液滴吐出ヘッドのクリーニング方法
【課題】ノズル形成面に液状体残りの少ない液滴吐出ヘッドのクリーニング方法を提供する。
【解決手段】液滴吐出ヘッド５０のノズル形成面５６ａと、ノズルを覆う吸引部２０とが接触し吸引空間３２を形成するＡ工程と、液滴吐出ヘッド５０の吸引空間３２を吸引して液状体を吸引するＢ工程と、液滴吐出ヘッド５０のノズル形成面５６ａと吸引部２０とを離間し、ノズル形成面５６ａと吸引部２０の対向面である吸収材表面２４ａとを隙間と角度を保って保持するＣ工程と、Ｃ工程の後で、液滴吐出ヘッド５０のノズル形成面５６ａを吸引部２０から吸引して液状体を吸引するＤ工程と、を有する。
【解決手段】液滴吐出ヘッド５０のノズル形成面５６ａと、ノズルを覆う吸引部２０とが接触し吸引空間３２を形成するＡ工程と、液滴吐出ヘッド５０の吸引空間３２を吸引して液状体を吸引するＢ工程と、液滴吐出ヘッド５０のノズル形成面５６ａと吸引部２０とを離間し、ノズル形成面５６ａと吸引部２０の対向面である吸収材表面２４ａとを隙間と角度を保って保持するＣ工程と、Ｃ工程の後で、液滴吐出ヘッド５０のノズル形成面５６ａを吸引部２０から吸引して液状体を吸引するＤ工程と、を有する。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液滴吐出ヘッドのクリーニング方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
液滴を吐出して基板などに描画を行う液滴吐出装置において、液滴吐出ヘッドの吐出性能を維持するために液滴吐出ヘッドのクリーニングが定期的に行われている。
液滴吐出ヘッドには多数の小さい穴径でノズルが形成され、このノズルから液滴が吐出される。ノズルはインク内の気泡や乾燥したインクなどの異物でつまりやすく、これらを取り除くためにクリーニングを実施する。一般的には、液滴吐出ヘッドを吸引してインクを排出し、液滴吐出ヘッド内の気泡と同時に異物を除去しているが、ノズル形成面にインクの残りができ、クリーニングは充分ではない。
他の液滴吐出ヘッドのクリーニングの方法として、例えば特許文献１に、インクジェットプリントヘッド（液滴吐出ヘッド）のノズル形成面と吸い込みノズルとを小さな間隙で対向させてインクを保持させ、このインクに超音波をかけることでインクジェットプリントヘッドのノズル形成面をクリーニングする方法が提案されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開平１１−２５４６９１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
この特許文献１におけるインクジェットプリントヘッドと吸い込みノズルとの間のインクは、一般的な方法と同様に、吸い込みノズル側から吸引して排出が行われる。
このため、インクジェットプリントヘッドのノズル近くにインクが残ることがあり、この残ったインクが乾燥してノズルのつまりを誘引することがある。また、このノズル形成面のインク残りを除去するためにこの吸引後にワイパーなどでノズル形成面を拭き取る工程を行っても、拭き残りが発生する。
このため、ノズル形成面にできるだけインク残りの少ない液滴吐出ヘッドのクリーニング方法が望まれている。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明は上記課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態または適用例として実現することが可能である。
【０００６】
［適用例１］本適用例にかかる液滴吐出ヘッドのクリーニング方法は、液滴吐出ヘッドに液状体を液滴として吐出するノズルを有し、前記ノズルの形成されたノズル形成面を吸引部から吸引する液滴吐出ヘッドのクリーニング方法であって、前記液滴吐出ヘッドの前記ノズル形成面と、前記ノズルを覆う前記吸引部とが接触し、吸引空間を形成するＡ工程と、前記液滴吐出ヘッドの前記吸引空間を吸引して液状体を吸引するＢ工程と、前記液滴吐出ヘッドの前記ノズル形成面と前記吸引部とを離間し、前記ノズル形成面と前記吸引部の対向面とを隙間と角度を保って保持するＣ工程と、前記Ｃ工程の後で、前記液滴吐出ヘッドの前記ノズル形成面を前記吸引部から吸引して液状体を吸引するＤ工程と、を有することを特徴とする。
【０００７】
この液滴吐出ヘッドのクリーニング方法によれば、液滴吐出ヘッドのノズル形成面と吸引部との間に吸引空間を形成して液状体を一旦吸引した後、ノズル形成面と吸引部とを離間し、ノズル形成面と吸引部の対向面とを隙間と角度を保ちながら、ノズル形成面を吸引部から再度吸引している。ノズル形成面と吸引部とが角度を持って対向するため、両者の隙間が狭い部分から広い部分へと連続して形成される。
このようにすれば、吸引によりこの隙間に溜まる液状体は対向する面から吸引され、最後には隙間の広い部分から狭い部分に液状体が移動するように小さくなって吸引されていく。このように、液状体が対向する面の隙間の広いところから狭いところへ流れていくように吸引されるため、ノズル形成面に残る液状体をほとんど無くすことができる。
【０００８】
［適用例２］上記適用例にかかる液滴吐出ヘッドのクリーニング方法において、前記Ｂ工程の後に、前記吸引空間内を大気開放するＥ工程と、を備えることが望ましい。
【０００９】
この液滴吐出ヘッドのクリーニング方法によれば、吸引空間を吸引して液状体を吸引するＢ工程の後に、吸引空間内を大気開放するＥ工程を備えている。吸引空間内を確実に大気開放することで、次のＣ工程におけるノズル形成面と吸引部とを離間する際に、液状体の飛び散りを確実に防止することができる。
【００１０】
［適用例３］上記適用例にかかる液滴吐出ヘッドのクリーニング方法において、前記Ｂ工程における前記吸引部からの吸引力より前記Ｄ工程の前記吸引部からの吸引力のほうが大きいことが望ましい。
【００１１】
この液滴吐出ヘッドのクリーニング方法によれば、液滴吐出ヘッドのノズル形成面と吸引部との間の吸引空間を吸引するＢ工程より、液滴吐出ヘッドのノズル形成面と吸引部との間の隙間を吸引するＤ工程における吸引部からの吸引力が大きい。
つまり、吸引空間が形成された場合、吸引力が大きくなくとも空間内を負圧にでき、液状体を吸引できる。これに対して液滴吐出ヘッドのノズル形成面と吸引部との間に隙間が形成される場合には、大きな吸引力が必要になる。このことから、Ｂ工程よりＤ工程における吸引部からの吸引力を大きくすることで、液状体の吸引を確実にすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】本実施形態にかかる液滴吐出装置の概略構成を示す説明図。
