処理装置群コントローラ、生産処理システム、処理装置群制御方法、及びプログラム
【課題】被処理体を処理する複数の処理装置に付随する設備のレディ状態／アイドル状態の切り替えを適切に行い、設備におけるエネルギー消費量を削減する。
【解決手段】処理装置群コントローラ１は、被処理体を処理するそれぞれ設備が付随した複数の処理装置のメンテナンス時期の情報を含む稼働予定と、前記複数の処理装置への被処理体の搬入及び搬出のタイミングの情報を含む搬送計画とを記憶する記憶部１２と、前記搬送計画と、各処理装置の前記稼働予定とを比較し、各処理装置について、メンテナンス前の最後の処理を特定し、特定した処理の終了タイミングを検出する検出部１０２と、各処理装置に対して、前記終了タイミングで、付随している設備とともにアイドル状態に切り替わるように指示する指示部１０３と、を備える。
【解決手段】処理装置群コントローラ１は、被処理体を処理するそれぞれ設備が付随した複数の処理装置のメンテナンス時期の情報を含む稼働予定と、前記複数の処理装置への被処理体の搬入及び搬出のタイミングの情報を含む搬送計画とを記憶する記憶部１２と、前記搬送計画と、各処理装置の前記稼働予定とを比較し、各処理装置について、メンテナンス前の最後の処理を特定し、特定した処理の終了タイミングを検出する検出部１０２と、各処理装置に対して、前記終了タイミングで、付随している設備とともにアイドル状態に切り替わるように指示する指示部１０３と、を備える。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、被処理体を処理する処理装置に付随する設備のエネルギー消費量を削減する処理装置群コントローラ、生産処理システム、処理装置群制御方法、及びプログラムに関する。
【背景技術】
【０００２】
ジョブショップ型の生産システムを有する製造工場（例えば、半導体デバイス製造工場や有機ＥＬデバイス製造工場）では、生産実行制御装置（MES: Manufacturing Execution System）により生産の実行が制御されている。このような製造工場では、被処理体を処理する複数の処理装置と、各処理装置へ被処理体を搬送する搬送装置と、搬送装置の動作を制御する搬送制御装置と、被処理体が処理されるべき処理装置を決定し、被処理体の搬送先を搬送制御装置へ指示すると共に、被処理体に対する処理内容を処理装置に指示する生産実行制御装置とを備える生産処理システムが実用化されている。
【０００３】
特許文献１には、被処理体を処理する複数の処理装置と通信する手順と、任意の処理装置間で被処理体を搬送する搬送装置と通信する手順と、被処理体に対する処理を処理装置に指示する生産指示装置と通信する手順とを有するソフトウェアが開示されている。
【０００４】
非特許文献１には、工場の生産管理システム（ＭＥＳ）と、ＭＥＳからの各種指示を受け、搬送装置（OHT: Overhead Hoist Transport）を制御する搬送制御装置（MCS: Material Control System）とが、工場レイアウト等の情報を共有することで、搬送の効率化を図ることができる旨が開示されている。
【０００５】
特許文献２には、優先的に処理すべき被処理体が処理装置に到着するまでの時間が十分に長い場合、処理装置が他の被処理体を処理することを許可し、優先的に処理すべき被処理体が処理装置に到着するまでの時間が短い場合、優先的に処理すべき被処理体の到着を待つように指示するプロセス管理システムが開示されている。
特許文献３には、被処理体の到着に要する到着時間と、省電力状態にある処理装置の立ち上げ時間とを比較し、到着時間が立ち上げ時間より長い場合、処理装置を省電力状態にする電力供給システムが開示されている。
【０００６】
また、レディ状態（準備状態）の処理装置が、一定時間ホストコンピュータから具体的な処理指示を受け取らない場合に、処理装置側で、レディ状態からアイドル状態（休止状態）への切り替えを判断することで、エネルギー消費量を削減する生産システムが知られている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開２００９−１３５２７５号公報
【特許文献２】特開２００８−２５０８２６号公報
【特許文献３】特開２００７−８８４２９号公報
【非特許文献】
【０００８】
【非特許文献１】ＳＥＭＩ Ｎｅｗｓ ２００６ Ｖｏｌ．２２ Ｎｏ．６
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
上述した従来のシステムでは、処理装置がレディ状態からアイドル状態へ切り替わるまでに時間がかかっていた。また、処理装置に付随する設備は、処理装置がアイドル状態になった後に、レディ状態からアイドル状態に切り替わるため、アイドル状態への切り替えにさらに時間がかかり、設備におけるエネルギー消費量の削減が困難であるという問題があった。
【００１０】
本発明は、このような点を考慮してなされたものであり、被処理体を処理する複数の処理装置に付随する設備のレディ状態／アイドル状態の切り替えを適切に行い、設備におけるエネルギー消費量を削減する処理装置群コントローラ、生産処理システム、処理装置群制御方法、及びプログラムを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明の一態様による処理装置群コントローラは、被処理体を処理するそれぞれ設備が付随した複数の処理装置のメンテナンス時期の情報を含む稼働予定と、前記複数の処理装置への被処理体の搬入及び搬出のタイミングの情報を含む搬送計画とを記憶する記憶部と、前記搬送計画と、各処理装置の前記稼働予定とを比較し、各処理装置について、メンテナンス前の最後の処理を特定し、特定した処理の終了タイミングを検出する検出部と、各処理装置に対して、前記終了タイミングで、付随している設備とともにアイドル状態に切り替わるように指示する指示部とを備えるものである。
【００１２】
本発明の一態様による処理装置群コントローラにおいては、前記指示部は、前記終了タイミングで、前記処理装置に付随した設備に対してアイドル状態に切り替わるように指示することが好ましい。
【００１３】
本発明の一態様による生産処理システムは、被処理体を処理する、それぞれ設備が付随した複数の処理装置と、前記複数の処理装置へ被処理体を搬送する搬送装置と、前記搬送装置による被処理体の搬入及び搬出のタイミングの情報を含む搬送計画を作成し、前記複数の処理装置から、メンテナンス時期の情報を含む稼働予定を取得するホストコンピュータと、前記ホストコンピュータから前記搬送計画及び前記稼働予定を取得し、前記搬送計画と、各処理装置の前記稼働予定とを比較し、各処理装置について、メンテナンス前の最後の処理を特定し、特定した処理の終了タイミングを検出し、各処理装置に対して、前記終了タイミングで、付随している設備とともにアイドル状態に切り替わるように指示する処理装置群コントローラと、を備えるものである。
【００１４】
本発明の一態様による生産処理システムにおいては、前記処理装置群コントローラは、前記終了タイミングで、前記処理装置に付随した設備に対してアイドル状態に切り替わるように指示することが好ましい。
【００１５】
本発明の一態様による生産処理システムは、被処理体を処理する、それぞれ設備が付随した複数の第１処理装置と、被処理体を処理する、それぞれ設備が付随した複数の第２処理装置と、前記複数の第１及び第２処理装置へ被処理体を搬送する搬送装置と、前記搬送装置による被処理体の搬入及び搬出のタイミングの情報を含む搬送計画を作成し、前記複数の第１及び第２処理装置から、メンテナンス時期の情報を含む稼働予定を取得するホストコンピュータと、前記搬送計画及び前記複数の第１処理装置の稼働予定を取得し、前記搬送計画と、各第１処理装置の稼働予定とを比較し、各第１処理装置について、メンテナンス前の最後の処理を特定し、特定した処理の終了タイミングを検出し、各第１処理装置に対して、前記終了タイミングで、付随している設備とともにアイドル状態に切り替わるように指示する第１処理装置群コントローラと、前記搬送計画及び前記複数の第２処理装置の稼働予定を取得し、前記搬送計画と、各第２処理装置の稼働予定とを比較し、各第２処理装置について、メンテナンス前の最後の処理を特定し、特定した処理の終了タイミングを検出し、各第２処理装置に対して、前記終了タイミングで、付随している設備とともにアイドル状態に切り替わるように指示する第２処理装置群コントローラと、前記ホストコンピュータから前記搬送計画及び前記複数の第１及び第２処理装置の稼働予定を取得し、前記搬送計画及び前記複数の第１処理装置の稼働予定を前記第１処理装置群コントローラへ送信し、前記搬送計画及び前記複数の第２処理装置の稼働予定を前記第２処理装置群コントローラへ送信する上位コントローラと、を備えるものである。
