【課題】未到着ロットの当初計画に対する遅れやトラブルがあってもバッチ効率の低下を抑制することのできる、高い生産能力を有したバッチ処理制御方法およびバッチ処理制御システムを提供する。
【解決手段】ワークを搭載したキャリアよりなる複数のロットを処理設備でまとめて処理するバッチ処理制御方法およびバッチ処理制御システムであって、バッチ組候補グループ管理装置４０において、まとめて処理可能な同じ処理条件のバッチ組候補グループを、処理設備で待ち状態にあるロットと未到着のロットの中から、各ロットに付与されている優先度に従って選択して、所定の時間間隔で繰り返し作成し、仕掛り指示管理装置５０が、処理設備が処理可能となった時、最終的に作成されているバッチ組候補グループを基にしたバッチ組グループに、仕掛り指示を行うバッチ処理制御方法およびバッチ処理制御システム１００とする。 （もっと読む）

【課題】排熱等の使用済み資源を回収して生成した再利用資源を有効活用して、エネルギー消費量の低減も図る。
【解決手段】資源再利用装置６は、被処理体を処理する複数の処理装置それぞれから排出された使用済み資源を回収する資源回収部３４，３５，３６と、 資源回収部で回収された資源から再利用資源を生成する資源生成部３１，３１，３２と、複数の処理装置それぞれの種類と、被処理体の処理工程ごとに複数の処理装置で行われる処理内容と、複数の処理装置の稼働状況および稼働予定とに基づいて、複数の処理装置に再利用資源を振り分ける資源振分部３７，３８，３９，４０，４１，４２と、を備える。 （もっと読む）

【課題】設備を複数の処理装置で共用して、エネルギーを削減することが可能な生産処理システム、生産処理の制御装置、生産処理の制御方法、及び、生産処理の制御プログラムを提供する。
【解決手段】生産処理システムは、生産管理用ホストコンピュータ１と、群コントローラ２と、共用コントローラ３と、複数の処理装置４１を含む処理装置群４と、各処理装置４１に共用される１または複数の設備５１を含む共用設備群５と、搬送システム６とを備えている。処理装置４１からの使用情報のみに基づいて処理装置４１及び設備５１を制御するのではなく、予め取得した使用計画を利用する。そのため、効率よく共用設備群５内の設備５１を共用でき、結果として、消費エネルギーを低減できる。 （もっと読む）

【課題】被処理体を処理する複数の処理装置に付随する設備のレディ状態／アイドル状態の切り替えを適切に行い、設備におけるエネルギー消費量を削減する。
【解決手段】処理装置群コントローラ１は、被処理体を処理するそれぞれ設備が付随した複数の処理装置のメンテナンス時期の情報を含む稼働予定と、前記複数の処理装置への被処理体の搬入及び搬出のタイミングの情報を含む搬送計画とを記憶する記憶部１２と、前記搬送計画と、各処理装置の前記稼働予定とを比較し、各処理装置について、メンテナンス前の最後の処理を特定し、特定した処理の終了タイミングを検出する検出部１０２と、各処理装置に対して、前記終了タイミングで、付随している設備とともにアイドル状態に切り替わるように指示する指示部１０３と、を備える。 （もっと読む）

【課題】各生産装置の稼働率が低下することを抑制することができると共にリードタイムの増加を抑制することができる搬送システムおよびその制御方法を提供する。
【解決手段】複数の生産装置それぞれに対する保管庫に収容されている合計カセット数を示す保管庫データを作成し、保管庫データに基づいて合計カセット数が閾値以上である場合には当該カセットを処理する生産装置を特定装置とする特定装置データを作成する。そして、特定装置データに基づいて搬送元移載箇所または搬送先移載箇所が特定装置である搬送指示の優先度を高いものに変更し、搬送元エリアに搬送指示が割付けられていない搬送台車がなく、選択した搬送指示の優先度が搬送指示変更部で高いものに変更され、かつ搬送元エリアに搬送指示が割付けられているがカセットを搭載せずに搬送元エリアを搬送している搬送台車がある場合、当該搬送台車に改めて選択した搬送指示を割付ける特別割付けを行う。 （もっと読む）

