管理システム及び管理方法
【課題】互いに異なる処理を行う複数の製造装置を有する半導体製造システムにおいて、異常発生から異常検出までの時間を短くする。
【解決手段】判断基準記憶部（データベース２０４）は、複数の製造装置２０６それぞれごとに、異常を有すると判断するための判断基準情報を記憶している。処理条件取得部（品質管理システム２０３）は、処理対象装置がいずれかの製造装置２０６において処理されたときに、当該処理における処理条件を取得する。異常判断部（品質管理システム２０３）は、判断基準情報を判断基準記憶部から読み出し、読みだした判断基準情報と処理条件に基づいて製造装置２０６に異常があるか否かを判断する。停止情報生成部（品質管理システム２０３）は、製造装置２０６に異常があると異常判断部が判断した時に、製造装置２０６の動作を停止させるための情報である装置停止情報を生成する。
【解決手段】判断基準記憶部（データベース２０４）は、複数の製造装置２０６それぞれごとに、異常を有すると判断するための判断基準情報を記憶している。処理条件取得部（品質管理システム２０３）は、処理対象装置がいずれかの製造装置２０６において処理されたときに、当該処理における処理条件を取得する。異常判断部（品質管理システム２０３）は、判断基準情報を判断基準記憶部から読み出し、読みだした判断基準情報と処理条件に基づいて製造装置２０６に異常があるか否かを判断する。停止情報生成部（品質管理システム２０３）は、製造装置２０６に異常があると異常判断部が判断した時に、製造装置２０６の動作を停止させるための情報である装置停止情報を生成する。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、互いに異なる処理を行う複数の製造装置を有する半導体製造システムを管理する管理システム及び管理方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
複数の製造装置を有する半導体製造システムにおいて、製造装置に異常が発生した場合、該当装置の異常状態を放置してそのまま処理を続けると大量の不良品が発生する可能性がある。また、異常な装置で処理された中間製品に対して後続プロセスを継続することは、製造ラインのリソースを無駄に使用することになる。これらの問題に対応するために、製造装置を管理するシステムを用いて管理する方法が提案されている（例えば特許文献１参照）。なお、ここで言う製造装置の異常とは必ずしも処理された製品に悪影響が有る場合を意味するわけではなく、装置の情報（プロセス結果のトレンドが要注意状態にあるとか、通常は規格範囲内にあるプロセス結果が規格範囲から外れたなど）から、装置をチェックした方が良いと判断される状態を意味している。
【０００３】
ここで、図１６を用いて、特許文献１に記載の生産管理システムの判定値算出装置を説明する。製造装置１０２は、ネットワーク１０４を介して中央制御装置１０１に接続している。また、処理された製品をチェックするためのテスト装置１０３もネットワーク１０４を介して中央制御装置１０１に接続している。中央制御装置１０１は、各製造装置１０２の処理条件、処理状況を把握する。これにより中央制御装置１０１はどの製造装置１０２にどの製品が通過して処理されたかを管理することが可能となる。
【０００４】
また、中央制御装置１０１は、テスト装置１０３からネットワーク１０４を介して中央制御装置１０１へ送られてくるデータをもとに、良品／不良品の判別を行うとともに不良分類別にして集計を行う。そして中央制御装置１０１は、集計結果と過去に発生して記録されている不良内容を比較して、不良原因を発生させていると判断した製造装置１０２へネットワーク１０４を介して警告し、製造現場の装置管理者に調整やメンテナンスを促す。
【特許文献１】特開平８−１９５４０６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
特許文献１に記載の技術では、テスト装置でデータを収集しなければ、不良原因を発生させたと考えられる製造装置すなわち異常を有する製造装置を特定することができない。このため、異常発生から異常確認までの間に時間が経過する。その間、問題のある製造装置で製造処理を継続することになる。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明によれば、互いに異なる処理を行う複数の製造装置を有する半導体製造システムを管理する管理システムであって、
前記複数の製造装置それぞれごとに、当該製造装置が異常を有すると判断するための判断基準情報を、前記製造装置を相互に識別する装置ＩＤに対応付けて記憶している判断基準記憶部と、
処理対象装置がいずれかの前記製造装置において処理されたときに、当該処理を行った前記製造装置の前記装置ＩＤ、及び当該処理における処理条件を取得する処理条件取得部と、
前記処理条件取得部が取得した前記装置ＩＤに対応する前記判断基準情報を前記判断基準記憶部から読み出し、読みだした前記判断基準情報と前記処理条件に基づいて、前記処理条件取得部が取得した前記装置ＩＤが示す前記製造装置に異常があるか否かを判断する異常判断部と、
異常があると前記異常判断部が判断した時に、前記処理条件取得部が取得した前記装置ＩＤが示す前記製造装置の動作を停止させるための情報である装置停止情報を生成する停止情報生成部と、
を備える管理システムが提供される。
【０００７】
なお、以上の構成要素の任意の組合せ、本発明の表現を方法、装置、システム、記録媒体、コンピュータプログラムなどの間で変換したものもまた、本発明の態様として有効である。
【０００８】
本発明によれば、処理条件取得部は、処理対象装置がいずれかの製造装置において処理されたときに、当該処理を行った製造装置の装置ＩＤ、及び当該処理における処理条件を取得する。そして異常判断部は、判断基準記憶部が記憶している判断基準情報と処理条件に基づいて、処理条件取得部が取得した装置ＩＤが示す製造装置に異常があるか否かを判断する。このため、処理対象装置がいずれかの製造装置において処理されたときに、その製造装置に異常があるか否かを判断することができる。従って、異常発生から異常検出までの時間を短くすることができる。
【０００９】
本発明によれば、互いに異なる処理を行う複数の製造装置を有する半導体製造システムを管理する管理方法であって、
コンピュータが、前記複数の製造装置それぞれごとに、当該製造装置が異常を有すると判断するための判断基準情報を、前記製造装置を相互に識別する装置ＩＤに対応付けて記憶しておき、
処理対象装置がいずれかの前記製造装置において処理されたときに、前記コンピュータが、当該処理を行った前記製造装置の前記装置ＩＤ、及び当該処理における処理条件を取得し、
前記コンピュータが、取得した前記装置ＩＤに対応する前記判断基準情報と前記処理条件に基づいて、取得した前記装置ＩＤが示す前記製造装置に異常があるか否かを判断し、異常があると判断した時に、取得した前記装置ＩＤが示す前記製造装置の動作を停止させるための情報である装置停止情報を生成する管理方法が提供される。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、互いに異なる処理を行う複数の製造装置を有する半導体製造システムにおいて、異常発生から異常検出までの時間を短くすることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
以下、本発明の実施の形態について、図面を用いて説明する。尚、すべての図面において、同様な構成要素には同様の符号を付し、適宜説明を省略する。
【００１２】
図１は、第１の実施の形態における管理システムの使用態様を示すブロック図である。この管理システムは、互いに異なる処理を行う複数の製造装置２０６を有する半導体製造システムを管理する管理システムである。管理システムは、判断基準記憶部（データベース２０４）、処理条件取得部（品質管理システム２０３）、異常判断部（品質管理システム２０３）、及び停止情報生成部（品質管理システム２０３）を備える。判断基準記憶部は、複数の製造装置２０６それぞれごとに、当該製造装置２０６が異常を有すると判断するための判断基準情報を、製造装置２０６を相互に識別する装置ＩＤに対応付けて記憶している。処理条件取得部は、処理対象装置がいずれかの製造装置２０６において処理されたときに、当該処理を行った製造装置２０６の装置ＩＤ、及び当該処理における処理条件を取得する。異常判断部は、処理条件取得部が取得した装置ＩＤに対応する判断基準情報を判断基準記憶部から読み出し、読みだした判断基準情報と処理条件に基づいて、処理条件取得部が取得した装置ＩＤが示す製造装置２０６に異常があるか否かを判断する。停止情報生成部は、製造装置２０６に異常があると異常判断部が判断した時に、処理条件取得部が取得した装置ＩＤが示す製造装置２０６の動作を停止させるための情報である装置停止情報を生成する。判断基準情報は、例えば、ＪＩＳ規格で定められた異常パターン(管理特性値が連続6点増加する等)とか、経験に基づいてその製造ライン独自で定めた管理特性値の異常パターン、あるいは、その製造装置で処理した管理特性値（例えば成膜された膜の膜厚）が対象製品の管理規格範囲を外れたかどうかなどである。
【００１３】
各製造装置２０６と品質管理システム２０３は、通信網２０７を介して互いに接続している。通信網２０７には、さらに生産制御システム２０１（処理条件管理部）及び履歴検索システム２０５が接続している。生産制御システム２０１は、データベース２０２にも接続しており、各製造装置２０６における処理条件を各製造装置２０６から取得する。そして、いずれかの製造装置２０６が新たに処理対象装置を処理して新たな処理条件をその製造装置２０６から取得したときに、品質管理システム２０３に、この新たな処理条件を装置ＩＤに対応付けて送信する。
【００１４】
また生産制御システム２０１（装置停止情報記憶部）は、装置停止情報と装置ＩＤを対応付けて記憶する。そして生産制御システム２０１（処理前装置ＩＤ取得部）は、処理対象装置がいずれかの製造装置２０６において処理されるときに、当該製造装置２０６の装置ＩＤを取得する。生産制御システム２０１は、取得した装置ＩＤに対応する装置停止情報を記憶していたときに、取得した装置ＩＤに対応する製造装置２０６の動作を停止させる。
【００１５】
さらに品質管理システム２０３（処理条件取得部）は、装置ＩＤ及び処理条件に対応付けて、処理対象装置を相互に識別する製品ＩＤを取得する。品質管理システム２０３（停止情報生成部）は、品質管理システム２０３（処理条件取得部）が取得した装置ＩＤが示す製造装置２０６に異常があると判断した時に、品質管理システム２０３（処理条件取得部）が取得した製品ＩＤが示す処理対象装置への処理を中止するための情報である装置処理中止情報を生成する。
【００１６】
このとき、生産制御システム２０１（装置処理中止情報記憶部）は、装置処理中止情報と前記製品ＩＤを対応付けて記憶する。そして生産制御システム２０１（処理前製品ＩＤ取得部）は、処理対象装置がいずれかの製造装置２０６において処理されるときに、処理対象となっている処理対象装置の製品ＩＤを取得する。そして生産制御システム２０１（装置処理停止指令送信部）は、生産制御システム２０１（処理前製品ＩＤ取得部）が取得した製品ＩＤに対応する装置処理中止情報が生産制御システム２０１（装置処理中止情報記憶部）に記憶されていたときに、生産制御システム２０１（処理前製品ＩＤ取得部）が取得した製品ＩＤに対応する処理対象装置への処理を停止させる。