【００１６】
本発明の一態様による生産処理システムにおいては、前記複数の第１及び第２処理装置が共用する共用設備をさらに備え、前記上位コントローラが、前記搬送計画と、前記複数の第１及び第２処理装置の稼働予定とを比較し、比較結果に基づき、前記共用設備に対してアイドル状態に切り替わるように指示することが好ましい。
【００１７】
本発明の一態様による処理装置群制御方法は、被処理体を処理するそれぞれ設備が付随した複数の処理装置のメンテナンス時期の情報を含む稼働予定を取得するステップと、前記複数の処理装置への被処理体の搬入及び搬出のタイミングの情報を含む搬送計画を取得するステップと、前記搬送計画と、各処理装置の前記稼働予定とを比較し、各処理装置について、メンテナンス前の最後の処理を特定し、特定した処理の終了タイミングを検出するステップと、各処理装置に対して、前記終了タイミングで、付随している設備とともにアイドル状態に切り替わるように指示するステップと、を備えるものである。
【００１８】
本発明の一態様によるプログラムは、被処理体を処理するそれぞれ設備が付随した複数の処理装置のメンテナンス時期の情報を含む稼働予定を取得するステップと、前記複数の処理装置への被処理体の搬入及び搬出のタイミングの情報を含む搬送計画を取得するステップと、前記搬送計画と、各処理装置の前記稼働予定とを比較し、各処理装置について、メンテナンス前の最後の処理を特定し、特定した処理の終了タイミングを検出するステップと、各処理装置に対して、前記終了タイミングで、付随している設備とともにアイドル状態に切り替わるように指示するステップと、をコンピュータに実行させるものである。
【発明の効果】
【００１９】
本発明によれば、被処理体の搬送計画及び複数の処理装置の稼動予定に基づいて、各処理装置における処理にあわせたレディ状態／アイドル状態の切り替えタイミングを検出し、各処理装置及びこれに付随する設備のレディ状態／アイドル状態を適切なタイミングで切り替えることによって、設備におけるエネルギー消費量を削減することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】本発明の実施形態に係る生産処理システムの概略構成図である。
【図２】同実施形態に係る処理装置の概略構成図である。
【図３】同実施形態に係る処理装置群コントローラのハードウェア構成図である。
【図４】同実施形態に係る処理装置群コントローラの機能ブロック図である。
【図５】同実施形態に係る処理装置に対するアイドル状態への切り替え指示処理を説明するフローチャートである。
【図６】搬送計画及び稼働予定の一例を示す図である。
【図７】変形例による生産処理システムの概略構成図である。
【図８】変形例による生産処理システムの概略構成図である。
【図９】変形例による生産処理システムの概略構成図である。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。
【００２２】
図１は、本発明の実施形態に係る処理装置群コントローラ１を有する生産処理システムの構成の一例を示したブロック図である。生産処理システムは、複数の処理装置２１を有する処理装置群２と、搬送装置３２及び搬送装置３２の動作を制御する搬送制御装置３１を有する搬送システム３と、処理装置群２及び搬送システム３へ制御指示を与える生産管理用ホストコンピュータ４（以下単に「ホスト４」という）と、各処理装置２１に対してレディ状態／アイドル状態の切り替えを指示する処理装置群コントローラ１とを備えている。ここで、処理装置２１のレディ状態とは、被処理体を受け入れた際に速やかに処理を開始できるよう準備している状態をいい、アイドル状態は休止状態をいう。
【００２３】
ホスト４は、いわゆるＭＥＳ（Manufacturing Execution System）を構成しており、製造されるべき製品の種類、仕様等に応じて生産計画を作成するスケジューラモジュールや、作成した生産計画にしたがって被処理体が処理されるべき処理装置２１を特定し、被処理体に対する処理条件（レシピ）を処理装置２１へ指示すると共に、搬送計画を搬送システム３へ指示するディスパッチャモジュール等を有する。ここで、搬送計画とは、被処理体を処理装置２１へ搬入するタイミングや、処理装置２１で処理された被処理体を搬出するタイミングを規定したものである。また、ホスト４は、各処理装置２１から後述する稼働予定を受信し、搬送計画及び各処理装置２１の稼働予定を処理装置群コントローラ１へ送信する。
【００２４】
処理装置２１は、例えば、有機ＥＬデバイス製造用のガラス基板、半導体デバイス等製造用のシリコンウェーハ等の被処理体を処理するプラズマＣＶＤ装置、プラズマエッチング装置、スパッタリング装置、ＰＶＤ装置等の基板処理装置である。
【００２５】
１つの処理装置群２を構成する複数の処理装置２１は同じ種類の装置であってもよいし、一連の処理シーケンスに対応したものであってもよい。
【００２６】
また、各処理装置２１には、部品の交換、クリーニング、定期点検等のメンテナンスが行われる時期が稼働予定として設定されている。各処理装置２１は、この稼働予定をホスト４に通知する。
【００２７】
図１に示すように、生産処理システムには、各処理装置２１に付随した設備２７が設けられている。設備２７は、例えば、処理装置２１のチャンバ内を所望の真空度にする真空ポンプや、処理装置２１から排出されたガスを除害する除害装置である。
【００２８】
処理装置２１は、設備２７と通信可能に接続されており、設備２７に対してレディ状態／アイドル状態の切り替えを指示することができる。処理装置２１は、処理装置群コントローラ１によりアイドル状態への切り替えが指示されると、自装置をアイドル状態にすると共に、自装置に付随する設備２７をアイドル状態に切り替える。
【００２９】
設備２７はアイドル状態になると、エネルギー消費量が低減する。例えば、設備２７が真空ポンプである場合、アイドル状態になると、真空度を下げることで消費電力を低減し、かつ窒素ガス等の希釈ガスの供給量を減らす。また、設備２７が除害装置である場合、アイドル状態になると、燃焼に用いる燃料の供給量を減らす。
【００３０】
図２は、処理装置２１の構成の一例を示したブロック図である。処理装置２１は、例えば、マルチチャンバ式の基板処理システムである。処理装置２１は、被処理体Ｗを収容するＦＯＵＰ（Front Open Unified Pod）を受け渡しするためにＦＯＵＰが載置される第１及び第２ロードポート（LP: Load Port）２２ａ、２２ｂが設けられたロードモジュール（LM: Load Module）２３を備える。ロードモジュール２３には、ロードロックモジュール（LLM: Load Lock Module）２４ａ、２４ｂを介してトランスファーモジュール（TM: Transfer Module）２５が接続されている。トランスファーモジュール２５が有する真空ロボット（図示せず）は、ロードロックモジュール２４ａ、２４ｂを通じて搬入された被処理体Ｗをプロセスモジュール（PM: Process Module）２６ａ〜２６ｄへ搬送する。プロセスモジュール２６ａ〜２６ｄは、レシピに基づいて、被処理体Ｗに所定の処理を施す。処理された被処理体Ｗは、搬入とは逆の経路を辿って第１ロードポート２２ａ又は第２ロードポート２２ｂに載置されたＦＯＵＰに回収され、ＦＯＵＰ単位で搬出される。
【００３１】
図２に示すマルチチャンバ式の基板処理システムでは、プロセスモジュール２６ａ〜２６ｄ及びトランスファーモジュール２５が常に真空状態に保持されており、ロードロックモジュール２４ａ、２４ｂとトランスファーモジュール２５とはゲートバルブ（図示せず）で仕切られる。ロードロックモジュール２４ａ、２４ｂが真空になった状態でゲートバルブが開かれて、被処理体Ｗが、プロセスモジュール２６ａ〜２６ｄとロードロックモジュール２４ａ、２４ｂとの間で搬送される。設備２７である真空ポンプが、ロードロックモジュール２４ａ、２４ｂの真空引きを行う。
