物理量検出センサーおよび電子機器
【課題】検出の精度を高めることができる物理量検出センサーを提供する。
【解決手段】物理量検出センサー１１は駆動電極２１ａおよび検出電極２２ａを有する。検出電極２２ａは、駆動電極２１ａとの間で静電結合を生じる距離で駆動電極２１ａから離れて配置される。可動部材１５は駆動電極２１ａおよび検出電極２２ａに対向して設けられる。可動部材１５は、物理量の変化に応じて駆動電極２１ａおよび検出電極２２ａに対して相対変位する。自励発振回路２６は、駆動電極２１ａを通じて振動片の自励発振を引き起こす駆動信号を供給する。検出回路２７は、駆動信号に基づき、駆動電極２１ａと検出電極２２ａとの間の静電容量に応じて検出電極２２ａに生じる静電容量信号を検出する。
【解決手段】物理量検出センサー１１は駆動電極２１ａおよび検出電極２２ａを有する。検出電極２２ａは、駆動電極２１ａとの間で静電結合を生じる距離で駆動電極２１ａから離れて配置される。可動部材１５は駆動電極２１ａおよび検出電極２２ａに対向して設けられる。可動部材１５は、物理量の変化に応じて駆動電極２１ａおよび検出電極２２ａに対して相対変位する。自励発振回路２６は、駆動電極２１ａを通じて振動片の自励発振を引き起こす駆動信号を供給する。検出回路２７は、駆動信号に基づき、駆動電極２１ａと検出電極２２ａとの間の静電容量に応じて検出電極２２ａに生じる静電容量信号を検出する。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は物理量検出センサーおよび電子機器等に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば特許文献１に開示されるように、物理量（圧力）を検出する物理量検出センサーは一般に知られる。物理量検出センサーはダイアフラムを備える。ダイアフラムは、物理量（圧力）の変化に応じて電極に対して相対的に変位する。電極で静電容量が変化する。こうして静電容量の変化に応じて物理量（圧力）は計測される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開平８−１８４５１７号公報
【特許文献２】特開平８−２６２０５６号公報
【特許文献３】特開平８−３５９８３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
前述のような物理量検出センサーでは静電容量の変化は非常に小さい。静電容量の変化はできるだけ高い精度で検出されることが望まれる。また、物理量検出センサーはできるだけ小型化されることが望まれる。
【０００５】
本発明の少なくとも１つの態様によれば、検出の精度を高めることができる物理量検出センサーを提供することができる。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
（１）本発明の一態様は、駆動電極を有する振動片と、前記駆動電極との間で静電結合を生じる距離で前記駆動電極から離れて配置されている検出電極と、前記駆動電極および前記検出電極に対向して設けられ、物理量の変化に応じて前記駆動電極および前記検出電極に対して相対変位する可動部材と、前記駆動電極を通じて前記振動片の自励発振を引き起こす駆動信号を供給する自励発振回路と、前記駆動信号に基づき、前記駆動電極と前記検出電極との間の静電容量に応じて前記検出電極に生じる静電容量信号を検出する検出回路とを備えることを特徴とする物理量検出センサーに関する。
【０００７】
振動片自励発振の駆動信号は駆動電極と検出電極との間で静電容量の周期的変化を生み出す。したがって、検出電極の検出信号すなわち静電容量信号の周波数は駆動信号の周波数を反映する。このとき、可動部材が駆動電極および検出電極に対して相対変位すると、変位量に応じて静電容量は増減する。この増減は物理量の変化に相当する。こうして物理量の変化は静電容量の周期的変化に重畳される。その結果、静電容量の変化および駆動信号に基づき物理量の変化は高い精度で検出されることができる。
【０００８】
（２）物理量検出センサーでは、前記可動部材は導体であることができ、当該可動部材は接地されることができる。こうして可動部材は電磁波に対してシールド効果を発揮することができる。駆動電極や検出電極、自励発振回路、検出回路は外部の電磁波から保護されることができる。物理量検出センサーは電磁波に邪魔されずに正確に物理量を検出することができる。
【０００９】
（３）物理量検出センサーは、前記可動部材と協働し、少なくとも前記振動片、前記駆動電極および前記検出電極を密封する容器をさらに備えることができる。容器内で気流は生じない。しかも、容器内に塵埃は進入しない。その結果、静電容量の周期的変化には確実に可動部材の相対変位のみが影響する。静電容量の周期的変化には正確に物理量の変化が重畳される。したがって、物理量検出センサーでは高い精度で物理量が検出されることができる。
【００１０】
（４）前記可動部材は、前記容器内の圧力と前記容器外の圧力との圧力差に基づき変形することができる。こうして圧力センサーは実現されることができる。物理量として圧力は高い精度で測定されることができる。
【００１１】
（５）前記可動部材の少なくとも一部が磁性材料であることができ、あるいは、前記可動部材には磁性体が取り付けられることができる。こうして磁気センサーは実現されることができる。物理量として磁力は高い精度で測定されることができる。
【００１２】
（６）前記検出回路は、前記静電容量信号および前記駆動信号の同期検波から、同期検波された静電容量信号を検出する同期検波回路を備えることができる。前述のように、物理量検出センサーでは物理量の変化は静電容量の周期的変化に重畳される。したがって、同期検波によれば、重畳された信号成分は高い精度で抽出されることができる。
【００１３】
（７）前記振動片の材料には水晶が用いられることができる。こうした水晶の採用によれば、振動片の発振は安定する。その結果、高い精度で物理量は測定されることができる。
【００１４】
（８）以上のような物理量検出センサーは電子機器に組み込まれることができる。電子機器には例えばナビゲーション装置や車体姿勢検出装置、ハードディスク駆動装置（ＨＤＤ）、家電、通信機器、情報端末その他のものが含まれることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】本発明の第１実施形態に係る物理量検出センサーすなわち圧力センサーの外観を概略的に示す斜視図である。