【００１７】
図１に示した生産制御システム２０１および品質管理システム２０３の各機能は、ハードウエア単位の構成ではなく、機能単位のブロックを示している。品質管理システムの各構成要素は、任意のコンピュータのＣＰＵ、メモリ、メモリにロードされた本図の構成要素を実現するプログラム、そのプログラムを格納するハードディスクなどの記憶ユニット、ネットワーク接続用インタフェースを中心にハードウエアとソフトウエアの任意の組合せによって実現される。そして、その実現方法、装置には様々な変形例があることは、当業者には理解されるところである。
【００１８】
図２は、データベース２０２が記憶しているデータの構成を示す図である。データベース２０２は、工程手順テーブル３１００、履歴テーブル３２００、及び製造装置状態テーブル３３００を有している。工程手順テーブル３１００は、各製品の製造手順と各工程の処理条件を記録している。履歴テーブル３２００は、各製品の進捗履歴を記録している。製造装置状態テーブル３３００は、各製造装置２０６の作業可否状態を記録している。
【００１９】
詳細には、工程手順テーブル３１００は、製造ラインで製造する品種ごとに工程手順名３１０１というキー項目を有している。このキー項目のもとに、処理順を示すシーケンス番号３１０２と個々の処理内容を指定した処理条件３１０３が記録されている。
【００２０】
履歴テーブル３２００は、製造ラインで処理されている処理対象装置ごとに、処理対象装置を相互に識別する製品ＩＤ３２０１と、その処理対象装置と紐づいている工程手順名３２０２が記録されている。製品ＩＤ３２０１は、処理対象装置を相互に識別するＩＤであり、例えばロット番号である。また履歴テーブル３２００は、各処理対象装置に対して継続して処理を行なってよいか否かを示す処理可否状態３２０３と、処理された履歴順を示すシーケンス番号３２０４、処理された工程の作業開始日時３２０５、作業終了日時３２０６、処理対象装置を処理した製造装置２０６を示す装置ＩＤ３２０７、および各製造装置２０６で処理されたときの処理温度、圧力、ガス流量、電流、電圧、寸法、膜厚などの処理条件を示す処理データ３２０８が項目名と一緒に記録されている。
【００２１】
製造装置状態テーブル３３００（装置停止情報記憶部）は、各製造装置２０６を相互に識別するための装置ＩＤ３３０１と、各製造装置２０６の作業可否状態３３０２すなわち装置停止情報の有無が記録されている。
【００２２】
図３は、データベース２０４が記憶しているデータの構成を示す図である。データベース２０４は、層別テーブル４１００、規格テーブル４２００（判断基準記憶部）、及びデータテーブル４３００を有している。規格テーブル４２００は層別テーブル４１００の配下に位置しており、データテーブル４３００は規格テーブル４２００の配下に位置している。
【００２３】
層別テーブル４１００は、生産制御システム２０１より送られてきた処理条件をフィルタリングするための情報を記録している。層別テーブル４１００は、各フィルタリング情報を管理するためのＩＤ４１０１、フィルタリングの対象となる製造装置２０６を指定する管理装置情報４１１０、および処理データを送信する装置を指定するデータ装置情報４１２０を有している。
【００２４】
管理装置情報４１１０には、フィルタリングの対象となる製造装置２０６を特定するための装置ＩＤ４１１１、工程手順名４１１２、処理条件４１１３、シーケンス番号４１１４が含まれている。データ装置情報４１２０には、処理データを送信する装置および処理工程を特定するための処理条件４１２１、及びシーケンス番号４１２２が含まれている。
【００２５】
規格テーブル４２００は、製造装置２０６が異常を有すると判断するための判断基準情報を装置ＩＤ４１１１に対応付けて記憶している。詳細には、規格テーブル４２００には、異常の有無を判定する際に用いられる処理データの項目名４２０１、処理データに対する規格値４２０２、規格の判定パターン４２０３、及び規格はずれ（異常）と判断されたときの履歴チェックの有無を指定したフラグ４２０４を有している。ここでの履歴チェックとは、製造装置２０６の作業履歴をチェックすることである。また規格テーブル４２００は、履歴チェックを行なうと指定された項目について、階層４２０５および履歴チェックの対象となる期間４２０６も記憶している。
【００２６】
データテーブル４３００は、規格（判断基準情報）ごとの判定結果を記録している。詳細には、データテーブル４３００は、処理された製品ＩＤ４３０１、作業終了日時４３０２、処理データ４３０３、および規格判定結果４３０４を記録している。
【００２７】
図４は、図１に示したシステムにおいて、処理対象装置を処理するときの動作を示すフローチャートである。まず、複数の処理対象装置を所定の製造装置２０６にセットする。製造装置２０６は、セットされた処理対象装置の製品ＩＤ３２０１を取得して、通信網２０７を介して生産制御システム２０１へ送る。
【００２８】
生産制御システム２０１は、送られた製品ＩＤ３２０１に基づいて履歴テーブル３２００をデータベース２０２より検索し、検索した履歴テーブル３２００における処理可否状態３２０３のデータをチェックする。ここで生産制御システム２０１は、セットされた処理対象装置に対して、装置処理中止情報（すなわち処理を中止する旨の情報）が記憶されているか否かを確認する（ステップＳ５０１）。装置処理中止情報が記憶されている場合、この製品ＩＤ３２０１を送った製造装置２０６にアラーム情報を返して、これ以降の処理を中止させる（ステップＳ５０５）。
【００２９】
また生産制御システム２０１は、製品ＩＤ３２０１を送った製造装置２０６の装置ＩＤ３３０１に基づいて、製造装置状態テーブル３３００を検索する。そして、この製造装置２０６の作業可否状態３３０２すなわち装置停止情報の有無を確認する（ステップＳ５０２）。確認の結果、この製造装置２０６に対応する装置停止情報が記憶されていた場合、この装置ＩＤ３３０１に対応する製造装置２０６にアラーム情報を返して、これ以降の処理を中止させる（ステップＳ５０５）。
【００３０】
処理対象装置及び製造装置２０６のいずれにも装置処理中止情報及び装置停止情報が記憶されていなかったとき、生産制御システム２０１は、通信網２０７を介して該当製造装置２０６へ該当製品の処理開始を指示する。また、生産制御システム２０１はデータベース２０２の履歴テーブル３２００のうち製品ＩＤ３２０１が一致するテーブルに、シーケンス番号３２０４を追加し、かつ作業開始日時３２０５、及び装置ＩＤ３２０７を記録する（ステップＳ５０３）。
【００３１】
製造装置２０６は、処理を完了したら、通信網２０７を介して生産制御システム２０１に作業終了日時と処理データ（処理条件）を送信する。生産制御システム２０１は、送られた情報をデータベース２０２の履歴テーブル３２００のうち製品ＩＤ３２０１が一致するテーブルに、作業終了日時３２０６及び処理データ３２０８を記録する（ステップＳ５０４）。
【００３２】
このような処理を各製品の各処理工程で行うことで、製造ライン内での処理情報をデータベース２０２に蓄積する。
【００３３】
生産制御システム２０１は、履歴テーブル３２００の作業終了日時３２０６と処理データ３２０８への情報記録作業が完了したら、記録した履歴テーブルの製品ＩＤ３２０１、工程手順名３２０２、シーケンス番号３２０４、作業開始日時３２０５、作業終了日時３２０６、装置ＩＤ３２０７、及び処理データ３２０８を、通信網２０７を介して品質管理システム２０３に送信する。
【００３４】
図５は、生産制御システム２０１から情報を受信した後の品質管理システム２０３の動作を示すフローチャートである。品質管理システム２０３は、生産制御システム２０１から送られてきた製品ＩＤに対応する層別テーブル４１００の有無を確認することにより、処理が終了した製造装置２０６が管理対象であるか否かのチェックを行う（ステップＳ６０１）。管理対象としない装置の例として、例えば測定装置を挙げることができる。例えばずっと同じ測定値を出し続けるなどの場合には、本実施形態を一部適用することは適当であるが、測定装置は定期的に標準サンプルを用いたチェックを行うなどの方法を取った方が望ましい。
【００３５】
処理が終了した製造装置２０６が管理対象である場合、品質管理システム２０３は、その製品ＩＤに対応する層別テーブル４１００のデータ装置情報４１２０において、処理条件４１２１およびシーケンス番号４１２２が指定されているかチェックする（ステップＳ６０２）。
【００３６】
データ装置情報４１２０の処理条件４１２１およびシーケンス番号４１２２が指定されていない場合、品質管理システム２０３は、送られた処理データ３２０８のうち、規格テーブル４２００の項目名４２０１に対応するデータを検索する。品質管理システム２０３は、検索したデータ（項目名４２０１）に対応するデータテーブル４３００にレコードを追加し、このレコードに製品ＩＤ４３０１、作業終了日時４３０２、および処理データ４３０３を記録する（ステップＳ６０３）。製造装置２０６が加工装置である場合、処理データ４３０３は、処理対象装置の検査結果、例えば加工後の処理対象装置の測定値である。
【００３７】
データ装置情報４１２０内に処理条件４１２１およびシーケンス番号４１２２が指定されている場合、品質管理システム２０３は、生産制御システム２０１より送られた情報、管理装置情報４１１０、およびデータ装置情報４１２０より、作業終了報告を行った製造装置２０６が、管理対象の処理（シーケンス）であるかどうかの判断を行う（ステップＳ６０４）。
【００３８】
管理対象の処理（シーケンス）でないと判断した場合、品質管理システム２０３は、生産制御システム２０１より送られた情報のうち、規格テーブル４２００の項目名４２０１に対応するデータを検索する。品質管理システム２０３は、検索したデータ（項目名４２０１）に対応するデータテーブル４３００において、処理対象製品の製品ＩＤ４３０１及び作業終了日時４３０２が記録されている処理データ欄に、該当するデータ値を記録する（ステップＳ６０５）。
【００３９】
管理対象の処理（シーケンス）であると判断した場合、品質管理システム２０３は、生産制御システム２０１より送られた情報のうち、規格テーブル４２００の項目名４２０１に対応するデータを検索する。品質管理システム２０３は、検索した項目名４２０１に対応する規格テーブル４２００配下のデータテーブル４３００にレコードを追加して、製品ＩＤ４３０１及び作業終了日時４３０２を登録する（ステップＳ６０６）。
【００４０】
品質管理システム２０３は、ステップＳ６０３およびステップＳ６０５で登録された処理データ４３０３に対して、対応する規格テーブル４２００内の規格値４２０２と判定パターン４２０３を用いた規格判定（すなわち異常の有無の判断）を行う（ステップＳ６０７）。規格判定の結果がNGの場合（すなわち異常があると判断した場合）は、NGになった判定パターン４２０３の履歴チェックフィールドのフラグ４２０４を検索して、履歴チェックの有無（すなわち履歴の調査を行なうか否か）を確認する（ステップＳ６０８）。
【００４１】
履歴チェックフィールドのフラグ４２０４が無の場合（すなわち履歴の調査を行わない場合）は、品質管理システム２０３から通信網２０７を介して生産制御システム２０１へ、制御対象となる装置ＩＤと製品ＩＤとを有した制御処理イベント（装置停止情報及び装置処理中止情報）を送信する。制御処理イベントを受け取った生産制御システム２０１は、データベース２０２に記録されている履歴テーブル３２００の該当製品の処理可否状態３２０３を作業不可に変更する。併せて製造装置状態テーブル３３００の該当装置ＩＤの作業可否状態３３０２を作業不可に変更する（ステップＳ６０９）。
