することによって、搬送ローラＡ１と搬送ローラＣ３間の距離Ｐ４が３０、搬送ローラＣ３と搬送ローラＢ２間の距離Ｐ５が３２となり、搬送ローラＢ２間距離と同等にすることができるので、板状ワーク５の搬送性を確保できる。
【００２７】
以上によって、薄物板状ワーク搬送時でも、ワークの搬送性を確保しながら、表面処理を効率よく行うことができ、且つコンパクトでメンテナンスが容易で安価に製造できる水平搬送型表面処理装置を製造できる。
【図面の簡単な説明】
【００２８】
【図１】は板状ワークの水平搬送型表面処理装置に用いる上下のローラを示す正面図である。
【図２】は隣接ローラや点検窓を含めた平面図である。
【図３】は上下搬送ローラＡ及び駆動歯車を含んだ図２のＧ−Ｇ断面に相当する図である。
【図４】は上下搬送ローラＢ及び駆動歯車を含んだ図２のＨ−Ｈ断面に相当する図である。
【図５】は従来装置の正面図である。
【図６】は従来装置の平面図である。
【図７】は本発明と従来装置の搬送ローラＡのリングローラ寸法比較図である。
【図８】は搬送ローラＣの役割を説明する図である。
【符号の説明】
【００２９】
１．スプレー領域に使われるリングローラ（搬送ローラＡ）
２．液切領域で使われるストレートローラ（搬送ローラＢ）
３．スプレー領域と液切領域との境界で使われるリングローラ（搬送ローラＣ）
４．スプレーノズル
５．板状ワーク
６．表側点検窓
７．裏側点検窓
８．受動歯車Ａ
９．駆動歯車Ａ
１０．コンベアガイド
１１．ローラシャフト用軸受け
１２．下側搬送ローラＡ
１３．上側搬送ローラＡ
１４．受動歯車Ｂ
１５．駆動歯車Ａ
１６．下側搬送ローラＢ
１７．上側搬送ローラＢ
２０．上側ローラ
２１．下側ローラ
２３．スプレー領域
２４．液切領域
２５．リングローラ
２６．ストレートローラ
Ｐａ．リングローラ間距離
Ｐｂ．ストレートローラ間距離
ΦＡ．リングローラ外径
ΦＢ．ストレートローラ外径
Ｈａ．リングローラ部駆動歯車中心から下側搬送ローラＡの上面までの距離
Ｈｂ．ストレートローラ部駆動歯車中心から下側搬送ローラＢ上面までの距離
Φ１．本発明リングローラ外径
Φ２．従来装置リングローラ外径
Φ３．ローラシャフト外径
Ｐ１．本発明リングローラ間距離
Ｐ２．従来装置リングローラ間距離
θ１．本発明リングローラ交点での接線間角度
θ２．従来装置リングローラ交点での接線間角度
ｈ１．本発明リングローラ上面頂点からリングローラ交点までの距離
ｈ２．従来装置リングローラ上面頂点からリングローラ交点までの距離
Ｐ３．搬送ローラＣ未適用時搬送ローラＡと搬送ローラＢ間の距離
Ｐ４．搬送ローラＣ適用時の搬送ローラＡと搬送ローラＣ間の距離
Ｐ５．搬送ローラＣ適用時の搬送ローラＣと搬送ローラＢ間の距離
Ｃ．ローラガイド巾寸法
Ｄ．表側ローラガイドと装置外壁間の距離
Ｅ．裏側ローラガイドと装置外壁間の距離
Ｆ．点検窓の寸法
【技術分野】
【０００１】
本発明は、板体（板状ワーク）を上下のローラで挟むようにして水平に搬送しながら、板体に粗化処理等の表面処理を施す水平搬送型表面処理装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
水平搬送型表面処理装置は、図５に示すように、板体を上側ローラ２０と下側ローラ２１とで挟むようにして水平搬送しながら、板体に対して上下からスプレーノズル４により表面処理液を噴霧し、表面処理を施す。
板体の搬送経路は、スプレーノズル４により板体に表面処理液を接触させるスプレー領域２３と、このスプレー領域より下流にて板体に付着した液体を液切する液切領域２４の組合せになる。
そして、図６に示すように、スプレー領域２３には、表面処理液と板体を効率よく接触させるため、軸棒の周囲に適宜間隔を設けてリングを固着させたリングローラ２５を用い、液切領域２４には、液切り性能を確保するため、ストレートローラ２６を用いている。
