着色感光性組成物、並びにカラーフィルタ及びその製造方法
【課題】未露光部の上及び着色パターン（例えば１色目パターン）上に残存する次色以降（例えば２色目以降）の残渣、並びにこれに伴う混色の発生を抑制し、高解像度のパターン形成が可能な着色感光性組成物を提供する。
【解決手段】着色剤と、界面活性剤を固形分で組成物全質量の０．１質量％以上７．５質量％以下と、オキシム系重合開始剤とを含んでいる。
【解決手段】着色剤と、界面活性剤を固形分で組成物全質量の０．１質量％以上７．５質量％以下と、オキシム系重合開始剤とを含んでいる。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、着色感光性組成物、並びにカラーフィルタ及びその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
カラーフィルタは、液晶ディスプレイ等の液晶表示素子（ＬＣＤ）や固体撮像素子（ＣＣＤ、ＣＭＯＳなど）に不可欠な構成部材である。
液晶ディスプレイは、表示装置としてＣＲＴと比較すると、コンパクトであり、かつ性能面では同等以上であることから、テレビ画面、パソコン画面、その他の表示装置としてＣＲＴから置き換わりつつある。また、近年では、液晶ディスプレイの開発の動向は、画面が比較的小面積であった従来のモニター用途から、画面が大型で高度な画質が求められるＴＶ用途に向かいつつある。
【０００３】
液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）用のカラーフィルタ用途においては、大型ＴＶ生産のため基板サイズが拡大しており、大型基板を用いた場合の生産性向上のため、低エネルギーでの硬化が望まれている。また、ＴＶ用途の液晶ディスプレイでは、従来のモニター用途のものに比し、より高度な画質が求められている。すなわち、コントラスト及び色純度の向上である。また、固体撮像素子においても、薄膜化に加え、色濃度、色相の向上が求められている。コントラストや色濃度の向上のため、カラーフィルタの作製に用いられる硬化性組成物に関しては、使用する着色剤（有機顔料等）の粒子サイズとして、より微小なものが求められている（例えば、特許文献１参照）。これに伴い、顔料分散のための分散剤添加量が増加する傾向にある。また、色純度向上のため、硬化性組成物の固形分中に占める着色剤（有機顔料）の含有率としては、より高いものが求められている。したがって、硬化性組成物中の固形分中に占める光重合開始剤及び光重合性モノマーの含有率が相対的に減少する傾向にある。この光重合性モノマー含有率の低下に伴って、感度が低くなり、充分な硬化が得られ難くなっている。そして、近年では、多色のカラーフィルタを作製する場合において、１色目の着色パターンを形成した後、同一基板上に更に２色目以降の着色パターンを形成する際、１色目の着色パターンの上に２色目の着色剤が残渣として残り、混色が発生し易くなる傾向にあり、改善が望まれている。
【０００４】
上記の状況に関係して、界面活性剤の添加量を増やす方法が知られており（例えば、特許文献２参照）、塗布ムラを解決できるとされている。また、オキシム系重合開始剤を使用すると硬化性が向上し、感度が向上するとされている（例えば、特許文献３参照）。
【特許文献１】特開２００６−３０５４１号公報
【特許文献２】特開２００３−３２２７１６号公報
【特許文献３】特開２００６−２６７２７４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、界面活性剤の添加量を増やした場合、１色目のパターン上に２色目以降を重ね塗りしたときの着色剤の残存抑制にある程度の効果はあるものの、充分ではなく、しかも重ね塗りされた領域のみならず、基板面と接触する未露光部の残渣が増えてしまう。この場合にも、次色の着色パターンの形成により混色を起こす原因となる。特に、薄膜（例えば１μｍ以下）で高濃度の着色剤を含んでパターンサイズが２μｍ以下となるような微細なパターン（例えば１．５μｍ角以下のベイヤーパターン）が求められる固体撮像素子においては、顕著に現れる。
なお、ここでの残渣とは、走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）にて観察した際に未露光部に残存して観察される、パターンを形成しない異物をさし、残渣である異物が既設のパターン上又は後にパターン形成される支持体上の領域（パターン未形成領域）に残存することで混色の原因となる。
【０００６】
また、オキシム系重合開始剤を用いると、混色抑制にある程度の効果は得られるが、完全に混色を防止するには不充分であった。
【０００７】
本発明は、上記に鑑みなされたものであり、未露光部の上及び既設の着色パターン（例えば１色目パターン）上に残存する次色以降（例えば２色目以降）の残渣、並びにこれに伴う混色の発生を抑制し、高解像度のパターン形成が可能な着色感光性組成物、並びに解像度が高く、色濃度、色相の良好な着色パターンを備えたカラーフィルタ及び該カラーフィルタを高い生産性で製造しうる製造方法を提供することを目的とし、該目的を達成することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明は、界面活性剤を所定範囲の量にて添加すると共にオキシム系重合開始剤を併用すると、着色パターンの未形成領域での着色剤の残存と、既設の着色パターン（例えば１色目の着色パターン）上に次色の着色パターン（例えば２色目、３色目・・・の着色パターン）を形成するために重ね塗りした際の着色剤（例えば２色目以降の着色剤）の残存とに対する抑制効果が特異的に良化するとの知見を得、かかる知見に基づいて達成されたものである。
【０００９】
前記課題を達成するための具体的手段は以下の通りである。
＜１＞ 着色剤と、界面活性剤を固形分で組成物全固形分の０．１質量％以上７．５質量％以下と、オキシム系重合開始剤とを含む着色感光性組成物である。
＜２＞ 更に、酸基含有モノマーを、モノマー合計量あたりの酸価が２５ｍｇＫＯＨ／ｇ以上となるように含むことを特徴とする前記＜１＞に記載の着色感光性組成物である。
＜３＞ 前記酸基含有モノマーが、３個以上の（メタ）アクリル基を有する多官能モノマーであることを特徴とする前記＜２＞に記載の着色感光性組成物である。
前記多官能モノマーは、（メタ）アクリル基を３個以上含有する、酸価２５ｍｇＫＯＨ／ｇ以上のモノマーであることが好ましい。
＜４＞ 前記着色剤の少なくとも一種が、黄色顔料であることを特徴とする前記＜１＞〜前記＜３＞のいずれか１つに記載の着色感光性組成物である。
＜５＞ 前記黄色顔料の少なくとも一種が、バルビツール系黄色顔料であることを特徴とする前記＜１＞〜前記＜４＞のいずれか１つに記載の着色感光性組成物である。
【００１０】
＜６＞ 前記黄色顔料の少なくとも一種が、金属錯体であることを特徴とする前記＜１＞〜前記＜５＞のいずれか１つに記載の着色感光性組成物である。
＜７＞ 前記黄色顔料の少なくとも一種が、ニッケル錯体であるバルビツール系黄色顔料であることを特徴とする前記＜１＞〜前記＜６＞のいずれか１つに記載の着色感光性組成物である。
＜８＞ 前記界面活性剤が、フッ素原子を有することを特徴とする前記＜１＞〜前記＜７＞のいずれか１つに記載の着色感光性組成物である。
＜９＞ 前記酸基含有モノマーの酸基が、カルボキシル基であることを特徴とする前記＜２＞〜前記＜８＞のいずれか１つに記載の着色感光性組成物である。
【００１１】
＜１０＞ 支持体上に前記＜１＞〜前記＜９＞のいずれか１つに記載の着色感光性組成物を用いて形成された着色パターンを有するカラーフィルタである。
＜１１＞ 支持体上に、前記＜１＞〜前記＜９＞のいずれか１つに記載の着色感光性組成物を塗布して着色感光性層を形成する工程と、形成された前記着色感光性層を、マスクを介して露光する工程と、露光後の前記着色感光性層を現像して着色パターンを形成する工程と、を有するカラーフィルタの製造方法である。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、未露光部の上及び既設の着色パターン（例えば１色目パターン）上に残存する次色以降（例えば２色目以降）の残渣、並びにこれに伴う混色の発生を抑制し、高解像度のパターン形成が可能な着色感光性組成物を提供することができる。特に、着色剤を高濃度に（好ましくは４０質量％以上）含有する場合でも、高感度が得られ、混色の発生を抑制し、高解像度のパターン形成することができる着色感光性組成物を提供することができる。
また、本発明によれば、解像度が高く、色濃度、色相の良好な着色パターンを備えたカラーフィルタ及び該カラーフィルタを高い生産性で製造しうるカラーフィルタの製造方法を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下、本発明の着色感光性組成物、並びに該着色感光性組成物を用いたカラーフィルタ及びその製造方法について詳細に説明する。
【００１４】
＜着色感光性組成物＞
本発明の着色感光性組成物は、少なくとも、（Ａ）界面活性剤と、（Ｂ）オキシム系重合開始剤と、（Ｃ）着色剤とを含有してなり、好ましくは酸基含有モノマーを含有し、更には、必要に応じて他の成分を用いて構成することができる。
【００１５】
（Ａ）界面活性剤
本発明の着色感光性組成物は、界面活性剤の少なくとも１種を含み、界面活性剤の含有量を組成物の全質量に対して、固形分で０．１質量％以上７．５質量％以下の割合とする。本発明においては、界面活性剤を組成物の全体質量に対して比較的多く含有しており、この含有量において後述のオキシム系重合開始剤を組み合わせることで、着色パターン上に残存する次色以降の残渣の発生が抑制される。着色パターン上に残存する次色以降の残渣の抑制は、着色剤の含有量が多い場合（例えば、組成物の全質量の４０質量％以上の場合、具体的には例えば、１μｍ以下の薄膜でパターンサイズが２μｍ以下の微細パターン（例えば１．５μｍ角以下のベイヤーパターン）等のフォトリソ性に寄与する成分が相対的に少なくなる固体撮像素子用途の場合）に特に効果的である。
【００１６】
本発明においては、界面活性剤の含有量（固形分）は、組成物の全質量の０．１質量％未満であると、既設の着色パターン上に次色の着色パターンを形成するために重ね塗りした際に着色剤（２色目以降の着色剤）が吸着等して残存し、複数色からなるカラーフィルタを作製した際に混色を生じてしまう。また、組成物の全質量の７．５質量％を超えると、未露光部での残渣発生量が著しく、残渣の発生を許容できなくなる。
上記の中でも、界面活性剤の含有量としては、組成物の全質量に対して、０．２質量％以上５．０％質量以下がより好ましく、０．２５質量％以上２．０質量％以下が最も好ましい。
【００１７】
前記界面活性剤としては、アニオン系、カチオン系、非イオン系のいずれの界面活性剤も用いることができる。
前記アニオン系界面活性剤の具体例としては、Ｗ００４、Ｗ００５、Ｗ０１７（裕商（株）製）、メガファックＦ−８１５、同Ｆ−１１４、同Ｆ−４１０、同Ｆ−４９３、同Ｆ−４９４（大日本インキ化学工業（株）製）、Ａ−１−Ｋ、Ａ−２２−Ｌ、Ａ−４１−Ｂ、Ａ−４４−Ｂ（竹本油脂（株）製）等が挙げられる。
前記カチオン系界面活性剤の具体例としては、Ｗ００１（裕商（株）製）、Ｂ−８０９（竹本油脂（株）製）等が挙げられる。
【００１８】
本発明においては、アニオン系及びカチオン系に比較し、非イオン系界面活性剤の方が１色目のパターン形成における残渣抑制に効果が大きいため好ましい。
前記非イオン系界面活性剤としては、ポリオキシエチレンラウリルエーテル、ポリオキシエチレンステアリルエーテル、ポリオキシエチレンオレイルエーテル、ポリオキシエチレンオクチルフェニルエーテル、ポリオキシエチレンノニルフェニルエーテル、ポリエチレングリコールジラウレート、ポリエチレングリコールジステアレート、ソルビタン脂肪酸エステル等のノニオン系界面活性剤や、シリコーン系界面活性剤、フッ素系界面活性剤、及びフッ素原子を有するシリコーン系界面活性剤等が挙げられる。
【００１９】
前記シリコーン系界面活性剤としては、シロキサン結合を有する界面活性剤が挙げられる。具体的には、トーレシリコーンＤＣ３ＰＡ、同ＳＨ７ＰＡ、同ＤＣ１１ＰＡ、同ＳＨ２１ＰＡ、同ＳＨ２８ＰＡ、同２９ＳＨＰＡ、同ＳＨ３０ＰＡ、ポリエーテル変性シリコンオイルＳＨ８４００（トーレシリコーン（株）製）、ＫＰ３２１、ＫＰ３２２、ＫＰ３２３、ＫＰ３２４、ＫＰ３２６、ＫＰ３４０、ＫＰ３４１（信越シリコーン（株）製）、ＴＳＦ４００、ＴＳＦ４０１、ＴＳＦ４１０、ＴＳＦ４３００、ＴＳＦ４４４０、ＴＳＦ４４４５、ＴＳＦ−４４４６、ＴＳＦ４４５２、ＴＳＦ４４６０（ジーイー東芝シリコーン（株）製）などが挙げられる。
【００２０】
前記フッ素系界面活性剤としては、フルオロカーボン鎖を有する界面活性剤が挙げられる。具体的には、フロリナート（商品名）ＦＣ４３０、同ＦＣ４３１、同ＦＣ４４３０（住友スリーエム（株）製）、メガファック（商品名）Ｆ１４２Ｄ、同Ｆ１７１、同Ｆ１７２、同Ｆ１７３、同Ｆ１７７、同Ｆ１８３、同Ｒ３０、同Ｆ７８０、同Ｆ７８１、同Ｆ７８２（大日本インキ化学工業（株）製）、エフトップ（商品名）ＥＦ３０１、同ＥＦ３０３、同ＥＦ３５１、同ＥＦ３５２（新秋田化成（株）製）、サーフロン（商品名）Ｓ３８１、同Ｓ３８２、同ＳＣ１０１、同ＳＣ１０５（旭硝子（株）製）、Ｅ５８４４（（株）ダイキンファインケミカル研究所製）、ＢＭ−１０００、ＢＭ−１１００（いずれも商品名：ＢＭ Ｃｈｅｍｉｅ社製）などが挙げられる。
【００２１】
前記「フッ素原子を有するシリコーン系界面活性剤」としては、シロキサン結合及びフルオロカーボン鎖を有する界面活性剤が挙げられる。具体的には、メガファック（商品名）Ｒ０８、同ＢＬ２０、同Ｆ４７５、同Ｆ４７７、同Ｆ４４３（大日本インキ化学工業（株）製）などが挙げられる。
【００２２】
上記の中でも、既設の着色パターン上に重ね塗りしたときの既設パターン上での次色の着色剤の吸着を抑制する観点から、フッ素系界面活性剤が好ましい。中でも好ましい具体例としては、メガファック（商品名）同Ｆ７８０、同Ｆ７８１、同Ｆ７８２（大日本インキ化学工業（株）製）が挙げられる。
【００２３】
（Ｂ）オキシム系重合開始剤
本発明の着色感光性組成物は、オキシム系重合開始剤の少なくとも１種を含有する。この光重合開始剤は、光により分解し、ラジカル重合性モノマーの重合反応を開始、促進する化合物であり、波長３００〜５００ｎｍの領域に吸収を有するものが好ましい。オキシム系重合開始剤を用いると、光による分解効率が極めて高く、より高い硬化性が得られるため、着色パターン上への次色以降の残渣の吸着が抑制できるものと推測される。
【００２４】
オキシム系化合物としては、例えば、J.C.S. Perkin II(1979)1653-1660)、J.C.S. Perkin II (1979) 156-162、Journal of Photopolymer Science and Technology (1995) 202-232、特開２０００−６６３８５号公報に記載の化合物、特開２０００−８００６８号公報、特表２００４−５３４７９７号公報に記載の化合物等が挙げられる。オキシム系化合物の特に好ましい具体例としては、２−（Ｏ−ベンゾイルオキシム）−１−［４−（フェニルチオ）フェニル］−１，２−オクタンジオン、１−（Ｏ−アセチルオキシム）−１−［９−エチル−６−（２−メチルベンゾイル）−９Ｈ−カルバゾール−３−イル］エタノンが挙げられる。
オキシム系重合開始剤は、１種単独で又は２種以上を混合して用いることができる。
【００２５】
オキシム系重合開始剤の着色感光性組成物中における含有量としては、着色感光性組成物の全固形分に対して、０．１〜５０質量％の範囲が好ましく、より好ましくは０．５〜３０質量％の範囲、特に好ましくは１〜２０質量％の範囲である。この範囲内であると、良好な感度とパターン形成性が得られる。
【００２６】
光重合開始剤として、オキシム系重合開始剤以外のものを併用してもよい。
併用してもよい光重合開始剤としては、例えば、有機ハロゲン化化合物、オキシジアゾール化合物、カルボニル化合物、ケタール化合物、ベンゾイン化合物、アクリジン化合物、有機過酸化化合物、アゾ化合物、クマリン化合物、アジド化合物、メタロセン化合物、ヘキサアリールビイミダゾール化合物、有機ホウ酸塩化合物、ジスルホン化合物、オニウム塩化合物、アシルホスフィン（オキシド）化合物が挙げられる。
【００２７】
有機ハロゲン化化合物としては、具体的には、若林等、「Ｂｕｌｌ Ｃｈｅｍ．Ｓｏｃ Ｊａｐａｎ」４２、２９２４（１９６９）、米国特許第３，９０５，８１５号明細書、特公昭４６−４６０５号公報、特開昭４８−３６２８１号公報、特開昭５５−３２０７０号公報、特開昭６０−２３９７３６号公報、特開昭６１−１６９８３５号公報、特開昭６１−１６９８３７号公報、特開昭６２−５８２４１号公報、特開昭６２−２１２４０１号公報、特開昭６３−７０２４３号公報、特開昭６３−２９８３３９号公報、Ｍ．Ｐ．Ｈｕｔｔ“Ｊｕｒｎａｌ ｏｆ Ｈｅｔｅｒｏｃｙｃｌｉｃ Ｃｈｅｍｉｓｔｒｙ”１（Ｎｏ３），（１９７０）」に記載の化合物が挙げられる。特に、トリハロメチル基が置換したオキサゾール化合物、ｓ−トリアジン化合物が挙げられる。
【００２８】
前記ｓ−トリアジン化合物としてより好ましくは、少なくとも１つのモノ、ジ、又はトリハロゲン置換メチル基がｓ−トリアジン環に結合したｓ−トリアジン誘導体が挙げられる。具体的には、例えば、２，４，６−トリス（モノクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２，４，６−トリス（ジクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２，４，６−トリス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−メチル−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−ｎ−プロピル−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−（α，α，β−トリクロロエチル）−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−フェニル−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−（ｐ−メトキシフェニル）−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−（３，４−エポキシフェニル）−４、６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−（ｐ−クロロフェニル）−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−〔１−（ｐ−メトキシフェニル）−２，４−ブタジエニル〕−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−スチリル−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−（ｐ−メトキシスチリル）−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−（ｐ−ｉ−プロピルオキシスチリル）−４、６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−（ｐ−トリル）−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−（４−ナトキシナフチル）−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−フェニルチオ−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−ベンジルチオ−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２，４，６−トリス（ジブロモメチル）−ｓ−トリアジン、２，４，６−トリス（トリブロモメチル）−ｓ−トリアジン、２−メチル−４，６−ビス（トリブロモメチル）−ｓ−トリアジン、２−メトキシ−４，６−ビス（トリブロモメチル）−ｓ−トリアジン等が挙げられる。
【００２９】
オキシジアゾール化合物としては、例えば、２−トリクロロメチル−５−スチリル−１，３，４−オキソジアゾール、２−トリクロロメチル−５−（シアノスチリル）−１，３，４−オキソジアゾール、２−トリクロロメチル−５−（ナフト−１−イル）−１，３，４−オキソジアゾール、２−トリクロロメチル−５−（４−スチリル）スチリル−１，３，４−オキソジアゾールなどが挙げられる。
【００３０】
カルボニル化合物としては、例えば、ベンゾフェノン、ミヒラーケトン、２−メチルベンゾフェノン、３−メチルベンゾフェノン、４−メチルベンゾフェノン、２−クロロベンゾフェノン、４−ブロモベンゾフェノン、２−カルボキシベンゾフェノン等のベンゾフェノン誘導体、２，２−ジメトキシ−２−フェニルアセトフェノン、２，２−ジエトキシアセトフェノン、１−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、α−ヒドトキシ−２−メチルフェニルプロパノン、１−ヒドロキシ−１−メチルエチル−（ｐ−イソプロピルフェニル）ケトン、１−ヒドロキシ−１−（ｐ−ドデシルフェニル）ケトン、２−メチルー（４’−（メチルチオ）フェニル）−２−モルホリノ−１−プロパノン、１，１，１−トリクロロメチル−（ｐ−ブチルフェニル）ケトン、２−ベンジル−２−ジメチルアミノ−４−モルホリノブチロフェノン等のアセトフェノン誘導体、チオキサントン、２−エチルチオキサントン、２−イソプロピルチオキサントン、２−クロロチオキサントン、２，４−ジメチルチオキサントン、２，４−ジエチルチオキサントン、２，４−ジイソプロピルチオキサントン等のチオキサントン誘導体、ｐ−ジメチルアミノ安息香酸エチル、ｐ−ジエチルアミノ安息香酸エチル等の安息香酸エステル誘導体等を挙げることができる。
【００３１】
ケタール化合物としては、例えば、ベンジルメチルケタール、ベンジル−β−メトキシエチルエチルアセタールなどを挙げることができる。
【００３２】
ベンゾイン化合物としては、例えば、ｍ−ベンゾインイソプロピルエーテル、ベンゾインイソブチルエーテル、ベンゾインメチルエーテル、メチルｏ−ベンゾイルベンゾエートなどを挙げることができる。
【００３３】
アクリジン化合物としては、例えば、９−フェニルアクリジン、１，７−ビス（９−アクリジニル）ヘプタンなどを挙げることができる。
【００３４】
有機過酸化化合物としては、例えば、トリメチルシクロヘキサノンパーオキサイド、アセチルアセトンパーオキサイド、１，１−ビス（ｔｅｒｔ−ブチルパーオキシ）−３，３，５−トリメチルシクロヘキサン、１，１−ビス（ｔｅｒｔ−ブチルパーオキシ）シクロヘキサン、２，２−ビス（ｔｅｒｔ−ブチルパーオキシ）ブタン、ｔｅｒｔ−ブチルハイドロパーオキサイド、クメンハイドロパーオキサイド、ジイソプロピルベンゼンハイドロパーオキサイド、２，５−ジメチルヘキサン−２，５−ジハイドロパーオキサイド、１，１，３，３−テトラメチルブチルハイドロパーオキサイド、ｔｅｒｔ−ブチルクミルパーオキサイド、ジクミルパーオキサイド、２，５−ジメチル−２，５−ジ（ｔｅｒｔ−ブチルパーオキシ）ヘキサン、２，５−オキサノイルパーオキサイド、過酸化コハク酸、過酸化ベンゾイル、２，４−ジクロロベンゾイルパーオキサイド、ジイソプロピルパーオキシジカーボネート、ジ−２−エチルヘキシルパーオキシジカーボネート、ジ−２−エトキシエチルパーオキシジカーボネート、ジメトキシイソプロピルパーオキシカーボネート、ジ（３−メチル−３−メトキシブチル）パーオキシジカーボネート、ｔｅｒｔ−ブチルパーオキシアセテート、ｔｅｒｔ−ブチルパーオキシピバレート、ｔｅｒｔ−ブチルパーオキシネオデカノエート、ｔｅｒｔ−ブチルパーオキシオクタノエート、ｔｅｒｔ−ブチルパーオキシラウレート、ターシルカーボネート、３，３’，４，４’−テトラ−（ｔ−ブチルパーオキシカルボニル）ベンゾフェノン、３，３’，４，４’−テトラ−（ｔ−ヘキシルパーオキシカルボニル）ベンゾフェノン、３，３’，４，４’−テトラ−（ｐ−イソプロピルクミルパーオキシカルボニル）ベンゾフェノン、カルボニルジ（ｔ−ブチルパーオキシ二水素二フタレート）、カルボニルジ（ｔ−ヘキシルパーオキシ二水素二フタレート）等が挙げられる。
【００３５】
アゾ化合物としては、例えば、特開平８−１０８６２１号公報に記載のアゾ化合物等を挙げることができる。
【００３６】
クマリン化合物としては、例えば、３−メチル−５−アミノ−（（ｓ−トリアジン−２−イル）アミノ）−３−フェニルクマリン、３−クロロ−５−ジエチルアミノ−（（ｓ−トリアジン−２−イル）アミノ）−３−フェニルクマリン、３−ブチル−５−ジメチルアミノ−（（ｓ−トリアジン−２−イル）アミノ）−３−フェニルクマリン等を挙げることができる。
【００３７】
アジド化合物としては、例えば、米国特許第２８４８３２８号明細書、米国特許第２８５２３７９号明細書並びに米国特許第２９４０８５３号明細書に記載の有機アジド化合物、２，６−ビス（４−アジドベンジリデン）−４−エチルシクロヘキサノン（ＢＡＣ−Ｅ）等が挙げられる。
【００３８】
メタロセン化合物としては、例えば、特開昭５９−１５２３９６号公報、特開昭６１−１５１１９７号公報、特開昭６３−４１４８４号公報、特開平２−２４９号公報、特開平２−４７０５号公報、特開平５−８３５８８号公報に記載の種々のチタノセン化合物、例えば、ジ−シクロペンタジエニル−Ｔｉ−ビス−フェニル、ジ−シクロペンタジエニル−Ｔｉ−ビス−２，６−ジフルオロフェニル−１−イル、ジ−シクロペンタジエニル−Ｔｉ−ビス−２，４−ジ−フルオロフェニル−１−イル、ジ−シクロペンタジエニル−Ｔｉ−ビス−２，４，６−トリフルオロフェニル−１−イル、ジ−シクロペンタジエニル−Ｔｉ−ビス−２，３，５，６−テトラフルオロフェニル−１−イル、ジ−シクロペンタジエニル−Ｔｉ−ビス−２，３，４，５，６−ペンタフルオロフェニル−１−イル、ジ−メチルシクロペンタジエニル−Ｔｉ−ビス−２，６−ジフルオロフェニル−１−イル、ジ−メチルシクロペンタジエニル−Ｔｉ−ビス−２，４，６−トリフルオロフェニル−１−イル、ジ−メチルシクロペンタジエニル−Ｔｉ−ビス−２，３，５，６−テトラフルオロフェニル−１−イル、ジ−メチルシクロペンタジエニル−Ｔｉ−ビス−２，３，４，５，６−ペンタフルオロフェニル−１−イル、特開平１−３０４４５３号公報、特開平１−１５２１０９号公報記載の鉄−アレーン錯体等が挙げられる。
【００３９】
ヘキサアリールビイミダゾール化合物としては、例えば、特公平６−２９２８５号公報、米国特許第３，４７９，１８５号、同第４，３１１，７８３号、同第４，６２２，２８６号等の各明細書に記載の種々の化合物、具体的には、２，２’−ビス（ｏ−クロロフェニル）−４，４’，５，５’−テトラフェニルビイミダゾール、２，２’−ビス（ｏ−ブロモフェニル））４，４’，５，５’−テトラフェニルビイミダゾール、２，２’−ビス（ｏ，ｐ−ジクロロフェニル）−４，４’，５，５’−テトラフェニルビイミダゾール、２，２’−ビス（ｏ−クロロフェニル）−４，４’，５，５’−テトラ（ｍ−メトキシフェニル）ビイジダゾール、２，２’−ビス（ｏ，ｏ’−ジクロロフェニル）−４，４’，５，５’−テトラフェニルビイミダゾール、２，２’−ビス（ｏ−ニトロフェニル）−４，４’，５，５’−テトラフェニルビイミダゾール、２，２’−ビス（ｏ−メチルフェニル）−４，４’，５，５’−テトラフェニルビイミダゾール、２，２’−ビス（ｏ−トリフルオロフェニル）−４，４’，５，５’−テトラフェニルビイミダゾール等が挙げられる。
【００４０】
有機ホウ酸塩化合物としては、例えば、特開昭６２−１４３０４４号、特開昭６２−１５０２４２号、特開平９−１８８６８５号、特開平９−１８８６８６号、特開平９−１８８７１０号、特開２０００−１３１８３７、特開２００２−１０７９１６、特許第２７６４７６９号、特願２０００−３１０８０８号、等の各公報、及び、Ｋｕｎｚ，Ｍａｒｔｉｎ“Ｒａｄ Ｔｅｃｈ’９８．Ｐｒｏｃｅｅｄｉｎｇ Ａｐｒｉｌ １９−２２，１９９８，Ｃｈｉｃａｇｏ”等に記載の有機ホウ酸塩、特開平６−１５７６２３号公報、特開平６−１７５５６４号公報、特開平６−１７５５６１号公報に記載の有機ホウ素スルホニウム錯体あるいは有機ホウ素オキソスルホニウム錯体、特開平６−１７５５５４号公報、特開平６−１７５５５３号公報に記載の有機ホウ素ヨードニウム錯体、特開平９−１８８７１０号公報に記載の有機ホウ素ホスホニウム錯体、特開平６−３４８０１１号公報、特開平７−１２８７８５号公報、特開平７−１４０５８９号公報、特開平７−３０６５２７号公報、特開平７−２９２０１４号公報等に記載の有機ホウ素遷移金属配位錯体等が具体例として挙げられる。