【図２】本実施形態にかかる液滴吐出ヘッドの構成を示し、（ａ）は液滴吐出ヘッドをノズルプレート側から見た外観斜視図、（ｂ）は液滴吐出ヘッドの圧力室周りの構造を示す斜視断面図、（ｃ）は液滴吐出ヘッドのノズル部分の構造を示す断面図。
【図３】本実施形態にかかる吸引装置の構成を示す概略図。
【図４】本実施形態にかかる吸引部の傾き機構を説明する概略断面図。
【図５】本実施形態にかかる液滴吐出ヘッドのクリーニング手順を示す説明図。
【図６】本実施形態にかかるクリーニング方法における液状体の吸引状態を説明する概略図。
【図７】本実施形態にかかる対向するノズル形成面と吸引部との関係を示す説明図。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下、本発明を具体化した実施形態について図面に従って説明する。なお、以下の説明に用いる各図面では、各部材を認識可能な大きさとするため、各部材の寸法の割合を適宜変更している。なお、以下の説明では直交座標系を用いて、各部の構成、動作などを説明する。
（実施形態）
【００１４】
＜液滴吐出装置＞
図１は液滴吐出装置の概略構成を示す説明図である。
液滴吐出装置１００は、所定の機能液を含む液状体をノズルが設けられた液滴吐出ヘッド５０から、吐出対象物としての基板Ｋに吐出して、所定の文字、図柄、画像等を描画する装置である。
液滴吐出装置１００は、直線状に設けられた一対のガイドレール１０１と、ガイドレール１０１に設けられたエアスライダーとリニアモーター（図示せず）により一つの直線軸方向（本実施形態ではＹ軸方向とする）に移動する移動台１０３を備えている。移動台１０３上には、基板Ｋを載置するための載置テーブル１０５が設けられている。基板Ｋは、載置テーブル１０５に吸着固定されるように構成されている。
【００１５】
載置テーブル１０５に対して移動台１０３と反対側の上方向には、所定の距離をおいて一対のガイドレール１０２が設けられている。ガイドレール１０２はガイドレール１０１と直交する直線軸方向（本実施形態ではＸ軸方向とする）に延在するように設けられている。
そして、液滴吐出装置１００には、この一対のガイドレール１０２に沿って移動するキャリッジ１２０が備えられている。このキャリッジ１２０は、その両側にキャリッジ１２０と一体若しくは別体でキャリッジ移動台１１０が設けられ、ガイドレール１０２に設けられたエアスライダーとリニアモーター（いずれも図示せず）により、Ｘ軸方向に沿って移動可能に構成されている。
【００１６】
キャリッジ１２０には、その下方向側に所定の配列方向を呈するように設けられた複数のノズルと、ノズル毎に液状体を吐出する吐出機構とが形成された液滴吐出ヘッド５０が備えられている。そして、図示しない液状体供給機構からキャリッジ１２０に供給された液状体は、キャリッジ１２０内に形成された流路を経由して液滴吐出ヘッド５０に供給され、吐出機構によって各ノズルから液滴として吐出する。
【００１７】
また、液滴吐出装置１００には、ガイドレール１０２の端部付近に液滴吐出ヘッド５０のメンテナンスユニットとして、液滴吐出ヘッド５０をメンテナンスする吸引装置１３０およびワイピング装置１４０とを備えている。
吸引装置１３０は、凹部が形成されたキャップ台２２に弾性部材からなるキャップ２１がはめ込まれている。吸引装置１３０は、この凹部内を吸引する吸引機構を備えている。また、キャップ台２２はＺ軸方向に昇降可能であり、液滴吐出ヘッド５０に接触できるように構成されている。
【００１８】
ワイピング装置１４０には、ワイパー台４５にゴムなどの弾性を有するワイパー４６がＺ軸方向に立設されている。そして、ワイピング装置１４０は、Ｚ軸方向に昇降可能に構成され、液滴吐出ヘッド５０の近傍まで移動して、液滴吐出ヘッド５０とワイパー４６とが接触可能に構成され、液滴吐出ヘッド５０のノズル形成面を拭くことができる。
一般にこのワイピング装置１４０は、吸引装置１３０で液滴吐出ヘッド５０を吸引した後に使用される。
【００１９】
移動台１０３のＹ軸方向の移動、キャリッジ１２０に設けられたキャリッジ移動台１１０のＸ軸方向の移動、および液滴吐出ヘッド５０に形成された吐出機構の駆動制御は、制御部１５０によって行われる。同様に、吸引装置１３０の吸引および昇降制御、ワイピング装置１４０の昇降制御は制御部１５０によって行われる。制御部１５０はコンピューター機能を有し、所定のプログラムに基づいてこれらの処理を実行する。
【００２０】
＜液滴吐出ヘッド＞
次に、液滴吐出ヘッド５０について説明する。図２は、液滴吐出ヘッドの構成を示す説明図である。図２（ａ）は液滴吐出ヘッドをノズルプレート側から見た外観斜視図、図２（ｂ）は液滴吐出ヘッドの圧力室周りの構造を示す斜視断面図、図２（ｃ）は液滴吐出ヘッドのノズル部分の構造を示す断面図である。
【００２１】
図２（ａ）に示すように、液滴吐出ヘッド５０は接続針５２を有する液体導入部５１と、その側方に連なるヘッド基板５３、方形のヘッド本体５４を備えている。液体導入部５１の接続針５２には、給液チューブが接続され液状体が供給される。ヘッド基板５３には、一対のヘッドコネクター５７が実装されており、フレキシブルケーブルが接続される。そしてヘッド本体５４には、ノズルプレート５６が構成されている。
【００２２】
ノズルプレート５６のノズル形成面５６ａには、液滴を吐出する複数のノズル５８が直線状に整列されて形成されている。
液滴吐出ヘッド５０が液滴吐出装置１００に取り付けられた状態では、ノズル５８はＹ軸方向に整列している。また、上記のような液滴吐出ヘッド５０を複数配列して液滴吐出装置１００に備えてもよい。
【００２３】
図２（ｂ）および図２（ｃ）に示すように、液滴吐出ヘッド５０は、ノズルプレート５６に圧力室プレート６１が積層されており、圧力室プレート６１に振動板６２が積層されている。
圧力室プレート６１には、液体導入部５１から振動板６２の液供給孔６３を経由して供給される液状体が充填される液たまり６５が形成されている。液たまり６５は、振動板６２と、ノズルプレート５６と、圧力室プレート６１の壁とに囲まれた空間である。また、圧力室プレート６１には、複数のヘッド隔壁６７によって区切られた圧力室６８が形成されている。振動板６２と、ノズルプレート５６と、２個のヘッド隔壁６７とによって囲まれた空間が圧力室６８である。
【００２４】
圧力室６８はノズル５８のそれぞれに対応して設けられている。圧力室６８には、２個のヘッド隔壁６７の間に位置する供給口６６を介して、液たまり６５から液状体が供給される。ヘッド隔壁６７と圧力室６８とノズル５８と供給口６６との組は、液たまり６５に沿って１列に並んでいる。
