電子部品特性測定装置
【課題】単位時間当たりの測定数を向上させた電子部品特性測定装置を提供する。
【解決手段】
第１及び第２回転テーブル（１１，５１）と、第１及び第２回転駆動手段（１７，５７）と、第１及び第２プローブ（２０，６０）と、第１及び第２進退駆動手段（２３，６２）と、測定手段（８０）と、制御手段（８２）と、を有し、第１前進開始動作（Ｍ１３）より後であって第１前進完了動作（Ｍ１４）より前に第１回転停止動作（Ｍ１２）が行われ、第１後退開始動作（Ｍ１５）より後であって第１後退完了動作（Ｍ１６）より前に第１回転開始動作（Ｍ１１）が行われ、第２前進開始動作（Ｍ２３）より後であって第２前進完了動作（Ｍ２４）より前に、第２回転停止動作（Ｍ２２）が行われ、第２後退開始動作（Ｍ２５）より後であって第２後退完了動作（Ｍ２６）より前に第２回転開始動作（Ｍ２１）が行われる電子部品特性測定装置。
【解決手段】
第１及び第２回転テーブル（１１，５１）と、第１及び第２回転駆動手段（１７，５７）と、第１及び第２プローブ（２０，６０）と、第１及び第２進退駆動手段（２３，６２）と、測定手段（８０）と、制御手段（８２）と、を有し、第１前進開始動作（Ｍ１３）より後であって第１前進完了動作（Ｍ１４）より前に第１回転停止動作（Ｍ１２）が行われ、第１後退開始動作（Ｍ１５）より後であって第１後退完了動作（Ｍ１６）より前に第１回転開始動作（Ｍ１１）が行われ、第２前進開始動作（Ｍ２３）より後であって第２前進完了動作（Ｍ２４）より前に、第２回転停止動作（Ｍ２２）が行われ、第２後退開始動作（Ｍ２５）より後であって第２後退完了動作（Ｍ２６）より前に第２回転開始動作（Ｍ２１）が行われる電子部品特性測定装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、多量の電子部品の特性を測定することができる電子部品特性測定装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
電子部品、特にチップコンデンサ、チップインダクタ等のチップ状電子部品（以下、チップ部品と言う）は、電気的特性を測定して良品の選別等を実施する検査工程を経た後に出荷される。このような検査工程で使用される特性測定装置には、所定の測定精度を達成し得ることを前提としたうえで、単位時間当たりの処理能力の高さが求められる。また、処理能力が同様であれば、より単純で安価な構成であることが望ましい。
【０００３】
従来技術に係る電子部品特性測定装置としては、例えばチップ部品を間欠的に搬送する回転テーブルと、回転テーブルによって搬送されるチップ部品に接触及び離間するプローブと、プローブを介して電子部品の電気的特性を測定する測定手段を有するものが知られている（特許文献１等参照）。また、２つの回転テーブルを備え、双方の回転テーブルで搬送される電子部品を、共通の測定手段を用いて測定する電子部品特性測定装置が提案されている（特許文献２等参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開平９−５４１３４号公報
【特許文献２】特開２００４−２０３３８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかし、従来の特性測定装置は、例えば１つの回転テーブルに関する技術に着目した場合、回転テーブルの移動完了を検出した後にプローブの接近を開始し、プローブが離間位置まで移動を完了した後に回転テーブルの移動を開始させるものであった。したがって、このような従来技術は、回転テーブルの回転速度や、プローブの移動速度を上げない限り、単位時間当たりの測定数を向上させることが困難である。また、２つの回転テーブルに関する従来技術では、測定時間の長さの違いを利用して２種類の特性測定装置を交互に使用すること等が提案されているが、プローブの移動に必要な時間が測定能力に及ぼす影響については、何の示唆もない。
【０００６】
本発明は、このような課題に鑑みてなされ、その目的は、単位時間当たりの測定数を向上させた電子部品特性測定装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の第１の観点に係る電子部品特性測定装置は、
周方向に沿って複数の第１収納部が設けられており、回転可能な第１回転テーブルと、
前記第１回転テーブルの回転を開始させる第１回転開始動作と、前記第１収納部が所定の間隔移動するように前記第１回転テーブルの回転を停止させる第１回転停止動作と、を行う第１回転駆動手段と、
少なくとも１つの前記第１収納部に対して離間している第１離間位置と、前記第１離間位置より前記第１収納部に対して近接している第１近接位置との間を移動可能な第１プローブと、
前記第１離間位置から前記第１近接位置に向かって前記第１プローブの移動を開始させる第１前進開始動作と、前記第１プローブを前記第１近接位置で停止させる第１前進完了動作と、前記第１近接位置から前記第１離間位置に向かって前記第１プローブの移動を開始させる第１後退開始動作と、前記第１プローブを前記第１離間位置に到達させる第１後退完了動作と、を行う第１進退駆動手段と、
前記第１プローブに対して電気的に接続しており、前記第１プローブが接触する電子部品の特性測定を行う測定手段と、
前記第１回転駆動手段及び前記第１進退駆動手段を制御する制御手段と、を有し、
前記制御手段は、前記第１前進開始動作より後であって前記第１前進完了動作より前に前記第１回転停止動作が行われ、前記第１後退開始動作より後であって前記第１後退完了動作より前に前記第１回転開始動作が行われるように、前記第１回転駆動手段及び前記第１進退駆動手段を制御することを特徴とする。
【０００８】
本発明の第１の観点に係る特性測定装置は、プローブの移動動作と回転テーブルの回転動作を時間的にオーバーラップさせることにより、単位時間当たりの電子部品の測定数を上昇させることができる。このような特性測定装置は、測定手段が特性測定を行っていない時間を減少させ、測定手段稼働率を上昇させることができる。
【０００９】
本発明の第２の観点に係る電子部品特性測定装置は、
周方向に沿って第１の間隔で複数の第１収納部が設けられており、回転可能な第１回転テーブルと、
周方向に沿って第２の間隔で複数の第２収納部が設けられており、前記第１回転テーブルとは独立して回転可能な第２回転テーブルと、
前記第１回転テーブルの回転を開始させる第１回転開始動作と、前記第１収納部が前記第１の間隔移動するように前記第１回転テーブルの回転を停止させる第１回転停止動作と、を行う第１回転駆動手段と、
前記第２回転テーブルの回転を開始させる第２回転開始動作と、前記第２収納部が前記第２の間隔移動するように前記第２回転テーブルの回転を停止させる第２回転停止動作と、を行う第２回転駆動手段と、
少なくとも１つの前記第１収納部に対して離間している第１離間位置と、前記第１離間位置より前記第１収納部に対して近接している第１近接位置との間を移動可能な第１プローブと、
少なくとも１つの前記第２収納部に対して離間している第２離間位置と、前記第２離間位置より前記第２収納部に対して近接している第２近接位置との間を移動可能な第２プローブと、
前記第１離間位置から前記第１近接位置に向かって前記第１プローブの移動を開始させる第１前進開始動作と、前記第１プローブを前記第１近接位置で停止させる第１前進完了動作と、前記第１近接位置から前記第１離間位置に向かって前記第１プローブの移動を開始させる第１後退開始動作と、前記第１プローブを前記第１離間位置に到達させる第１後退完了動作と、を行う第１進退駆動手段と、