【００４２】
履歴チェックフィールドのフラグ４２０４が有の場合（すなわち履歴の調査を行う場合）は、データテーブル４３００の作業終了日時４３０２から、対象となる判定パターン４２０３に記載されている期間４２０６をもとに遡ることにより、検索開始日時を算出する（ステップＳ６１０）。
【００４３】
次いで品質管理システム２０３は、通信網２０７を介して履歴検索システム２０５へ検索処理イベント、管理対象の装置ＩＤ４１１１、階層４２０５、及び算出した検索開始日時を送信する（ステップＳ６１１）。
【００４４】
図６は、履歴検索システム２０５の動作を示すフローチャートである。品質管理システム２０３からイベントおよびこれに付随する情報を受け取った履歴検索システム２０５は、受け取った装置ＩＤと検索開始日時をキーに、生産制御システム２０１が有しているデータベース２０２内の履歴テーブル３２００から、検索開始日時から現在までの期間で、該当装置ＩＤで処理を行った処理対象製品の製品ＩＤ３２０１および作業終了日時３２０６をリストアップする（ステップＳ７０１）。次いで履歴検索システム２０５は、リストアップしたデータの先頭フィールドにポインタを設定する。
【００４５】
次いで履歴検索システム２０５は、ポインタが指しているフィールドに、検索された製品ＩＤが記録されているかチェックする（ステップＳ７０２）。製品ＩＤが記録されている場合、履歴検索システム２０５は、その製品ＩＤをキーに、履歴テーブル３２００より、管理対象となっている製造装置２０６における処理が行なわれた後に、その処理対象装置に処理を行なった製造装置２０６の装置ＩＤをリストアップする（ステップＳ７０３）。このリストアップは、例えば２次汚染の可能性のある製造装置２０６をリストアップすることである。
【００４６】
履歴検索システム２０５は、通信網２０７を介して生産制御システム２０１に、対象となる製品ＩＤとステップＳ７０３でリストアップした装置ＩＤを含む制御処理イベントを送信する。制御処理イベントを受け取った生産制御システム２０１は、データベース２０２に記録されている履歴テーブル３２００の該当製品の処理可否状態３２０３を作業不可に変更する。また生産制御システム２０１は、製造装置状態テーブル３３００の該当装置ＩＤの作業可否状態３３０２を作業不可に変更する（ステップＳ７０４）。
【００４７】
履歴検索システム２０５及び生産制御システム２０１は、ポインタが最終フィールドを指し示すまで、ステップＳ７０２〜ステップＳ７０４の処理を繰り返す。その後、履歴検索システム２０５は、品質管理システム２０３から送られてきた階層４２０５の値をチェックする（ステップＳ７０５）。階層４２０５の値が１以上の場合は、前処理のステップＳ７０３〜ステップＳ７０４で制御対象となった装置、製品および履歴テーブル３２００より、新たな装置ＩＤと検索開始日時を取得する（ステップＳ７０６）。そして、新たな装置ＩＤと検索開始日時でステップＳ７０１〜ステップＳ７０４に示した処理を、階層４２０５の値と同じだけ繰り返す。
【００４８】
次に、図７を用いて、ステップＳ７０１〜ステップＳ７０６における対象製品・装置の検索処理について、製品と処理履歴の関係から改めて説明する。
【００４９】
図７では縦に製品、横に装置を記載している。各製品は左から右の流れで処理され、個々の処理で使用された装置欄に○印で示している。また装置欄の右端に近いほど現時刻に近い履歴であることを示している。処理対象製品Ａが、製造装置２０６の一つである装置Ａ１０１で規格はずれを発生させたとする（８０１）。履歴チェックを行わない場合は、そのまま処理対象製品Ａと装置Ａ１０１が制御対象となる。
【００５０】
履歴チェックを行い、階層が０、そして規格テーブル４２００の期間４２０６とデータテーブル４３００に基づいて算出された検索開始日時が、符号８０２で示す日時であった場合、製品Ａ、Ｃが処理中止の対象となる。そして製品ＡおよびＣが装置Ａ１０１における処理のあとに通過した製造装置２０６である装置Ｂ１０１、Ｄ１０１も、２時汚染の可能性があるため、制御対象となる。
【００５１】
階層が１の場合は、前項の処理で制御対象となった装置Ｂ１０１をキーにするとともに、制御対象となった製品Ａ、Ｃのうちで装置Ｂ１０１での作業終了日時が古い方の日時を検索開始日時８０３として現時点まで検索すると、製品Ｄも制御対象となる。そして、製品Ｄを処理した装置Ｃ１０１が制御対象となる。同様に装置Ｄ１０１をキーにした場合は、検索開始日時８０４から現時点までが対象期間となる。しかし、その間に製品Ａ、Ｃ以外に対象となる履歴はないので、処理対象製品の追加は行わない。
【００５２】
階層が２以上の場合も、同様にして、あらたに制御対象となった製造装置２０６と処理対象製品について、上記と同様の処理を行う。例えば階層が２の場合は、装置キーが装置Ｃ１０１で、製品Ｄの作業終了日時８０５が検索開始日時となる。これにより製品Ｅと装置Ｅ１０１が制御対象となる。また階層が３の場合は、装置キーが装置Ｅ１０１で、製品Ｅの作業終了日時８０６が検索開始日時となり、製品Ｆが制御対象となる。
【００５３】
次に、本実施形態における作用及び効果について説明する。本実施形態によれば、品質管理システム２０３は、処理対象装置がいずれかの製造装置２０６において処理されたときに、当該処理を行った製造装置２０６の装置ＩＤ、及び当該処理における処理条件を取得する（図５のステップＳ６０２，Ｓ６０３）。そして品質管理システム２０３は、記憶している判断基準情報と処理条件に基づいて、取得した装置ＩＤが示す製造装置２０６に異常があるか否かを判断する。このため、処理対象装置がいずれかの製造装置２０６において処理されたときに、その製造装置２０６に異常があるか否かを判断することができる。従って、異常発生から異常特定までの時間を短くすることができる。
【００５４】
さらに生産制御システム２０１は、異常があると判断された製造装置２０６に対応付けて、装置停止情報を記憶する。そして装置停止情報が記憶されている製造装置２０６の動作を停止させる（図４のステップＳ５０５）。したがって、不良品となる処理対象製品が増加することを抑制できる。
【００５５】
また生産制御システム２０１は、異常があると判断された処理対象装置に対応付けて、装置処理中止情報を記憶する。そして装置処理中止情報が記憶されている処理対象装置に対する処理を中止させる（図４のステップＳ５０５）。したがって、異常があると判断された処理対象装置を介して他の製造装置２０６に二次汚染が広がることを抑制できる。
【００５６】
また、ステップＳ６０２、ステップＳ６０４、ステップＳ６０５、及びステップＳ６０６に示した処理により、管理対象の製造装置２０６で処理した製品ＩＤ４３０１、作業終了日時４３０２と、その製造装置２０６で処理された処理対象製品の検査結果を示すデータである処理データ４３０３とを対応させることが可能となる。これにより、製造装置２０６自身の処理した情報だけでは判断できなくても、その処理工程後に検査結果を確認するための工程を設定することで、短時間で該当製造装置および製品の監視が可能となる。
【００５７】
また、ステップＳ６０８、ステップＳ６１０、及びステップＳ６１１の処理によって、該当する製造装置２０６で異常が発生したと推定される日時をデータテーブル４３００の作業終了日時４３０２から取得する。この作業終了日時から現在日時の期間と製造装置２０６をキーにして履歴テーブル３２００のデータを検索することで、ステップＳ７０１に示したように、この製造装置２０６で設定した期間内に処理された処理対象製品を抽出することができる。
【００５８】
そして、抽出された処理対象製品の製品ＩＤに基づいて、異常が発生した製造装置２０６より後にその処理対象製品を処理した製造装置２０６を特定することにより、二次汚染の可能性がある製造装置２０６を特定することができる。
【００５９】
また、検索結果からあらたな作業終了日時(例えば図７の８０２〜８０６)と装置ＩＤを取得して、同様の処理を繰り返すことで、トラブルの影響が及んでいると考えられる製品と製造装置を階層的に検索して制御することが可能となる。
【００６０】
図８は、第２の実施形態に係るシステムの使用態様を示す図である。このシステムは、検索条件を入力するための端末９０１が通信網２０７に接続されている点を除いて、第１の実施形態と同様の構成である。ここでの検索条件は、異常が発生したときに、管理の対象とすべき他の製造装置２０６及び処理対象装置を検索するための条件である。
【００６１】
図９は端末９０１より入力する検索条件の例である。ここで示す検索条件は、検索対象となる期間１００１、検索する階層１００２、制御方法１００３、並びに工程手順名、製品ＩＤ、装置ＩＤ、及び処理条件よりなる検索キー１００４の入力フィールドを有している。
【００６２】
図１０は、図８に示したシステムの動作を示すフローチャートであり、第１の実施形態における図６に相当する図である。利用者は、端末９０１より検索条件を入力し、通信網２０７を介して履歴検索システム２０５へ送信する。検索条件を受け取った履歴検索システム２０５は、受け取った期間１００１と検索キー１００４を用いて、生産制御システム２０１が有しているデータベース２０２内の履歴テーブル３２００から、対象となる処理対象装置の製品ＩＤと製造装置２０６の装置ＩＤを検索する（ステップＳ７０１，Ｓ７０２，Ｓ７０３）。
【００６３】
履歴検索システム２０５は、処理対象装置の製品ＩＤと製造装置２０６の装置ＩＤの検索が完了したら、送られてきた検索条件の制御方法１００３の設定内容を確認する（ステップＳ１１０１）。設定内容が「自動」の場合、履歴検索システム２０５は検索された処理対象装置及び製造装置２０６に対して制御処理を行う。ここでの制御処理は、第１の実施形態において図６のステップＳ７０４で示した処理と同様である（ステップＳ７０４）。
【００６４】
「選択」（手動）の場合、履歴検索システム２０５は、検索した内容をリストアップして保持しておく（ステップＳ１１０１，Ｓ１１０２）。そして、検索処理が指定された階層１００２まで完了したら、検索によってリストアップされた製品ＩＤ及び装置ＩＤを、通信網２０７を介して、検索条件を送信した端末９０１へ送り返す（ステップＳ１１０４）。
【００６５】
図１１は、履歴検索システム２０５から送られた製品および装置ＩＤリストの表示例である。表示されたリストには、検索された装置ＩＤ１２０２、製品ＩＤ１２０３および該装置で処理した作業条件１２０４、及び作業開始・終了日時１２０５，１２０６が表示されている。また各装置ＩＤおよび製品ＩＤごとに選択ボックス１２０１，１２０７を有している。
【００６６】
ユーザは、表示された一覧から、処理を中止したい製造装置２０６および処理対象製品の選択ボックス１２０１，１２０７のフラグをＯｎにして、端末９０１から通信網２０７を介して生産制御システム２０１へ送る。
【００６７】
情報を受け取った生産制御システム２０１は、選択ボックス１２０１，１２０７のフラグがＯｎの製造装置２０６および処理対象製品に対しては、データベース２０２に記録されている履歴テーブル３２００の該当製品の処理可否状態３２０３を作業不可に変更し、かつ製造装置状態テーブル３３００の該当装置ＩＤの作業可否状態３３０２を作業不可に変更する。
【００６８】