【００２５】
振動板６２の圧力室６８を構成する部分には、それぞれ圧電素子６９の一端が固定されている。
圧電素子６９は電極層と圧電材料とを積層した活性部を有し、電極層に所定の電圧波形を印加することで、活性部が長手方向に収縮あるいは伸長変形し、振動板６２を撓ませて圧力室６８に存在する液状体を加圧する。この結果、加圧された液状体は、ノズルプレート５６のノズル５８から、液状体１０が液滴１０ａとして吐出される。
なお、ノズルプレート５６のノズル形成面５６ａには撥水膜５６ｂが形成され、液状体１０がノズル形成面５６ａに濡れ広がるのを防止している。
また、液状体としては、紫外線（ＵＶ）硬化型インク、水性染料インク、水性顔料インク、油性染料インク、油性顔料インクなどが用いられる。
【００２６】
＜吸引装置＞
次に吸引装置について説明する。
図３は吸引装置の構成を示す概略図である。図４は吸引部の傾き機構を説明する概略断面図である。
吸引装置１３０は、吸引部２０と、三方弁３６と、吸引ポンプ３７と、排液状体タンク３８と、を備えている。また、図示しないが、吸引部２０をＺ軸方向に昇降させる昇降機構を備えている。
吸引部２０は凹部が形成されたキャップ台２２を有し、キャップ台２２の凹部に弾性部材からなるキャップ２１がはめ込まれている。キャップ２１は液滴吐出ヘッド５０の複数のノズルを囲んで覆うように、枠状のキャップ台２２の表面よりも突出した突出部を有している。このことから、キャップ２１が液滴吐出ヘッド５０のノズル形成面５６ａと接触することで液滴吐出ヘッド５０との間に吸引空間３２を形成する。そして、キャップ台２２の凹部の底面２２ａには吸引穴２５が形成されている。
なお、キャップ台２２の凹部に液状体を吸収する多孔質の吸収材２４を配置して、液状体の飛び散りを防止している。
【００２７】
さらに、キャップ台２２は台座２３に固定されている。台座２３には、キャップ台２２の吸引穴２５と連通する接続穴２３ｂが形成され、両者の穴はシールリング２６を介して接続され、吸引された液状体が漏れないように構成されている。
この台座２３の接続穴２３ｂの一端には継ぎ手部材２７が取り付けられ、この継ぎ手部材２７に吸引チューブ３５が接続されている。
また、台座２３の外周部にはその外周方向に広がる肩部２３ａが設けられている。さらに、台座２３の底部には、バネ２９が配置される案内凹部２３ｃが設けられている。
【００２８】
そして、台座２３の外側を囲み、キャップ２１の部分を開放したキャップホルダー３０が設けられている。キャップホルダー３０には台座２３の肩部２３ａを覆うような係止部３１が形成され、キャップホルダー３０の係止部３１と台座２３の肩部２３ａとが接触可能に構成されている。また、台座２３の案内凹部２３ｃにはバネ２９が配置され、キャップホルダー３０の底部との間で台座２３をＺ軸方向に押し上げる力を与えている。
【００２９】
継ぎ手部材２７に接続された吸引チューブ３５の後段には吸引ポンプ３７が接続されている。そして吸引ポンプ３７により吸引された液状体は排液状体タンク３８に貯留される。
また、継ぎ手部材２７と吸引ポンプ３７の間の吸引チューブ３５には三方弁３６が配置され、三方弁３６の一方は大気導入口となっている。この三方弁３６の切り替えにより、吸引チューブ３５の流路内を吸引または大気導入に変えることが可能である。
【００３０】
以上の構成の吸引装置１３０は、昇降機構により吸引部２０が上昇して、図３に示すように、液滴吐出ヘッド５０に吸引部２０が接触する。そして、液滴吐出ヘッド５０のノズル形成面５６ａと吸引部２０との間に吸引空間３２形成される。この状態では、バネ２９の付勢力により液滴吐出ヘッド５０にキャップ２１が押圧された状態にあり、吸引空間３２のシール性が確保される。
そして、吸引ポンプ３７を稼動させて吸引空間３２を吸引することで液滴吐出ヘッド５０内の液状体を吸引できる。
【００３１】
また、昇降機構により吸引部２０が下降して、液滴吐出ヘッド５０と吸引部２０との接触を解除したときには、吸引部２０は図４に示すような姿勢を保つ。
台座２３はバネ２９に付勢され台座２３の肩部２３ａと、キャップホルダー３０の係止部３１とが接触する位置まで上方に移動する。ここで、係止部３１の左右で高さ（厚さ）が異なるように構成されているため、台座２３は傾いた姿勢となる。
つまり、液滴吐出ヘッド５０のノズル形成面５６ａに対して、対向する吸引部２０におけるキャップ台２２の底面２２ａまたは吸収材２４の吸収材表面２４ａが角度θだけ傾いた姿勢となる。この角度θは本実施形態では１〜２°に設定されている。このように、吸引部２０にはキャップ台２２の傾き機構が備えられている。
【００３２】
＜液滴吐出ヘッドのクリーニング方法＞
次に、液滴吐出ヘッドのクリーニング手順について説明する。
図５は液滴吐出ヘッドのクリーニング手順を示す説明図である。
まず、液滴吐出ヘッドが移動し吸引装置の上方で停止する。そして、図５（ａ）に示すように、吸引装置１３０の昇降機構により吸引部２０が上昇して液滴吐出ヘッド５０のノズル形成面５６ａに接触する（Ａ工程）。このことにより、液滴吐出ヘッド５０と吸引部２０との間に吸引空間３２を形成する。
【００３３】
続いて、図５（ｂ）に示すように、吸引ポンプ３７を稼動して吸引空間３２を吸引する（Ｂ工程）。このとき、三方弁３６のバルブＶ１，Ｖ２，Ｖ３は、吸引経路のバルブであるＶ１，Ｖ２が開で大気開放バルブＶ３が閉となっており、吸引空間３２が吸引されて、液滴吐出ヘッド５０から液状体を吸引することができる。吸引された液状体は排液状体タンク３８に貯留される。
【００３４】
次に、吸引ポンプ３７を停止し、三方弁３６を切り替える。三方弁３６のバルブＶ２を閉とし、Ｖ１，Ｖ３を開とする。すると、図５（ｃ）に示すように、大気がバルブＶ３から吸引空間３２内に導入され、吸引ポンプ３７により吸引され負圧になった吸引空間３２内が大気圧となる（Ｅ工程）。このように、吸引空間３２内にバルブＶ３から大気が導入されるため、短時間にしかも確実に吸引空間３２内が大気圧に変換される。
なお、上記のように吸引空間３２内に強制的に大気を導入せず、吸引空間３２内が大気圧に戻るまで一定時間待機していてもよい。
【００３５】
そして、図５（ｄ）に示すように、吸引装置１３０の昇降機構により吸引部２０が降下してノズル形成面５６ａと吸引部２０とを離間する（Ｃ工程）。このように、吸引空間３２内が大気圧となっているため、ノズル形成面５６ａと吸引部２０とを離間する際に、液状体の飛び散りを確実に防止することができる。
このとき、吸引部２０のキャップ台２２の傾き機構により、液滴吐出ヘッド５０のノズル形成面５６ａと吸引部２０の対向面とを隙間と角度を保って保持する。
