酸素濃度検出素子
【課題】 ヒータ部や検出部に熱応力に起因するクラック等の発生を防止できると共に、一対の電極のリード部線の歩留まりが向上し、且つ、ヒータ絶縁層の印刷回数を削減して低コストにできる酸素濃度検出素子を提供する。
【解決手段】 絶縁性材料により形成された芯ロッド２と、この芯ロッド２の円周面２ａに設けられ、外部からの通電によって発熱するヒータパターン３と、芯ロッド２の円周面で、且つ、ヒータパターン３との間で印刷保護層１０を介して配置された酸素イオン伝導性の固体電解質層５を有し、この固体電解質層５の内外面に配置された参照電極６及び検出電極７より酸素濃度に応じた電気信号を取り出す検出部１５とを備えた。
【解決手段】 絶縁性材料により形成された芯ロッド２と、この芯ロッド２の円周面２ａに設けられ、外部からの通電によって発熱するヒータパターン３と、芯ロッド２の円周面で、且つ、ヒータパターン３との間で印刷保護層１０を介して配置された酸素イオン伝導性の固体電解質層５を有し、この固体電解質層５の内外面に配置された参照電極６及び検出電極７より酸素濃度に応じた電気信号を取り出す検出部１５とを備えた。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば、排気ガス中の酸素濃度を検出する酸素センサに用いられる酸素濃度検出素子に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般に、自動車用エンジン等では、排気管の途中に酸素センサを配置し、酸素センサで排気ガス中に含まれる酸素濃度を検出し、燃料と空気との混合比率である空燃比Ａ／Ｆを所定の理論空燃比（Ａ／Ｆ＝１４．７）とするように吸引空気量をフィードバック制御する。
【０００３】
上記酸素センサに使用される従来の酸素濃度検出素子として、図５に示すものがある。
【０００４】
この酸素濃度検出素子１００は、図５に示すように、ベース部材１０１と、このベース部材１０１の外周側に形成された酸素イオン伝導性の固体電解質層１０２と、ベース部材１０１の外周面に設けられた多孔質層１０３と、固体電解質層１０２の内面に形成された参照電極１０４と、固体電解質層１０２の外面に形成された検出電極１０５と、この検出電極１０５及び固体電解質層１０２の外面の全域に形成され、検出電極１０５の外面に酸素導入窓部１０６ａを有する緻密層１０６と、この緻密層１０６の外面及び酸素導入窓部１０６ａより露出された検出電極１０５の外面に形成された保護層１０７とから構成されている。そして、緻密層１０６及び保護層１０７の外側に測定ガス（例えば、排気管内の排気ガス）が導かれる状態で配置される。
【０００５】
ベース部材１０１は、中実円柱の芯ロッド１１０と、この外周に形成されたヒータ部であるヒータパターン１１１と、このヒータパターン１１１を被覆するよう芯ロッド１１０の外周に形成された絶縁性材料のヒータ絶縁層１１２とから構成されている。つまり、ヒータパターン１１１の上面に、固体電解質層１０２、参照電極１０４及び検出電極１０５から成る検出部１２０が積層されている。
【０００６】
参照電極１０４及び検出電極１０５は、共に導電性で、且つ、酸素が通過できる材料より形成されている。また、参照電極１０４及び検出電極１０５にはそれぞれリード線部１１３（参照電極１０４側は図示せず）が一体的に延設されており、これらリード線部１１３を用いて参照電極１０４と検出電極１０５との間に現れる出力電圧を検出できるようになっている。緻密層１０６は、測定ガス中の酸素が内面側に通過できない材料で形成されている。保護層１０７は、測定ガス中の有害ガスは内面側に通過できないが、測定ガス中の酸素は通過できる材料で形成されている。
【０００７】
次に、酸素濃度検出素子１００による酸素濃度の検出動作を説明する。ヒータパターン１１１に通電されると、ヒータパターン１１１の発熱がヒータ絶縁層１１２を介して検出部１２０に伝達され、固体電解質層１０２が活性化される。そして、測定ガス中の酸素は保護層１０７を透過し、検出電極１０５を通過して固体電解質層１０２の外面に導入され、基準となる大気ガス中の酸素は多孔質層１０３を介して参照電極１０４に達する。固体電解質層１０２の内外面で酸素濃度に差があると、酸素イオンが固体電解質層１０２内を輸送されることによって酸素濃度差に応じて参照電極１０４と検出電極１０５との間に起電力が発し、酸素濃度差に応じた出力電圧が得られる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】特開平７−２７７３７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
しかしながら、前記従来の酸素濃度検出素子１００では、ヒータパターン１１１の上面にヒータ絶縁層１１２を介して検出部１２０が積層された構造であり、ヒータパターン１１１と検出部１２０とは熱膨脹率の異なる材料より形成される。従って、ヒータパターン１１１と検出部１２０との間に熱膨張率差により熱応力が発生し、双方の間に剥離が発生し、この剥離箇所を基点としてクラック等が発生するという問題があった。
【００１０】