以上、本実施形態によれば、第１の実施形態と同様の効果を得ることができる。また、製造装置２０６の処理情報のみでは捕らえることのできない問題（たとえば処理手順や処理条件の設定ミス、汚染や異物混入などの事項）が発生したときに、人が検索条件を設定することで、影響があったと考えられる装置処理および製品の進捗を制御させることで、問題が拡大することを抑制できる。
【００６９】
図１２は、第３の実施形態に係るシステムにおけるデータベース２０２が記憶しているデータの構成を示す図である。本実施形態においてデータベース２０２は、以下を除いて第１または第２の実施形態と同様の構成である。まず、工程手順テーブル３１００に、停止禁止工程、およびそのレベルを指定する項目１３０１が追加されている。そして、製造装置状態テーブル３３００に、装置ごとに制御除外レベルを指定する項目１３０２が追加されている。
【００７０】
図１３は、本実施形態におけるデータベース２０４が記憶しているデータの構成を示す図である。本実施形態においてデータベース２０４は、規格テーブル４２００内の判定パターンごとにレベルを指定する項目１４０１が追加されている点を除いて、第１又は第２の実施形態と同様の構成である。
【００７１】
図１４は、本実施形態におけるシステムの動作を示すフローチャートであり、第１の実施形態における図６に相当する図である。品質管理システム２０３から履歴検索システム２０５に、通信網２０７を介して処理イベント情報が送信されるとき、第１の実施形態に示した情報に加えて該当した判定パターンの項目１４０１のレベル情報も併せて送信する。
【００７２】
品質管理システム２０３が製品履歴検索処理(ステップＳ７０３)を終了した後、制御対象となる製造装置２０６の項目１３０２の除外レベルと、品質管理システム２０３より送られてきたレベル情報１４０１とを比較する（ステップＳ１５０１）。比較の結果、「項目１４０１のレベル情報≦項目１３０２の除外レベル」の場合、品質管理システム２０３は、その製造装置２０６に対する装置停止情報の生成処理を実施しないで次のステップへ進む。「項目１４０１のレベル情報＞項目１３０２の除外レベル」の場合、品質管理システム２０３は、第１の実施形態と同じ制御処理を行い、その製造装置２０６に対する装置停止情報の生成処理を行なう（ステップＳ７０４）。
【００７３】
さらに品質管理システム２０３は、装置処理中止情報の生成処理が行なわれた処理対象製品については、該当製品の履歴テーブル３２００と工程手順テーブル３１００より、その処理対象製品について行なわれた処理を特定する。そして品質管理システム２０３は、特定した処理の項目１３０１の停止禁止工程に設定されている値と品質管理システム２０３より送られてきた項目１４０１のレベル情報を比較する（ステップＳ１５０１）。比較した結果、「項目１４０１のレベル情報＞項目１３０１の停止禁止工程」の場合は、第１の実施形態と同じ制御処理を行い、該当製品の進捗を停止させる。一方、「項目１４０１のレベル情報≦項目１３０１の停止禁止工程」の場合は、該当製品の履歴テーブル３２００内の状態３２０３を作業可から品質管理システム２０３より送られてきた項目１４０１のレベル情報に変更する（ステップＳ７０４）。
【００７４】
図１５は、本実施形態において、処理対象装置を処理するときの動作を示すフローチャートであり、第１の実施形態の図４に相当する図である。本図に示す処理は、ステップＳ５０１〜ステップＳ５０４までの処理は、第１の実施形態と同様であるため、説明を省略する。
【００７５】
ステップＳ５０４に示した処理が行なわれた後、処理中の処理対象製品の履歴テーブル３２００における状態３２０３の内容をチェックする（ステップＳ１６０１）。状態３２０３にレベル情報が設定されている場合は、工程手順テーブル３１００と履歴テーブル３２００から次工程の停止禁止工程１３０１の設定値を検索する（ステップＳ１６０２）。「状態３２０３に設定されているレベル値」＞「ステップＳ１６０２で検索した次工程の停止禁止工程１３０１の設定値」の場合は、該当製品の状態３２０３を作業不可に変更する（ステップＳ１６０３）。
【００７６】
本実施形態によっても、第１の実施形態と同様の効果を得ることができる。また、製造装置、処理工程および規格判定パターンにレベル情報を設けることで、製造装置を不必要に停止させることを抑制できる。
【００７７】
以上、図面を参照して本発明の実施形態について述べたが、これらは本発明の例示であり、上記以外の様々な構成を採用することもできる。
【図面の簡単な説明】
【００７８】
【図１】第１の実施の形態における管理システムの使用態様を示すブロック図である。
【図２】データベースが記憶しているデータの構成を示す図である。
【図３】データベースが記憶しているデータの構成を示す図である。
【図４】図１に示したシステムにおいて、処理対象装置を処理するときの動作を示すフローチャートである。
【図５】生産制御システム２０１から情報を受信した後の品質管理システム２０３の動作を示すフローチャートである。
【図６】履歴検索システム２０５の動作を示すフローチャートである。
【図７】図６のステップＳ７０１〜ステップＳ７０６における対象製品・装置の検索処理について説明する図である。
【図８】第２の実施形態に係るシステムの使用態様を示す図である。
【図９】端末９０１より入力する検索条件の例である。
【図１０】図８に示したシステムの動作を示すフローチャートである。
【図１１】履歴検索システム２０５から送られた製品および装置ＩＤリストの表示例である。
【図１２】第３の実施形態に係るシステムにおけるデータベースが記憶しているデータの構成を示す図である。
【図１３】データベースが記憶しているデータの構成を示す図である。
【図１４】システムの動作を示すフローチャートである。
【図１５】処理対象装置を処理するときの動作を示すフローチャートである。
【図１６】特許文献１に記載の生産管理システムの判定値算出装置を説明する図である。
【符号の説明】
【００７９】
１０１ 中央制御装置
１０２ 製造装置
１０３ テスト装置
１０４ ネットワーク
２０１ 生産制御システム
２０２ データベース
２０３ 品質管理システム
２０４ データベース
２０５ 履歴検索システム
２０６ 製造装置
２０７ 通信網
８０２ 符号
８０３ 検索開始日時
８０４ 検索開始日時
８０５ 作業終了日時
８０６ 作業終了日時
９０１ 端末
１００１ 期間
１００２ 階層
１００３ 制御方法
１００４ 検索キー
１２０１ 選択ボックス
１２０２ 装置ＩＤ
１２０３ 製品ＩＤ
１２０４ 作業条件
１２０５ 作業開始日時
１２０６ 作業終了日時
１２０７ 選択ボックス
１３０１ 項目
１３０２ 項目
１４０１ 項目
３１００ 工程手順テーブル
３１０１ 工程手順名
３１０２ シーケンス番号
３１０３ 処理条件
３２００ 履歴テーブル
３２０１ 製品ＩＤ
３２０２ 工程手順名
３２０３ 処理可否状態
３２０４ シーケンス番号
３２０５ 作業開始日時
３２０６ 作業終了日時
３２０７ 装置ＩＤ
３２０８ 処理データ
３３００ 製造装置状態テーブル
３３０１ 装置ＩＤ
３３０２ 作業可否状態
４１００ 層別テーブル
４１０１ ＩＤ
４１１０ 管理装置情報
４１１１ 装置ＩＤ
４１１２ 工程手順名
４１１３ 処理条件
４１１４ シーケンス番号
４１２０ データ装置情報
４１２１ 処理条件
４１２２ シーケンス番号
４２００ 規格テーブル
４２０１ 項目名
４２０２ 規格値
４２０３ 判定パターン
４２０４ フラグ
４２０５ 階層
４２０６ 期間
４３００ データテーブル
４３０１ 製品ＩＤ
４３０２ 作業終了日時
４３０３ 処理データ
４３０４ 規格判定結果
【技術分野】
【０００１】
本発明は、互いに異なる処理を行う複数の製造装置を有する半導体製造システムを管理する管理システム及び管理方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
複数の製造装置を有する半導体製造システムにおいて、製造装置に異常が発生した場合、該当装置の異常状態を放置してそのまま処理を続けると大量の不良品が発生する可能性がある。また、異常な装置で処理された中間製品に対して後続プロセスを継続することは、製造ラインのリソースを無駄に使用することになる。これらの問題に対応するために、製造装置を管理するシステムを用いて管理する方法が提案されている（例えば特許文献１参照）。なお、ここで言う製造装置の異常とは必ずしも処理された製品に悪影響が有る場合を意味するわけではなく、装置の情報（プロセス結果のトレンドが要注意状態にあるとか、通常は規格範囲内にあるプロセス結果が規格範囲から外れたなど）から、装置をチェックした方が良いと判断される状態を意味している。
【０００３】
ここで、図１６を用いて、特許文献１に記載の生産管理システムの判定値算出装置を説明する。製造装置１０２は、ネットワーク１０４を介して中央制御装置１０１に接続している。また、処理された製品をチェックするためのテスト装置１０３もネットワーク１０４を介して中央制御装置１０１に接続している。中央制御装置１０１は、各製造装置１０２の処理条件、処理状況を把握する。これにより中央制御装置１０１はどの製造装置１０２にどの製品が通過して処理されたかを管理することが可能となる。
【０００４】
また、中央制御装置１０１は、テスト装置１０３からネットワーク１０４を介して中央制御装置１０１へ送られてくるデータをもとに、良品／不良品の判別を行うとともに不良分類別にして集計を行う。そして中央制御装置１０１は、集計結果と過去に発生して記録されている不良内容を比較して、不良原因を発生させていると判断した製造装置１０２へネットワーク１０４を介して警告し、製造現場の装置管理者に調整やメンテナンスを促す。
【特許文献１】特開平８−１９５４０６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
特許文献１に記載の技術では、テスト装置でデータを収集しなければ、不良原因を発生させたと考えられる製造装置すなわち異常を有する製造装置を特定することができない。このため、異常発生から異常確認までの間に時間が経過する。その間、問題のある製造装置で製造処理を継続することになる。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明によれば、互いに異なる処理を行う複数の製造装置を有する半導体製造システムを管理する管理システムであって、
前記複数の製造装置それぞれごとに、当該製造装置が異常を有すると判断するための判断基準情報を、前記製造装置を相互に識別する装置ＩＤに対応付けて記憶している判断基準記憶部と、
処理対象装置がいずれかの前記製造装置において処理されたときに、当該処理を行った前記製造装置の前記装置ＩＤ、及び当該処理における処理条件を取得する処理条件取得部と、
前記処理条件取得部が取得した前記装置ＩＤに対応する前記判断基準情報を前記判断基準記憶部から読み出し、読みだした前記判断基準情報と前記処理条件に基づいて、前記処理条件取得部が取得した前記装置ＩＤが示す前記製造装置に異常があるか否かを判断する異常判断部と、
異常があると前記異常判断部が判断した時に、前記処理条件取得部が取得した前記装置ＩＤが示す前記製造装置の動作を停止させるための情報である装置停止情報を生成する停止情報生成部と、
を備える管理システムが提供される。
【０００７】