【００３２】
搬送システム３は、搬送制御装置３１と搬送装置３２を有する。搬送装置３２は、例えば、天井又は床上に設置された軌道を走行する搬送シャトル、所定のルートを走行する無人搬送車等であり、ＦＯＵＰを搬送する。搬送装置３２は、搬送制御装置３１から与えられた指示に基づいて、複数の処理装置２１と、ＦＯＵＰを保管しているストッカとの間を移動し、ＦＯＵＰに収容された被処理体を搬送する。
【００３３】
搬送制御装置３１は、いわゆるＭＣＳ（Material Control System）を構成しており、ホスト４から与えられた搬送計画に基づいて、搬送装置３２の動作を制御する。
【００３４】
図３は、処理装置群コントローラ１のハードウェア構成の一例を示したブロック図である。処理装置群コントローラ１は、ＣＰＵ（中央演算処理装置）１１、ディスク装置１２、メインメモリ１３、及びネットワークインタフェース１４を備える。処理装置群コントローラ１の各部はバス１５を介して接続されている。
【００３５】
ディスク装置１２は、ＣＰＵ１１により実行される処理装置群制御プログラム１２ａを格納する。さらにディスク装置１２は、ネットワークインタフェース（受信部）１４を介してホスト４から搬送計画及び各処理装置２１の稼働予定を受け取り、格納する。ディスク装置１２は例えばハードディスクである。なお、処理装置群制御プログラム１２ａは、ディスク装置１２でなく、ＲＯＭや磁気テープ（共に図示せず）に格納されていてもよい。
【００３６】
ＣＰＵ１１は、ディスク装置１２内の処理装置群制御プログラム１２ａをメインメモリ１３にロードして、処理装置群制御プログラム１２ａを実行する。図４に、ＣＰＵ１１が処理装置群制御プログラム１２ａを実行することで実現される機能ブロック図を示す。処理装置群制御プログラム１２ａの実行により、取得部１０１、検出部１０２、及び切替指示部１０３が実現される。
【００３７】
図５に示すフローチャートを用いて、取得部１０１、検出部１０２、及び切替指示部１０３において実行される、処理装置２１に対するアイドル状態への切り替え指示処理を説明する。
【００３８】
（ステップＳ１０１）取得部１０１が、ディスク装置１２に格納されている搬送計画、及び各処理装置２１の稼働予定を取得する。
【００３９】
（ステップＳ１０２）検出部１０２が、搬送計画と各処理装置２１の稼働予定とを比較し、メンテナンス前の最後の処理（メンテナンス直前の処理）を特定し、処理装置２１をアイドル状態に切り替えるタイミングを検出する。
【００４０】
例えば、検出部１０２は、図６（ａ）に示すような、被処理体の搬入時期Ｔ１、Ｔ３、搬出時期Ｔ２、Ｔ４が規定された搬送計画と、図６（ｂ）に示すようなメンテナンスの時期Ｔ５が規定された稼働予定とを比較する。検出部１０２は、時期Ｔ３に搬入され、時期Ｔ４に搬出される被処理体の処理がメンテナンス直前の処理であると特定し、この処理の終了タイミング、例えば被処理体の搬出時期Ｔ４をアイドル状態への切り替えタイミングとして検出する。時期Ｔ４と時期Ｔ５の間は、被処理体が処理装置２１に搬入されないのでレディ状態である必要がないためである。
【００４１】
メンテナンス直前の処理の終了に伴い処理装置２１をアイドル状態にすることで、処理装置２１がアイドル状態となっている時間を長くとることができる。
【００４２】
（ステップＳ１０３）切替指示部１０３が、処理装置２１に対して、ステップＳ１０２で検出されたタイミングで付随する設備２７と共にアイドル状態に切り替わるよう、ネットワークインタフェース１４を介して指示を出す。切替指示部１０３が、ステップＳ１０２で検出されたタイミングで処理装置２１に対して切り替え指示を行ってもよいし、ステップＳ１０２で検出されたタイミングよりも前に、処理装置２１に対して切り替え指示及び切り替えのタイミングを通知するようにしてもよい。
【００４３】
これにより、処理装置２１及び処理装置２１に付随する設備２７は、メンテナンス直前の処理が終了すると速やかにアイドル状態になる。
【００４４】
このように、本実施形態によれば、メンテナンス直前の処理を特定し、この処理の終了に伴い設備２７をアイドル状態にする。従って、一定時間ホスト４から具体的な処理指示を受け取らないときに処理装置２１側でレディ状態からアイドル状態への切り替えを判断するような場合と比較して、設備２７を速やかにアイドル状態とし、設備２７がアイドル状態になっている時間を長くとることができるため、設備２７におけるエネルギー消費量を削減することができる。
【００４５】
上記実施形態では、処理装置群コントローラ１が処理装置２１に対してアイドル状態への切り替えを指示し、この指示を受け付けた処理装置２１が、付随する設備２７をアイドル状態に切り替えていたが、処理装置群コントローラ１が設備２７に対して直接アイドル状態への切り替えを指示してもよい。
【００４６】
上記実施形態において、処理装置群コントローラ１は、ホスト４から搬送計画が所定時間送信されてこない場合、すなわちネットワークインタフェース１４が所定時間搬送計画を受信しない場合、処理装置群２の処理装置２１の使用予定がないものと判定し、各処理装置２１に対してアイドル状態への切り替えを指示するようにしてもよい。
【００４７】
処理装置２１は、稼働状況の変更に伴い、現在の稼働状況をホスト４に通知する機能を有している。処理装置２１の稼働状況として、例えば、ラン状態（被処理体の処理を行っている状態）、レディ状態、アイドル状態がある。処理装置群コントローラ１は、ホスト４から各処理装置２１の稼働状況を取得し、ホスト４から搬送計画が所定時間送信されてこない場合に、各処理装置２１の稼働履歴（過去の稼働状況）に基づいて、各処理装置２１に対してアイドル状態への切り替えを指示するようにしてもよい。例えば、処理装置群コントローラ１は、処理装置２１の稼働履歴からこの処理装置２１で当分の間は処理が行われないと予測される場合、この処理装置２１に対してアイドル状態への切り替えを指示する。
【００４８】
また、上記実施形態では、１つの処理装置群コントローラ１が１つの処理装置群２に含まれる複数の処理装置２１の運転状態の切り替えを行っていたが、図７に示すように、複数の処理装置群コントローラ１Ａ〜１Ｃ及び処理装置群２Ａ〜２Ｃを設け、処理装置群コントローラ１Ａ〜１Ｃとホスト４との間で情報の送受信を行う上位コントローラ５０を設けてもよい。なお、図７では、搬送システム３の図示を省略している。
【００４９】
例えば、上位コントローラ５０は、ホスト４から処理装置群２Ａ〜２Ｃに含まれる複数の処理装置２１の稼働予定を受信すると、処理装置群２Ａに含まれる複数の処理装置２１の稼働予定を処理装置群コントローラ１Ａへ送信する。同様に、上位コントローラ５０は、処理装置群２Ｂに含まれる複数の処理装置２１の稼働予定を処理装置群コントローラ１Ｂへ送信し、処理装置群２Ｂに含まれる複数の処理装置２１の稼働予定を処理装置群コントローラ１Ｂへ送信する。
【００５０】
また、図８に示すように、処理装置群２Ａ〜２Ｃに含まれる複数の処理装置２１が共用する共用設備５２が設けられている場合、上位コントローラ５０が、共用設備５２の使用調停や、運転状態の切り替えを行ってもよい。
【００５１】
例えば、上位コントローラ５０は、共用設備５２の運転負荷が所定値以上となった場合に、処理装置群２Ａ〜２Ｃに対して共用設備５２の使用可否を指示し、共用設備５２に過大な負荷がかからないようにする。
【００５２】
また、例えば、上位コントローラ５０は、搬送計画と、処理装置群２Ａ〜２Ｃに含まれる複数の処理装置２１の稼働予定とを比較し、すべての処理装置２１がメンテナンス直前の処理を終了し、メンテナンスを待っている状態となった時に、共用設備５２をアイドル状態に切り替える。このことにより、共用設備５２を効率良く計画的に利用することができる。
【００５３】