【００４１】
ジスルホン化合物としては、例えば、特開昭６１−１６６５４４号公報、特開２００２−３２８４６５号公報（特願２００１−１３２３１８号）等に記載の化合物等が挙げられる。
【００４２】
オニウム塩化合物としては、例えば、Ｓ．Ｉ．Ｓｃｈｌｅｓｉｎｇｅｒ，Ｐｈｏｔｏｇｒ．Ｓｃｉ．Ｅｎｇ．，１８，３８７（１９７４）、Ｔ．Ｓ．Ｂａｌ ｅｔ ａｌ，Ｐｏｌｙｍｅｒ，２１，４２３（１９８０）に記載のジアゾニウム塩、米国特許第４，０６９，０５５号明細書、特開平４−３６５０４９号等に記載のアンモニウム塩、米国特許第４，０６９，０５５号、同４，０６９，０５６号の各明細書に記載のホスホニウム塩、欧州特許第１０４、１４３号、米国特許第３３９，０４９号、同第４１０，２０１号の各明細書、特開平２−１５０８４８号、特開平２−２９６５１４号の各公報に記載のヨードニウム塩などが挙げられる。
【００４３】
前記ヨードニウム塩は、ジアリールヨードニウム塩であり、安定性の観点から、アルキル基、アルコキシ基、アリーロキシ基等の電子供与性基で２つ以上置換されていることが好ましい。
また、スルホニウム塩の形態として、トリアリールスルホニウム塩の１つの置換基がクマリン、アントアキノン構造を有し、３００ｎｍ以上に吸収を有するヨードニウム塩などが好ましい。
【００４４】
前記スルホニウム塩としては、欧州特許第３７０，６９３号、同３９０，２１４号、同２３３，５６７号、同２９７，４４３号、同２９７，４４２号、米国特許第４，９３３，３７７号、同１６１，８１１号、同４１０，２０１号、同３３９，０４９号、同４，７６０，０１３号、同４，７３４，４４４号、同２，８３３，８２７号、独国特許第２，９０４，６２６号、同３，６０４，５８０号、同３，６０４，５８１号の各明細書に記載のスルホニウム塩が挙げられ、安定性の感度点から好ましくは電子吸引性基で置換されていることが好ましい。電子吸引性基としては、ハメット値が０より大きいことが好ましい。好ましい電子吸引性基としては、ハロゲン原子、カルボン酸などが挙げられる。
また、その他の好ましいスルホニウム塩としては、トリアリールスルホニウム塩の１つの置換基がクマリン、アントアキノン構造を有し、３００ｎｍ以上に吸収を有するスルホニウム塩が挙げられる。別の好ましいスルホニウム塩としては、トリアリールスルホニウム塩が、アリロキシ基、アリールチオ基を置換基に有する３００ｎｍ以上に吸収を有するスルホニウム塩が挙げられる。
【００４５】
また、オニウム塩化合物としては、例えば、J.V.Crivello et al,Macromolecules,10(6),1307(1977)、J.V.Crivello et al,J.Polymer Sci.,Polymer Chem.Ed.,17,1047(1979)に記載のセレノニウム塩、C.S.Wen et al,Teh,Proc.Conf.Rad.Curing ASIA,p478 Tokyo,Oct(1988)に記載のアルソニウム塩等のオニウム塩等が挙げられる。
【００４６】
アシルホスフィン（オキシド）化合物としては、例えば、チバ・スペシャルティ・ケミカルズ社製のイルガキュア８１９、ダロキュア４２６５、ダロキュアＴＰＯなどが挙げられる。
【００４７】
（Ｃ）着色剤
本発明の着色感光性組成物は、着色剤の少なくとも１種を含有する。着色剤を含有することで、着色感光性組成物を用いて有色の硬化体を形成することができ、例えば、画像形成材料やカラーフィルタの着色パターンの形成に適用することができる。
【００４８】
着色剤には、特に制限はなく、従来公知の種々の染料や顔料を１種単独で、又は２種以上を混合して用いることができる。着色剤としては、耐熱性、耐光性等の耐久性の観点から、顔料であることが好ましい。
【００４９】
顔料としては、従来公知の種々の無機顔料又は有機顔料を用いることができる。また、無機顔料であれ有機顔料であれ、高透過率であることが好ましいことを考慮すると、なるべく細かいものの使用が好ましく、ハンドリング性をも考慮すると、上記顔料の平均粒子径は、０．０１μｍ〜０．１μｍが好ましく、０．０１μｍ〜０．０５μｍがより好ましい。
【００５０】
前記無機顔料としては、例えば、金属酸化物、金属錯塩等の金属化合物を挙げることができる。具体的には、鉄、コバルト、アルミニウム、カドミウム、鉛、銅、チタン、マグネシウム、クロム、亜鉛、アンチモン等の金属酸化物、及び前記金属の複合酸化物などが挙げられる。
【００５１】
前記有機顔料としては、例えば、
C.I.ピグメント イエロー 11, 24, 31, 53, 83, 93, 99, 108, 109, 110, 138, 139, 147, 150, 151, 154, 155, 167, 180, 185, 199;
C.I.ピグメント オレンジ36, 38, 43, 71;
C.I.ピグメント レッド81, 105, 122, 149, 150, 155, 171, 175, 176, 177,209, 220, 224, 242, 254, 255, 264, 270;
C.I.ピグメント バイオレット 19, 23, 32, 39;
C.I.ピグメント ブルー 1, 2, 15, 15:1, 15:3, 15:6, 16, 22, 60, 66;
C.I.ピグメント グリーン 7, 36, 37;
C.I.ピグメント ブラウン 25, 28;
C.I.ピグメント ブラック 1, 7;
カーボンブラック、等を挙げることができる。
【００５２】
本発明では、特に顔料の構造式中に塩基性のＮ原子をもつものを好ましく用いることができる。これら塩基性のＮ原子をもつ顔料は本発明の組成物中で良好な分散性を示す。その原因については十分解明されていないが、感光性重合成分と顔料との親和性の良さが影響しているものと推定される。
【００５３】
本発明において好ましく用いることができる顔料としては、以下のものを挙げることができる。但し、本発明は、これらに限定されるものではない。
【００５４】
C.I.ピグメント イエロー 11, 24, 108, 109, 110, 138, 139, 150, 151, 154, 167, 180, 185,
C.I.ピグメント オレンジ36, 71,
C.I.ピグメント レッド 122, 150, 171, 175, 177, 209, 224, 242, 254, 255, 264,
C.I.ピグメント バイオレット 19, 23, 32,
C.I.ピグメント ブルー 15:1, 15:3, 15:6, 16, 22, 60, 66,
C.I.ピグメント ブラック 1
【００５５】
これら有機顔料は、単独もしくは色純度を上げるため種々組合せて用いることができる。このような組合せの具体例を以下に示す。
例えば、赤色用の顔料として、アントラキノン系顔料、ペリレン系顔料、ジケトピロロピロール系顔料を単独で、又はそれらの少なくとも一種と、ジスアゾ系黄色顔料、イソインドリン系黄色顔料、キノフタロン系黄色顔料、又はペリレン系赤色顔料との混合などを用いることができる。例えば、アントラキノン系顔料としては、Ｃ．Ｉ．ピグメント・レッド１７７が挙げられ、ペリレン系顔料としては、Ｃ．Ｉ．ピグメント・レッド１５５、Ｃ．Ｉ．ピグメント・レッド２２４が挙げられ、ジケトピロロピロール系顔料としては、Ｃ．Ｉ．ピグメント・レッド２５４が挙げられ、色再現性の点でＣ．Ｉ．ピグメント・イエロー１３９との混合が好ましい。また、赤色顔料と黄色顔料との質量比は、１００：５〜１００：５０が好ましい。この質量比は、１００：５以上であると４００ｎｍ〜５００ｎｍの光透過率を抑えることができ、色純度を上げることができる。また、１００：５０以下であると、主波長が短波長よりにならず、ＮＴＳＣ目標色相からのズレを抑えることができる。特に前記質量比としては、１００：１０〜１００：３０の範囲が最適である。なお、赤色顔料同士の組み合わせの場合は、色度に併せて調整することができる。
【００５６】
また、緑色用の顔料としては、ハロゲン化フタロシアニン系顔料を単独で、又はこれとジスアゾ系黄色顔料、キノフタロン系黄色顔料、アゾメチン系黄色顔料、又はイソインドリン系黄色顔料との混合を用いることができる。例えば、このような例としては、Ｃ．Ｉ．ピグメント・グリーン７、３６、３７と、Ｃ．Ｉ．ピグメント・イエロー８３、Ｃ．Ｉ．ピグメント・イエロー１３８、Ｃ．Ｉ．ピグメント・イエロー１３９、Ｃ．Ｉ．ピグメント・イエロー１５０、Ｃ．Ｉ．ピグメント・イエロー１８０、又はＣ．Ｉ．ピグメント・イエロー１８５との混合が好ましい。緑色顔料と黄色顔料との質量比は、１００：５〜１００：１５０が好ましい。該質量比としては、１００：３０〜１００：１２０の範囲が特に好ましい。
【００５７】
青色用の顔料としては、フタロシアニン系顔料を単独で、又はこれとジオキサジン系紫色顔料との混合を用いることができる。例えば、Ｃ．Ｉ．ピグメント・ブルー１５：６とＣ．Ｉ．ピグメント・バイオレット２３との混合が好ましい。青色顔料と紫色顔料との質量比は、１００：０〜１００：３０が好ましく、より好ましくは１００：１０以下である。
【００５８】
また、ブラックマトリックス等の黒色パターン形成用の黒色顔料としては、カーボン、チタンカーボン、酸化鉄、酸化チタンを単独で、又はこれらを混合して用いることができ、カーボンとチタンカーボンとの組合せが好ましい。また、カーボンとチタンカーボンとを組み合わせたときの質量比は、１００：０〜１００：６０の範囲が好ましい。
【００５９】
本発明においては、着色剤として黄色顔料を用いた場合に、特に未露光部の残渣の発生抑制効果が高く、多色のカラーフィルタを作製した際の混色の発生をより効果的に防止することができる。黄色顔料の中でも、効果の点でバルビツール系顔料を用いた場合がより好ましい。バルビツール系顔料としては、例えば、Ｃ．Ｉ．ピグメント・イエロー１３９、Ｃ．Ｉ．ピグメント・イエロー１５０、Ｃ．Ｉ．ピグメント・イエロー１８５等などを挙げることができる。これらの中でも、金属錯体であるバルビツール系顔料を用いた場合がより好ましい。バルビツール系顔料のうち、前記金属錯体としては、ニッケル、銅、コバルトなどの金属の錯体が挙げられる。特に好ましくは、ニッケル金属錯体のバルビツール系顔料であるＣ．Ｉ．ピグメント・イエロー１５０である。
【００６０】
本発明の着色感光性組成物をカラーフィルタ用途に用いる場合には、色ムラやコントラストの観点から、顔料の一次粒子径は１０〜１００ｎｍの範囲が好ましく、１０〜７０ｎｍがより好ましく、１０〜５０ｎｍが更に好ましく、１０〜４０ｎｍが最も好ましい。
【００６１】
また、本発明の着色感光性組成物をカラーフィルタ用途に用いる場合には、色ムラやコントラストの観点から、組成物中に均一に溶解する染料を用いることも好ましい。
着色剤として使用可能な染料としては、特に制限はなく、従来よりカラーフィルタ用途として公知の染料が使用できる。例えば、特開昭６４−９０４０３号公報、特開昭６４−９１１０２号公報、特開平１−９４３０１号公報、特開平６−１１６１４号公報、特登２５９２２０７号、米国特許第４，８０８，５０１号明細書、米国特許第５，６６７，９２０号明細書、米国特許第５，０５９，５００号明細書、特開平５−３３３２０７号公報、特開平６−３５１８３号公報、特開平６−５１１１５号公報、特開平６−１９４８２８号公報、特開平８−２１１５９９号公報、特開平４−２４９５４９号公報、特開平１０−１２３３１６号公報、特開平１１−３０２２８３号公報、特開平７−２８６１０７号公報、特開２００１−４８２３号公報、特開平８−１５５２２号公報、特開平８−２９７７１号公報、特開平８−１４６２１５号公報、特開平１１−３４３４３７号公報、特開平８−６２４１６号公報、特開２００２−１４２２０号公報、特開２００２−１４２２１号公報、特開２００２−１４２２２号公報、特開２００２−１４２２３号公報、特開平８−３０２２２４号公報、特開平８−７３７５８号公報、特開平８−１７９１２０号公報、特開平８−１５１５３１号公報等に記載の色素を挙げることができる。
【００６２】
染料の化学構造としては、ピラゾールアゾ系、アニリノアゾ系、トリフェニルメタン系、アントラキノン系、アンスラピリドン系、ベンジリデン系、オキソノール系、ピラゾロトリアゾールアゾ系、ピリドンアゾ系、シアニン系、フェノチアジン系、ピロロピラゾールアゾメチン系、キサテン系、フタロシアニン系、ペンゾピラン系、インジゴ系等が使用できる。
【００６３】
また、本発明の着色感光性組成物を、水又はアルカリ現像を行なうレジスト系に構成する場合、現像により未照射部のバインダー及び／又は染料を完全に除去するという観点では、酸性染料及び／又はその誘導体が好適に使用できる場合がある。その他、直接染料、塩基性染料、媒染染料、酸性媒染染料、アゾイック染料、分散染料、油溶染料、食品染料、及び／又は、これらの誘導体等も有用に使用することができる。
【００６４】
酸性染料及び／又はその誘導体は、スルホン酸やカルボン酸等の酸性基を有するものであれば、特に限定されないが、有機溶剤や現像時の現像液に対する溶解性、塩基性化合物との塩形成性、吸光度、組成物中の他の成分との相互作用、耐光性、耐熱性等の必要とされる性能の全てを考慮して選択される。
【００６５】
以下、酸性染料及び／又はその誘導体の具体例を挙げる。但し、本発明においては、これらに限定されるものではない。例えば、
ａｃｉｄ ａｌｉｚａｒｉｎ ｖｉｏｌｅｔ Ｎ；
ａｃｉｄ ｂｌａｃｋ １，２，２４，４８；
ａｃｉｄ ｂｌｕｅ １，７，９，１５，１８，２３，２５，２７，２９，４０，４２，４５，５１，６２，７０，７４，８０，８３，８６，８７，９０，９２，９６，１０３，１１２，１１３，１２０，１２９，１３８，１４７，１５０，１５８，１７１，１８２，１９２，２１０，２４２，２４３，２５６，２５９，２６７，２７８，２８０，２８５，２９０，２９６，３１５，３２４：１，３３５，３４０；
ａｃｉｄ ｃｈｒｏｍｅ ｖｉｏｌｅｔ Ｋ；
ａｃｉｄ Ｆｕｃｈｓｉｎ；
ａｃｉｄ ｇｒｅｅｎ １，３，５，９，１６，２５，２７，５０，５８，６３，６５，８０，１０４，１０５，１０６，１０９；
ａｃｉｄ ｏｒａｎｇｅ ６，７，８，１０，１２，２６，５０，５１，５２，５６，６２，６３，６４，７４，７５，９４，９５１０７，１０８，１６９，１７３；
【００６６】
ａｃｉｄ ｒｅｄ １，４，８，１４，１７，１８，２６，２７，２９，３１，３４，３５，３７，４２，４４，５０，５１，５２，５７，６６，７３，８０，８７，８８，９１，９２，９４，９７，１０３，１１１，１１４，１２９，１３３，１３４，１３８，１４３，１４５，１５０，１５１，１５８，１７６，１８２，１８３，１９８，２０６，２１１，２１５，２１６，２１７，２２７，２２８，２４９，２５２，２５７，２５８，２６０，２６１，２６６，２６８，２７０，２７４，２７７，２８０，２８１，１９５，３０８，３１２，３１５，３１６，３３９，３４１，３４５，３４６，３４９，３８２，３８３，３９４，４０１，４１２，４１７，４１８，４２２，４２６；
ａｃｉｄ ｖｉｏｌｅｔ ６Ｂ，７，９，１７，１９；
ａｃｉｄ ｙｅｌｌｏｗ １，３，７，９，１１，１７，２３，２５，２９，３４，３６，３８，４０，４２，５４，６５，７２，７３，７６，７９，９８，９９，１１１，１１２，１１３，１１４，１１６，１１９，１２３，１２８，１３４，１３５，１３８，１３９，１４０，１４４，１５０，１５５，１５７，１６０，１６１，１６３，１６８，１６９，１７２，１７７，１７８，１７９，１８４，１９０，１９３，１９６，１９７，１９９，２０２，２０３，２０４，２０５，２０７，２１２，２１４，２２０，２２１，２２８，２３０，２３２，２３５，２３８，２４０，２４２，２４３，２５１；
【００６７】
Ｄｉｒｅｃｔ Ｙｅｌｌｏｗ ２，３３，３４，３５，３８，３９，４３，４７，５０，５４，５８，６８，６９，７０，７１，８６，９３，９４，９５，９８，１０２，１０８，１０９，１２９，１３６，１３８，１４１；
Ｄｉｒｅｃｔ Ｏｒａｎｇｅ ３４，３９，４１，４６，５０，５２，５６，５７，６１，６４，６５，６８，７０，９６，９７，１０６，１０７；
Ｄｉｒｅｃｔ Ｒｅｄ ７９，８２，８３，８４，９１，９２，９６，９７，９８，９９，１０５，１０６，１０７，１７２，１７３，１７６，１７７，１７９，１８１，１８２，１８４，２０４，２０７，２１１，２１３，２１８，２２０，２２１，２２２，２３２，２３３，２３４，２４１，２４３，２４６，２５０；
Ｄｉｒｅｃｔ Ｖｉｏｌｅｔ ４７，５２，５４，５９，６０，６５，６６，７９，８０，８１，８２，８４，８９，９０，９３，９５，９６，１０３，１０４；
【００６８】
Ｄｉｒｅｃｔ Ｂｌｕｅ ５７，７７，８０，８１，８４，８５，８６，９０，９３，９４，９５，９７，９８，９９，１００，１０１，１０６，１０７，１０８，１０９，１１３，１１４，１１５，１１７，１１９，１３７，１４９，１５０，１５３，１５５，１５６，１５８，１５９，１６０，１６１，１６２，１６３，１６４，１６６，１６７，１７０，１７１，１７２，１７３，１８８，１８９，１９０，１９２，１９３，１９４，１９６，１９８，１９９，２００，２０７，２０９，２１０，２１２，２１３，２１４，２２２，２２８，２２９，２３７，２３８，２４２，２４３，２４４，２４５，２４７，２４８，２５０，２５１，２５２，２５６，２５７，２５９，２６０，２６８，２７４，２７５，２９３；
Ｄｉｒｅｃｔ Ｇｒｅｅｎ ２５，２７，３１，３２，３４，３７，６３，６５，６６，６７，６８，６９，７２，７７，７９，８２；
【００６９】
Ｍｏｒｄａｎｔ Ｙｅｌｌｏｗ ５，８，１０，１６，２０，２６，３０，３１，３３，４２，４３，４５，５６，５０，６１，６２，６５；
Ｍｏｒｄａｎｔ Ｏｒａｎｇｅ ３，４，５，８，１２，１３，１４，２０，２１，２３，２４，２８，２９，３２，３４，３５，３６，３７，４２，４３，４７，４８；
Ｍｏｒｄａｎｔ Ｒｅｄ １，２，３，４，９，１１，１２，１４，１７，１８，１９，２２，２３，２４，２５，２６，３０，３２，３３，３６，３７，３８，３９，４１，４３，４５，４６，４８，５３，５６，６３，７１，７４，８５，８６，８８，９０，９４，９５；
Ｍｏｒｄａｎｔ Ｖｉｏｌｅｔ ２，４，５，７，１４，２２，２４，３０，３１，３２，３７，４０，４１，４４，４５，４７，４８，５３，５８；
Ｍｏｒｄａｎｔ Ｂｌｕｅ ２，３，７，８，９，１２，１３，１５，１６，１９，２０，２１，２２，２３，２４，２６，３０，３１，３２，３９，４０，４１，４３，４４，４８，４９，５３，６１，７４，７７，８３，８４；
Ｍｏｒｄａｎｔ Ｇｒｅｅｎ １，３，４，５，１０，１５，１９，２６，２９，３３，３４，３５，４１，４３，５３；
Ｆｏｏｄ Ｙｅｌｌｏｗ ３；
及びこれらの染料の誘導体が挙げられる。
【００７０】
上記の酸性染料の中でも、ａｃｉｄ ｂｌａｃｋ ２４；
ａｃｉｄ ｂｌｕｅ ２３，２５，２９，６２，８０，８６，８７，９２，１３８，１５８，１８２，２４３，３２４：１；
ａｃｉｄ ｏｒａｎｇｅ ８，５１，５６，７４，６３；
ａｃｉｄ ｒｅｄ １，４，８，３４，３７，４２，５２，５７，８０，９７，１１４，１４３，１４５，１５１，１８３，２１７，２４９；
ａｃｉｄ ｖｉｏｌｅｔ ７；
ａｃｉｄ ｙｅｌｌｏｗ １７，２５，２９，３４，４２，７２，７６，９９，１１１，１１２，１１４，１１６，１３４，１５５，１６９，１７２，１８４，２２０，２２８，２３０，２３２，２４３；
Ａｃｉｄ Ｇｒｅｅｎ ２５等の染料、及びこれらの染料の誘導体が好ましい。
また、上記以外の、アゾ系、キサンテン系、フタロシアニン系の酸性染料も好ましく、Ｃ．Ｉ．Ｓｏｌｖｅｎｔ Ｂｌｕｅ ４４、３８；Ｃ．Ｉ．Ｓｏｌｖｅｎｔ ｏｒａｎｇｅ ４５；Ｒｈｏｄａｍｉｎｅ Ｂ、Ｒｈｏｄａｍｉｎｅ １１０等の酸性染料及びこれらの染料の誘導体も好ましく用いられる。
【００７１】
中でも、着色剤としては、トリアリルメタン系、アントラキノン系、アゾメチン系、ベンジリデン系、オキソノール系、シアニン系、フェノチアジン系、ピロロピラゾールアゾメチン系、キサンテン系、フタロシアニン系、ベンゾピラン系、インジゴ系、ピラゾールアゾ系、アニリノアゾ系、ピラゾロトリアゾールアゾ系、ピリドンアゾ系、アンスラピリドン系から選ばれる着色剤であることが好ましい。
【００７２】
着色剤の着色感光性組成物中における含有量としては、着色感光性組成物の全固形分に対して、５〜８０質量％が好ましく、１０〜７０質量％がより好ましく、２０〜７０質量％が更に好ましい。
上記のうち、特に、本発明の着色感光性組成物をカラーフィルタの着色パターンの形成に用いる場合には、着色剤の含有量は前記含有量の範囲内において、組成物の全質量に対して、４０質量％以上であることが好ましく、４２質量％以上であることがより好ましく、特に好ましくは４５質量％以上である。カラーフィルタの着色パターンを形成する場合の含有量が前記範囲内であると、硬化性を保ち、着色パターン未形成領域における残渣及びそれに伴う着色剤の残存を抑制すると共に、既設の着色パターン上に次色の着色パターンを形成するために重ね塗りした際の残渣及びそれに伴う２色目以降の着色剤の残存を抑制して、複数色からなるカラーフィルタを作製した際の混色を防止するのに特に有効である。
【００７３】
本発明の着色感光性組成物としては、特に、（1）前記着色剤として黄色顔料を含み、光重合開始剤の全量がオキシム系重合開始剤である場合が好ましく、（2）前記着色剤が金属錯体であるバルビツール系黄色顔料であって、前記界面活性剤がフッ素系界面活性剤であって、光重合開始剤の全量がオキシム系重合開始剤である場合が好ましく、また、（3）前記着色剤がニッケル錯体であるバルビツール系黄色顔料であって、前記界面活性剤がフッ素系界面活性剤であって、光重合開始剤の全量がオキシム系重合開始剤である場合が好ましい。
【００７４】
本発明の着色感光性組成物は、上記の（Ａ）界面活性剤、（Ｂ）オキシム系重合開始剤、並びに（Ｃ）着色剤に加え、更に必要に応じて、下記の成分をさらに用いて構成することができる。
【００７５】
（Ｄ）ラジカル重合性モノマー
ラジカル重合性モノマーとしては、常圧下で１００℃以上の沸点を有し、少なくとも１つの付加重合可能なエチレン性不飽和基を持つ化合物が好ましい。
その例としては、ポリエチレングリコールモノ（メタ）アクリレート、ポリプロピレングリコールモノ（メタ）アクリレート、フェノキシエチル（メタ）アクリレート、等の単官能のアクリレートやメタアクリレート；ポリエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、トリメチロールエタントリ（メタ）アクリレート、ネオペンチルグリコールジ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート、ヘキサンジオール（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパントリ（アクリロイルオキシプロピル）エーテル、トリ（アクリロイロキシエチル）イソシアヌレート、グリセリンやトリメチロールエタン等の多官能アルコールにエチレンオキサイドやプロピレンオキサイドを付加させた後（メタ）アクリレート化したもの、特公昭４８−４１７０８号、特公昭５０−６０３４号、特開昭５１−３７１９３号の各公報に記載されているようなウレタンアクリレート類、特開昭４８−６４１８３号、特公昭４９−４３１９１号、特公昭５２−３０４９０号各公報に記載されているポリエステルアクリレート類、エポキシ樹脂と（メタ）アクリル酸の反応生成物であるエポキシアクリレート類等の多官能のアクリレートやメタアクリレート及びこれらの混合物を挙げることができる。
更に、日本接着協会誌Ｖｏｌ．２０、Ｎｏ．７、３００〜３０８頁に光硬化性モノマー及びオリゴマーとして紹介されているものが挙げられる。
【００７６】
本発明の着色感光性組成物は、酸基含有モノマーの少なくとも１種を含むことが好ましい。さらに、酸基含有モノマーの含有量を、モノマー合計量あたりの酸価が２５ｍｇＫＯＨ／ｇ以上となる範囲とすることがより好ましい。酸基含有モノマーの量が、モノマー合計量あたりの酸価を２５ｍｇＫＯＨ／ｇ以上の範囲とすると、未露光部の残渣発生の防止効果がより高められる。
【００７７】
本発明の着色感光性組成物は、モノマー成分として酸基含有モノマーの１種又は２種以上を含有することにより、特に着色剤を高濃度に含有する構成にする場合でも、高感度を有すると共に、より残渣が抑えられ、微細ながら良好な矩形状のパターンプロファイルの着色パターンを得ることができる。すなわち、例えば１μｍ以下の薄膜で例えば２μｍ以下の微細なパターンが求められる固体撮像素子の用途に有効である。
【００７８】
酸基含有モノマーは、酸価が２５ｍｇＫＯＨ／ｇ以上となる態様が好ましく、このためには１種のみならず２種以上を組み合わせて混合することができる。本発明においては、酸基含有モノマーに加えて、前記のように酸基含有モノマー以外の他のラジカル重合性モノマーを併用してもよく、酸基含有モノマーと共に他のラジカル重合性モノマーを混合して含有する場合、モノマー全量あたりの酸価は、酸基含有モノマーの全てと他のラジカル重合性モノマーの全てとを合計した合計量に対する酸価として算出される。
酸基含有モノマー及び他のラジカル重合性モノマーはいずれも、前述のオキシム系重合開始剤と共に含有することにより、光重合開始剤の作用を受けて重合硬化する化合物であり、本発明の着色感光性組成物をネガ型に構成することができる。
【００７９】
酸基含有モノマーとしては、１分子中に少なくとも１つの酸基と重合性基とを有するモノマーであれば、特に制限はなく、公知の中から適宜選択することができる。酸基としては、例えば、カルボキシル基、スルホ基、リン酸基などが好適であり、好ましくはカルボキシル基、スルホ基であり、特に好ましくはカルボキシル基である。
【００８０】
本発明においては、硬化性を保ち、残渣及びそれに伴う着色剤の残存を防止する観点から、重合性基を３つ以上有する多官能の酸基含有モノマーが好ましい。更には、酸基含有モノマーは、４官能以上が好ましい。
中でも、本発明においては、硬化性を保ち、支持体上の着色パターン未形成領域における残渣及びそれに伴う着色剤の残存を抑制すると共に、既設の着色パターン上に次色の着色パターンを形成するために重ね塗りした際の残渣及びそれに伴う２色目以降の着色剤の残存を抑制して、複数色からなるカラーフィルタを作製した際の混色を防止する観点から、３個以上の（メタ）アクリル基を有する多官能モノマー（以下、「多官能の酸基含有（メタ）アクリル化合物」ということがある。）が好ましい。このうち、常圧下で１００℃以上の沸点を有し、酸価が２５ｍｇＫＯＨ／ｇ以上である多官能の酸基含有（メタ）アクリル化合物が好ましい。
【００８１】
上記の「常圧下で１００℃以上の沸点を有し、酸価が２５ｍｇＫＯＨ／ｇ以上の酸基含有（メタ）アクリル化合物」としては、特に限定はなく、いずれの構造でもよいが、付加重合可能なエチレン性二重結合が３つ以上の化合物が好ましい。例えば、水酸基含有５官能アクリル化合物の水酸基を反応させて前記酸基（好ましくはカルボキシル基又はスルホ基、特にカルボキシル基）を導入した化合物（例えば、ジペンタエリスリトールペンタアクリレートのＯＨ部位をカルボキシル基含有置換基で置き換えたもの等）などが挙げられる。
【００８２】
多官能の酸基含有（メタ）アクリル化合物は、レジスト液を調製した際の粘度調整の点で、粘度の高いものがより好ましく、具体的には、該粘度（２５℃）が１１，５００ｍＰａ・ｓ以上であるものが好ましい。中でも、粘度は１１，５００〜１００，０００ｍＰａ・ｓの範囲（２５℃）が好ましく、より好ましくは１２，０００〜１００，０００ｍＰａ・ｓの範囲（２５℃）であり、さらに好ましくは２０，０００〜１００，０００ｍＰａ・ｓの範囲（２５℃）である。
粘度は、２５℃に調温した状態で常法により測定される。粘度は、例えば、回転式粘度計（例えば東機産業（株）製）、振動式粘度計（例えばＳＶ−１０（ＡＮＤ社製））を用いて測定されるものである。
【００８３】
前記多官能の酸基含有（メタ）アクリル化合物は、１分子内に１つ以上の酸基と３つ以上の重合性基（例えばエチレン性二重結合）を有し、分子サイズが比較的小さい化合物である。該化合物のポリスチレン換算重量平均分子量は、通常は３，０００未満である。
【００８４】
多官能の酸基含有（メタ）アクリル化合物の具体例としては、下記一般式（III−１）又は一般式（III−２）で表される化合物が挙げられる。但し、本発明においては、これらに制限されるものではない。
