【課題】電池ケースの変位量に基づいて電池の内圧を精度良く測定することができる電池の内圧測定方法を提供すること。
【解決手段】電池ケース１２内に捲回電極体１１及び電解液を収容して密閉したリチウムイオン二次電池１０の内圧を測定する方法において、電池ケース１２に所定の外部圧力を加えた後、その電池１０を真空チャンバ２０内に配置して減圧雰囲気下にて電池ケース１２の変位量及び真空チャンバ２０内の圧力変化を検出し、それら検出した変位量及び圧力変化に基づいて電池１０の内圧を推定する。 （もっと読む）

【課題】 圧力検出装置の検出精度を向上させる。
【解決手段】 圧力検出装置用基体１は、絶縁基板１１と、絶縁基板１１の上面に設けられた第１電極２と、絶縁基板１１の上面に第１電極２を囲んで設けられた枠体１２と、枠体１２上に絶縁基板１１および枠体１２とともに密閉空間１７を形成するように設けられたダイヤフラム１３と、ダイヤフラム１３の下面に設けられた、第１電極２と対向する第２電極３と、ダイヤフラム１３の上面のうち第２電極３と上下に重なり合う部分に設けられた金属層１４と、金属層１４を覆うように設けられたセラミック層１５とを備えている。これにより、金属層１４が変質して圧力が加わった際のダイヤフラム１３の撓み量が変化することを抑制できる。 （もっと読む）

【課題】優れた検出精度を有する物理量検出器を提供すること。
【解決手段】本発明の圧力センサー１（物理量検出器）は、外部からの圧力により変位する変位部３１を有するダイアフラム３と、ダイアフラム３の外周部３２を保持するリング状のリング部２１と、ダイアフラム３の一方の面側にてリング部２１から内側に突出する突出部２２とを有する保持部材２と、突出部２２に固定された支持体６と、変位部３１に固定された基部５１と、支持体６に固定された基部５２と、基部５１、５２間に設けられ、振動が励振される振動部５３とを有する圧電振動子５とを備える。 （もっと読む）

【課題】信頼性の向上を図るＭＥＭＳ素子を提供する。
【解決手段】本実施形態によるＭＥＭＳ素子は、基板１０上に固定された平板形状の第１電極１１と、前記第１電極の上方に対向して配置され、上下方向に可動である平板形状の第２電極１５と、前記基板上において、前記第１電極および前記第２電極を収納するキャビティ２０を有する膜２６と、を具備する。前記第２電極は、ばね部１６を介して前記基板上に接続されたアンカー部１４に接続されるとともに、その上方において前記膜に接続される。 （もっと読む）

【課題】 圧力検出装置の検出精度を向上させる。
【解決手段】圧力検出装置用パッケージ１は、絶縁基板１１と、絶縁基板１１の上面に設けられた第１電極２と、絶縁基板１１の上面に第１電極２を囲むように設けられた枠体１２と、枠体１２上に絶縁基板１１および枠体１２とともに空間１５を形成するように設けられたダイヤフラム１３と、ダイヤフラム１３の下面に設けられた、第１電極２とともに静電容量を形成する第２電極３と、ダイヤフラム１３の上面のうち枠体１２と上下に重なり合う部分に互いに離して設けられた複数の柱状部材１４とを備えている。複数の柱状部材１４を備えていることにより、検出精度を向上させることができる。 （もっと読む）

【課題】密封容器の内圧に基づく変形量を計測して内圧の良否を正確かつ簡単に判定する。
【解決手段】胴部４の上端部と下端部との少なくともいずれか一方に蓋部５を有し、内圧によってその蓋部５が変形する密封容器１の内圧検査装置において、前記蓋部５にレーザービームを照射して前記蓋部との間の距離を測定するレーザー式変位センサー１３が、前記蓋部５と平行な平面に沿う方向に前記蓋部５に対して相対移動可能に配置され、前記蓋部５を前記胴部４に対して一体化させている結合部よりも前記蓋部５の中心側の部分の複数箇所のうち前記レーザー式変位センサー１３との距離が短い所定の基準箇所および長い所定の基準箇所のいずれか一方の基準箇所と他の箇所との相対変位量の積分値を求め、その積分値に基づいて前記内圧の良否を判定するように構成されている。 （もっと読む）

【課題】製造コストを抑制することができ、かつ圧力測定精度を向上することができる半導体圧力センサおよびその製造方法を提供する。
【解決手段】半導体圧力センサは、主表面１ａに凹部３およびアライメントマーク４を有する第１の基板１と、第１の基板１の主表面１ａ上に形成されており、第１の基板１の凹部３内の空間ＩＳ上を覆うように設けられたダイヤフラム５およびダイヤフラム５上に設けられたゲージ抵抗６を有する第２の基板２とを備えている。アライメントマーク４は第２の基板２から露出するように設けられている。 （もっと読む）