図７に示した例では、上位コントローラ５０及び処理装置群コントローラ１Ａ〜１Ｃの２階層のコントローラを設けていたが、コントローラの階層を３以上としてもよい。図９は、３階層のコントローラを設けた構成の一例を示しており、ホスト４と通信する最上位コントローラ６０、処理装置群２Ａ〜２Ｃに含まれる処理装置２１の運転状態の切り替えを行う処理装置群コントローラ１Ａ〜１Ｃ、処理装置群２Ｄ、２Ｅに含まれる処理装置２１の運転状態の切り替えを行う処理装置群コントローラ１Ｄ、１Ｅ、最上位コントローラ６０と処理装置群コントローラ１Ａ〜１Ｃとの間で情報の送受信を行う上位コントローラ５０Ａ、及び最上位コントローラ６０と処理装置群コントローラ１Ｄ、１Ｅとの間で情報の送受信を行う上位コントローラ５０Ｂが設けられている。
【００５４】
例えば、設備を共用する複数の処理装置群をグループ化し、各グループに対応して上位コントローラ５０Ａ、５０Ｂを設け、複数の上位コントローラ５０Ａ、５０Ｂとホスト４との間に最上位コントローラ６０を設けることで、共用設備の計画的利用や使用調停等を行うことができる。
【００５５】
上述した実施形態で説明した処理装置群コントローラ１及びホスト４の少なくとも一部は、ハードウェアで構成してもよいし、ソフトウェアで構成してもよい。ソフトウェアで構成する場合には、処理装置群コントローラ１及びホスト４の少なくとも一部の機能を実現するプログラムをフレキシブルディスクやＣＤ−ＲＯＭ等の記録媒体に収納し、コンピュータに読み込ませて実行させてもよい。記録媒体は、磁気ディスクや光ディスク等の着脱可能なものに限定されず、ハードディスク装置やメモリなどの固定型の記録媒体でもよい。
【００５６】
また、処理装置群コントローラ１及びホスト４の少なくとも一部の機能を実現するプログラムを、インターネット等の通信回線（無線通信も含む）を介して頒布してもよい。さらに、同プログラムを暗号化したり、変調をかけたり、圧縮した状態で、インターネット等の有線回線や無線回線を介して、あるいは記録媒体に収納して頒布してもよい。
【００５７】
なお、本発明は上記実施形態そのままに限定されるものではなく、実施段階ではその要旨を逸脱しない範囲で構成要素を変形して具体化できる。また、上記実施形態に開示されている複数の構成要素の適宜な組み合わせにより、種々の発明を形成できる。例えば、実施形態に示される全構成要素から幾つかの構成要素を削除してもよい。さらに、異なる実施形態にわたる構成要素を適宜組み合わせてもよい。
【符号の説明】
【００５８】
１ 処理装置群コントローラ
２ 処理装置群
３ 搬送システム
４ ホスト
２１ 処理装置
２７ 設備
３１ 搬送制御装置
３２ 搬送装置
【技術分野】
【０００１】
本発明は、被処理体を処理する処理装置に付随する設備のエネルギー消費量を削減する処理装置群コントローラ、生産処理システム、処理装置群制御方法、及びプログラムに関する。
【背景技術】
【０００２】
ジョブショップ型の生産システムを有する製造工場（例えば、半導体デバイス製造工場や有機ＥＬデバイス製造工場）では、生産実行制御装置（MES: Manufacturing Execution System）により生産の実行が制御されている。このような製造工場では、被処理体を処理する複数の処理装置と、各処理装置へ被処理体を搬送する搬送装置と、搬送装置の動作を制御する搬送制御装置と、被処理体が処理されるべき処理装置を決定し、被処理体の搬送先を搬送制御装置へ指示すると共に、被処理体に対する処理内容を処理装置に指示する生産実行制御装置とを備える生産処理システムが実用化されている。
【０００３】
特許文献１には、被処理体を処理する複数の処理装置と通信する手順と、任意の処理装置間で被処理体を搬送する搬送装置と通信する手順と、被処理体に対する処理を処理装置に指示する生産指示装置と通信する手順とを有するソフトウェアが開示されている。
【０００４】
非特許文献１には、工場の生産管理システム（ＭＥＳ）と、ＭＥＳからの各種指示を受け、搬送装置（OHT: Overhead Hoist Transport）を制御する搬送制御装置（MCS: Material Control System）とが、工場レイアウト等の情報を共有することで、搬送の効率化を図ることができる旨が開示されている。
【０００５】
特許文献２には、優先的に処理すべき被処理体が処理装置に到着するまでの時間が十分に長い場合、処理装置が他の被処理体を処理することを許可し、優先的に処理すべき被処理体が処理装置に到着するまでの時間が短い場合、優先的に処理すべき被処理体の到着を待つように指示するプロセス管理システムが開示されている。
特許文献３には、被処理体の到着に要する到着時間と、省電力状態にある処理装置の立ち上げ時間とを比較し、到着時間が立ち上げ時間より長い場合、処理装置を省電力状態にする電力供給システムが開示されている。
【０００６】
また、レディ状態（準備状態）の処理装置が、一定時間ホストコンピュータから具体的な処理指示を受け取らない場合に、処理装置側で、レディ状態からアイドル状態（休止状態）への切り替えを判断することで、エネルギー消費量を削減する生産システムが知られている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開２００９−１３５２７５号公報
【特許文献２】特開２００８−２５０８２６号公報
【特許文献３】特開２００７−８８４２９号公報
【非特許文献】
【０００８】
【非特許文献１】ＳＥＭＩ Ｎｅｗｓ ２００６ Ｖｏｌ．２２ Ｎｏ．６
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
上述した従来のシステムでは、処理装置がレディ状態からアイドル状態へ切り替わるまでに時間がかかっていた。また、処理装置に付随する設備は、処理装置がアイドル状態になった後に、レディ状態からアイドル状態に切り替わるため、アイドル状態への切り替えにさらに時間がかかり、設備におけるエネルギー消費量の削減が困難であるという問題があった。
【００１０】
本発明は、このような点を考慮してなされたものであり、被処理体を処理する複数の処理装置に付随する設備のレディ状態／アイドル状態の切り替えを適切に行い、設備におけるエネルギー消費量を削減する処理装置群コントローラ、生産処理システム、処理装置群制御方法、及びプログラムを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明の一態様による処理装置群コントローラは、被処理体を処理するそれぞれ設備が付随した複数の処理装置のメンテナンス時期の情報を含む稼働予定と、前記複数の処理装置への被処理体の搬入及び搬出のタイミングの情報を含む搬送計画とを記憶する記憶部と、前記搬送計画と、各処理装置の前記稼働予定とを比較し、各処理装置について、メンテナンス前の最後の処理を特定し、特定した処理の終了タイミングを検出する検出部と、各処理装置に対して、前記終了タイミングで、付随している設備とともにアイドル状態に切り替わるように指示する指示部とを備えるものである。
【００１２】
本発明の一態様による処理装置群コントローラにおいては、前記指示部は、前記終了タイミングで、前記処理装置に付随した設備に対してアイドル状態に切り替わるように指示することが好ましい。
【００１３】
本発明の一態様による生産処理システムは、被処理体を処理する、それぞれ設備が付随した複数の処理装置と、前記複数の処理装置へ被処理体を搬送する搬送装置と、前記搬送装置による被処理体の搬入及び搬出のタイミングの情報を含む搬送計画を作成し、前記複数の処理装置から、メンテナンス時期の情報を含む稼働予定を取得するホストコンピュータと、前記ホストコンピュータから前記搬送計画及び前記稼働予定を取得し、前記搬送計画と、各処理装置の前記稼働予定とを比較し、各処理装置について、メンテナンス前の最後の処理を特定し、特定した処理の終了タイミングを検出し、各処理装置に対して、前記終了タイミングで、付随している設備とともにアイドル状態に切り替わるように指示する処理装置群コントローラと、を備えるものである。
【００１４】
本発明の一態様による生産処理システムにおいては、前記処理装置群コントローラは、前記終了タイミングで、前記処理装置に付随した設備に対してアイドル状態に切り替わるように指示することが好ましい。
【００１５】