更に、リングローラ２５とストレートローラ２６とは、共通の回転駆動シャフトにより回転させるため、同じ径のものを用いている。
【０００３】
液切領域２４におけるストレートローラ間の水平方向距離は、相互のローラが干渉しないように、ローラ外径より大きくなっている。一方のスプレー領域２３では、板体上にスプレーの力及び表面処理液の重量が掛かっているので、搬送性を確保するため、リングローラが互い違いでオーバーラップしており、ローラ間の水平方向距離は、ローラ外径より小さくなっている。
【０００４】
図５及び図６にて説明した水平搬送型表面処理装置は、主にプリント配線板の製造工程に用いられることが多く、近年の電子機器に対する小型化、軽量化の影響を受け、それに使用されるプリント配線板も薄葉化が進み、搬送性を確保するため、ローラの外径が小さくなってきている。
【特許文献１】特開２０００−３１５８４９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、ローラの外径を小さくすることは、即ち、ローラ間の距離が狭くなり、スプレー領域において、板体とスプレーとの間に介在するリングローラ及びシャフトにより、スプレーから噴霧される液体が板体に降りかかる面積を減少させ、表面処理液と板体との接触効率が悪くなる課題がある。
【０００６】
また、ローラ間の距離が狭くなるにつれ、駆動受動歯車取り付け寸法の制約で、メインの駆動シャフトを装置の表側と裏側の両方で取り付ける必要が生じる可能性があり、このようになると、清掃点検等のメンテナンスのため、装置の表側と裏側の両方で点検窓を取り付ける必要性がでてくる。
【０００７】
更に、ローラ間の距離が狭くなるにつれ、部品総数が増えるため、装置の製造コストが上がる上に、メンテナンスの手間が増えて、作業効率が悪くなる。
【０００８】
本発明は、板体が、薄物（例えば厚み０．０６ｍｍ未満）搬送時であっても、板体の搬送性を確保しながら、表面処理を効率よく行うことができる水平搬送型表面処理装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明は、以下のものに関する。
（１）板体を上下のローラで挟持し水平搬送しながら、上記板体に表面処理液を接触させて表面処理を施す装置において、スプレーにより液を噴射するスプレー領域と、このスプレー領域より下流にて板体に付着した液体を液切りする液切り領域を備え、上記スプレー領域が板体を搬送する搬送ローラＡを有し、上記液切り領域が板体を搬送し液切りする搬送ローラＢを有し、上記搬送ローラＡの径を搬送ローラＢの径よりも大とする水平搬送型表面処理装置。
（２）項（１）において、搬送ローラＡ、Ｂが共通の回転シャフトからの回転力を用いて回転させられる水平搬送型表面処理装置。
（３）項（１）又は（２）において、搬送ローラＡと搬送ローラＢとが、同じ周速度にて回転させられる水平搬送型表面処理装置。
（４）項（１）乃至（３）の何れかにおいて、搬送ローラＡ及び搬送ローラＢが、各々のローラを駆動する駆動歯車Ａ、駆動歯車Ｂを転位させ、駆動シャフトの中心から搬送ローラの上面までの距離を同じとする水平搬送型表面処理装置。
（５）項（１）乃至（４）の何れかにおいて、搬送ローラＡと搬送ローラＢとが、その間に搬送ローラＢと同径の搬送ローラＣを設置される水平搬送型表面処理装置。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、スプレー領域に使用されるローラの径と、液切り領域に使用されるローラの径とで、その径を変化させることにより、板体が薄物であっても、搬送性を確保しながら、表面処理を効率よく行うことができる。