前記第２離間位置から前記第２近接位置に向かって前記第２プローブの移動を開始させる第２前進開始動作と、前記第２プローブを前記第２近接位置で停止させる第２前進完了動作と、前記第２近接位置から前記第２離間位置に向かって前記第２プローブの移動を開始させる第２後退開始動作と、前記第２プローブを前記第２離間位置に到達させる第２後退完了動作と、を行う第２進退駆動手段と、
前記第１プローブ及び前記第２プローブに対して電気的に接続しており、前記第１プローブ及び前記第２プローブが接触する電子部品の特性測定を行う測定手段と、
前記第１回転駆動手段及び前記第２回転駆動手段並びに前記第１進退駆動手段及び前記第２進退駆動手段を制御する制御手段と、を有し、
前記測定手段は、前記第１近接位置に位置する前記第１プローブによって前記第１収納部にある電子部品の特性測定を行う動作と、前記第２近接位置に位置する前記第２プローブによって前記第２収納部にある電子部品の特性測定を行う動作とを交互に行い、
前記制御手段は、前記第１前進開始動作より後であって前記第１前進完了動作より前に前記第１回転停止動作が行われ、前記第１後退開始動作より後であって前記第１後退完了動作より前に前記第１回転開始動作が行われるように、前記第１回転駆動手段及び前記第１進退駆動手段を制御し、
前記制御手段は、前記第２前進開始動作より後であって前記第２前進完了動作より前に、前記第２回転停止動作が行われ、前記第２後退開始動作より後であって前記第２後退完了動作より前に前記第２回転開始動作が行われるように、前記第２回転駆動手段及び前記第２進退駆動手段を制御する。
【００１０】
本発明の第２の観点に係る特性測定装置は、共通の測定手段を用いて、第１の回転テーブルにある電子部品の特性測定と、第２回転テーブルにある電子部品の特性測定とを、交互に行う。これにより、本発明に係る特性測定装置は、例えば一方の回転テーブルが所定の間隔（第１の間隔又は第２の間隔）だけ電子部品を送っている間に、他方の回転テーブルにある電子部品の特性測定を行うことができ、測定手段が特性測定を行っていない時間を大きく減少させることが可能である。
【００１１】
また、本発明に係る特性測定装置は、プローブの移動動作と回転テーブルの回転動作を時間的にオーバーラップさせることにより、単位時間当たりの電子部品の測定数を上昇させることができる。２つの回転テーブルについて交互に特性測定を行い、かつ、プローブの移動動作と回転テーブルの回転動作を時間的にオーバーラップさせることにより、本発明に係る特性測定装置は、測定手段が特性測定を行っていない時間を更に減少させることができる。
【００１２】
また、例えば、前記制御手段は、前記第１プローブが前記第１近接位置にある間には前記第２プローブが前記第２近接位置に位置しないように、前記第１進退駆動手段及び前記第２進退駆動手段を制御しても良い。
【００１３】
第１プローブが第１近接位置にある時間と、第２プローブが第２近接位置にある時間が重ならないように制御することによって、本発明に係る特性測定装置は、測定手段とプローブの間に別途切り換えスイッチ等を設けなくても、電子部品の特性を精度良く測定することが可能である。
【００１４】
また、例えば、前記制御手段は、前記第１前進開始動作と前記第２後退開始動作とが同期し、前記第１後退開始動作と前記第２前進開始動作とが同期するように、前記第１進退駆動手段及び前記第２進退駆動手段を制御しても良い。このような特性測定装置は、第１プローブと第２プローブとが同時に電子部品に接触することを確実に回避し、電子部品の特性を精度良く測定することが可能である。
【００１５】
また、例えば、前記制御手段は、前記第１回転開始動作および前記第１回転停止動作のうち少なくとも一方が、前記第２回転開始動作より後であって前記第２回転停止動作より前に行われるように、前記第１回転駆動手段及び前記第２回転駆動手段を制御しても良い。
【００１６】
このような特性測定装置は、プローブの移動動作と回転テーブルの回転動作を時間的にオーバーラップさせるだけでなく、更に第１回転テーブルと第２回転テーブルの回転動作を時間的にオーバーラップさせることにより、より効果的に測定手段が特性測定を行っていない時間を減少させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】図１は、本発明の一実施形態に係る電子部品特性測定装置の概略平面図である。
【図２】図２は、図１に示す特性測定装置における第２回転テーブル周辺を表す概略部分断面図である。
【図３】図３は、図２における第２プローブ周辺を拡大した拡大側面図である。
【図４】図４は、第２収納部周辺を表す断面図であり、第２プローブが離間位置にある状態を表している。
【図５】図５は、第２収納部周辺を表す断面図であり、第２プローブが近接位置にある状態を表している。
【図６】図６は、第１実施例に係る特性測定のタイムチャートである。
【図７】図７は、第２実施例に係る特性測定のタイムチャートである。
【図８】図８は、第１及び第２参考例に係る特性測定のタイムチャートである。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
図１は、本発明の一実施形態に係る電子部品特性測定装置１０の概略平面図である。特性測定装置１０は、第１回転テーブル１１、第２回転テーブル５１、第１回転駆動手段１７、第２回転駆動手段５７、第１プローブ２０、第２プローブ６０、第１進退駆動手段２３、第２進退駆動手段６３等を有する。
【００１９】
第１回転テーブル１１は略円形の平面形状を有している。第１回転テーブル１１は、後述する第１回転駆動手段１７からの駆動力を受けて、矢印８６で示す方向に回転する。第１回転テーブル１１には、チップ部品を収納する第１収納部１５が複数設けられている。第１収納部１５は、周方向に沿って第１の間隔１６で設けられている。図１に示す例では、第１収納部１５は、放射方向に４周分設けられており、第１の間隔１６は３６０／１０００度であるため、第１回転テーブル１１には合計４０００個の第１収納部１５が設けられている。ただし、第１回転テーブル１１に設けられる第１収納部１５の数や、第１収納部１５を設ける第１の間隔１６は、第１回転テーブル１１の大きさや、特性測定の対象となるチップ部品の大きさ等によって調整され、特に限定されない。
【００２０】
第１回転テーブル１１の各第１収納部１５には、矢印９２で示す位置で、不図示の供給装置からチップ部品が供給される。各第１収納部１５に供給されたチップ部品は、第１回転テーブル１１の回転とともに矢印８６方向（時計回り）に搬送され、第１プローブ２０が設けられている位置で電気的特性等を計測される。さらに、電気的特性が計測されたチップ部品は、矢印９３〜矢印９４で示す位置まで搬送され、不図示の排出装置によって第１収納部１５から排出される。不図示の排出装置は、第１回転テーブル１１からチップ部品を排出する際に、搬送の間に測定された特性結果に基づき、これらのチップ部品を選別することができる。
【００２１】
第２回転テーブル５１は、第１回転テーブル１１とほぼ同様の形状を有しており、第１回転テーブル１１と並んで配置されている。第２回転テーブル５１は、後述する第２回転駆動手段５７からの駆動力を受けて、矢印８８で示す方向（反時計回り）に回転する。第２回転テーブル５１には、第１回転テーブル１１と同様に、チップ部品を収納する第２収納部５５が、複数設けられている。なお、図１に示す例では、第２回転テーブル５１に設けられる第２収納部５５の数及び間隔（第２の間隔５６）は、第１回転テーブル１１における第１収納部１５の数および間隔（第１の間隔１６）と同様であるが、これらは必ずしも同様である必要はなく、互いに異なっていても良い。
【００２２】
第２回転テーブル５１においても、第１回転テーブル１１と同様に、チップ部品の供給、特性測定及び排出が実施される。すなわち、第２回転テーブル５１の各第２収納部５５に供給されたチップ部品は、第２回転テーブル５１とともに矢印８８方向（半時計回り）に搬送され、第２プローブ６０が設けられている位置で電気的特性を計測された後に、不図示の排出装置から排出される。排出時にチップ部品の選別が可能な点も、第１回転テーブル１１と同様である。
