液体噴射装置
【課題】構造や製造工程が簡素化してコスト低減が可能となる液体噴射装置を提供する。
【解決手段】ノズル開口３が穿設されたノズルプレート１７と、上記ノズル開口３に連通する圧力発生室２ならびに上記圧力発生室２に連通する圧力発生室２以外の流路空間としてインク貯留室４が形成された流路形成板１３と、上記流路形成板１３に積層されて開口を封止する振動板１１と、上記振動板１１を振動させて圧力発生室２に圧力を発生させる撓み振動モードの圧電振動子６とを含むことにより、１枚の流路形成板１３に、圧力発生室２とインク貯留室４とが形成されていることから、記録ヘッドを構成するパーツが少なくなり、構造や製造工程が簡素化してコスト低減が可能となる。
【解決手段】ノズル開口３が穿設されたノズルプレート１７と、上記ノズル開口３に連通する圧力発生室２ならびに上記圧力発生室２に連通する圧力発生室２以外の流路空間としてインク貯留室４が形成された流路形成板１３と、上記流路形成板１３に積層されて開口を封止する振動板１１と、上記振動板１１を振動させて圧力発生室２に圧力を発生させる撓み振動モードの圧電振動子６とを含むことにより、１枚の流路形成板１３に、圧力発生室２とインク貯留室４とが形成されていることから、記録ヘッドを構成するパーツが少なくなり、構造や製造工程が簡素化してコスト低減が可能となる。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、圧電振動子の振動によりノズル開口から液体滴を吐出させる液体噴射装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
圧電振動子を用いた液体噴射装置（以下の説明では、インクジェット式記録ヘッドに適用した例を示し、「記録ヘッド」という）は、一般に、図１３に示すように、上面に圧電振動子６が貼着され、上記圧電振動子６に対応する圧力発生室２が形成されたアクチュエータユニット１と、ノズル開口３およびインク貯留室４が形成され上記アクチュエータユニット１の下面に貼着された流路ユニット５とを備え、上記圧電振動子６の振動により圧力発生室２に圧力を発生させ、ノズル開口３からインク滴を吐出させるようになっている。
【０００３】
上記アクチュエータユニット１は、圧力発生室２を形成する空間が形成された圧力発生室形成板１０と、この圧力発生室形成板１０の上面に位置して上記空間の上面開口を塞ぐ振動板１１と、上記圧力発生室形成板１０の下面に位置する連通穴形成板１４とを備えている。この連通穴形成板１４には、インク貯留室４と圧力発生室２を連通させる連通穴１２と、圧力発生室２とノズル開口３を連通させる連通路８とが形成されている。
【０００４】
上記アクチュエータユニット１には、その振動板１１の上面に、共通の下部電極１９が形成されている。そして、上記下部電極１９の上面に、平板状の圧電振動子６が形成され、上記圧電振動子６の上面には、個別の上部電極２０が形成されている。そして、上記下部電極１９および上部電極２０を介して圧電振動子６に駆動信号を入力するようになっている。
【０００５】
一方、上記流路ユニット５は、インク貯留室４を形成する空間が形成されたインク貯留室形成板１６と、ノズル開口３が穿設され、上記インク貯留室形成板１６の下面に位置するノズルプレート１７と、上記インク貯留室形成板１６の上面に位置する供給口形成板１８とから構成されている。上記インク貯留室形成板１６には、圧力発生室２とノズル開口３を連通させる連通路８が形成されている。また、上記供給口形成板１８には、インク貯留室４から連通穴１２を介して圧力発生室２にインクを供給するインク供給口９が穿設されるとともに、圧力発生室２とノズル開口３を連通させる連通路８が形成されている。
【０００６】
上記アクチュエータユニット１は、セラミックスから形成された振動板１１，圧力発生室形成板１０，連通穴形成板１４が積層され、一体的に焼成されて形成されている。一方、上記流路ユニット５は、ステンレス鋼から形成された供給口形成板１８，インク貯留室形成板１６，ノズルプレート１７が、接着剤層１５を介して積層されている。そして、アクチュエータユニット１と流路ユニット５とは、接着剤層１５を介して接合されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開平１１−１１５１７９号公報
【特許文献２】特開２０００−１４１６４２号公報
【特許文献３】特開２０００−１４１６４８号公報
【特許文献４】特開平０７−０５２４０６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかしながら、上記記録ヘッドでは、圧力発生室２，インク貯留室４，インク供給口９がそれぞれ圧力発生室形成板１０，インク貯留室形成板１６，供給口形成板１８という別個のプレートに形成されている。このため、圧力発生室２とインク貯留室４ならびにノズル開口３を連通させるために複数のパーツを積層する必要があり、構造や製造工程が複雑化してコストアップの要因になっている。また、アクチュエータユニット１はセラミックス製で流路ユニット５はステンレス鋼製で、これらが接着剤で接合されているため、貼り合わせ部の熱収縮率や線膨張係数の相違により歪や剥離が発生するおそれがある。さらに、インクがステンレス鋼や接着剤と直接接触するため、例えば、ステンレス鋼に対してエッチング作用のあるインクや、接着剤を溶出させるようなインクを用いることができず、使用するインクの特性や、適用分野にどうしても制限があるのが実情である。
【０００９】
本発明は、このような事情に鑑みなされたもので、構造や製造工程が簡素化してコスト低減が可能となる液体噴射装置の提供を第１の目的とし、流路の耐液体性を向上させて使用する液体の種類や適用分野に制限が少なくなる液体噴射装置の提供を第２の目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記目的を達成するため、ノズル開口が穿設されたノズルプレートと、上記ノズル開口に連通する圧力発生室ならびに上記圧力発生室に連通する圧力発生室以外の流路空間が形成された流路形成板と、上記流路形成板に積層されて開口を封止する振動板と、圧力発生室に圧力を発生させる圧電振動子とを含み、上記振動板，流路形成板，ノズルプレートがセラミックスから形成されていることを要旨とする。
また、本発明の液体噴射装置は、ノズル開口が穿設されたノズルプレートと、上記ノズル開口に連通する圧力発生室ならびに上記圧力発生室に連通する圧力発生室以外の流路空間が形成された流路形成板と、上記流路形成板に積層されて開口を封止する振動板と、上記振動板を振動させて圧力発生室に圧力を発生させる撓み振動モードの圧電振動子とを含むことを要旨とする。
【００１１】