また、参照電極１０４と検出電極１０５の各リード線部１１３はヒータ絶縁層１１２が配置されない芯ロッド１１０の上面にまで延設する場合には、リード線部１１３の配線経路がヒータ絶縁層１１２の端面による段差を通ることになる。ここで、ヒータ絶縁層１１２はヒータパターン１１１と検出部１２０との間の絶縁を確保するために非常に厚く形成する必要がある。従って、リード線部１１３の配線経路は大きな段差を有する経路となるため、リード線部１１３の断線原因になり、歩留まりが悪いという問題があった。
【００１１】
さらに、上述したようにヒータ絶縁層１１２を厚く形成する必要があるため、ヒータ絶縁層１１２を形成するのに多数の印刷回数が必要であり、コスト高であるという問題があった。
【００１２】
本発明は前述した事情に鑑みてなされたものであり、本発明の目的は、ヒータ部や検出部に熱応力に起因するクラック等の発生を防止できると共に、一対の電極のリード部線の歩留まりが向上し、且つ、ヒータ絶縁層の印刷回数を削減して低コストにできる酸素濃度検出素子を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
上記の目的を達成するために、請求項１に記載の発明は、ベース部材と、このベース部材の外面に設けられ、外部からの通電によって発熱するヒータ部と、このヒータ部との間で保護層を介して配置された酸素イオン伝導性の固体電解質層を有し、この固体電解質層の内外面に配置された一対の電極より酸素濃度に応じた電気信号を取り出す検出部とを備えたことを趣旨とする。
【発明の効果】
【００１４】
請求項１の発明によれば、ヒータ部と検出部が積層されず、ヒータ部と検出部との間に熱膨張率差により熱応力が発生しないため、熱応力に起因するクラック等が発生することがない。また、一対の電極のリード線部を従来例のように厚いヒータ絶縁層の上を配線経路としないで配索可能であるため、配線経路に高い段差がなくリード線部の歩留まりが向上し、低コストになる。さらに、ヒータ部と検出部が積層されないためにヒータ部のヒータ絶縁層を薄くしても絶縁を確保できるため、ヒータ絶縁層の印刷回数を削減でき、低コストになる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】本発明の一実施形態を示し、酸素濃度検出素子の断面図である。
【図２】本発明の一実施形態を示し、酸素濃度検出素子の製造手順を説明するための図である。
【図３】本発明の一実施形態を示し、酸素濃度検出素子を展開し、且つ、展開状態での各層の輪郭線を示した図である。
【図４】本発明の一実施形態の変形例を示し、酸素濃度検出素子を展開し、且つ、展開状態での各層の輪郭線を示した図である。
【図５】従来例を示し、酸素濃度検出素子の断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下、本発明を具現化した一実施形態について図面を参照して説明する。
【００１７】
図１〜図３は本発明の一実施形態を示し、図１は酸素濃度検出素子の断面図、図２は酸素濃度検出素子の製造手順を説明するための図、図３は酸素濃度検出素子を展開し、且つ、展開状態での各層の輪郭線を示した図である。
【００１８】
図１において、酸素濃度検出素子１Ａは、ベース部材である芯ロッド２と、この芯ロッド２の円周面（外面）２ａに形成されたヒータ部であるヒータパターン３と、このヒータパターン３の外周面の全域を覆うヒータ絶縁層４と、芯ロッド２の円周面２ａ側で、且つ、ヒータパターン３との間を絶縁するクリアランスを有した位置に形成された酸素イオン伝導性の固体電解質層５と、この固体電解質層５の内面に形成された電極である参照電極６と、固体電解質層５の外面に形成された電極である検出電極７と、参照電極６の内面とベース部材２の円周面２ａとの間に設けられた応力緩和層８と、固体電解質層５の外面全体及び検出電極７の一部外面に形成され、電極用窓部９ａを有する緻密層９と、この緻密層９やヒータ絶縁層４の外面を全体的に覆う印刷保護層１０と、この印刷保護層１０の外面を含めた領域を被うスピネル保護層１１とから構成されている。
【００１９】
芯ロッド２は、絶縁材料であるアルミナ等のセラミック材料より形成されている。芯ロッド２は中実円柱のロッド状を有し、外面が円周面２ａに形成されている。ヒータパターン３は、タングステンや白金等の発熱性導体材料より形成されている。このヒータパターン３には、リード線部３ａが一体に延設されている。そして、外部からの通電で発熱することによって固体電解質層５を昇温して活性化させる。ヒータ絶縁層４は、絶縁性材料より形成され、ヒータパターン３の電気的絶縁を確保する。
【００２０】
固体電解質層５は、例えば、ジルコニアの粉体中に所定重量％のイットリアの粉体を混合してペースト状物より形成される。そして、固体電解質層５は、参照電極６と検出電極７との間で、周囲の酸素濃度差に応じた起電力を発生させ、その厚さ方向に酸素イオンを輸送する。つまり、固体電解質層５と参照電極６及び検出電極７とによって酸素濃度を電気信号として取り出す検出部１５が形成されている。検出部１５とヒータパターン３とは、ベース部材２の円周面２ａの径方向の対向位置に設けられている。
【００２１】
参照電極６及び検出電極７は、共に白金等からなる導電性で、且つ、酸素が透過できる材料より形成されている。そして、参照電極６及び検出電極７にはそれぞれリード線部６ａ，７ａが一体的に延設されており、リード線部６ａ，７ａを用いて参照電極６と検出電極７との間に現れる出力電圧を検出できるようになっている。また、参照電極６及び検出電極７とヒータパターン３との間は、図３に示すように、０．５ｍｍ以上のクリアランスＣ１をあけて形成されている。