より詳細に述べると、液切領域の搬送ローラＢの径を小さくしたまま、スプレー領域の搬送ローラＡの水平方向ローラ間距離を十分に確保できるので、スプレー領域で液とワークを効率よく接触させることができる。
また、搬送ローラＡと、搬送ローラＢとを、共通の回転シャフトからの回転力を用いて回転させることにより、異なる径の搬送ローラＡと搬送ローラＢであっても、一つの駆動力で回転させることができるので、装置コストやメンテナンス作業を低減することができる。
更に、搬送ローラＡと、搬送ローラＢとを、同じ周速度にて回転させることにより、異なる径の搬送ローラＡと搬送ローラＢであっても、スプレー領域と液切領域の搬送速度を同じにできるので、安定した搬送を行うことができる。
搬送ローラＡ、Ｂの駆動歯車Ａ、Ｂを転位させ、駆動シャフトの中心から搬送ローラの上面までの距離（即ちパスライン）を同じとすることにより、異なる径の搬送ローラＡと搬送ローラＢを共通の回転シャフトからの回転力を用いて回転させても、板体を直線的に搬送することができるので、板体の曲りや折れを防止することができる。
搬送ローラＡと搬送ローラＢとの間に搬送ローラＢと同径の搬送ローラＣ（リングローラ）を設置し、搬送ローラＡと搬送ローラＢとの距離を小さくすることにより、搬送ローラＡと搬送ローラＢ間における、板体の乗り継ぎをより安定させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
本発明にて述べる板体とは、上下に略平面を有したものであり、平面視での形状は特に限定されるものでなく、三角形、四角形、五角形、六角形等の多角形、曲線形状等とすることができる。より具体的には、半導体業界で使われているガラス基板やリードフレーム、プリント基板業界で使われている積層板やフレキシブル基板等である。
【００１２】
本発明にて述べるスプレー領域とは、板体に対しスプレーノズルにより表面処理液を噴射できる領域を示し、スプレーノズルは、上面のみ、下面のみ、上下面両方等、任意に設置することができる。
また、スプレーノズルを上下に配置した場合は、その噴射圧を上下で等しくしても、異ならせても良い。
【００１３】
本発明にて述べる液切領域とは、先に述べたスプレー領域の下流に配置され、板体に付着した表面処理液を液切できる領域を示す。
尚、液切りは、具体的にはストレートローラや吸水ローラなどにより行われる。
【００１４】
本発明にて述べる搬送ローラＡとは、シャフトと、このシャフトに固着されているリングコマとを備えたリングローラを意味する。
【００１５】
本発明にて述べる搬送ローラＢとは、シャフトと、このシャフトに固着されているゴム等の弾性体で構成されているストレートローラを意味する。
【００１６】
本発明にて述べる搬送ローラＣとは、シャフトと、このシャフトに固着されているリングコマとを備えたリングローラを意味する。搬送ローラＣのリングコマの外径は搬送ローラＢと同じで、リングコマ間ピッチは搬送ローラＡと同じである。
【００１７】
本発明にて述べる回転シャフトとは、シャフトと、このシャフトに固着されている駆動歯車とを備えたものであり、搬送ローラに対し回転力を伝達する。
【００１８】
本発明にて述べる周速度とは、搬送ローラ外周上の点が、単位時間当たりに走行する距離である。異なる径のローラに対し、同じ周速度にするためには、搬送ローラ外径別に駆動装置を設け、回転速度を調整する方法と、同一の駆動系で噛合い歯車の歯数を調整する方法があるが、部品点数を減らせることから、後者の方法を用いることが好ましい。
【実施例】
【００１９】