本発明の一態様による生産処理システムは、被処理体を処理する、それぞれ設備が付随した複数の第１処理装置と、被処理体を処理する、それぞれ設備が付随した複数の第２処理装置と、前記複数の第１及び第２処理装置へ被処理体を搬送する搬送装置と、前記搬送装置による被処理体の搬入及び搬出のタイミングの情報を含む搬送計画を作成し、前記複数の第１及び第２処理装置から、メンテナンス時期の情報を含む稼働予定を取得するホストコンピュータと、前記搬送計画及び前記複数の第１処理装置の稼働予定を取得し、前記搬送計画と、各第１処理装置の稼働予定とを比較し、各第１処理装置について、メンテナンス前の最後の処理を特定し、特定した処理の終了タイミングを検出し、各第１処理装置に対して、前記終了タイミングで、付随している設備とともにアイドル状態に切り替わるように指示する第１処理装置群コントローラと、前記搬送計画及び前記複数の第２処理装置の稼働予定を取得し、前記搬送計画と、各第２処理装置の稼働予定とを比較し、各第２処理装置について、メンテナンス前の最後の処理を特定し、特定した処理の終了タイミングを検出し、各第２処理装置に対して、前記終了タイミングで、付随している設備とともにアイドル状態に切り替わるように指示する第２処理装置群コントローラと、前記ホストコンピュータから前記搬送計画及び前記複数の第１及び第２処理装置の稼働予定を取得し、前記搬送計画及び前記複数の第１処理装置の稼働予定を前記第１処理装置群コントローラへ送信し、前記搬送計画及び前記複数の第２処理装置の稼働予定を前記第２処理装置群コントローラへ送信する上位コントローラと、を備えるものである。
【００１６】
本発明の一態様による生産処理システムにおいては、前記複数の第１及び第２処理装置が共用する共用設備をさらに備え、前記上位コントローラが、前記搬送計画と、前記複数の第１及び第２処理装置の稼働予定とを比較し、比較結果に基づき、前記共用設備に対してアイドル状態に切り替わるように指示することが好ましい。
【００１７】
本発明の一態様による処理装置群制御方法は、被処理体を処理するそれぞれ設備が付随した複数の処理装置のメンテナンス時期の情報を含む稼働予定を取得するステップと、前記複数の処理装置への被処理体の搬入及び搬出のタイミングの情報を含む搬送計画を取得するステップと、前記搬送計画と、各処理装置の前記稼働予定とを比較し、各処理装置について、メンテナンス前の最後の処理を特定し、特定した処理の終了タイミングを検出するステップと、各処理装置に対して、前記終了タイミングで、付随している設備とともにアイドル状態に切り替わるように指示するステップと、を備えるものである。
【００１８】
本発明の一態様によるプログラムは、被処理体を処理するそれぞれ設備が付随した複数の処理装置のメンテナンス時期の情報を含む稼働予定を取得するステップと、前記複数の処理装置への被処理体の搬入及び搬出のタイミングの情報を含む搬送計画を取得するステップと、前記搬送計画と、各処理装置の前記稼働予定とを比較し、各処理装置について、メンテナンス前の最後の処理を特定し、特定した処理の終了タイミングを検出するステップと、各処理装置に対して、前記終了タイミングで、付随している設備とともにアイドル状態に切り替わるように指示するステップと、をコンピュータに実行させるものである。
【発明の効果】
【００１９】
本発明によれば、被処理体の搬送計画及び複数の処理装置の稼動予定に基づいて、各処理装置における処理にあわせたレディ状態／アイドル状態の切り替えタイミングを検出し、各処理装置及びこれに付随する設備のレディ状態／アイドル状態を適切なタイミングで切り替えることによって、設備におけるエネルギー消費量を削減することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】本発明の実施形態に係る生産処理システムの概略構成図である。
【図２】同実施形態に係る処理装置の概略構成図である。
【図３】同実施形態に係る処理装置群コントローラのハードウェア構成図である。
【図４】同実施形態に係る処理装置群コントローラの機能ブロック図である。
【図５】同実施形態に係る処理装置に対するアイドル状態への切り替え指示処理を説明するフローチャートである。
【図６】搬送計画及び稼働予定の一例を示す図である。
【図７】変形例による生産処理システムの概略構成図である。
【図８】変形例による生産処理システムの概略構成図である。
【図９】変形例による生産処理システムの概略構成図である。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。
【００２２】
図１は、本発明の実施形態に係る処理装置群コントローラ１を有する生産処理システムの構成の一例を示したブロック図である。生産処理システムは、複数の処理装置２１を有する処理装置群２と、搬送装置３２及び搬送装置３２の動作を制御する搬送制御装置３１を有する搬送システム３と、処理装置群２及び搬送システム３へ制御指示を与える生産管理用ホストコンピュータ４（以下単に「ホスト４」という）と、各処理装置２１に対してレディ状態／アイドル状態の切り替えを指示する処理装置群コントローラ１とを備えている。ここで、処理装置２１のレディ状態とは、被処理体を受け入れた際に速やかに処理を開始できるよう準備している状態をいい、アイドル状態は休止状態をいう。
【００２３】
ホスト４は、いわゆるＭＥＳ（Manufacturing Execution System）を構成しており、製造されるべき製品の種類、仕様等に応じて生産計画を作成するスケジューラモジュールや、作成した生産計画にしたがって被処理体が処理されるべき処理装置２１を特定し、被処理体に対する処理条件（レシピ）を処理装置２１へ指示すると共に、搬送計画を搬送システム３へ指示するディスパッチャモジュール等を有する。ここで、搬送計画とは、被処理体を処理装置２１へ搬入するタイミングや、処理装置２１で処理された被処理体を搬出するタイミングを規定したものである。また、ホスト４は、各処理装置２１から後述する稼働予定を受信し、搬送計画及び各処理装置２１の稼働予定を処理装置群コントローラ１へ送信する。
【００２４】
処理装置２１は、例えば、有機ＥＬデバイス製造用のガラス基板、半導体デバイス等製造用のシリコンウェーハ等の被処理体を処理するプラズマＣＶＤ装置、プラズマエッチング装置、スパッタリング装置、ＰＶＤ装置等の基板処理装置である。
【００２５】
１つの処理装置群２を構成する複数の処理装置２１は同じ種類の装置であってもよいし、一連の処理シーケンスに対応したものであってもよい。
【００２６】
また、各処理装置２１には、部品の交換、クリーニング、定期点検等のメンテナンスが行われる時期が稼働予定として設定されている。各処理装置２１は、この稼働予定をホスト４に通知する。
【００２７】
図１に示すように、生産処理システムには、各処理装置２１に付随した設備２７が設けられている。設備２７は、例えば、処理装置２１のチャンバ内を所望の真空度にする真空ポンプや、処理装置２１から排出されたガスを除害する除害装置である。
【００２８】
処理装置２１は、設備２７と通信可能に接続されており、設備２７に対してレディ状態／アイドル状態の切り替えを指示することができる。処理装置２１は、処理装置群コントローラ１によりアイドル状態への切り替えが指示されると、自装置をアイドル状態にすると共に、自装置に付随する設備２７をアイドル状態に切り替える。
【００２９】
設備２７はアイドル状態になると、エネルギー消費量が低減する。例えば、設備２７が真空ポンプである場合、アイドル状態になると、真空度を下げることで消費電力を低減し、かつ窒素ガス等の希釈ガスの供給量を減らす。また、設備２７が除害装置である場合、アイドル状態になると、燃焼に用いる燃料の供給量を減らす。
【００３０】