【００２２】
応力緩和層８は、ジルコニアとアルミニュームの混合材料より形成されている。そして、応力緩和層８は、固体電解質層５の焼結時における固体電解質層５とベース部材２との間の応力差を緩和すると共に、固体電解質層５を通じて参照電極６へ輸送されてくる酸素を、図示しない経路によって逃散させるガス逃散路を構成している。
【００２３】
緻密層９は、測定ガス中の酸素が内面側に透過できない材料、例えば、アルミナ等のセラミック材料より形成されている。緻密層９は、固体電解質層５の外面の全域を全て覆い、電極用窓部９ａ内からは検出電極７が露出されている。つまり、測定ガス中の酸素が電極用窓部９ａのみから検出電極７に入り込むことができるようになっている。
【００２４】
印刷保護層１０は、緻密層９の電極用窓部９ａを介して外部に露出される検出電極７を外側から覆い、測定ガス中の有害ガス、ダスト等は内面側に通過できないが、測定ガス中の酸素は通過できる材質、例えば、アルミナと酸化マグネシウムの混合物の多孔質構造体にて形成されている。
【００２５】
スピネル保護層１１は、測定ガス中の酸素を通過でき、印刷保護層１０より粗い多孔質体にて形成されている。
【００２６】
次に、酸素濃度検出素子１Ａの製造方法を図２に基づいて説明する。先ず、アルミナ等のセラミック材料を射出成型して中実円柱の芯ロッド２を製造する。この芯ロッド２を回転させつつ、芯ロッド２の円周面２ａの略半分領域に、例えば、白金又はタングステン等の発熱性材料を曲面スクリーン印刷してヒータパターン３を形成する。
【００２７】
次に、芯ロッド２の円周面２ａの略半分領域に、アルミナ等を曲面スクリーン印刷してヒータ絶縁層４を形成する。
【００２８】
次に、芯ロッド２の円周面２ａで、且つ、ヒータパターン３の領域とは逆の半分領域に、曲面スクリーン印刷によって応力緩和層８を形成する。
【００２９】
次に、芯ロッド２の円周面２ａに、応力緩和層８の上から白金等からなる導電性ペーストを曲面スクリーン印刷して参照電極６及びそのリード線部６ａを一体に形成する。次に、参照電極６及び応力緩和層８等の上面に、例えば、ジルコニアとイットリアからなるペースト状物を曲面スクリーン印刷して酸素イオン伝導性の固体電解質層５を形成する。
【００３０】
次に、固体電解質層５の上面等に、白金等からなる導電性ペーストを曲面スクリーン印刷して検出電極７及びそのリード線部７ａを一体に形成する。
【００３１】
次に、検出電極７及び固体電解質層５の上面に、例えば、アルミナ等のセラミック材料を曲面スクリーン印刷して電極用窓部９ａを有する緻密層９を形成する。緻密層９の電極用窓部９ａからは検出電極７の中央部分が露出され、この露出された検出電極７の部分が電極としての有効部分となる。
【００３２】
次に、検出電極７及び固体電解質層５の外面のみならずヒータ絶縁層４の外面、つまり、芯ロッド２の円周面２ａの円周方向の全領域に亘って、例えば、アルミナと酸化マグネシウムからなるペースト状物を曲面スクリーン印刷して印刷保護層１０を形成する。同様にして、スピネル保護層１１を形成する。これで、曲面スクリーン印刷工程を終了する。
【００３３】
次に、曲面スクリーン印刷等を終えた円柱状作成物を高熱で焼成することにより一体的に焼結させる。これにより、酸素濃度検出素子１Ａの製造が完了する。完成した酸素濃度検出素子１Ａは図示しない酸素センサに組み込まれる。
【００３４】
次に、酸素濃度検出素子１Ａによる酸素濃度の検出動作を説明する。例えば、エンジンの排気管内に酸素センサが設置される場合には、測定ガスである排気ガスが酸素濃度検出素子１Ａの外周面を通過し、基準となる大気が応力緩和層８を介して導入されるように設置される。そして、ヒータパターン３に通電され、酸素濃度検出素子１Ａ全体を所定状態に加熱すると、固体電解質層５が活性化される。これで、検出可能状態となる。
【００３５】
排気ガスが排気管内に排出されると、排気ガス中の酸素はスピネル保護層１１、印刷保護層１０及び検出電極７を通過して固体電解質層５に導入され、大気ガス中の酸素は参照電極６の周囲に溜め込まれる。そして、固体電解質層５の内外面で酸素濃度に差が発生すると、従来例で説明したように、酸素イオンが固体電解質層５内を輸送されることによって酸素濃度差に応じて参照電極６と検出電極７との間に起電力が発生し、酸素濃度差に応じた出力電圧が得られる。
【００３６】
上記酸素濃度検出素子１Ａでは、芯ロッド２の円周面２ａのそれぞれ異なる位置にヒータパターン３と検出部１５とを設けたので、従来例のようにヒータパターン３と検出部１５間が接合面を介して接着されず、熱膨張率差により熱応力が発生しないため、熱応力に起因するクラック等が発生しない。
【００３７】
また、参照電極６及び検出電極７の各リード線部６ａ，７ａは、ヒータ絶縁層４上を配索経路とすることなく配索可能である。従って、リード線部６ａ，７ａの配線経路には、従来例のような大きな段差がなくリード線部６ａ，７ａの歩留まりが向上し、低コストになる。
【００３８】