【図２】圧力センサーの垂直断面図である。
【図３】振動片の構造を概略的に示す斜視図である。
【図４】回路構成を概略的に示すブロック図である。
【図５】図２に対応し、本発明の第２実施形態に係る物理量検出センサーすなわち磁気センサーの垂直断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下、添付図面を参照しつつ本発明の一実施形態を説明する。なお、以下に説明する本実施形態は、特許請求の範囲に記載された本発明の内容を不当に限定するものではなく、本実施形態で説明される構成の全てが本発明の解決手段として必須であるとは限らない。
【００１７】
（１）第１実施形態に係る圧力センサーの構成
図１は本発明の第１実施形態に係る物理量検出センサーすなわち圧力センサー（物理量検出センサー）１１の外観を概略的に示す。圧力センサー１１は例えば箱形の容器１２を備える。容器１２は容器本体１３および蓋材１４を備える。容器本体１３の開口は蓋材１４で気密に塞がれる。容器１２の内部空間は例えば真空に封止されることができる。容器１２は剛体として機能する。すなわち、計測域の圧力下では容器本体１３および蓋材１４は変形しない。少なくとも蓋材１４は導体から形成されることができる。
【００１８】
蓋材１４にはダイアフラム（可動部材）１５が組み込まれる。ダイアフラム１５は円形の薄板材で形成される。ダイアフラム１５は導体から形成されることができる。ダイアフラム１５はステンレス薄板であってもよくシリコン薄板であってもよい。ダイアフラム１５は少なくとも計測域の圧力下で可撓性を有する。ダイアフラム１５は容器１２内の圧力と容器１２外の圧力との圧力差に基づき変形する。ダイアフラム１５に外側から圧力が作用すると、圧力の増大に応じてダイアフラム１５は内側に窪み、圧力の減少に応じてダイアフラム１５は外側に膨らむ。ダイアフラム１５は一体成形に基づき蓋材１４に一体化されることができる。ここでは、ダイアフラム１５は接地される。その他、容器本体１３はダイアフラム１５の輪郭に合わせて円筒形に形成されてもよい。
【００１９】
図２に示されるように、容器１２には振動片１６およびＩＣ（集積回路）チップ１７が収容される。振動片１６およびＩＣチップ１７は容器１２の内部空間内に配置される。振動片１６の本体は水晶といった圧電材料から形成される。振動片１６の本体は、後述されるように、固定片１８および振動腕１９を有する。振動片１６は固定片１８で容器本体１３に固定される。固定にあたって例えば接着剤が用いられることができる。ＩＣチップ１７は例えば容器本体１３の底板に接着されればよい。
【００２０】
振動片１６は駆動電極２１ａ（２１ｂ）、２１ｃと検出電極２２ａ（２２ｂ）とを有する。駆動電極２１ａ（２２ｂ）、２１ｃおよび検出電極２２ａ（２２ｂ）はそれぞれ個別にＩＣチップ１７に電気的に接続される。こういった接続にあたって振動片１６の本体外表面には導電材の配線パターン（図示されず）が形成されることができる。駆動電極２１ａ（２１ｂ）、２１ｃにはＩＣチップ１７から駆動信号が供給される。その結果、駆動電極２１ａ（２１ｂ）と検出電極２２ａ（２２ｂ）との間には静電結合２３が生成される。駆動電極２１ａ（２１ｂ）および検出電極２２ａ（２２ｂ）にはダイアフラム１５が向き合わせられる。容器１２外の圧力の増大に応じてダイアフラム１５が駆動電極２１ａ（２１ｂ）および検出電極２２ａ（２２ｂ）に近づくと、静電容量は減少する。反対に、容器１２外の圧力の低下に応じてダイアフラム１５が駆動電極２１ａ（２１ｂ）および検出電極２２ａ（２２ｂ）から遠ざかると、静電容量は増大する。こうした静電容量の変化はＩＣチップ１７に伝達される。ＩＣチップ１７の出力は例えば導体のピン端子（図示されず）で容器１２の外側に引き出される。
【００２１】
図３に示されるように、振動片１６はいわゆる音叉形に形成される。すなわち、固定片１８から２本の振動腕１９が相互に平行に延びる。個々の振動腕１９ごとに振動腕１９の外表面には駆動電極すなわち第１駆動電極２１ａおよび第２駆動電極２１ｂが形成される。２つの振動腕１９に共通に個々の駆動電極２１ａ、２１ｂに関連づけられて駆動腕１９の外表面には駆動電極２１ｃが形成される。さらに、個々の駆動電極２１ａ、２１ｂに関連づけられて固定片１８の外表面に１対の検出電極すなわち第１検出電極２２ａおよび第２検出電極２２ｂが形成される。個々の検出電極２２ａ、２２ｂは、対応の駆動電極２１ａ、２１ｂとの間で静電結合を生じる距離で対応の駆動電極２１ａ、２１ｂから離れて配置される。すなわち、個々の検出電極２２ａ、２２ｂと対応の駆動電極２１ａ、２１ｂとは誘電体（真空を含む）で相互に離隔される。
【００２２】
ＩＣチップ１７には、図４に示されるように、自励発振回路２６および検出回路２７が構築される。自励発振回路２６は第１駆動電極２１ａおよび第３駆動電極２１ｃから一方の振動腕１９に交流電圧を印加し、第２駆動電極２１ｂおよび第３駆動電極２１ｃから他方の振動腕１９に交流電圧を印加する。ここでは振動片、第１駆動電極２１ａに周波数ωの駆動信号が供給されると、１８０°の位相遅れで第２駆動電極２１ｂに周波数ωの駆動信号が供給される。自励発振回路２６は振動片１６の固有周波数ωで振動腕１９の自励発振を引き起こす。
【００２３】
自励発振回路２６は電流アンプ２８、自動振幅制御回路２９、増幅アンプ３０および反転アンプ３１を含む。電流アンプ２８は配線で第２駆動電極２１ｂに電気的に接続される。電流アンプ２８は所定の増幅率で第３駆動電極２１ｃの出力信号を増幅する。電流アンプ２８には自動振幅制御回路２９が接続される。自動振幅制御回路２９には基準電圧回路３２から基準電圧が供給される。自動振幅制御回路２９は基準電圧に応じて出力信号の電圧振幅を一定に調整する。自動振幅制御回路２９には増幅アンプ３０が接続される。増幅アンプ３０は自動振幅制御回路２９の出力信号を増幅する。増幅アンプ３０は配線で第２駆動電極に電気的に接続される。増幅アンプ３０の出力信号は第２駆動電極２１ｂに供給される。増幅アンプ３０には反転アンプ３１が接続される。反転アンプ３１は増幅アンプ３０の出力信号を反転する。反転アンプ３１は配線で第１駆動電極２１ａに電気的に接続される。反転アンプ３１の出力信号は第１駆動電極２１ａに供給される。自動振幅制御回路２９は駆動電極２１ａ、２１ｂに与えられる電圧信号の温度変化を防ぐ。