なお、下記一般式において、Ｔ又はＧがオキシアルキレン基の場合には、炭素原子側の末端がＲ、Ｘ及びＷに結合する。
【００８５】
【化１】
【００８６】
前記一般式（III−１）において、ｎは０〜１４であり、ｍは１〜８である。前記一般式（III−２）において、Ｗは一般式（III−１）と同義のＲ又はＸであり、６個のＷのうち、３個以上のＷがＲである。ｐは０〜１４であり、ｑは１〜８である。一分子内に複数存在するＲ、Ｘ、Ｔ、Ｇは、各々同一であっても、異なっていてもよい。
【００８７】
以下、前記一般式（III−１）又は一般式（III−２）で表される化合物の具体例（例示化合物Ｍ−１〜Ｍ−１２）を示す。但し、本発明においては、これらに制限されるものではない。
【００８８】
【化２】
【００８９】
【化３】
【００９０】
【化４】
【００９１】
【化５】
【００９２】
上記のうち、酸基含有モノマーと他のラジカル重合性モノマーとの好ましい組み合わせの具体例としては、東亜合成化学（株）製のＴＯ−２３５９、ＴＯ−２３６０、ＴＯ−２３４８、又はＴＯ−２３４９と、前記他のラジカル重合性モノマーとの組み合わせが挙げられる。より好ましくは、東亜合成化学（株）製のＴＯ−２３５９、ＴＯ−２３６０、ＴＯ−２３４８、又はＴＯ−２３４９と、ウレタン多官能モノマーとの組み合わせであり、特に好ましくは、東亜合成化学（株）製のＴＯ−２３４８又はＴＯ−２３４９と新中村化学工業（株）製のＵＡ−７２００（ウレタン（メタ）アクリレート）との組み合わせである。
【００９３】
モノマー合計量（全量）に対する酸価は、未露光部の残渣抑制の点で、２５ｍｇＫＯＨ／ｇ以上とする。中でも、前記酸価としては、前記同様の観点から、２５ｍｇＫＯＨ／ｇ〜２００ｍｇＫＯＨ／ｇが好ましく、より好ましくは３０ｍｇＫＯＨ／ｇ〜１００ｍｇＫＯＨ／ｇであり、さらに好ましくは、５０ｍｇＫＯＨ／ｇ〜１００ｍｇＫＯＨ／ｇである。
酸価は、常法により測定される値であり、ビュレットでの滴定測定、又はポテンシオメトリック自動測定機ＡＴ−３１０（京都電子（株）製）を用いて測定されるものである。
【００９４】
前記酸基含有モノマーの着色感光性組成物中における含有量は、前記酸価の範囲を満たす範囲において、組成物の全質量に対して、３．０質量％以上の範囲が、既設パターンへの次色の着色剤の吸着抑制の観点で好ましい。同様の理由から、より好ましくは４．０質量％以上であり、最も好ましくは５．０質量％以上である。
また、前記酸基含有モノマーと共に前記他のラジカル重合性モノマーを含む場合、他のラジカル重合性モノマーの着色感光性組成物中における含有量は、前記酸価の範囲を満たす範囲において、組成物の全質量に対して、１．０〜６０質量％が好ましく、３．０〜５０質量％がより好ましく、５．０〜４５質量％が最も好ましい。該含有量が前記範囲内であると、未露光部の溶出性を良好に保ちつつ、良好な硬化性を確保することができる。
【００９５】
（Ｅ）分散剤
本発明の着色感光性組成物が、（Ｃ）着色剤として顔料を含有する場合、該顔料の分散性を向上させる観点から、分散剤を添加することが好ましい。
【００９６】
分散剤（顔料分散剤）としては、高分子分散剤〔例えば、ポリアミドアミンとその塩、ポリカルボン酸とその塩、高分子量不飽和酸エステル、変性ポリウレタン、変性ポリエステル、変性ポリ（メタ）アクリレート、（メタ）アクリル系共重合体、ナフタレンスルホン酸ホルマリン縮合物〕、及び、ポリオキシエチレンアルキルリン酸エステル、ポリオキシエチレンアルキルアミン、アルカノールアミン、顔料誘導体等を挙げることができる。
高分子分散剤は、その構造からさらに直鎖状高分子、末端変性型高分子、グラフト型高分子、ブロック型高分子に分類することができる。
【００９７】
高分子分散剤は、顔料の表面に吸着し、再凝集が防止されるように作用する。そのため、顔料表面へのアンカー部位を有する末端変性型高分子、グラフト型高分子、ブロック型高分子が好ましい構造として挙げることができる。一方で、顔料誘導体は、顔料表面を改質することで、高分子分散剤の吸着を促進させる効果を有する。
【００９８】
前記顔料分散剤の具体例としては、ＢＹＫ Ｃｈｅｍｉｅ社製「Ｄｉｓｐｅｒｂｙｋ−１０１（ポリアミドアミン燐酸塩）、１０７（カルボン酸エステル）、１１０（酸基を含む共重合物）、１３０（ポリアミド）、１６１、１６２、１６３、１６４、１６５、１６６、１７０（高分子共重合物）」、「ＢＹＫ−Ｐ１０４、Ｐ１０５」（高分子量不飽和ポリカルボン酸）、ＥＦＫＡ社製「ＥＦＫＡ４０４７、４０５０、４０１０、４１６５（ポリウレタン系）、ＥＦＫＡ４３３０、４３４０（ブロック共重合体）、４４００、４４０２（変性ポリアクリレート）、５０１０（ポリエステルアミド）、５７６５（高分子量ポリカルボン酸塩）、６２２０（脂肪酸ポリエステル）、６７４５（フタロシアニン誘導体）、６７５０（アゾ顔料誘導体）」、味の素ファンテクノ社製「アジスパーＰＢ８２１、ＰＢ８２２」、共栄社化学社製「フローレンＴＧ−７１０（ウレタンオリゴマー）」、「ポリフローＮｏ．５０Ｅ、Ｎｏ．３００（アクリル系共重合体）」、楠本化成社製「ディスパロンＫＳ−８６０、８７３ＳＮ、８７４、＃２１５０（脂肪族多価カルボン酸）、＃７００４（ポリエーテルエステル）、ＤＡ−７０３−５０、ＤＡ−７０５、ＤＡ−７２５」、花王社製「デモールＲＮ、Ｎ（ナフタレンスルホン酸ホルマリン重縮合物）、ＭＳ、Ｃ、ＳＮ−Ｂ（芳香族スルホン酸ホルマリン重縮合物）」、「ホモゲノールＬ−１８（高分子ポリカルボン酸）」、「エマルゲン９２０、９３０、９３５、９８５（ポリオキシエチレンノニルフェニルエーテル）」、「アセタミン８６（ステアリルアミンアセテート）」、ルーブリゾール社製「ソルスパース５０００（フタロシアニン誘導体）、２２０００（アゾ顔料誘導体）、１３２４０（ポリエステルアミン）、３０００、１７０００、２７０００（末端部に機能部を有する高分子）、２４０００、２８０００、３２０００、３８５００（グラフト型高分子）」、日光ケミカル社製「ニッコールＴ１０６（ポリオキシエチレンソルビタンモノオレート）、ＭＹＳ−ＩＥＸ（ポリオキシエチレンモノステアレート）」等が挙げられる。
【００９９】
これらの分散剤は、１種単独で使用してもよく、２種以上を組み合わせて使用してもよい。本発明においては、特に、顔料誘導体と高分子分散剤とを組み合わせて使用することが好ましい。
【０１００】
分散剤の着色感光性組成物中における含有量としては、顔料に対して、１〜１００質量％の範囲が好ましく、３〜１００質量％の範囲がより好ましく、５〜８０質量％の範囲が更に好ましい。
具体的には、高分子分散剤を用いる場合であれば、その含有量は、顔料に対して、５〜１００質量％の範囲が好ましく、１０〜８０質量％の範囲がより好ましい。また、顔料誘導体を使用する場合であれば、その含有量は、顔料に対して、１〜３０質量％の範囲が好ましく、３〜２０質量％の範囲がより好ましく、５〜１５質量％の範囲が特に好ましい。
【０１０１】
着色剤としての顔料と分散剤とを用いる場合、硬化感度、色濃度の観点から、着色剤及び分散剤の含有量の総和が、着色感光性組成物を構成する全固形分に対して、３０質量％以上９０質量％以下であることが好ましく、４０質量％以上８５質量％以下であることがより好ましく、５０質量％以上８０質量％以下であることがさらに好ましい。
【０１０２】
（Ｆ）増感剤
本発明の着色感光性組成物は、光重合開始剤のラジカル発生効率の向上、感光波長の長波長化の目的で、増感剤を含有していてもよい。増感剤としては、前記光重合開始剤に対し、電子移動機構又はエネルギー移動機構で増感させるものが好ましい。
【０１０３】
増感剤としては、以下に列挙する化合物類に属しており、かつ３００ｎｍ〜４５０ｎｍの波長領域に吸収波長を有するものが挙げられる。
例えば、多核芳香族類（例えば、フェナントレン、アントラセン、ピレン、ペリレン、トリフェニレン、９，１０−ジアルコキシアントラセン）、キサンテン類（例えば、フルオレッセイン、エオシン、エリスロシン、ローダミンＢ、ローズベンガル）、チオキサントン類（イソプロピルチオキサントン、ジエチルチオキサントン、クロロチオキサントン）、シアニン類（例えばチアカルボシアニン、オキサカルボシアニン）、メロシアニン類（例えば、メロシアニン、カルボメロシアニン）、フタロシアニン類、チアジン類（例えば、チオニン、メチレンブルー、トルイジンブルー）、アクリジン類（例えば、アクリジンオレンジ、クロロフラビン、アクリフラビン）、アントラキノン類（例えば、アントラキノン）、スクアリウム類（例えば、スクアリウム）、アクリジンオレンジ、クマリン類（例えば、７−ジエチルアミノ−４−メチルクマリン）、ケトクマリン、フェノチアジン類、フェナジン類、スチリルベンゼン類、アゾ化合物、ジフェニルメタン、トリフェニルメタン、ジスチリルベンゼン類、カルバゾール類、ポルフィリン、スピロ化合物、キナクリドン、インジゴ、スチリル、ピリリウム化合物、ピロメテン化合物、ピラゾロトリアゾール化合物、ベンゾチアゾール化合物、バルビツール酸誘導体、チオバルビツール酸誘導体、アセトフェノン、ベンゾフェノン、チオキサントン、ミヒラーズケトンなどの芳香族ケトン化合物、Ｎ−アリールオキサゾリジノンなどのヘテロ環化合物などが挙げられる。
更に、欧州特許第５６８，９９３号明細書、米国特許第４，５０８，８１１号明細書、同５，２２７，２２７号明細書、特開２００１−１２５２５５号公報、特開平１１−２７１９６９号公報等に記載の化合物等などが挙げられる。
【０１０４】
より好ましい増感剤の例としては、下記一般式（Ｉ）〜（IＶ）で表される化合物が挙げられる。
【０１０５】
【化６】
【０１０６】
前記式（Ｉ）において、Ａ１は、硫黄原子又はＮＲ５０を表し、Ｒ５０はアルキル基又はアリール基を表し、Ｌ２は、隣接するＡ１及び炭素原子と共に色素の塩基性核を形成する非金属原子団を表し、Ｒ５１、Ｒ５２はそれぞれ独立に水素原子又は一価の非金属原子団を表し、Ｒ５１、Ｒ５２は互いに結合して、色素の酸性核を形成してもよい。また、Ｗは、酸素原子又は硫黄原子を表す。
【０１０７】
【化７】
【０１０８】
前記式（ＩＩ）において、Ａｒ１及びＡｒ２はそれぞれ独立にアリール基を表し、−Ｌ３−による結合を介して連結されている。Ｌ３は、−Ｏ−又はＳ−を表す。また、Ｗは、酸素原子又は硫黄原子を表す。
【０１０９】
【化８】
【０１１０】
前記式（III）において、Ａ２は、硫黄原子又はＮＲ５９を表し、Ｌ４は、隣接するＡ２及び炭素原子と共に色素の塩基性核を形成する非金属原子団を表し、Ｒ５３、Ｒ５４、Ｒ５５、Ｒ５６、Ｒ５７及びＲ５８は、それぞれ独立に、一価の非金属原子団の基を表し、Ｒ５９はアルキル基又はアリール基を表す。
【０１１１】
【化９】
【０１１２】
前記式（IV）において、Ａ３及びＡ４は、それぞれ独立に−Ｓ−又はＮＲ６２−又はＮＲ６３−を表し、Ｒ６２及びＲ６３はそれぞれ独立に置換若しくは無置換のアルキル基、置換若しくは無置換のアリール基を表し、Ｌ５及びＬ６はそれぞれ独立に、隣接するＡ３、Ａ４及び炭素原子と共に色素の塩基性核を形成する非金属原子団を表す。Ｒ６０及びＲ６１は、それぞれ独立に一価の非金属原子団を表し、また、Ｒ６０とＲ６１とは互いに結合して脂肪族性又は芳香族性の環を形成していてもよい。
【０１１３】
増感剤は、１種単独で用いてもよいし、２種以上を併用してもよい。
増感剤の着色感光性組成物中における含有量は、深部への光吸収効率と開始分解効率の観点から、固形分換算で０．１〜２０質量％の範囲が好ましく、０．５〜１５質量％の範囲がより好ましい。
【０１１４】
（Ｇ）バインダーポリマー
本発明の着色感光性組成物においては、皮膜特性向上などの目的で、必要に応じて、更にバインダーポリマーを含有してもよい。
バインダーポリマーとしては、線状有機ポリマーを用いることが好ましい。このような「線状有機ポリマー」としては、公知のものを任意に使用できる。好ましくは、水現像あるいは弱アルカリ水現像を可能とするために、水あるいは弱アルカリ水に可溶性又は膨潤性である線状有機ポリマーが選択される。線状有機ポリマーは、皮膜形成剤としてだけでなく、水、弱アルカリ水あるいは有機溶剤現像剤として、用途に応じて選択使用することができる。例えば、水可溶性有機ポリマーを用いると水現像が可能になる。
このような線状有機ポリマーとしては、側鎖にカルボン酸基を有するラジカル重合体、例えば、特開昭５９−４４６１５号、特公昭５４−３４３２７号、特公昭５８−１２５７７号、特公昭５４−２５９５７号、特開昭５４−９２７２３号、特開昭５９−５３８３６号、特開昭５９−７１０４８号に記載されているもの、すなわち、カルボキシル基を有するモノマーを単独あるいは共重合させた樹脂、酸無水物を有するモノマーを単独あるいは共重合させ、酸無水物ユニットを加水分解もしくはハーフエステル化もしくはハーフアミド化させた樹脂、エポキシ樹脂を不飽和モノカルボン酸及び酸無水物で変性させたエポキシアクリレート等が挙げられる。カルボキシル基を有するモノマーとしては、アクリル酸、メタクリル酸、イタコン酸、クロトン酸、マレイン酸、フマル酸、4-カルボキシルスチレン等が挙げられ、酸無水物を有するモノマーとしては、無水マレイン酸等が挙げられる。
また同様に、側鎖にカルボン酸基を有する酸性セルロース誘導体が挙げられる。この他に水酸基を有する重合体に環状酸無水物を付加させたもの等が有用である。
【０１１５】
共重合体をアルカリ可溶性樹脂として用いる場合、共重合させる化合物としては既述のモノマー以外の他のモノマーを用いることもできる。他のモノマーの例としては、下記（１）〜（１３）の化合物が挙げられる。
（１）２−ヒドロキシエチルアクリレート、２−ヒドロキシプロピルアクリレート、3−ヒドロキシプロピルアクリレート、4−ヒドロキシブチルアクリレート、２−ヒドロキシエチルメタクリレート、２−ヒドロキシプロピルメタクリレート、３−ヒドロキシプロピルメタクリレート、４−ヒドロキシブチルメタクリレート等の脂肪族水酸基を有するアクリル酸エステル類、及びメタクリル酸エステル類。
（２）アクリル酸メチル、アクリル酸エチル、アクリル酸プロピル、アクリル酸ブチル、アクリル酸イソブチル、アクリル酸アミル、アクリル酸ヘキシル、アクリル酸２−エチルヘキシル、アクリル酸オクチル、アクリル酸ベンジル、アクリル酸−２−クロロエチル、グリシジルアクリレート、３，４−エポキシシクロヘキシルメチルアクリレート、ビニルアクリレート、２−フェニルビニルアクリレート、１−プロペニルアクリレート、アリルアクリレート、２−アリロキシエチルアクリレート、プロパルギルアクリレート等のアルキルアクリレート。
【０１１６】
（３）メタクリル酸メチル、メタクリル酸エチル、メタクリル酸プロピル、メタクリル酸ブチル、メタクリル酸イソブチル、メタクリル酸アミル、メタクリル酸ヘキシル、メタクリル酸２−エチルヘキシル、メタクリル酸シクロヘキシル、メタクリル酸ベンジル、メタクリル酸−２−クロロエチル、グリシジルメタクリレート、３，４−エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレート、ビニルメタクリレート、２−フェニルビニルメタクリレート、１−プロペニルメタクリレート、アリルメタクリレート、２−アリロキシエチルメタクリレート、プロパルギルメタクリレート等のアルキルメタクリレート。
（４）アクリルアミド、メタクリルアミド、Ｎ−メチロールアクリルアミド、Ｎ−エチルアクリルアミド、Ｎ−ヘキシルメタクリルアミド、Ｎ−シクロヘキシルアクリルアミド、Ｎ−ヒドロキシエチルアクリルアミド、Ｎ−フェニルアクリルアミド、Ｎ−ニトロフェニルアクリルアミド、Ｎ−エチル−Ｎ−フェニルアクリルアミド、ビニルアクリルアミド、ビニルメタクリルアミド、Ｎ，Ｎ−ジアリルアクリルアミド、Ｎ，Ｎ−ジアリルメタクリルアミド、アリルアクリルアミド、アリルメタクリルアミド等のアクリルアミド若しくはメタクリルアミド。
【０１１７】
（５）エチルビニルエーテル、２−クロロエチルビニルエーテル、ヒドロキシエチルビニルエーテル、プロピルビニルエーテル、ブチルビニルエーテル、オクチルビニルエーテル、フェニルビニルエーテル等のビニルエーテル類。
（６）ビニルアセテート、ビニルクロロアセテート、ビニルブチレート、安息香酸ビニル等のビニルエステル類。
（７）スチレン、α−メチルスチレン、メチルスチレン、クロロメチルスチレン、ｐ−アセトキシスチレン等のスチレン類。
（８）メチルビニルケトン、エチルビニルケトン、プロピルビニルケトン、フェニルビニルケトン等のビニルケトン類。
（９）エチレン、プロピレン、イソブチレン、ブタジエン、イソプレン等のオレフィン類。
（１０）Ｎ−ビニルピロリドン、アクリロニトリル、メタクリロニトリル等。
（１１）マレイミド、Ｎ−アクリロイルアクリルアミド、Ｎ−アセチルメタクリルアミド、Ｎ−プロピオニルメタクリルアミド、Ｎ−（ｐ−クロロベンゾイル）メタクリルアミド等の不飽和イミド。
（１２）α位にヘテロ原子が結合したメタクリル酸系モノマー（例えば、特願２００１−１１５５９５号明細書、特願２００１−１１５５９８号明細書等に記載されている化合物が挙げられる。）。
【０１１８】
これらの中で、側鎖にアリル基やビニルエステル基とカルボキシル基を有する（メタ）アクリル樹脂、及び特開２０００−１８７３２２号公報、特開２００２−６２６９８号公報に記載の、側鎖に二重結合を有するアルカリ可溶性樹脂や、特開２００１−２４２６１２号公報に記載の、側鎖にアミド基を有するアルカリ可溶性樹脂が膜強度、感度、現像性のバランスに優れており、好適である。
【０１１９】
また、特公平７−１２００４号公報、特公平７−１２００４１号公報、特公平７−１２００４２号公報、特公平８−１２４２４号公報、特開昭６３−２８７９４４号公報、特開昭６３−２８７９４７号公報、特開平１−２７１７４１号公報、特願平１０−１１６２３２号 等に記載の、酸基を有するウレタン系バインダーポリマーや、特開２００２−１０７９１８に記載の、酸基と二重結合を側鎖に有するウレタン系バインダーポリマーは、強度に優れるので、耐刷性・低露光適性の点で有利である。
また、欧州特許９９３９６６号明細書、欧州特許１２０４０００号明細書、特開２００１−３１８４６３号公報等に記載の、酸基を有するアセタール変性ポリビニルアルコール系バインダーポリマーは、膜強度、現像性のバランスに優れており、好適である。
このほか、水溶性線状有機ポリマーとして、ポリビニルピロリドンやポリエチレンオキサイド等が有用である。また、硬化皮膜の強度を上げるために、アルコール可溶性ナイロンや２，２−ビス−（４−ヒドロキシフェニル）−プロパンとエピクロロヒドリンのポリエーテル等も有用である。
【０１２０】
バインダーポリマーの平均分子量は、重量平均分子量で５、０００以上が好ましく、より好ましくは１万〜３０万の範囲であり、また、数平均分子量で１、０００以上が好ましく、より好ましくは２，０００〜２５万の範囲である。多分散度（重量平均分子量／数平均分子量）としては、１以上が好ましく、より好ましくは１．１〜１０の範囲である。
これらのバインダーポリマーは、ランダムポリマー、ブロックポリマー、グラフトポリマー等いずれでもよい。
【０１２１】
バインダーポリマーは、従来公知の方法により合成することができる。合成の際に用いられる溶媒としては、例えば、テトラヒドロフラン、エチレンジクロリド、シクロヘキサノン、メチルエチルケトン、アセトン、メタノール、エタノール、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、２−メトキシエチルアセテート、ジエチレングリコールジメチルエーテル、１−メトキシ−２−プロパノール、１−メトキシ−２−プロピルアセテート、Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアミド、Ｎ，Ｎ−ジメチルアセトアミド、トルエン、酢酸エチル、乳酸メチル、乳酸エチル、ジメチルスルホキシド、水等が挙げられる。
これらの溶媒は、１種単独で又は２種以上を混合して用いることができる。
【０１２２】
また、バインダーポリマーを合成する際に用いられるラジカル重合開始剤としては、アゾ系開始剤、過酸化物開始剤等公知の化合物が挙げられる。
【０１２３】
（Ｈ）共増感剤
本発明の着色感光性組成物は、共増感剤を含有することも好ましい。共増感剤は、増感色素や光重合開始剤の活性放射線に対する感度を一層向上させる、あるいは酸素による重合性化合物の重合阻害を抑制する等の作用を有する。
【０１２４】
前記共増感剤の例としては、アミン類、例えば、M. R. Sander等著「Journal of Polymer Society」第１０巻３１７３頁（１９７２）、特公昭４４−２０１８９号公報、特開昭５１−８２１０２号公報、特開昭５２−１３４６９２号公報、特開昭５９−１３８２０５号公報、特開昭６０−８４３０５号公報、特開昭６２−１８５３７号公報、特開昭６４−３３１０４号公報、Research Disclosure 33825号記載の化合物等が挙げられ、具体的には、トリエタノールアミン、ｐ−ジメチルアミノ安息香酸エチルエステル、ｐ−ホルミルジメチルアニリン、ｐ−メチルチオジメチルアニリン等が挙げられる。
【０１２５】
共増感剤の別の例としては、チオール及びスルフィド類、例えば、特開昭５３−７０２号公報、特公昭５５−５００８０６号公報、特開平５−１４２７７２号公報記載のチオール化合物、特開昭５６−７５６４３号公報のジスルフィド化合物等が挙げられ、具体的には、２−メルカプトベンゾチアゾール、２−メルカプトベンゾオキサゾール、２−メルカプトベンゾイミダゾール、２−メルカプト−４（３Ｈ）−キナゾリン、β−メルカプトナフタレン等が挙げられる。
【０１２６】
また、共増感剤の別の例としては、アミノ酸化合物（例、Ｎ−フェニルグリシン等）、特公昭４８−４２９６５号公報に記載の有機金属化合物（例、トリブチル錫アセテート等）、特公昭５５−３４４１４号公報記載の水素供与体、特開平６−３０８７２７号公報記載のイオウ化合物（例、トリチアン等）等が挙げられる。
【０１２７】
共増感剤の着色感光性組成物中における含有量は、重合成長速度と連鎖移動のバランスによる硬化速度の向上の観点から、着色感光性組成物の全固形分の質量に対して、０．１〜３０質量％の範囲が好ましく、１〜２５質量％の範囲がより好ましく、０．５〜２０質量％の範囲が更に好ましい。
【０１２８】
（Ｉ）重合禁止剤
着色感光性組成物には、少量の熱重合防止剤を添加することが望ましく、着色感光性組成物の製造中あるいは保存中において、重合可能なエチレン性不飽和二重結合を有する化合物の不要な熱重合を阻止することができる。
【０１２９】
熱重合防止剤としては、例えば、ハイドロキノン、ｐ−メトキシフェノール、ジ−ｔ−ブチル−ｐ−クレゾール、ピロガロール、ｔ−ブチルカテコール、ベンゾキノン、４，４'−チオビス（３−メチル−６−ｔ−ブチルフェノール）、２，２'−メチレンビス（４−メチル−６−ｔ−ブチルフェノール）、Ｎ−ニトロソフェニルヒドロキシアミン第一セリウム塩等が挙げられる。
【０１３０】
熱重合防止剤の着色感光性組成物中における添加量としては、組成物の全質量に対して、約０．０１〜約５質量％が好ましい。
また、必要に応じて、酸素による重合阻害を防止するために、ベヘン酸やベヘン酸アミド等の高級脂肪酸誘導体などを添加して、塗布後の乾燥の過程で感光層の表面に偏在させるようにしてもよい。高級脂肪酸誘導体の着色感光性組成物への添加量は、組成物の全質量に対して、約０．５〜約１０質量％が好ましい。
【０１３１】
（Ｊ）その他の添加剤
本発明の着色感光性組成物には、硬化皮膜の物性を改良するために、無機充填剤や可塑剤、着色感光性組成物で形成された層表面のインク付着性を向上させ得る感脂化剤等の公知の添加剤を加えてもよい。
【０１３２】
前記可塑剤としては、例えば、ジオクチルフタレート、ジドデシルフタレート、トリエチレングリコールジカプリレート、ジメチルグリコールフタレート、トリクレジルホスフェート、ジオクチルアジペート、ジブチルセバケート、トリアセチルグリセリン等が挙げられる。結合剤を用いる場合には、エチレン性不飽和二重結合を有する化合物と結合剤との合計質量に対し、１０質量％以下の範囲で添加することができる。
【０１３３】
本発明の着色感光性組成物は、高感度で硬化可能であり、かつ未露光部の残渣の発生が抑えられ、残渣に伴なう混色の発生を防止することができ、また、残渣が抑えられることにより高解像度のパターンを形成することができる。特に、支持体上に１色目の着色パターンを形成する場合のみならず、既設の着色パターン上に更に重ねて着色感光性組成物を設けて２色目以降の着色パターンを形成する場合や、既設の着色パターンを有する支持体上に更に異色の着色パターンを形成する場合にも、既設の着色パターン上における色素の吸着又は既設の着色パターン間の支持体面における色素の残存が低減し、複数色からなるカラーフィルタを形成した場合の混色の発生を防止することができる。
【０１３４】
＜カラーフィルタ及びその製造方法＞
次に、本発明のカラーフィルタ及びその製造方法について説明する。
本発明のカラーフィルタは、支持体上に、本発明の着色感光性組成物を用いて形成された着色パターンを有してなるものである。
以下、本発明のカラーフィルタについて、その製造方法（本発明のカラーフィルタの製造方法）を通じて詳述する。
【０１３５】
本発明のカラーフィルタは、本発明の着色感光性組成物を用いた方法であればいずれの方法で形成されてもよいが、好ましくは、支持体上に、本発明の着色感光性組成物を塗布して着色感光性層を形成する工程（以下、「着色感光性層形成工程」ということがある。）と、形成された着色感光性層をマスクを介して露光する工程（以下、「露光工程」ということがある。）と、露光後の前記着色感光性層を現像して着色パターンを形成する工程（以下、「現像工程」ということがある。）と、を有する方法（本発明のカラーフィルタの製造方法）により形成される。
【０１３６】
−着色感光性層形成工程−
着色感光性層形成工程は、支持体上に、本発明の着色感光性組成物を塗布して着色感光性層を形成する。
【０１３７】
支持体としては、例えば、液晶表示素子等に用いられるソーダガラス、パイレックス（登録商標）ガラス、石英ガラス及びこれらに透明導電膜を付着させたものや、撮像素子等に用いられる光電変換素子基板、例えばシリコン基板等や、相補性金属酸化膜半導体（ＣＭＯＳ）等が挙げられる。これらの基板は、各画素を隔離するブラックストライプが形成されている場合もある。
また、これらの支持体上には、必要により、上部の層との密着改良、物質の拡散防止或いは基板表面の平坦化のために下塗り層を設けてもよい。
【０１３８】
支持体上への本発明の着色感光性組成物の塗布方法としては、スリット塗布、インクジェット法、回転塗布、流延塗布、ロール塗布、スクリーン印刷法等の各種の塗布方法を適用することができる。
【０１３９】
着色感光性組成物の塗布膜厚としては、０．１〜１０μｍが好ましく、０．２〜５μｍがより好ましく、０．２〜３μｍがさらに好ましい。
【０１４０】
支持体上に塗布形成された着色感光性層の乾燥（プリベーク）は、ホットプレート、オーブン等で５０℃〜１４０℃の温度で１０〜３００秒間加熱することにより行なうことができる。
【０１４１】
−露光工程−
露光工程は、前記着色感光性層形成工程で形成された着色感光性層を、所定のマスクパターンを有するマスクを介して露光する。露光は、所定のマスクパターンを介してパターン状に着色感光性層を露光することにより、該層の所望領域のみを硬化させる。硬化した領域は、後述の現像工程で現像された後に支持体上に残存し、カラーフィルタを構成する着色画素となる。
【０１４２】
露光に用いられる放射線としては、特にｇ線、ｉ線等の紫外線が好ましく用いられる。照射量は、５〜１５００ｍＪ／ｃｍ２が好ましく、１０〜１０００ｍＪ／ｃｍ２がより好ましく、１０〜５００ｍＪ／ｃｍ２が最も好ましい。
【０１４３】
上記範囲のうち、本発明のカラーフィルタが液晶表示素子用途である場合は、５〜２００ｍＪ／ｃｍ２が好ましく、１０〜１５０ｍＪ／ｃｍ２がより好ましく、１０〜１００ｍＪ／ｃｍ２が最も好ましい。また、本発明のカラーフィルタが固体撮像素子用途である場合は、３０〜１５００ｍＪ／ｃｍ２が好ましく、５０〜１０００ｍＪ／ｃｍ２がより好ましく、８０〜５００ｍＪ／ｃｍ２が最も好ましい。
【０１４４】
−現像工程−
現像工程は、露光工程で露光した後の着色感光性層に対して現像処理を施すことにより、着色パターンを顕在化させる。現像により、露光により未照射領域をアルカリ水溶液等の現像液中に溶出させ、硬化した領域だけが残る。
【０１４５】
現像液としては、下地の回路などにダメージを起さない有機アルカリ現像液が望ましい。現像温度は、通常は２０℃〜３０℃であり、現像時間は２０〜９０秒である。
【０１４６】