本実施例の板状ワークの水平搬送型表面処理装置は、厚さ０．１ｍｍ未満である薄物板状ワークを主として表面処理するものである。図１は本実施例の板状ワークの水平搬送型表面処理装置に用いる上下のローラを示す正面図、図２は隣接ローラや点検窓を含んだ平面図、図３は上下搬送ローラＡ及び駆動歯車を含んだ図２のＧ−Ｇ断面に相当する図、図４は上下搬送ローラＢ及び駆動歯車を含んだ図２のＨ−Ｈ断面に相当する図である
【００２０】
本実施例では、搬送ローラＡ１が、外径１０ｍｍのステンレスシャフトと、外径ΦＡ＝４５ｍｍの樹脂リングコマで構成されたリングローラであり、搬送ローラＢ２が、外径１０ｍｍのステンレスシャフトと、外径ΦＢ＝３０ｍｍのゴムで構成されたストレートローラで、搬送ローラＣ３が、外径１０ｍｍのステンレスシャフトと外径３０ｍｍの樹脂リングコマで構成されたリングローラである。搬送ローラＡの間の距離Ｐａ（図１参照）は３０ｍｍで、搬送ローラＢの間の距離Ｐｂ（図１参照）は３２ｍｍとしている。
【００２１】
スプレー領域２３で、ローラのシャフトによって隠されている部分の比率は、０．３３（シャフト外径：搬送ローラＡ間距離Ｐａ＝１０：３０＝０．３３）となっている。
【００２２】
図７は、本発明と従来装置の搬送ローラＡのリングローラ寸法比較図である。左図は本発明で、右図は従来装置である。ここで、Φ１＝４５、Φ２＝３０、Φ３＝１０、Ｐ１＝３０、Ｐ２＝２６とすると、Θ１＝９６°、Θ２＝６０°、ｈ１＝５．７、ｈ２＝７．５である。ｈ１とｈ２は板状ワークがローラ間を乗り継ぐときに、板状ワーク５の端部が垂下がる最大量であり、当然ながら垂下がりが多いほど板状ワーク５の曲り、折れ、ローラへの巻込みが発生しやすくなり、搬送性が悪化する。本発明によればコマ外径を大きくすることによってローラ間ピッチを広くしても、板状ワーク５の垂下がりを少なくすることができ、従来装置同等以上の搬送性が確保できる。
【００２３】
図３と図４において、受動歯車Ａ８及び受動歯車Ｂ１４の歯数は同じ９で、駆動歯車Ａ９の歯数ＴＡは１２で、駆動歯車Ａ１５の歯数ＴＢは１８である。ここで、搬送ローラＡ１のリングローラ外径ΦＡ、搬送ローラＢ２のストレートローラ外径ΦＢ、駆動歯車Ａ９の歯数ＴＡ、駆動歯車Ａ１５の歯数ＴＢとの間にΦＡ：ΦＢ＝ＴＢ：ＴＡ（４５：３０＝１８：１２）の関係が成立し、同一の駆動軸で搬送ローラＡと搬送ローラＢを同じ周速度（即ち搬送速度）で回転させることができる。
【００２４】
受動歯車Ａ８及び受動歯車Ｂ１４はモジュール２（モジュール：歯車の歯の大きさを表す指標）、ネジレ角４５°、歯数９で、駆動歯車Ａ９はモジュール２、ネジレ角４５°、歯数１２で、駆動歯車Ａ１５はモジュール２、ネジレ角４５°、歯数１８である。
このままだと、駆動歯車Ａ９と駆動歯車Ａ１５の直径が異なるので、スプレー領域２３の駆動歯車Ａ９中心から下側搬送ローラＡ１２の上面までの距離Ｈａが５２．２ｍｍ、液切り領域の駆動歯車Ａ１５中心から下側搬送ローラＢ１６の上面までの距離Ｈｂが５３．２ｍｍとなり、液切り領域のパスラインの高さがスプレー領域２３のパスラインより１．０ｍｍ高くなるため、板体ワーク５の搬送に支障がある。
そこで、駆動歯車Ａ９をプラス転位（転位係数０．３）、駆動歯車Ａ１５をマイナス転位（転位係数−０．２）させることによって、駆動シャフト中心からローラ上面の距離ＨａとＨｂは同じ５２．６ｍｍになるため、パスラインが同じとなり、スムーズなワーク搬送ができる。
なお、本実施例では上側の搬送ローラには駆動が必要ではなかったため、フリーローラとしているが、上側搬送ローラにも駆動が必要な場合であっても、下側ローラと同様にしてパスラインを合わせることができる。
【００２５】