図２は、処理装置２１の構成の一例を示したブロック図である。処理装置２１は、例えば、マルチチャンバ式の基板処理システムである。処理装置２１は、被処理体Ｗを収容するＦＯＵＰ（Front Open Unified Pod）を受け渡しするためにＦＯＵＰが載置される第１及び第２ロードポート（LP: Load Port）２２ａ、２２ｂが設けられたロードモジュール（LM: Load Module）２３を備える。ロードモジュール２３には、ロードロックモジュール（LLM: Load Lock Module）２４ａ、２４ｂを介してトランスファーモジュール（TM: Transfer Module）２５が接続されている。トランスファーモジュール２５が有する真空ロボット（図示せず）は、ロードロックモジュール２４ａ、２４ｂを通じて搬入された被処理体Ｗをプロセスモジュール（PM: Process Module）２６ａ〜２６ｄへ搬送する。プロセスモジュール２６ａ〜２６ｄは、レシピに基づいて、被処理体Ｗに所定の処理を施す。処理された被処理体Ｗは、搬入とは逆の経路を辿って第１ロードポート２２ａ又は第２ロードポート２２ｂに載置されたＦＯＵＰに回収され、ＦＯＵＰ単位で搬出される。
【００３１】
図２に示すマルチチャンバ式の基板処理システムでは、プロセスモジュール２６ａ〜２６ｄ及びトランスファーモジュール２５が常に真空状態に保持されており、ロードロックモジュール２４ａ、２４ｂとトランスファーモジュール２５とはゲートバルブ（図示せず）で仕切られる。ロードロックモジュール２４ａ、２４ｂが真空になった状態でゲートバルブが開かれて、被処理体Ｗが、プロセスモジュール２６ａ〜２６ｄとロードロックモジュール２４ａ、２４ｂとの間で搬送される。設備２７である真空ポンプが、ロードロックモジュール２４ａ、２４ｂの真空引きを行う。
【００３２】
搬送システム３は、搬送制御装置３１と搬送装置３２を有する。搬送装置３２は、例えば、天井又は床上に設置された軌道を走行する搬送シャトル、所定のルートを走行する無人搬送車等であり、ＦＯＵＰを搬送する。搬送装置３２は、搬送制御装置３１から与えられた指示に基づいて、複数の処理装置２１と、ＦＯＵＰを保管しているストッカとの間を移動し、ＦＯＵＰに収容された被処理体を搬送する。
【００３３】
搬送制御装置３１は、いわゆるＭＣＳ（Material Control System）を構成しており、ホスト４から与えられた搬送計画に基づいて、搬送装置３２の動作を制御する。
【００３４】
図３は、処理装置群コントローラ１のハードウェア構成の一例を示したブロック図である。処理装置群コントローラ１は、ＣＰＵ（中央演算処理装置）１１、ディスク装置１２、メインメモリ１３、及びネットワークインタフェース１４を備える。処理装置群コントローラ１の各部はバス１５を介して接続されている。
【００３５】
ディスク装置１２は、ＣＰＵ１１により実行される処理装置群制御プログラム１２ａを格納する。さらにディスク装置１２は、ネットワークインタフェース（受信部）１４を介してホスト４から搬送計画及び各処理装置２１の稼働予定を受け取り、格納する。ディスク装置１２は例えばハードディスクである。なお、処理装置群制御プログラム１２ａは、ディスク装置１２でなく、ＲＯＭや磁気テープ（共に図示せず）に格納されていてもよい。
【００３６】
ＣＰＵ１１は、ディスク装置１２内の処理装置群制御プログラム１２ａをメインメモリ１３にロードして、処理装置群制御プログラム１２ａを実行する。図４に、ＣＰＵ１１が処理装置群制御プログラム１２ａを実行することで実現される機能ブロック図を示す。処理装置群制御プログラム１２ａの実行により、取得部１０１、検出部１０２、及び切替指示部１０３が実現される。
【００３７】
図５に示すフローチャートを用いて、取得部１０１、検出部１０２、及び切替指示部１０３において実行される、処理装置２１に対するアイドル状態への切り替え指示処理を説明する。
【００３８】
（ステップＳ１０１）取得部１０１が、ディスク装置１２に格納されている搬送計画、及び各処理装置２１の稼働予定を取得する。
【００３９】
（ステップＳ１０２）検出部１０２が、搬送計画と各処理装置２１の稼働予定とを比較し、メンテナンス前の最後の処理（メンテナンス直前の処理）を特定し、処理装置２１をアイドル状態に切り替えるタイミングを検出する。
【００４０】
例えば、検出部１０２は、図６（ａ）に示すような、被処理体の搬入時期Ｔ１、Ｔ３、搬出時期Ｔ２、Ｔ４が規定された搬送計画と、図６（ｂ）に示すようなメンテナンスの時期Ｔ５が規定された稼働予定とを比較する。検出部１０２は、時期Ｔ３に搬入され、時期Ｔ４に搬出される被処理体の処理がメンテナンス直前の処理であると特定し、この処理の終了タイミング、例えば被処理体の搬出時期Ｔ４をアイドル状態への切り替えタイミングとして検出する。時期Ｔ４と時期Ｔ５の間は、被処理体が処理装置２１に搬入されないのでレディ状態である必要がないためである。
【００４１】
メンテナンス直前の処理の終了に伴い処理装置２１をアイドル状態にすることで、処理装置２１がアイドル状態となっている時間を長くとることができる。
【００４２】
（ステップＳ１０３）切替指示部１０３が、処理装置２１に対して、ステップＳ１０２で検出されたタイミングで付随する設備２７と共にアイドル状態に切り替わるよう、ネットワークインタフェース１４を介して指示を出す。切替指示部１０３が、ステップＳ１０２で検出されたタイミングで処理装置２１に対して切り替え指示を行ってもよいし、ステップＳ１０２で検出されたタイミングよりも前に、処理装置２１に対して切り替え指示及び切り替えのタイミングを通知するようにしてもよい。
【００４３】
これにより、処理装置２１及び処理装置２１に付随する設備２７は、メンテナンス直前の処理が終了すると速やかにアイドル状態になる。
【００４４】
このように、本実施形態によれば、メンテナンス直前の処理を特定し、この処理の終了に伴い設備２７をアイドル状態にする。従って、一定時間ホスト４から具体的な処理指示を受け取らないときに処理装置２１側でレディ状態からアイドル状態への切り替えを判断するような場合と比較して、設備２７を速やかにアイドル状態とし、設備２７がアイドル状態になっている時間を長くとることができるため、設備２７におけるエネルギー消費量を削減することができる。
【００４５】
上記実施形態では、処理装置群コントローラ１が処理装置２１に対してアイドル状態への切り替えを指示し、この指示を受け付けた処理装置２１が、付随する設備２７をアイドル状態に切り替えていたが、処理装置群コントローラ１が設備２７に対して直接アイドル状態への切り替えを指示してもよい。
【００４６】
上記実施形態において、処理装置群コントローラ１は、ホスト４から搬送計画が所定時間送信されてこない場合、すなわちネットワークインタフェース１４が所定時間搬送計画を受信しない場合、処理装置群２の処理装置２１の使用予定がないものと判定し、各処理装置２１に対してアイドル状態への切り替えを指示するようにしてもよい。
【００４７】
処理装置２１は、稼働状況の変更に伴い、現在の稼働状況をホスト４に通知する機能を有している。処理装置２１の稼働状況として、例えば、ラン状態（被処理体の処理を行っている状態）、レディ状態、アイドル状態がある。処理装置群コントローラ１は、ホスト４から各処理装置２１の稼働状況を取得し、ホスト４から搬送計画が所定時間送信されてこない場合に、各処理装置２１の稼働履歴（過去の稼働状況）に基づいて、各処理装置２１に対してアイドル状態への切り替えを指示するようにしてもよい。例えば、処理装置群コントローラ１は、処理装置２１の稼働履歴からこの処理装置２１で当分の間は処理が行われないと予測される場合、この処理装置２１に対してアイドル状態への切り替えを指示する。
【００４８】
また、上記実施形態では、１つの処理装置群コントローラ１が１つの処理装置群２に含まれる複数の処理装置２１の運転状態の切り替えを行っていたが、図７に示すように、複数の処理装置群コントローラ１Ａ〜１Ｃ及び処理装置群２Ａ〜２Ｃを設け、処理装置群コントローラ１Ａ〜１Ｃとホスト４との間で情報の送受信を行う上位コントローラ５０を設けてもよい。なお、図７では、搬送システム３の図示を省略している。
【００４９】
例えば、上位コントローラ５０は、ホスト４から処理装置群２Ａ〜２Ｃに含まれる複数の処理装置２１の稼働予定を受信すると、処理装置群２Ａに含まれる複数の処理装置２１の稼働予定を処理装置群コントローラ１Ａへ送信する。同様に、上位コントローラ５０は、処理装置群２Ｂに含まれる複数の処理装置２１の稼働予定を処理装置群コントローラ１Ｂへ送信し、処理装置群２Ｂに含まれる複数の処理装置２１の稼働予定を処理装置群コントローラ１Ｂへ送信する。
【００５０】
また、図８に示すように、処理装置群２Ａ〜２Ｃに含まれる複数の処理装置２１が共用する共用設備５２が設けられている場合、上位コントローラ５０が、共用設備５２の使用調停や、運転状態の切り替えを行ってもよい。