有機アルカリ現像液としては、アルカリ剤を濃度が０．００１〜１０質量％、好ましくは０．０１〜１質量％となるように純水で希釈したアルカリ性水溶液が好ましい。現像液に用いるアルカリ剤としては、例えば、アンモニア水、エチルアミン、ジエチルアミン、ジメチルエタノールアミン、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド、テトラエチルアンモニウムヒドロキシド、コリン、ピロール、ピペリジン、１，８−ジアザビシクロ−［５、４、０］−７−ウンデセンなどの有機アルカリ性化合物が挙げられる。
なお、このようなアルカリ性水溶液を現像液として使用した場合には、一般に現像後に純水で洗浄（リンス）が行なわれる。
【０１４７】
なお、上記の着色感光性層形成工程、露光工程、及び現像工程を行なった後には、必要により、形成された着色パターンを加熱及び／又は露光により硬化する硬化工程を含んでいてもよい。
具体的には、現像終了後、余剰の現像液を洗浄除去し、乾燥を施した後に、高温での加熱処理（ポストベーク）を行なうことができる。ポストベークは、硬化を完全なものとするための現像後の加熱処理であり、通常は１００〜２４０℃での熱処理を行なう。支持体がガラス基板又はシリコン基板の場合は、前記温度範囲の中でも２００〜２４０℃が好ましい。このポストベーク処理は、現像後の着色感光性層を、上記の熱処理条件になるようにホットプレートやコンベクションオーブン（熱風循環式乾燥機）、高周波加熱機等の加熱手段を用いて、連続式あるいはバッチ式で行なうことができる。
【０１４８】
上記の各工程を各色ごとに順次繰り返して硬化膜を支持体上に形成することにより、カラーフィルターを作製することができる。
【０１４９】
上記の着色感光性層形成工程、露光工程、現像工程、及び必要によりポストベーク等の硬化工程を、所望の色相数だけ繰り返し行なうことにより、所望の色相よりなるカラーフィルタを作製することができる。
【０１５０】
本発明の着色感光性組成物の用途として、主にカラーフィルタを構成する着色画素の形成用途を中心に説明したが、カラーフィルタの着色画素間に設けられるブラックマトリックス等の黒色画像の形成用途にも好適に適用できる。例えばブラックマトリックスは、本発明の着色感光性組成物に着色剤として、カーボンブラック、チタンブラックなどの黒色の着色剤を添加したものを用いるほか、前記着色パターンを形成する場合と同様に、パターン露光、現像、及び必要に応じてポストベーク等の硬化工程を設けることにより形成することができる。
【０１５１】
本発明のカラーフィルタは、既述の本発明の着色感光性組成物を用いて形成されるものであり、多色のカラーフィルタを作製するときに１色目及び２色目以降の着色パターンの形成時に残渣が生じ難いため、所望の断面形状、例えば良好な矩形状を与える高解像度のパターンを形成することができる。したがって、液晶表示素子やＣＣＤ等の固体撮像素子に好適に用いることができ、特に１００万画素を超えるような高解像度のＣＣＤ素子やＣＭＯＳ等の固体撮像素子の用途に好適である。本発明のカラーフィルタは、例えば、ＣＣＤを構成する各画素の受光部と集光するためのマイクロレンズとの間に配置されるカラーフィルタとして用いることができる。
【実施例】
【０１５２】
以下、本発明を実施例により更に具体的に説明するが、本発明はその主旨を越えない限り、以下の実施例に限定されるものではない。なお、特に断りのない限り、「部」は質量基準である。
【０１５３】
＜１−１．顔料分散液の調製＞
−Ｇｒｅｅｎ顔料分散液Ｐ１の調製−
顔料としてＣ．Ｉ．ピグメント・グリーン３６とＣ．Ｉ．ピグメント・イエロー１５０との５５／４５（質量比）混合物３０部と、分散剤としてＢＹＫ２００１（Ｄｉｓｐｅｒｂｙｋ：ビックケミー（ＢＹＫ）社製、固形分濃度４５．１質量％）１６．６部と、分散樹脂としてベンジルメタクリレート／メタクリル酸／２−ヒドロキシエチルメタクリレート共重合体（共重合比［モル比］＝６０／２０／２０、重量平均分子量＝約１４，０００）１２．０部と、溶媒としてプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート１５０．５部とからなる混合液を、ビーズミルにより１５時間混合・分散して、Ｇｒｅｅｎ顔料分散液Ｐ１を調製した。
このＧｒｅｅｎ顔料分散液Ｐ１について、顔料の体積平均粒径を動的光散乱法により測定したところ、２０ｎｍであった。
【０１５４】
−Ｒｅｄ顔料分散液Ｐ２の調製−
前記Ｇｒｅｅｎ顔料分散液の調製において、Ｃ．Ｉ．ピグメント・グリーン３６とＣ．Ｉ．ピグメント・イエロー１５０との５５／４５（質量比）混合物を、Ｃ．Ｉ．ピグメント・レッド２５４とＣ．Ｉ．ピグメント・イエロー１３９との７／３（質量比）混合物に代えたこと以外は、Ｇｒｅｅｎ顔料分散液の調製と同様の方法により、Ｒｅｄ顔料分散液Ｐ２を調製した。
このＲｅｄ顔料分散液Ｐ２について、顔料の体積平均粒径を動的光散乱法により測定したところ、２０ｎｍであった。
【０１５５】
−Ｂｌｕｅ顔料分散液Ｐ３の調製−
前記Ｇｒｅｅｎ顔料分散液の調製において、Ｃ．Ｉ．ピグメント・グリーン３６とＣ．Ｉ．ピグメント・イエロー１５０との５５／４５（質量比）混合物を、Ｃ．Ｉ．ピグメント・ブルー１５：６（３０部）に代えたこと以外は、Ｇｒｅｅｎ顔料分散液の調製と同様の方法により、Ｂｌｕｅ顔料分散液Ｐ３を調製した。
このＢｌｕｅ顔料分散液Ｐ３について、顔料の体積平均粒径を動的光散乱法により測定したところ、２０ｎｍであった。
【０１５６】
＜１−２．下塗り用レジスト液の調製＞
下記組成の成分を混合して溶解し、下塗り用レジスト液を調製した。
・プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート ・・・１９．２０部
（ＰＧＭＥＡ）
・乳酸エチル ・・・３６．６７部
・樹脂 ・・・３０．５１部
〔メタクリル酸ベンジル／メタクリル酸／メタクリル酸−２−ヒドロキシエチル共重合体（モル比＝６０：２０：２０）の４０％ＰＧＭＥＡ溶液〕
・ＫＡＹＡＲＡＤ ＤＰＨＡ（日本化薬製、重合性化合物） ・・・１２．２０部
・重合禁止剤（ｐ−メトキシフェノール）・・・０．００６１部
・フッ素系界面活性剤 ・・・ ０．８３部
（Ｆ−４７５、大日本インキ化学工業（株）製）
・光重合開始剤 ・・・ ０．５８６部
（ＴＡＺ−１０７（トリハロメチルトリアジン系の光重合開始剤）、みどり化学社製）
【０１５７】
＜１−３．下塗り層付シリコンウエハの作製＞
６ｉｎｃｈシリコンウエハを、オーブン中で２００℃下で３０分間、加熱処理した。次いで、このシリコンウエハ上に前記下塗り用レジスト液を乾燥膜厚が１μｍになるように塗布し、更に２００℃のホットプレート上で５分間加熱乾燥させて下塗り層を形成し、下塗り層付シリコンウエハを作製した。
【０１５８】
＜１−４．下層形成用の着色感光性組成物（塗布液）Ａ−１の調製＞
上記のＧｒｅｅｎ顔料分散液Ｐ１を用い、下記組成となるように混合、撹拌して着色感光性組成物Ａ−１を調製した。
<組成>
・前記Ｇｒｅｅｎ顔料分散液Ｐ１ ・・・１１．９４部
・ＣＧＩ−１２４ ・・・０．１３部
（チバ・スペシャルティ・ケミカルズ社製；オキシム系光重合開始剤）
・モノマー１：既述の例示化合物Ｍ−２ ・・・０．２１部
（酸基含有（メタ）アクリル化合物；酸価８９．８[mgKOH/g]）
・モノマー２：ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート（DPHA）・・・０．０９部
・アルカリ可溶性樹脂（共重合比[モル比]＝６０／２０／２０、重量平均分子量＝約１４，０００）・・・０．３８部
・ｐ−メトキシフェノール ・・・０．０００１部
・ポリエチレングリコールメチルエーテルアセテート〔ＰＧＭＥＡ（以下、同様に略記する）；溶媒〕・・・７．０２部
・界面活性剤（商品名：Ｆ−７８１、大日本インキ化学工業（株）製）のＰＧＭＥＡ１．０％溶液 ・・・５．２３部（組成物Ａ−１の固形分に占める界面活性剤量（固形分）は１．３７質量％）
【０１５９】
＜１−５．上層形成用（重ね塗り用）の着色感光性組成物（塗布液）の調製＞
−着色感光性組成物Ｂ−１（Ｇｒｅｅｎ色）の調製−
上記のＧｒｅｅｎ顔料分散液Ｐ１を用い、下記組成となるように混合、撹拌することにより、前記１色目のパターン上に重ね塗りして２色目のパターンを形成するための着色感光性組成物Ｂ−１を調製した。
<組成>
・前記Ｇｒｅｅｎ顔料分散液Ｐ１ ・・・１１．９４部
・ＣＧＩ−１２４ ・・・０．１３部
（チバ・スペシャルティ・ケミカルズ社製；オキシム系光重合開始剤）
・ＳＲ−４９４（サートマー社製） ・・・０．２１部
・ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート ・・・０．０９部
・アルカリ可溶性樹脂（共重合比[モル比]＝６０／２０／２０、重量平均分子量＝約１４，０００） ・・・０．３８部
・ｐ−メトキシフェノール ・・・０．０００１部
・ＰＧＭＥＡ（溶媒） ・・・１１．７３部
・界面活性剤（商品名：Ｆ−７８１、大日本インキ化学工業（株）製）のＰＧＭＥＡ１．０％溶液 ・・・０．５２部
【０１６０】
−着色感光性組成物Ｂ−２（Ｒｅｄ色）の調製−
上記のＲｅｄ顔料分散液Ｐ２を用い、下記組成となるように混合、撹拌することにより、前記１色目のパターン上に重ね塗りして２色目のパターンを形成するための着色感光性組成物Ｂ−２を調製した。
・前記Ｒｅｄ顔料分散液Ｐ２ ・・・８．８４部
・ＣＧＩ−１２４ ・・・０．０６部
（チバ・スペシャルティ・ケミカルズ社製；オキシム系光重合開始剤）
・ＳＲ−４９４（サートマー社製）・・・０．１５部
・ベンジルメタアクリレート／メタアクリル酸／２−ヒドロキシエチルメタアクリレート共重合体（共重合比[モル比]＝６０／２０／２０、重量平均分子量＝約１４，０００）・・・０．１０部
・ｐ−メトキシフェノール ・・・０．０００１部
・溶媒：ＰＧＭＥＡ ・・・１５．６２部
・界面活性剤（商品名：Ｆ−７８１、大日本インキ化学工業（株）製）のＰＧＭＥＡ１．０％溶液 ・・・０．１０部
【０１６１】
−着色感光性組成物Ｂ−３（Ｂｌｕｅ色）の調製−
上記のＢｌｕｅ顔料分散液Ｐ３を用い、下記組成となるように混合、撹拌することにより、前記１色目のパターン上に重ね塗りして２色目のパターンを形成するための着色感光性組成物Ｂ−３を調製した。
・前記Ｂｌｕｅ顔料分散液Ｐ３ ・・・７．４７部
・ＣＧＩ−１２４ ・・・０．０８部
（チバ・スペシャルティ・ケミカルズ社製；オキシム系光重合開始剤）
・ＳＲ−４９４（サートマー社製）・・・０．６０部
・ベンジルメタアクリレート／メタアクリル酸／２−ヒドロキシエチルメタアクリレート共重合体（共重合比[モル比]＝６０／２０／２０、重量平均分子量＝約１４，０００）・・・０．１８部
・ｐ−メトキシフェノール ・・・０．０００１部
・溶媒：ＰＧＭＥＡ ・・・１１．２５部
・界面活性剤（商品名：Ｆ−７８１、大日本インキ化学工業（株）製）のＰＧＭＥＡ１．０％溶液 ・・・０．４２部
【０１６２】
（実施例１）
＜１−６．着色感光性組成物の塗布、露光、及び現像＞
前記１−４．において調製された着色感光性組成物Ａ−１を、前記１−３．で得られた下塗り層付シリコンウエハの下塗り層上に塗布し、光硬化性の塗布膜を形成した。そして、この塗布膜の乾燥膜厚が０．８μｍになるように、１００℃のホットプレートを用いて１２０秒間加熱処理（プリベーク）を行なった。次いで、ｉ線ステッパー露光装置ＦＰＡ−３０００ｉ５＋（Ｃａｎｏｎ（株）製）を使用して、３６５ｎｍの波長で１．２μｍ四方のベイヤーパターンマスクを通して、１００〜２５００ｍＪ／ｃｍ２にて照射した（５０ｍＪ／ｃｍ２ずつ露光量を変化）。その後、照射された塗布膜が形成されているシリコンウエハをスピン・シャワー現像機（ＤＷ−３０型；（株）ケミトロニクス製）の水平回転テーブル上に載置し、ＣＤ−２０６０（富士フイルムエレクトロニクスマテリアルズ（株）製）を用いて２３℃で６０秒間パドル現像を行ない、シリコンウエハに着色パターンを形成した。
【０１６３】
着色パターンが形成されたシリコンウエハを真空チャック方式で前記水平回転テーブルに固定し、回転装置によって該シリコンウエハを回転数５０ｒｐｍで回転させつつ、その回転中心の上方より純水を噴出ノズルからシャワー状に供給してリンス処理を行ない、その後スプレー乾燥した。
次に、２００℃のホットプレートにて１０分間加熱し、１色目のパターンが形成されたカラーフィルタを得た。
【０１６４】
＜１−７．着色感光性組成物の重ね塗り塗布、露光、及び現像＞
前記１−６．にて形成された、ポストベーク後の１色目のパターンの上に、上記の着色感光性組成物Ｂ−２（Ｒｅｄ色）を塗布し、塗布膜を形成した。そして、この塗布膜の乾燥膜厚が０．８μｍになるように１００℃のホットプレートを用いて１２０秒間、加熱処理（プリベーク）を行なった。その後、１色目のパターン状に重ね塗りされた塗布膜を有するシリコンウエハをスピン・シャワー現像機（ＤＷ−３０型；（株）ケミトロニクス製）の水平回転テーブル上に載置し、ＣＤ−２０６０（富士フイルムエレクトロニクスマテリアルズ（株）製）を用いて２３℃で６０秒間パドル現像を行なった。続いて、このシリコンウエハを真空チャック方式で前記水平回転テーブルに固定し、回転装置によって該シリコンウエハを回転数５０ｒｐｍで回転させつつ、その回転中心の上方より純水を噴出ノズルからシャワー状に供給してリンス処理を行ない、その後スプレー乾燥することにより、重ね塗りした塗布膜を除去した。その後さらに、２００℃のホットプレートにて１０分間加熱して、カラーフィルタを得た。
【０１６５】
＜評価＞
上記より得たカラーフィルタに対して下記の評価を行なった。評価結果は下記表１〜表２に示す。
−（１）１色目パターン形成後の残渣評価−
前記１−６．での塗布、露光、及び現像を終了した段階での１色目のパターンを、走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）を用いて２０，０００倍で観察し、下記の評価基準にしたがって未露光部の残渣の程度（現像性）を評価した。
<評価基準>
◎：未露光部が完全に除去されていた。
○：やや残渣あるものの、問題のない範囲内であった。
△：残渣あるものの、実用上許容範囲内であった。
×：残渣が多く許容範囲外であった。
××：残渣の発生が顕著であった。
【０１６６】
−（２）重ね塗りした後の残渣評価−
前記１−７．での重ね塗り塗布、露光、及び現像を終了し、重ね塗りした塗布膜を除去した段階でのシリコンウエハ上のパターンを、走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）を用いて２０，０００倍で観察し、下記の評価基準にしたがって１色目のパターン上部及び１色目のパターン間にウエハ面に残存する残渣の程度（現像性）を評価した。
<評価基準>
◎：未露光部が完全に除去されていた。
○：やや残渣あるものの、問題のない範囲内であった。
△：残渣あるものの、実用上許容範囲内であった。
×：残渣が多く許容範囲外であった。
××：残渣の発生が顕著であった。
【０１６７】
−（３）１色目のパターン形成に必要な露光量−
前記１−６．での塗布、露光、及び現像を終了した段階での１色目のパターンを、光学顕微鏡を用いて１００倍で観察し、剥がれのないパターンが形成できている最低露光量を確認した。この露光量は、製造に必要となる時間を考慮すると１０００ｍＪ／ｃｍ２以下が許容範囲である。
【０１６８】
（実施例２〜１９）
実施例１において、下層形成用の着色感光性組成物及び上層形成用（重ね塗り用）の着色感光性組成物の種類を下記表１〜表２に示すように変更したこと以外は、実施例１と同様にして、カラーフィルタを作製し、評価を実施した。評価結果は下記表１〜表２に示す。なお、下層がＲｅｄ，Ｂｌｕｅの場合、露光は１．２μｍ四方のアイランドパターンマスクを通して実施し、Ｇｒｅｅｎの場合の露光は、１．２μｍ四方のベイヤーパターンマスクを通して実施した。
【０１６９】
（実施例２０）
実施例１において、下層形成用の着色感光性組成物Ａ−１を下記のように調製した着色感光性組成物Ａ−１６に代えたこと以外は、実施例１と同様にして、カラーフィルタを作製し、評価を実施した。評価結果は下記表１〜表２に示す。
【０１７０】
−着色感光性組成物Ａ−１６の調製−
下記組成となるように、各成分を混合、撹拌して、着色感光性組成物Ａ−１６を調製した。
<組成>
・前記Ｇｒｅｅｎ顔料分散液Ｐ１ ・・・１１．９４部
・ＣＧＩ−１２４ ・・・０．１３部
（チバ・スペシャルティ・ケミカルズ社製；オキシム系光重合開始剤）
・モノマー１：既述の例示化合物Ｍ−２ ・・・０．２１部
（酸基含有（メタ）アクリル化合物；酸価８９．８[mgKOH/g]）
・モノマー２：ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート（DPHA）・・・０．０９部
・アルカリ可溶性樹脂（共重合比[モル比]＝６０／２０／２０、重量平均分子量＝約１４，０００）・・・０．３８部
・ｐ−メトキシフェノール ・・・０．０００１部
・溶媒：ＰＧＭＥＡ ・・・７．０２部
・界面活性剤（商品名：Ｆ−７８１、大日本インキ化学工業（株）製）のＰＧＭＥＡ１．０％溶液 ・・・０．３８部（組成物Ａ−１３の固形分に占める界面活性剤量（固形分）は０．１０質量％）
【０１７１】
（実施例２１）
実施例１において、下層形成用の着色感光性組成物Ａ−１を下記のように調製した着色感光性組成物Ａ−１７に代えたこと以外は、実施例１と同様にして、カラーフィルタを作製し、評価を実施した。評価結果は下記表１〜表２に示す。
【０１７２】
−着色感光性組成物Ａ−１７の調製−
下記組成となるように、各成分を混合、撹拌して、着色感光性組成物Ａ−１７を調製した。
<組成>
・前記Ｇｒｅｅｎ顔料分散液Ｐ１ ・・・１１．９４部
・ＣＧＩ−１２４ ・・・０．１３部
（チバ・スペシャルティ・ケミカルズ社製；オキシム系光重合開始剤）
・モノマー１：既述の例示化合物Ｍ−２ ・・・０．２１部
（酸基含有（メタ）アクリル化合物；酸価８９．８[mgKOH/g]）
・モノマー２：ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート（DPHA）・・・０．０９部
・アルカリ可溶性樹脂（共重合比[モル比]＝６０／２０／２０、重量平均分子量＝約１４，０００）・・・０．２４部
・ｐ−メトキシフェノール ・・・０．０００１部
・溶媒：ＰＧＭＥＡ ・・・１０．３部
・界面活性剤（商品名：Ｆ−７８１、大日本インキ化学工業（株）製）のＰＧＭＥＡ１０．０％溶液 ・・・２．９３部（組成物Ａ−１４の固形分に占める界面活性剤量（固形分）は７．４８質量％）
【０１７３】
（実施例２２）
実施例１において、下層形成用の着色感光性組成物Ａ−１を下記のように調製した着色感光性組成物Ａ−１８に代えたこと以外は、実施例１と同様にして、カラーフィルタを作製し、評価を実施した。評価結果は下記表１〜表２に示す。
【０１７４】
−着色感光性組成物Ａ−１８の調製−
下記組成となるように、各成分を混合、撹拌して、着色感光性組成物Ａ−１８を調製した。
<組成>
・前記Ｇｒｅｅｎ顔料分散液Ｐ１ ・・・１１．９４部
・ＣＧＩ−１２４ ・・・０．１３部
（チバ・スペシャルティ・ケミカルズ社製；オキシム系光重合開始剤）
・モノマー１：既述の例示化合物Ｍ−２ ・・・０．０９部
（酸基含有（メタ）アクリル化合物；酸価８９．８[mgKOH/g]）
・モノマー２：ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート（DPHA）・・・０．２１部
・アルカリ可溶性樹脂（共重合比[モル比]＝６０／２０／２０、重量平均分子量＝約１４，０００）・・・０．３８部
・ｐ−メトキシフェノール ・・・０．０００１部
・溶媒：ＰＧＭＥＡ ・・・７．０２部
・界面活性剤（商品名：Ｆ−７８１、大日本インキ化学工業（株）製）のＰＧＭＥＡ１．０％溶液 ・・・５．２３部（組成物Ａ−１５の固形分に占める界面活性剤量（固形分）は１．３７質量％）
【０１７５】
（実施例２３）
実施例１において、下層形成用の着色感光性組成物Ａ−１を下記のように調製した着色感光性組成物Ａ−１９に代えたこと以外は、実施例１と同様にして、カラーフィルタを作製し、評価を実施した。評価結果は下記表１〜表２に示す。
【０１７６】
−着色感光性組成物Ａ−１９の調製−
下記組成となるように、各成分を混合、撹拌して、着色感光性組成物Ａ−１９を調製した。
<組成>
・前記Ｇｒｅｅｎ顔料分散液Ｐ１ ・・・１１．９４部
・ＣＧＩ−１２４ ・・・０．１３部
（チバ・スペシャルティ・ケミカルズ社製；オキシム系光重合開始剤）
・モノマー１：既述の例示化合物Ｍ−２ ・・・０．０８部
（酸基含有（メタ）アクリル化合物；酸価８９．８[mgKOH/g]）
・モノマー２：ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート（DPHA）・・・０．２２部
・アルカリ可溶性樹脂（共重合比[モル比]＝６０／２０／２０、重量平均分子量＝約１４，０００）・・・０．３８部
・ｐ−メトキシフェノール ・・・０．０００１部
・溶媒：ＰＧＭＥＡ ・・・７．０２部
・界面活性剤（商品名：Ｆ−７８１、大日本インキ化学工業（株）製）のＰＧＭＥＡ１．０％溶液 ・・・５．２３部（組成物Ａ−１６の固形分に占める界面活性剤量（固形分）は１．３７％）
【０１７７】
（比較例１）
実施例１において、下層形成用の着色感光性組成物Ａ−１を下記のように調製した着色感光性組成物Ａ−２０に代えたこと以外は、実施例１と同様にして、カラーフィルタを作製し、評価を実施した。評価結果は下記表１〜表２に示す。
【０１７８】
−着色感光性組成物Ａ−２０の調製−
下記組成となるように、各成分を混合、撹拌して、着色感光性組成物Ａ−２０を調製した。
<組成>
・前記Ｇｒｅｅｎ顔料分散液Ｐ１ ・・・１１．９４部
・ＣＧＩ−１２４ ・・・０．１３部
（チバ・スペシャルティ・ケミカルズ社製；オキシム系光重合開始剤）
・モノマー１：既述の例示化合物Ｍ−２ ・・・０．２１部
（酸基含有（メタ）アクリル化合物；酸価８９．８[mgKOH/g]）
・モノマー２：ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート（DPHA）・・・０．０９部
・アルカリ可溶性樹脂（共重合比[モル比]＝６０／２０／２０、重量平均分子量＝約１４，０００）・・・０．３８部
・ｐ−メトキシフェノール ・・・０．０００１部
・溶媒：ＰＧＭＥＡ ・・・１１．９１部
・界面活性剤（商品名：Ｆ−７８１、大日本インキ化学工業（株）製）のＰＧＭＥＡ１．０％溶液 ・・・０．３４部（組成物Ａ−１７の固形分に占める界面活性剤量（固形分）は０．０９％）
【０１７９】
（比較例２）
実施例１において、下層形成用の着色感光性組成物Ａ−１を下記のように調製した着色感光性組成物Ａ−２１に代えたこと以外は、実施例１と同様にして、カラーフィルタを作製し、評価を実施した。評価結果は下記表１〜表２に示す。
【０１８０】
−着色感光性組成物Ａ−２１の調製−
下記組成となるように、各成分を混合、撹拌して、着色感光性組成物Ａ−２１を調製した。
<組成>
・前記Ｇｒｅｅｎ顔料分散液Ｐ１ ・・・１１．９４部
・ＣＧＩ−１２４ ・・・０．１３部
（チバ・スペシャルティ・ケミカルズ社製；オキシム系光重合開始剤）
・モノマー１：既述の例示化合物Ｍ−２ ・・・０．２１部
（酸基含有（メタ）アクリル化合物；酸価８９．８[mgKOH/g]）
・モノマー２：ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート（DPHA）・・・０．０９部
・アルカリ可溶性樹脂（共重合比[モル比]＝６０／２０／２０、重量平均分子量＝約１４，０００）・・・０．２４部
・ｐ−メトキシフェノール ・・・０．０００１部
・溶媒：ＰＧＭＥＡ ・・・１０．３部
・界面活性剤（商品名：Ｆ−７８１、大日本インキ化学工業（株）製）のＰＧＭＥＡ１０．０％溶液 ・・・３．００部（組成物Ａ−１８の固形分に占める界面活性剤量（固形分）は７．６４％）
【０１８１】
（比較例３）
実施例１において、下層形成用の着色感光性組成物Ａ−１を下記のように調製した着色感光性組成物Ａ−２２に代えたこと以外は、実施例１と同様にして、カラーフィルタを作製し、評価を実施した。評価結果は下記表１〜表２に示す。
【０１８２】
−着色感光性組成物Ａ−２２の調製−
下記組成となるように、各成分を混合、撹拌して、着色感光性組成物Ａ−２２を調製した。
<組成>
・前記Ｇｒｅｅｎ顔料分散液Ｐ１ ・・・１１．９４部
・ＴＡＺ−１０７（トリハロメチルトリアジン系の光重合開始剤）・・・０．１３部
・モノマー１：既述の例示化合物Ｍ−２ ・・・０．２１部
（酸基含有（メタ）アクリル化合物；酸価８９．８[mgKOH/g]）
・モノマー２：ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート（DPHA）・・・０．０９部
・アルカリ可溶性樹脂（共重合比[モル比]＝６０／２０／２０、重量平均分子量＝約１４，０００）・・・０．３８部
・ｐ−メトキシフェノール ・・・０．０００１部
・ポリエチレングリコールメチルエーテルアセテート〔ＰＧＭＥＡ；溶媒〕・・・７．０２部
・界面活性剤（商品名：Ｆ−７８１、大日本インキ化学工業（株）製）のＰＧＭＥＡ１．０％溶液 ・・・５．２３部（組成物Ａ−１９の固形分に占める界面活性剤量（固形分）は１．３７％）
【０１８３】
（比較例４）
実施例１において、下層形成用の着色感光性組成物Ａ−１を下記のように調製した着色感光性組成物Ａ−２３に代えたこと以外は、実施例１と同様にして、カラーフィルタを作製し、評価を実施した。評価結果は下記表１〜表２に示す。
【０１８４】
−着色感光性組成物Ａ−２３の調製−
下記組成となるように、各成分を混合、撹拌して、着色感光性組成物Ａ−２３を調製した。
<組成>
・前記Ｇｒｅｅｎ顔料分散液Ｐ１ ・・・１１．９４部
・２−（２’−クロロフェニル）−４，５−ジフェニルイミダゾール２量体（光重合開始剤）・・・０．０４部
・ミヒラーズケトン（増感助剤）・・・０．０９部
・モノマー１：既述の例示化合物Ｍ−２ ・・・０．２１部
（酸基含有（メタ）アクリル化合物；酸価８９．８[mgKOH/g]）
・モノマー２：ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート（DPHA）・・・０．０９部
・アルカリ可溶性樹脂（共重合比[モル比]＝６０／２０／２０、重量平均分子量＝約１４，０００）・・・０．３８部
・ｐ−メトキシフェノール ・・・０．０００１部
・ポリエチレングリコールメチルエーテルアセテート〔ＰＧＭＥＡ；溶媒〕・・・７．０２部
・界面活性剤（商品名：Ｆ−７８１、大日本インキ化学工業（株）製）のＰＧＭＥＡ１．０％溶液 ・・・５．２３部（組成物Ａ−２０の固形分に占める界面活性剤量（固形分）は１．３７質量％）
【０１８５】
【表１】
【０１８６】
【表２】
【０１８７】
前記表１〜表２に示すように、実施例では、１色目のパターン形成後及び２色目以降を重ね塗りした後のいずれにおいても残渣の発生が抑えられ、混色の発生を防止することができた。また、残渣が抑えられたことにより、解像度の高いパターンが得られた。
これに対し、比較例では、１色目のパターン形成後又は２色目以降を重ね塗りした後、あるいはその両方において、残渣の発生が抑えられず、形成された着色パターンは混色が生じており、解像度の点でも劣っていた。
【技術分野】
【０００１】
本発明は、着色感光性組成物、並びにカラーフィルタ及びその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
カラーフィルタは、液晶ディスプレイ等の液晶表示素子（ＬＣＤ）や固体撮像素子（ＣＣＤ、ＣＭＯＳなど）に不可欠な構成部材である。
液晶ディスプレイは、表示装置としてＣＲＴと比較すると、コンパクトであり、かつ性能面では同等以上であることから、テレビ画面、パソコン画面、その他の表示装置としてＣＲＴから置き換わりつつある。また、近年では、液晶ディスプレイの開発の動向は、画面が比較的小面積であった従来のモニター用途から、画面が大型で高度な画質が求められるＴＶ用途に向かいつつある。
【０００３】