【００２４】
検出回路２７は、第１チャージアンプ３４、第２チャージアンプ３５、差動アンプ３６、同期検波回路３７およびローパスフィルター３８を含む。第１チャージアンプ３４は配線で第１検出電極２２ａに接続される。第１検出電極２２ａには対応の第１駆動電極２１ａとの静電結合に応じた電流が第１駆動電極２１ａの信号から２７０°の位相遅れで現れる。第１チャージアンプ３４は第１検出電極２２ａの検出信号（静電容量信号）を増幅する。第２チャージアンプ３５は配線で第２検出電極２２ｂに接続される。第２検出電極２２ｂには対応の第２駆動電極２１ｂとの静電結合に応じた電流が第２駆動電極２１ｂの信号から２７０°の位相遅れで現れる。第２チャージアンプ３５は第２検出電極２２ｂの検出信号（静電容量信号）を増幅する。第１チャージアンプ３４および第２チャージアンプ３５には差動アンプ３６が接続される。差動アンプ３６は第１チャージアンプ３４の出力と第２チャージアンプ３５の出力とを差動増幅する。第１チャージアンプ３４および第２チャージアンプ３５は２７０°の位相遅れを生成する。
【００２５】
差動アンプ３６には同期検波回路３７が接続される。同期検波回路３７は自励発振回路２６の電流アンプ２８の出力に基づき差動アンプ３６の出力を同期検波する。同期検波回路３７には電流アンプ２８の出力から３６０°の位相遅れで周波数ωの信号が供給される。この同期検波に応じて物理量すなわち圧力の変化分に相当する信号成分が差動アンプ３６の出力から抽出される。同期検波回路３７にはローパスフィルター３８が接続される。ローパスフィルター３８は、圧力の変化よりも短い周期で変化する信号成分すなわちノイズを除去する。こうして圧力の変化量に応じてローパスフィルター３８から信号が出力される。
【００２６】
（２）圧力センサーのキャリブレーション
圧力センサー１１には基準圧力が設定される。基準圧力は例えば１気圧すなわち１０１．３２５ｋＰａに設定されることができる。キャリブレーションにあたってダイアフラム１５には１０１．３２５ｋＰａの圧力が加えられる。このとき、検出回路２７のローパスフィルター３８から出力される電流値が測定される。この電流値は基準電流値に設定される。その後、加えられる圧力は変更される。こうして想定される計測域内で圧力値と電流値との相関関係が導き出される。その結果、検出される電流値に基づき圧力値は特定されることができる。
【００２７】
（３）圧力センサーの動作
次に圧力センサー１１の動作を説明する。いま、圧力センサー１１に大気圧（＝１０１．３２５ｋＰａ）よりも大きい圧力が作用すると、ダイアフラム１５は内側に窪む。その結果、ダイアフラム１５は第１および第２駆動電極２１ａ、２１ｂ並びに第１および第２検出電極２２ａ、２２ｂに近づく。ダイアフラム１５からグラウンドに電流は逃げる。静電結合の電流は減少する。
【００２８】
第１駆動電極２１ａおよび第２駆動電極２１ｂには周波数ωで交流電圧が印加される。振動腕１９は固有周波数ωで自励発振する。第１駆動電極２１ａおよび第１検出電極２２ａの間で静電容量は周波数ωで周期的に変化する。すなわち、第１検出電極２２ａの検出信号の周波数は第１駆動電極２１ａの駆動信号の周波数を反映する。同様に、第２駆動電極２１ｂおよび第２検出電極２２ｂの間で静電容量は周波数ωで周期的に変化する。すなわち、第２検出電極２２ｂの検出信号の周波数は第２駆動電極２１ｂの駆動信号の周波数を反映する。第２検出電極２２ｂの検出信号には第１検出電極２２ａの検出信号に対して１８０°の位相遅れが生じる。ここで、前述のように静電結合の電流が減少すると、第１検出電極２２ａおよび第２検出電極２２ｂの検出信号では振幅が縮小する。
【００２９】
差動アンプ３６は第１チャージアンプ３４の出力と第２チャージアンプ３５の出力とを差動増幅する。第１チャージアンプ３４の出力と第２チャージアンプ３５の出力とは１８０°の位相差を有することから、出力の振幅は実質的に倍増する。出力では周波数ωの周期的変化は維持される。同期検波回路３７は差動アンプ３６の出力を同期検波する。静電結合の電流の減少は静電容量の周期的変化に重畳され、加えて、静電容量の周期的変化は振動片１６の駆動信号の変化を反映することから、同期検波の働きで静電結合の電流の減少分は抽出される。同期検波は高い精度で差動アンプ３６の出力と振動片１６の駆動信号との差分を抽出することから、同期検波回路３７の出力は高い精度で静電結合の電流の減少分すなわちダイアフラム１５に作用する圧力の増加分を反映する。その結果、ローパスフィルター３８の出力から高い精度で圧力値は特定されることができる。
【００３０】
圧力センサー１１に大気圧よりも小さい圧力が作用すると、ダイアフラム１５は外側に膨らむ。その結果、ダイアフラム１５は第１および第２駆動電極２１ａ、２１ｂ並びに第１および第２検出電極２２ａ、２２ｂから遠ざかる。グラウンドに流れる電流は減少する。静電結合の電流は増加する。静電結合の電流が増加すると、第１検出電極２２ａおよび第２検出電極２２ｂの検出信号では振幅は増大する。同期検波で静電結合の電流の増加分が抽出される。同期検波回路３７の出力は高い精度で静電結合の電流の増加分すなわちダイアフラム１５に作用する圧力の減少分を反映する。その結果、ローパスフィルター３８の出力から高い精度で圧力は特定されることができる。
【００３１】
圧力センサー１１によれば、振動片１６の駆動信号は、第１駆動電極２１ａおよび第１検出電極２２ａの間と、第２駆動電極２１ｂおよび第２検出電極２２ｂの間とで静電容量の周期的変化を生み出す。したがって、第１および第２検出電極２２ａ、２２ｂの検出信号の周波数は振動片１６の駆動信号の周波数ωを反映する。しかも、振動片１６は自励発振することから、駆動信号の周波数ωは安定化する。前述のように圧力の変化は静電容量の周期的変化に重畳されることから、第１検出電極２２ａおよび第２検出電極２２ｂから検出される静電容量の変化と、第１駆動電極２１ａおよび第２駆動電極２１ｂに供給される駆動信号に基づき物理量すなわち圧力の変化は高い精度で検出されることができる。特に、同期検波によれば、重畳された信号成分は高い精度で抽出されることができる。