【００３６】
続いて、図５（ｅ）に示すように、吸引ポンプ３７を稼動してノズル形成面５６ａを吸引部２０から吸引して液状体を吸引する（Ｄ工程）。このとき、三方弁３６のバルブＶ１，Ｖ２，Ｖ３は、吸引経路のバルブであるＶ１，Ｖ２が開で大気開放バルブＶ３が閉となっている。
吸引部２０からの吸引により、液状体はノズル形成面５６ａと吸引部２０との隙間に一旦引き出され、そして吸引部２０から吸引ポンプ３７を介して排液状体タンク３８に流入し、液滴吐出ヘッド５０のクリーニングが完了する。
【００３７】
なお、Ｂ工程の吸引力よりＤ工程の吸引力を大きく設定しても良い。
つまり、吸引空間３２が形成された場合、吸引力が大きくなくとも空間内を負圧にでき、液状体を吸引できる。これに対して液滴吐出ヘッド５０のノズル形成面５６ａと吸引部２０との間に隙間が形成される場合には、大きな吸引力が必要になる。このことから、Ｂ工程よりＤ工程における吸引部からの吸引力を大きくすることで、液状体の吸引を確実にすることができる。
【００３８】
上記の液滴吐出ヘッドのクリーニングにおけるＤ工程の吸引状態について詳しく説明する。
図６はＤ工程における液状体の吸引状態を説明する概略図である。
図６（ａ）に示すように、Ｄ工程では液滴吐出ヘッド５０のノズル形成面５６ａと吸引部２０におけるキャップ２１先端との隙間Ｇ１，Ｇ２が両端で異なっている。本実施形態では隙間Ｇ１，Ｇ２は０．５ｍｍ〜２ｍｍに設定され、Ｇ１＞Ｇ２という関係にある。
このようにして、液滴吐出ヘッド５０のノズル形成面５６ａに対して、対向する吸引部２０におけるキャップ台２２の底面２２ａまたは吸収材２４の吸収材表面２４ａが隙間と角度を保って保持されている。
【００３９】
この状態から吸引部２０から吸引が行われると、ノズルプレート５６のノズル５８から液状体が吸引され、ノズル形成面５６ａと吸収材表面２４ａの間に液滴吐出ヘッド５０内に残った液状体１０が引き出される。
そして液状体１０は、多孔質の吸収部材を通過して吸引穴２５に引かれていく。このとき、ノズル形成面５６ａと吸収材表面２４ａとが角度を有して対向しているため、液状体１０は毛細管現象（毛管現象）により狭いところに入ろうとする力が働き、最後には図６（ｂ）に示すように、隙間の狭い側に移動して吸引されていく。このように、液状体１０が対向する面の隙間の広いところから狭いところへ流れていくように吸引されるため、ノズル形成面５６ａに残る液状体１０をほとんど無くすことができる。
【００４０】
また、対向する面の狭い場所はノズル形成面５６ａの外周部分となるため、液状体１０が最後に吸引される場所はこの外周部分に限られノズル５８から遠い場所となり、液状体１０が残ったとしてもノズル５８に与える影響が少ない。
さらに、液滴吐出ヘッド５０の吸引によるクリーニングの後に、ゴムなどの弾性を有するワーパーによるノズル形成面５６ａのワイピングが行われる場合には、液状体１０の残りがほとんど無くなるため、ワイピングによる液状体１０の飛び散りを無くすことができる。
【００４１】
次に、ノズル形成面に対する吸引部の傾きはどのように傾けてもよく、以下にその説明をする。
図７は本実施形態にかかる対向するノズル形成面と吸引部における対向面との位置関係を示す説明図である。ここでは、両者の面をＸ軸方向から見た側面と、Ｙ軸方向から見た側面で示している。
なお、ノズル形成面５６ａと対向する吸引部２０の面として、吸収材表面２４ａとして表しているが、吸収材２４を用いない場合には、キャップ台２２の凹部の底面２２ａが対向面となる（図６参照）。
【００４２】
図７（ａ）は上記で説明した実施形態におけるノズル形成面５６ａと吸収材表面２４ａとの配置関係であり、Ｘ軸方向から見たときにノズル形成面５６ａに対して吸収材表面２４ａが傾き、Ｙ軸方向から見たときにノズル形成面５６ａと吸収材表面２４ａとが平行である。
図７（ｂ）はＸ軸方向から見たときにノズル形成面５６ａと吸収材表面２４ａとが平行であり、Ｙ軸方向から見たときにノズル形成面５６ａに対して吸収材表面２４ａが傾いている。
図７（ｃ）はＸ軸方向から見たときにノズル形成面５６ａに対して吸収材表面２４ａが傾き、Ｙ軸方向から見たときにノズル形成面５６ａに対して吸収材表面２４ａが傾いている。
このような、図７（ｂ）、（ｃ）のようなノズル形成面に対する吸引部における対向面の配置であっても、本実施形態と同様の効果を有する。
【符号の説明】
【００４３】
１０…液状体、１０ａ…液滴、２０…吸引部、２１…キャップ、２２…キャップ台、２２ａ…底面、２３…台座、２３ａ…肩部、２３ｂ…接続穴、２３ｃ…案内凹部、２４…吸収材、２４ａ…吸収材表面、２５…吸引穴、２６…シールリング、２７…継ぎ手部材、２９…バネ、３０…キャップホルダー、３１…係止部、３２…吸引空間、３５…吸引チューブ、３６…三方弁、３７…吸引ポンプ、３８…排液状体タンク、４５…ワイパー台、４６…ワイパー、５０…液滴吐出ヘッド、５１…液状体導入部、５２…接続針、５３…ヘッド基板、５４…ヘッド本体、５６…ノズルプレート、５６ａ…ノズル形成面、５６ｂ…撥水膜、５７…コネクター、５８…ノズル、６１…圧力プレート、６２…振動板、６３…液供給孔、６５…液たまり、６６…供給口、６７…ヘッド隔壁、６８…圧力室、６９…圧電素子、１００…液滴吐出装置、１０１，１０２…ガイドレール、１０３…移動台、１０５…載置テーブル、１１０…キャリッジ移動台、１２０…キャリッジ、１３０…吸引装置、１４０…ワイピング装置、１５０…制御部。
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液滴吐出ヘッドのクリーニング方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
液滴を吐出して基板などに描画を行う液滴吐出装置において、液滴吐出ヘッドの吐出性能を維持するために液滴吐出ヘッドのクリーニングが定期的に行われている。
液滴吐出ヘッドには多数の小さい穴径でノズルが形成され、このノズルから液滴が吐出される。ノズルはインク内の気泡や乾燥したインクなどの異物でつまりやすく、これらを取り除くためにクリーニングを実施する。一般的には、液滴吐出ヘッドを吸引してインクを排出し、液滴吐出ヘッド内の気泡と同時に異物を除去しているが、ノズル形成面にインクの残りができ、クリーニングは充分ではない。