【００５１】
例えば、上位コントローラ５０は、共用設備５２の運転負荷が所定値以上となった場合に、処理装置群２Ａ〜２Ｃに対して共用設備５２の使用可否を指示し、共用設備５２に過大な負荷がかからないようにする。
【００５２】
また、例えば、上位コントローラ５０は、搬送計画と、処理装置群２Ａ〜２Ｃに含まれる複数の処理装置２１の稼働予定とを比較し、すべての処理装置２１がメンテナンス直前の処理を終了し、メンテナンスを待っている状態となった時に、共用設備５２をアイドル状態に切り替える。このことにより、共用設備５２を効率良く計画的に利用することができる。
【００５３】
図７に示した例では、上位コントローラ５０及び処理装置群コントローラ１Ａ〜１Ｃの２階層のコントローラを設けていたが、コントローラの階層を３以上としてもよい。図９は、３階層のコントローラを設けた構成の一例を示しており、ホスト４と通信する最上位コントローラ６０、処理装置群２Ａ〜２Ｃに含まれる処理装置２１の運転状態の切り替えを行う処理装置群コントローラ１Ａ〜１Ｃ、処理装置群２Ｄ、２Ｅに含まれる処理装置２１の運転状態の切り替えを行う処理装置群コントローラ１Ｄ、１Ｅ、最上位コントローラ６０と処理装置群コントローラ１Ａ〜１Ｃとの間で情報の送受信を行う上位コントローラ５０Ａ、及び最上位コントローラ６０と処理装置群コントローラ１Ｄ、１Ｅとの間で情報の送受信を行う上位コントローラ５０Ｂが設けられている。
【００５４】
例えば、設備を共用する複数の処理装置群をグループ化し、各グループに対応して上位コントローラ５０Ａ、５０Ｂを設け、複数の上位コントローラ５０Ａ、５０Ｂとホスト４との間に最上位コントローラ６０を設けることで、共用設備の計画的利用や使用調停等を行うことができる。
【００５５】
上述した実施形態で説明した処理装置群コントローラ１及びホスト４の少なくとも一部は、ハードウェアで構成してもよいし、ソフトウェアで構成してもよい。ソフトウェアで構成する場合には、処理装置群コントローラ１及びホスト４の少なくとも一部の機能を実現するプログラムをフレキシブルディスクやＣＤ−ＲＯＭ等の記録媒体に収納し、コンピュータに読み込ませて実行させてもよい。記録媒体は、磁気ディスクや光ディスク等の着脱可能なものに限定されず、ハードディスク装置やメモリなどの固定型の記録媒体でもよい。
【００５６】
また、処理装置群コントローラ１及びホスト４の少なくとも一部の機能を実現するプログラムを、インターネット等の通信回線（無線通信も含む）を介して頒布してもよい。さらに、同プログラムを暗号化したり、変調をかけたり、圧縮した状態で、インターネット等の有線回線や無線回線を介して、あるいは記録媒体に収納して頒布してもよい。
【００５７】
なお、本発明は上記実施形態そのままに限定されるものではなく、実施段階ではその要旨を逸脱しない範囲で構成要素を変形して具体化できる。また、上記実施形態に開示されている複数の構成要素の適宜な組み合わせにより、種々の発明を形成できる。例えば、実施形態に示される全構成要素から幾つかの構成要素を削除してもよい。さらに、異なる実施形態にわたる構成要素を適宜組み合わせてもよい。
【符号の説明】
【００５８】
１ 処理装置群コントローラ
２ 処理装置群
３ 搬送システム
４ ホスト
２１ 処理装置
２７ 設備
３１ 搬送制御装置
３２ 搬送装置
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被処理体を処理するそれぞれ設備が付随した複数の処理装置のメンテナンス時期の情報を含む稼働予定と、前記複数の処理装置への被処理体の搬入及び搬出のタイミングの情報を含む搬送計画とを記憶する記憶部と、
前記搬送計画と、各処理装置の前記稼働予定とを比較し、各処理装置について、メンテナンス前の最後の処理を特定し、特定した処理の終了タイミングを検出する検出部と、
各処理装置に対して、前記終了タイミングで、付随している設備とともにアイドル状態に切り替わるように指示する指示部と、
を備える処理装置群コントローラ。
【請求項２】
前記指示部は、前記終了タイミングで、前記処理装置に付随した設備に対してアイドル状態に切り替わるように指示することを特徴とする請求項１に記載の処理装置群コントローラ。
【請求項３】
前記複数の処理装置と通信可能に接続されているホストコンピュータから前記搬送計画を受信する受信部をさらに備え、
前記指示部は、前記受信部が前記ホストコンピュータから最新の搬送計画を受信してから所定時間以上経過した場合、各処理装置に対して、付随している設備とともにアイドル状態に切り替わるように指示することを特徴とする請求項１に記載の処理装置群コントローラ。
【請求項４】
前記複数の処理装置と通信可能に接続されているホストコンピュータから前記搬送計画及び各処理装置の稼働状況を受信する受信部をさらに備え、
前記指示部は、前記受信部が前記ホストコンピュータから最新の搬送計画を受信してから所定時間以上経過した場合、各処理装置の過去の稼働状況に基づいてアイドル状態に切り替える処理装置を特定し、特定した処理装置に対して、付随している設備とともにアイドル状態に切り替わるように指示することを特徴とする請求項１に記載の処理装置群コントローラ。
【請求項５】
被処理体を処理する、それぞれ設備が付随した複数の処理装置と、
前記複数の処理装置へ被処理体を搬送する搬送装置と、
前記搬送装置による被処理体の搬入及び搬出のタイミングの情報を含む搬送計画を作成し、前記複数の処理装置から、メンテナンス時期の情報を含む稼働予定を取得するホストコンピュータと、
前記ホストコンピュータから前記搬送計画及び前記稼働予定を取得し、前記搬送計画と、各処理装置の前記稼働予定とを比較し、各処理装置について、メンテナンス前の最後の処理を特定し、特定した処理の終了タイミングを検出し、各処理装置に対して、前記終了タイミングで、付随している設備とともにアイドル状態に切り替わるように指示する処理装置群コントローラと、
を備える生産処理システム。
【請求項６】
前記処理装置群コントローラは、前記終了タイミングで、前記処理装置に付随した設備に対してアイドル状態に切り替わるように指示することを特徴とする請求項５に記載の生産処理システム。
【請求項７】
被処理体を処理する、それぞれ設備が付随した複数の第１処理装置と、
被処理体を処理する、それぞれ設備が付随した複数の第２処理装置と、
前記複数の第１及び第２処理装置へ被処理体を搬送する搬送装置と、
前記搬送装置による被処理体の搬入及び搬出のタイミングの情報を含む搬送計画を作成し、前記複数の第１及び第２処理装置から、メンテナンス時期の情報を含む稼働予定を取得するホストコンピュータと、
前記搬送計画及び前記複数の第１処理装置の稼働予定を取得し、前記搬送計画と、各第１処理装置の稼働予定とを比較し、各第１処理装置について、メンテナンス前の最後の処理を特定し、特定した処理の終了タイミングを検出し、各第１処理装置に対して、前記終了タイミングで、付随している設備とともにアイドル状態に切り替わるように指示する第１処理装置群コントローラと、
前記搬送計画及び前記複数の第２処理装置の稼働予定を取得し、前記搬送計画と、各第２処理装置の稼働予定とを比較し、各第２処理装置について、メンテナンス前の最後の処理を特定し、特定した処理の終了タイミングを検出し、各第２処理装置に対して、前記終了タイミングで、付随している設備とともにアイドル状態に切り替わるように指示する第２処理装置群コントローラと、
前記ホストコンピュータから前記搬送計画及び前記複数の第１及び第２処理装置の稼働予定を取得し、前記搬送計画及び前記複数の第１処理装置の稼働予定を前記第１処理装置群コントローラへ送信し、前記搬送計画及び前記複数の第２処理装置の稼働予定を前記第２処理装置群コントローラへ送信する上位コントローラと、
を備える生産処理システム。
【請求項８】
前記複数の第１及び第２処理装置が共用する共用設備をさらに備え、
前記上位コントローラが、前記搬送計画と、前記複数の第１及び第２処理装置の稼働予定とを比較し、比較結果に基づき、前記共用設備に対してアイドル状態に切り替わるように指示することを特徴とする請求項７に記載の生産処理システム。
【請求項９】