【００３２】
加えて、圧力センサー１１ではダイアフラム１５および蓋材１４は導体から形成される。ダイアフラム１５および蓋材１４は接地される。その結果、ダイアフラム１５および蓋材１４は電磁波に対してシールド効果を発揮することができる。第１および第２駆動電極２１ａ、２１ｂや第１および第２検出電極２２ａ、２２ｂ、ＩＣチップ１７は外部の電磁波から保護されることができる。圧力センサー１１は電磁波に邪魔されずに正確に圧力を検出することができる。
【００３３】
さらに、圧力センサー１１では、少なくとも振動片１６、第１、第２および第３駆動電極２１ａ、２１ｂ、２１ｃ並びに第１および第２検出電極２２ａ、２２ｂは容器１２内に密封される。容器１２内に気流は生じない。しかも、容器１２内に塵埃は進入しない。その結果、静電容量の周期的変化には確実にダイアフラム１５の相対変位のみが影響する。静電容量の周期的変化には正確に圧力の変化が重畳される。したがって、圧力センサー１１では高い精度で圧力が検出されることができる。
【００３４】
圧力センサー１１は例えばナビゲーション装置や車体姿勢検出装置、ハードディスク駆動装置（ＨＤＤ）といった電子機器に組み込まれて使用されることができる。ただし、圧力センサー１１の用途はこれら電子機器に限定されるものではない。その他、静電容量の変化はいずれか一方の検出電極２２ａ、２２ｂから検出されてもよい。この場合には、例えば第３駆動電極２１ｃおよび第２検出電極２２ｂは省略されることができる。自励発振回路２６は第１駆動電極２１ａおよび第２駆動電極２１ｂから振動片１６に交流電圧を印加すればよい。検出回路２７では差動アンプ３６は省略されることができる。
【００３５】
（４）第２実施形態に係る磁気センサーの構成
図５は第２実施形態に係る物理量検出センサーすなわち磁気センサー（物理量検出センサー）４１の構成を概略的に示す。この磁気センサー４１はダイアフラム１５の表面に配置される磁性体４２を備える。磁性体４２は例えば板状に形成される。磁性体４２はダイアフラム１５の表面に接着されることができる。磁性体４２には例えば鉄、コバルトおよびニッケルといった強磁性材料が用いられることができる。磁性体４２に磁界が作用すると、ダイアフラム１５は撓むことができる。例えば、磁性体４２の外表面がＮ極で磁化されれば、ダイアフラム１５の外側からＮ極の磁界が作用すると、ダイアフラム１５は内側に窪み、ダイアフラム１５の外側からＳ極の磁界が作用すると、ダイアフラム１５は外側に膨らむ。磁性体４２は一体成形に基づきダイアフラム１５に一体化されることができダイアフラム１５および蓋材１４に一体化されることができる。その他の構成は前述の第１実施形態に係る圧力センサー１１と同一である。ただし、容器１２には容器１２の内外を接続する微細通路が形成されることができる。微細通路は容器１２の内外で空気のやり取りを許容し容器１２内外の圧力差を解消する。こうした構造によれば、ダイアフラム１５は圧力（気圧）変動の影響から解放されることができる。こうした磁気センサー４１でも、前述の圧力センサー１１と同様に、高い精度で磁力は計測されることができる。
【００３６】
磁気センサー４１は例えばナビゲーション装置で方位計として利用されることができる。その他、磁石と対で使用されて、家電の扉開閉検知装置や折り畳み式通信機器または情報端末の開閉検知装置として利用されることができる。ただし、磁気センサー４１の用途はこれら電子機器に限定されるものではない。
【００３７】
なお、上記のように本実施形態について詳細に説明したが、本発明の新規事項および効果から実体的に逸脱しない多くの変形が可能であることは当業者には容易に理解できるであろう。したがって、このような変形例はすべて本発明の範囲に含まれる。例えば、明細書または図面において、少なくとも一度、より広義または同義な異なる用語とともに記載された用語は、明細書または図面のいかなる箇所においても、その異なる用語に置き換えられることができる。また、圧力センサーおよび磁気センサー等の構成および動作も本実施形態で説明したものに限定されず、種々の変形が可能である。
【符号の説明】
【００３８】
１１ 物理量検出センサー（圧力センサー）、１２ 容器、１５ 可動部材（ダイアフラム）、１６ 振動片、２１ａ 駆動電極（第１駆動電極）、２１ｂ 駆動電極（第２駆動電極）、２２ａ 検出電極（第１検出電極）、２２ｂ 検出電極（第２検出電極）、２６ 自励発振回路、２７ 検出回路、３７ 同期検波回路、４１ 物理量検出センサー（磁気センサー）４２ 磁性体。
【技術分野】
【０００１】
本発明は物理量検出センサーおよび電子機器等に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば特許文献１に開示されるように、物理量（圧力）を検出する物理量検出センサーは一般に知られる。物理量検出センサーはダイアフラムを備える。ダイアフラムは、物理量（圧力）の変化に応じて電極に対して相対的に変位する。電極で静電容量が変化する。こうして静電容量の変化に応じて物理量（圧力）は計測される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開平８−１８４５１７号公報
【特許文献２】特開平８−２６２０５６号公報
【特許文献３】特開平８−３５９８３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
前述のような物理量検出センサーでは静電容量の変化は非常に小さい。静電容量の変化はできるだけ高い精度で検出されることが望まれる。また、物理量検出センサーはできるだけ小型化されることが望まれる。
【０００５】
本発明の少なくとも１つの態様によれば、検出の精度を高めることができる物理量検出センサーを提供することができる。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
（１）本発明の一態様は、駆動電極を有する振動片と、前記駆動電極との間で静電結合を生じる距離で前記駆動電極から離れて配置されている検出電極と、前記駆動電極および前記検出電極に対向して設けられ、物理量の変化に応じて前記駆動電極および前記検出電極に対して相対変位する可動部材と、前記駆動電極を通じて前記振動片の自励発振を引き起こす駆動信号を供給する自励発振回路と、前記駆動信号に基づき、前記駆動電極と前記検出電極との間の静電容量に応じて前記検出電極に生じる静電容量信号を検出する検出回路とを備えることを特徴とする物理量検出センサーに関する。