なお、以上の構成要素の任意の組合せ、本発明の表現を方法、装置、システム、記録媒体、コンピュータプログラムなどの間で変換したものもまた、本発明の態様として有効である。
【０００８】
本発明によれば、処理条件取得部は、処理対象装置がいずれかの製造装置において処理されたときに、当該処理を行った製造装置の装置ＩＤ、及び当該処理における処理条件を取得する。そして異常判断部は、判断基準記憶部が記憶している判断基準情報と処理条件に基づいて、処理条件取得部が取得した装置ＩＤが示す製造装置に異常があるか否かを判断する。このため、処理対象装置がいずれかの製造装置において処理されたときに、その製造装置に異常があるか否かを判断することができる。従って、異常発生から異常検出までの時間を短くすることができる。
【０００９】
本発明によれば、互いに異なる処理を行う複数の製造装置を有する半導体製造システムを管理する管理方法であって、
コンピュータが、前記複数の製造装置それぞれごとに、当該製造装置が異常を有すると判断するための判断基準情報を、前記製造装置を相互に識別する装置ＩＤに対応付けて記憶しておき、
処理対象装置がいずれかの前記製造装置において処理されたときに、前記コンピュータが、当該処理を行った前記製造装置の前記装置ＩＤ、及び当該処理における処理条件を取得し、
前記コンピュータが、取得した前記装置ＩＤに対応する前記判断基準情報と前記処理条件に基づいて、取得した前記装置ＩＤが示す前記製造装置に異常があるか否かを判断し、異常があると判断した時に、取得した前記装置ＩＤが示す前記製造装置の動作を停止させるための情報である装置停止情報を生成する管理方法が提供される。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、互いに異なる処理を行う複数の製造装置を有する半導体製造システムにおいて、異常発生から異常検出までの時間を短くすることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
以下、本発明の実施の形態について、図面を用いて説明する。尚、すべての図面において、同様な構成要素には同様の符号を付し、適宜説明を省略する。
【００１２】
図１は、第１の実施の形態における管理システムの使用態様を示すブロック図である。この管理システムは、互いに異なる処理を行う複数の製造装置２０６を有する半導体製造システムを管理する管理システムである。管理システムは、判断基準記憶部（データベース２０４）、処理条件取得部（品質管理システム２０３）、異常判断部（品質管理システム２０３）、及び停止情報生成部（品質管理システム２０３）を備える。判断基準記憶部は、複数の製造装置２０６それぞれごとに、当該製造装置２０６が異常を有すると判断するための判断基準情報を、製造装置２０６を相互に識別する装置ＩＤに対応付けて記憶している。処理条件取得部は、処理対象装置がいずれかの製造装置２０６において処理されたときに、当該処理を行った製造装置２０６の装置ＩＤ、及び当該処理における処理条件を取得する。異常判断部は、処理条件取得部が取得した装置ＩＤに対応する判断基準情報を判断基準記憶部から読み出し、読みだした判断基準情報と処理条件に基づいて、処理条件取得部が取得した装置ＩＤが示す製造装置２０６に異常があるか否かを判断する。停止情報生成部は、製造装置２０６に異常があると異常判断部が判断した時に、処理条件取得部が取得した装置ＩＤが示す製造装置２０６の動作を停止させるための情報である装置停止情報を生成する。判断基準情報は、例えば、ＪＩＳ規格で定められた異常パターン(管理特性値が連続6点増加する等)とか、経験に基づいてその製造ライン独自で定めた管理特性値の異常パターン、あるいは、その製造装置で処理した管理特性値（例えば成膜された膜の膜厚）が対象製品の管理規格範囲を外れたかどうかなどである。
【００１３】
各製造装置２０６と品質管理システム２０３は、通信網２０７を介して互いに接続している。通信網２０７には、さらに生産制御システム２０１（処理条件管理部）及び履歴検索システム２０５が接続している。生産制御システム２０１は、データベース２０２にも接続しており、各製造装置２０６における処理条件を各製造装置２０６から取得する。そして、いずれかの製造装置２０６が新たに処理対象装置を処理して新たな処理条件をその製造装置２０６から取得したときに、品質管理システム２０３に、この新たな処理条件を装置ＩＤに対応付けて送信する。
【００１４】
また生産制御システム２０１（装置停止情報記憶部）は、装置停止情報と装置ＩＤを対応付けて記憶する。そして生産制御システム２０１（処理前装置ＩＤ取得部）は、処理対象装置がいずれかの製造装置２０６において処理されるときに、当該製造装置２０６の装置ＩＤを取得する。生産制御システム２０１は、取得した装置ＩＤに対応する装置停止情報を記憶していたときに、取得した装置ＩＤに対応する製造装置２０６の動作を停止させる。
【００１５】
さらに品質管理システム２０３（処理条件取得部）は、装置ＩＤ及び処理条件に対応付けて、処理対象装置を相互に識別する製品ＩＤを取得する。品質管理システム２０３（停止情報生成部）は、品質管理システム２０３（処理条件取得部）が取得した装置ＩＤが示す製造装置２０６に異常があると判断した時に、品質管理システム２０３（処理条件取得部）が取得した製品ＩＤが示す処理対象装置への処理を中止するための情報である装置処理中止情報を生成する。
【００１６】
このとき、生産制御システム２０１（装置処理中止情報記憶部）は、装置処理中止情報と前記製品ＩＤを対応付けて記憶する。そして生産制御システム２０１（処理前製品ＩＤ取得部）は、処理対象装置がいずれかの製造装置２０６において処理されるときに、処理対象となっている処理対象装置の製品ＩＤを取得する。そして生産制御システム２０１（装置処理停止指令送信部）は、生産制御システム２０１（処理前製品ＩＤ取得部）が取得した製品ＩＤに対応する装置処理中止情報が生産制御システム２０１（装置処理中止情報記憶部）に記憶されていたときに、生産制御システム２０１（処理前製品ＩＤ取得部）が取得した製品ＩＤに対応する処理対象装置への処理を停止させる。
【００１７】
図１に示した生産制御システム２０１および品質管理システム２０３の各機能は、ハードウエア単位の構成ではなく、機能単位のブロックを示している。品質管理システムの各構成要素は、任意のコンピュータのＣＰＵ、メモリ、メモリにロードされた本図の構成要素を実現するプログラム、そのプログラムを格納するハードディスクなどの記憶ユニット、ネットワーク接続用インタフェースを中心にハードウエアとソフトウエアの任意の組合せによって実現される。そして、その実現方法、装置には様々な変形例があることは、当業者には理解されるところである。
【００１８】
図２は、データベース２０２が記憶しているデータの構成を示す図である。データベース２０２は、工程手順テーブル３１００、履歴テーブル３２００、及び製造装置状態テーブル３３００を有している。工程手順テーブル３１００は、各製品の製造手順と各工程の処理条件を記録している。履歴テーブル３２００は、各製品の進捗履歴を記録している。製造装置状態テーブル３３００は、各製造装置２０６の作業可否状態を記録している。
【００１９】
詳細には、工程手順テーブル３１００は、製造ラインで製造する品種ごとに工程手順名３１０１というキー項目を有している。このキー項目のもとに、処理順を示すシーケンス番号３１０２と個々の処理内容を指定した処理条件３１０３が記録されている。
【００２０】
履歴テーブル３２００は、製造ラインで処理されている処理対象装置ごとに、処理対象装置を相互に識別する製品ＩＤ３２０１と、その処理対象装置と紐づいている工程手順名３２０２が記録されている。製品ＩＤ３２０１は、処理対象装置を相互に識別するＩＤであり、例えばロット番号である。また履歴テーブル３２００は、各処理対象装置に対して継続して処理を行なってよいか否かを示す処理可否状態３２０３と、処理された履歴順を示すシーケンス番号３２０４、処理された工程の作業開始日時３２０５、作業終了日時３２０６、処理対象装置を処理した製造装置２０６を示す装置ＩＤ３２０７、および各製造装置２０６で処理されたときの処理温度、圧力、ガス流量、電流、電圧、寸法、膜厚などの処理条件を示す処理データ３２０８が項目名と一緒に記録されている。
【００２１】
製造装置状態テーブル３３００（装置停止情報記憶部）は、各製造装置２０６を相互に識別するための装置ＩＤ３３０１と、各製造装置２０６の作業可否状態３３０２すなわち装置停止情報の有無が記録されている。
【００２２】
図３は、データベース２０４が記憶しているデータの構成を示す図である。データベース２０４は、層別テーブル４１００、規格テーブル４２００（判断基準記憶部）、及びデータテーブル４３００を有している。規格テーブル４２００は層別テーブル４１００の配下に位置しており、データテーブル４３００は規格テーブル４２００の配下に位置している。
【００２３】
層別テーブル４１００は、生産制御システム２０１より送られてきた処理条件をフィルタリングするための情報を記録している。層別テーブル４１００は、各フィルタリング情報を管理するためのＩＤ４１０１、フィルタリングの対象となる製造装置２０６を指定する管理装置情報４１１０、および処理データを送信する装置を指定するデータ装置情報４１２０を有している。
【００２４】
管理装置情報４１１０には、フィルタリングの対象となる製造装置２０６を特定するための装置ＩＤ４１１１、工程手順名４１１２、処理条件４１１３、シーケンス番号４１１４が含まれている。データ装置情報４１２０には、処理データを送信する装置および処理工程を特定するための処理条件４１２１、及びシーケンス番号４１２２が含まれている。
【００２５】
規格テーブル４２００は、製造装置２０６が異常を有すると判断するための判断基準情報を装置ＩＤ４１１１に対応付けて記憶している。詳細には、規格テーブル４２００には、異常の有無を判定する際に用いられる処理データの項目名４２０１、処理データに対する規格値４２０２、規格の判定パターン４２０３、及び規格はずれ（異常）と判断されたときの履歴チェックの有無を指定したフラグ４２０４を有している。ここでの履歴チェックとは、製造装置２０６の作業履歴をチェックすることである。また規格テーブル４２００は、履歴チェックを行なうと指定された項目について、階層４２０５および履歴チェックの対象となる期間４２０６も記憶している。
【００２６】
データテーブル４３００は、規格（判断基準情報）ごとの判定結果を記録している。詳細には、データテーブル４３００は、処理された製品ＩＤ４３０１、作業終了日時４３０２、処理データ４３０３、および規格判定結果４３０４を記録している。
【００２７】
図４は、図１に示したシステムにおいて、処理対象装置を処理するときの動作を示すフローチャートである。まず、複数の処理対象装置を所定の製造装置２０６にセットする。製造装置２０６は、セットされた処理対象装置の製品ＩＤ３２０１を取得して、通信網２０７を介して生産制御システム２０１へ送る。
【００２８】
生産制御システム２０１は、送られた製品ＩＤ３２０１に基づいて履歴テーブル３２００をデータベース２０２より検索し、検索した履歴テーブル３２００における処理可否状態３２０３のデータをチェックする。ここで生産制御システム２０１は、セットされた処理対象装置に対して、装置処理中止情報（すなわち処理を中止する旨の情報）が記憶されているか否かを確認する（ステップＳ５０１）。装置処理中止情報が記憶されている場合、この製品ＩＤ３２０１を送った製造装置２０６にアラーム情報を返して、これ以降の処理を中止させる（ステップＳ５０５）。