さらに、ヒータパターン３と検出部１５が積層されないためにヒータパターン３のヒータ絶縁層４を薄くしても絶縁を確保できるため、ヒータ絶縁層４の印刷回数を削減でき、低コストになる。つまり、従来例ではヒータパターン１１１と検出部１２０が積層構造であったため、ヒータパターン１１１と検出部１２０との間に厚いヒータ絶縁層１１２を形成する必要があり、複数回の印刷工程が必要であったためコスト高であったが、本発明ではヒータパターン３の外面を薄いヒータ絶縁層４で被いさえすれば絶縁を確保できるため、ヒータ絶縁層４の印刷回数を削減でき、低コストにできる。
【００３９】
上記実施形態では、芯ロッド２は、外面が円周面２ａのロッド状に形成されたので、取付け時の方向やガスの流れ方向等に影響されることなく酸素濃度を安定した精度で検出できる。
【００４０】
上記実施形態では、ヒータパターン３と検出部１５は、芯ロッド２の円周面２ａの径方向の対向位置に設けられたので、ヒータパターン３と検出部１５との間で絶縁に十分なクリアランスを取りつつ、コンパクトに構成できる。また、芯ロッド２の同一面の異なる位置にヒータパターン３と検出部１５を曲面スクリーン印刷によって形成できるため、容易に製造できる。
【００４１】
上記実施形態では、ヒータパターン３と検出部１５の参照電極６及び検出電極７との間は、０．５ｍｍ以上のクリアランスＣ１を開けて形成されたので、ヒータパターン３と参照電極６及び検出電極７との間に十分な絶縁間隔があるため、ヒータ絶縁層４の厚みを薄くできる。従って、ヒータ絶縁層４の印刷回数を削減でき、低コストになる。
【００４２】
上記実施形態では、芯ロッド２と検出部１５との間に応力緩和層８を介在させたので、固体電解質層５の焼結時における固体電解質層５と芯ロッド２との間の応力差を緩和できる。
【００４３】
図４は、上記実施形態の変形例を示し、酸素濃度検出素子１Ｂを展開し、且つ、展開状態での各層の輪郭線を示した図である。
【００４４】
図４において、前記実施形態の酸素濃度検出素子１Ａは、ヒータパターン３と検出部１５が芯ロッド２の円周面２ａの径方向の対向位置に設けられたが、この変形例の酸素濃度検出素子１Ｂは、ヒータパターン３と検出部１５が芯ロッドの円周面の軸方向Ｍのオフセット位置に設けられている点が相違する。
【００４５】
また、ヒータパターン３と検出部１５の参照電極６及び検出電極７との間は、０．５ｍｍ以上のクリアランスＣ１，Ｃ２をあけて形成されている。
【００４６】
尚、他の構成は、前記実施形態のものと同一であるため、同一構成部分に同一符号を付してその詳細な説明を省略する。
【００４７】
上記変形例では、ヒータパターン３と検出部１５は、芯ロッド２の円周面２ａの軸方向Ｍのオフセット位置に設けられたので、ヒータパターン３と検出部１５との間で絶縁に十分なクリアランスを取りつつ、コンパクトに構成できる。また、芯ロッド２の同一面の異なる位置にヒータパターン３を曲面スクリーン印刷によって形成できるため、容易に製造できる。
【００４８】
さらに、ヒータパターン３と検出部１５の参照電極６及び検出電極７との間は、０．５ｍｍ以上のクリアランスＣ１，Ｃ２をあけて形成されたので、前記実施形態と同様に、ヒータパターン３と参照電極６及び検出電極７との間に十分な絶縁間隔があるため、ヒータ絶縁層４の厚みを薄くできる。従って、ヒータ絶縁層４の印刷回数を削減でき、低コストになる。
【００４９】
尚、この発明は、次のような別の実施形態に具現化することができる。以下の別の実施形態において上記実施形態と同様な作用及び効果を得ることができる。
【００５０】
（１）上記実施形態において、緻密層９の電極用窓部９ａの形状を方形状としたが、電極用窓部９ａを円形状、楕円形状、三角形状、五角形以上の多角形状等のような形状にしても良い。
【００５１】
（２）上記実施形態において、ベース部材は、円柱形状の芯ロッド２にて形成されているが、円柱形状以外の形状、例えば外面がフラットな形状であっても本発明は同様に適用できる。
【００５２】
さらに、上記実施形態から把握し得る請求項以外の技術思想について、以下にその効果と共に記載する。
【００５３】
（イ）請求項１に記載の酸素濃度検出素子において、前記ヒータ部と前記検出部の前記電極との間は、０．５ｍｍ以上のクリアランスをあけて形成されたことを特徴とする酸素濃度検出素子。
【００５４】
この構成によれば、ヒータ部と電極との間に十分な絶縁間隔があるため、ヒータ絶縁層の厚みを薄くできる。従って、ヒータ絶縁層の印刷回数を削減でき、低コストになる。
【００５５】
（ロ）請求項１、及び、上記（イ）項に記載の酸素濃度検出素子において、前記ベース部材と前記検出部との間には、応力緩和層を介在させたことを特徴とする酸素濃度検出素子。
【００５６】
この構成によれば、固体電解質層の焼結時における固体電解質とベース部材との間の応力差を緩和できる。
【符号の説明】
【００５７】
１Ａ，１Ｂ 酸素濃度検出素子
２ 芯ロッド（ベース部材）
２ａ 円周面（外面）
３ ヒータパターン（ヒータ部）
５ 固体電解質層
６ 参照電極（電極）
７ 検出電極（電極）
１０ 印刷保護層
１５ 検出部
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば、排気ガス中の酸素濃度を検出する酸素センサに用いられる酸素濃度検出素子に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般に、自動車用エンジン等では、排気管の途中に酸素センサを配置し、酸素センサで排気ガス中に含まれる酸素濃度を検出し、燃料と空気との混合比率である空燃比Ａ／Ｆを所定の理論空燃比（Ａ／Ｆ＝１４．７）とするように吸引空気量をフィードバック制御する。