【００２３】
第１回転テーブル１１には、第１回転テーブル１１を間欠的に回転させる第１回転駆動手段１７が接続されており、第２回転テーブル５１には、第２回転テーブル５１を間欠的に回転させる第２回転駆動手段５７が接続されている。第１回転駆動手段１７及び第２回転駆動手段５７は、後述する制御手段８２に対して電気的に接続されており、制御手段８２からの制御を受ける。
【００２４】
図２は、特性測定装置１０における第２回転テーブル５１周辺を表す概略側面図である。第２回転テーブル５１を回転させる第２回転駆動手段５７は、第２回転テーブル５１の中央部下方に配置されている。第２回転駆動手段５７は、第２サーボモータ５８と、第２サーボモータ５８の駆動を第２回転テーブル５１に伝えるカップリング５９を有する。
【００２５】
図３に示すように、第２回転テーブル５１は、第２収納部５５が形成されており当該第２収納部５５にチップ部品を保持しながら回転する回転盤５４を有する。図２に示す第２サーボモータ５８の駆動力は、カップリング５９を介して第２回転テーブル５１の回転盤５４（図３参照）に伝えられる。これにより、第２回転テーブル５１の回転駆動及びこれに伴うチップ部品の搬送が実施される。なお、第１回転駆動手段１７は、第２回転テーブル５１ではなく第１回転テーブル１１に接続されている点が異なることを除き、第２回転駆動手段５７と同様の構成を有している（第１サーボモータ及びカップリングを含む）ため、説明を省略する。
【００２６】
図１に示すように、第１回転テーブル１１には複数の第１プローブ２０が取り付けられている。各第１プローブ２０は、プローブ支持ブロック３３に固定されており、プローブ支持ブロック３３と共に上下に動き、第１回転テーブル１１の第１収納部１５に対して接近・離間する。プローブ支持ブロック３３及びこれに固定された第１プローブ２０は、第１進退駆動手段２３からの駆動力を受けて駆動される。第１進退駆動手段２３は、モータ取付台２５を介して設置されている第３サーボモータ２４等を有しており、第３サーボモータ２４の駆動力を使って、第１プローブ２０を移動させることができる。なお、第１進退駆動手段２３及び第１プローブ２０の詳細構造は、後述する第２進退駆動手段６３及び第２プローブ６０と同様であるため、説明を省略する。
【００２７】
第２回転テーブル５１には、第１回転テーブル１１と同様に、複数の第２プローブ６０が取り付けられている。図２に示すように、第２プローブ６０は、第２回転テーブル５１の上方から第２収納部５５に接近・離間する第２上プローブ６１と、第２回転テーブル５１の下方から第２収納部５５に接近・離間する第２下プローブ６２によって構成される。各第２上プローブ６１及び第２下プローブ６２は、それぞれプローブ支持ブロック７３，７４に固定されており、プローブ支持ブロック７３，７４と共に上下に移動する。
【００２８】
第２上プローブ６１及び第２下プローブ６２を移動させる第２進退駆動手段６３は、第４サーボモータ６４、開閉用カム６６、カムフォロア６９，７０及び直動軸受７１，７２等を有する。第４サーボモータ６４は、図１に示すようにモータ取付台６５を用いて設置されており、制御手段８２によってその回転量を制御される。
【００２９】
図２に示すように、第４サーボモータ６４の駆動軸には開閉用カム６６が取り付けられている。開閉用カム６６は、回転中心からの距離が変化するカム面を有しており、開閉用カム６６のカム面には、上下方向からカムフォロア６９，７０が押し付けられている。
【００３０】
開閉用カム６６に対して上方向から押し当てられているカムフォロア６９には、ガイドシャフト６７に沿って上下動する直動軸受７１が接続されている。また、開閉用カム６６に対して下方向から押し当てられているカムフォロア７０には、直動軸受７１と同様にガイドシャフト６７に沿って上下動する直動軸受７２が接続されている。第４サーボモータ６４の回転は、開閉用カム６６、カムフォロア６９，７０、直動軸受７１，７２によって、上下方向の直線運動に変換される。なお、ガイドシャフト６７の両端部には、押し付け用バネ７５，７６及びバネ押さえ７７，７８が取り付けられており、押し付け用バネ７５，７６は、直動軸受７１，７２及びカムフォロア６９，７０を、開閉用カム６６に向かって付勢している。
【００３１】
図３に示すように、直動軸受７１は、第２上プローブ６１が固定されているプローブ支持ブロック７３を支持しており、第２上プローブ６１は、直動軸受７１の上下動に合わせて上下に移動する。また、直動軸受７２は、第２下プローブ６２が固定されているプローブ支持ブロック７４を支持しており、第２下プローブ６２は、直動軸受７２の上下動に合わせて上下に移動する。
【００３２】
第２回転テーブル５１は、回転しない固定部５２，５３を有しており、固定部５２，５３は、回転移動する回転盤５４を上下方向に挟むように配置されている。第２上プローブ６１及び第２下プローブ６２の先端は、固定部５２，５３に形成された貫通孔を通って、回転盤５４の第２収納部５５に収納されているチップ部品の電極部に到達することができる。
【００３３】
図２に示す第２進退駆動手段６３による第２プローブ６０の移動は、第２収納部５５を挟む上下方向の動きであるため、第２収納部５５に対する接近・離間であると言い換えることができる。すなわち、第２プローブ６０を構成する第２上プローブ６１及び第２下プローブ６２は、第２収納部５５に対して離間している第２離間位置と、第２離間位置より第２収納部５５に対して近接している第２近接位置との間を往復移動する。
【００３４】
図４は、第２収納部５５の周辺を表す断面図であり、第２プローブ６０が第２離間位置Ｐ２１にある状態を表している。第２プローブ６０が第２離間位置Ｐ２１にある時、第２上プローブ６１の先端６１ａは、固定部５２のプローブガイド５２ｂに収納されており、第２収納部５５に収納されているチップ部品８４の表面から離れている。また、この時、第２下プローブ６２の先端６２ａは、固定部５３のプローブガイド５３ｂに収納されており、第２上プローブ６１の先端６１ａと同様、第２収納部５５に収納されているチップ部品８４の表面から離れている。
【００３５】
図５は、第２収納部５５の周辺を表す断面図であり、第２プローブ６０が第２近接位置Ｐ２２にある状態を表している。第２プローブ６０が第２近接位置Ｐ２２にある時、第２上プローブ６１の先端６１ａは、第２収納部５５へ向かって進出しており、第２収納部５５に収納されているチップ部品８４の表面（一方の電極面）に接触している。また、この時、第２下プローブ６２の先端６２ａも、第２収納部５５へ向かって進出しており、第２上プローブ６１の先端６１ａと同様、チップ部品８４の表面（他方の電極面）に接触している。
【００３６】
図５に示すように、第２プローブ６０が第２近接位置Ｐ２２にある状態では、各先端６１ａ，６２ａがチップ部品８４の電極に接触するため、第２プローブ６０と電気的に接続されている測定手段８０によって、チップ部品８４の電気的特性を計測することが可能である。また、図４に示すように、第２プローブ６０が第２離間位置Ｐ２１にある状態では、各先端６１ａ，６２ａがチップ部品８４の電極から離れて固定部５２，５３へ退避しているため、回転盤５４を回転させ、第２収納部５５に収納されたチップ部品８４を搬送することができる。このように、第２プローブ６０を構成する第２上プローブ６１及び第２下プローブ６２は、第２収納部５５を中心として略対称な動きを繰り返すことによって、第２回転テーブル５１によって次々に搬送されるチップ部品８４の特性測定を実施することができる。
【００３７】