液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）用のカラーフィルタ用途においては、大型ＴＶ生産のため基板サイズが拡大しており、大型基板を用いた場合の生産性向上のため、低エネルギーでの硬化が望まれている。また、ＴＶ用途の液晶ディスプレイでは、従来のモニター用途のものに比し、より高度な画質が求められている。すなわち、コントラスト及び色純度の向上である。また、固体撮像素子においても、薄膜化に加え、色濃度、色相の向上が求められている。コントラストや色濃度の向上のため、カラーフィルタの作製に用いられる硬化性組成物に関しては、使用する着色剤（有機顔料等）の粒子サイズとして、より微小なものが求められている（例えば、特許文献１参照）。これに伴い、顔料分散のための分散剤添加量が増加する傾向にある。また、色純度向上のため、硬化性組成物の固形分中に占める着色剤（有機顔料）の含有率としては、より高いものが求められている。したがって、硬化性組成物中の固形分中に占める光重合開始剤及び光重合性モノマーの含有率が相対的に減少する傾向にある。この光重合性モノマー含有率の低下に伴って、感度が低くなり、充分な硬化が得られ難くなっている。そして、近年では、多色のカラーフィルタを作製する場合において、１色目の着色パターンを形成した後、同一基板上に更に２色目以降の着色パターンを形成する際、１色目の着色パターンの上に２色目の着色剤が残渣として残り、混色が発生し易くなる傾向にあり、改善が望まれている。
【０００４】
上記の状況に関係して、界面活性剤の添加量を増やす方法が知られており（例えば、特許文献２参照）、塗布ムラを解決できるとされている。また、オキシム系重合開始剤を使用すると硬化性が向上し、感度が向上するとされている（例えば、特許文献３参照）。
【特許文献１】特開２００６−３０５４１号公報
【特許文献２】特開２００３−３２２７１６号公報
【特許文献３】特開２００６−２６７２７４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、界面活性剤の添加量を増やした場合、１色目のパターン上に２色目以降を重ね塗りしたときの着色剤の残存抑制にある程度の効果はあるものの、充分ではなく、しかも重ね塗りされた領域のみならず、基板面と接触する未露光部の残渣が増えてしまう。この場合にも、次色の着色パターンの形成により混色を起こす原因となる。特に、薄膜（例えば１μｍ以下）で高濃度の着色剤を含んでパターンサイズが２μｍ以下となるような微細なパターン（例えば１．５μｍ角以下のベイヤーパターン）が求められる固体撮像素子においては、顕著に現れる。
なお、ここでの残渣とは、走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）にて観察した際に未露光部に残存して観察される、パターンを形成しない異物をさし、残渣である異物が既設のパターン上又は後にパターン形成される支持体上の領域（パターン未形成領域）に残存することで混色の原因となる。
【０００６】
また、オキシム系重合開始剤を用いると、混色抑制にある程度の効果は得られるが、完全に混色を防止するには不充分であった。
【０００７】
本発明は、上記に鑑みなされたものであり、未露光部の上及び既設の着色パターン（例えば１色目パターン）上に残存する次色以降（例えば２色目以降）の残渣、並びにこれに伴う混色の発生を抑制し、高解像度のパターン形成が可能な着色感光性組成物、並びに解像度が高く、色濃度、色相の良好な着色パターンを備えたカラーフィルタ及び該カラーフィルタを高い生産性で製造しうる製造方法を提供することを目的とし、該目的を達成することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明は、界面活性剤を所定範囲の量にて添加すると共にオキシム系重合開始剤を併用すると、着色パターンの未形成領域での着色剤の残存と、既設の着色パターン（例えば１色目の着色パターン）上に次色の着色パターン（例えば２色目、３色目・・・の着色パターン）を形成するために重ね塗りした際の着色剤（例えば２色目以降の着色剤）の残存とに対する抑制効果が特異的に良化するとの知見を得、かかる知見に基づいて達成されたものである。
【０００９】
前記課題を達成するための具体的手段は以下の通りである。
＜１＞ 着色剤と、界面活性剤を固形分で組成物全固形分の０．１質量％以上７．５質量％以下と、オキシム系重合開始剤とを含む着色感光性組成物である。
＜２＞ 更に、酸基含有モノマーを、モノマー合計量あたりの酸価が２５ｍｇＫＯＨ／ｇ以上となるように含むことを特徴とする前記＜１＞に記載の着色感光性組成物である。
＜３＞ 前記酸基含有モノマーが、３個以上の（メタ）アクリル基を有する多官能モノマーであることを特徴とする前記＜２＞に記載の着色感光性組成物である。
前記多官能モノマーは、（メタ）アクリル基を３個以上含有する、酸価２５ｍｇＫＯＨ／ｇ以上のモノマーであることが好ましい。
＜４＞ 前記着色剤の少なくとも一種が、黄色顔料であることを特徴とする前記＜１＞〜前記＜３＞のいずれか１つに記載の着色感光性組成物である。
＜５＞ 前記黄色顔料の少なくとも一種が、バルビツール系黄色顔料であることを特徴とする前記＜１＞〜前記＜４＞のいずれか１つに記載の着色感光性組成物である。
【００１０】
＜６＞ 前記黄色顔料の少なくとも一種が、金属錯体であることを特徴とする前記＜１＞〜前記＜５＞のいずれか１つに記載の着色感光性組成物である。
＜７＞ 前記黄色顔料の少なくとも一種が、ニッケル錯体であるバルビツール系黄色顔料であることを特徴とする前記＜１＞〜前記＜６＞のいずれか１つに記載の着色感光性組成物である。
＜８＞ 前記界面活性剤が、フッ素原子を有することを特徴とする前記＜１＞〜前記＜７＞のいずれか１つに記載の着色感光性組成物である。
＜９＞ 前記酸基含有モノマーの酸基が、カルボキシル基であることを特徴とする前記＜２＞〜前記＜８＞のいずれか１つに記載の着色感光性組成物である。
【００１１】
＜１０＞ 支持体上に前記＜１＞〜前記＜９＞のいずれか１つに記載の着色感光性組成物を用いて形成された着色パターンを有するカラーフィルタである。
＜１１＞ 支持体上に、前記＜１＞〜前記＜９＞のいずれか１つに記載の着色感光性組成物を塗布して着色感光性層を形成する工程と、形成された前記着色感光性層を、マスクを介して露光する工程と、露光後の前記着色感光性層を現像して着色パターンを形成する工程と、を有するカラーフィルタの製造方法である。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、未露光部の上及び既設の着色パターン（例えば１色目パターン）上に残存する次色以降（例えば２色目以降）の残渣、並びにこれに伴う混色の発生を抑制し、高解像度のパターン形成が可能な着色感光性組成物を提供することができる。特に、着色剤を高濃度に（好ましくは４０質量％以上）含有する場合でも、高感度が得られ、混色の発生を抑制し、高解像度のパターン形成することができる着色感光性組成物を提供することができる。
また、本発明によれば、解像度が高く、色濃度、色相の良好な着色パターンを備えたカラーフィルタ及び該カラーフィルタを高い生産性で製造しうるカラーフィルタの製造方法を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下、本発明の着色感光性組成物、並びに該着色感光性組成物を用いたカラーフィルタ及びその製造方法について詳細に説明する。
【００１４】
＜着色感光性組成物＞
本発明の着色感光性組成物は、少なくとも、（Ａ）界面活性剤と、（Ｂ）オキシム系重合開始剤と、（Ｃ）着色剤とを含有してなり、好ましくは酸基含有モノマーを含有し、更には、必要に応じて他の成分を用いて構成することができる。
【００１５】
（Ａ）界面活性剤
本発明の着色感光性組成物は、界面活性剤の少なくとも１種を含み、界面活性剤の含有量を組成物の全質量に対して、固形分で０．１質量％以上７．５質量％以下の割合とする。本発明においては、界面活性剤を組成物の全体質量に対して比較的多く含有しており、この含有量において後述のオキシム系重合開始剤を組み合わせることで、着色パターン上に残存する次色以降の残渣の発生が抑制される。着色パターン上に残存する次色以降の残渣の抑制は、着色剤の含有量が多い場合（例えば、組成物の全質量の４０質量％以上の場合、具体的には例えば、１μｍ以下の薄膜でパターンサイズが２μｍ以下の微細パターン（例えば１．５μｍ角以下のベイヤーパターン）等のフォトリソ性に寄与する成分が相対的に少なくなる固体撮像素子用途の場合）に特に効果的である。
【００１６】
本発明においては、界面活性剤の含有量（固形分）は、組成物の全質量の０．１質量％未満であると、既設の着色パターン上に次色の着色パターンを形成するために重ね塗りした際に着色剤（２色目以降の着色剤）が吸着等して残存し、複数色からなるカラーフィルタを作製した際に混色を生じてしまう。また、組成物の全質量の７．５質量％を超えると、未露光部での残渣発生量が著しく、残渣の発生を許容できなくなる。
上記の中でも、界面活性剤の含有量としては、組成物の全質量に対して、０．２質量％以上５．０％質量以下がより好ましく、０．２５質量％以上２．０質量％以下が最も好ましい。
【００１７】
前記界面活性剤としては、アニオン系、カチオン系、非イオン系のいずれの界面活性剤も用いることができる。
前記アニオン系界面活性剤の具体例としては、Ｗ００４、Ｗ００５、Ｗ０１７（裕商（株）製）、メガファックＦ−８１５、同Ｆ−１１４、同Ｆ−４１０、同Ｆ−４９３、同Ｆ−４９４（大日本インキ化学工業（株）製）、Ａ−１−Ｋ、Ａ−２２−Ｌ、Ａ−４１−Ｂ、Ａ−４４−Ｂ（竹本油脂（株）製）等が挙げられる。
前記カチオン系界面活性剤の具体例としては、Ｗ００１（裕商（株）製）、Ｂ−８０９（竹本油脂（株）製）等が挙げられる。
【００１８】
本発明においては、アニオン系及びカチオン系に比較し、非イオン系界面活性剤の方が１色目のパターン形成における残渣抑制に効果が大きいため好ましい。
前記非イオン系界面活性剤としては、ポリオキシエチレンラウリルエーテル、ポリオキシエチレンステアリルエーテル、ポリオキシエチレンオレイルエーテル、ポリオキシエチレンオクチルフェニルエーテル、ポリオキシエチレンノニルフェニルエーテル、ポリエチレングリコールジラウレート、ポリエチレングリコールジステアレート、ソルビタン脂肪酸エステル等のノニオン系界面活性剤や、シリコーン系界面活性剤、フッ素系界面活性剤、及びフッ素原子を有するシリコーン系界面活性剤等が挙げられる。
【００１９】
前記シリコーン系界面活性剤としては、シロキサン結合を有する界面活性剤が挙げられる。具体的には、トーレシリコーンＤＣ３ＰＡ、同ＳＨ７ＰＡ、同ＤＣ１１ＰＡ、同ＳＨ２１ＰＡ、同ＳＨ２８ＰＡ、同２９ＳＨＰＡ、同ＳＨ３０ＰＡ、ポリエーテル変性シリコンオイルＳＨ８４００（トーレシリコーン（株）製）、ＫＰ３２１、ＫＰ３２２、ＫＰ３２３、ＫＰ３２４、ＫＰ３２６、ＫＰ３４０、ＫＰ３４１（信越シリコーン（株）製）、ＴＳＦ４００、ＴＳＦ４０１、ＴＳＦ４１０、ＴＳＦ４３００、ＴＳＦ４４４０、ＴＳＦ４４４５、ＴＳＦ−４４４６、ＴＳＦ４４５２、ＴＳＦ４４６０（ジーイー東芝シリコーン（株）製）などが挙げられる。
【００２０】
前記フッ素系界面活性剤としては、フルオロカーボン鎖を有する界面活性剤が挙げられる。具体的には、フロリナート（商品名）ＦＣ４３０、同ＦＣ４３１、同ＦＣ４４３０（住友スリーエム（株）製）、メガファック（商品名）Ｆ１４２Ｄ、同Ｆ１７１、同Ｆ１７２、同Ｆ１７３、同Ｆ１７７、同Ｆ１８３、同Ｒ３０、同Ｆ７８０、同Ｆ７８１、同Ｆ７８２（大日本インキ化学工業（株）製）、エフトップ（商品名）ＥＦ３０１、同ＥＦ３０３、同ＥＦ３５１、同ＥＦ３５２（新秋田化成（株）製）、サーフロン（商品名）Ｓ３８１、同Ｓ３８２、同ＳＣ１０１、同ＳＣ１０５（旭硝子（株）製）、Ｅ５８４４（（株）ダイキンファインケミカル研究所製）、ＢＭ−１０００、ＢＭ−１１００（いずれも商品名：ＢＭ Ｃｈｅｍｉｅ社製）などが挙げられる。
【００２１】
前記「フッ素原子を有するシリコーン系界面活性剤」としては、シロキサン結合及びフルオロカーボン鎖を有する界面活性剤が挙げられる。具体的には、メガファック（商品名）Ｒ０８、同ＢＬ２０、同Ｆ４７５、同Ｆ４７７、同Ｆ４４３（大日本インキ化学工業（株）製）などが挙げられる。
【００２２】
上記の中でも、既設の着色パターン上に重ね塗りしたときの既設パターン上での次色の着色剤の吸着を抑制する観点から、フッ素系界面活性剤が好ましい。中でも好ましい具体例としては、メガファック（商品名）同Ｆ７８０、同Ｆ７８１、同Ｆ７８２（大日本インキ化学工業（株）製）が挙げられる。
【００２３】
（Ｂ）オキシム系重合開始剤
本発明の着色感光性組成物は、オキシム系重合開始剤の少なくとも１種を含有する。この光重合開始剤は、光により分解し、ラジカル重合性モノマーの重合反応を開始、促進する化合物であり、波長３００〜５００ｎｍの領域に吸収を有するものが好ましい。オキシム系重合開始剤を用いると、光による分解効率が極めて高く、より高い硬化性が得られるため、着色パターン上への次色以降の残渣の吸着が抑制できるものと推測される。
【００２４】
オキシム系化合物としては、例えば、J.C.S. Perkin II(1979)1653-1660)、J.C.S. Perkin II (1979) 156-162、Journal of Photopolymer Science and Technology (1995) 202-232、特開２０００−６６３８５号公報に記載の化合物、特開２０００−８００６８号公報、特表２００４−５３４７９７号公報に記載の化合物等が挙げられる。オキシム系化合物の特に好ましい具体例としては、２−（Ｏ−ベンゾイルオキシム）−１−［４−（フェニルチオ）フェニル］−１，２−オクタンジオン、１−（Ｏ−アセチルオキシム）−１−［９−エチル−６−（２−メチルベンゾイル）−９Ｈ−カルバゾール−３−イル］エタノンが挙げられる。
オキシム系重合開始剤は、１種単独で又は２種以上を混合して用いることができる。
【００２５】
オキシム系重合開始剤の着色感光性組成物中における含有量としては、着色感光性組成物の全固形分に対して、０．１〜５０質量％の範囲が好ましく、より好ましくは０．５〜３０質量％の範囲、特に好ましくは１〜２０質量％の範囲である。この範囲内であると、良好な感度とパターン形成性が得られる。
【００２６】
光重合開始剤として、オキシム系重合開始剤以外のものを併用してもよい。
併用してもよい光重合開始剤としては、例えば、有機ハロゲン化化合物、オキシジアゾール化合物、カルボニル化合物、ケタール化合物、ベンゾイン化合物、アクリジン化合物、有機過酸化化合物、アゾ化合物、クマリン化合物、アジド化合物、メタロセン化合物、ヘキサアリールビイミダゾール化合物、有機ホウ酸塩化合物、ジスルホン化合物、オニウム塩化合物、アシルホスフィン（オキシド）化合物が挙げられる。
【００２７】
有機ハロゲン化化合物としては、具体的には、若林等、「Ｂｕｌｌ Ｃｈｅｍ．Ｓｏｃ Ｊａｐａｎ」４２、２９２４（１９６９）、米国特許第３，９０５，８１５号明細書、特公昭４６−４６０５号公報、特開昭４８−３６２８１号公報、特開昭５５−３２０７０号公報、特開昭６０−２３９７３６号公報、特開昭６１−１６９８３５号公報、特開昭６１−１６９８３７号公報、特開昭６２−５８２４１号公報、特開昭６２−２１２４０１号公報、特開昭６３−７０２４３号公報、特開昭６３−２９８３３９号公報、Ｍ．Ｐ．Ｈｕｔｔ“Ｊｕｒｎａｌ ｏｆ Ｈｅｔｅｒｏｃｙｃｌｉｃ Ｃｈｅｍｉｓｔｒｙ”１（Ｎｏ３），（１９７０）」に記載の化合物が挙げられる。特に、トリハロメチル基が置換したオキサゾール化合物、ｓ−トリアジン化合物が挙げられる。
【００２８】
前記ｓ−トリアジン化合物としてより好ましくは、少なくとも１つのモノ、ジ、又はトリハロゲン置換メチル基がｓ−トリアジン環に結合したｓ−トリアジン誘導体が挙げられる。具体的には、例えば、２，４，６−トリス（モノクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２，４，６−トリス（ジクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２，４，６−トリス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−メチル−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−ｎ−プロピル−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−（α，α，β−トリクロロエチル）−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−フェニル−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−（ｐ−メトキシフェニル）−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−（３，４−エポキシフェニル）−４、６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−（ｐ−クロロフェニル）−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−〔１−（ｐ−メトキシフェニル）−２，４−ブタジエニル〕−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−スチリル−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−（ｐ−メトキシスチリル）−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−（ｐ−ｉ−プロピルオキシスチリル）−４、６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−（ｐ−トリル）−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−（４−ナトキシナフチル）−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−フェニルチオ−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−ベンジルチオ−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２，４，６−トリス（ジブロモメチル）−ｓ−トリアジン、２，４，６−トリス（トリブロモメチル）−ｓ−トリアジン、２−メチル−４，６−ビス（トリブロモメチル）−ｓ−トリアジン、２−メトキシ−４，６−ビス（トリブロモメチル）−ｓ−トリアジン等が挙げられる。
【００２９】
オキシジアゾール化合物としては、例えば、２−トリクロロメチル−５−スチリル−１，３，４−オキソジアゾール、２−トリクロロメチル−５−（シアノスチリル）−１，３，４−オキソジアゾール、２−トリクロロメチル−５−（ナフト−１−イル）−１，３，４−オキソジアゾール、２−トリクロロメチル−５−（４−スチリル）スチリル−１，３，４−オキソジアゾールなどが挙げられる。
【００３０】
カルボニル化合物としては、例えば、ベンゾフェノン、ミヒラーケトン、２−メチルベンゾフェノン、３−メチルベンゾフェノン、４−メチルベンゾフェノン、２−クロロベンゾフェノン、４−ブロモベンゾフェノン、２−カルボキシベンゾフェノン等のベンゾフェノン誘導体、２，２−ジメトキシ−２−フェニルアセトフェノン、２，２−ジエトキシアセトフェノン、１−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、α−ヒドトキシ−２−メチルフェニルプロパノン、１−ヒドロキシ−１−メチルエチル−（ｐ−イソプロピルフェニル）ケトン、１−ヒドロキシ−１−（ｐ−ドデシルフェニル）ケトン、２−メチルー（４’−（メチルチオ）フェニル）−２−モルホリノ−１−プロパノン、１，１，１−トリクロロメチル−（ｐ−ブチルフェニル）ケトン、２−ベンジル−２−ジメチルアミノ−４−モルホリノブチロフェノン等のアセトフェノン誘導体、チオキサントン、２−エチルチオキサントン、２−イソプロピルチオキサントン、２−クロロチオキサントン、２，４−ジメチルチオキサントン、２，４−ジエチルチオキサントン、２，４−ジイソプロピルチオキサントン等のチオキサントン誘導体、ｐ−ジメチルアミノ安息香酸エチル、ｐ−ジエチルアミノ安息香酸エチル等の安息香酸エステル誘導体等を挙げることができる。
【００３１】
ケタール化合物としては、例えば、ベンジルメチルケタール、ベンジル−β−メトキシエチルエチルアセタールなどを挙げることができる。
【００３２】
ベンゾイン化合物としては、例えば、ｍ−ベンゾインイソプロピルエーテル、ベンゾインイソブチルエーテル、ベンゾインメチルエーテル、メチルｏ−ベンゾイルベンゾエートなどを挙げることができる。
【００３３】
アクリジン化合物としては、例えば、９−フェニルアクリジン、１，７−ビス（９−アクリジニル）ヘプタンなどを挙げることができる。
【００３４】
有機過酸化化合物としては、例えば、トリメチルシクロヘキサノンパーオキサイド、アセチルアセトンパーオキサイド、１，１−ビス（ｔｅｒｔ−ブチルパーオキシ）−３，３，５−トリメチルシクロヘキサン、１，１−ビス（ｔｅｒｔ−ブチルパーオキシ）シクロヘキサン、２，２−ビス（ｔｅｒｔ−ブチルパーオキシ）ブタン、ｔｅｒｔ−ブチルハイドロパーオキサイド、クメンハイドロパーオキサイド、ジイソプロピルベンゼンハイドロパーオキサイド、２，５−ジメチルヘキサン−２，５−ジハイドロパーオキサイド、１，１，３，３−テトラメチルブチルハイドロパーオキサイド、ｔｅｒｔ−ブチルクミルパーオキサイド、ジクミルパーオキサイド、２，５−ジメチル−２，５−ジ（ｔｅｒｔ−ブチルパーオキシ）ヘキサン、２，５−オキサノイルパーオキサイド、過酸化コハク酸、過酸化ベンゾイル、２，４−ジクロロベンゾイルパーオキサイド、ジイソプロピルパーオキシジカーボネート、ジ−２−エチルヘキシルパーオキシジカーボネート、ジ−２−エトキシエチルパーオキシジカーボネート、ジメトキシイソプロピルパーオキシカーボネート、ジ（３−メチル−３−メトキシブチル）パーオキシジカーボネート、ｔｅｒｔ−ブチルパーオキシアセテート、ｔｅｒｔ−ブチルパーオキシピバレート、ｔｅｒｔ−ブチルパーオキシネオデカノエート、ｔｅｒｔ−ブチルパーオキシオクタノエート、ｔｅｒｔ−ブチルパーオキシラウレート、ターシルカーボネート、３，３’，４，４’−テトラ−（ｔ−ブチルパーオキシカルボニル）ベンゾフェノン、３，３’，４，４’−テトラ−（ｔ−ヘキシルパーオキシカルボニル）ベンゾフェノン、３，３’，４，４’−テトラ−（ｐ−イソプロピルクミルパーオキシカルボニル）ベンゾフェノン、カルボニルジ（ｔ−ブチルパーオキシ二水素二フタレート）、カルボニルジ（ｔ−ヘキシルパーオキシ二水素二フタレート）等が挙げられる。
【００３５】
アゾ化合物としては、例えば、特開平８−１０８６２１号公報に記載のアゾ化合物等を挙げることができる。
【００３６】
クマリン化合物としては、例えば、３−メチル−５−アミノ−（（ｓ−トリアジン−２−イル）アミノ）−３−フェニルクマリン、３−クロロ−５−ジエチルアミノ−（（ｓ−トリアジン−２−イル）アミノ）−３−フェニルクマリン、３−ブチル−５−ジメチルアミノ−（（ｓ−トリアジン−２−イル）アミノ）−３−フェニルクマリン等を挙げることができる。
【００３７】
アジド化合物としては、例えば、米国特許第２８４８３２８号明細書、米国特許第２８５２３７９号明細書並びに米国特許第２９４０８５３号明細書に記載の有機アジド化合物、２，６−ビス（４−アジドベンジリデン）−４−エチルシクロヘキサノン（ＢＡＣ−Ｅ）等が挙げられる。
【００３８】
メタロセン化合物としては、例えば、特開昭５９−１５２３９６号公報、特開昭６１−１５１１９７号公報、特開昭６３−４１４８４号公報、特開平２−２４９号公報、特開平２−４７０５号公報、特開平５−８３５８８号公報に記載の種々のチタノセン化合物、例えば、ジ−シクロペンタジエニル−Ｔｉ−ビス−フェニル、ジ−シクロペンタジエニル−Ｔｉ−ビス−２，６−ジフルオロフェニル−１−イル、ジ−シクロペンタジエニル−Ｔｉ−ビス−２，４−ジ−フルオロフェニル−１−イル、ジ−シクロペンタジエニル−Ｔｉ−ビス−２，４，６−トリフルオロフェニル−１−イル、ジ−シクロペンタジエニル−Ｔｉ−ビス−２，３，５，６−テトラフルオロフェニル−１−イル、ジ−シクロペンタジエニル−Ｔｉ−ビス−２，３，４，５，６−ペンタフルオロフェニル−１−イル、ジ−メチルシクロペンタジエニル−Ｔｉ−ビス−２，６−ジフルオロフェニル−１−イル、ジ−メチルシクロペンタジエニル−Ｔｉ−ビス−２，４，６−トリフルオロフェニル−１−イル、ジ−メチルシクロペンタジエニル−Ｔｉ−ビス−２，３，５，６−テトラフルオロフェニル−１−イル、ジ−メチルシクロペンタジエニル−Ｔｉ−ビス−２，３，４，５，６−ペンタフルオロフェニル−１−イル、特開平１−３０４４５３号公報、特開平１−１５２１０９号公報記載の鉄−アレーン錯体等が挙げられる。
【００３９】
ヘキサアリールビイミダゾール化合物としては、例えば、特公平６−２９２８５号公報、米国特許第３，４７９，１８５号、同第４，３１１，７８３号、同第４，６２２，２８６号等の各明細書に記載の種々の化合物、具体的には、２，２’−ビス（ｏ−クロロフェニル）−４，４’，５，５’−テトラフェニルビイミダゾール、２，２’−ビス（ｏ−ブロモフェニル））４，４’，５，５’−テトラフェニルビイミダゾール、２，２’−ビス（ｏ，ｐ−ジクロロフェニル）−４，４’，５，５’−テトラフェニルビイミダゾール、２，２’−ビス（ｏ−クロロフェニル）−４，４’，５，５’−テトラ（ｍ−メトキシフェニル）ビイジダゾール、２，２’−ビス（ｏ，ｏ’−ジクロロフェニル）−４，４’，５，５’−テトラフェニルビイミダゾール、２，２’−ビス（ｏ−ニトロフェニル）−４，４’，５，５’−テトラフェニルビイミダゾール、２，２’−ビス（ｏ−メチルフェニル）−４，４’，５，５’−テトラフェニルビイミダゾール、２，２’−ビス（ｏ−トリフルオロフェニル）−４，４’，５，５’−テトラフェニルビイミダゾール等が挙げられる。
【００４０】
有機ホウ酸塩化合物としては、例えば、特開昭６２−１４３０４４号、特開昭６２−１５０２４２号、特開平９−１８８６８５号、特開平９−１８８６８６号、特開平９−１８８７１０号、特開２０００−１３１８３７、特開２００２−１０７９１６、特許第２７６４７６９号、特願２０００−３１０８０８号、等の各公報、及び、Ｋｕｎｚ，Ｍａｒｔｉｎ“Ｒａｄ Ｔｅｃｈ’９８．Ｐｒｏｃｅｅｄｉｎｇ Ａｐｒｉｌ １９−２２，１９９８，Ｃｈｉｃａｇｏ”等に記載の有機ホウ酸塩、特開平６−１５７６２３号公報、特開平６−１７５５６４号公報、特開平６−１７５５６１号公報に記載の有機ホウ素スルホニウム錯体あるいは有機ホウ素オキソスルホニウム錯体、特開平６−１７５５５４号公報、特開平６−１７５５５３号公報に記載の有機ホウ素ヨードニウム錯体、特開平９−１８８７１０号公報に記載の有機ホウ素ホスホニウム錯体、特開平６−３４８０１１号公報、特開平７−１２８７８５号公報、特開平７−１４０５８９号公報、特開平７−３０６５２７号公報、特開平７−２９２０１４号公報等に記載の有機ホウ素遷移金属配位錯体等が具体例として挙げられる。
【００４１】
ジスルホン化合物としては、例えば、特開昭６１−１６６５４４号公報、特開２００２−３２８４６５号公報（特願２００１−１３２３１８号）等に記載の化合物等が挙げられる。
【００４２】
オニウム塩化合物としては、例えば、Ｓ．Ｉ．Ｓｃｈｌｅｓｉｎｇｅｒ，Ｐｈｏｔｏｇｒ．Ｓｃｉ．Ｅｎｇ．，１８，３８７（１９７４）、Ｔ．Ｓ．Ｂａｌ ｅｔ ａｌ，Ｐｏｌｙｍｅｒ，２１，４２３（１９８０）に記載のジアゾニウム塩、米国特許第４，０６９，０５５号明細書、特開平４−３６５０４９号等に記載のアンモニウム塩、米国特許第４，０６９，０５５号、同４，０６９，０５６号の各明細書に記載のホスホニウム塩、欧州特許第１０４、１４３号、米国特許第３３９，０４９号、同第４１０，２０１号の各明細書、特開平２−１５０８４８号、特開平２−２９６５１４号の各公報に記載のヨードニウム塩などが挙げられる。
【００４３】
前記ヨードニウム塩は、ジアリールヨードニウム塩であり、安定性の観点から、アルキル基、アルコキシ基、アリーロキシ基等の電子供与性基で２つ以上置換されていることが好ましい。
また、スルホニウム塩の形態として、トリアリールスルホニウム塩の１つの置換基がクマリン、アントアキノン構造を有し、３００ｎｍ以上に吸収を有するヨードニウム塩などが好ましい。
【００４４】
前記スルホニウム塩としては、欧州特許第３７０，６９３号、同３９０，２１４号、同２３３，５６７号、同２９７，４４３号、同２９７，４４２号、米国特許第４，９３３，３７７号、同１６１，８１１号、同４１０，２０１号、同３３９，０４９号、同４，７６０，０１３号、同４，７３４，４４４号、同２，８３３，８２７号、独国特許第２，９０４，６２６号、同３，６０４，５８０号、同３，６０４，５８１号の各明細書に記載のスルホニウム塩が挙げられ、安定性の感度点から好ましくは電子吸引性基で置換されていることが好ましい。電子吸引性基としては、ハメット値が０より大きいことが好ましい。好ましい電子吸引性基としては、ハロゲン原子、カルボン酸などが挙げられる。