すなわち、本発明の液体噴射装置は、ノズル開口が穿設されたノズルプレートと、上記ノズル開口に連通する圧力発生室ならびに上記圧力発生室に連通する圧力発生室以外の流路空間が形成された流路形成板とを含んでいる。このように、１枚の流路形成板に、圧力発生室と、圧力発生室に連通する圧力発生室以外の流路空間とが形成されていることから、従来に比べて記録ヘッドを構成するパーツが少なくなり、構造や製造工程が簡素化してコスト低減が可能となる。
【００１２】
本発明の液体噴射装置において、上記圧力発生室以外の流路空間が、圧力発生室に供給される液体を貯留する液体貯留室である場合や、上記液体貯留室から圧力発生室に液体を供給する液体供給路およびノズル開口と圧力発生室を連通させる連通路が形成された液体供給路形成板を備えている場合には、１枚の流路形成板に圧力発生室と液体貯留室とが形成され、その分記録ヘッドを構成するパーツが少なくなり、構造や製造工程が簡素化してコスト低減が可能となる。
【００１３】
本発明の液体噴射装置において、上記液体供給路形成板と流路形成板との間に、液体供給路から圧力発生室に液体を供給する供給口ならびに液体供給路と液体貯留室とを連通させる連通穴が形成された供給口形成板が積層されている場合には、圧力発生室と液体供給路との間に液体供給口が存在することから、圧力発生室内の圧力変動が液体貯留室に伝わるのを緩和し、液体貯留室を介したクロストークが抑制される。
【００１４】
本発明の液体噴射装置において、上記供給口形成板と液体供給路形成板双方もしくは液体供給路形成板の、液体貯留室に対応する部分に、液体貯留室の一部を構成する空間が形成されている場合には、供給口形成板や液体供給路形成板にも液体貯留室となる空間が設けられてスペースを有効活用することができ、液体貯留室の容量にも余裕ができて流路抵抗が低減されるとともに液体貯留室を介したクロストークも低減される。
【００１５】
本発明の液体噴射装置において、上記圧力発生室以外の流路空間が、圧力発生室に液体を供給する液体供給路である場合や、上記液体供給路を介して圧力発生室に供給する液体を貯留する液体貯留室が形成された液体貯留室形成板を備えている場合には、１枚の流路形成板に圧力発生室と液体供給路とが形成され、その分記録ヘッドを構成するパーツが少なくなり、構造や製造工程が簡素化してコスト低減が可能となる。
【００１６】
本発明の液体噴射装置において、上記流路形成板の液体貯留室に対応する部分に、液体貯留室の一部を構成する空間が形成されている場合には、流路形成板にも液体貯留室となる空間が設けられてスペースを有効活用することができ、液体貯留室の容量にも余裕ができて流路抵抗が低減されるとともに液体貯留室を介したクロストークも低減される。
【００１７】
本発明の液体噴射装置において、上記振動板，流路形成板，ノズルプレートがセラミックスから形成されている場合には、液体と接触する流路がすべてセラミックスから形成されることとなり、流路の耐液体性が飛躍的に向上する。したがって、使用する液体の種類に制限を受けず、例えば、ステンレス鋼に対してエッチング作用のある液体や、接着剤を溶出させるような液体も使用でき、使用する液体の特性に制限がほとんどなくなる。また、流路の化学的安定性が向上して有機物の溶出等がなくなるため、例えば、食品分野や医療分野等にも使用できるようになり、適用分野の制限もほとんどなくなる。
【００１８】
本発明の液体噴射装置において、上記流路形成板，振動板，ノズルプレートの積層体が、接着層を介さずに一体的に形成されている場合には、貼り合わせの作業が不要になるうえ、熱収縮率や線膨張係数の相違による歪の発生や剥離のおそれがない。
【００１９】
本発明の液体噴射装置において、上記流路形成板，振動板，ノズルプレートの積層体が、流路形成板，封止板，ノズルプレートにそれぞれ対応するセラミックス材料のグリーンシートが積層され焼成されて形成されている場合には、グリーンシートの積層体を焼成するセラミックス製品の製造に適している。
【００２０】
本発明の液体噴射装置において、上記ノズルプレートにノズル開口が形成されておらず、上記流路形成板の圧力発生室に対応する空間の内周面に切欠き凹部が形成され、流路形成板，振動板，ノズルプレートにそれぞれ対応するセラミックス材料のグリーンシートが積層されたのち、上記切欠き凹部を外部と連通させてノズル開口を形成する場合には、記録ヘッドの端部にノズル開口が形成されたいわゆるエッジタイプの記録ヘッドを、セラミックスで比較的容易に形成することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】本発明の液体噴射装置の一実施の形態を示す分解斜視図である。
【図２】上記液体噴射装置の流路構造を示す説明図である。
【図３】上記液体噴射装置のＡ−Ａ断面図である。
【図４】本発明の液体噴射装置の第２の実施の形態を示す断面図である。
【図５】本発明の液体噴射装置の第３の実施の形態を示す断面図である。
【図６】本発明の液体噴射装置の第４の実施の形態の流路構造を示す説明図である。
【図７】上記液体噴射装置を示す断面図である。
【図８】本発明の液体噴射装置の第５の実施の形態を示す断面図である。
【図９】本発明の液体噴射装置の第６の実施の形態の流路構造を示す説明図である。
【図１０】上記液体噴射装置を示す断面図である。
【図１１】本発明の液体噴射装置の第７の実施の形態の流路構造を示す説明図である。
【図１２】上記液体噴射装置を示すＡ−Ａ断面図である。
【図１３】従来の液体噴射装置を示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２２】
つぎに、本発明の実施の形態を詳しく説明する。
【００２３】
図１〜図３は、本発明の液体噴射装置の一実施の形態を示す図である。この実施の形態では、本発明の液体噴射装置をインクジェット式記録ヘッドに適用した例を示している。この記録ヘッドは、複数のノズル開口３が穿設されたノズルプレート１７と、上記ノズルプレートに連通する連通路８が穿設された供給路形成板２１と、上記連通路８を介してノズル開口３と連通する圧力発生室２が形成された流路形成板１３と、上記流路形成板１３の上に積層された振動板１１とを備えている。
【００２４】
上記流路形成板１３には、上記圧力発生室２以外に、上記各圧力発生室２に連通する流路空間として、圧力発生室２に供給されるインクを貯留するインク貯留室４が形成されている。また、上記供給路形成板２１には、インク貯留室４のインクを圧力発生室２に供給するインク供給路７が各圧力発生室２に対応するよう設けられている。すなわち、上記流路形成板１３において、各圧力発生室２とインク貯留室４とは連通しておらず、上記供給路形成板２１に形成されたインク供給路７を介して圧力発生室２とインク貯留室４とが連通するようになっている。