他の液滴吐出ヘッドのクリーニングの方法として、例えば特許文献１に、インクジェットプリントヘッド（液滴吐出ヘッド）のノズル形成面と吸い込みノズルとを小さな間隙で対向させてインクを保持させ、このインクに超音波をかけることでインクジェットプリントヘッドのノズル形成面をクリーニングする方法が提案されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開平１１−２５４６９１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
この特許文献１におけるインクジェットプリントヘッドと吸い込みノズルとの間のインクは、一般的な方法と同様に、吸い込みノズル側から吸引して排出が行われる。
このため、インクジェットプリントヘッドのノズル近くにインクが残ることがあり、この残ったインクが乾燥してノズルのつまりを誘引することがある。また、このノズル形成面のインク残りを除去するためにこの吸引後にワイパーなどでノズル形成面を拭き取る工程を行っても、拭き残りが発生する。
このため、ノズル形成面にできるだけインク残りの少ない液滴吐出ヘッドのクリーニング方法が望まれている。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明は上記課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態または適用例として実現することが可能である。
【０００６】
［適用例１］本適用例にかかる液滴吐出ヘッドのクリーニング方法は、液滴吐出ヘッドに液状体を液滴として吐出するノズルを有し、前記ノズルの形成されたノズル形成面を吸引部から吸引する液滴吐出ヘッドのクリーニング方法であって、前記液滴吐出ヘッドの前記ノズル形成面と、前記ノズルを覆う前記吸引部とが接触し、吸引空間を形成するＡ工程と、前記液滴吐出ヘッドの前記吸引空間を吸引して液状体を吸引するＢ工程と、前記液滴吐出ヘッドの前記ノズル形成面と前記吸引部とを離間し、前記ノズル形成面と前記吸引部の対向面とを隙間と角度を保って保持するＣ工程と、前記Ｃ工程の後で、前記液滴吐出ヘッドの前記ノズル形成面を前記吸引部から吸引して液状体を吸引するＤ工程と、を有することを特徴とする。
【０００７】
この液滴吐出ヘッドのクリーニング方法によれば、液滴吐出ヘッドのノズル形成面と吸引部との間に吸引空間を形成して液状体を一旦吸引した後、ノズル形成面と吸引部とを離間し、ノズル形成面と吸引部の対向面とを隙間と角度を保ちながら、ノズル形成面を吸引部から再度吸引している。ノズル形成面と吸引部とが角度を持って対向するため、両者の隙間が狭い部分から広い部分へと連続して形成される。
このようにすれば、吸引によりこの隙間に溜まる液状体は対向する面から吸引され、最後には隙間の広い部分から狭い部分に液状体が移動するように小さくなって吸引されていく。このように、液状体が対向する面の隙間の広いところから狭いところへ流れていくように吸引されるため、ノズル形成面に残る液状体をほとんど無くすことができる。
【０００８】
［適用例２］上記適用例にかかる液滴吐出ヘッドのクリーニング方法において、前記Ｂ工程の後に、前記吸引空間内を大気開放するＥ工程と、を備えることが望ましい。
【０００９】
この液滴吐出ヘッドのクリーニング方法によれば、吸引空間を吸引して液状体を吸引するＢ工程の後に、吸引空間内を大気開放するＥ工程を備えている。吸引空間内を確実に大気開放することで、次のＣ工程におけるノズル形成面と吸引部とを離間する際に、液状体の飛び散りを確実に防止することができる。
【００１０】
［適用例３］上記適用例にかかる液滴吐出ヘッドのクリーニング方法において、前記Ｂ工程における前記吸引部からの吸引力より前記Ｄ工程の前記吸引部からの吸引力のほうが大きいことが望ましい。
【００１１】
この液滴吐出ヘッドのクリーニング方法によれば、液滴吐出ヘッドのノズル形成面と吸引部との間の吸引空間を吸引するＢ工程より、液滴吐出ヘッドのノズル形成面と吸引部との間の隙間を吸引するＤ工程における吸引部からの吸引力が大きい。
つまり、吸引空間が形成された場合、吸引力が大きくなくとも空間内を負圧にでき、液状体を吸引できる。これに対して液滴吐出ヘッドのノズル形成面と吸引部との間に隙間が形成される場合には、大きな吸引力が必要になる。このことから、Ｂ工程よりＤ工程における吸引部からの吸引力を大きくすることで、液状体の吸引を確実にすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】本実施形態にかかる液滴吐出装置の概略構成を示す説明図。
【図２】本実施形態にかかる液滴吐出ヘッドの構成を示し、（ａ）は液滴吐出ヘッドをノズルプレート側から見た外観斜視図、（ｂ）は液滴吐出ヘッドの圧力室周りの構造を示す斜視断面図、（ｃ）は液滴吐出ヘッドのノズル部分の構造を示す断面図。
【図３】本実施形態にかかる吸引装置の構成を示す概略図。
【図４】本実施形態にかかる吸引部の傾き機構を説明する概略断面図。
【図５】本実施形態にかかる液滴吐出ヘッドのクリーニング手順を示す説明図。
【図６】本実施形態にかかるクリーニング方法における液状体の吸引状態を説明する概略図。
【図７】本実施形態にかかる対向するノズル形成面と吸引部との関係を示す説明図。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下、本発明を具体化した実施形態について図面に従って説明する。なお、以下の説明に用いる各図面では、各部材を認識可能な大きさとするため、各部材の寸法の割合を適宜変更している。なお、以下の説明では直交座標系を用いて、各部の構成、動作などを説明する。
（実施形態）
【００１４】
＜液滴吐出装置＞
図１は液滴吐出装置の概略構成を示す説明図である。
液滴吐出装置１００は、所定の機能液を含む液状体をノズルが設けられた液滴吐出ヘッド５０から、吐出対象物としての基板Ｋに吐出して、所定の文字、図柄、画像等を描画する装置である。
液滴吐出装置１００は、直線状に設けられた一対のガイドレール１０１と、ガイドレール１０１に設けられたエアスライダーとリニアモーター（図示せず）により一つの直線軸方向（本実施形態ではＹ軸方向とする）に移動する移動台１０３を備えている。移動台１０３上には、基板Ｋを載置するための載置テーブル１０５が設けられている。基板Ｋは、載置テーブル１０５に吸着固定されるように構成されている。
【００１５】
載置テーブル１０５に対して移動台１０３と反対側の上方向には、所定の距離をおいて一対のガイドレール１０２が設けられている。ガイドレール１０２はガイドレール１０１と直交する直線軸方向（本実施形態ではＸ軸方向とする）に延在するように設けられている。