【０００７】
振動片自励発振の駆動信号は駆動電極と検出電極との間で静電容量の周期的変化を生み出す。したがって、検出電極の検出信号すなわち静電容量信号の周波数は駆動信号の周波数を反映する。このとき、可動部材が駆動電極および検出電極に対して相対変位すると、変位量に応じて静電容量は増減する。この増減は物理量の変化に相当する。こうして物理量の変化は静電容量の周期的変化に重畳される。その結果、静電容量の変化および駆動信号に基づき物理量の変化は高い精度で検出されることができる。
【０００８】
（２）物理量検出センサーでは、前記可動部材は導体であることができ、当該可動部材は接地されることができる。こうして可動部材は電磁波に対してシールド効果を発揮することができる。駆動電極や検出電極、自励発振回路、検出回路は外部の電磁波から保護されることができる。物理量検出センサーは電磁波に邪魔されずに正確に物理量を検出することができる。
【０００９】
（３）物理量検出センサーは、前記可動部材と協働し、少なくとも前記振動片、前記駆動電極および前記検出電極を密封する容器をさらに備えることができる。容器内で気流は生じない。しかも、容器内に塵埃は進入しない。その結果、静電容量の周期的変化には確実に可動部材の相対変位のみが影響する。静電容量の周期的変化には正確に物理量の変化が重畳される。したがって、物理量検出センサーでは高い精度で物理量が検出されることができる。
【００１０】
（４）前記可動部材は、前記容器内の圧力と前記容器外の圧力との圧力差に基づき変形することができる。こうして圧力センサーは実現されることができる。物理量として圧力は高い精度で測定されることができる。
【００１１】
（５）前記可動部材の少なくとも一部が磁性材料であることができ、あるいは、前記可動部材には磁性体が取り付けられることができる。こうして磁気センサーは実現されることができる。物理量として磁力は高い精度で測定されることができる。
【００１２】
（６）前記検出回路は、前記静電容量信号および前記駆動信号の同期検波から、同期検波された静電容量信号を検出する同期検波回路を備えることができる。前述のように、物理量検出センサーでは物理量の変化は静電容量の周期的変化に重畳される。したがって、同期検波によれば、重畳された信号成分は高い精度で抽出されることができる。
【００１３】
（７）前記振動片の材料には水晶が用いられることができる。こうした水晶の採用によれば、振動片の発振は安定する。その結果、高い精度で物理量は測定されることができる。
【００１４】
（８）以上のような物理量検出センサーは電子機器に組み込まれることができる。電子機器には例えばナビゲーション装置や車体姿勢検出装置、ハードディスク駆動装置（ＨＤＤ）、家電、通信機器、情報端末その他のものが含まれることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】本発明の第１実施形態に係る物理量検出センサーすなわち圧力センサーの外観を概略的に示す斜視図である。
【図２】圧力センサーの垂直断面図である。
【図３】振動片の構造を概略的に示す斜視図である。
【図４】回路構成を概略的に示すブロック図である。
【図５】図２に対応し、本発明の第２実施形態に係る物理量検出センサーすなわち磁気センサーの垂直断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下、添付図面を参照しつつ本発明の一実施形態を説明する。なお、以下に説明する本実施形態は、特許請求の範囲に記載された本発明の内容を不当に限定するものではなく、本実施形態で説明される構成の全てが本発明の解決手段として必須であるとは限らない。
【００１７】
（１）第１実施形態に係る圧力センサーの構成
図１は本発明の第１実施形態に係る物理量検出センサーすなわち圧力センサー（物理量検出センサー）１１の外観を概略的に示す。圧力センサー１１は例えば箱形の容器１２を備える。容器１２は容器本体１３および蓋材１４を備える。容器本体１３の開口は蓋材１４で気密に塞がれる。容器１２の内部空間は例えば真空に封止されることができる。容器１２は剛体として機能する。すなわち、計測域の圧力下では容器本体１３および蓋材１４は変形しない。少なくとも蓋材１４は導体から形成されることができる。
【００１８】
蓋材１４にはダイアフラム（可動部材）１５が組み込まれる。ダイアフラム１５は円形の薄板材で形成される。ダイアフラム１５は導体から形成されることができる。ダイアフラム１５はステンレス薄板であってもよくシリコン薄板であってもよい。ダイアフラム１５は少なくとも計測域の圧力下で可撓性を有する。ダイアフラム１５は容器１２内の圧力と容器１２外の圧力との圧力差に基づき変形する。ダイアフラム１５に外側から圧力が作用すると、圧力の増大に応じてダイアフラム１５は内側に窪み、圧力の減少に応じてダイアフラム１５は外側に膨らむ。ダイアフラム１５は一体成形に基づき蓋材１４に一体化されることができる。ここでは、ダイアフラム１５は接地される。その他、容器本体１３はダイアフラム１５の輪郭に合わせて円筒形に形成されてもよい。
【００１９】
図２に示されるように、容器１２には振動片１６およびＩＣ（集積回路）チップ１７が収容される。振動片１６およびＩＣチップ１７は容器１２の内部空間内に配置される。振動片１６の本体は水晶といった圧電材料から形成される。振動片１６の本体は、後述されるように、固定片１８および振動腕１９を有する。振動片１６は固定片１８で容器本体１３に固定される。固定にあたって例えば接着剤が用いられることができる。ＩＣチップ１７は例えば容器本体１３の底板に接着されればよい。
【００２０】