上記圧力発生室２，インク貯留室４，インク供給路７に対応する空間は、流路形成板１３もしくは供給路形成板２１を上下に貫通している。
【００２５】
この例では、ノズル開口３は２列のノズル列を形成するように列設されており、圧力発生室２も、上記ノズル列に対応するように２列に列設されている。そして、各圧力発生室２の列にそれぞれ共通のインク貯留室４が設けられている。
【００２６】
一方、上記振動板１１の上面には、櫛歯状の下部電極１９が形成されている。この下部電極１９の各櫛歯部１９Ａは、それぞれ圧力発生室２に対応する部分に形成されている。また、上記下部電極１９の各櫛歯部１９Ａ上面に、それぞれ平板状の圧電振動子６が形成され、上記圧電振動子６の上面には、個別の上部電極２０が形成されている。上記上部電極２０および下部電極１９を介して各圧電振動子６に駆動信号を印加するようになっている。
【００２７】
そして、上記ノズルプレート１７の上に供給路形成板２１が積層され、この供給路形成板２１の上に流路形成板１３が積層され、上記流路形成板１３上面の流路の開口を塞ぐように圧電振動子６，上部電極２０および下部電極１９が形成された振動板１１が積層されている。
【００２８】
上記記録ヘッドにおいて、圧電振動子６に駆動信号が印加されると、圧電振動子６が横方向に収縮する。このとき、圧電振動子６の振動板１１に固定された下面側は収縮せず、上面側だけが収縮するため、圧電振動子６および振動板１１が下方にたわみ、圧力発生室２を圧縮する。そして、圧力発生室２内の圧力上昇により、圧力発生室２内のインクがノズル開口３からインク滴として吐出され、記録紙等にドットが形成されて印刷が行われる。ついで、圧電振動子６が放電されて元の状態に戻ると、圧力発生室２内が減圧され、インク貯留室４からインク供給路７を通して圧力発生室２へ新しいインクが供給される。
【００２９】
上記のような記録ヘッドは、例えば、つぎのようにしてつくることができる。すなわち、まず、セラミックスのグリーンシート成形体を準備し、上記グリーンシート成形体を打ち抜いて、ノズルプレート１７，流路形成板１３，供給路形成板２１，振動板１１に対応するパーツを形成する。このとき、インク貯留室４，圧力発生室２，インク供給路７，連通路８，ノズル開口３に対応する空間を打ち抜き等で形成しておく。
【００３０】
そして、上記ノズルプレート１７，供給路形成板２１，流路形成板１３，振動板１１に対応するグリーンシート成形体を所定の順序で積層したのち焼成することにより、接着剤を介することなくセラミックスで一体的に形成された記録ヘッドを得ることができる。
【００３１】
上記記録ヘッドを構成するセラミックス材料としては、特に限定するものではなく、各種の材料を用いることができる。例えば、炭化珪素，炭化チタン，炭化クロム，炭化ニオブ，炭化バナジウム，炭化ジルコニウム，炭化モリブデン，炭化ボロン等の各種炭化物、酸化ジルコニウム（ジルコニア），酸化アルミニウム，酸化マグネシウム，酸化珪素，酸化チタン，酸化ベリリウム等の各種酸化物、窒化アルミニウム，窒化珪素，窒化ベリリウム，窒化ボロン等の各種窒化物，ほう化ジルコニウム，ほう化クロム，ほう化チタン等の各種ほう化物、サイアロン等のような複合化合物等をあげることができる。これらは、単独でもしくは併せて用いられる。
【００３２】
これらのなかでも、特に、機械的強度や靭性に優れるうえ耐食性にも優れるジルコニアが液体噴射装置用の材料として好適である。
【００３３】
上記記録ヘッドでは、１枚の流路形成板１３に圧力発生室２とインク貯留室４とが形成されていることから、その分記録ヘッドを構成するパーツが少なくなり、構造や製造工程が簡素化してコスト低減が可能となる。また、振動板１１，流路形成板１２，供給路形成板２１，ノズルプレート１７がセラミックスから形成され、インクと接触する流路がすべてセラミックスから形成されているため、流路の耐インク性が飛躍的に向上する。したがって、使用するインクの種類に制限を受けず、例えば、ステンレス鋼に対してエッチング作用のあるインクや、接着剤を溶出させるようなインクも使用でき、使用するインクの特性に制限がほとんどなくなる。また、流路の化学的安定性が向上して有機物の溶出等がなくなるため、例えば、食品分野や医療分野等にも使用できるようになり、適用分野の制限もほとんどなくなる。
【００３４】
さらに、上記記録ヘッドでは、流路形成板１３，振動板１１，供給路形成板２１，ノズルプレート１７の積層体が、接着層を介さずに一体的に形成されている場合には、貼り合わせの作業が不要になるうえ、熱収縮率や線膨張係数の相違による歪の発生や剥離のおそれがない。さらに、積層構造であるため、セラミックスのグリーンシート成形体からの製造に適している。
【００３５】
図４は、本発明の第２の実施の形態の液体噴射装置を示す。この記録ヘッドでは、供給路形成板２１のインク貯留室４と対応する部分に、インク貯留室４の一部を構成する空間２２が形成されている。それ以外は、上記第１の実施の形態と同様であり、同様の部分には同じ符号を付している。
【００３６】
この記録ヘッドでは、供給路形成板２１にもインク貯留室４となる空間２２が設けられてスペースを有効活用することができ、インク貯留室４の容量にも余裕ができて流路抵抗が低減されるとともにインク貯留室４を介したクロストークも低減される。それ以外は、上記第１の実施の形態と同様の作用効果を奏する。
【００３７】
図５は、本発明の第３の実施の形態の液体噴射装置を示す。この記録ヘッドでは、流路形成板１３と供給路形成板２１との間に、インク供給路７から圧力発生室２にインクを供給するインク供給口９と、インク貯留室４とインク供給路７とを連通させる連通穴１２と、ノズル開口３と圧力発生室２とを連通させる連通路８とが形成された供給口形成板１８が積層されている。それ以外は、上記第１の実施の形態と同様であり、同様の部分には同じ符号を付している。
【００３８】
この記録ヘッドでは、圧力発生室２とインク供給路７との間にインク供給口９が存在することから、圧力発生室２内の圧力変動がインク貯留室４に伝わるのを緩和し、インク貯留室４を介したクロストークが抑制される。それ以外は、上記第１の実施の形態と同様の作用効果を奏する。
【００３９】
図６および図７は、本発明の第４の実施の形態の液体噴射装置を示す。この記録ヘッドは、供給路形成板２１がなく、圧力発生室２に供給されるインクを貯留するインク貯留室４と、圧力発生室２とノズル開口３を連通させる連通路８とが形成されたインク貯留室形成板１６を備えている。そして、流路形成板１３に、圧力発生室２に連通する圧力発生室２以外の流路空間として、上記インク貯留室４のインクを圧力発生室２に供給するインク供給路７が形成されている。それ以外は、上記第１の実施の形態と同様であり、同様の部分には同じ符号を付している。