【０００３】
上記酸素センサに使用される従来の酸素濃度検出素子として、図５に示すものがある。
【０００４】
この酸素濃度検出素子１００は、図５に示すように、ベース部材１０１と、このベース部材１０１の外周側に形成された酸素イオン伝導性の固体電解質層１０２と、ベース部材１０１の外周面に設けられた多孔質層１０３と、固体電解質層１０２の内面に形成された参照電極１０４と、固体電解質層１０２の外面に形成された検出電極１０５と、この検出電極１０５及び固体電解質層１０２の外面の全域に形成され、検出電極１０５の外面に酸素導入窓部１０６ａを有する緻密層１０６と、この緻密層１０６の外面及び酸素導入窓部１０６ａより露出された検出電極１０５の外面に形成された保護層１０７とから構成されている。そして、緻密層１０６及び保護層１０７の外側に測定ガス（例えば、排気管内の排気ガス）が導かれる状態で配置される。
【０００５】
ベース部材１０１は、中実円柱の芯ロッド１１０と、この外周に形成されたヒータ部であるヒータパターン１１１と、このヒータパターン１１１を被覆するよう芯ロッド１１０の外周に形成された絶縁性材料のヒータ絶縁層１１２とから構成されている。つまり、ヒータパターン１１１の上面に、固体電解質層１０２、参照電極１０４及び検出電極１０５から成る検出部１２０が積層されている。
【０００６】
参照電極１０４及び検出電極１０５は、共に導電性で、且つ、酸素が通過できる材料より形成されている。また、参照電極１０４及び検出電極１０５にはそれぞれリード線部１１３（参照電極１０４側は図示せず）が一体的に延設されており、これらリード線部１１３を用いて参照電極１０４と検出電極１０５との間に現れる出力電圧を検出できるようになっている。緻密層１０６は、測定ガス中の酸素が内面側に通過できない材料で形成されている。保護層１０７は、測定ガス中の有害ガスは内面側に通過できないが、測定ガス中の酸素は通過できる材料で形成されている。
【０００７】
次に、酸素濃度検出素子１００による酸素濃度の検出動作を説明する。ヒータパターン１１１に通電されると、ヒータパターン１１１の発熱がヒータ絶縁層１１２を介して検出部１２０に伝達され、固体電解質層１０２が活性化される。そして、測定ガス中の酸素は保護層１０７を透過し、検出電極１０５を通過して固体電解質層１０２の外面に導入され、基準となる大気ガス中の酸素は多孔質層１０３を介して参照電極１０４に達する。固体電解質層１０２の内外面で酸素濃度に差があると、酸素イオンが固体電解質層１０２内を輸送されることによって酸素濃度差に応じて参照電極１０４と検出電極１０５との間に起電力が発し、酸素濃度差に応じた出力電圧が得られる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】特開平７−２７７３７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
しかしながら、前記従来の酸素濃度検出素子１００では、ヒータパターン１１１の上面にヒータ絶縁層１１２を介して検出部１２０が積層された構造であり、ヒータパターン１１１と検出部１２０とは熱膨脹率の異なる材料より形成される。従って、ヒータパターン１１１と検出部１２０との間に熱膨張率差により熱応力が発生し、双方の間に剥離が発生し、この剥離箇所を基点としてクラック等が発生するという問題があった。
【００１０】
また、参照電極１０４と検出電極１０５の各リード線部１１３はヒータ絶縁層１１２が配置されない芯ロッド１１０の上面にまで延設する場合には、リード線部１１３の配線経路がヒータ絶縁層１１２の端面による段差を通ることになる。ここで、ヒータ絶縁層１１２はヒータパターン１１１と検出部１２０との間の絶縁を確保するために非常に厚く形成する必要がある。従って、リード線部１１３の配線経路は大きな段差を有する経路となるため、リード線部１１３の断線原因になり、歩留まりが悪いという問題があった。
【００１１】
さらに、上述したようにヒータ絶縁層１１２を厚く形成する必要があるため、ヒータ絶縁層１１２を形成するのに多数の印刷回数が必要であり、コスト高であるという問題があった。
【００１２】
本発明は前述した事情に鑑みてなされたものであり、本発明の目的は、ヒータ部や検出部に熱応力に起因するクラック等の発生を防止できると共に、一対の電極のリード部線の歩留まりが向上し、且つ、ヒータ絶縁層の印刷回数を削減して低コストにできる酸素濃度検出素子を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
上記の目的を達成するために、請求項１に記載の発明は、ベース部材と、このベース部材の外面に設けられ、外部からの通電によって発熱するヒータ部と、このヒータ部との間で保護層を介して配置された酸素イオン伝導性の固体電解質層を有し、この固体電解質層の内外面に配置された一対の電極より酸素濃度に応じた電気信号を取り出す検出部とを備えたことを趣旨とする。
【発明の効果】
【００１４】