【課題】生産効率を高めることができる、検査装置、処理装置、情報処理装置、対象物製造装置及びその製造方法を提供すること。
【解決手段】検査装置は、検出部と、送信部と、受信部とを具備する。前記検出部は、処理装置により処理された対象物に不具合があるか否かを検出する。前記送信部は、前記検出部により検出された不具合情報を前記処理装置に送信する。前記受信部は、前記不具合情報に対応した改善策情報に基づいて前記処理装置により改善処理が行われ、前記改善処理の内容情報が前記処理装置から送信された場合、前記送信された内容情報を受信する。 （もっと読む）

【課題】既存の生産装置に改造や変更を加えず、生産装置の管理を行うことができるようにする。
【解決手段】半導体生産装置１に対して、データ管理装置本体部２０と、分岐部２１とを設ける。分岐部２１は、ケーブル１６中に挿設され、ＣＰＵボード１３のシリアルインターフェース１４からの送信データＴＤのポートからのデータを２分岐し、一方は表示端末１２のシリアルインターフェース１５の受信データＲＤのポートに出力し、他方はデータ管理装置本体部２０のシリアルインターフェース２２の受信データＲＤのポートに出力する。表示端末１２は受信した表示情報に基づいて情報の表示を行う。データ管理装置本体部２０は、受信した表示情報を用いて生産装置本体部１１を管理するための管理データベース３０を構築する。 （もっと読む）

【課題】並列に配置された基板搬送系Ｃf、Ｃbへの基板Ｓの搬送順序を適切化することで、ヘッドユニット５f、５bの退避動作の発生を抑制し、スループットの向上を図る。
【解決手段】基板搬送系Ｃfへの基板Ｓの搬送順序と基板搬送系Ｃbへの基板Ｓの搬送順序との組み合わせＣ(i)が複数生成される。そして、組み合わせＣ(i)が示す順序で基板搬送系Ｃf、Ｃbそれぞれに基板Ｓを搬送した場合に、ヘッドユニット５f、５bの排他領域Ｒeからの退避動作が発生するか否かを判断した結果に基づいて、複数の組み合わせＣ(i)の中から、基板搬送系Ｃf、Ｃbに基板Ｓを搬送する順序が選定される。これによって各基板搬送系Ｃf、Ｃbへの基板Ｓの搬送順序が適切化されて、ヘッドユニット５f、５bの退避動作の発生を抑制することが可能となり、スループットの向上を図ることができる。 （もっと読む）

【課題】基板処理装置に接続される付帯設備を把握し、付帯設備をメンテナンスする作業にかかる負荷を軽減する。
【解決手段】基板処理装置と、前記基板処理装置に関連し、前記基板処理装置と直接又は間接的に接続される付帯設備と、前記付帯設備から収集される前記付帯設備に関する情報を少なくとも格納する記憶装置と、前記記憶装置に格納された情報に基づいて、前記基板処理装置及び前記付帯設備の接続関係を表示する表示装置とを備える。前記付帯設備は、ガスボンベが配置されるシリンダーキャビネット及びガス及び熱を排気する排気装置であり、前記表示装置は、前記基板処理装置及び前記シリンダーキャビネットの接続関係並びに前記基板処理装置及び前記排気装置の接続関係を連結させて表示する。 （もっと読む）