振動片１６は駆動電極２１ａ（２１ｂ）、２１ｃと検出電極２２ａ（２２ｂ）とを有する。駆動電極２１ａ（２２ｂ）、２１ｃおよび検出電極２２ａ（２２ｂ）はそれぞれ個別にＩＣチップ１７に電気的に接続される。こういった接続にあたって振動片１６の本体外表面には導電材の配線パターン（図示されず）が形成されることができる。駆動電極２１ａ（２１ｂ）、２１ｃにはＩＣチップ１７から駆動信号が供給される。その結果、駆動電極２１ａ（２１ｂ）と検出電極２２ａ（２２ｂ）との間には静電結合２３が生成される。駆動電極２１ａ（２１ｂ）および検出電極２２ａ（２２ｂ）にはダイアフラム１５が向き合わせられる。容器１２外の圧力の増大に応じてダイアフラム１５が駆動電極２１ａ（２１ｂ）および検出電極２２ａ（２２ｂ）に近づくと、静電容量は減少する。反対に、容器１２外の圧力の低下に応じてダイアフラム１５が駆動電極２１ａ（２１ｂ）および検出電極２２ａ（２２ｂ）から遠ざかると、静電容量は増大する。こうした静電容量の変化はＩＣチップ１７に伝達される。ＩＣチップ１７の出力は例えば導体のピン端子（図示されず）で容器１２の外側に引き出される。
【００２１】
図３に示されるように、振動片１６はいわゆる音叉形に形成される。すなわち、固定片１８から２本の振動腕１９が相互に平行に延びる。個々の振動腕１９ごとに振動腕１９の外表面には駆動電極すなわち第１駆動電極２１ａおよび第２駆動電極２１ｂが形成される。２つの振動腕１９に共通に個々の駆動電極２１ａ、２１ｂに関連づけられて駆動腕１９の外表面には駆動電極２１ｃが形成される。さらに、個々の駆動電極２１ａ、２１ｂに関連づけられて固定片１８の外表面に１対の検出電極すなわち第１検出電極２２ａおよび第２検出電極２２ｂが形成される。個々の検出電極２２ａ、２２ｂは、対応の駆動電極２１ａ、２１ｂとの間で静電結合を生じる距離で対応の駆動電極２１ａ、２１ｂから離れて配置される。すなわち、個々の検出電極２２ａ、２２ｂと対応の駆動電極２１ａ、２１ｂとは誘電体（真空を含む）で相互に離隔される。
【００２２】
ＩＣチップ１７には、図４に示されるように、自励発振回路２６および検出回路２７が構築される。自励発振回路２６は第１駆動電極２１ａおよび第３駆動電極２１ｃから一方の振動腕１９に交流電圧を印加し、第２駆動電極２１ｂおよび第３駆動電極２１ｃから他方の振動腕１９に交流電圧を印加する。ここでは振動片、第１駆動電極２１ａに周波数ωの駆動信号が供給されると、１８０°の位相遅れで第２駆動電極２１ｂに周波数ωの駆動信号が供給される。自励発振回路２６は振動片１６の固有周波数ωで振動腕１９の自励発振を引き起こす。
【００２３】
自励発振回路２６は電流アンプ２８、自動振幅制御回路２９、増幅アンプ３０および反転アンプ３１を含む。電流アンプ２８は配線で第２駆動電極２１ｂに電気的に接続される。電流アンプ２８は所定の増幅率で第３駆動電極２１ｃの出力信号を増幅する。電流アンプ２８には自動振幅制御回路２９が接続される。自動振幅制御回路２９には基準電圧回路３２から基準電圧が供給される。自動振幅制御回路２９は基準電圧に応じて出力信号の電圧振幅を一定に調整する。自動振幅制御回路２９には増幅アンプ３０が接続される。増幅アンプ３０は自動振幅制御回路２９の出力信号を増幅する。増幅アンプ３０は配線で第２駆動電極に電気的に接続される。増幅アンプ３０の出力信号は第２駆動電極２１ｂに供給される。増幅アンプ３０には反転アンプ３１が接続される。反転アンプ３１は増幅アンプ３０の出力信号を反転する。反転アンプ３１は配線で第１駆動電極２１ａに電気的に接続される。反転アンプ３１の出力信号は第１駆動電極２１ａに供給される。自動振幅制御回路２９は駆動電極２１ａ、２１ｂに与えられる電圧信号の温度変化を防ぐ。
【００２４】
検出回路２７は、第１チャージアンプ３４、第２チャージアンプ３５、差動アンプ３６、同期検波回路３７およびローパスフィルター３８を含む。第１チャージアンプ３４は配線で第１検出電極２２ａに接続される。第１検出電極２２ａには対応の第１駆動電極２１ａとの静電結合に応じた電流が第１駆動電極２１ａの信号から２７０°の位相遅れで現れる。第１チャージアンプ３４は第１検出電極２２ａの検出信号（静電容量信号）を増幅する。第２チャージアンプ３５は配線で第２検出電極２２ｂに接続される。第２検出電極２２ｂには対応の第２駆動電極２１ｂとの静電結合に応じた電流が第２駆動電極２１ｂの信号から２７０°の位相遅れで現れる。第２チャージアンプ３５は第２検出電極２２ｂの検出信号（静電容量信号）を増幅する。第１チャージアンプ３４および第２チャージアンプ３５には差動アンプ３６が接続される。差動アンプ３６は第１チャージアンプ３４の出力と第２チャージアンプ３５の出力とを差動増幅する。第１チャージアンプ３４および第２チャージアンプ３５は２７０°の位相遅れを生成する。
【００２５】
差動アンプ３６には同期検波回路３７が接続される。同期検波回路３７は自励発振回路２６の電流アンプ２８の出力に基づき差動アンプ３６の出力を同期検波する。同期検波回路３７には電流アンプ２８の出力から３６０°の位相遅れで周波数ωの信号が供給される。この同期検波に応じて物理量すなわち圧力の変化分に相当する信号成分が差動アンプ３６の出力から抽出される。同期検波回路３７にはローパスフィルター３８が接続される。ローパスフィルター３８は、圧力の変化よりも短い周期で変化する信号成分すなわちノイズを除去する。こうして圧力の変化量に応じてローパスフィルター３８から信号が出力される。
【００２６】
（２）圧力センサーのキャリブレーション
圧力センサー１１には基準圧力が設定される。基準圧力は例えば１気圧すなわち１０１．３２５ｋＰａに設定されることができる。キャリブレーションにあたってダイアフラム１５には１０１．３２５ｋＰａの圧力が加えられる。このとき、検出回路２７のローパスフィルター３８から出力される電流値が測定される。この電流値は基準電流値に設定される。その後、加えられる圧力は変更される。こうして想定される計測域内で圧力値と電流値との相関関係が導き出される。その結果、検出される電流値に基づき圧力値は特定されることができる。
【００２７】
（３）圧力センサーの動作
次に圧力センサー１１の動作を説明する。いま、圧力センサー１１に大気圧（＝１０１．３２５ｋＰａ）よりも大きい圧力が作用すると、ダイアフラム１５は内側に窪む。その結果、ダイアフラム１５は第１および第２駆動電極２１ａ、２１ｂ並びに第１および第２検出電極２２ａ、２２ｂに近づく。ダイアフラム１５からグラウンドに電流は逃げる。静電結合の電流は減少する。
【００２８】