また、その他の好ましいスルホニウム塩としては、トリアリールスルホニウム塩の１つの置換基がクマリン、アントアキノン構造を有し、３００ｎｍ以上に吸収を有するスルホニウム塩が挙げられる。別の好ましいスルホニウム塩としては、トリアリールスルホニウム塩が、アリロキシ基、アリールチオ基を置換基に有する３００ｎｍ以上に吸収を有するスルホニウム塩が挙げられる。
【００４５】
また、オニウム塩化合物としては、例えば、J.V.Crivello et al,Macromolecules,10(6),1307(1977)、J.V.Crivello et al,J.Polymer Sci.,Polymer Chem.Ed.,17,1047(1979)に記載のセレノニウム塩、C.S.Wen et al,Teh,Proc.Conf.Rad.Curing ASIA,p478 Tokyo,Oct(1988)に記載のアルソニウム塩等のオニウム塩等が挙げられる。
【００４６】
アシルホスフィン（オキシド）化合物としては、例えば、チバ・スペシャルティ・ケミカルズ社製のイルガキュア８１９、ダロキュア４２６５、ダロキュアＴＰＯなどが挙げられる。
【００４７】
（Ｃ）着色剤
本発明の着色感光性組成物は、着色剤の少なくとも１種を含有する。着色剤を含有することで、着色感光性組成物を用いて有色の硬化体を形成することができ、例えば、画像形成材料やカラーフィルタの着色パターンの形成に適用することができる。
【００４８】
着色剤には、特に制限はなく、従来公知の種々の染料や顔料を１種単独で、又は２種以上を混合して用いることができる。着色剤としては、耐熱性、耐光性等の耐久性の観点から、顔料であることが好ましい。
【００４９】
顔料としては、従来公知の種々の無機顔料又は有機顔料を用いることができる。また、無機顔料であれ有機顔料であれ、高透過率であることが好ましいことを考慮すると、なるべく細かいものの使用が好ましく、ハンドリング性をも考慮すると、上記顔料の平均粒子径は、０．０１μｍ〜０．１μｍが好ましく、０．０１μｍ〜０．０５μｍがより好ましい。
【００５０】
前記無機顔料としては、例えば、金属酸化物、金属錯塩等の金属化合物を挙げることができる。具体的には、鉄、コバルト、アルミニウム、カドミウム、鉛、銅、チタン、マグネシウム、クロム、亜鉛、アンチモン等の金属酸化物、及び前記金属の複合酸化物などが挙げられる。
【００５１】
前記有機顔料としては、例えば、
C.I.ピグメント イエロー 11, 24, 31, 53, 83, 93, 99, 108, 109, 110, 138, 139, 147, 150, 151, 154, 155, 167, 180, 185, 199;
C.I.ピグメント オレンジ36, 38, 43, 71;
C.I.ピグメント レッド81, 105, 122, 149, 150, 155, 171, 175, 176, 177,209, 220, 224, 242, 254, 255, 264, 270;
C.I.ピグメント バイオレット 19, 23, 32, 39;
C.I.ピグメント ブルー 1, 2, 15, 15:1, 15:3, 15:6, 16, 22, 60, 66;
C.I.ピグメント グリーン 7, 36, 37;
C.I.ピグメント ブラウン 25, 28;
C.I.ピグメント ブラック 1, 7;
カーボンブラック、等を挙げることができる。
【００５２】
本発明では、特に顔料の構造式中に塩基性のＮ原子をもつものを好ましく用いることができる。これら塩基性のＮ原子をもつ顔料は本発明の組成物中で良好な分散性を示す。その原因については十分解明されていないが、感光性重合成分と顔料との親和性の良さが影響しているものと推定される。
【００５３】
本発明において好ましく用いることができる顔料としては、以下のものを挙げることができる。但し、本発明は、これらに限定されるものではない。
【００５４】
C.I.ピグメント イエロー 11, 24, 108, 109, 110, 138, 139, 150, 151, 154, 167, 180, 185,
C.I.ピグメント オレンジ36, 71,
C.I.ピグメント レッド 122, 150, 171, 175, 177, 209, 224, 242, 254, 255, 264,
C.I.ピグメント バイオレット 19, 23, 32,
C.I.ピグメント ブルー 15:1, 15:3, 15:6, 16, 22, 60, 66,
C.I.ピグメント ブラック 1
【００５５】
これら有機顔料は、単独もしくは色純度を上げるため種々組合せて用いることができる。このような組合せの具体例を以下に示す。
例えば、赤色用の顔料として、アントラキノン系顔料、ペリレン系顔料、ジケトピロロピロール系顔料を単独で、又はそれらの少なくとも一種と、ジスアゾ系黄色顔料、イソインドリン系黄色顔料、キノフタロン系黄色顔料、又はペリレン系赤色顔料との混合などを用いることができる。例えば、アントラキノン系顔料としては、Ｃ．Ｉ．ピグメント・レッド１７７が挙げられ、ペリレン系顔料としては、Ｃ．Ｉ．ピグメント・レッド１５５、Ｃ．Ｉ．ピグメント・レッド２２４が挙げられ、ジケトピロロピロール系顔料としては、Ｃ．Ｉ．ピグメント・レッド２５４が挙げられ、色再現性の点でＣ．Ｉ．ピグメント・イエロー１３９との混合が好ましい。また、赤色顔料と黄色顔料との質量比は、１００：５〜１００：５０が好ましい。この質量比は、１００：５以上であると４００ｎｍ〜５００ｎｍの光透過率を抑えることができ、色純度を上げることができる。また、１００：５０以下であると、主波長が短波長よりにならず、ＮＴＳＣ目標色相からのズレを抑えることができる。特に前記質量比としては、１００：１０〜１００：３０の範囲が最適である。なお、赤色顔料同士の組み合わせの場合は、色度に併せて調整することができる。
【００５６】
また、緑色用の顔料としては、ハロゲン化フタロシアニン系顔料を単独で、又はこれとジスアゾ系黄色顔料、キノフタロン系黄色顔料、アゾメチン系黄色顔料、又はイソインドリン系黄色顔料との混合を用いることができる。例えば、このような例としては、Ｃ．Ｉ．ピグメント・グリーン７、３６、３７と、Ｃ．Ｉ．ピグメント・イエロー８３、Ｃ．Ｉ．ピグメント・イエロー１３８、Ｃ．Ｉ．ピグメント・イエロー１３９、Ｃ．Ｉ．ピグメント・イエロー１５０、Ｃ．Ｉ．ピグメント・イエロー１８０、又はＣ．Ｉ．ピグメント・イエロー１８５との混合が好ましい。緑色顔料と黄色顔料との質量比は、１００：５〜１００：１５０が好ましい。該質量比としては、１００：３０〜１００：１２０の範囲が特に好ましい。
【００５７】
青色用の顔料としては、フタロシアニン系顔料を単独で、又はこれとジオキサジン系紫色顔料との混合を用いることができる。例えば、Ｃ．Ｉ．ピグメント・ブルー１５：６とＣ．Ｉ．ピグメント・バイオレット２３との混合が好ましい。青色顔料と紫色顔料との質量比は、１００：０〜１００：３０が好ましく、より好ましくは１００：１０以下である。
【００５８】
また、ブラックマトリックス等の黒色パターン形成用の黒色顔料としては、カーボン、チタンカーボン、酸化鉄、酸化チタンを単独で、又はこれらを混合して用いることができ、カーボンとチタンカーボンとの組合せが好ましい。また、カーボンとチタンカーボンとを組み合わせたときの質量比は、１００：０〜１００：６０の範囲が好ましい。
【００５９】
本発明においては、着色剤として黄色顔料を用いた場合に、特に未露光部の残渣の発生抑制効果が高く、多色のカラーフィルタを作製した際の混色の発生をより効果的に防止することができる。黄色顔料の中でも、効果の点でバルビツール系顔料を用いた場合がより好ましい。バルビツール系顔料としては、例えば、Ｃ．Ｉ．ピグメント・イエロー１３９、Ｃ．Ｉ．ピグメント・イエロー１５０、Ｃ．Ｉ．ピグメント・イエロー１８５等などを挙げることができる。これらの中でも、金属錯体であるバルビツール系顔料を用いた場合がより好ましい。バルビツール系顔料のうち、前記金属錯体としては、ニッケル、銅、コバルトなどの金属の錯体が挙げられる。特に好ましくは、ニッケル金属錯体のバルビツール系顔料であるＣ．Ｉ．ピグメント・イエロー１５０である。
【００６０】
本発明の着色感光性組成物をカラーフィルタ用途に用いる場合には、色ムラやコントラストの観点から、顔料の一次粒子径は１０〜１００ｎｍの範囲が好ましく、１０〜７０ｎｍがより好ましく、１０〜５０ｎｍが更に好ましく、１０〜４０ｎｍが最も好ましい。
【００６１】
また、本発明の着色感光性組成物をカラーフィルタ用途に用いる場合には、色ムラやコントラストの観点から、組成物中に均一に溶解する染料を用いることも好ましい。
着色剤として使用可能な染料としては、特に制限はなく、従来よりカラーフィルタ用途として公知の染料が使用できる。例えば、特開昭６４−９０４０３号公報、特開昭６４−９１１０２号公報、特開平１−９４３０１号公報、特開平６−１１６１４号公報、特登２５９２２０７号、米国特許第４，８０８，５０１号明細書、米国特許第５，６６７，９２０号明細書、米国特許第５，０５９，５００号明細書、特開平５−３３３２０７号公報、特開平６−３５１８３号公報、特開平６−５１１１５号公報、特開平６−１９４８２８号公報、特開平８−２１１５９９号公報、特開平４−２４９５４９号公報、特開平１０−１２３３１６号公報、特開平１１−３０２２８３号公報、特開平７−２８６１０７号公報、特開２００１−４８２３号公報、特開平８−１５５２２号公報、特開平８−２９７７１号公報、特開平８−１４６２１５号公報、特開平１１−３４３４３７号公報、特開平８−６２４１６号公報、特開２００２−１４２２０号公報、特開２００２−１４２２１号公報、特開２００２−１４２２２号公報、特開２００２−１４２２３号公報、特開平８−３０２２２４号公報、特開平８−７３７５８号公報、特開平８−１７９１２０号公報、特開平８−１５１５３１号公報等に記載の色素を挙げることができる。
【００６２】
染料の化学構造としては、ピラゾールアゾ系、アニリノアゾ系、トリフェニルメタン系、アントラキノン系、アンスラピリドン系、ベンジリデン系、オキソノール系、ピラゾロトリアゾールアゾ系、ピリドンアゾ系、シアニン系、フェノチアジン系、ピロロピラゾールアゾメチン系、キサテン系、フタロシアニン系、ペンゾピラン系、インジゴ系等が使用できる。
【００６３】
また、本発明の着色感光性組成物を、水又はアルカリ現像を行なうレジスト系に構成する場合、現像により未照射部のバインダー及び／又は染料を完全に除去するという観点では、酸性染料及び／又はその誘導体が好適に使用できる場合がある。その他、直接染料、塩基性染料、媒染染料、酸性媒染染料、アゾイック染料、分散染料、油溶染料、食品染料、及び／又は、これらの誘導体等も有用に使用することができる。
【００６４】
酸性染料及び／又はその誘導体は、スルホン酸やカルボン酸等の酸性基を有するものであれば、特に限定されないが、有機溶剤や現像時の現像液に対する溶解性、塩基性化合物との塩形成性、吸光度、組成物中の他の成分との相互作用、耐光性、耐熱性等の必要とされる性能の全てを考慮して選択される。
【００６５】
以下、酸性染料及び／又はその誘導体の具体例を挙げる。但し、本発明においては、これらに限定されるものではない。例えば、
ａｃｉｄ ａｌｉｚａｒｉｎ ｖｉｏｌｅｔ Ｎ；
ａｃｉｄ ｂｌａｃｋ １，２，２４，４８；
ａｃｉｄ ｂｌｕｅ １，７，９，１５，１８，２３，２５，２７，２９，４０，４２，４５，５１，６２，７０，７４，８０，８３，８６，８７，９０，９２，９６，１０３，１１２，１１３，１２０，１２９，１３８，１４７，１５０，１５８，１７１，１８２，１９２，２１０，２４２，２４３，２５６，２５９，２６７，２７８，２８０，２８５，２９０，２９６，３１５，３２４：１，３３５，３４０；
ａｃｉｄ ｃｈｒｏｍｅ ｖｉｏｌｅｔ Ｋ；
ａｃｉｄ Ｆｕｃｈｓｉｎ；
ａｃｉｄ ｇｒｅｅｎ １，３，５，９，１６，２５，２７，５０，５８，６３，６５，８０，１０４，１０５，１０６，１０９；
ａｃｉｄ ｏｒａｎｇｅ ６，７，８，１０，１２，２６，５０，５１，５２，５６，６２，６３，６４，７４，７５，９４，９５１０７，１０８，１６９，１７３；
【００６６】
ａｃｉｄ ｒｅｄ １，４，８，１４，１７，１８，２６，２７，２９，３１，３４，３５，３７，４２，４４，５０，５１，５２，５７，６６，７３，８０，８７，８８，９１，９２，９４，９７，１０３，１１１，１１４，１２９，１３３，１３４，１３８，１４３，１４５，１５０，１５１，１５８，１７６，１８２，１８３，１９８，２０６，２１１，２１５，２１６，２１７，２２７，２２８，２４９，２５２，２５７，２５８，２６０，２６１，２６６，２６８，２７０，２７４，２７７，２８０，２８１，１９５，３０８，３１２，３１５，３１６，３３９，３４１，３４５，３４６，３４９，３８２，３８３，３９４，４０１，４１２，４１７，４１８，４２２，４２６；
ａｃｉｄ ｖｉｏｌｅｔ ６Ｂ，７，９，１７，１９；
ａｃｉｄ ｙｅｌｌｏｗ １，３，７，９，１１，１７，２３，２５，２９，３４，３６，３８，４０，４２，５４，６５，７２，７３，７６，７９，９８，９９，１１１，１１２，１１３，１１４，１１６，１１９，１２３，１２８，１３４，１３５，１３８，１３９，１４０，１４４，１５０，１５５，１５７，１６０，１６１，１６３，１６８，１６９，１７２，１７７，１７８，１７９，１８４，１９０，１９３，１９６，１９７，１９９，２０２，２０３，２０４，２０５，２０７，２１２，２１４，２２０，２２１，２２８，２３０，２３２，２３５，２３８，２４０，２４２，２４３，２５１；
【００６７】
Ｄｉｒｅｃｔ Ｙｅｌｌｏｗ ２，３３，３４，３５，３８，３９，４３，４７，５０，５４，５８，６８，６９，７０，７１，８６，９３，９４，９５，９８，１０２，１０８，１０９，１２９，１３６，１３８，１４１；
Ｄｉｒｅｃｔ Ｏｒａｎｇｅ ３４，３９，４１，４６，５０，５２，５６，５７，６１，６４，６５，６８，７０，９６，９７，１０６，１０７；
Ｄｉｒｅｃｔ Ｒｅｄ ７９，８２，８３，８４，９１，９２，９６，９７，９８，９９，１０５，１０６，１０７，１７２，１７３，１７６，１７７，１７９，１８１，１８２，１８４，２０４，２０７，２１１，２１３，２１８，２２０，２２１，２２２，２３２，２３３，２３４，２４１，２４３，２４６，２５０；
Ｄｉｒｅｃｔ Ｖｉｏｌｅｔ ４７，５２，５４，５９，６０，６５，６６，７９，８０，８１，８２，８４，８９，９０，９３，９５，９６，１０３，１０４；
【００６８】
Ｄｉｒｅｃｔ Ｂｌｕｅ ５７，７７，８０，８１，８４，８５，８６，９０，９３，９４，９５，９７，９８，９９，１００，１０１，１０６，１０７，１０８，１０９，１１３，１１４，１１５，１１７，１１９，１３７，１４９，１５０，１５３，１５５，１５６，１５８，１５９，１６０，１６１，１６２，１６３，１６４，１６６，１６７，１７０，１７１，１７２，１７３，１８８，１８９，１９０，１９２，１９３，１９４，１９６，１９８，１９９，２００，２０７，２０９，２１０，２１２，２１３，２１４，２２２，２２８，２２９，２３７，２３８，２４２，２４３，２４４，２４５，２４７，２４８，２５０，２５１，２５２，２５６，２５７，２５９，２６０，２６８，２７４，２７５，２９３；
Ｄｉｒｅｃｔ Ｇｒｅｅｎ ２５，２７，３１，３２，３４，３７，６３，６５，６６，６７，６８，６９，７２，７７，７９，８２；
【００６９】
Ｍｏｒｄａｎｔ Ｙｅｌｌｏｗ ５，８，１０，１６，２０，２６，３０，３１，３３，４２，４３，４５，５６，５０，６１，６２，６５；
Ｍｏｒｄａｎｔ Ｏｒａｎｇｅ ３，４，５，８，１２，１３，１４，２０，２１，２３，２４，２８，２９，３２，３４，３５，３６，３７，４２，４３，４７，４８；
Ｍｏｒｄａｎｔ Ｒｅｄ １，２，３，４，９，１１，１２，１４，１７，１８，１９，２２，２３，２４，２５，２６，３０，３２，３３，３６，３７，３８，３９，４１，４３，４５，４６，４８，５３，５６，６３，７１，７４，８５，８６，８８，９０，９４，９５；
Ｍｏｒｄａｎｔ Ｖｉｏｌｅｔ ２，４，５，７，１４，２２，２４，３０，３１，３２，３７，４０，４１，４４，４５，４７，４８，５３，５８；
Ｍｏｒｄａｎｔ Ｂｌｕｅ ２，３，７，８，９，１２，１３，１５，１６，１９，２０，２１，２２，２３，２４，２６，３０，３１，３２，３９，４０，４１，４３，４４，４８，４９，５３，６１，７４，７７，８３，８４；
Ｍｏｒｄａｎｔ Ｇｒｅｅｎ １，３，４，５，１０，１５，１９，２６，２９，３３，３４，３５，４１，４３，５３；
Ｆｏｏｄ Ｙｅｌｌｏｗ ３；
及びこれらの染料の誘導体が挙げられる。
【００７０】
上記の酸性染料の中でも、ａｃｉｄ ｂｌａｃｋ ２４；
ａｃｉｄ ｂｌｕｅ ２３，２５，２９，６２，８０，８６，８７，９２，１３８，１５８，１８２，２４３，３２４：１；
ａｃｉｄ ｏｒａｎｇｅ ８，５１，５６，７４，６３；
ａｃｉｄ ｒｅｄ １，４，８，３４，３７，４２，５２，５７，８０，９７，１１４，１４３，１４５，１５１，１８３，２１７，２４９；
ａｃｉｄ ｖｉｏｌｅｔ ７；
ａｃｉｄ ｙｅｌｌｏｗ １７，２５，２９，３４，４２，７２，７６，９９，１１１，１１２，１１４，１１６，１３４，１５５，１６９，１７２，１８４，２２０，２２８，２３０，２３２，２４３；
Ａｃｉｄ Ｇｒｅｅｎ ２５等の染料、及びこれらの染料の誘導体が好ましい。
また、上記以外の、アゾ系、キサンテン系、フタロシアニン系の酸性染料も好ましく、Ｃ．Ｉ．Ｓｏｌｖｅｎｔ Ｂｌｕｅ ４４、３８；Ｃ．Ｉ．Ｓｏｌｖｅｎｔ ｏｒａｎｇｅ ４５；Ｒｈｏｄａｍｉｎｅ Ｂ、Ｒｈｏｄａｍｉｎｅ １１０等の酸性染料及びこれらの染料の誘導体も好ましく用いられる。
【００７１】
中でも、着色剤としては、トリアリルメタン系、アントラキノン系、アゾメチン系、ベンジリデン系、オキソノール系、シアニン系、フェノチアジン系、ピロロピラゾールアゾメチン系、キサンテン系、フタロシアニン系、ベンゾピラン系、インジゴ系、ピラゾールアゾ系、アニリノアゾ系、ピラゾロトリアゾールアゾ系、ピリドンアゾ系、アンスラピリドン系から選ばれる着色剤であることが好ましい。
【００７２】
着色剤の着色感光性組成物中における含有量としては、着色感光性組成物の全固形分に対して、５〜８０質量％が好ましく、１０〜７０質量％がより好ましく、２０〜７０質量％が更に好ましい。
上記のうち、特に、本発明の着色感光性組成物をカラーフィルタの着色パターンの形成に用いる場合には、着色剤の含有量は前記含有量の範囲内において、組成物の全質量に対して、４０質量％以上であることが好ましく、４２質量％以上であることがより好ましく、特に好ましくは４５質量％以上である。カラーフィルタの着色パターンを形成する場合の含有量が前記範囲内であると、硬化性を保ち、着色パターン未形成領域における残渣及びそれに伴う着色剤の残存を抑制すると共に、既設の着色パターン上に次色の着色パターンを形成するために重ね塗りした際の残渣及びそれに伴う２色目以降の着色剤の残存を抑制して、複数色からなるカラーフィルタを作製した際の混色を防止するのに特に有効である。
【００７３】
本発明の着色感光性組成物としては、特に、（1）前記着色剤として黄色顔料を含み、光重合開始剤の全量がオキシム系重合開始剤である場合が好ましく、（2）前記着色剤が金属錯体であるバルビツール系黄色顔料であって、前記界面活性剤がフッ素系界面活性剤であって、光重合開始剤の全量がオキシム系重合開始剤である場合が好ましく、また、（3）前記着色剤がニッケル錯体であるバルビツール系黄色顔料であって、前記界面活性剤がフッ素系界面活性剤であって、光重合開始剤の全量がオキシム系重合開始剤である場合が好ましい。
【００７４】
本発明の着色感光性組成物は、上記の（Ａ）界面活性剤、（Ｂ）オキシム系重合開始剤、並びに（Ｃ）着色剤に加え、更に必要に応じて、下記の成分をさらに用いて構成することができる。
【００７５】
（Ｄ）ラジカル重合性モノマー
ラジカル重合性モノマーとしては、常圧下で１００℃以上の沸点を有し、少なくとも１つの付加重合可能なエチレン性不飽和基を持つ化合物が好ましい。
その例としては、ポリエチレングリコールモノ（メタ）アクリレート、ポリプロピレングリコールモノ（メタ）アクリレート、フェノキシエチル（メタ）アクリレート、等の単官能のアクリレートやメタアクリレート；ポリエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、トリメチロールエタントリ（メタ）アクリレート、ネオペンチルグリコールジ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート、ヘキサンジオール（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパントリ（アクリロイルオキシプロピル）エーテル、トリ（アクリロイロキシエチル）イソシアヌレート、グリセリンやトリメチロールエタン等の多官能アルコールにエチレンオキサイドやプロピレンオキサイドを付加させた後（メタ）アクリレート化したもの、特公昭４８−４１７０８号、特公昭５０−６０３４号、特開昭５１−３７１９３号の各公報に記載されているようなウレタンアクリレート類、特開昭４８−６４１８３号、特公昭４９−４３１９１号、特公昭５２−３０４９０号各公報に記載されているポリエステルアクリレート類、エポキシ樹脂と（メタ）アクリル酸の反応生成物であるエポキシアクリレート類等の多官能のアクリレートやメタアクリレート及びこれらの混合物を挙げることができる。
更に、日本接着協会誌Ｖｏｌ．２０、Ｎｏ．７、３００〜３０８頁に光硬化性モノマー及びオリゴマーとして紹介されているものが挙げられる。
【００７６】
本発明の着色感光性組成物は、酸基含有モノマーの少なくとも１種を含むことが好ましい。さらに、酸基含有モノマーの含有量を、モノマー合計量あたりの酸価が２５ｍｇＫＯＨ／ｇ以上となる範囲とすることがより好ましい。酸基含有モノマーの量が、モノマー合計量あたりの酸価を２５ｍｇＫＯＨ／ｇ以上の範囲とすると、未露光部の残渣発生の防止効果がより高められる。
【００７７】
本発明の着色感光性組成物は、モノマー成分として酸基含有モノマーの１種又は２種以上を含有することにより、特に着色剤を高濃度に含有する構成にする場合でも、高感度を有すると共に、より残渣が抑えられ、微細ながら良好な矩形状のパターンプロファイルの着色パターンを得ることができる。すなわち、例えば１μｍ以下の薄膜で例えば２μｍ以下の微細なパターンが求められる固体撮像素子の用途に有効である。
【００７８】
酸基含有モノマーは、酸価が２５ｍｇＫＯＨ／ｇ以上となる態様が好ましく、このためには１種のみならず２種以上を組み合わせて混合することができる。本発明においては、酸基含有モノマーに加えて、前記のように酸基含有モノマー以外の他のラジカル重合性モノマーを併用してもよく、酸基含有モノマーと共に他のラジカル重合性モノマーを混合して含有する場合、モノマー全量あたりの酸価は、酸基含有モノマーの全てと他のラジカル重合性モノマーの全てとを合計した合計量に対する酸価として算出される。
酸基含有モノマー及び他のラジカル重合性モノマーはいずれも、前述のオキシム系重合開始剤と共に含有することにより、光重合開始剤の作用を受けて重合硬化する化合物であり、本発明の着色感光性組成物をネガ型に構成することができる。
【００７９】
酸基含有モノマーとしては、１分子中に少なくとも１つの酸基と重合性基とを有するモノマーであれば、特に制限はなく、公知の中から適宜選択することができる。酸基としては、例えば、カルボキシル基、スルホ基、リン酸基などが好適であり、好ましくはカルボキシル基、スルホ基であり、特に好ましくはカルボキシル基である。
【００８０】
本発明においては、硬化性を保ち、残渣及びそれに伴う着色剤の残存を防止する観点から、重合性基を３つ以上有する多官能の酸基含有モノマーが好ましい。更には、酸基含有モノマーは、４官能以上が好ましい。
中でも、本発明においては、硬化性を保ち、支持体上の着色パターン未形成領域における残渣及びそれに伴う着色剤の残存を抑制すると共に、既設の着色パターン上に次色の着色パターンを形成するために重ね塗りした際の残渣及びそれに伴う２色目以降の着色剤の残存を抑制して、複数色からなるカラーフィルタを作製した際の混色を防止する観点から、３個以上の（メタ）アクリル基を有する多官能モノマー（以下、「多官能の酸基含有（メタ）アクリル化合物」ということがある。）が好ましい。このうち、常圧下で１００℃以上の沸点を有し、酸価が２５ｍｇＫＯＨ／ｇ以上である多官能の酸基含有（メタ）アクリル化合物が好ましい。
【００８１】
上記の「常圧下で１００℃以上の沸点を有し、酸価が２５ｍｇＫＯＨ／ｇ以上の酸基含有（メタ）アクリル化合物」としては、特に限定はなく、いずれの構造でもよいが、付加重合可能なエチレン性二重結合が３つ以上の化合物が好ましい。例えば、水酸基含有５官能アクリル化合物の水酸基を反応させて前記酸基（好ましくはカルボキシル基又はスルホ基、特にカルボキシル基）を導入した化合物（例えば、ジペンタエリスリトールペンタアクリレートのＯＨ部位をカルボキシル基含有置換基で置き換えたもの等）などが挙げられる。
【００８２】
多官能の酸基含有（メタ）アクリル化合物は、レジスト液を調製した際の粘度調整の点で、粘度の高いものがより好ましく、具体的には、該粘度（２５℃）が１１，５００ｍＰａ・ｓ以上であるものが好ましい。中でも、粘度は１１，５００〜１００，０００ｍＰａ・ｓの範囲（２５℃）が好ましく、より好ましくは１２，０００〜１００，０００ｍＰａ・ｓの範囲（２５℃）であり、さらに好ましくは２０，０００〜１００，０００ｍＰａ・ｓの範囲（２５℃）である。
粘度は、２５℃に調温した状態で常法により測定される。粘度は、例えば、回転式粘度計（例えば東機産業（株）製）、振動式粘度計（例えばＳＶ−１０（ＡＮＤ社製））を用いて測定されるものである。
【００８３】
前記多官能の酸基含有（メタ）アクリル化合物は、１分子内に１つ以上の酸基と３つ以上の重合性基（例えばエチレン性二重結合）を有し、分子サイズが比較的小さい化合物である。該化合物のポリスチレン換算重量平均分子量は、通常は３，０００未満である。
【００８４】
多官能の酸基含有（メタ）アクリル化合物の具体例としては、下記一般式（III−１）又は一般式（III−２）で表される化合物が挙げられる。但し、本発明においては、これらに制限されるものではない。
なお、下記一般式において、Ｔ又はＧがオキシアルキレン基の場合には、炭素原子側の末端がＲ、Ｘ及びＷに結合する。
【００８５】
【化１】
【００８６】
前記一般式（III−１）において、ｎは０〜１４であり、ｍは１〜８である。前記一般式（III−２）において、Ｗは一般式（III−１）と同義のＲ又はＸであり、６個のＷのうち、３個以上のＷがＲである。ｐは０〜１４であり、ｑは１〜８である。一分子内に複数存在するＲ、Ｘ、Ｔ、Ｇは、各々同一であっても、異なっていてもよい。
【００８７】
以下、前記一般式（III−１）又は一般式（III−２）で表される化合物の具体例（例示化合物Ｍ−１〜Ｍ−１２）を示す。但し、本発明においては、これらに制限されるものではない。
【００８８】
【化２】
【００８９】
【化３】
【００９０】
【化４】
【００９１】
【化５】
【００９２】
上記のうち、酸基含有モノマーと他のラジカル重合性モノマーとの好ましい組み合わせの具体例としては、東亜合成化学（株）製のＴＯ−２３５９、ＴＯ−２３６０、ＴＯ−２３４８、又はＴＯ−２３４９と、前記他のラジカル重合性モノマーとの組み合わせが挙げられる。より好ましくは、東亜合成化学（株）製のＴＯ−２３５９、ＴＯ−２３６０、ＴＯ−２３４８、又はＴＯ−２３４９と、ウレタン多官能モノマーとの組み合わせであり、特に好ましくは、東亜合成化学（株）製のＴＯ−２３４８又はＴＯ−２３４９と新中村化学工業（株）製のＵＡ−７２００（ウレタン（メタ）アクリレート）との組み合わせである。
【００９３】
モノマー合計量（全量）に対する酸価は、未露光部の残渣抑制の点で、２５ｍｇＫＯＨ／ｇ以上とする。中でも、前記酸価としては、前記同様の観点から、２５ｍｇＫＯＨ／ｇ〜２００ｍｇＫＯＨ／ｇが好ましく、より好ましくは３０ｍｇＫＯＨ／ｇ〜１００ｍｇＫＯＨ／ｇであり、さらに好ましくは、５０ｍｇＫＯＨ／ｇ〜１００ｍｇＫＯＨ／ｇである。
酸価は、常法により測定される値であり、ビュレットでの滴定測定、又はポテンシオメトリック自動測定機ＡＴ−３１０（京都電子（株）製）を用いて測定されるものである。