【課題】製品の製造時間の増大が抑制された製造システムを提供する。
【解決手段】複数の製造設備（３０）及び管理部（１０）を有する製造システムであって、第１製造工程の終了から、第２製造工程の実施までの間には、制限時間があり、製造設備（３０）は、製造工程を実施する製造部（３１）、該製造部（３１）のメンテナンス情報を記録する記録部（３２）、及び、管理部（１０）と通信する通信部（３３）を有し、管理部（１０）は、第２製造工程を行う製造設備（３０）の通信部（３３）からメンテナンス情報を受け取ると、第２製造工程を行う製造設備（３０）のメンテナンス実施期間を算出し、当初、メンテナンス実施期間にて第２製造工程の実施予定であった製品の製造スケジュールを、第２製造工程を実施する製造設備（３０）のメンテナンスの終了後から制限時間内に、第２製造工程が実施されるように変更する。 （もっと読む）

【課題】
共通のシミュレーション結果に対し、複数の端末で各々の観点から解析を行う。
【構成】
処理装置間でワークを搬送する搬送車システムをシミュレーションする。搬送車システムでの複数の仮想的な搬送車の走行をシミュレーションし、シミュレーションにより得られたデータと搬送車システムの背景画像とを複数の端末へ送信する。各端末は、データを画像として表示する搬送車システム内のエリアと時間の範囲とを端末毎にユーザが指定し、指定された範囲内のデータを画像化すると共に搬送車システムの背景画像と合成し、合成された画像をモニタに表示する。 （もっと読む）

【課題】
半導体等の生産計画に沿って搬送車システムを動作させた際の状況をシミュレーションする。
【構成】
処理装置での仮想的な生産計画を管理し、生産計画に従って、仮想的な搬送車への走行計画を作成し、作成した走行計画に従って、仮想的な搬送車の位置と速度を時間の関数として表す走行スケジュールを作成し、走行スケジュールに従って仮想的な搬送車を、実在の搬送車システムの制約に従って、かつ搬送車間の干渉を回避するように走行させる。 （もっと読む）

【課題】アラームと品質の関係性を、コンピュータ（サーバ）を用いてデータ収集し自動解析することにより、アラームがどの品質に影響を与えるのかを自動的に判定することができる製造システムの管理方法を提供すること。
【解決手段】複数の製造装置から構成される製造システムについて、各製造装置からアラームが発せられた時に、アラームの内容に関する情報、基板を特定する情報、ＮＧ判定回数、ＯＫ判定回数、ＮＧ発生率、などの情報をサーバが収集・解析・紐付けした情報として蓄積することによって、アラームの内容と品質の関係性を把握し、予め設定した条件を判定基準として、品質に大きな影響度を持つアラームを抽出して、アラームに従って基板の搬送を制御する製造システムの管理方法。 （もっと読む）

【課題】 製品の品質を低下させる等の要因を推定又は特定することができる稼働情報を算出する管理装置を提供する。
【解決手段】 本発明の管理装置は、記憶手段と、生産プロセスの期間中に制御手段が制御機器群に出力した制御情報と、生産プロセスの期間中にセンサ群が検出した検出情報を取得する情報取得手段と、制御情報に含まれる第１制御機器に出力された代表制御情報から、生産プロセスの基準期間を決定し、基準期間に属している検出情報に基づく代表値と、基準期間に属している制御情報に基づく代表値を算出し、算出した各々の代表値を生産プロセスの特定情報と関連付けて、記憶手段に記憶する。 （もっと読む）

【課題】技術的専門性の異なる業務領域の業務や知識を連携、結合し、プロセス制御に関わる機能が効果的に相互動作する方法を提供する。
【解決手段】第１の業務モジュールと、第２の業務モジュールは異なる業務領域業務領域で共用する業務機能部品呼出部を介して、業務機能部品や、他の業務モジュールを呼び出し、業務の一部を移譲する。この際、業務機能部品呼び出し付帯情報を呼び出し先に送付する。業務を委譲された業務機能部品、他の業務モジュールは結果を委譲先に返送する。この結果を受け、第１の業務モジュールは業務機能部品呼び出し付帯情報を更新し、次の処理に関わる業務機能部品を呼び出す。 （もっと読む）