【課題】
本発明は、内燃機関の燃焼室の筒内圧を計測する圧力計測システムおよび圧力計測装置に関し、角度分解能が所望の角度分解能よりも低い同期パルスに同期させ、かつ高精度のタイミングでサンプリングされた圧力データを得る。
【解決手段】
内燃機関内の圧力を測定する圧力センサによる圧力測定値を、所望の角度分解能を時間間隔に換算したときのその時間間隔よりも短い時間間隔でオーバサンプリングするオーバサンプリング部と、内燃機関の回転角度に同期した、角度分解能が所望の角度分解能よりも低い同期パルスを生成する同期パルス生成器で生成された同期パルスに基づいて、オーバサンプリング部でのオーバサンプリングにより得られた圧力データを所望の角度分解能に対応する圧力データにリサンプリングするリサンプリング部とを備えた。 （もっと読む）

【課題】 コストを抑制しつつ、圧力センサの誤差を適切に把握することができる燃料電池システム、圧力センサの誤差検出方法および圧力センサの補正方法を提供する。
【解決手段】 燃料電池システムは、燃料電池の発電電流を検出する電流センサと、前記燃料電池に水素を含有する燃料ガスを供給する配管に配置された圧力センサと、前記圧力センサの所定時間前後の出力差分と前記発電電流とに基づいて、前記圧力センサの検出誤差を検出する検出手段と、を備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】リフロー等の高温処理による圧力検出値のドリフトが生じるのを低減する物理量検出器及びその製造方法を提供する。
【解決手段】圧力センサー１のダイアフラム層２０の支持枠部２０６と固定部とは第１接合材４０を用いて接合され、感圧素子層１０の一対の基部１６ｂと一対の支持部２１０とは、第１接合材４０の融点よりも高い融点を有する第２接合材５０を用いて接合されている。 （もっと読む）

【課題】特性が良好な圧力センサを実現する。
【解決手段】測定ダイアフラムに歪センサが形成されている圧力センサにおいて、絶縁基板の一方の面に形成され第１の測定ダイアフラムを形成する第１の凹部と、絶縁基板の一方の面に形成され第２の測定ダイアフラムを形成し第１の凹部と同一形状をなす第２の凹部と、第１の測定ダイアフラムの所定箇所に一端が固定され第２の測定ダイアフラムの第１の測定ダイアフラムの所定箇所に他端が固定された振動式半導体歪ゲージ素子と、絶縁基板の他方の面に一方の面が接続され第１の凹部と第１の測定室を構成し第２の凹部と第２の測定室を構成する支持基板と、支持基板の他方の面に一方の面が接する支持台と、支持基板と支持台とを貫通し一方端が第１の測定室に連通し他方端が外部に開口する第１の導通孔と、支持基板と支持台とを貫通し一方端が第２の測定室に連通し他方端が外部に開口する第２の導通孔とを具備したことを特徴とする圧力センサである。 （もっと読む）

【課題】従来例の三極管形の熱陰極電離真空計と同等の感度安定性を有すると共に、上記従来例のものよりも測定下限値を低くできるようにした熱陰極電離真空計を提供する。
【解決手段】試験体に装着されてその内部の圧力を検出する熱陰極電離真空計ＩＧは、フィラメント２と、このフィラメント２を囲うように配置される、筒状の輪郭を有するグリッド３と、板状部材で構成され、グリッドの母線方向の延長上に所定間隔を存して当該グリッドの少なくとも一方の開口を覆うように配置されるイオンコレクタ４_１、４_２とを備える。フィラメントに通電してこのフィラメントを点灯させて熱電子を放出させ、フィラメントより高い電位をグリッドに付与し、このグリッド周辺で熱電子と衝突して生じた気体原子、分子の正イオンがイオンコレクタで捕集され、このときのイオン電流から圧力を検出する （もっと読む）

【課題】容易に高度情報を考慮した気圧データを取得することが出来る気圧測定装置を提供する。
【解決手段】間欠的に気圧を測定する気圧測定手段と、気圧が測定された位置における高度データをＧＰＳ測位装置から受信する受信手段と、気圧測定手段により測定された気圧の値を、受信手段で受信された高度データに基づいて所定の高度における気圧の値に補正した補正気圧データを取得する補正手段とを備える。 （もっと読む）