図１に示す第１プローブ２０も、第２プローブ６０と同様に、第１収納部１５に対して離間している第１離間位置と、第１離間位置より第１収納部１５に対して近接している第１近接位置との間を往復移動する。第１プローブ２０は、第２プローブ６０と同様に、測定手段８０に電気的に接続されており、第１収納部１５に収納されたチップ部品の電気的特性も、測定手段８０によって測定される。
【００３８】
図１に示す測定手段８０は、第１プローブ２０及び第２プローブ６０の双方と電気的に接続されているが、第１プローブ２０を用いる特性測定と第２プローブ６０を用いる特性測定とを、同時に行うことはできない。すなわち、測定手段８０は、第１回転テーブル１１と第２回転テーブル５１との共通の測定手段ではあるが、第１回転テーブル１１のチップ部品の特性測定と、第２回転テーブル５１のチップ部品の特性測定とを、時間をずらして行う必要がある。このような測定手段８０は、第１プローブ２０を用いる特性測定と第２プローブ６０を用いる特性測定とを同時に行えるものより、安価に構成することができる。
【００３９】
第１プローブ２０を移動させる第１進退駆動手段２３と、第２プローブ６０を移動させる第２進退駆動手段６３は、双方とも制御手段８２によって制御される。制御手段８２は、第１及び第２進退駆動手段２３，６３だけでなく、第１及び第２回転テーブル１１，５１を回転させる第１及び第２回転駆動手段１７，５７や、測定手段８０の制御を行うことができる。すなわち、制御手段８２は、第１及び第２回転テーブル１１，５１の回転、第１及び第２プローブ２０，６０の移動及び測定手段８０による測定タイミングを、包括的に制御することができる。
【００４０】
図６から図８は、実施例１、実施例２、参考例１及び参考例２に係る特性測定装置において実施される特性測定のタイムチャートを表したものである。図６は実施例１に係る特性測定装置のタイムチャートであり、図７は実施例２に係る特性測定装置のタイムチャートであり、図８は参考例１及び参考例２に係る特性測定装置のタイムチャートである。図１に示す特性測定装置１０は、制御手段８２の設定を変更することにより、実施例１、実施例２、参考例１及び参考例２に係る各特性測定装置として動作することができる。
【００４１】
図６〜図８における「第１回転テーブル」の欄は、図１に示す第１回転テーブル１１の動作（速度）を表している。「第１回転テーブル」のチャートがローレベルにある時間は、第１回転テーブル１１が「停止」している時間に対応しており、ローレベルより上の位置にある時間は、第１回転テーブル１１が「回転」している時間に対応している。
【００４２】
図６〜図８における「第１回転テーブル」の欄に示すように、第１回転駆動手段１７（図１参照）は、第１回転テーブル１１の回転を開始させる第１回転開始動作Ｍ１１と、第１回転テーブル１１の回転を停止させる第１回転停止動作Ｍ１２を交互に行う。第１回転テーブル１１は、第１回転開始動作Ｍ１１から第１回転停止動作Ｍ１２の間、回転移動を行う。第１回転開始動作Ｍ１１から第１回転停止動作Ｍ１２までの時間を一回経過すると、各第１収納部１５は、第１の間隔１６（図１参照）移動する。図６〜図８に示す例では、第１回転テーブル１１及びこれを駆動する第１回転駆動手段１７は、第１回転開始動作Ｍ１１から第１回転停止動作Ｍ１２までの間に、すなわち第１回転テーブル１１の第１収納部１５を第１の間隔１６だけ回転させるために、２０ｍｓｅｃを要する。
【００４３】
図６〜図８における「第１プローブ」の欄は、図１に示す第１プローブ２０の位置を表している。「第１プローブ」のチャートがハイレベルにある時間は、第１プローブ２０が「第１離間位置Ｐ１１」（第２プローブ６０における「第２離間位置Ｐ２１」に対応（図４参照））にある時間に対応しており、ローレベルにある時間は、第１プローブ２０が「第１近接位置Ｐ１２」（第２プローブ６０における「第２近接位置Ｐ２２」に対応（図５参照））にある時間に対応している。
【００４４】
図６〜図８における「第１プローブ」の欄に示すように、第１進退駆動手段２３（図１参照）は、第１離間位置Ｐ１１から第１近接位置Ｐ１２に向かって第１プローブ２０の移動を開始させる第１前進開始動作Ｍ１３と、第１プローブ２０を第１近接位置Ｐ１２で停止させる第１前進完了動作Ｍ１４とを行う。また、第１進退駆動手段２３は、第１近接位置Ｐ１２から第１離間位置Ｐ１１に向かって第１プローブ２０の移動を開始させる第１後退開始動作Ｍ１５と、第１プローブ２０を第１離間位置Ｐ１１に到達させる第１後退完了動作Ｍ１６とを行う。第１進退駆動手段２３は、第１前進開始動作Ｍ１３、第１前進完了動作Ｍ１４、第１後退開始動作Ｍ１５及び第１後退完了動作Ｍ１６を順に行うことにより、第１収納部１５に収納されたチップ部品に対して、プローブの先端を接触・離間させることができる。
【００４５】
図６〜図８に示す例では、第１プローブ２０を駆動する第１進退駆動手段２３は、第１前進開始動作Ｍ１３から第１前進完了動作Ｍ１４までの間に、すなわち第１プローブ２０を第１離間位置Ｐ１１から第１近接位置Ｐ１２に移動させるために、１０ｍｓｅｃを要する。また、第１進退駆動手段２３は、第１後退開始動作Ｍ１５から第１後退完了動作Ｍ１６までの間に、すなわち第１プローブ２０を第１近接位置Ｐ１２から第１離間位置Ｐ１１に移動させるために、同じく１０ｍｓｅｃを要する。
【００４６】
図６〜図８における「測定Ａ」の欄は、測定手段８０（図１参照）が、第１収納部１５に収納されたチップ部品の特性を測定しているか否かを表している。「測定Ａ」の欄のチャートがローレベル（「非測定中」）にある時間は、測定手段８０が、少なくとも第１収納部１５のチップ部品に対しては特性測定を実施していない時間に対応している。また、「測定Ａ」の欄のチャートがハイレベル（「測定中」）の位置にある時間は、測定手段８０が、第１収納部１５のチップ部品に対して、特性の測定を実施している時間に対応している。
【００４７】
測定手段８０が第１収納部１５のチップ部品に対して特性の測定を実施するためには、その前提条件として、第１プローブ２０が第１近接位置Ｐ１２にあることを要する。なお、図６〜図８に示す例では、測定手段８０は、第１収納部１５のチップ部品の特性を測定するために、１０ｍｓｅｃを要する。
【００４８】
図６〜図８における「第２回転テーブル」の欄は、図１に示す第２回転テーブル５１の動作（速度）を表しており、詳細については「第１回転テーブル」の欄と同様である。第２回転駆動手段５７（図１参照）は、第２回転テーブル５１の回転を開始させる第２回転開始動作Ｍ２１と、第２回転テーブル５１の回転を停止させる第２回転停止動作Ｍ２２を交互に行い、各第２収納部５５を第２の間隔５６ずつ移動させる。第２回転駆動手段５７及び第２回転テーブル５１の能力は、第１回転駆動手段１７及び第１回転テーブル１１と基本的に同様であり、第２回転駆動手段５７は、第２回転テーブル５１を第２の間隔５６だけ回転させるために、２０ｍｓｅｃを要する。
【００４９】
図６〜図８における「第２プローブ」の欄は、図１に示す第２プローブ６０の位置を表しており、詳細については「第１プローブ」の欄と同様である。第２進退駆動手段６３は、第２離間位置Ｐ２１から第２近接位置Ｐ２２に向かって第２プローブ６０の移動を開始させる第２前進開始動作Ｍ２３と、第２プローブ６０を第２近接位置Ｐ２２で停止させる第２前進完了動作Ｍ２４と、第２近接位置Ｐ２２から第２離間位置Ｐ２１に向かって第２プローブ６０の移動を開始させる第２後退開始動作Ｍ２５と、第２プローブ６０を第２離間位置Ｐ２１に到達させる第２後退完了動作Ｍ２６とを行う。第２進退駆動手段６３は、第２前進開始動作Ｍ２３、第２前進完了動作Ｍ２４、第２後退開始動作Ｍ２５及び第２後退完了動作Ｍ２６を順に行うことにより、第２収納部５５に収納されているチップ部品に対して、プローブの先端６１ａ，６２ａを接触・離間させることができる。第２進退駆動手段６３は、第１進退駆動手段２３と同様の能力を有しており、第２プローブ６０を第２離間位置Ｐ２１から第２近接位置Ｐ２２に移動させるため、及び第２プローブ６０を第２近接位置Ｐ２２から第２離間位置Ｐ２１に移動させるために、それぞれ１０ｍｓｅｃを要する。