そして、液滴吐出装置１００には、この一対のガイドレール１０２に沿って移動するキャリッジ１２０が備えられている。このキャリッジ１２０は、その両側にキャリッジ１２０と一体若しくは別体でキャリッジ移動台１１０が設けられ、ガイドレール１０２に設けられたエアスライダーとリニアモーター（いずれも図示せず）により、Ｘ軸方向に沿って移動可能に構成されている。
【００１６】
キャリッジ１２０には、その下方向側に所定の配列方向を呈するように設けられた複数のノズルと、ノズル毎に液状体を吐出する吐出機構とが形成された液滴吐出ヘッド５０が備えられている。そして、図示しない液状体供給機構からキャリッジ１２０に供給された液状体は、キャリッジ１２０内に形成された流路を経由して液滴吐出ヘッド５０に供給され、吐出機構によって各ノズルから液滴として吐出する。
【００１７】
また、液滴吐出装置１００には、ガイドレール１０２の端部付近に液滴吐出ヘッド５０のメンテナンスユニットとして、液滴吐出ヘッド５０をメンテナンスする吸引装置１３０およびワイピング装置１４０とを備えている。
吸引装置１３０は、凹部が形成されたキャップ台２２に弾性部材からなるキャップ２１がはめ込まれている。吸引装置１３０は、この凹部内を吸引する吸引機構を備えている。また、キャップ台２２はＺ軸方向に昇降可能であり、液滴吐出ヘッド５０に接触できるように構成されている。
【００１８】
ワイピング装置１４０には、ワイパー台４５にゴムなどの弾性を有するワイパー４６がＺ軸方向に立設されている。そして、ワイピング装置１４０は、Ｚ軸方向に昇降可能に構成され、液滴吐出ヘッド５０の近傍まで移動して、液滴吐出ヘッド５０とワイパー４６とが接触可能に構成され、液滴吐出ヘッド５０のノズル形成面を拭くことができる。
一般にこのワイピング装置１４０は、吸引装置１３０で液滴吐出ヘッド５０を吸引した後に使用される。
【００１９】
移動台１０３のＹ軸方向の移動、キャリッジ１２０に設けられたキャリッジ移動台１１０のＸ軸方向の移動、および液滴吐出ヘッド５０に形成された吐出機構の駆動制御は、制御部１５０によって行われる。同様に、吸引装置１３０の吸引および昇降制御、ワイピング装置１４０の昇降制御は制御部１５０によって行われる。制御部１５０はコンピューター機能を有し、所定のプログラムに基づいてこれらの処理を実行する。
【００２０】
＜液滴吐出ヘッド＞
次に、液滴吐出ヘッド５０について説明する。図２は、液滴吐出ヘッドの構成を示す説明図である。図２（ａ）は液滴吐出ヘッドをノズルプレート側から見た外観斜視図、図２（ｂ）は液滴吐出ヘッドの圧力室周りの構造を示す斜視断面図、図２（ｃ）は液滴吐出ヘッドのノズル部分の構造を示す断面図である。
【００２１】
図２（ａ）に示すように、液滴吐出ヘッド５０は接続針５２を有する液体導入部５１と、その側方に連なるヘッド基板５３、方形のヘッド本体５４を備えている。液体導入部５１の接続針５２には、給液チューブが接続され液状体が供給される。ヘッド基板５３には、一対のヘッドコネクター５７が実装されており、フレキシブルケーブルが接続される。そしてヘッド本体５４には、ノズルプレート５６が構成されている。
【００２２】
ノズルプレート５６のノズル形成面５６ａには、液滴を吐出する複数のノズル５８が直線状に整列されて形成されている。
液滴吐出ヘッド５０が液滴吐出装置１００に取り付けられた状態では、ノズル５８はＹ軸方向に整列している。また、上記のような液滴吐出ヘッド５０を複数配列して液滴吐出装置１００に備えてもよい。
【００２３】
図２（ｂ）および図２（ｃ）に示すように、液滴吐出ヘッド５０は、ノズルプレート５６に圧力室プレート６１が積層されており、圧力室プレート６１に振動板６２が積層されている。
圧力室プレート６１には、液体導入部５１から振動板６２の液供給孔６３を経由して供給される液状体が充填される液たまり６５が形成されている。液たまり６５は、振動板６２と、ノズルプレート５６と、圧力室プレート６１の壁とに囲まれた空間である。また、圧力室プレート６１には、複数のヘッド隔壁６７によって区切られた圧力室６８が形成されている。振動板６２と、ノズルプレート５６と、２個のヘッド隔壁６７とによって囲まれた空間が圧力室６８である。
【００２４】
圧力室６８はノズル５８のそれぞれに対応して設けられている。圧力室６８には、２個のヘッド隔壁６７の間に位置する供給口６６を介して、液たまり６５から液状体が供給される。ヘッド隔壁６７と圧力室６８とノズル５８と供給口６６との組は、液たまり６５に沿って１列に並んでいる。
【００２５】
振動板６２の圧力室６８を構成する部分には、それぞれ圧電素子６９の一端が固定されている。
圧電素子６９は電極層と圧電材料とを積層した活性部を有し、電極層に所定の電圧波形を印加することで、活性部が長手方向に収縮あるいは伸長変形し、振動板６２を撓ませて圧力室６８に存在する液状体を加圧する。この結果、加圧された液状体は、ノズルプレート５６のノズル５８から、液状体１０が液滴１０ａとして吐出される。
なお、ノズルプレート５６のノズル形成面５６ａには撥水膜５６ｂが形成され、液状体１０がノズル形成面５６ａに濡れ広がるのを防止している。
また、液状体としては、紫外線（ＵＶ）硬化型インク、水性染料インク、水性顔料インク、油性染料インク、油性顔料インクなどが用いられる。
【００２６】
＜吸引装置＞
次に吸引装置について説明する。
図３は吸引装置の構成を示す概略図である。図４は吸引部の傾き機構を説明する概略断面図である。
吸引装置１３０は、吸引部２０と、三方弁３６と、吸引ポンプ３７と、排液状体タンク３８と、を備えている。また、図示しないが、吸引部２０をＺ軸方向に昇降させる昇降機構を備えている。
吸引部２０は凹部が形成されたキャップ台２２を有し、キャップ台２２の凹部に弾性部材からなるキャップ２１がはめ込まれている。キャップ２１は液滴吐出ヘッド５０の複数のノズルを囲んで覆うように、枠状のキャップ台２２の表面よりも突出した突出部を有している。このことから、キャップ２１が液滴吐出ヘッド５０のノズル形成面５６ａと接触することで液滴吐出ヘッド５０との間に吸引空間３２を形成する。そして、キャップ台２２の凹部の底面２２ａには吸引穴２５が形成されている。
なお、キャップ台２２の凹部に液状体を吸収する多孔質の吸収材２４を配置して、液状体の飛び散りを防止している。
【００２７】
さらに、キャップ台２２は台座２３に固定されている。台座２３には、キャップ台２２の吸引穴２５と連通する接続穴２３ｂが形成され、両者の穴はシールリング２６を介して接続され、吸引された液状体が漏れないように構成されている。
この台座２３の接続穴２３ｂの一端には継ぎ手部材２７が取り付けられ、この継ぎ手部材２７に吸引チューブ３５が接続されている。
また、台座２３の外周部にはその外周方向に広がる肩部２３ａが設けられている。さらに、台座２３の底部には、バネ２９が配置される案内凹部２３ｃが設けられている。