請求項１の発明によれば、ヒータ部と検出部が積層されず、ヒータ部と検出部との間に熱膨張率差により熱応力が発生しないため、熱応力に起因するクラック等が発生することがない。また、一対の電極のリード線部を従来例のように厚いヒータ絶縁層の上を配線経路としないで配索可能であるため、配線経路に高い段差がなくリード線部の歩留まりが向上し、低コストになる。さらに、ヒータ部と検出部が積層されないためにヒータ部のヒータ絶縁層を薄くしても絶縁を確保できるため、ヒータ絶縁層の印刷回数を削減でき、低コストになる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】本発明の一実施形態を示し、酸素濃度検出素子の断面図である。
【図２】本発明の一実施形態を示し、酸素濃度検出素子の製造手順を説明するための図である。
【図３】本発明の一実施形態を示し、酸素濃度検出素子を展開し、且つ、展開状態での各層の輪郭線を示した図である。
【図４】本発明の一実施形態の変形例を示し、酸素濃度検出素子を展開し、且つ、展開状態での各層の輪郭線を示した図である。
【図５】従来例を示し、酸素濃度検出素子の断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下、本発明を具現化した一実施形態について図面を参照して説明する。
【００１７】
図１〜図３は本発明の一実施形態を示し、図１は酸素濃度検出素子の断面図、図２は酸素濃度検出素子の製造手順を説明するための図、図３は酸素濃度検出素子を展開し、且つ、展開状態での各層の輪郭線を示した図である。
【００１８】
図１において、酸素濃度検出素子１Ａは、ベース部材である芯ロッド２と、この芯ロッド２の円周面（外面）２ａに形成されたヒータ部であるヒータパターン３と、このヒータパターン３の外周面の全域を覆うヒータ絶縁層４と、芯ロッド２の円周面２ａ側で、且つ、ヒータパターン３との間を絶縁するクリアランスを有した位置に形成された酸素イオン伝導性の固体電解質層５と、この固体電解質層５の内面に形成された電極である参照電極６と、固体電解質層５の外面に形成された電極である検出電極７と、参照電極６の内面とベース部材２の円周面２ａとの間に設けられた応力緩和層８と、固体電解質層５の外面全体及び検出電極７の一部外面に形成され、電極用窓部９ａを有する緻密層９と、この緻密層９やヒータ絶縁層４の外面を全体的に覆う印刷保護層１０と、この印刷保護層１０の外面を含めた領域を被うスピネル保護層１１とから構成されている。
【００１９】
芯ロッド２は、絶縁材料であるアルミナ等のセラミック材料より形成されている。芯ロッド２は中実円柱のロッド状を有し、外面が円周面２ａに形成されている。ヒータパターン３は、タングステンや白金等の発熱性導体材料より形成されている。このヒータパターン３には、リード線部３ａが一体に延設されている。そして、外部からの通電で発熱することによって固体電解質層５を昇温して活性化させる。ヒータ絶縁層４は、絶縁性材料より形成され、ヒータパターン３の電気的絶縁を確保する。
【００２０】
固体電解質層５は、例えば、ジルコニアの粉体中に所定重量％のイットリアの粉体を混合してペースト状物より形成される。そして、固体電解質層５は、参照電極６と検出電極７との間で、周囲の酸素濃度差に応じた起電力を発生させ、その厚さ方向に酸素イオンを輸送する。つまり、固体電解質層５と参照電極６及び検出電極７とによって酸素濃度を電気信号として取り出す検出部１５が形成されている。検出部１５とヒータパターン３とは、ベース部材２の円周面２ａの径方向の対向位置に設けられている。
【００２１】
参照電極６及び検出電極７は、共に白金等からなる導電性で、且つ、酸素が透過できる材料より形成されている。そして、参照電極６及び検出電極７にはそれぞれリード線部６ａ，７ａが一体的に延設されており、リード線部６ａ，７ａを用いて参照電極６と検出電極７との間に現れる出力電圧を検出できるようになっている。また、参照電極６及び検出電極７とヒータパターン３との間は、図３に示すように、０．５ｍｍ以上のクリアランスＣ１をあけて形成されている。
【００２２】
応力緩和層８は、ジルコニアとアルミニュームの混合材料より形成されている。そして、応力緩和層８は、固体電解質層５の焼結時における固体電解質層５とベース部材２との間の応力差を緩和すると共に、固体電解質層５を通じて参照電極６へ輸送されてくる酸素を、図示しない経路によって逃散させるガス逃散路を構成している。
【００２３】
緻密層９は、測定ガス中の酸素が内面側に透過できない材料、例えば、アルミナ等のセラミック材料より形成されている。緻密層９は、固体電解質層５の外面の全域を全て覆い、電極用窓部９ａ内からは検出電極７が露出されている。つまり、測定ガス中の酸素が電極用窓部９ａのみから検出電極７に入り込むことができるようになっている。
【００２４】
印刷保護層１０は、緻密層９の電極用窓部９ａを介して外部に露出される検出電極７を外側から覆い、測定ガス中の有害ガス、ダスト等は内面側に通過できないが、測定ガス中の酸素は通過できる材質、例えば、アルミナと酸化マグネシウムの混合物の多孔質構造体にて形成されている。
【００２５】
スピネル保護層１１は、測定ガス中の酸素を通過でき、印刷保護層１０より粗い多孔質体にて形成されている。
【００２６】
次に、酸素濃度検出素子１Ａの製造方法を図２に基づいて説明する。先ず、アルミナ等のセラミック材料を射出成型して中実円柱の芯ロッド２を製造する。この芯ロッド２を回転させつつ、芯ロッド２の円周面２ａの略半分領域に、例えば、白金又はタングステン等の発熱性材料を曲面スクリーン印刷してヒータパターン３を形成する。