図５は従来装置の正面図であり、図６は従来装置の平面図である。本実施例と従来装置のどちらでも、受動歯車Ａ８と受動歯車Ｂ１４は共に安定搬送するため、最低歯数９を必要とし、歯先円直径が２９．５ｍｍとなる。従来装置は板状ワーク５を安定して搬送するために、スプレー領域２３のローラ間距離を２６ｍｍ以下にする必要があるので、受動歯車同士が干渉し、両側駆動としなければならない。一方、本発明では搬送ローラＡ１の径を大きくすることにより、スプレー領域２３と液切領域２４の両方ともローラ間距離を３０ｍｍ以上にすることができるため、表側の片側駆動ですべてのローラを回転させることができる。その結果、裏側のローラガイドと外壁間の距離Ｅを短縮することができ（−１００ｍｍ）、裏側点検窓７も省略できる（−１５０ｍｍ）ので、従来装置より装置巾を２５０ｍｍ狭くすることができる。
また、片側駆動とすることでメンテナンスが容易で安価な装置とすることができる。
【００２６】
図８は搬送ローラＣの役割を説明する図である。搬送ローラＣがない場合、搬送ローラＢ２はストレートローラであるため、搬送ローラＡ１とオーバーラップできないので、ローラ間の距離Ｐ３がローラ半径の和以上（３９ｍｍ）必要となり、板状ワーク５の搬送性が低下する要因となる。搬送ローラＣ３を追加することによって、搬送ローラＡ１と搬送ローラＣ３間の距離Ｐ４が３０、搬送ローラＣ３と搬送ローラＢ２間の距離Ｐ５が３２となり、搬送ローラＢ２間距離と同等にすることができるので、板状ワーク５の搬送性を確保できる。
【００２７】
以上によって、薄物板状ワーク搬送時でも、ワークの搬送性を確保しながら、表面処理を効率よく行うことができ、且つコンパクトでメンテナンスが容易で安価に製造できる水平搬送型表面処理装置を製造できる。
【図面の簡単な説明】
【００２８】
【図１】は板状ワークの水平搬送型表面処理装置に用いる上下のローラを示す正面図である。
【図２】は隣接ローラや点検窓を含めた平面図である。
【図３】は上下搬送ローラＡ及び駆動歯車を含んだ図２のＧ−Ｇ断面に相当する図である。
【図４】は上下搬送ローラＢ及び駆動歯車を含んだ図２のＨ−Ｈ断面に相当する図である。
【図５】は従来装置の正面図である。
【図６】は従来装置の平面図である。
【図７】は本発明と従来装置の搬送ローラＡのリングローラ寸法比較図である。
【図８】は搬送ローラＣの役割を説明する図である。
【符号の説明】
【００２９】
１．スプレー領域に使われるリングローラ（搬送ローラＡ）
２．液切領域で使われるストレートローラ（搬送ローラＢ）
３．スプレー領域と液切領域との境界で使われるリングローラ（搬送ローラＣ）
４．スプレーノズル
５．板状ワーク
６．表側点検窓
７．裏側点検窓
８．受動歯車Ａ
９．駆動歯車Ａ
１０．コンベアガイド
１１．ローラシャフト用軸受け
１２．下側搬送ローラＡ
１３．上側搬送ローラＡ
１４．受動歯車Ｂ
１５．駆動歯車Ａ
１６．下側搬送ローラＢ
１７．上側搬送ローラＢ
２０．上側ローラ
２１．下側ローラ
２３．スプレー領域
２４．液切領域
２５．リングローラ
２６．ストレートローラ
Ｐａ．リングローラ間距離
Ｐｂ．ストレートローラ間距離
ΦＡ．リングローラ外径
ΦＢ．ストレートローラ外径
Ｈａ．リングローラ部駆動歯車中心から下側搬送ローラＡの上面までの距離
Ｈｂ．ストレートローラ部駆動歯車中心から下側搬送ローラＢ上面までの距離
Φ１．本発明リングローラ外径
Φ２．従来装置リングローラ外径
Φ３．ローラシャフト外径
Ｐ１．本発明リングローラ間距離
Ｐ２．従来装置リングローラ間距離
θ１．本発明リングローラ交点での接線間角度
θ２．従来装置リングローラ交点での接線間角度
ｈ１．本発明リングローラ上面頂点からリングローラ交点までの距離
ｈ２．従来装置リングローラ上面頂点からリングローラ交点までの距離
Ｐ３．搬送ローラＣ未適用時搬送ローラＡと搬送ローラＢ間の距離
Ｐ４．搬送ローラＣ適用時の搬送ローラＡと搬送ローラＣ間の距離
Ｐ５．搬送ローラＣ適用時の搬送ローラＣと搬送ローラＢ間の距離
Ｃ．ローラガイド巾寸法