【００４０】
この記録ヘッドでは、１枚の流路形成板１３に圧力発生室２とインク供給路７とが形成されていることから、その分記録ヘッドを構成するパーツが少なくなり、構造や製造工程が簡素化してコスト低減が可能となる。それ以外は、上記第１の実施の形態と同様の作用効果を奏する。
【００４１】
図８は、本発明の第５の実施の形態の液体噴射装置を示す。この記録ヘッドは、基本的に上記第４の実施の形態の記録ヘッドと同様の構造である。そして、この記録ヘッドでは、流路形成板１３のインク貯留室４と対応する部分に、インク貯留室４の一部を構成する空間２２が形成されている。それ以外は、上記第４の実施の形態と同様であり、同様の部分には同じ符号を付している。
【００４２】
この記録ヘッドでは、流路形成板１３にもインク貯留室４となる空間２２が設けられてスペースを有効活用することができ、インク貯留室４の容量にも余裕ができて流路抵抗が低減されるとともにインク貯留室４を介したクロストークも低減される。それ以外は、上記第４の実施の形態と同様の作用効果を奏する。
【００４３】
図９および図１０は、本発明の第６の実施の形態の液体噴射装置を示す。この記録ヘッドは、基本的に上記第４の実施の形態の記録ヘッドと同様の構造である。そして、この記録ヘッドでは、流路形成板１３のインク貯留室４と対応する部分に、インク貯留室４の一部を構成する空間２２が各圧力発生室２に対応するよう設けられている。それ以外は、上記第４の実施の形態と同様であり、同様の部分には同じ符号を付している。
【００４４】
この記録ヘッドでは、流路形成板１３にもインク貯留室４となる空間２２が設けられてスペースを有効活用することができ、インク貯留室４の容量にも余裕ができて流路抵抗が低減されるとともにインク貯留室４を介したクロストークも低減される。それ以外は、上記第４の実施の形態と同様の作用効果を奏する。
【００４５】
図１１および図１２は、本発明の第７の実施の形態の液体噴射装置を示す。この記録ヘッドは、圧力発生室２の列が１列だけ形成され、ノズルプレート１７にノズル開口３が形成されていない。また、上記流路形成板１３の圧力発生室２に対応する空間のインク貯留室４と反対側の内周面に、切欠き凹部２３が形成されている。そして、流路形成板１３，供給路形成板２１，振動板１１，ノズルプレート１７にそれぞれ対応するセラミックス材料のグリーンシートを積層したのち、上記積層体を、鎖線Ｂに沿って切断し、上記切欠き凹部２３を外部と連通させてノズル開口を形成するようになっている。それ以外は、上記第１の実施の形態と同様であり、同様の部分には同じ符号を付している。
【００４６】
この記録ヘッドでは、記録ヘッドの端部にノズル開口が形成されたいわゆるエッジタイプの記録ヘッドを、セラミックスで比較的容易に形成することができる。それ以外は、上記第１の実施の形態と同様の作用効果を奏する。
【００４７】
なお、上記各実施の形態では、ノズルプレート１７，流路形成板１３，インク貯留室形成板１６，供給路形成板２１等の各プレートをそれぞれセラミックスから形成した例を示したが、これに限定するものではなく、上記各プレートをステンレス鋼，ニッケル，クロム，単結晶シリコン等の金属材料や、感光性ガラス材料等から形成することもできる。
【００４８】
また、上記各実施の形態では、本発明の液体噴射装置を、インクジェット式記録ヘッドに適用した例をしめしたが、これに限定するものではなく、例えば、吐出する液体をガソリン等の燃料とし、内燃機関の燃料噴射装置として用いることもできる。さらに、透明基板上にマトリックス状に形成された透明電極の上に有機発光層を形成する表示体の、有機発光層の形成等にも応用することができる。このように、本発明の液体噴射装置では、噴射する液体として各種の液体を適用することができ、各種の産業分野に応用することが可能である。
【００４９】
以上のように、本発明の液体噴射装置によれば、１枚の流路形成板に、圧力発生室と、圧力発生室に連通する圧力発生室以外の流路空間とが形成されていることから、従来に比べて記録ヘッドを構成するパーツが少なくなり、構造や製造工程が簡素化してコスト低減が可能となる。
【符号の説明】
【００５０】
２…圧力発生室、３…ノズル開口、４…インク貯留室、６…圧電振動子、１１…振動板、１３…流路形成板、１７…ノズルプレート。
【技術分野】
【０００１】
本発明は、圧電振動子の振動によりノズル開口から液体滴を吐出させる液体噴射装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
圧電振動子を用いた液体噴射装置（以下の説明では、インクジェット式記録ヘッドに適用した例を示し、「記録ヘッド」という）は、一般に、図１３に示すように、上面に圧電振動子６が貼着され、上記圧電振動子６に対応する圧力発生室２が形成されたアクチュエータユニット１と、ノズル開口３およびインク貯留室４が形成され上記アクチュエータユニット１の下面に貼着された流路ユニット５とを備え、上記圧電振動子６の振動により圧力発生室２に圧力を発生させ、ノズル開口３からインク滴を吐出させるようになっている。
【０００３】
上記アクチュエータユニット１は、圧力発生室２を形成する空間が形成された圧力発生室形成板１０と、この圧力発生室形成板１０の上面に位置して上記空間の上面開口を塞ぐ振動板１１と、上記圧力発生室形成板１０の下面に位置する連通穴形成板１４とを備えている。この連通穴形成板１４には、インク貯留室４と圧力発生室２を連通させる連通穴１２と、圧力発生室２とノズル開口３を連通させる連通路８とが形成されている。
【０００４】
上記アクチュエータユニット１には、その振動板１１の上面に、共通の下部電極１９が形成されている。そして、上記下部電極１９の上面に、平板状の圧電振動子６が形成され、上記圧電振動子６の上面には、個別の上部電極２０が形成されている。そして、上記下部電極１９および上部電極２０を介して圧電振動子６に駆動信号を入力するようになっている。
【０００５】
一方、上記流路ユニット５は、インク貯留室４を形成する空間が形成されたインク貯留室形成板１６と、ノズル開口３が穿設され、上記インク貯留室形成板１６の下面に位置するノズルプレート１７と、上記インク貯留室形成板１６の上面に位置する供給口形成板１８とから構成されている。上記インク貯留室形成板１６には、圧力発生室２とノズル開口３を連通させる連通路８が形成されている。また、上記供給口形成板１８には、インク貯留室４から連通穴１２を介して圧力発生室２にインクを供給するインク供給口９が穿設されるとともに、圧力発生室２とノズル開口３を連通させる連通路８が形成されている。
【０００６】