【００２８】
そして、台座２３の外側を囲み、キャップ２１の部分を開放したキャップホルダー３０が設けられている。キャップホルダー３０には台座２３の肩部２３ａを覆うような係止部３１が形成され、キャップホルダー３０の係止部３１と台座２３の肩部２３ａとが接触可能に構成されている。また、台座２３の案内凹部２３ｃにはバネ２９が配置され、キャップホルダー３０の底部との間で台座２３をＺ軸方向に押し上げる力を与えている。
【００２９】
継ぎ手部材２７に接続された吸引チューブ３５の後段には吸引ポンプ３７が接続されている。そして吸引ポンプ３７により吸引された液状体は排液状体タンク３８に貯留される。
また、継ぎ手部材２７と吸引ポンプ３７の間の吸引チューブ３５には三方弁３６が配置され、三方弁３６の一方は大気導入口となっている。この三方弁３６の切り替えにより、吸引チューブ３５の流路内を吸引または大気導入に変えることが可能である。
【００３０】
以上の構成の吸引装置１３０は、昇降機構により吸引部２０が上昇して、図３に示すように、液滴吐出ヘッド５０に吸引部２０が接触する。そして、液滴吐出ヘッド５０のノズル形成面５６ａと吸引部２０との間に吸引空間３２形成される。この状態では、バネ２９の付勢力により液滴吐出ヘッド５０にキャップ２１が押圧された状態にあり、吸引空間３２のシール性が確保される。
そして、吸引ポンプ３７を稼動させて吸引空間３２を吸引することで液滴吐出ヘッド５０内の液状体を吸引できる。
【００３１】
また、昇降機構により吸引部２０が下降して、液滴吐出ヘッド５０と吸引部２０との接触を解除したときには、吸引部２０は図４に示すような姿勢を保つ。
台座２３はバネ２９に付勢され台座２３の肩部２３ａと、キャップホルダー３０の係止部３１とが接触する位置まで上方に移動する。ここで、係止部３１の左右で高さ（厚さ）が異なるように構成されているため、台座２３は傾いた姿勢となる。
つまり、液滴吐出ヘッド５０のノズル形成面５６ａに対して、対向する吸引部２０におけるキャップ台２２の底面２２ａまたは吸収材２４の吸収材表面２４ａが角度θだけ傾いた姿勢となる。この角度θは本実施形態では１〜２°に設定されている。このように、吸引部２０にはキャップ台２２の傾き機構が備えられている。
【００３２】
＜液滴吐出ヘッドのクリーニング方法＞
次に、液滴吐出ヘッドのクリーニング手順について説明する。
図５は液滴吐出ヘッドのクリーニング手順を示す説明図である。
まず、液滴吐出ヘッドが移動し吸引装置の上方で停止する。そして、図５（ａ）に示すように、吸引装置１３０の昇降機構により吸引部２０が上昇して液滴吐出ヘッド５０のノズル形成面５６ａに接触する（Ａ工程）。このことにより、液滴吐出ヘッド５０と吸引部２０との間に吸引空間３２を形成する。
【００３３】
続いて、図５（ｂ）に示すように、吸引ポンプ３７を稼動して吸引空間３２を吸引する（Ｂ工程）。このとき、三方弁３６のバルブＶ１，Ｖ２，Ｖ３は、吸引経路のバルブであるＶ１，Ｖ２が開で大気開放バルブＶ３が閉となっており、吸引空間３２が吸引されて、液滴吐出ヘッド５０から液状体を吸引することができる。吸引された液状体は排液状体タンク３８に貯留される。
【００３４】
次に、吸引ポンプ３７を停止し、三方弁３６を切り替える。三方弁３６のバルブＶ２を閉とし、Ｖ１，Ｖ３を開とする。すると、図５（ｃ）に示すように、大気がバルブＶ３から吸引空間３２内に導入され、吸引ポンプ３７により吸引され負圧になった吸引空間３２内が大気圧となる（Ｅ工程）。このように、吸引空間３２内にバルブＶ３から大気が導入されるため、短時間にしかも確実に吸引空間３２内が大気圧に変換される。
なお、上記のように吸引空間３２内に強制的に大気を導入せず、吸引空間３２内が大気圧に戻るまで一定時間待機していてもよい。
【００３５】
そして、図５（ｄ）に示すように、吸引装置１３０の昇降機構により吸引部２０が降下してノズル形成面５６ａと吸引部２０とを離間する（Ｃ工程）。このように、吸引空間３２内が大気圧となっているため、ノズル形成面５６ａと吸引部２０とを離間する際に、液状体の飛び散りを確実に防止することができる。
このとき、吸引部２０のキャップ台２２の傾き機構により、液滴吐出ヘッド５０のノズル形成面５６ａと吸引部２０の対向面とを隙間と角度を保って保持する。
【００３６】
続いて、図５（ｅ）に示すように、吸引ポンプ３７を稼動してノズル形成面５６ａを吸引部２０から吸引して液状体を吸引する（Ｄ工程）。このとき、三方弁３６のバルブＶ１，Ｖ２，Ｖ３は、吸引経路のバルブであるＶ１，Ｖ２が開で大気開放バルブＶ３が閉となっている。
吸引部２０からの吸引により、液状体はノズル形成面５６ａと吸引部２０との隙間に一旦引き出され、そして吸引部２０から吸引ポンプ３７を介して排液状体タンク３８に流入し、液滴吐出ヘッド５０のクリーニングが完了する。
【００３７】
なお、Ｂ工程の吸引力よりＤ工程の吸引力を大きく設定しても良い。
つまり、吸引空間３２が形成された場合、吸引力が大きくなくとも空間内を負圧にでき、液状体を吸引できる。これに対して液滴吐出ヘッド５０のノズル形成面５６ａと吸引部２０との間に隙間が形成される場合には、大きな吸引力が必要になる。このことから、Ｂ工程よりＤ工程における吸引部からの吸引力を大きくすることで、液状体の吸引を確実にすることができる。
【００３８】
上記の液滴吐出ヘッドのクリーニングにおけるＤ工程の吸引状態について詳しく説明する。
図６はＤ工程における液状体の吸引状態を説明する概略図である。
図６（ａ）に示すように、Ｄ工程では液滴吐出ヘッド５０のノズル形成面５６ａと吸引部２０におけるキャップ２１先端との隙間Ｇ１，Ｇ２が両端で異なっている。本実施形態では隙間Ｇ１，Ｇ２は０．５ｍｍ〜２ｍｍに設定され、Ｇ１＞Ｇ２という関係にある。
このようにして、液滴吐出ヘッド５０のノズル形成面５６ａに対して、対向する吸引部２０におけるキャップ台２２の底面２２ａまたは吸収材２４の吸収材表面２４ａが隙間と角度を保って保持されている。
【００３９】
この状態から吸引部２０から吸引が行われると、ノズルプレート５６のノズル５８から液状体が吸引され、ノズル形成面５６ａと吸収材表面２４ａの間に液滴吐出ヘッド５０内に残った液状体１０が引き出される。
そして液状体１０は、多孔質の吸収部材を通過して吸引穴２５に引かれていく。このとき、ノズル形成面５６ａと吸収材表面２４ａとが角度を有して対向しているため、液状体１０は毛細管現象（毛管現象）により狭いところに入ろうとする力が働き、最後には図６（ｂ）に示すように、隙間の狭い側に移動して吸引されていく。このように、液状体１０が対向する面の隙間の広いところから狭いところへ流れていくように吸引されるため、ノズル形成面５６ａに残る液状体１０をほとんど無くすことができる。