【００９４】
前記酸基含有モノマーの着色感光性組成物中における含有量は、前記酸価の範囲を満たす範囲において、組成物の全質量に対して、３．０質量％以上の範囲が、既設パターンへの次色の着色剤の吸着抑制の観点で好ましい。同様の理由から、より好ましくは４．０質量％以上であり、最も好ましくは５．０質量％以上である。
また、前記酸基含有モノマーと共に前記他のラジカル重合性モノマーを含む場合、他のラジカル重合性モノマーの着色感光性組成物中における含有量は、前記酸価の範囲を満たす範囲において、組成物の全質量に対して、１．０〜６０質量％が好ましく、３．０〜５０質量％がより好ましく、５．０〜４５質量％が最も好ましい。該含有量が前記範囲内であると、未露光部の溶出性を良好に保ちつつ、良好な硬化性を確保することができる。
【００９５】
（Ｅ）分散剤
本発明の着色感光性組成物が、（Ｃ）着色剤として顔料を含有する場合、該顔料の分散性を向上させる観点から、分散剤を添加することが好ましい。
【００９６】
分散剤（顔料分散剤）としては、高分子分散剤〔例えば、ポリアミドアミンとその塩、ポリカルボン酸とその塩、高分子量不飽和酸エステル、変性ポリウレタン、変性ポリエステル、変性ポリ（メタ）アクリレート、（メタ）アクリル系共重合体、ナフタレンスルホン酸ホルマリン縮合物〕、及び、ポリオキシエチレンアルキルリン酸エステル、ポリオキシエチレンアルキルアミン、アルカノールアミン、顔料誘導体等を挙げることができる。
高分子分散剤は、その構造からさらに直鎖状高分子、末端変性型高分子、グラフト型高分子、ブロック型高分子に分類することができる。
【００９７】
高分子分散剤は、顔料の表面に吸着し、再凝集が防止されるように作用する。そのため、顔料表面へのアンカー部位を有する末端変性型高分子、グラフト型高分子、ブロック型高分子が好ましい構造として挙げることができる。一方で、顔料誘導体は、顔料表面を改質することで、高分子分散剤の吸着を促進させる効果を有する。
【００９８】
前記顔料分散剤の具体例としては、ＢＹＫ Ｃｈｅｍｉｅ社製「Ｄｉｓｐｅｒｂｙｋ−１０１（ポリアミドアミン燐酸塩）、１０７（カルボン酸エステル）、１１０（酸基を含む共重合物）、１３０（ポリアミド）、１６１、１６２、１６３、１６４、１６５、１６６、１７０（高分子共重合物）」、「ＢＹＫ−Ｐ１０４、Ｐ１０５」（高分子量不飽和ポリカルボン酸）、ＥＦＫＡ社製「ＥＦＫＡ４０４７、４０５０、４０１０、４１６５（ポリウレタン系）、ＥＦＫＡ４３３０、４３４０（ブロック共重合体）、４４００、４４０２（変性ポリアクリレート）、５０１０（ポリエステルアミド）、５７６５（高分子量ポリカルボン酸塩）、６２２０（脂肪酸ポリエステル）、６７４５（フタロシアニン誘導体）、６７５０（アゾ顔料誘導体）」、味の素ファンテクノ社製「アジスパーＰＢ８２１、ＰＢ８２２」、共栄社化学社製「フローレンＴＧ−７１０（ウレタンオリゴマー）」、「ポリフローＮｏ．５０Ｅ、Ｎｏ．３００（アクリル系共重合体）」、楠本化成社製「ディスパロンＫＳ−８６０、８７３ＳＮ、８７４、＃２１５０（脂肪族多価カルボン酸）、＃７００４（ポリエーテルエステル）、ＤＡ−７０３−５０、ＤＡ−７０５、ＤＡ−７２５」、花王社製「デモールＲＮ、Ｎ（ナフタレンスルホン酸ホルマリン重縮合物）、ＭＳ、Ｃ、ＳＮ−Ｂ（芳香族スルホン酸ホルマリン重縮合物）」、「ホモゲノールＬ−１８（高分子ポリカルボン酸）」、「エマルゲン９２０、９３０、９３５、９８５（ポリオキシエチレンノニルフェニルエーテル）」、「アセタミン８６（ステアリルアミンアセテート）」、ルーブリゾール社製「ソルスパース５０００（フタロシアニン誘導体）、２２０００（アゾ顔料誘導体）、１３２４０（ポリエステルアミン）、３０００、１７０００、２７０００（末端部に機能部を有する高分子）、２４０００、２８０００、３２０００、３８５００（グラフト型高分子）」、日光ケミカル社製「ニッコールＴ１０６（ポリオキシエチレンソルビタンモノオレート）、ＭＹＳ−ＩＥＸ（ポリオキシエチレンモノステアレート）」等が挙げられる。
【００９９】
これらの分散剤は、１種単独で使用してもよく、２種以上を組み合わせて使用してもよい。本発明においては、特に、顔料誘導体と高分子分散剤とを組み合わせて使用することが好ましい。
【０１００】
分散剤の着色感光性組成物中における含有量としては、顔料に対して、１〜１００質量％の範囲が好ましく、３〜１００質量％の範囲がより好ましく、５〜８０質量％の範囲が更に好ましい。
具体的には、高分子分散剤を用いる場合であれば、その含有量は、顔料に対して、５〜１００質量％の範囲が好ましく、１０〜８０質量％の範囲がより好ましい。また、顔料誘導体を使用する場合であれば、その含有量は、顔料に対して、１〜３０質量％の範囲が好ましく、３〜２０質量％の範囲がより好ましく、５〜１５質量％の範囲が特に好ましい。
【０１０１】
着色剤としての顔料と分散剤とを用いる場合、硬化感度、色濃度の観点から、着色剤及び分散剤の含有量の総和が、着色感光性組成物を構成する全固形分に対して、３０質量％以上９０質量％以下であることが好ましく、４０質量％以上８５質量％以下であることがより好ましく、５０質量％以上８０質量％以下であることがさらに好ましい。
【０１０２】
（Ｆ）増感剤
本発明の着色感光性組成物は、光重合開始剤のラジカル発生効率の向上、感光波長の長波長化の目的で、増感剤を含有していてもよい。増感剤としては、前記光重合開始剤に対し、電子移動機構又はエネルギー移動機構で増感させるものが好ましい。
【０１０３】
増感剤としては、以下に列挙する化合物類に属しており、かつ３００ｎｍ〜４５０ｎｍの波長領域に吸収波長を有するものが挙げられる。
例えば、多核芳香族類（例えば、フェナントレン、アントラセン、ピレン、ペリレン、トリフェニレン、９，１０−ジアルコキシアントラセン）、キサンテン類（例えば、フルオレッセイン、エオシン、エリスロシン、ローダミンＢ、ローズベンガル）、チオキサントン類（イソプロピルチオキサントン、ジエチルチオキサントン、クロロチオキサントン）、シアニン類（例えばチアカルボシアニン、オキサカルボシアニン）、メロシアニン類（例えば、メロシアニン、カルボメロシアニン）、フタロシアニン類、チアジン類（例えば、チオニン、メチレンブルー、トルイジンブルー）、アクリジン類（例えば、アクリジンオレンジ、クロロフラビン、アクリフラビン）、アントラキノン類（例えば、アントラキノン）、スクアリウム類（例えば、スクアリウム）、アクリジンオレンジ、クマリン類（例えば、７−ジエチルアミノ−４−メチルクマリン）、ケトクマリン、フェノチアジン類、フェナジン類、スチリルベンゼン類、アゾ化合物、ジフェニルメタン、トリフェニルメタン、ジスチリルベンゼン類、カルバゾール類、ポルフィリン、スピロ化合物、キナクリドン、インジゴ、スチリル、ピリリウム化合物、ピロメテン化合物、ピラゾロトリアゾール化合物、ベンゾチアゾール化合物、バルビツール酸誘導体、チオバルビツール酸誘導体、アセトフェノン、ベンゾフェノン、チオキサントン、ミヒラーズケトンなどの芳香族ケトン化合物、Ｎ−アリールオキサゾリジノンなどのヘテロ環化合物などが挙げられる。
更に、欧州特許第５６８，９９３号明細書、米国特許第４，５０８，８１１号明細書、同５，２２７，２２７号明細書、特開２００１−１２５２５５号公報、特開平１１−２７１９６９号公報等に記載の化合物等などが挙げられる。
【０１０４】
より好ましい増感剤の例としては、下記一般式（Ｉ）〜（IＶ）で表される化合物が挙げられる。
【０１０５】
【化６】
【０１０６】
前記式（Ｉ）において、Ａ１は、硫黄原子又はＮＲ５０を表し、Ｒ５０はアルキル基又はアリール基を表し、Ｌ２は、隣接するＡ１及び炭素原子と共に色素の塩基性核を形成する非金属原子団を表し、Ｒ５１、Ｒ５２はそれぞれ独立に水素原子又は一価の非金属原子団を表し、Ｒ５１、Ｒ５２は互いに結合して、色素の酸性核を形成してもよい。また、Ｗは、酸素原子又は硫黄原子を表す。
【０１０７】
【化７】
【０１０８】
前記式（ＩＩ）において、Ａｒ１及びＡｒ２はそれぞれ独立にアリール基を表し、−Ｌ３−による結合を介して連結されている。Ｌ３は、−Ｏ−又はＳ−を表す。また、Ｗは、酸素原子又は硫黄原子を表す。
【０１０９】
【化８】
【０１１０】
前記式（III）において、Ａ２は、硫黄原子又はＮＲ５９を表し、Ｌ４は、隣接するＡ２及び炭素原子と共に色素の塩基性核を形成する非金属原子団を表し、Ｒ５３、Ｒ５４、Ｒ５５、Ｒ５６、Ｒ５７及びＲ５８は、それぞれ独立に、一価の非金属原子団の基を表し、Ｒ５９はアルキル基又はアリール基を表す。
【０１１１】
【化９】
【０１１２】
前記式（IV）において、Ａ３及びＡ４は、それぞれ独立に−Ｓ−又はＮＲ６２−又はＮＲ６３−を表し、Ｒ６２及びＲ６３はそれぞれ独立に置換若しくは無置換のアルキル基、置換若しくは無置換のアリール基を表し、Ｌ５及びＬ６はそれぞれ独立に、隣接するＡ３、Ａ４及び炭素原子と共に色素の塩基性核を形成する非金属原子団を表す。Ｒ６０及びＲ６１は、それぞれ独立に一価の非金属原子団を表し、また、Ｒ６０とＲ６１とは互いに結合して脂肪族性又は芳香族性の環を形成していてもよい。
【０１１３】
増感剤は、１種単独で用いてもよいし、２種以上を併用してもよい。
増感剤の着色感光性組成物中における含有量は、深部への光吸収効率と開始分解効率の観点から、固形分換算で０．１〜２０質量％の範囲が好ましく、０．５〜１５質量％の範囲がより好ましい。
【０１１４】
（Ｇ）バインダーポリマー
本発明の着色感光性組成物においては、皮膜特性向上などの目的で、必要に応じて、更にバインダーポリマーを含有してもよい。
バインダーポリマーとしては、線状有機ポリマーを用いることが好ましい。このような「線状有機ポリマー」としては、公知のものを任意に使用できる。好ましくは、水現像あるいは弱アルカリ水現像を可能とするために、水あるいは弱アルカリ水に可溶性又は膨潤性である線状有機ポリマーが選択される。線状有機ポリマーは、皮膜形成剤としてだけでなく、水、弱アルカリ水あるいは有機溶剤現像剤として、用途に応じて選択使用することができる。例えば、水可溶性有機ポリマーを用いると水現像が可能になる。
このような線状有機ポリマーとしては、側鎖にカルボン酸基を有するラジカル重合体、例えば、特開昭５９−４４６１５号、特公昭５４−３４３２７号、特公昭５８−１２５７７号、特公昭５４−２５９５７号、特開昭５４−９２７２３号、特開昭５９−５３８３６号、特開昭５９−７１０４８号に記載されているもの、すなわち、カルボキシル基を有するモノマーを単独あるいは共重合させた樹脂、酸無水物を有するモノマーを単独あるいは共重合させ、酸無水物ユニットを加水分解もしくはハーフエステル化もしくはハーフアミド化させた樹脂、エポキシ樹脂を不飽和モノカルボン酸及び酸無水物で変性させたエポキシアクリレート等が挙げられる。カルボキシル基を有するモノマーとしては、アクリル酸、メタクリル酸、イタコン酸、クロトン酸、マレイン酸、フマル酸、4-カルボキシルスチレン等が挙げられ、酸無水物を有するモノマーとしては、無水マレイン酸等が挙げられる。
また同様に、側鎖にカルボン酸基を有する酸性セルロース誘導体が挙げられる。この他に水酸基を有する重合体に環状酸無水物を付加させたもの等が有用である。
【０１１５】
共重合体をアルカリ可溶性樹脂として用いる場合、共重合させる化合物としては既述のモノマー以外の他のモノマーを用いることもできる。他のモノマーの例としては、下記（１）〜（１３）の化合物が挙げられる。
（１）２−ヒドロキシエチルアクリレート、２−ヒドロキシプロピルアクリレート、3−ヒドロキシプロピルアクリレート、4−ヒドロキシブチルアクリレート、２−ヒドロキシエチルメタクリレート、２−ヒドロキシプロピルメタクリレート、３−ヒドロキシプロピルメタクリレート、４−ヒドロキシブチルメタクリレート等の脂肪族水酸基を有するアクリル酸エステル類、及びメタクリル酸エステル類。
（２）アクリル酸メチル、アクリル酸エチル、アクリル酸プロピル、アクリル酸ブチル、アクリル酸イソブチル、アクリル酸アミル、アクリル酸ヘキシル、アクリル酸２−エチルヘキシル、アクリル酸オクチル、アクリル酸ベンジル、アクリル酸−２−クロロエチル、グリシジルアクリレート、３，４−エポキシシクロヘキシルメチルアクリレート、ビニルアクリレート、２−フェニルビニルアクリレート、１−プロペニルアクリレート、アリルアクリレート、２−アリロキシエチルアクリレート、プロパルギルアクリレート等のアルキルアクリレート。
【０１１６】
（３）メタクリル酸メチル、メタクリル酸エチル、メタクリル酸プロピル、メタクリル酸ブチル、メタクリル酸イソブチル、メタクリル酸アミル、メタクリル酸ヘキシル、メタクリル酸２−エチルヘキシル、メタクリル酸シクロヘキシル、メタクリル酸ベンジル、メタクリル酸−２−クロロエチル、グリシジルメタクリレート、３，４−エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレート、ビニルメタクリレート、２−フェニルビニルメタクリレート、１−プロペニルメタクリレート、アリルメタクリレート、２−アリロキシエチルメタクリレート、プロパルギルメタクリレート等のアルキルメタクリレート。
（４）アクリルアミド、メタクリルアミド、Ｎ−メチロールアクリルアミド、Ｎ−エチルアクリルアミド、Ｎ−ヘキシルメタクリルアミド、Ｎ−シクロヘキシルアクリルアミド、Ｎ−ヒドロキシエチルアクリルアミド、Ｎ−フェニルアクリルアミド、Ｎ−ニトロフェニルアクリルアミド、Ｎ−エチル−Ｎ−フェニルアクリルアミド、ビニルアクリルアミド、ビニルメタクリルアミド、Ｎ，Ｎ−ジアリルアクリルアミド、Ｎ，Ｎ−ジアリルメタクリルアミド、アリルアクリルアミド、アリルメタクリルアミド等のアクリルアミド若しくはメタクリルアミド。
【０１１７】
（５）エチルビニルエーテル、２−クロロエチルビニルエーテル、ヒドロキシエチルビニルエーテル、プロピルビニルエーテル、ブチルビニルエーテル、オクチルビニルエーテル、フェニルビニルエーテル等のビニルエーテル類。
（６）ビニルアセテート、ビニルクロロアセテート、ビニルブチレート、安息香酸ビニル等のビニルエステル類。
（７）スチレン、α−メチルスチレン、メチルスチレン、クロロメチルスチレン、ｐ−アセトキシスチレン等のスチレン類。
（８）メチルビニルケトン、エチルビニルケトン、プロピルビニルケトン、フェニルビニルケトン等のビニルケトン類。
（９）エチレン、プロピレン、イソブチレン、ブタジエン、イソプレン等のオレフィン類。
（１０）Ｎ−ビニルピロリドン、アクリロニトリル、メタクリロニトリル等。
（１１）マレイミド、Ｎ−アクリロイルアクリルアミド、Ｎ−アセチルメタクリルアミド、Ｎ−プロピオニルメタクリルアミド、Ｎ−（ｐ−クロロベンゾイル）メタクリルアミド等の不飽和イミド。
（１２）α位にヘテロ原子が結合したメタクリル酸系モノマー（例えば、特願２００１−１１５５９５号明細書、特願２００１−１１５５９８号明細書等に記載されている化合物が挙げられる。）。
【０１１８】
これらの中で、側鎖にアリル基やビニルエステル基とカルボキシル基を有する（メタ）アクリル樹脂、及び特開２０００−１８７３２２号公報、特開２００２−６２６９８号公報に記載の、側鎖に二重結合を有するアルカリ可溶性樹脂や、特開２００１−２４２６１２号公報に記載の、側鎖にアミド基を有するアルカリ可溶性樹脂が膜強度、感度、現像性のバランスに優れており、好適である。
【０１１９】
また、特公平７−１２００４号公報、特公平７−１２００４１号公報、特公平７−１２００４２号公報、特公平８−１２４２４号公報、特開昭６３−２８７９４４号公報、特開昭６３−２８７９４７号公報、特開平１−２７１７４１号公報、特願平１０−１１６２３２号 等に記載の、酸基を有するウレタン系バインダーポリマーや、特開２００２−１０７９１８に記載の、酸基と二重結合を側鎖に有するウレタン系バインダーポリマーは、強度に優れるので、耐刷性・低露光適性の点で有利である。
また、欧州特許９９３９６６号明細書、欧州特許１２０４０００号明細書、特開２００１−３１８４６３号公報等に記載の、酸基を有するアセタール変性ポリビニルアルコール系バインダーポリマーは、膜強度、現像性のバランスに優れており、好適である。
このほか、水溶性線状有機ポリマーとして、ポリビニルピロリドンやポリエチレンオキサイド等が有用である。また、硬化皮膜の強度を上げるために、アルコール可溶性ナイロンや２，２−ビス−（４−ヒドロキシフェニル）−プロパンとエピクロロヒドリンのポリエーテル等も有用である。
【０１２０】
バインダーポリマーの平均分子量は、重量平均分子量で５、０００以上が好ましく、より好ましくは１万〜３０万の範囲であり、また、数平均分子量で１、０００以上が好ましく、より好ましくは２，０００〜２５万の範囲である。多分散度（重量平均分子量／数平均分子量）としては、１以上が好ましく、より好ましくは１．１〜１０の範囲である。
これらのバインダーポリマーは、ランダムポリマー、ブロックポリマー、グラフトポリマー等いずれでもよい。
【０１２１】
バインダーポリマーは、従来公知の方法により合成することができる。合成の際に用いられる溶媒としては、例えば、テトラヒドロフラン、エチレンジクロリド、シクロヘキサノン、メチルエチルケトン、アセトン、メタノール、エタノール、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、２−メトキシエチルアセテート、ジエチレングリコールジメチルエーテル、１−メトキシ−２−プロパノール、１−メトキシ−２−プロピルアセテート、Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアミド、Ｎ，Ｎ−ジメチルアセトアミド、トルエン、酢酸エチル、乳酸メチル、乳酸エチル、ジメチルスルホキシド、水等が挙げられる。
これらの溶媒は、１種単独で又は２種以上を混合して用いることができる。
【０１２２】
また、バインダーポリマーを合成する際に用いられるラジカル重合開始剤としては、アゾ系開始剤、過酸化物開始剤等公知の化合物が挙げられる。
【０１２３】
（Ｈ）共増感剤
本発明の着色感光性組成物は、共増感剤を含有することも好ましい。共増感剤は、増感色素や光重合開始剤の活性放射線に対する感度を一層向上させる、あるいは酸素による重合性化合物の重合阻害を抑制する等の作用を有する。
【０１２４】
前記共増感剤の例としては、アミン類、例えば、M. R. Sander等著「Journal of Polymer Society」第１０巻３１７３頁（１９７２）、特公昭４４−２０１８９号公報、特開昭５１−８２１０２号公報、特開昭５２−１３４６９２号公報、特開昭５９−１３８２０５号公報、特開昭６０−８４３０５号公報、特開昭６２−１８５３７号公報、特開昭６４−３３１０４号公報、Research Disclosure 33825号記載の化合物等が挙げられ、具体的には、トリエタノールアミン、ｐ−ジメチルアミノ安息香酸エチルエステル、ｐ−ホルミルジメチルアニリン、ｐ−メチルチオジメチルアニリン等が挙げられる。
【０１２５】
共増感剤の別の例としては、チオール及びスルフィド類、例えば、特開昭５３−７０２号公報、特公昭５５−５００８０６号公報、特開平５−１４２７７２号公報記載のチオール化合物、特開昭５６−７５６４３号公報のジスルフィド化合物等が挙げられ、具体的には、２−メルカプトベンゾチアゾール、２−メルカプトベンゾオキサゾール、２−メルカプトベンゾイミダゾール、２−メルカプト−４（３Ｈ）−キナゾリン、β−メルカプトナフタレン等が挙げられる。
【０１２６】
また、共増感剤の別の例としては、アミノ酸化合物（例、Ｎ−フェニルグリシン等）、特公昭４８−４２９６５号公報に記載の有機金属化合物（例、トリブチル錫アセテート等）、特公昭５５−３４４１４号公報記載の水素供与体、特開平６−３０８７２７号公報記載のイオウ化合物（例、トリチアン等）等が挙げられる。
【０１２７】
共増感剤の着色感光性組成物中における含有量は、重合成長速度と連鎖移動のバランスによる硬化速度の向上の観点から、着色感光性組成物の全固形分の質量に対して、０．１〜３０質量％の範囲が好ましく、１〜２５質量％の範囲がより好ましく、０．５〜２０質量％の範囲が更に好ましい。
【０１２８】
（Ｉ）重合禁止剤
着色感光性組成物には、少量の熱重合防止剤を添加することが望ましく、着色感光性組成物の製造中あるいは保存中において、重合可能なエチレン性不飽和二重結合を有する化合物の不要な熱重合を阻止することができる。
【０１２９】
熱重合防止剤としては、例えば、ハイドロキノン、ｐ−メトキシフェノール、ジ−ｔ−ブチル−ｐ−クレゾール、ピロガロール、ｔ−ブチルカテコール、ベンゾキノン、４，４'−チオビス（３−メチル−６−ｔ−ブチルフェノール）、２，２'−メチレンビス（４−メチル−６−ｔ−ブチルフェノール）、Ｎ−ニトロソフェニルヒドロキシアミン第一セリウム塩等が挙げられる。
【０１３０】
熱重合防止剤の着色感光性組成物中における添加量としては、組成物の全質量に対して、約０．０１〜約５質量％が好ましい。
また、必要に応じて、酸素による重合阻害を防止するために、ベヘン酸やベヘン酸アミド等の高級脂肪酸誘導体などを添加して、塗布後の乾燥の過程で感光層の表面に偏在させるようにしてもよい。高級脂肪酸誘導体の着色感光性組成物への添加量は、組成物の全質量に対して、約０．５〜約１０質量％が好ましい。
【０１３１】
（Ｊ）その他の添加剤
本発明の着色感光性組成物には、硬化皮膜の物性を改良するために、無機充填剤や可塑剤、着色感光性組成物で形成された層表面のインク付着性を向上させ得る感脂化剤等の公知の添加剤を加えてもよい。
【０１３２】
前記可塑剤としては、例えば、ジオクチルフタレート、ジドデシルフタレート、トリエチレングリコールジカプリレート、ジメチルグリコールフタレート、トリクレジルホスフェート、ジオクチルアジペート、ジブチルセバケート、トリアセチルグリセリン等が挙げられる。結合剤を用いる場合には、エチレン性不飽和二重結合を有する化合物と結合剤との合計質量に対し、１０質量％以下の範囲で添加することができる。
【０１３３】
本発明の着色感光性組成物は、高感度で硬化可能であり、かつ未露光部の残渣の発生が抑えられ、残渣に伴なう混色の発生を防止することができ、また、残渣が抑えられることにより高解像度のパターンを形成することができる。特に、支持体上に１色目の着色パターンを形成する場合のみならず、既設の着色パターン上に更に重ねて着色感光性組成物を設けて２色目以降の着色パターンを形成する場合や、既設の着色パターンを有する支持体上に更に異色の着色パターンを形成する場合にも、既設の着色パターン上における色素の吸着又は既設の着色パターン間の支持体面における色素の残存が低減し、複数色からなるカラーフィルタを形成した場合の混色の発生を防止することができる。
【０１３４】
＜カラーフィルタ及びその製造方法＞
次に、本発明のカラーフィルタ及びその製造方法について説明する。
本発明のカラーフィルタは、支持体上に、本発明の着色感光性組成物を用いて形成された着色パターンを有してなるものである。
以下、本発明のカラーフィルタについて、その製造方法（本発明のカラーフィルタの製造方法）を通じて詳述する。
【０１３５】
本発明のカラーフィルタは、本発明の着色感光性組成物を用いた方法であればいずれの方法で形成されてもよいが、好ましくは、支持体上に、本発明の着色感光性組成物を塗布して着色感光性層を形成する工程（以下、「着色感光性層形成工程」ということがある。）と、形成された着色感光性層をマスクを介して露光する工程（以下、「露光工程」ということがある。）と、露光後の前記着色感光性層を現像して着色パターンを形成する工程（以下、「現像工程」ということがある。）と、を有する方法（本発明のカラーフィルタの製造方法）により形成される。
【０１３６】
−着色感光性層形成工程−
着色感光性層形成工程は、支持体上に、本発明の着色感光性組成物を塗布して着色感光性層を形成する。
【０１３７】
支持体としては、例えば、液晶表示素子等に用いられるソーダガラス、パイレックス（登録商標）ガラス、石英ガラス及びこれらに透明導電膜を付着させたものや、撮像素子等に用いられる光電変換素子基板、例えばシリコン基板等や、相補性金属酸化膜半導体（ＣＭＯＳ）等が挙げられる。これらの基板は、各画素を隔離するブラックストライプが形成されている場合もある。
また、これらの支持体上には、必要により、上部の層との密着改良、物質の拡散防止或いは基板表面の平坦化のために下塗り層を設けてもよい。
【０１３８】
支持体上への本発明の着色感光性組成物の塗布方法としては、スリット塗布、インクジェット法、回転塗布、流延塗布、ロール塗布、スクリーン印刷法等の各種の塗布方法を適用することができる。
【０１３９】
着色感光性組成物の塗布膜厚としては、０．１〜１０μｍが好ましく、０．２〜５μｍがより好ましく、０．２〜３μｍがさらに好ましい。
【０１４０】
支持体上に塗布形成された着色感光性層の乾燥（プリベーク）は、ホットプレート、オーブン等で５０℃〜１４０℃の温度で１０〜３００秒間加熱することにより行なうことができる。
【０１４１】
−露光工程−
露光工程は、前記着色感光性層形成工程で形成された着色感光性層を、所定のマスクパターンを有するマスクを介して露光する。露光は、所定のマスクパターンを介してパターン状に着色感光性層を露光することにより、該層の所望領域のみを硬化させる。硬化した領域は、後述の現像工程で現像された後に支持体上に残存し、カラーフィルタを構成する着色画素となる。
【０１４２】
露光に用いられる放射線としては、特にｇ線、ｉ線等の紫外線が好ましく用いられる。照射量は、５〜１５００ｍＪ／ｃｍ２が好ましく、１０〜１０００ｍＪ／ｃｍ２がより好ましく、１０〜５００ｍＪ／ｃｍ２が最も好ましい。
【０１４３】
上記範囲のうち、本発明のカラーフィルタが液晶表示素子用途である場合は、５〜２００ｍＪ／ｃｍ２が好ましく、１０〜１５０ｍＪ／ｃｍ２がより好ましく、１０〜１００ｍＪ／ｃｍ２が最も好ましい。また、本発明のカラーフィルタが固体撮像素子用途である場合は、３０〜１５００ｍＪ／ｃｍ２が好ましく、５０〜１０００ｍＪ／ｃｍ２がより好ましく、８０〜５００ｍＪ／ｃｍ２が最も好ましい。
【０１４４】
−現像工程−
現像工程は、露光工程で露光した後の着色感光性層に対して現像処理を施すことにより、着色パターンを顕在化させる。現像により、露光により未照射領域をアルカリ水溶液等の現像液中に溶出させ、硬化した領域だけが残る。
【０１４５】
現像液としては、下地の回路などにダメージを起さない有機アルカリ現像液が望ましい。現像温度は、通常は２０℃〜３０℃であり、現像時間は２０〜９０秒である。
【０１４６】
有機アルカリ現像液としては、アルカリ剤を濃度が０．００１〜１０質量％、好ましくは０．０１〜１質量％となるように純水で希釈したアルカリ性水溶液が好ましい。現像液に用いるアルカリ剤としては、例えば、アンモニア水、エチルアミン、ジエチルアミン、ジメチルエタノールアミン、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド、テトラエチルアンモニウムヒドロキシド、コリン、ピロール、ピペリジン、１，８−ジアザビシクロ−［５、４、０］−７−ウンデセンなどの有機アルカリ性化合物が挙げられる。
なお、このようなアルカリ性水溶液を現像液として使用した場合には、一般に現像後に純水で洗浄（リンス）が行なわれる。
【０１４７】
なお、上記の着色感光性層形成工程、露光工程、及び現像工程を行なった後には、必要により、形成された着色パターンを加熱及び／又は露光により硬化する硬化工程を含んでいてもよい。
具体的には、現像終了後、余剰の現像液を洗浄除去し、乾燥を施した後に、高温での加熱処理（ポストベーク）を行なうことができる。ポストベークは、硬化を完全なものとするための現像後の加熱処理であり、通常は１００〜２４０℃での熱処理を行なう。支持体がガラス基板又はシリコン基板の場合は、前記温度範囲の中でも２００〜２４０℃が好ましい。このポストベーク処理は、現像後の着色感光性層を、上記の熱処理条件になるようにホットプレートやコンベクションオーブン（熱風循環式乾燥機）、高周波加熱機等の加熱手段を用いて、連続式あるいはバッチ式で行なうことができる。
【０１４８】
上記の各工程を各色ごとに順次繰り返して硬化膜を支持体上に形成することにより、カラーフィルターを作製することができる。
【０１４９】
上記の着色感光性層形成工程、露光工程、現像工程、及び必要によりポストベーク等の硬化工程を、所望の色相数だけ繰り返し行なうことにより、所望の色相よりなるカラーフィルタを作製することができる。
【０１５０】