【００５０】
図６〜図８における「測定Ｂ」の欄は、測定手段８０（図１参照）が、第２収納部５５に収納されたチップ部品の特性を測定しているか否かを表しており、詳細は「測定Ａ」の欄と同様である。測定手段８０が第２収納部５５のチップ部品に対して特性の測定を実施するためには、その前提条件として、第２プローブ６０が第２近接位置Ｐ２２にあることを要する。また、測定手段８０は、任意の時点に着目した場合、第１収納部１５に収納されたチップ部品の測定か、第２収納部５５に収納されたチップ部品の測定か、いずれか一方しか行うことができないため、一方が測定中であれば、他方は非測定中である必要がある。
【００５１】
表１は、実施例１、実施例２、参考例１及び参考例２の各特性測定装置で実施される特性測定の実施条件、測定周期及び測定手段稼働率を表したものである。
【００５２】
【表１】
【００５３】
表１に示すように、参考例１は、回転テーブルを１台だけ用いて、プローブの前進及び後退動作と、回転テーブルの回転動作を時間的にオーバーラップさせることなく特性測定を行っている。図８に示すタイムチャートの上半分のみ（若しくは下半分のみ）が、参考例１に係る特性測定装置のタイムチャートに対応する。
【００５４】
図８における「第１回転テーブル」及び「第１プローブ」の欄に示すように、参考例１に係る特性測定装置では、第１回転停止動作Ｍ１２と同時に第１前進開始動作Ｍ１３を行うことにより、第１回転テーブル１１の停止を待って第１プローブ２０が移動を開始する。また、第１後退完了動作Ｍ１６と同時に第１回転開始動作Ｍ１１を行うことにより、第１プローブ２０が第１離間位置Ｐ１１まで移動するのを待って第１回転テーブル１１の回転を開始する。
【００５５】
表１に示すように、参考例１における測定周期Ｔは、搬送時間（第１回転テーブル１１が第１の間隔１６だけ回転するために要する時間）と、プローブ前進移動時間（第１プローブ２０を第１離間位置Ｐ１１から第１近接位置Ｐ１２に移動させるために要する時間）と、測定時間（第１収納部１５のチップ部品の特性を測定するために要する時間）と、プローブ後退移動時間（第１プローブ２０を第１近接位置Ｐ１２から第１離間位置Ｐ１１に移動させるために要する時間）とを足し合わせた時間であり、５０ｍｓｅｃである。また、参考例１における測定手段稼働率（実際に測定手段８０がチップ部品の特性を行っている時間が測定周期Ｔに占める割合）は、２０％である。
【００５６】
参考例１のように、回転テーブルの回転とプローブの移動を時間的にオーバーラップさせることなく特性測定を行う装置は、測定周期Ｔを、搬送時間、プローブ前進移動時間、測定時間及びプローブ後退移動時間の和より小さくすることができない。したがって、参考例１では、搬送時間、プローブ前進移動時間、測定時間及びプローブ後退移動時間のいずれかを短縮しない限り、測定手段稼働率を向上させることが困難である。
【００５７】
表１に示すように、参考例２は、参考例１と同様に回転テーブルの回転とプローブの移動とをオーバーラップさせない状態で、回転テーブルを２台用いて特性測定を行っている。図８に示すタイムチャート全体が、参考例２に係る特性測定装置のタイムチャートに対応する。
【００５８】
図８に示すように、参考例２は、第１回転テーブル１１及び第１プローブ２０における測定タイミングと、第２回転テーブル５１及び第２プローブ６０における測定タイミングをずらすことによって、参考例１と同様の測定周期Ｔを有する。これにより、参考例２における測定手段稼働率は、参考例１のそれに対して２倍の４０％である。このように、参考例２は、一方の回転テーブルが回転しており当該一方の回転テーブルでは測定を行うことができない時間に、他方の回転テーブルで特性測定を行うことにより、測定手段稼働率を上昇させることができる。
【００５９】
しかし、参考例２も、参考例１と同様に、測定周期Ｔを、いずれかの回転テーブル１１，５１に関する搬送時間、プローブ前進移動時間、測定時間及びプローブ後退移動時間の和より小さくすることができないという問題点を有する。したがって、参考例２でも、搬送時間、プローブ前進移動時間、測定時間及びプローブ後退移動時間のいずれかを短縮しない限り、回転テーブルの数を維持したまま測定手段稼働率を向上させることは困難である。
【００６０】
表１に示すように、実施例１は、回転テーブルを２台用いて、プローブの前進及び後退動作と、回転テーブルの回転動作を時間的にオーバーラップさせて特性測定を実施するものである。図６に示すタイムチャートは、実施例１に係る特性測定装置のタイムチャートである。
【００６１】
図６における「第１回転テーブル」及び「第１プローブ」の欄に示すように、実施例１に係る特性測定装置では、第１前進開始動作Ｍ１３より後であって第１前進完了動作Ｍ１４より前に第１回転停止動作１２を行うことにより、第１回転テーブル１１の回転動作と第１プローブ２０の前進移動とを時間的にオーバーラップさせている。また、第１後退開始動作Ｍ１５より後であって第１後退完了動作Ｍ１６より前に第１回転開始動作Ｍ１１を行うことにより、第１回転テーブル１１の回転動作と第１プローブ２０の後退移動とを時間的にオーバーラップさせている。第１回転テーブル１１の回転動作と第１プローブ２０の前進移動とのオーバーラップ時間（搬送−前進重複時間）と、第１回転テーブル１１の回転動作と第１プローブ２０の後退移動とのオーバーラップ時間（搬送−後退重複時間）は、いずれも５ｍｓｅｃである。
【００６２】
また、実施例１における第２回転テーブル５１及び第２プローブ６０に対する制御は、制御の位相（電子部品の測定タイミング等）が異なることを除き、第１回転テーブル１１及び第１プローブ２０に対する制御と同様である。すなわち、図６における「第２回転テーブル」及び「第２プローブ」の欄に示すように、実施例１に係る特性測定装置では、第２前進開始動作Ｍ２３より後であって第２前進完了動作Ｍ２４より前に第２回転停止動作Ｍ２２を行うことにより、第２回転テーブル５１の回転動作と第２プローブ６０の前進移動とを時間的にオーバーラップさせている。また、第２後退開始動作Ｍ２５より後であって第２後退完了動作Ｍ２６より前に第２回転開始動作Ｍ２１を行うことにより、第２回転テーブル５１の回転動作と第２プローブ６０の後退移動とを時間的にオーバーラップさせている。第２回転テーブル５１の回転動作と第２プローブ６０の前進・後退移動のオーバーラップ時間（搬送−前進重複時間及び搬送−後退重複時間）は、それぞれ５ｍｓｅｃである。
【００６３】
実施例１は、プローブの前進及び後退動作と、回転テーブルの回転動作を時間的にオーバーラップさせることによって、測定周期Ｔを、搬送時間、プローブ前進移動時間、測定時間及びプローブ後退移動時間の和より小さくすることができる。これにより、実施例１は、搬送時間、プローブ前進移動時間、測定時間及びプローブ後退移動時間がすべて参考例２と同様であるにもかかわらず、参考例２より測定手段稼働率を向上させることができる。
【００６４】
実施例１におけるオーバーラップ時間（搬送−前進重複時間及び搬送−後退重複時間）は、図４に示すプローブ先端６１ａ，６２ａが、回転中のチップ部品８４に接触しない範囲で設定することができる。図４に示すように、第１及び第２離間位置Ｐ１１，Ｐ２１は、プローブ先端６１ａ，６２ａが回転盤５４及び収納部５５から固定部５２，５３に退避した位置に設定される。そのため、実施例１に係る特性測定装置は、オーバーラップ時間をある程度有していても、その割合を調整することにより、回転中のチップ部品８４に対する先端６１ａ，６２ａの接触を避け、チップ部品に摩擦傷が発生する問題を防止することができる。なお、プローブ２０，６０のストローク（第１及び第２離間位置Ｐ１１，Ｐ２１と第１及び第２近接位置Ｐ１２，Ｐ２２との距離）は、チップ部品の寸法バラツキ、チップ部品の上下動、チップ部品の電極部表面に形成される酸化被膜の存在等を考慮し、適切なマージンを有するように設定されることが好ましい。