【００２９】
また生産制御システム２０１は、製品ＩＤ３２０１を送った製造装置２０６の装置ＩＤ３３０１に基づいて、製造装置状態テーブル３３００を検索する。そして、この製造装置２０６の作業可否状態３３０２すなわち装置停止情報の有無を確認する（ステップＳ５０２）。確認の結果、この製造装置２０６に対応する装置停止情報が記憶されていた場合、この装置ＩＤ３３０１に対応する製造装置２０６にアラーム情報を返して、これ以降の処理を中止させる（ステップＳ５０５）。
【００３０】
処理対象装置及び製造装置２０６のいずれにも装置処理中止情報及び装置停止情報が記憶されていなかったとき、生産制御システム２０１は、通信網２０７を介して該当製造装置２０６へ該当製品の処理開始を指示する。また、生産制御システム２０１はデータベース２０２の履歴テーブル３２００のうち製品ＩＤ３２０１が一致するテーブルに、シーケンス番号３２０４を追加し、かつ作業開始日時３２０５、及び装置ＩＤ３２０７を記録する（ステップＳ５０３）。
【００３１】
製造装置２０６は、処理を完了したら、通信網２０７を介して生産制御システム２０１に作業終了日時と処理データ（処理条件）を送信する。生産制御システム２０１は、送られた情報をデータベース２０２の履歴テーブル３２００のうち製品ＩＤ３２０１が一致するテーブルに、作業終了日時３２０６及び処理データ３２０８を記録する（ステップＳ５０４）。
【００３２】
このような処理を各製品の各処理工程で行うことで、製造ライン内での処理情報をデータベース２０２に蓄積する。
【００３３】
生産制御システム２０１は、履歴テーブル３２００の作業終了日時３２０６と処理データ３２０８への情報記録作業が完了したら、記録した履歴テーブルの製品ＩＤ３２０１、工程手順名３２０２、シーケンス番号３２０４、作業開始日時３２０５、作業終了日時３２０６、装置ＩＤ３２０７、及び処理データ３２０８を、通信網２０７を介して品質管理システム２０３に送信する。
【００３４】
図５は、生産制御システム２０１から情報を受信した後の品質管理システム２０３の動作を示すフローチャートである。品質管理システム２０３は、生産制御システム２０１から送られてきた製品ＩＤに対応する層別テーブル４１００の有無を確認することにより、処理が終了した製造装置２０６が管理対象であるか否かのチェックを行う（ステップＳ６０１）。管理対象としない装置の例として、例えば測定装置を挙げることができる。例えばずっと同じ測定値を出し続けるなどの場合には、本実施形態を一部適用することは適当であるが、測定装置は定期的に標準サンプルを用いたチェックを行うなどの方法を取った方が望ましい。
【００３５】
処理が終了した製造装置２０６が管理対象である場合、品質管理システム２０３は、その製品ＩＤに対応する層別テーブル４１００のデータ装置情報４１２０において、処理条件４１２１およびシーケンス番号４１２２が指定されているかチェックする（ステップＳ６０２）。
【００３６】
データ装置情報４１２０の処理条件４１２１およびシーケンス番号４１２２が指定されていない場合、品質管理システム２０３は、送られた処理データ３２０８のうち、規格テーブル４２００の項目名４２０１に対応するデータを検索する。品質管理システム２０３は、検索したデータ（項目名４２０１）に対応するデータテーブル４３００にレコードを追加し、このレコードに製品ＩＤ４３０１、作業終了日時４３０２、および処理データ４３０３を記録する（ステップＳ６０３）。製造装置２０６が加工装置である場合、処理データ４３０３は、処理対象装置の検査結果、例えば加工後の処理対象装置の測定値である。
【００３７】
データ装置情報４１２０内に処理条件４１２１およびシーケンス番号４１２２が指定されている場合、品質管理システム２０３は、生産制御システム２０１より送られた情報、管理装置情報４１１０、およびデータ装置情報４１２０より、作業終了報告を行った製造装置２０６が、管理対象の処理（シーケンス）であるかどうかの判断を行う（ステップＳ６０４）。
【００３８】
管理対象の処理（シーケンス）でないと判断した場合、品質管理システム２０３は、生産制御システム２０１より送られた情報のうち、規格テーブル４２００の項目名４２０１に対応するデータを検索する。品質管理システム２０３は、検索したデータ（項目名４２０１）に対応するデータテーブル４３００において、処理対象製品の製品ＩＤ４３０１及び作業終了日時４３０２が記録されている処理データ欄に、該当するデータ値を記録する（ステップＳ６０５）。
【００３９】
管理対象の処理（シーケンス）であると判断した場合、品質管理システム２０３は、生産制御システム２０１より送られた情報のうち、規格テーブル４２００の項目名４２０１に対応するデータを検索する。品質管理システム２０３は、検索した項目名４２０１に対応する規格テーブル４２００配下のデータテーブル４３００にレコードを追加して、製品ＩＤ４３０１及び作業終了日時４３０２を登録する（ステップＳ６０６）。
【００４０】
品質管理システム２０３は、ステップＳ６０３およびステップＳ６０５で登録された処理データ４３０３に対して、対応する規格テーブル４２００内の規格値４２０２と判定パターン４２０３を用いた規格判定（すなわち異常の有無の判断）を行う（ステップＳ６０７）。規格判定の結果がNGの場合（すなわち異常があると判断した場合）は、NGになった判定パターン４２０３の履歴チェックフィールドのフラグ４２０４を検索して、履歴チェックの有無（すなわち履歴の調査を行なうか否か）を確認する（ステップＳ６０８）。
【００４１】
履歴チェックフィールドのフラグ４２０４が無の場合（すなわち履歴の調査を行わない場合）は、品質管理システム２０３から通信網２０７を介して生産制御システム２０１へ、制御対象となる装置ＩＤと製品ＩＤとを有した制御処理イベント（装置停止情報及び装置処理中止情報）を送信する。制御処理イベントを受け取った生産制御システム２０１は、データベース２０２に記録されている履歴テーブル３２００の該当製品の処理可否状態３２０３を作業不可に変更する。併せて製造装置状態テーブル３３００の該当装置ＩＤの作業可否状態３３０２を作業不可に変更する（ステップＳ６０９）。
【００４２】
履歴チェックフィールドのフラグ４２０４が有の場合（すなわち履歴の調査を行う場合）は、データテーブル４３００の作業終了日時４３０２から、対象となる判定パターン４２０３に記載されている期間４２０６をもとに遡ることにより、検索開始日時を算出する（ステップＳ６１０）。
【００４３】
次いで品質管理システム２０３は、通信網２０７を介して履歴検索システム２０５へ検索処理イベント、管理対象の装置ＩＤ４１１１、階層４２０５、及び算出した検索開始日時を送信する（ステップＳ６１１）。
【００４４】
図６は、履歴検索システム２０５の動作を示すフローチャートである。品質管理システム２０３からイベントおよびこれに付随する情報を受け取った履歴検索システム２０５は、受け取った装置ＩＤと検索開始日時をキーに、生産制御システム２０１が有しているデータベース２０２内の履歴テーブル３２００から、検索開始日時から現在までの期間で、該当装置ＩＤで処理を行った処理対象製品の製品ＩＤ３２０１および作業終了日時３２０６をリストアップする（ステップＳ７０１）。次いで履歴検索システム２０５は、リストアップしたデータの先頭フィールドにポインタを設定する。
【００４５】
次いで履歴検索システム２０５は、ポインタが指しているフィールドに、検索された製品ＩＤが記録されているかチェックする（ステップＳ７０２）。製品ＩＤが記録されている場合、履歴検索システム２０５は、その製品ＩＤをキーに、履歴テーブル３２００より、管理対象となっている製造装置２０６における処理が行なわれた後に、その処理対象装置に処理を行なった製造装置２０６の装置ＩＤをリストアップする（ステップＳ７０３）。このリストアップは、例えば２次汚染の可能性のある製造装置２０６をリストアップすることである。
【００４６】
履歴検索システム２０５は、通信網２０７を介して生産制御システム２０１に、対象となる製品ＩＤとステップＳ７０３でリストアップした装置ＩＤを含む制御処理イベントを送信する。制御処理イベントを受け取った生産制御システム２０１は、データベース２０２に記録されている履歴テーブル３２００の該当製品の処理可否状態３２０３を作業不可に変更する。また生産制御システム２０１は、製造装置状態テーブル３３００の該当装置ＩＤの作業可否状態３３０２を作業不可に変更する（ステップＳ７０４）。
【００４７】
履歴検索システム２０５及び生産制御システム２０１は、ポインタが最終フィールドを指し示すまで、ステップＳ７０２〜ステップＳ７０４の処理を繰り返す。その後、履歴検索システム２０５は、品質管理システム２０３から送られてきた階層４２０５の値をチェックする（ステップＳ７０５）。階層４２０５の値が１以上の場合は、前処理のステップＳ７０３〜ステップＳ７０４で制御対象となった装置、製品および履歴テーブル３２００より、新たな装置ＩＤと検索開始日時を取得する（ステップＳ７０６）。そして、新たな装置ＩＤと検索開始日時でステップＳ７０１〜ステップＳ７０４に示した処理を、階層４２０５の値と同じだけ繰り返す。
【００４８】
次に、図７を用いて、ステップＳ７０１〜ステップＳ７０６における対象製品・装置の検索処理について、製品と処理履歴の関係から改めて説明する。
【００４９】
図７では縦に製品、横に装置を記載している。各製品は左から右の流れで処理され、個々の処理で使用された装置欄に○印で示している。また装置欄の右端に近いほど現時刻に近い履歴であることを示している。処理対象製品Ａが、製造装置２０６の一つである装置Ａ１０１で規格はずれを発生させたとする（８０１）。履歴チェックを行わない場合は、そのまま処理対象製品Ａと装置Ａ１０１が制御対象となる。
【００５０】
履歴チェックを行い、階層が０、そして規格テーブル４２００の期間４２０６とデータテーブル４３００に基づいて算出された検索開始日時が、符号８０２で示す日時であった場合、製品Ａ、Ｃが処理中止の対象となる。そして製品ＡおよびＣが装置Ａ１０１における処理のあとに通過した製造装置２０６である装置Ｂ１０１、Ｄ１０１も、２時汚染の可能性があるため、制御対象となる。
【００５１】
階層が１の場合は、前項の処理で制御対象となった装置Ｂ１０１をキーにするとともに、制御対象となった製品Ａ、Ｃのうちで装置Ｂ１０１での作業終了日時が古い方の日時を検索開始日時８０３として現時点まで検索すると、製品Ｄも制御対象となる。そして、製品Ｄを処理した装置Ｃ１０１が制御対象となる。同様に装置Ｄ１０１をキーにした場合は、検索開始日時８０４から現時点までが対象期間となる。しかし、その間に製品Ａ、Ｃ以外に対象となる履歴はないので、処理対象製品の追加は行わない。
【００５２】
階層が２以上の場合も、同様にして、あらたに制御対象となった製造装置２０６と処理対象製品について、上記と同様の処理を行う。例えば階層が２の場合は、装置キーが装置Ｃ１０１で、製品Ｄの作業終了日時８０５が検索開始日時となる。これにより製品Ｅと装置Ｅ１０１が制御対象となる。また階層が３の場合は、装置キーが装置Ｅ１０１で、製品Ｅの作業終了日時８０６が検索開始日時となり、製品Ｆが制御対象となる。
【００５３】