Ｄ．表側ローラガイドと装置外壁間の距離
Ｅ．裏側ローラガイドと装置外壁間の距離
Ｆ．点検窓の寸法
【特許請求の範囲】
【請求項１】
板体を上下のローラで挟持し水平搬送しながら、上記板体に表面処理液を接触させて表面処理を施す装置において、スプレーにより液を噴射するスプレー領域と、このスプレー領域より下流にて板体に付着した液体を液切りする液切り領域を備え、上記スプレー領域が板体を搬送する搬送ローラＡを有し、上記液切り領域が板体を搬送し液切りする搬送ローラＢを有し、上記搬送ローラＡの径を搬送ローラＢの径よりも大とする水平搬送型表面処理装置。
【請求項２】
請求項１において、搬送ローラＡ、Ｂが共通の回転シャフトからの回転力を用いて回転させられる水平搬送型表面処理装置。
【請求項３】
請求項１又は２において、搬送ローラＡと搬送ローラＢとが、同じ周速度にて回転させられる水平搬送型表面処理装置。
【請求項４】
請求項１乃至３の何れかにおいて、搬送ローラＡ及び搬送ローラＢが、各々のローラを駆動する駆動歯車Ａ、駆動歯車Ｂを転位させ、駆動シャフトの中心から搬送ローラの上面までの距離を同じとする水平搬送型表面処理装置。
【請求項５】
請求項１乃至４の何れかにおいて、搬送ローラＡと搬送ローラＢとが、その間に搬送ローラＢと同径の搬送ローラＣを設置される水平搬送型表面処理装置。
【請求項１】
板体を上下のローラで挟持し水平搬送しながら、上記板体に表面処理液を接触させて表面処理を施す装置において、スプレーにより液を噴射するスプレー領域と、このスプレー領域より下流にて板体に付着した液体を液切りする液切り領域を備え、上記スプレー領域が板体を搬送する搬送ローラＡを有し、上記液切り領域が板体を搬送し液切りする搬送ローラＢを有し、上記搬送ローラＡの径を搬送ローラＢの径よりも大とする水平搬送型表面処理装置。
【請求項２】
請求項１において、搬送ローラＡ、Ｂが共通の回転シャフトからの回転力を用いて回転させられる水平搬送型表面処理装置。
【請求項３】
請求項１又は２において、搬送ローラＡと搬送ローラＢとが、同じ周速度にて回転させられる水平搬送型表面処理装置。
【請求項４】
請求項１乃至３の何れかにおいて、搬送ローラＡ及び搬送ローラＢが、各々のローラを駆動する駆動歯車Ａ、駆動歯車Ｂを転位させ、駆動シャフトの中心から搬送ローラの上面までの距離を同じとする水平搬送型表面処理装置。
【請求項５】
請求項１乃至４の何れかにおいて、搬送ローラＡと搬送ローラＢとが、その間に搬送ローラＢと同径の搬送ローラＣを設置される水平搬送型表面処理装置。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【公開番号】特開２００９−１５８７９０（Ｐ２００９−１５８７９０Ａ）
【公開日】平成２１年７月１６日（２００９．７．１６）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００７−３３６８１５（Ｐ２００７−３３６８１５）
【出願日】平成１９年１２月２７日（２００７．１２．２７）
【出願人】（０００００４４５５）日立化成工業株式会社 (4,649)
【出願人】（５０１０４１１５９）日化設備エンジニアリング株式会社 (15)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２１年７月１６日（２００９．７．１６）
【国際特許分類】
【出願日】平成１９年１２月２７日（２００７．１２．２７）
【出願人】（０００００４４５５）日立化成工業株式会社 (4,649)
【出願人】（５０１０４１１５９）日化設備エンジニアリング株式会社 (15)
【Ｆターム（参考）】
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