【００６５】
また、実施例１では、図６に示すように、第１プローブ２０の第１前進開始動作Ｍ１３と第２後退開始動作Ｍ２５とが同期し、第１後退開始動作Ｍ１５と第２前進開始動作Ｍ２３とが同期する。これにより、実施例１は、第１プローブ２０が第１近接位置Ｐ１２にある時間と、第２プローブ６０が第２近接位置Ｐ２２にある時間とが重複することを確実に回避することができる。このように、実施例１は、第１プローブ２０と第２プローブ６０が同時にチップ部品に接触することを回避することができる。そのため、実施例１は、測定手段８０と第１又は第２プローブ２０，６０との間に切り換えスイッチ等を設けず、測定手段８０が第１及び第２プローブ２０，６０と常時接続された状態であっても、チップ部品の特性を精度良く測定することができる。
【００６６】
表１に示すように、実施例２は、実施例１と同様に、回転テーブルを２台用いて、プローブの前進及び後退動作と、回転テーブルの回転動作を時間的にオーバーラップさせて特性測定を実施するものである。図７に示すタイムチャートは、実施例２に係る特性測定装置のタイムチャートである。
【００６７】
図７に示すように、実施例２に係る特性測定装置では、実施例１と同様に、第１回転テーブル１１の回転動作と第１プローブ２０の前進・後退移動とを時間的にオーバーラップさせている。図７及び表１に示すように、第１回転テーブル１１の回転動作と第１プローブ２０の前進・後退移動とのオーバーラップ時間（搬送−前進重複時間，搬送−後退重複時間）は、それぞれ７．５ｍｓｅｃである。
【００６８】
また、実施例２における第２回転テーブル５１及び第２プローブ６０に対する制御は、制御の位相（電子部品の測定タイミング等）が異なることを除き、第１回転テーブル１１及び第１プローブ２０に対する制御と同様である。すなわち、実施例２に係る特性測定装置では、実施例１と同様に、第２回転テーブル５１の回転動作と第２プローブ６０の前進・後退移動とを時間的にオーバーラップさせている。図７及び表１に示すように、第２回転テーブル５１の回転動作と第２プローブ６０の前進・後退移動とのオーバーラップ時間（搬送−前進重複時間，搬送−後退重複時間）は、それぞれ７．５ｍｓｅｃである。
【００６９】
さらに、図７における「第１回転テーブル」及び「第２回転テーブル」の欄に示すように、実施例２に係る特性測定装置では、第１回転開始動作Ｍ１１及び第１回転停止動作Ｍ１２が、第２回転開始動作Ｍ２１より後であって第２回転停止動作Ｍ２２より前に行われる。したがって、実施例２は、プローブ２０，６０の移動動作と回転テーブル１１，５１の回転動作を時間的にオーバーラップさせるだけでなく、更に第１回転テーブル１１と第２回転テーブル５１の回転動作を時間的にオーバーラップさせている。第１回転テーブル１１と第２回転テーブル５１の回転動作がオーバーラップしている時間（第１−第２重複時間）は、５．０ｍｓｅｃ（第１回転開始動作Ｍ１１から第２回転停止動作Ｍ２２までの重複時間と、第２回転開始動作Ｍ２１から第１回転停止動作Ｍ１２までの重複時間がそれぞれ２．５ｍｓｅｃずつ）である。
【００７０】
表１及び図７に示すように、実施例２は、測定周期Ｔを、プローブ前進移動時間、プローブの後退移動時間、第１回転テーブル１１のチップ部品の測定時間及び第２回転テーブル５１のチップ部品の測定時間の和（実施例１）より小さくすることも可能である。これにより、実施例２は、搬送時間、プローブ前進移動時間、測定時間及びプローブ後退移動時間がすべて参考例２及び実施例１と同様であるにもかかわらず、これらより測定手段稼働率を向上させることができる。
【００７１】
また、実施例２は、参考例１、参考例２及び実施例１と同様に、第１プローブ２０が第１近接位置Ｐ１２にある間には第２プローブ６０が第２近接位置Ｐ２２に位置せず、第２プローブ６０が第２近接位置Ｐ２２にある間には第１プローブ２０が第１近接位置Ｐ１２に位置しない。したがって、実施例２に係る特性測定装置は、測定手段８０が第１及び第２プローブ２０，６０と常時接続された状態であっても、チップ部品の特性を精度良く測定することができる。
【符号の説明】
【００７２】
１０…特性測定装置
１１，５１…回転テーブル
１５,５５…収納部
１６…第１の間隔
１７,５７…回転駆動手段
２０,６０…プローブ
５２，５３…固定部
５２ｂ，５３ｂ…プローブガイド
５４…回転盤
６１…第２上プローブ
６１ａ,６２ａ…プローブ先端
６２…第２下プローブ
２３,６３…進退駆動手段
２４,５８,６４…サーボモータ
２５,６５…モータ取付台
３３,７３，７４…プローブ支持ブロック
５６…第２の間隔
５９…カップリング
６６…開閉用カム
６７…ガイドシャフト
６９,７０…カムフォロア
７１,７２…直動軸受
８０…測定手段
８２…制御手段
８４…チップ部品
Ｍ１１…第１回転開始動作
Ｍ１２…第１回転停止動作
Ｍ１３…第１前進開始動作
Ｍ１４…第１前進完了動作
Ｍ１５…第１後退開始動作
Ｍ１６…第１後退完了動作
Ｐ１１…第１離間位置
Ｐ１２…第１近接位置
Ｍ２１…第２回転開始動作
Ｍ２２…第２回転停止動作
Ｍ２３…第２前進開始動作
Ｍ２４…第２前進完了動作
Ｍ２５…第２後退開始動作
Ｍ２６…第２後退完了動作
Ｐ２１…第２離間位置
Ｐ２２…第２近接位置
【技術分野】
【０００１】
本発明は、多量の電子部品の特性を測定することができる電子部品特性測定装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
電子部品、特にチップコンデンサ、チップインダクタ等のチップ状電子部品（以下、チップ部品と言う）は、電気的特性を測定して良品の選別等を実施する検査工程を経た後に出荷される。このような検査工程で使用される特性測定装置には、所定の測定精度を達成し得ることを前提としたうえで、単位時間当たりの処理能力の高さが求められる。また、処理能力が同様であれば、より単純で安価な構成であることが望ましい。
【０００３】
従来技術に係る電子部品特性測定装置としては、例えばチップ部品を間欠的に搬送する回転テーブルと、回転テーブルによって搬送されるチップ部品に接触及び離間するプローブと、プローブを介して電子部品の電気的特性を測定する測定手段を有するものが知られている（特許文献１等参照）。また、２つの回転テーブルを備え、双方の回転テーブルで搬送される電子部品を、共通の測定手段を用いて測定する電子部品特性測定装置が提案されている（特許文献２等参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開平９−５４１３４号公報
【特許文献２】特開２００４−２０３３８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかし、従来の特性測定装置は、例えば１つの回転テーブルに関する技術に着目した場合、回転テーブルの移動完了を検出した後にプローブの接近を開始し、プローブが離間位置まで移動を完了した後に回転テーブルの移動を開始させるものであった。したがって、このような従来技術は、回転テーブルの回転速度や、プローブの移動速度を上げない限り、単位時間当たりの測定数を向上させることが困難である。また、２つの回転テーブルに関する従来技術では、測定時間の長さの違いを利用して２種類の特性測定装置を交互に使用すること等が提案されているが、プローブの移動に必要な時間が測定能力に及ぼす影響については、何の示唆もない。