被処理体を処理するそれぞれ設備が付随した複数の処理装置のメンテナンス時期の情報を含む稼働予定を取得するステップと、
前記複数の処理装置への被処理体の搬入及び搬出のタイミングの情報を含む搬送計画を取得するステップと、
前記搬送計画と、各処理装置の前記稼働予定とを比較し、各処理装置について、メンテナンス前の最後の処理を特定し、特定した処理の終了タイミングを検出するステップと、
各処理装置に対して、前記終了タイミングで、付随している設備とともにアイドル状態に切り替わるように指示するステップと、
を備える処理装置群制御方法。
【請求項１０】
被処理体を処理するそれぞれ設備が付随した複数の処理装置のメンテナンス時期の情報を含む稼働予定を取得するステップと、
前記複数の処理装置への被処理体の搬入及び搬出のタイミングの情報を含む搬送計画を取得するステップと、
前記搬送計画と、各処理装置の前記稼働予定とを比較し、各処理装置について、メンテナンス前の最後の処理を特定し、特定した処理の終了タイミングを検出するステップと、
各処理装置に対して、前記終了タイミングで、付随している設備とともにアイドル状態に切り替わるように指示するステップと、
をコンピュータに実行させるプログラム。
【請求項１】
被処理体を処理するそれぞれ設備が付随した複数の処理装置のメンテナンス時期の情報を含む稼働予定と、前記複数の処理装置への被処理体の搬入及び搬出のタイミングの情報を含む搬送計画とを記憶する記憶部と、
前記搬送計画と、各処理装置の前記稼働予定とを比較し、各処理装置について、メンテナンス前の最後の処理を特定し、特定した処理の終了タイミングを検出する検出部と、
各処理装置に対して、前記終了タイミングで、付随している設備とともにアイドル状態に切り替わるように指示する指示部と、
を備える処理装置群コントローラ。
【請求項２】
前記指示部は、前記終了タイミングで、前記処理装置に付随した設備に対してアイドル状態に切り替わるように指示することを特徴とする請求項１に記載の処理装置群コントローラ。
【請求項３】
前記複数の処理装置と通信可能に接続されているホストコンピュータから前記搬送計画を受信する受信部をさらに備え、
前記指示部は、前記受信部が前記ホストコンピュータから最新の搬送計画を受信してから所定時間以上経過した場合、各処理装置に対して、付随している設備とともにアイドル状態に切り替わるように指示することを特徴とする請求項１に記載の処理装置群コントローラ。
【請求項４】
前記複数の処理装置と通信可能に接続されているホストコンピュータから前記搬送計画及び各処理装置の稼働状況を受信する受信部をさらに備え、
前記指示部は、前記受信部が前記ホストコンピュータから最新の搬送計画を受信してから所定時間以上経過した場合、各処理装置の過去の稼働状況に基づいてアイドル状態に切り替える処理装置を特定し、特定した処理装置に対して、付随している設備とともにアイドル状態に切り替わるように指示することを特徴とする請求項１に記載の処理装置群コントローラ。
【請求項５】
被処理体を処理する、それぞれ設備が付随した複数の処理装置と、
前記複数の処理装置へ被処理体を搬送する搬送装置と、
前記搬送装置による被処理体の搬入及び搬出のタイミングの情報を含む搬送計画を作成し、前記複数の処理装置から、メンテナンス時期の情報を含む稼働予定を取得するホストコンピュータと、
前記ホストコンピュータから前記搬送計画及び前記稼働予定を取得し、前記搬送計画と、各処理装置の前記稼働予定とを比較し、各処理装置について、メンテナンス前の最後の処理を特定し、特定した処理の終了タイミングを検出し、各処理装置に対して、前記終了タイミングで、付随している設備とともにアイドル状態に切り替わるように指示する処理装置群コントローラと、
を備える生産処理システム。
【請求項６】
前記処理装置群コントローラは、前記終了タイミングで、前記処理装置に付随した設備に対してアイドル状態に切り替わるように指示することを特徴とする請求項５に記載の生産処理システム。
【請求項７】
被処理体を処理する、それぞれ設備が付随した複数の第１処理装置と、
被処理体を処理する、それぞれ設備が付随した複数の第２処理装置と、
前記複数の第１及び第２処理装置へ被処理体を搬送する搬送装置と、
前記搬送装置による被処理体の搬入及び搬出のタイミングの情報を含む搬送計画を作成し、前記複数の第１及び第２処理装置から、メンテナンス時期の情報を含む稼働予定を取得するホストコンピュータと、
前記搬送計画及び前記複数の第１処理装置の稼働予定を取得し、前記搬送計画と、各第１処理装置の稼働予定とを比較し、各第１処理装置について、メンテナンス前の最後の処理を特定し、特定した処理の終了タイミングを検出し、各第１処理装置に対して、前記終了タイミングで、付随している設備とともにアイドル状態に切り替わるように指示する第１処理装置群コントローラと、
前記搬送計画及び前記複数の第２処理装置の稼働予定を取得し、前記搬送計画と、各第２処理装置の稼働予定とを比較し、各第２処理装置について、メンテナンス前の最後の処理を特定し、特定した処理の終了タイミングを検出し、各第２処理装置に対して、前記終了タイミングで、付随している設備とともにアイドル状態に切り替わるように指示する第２処理装置群コントローラと、
前記ホストコンピュータから前記搬送計画及び前記複数の第１及び第２処理装置の稼働予定を取得し、前記搬送計画及び前記複数の第１処理装置の稼働予定を前記第１処理装置群コントローラへ送信し、前記搬送計画及び前記複数の第２処理装置の稼働予定を前記第２処理装置群コントローラへ送信する上位コントローラと、
を備える生産処理システム。
【請求項８】
前記複数の第１及び第２処理装置が共用する共用設備をさらに備え、
前記上位コントローラが、前記搬送計画と、前記複数の第１及び第２処理装置の稼働予定とを比較し、比較結果に基づき、前記共用設備に対してアイドル状態に切り替わるように指示することを特徴とする請求項７に記載の生産処理システム。
【請求項９】
被処理体を処理するそれぞれ設備が付随した複数の処理装置のメンテナンス時期の情報を含む稼働予定を取得するステップと、
前記複数の処理装置への被処理体の搬入及び搬出のタイミングの情報を含む搬送計画を取得するステップと、
前記搬送計画と、各処理装置の前記稼働予定とを比較し、各処理装置について、メンテナンス前の最後の処理を特定し、特定した処理の終了タイミングを検出するステップと、
各処理装置に対して、前記終了タイミングで、付随している設備とともにアイドル状態に切り替わるように指示するステップと、
を備える処理装置群制御方法。
【請求項１０】
被処理体を処理するそれぞれ設備が付随した複数の処理装置のメンテナンス時期の情報を含む稼働予定を取得するステップと、
前記複数の処理装置への被処理体の搬入及び搬出のタイミングの情報を含む搬送計画を取得するステップと、
前記搬送計画と、各処理装置の前記稼働予定とを比較し、各処理装置について、メンテナンス前の最後の処理を特定し、特定した処理の終了タイミングを検出するステップと、
各処理装置に対して、前記終了タイミングで、付随している設備とともにアイドル状態に切り替わるように指示するステップと、
をコンピュータに実行させるプログラム。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【公開番号】特開２０１３−１１４３２８（Ｐ２０１３−１１４３２８Ａ）
【公開日】平成２５年６月１０日（２０１３．６．１０）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２０１１−２５７７６０（Ｐ２０１１−２５７７６０）
【出願日】平成２３年１１月２５日（２０１１．１１．２５）
【出願人】（０００２１９９６７）東京エレクトロン株式会社 (5,184)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２５年６月１０日（２０１３．６．１０）
【国際特許分類】
【出願日】平成２３年１１月２５日（２０１１．１１．２５）
【出願人】（０００２１９９６７）東京エレクトロン株式会社 (5,184)
【Ｆターム（参考）】
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