【課題】熱変形や自重により熱電子放出領域が変動してもイオン化率の低下を抑制でき、長時間に亘って感度の安定性が良い熱陰極電離真空計を提供する。
【解決手段】熱陰極電離真空計ＩＧは、ヘアピン状に成形されたフィラメント２と筒状の輪郭を有するグリッド３とイオンコレクタ４とを備える。フィラメントを前記グリッド内にヘアピン状に折り返す頂部側から挿設し、このフィラメントの頂部をグリッドの母線方向の中央領域に位置させる。そして、フィラメントに通電してこのフィラメントを点灯させて熱電子を放出させ、フィラメントより高い電位をグリッドに付与し、このグリッド周辺で熱電子と衝突して生じた気体原子、分子の正イオンをイオンコレクタで捕集し、このときのイオン電流から圧力を検出する。 （もっと読む）

【課題】センサ回路における基準電圧を生成するための設計負担を軽減できる基準電位生成回路を提供する。
【解決手段】ＡＳＩＣ３は、センシング素子に接続されたオペアンプ回路１５に基準電位を供給するために、外部電源と接続された電源部１１と、外部電源により供給された電源電圧を一定に制御するレギュレータ部１２と、電源部１１を介して供給された電圧と、レギュレータ部１２を介して供給されたレギュレータ電圧とを切り換える切換部１３と、切換部１３により切り換えられた電圧を、オペアンプ回路１５に供給する基準電位として生成する基準電位生成部１４とを有する。 （もっと読む）

【課題】磁障害（ＥＭＣ）に対する圧力測定モジュール１０の耐性を向上させ、圧力測定モジュール１０の構造を格段に簡素化し、フレキシブルにする。
【解決手段】少なくとも１つの導体路（５０）または打抜きグリッド（３０）の自由端部は、ボンディングワイヤ（２４）を介して前記圧力測定チップ（２０）の平坦面（２２）と電気接続されており、コンデンサ（２８，５６）は、ケーシング（１２）内の開口部（４６）に取り付けられており、当該開口部には前記内室（１４）とは反対側の前記ハウジング（１２）の裏側（４２）からアクセスすることができ、前記コンデンサ（２８，５６）は、前記少なくとも１つの導体路（５０）または打抜きグリッド（３０）の自由端部と、当該少なくとも１つの導体路（５０）または打抜きグリッド（３０）のボンディングワイヤ端子とは反対の側で電気接続されている。 （もっと読む）

【課題】測定精度が高く、製作が容易で、安価に出来る振動式差圧センサを実現する。
【解決手段】ダイアフラムに設けられた振動子形歪ゲージを具備する振動式差圧センサにおいて、一方の面に振動子形歪ゲージ素子が設けられ他方の面がダイアフラムに相当する厚さに研磨されて形成されシリコンよりなるセンサ基板と、センサ基板の他方の面に一方の面が直接に接合されたシリコンよりなるベース基板と、ベース基板のセンサ基板との接合部に設けられセンサ基板に実質的にダイアフラムを形成し、異物の混入によりダイアフラムの可動範囲が制限されることなく且つ振動子形歪ゲージ素子の振動によって励起されるダイアフラムの振動に対して制動作用をなすための所定の隙間を有する凹部と、凹部に測定圧を導入する導入孔と、凹部に導入孔を介して圧力を伝搬しダイアフラムを制動するための流体とを具備したことを特徴とする振動式差圧センサである。 （もっと読む）

【課題】検出の精度を高めることができる物理量検出センサーを提供する。
【解決手段】物理量検出センサー１１は駆動電極２１ａおよび検出電極２２ａを有する。検出電極２２ａは、駆動電極２１ａとの間で静電結合を生じる距離で駆動電極２１ａから離れて配置される。可動部材１５は駆動電極２１ａおよび検出電極２２ａに対向して設けられる。可動部材１５は、物理量の変化に応じて駆動電極２１ａおよび検出電極２２ａに対して相対変位する。自励発振回路２６は、駆動電極２１ａを通じて振動片の自励発振を引き起こす駆動信号を供給する。検出回路２７は、駆動信号に基づき、駆動電極２１ａと検出電極２２ａとの間の静電容量に応じて検出電極２２ａに生じる静電容量信号を検出する。 （もっと読む）

【課題】センサーの状況変化により生じた計測誤差の校正方法を提供する。特に冷陰極形電離真空計の生産現場における容易な校正方法を提供する。
【解決手段】表示が正確な計測器１２と誤差をもつ計測器１の表示がＥ２ＰＲＯＭのデータ参照方式で表示され、両者のセンサーが同一雰囲気中に配置された状態で校正を行なう。また冷陰極形電離真空計１の校正をスポット式行う。 （もっと読む）