【０００６】
本発明は、このような課題に鑑みてなされ、その目的は、単位時間当たりの測定数を向上させた電子部品特性測定装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の第１の観点に係る電子部品特性測定装置は、
周方向に沿って複数の第１収納部が設けられており、回転可能な第１回転テーブルと、
前記第１回転テーブルの回転を開始させる第１回転開始動作と、前記第１収納部が所定の間隔移動するように前記第１回転テーブルの回転を停止させる第１回転停止動作と、を行う第１回転駆動手段と、
少なくとも１つの前記第１収納部に対して離間している第１離間位置と、前記第１離間位置より前記第１収納部に対して近接している第１近接位置との間を移動可能な第１プローブと、
前記第１離間位置から前記第１近接位置に向かって前記第１プローブの移動を開始させる第１前進開始動作と、前記第１プローブを前記第１近接位置で停止させる第１前進完了動作と、前記第１近接位置から前記第１離間位置に向かって前記第１プローブの移動を開始させる第１後退開始動作と、前記第１プローブを前記第１離間位置に到達させる第１後退完了動作と、を行う第１進退駆動手段と、
前記第１プローブに対して電気的に接続しており、前記第１プローブが接触する電子部品の特性測定を行う測定手段と、
前記第１回転駆動手段及び前記第１進退駆動手段を制御する制御手段と、を有し、
前記制御手段は、前記第１前進開始動作より後であって前記第１前進完了動作より前に前記第１回転停止動作が行われ、前記第１後退開始動作より後であって前記第１後退完了動作より前に前記第１回転開始動作が行われるように、前記第１回転駆動手段及び前記第１進退駆動手段を制御することを特徴とする。
【０００８】
本発明の第１の観点に係る特性測定装置は、プローブの移動動作と回転テーブルの回転動作を時間的にオーバーラップさせることにより、単位時間当たりの電子部品の測定数を上昇させることができる。このような特性測定装置は、測定手段が特性測定を行っていない時間を減少させ、測定手段稼働率を上昇させることができる。
【０００９】
本発明の第２の観点に係る電子部品特性測定装置は、
周方向に沿って第１の間隔で複数の第１収納部が設けられており、回転可能な第１回転テーブルと、
周方向に沿って第２の間隔で複数の第２収納部が設けられており、前記第１回転テーブルとは独立して回転可能な第２回転テーブルと、
前記第１回転テーブルの回転を開始させる第１回転開始動作と、前記第１収納部が前記第１の間隔移動するように前記第１回転テーブルの回転を停止させる第１回転停止動作と、を行う第１回転駆動手段と、
前記第２回転テーブルの回転を開始させる第２回転開始動作と、前記第２収納部が前記第２の間隔移動するように前記第２回転テーブルの回転を停止させる第２回転停止動作と、を行う第２回転駆動手段と、
少なくとも１つの前記第１収納部に対して離間している第１離間位置と、前記第１離間位置より前記第１収納部に対して近接している第１近接位置との間を移動可能な第１プローブと、
少なくとも１つの前記第２収納部に対して離間している第２離間位置と、前記第２離間位置より前記第２収納部に対して近接している第２近接位置との間を移動可能な第２プローブと、
前記第１離間位置から前記第１近接位置に向かって前記第１プローブの移動を開始させる第１前進開始動作と、前記第１プローブを前記第１近接位置で停止させる第１前進完了動作と、前記第１近接位置から前記第１離間位置に向かって前記第１プローブの移動を開始させる第１後退開始動作と、前記第１プローブを前記第１離間位置に到達させる第１後退完了動作と、を行う第１進退駆動手段と、
前記第２離間位置から前記第２近接位置に向かって前記第２プローブの移動を開始させる第２前進開始動作と、前記第２プローブを前記第２近接位置で停止させる第２前進完了動作と、前記第２近接位置から前記第２離間位置に向かって前記第２プローブの移動を開始させる第２後退開始動作と、前記第２プローブを前記第２離間位置に到達させる第２後退完了動作と、を行う第２進退駆動手段と、
前記第１プローブ及び前記第２プローブに対して電気的に接続しており、前記第１プローブ及び前記第２プローブが接触する電子部品の特性測定を行う測定手段と、
前記第１回転駆動手段及び前記第２回転駆動手段並びに前記第１進退駆動手段及び前記第２進退駆動手段を制御する制御手段と、を有し、
前記測定手段は、前記第１近接位置に位置する前記第１プローブによって前記第１収納部にある電子部品の特性測定を行う動作と、前記第２近接位置に位置する前記第２プローブによって前記第２収納部にある電子部品の特性測定を行う動作とを交互に行い、
前記制御手段は、前記第１前進開始動作より後であって前記第１前進完了動作より前に前記第１回転停止動作が行われ、前記第１後退開始動作より後であって前記第１後退完了動作より前に前記第１回転開始動作が行われるように、前記第１回転駆動手段及び前記第１進退駆動手段を制御し、
前記制御手段は、前記第２前進開始動作より後であって前記第２前進完了動作より前に、前記第２回転停止動作が行われ、前記第２後退開始動作より後であって前記第２後退完了動作より前に前記第２回転開始動作が行われるように、前記第２回転駆動手段及び前記第２進退駆動手段を制御する。
【００１０】
本発明の第２の観点に係る特性測定装置は、共通の測定手段を用いて、第１の回転テーブルにある電子部品の特性測定と、第２回転テーブルにある電子部品の特性測定とを、交互に行う。これにより、本発明に係る特性測定装置は、例えば一方の回転テーブルが所定の間隔（第１の間隔又は第２の間隔）だけ電子部品を送っている間に、他方の回転テーブルにある電子部品の特性測定を行うことができ、測定手段が特性測定を行っていない時間を大きく減少させることが可能である。
【００１１】
また、本発明に係る特性測定装置は、プローブの移動動作と回転テーブルの回転動作を時間的にオーバーラップさせることにより、単位時間当たりの電子部品の測定数を上昇させることができる。２つの回転テーブルについて交互に特性測定を行い、かつ、プローブの移動動作と回転テーブルの回転動作を時間的にオーバーラップさせることにより、本発明に係る特性測定装置は、測定手段が特性測定を行っていない時間を更に減少させることができる。
【００１２】
また、例えば、前記制御手段は、前記第１プローブが前記第１近接位置にある間には前記第２プローブが前記第２近接位置に位置しないように、前記第１進退駆動手段及び前記第２進退駆動手段を制御しても良い。
【００１３】
第１プローブが第１近接位置にある時間と、第２プローブが第２近接位置にある時間が重ならないように制御することによって、本発明に係る特性測定装置は、測定手段とプローブの間に別途切り換えスイッチ等を設けなくても、電子部品の特性を精度良く測定することが可能である。
【００１４】
また、例えば、前記制御手段は、前記第１前進開始動作と前記第２後退開始動作とが同期し、前記第１後退開始動作と前記第２前進開始動作とが同期するように、前記第１進退駆動手段及び前記第２進退駆動手段を制御しても良い。このような特性測定装置は、第１プローブと第２プローブとが同時に電子部品に接触することを確実に回避し、電子部品の特性を精度良く測定することが可能である。
【００１５】
また、例えば、前記制御手段は、前記第１回転開始動作および前記第１回転停止動作のうち少なくとも一方が、前記第２回転開始動作より後であって前記第２回転停止動作より前に行われるように、前記第１回転駆動手段及び前記第２回転駆動手段を制御しても良い。
【００１６】