第１駆動電極２１ａおよび第２駆動電極２１ｂには周波数ωで交流電圧が印加される。振動腕１９は固有周波数ωで自励発振する。第１駆動電極２１ａおよび第１検出電極２２ａの間で静電容量は周波数ωで周期的に変化する。すなわち、第１検出電極２２ａの検出信号の周波数は第１駆動電極２１ａの駆動信号の周波数を反映する。同様に、第２駆動電極２１ｂおよび第２検出電極２２ｂの間で静電容量は周波数ωで周期的に変化する。すなわち、第２検出電極２２ｂの検出信号の周波数は第２駆動電極２１ｂの駆動信号の周波数を反映する。第２検出電極２２ｂの検出信号には第１検出電極２２ａの検出信号に対して１８０°の位相遅れが生じる。ここで、前述のように静電結合の電流が減少すると、第１検出電極２２ａおよび第２検出電極２２ｂの検出信号では振幅が縮小する。
【００２９】
差動アンプ３６は第１チャージアンプ３４の出力と第２チャージアンプ３５の出力とを差動増幅する。第１チャージアンプ３４の出力と第２チャージアンプ３５の出力とは１８０°の位相差を有することから、出力の振幅は実質的に倍増する。出力では周波数ωの周期的変化は維持される。同期検波回路３７は差動アンプ３６の出力を同期検波する。静電結合の電流の減少は静電容量の周期的変化に重畳され、加えて、静電容量の周期的変化は振動片１６の駆動信号の変化を反映することから、同期検波の働きで静電結合の電流の減少分は抽出される。同期検波は高い精度で差動アンプ３６の出力と振動片１６の駆動信号との差分を抽出することから、同期検波回路３７の出力は高い精度で静電結合の電流の減少分すなわちダイアフラム１５に作用する圧力の増加分を反映する。その結果、ローパスフィルター３８の出力から高い精度で圧力値は特定されることができる。
【００３０】
圧力センサー１１に大気圧よりも小さい圧力が作用すると、ダイアフラム１５は外側に膨らむ。その結果、ダイアフラム１５は第１および第２駆動電極２１ａ、２１ｂ並びに第１および第２検出電極２２ａ、２２ｂから遠ざかる。グラウンドに流れる電流は減少する。静電結合の電流は増加する。静電結合の電流が増加すると、第１検出電極２２ａおよび第２検出電極２２ｂの検出信号では振幅は増大する。同期検波で静電結合の電流の増加分が抽出される。同期検波回路３７の出力は高い精度で静電結合の電流の増加分すなわちダイアフラム１５に作用する圧力の減少分を反映する。その結果、ローパスフィルター３８の出力から高い精度で圧力は特定されることができる。
【００３１】
圧力センサー１１によれば、振動片１６の駆動信号は、第１駆動電極２１ａおよび第１検出電極２２ａの間と、第２駆動電極２１ｂおよび第２検出電極２２ｂの間とで静電容量の周期的変化を生み出す。したがって、第１および第２検出電極２２ａ、２２ｂの検出信号の周波数は振動片１６の駆動信号の周波数ωを反映する。しかも、振動片１６は自励発振することから、駆動信号の周波数ωは安定化する。前述のように圧力の変化は静電容量の周期的変化に重畳されることから、第１検出電極２２ａおよび第２検出電極２２ｂから検出される静電容量の変化と、第１駆動電極２１ａおよび第２駆動電極２１ｂに供給される駆動信号に基づき物理量すなわち圧力の変化は高い精度で検出されることができる。特に、同期検波によれば、重畳された信号成分は高い精度で抽出されることができる。
【００３２】
加えて、圧力センサー１１ではダイアフラム１５および蓋材１４は導体から形成される。ダイアフラム１５および蓋材１４は接地される。その結果、ダイアフラム１５および蓋材１４は電磁波に対してシールド効果を発揮することができる。第１および第２駆動電極２１ａ、２１ｂや第１および第２検出電極２２ａ、２２ｂ、ＩＣチップ１７は外部の電磁波から保護されることができる。圧力センサー１１は電磁波に邪魔されずに正確に圧力を検出することができる。
【００３３】
さらに、圧力センサー１１では、少なくとも振動片１６、第１、第２および第３駆動電極２１ａ、２１ｂ、２１ｃ並びに第１および第２検出電極２２ａ、２２ｂは容器１２内に密封される。容器１２内に気流は生じない。しかも、容器１２内に塵埃は進入しない。その結果、静電容量の周期的変化には確実にダイアフラム１５の相対変位のみが影響する。静電容量の周期的変化には正確に圧力の変化が重畳される。したがって、圧力センサー１１では高い精度で圧力が検出されることができる。
【００３４】
圧力センサー１１は例えばナビゲーション装置や車体姿勢検出装置、ハードディスク駆動装置（ＨＤＤ）といった電子機器に組み込まれて使用されることができる。ただし、圧力センサー１１の用途はこれら電子機器に限定されるものではない。その他、静電容量の変化はいずれか一方の検出電極２２ａ、２２ｂから検出されてもよい。この場合には、例えば第３駆動電極２１ｃおよび第２検出電極２２ｂは省略されることができる。自励発振回路２６は第１駆動電極２１ａおよび第２駆動電極２１ｂから振動片１６に交流電圧を印加すればよい。検出回路２７では差動アンプ３６は省略されることができる。
【００３５】
（４）第２実施形態に係る磁気センサーの構成
図５は第２実施形態に係る物理量検出センサーすなわち磁気センサー（物理量検出センサー）４１の構成を概略的に示す。この磁気センサー４１はダイアフラム１５の表面に配置される磁性体４２を備える。磁性体４２は例えば板状に形成される。磁性体４２はダイアフラム１５の表面に接着されることができる。磁性体４２には例えば鉄、コバルトおよびニッケルといった強磁性材料が用いられることができる。磁性体４２に磁界が作用すると、ダイアフラム１５は撓むことができる。例えば、磁性体４２の外表面がＮ極で磁化されれば、ダイアフラム１５の外側からＮ極の磁界が作用すると、ダイアフラム１５は内側に窪み、ダイアフラム１５の外側からＳ極の磁界が作用すると、ダイアフラム１５は外側に膨らむ。磁性体４２は一体成形に基づきダイアフラム１５に一体化されることができダイアフラム１５および蓋材１４に一体化されることができる。その他の構成は前述の第１実施形態に係る圧力センサー１１と同一である。ただし、容器１２には容器１２の内外を接続する微細通路が形成されることができる。微細通路は容器１２の内外で空気のやり取りを許容し容器１２内外の圧力差を解消する。こうした構造によれば、ダイアフラム１５は圧力（気圧）変動の影響から解放されることができる。こうした磁気センサー４１でも、前述の圧力センサー１１と同様に、高い精度で磁力は計測されることができる。
【００３６】
磁気センサー４１は例えばナビゲーション装置で方位計として利用されることができる。その他、磁石と対で使用されて、家電の扉開閉検知装置や折り畳み式通信機器または情報端末の開閉検知装置として利用されることができる。ただし、磁気センサー４１の用途はこれら電子機器に限定されるものではない。