本発明の着色感光性組成物の用途として、主にカラーフィルタを構成する着色画素の形成用途を中心に説明したが、カラーフィルタの着色画素間に設けられるブラックマトリックス等の黒色画像の形成用途にも好適に適用できる。例えばブラックマトリックスは、本発明の着色感光性組成物に着色剤として、カーボンブラック、チタンブラックなどの黒色の着色剤を添加したものを用いるほか、前記着色パターンを形成する場合と同様に、パターン露光、現像、及び必要に応じてポストベーク等の硬化工程を設けることにより形成することができる。
【０１５１】
本発明のカラーフィルタは、既述の本発明の着色感光性組成物を用いて形成されるものであり、多色のカラーフィルタを作製するときに１色目及び２色目以降の着色パターンの形成時に残渣が生じ難いため、所望の断面形状、例えば良好な矩形状を与える高解像度のパターンを形成することができる。したがって、液晶表示素子やＣＣＤ等の固体撮像素子に好適に用いることができ、特に１００万画素を超えるような高解像度のＣＣＤ素子やＣＭＯＳ等の固体撮像素子の用途に好適である。本発明のカラーフィルタは、例えば、ＣＣＤを構成する各画素の受光部と集光するためのマイクロレンズとの間に配置されるカラーフィルタとして用いることができる。
【実施例】
【０１５２】
以下、本発明を実施例により更に具体的に説明するが、本発明はその主旨を越えない限り、以下の実施例に限定されるものではない。なお、特に断りのない限り、「部」は質量基準である。
【０１５３】
＜１−１．顔料分散液の調製＞
−Ｇｒｅｅｎ顔料分散液Ｐ１の調製−
顔料としてＣ．Ｉ．ピグメント・グリーン３６とＣ．Ｉ．ピグメント・イエロー１５０との５５／４５（質量比）混合物３０部と、分散剤としてＢＹＫ２００１（Ｄｉｓｐｅｒｂｙｋ：ビックケミー（ＢＹＫ）社製、固形分濃度４５．１質量％）１６．６部と、分散樹脂としてベンジルメタクリレート／メタクリル酸／２−ヒドロキシエチルメタクリレート共重合体（共重合比［モル比］＝６０／２０／２０、重量平均分子量＝約１４，０００）１２．０部と、溶媒としてプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート１５０．５部とからなる混合液を、ビーズミルにより１５時間混合・分散して、Ｇｒｅｅｎ顔料分散液Ｐ１を調製した。
このＧｒｅｅｎ顔料分散液Ｐ１について、顔料の体積平均粒径を動的光散乱法により測定したところ、２０ｎｍであった。
【０１５４】
−Ｒｅｄ顔料分散液Ｐ２の調製−
前記Ｇｒｅｅｎ顔料分散液の調製において、Ｃ．Ｉ．ピグメント・グリーン３６とＣ．Ｉ．ピグメント・イエロー１５０との５５／４５（質量比）混合物を、Ｃ．Ｉ．ピグメント・レッド２５４とＣ．Ｉ．ピグメント・イエロー１３９との７／３（質量比）混合物に代えたこと以外は、Ｇｒｅｅｎ顔料分散液の調製と同様の方法により、Ｒｅｄ顔料分散液Ｐ２を調製した。
このＲｅｄ顔料分散液Ｐ２について、顔料の体積平均粒径を動的光散乱法により測定したところ、２０ｎｍであった。
【０１５５】
−Ｂｌｕｅ顔料分散液Ｐ３の調製−
前記Ｇｒｅｅｎ顔料分散液の調製において、Ｃ．Ｉ．ピグメント・グリーン３６とＣ．Ｉ．ピグメント・イエロー１５０との５５／４５（質量比）混合物を、Ｃ．Ｉ．ピグメント・ブルー１５：６（３０部）に代えたこと以外は、Ｇｒｅｅｎ顔料分散液の調製と同様の方法により、Ｂｌｕｅ顔料分散液Ｐ３を調製した。
このＢｌｕｅ顔料分散液Ｐ３について、顔料の体積平均粒径を動的光散乱法により測定したところ、２０ｎｍであった。
【０１５６】
＜１−２．下塗り用レジスト液の調製＞
下記組成の成分を混合して溶解し、下塗り用レジスト液を調製した。
・プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート ・・・１９．２０部
（ＰＧＭＥＡ）
・乳酸エチル ・・・３６．６７部
・樹脂 ・・・３０．５１部
〔メタクリル酸ベンジル／メタクリル酸／メタクリル酸−２−ヒドロキシエチル共重合体（モル比＝６０：２０：２０）の４０％ＰＧＭＥＡ溶液〕
・ＫＡＹＡＲＡＤ ＤＰＨＡ（日本化薬製、重合性化合物） ・・・１２．２０部
・重合禁止剤（ｐ−メトキシフェノール）・・・０．００６１部
・フッ素系界面活性剤 ・・・ ０．８３部
（Ｆ−４７５、大日本インキ化学工業（株）製）
・光重合開始剤 ・・・ ０．５８６部
（ＴＡＺ−１０７（トリハロメチルトリアジン系の光重合開始剤）、みどり化学社製）
【０１５７】
＜１−３．下塗り層付シリコンウエハの作製＞
６ｉｎｃｈシリコンウエハを、オーブン中で２００℃下で３０分間、加熱処理した。次いで、このシリコンウエハ上に前記下塗り用レジスト液を乾燥膜厚が１μｍになるように塗布し、更に２００℃のホットプレート上で５分間加熱乾燥させて下塗り層を形成し、下塗り層付シリコンウエハを作製した。
【０１５８】
＜１−４．下層形成用の着色感光性組成物（塗布液）Ａ−１の調製＞
上記のＧｒｅｅｎ顔料分散液Ｐ１を用い、下記組成となるように混合、撹拌して着色感光性組成物Ａ−１を調製した。
<組成>
・前記Ｇｒｅｅｎ顔料分散液Ｐ１ ・・・１１．９４部
・ＣＧＩ−１２４ ・・・０．１３部
（チバ・スペシャルティ・ケミカルズ社製；オキシム系光重合開始剤）
・モノマー１：既述の例示化合物Ｍ−２ ・・・０．２１部
（酸基含有（メタ）アクリル化合物；酸価８９．８[mgKOH/g]）
・モノマー２：ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート（DPHA）・・・０．０９部
・アルカリ可溶性樹脂（共重合比[モル比]＝６０／２０／２０、重量平均分子量＝約１４，０００）・・・０．３８部
・ｐ−メトキシフェノール ・・・０．０００１部
・ポリエチレングリコールメチルエーテルアセテート〔ＰＧＭＥＡ（以下、同様に略記する）；溶媒〕・・・７．０２部
・界面活性剤（商品名：Ｆ−７８１、大日本インキ化学工業（株）製）のＰＧＭＥＡ１．０％溶液 ・・・５．２３部（組成物Ａ−１の固形分に占める界面活性剤量（固形分）は１．３７質量％）
【０１５９】
＜１−５．上層形成用（重ね塗り用）の着色感光性組成物（塗布液）の調製＞
−着色感光性組成物Ｂ−１（Ｇｒｅｅｎ色）の調製−
上記のＧｒｅｅｎ顔料分散液Ｐ１を用い、下記組成となるように混合、撹拌することにより、前記１色目のパターン上に重ね塗りして２色目のパターンを形成するための着色感光性組成物Ｂ−１を調製した。
<組成>
・前記Ｇｒｅｅｎ顔料分散液Ｐ１ ・・・１１．９４部
・ＣＧＩ−１２４ ・・・０．１３部
（チバ・スペシャルティ・ケミカルズ社製；オキシム系光重合開始剤）
・ＳＲ−４９４（サートマー社製） ・・・０．２１部
・ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート ・・・０．０９部
・アルカリ可溶性樹脂（共重合比[モル比]＝６０／２０／２０、重量平均分子量＝約１４，０００） ・・・０．３８部
・ｐ−メトキシフェノール ・・・０．０００１部
・ＰＧＭＥＡ（溶媒） ・・・１１．７３部
・界面活性剤（商品名：Ｆ−７８１、大日本インキ化学工業（株）製）のＰＧＭＥＡ１．０％溶液 ・・・０．５２部
【０１６０】
−着色感光性組成物Ｂ−２（Ｒｅｄ色）の調製−
上記のＲｅｄ顔料分散液Ｐ２を用い、下記組成となるように混合、撹拌することにより、前記１色目のパターン上に重ね塗りして２色目のパターンを形成するための着色感光性組成物Ｂ−２を調製した。
・前記Ｒｅｄ顔料分散液Ｐ２ ・・・８．８４部
・ＣＧＩ−１２４ ・・・０．０６部
（チバ・スペシャルティ・ケミカルズ社製；オキシム系光重合開始剤）
・ＳＲ−４９４（サートマー社製）・・・０．１５部
・ベンジルメタアクリレート／メタアクリル酸／２−ヒドロキシエチルメタアクリレート共重合体（共重合比[モル比]＝６０／２０／２０、重量平均分子量＝約１４，０００）・・・０．１０部
・ｐ−メトキシフェノール ・・・０．０００１部
・溶媒：ＰＧＭＥＡ ・・・１５．６２部
・界面活性剤（商品名：Ｆ−７８１、大日本インキ化学工業（株）製）のＰＧＭＥＡ１．０％溶液 ・・・０．１０部
【０１６１】
−着色感光性組成物Ｂ−３（Ｂｌｕｅ色）の調製−
上記のＢｌｕｅ顔料分散液Ｐ３を用い、下記組成となるように混合、撹拌することにより、前記１色目のパターン上に重ね塗りして２色目のパターンを形成するための着色感光性組成物Ｂ−３を調製した。
・前記Ｂｌｕｅ顔料分散液Ｐ３ ・・・７．４７部
・ＣＧＩ−１２４ ・・・０．０８部
（チバ・スペシャルティ・ケミカルズ社製；オキシム系光重合開始剤）
・ＳＲ−４９４（サートマー社製）・・・０．６０部
・ベンジルメタアクリレート／メタアクリル酸／２−ヒドロキシエチルメタアクリレート共重合体（共重合比[モル比]＝６０／２０／２０、重量平均分子量＝約１４，０００）・・・０．１８部
・ｐ−メトキシフェノール ・・・０．０００１部
・溶媒：ＰＧＭＥＡ ・・・１１．２５部
・界面活性剤（商品名：Ｆ−７８１、大日本インキ化学工業（株）製）のＰＧＭＥＡ１．０％溶液 ・・・０．４２部
【０１６２】
（実施例１）
＜１−６．着色感光性組成物の塗布、露光、及び現像＞
前記１−４．において調製された着色感光性組成物Ａ−１を、前記１−３．で得られた下塗り層付シリコンウエハの下塗り層上に塗布し、光硬化性の塗布膜を形成した。そして、この塗布膜の乾燥膜厚が０．８μｍになるように、１００℃のホットプレートを用いて１２０秒間加熱処理（プリベーク）を行なった。次いで、ｉ線ステッパー露光装置ＦＰＡ−３０００ｉ５＋（Ｃａｎｏｎ（株）製）を使用して、３６５ｎｍの波長で１．２μｍ四方のベイヤーパターンマスクを通して、１００〜２５００ｍＪ／ｃｍ２にて照射した（５０ｍＪ／ｃｍ２ずつ露光量を変化）。その後、照射された塗布膜が形成されているシリコンウエハをスピン・シャワー現像機（ＤＷ−３０型；（株）ケミトロニクス製）の水平回転テーブル上に載置し、ＣＤ−２０６０（富士フイルムエレクトロニクスマテリアルズ（株）製）を用いて２３℃で６０秒間パドル現像を行ない、シリコンウエハに着色パターンを形成した。
【０１６３】
着色パターンが形成されたシリコンウエハを真空チャック方式で前記水平回転テーブルに固定し、回転装置によって該シリコンウエハを回転数５０ｒｐｍで回転させつつ、その回転中心の上方より純水を噴出ノズルからシャワー状に供給してリンス処理を行ない、その後スプレー乾燥した。
次に、２００℃のホットプレートにて１０分間加熱し、１色目のパターンが形成されたカラーフィルタを得た。
【０１６４】
＜１−７．着色感光性組成物の重ね塗り塗布、露光、及び現像＞
前記１−６．にて形成された、ポストベーク後の１色目のパターンの上に、上記の着色感光性組成物Ｂ−２（Ｒｅｄ色）を塗布し、塗布膜を形成した。そして、この塗布膜の乾燥膜厚が０．８μｍになるように１００℃のホットプレートを用いて１２０秒間、加熱処理（プリベーク）を行なった。その後、１色目のパターン状に重ね塗りされた塗布膜を有するシリコンウエハをスピン・シャワー現像機（ＤＷ−３０型；（株）ケミトロニクス製）の水平回転テーブル上に載置し、ＣＤ−２０６０（富士フイルムエレクトロニクスマテリアルズ（株）製）を用いて２３℃で６０秒間パドル現像を行なった。続いて、このシリコンウエハを真空チャック方式で前記水平回転テーブルに固定し、回転装置によって該シリコンウエハを回転数５０ｒｐｍで回転させつつ、その回転中心の上方より純水を噴出ノズルからシャワー状に供給してリンス処理を行ない、その後スプレー乾燥することにより、重ね塗りした塗布膜を除去した。その後さらに、２００℃のホットプレートにて１０分間加熱して、カラーフィルタを得た。
【０１６５】
＜評価＞
上記より得たカラーフィルタに対して下記の評価を行なった。評価結果は下記表１〜表２に示す。
−（１）１色目パターン形成後の残渣評価−
前記１−６．での塗布、露光、及び現像を終了した段階での１色目のパターンを、走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）を用いて２０，０００倍で観察し、下記の評価基準にしたがって未露光部の残渣の程度（現像性）を評価した。
<評価基準>
◎：未露光部が完全に除去されていた。
○：やや残渣あるものの、問題のない範囲内であった。
△：残渣あるものの、実用上許容範囲内であった。
×：残渣が多く許容範囲外であった。
××：残渣の発生が顕著であった。
【０１６６】
−（２）重ね塗りした後の残渣評価−
前記１−７．での重ね塗り塗布、露光、及び現像を終了し、重ね塗りした塗布膜を除去した段階でのシリコンウエハ上のパターンを、走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）を用いて２０，０００倍で観察し、下記の評価基準にしたがって１色目のパターン上部及び１色目のパターン間にウエハ面に残存する残渣の程度（現像性）を評価した。
<評価基準>
◎：未露光部が完全に除去されていた。
○：やや残渣あるものの、問題のない範囲内であった。
△：残渣あるものの、実用上許容範囲内であった。
×：残渣が多く許容範囲外であった。
××：残渣の発生が顕著であった。
【０１６７】
−（３）１色目のパターン形成に必要な露光量−
前記１−６．での塗布、露光、及び現像を終了した段階での１色目のパターンを、光学顕微鏡を用いて１００倍で観察し、剥がれのないパターンが形成できている最低露光量を確認した。この露光量は、製造に必要となる時間を考慮すると１０００ｍＪ／ｃｍ２以下が許容範囲である。
【０１６８】
（実施例２〜１９）
実施例１において、下層形成用の着色感光性組成物及び上層形成用（重ね塗り用）の着色感光性組成物の種類を下記表１〜表２に示すように変更したこと以外は、実施例１と同様にして、カラーフィルタを作製し、評価を実施した。評価結果は下記表１〜表２に示す。なお、下層がＲｅｄ，Ｂｌｕｅの場合、露光は１．２μｍ四方のアイランドパターンマスクを通して実施し、Ｇｒｅｅｎの場合の露光は、１．２μｍ四方のベイヤーパターンマスクを通して実施した。
【０１６９】
（実施例２０）
実施例１において、下層形成用の着色感光性組成物Ａ−１を下記のように調製した着色感光性組成物Ａ−１６に代えたこと以外は、実施例１と同様にして、カラーフィルタを作製し、評価を実施した。評価結果は下記表１〜表２に示す。
【０１７０】
−着色感光性組成物Ａ−１６の調製−
下記組成となるように、各成分を混合、撹拌して、着色感光性組成物Ａ−１６を調製した。
<組成>
・前記Ｇｒｅｅｎ顔料分散液Ｐ１ ・・・１１．９４部
・ＣＧＩ−１２４ ・・・０．１３部
（チバ・スペシャルティ・ケミカルズ社製；オキシム系光重合開始剤）
・モノマー１：既述の例示化合物Ｍ−２ ・・・０．２１部
（酸基含有（メタ）アクリル化合物；酸価８９．８[mgKOH/g]）
・モノマー２：ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート（DPHA）・・・０．０９部
・アルカリ可溶性樹脂（共重合比[モル比]＝６０／２０／２０、重量平均分子量＝約１４，０００）・・・０．３８部
・ｐ−メトキシフェノール ・・・０．０００１部
・溶媒：ＰＧＭＥＡ ・・・７．０２部
・界面活性剤（商品名：Ｆ−７８１、大日本インキ化学工業（株）製）のＰＧＭＥＡ１．０％溶液 ・・・０．３８部（組成物Ａ−１３の固形分に占める界面活性剤量（固形分）は０．１０質量％）
【０１７１】
（実施例２１）
実施例１において、下層形成用の着色感光性組成物Ａ−１を下記のように調製した着色感光性組成物Ａ−１７に代えたこと以外は、実施例１と同様にして、カラーフィルタを作製し、評価を実施した。評価結果は下記表１〜表２に示す。
【０１７２】
−着色感光性組成物Ａ−１７の調製−
下記組成となるように、各成分を混合、撹拌して、着色感光性組成物Ａ−１７を調製した。
<組成>
・前記Ｇｒｅｅｎ顔料分散液Ｐ１ ・・・１１．９４部
・ＣＧＩ−１２４ ・・・０．１３部
（チバ・スペシャルティ・ケミカルズ社製；オキシム系光重合開始剤）
・モノマー１：既述の例示化合物Ｍ−２ ・・・０．２１部
（酸基含有（メタ）アクリル化合物；酸価８９．８[mgKOH/g]）
・モノマー２：ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート（DPHA）・・・０．０９部
・アルカリ可溶性樹脂（共重合比[モル比]＝６０／２０／２０、重量平均分子量＝約１４，０００）・・・０．２４部
・ｐ−メトキシフェノール ・・・０．０００１部
・溶媒：ＰＧＭＥＡ ・・・１０．３部
・界面活性剤（商品名：Ｆ−７８１、大日本インキ化学工業（株）製）のＰＧＭＥＡ１０．０％溶液 ・・・２．９３部（組成物Ａ−１４の固形分に占める界面活性剤量（固形分）は７．４８質量％）
【０１７３】
（実施例２２）
実施例１において、下層形成用の着色感光性組成物Ａ−１を下記のように調製した着色感光性組成物Ａ−１８に代えたこと以外は、実施例１と同様にして、カラーフィルタを作製し、評価を実施した。評価結果は下記表１〜表２に示す。
【０１７４】
−着色感光性組成物Ａ−１８の調製−
下記組成となるように、各成分を混合、撹拌して、着色感光性組成物Ａ−１８を調製した。
<組成>
・前記Ｇｒｅｅｎ顔料分散液Ｐ１ ・・・１１．９４部
・ＣＧＩ−１２４ ・・・０．１３部
（チバ・スペシャルティ・ケミカルズ社製；オキシム系光重合開始剤）
・モノマー１：既述の例示化合物Ｍ−２ ・・・０．０９部
（酸基含有（メタ）アクリル化合物；酸価８９．８[mgKOH/g]）
・モノマー２：ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート（DPHA）・・・０．２１部
・アルカリ可溶性樹脂（共重合比[モル比]＝６０／２０／２０、重量平均分子量＝約１４，０００）・・・０．３８部
・ｐ−メトキシフェノール ・・・０．０００１部
・溶媒：ＰＧＭＥＡ ・・・７．０２部
・界面活性剤（商品名：Ｆ−７８１、大日本インキ化学工業（株）製）のＰＧＭＥＡ１．０％溶液 ・・・５．２３部（組成物Ａ−１５の固形分に占める界面活性剤量（固形分）は１．３７質量％）
【０１７５】
（実施例２３）
実施例１において、下層形成用の着色感光性組成物Ａ−１を下記のように調製した着色感光性組成物Ａ−１９に代えたこと以外は、実施例１と同様にして、カラーフィルタを作製し、評価を実施した。評価結果は下記表１〜表２に示す。
【０１７６】
−着色感光性組成物Ａ−１９の調製−
下記組成となるように、各成分を混合、撹拌して、着色感光性組成物Ａ−１９を調製した。
<組成>
・前記Ｇｒｅｅｎ顔料分散液Ｐ１ ・・・１１．９４部
・ＣＧＩ−１２４ ・・・０．１３部
（チバ・スペシャルティ・ケミカルズ社製；オキシム系光重合開始剤）
・モノマー１：既述の例示化合物Ｍ−２ ・・・０．０８部
（酸基含有（メタ）アクリル化合物；酸価８９．８[mgKOH/g]）
・モノマー２：ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート（DPHA）・・・０．２２部
・アルカリ可溶性樹脂（共重合比[モル比]＝６０／２０／２０、重量平均分子量＝約１４，０００）・・・０．３８部
・ｐ−メトキシフェノール ・・・０．０００１部
・溶媒：ＰＧＭＥＡ ・・・７．０２部
・界面活性剤（商品名：Ｆ−７８１、大日本インキ化学工業（株）製）のＰＧＭＥＡ１．０％溶液 ・・・５．２３部（組成物Ａ−１６の固形分に占める界面活性剤量（固形分）は１．３７％）
【０１７７】
（比較例１）
実施例１において、下層形成用の着色感光性組成物Ａ−１を下記のように調製した着色感光性組成物Ａ−２０に代えたこと以外は、実施例１と同様にして、カラーフィルタを作製し、評価を実施した。評価結果は下記表１〜表２に示す。
【０１７８】
−着色感光性組成物Ａ−２０の調製−
下記組成となるように、各成分を混合、撹拌して、着色感光性組成物Ａ−２０を調製した。
<組成>
・前記Ｇｒｅｅｎ顔料分散液Ｐ１ ・・・１１．９４部
・ＣＧＩ−１２４ ・・・０．１３部
（チバ・スペシャルティ・ケミカルズ社製；オキシム系光重合開始剤）
・モノマー１：既述の例示化合物Ｍ−２ ・・・０．２１部
（酸基含有（メタ）アクリル化合物；酸価８９．８[mgKOH/g]）
・モノマー２：ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート（DPHA）・・・０．０９部
・アルカリ可溶性樹脂（共重合比[モル比]＝６０／２０／２０、重量平均分子量＝約１４，０００）・・・０．３８部
・ｐ−メトキシフェノール ・・・０．０００１部
・溶媒：ＰＧＭＥＡ ・・・１１．９１部
・界面活性剤（商品名：Ｆ−７８１、大日本インキ化学工業（株）製）のＰＧＭＥＡ１．０％溶液 ・・・０．３４部（組成物Ａ−１７の固形分に占める界面活性剤量（固形分）は０．０９％）
【０１７９】
（比較例２）
実施例１において、下層形成用の着色感光性組成物Ａ−１を下記のように調製した着色感光性組成物Ａ−２１に代えたこと以外は、実施例１と同様にして、カラーフィルタを作製し、評価を実施した。評価結果は下記表１〜表２に示す。
【０１８０】
−着色感光性組成物Ａ−２１の調製−
下記組成となるように、各成分を混合、撹拌して、着色感光性組成物Ａ−２１を調製した。
<組成>
・前記Ｇｒｅｅｎ顔料分散液Ｐ１ ・・・１１．９４部
・ＣＧＩ−１２４ ・・・０．１３部
（チバ・スペシャルティ・ケミカルズ社製；オキシム系光重合開始剤）
・モノマー１：既述の例示化合物Ｍ−２ ・・・０．２１部
（酸基含有（メタ）アクリル化合物；酸価８９．８[mgKOH/g]）
・モノマー２：ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート（DPHA）・・・０．０９部
・アルカリ可溶性樹脂（共重合比[モル比]＝６０／２０／２０、重量平均分子量＝約１４，０００）・・・０．２４部
・ｐ−メトキシフェノール ・・・０．０００１部
・溶媒：ＰＧＭＥＡ ・・・１０．３部
・界面活性剤（商品名：Ｆ−７８１、大日本インキ化学工業（株）製）のＰＧＭＥＡ１０．０％溶液 ・・・３．００部（組成物Ａ−１８の固形分に占める界面活性剤量（固形分）は７．６４％）
【０１８１】
（比較例３）
実施例１において、下層形成用の着色感光性組成物Ａ−１を下記のように調製した着色感光性組成物Ａ−２２に代えたこと以外は、実施例１と同様にして、カラーフィルタを作製し、評価を実施した。評価結果は下記表１〜表２に示す。
【０１８２】
−着色感光性組成物Ａ−２２の調製−
下記組成となるように、各成分を混合、撹拌して、着色感光性組成物Ａ−２２を調製した。
<組成>
・前記Ｇｒｅｅｎ顔料分散液Ｐ１ ・・・１１．９４部
・ＴＡＺ−１０７（トリハロメチルトリアジン系の光重合開始剤）・・・０．１３部
・モノマー１：既述の例示化合物Ｍ−２ ・・・０．２１部
（酸基含有（メタ）アクリル化合物；酸価８９．８[mgKOH/g]）
・モノマー２：ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート（DPHA）・・・０．０９部
・アルカリ可溶性樹脂（共重合比[モル比]＝６０／２０／２０、重量平均分子量＝約１４，０００）・・・０．３８部
・ｐ−メトキシフェノール ・・・０．０００１部
・ポリエチレングリコールメチルエーテルアセテート〔ＰＧＭＥＡ；溶媒〕・・・７．０２部
・界面活性剤（商品名：Ｆ−７８１、大日本インキ化学工業（株）製）のＰＧＭＥＡ１．０％溶液 ・・・５．２３部（組成物Ａ−１９の固形分に占める界面活性剤量（固形分）は１．３７％）
【０１８３】
（比較例４）
実施例１において、下層形成用の着色感光性組成物Ａ−１を下記のように調製した着色感光性組成物Ａ−２３に代えたこと以外は、実施例１と同様にして、カラーフィルタを作製し、評価を実施した。評価結果は下記表１〜表２に示す。
【０１８４】
−着色感光性組成物Ａ−２３の調製−
下記組成となるように、各成分を混合、撹拌して、着色感光性組成物Ａ−２３を調製した。
<組成>
・前記Ｇｒｅｅｎ顔料分散液Ｐ１ ・・・１１．９４部
・２−（２’−クロロフェニル）−４，５−ジフェニルイミダゾール２量体（光重合開始剤）・・・０．０４部
・ミヒラーズケトン（増感助剤）・・・０．０９部
・モノマー１：既述の例示化合物Ｍ−２ ・・・０．２１部
（酸基含有（メタ）アクリル化合物；酸価８９．８[mgKOH/g]）
・モノマー２：ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート（DPHA）・・・０．０９部
・アルカリ可溶性樹脂（共重合比[モル比]＝６０／２０／２０、重量平均分子量＝約１４，０００）・・・０．３８部
・ｐ−メトキシフェノール ・・・０．０００１部
・ポリエチレングリコールメチルエーテルアセテート〔ＰＧＭＥＡ；溶媒〕・・・７．０２部
・界面活性剤（商品名：Ｆ−７８１、大日本インキ化学工業（株）製）のＰＧＭＥＡ１．０％溶液 ・・・５．２３部（組成物Ａ−２０の固形分に占める界面活性剤量（固形分）は１．３７質量％）
【０１８５】
【表１】
【０１８６】
【表２】
【０１８７】
前記表１〜表２に示すように、実施例では、１色目のパターン形成後及び２色目以降を重ね塗りした後のいずれにおいても残渣の発生が抑えられ、混色の発生を防止することができた。また、残渣が抑えられたことにより、解像度の高いパターンが得られた。
これに対し、比較例では、１色目のパターン形成後又は２色目以降を重ね塗りした後、あるいはその両方において、残渣の発生が抑えられず、形成された着色パターンは混色が生じており、解像度の点でも劣っていた。
【特許請求の範囲】
【請求項１】
着色剤と、界面活性剤を固形分で組成物全質量の０．１質量％以上７．５質量％以下と、オキシム系重合開始剤とを含む着色感光性組成物。
【請求項２】
更に、酸基含有モノマーを、モノマー合計量あたりの酸価が２５ｍｇＫＯＨ／ｇ以上となるように含むことを特徴とする請求項１に記載の着色感光性組成物。
【請求項３】
前記酸基含有モノマーが、３個以上の（メタ）アクリル基を有する多官能モノマーであることを特徴とする請求項２に記載の着色感光性組成物。
【請求項４】
前記着色剤の少なくとも一種が、黄色顔料であることを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載の着色感光性組成物。
【請求項５】
支持体上に請求項１〜４のいずれか１項に記載の着色感光性組成物を用いて形成された着色パターンを有するカラーフィルタ。
【請求項６】
支持体上に、請求項１〜４のいずれか１項に記載の着色感光性組成物を塗布して着色感光性層を形成する工程と、
形成された前記着色感光性層を、マスクを介して露光する工程と、
露光後の前記着色感光性層を現像して着色パターンを形成する工程と、
を有するカラーフィルタの製造方法。
【請求項１】
着色剤と、界面活性剤を固形分で組成物全質量の０．１質量％以上７．５質量％以下と、オキシム系重合開始剤とを含む着色感光性組成物。
【請求項２】
更に、酸基含有モノマーを、モノマー合計量あたりの酸価が２５ｍｇＫＯＨ／ｇ以上となるように含むことを特徴とする請求項１に記載の着色感光性組成物。
【請求項３】
前記酸基含有モノマーが、３個以上の（メタ）アクリル基を有する多官能モノマーであることを特徴とする請求項２に記載の着色感光性組成物。
【請求項４】
前記着色剤の少なくとも一種が、黄色顔料であることを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載の着色感光性組成物。
【請求項５】
支持体上に請求項１〜４のいずれか１項に記載の着色感光性組成物を用いて形成された着色パターンを有するカラーフィルタ。
【請求項６】
支持体上に、請求項１〜４のいずれか１項に記載の着色感光性組成物を塗布して着色感光性層を形成する工程と、
形成された前記着色感光性層を、マスクを介して露光する工程と、
露光後の前記着色感光性層を現像して着色パターンを形成する工程と、
を有するカラーフィルタの製造方法。
【公開番号】特開２００９−２４４３２０（Ｐ２００９−２４４３２０Ａ）
【公開日】平成２１年１０月２２日（２００９．１０．２２）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００８−８７５５６（Ｐ２００８−８７５５６）
【出願日】平成２０年３月２８日（２００８．３．２８）
【出願人】（３０６０３７３１１）富士フイルム株式会社 (25,513)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２１年１０月２２日（２００９．１０．２２）
【国際特許分類】
【出願日】平成２０年３月２８日（２００８．３．２８）
【出願人】（３０６０３７３１１）富士フイルム株式会社 (25,513)
【Ｆターム（参考）】
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