上記アクチュエータユニット１は、セラミックスから形成された振動板１１，圧力発生室形成板１０，連通穴形成板１４が積層され、一体的に焼成されて形成されている。一方、上記流路ユニット５は、ステンレス鋼から形成された供給口形成板１８，インク貯留室形成板１６，ノズルプレート１７が、接着剤層１５を介して積層されている。そして、アクチュエータユニット１と流路ユニット５とは、接着剤層１５を介して接合されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開平１１−１１５１７９号公報
【特許文献２】特開２０００−１４１６４２号公報
【特許文献３】特開２０００−１４１６４８号公報
【特許文献４】特開平０７−０５２４０６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかしながら、上記記録ヘッドでは、圧力発生室２，インク貯留室４，インク供給口９がそれぞれ圧力発生室形成板１０，インク貯留室形成板１６，供給口形成板１８という別個のプレートに形成されている。このため、圧力発生室２とインク貯留室４ならびにノズル開口３を連通させるために複数のパーツを積層する必要があり、構造や製造工程が複雑化してコストアップの要因になっている。また、アクチュエータユニット１はセラミックス製で流路ユニット５はステンレス鋼製で、これらが接着剤で接合されているため、貼り合わせ部の熱収縮率や線膨張係数の相違により歪や剥離が発生するおそれがある。さらに、インクがステンレス鋼や接着剤と直接接触するため、例えば、ステンレス鋼に対してエッチング作用のあるインクや、接着剤を溶出させるようなインクを用いることができず、使用するインクの特性や、適用分野にどうしても制限があるのが実情である。
【０００９】
本発明は、このような事情に鑑みなされたもので、構造や製造工程が簡素化してコスト低減が可能となる液体噴射装置の提供を第１の目的とし、流路の耐液体性を向上させて使用する液体の種類や適用分野に制限が少なくなる液体噴射装置の提供を第２の目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記目的を達成するため、ノズル開口が穿設されたノズルプレートと、上記ノズル開口に連通する圧力発生室ならびに上記圧力発生室に連通する圧力発生室以外の流路空間が形成された流路形成板と、上記流路形成板に積層されて開口を封止する振動板と、圧力発生室に圧力を発生させる圧電振動子とを含み、上記振動板，流路形成板，ノズルプレートがセラミックスから形成されていることを要旨とする。
また、本発明の液体噴射装置は、ノズル開口が穿設されたノズルプレートと、上記ノズル開口に連通する圧力発生室ならびに上記圧力発生室に連通する圧力発生室以外の流路空間が形成された流路形成板と、上記流路形成板に積層されて開口を封止する振動板と、上記振動板を振動させて圧力発生室に圧力を発生させる撓み振動モードの圧電振動子とを含むことを要旨とする。
【００１１】
すなわち、本発明の液体噴射装置は、ノズル開口が穿設されたノズルプレートと、上記ノズル開口に連通する圧力発生室ならびに上記圧力発生室に連通する圧力発生室以外の流路空間が形成された流路形成板とを含んでいる。このように、１枚の流路形成板に、圧力発生室と、圧力発生室に連通する圧力発生室以外の流路空間とが形成されていることから、従来に比べて記録ヘッドを構成するパーツが少なくなり、構造や製造工程が簡素化してコスト低減が可能となる。
【００１２】
本発明の液体噴射装置において、上記圧力発生室以外の流路空間が、圧力発生室に供給される液体を貯留する液体貯留室である場合や、上記液体貯留室から圧力発生室に液体を供給する液体供給路およびノズル開口と圧力発生室を連通させる連通路が形成された液体供給路形成板を備えている場合には、１枚の流路形成板に圧力発生室と液体貯留室とが形成され、その分記録ヘッドを構成するパーツが少なくなり、構造や製造工程が簡素化してコスト低減が可能となる。
【００１３】
本発明の液体噴射装置において、上記液体供給路形成板と流路形成板との間に、液体供給路から圧力発生室に液体を供給する供給口ならびに液体供給路と液体貯留室とを連通させる連通穴が形成された供給口形成板が積層されている場合には、圧力発生室と液体供給路との間に液体供給口が存在することから、圧力発生室内の圧力変動が液体貯留室に伝わるのを緩和し、液体貯留室を介したクロストークが抑制される。
【００１４】
本発明の液体噴射装置において、上記供給口形成板と液体供給路形成板双方もしくは液体供給路形成板の、液体貯留室に対応する部分に、液体貯留室の一部を構成する空間が形成されている場合には、供給口形成板や液体供給路形成板にも液体貯留室となる空間が設けられてスペースを有効活用することができ、液体貯留室の容量にも余裕ができて流路抵抗が低減されるとともに液体貯留室を介したクロストークも低減される。
【００１５】
本発明の液体噴射装置において、上記圧力発生室以外の流路空間が、圧力発生室に液体を供給する液体供給路である場合や、上記液体供給路を介して圧力発生室に供給する液体を貯留する液体貯留室が形成された液体貯留室形成板を備えている場合には、１枚の流路形成板に圧力発生室と液体供給路とが形成され、その分記録ヘッドを構成するパーツが少なくなり、構造や製造工程が簡素化してコスト低減が可能となる。
【００１６】
本発明の液体噴射装置において、上記流路形成板の液体貯留室に対応する部分に、液体貯留室の一部を構成する空間が形成されている場合には、流路形成板にも液体貯留室となる空間が設けられてスペースを有効活用することができ、液体貯留室の容量にも余裕ができて流路抵抗が低減されるとともに液体貯留室を介したクロストークも低減される。
【００１７】
本発明の液体噴射装置において、上記振動板，流路形成板，ノズルプレートがセラミックスから形成されている場合には、液体と接触する流路がすべてセラミックスから形成されることとなり、流路の耐液体性が飛躍的に向上する。したがって、使用する液体の種類に制限を受けず、例えば、ステンレス鋼に対してエッチング作用のある液体や、接着剤を溶出させるような液体も使用でき、使用する液体の特性に制限がほとんどなくなる。また、流路の化学的安定性が向上して有機物の溶出等がなくなるため、例えば、食品分野や医療分野等にも使用できるようになり、適用分野の制限もほとんどなくなる。
【００１８】
本発明の液体噴射装置において、上記流路形成板，振動板，ノズルプレートの積層体が、接着層を介さずに一体的に形成されている場合には、貼り合わせの作業が不要になるうえ、熱収縮率や線膨張係数の相違による歪の発生や剥離のおそれがない。
【００１９】
本発明の液体噴射装置において、上記流路形成板，振動板，ノズルプレートの積層体が、流路形成板，封止板，ノズルプレートにそれぞれ対応するセラミックス材料のグリーンシートが積層され焼成されて形成されている場合には、グリーンシートの積層体を焼成するセラミックス製品の製造に適している。