次に、本実施形態における作用及び効果について説明する。本実施形態によれば、品質管理システム２０３は、処理対象装置がいずれかの製造装置２０６において処理されたときに、当該処理を行った製造装置２０６の装置ＩＤ、及び当該処理における処理条件を取得する（図５のステップＳ６０２，Ｓ６０３）。そして品質管理システム２０３は、記憶している判断基準情報と処理条件に基づいて、取得した装置ＩＤが示す製造装置２０６に異常があるか否かを判断する。このため、処理対象装置がいずれかの製造装置２０６において処理されたときに、その製造装置２０６に異常があるか否かを判断することができる。従って、異常発生から異常特定までの時間を短くすることができる。
【００５４】
さらに生産制御システム２０１は、異常があると判断された製造装置２０６に対応付けて、装置停止情報を記憶する。そして装置停止情報が記憶されている製造装置２０６の動作を停止させる（図４のステップＳ５０５）。したがって、不良品となる処理対象製品が増加することを抑制できる。
【００５５】
また生産制御システム２０１は、異常があると判断された処理対象装置に対応付けて、装置処理中止情報を記憶する。そして装置処理中止情報が記憶されている処理対象装置に対する処理を中止させる（図４のステップＳ５０５）。したがって、異常があると判断された処理対象装置を介して他の製造装置２０６に二次汚染が広がることを抑制できる。
【００５６】
また、ステップＳ６０２、ステップＳ６０４、ステップＳ６０５、及びステップＳ６０６に示した処理により、管理対象の製造装置２０６で処理した製品ＩＤ４３０１、作業終了日時４３０２と、その製造装置２０６で処理された処理対象製品の検査結果を示すデータである処理データ４３０３とを対応させることが可能となる。これにより、製造装置２０６自身の処理した情報だけでは判断できなくても、その処理工程後に検査結果を確認するための工程を設定することで、短時間で該当製造装置および製品の監視が可能となる。
【００５７】
また、ステップＳ６０８、ステップＳ６１０、及びステップＳ６１１の処理によって、該当する製造装置２０６で異常が発生したと推定される日時をデータテーブル４３００の作業終了日時４３０２から取得する。この作業終了日時から現在日時の期間と製造装置２０６をキーにして履歴テーブル３２００のデータを検索することで、ステップＳ７０１に示したように、この製造装置２０６で設定した期間内に処理された処理対象製品を抽出することができる。
【００５８】
そして、抽出された処理対象製品の製品ＩＤに基づいて、異常が発生した製造装置２０６より後にその処理対象製品を処理した製造装置２０６を特定することにより、二次汚染の可能性がある製造装置２０６を特定することができる。
【００５９】
また、検索結果からあらたな作業終了日時(例えば図７の８０２〜８０６)と装置ＩＤを取得して、同様の処理を繰り返すことで、トラブルの影響が及んでいると考えられる製品と製造装置を階層的に検索して制御することが可能となる。
【００６０】
図８は、第２の実施形態に係るシステムの使用態様を示す図である。このシステムは、検索条件を入力するための端末９０１が通信網２０７に接続されている点を除いて、第１の実施形態と同様の構成である。ここでの検索条件は、異常が発生したときに、管理の対象とすべき他の製造装置２０６及び処理対象装置を検索するための条件である。
【００６１】
図９は端末９０１より入力する検索条件の例である。ここで示す検索条件は、検索対象となる期間１００１、検索する階層１００２、制御方法１００３、並びに工程手順名、製品ＩＤ、装置ＩＤ、及び処理条件よりなる検索キー１００４の入力フィールドを有している。
【００６２】
図１０は、図８に示したシステムの動作を示すフローチャートであり、第１の実施形態における図６に相当する図である。利用者は、端末９０１より検索条件を入力し、通信網２０７を介して履歴検索システム２０５へ送信する。検索条件を受け取った履歴検索システム２０５は、受け取った期間１００１と検索キー１００４を用いて、生産制御システム２０１が有しているデータベース２０２内の履歴テーブル３２００から、対象となる処理対象装置の製品ＩＤと製造装置２０６の装置ＩＤを検索する（ステップＳ７０１，Ｓ７０２，Ｓ７０３）。
【００６３】
履歴検索システム２０５は、処理対象装置の製品ＩＤと製造装置２０６の装置ＩＤの検索が完了したら、送られてきた検索条件の制御方法１００３の設定内容を確認する（ステップＳ１１０１）。設定内容が「自動」の場合、履歴検索システム２０５は検索された処理対象装置及び製造装置２０６に対して制御処理を行う。ここでの制御処理は、第１の実施形態において図６のステップＳ７０４で示した処理と同様である（ステップＳ７０４）。
【００６４】
「選択」（手動）の場合、履歴検索システム２０５は、検索した内容をリストアップして保持しておく（ステップＳ１１０１，Ｓ１１０２）。そして、検索処理が指定された階層１００２まで完了したら、検索によってリストアップされた製品ＩＤ及び装置ＩＤを、通信網２０７を介して、検索条件を送信した端末９０１へ送り返す（ステップＳ１１０４）。
【００６５】
図１１は、履歴検索システム２０５から送られた製品および装置ＩＤリストの表示例である。表示されたリストには、検索された装置ＩＤ１２０２、製品ＩＤ１２０３および該装置で処理した作業条件１２０４、及び作業開始・終了日時１２０５，１２０６が表示されている。また各装置ＩＤおよび製品ＩＤごとに選択ボックス１２０１，１２０７を有している。
【００６６】
ユーザは、表示された一覧から、処理を中止したい製造装置２０６および処理対象製品の選択ボックス１２０１，１２０７のフラグをＯｎにして、端末９０１から通信網２０７を介して生産制御システム２０１へ送る。
【００６７】
情報を受け取った生産制御システム２０１は、選択ボックス１２０１，１２０７のフラグがＯｎの製造装置２０６および処理対象製品に対しては、データベース２０２に記録されている履歴テーブル３２００の該当製品の処理可否状態３２０３を作業不可に変更し、かつ製造装置状態テーブル３３００の該当装置ＩＤの作業可否状態３３０２を作業不可に変更する。
【００６８】
以上、本実施形態によれば、第１の実施形態と同様の効果を得ることができる。また、製造装置２０６の処理情報のみでは捕らえることのできない問題（たとえば処理手順や処理条件の設定ミス、汚染や異物混入などの事項）が発生したときに、人が検索条件を設定することで、影響があったと考えられる装置処理および製品の進捗を制御させることで、問題が拡大することを抑制できる。
【００６９】
図１２は、第３の実施形態に係るシステムにおけるデータベース２０２が記憶しているデータの構成を示す図である。本実施形態においてデータベース２０２は、以下を除いて第１または第２の実施形態と同様の構成である。まず、工程手順テーブル３１００に、停止禁止工程、およびそのレベルを指定する項目１３０１が追加されている。そして、製造装置状態テーブル３３００に、装置ごとに制御除外レベルを指定する項目１３０２が追加されている。
【００７０】
図１３は、本実施形態におけるデータベース２０４が記憶しているデータの構成を示す図である。本実施形態においてデータベース２０４は、規格テーブル４２００内の判定パターンごとにレベルを指定する項目１４０１が追加されている点を除いて、第１又は第２の実施形態と同様の構成である。
【００７１】
図１４は、本実施形態におけるシステムの動作を示すフローチャートであり、第１の実施形態における図６に相当する図である。品質管理システム２０３から履歴検索システム２０５に、通信網２０７を介して処理イベント情報が送信されるとき、第１の実施形態に示した情報に加えて該当した判定パターンの項目１４０１のレベル情報も併せて送信する。
【００７２】
品質管理システム２０３が製品履歴検索処理(ステップＳ７０３)を終了した後、制御対象となる製造装置２０６の項目１３０２の除外レベルと、品質管理システム２０３より送られてきたレベル情報１４０１とを比較する（ステップＳ１５０１）。比較の結果、「項目１４０１のレベル情報≦項目１３０２の除外レベル」の場合、品質管理システム２０３は、その製造装置２０６に対する装置停止情報の生成処理を実施しないで次のステップへ進む。「項目１４０１のレベル情報＞項目１３０２の除外レベル」の場合、品質管理システム２０３は、第１の実施形態と同じ制御処理を行い、その製造装置２０６に対する装置停止情報の生成処理を行なう（ステップＳ７０４）。
【００７３】
さらに品質管理システム２０３は、装置処理中止情報の生成処理が行なわれた処理対象製品については、該当製品の履歴テーブル３２００と工程手順テーブル３１００より、その処理対象製品について行なわれた処理を特定する。そして品質管理システム２０３は、特定した処理の項目１３０１の停止禁止工程に設定されている値と品質管理システム２０３より送られてきた項目１４０１のレベル情報を比較する（ステップＳ１５０１）。比較した結果、「項目１４０１のレベル情報＞項目１３０１の停止禁止工程」の場合は、第１の実施形態と同じ制御処理を行い、該当製品の進捗を停止させる。一方、「項目１４０１のレベル情報≦項目１３０１の停止禁止工程」の場合は、該当製品の履歴テーブル３２００内の状態３２０３を作業可から品質管理システム２０３より送られてきた項目１４０１のレベル情報に変更する（ステップＳ７０４）。
【００７４】
図１５は、本実施形態において、処理対象装置を処理するときの動作を示すフローチャートであり、第１の実施形態の図４に相当する図である。本図に示す処理は、ステップＳ５０１〜ステップＳ５０４までの処理は、第１の実施形態と同様であるため、説明を省略する。
【００７５】
ステップＳ５０４に示した処理が行なわれた後、処理中の処理対象製品の履歴テーブル３２００における状態３２０３の内容をチェックする（ステップＳ１６０１）。状態３２０３にレベル情報が設定されている場合は、工程手順テーブル３１００と履歴テーブル３２００から次工程の停止禁止工程１３０１の設定値を検索する（ステップＳ１６０２）。「状態３２０３に設定されているレベル値」＞「ステップＳ１６０２で検索した次工程の停止禁止工程１３０１の設定値」の場合は、該当製品の状態３２０３を作業不可に変更する（ステップＳ１６０３）。
【００７６】
本実施形態によっても、第１の実施形態と同様の効果を得ることができる。また、製造装置、処理工程および規格判定パターンにレベル情報を設けることで、製造装置を不必要に停止させることを抑制できる。
【００７７】
以上、図面を参照して本発明の実施形態について述べたが、これらは本発明の例示であり、上記以外の様々な構成を採用することもできる。
【図面の簡単な説明】
【００７８】
【図１】第１の実施の形態における管理システムの使用態様を示すブロック図である。
【図２】データベースが記憶しているデータの構成を示す図である。
【図３】データベースが記憶しているデータの構成を示す図である。
【図４】図１に示したシステムにおいて、処理対象装置を処理するときの動作を示すフローチャートである。
【図５】生産制御システム２０１から情報を受信した後の品質管理システム２０３の動作を示すフローチャートである。
【図６】履歴検索システム２０５の動作を示すフローチャートである。
【図７】図６のステップＳ７０１〜ステップＳ７０６における対象製品・装置の検索処理について説明する図である。
【図８】第２の実施形態に係るシステムの使用態様を示す図である。
【図９】端末９０１より入力する検索条件の例である。
【図１０】図８に示したシステムの動作を示すフローチャートである。
【図１１】履歴検索システム２０５から送られた製品および装置ＩＤリストの表示例である。