【００４０】
また、対向する面の狭い場所はノズル形成面５６ａの外周部分となるため、液状体１０が最後に吸引される場所はこの外周部分に限られノズル５８から遠い場所となり、液状体１０が残ったとしてもノズル５８に与える影響が少ない。
さらに、液滴吐出ヘッド５０の吸引によるクリーニングの後に、ゴムなどの弾性を有するワーパーによるノズル形成面５６ａのワイピングが行われる場合には、液状体１０の残りがほとんど無くなるため、ワイピングによる液状体１０の飛び散りを無くすことができる。
【００４１】
次に、ノズル形成面に対する吸引部の傾きはどのように傾けてもよく、以下にその説明をする。
図７は本実施形態にかかる対向するノズル形成面と吸引部における対向面との位置関係を示す説明図である。ここでは、両者の面をＸ軸方向から見た側面と、Ｙ軸方向から見た側面で示している。
なお、ノズル形成面５６ａと対向する吸引部２０の面として、吸収材表面２４ａとして表しているが、吸収材２４を用いない場合には、キャップ台２２の凹部の底面２２ａが対向面となる（図６参照）。
【００４２】
図７（ａ）は上記で説明した実施形態におけるノズル形成面５６ａと吸収材表面２４ａとの配置関係であり、Ｘ軸方向から見たときにノズル形成面５６ａに対して吸収材表面２４ａが傾き、Ｙ軸方向から見たときにノズル形成面５６ａと吸収材表面２４ａとが平行である。
図７（ｂ）はＸ軸方向から見たときにノズル形成面５６ａと吸収材表面２４ａとが平行であり、Ｙ軸方向から見たときにノズル形成面５６ａに対して吸収材表面２４ａが傾いている。
図７（ｃ）はＸ軸方向から見たときにノズル形成面５６ａに対して吸収材表面２４ａが傾き、Ｙ軸方向から見たときにノズル形成面５６ａに対して吸収材表面２４ａが傾いている。
このような、図７（ｂ）、（ｃ）のようなノズル形成面に対する吸引部における対向面の配置であっても、本実施形態と同様の効果を有する。
【符号の説明】
【００４３】
１０…液状体、１０ａ…液滴、２０…吸引部、２１…キャップ、２２…キャップ台、２２ａ…底面、２３…台座、２３ａ…肩部、２３ｂ…接続穴、２３ｃ…案内凹部、２４…吸収材、２４ａ…吸収材表面、２５…吸引穴、２６…シールリング、２７…継ぎ手部材、２９…バネ、３０…キャップホルダー、３１…係止部、３２…吸引空間、３５…吸引チューブ、３６…三方弁、３７…吸引ポンプ、３８…排液状体タンク、４５…ワイパー台、４６…ワイパー、５０…液滴吐出ヘッド、５１…液状体導入部、５２…接続針、５３…ヘッド基板、５４…ヘッド本体、５６…ノズルプレート、５６ａ…ノズル形成面、５６ｂ…撥水膜、５７…コネクター、５８…ノズル、６１…圧力プレート、６２…振動板、６３…液供給孔、６５…液たまり、６６…供給口、６７…ヘッド隔壁、６８…圧力室、６９…圧電素子、１００…液滴吐出装置、１０１，１０２…ガイドレール、１０３…移動台、１０５…載置テーブル、１１０…キャリッジ移動台、１２０…キャリッジ、１３０…吸引装置、１４０…ワイピング装置、１５０…制御部。
【特許請求の範囲】
【請求項１】
液滴吐出ヘッドに液状体を液滴として吐出するノズルを有し、前記ノズルの形成されたノズル形成面を吸引部から吸引する液滴吐出ヘッドのクリーニング方法であって、
前記液滴吐出ヘッドの前記ノズル形成面と、前記ノズルを覆う前記吸引部とが接触し、吸引空間を形成するＡ工程と、
前記液滴吐出ヘッドの前記吸引空間を吸引して液状体を吸引するＢ工程と、
前記液滴吐出ヘッドの前記ノズル形成面と前記吸引部とを離間し、前記ノズル形成面と前記吸引部の対向面とを隙間と角度を保って保持するＣ工程と、
前記Ｃ工程の後で、前記液滴吐出ヘッドの前記ノズル形成面を前記吸引部から吸引して液状体を吸引するＤ工程と、を有することを特徴とする液滴吐出ヘッドのクリーニング方法。
【請求項２】
請求項１に記載の液滴吐出ヘッドのクリーニング方法において、
前記Ｂ工程の後に、前記吸引空間内を大気開放するＥ工程と、を備えることを特徴とする液滴吐出ヘッドのクリーニング方法。
【請求項３】
請求項１または２に記載の液滴吐出ヘッドのクリーニング方法において、
前記Ｂ工程における前記吸引部からの吸引力より前記Ｄ工程の前記吸引部からの吸引力のほうが大きいことを特徴とする液滴吐出ヘッドのクリーニング方法。
【請求項１】
液滴吐出ヘッドに液状体を液滴として吐出するノズルを有し、前記ノズルの形成されたノズル形成面を吸引部から吸引する液滴吐出ヘッドのクリーニング方法であって、
前記液滴吐出ヘッドの前記ノズル形成面と、前記ノズルを覆う前記吸引部とが接触し、吸引空間を形成するＡ工程と、
前記液滴吐出ヘッドの前記吸引空間を吸引して液状体を吸引するＢ工程と、
前記液滴吐出ヘッドの前記ノズル形成面と前記吸引部とを離間し、前記ノズル形成面と前記吸引部の対向面とを隙間と角度を保って保持するＣ工程と、
前記Ｃ工程の後で、前記液滴吐出ヘッドの前記ノズル形成面を前記吸引部から吸引して液状体を吸引するＤ工程と、を有することを特徴とする液滴吐出ヘッドのクリーニング方法。
【請求項２】
請求項１に記載の液滴吐出ヘッドのクリーニング方法において、
前記Ｂ工程の後に、前記吸引空間内を大気開放するＥ工程と、を備えることを特徴とする液滴吐出ヘッドのクリーニング方法。
【請求項３】
請求項１または２に記載の液滴吐出ヘッドのクリーニング方法において、
前記Ｂ工程における前記吸引部からの吸引力より前記Ｄ工程の前記吸引部からの吸引力のほうが大きいことを特徴とする液滴吐出ヘッドのクリーニング方法。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【公開番号】特開２０１１−１４３５４４（Ｐ２０１１−１４３５４４Ａ）
【公開日】平成２３年７月２８日（２０１１．７．２８）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２０１０−３６８９（Ｐ２０１０−３６８９）
【出願日】平成２２年１月１２日（２０１０．１．１２）
【出願人】（０００００２３６９）セイコーエプソン株式会社 (51,324)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２３年７月２８日（２０１１．７．２８）
【国際特許分類】
【出願日】平成２２年１月１２日（２０１０．１．１２）
【出願人】（０００００２３６９）セイコーエプソン株式会社 (51,324)
【Ｆターム（参考）】
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