【００２０】
本発明の液体噴射装置において、上記ノズルプレートにノズル開口が形成されておらず、上記流路形成板の圧力発生室に対応する空間の内周面に切欠き凹部が形成され、流路形成板，振動板，ノズルプレートにそれぞれ対応するセラミックス材料のグリーンシートが積層されたのち、上記切欠き凹部を外部と連通させてノズル開口を形成する場合には、記録ヘッドの端部にノズル開口が形成されたいわゆるエッジタイプの記録ヘッドを、セラミックスで比較的容易に形成することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】本発明の液体噴射装置の一実施の形態を示す分解斜視図である。
【図２】上記液体噴射装置の流路構造を示す説明図である。
【図３】上記液体噴射装置のＡ−Ａ断面図である。
【図４】本発明の液体噴射装置の第２の実施の形態を示す断面図である。
【図５】本発明の液体噴射装置の第３の実施の形態を示す断面図である。
【図６】本発明の液体噴射装置の第４の実施の形態の流路構造を示す説明図である。
【図７】上記液体噴射装置を示す断面図である。
【図８】本発明の液体噴射装置の第５の実施の形態を示す断面図である。
【図９】本発明の液体噴射装置の第６の実施の形態の流路構造を示す説明図である。
【図１０】上記液体噴射装置を示す断面図である。
【図１１】本発明の液体噴射装置の第７の実施の形態の流路構造を示す説明図である。
【図１２】上記液体噴射装置を示すＡ−Ａ断面図である。
【図１３】従来の液体噴射装置を示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２２】
つぎに、本発明の実施の形態を詳しく説明する。
【００２３】
図１〜図３は、本発明の液体噴射装置の一実施の形態を示す図である。この実施の形態では、本発明の液体噴射装置をインクジェット式記録ヘッドに適用した例を示している。この記録ヘッドは、複数のノズル開口３が穿設されたノズルプレート１７と、上記ノズルプレートに連通する連通路８が穿設された供給路形成板２１と、上記連通路８を介してノズル開口３と連通する圧力発生室２が形成された流路形成板１３と、上記流路形成板１３の上に積層された振動板１１とを備えている。
【００２４】
上記流路形成板１３には、上記圧力発生室２以外に、上記各圧力発生室２に連通する流路空間として、圧力発生室２に供給されるインクを貯留するインク貯留室４が形成されている。また、上記供給路形成板２１には、インク貯留室４のインクを圧力発生室２に供給するインク供給路７が各圧力発生室２に対応するよう設けられている。すなわち、上記流路形成板１３において、各圧力発生室２とインク貯留室４とは連通しておらず、上記供給路形成板２１に形成されたインク供給路７を介して圧力発生室２とインク貯留室４とが連通するようになっている。
上記圧力発生室２，インク貯留室４，インク供給路７に対応する空間は、流路形成板１３もしくは供給路形成板２１を上下に貫通している。
【００２５】
この例では、ノズル開口３は２列のノズル列を形成するように列設されており、圧力発生室２も、上記ノズル列に対応するように２列に列設されている。そして、各圧力発生室２の列にそれぞれ共通のインク貯留室４が設けられている。
【００２６】
一方、上記振動板１１の上面には、櫛歯状の下部電極１９が形成されている。この下部電極１９の各櫛歯部１９Ａは、それぞれ圧力発生室２に対応する部分に形成されている。また、上記下部電極１９の各櫛歯部１９Ａ上面に、それぞれ平板状の圧電振動子６が形成され、上記圧電振動子６の上面には、個別の上部電極２０が形成されている。上記上部電極２０および下部電極１９を介して各圧電振動子６に駆動信号を印加するようになっている。
【００２７】
そして、上記ノズルプレート１７の上に供給路形成板２１が積層され、この供給路形成板２１の上に流路形成板１３が積層され、上記流路形成板１３上面の流路の開口を塞ぐように圧電振動子６，上部電極２０および下部電極１９が形成された振動板１１が積層されている。
【００２８】
上記記録ヘッドにおいて、圧電振動子６に駆動信号が印加されると、圧電振動子６が横方向に収縮する。このとき、圧電振動子６の振動板１１に固定された下面側は収縮せず、上面側だけが収縮するため、圧電振動子６および振動板１１が下方にたわみ、圧力発生室２を圧縮する。そして、圧力発生室２内の圧力上昇により、圧力発生室２内のインクがノズル開口３からインク滴として吐出され、記録紙等にドットが形成されて印刷が行われる。ついで、圧電振動子６が放電されて元の状態に戻ると、圧力発生室２内が減圧され、インク貯留室４からインク供給路７を通して圧力発生室２へ新しいインクが供給される。
【００２９】
上記のような記録ヘッドは、例えば、つぎのようにしてつくることができる。すなわち、まず、セラミックスのグリーンシート成形体を準備し、上記グリーンシート成形体を打ち抜いて、ノズルプレート１７，流路形成板１３，供給路形成板２１，振動板１１に対応するパーツを形成する。このとき、インク貯留室４，圧力発生室２，インク供給路７，連通路８，ノズル開口３に対応する空間を打ち抜き等で形成しておく。
【００３０】
そして、上記ノズルプレート１７，供給路形成板２１，流路形成板１３，振動板１１に対応するグリーンシート成形体を所定の順序で積層したのち焼成することにより、接着剤を介することなくセラミックスで一体的に形成された記録ヘッドを得ることができる。
【００３１】
上記記録ヘッドを構成するセラミックス材料としては、特に限定するものではなく、各種の材料を用いることができる。例えば、炭化珪素，炭化チタン，炭化クロム，炭化ニオブ，炭化バナジウム，炭化ジルコニウム，炭化モリブデン，炭化ボロン等の各種炭化物、酸化ジルコニウム（ジルコニア），酸化アルミニウム，酸化マグネシウム，酸化珪素，酸化チタン，酸化ベリリウム等の各種酸化物、窒化アルミニウム，窒化珪素，窒化ベリリウム，窒化ボロン等の各種窒化物，ほう化ジルコニウム，ほう化クロム，ほう化チタン等の各種ほう化物、サイアロン等のような複合化合物等をあげることができる。これらは、単独でもしくは併せて用いられる。
【００３２】
これらのなかでも、特に、機械的強度や靭性に優れるうえ耐食性にも優れるジルコニアが液体噴射装置用の材料として好適である。
【００３３】