【課題】従来法では達成されていなかったＱ−ｔｉｍｅ制約割れが起こりやすい状況に対しても、Ｑ−ｔｉｍｅ制約を確実に遵守し、良品スループット向上とコスト低減および環境負荷低減を達成することが可能な最適オペレーション管理条件を提供することを目的とする。
【解決手段】複数の装置に関する指標情報を供給する最適指標生成装置１１であって、生産実行システムに含まれる複数の装置に関する情報を生産管理システム１０を介して入力する情報入力部１２と、入力された情報から複数の装置による加工工程間の滞在時間の上限値や下限値を示すＱ−ｔｉｍｅ制約を分析するＱ−ｔｉｍｅ構造分析部１４と、入力された情報およびＱ−ｔｉｍｅ構造に基づいて、品種別の最適なカンバン枚数およびバッファサイズを計算して指標情報として出力する指標算出部１７と、を備え、指標算出部１７により算出された最適な指標情報を生産管理システム１０に供給する。 （もっと読む）

【課題】処理装置の制御負荷の増加を回避しながらも、処理作業効率の向上を図ることができる処理設備を提供する。
【解決手段】複数の処理装置１及び処理対象物を貯留する貯留装置Ｑを経由する搬送ラインに沿って走行して処理対象物を搬送する搬送車３を管理する搬送管理手段ＨＣが、処理装置１から主管理手段ＪＣに対して通信される処理進行情報を監視して、複数の処理装置１のうちで、処理対象物の処理が終了した又は終了間近である処理装置１を、主管理手段ＪＣから搬送指令情報が通信されてくる以前に、事前搬送元として抽出し、その処理装置１から処理対象物を搬出するために、事前搬送元として抽出した処理装置１に対して搬送車３を走行させる事前搬送制御を実行するように構成されている。 （もっと読む）

【課題】システム利用者がコスト改善業務の為、製造コスト情報の分析システムに対して多様な要求を行う手段を提供する。
【解決手段】活用軸定義手段Ｈで複数の作業IＤを括る「括りデータ」を入力する。集計データ集計保持手段Ｃは、この「括りデータ」を元に集計データを集計し保持する。さらに提供データ集計保持手段Ｄは、この集計データを組み合わせて提供データを抽出し、送信先に提供データを送信する。 （もっと読む）

【課題】マニュアル搬送／オフライン装置がある生産ラインで、作業者情報をオンライン管理して、作業ロスおよび作業ミスの防止や省人化に向けたナビゲーション機能を低投資で行うことにより、オフライン装置がある生産ラインであっても疑似的なオンライン管理を効率よく実現する。
【解決手段】各管理パーソナルコンピュータ２は、カードリーダ４からの作業者ＩＤを含む作業者情報に基づいて作業者／時間を検証するフロー照合手段２１２と、各管理パーソナルコンピュータ２がホスト装置３に該作業者ＩＤを含む作業者情報および該作業者ＩＤを含む検証情報をアップロードする作業者情報／検証情報転送手段２１４とを有し、ホスト装置３は、アップロードした該作業者ＩＤを含む作業者情報および検証結果を含む検証情報を登録する作業者情報／検証情報登録手段３１１を有している。 （もっと読む）

【課題】半導体の製造ラインにおいて、ロットの搬入および搬出の作業を作業者が行うことを前提とした管理を効率的に行える棚管理システムおよび棚管理プログラムを提供する。
【解決手段】信号受信手段８１がロット番号を含む加工検査終了信号Ｘ２を受信すると、ポジション決定手段８２がそのロットを格納すべきポジションを決定する。ポジション予約手段８３はそのポジションを「予約中」とする。棚表示手段５１および棚表示手段６１は、共用棚４０と、各ポジションと、ロット番号とを関連付けて表示する。信号受信手段８１がロット番号を含む加工検査開始信号Ｘ１を受信すると、ポジション解放手段８４がポジションを「空き」とする。 （もっと読む）