【００２７】
次に、芯ロッド２の円周面２ａの略半分領域に、アルミナ等を曲面スクリーン印刷してヒータ絶縁層４を形成する。
【００２８】
次に、芯ロッド２の円周面２ａで、且つ、ヒータパターン３の領域とは逆の半分領域に、曲面スクリーン印刷によって応力緩和層８を形成する。
【００２９】
次に、芯ロッド２の円周面２ａに、応力緩和層８の上から白金等からなる導電性ペーストを曲面スクリーン印刷して参照電極６及びそのリード線部６ａを一体に形成する。次に、参照電極６及び応力緩和層８等の上面に、例えば、ジルコニアとイットリアからなるペースト状物を曲面スクリーン印刷して酸素イオン伝導性の固体電解質層５を形成する。
【００３０】
次に、固体電解質層５の上面等に、白金等からなる導電性ペーストを曲面スクリーン印刷して検出電極７及びそのリード線部７ａを一体に形成する。
【００３１】
次に、検出電極７及び固体電解質層５の上面に、例えば、アルミナ等のセラミック材料を曲面スクリーン印刷して電極用窓部９ａを有する緻密層９を形成する。緻密層９の電極用窓部９ａからは検出電極７の中央部分が露出され、この露出された検出電極７の部分が電極としての有効部分となる。
【００３２】
次に、検出電極７及び固体電解質層５の外面のみならずヒータ絶縁層４の外面、つまり、芯ロッド２の円周面２ａの円周方向の全領域に亘って、例えば、アルミナと酸化マグネシウムからなるペースト状物を曲面スクリーン印刷して印刷保護層１０を形成する。同様にして、スピネル保護層１１を形成する。これで、曲面スクリーン印刷工程を終了する。
【００３３】
次に、曲面スクリーン印刷等を終えた円柱状作成物を高熱で焼成することにより一体的に焼結させる。これにより、酸素濃度検出素子１Ａの製造が完了する。完成した酸素濃度検出素子１Ａは図示しない酸素センサに組み込まれる。
【００３４】
次に、酸素濃度検出素子１Ａによる酸素濃度の検出動作を説明する。例えば、エンジンの排気管内に酸素センサが設置される場合には、測定ガスである排気ガスが酸素濃度検出素子１Ａの外周面を通過し、基準となる大気が応力緩和層８を介して導入されるように設置される。そして、ヒータパターン３に通電され、酸素濃度検出素子１Ａ全体を所定状態に加熱すると、固体電解質層５が活性化される。これで、検出可能状態となる。
【００３５】
排気ガスが排気管内に排出されると、排気ガス中の酸素はスピネル保護層１１、印刷保護層１０及び検出電極７を通過して固体電解質層５に導入され、大気ガス中の酸素は参照電極６の周囲に溜め込まれる。そして、固体電解質層５の内外面で酸素濃度に差が発生すると、従来例で説明したように、酸素イオンが固体電解質層５内を輸送されることによって酸素濃度差に応じて参照電極６と検出電極７との間に起電力が発生し、酸素濃度差に応じた出力電圧が得られる。
【００３６】
上記酸素濃度検出素子１Ａでは、芯ロッド２の円周面２ａのそれぞれ異なる位置にヒータパターン３と検出部１５とを設けたので、従来例のようにヒータパターン３と検出部１５間が接合面を介して接着されず、熱膨張率差により熱応力が発生しないため、熱応力に起因するクラック等が発生しない。
【００３７】
また、参照電極６及び検出電極７の各リード線部６ａ，７ａは、ヒータ絶縁層４上を配索経路とすることなく配索可能である。従って、リード線部６ａ，７ａの配線経路には、従来例のような大きな段差がなくリード線部６ａ，７ａの歩留まりが向上し、低コストになる。
【００３８】
さらに、ヒータパターン３と検出部１５が積層されないためにヒータパターン３のヒータ絶縁層４を薄くしても絶縁を確保できるため、ヒータ絶縁層４の印刷回数を削減でき、低コストになる。つまり、従来例ではヒータパターン１１１と検出部１２０が積層構造であったため、ヒータパターン１１１と検出部１２０との間に厚いヒータ絶縁層１１２を形成する必要があり、複数回の印刷工程が必要であったためコスト高であったが、本発明ではヒータパターン３の外面を薄いヒータ絶縁層４で被いさえすれば絶縁を確保できるため、ヒータ絶縁層４の印刷回数を削減でき、低コストにできる。
【００３９】
上記実施形態では、芯ロッド２は、外面が円周面２ａのロッド状に形成されたので、取付け時の方向やガスの流れ方向等に影響されることなく酸素濃度を安定した精度で検出できる。
【００４０】
上記実施形態では、ヒータパターン３と検出部１５は、芯ロッド２の円周面２ａの径方向の対向位置に設けられたので、ヒータパターン３と検出部１５との間で絶縁に十分なクリアランスを取りつつ、コンパクトに構成できる。また、芯ロッド２の同一面の異なる位置にヒータパターン３と検出部１５を曲面スクリーン印刷によって形成できるため、容易に製造できる。
【００４１】
上記実施形態では、ヒータパターン３と検出部１５の参照電極６及び検出電極７との間は、０．５ｍｍ以上のクリアランスＣ１を開けて形成されたので、ヒータパターン３と参照電極６及び検出電極７との間に十分な絶縁間隔があるため、ヒータ絶縁層４の厚みを薄くできる。従って、ヒータ絶縁層４の印刷回数を削減でき、低コストになる。
【００４２】
上記実施形態では、芯ロッド２と検出部１５との間に応力緩和層８を介在させたので、固体電解質層５の焼結時における固体電解質層５と芯ロッド２との間の応力差を緩和できる。
【００４３】
図４は、上記実施形態の変形例を示し、酸素濃度検出素子１Ｂを展開し、且つ、展開状態での各層の輪郭線を示した図である。