【００３７】
なお、上記のように本実施形態について詳細に説明したが、本発明の新規事項および効果から実体的に逸脱しない多くの変形が可能であることは当業者には容易に理解できるであろう。したがって、このような変形例はすべて本発明の範囲に含まれる。例えば、明細書または図面において、少なくとも一度、より広義または同義な異なる用語とともに記載された用語は、明細書または図面のいかなる箇所においても、その異なる用語に置き換えられることができる。また、圧力センサーおよび磁気センサー等の構成および動作も本実施形態で説明したものに限定されず、種々の変形が可能である。
【符号の説明】
【００３８】
１１ 物理量検出センサー（圧力センサー）、１２ 容器、１５ 可動部材（ダイアフラム）、１６ 振動片、２１ａ 駆動電極（第１駆動電極）、２１ｂ 駆動電極（第２駆動電極）、２２ａ 検出電極（第１検出電極）、２２ｂ 検出電極（第２検出電極）、２６ 自励発振回路、２７ 検出回路、３７ 同期検波回路、４１ 物理量検出センサー（磁気センサー）４２ 磁性体。
【特許請求の範囲】
【請求項１】
駆動電極を有する振動片と、
前記駆動電極との間で静電結合を生じる距離で前記駆動電極から離れて配置されている検出電極と、
前記駆動電極および前記検出電極に対向して設けられ、物理量の変化に応じて前記駆動電極および前記検出電極に対して相対変位する可動部材と、
前記駆動電極を通じて前記振動片の自励発振を引き起こす駆動信号を供給する自励発振回路と、
前記駆動信号に基づき、前記駆動電極と前記検出電極との間の静電容量に応じて前記検出電極に生じる静電容量信号を検出する検出回路と、
を備えることを特徴とする物理量検出センサー。
【請求項２】
請求項１に記載の物理量検出センサーにおいて、前記可動部材は導体であり、当該可動部材は接地されていることを特徴とする物理量検出センサー。
【請求項３】
請求項１または２に記載の物理量検出センサーにおいて、前記可動部材と協働し、少なくとも前記振動片、前記駆動電極および前記検出電極を密封する容器をさらに備えることを特徴とする物理量検出センサー。
【請求項４】
請求項３に記載の物理量検出センサーにおいて、前記可動部材は、前記容器内の圧力と前記容器外の圧力との圧力差に基づき変形することを特徴とする物理量検出センサー。
【請求項５】
請求項１〜３のいずれか１項に記載の物理量検出センサーにおいて、前記可動部材の少なくとも一部が磁性材料である、あるいは、前記可動部材には磁性体が取り付けられていることを特徴とする物理量検出センサー。
【請求項６】
請求項１〜５のいずれか１項に記載の物理量検出センサーにおいて、前記検出回路は、前記静電容量信号および前記駆動信号の同期検波から、同期検波された静電容量信号を検出する同期検波回路を備えることを特徴とする物理量検出センサー。
【請求項７】
請求項１〜６のいずれか１項に記載の物理量検出センサーにおいて、前記振動片の材料には水晶が用いられることを特徴とする物理量検出センサー。
【請求項８】
請求項１〜７のいずれか１項に記載の物理量検出センサーを含むことを特徴とする電子機器。
【請求項１】
駆動電極を有する振動片と、
前記駆動電極との間で静電結合を生じる距離で前記駆動電極から離れて配置されている検出電極と、
前記駆動電極および前記検出電極に対向して設けられ、物理量の変化に応じて前記駆動電極および前記検出電極に対して相対変位する可動部材と、
前記駆動電極を通じて前記振動片の自励発振を引き起こす駆動信号を供給する自励発振回路と、
前記駆動信号に基づき、前記駆動電極と前記検出電極との間の静電容量に応じて前記検出電極に生じる静電容量信号を検出する検出回路と、
を備えることを特徴とする物理量検出センサー。
【請求項２】
請求項１に記載の物理量検出センサーにおいて、前記可動部材は導体であり、当該可動部材は接地されていることを特徴とする物理量検出センサー。
【請求項３】
請求項１または２に記載の物理量検出センサーにおいて、前記可動部材と協働し、少なくとも前記振動片、前記駆動電極および前記検出電極を密封する容器をさらに備えることを特徴とする物理量検出センサー。
【請求項４】
請求項３に記載の物理量検出センサーにおいて、前記可動部材は、前記容器内の圧力と前記容器外の圧力との圧力差に基づき変形することを特徴とする物理量検出センサー。
【請求項５】
請求項１〜３のいずれか１項に記載の物理量検出センサーにおいて、前記可動部材の少なくとも一部が磁性材料である、あるいは、前記可動部材には磁性体が取り付けられていることを特徴とする物理量検出センサー。
【請求項６】
請求項１〜５のいずれか１項に記載の物理量検出センサーにおいて、前記検出回路は、前記静電容量信号および前記駆動信号の同期検波から、同期検波された静電容量信号を検出する同期検波回路を備えることを特徴とする物理量検出センサー。
【請求項７】
請求項１〜６のいずれか１項に記載の物理量検出センサーにおいて、前記振動片の材料には水晶が用いられることを特徴とする物理量検出センサー。
【請求項８】
請求項１〜７のいずれか１項に記載の物理量検出センサーを含むことを特徴とする電子機器。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【公開番号】特開２０１３−４４５２７（Ｐ２０１３−４４５２７Ａ）
【公開日】平成２５年３月４日（２０１３．３．４）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２０１１−１８００７８（Ｐ２０１１−１８００７８）
【出願日】平成２３年８月２２日（２０１１．８．２２）
【出願人】（０００００２３６９）セイコーエプソン株式会社 (51,324)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２５年３月４日（２０１３．３．４）
【国際特許分類】
【出願日】平成２３年８月２２日（２０１１．８．２２）
【出願人】（０００００２３６９）セイコーエプソン株式会社 (51,324)
【Ｆターム（参考）】
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