上記記録ヘッドでは、１枚の流路形成板１３に圧力発生室２とインク貯留室４とが形成されていることから、その分記録ヘッドを構成するパーツが少なくなり、構造や製造工程が簡素化してコスト低減が可能となる。また、振動板１１，流路形成板１２，供給路形成板２１，ノズルプレート１７がセラミックスから形成され、インクと接触する流路がすべてセラミックスから形成されているため、流路の耐インク性が飛躍的に向上する。したがって、使用するインクの種類に制限を受けず、例えば、ステンレス鋼に対してエッチング作用のあるインクや、接着剤を溶出させるようなインクも使用でき、使用するインクの特性に制限がほとんどなくなる。また、流路の化学的安定性が向上して有機物の溶出等がなくなるため、例えば、食品分野や医療分野等にも使用できるようになり、適用分野の制限もほとんどなくなる。
【００３４】
さらに、上記記録ヘッドでは、流路形成板１３，振動板１１，供給路形成板２１，ノズルプレート１７の積層体が、接着層を介さずに一体的に形成されている場合には、貼り合わせの作業が不要になるうえ、熱収縮率や線膨張係数の相違による歪の発生や剥離のおそれがない。さらに、積層構造であるため、セラミックスのグリーンシート成形体からの製造に適している。
【００３５】
図４は、本発明の第２の実施の形態の液体噴射装置を示す。この記録ヘッドでは、供給路形成板２１のインク貯留室４と対応する部分に、インク貯留室４の一部を構成する空間２２が形成されている。それ以外は、上記第１の実施の形態と同様であり、同様の部分には同じ符号を付している。
【００３６】
この記録ヘッドでは、供給路形成板２１にもインク貯留室４となる空間２２が設けられてスペースを有効活用することができ、インク貯留室４の容量にも余裕ができて流路抵抗が低減されるとともにインク貯留室４を介したクロストークも低減される。それ以外は、上記第１の実施の形態と同様の作用効果を奏する。
【００３７】
図５は、本発明の第３の実施の形態の液体噴射装置を示す。この記録ヘッドでは、流路形成板１３と供給路形成板２１との間に、インク供給路７から圧力発生室２にインクを供給するインク供給口９と、インク貯留室４とインク供給路７とを連通させる連通穴１２と、ノズル開口３と圧力発生室２とを連通させる連通路８とが形成された供給口形成板１８が積層されている。それ以外は、上記第１の実施の形態と同様であり、同様の部分には同じ符号を付している。
【００３８】
この記録ヘッドでは、圧力発生室２とインク供給路７との間にインク供給口９が存在することから、圧力発生室２内の圧力変動がインク貯留室４に伝わるのを緩和し、インク貯留室４を介したクロストークが抑制される。それ以外は、上記第１の実施の形態と同様の作用効果を奏する。
【００３９】
図６および図７は、本発明の第４の実施の形態の液体噴射装置を示す。この記録ヘッドは、供給路形成板２１がなく、圧力発生室２に供給されるインクを貯留するインク貯留室４と、圧力発生室２とノズル開口３を連通させる連通路８とが形成されたインク貯留室形成板１６を備えている。そして、流路形成板１３に、圧力発生室２に連通する圧力発生室２以外の流路空間として、上記インク貯留室４のインクを圧力発生室２に供給するインク供給路７が形成されている。それ以外は、上記第１の実施の形態と同様であり、同様の部分には同じ符号を付している。
【００４０】
この記録ヘッドでは、１枚の流路形成板１３に圧力発生室２とインク供給路７とが形成されていることから、その分記録ヘッドを構成するパーツが少なくなり、構造や製造工程が簡素化してコスト低減が可能となる。それ以外は、上記第１の実施の形態と同様の作用効果を奏する。
【００４１】
図８は、本発明の第５の実施の形態の液体噴射装置を示す。この記録ヘッドは、基本的に上記第４の実施の形態の記録ヘッドと同様の構造である。そして、この記録ヘッドでは、流路形成板１３のインク貯留室４と対応する部分に、インク貯留室４の一部を構成する空間２２が形成されている。それ以外は、上記第４の実施の形態と同様であり、同様の部分には同じ符号を付している。
【００４２】
この記録ヘッドでは、流路形成板１３にもインク貯留室４となる空間２２が設けられてスペースを有効活用することができ、インク貯留室４の容量にも余裕ができて流路抵抗が低減されるとともにインク貯留室４を介したクロストークも低減される。それ以外は、上記第４の実施の形態と同様の作用効果を奏する。
【００４３】
図９および図１０は、本発明の第６の実施の形態の液体噴射装置を示す。この記録ヘッドは、基本的に上記第４の実施の形態の記録ヘッドと同様の構造である。そして、この記録ヘッドでは、流路形成板１３のインク貯留室４と対応する部分に、インク貯留室４の一部を構成する空間２２が各圧力発生室２に対応するよう設けられている。それ以外は、上記第４の実施の形態と同様であり、同様の部分には同じ符号を付している。
【００４４】
この記録ヘッドでは、流路形成板１３にもインク貯留室４となる空間２２が設けられてスペースを有効活用することができ、インク貯留室４の容量にも余裕ができて流路抵抗が低減されるとともにインク貯留室４を介したクロストークも低減される。それ以外は、上記第４の実施の形態と同様の作用効果を奏する。
【００４５】
図１１および図１２は、本発明の第７の実施の形態の液体噴射装置を示す。この記録ヘッドは、圧力発生室２の列が１列だけ形成され、ノズルプレート１７にノズル開口３が形成されていない。また、上記流路形成板１３の圧力発生室２に対応する空間のインク貯留室４と反対側の内周面に、切欠き凹部２３が形成されている。そして、流路形成板１３，供給路形成板２１，振動板１１，ノズルプレート１７にそれぞれ対応するセラミックス材料のグリーンシートを積層したのち、上記積層体を、鎖線Ｂに沿って切断し、上記切欠き凹部２３を外部と連通させてノズル開口を形成するようになっている。それ以外は、上記第１の実施の形態と同様であり、同様の部分には同じ符号を付している。
【００４６】
この記録ヘッドでは、記録ヘッドの端部にノズル開口が形成されたいわゆるエッジタイプの記録ヘッドを、セラミックスで比較的容易に形成することができる。それ以外は、上記第１の実施の形態と同様の作用効果を奏する。
【００４７】
なお、上記各実施の形態では、ノズルプレート１７，流路形成板１３，インク貯留室形成板１６，供給路形成板２１等の各プレートをそれぞれセラミックスから形成した例を示したが、これに限定するものではなく、上記各プレートをステンレス鋼，ニッケル，クロム，単結晶シリコン等の金属材料や、感光性ガラス材料等から形成することもできる。
【００４８】
また、上記各実施の形態では、本発明の液体噴射装置を、インクジェット式記録ヘッドに適用した例をしめしたが、これに限定するものではなく、例えば、吐出する液体をガソリン等の燃料とし、内燃機関の燃料噴射装置として用いることもできる。さらに、透明基板上にマトリックス状に形成された透明電極の上に有機発光層を形成する表示体の、有機発光層の形成等にも応用することができる。このように、本発明の液体噴射装置では、噴射する液体として各種の液体を適用することができ、各種の産業分野に応用することが可能である。