【００４４】
図４において、前記実施形態の酸素濃度検出素子１Ａは、ヒータパターン３と検出部１５が芯ロッド２の円周面２ａの径方向の対向位置に設けられたが、この変形例の酸素濃度検出素子１Ｂは、ヒータパターン３と検出部１５が芯ロッドの円周面の軸方向Ｍのオフセット位置に設けられている点が相違する。
【００４５】
また、ヒータパターン３と検出部１５の参照電極６及び検出電極７との間は、０．５ｍｍ以上のクリアランスＣ１，Ｃ２をあけて形成されている。
【００４６】
尚、他の構成は、前記実施形態のものと同一であるため、同一構成部分に同一符号を付してその詳細な説明を省略する。
【００４７】
上記変形例では、ヒータパターン３と検出部１５は、芯ロッド２の円周面２ａの軸方向Ｍのオフセット位置に設けられたので、ヒータパターン３と検出部１５との間で絶縁に十分なクリアランスを取りつつ、コンパクトに構成できる。また、芯ロッド２の同一面の異なる位置にヒータパターン３を曲面スクリーン印刷によって形成できるため、容易に製造できる。
【００４８】
さらに、ヒータパターン３と検出部１５の参照電極６及び検出電極７との間は、０．５ｍｍ以上のクリアランスＣ１，Ｃ２をあけて形成されたので、前記実施形態と同様に、ヒータパターン３と参照電極６及び検出電極７との間に十分な絶縁間隔があるため、ヒータ絶縁層４の厚みを薄くできる。従って、ヒータ絶縁層４の印刷回数を削減でき、低コストになる。
【００４９】
尚、この発明は、次のような別の実施形態に具現化することができる。以下の別の実施形態において上記実施形態と同様な作用及び効果を得ることができる。
【００５０】
（１）上記実施形態において、緻密層９の電極用窓部９ａの形状を方形状としたが、電極用窓部９ａを円形状、楕円形状、三角形状、五角形以上の多角形状等のような形状にしても良い。
【００５１】
（２）上記実施形態において、ベース部材は、円柱形状の芯ロッド２にて形成されているが、円柱形状以外の形状、例えば外面がフラットな形状であっても本発明は同様に適用できる。
【００５２】
さらに、上記実施形態から把握し得る請求項以外の技術思想について、以下にその効果と共に記載する。
【００５３】
（イ）請求項１に記載の酸素濃度検出素子において、前記ヒータ部と前記検出部の前記電極との間は、０．５ｍｍ以上のクリアランスをあけて形成されたことを特徴とする酸素濃度検出素子。
【００５４】
この構成によれば、ヒータ部と電極との間に十分な絶縁間隔があるため、ヒータ絶縁層の厚みを薄くできる。従って、ヒータ絶縁層の印刷回数を削減でき、低コストになる。
【００５５】
（ロ）請求項１、及び、上記（イ）項に記載の酸素濃度検出素子において、前記ベース部材と前記検出部との間には、応力緩和層を介在させたことを特徴とする酸素濃度検出素子。
【００５６】
この構成によれば、固体電解質層の焼結時における固体電解質とベース部材との間の応力差を緩和できる。
【符号の説明】
【００５７】
１Ａ，１Ｂ 酸素濃度検出素子
２ 芯ロッド（ベース部材）
２ａ 円周面（外面）
３ ヒータパターン（ヒータ部）
５ 固体電解質層
６ 参照電極（電極）
７ 検出電極（電極）
１０ 印刷保護層
１５ 検出部
【特許請求の範囲】
【請求項１】
絶縁性材料により形成されたベース部材と、このベース部材の外面に設けられ、外部からの通電によって発熱するヒータ部と、このヒータ部との間で保護層を介して配置された酸素イオン伝導性の固体電解質層を有し、この固体電解質層の内外面に配置された一対の電極より酸素濃度に応じた電気信号を取り出す検出部とを備えたことを特徴とする酸素濃度検出素子。
【請求項１】
絶縁性材料により形成されたベース部材と、このベース部材の外面に設けられ、外部からの通電によって発熱するヒータ部と、このヒータ部との間で保護層を介して配置された酸素イオン伝導性の固体電解質層を有し、この固体電解質層の内外面に配置された一対の電極より酸素濃度に応じた電気信号を取り出す検出部とを備えたことを特徴とする酸素濃度検出素子。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【公開番号】特開２００９−８０１３８（Ｐ２００９−８０１３８Ａ）
【公開日】平成２１年４月１６日（２００９．４．１６）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００９−９３３９（Ｐ２００９−９３３９）
【出願日】平成２１年１月１９日（２００９．１．１９）
【分割の表示】特願２００４−１０１３２（Ｐ２００４−１０１３２）の分割
【原出願日】平成１６年１月１９日（２００４．１．１９）
【出願人】（０００００５１０８）株式会社日立製作所 (27,607)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２１年４月１６日（２００９．４．１６）
【国際特許分類】
【出願日】平成２１年１月１９日（２００９．１．１９）
【分割の表示】特願２００４−１０１３２（Ｐ２００４−１０１３２）の分割
【原出願日】平成１６年１月１９日（２００４．１．１９）
【出願人】（０００００５１０８）株式会社日立製作所 (27,607)
【Ｆターム（参考）】
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