【図１２】第３の実施形態に係るシステムにおけるデータベースが記憶しているデータの構成を示す図である。
【図１３】データベースが記憶しているデータの構成を示す図である。
【図１４】システムの動作を示すフローチャートである。
【図１５】処理対象装置を処理するときの動作を示すフローチャートである。
【図１６】特許文献１に記載の生産管理システムの判定値算出装置を説明する図である。
【符号の説明】
【００７９】
１０１ 中央制御装置
１０２ 製造装置
１０３ テスト装置
１０４ ネットワーク
２０１ 生産制御システム
２０２ データベース
２０３ 品質管理システム
２０４ データベース
２０５ 履歴検索システム
２０６ 製造装置
２０７ 通信網
８０２ 符号
８０３ 検索開始日時
８０４ 検索開始日時
８０５ 作業終了日時
８０６ 作業終了日時
９０１ 端末
１００１ 期間
１００２ 階層
１００３ 制御方法
１００４ 検索キー
１２０１ 選択ボックス
１２０２ 装置ＩＤ
１２０３ 製品ＩＤ
１２０４ 作業条件
１２０５ 作業開始日時
１２０６ 作業終了日時
１２０７ 選択ボックス
１３０１ 項目
１３０２ 項目
１４０１ 項目
３１００ 工程手順テーブル
３１０１ 工程手順名
３１０２ シーケンス番号
３１０３ 処理条件
３２００ 履歴テーブル
３２０１ 製品ＩＤ
３２０２ 工程手順名
３２０３ 処理可否状態
３２０４ シーケンス番号
３２０５ 作業開始日時
３２０６ 作業終了日時
３２０７ 装置ＩＤ
３２０８ 処理データ
３３００ 製造装置状態テーブル
３３０１ 装置ＩＤ
３３０２ 作業可否状態
４１００ 層別テーブル
４１０１ ＩＤ
４１１０ 管理装置情報
４１１１ 装置ＩＤ
４１１２ 工程手順名
４１１３ 処理条件
４１１４ シーケンス番号
４１２０ データ装置情報
４１２１ 処理条件
４１２２ シーケンス番号
４２００ 規格テーブル
４２０１ 項目名
４２０２ 規格値
４２０３ 判定パターン
４２０４ フラグ
４２０５ 階層
４２０６ 期間
４３００ データテーブル
４３０１ 製品ＩＤ
４３０２ 作業終了日時
４３０３ 処理データ
４３０４ 規格判定結果
【特許請求の範囲】
【請求項１】
互いに異なる処理を行う複数の製造装置を有する半導体製造システムを管理する管理システムであって、
前記複数の製造装置それぞれごとに、当該製造装置が異常を有すると判断するための判断基準情報を、前記製造装置を相互に識別する装置ＩＤに対応付けて記憶している判断基準記憶部と、
処理対象装置がいずれかの前記製造装置において処理されたときに、当該処理を行った前記製造装置の前記装置ＩＤ、及び当該処理における処理条件を取得する処理条件取得部と、
前記処理条件取得部が取得した前記装置ＩＤに対応する前記判断基準情報を前記判断基準記憶部から読み出し、読みだした前記判断基準情報と前記処理条件に基づいて、前記処理条件取得部が取得した前記装置ＩＤが示す前記製造装置に異常があるか否かを判断する異常判断部と、
異常があると前記異常判断部が判断した時に、前記処理条件取得部が取得した前記装置ＩＤが示す前記製造装置の動作を停止させるための情報である装置停止情報を生成する停止情報生成部と、
を備える管理システム。
【請求項２】
請求項１に記載の管理システムにおいて、
前記製造装置における前記処理条件を前記製造装置から取得する処理条件管理部を備え、
前記処理条件管理部は、いずれかの前記製造装置が新たに前記処理対象装置を処理して新たな前記処理条件を当該製造装置から取得したときに、前記処理条件取得部に当該新たな処理条件を前記装置ＩＤに対応付けて送信する管理システム。
【請求項３】
請求項１または２に記載の管理システムにおいて、
前記装置停止情報と前記装置ＩＤを対応付けて記憶する装置停止情報記憶部と、
第２の前記処理対象装置がいずれかの前記製造装置において処理されるときに、当該製造装置の装置ＩＤを取得する処理前装置ＩＤ取得部と、
前記処理前装置ＩＤ取得部が取得した前記装置ＩＤに対応する前記装置停止情報が前記装置停止情報記憶部に記憶されていたときに、前記処理前装置ＩＤ取得部が取得した前記装置ＩＤに対応する前記製造装置の動作を停止させる装置停止指令送信部と、
を備える管理システム。
【請求項４】
請求項１〜３のいずれか一つに記載の管理システムにおいて、
前記処理条件取得部は、前記装置ＩＤ及び前記処理条件に対応付けて、前記処理対象装置を相互に識別する製品ＩＤを取得し、
前記停止情報生成部は、前記処理条件取得部が取得した前記装置ＩＤが示す前記製造装置に異常があると判断した時に、前記処理条件取得部が取得した前記製品ＩＤが示す前記処理対象装置への処理を中止するための情報である装置処理中止情報を生成する管理システム。
【請求項５】
請求項４に記載の管理システムにおいて、
前記装置処理中止情報と前記製品ＩＤを対応付けて記憶する装置処理中止情報記憶部と、
前記処理対象装置がいずれかの前記製造装置において処理されるときに、処理対象となっている前記処理対象装置の前記製品ＩＤを取得する処理前製品ＩＤ取得部と、
前記処理前製品ＩＤ取得部が取得した前記製品ＩＤに対応する前記装置処理中止情報が前記装置処理中止情報記憶部に記憶されていたときに、前記処理前製品ＩＤ取得部が取得した前記製品ＩＤに対応する前記処理対象装置への処理を停止させる装置処理停止指令送信部と、
を備える管理システム。
【請求項６】
互いに異なる処理を行う複数の製造装置を有する半導体製造システムを管理する管理方法であって、
コンピュータが、前記複数の製造装置それぞれごとに、当該製造装置が異常を有すると判断するための判断基準情報を、前記製造装置を相互に識別する装置ＩＤに対応付けて記憶しておき、
処理対象装置がいずれかの前記製造装置において処理されたときに、前記コンピュータが、当該処理を行った前記製造装置の前記装置ＩＤ、及び当該処理における処理条件を取得し、
前記コンピュータが、取得した前記装置ＩＤに対応する前記判断基準情報と前記処理条件に基づいて、取得した前記装置ＩＤが示す前記製造装置に異常があるか否かを判断し、異常があると判断した時に、取得した前記装置ＩＤが示す前記製造装置の動作を停止させるための情報である装置停止情報を生成する管理方法。
【請求項１】
互いに異なる処理を行う複数の製造装置を有する半導体製造システムを管理する管理システムであって、
前記複数の製造装置それぞれごとに、当該製造装置が異常を有すると判断するための判断基準情報を、前記製造装置を相互に識別する装置ＩＤに対応付けて記憶している判断基準記憶部と、
処理対象装置がいずれかの前記製造装置において処理されたときに、当該処理を行った前記製造装置の前記装置ＩＤ、及び当該処理における処理条件を取得する処理条件取得部と、
前記処理条件取得部が取得した前記装置ＩＤに対応する前記判断基準情報を前記判断基準記憶部から読み出し、読みだした前記判断基準情報と前記処理条件に基づいて、前記処理条件取得部が取得した前記装置ＩＤが示す前記製造装置に異常があるか否かを判断する異常判断部と、
異常があると前記異常判断部が判断した時に、前記処理条件取得部が取得した前記装置ＩＤが示す前記製造装置の動作を停止させるための情報である装置停止情報を生成する停止情報生成部と、
を備える管理システム。
【請求項２】
請求項１に記載の管理システムにおいて、
前記製造装置における前記処理条件を前記製造装置から取得する処理条件管理部を備え、
前記処理条件管理部は、いずれかの前記製造装置が新たに前記処理対象装置を処理して新たな前記処理条件を当該製造装置から取得したときに、前記処理条件取得部に当該新たな処理条件を前記装置ＩＤに対応付けて送信する管理システム。
【請求項３】
請求項１または２に記載の管理システムにおいて、
前記装置停止情報と前記装置ＩＤを対応付けて記憶する装置停止情報記憶部と、
第２の前記処理対象装置がいずれかの前記製造装置において処理されるときに、当該製造装置の装置ＩＤを取得する処理前装置ＩＤ取得部と、
前記処理前装置ＩＤ取得部が取得した前記装置ＩＤに対応する前記装置停止情報が前記装置停止情報記憶部に記憶されていたときに、前記処理前装置ＩＤ取得部が取得した前記装置ＩＤに対応する前記製造装置の動作を停止させる装置停止指令送信部と、
を備える管理システム。
【請求項４】
請求項１〜３のいずれか一つに記載の管理システムにおいて、
前記処理条件取得部は、前記装置ＩＤ及び前記処理条件に対応付けて、前記処理対象装置を相互に識別する製品ＩＤを取得し、
前記停止情報生成部は、前記処理条件取得部が取得した前記装置ＩＤが示す前記製造装置に異常があると判断した時に、前記処理条件取得部が取得した前記製品ＩＤが示す前記処理対象装置への処理を中止するための情報である装置処理中止情報を生成する管理システム。
【請求項５】
請求項４に記載の管理システムにおいて、
前記装置処理中止情報と前記製品ＩＤを対応付けて記憶する装置処理中止情報記憶部と、
前記処理対象装置がいずれかの前記製造装置において処理されるときに、処理対象となっている前記処理対象装置の前記製品ＩＤを取得する処理前製品ＩＤ取得部と、
前記処理前製品ＩＤ取得部が取得した前記製品ＩＤに対応する前記装置処理中止情報が前記装置処理中止情報記憶部に記憶されていたときに、前記処理前製品ＩＤ取得部が取得した前記製品ＩＤに対応する前記処理対象装置への処理を停止させる装置処理停止指令送信部と、
を備える管理システム。
【請求項６】
互いに異なる処理を行う複数の製造装置を有する半導体製造システムを管理する管理方法であって、
コンピュータが、前記複数の製造装置それぞれごとに、当該製造装置が異常を有すると判断するための判断基準情報を、前記製造装置を相互に識別する装置ＩＤに対応付けて記憶しておき、
処理対象装置がいずれかの前記製造装置において処理されたときに、前記コンピュータが、当該処理を行った前記製造装置の前記装置ＩＤ、及び当該処理における処理条件を取得し、
前記コンピュータが、取得した前記装置ＩＤに対応する前記判断基準情報と前記処理条件に基づいて、取得した前記装置ＩＤが示す前記製造装置に異常があるか否かを判断し、異常があると判断した時に、取得した前記装置ＩＤが示す前記製造装置の動作を停止させるための情報である装置停止情報を生成する管理方法。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【図１４】
【図１５】
【図１６】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【図１４】
【図１５】
【図１６】
【公開番号】特開２０１０−１５３５６８（Ｐ２０１０−１５３５６８Ａ）
【公開日】平成２２年７月８日（２０１０．７．８）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００８−３２９６７１（Ｐ２００８−３２９６７１）
【出願日】平成２０年１２月２５日（２００８．１２．２５）
【出願人】（３０２０６２９３１）ルネサスエレクトロニクス株式会社 (8,021)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２２年７月８日（２０１０．７．８）
【国際特許分類】
【出願日】平成２０年１２月２５日（２００８．１２．２５）
【出願人】（３０２０６２９３１）ルネサスエレクトロニクス株式会社 (8,021)
【Ｆターム（参考）】
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