【００４９】
以上のように、本発明の液体噴射装置によれば、１枚の流路形成板に、圧力発生室と、圧力発生室に連通する圧力発生室以外の流路空間とが形成されていることから、従来に比べて記録ヘッドを構成するパーツが少なくなり、構造や製造工程が簡素化してコスト低減が可能となる。
【符号の説明】
【００５０】
２…圧力発生室、３…ノズル開口、４…インク貯留室、６…圧電振動子、１１…振動板、１３…流路形成板、１７…ノズルプレート。
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ノズル開口が穿設されたノズルプレートと、上記ノズル開口に連通する圧力発生室ならびに上記圧力発生室に連通する圧力発生室以外の流路空間が形成された流路形成板と、上記流路形成板に積層されて開口を封止する振動板と、圧力発生室に圧力を発生させる圧電振動子とを含み、上記振動板，流路形成板，ノズルプレートがセラミックスから形成されていることを特徴とする液体噴射装置。
【請求項２】
上記圧力発生室以外の流路空間が、圧力発生室に供給される液体を貯留する液体貯留室である請求項１記載の液体噴射装置。
【請求項３】
上記液体貯留室から圧力発生室に液体を供給する液体供給路およびノズル開口と圧力発生室を連通させる連通路が形成された液体供給路形成板を備えている請求項２記載の液体噴射装置。
【請求項４】
上記液体供給路形成板と流路形成板との間に、液体供給路から圧力発生室に液体を供給する供給口ならびに液体供給路と液体貯留室とを連通させる連通穴が形成された供給口形成板が積層されている請求項３記載の液体噴射装置。
【請求項５】
液体供給路形成板の、液体貯留室に対応する部分に、液体貯留室の一部を構成する空間が形成されている請求項３記載の液体噴射装置。
【請求項６】
上記圧力発生室以外の流路空間が、圧力発生室に液体を供給する液体供給路である請求項１記載の液体噴射装置。
【請求項７】
上記液体供給路を介して圧力発生室に供給する液体を貯留する液体貯留室が形成された液体貯留室形成板を備えている請求項６記載の液体噴射装置。
【請求項８】
上記流路形成板の液体貯留室に対応する部分に、液体貯留室の一部を構成する空間が形成されている請求項７記載の液体噴射装置。
【請求項９】
上記流路形成板，振動板，ノズルプレートの積層体が、接着層を介さずに一体的に形成されている請求項１記載の液体噴射装置。
【請求項１０】
上記流路形成板，振動板，ノズルプレートの積層体が、流路形成板，封止板，ノズルプレートにそれぞれ対応するセラミックス材料のグリーンシートが積層され焼成されて形成されている請求項９記載の液体噴射装置。
【請求項１１】
上記ノズルプレートにノズル開口が形成されておらず、上記流路形成板の圧力発生室に対応する空間の内周面に切欠き凹部が形成され、流路形成板，振動板，ノズルプレートにそれぞれ対応するセラミックス材料のグリーンシートが積層されたのち、上記切欠き凹部を外部と連通させてノズル開口を形成する請求項１０記載の液体噴射装置。
【請求項１】
ノズル開口が穿設されたノズルプレートと、上記ノズル開口に連通する圧力発生室ならびに上記圧力発生室に連通する圧力発生室以外の流路空間が形成された流路形成板と、上記流路形成板に積層されて開口を封止する振動板と、圧力発生室に圧力を発生させる圧電振動子とを含み、上記振動板，流路形成板，ノズルプレートがセラミックスから形成されていることを特徴とする液体噴射装置。
【請求項２】
上記圧力発生室以外の流路空間が、圧力発生室に供給される液体を貯留する液体貯留室である請求項１記載の液体噴射装置。
【請求項３】
上記液体貯留室から圧力発生室に液体を供給する液体供給路およびノズル開口と圧力発生室を連通させる連通路が形成された液体供給路形成板を備えている請求項２記載の液体噴射装置。
【請求項４】
上記液体供給路形成板と流路形成板との間に、液体供給路から圧力発生室に液体を供給する供給口ならびに液体供給路と液体貯留室とを連通させる連通穴が形成された供給口形成板が積層されている請求項３記載の液体噴射装置。
【請求項５】
液体供給路形成板の、液体貯留室に対応する部分に、液体貯留室の一部を構成する空間が形成されている請求項３記載の液体噴射装置。
【請求項６】
上記圧力発生室以外の流路空間が、圧力発生室に液体を供給する液体供給路である請求項１記載の液体噴射装置。
【請求項７】
上記液体供給路を介して圧力発生室に供給する液体を貯留する液体貯留室が形成された液体貯留室形成板を備えている請求項６記載の液体噴射装置。
【請求項８】
上記流路形成板の液体貯留室に対応する部分に、液体貯留室の一部を構成する空間が形成されている請求項７記載の液体噴射装置。
【請求項９】
上記流路形成板，振動板，ノズルプレートの積層体が、接着層を介さずに一体的に形成されている請求項１記載の液体噴射装置。
【請求項１０】
上記流路形成板，振動板，ノズルプレートの積層体が、流路形成板，封止板，ノズルプレートにそれぞれ対応するセラミックス材料のグリーンシートが積層され焼成されて形成されている請求項９記載の液体噴射装置。
【請求項１１】
上記ノズルプレートにノズル開口が形成されておらず、上記流路形成板の圧力発生室に対応する空間の内周面に切欠き凹部が形成され、流路形成板，振動板，ノズルプレートにそれぞれ対応するセラミックス材料のグリーンシートが積層されたのち、上記切欠き凹部を外部と連通させてノズル開口を形成する請求項１０記載の液体噴射装置。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【公開番号】特開２０１３−７８９５２（Ｐ２０１３−７８９５２Ａ）
【公開日】平成２５年５月２日（２０１３．５．２）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２０１２−２７４４７１（Ｐ２０１２−２７４４７１）
【出願日】平成２４年１２月１７日（２０１２．１２．１７）
【分割の表示】特願２０１０−２４３３１７（Ｐ２０１０−２４３３１７）の分割
【原出願日】平成１２年７月１９日（２０００．７．１９）
【出願人】（０００００２３６９）セイコーエプソン株式会社 (51,324)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２５年５月２日（２０１３．５．２）
【国際特許分類】
【出願日】平成２４年１２月１７日（２０１２．１２．１７）
【分割の表示】特願２０１０−２４３３１７（Ｐ２０１０−２４３３１７）の分割
【原出願日】平成１２年７月１９日（２０００．７．１９）
【出願人】（０００００２３６９）セイコーエプソン株式会社 (51,324)
【Ｆターム（参考）】
[ Back to top ]