このような特性測定装置は、プローブの移動動作と回転テーブルの回転動作を時間的にオーバーラップさせるだけでなく、更に第１回転テーブルと第２回転テーブルの回転動作を時間的にオーバーラップさせることにより、より効果的に測定手段が特性測定を行っていない時間を減少させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】図１は、本発明の一実施形態に係る電子部品特性測定装置の概略平面図である。
【図２】図２は、図１に示す特性測定装置における第２回転テーブル周辺を表す概略部分断面図である。
【図３】図３は、図２における第２プローブ周辺を拡大した拡大側面図である。
【図４】図４は、第２収納部周辺を表す断面図であり、第２プローブが離間位置にある状態を表している。
【図５】図５は、第２収納部周辺を表す断面図であり、第２プローブが近接位置にある状態を表している。
【図６】図６は、第１実施例に係る特性測定のタイムチャートである。
【図７】図７は、第２実施例に係る特性測定のタイムチャートである。
【図８】図８は、第１及び第２参考例に係る特性測定のタイムチャートである。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
図１は、本発明の一実施形態に係る電子部品特性測定装置１０の概略平面図である。特性測定装置１０は、第１回転テーブル１１、第２回転テーブル５１、第１回転駆動手段１７、第２回転駆動手段５７、第１プローブ２０、第２プローブ６０、第１進退駆動手段２３、第２進退駆動手段６３等を有する。
【００１９】
第１回転テーブル１１は略円形の平面形状を有している。第１回転テーブル１１は、後述する第１回転駆動手段１７からの駆動力を受けて、矢印８６で示す方向に回転する。第１回転テーブル１１には、チップ部品を収納する第１収納部１５が複数設けられている。第１収納部１５は、周方向に沿って第１の間隔１６で設けられている。図１に示す例では、第１収納部１５は、放射方向に４周分設けられており、第１の間隔１６は３６０／１０００度であるため、第１回転テーブル１１には合計４０００個の第１収納部１５が設けられている。ただし、第１回転テーブル１１に設けられる第１収納部１５の数や、第１収納部１５を設ける第１の間隔１６は、第１回転テーブル１１の大きさや、特性測定の対象となるチップ部品の大きさ等によって調整され、特に限定されない。
【００２０】
第１回転テーブル１１の各第１収納部１５には、矢印９２で示す位置で、不図示の供給装置からチップ部品が供給される。各第１収納部１５に供給されたチップ部品は、第１回転テーブル１１の回転とともに矢印８６方向（時計回り）に搬送され、第１プローブ２０が設けられている位置で電気的特性等を計測される。さらに、電気的特性が計測されたチップ部品は、矢印９３〜矢印９４で示す位置まで搬送され、不図示の排出装置によって第１収納部１５から排出される。不図示の排出装置は、第１回転テーブル１１からチップ部品を排出する際に、搬送の間に測定された特性結果に基づき、これらのチップ部品を選別することができる。
【００２１】
第２回転テーブル５１は、第１回転テーブル１１とほぼ同様の形状を有しており、第１回転テーブル１１と並んで配置されている。第２回転テーブル５１は、後述する第２回転駆動手段５７からの駆動力を受けて、矢印８８で示す方向（反時計回り）に回転する。第２回転テーブル５１には、第１回転テーブル１１と同様に、チップ部品を収納する第２収納部５５が、複数設けられている。なお、図１に示す例では、第２回転テーブル５１に設けられる第２収納部５５の数及び間隔（第２の間隔５６）は、第１回転テーブル１１における第１収納部１５の数および間隔（第１の間隔１６）と同様であるが、これらは必ずしも同様である必要はなく、互いに異なっていても良い。
【００２２】
第２回転テーブル５１においても、第１回転テーブル１１と同様に、チップ部品の供給、特性測定及び排出が実施される。すなわち、第２回転テーブル５１の各第２収納部５５に供給されたチップ部品は、第２回転テーブル５１とともに矢印８８方向（半時計回り）に搬送され、第２プローブ６０が設けられている位置で電気的特性を計測された後に、不図示の排出装置から排出される。排出時にチップ部品の選別が可能な点も、第１回転テーブル１１と同様である。
【００２３】
第１回転テーブル１１には、第１回転テーブル１１を間欠的に回転させる第１回転駆動手段１７が接続されており、第２回転テーブル５１には、第２回転テーブル５１を間欠的に回転させる第２回転駆動手段５７が接続されている。第１回転駆動手段１７及び第２回転駆動手段５７は、後述する制御手段８２に対して電気的に接続されており、制御手段８２からの制御を受ける。
【００２４】
図２は、特性測定装置１０における第２回転テーブル５１周辺を表す概略側面図である。第２回転テーブル５１を回転させる第２回転駆動手段５７は、第２回転テーブル５１の中央部下方に配置されている。第２回転駆動手段５７は、第２サーボモータ５８と、第２サーボモータ５８の駆動を第２回転テーブル５１に伝えるカップリング５９を有する。
【００２５】
図３に示すように、第２回転テーブル５１は、第２収納部５５が形成されており当該第２収納部５５にチップ部品を保持しながら回転する回転盤５４を有する。図２に示す第２サーボモータ５８の駆動力は、カップリング５９を介して第２回転テーブル５１の回転盤５４（図３参照）に伝えられる。これにより、第２回転テーブル５１の回転駆動及びこれに伴うチップ部品の搬送が実施される。なお、第１回転駆動手段１７は、第２回転テーブル５１ではなく第１回転テーブル１１に接続されている点が異なることを除き、第２回転駆動手段５７と同様の構成を有している（第１サーボモータ及びカップリングを含む）ため、説明を省略する。
【００２６】
図１に示すように、第１回転テーブル１１には複数の第１プローブ２０が取り付けられている。各第１プローブ２０は、プローブ支持ブロック３３に固定されており、プローブ支持ブロック３３と共に上下に動き、第１回転テーブル１１の第１収納部１５に対して接近・離間する。プローブ支持ブロック３３及びこれに固定された第１プローブ２０は、第１進退駆動手段２３からの駆動力を受けて駆動される。第１進退駆動手段２３は、モータ取付台２５を介して設置されている第３サーボモータ２４等を有しており、第３サーボモータ２４の駆動力を使って、第１プローブ２０を移動させることができる。なお、第１進退駆動手段２３及び第１プローブ２０の詳細構造は、後述する第２進退駆動手段６３及び第２プローブ６０と同様であるため、説明を省略する。
【００２７】
第２回転テーブル５１には、第１回転テーブル１１と同様に、複数の第２プローブ６０が取り付けられている。図２に示すように、第２プローブ６０は、第２回転テーブル５１の上方から第２収納部５５に接近・離間する第２上プローブ６１と、第２回転テーブル５１の下方から第２収納部５５に接近・離間する第２下プローブ６２によって構成される。各第２上プローブ６１及び第２下プローブ６２は、それぞれプローブ支持ブロック７３，７４に固定されており、プローブ支持ブロック７３，７４と共に上下に移動する。
【００２８】
第２上プローブ６１及び第２下プローブ６２を移動させる第２進退駆動手段６３は、第４サーボモータ６４、開閉用カム６６、カムフォロア６９，７０及び直動軸受７１，７２等を有する。第４サーボモータ６４は、図１に示すようにモータ取付台６５を用いて設置されており、制御手段８２によってその回転量を制御される。
【００２９】
図２に示すように、第４サーボモータ６４の駆動軸には開閉用カム６６が取り付けられている。開閉用カム６６は、回転中心からの距離が変化するカム面を有しており、開閉用カム６６のカム面には、上下方向からカムフォロア６９，７０が押し付けられている。
【００３０】
開閉用カム６６に対して上方向から押し当てられているカムフォロア６９には、ガイドシャフト６７に沿って上下動する直動軸受７１が接続されている。また、開閉用カム６６に対して下方向から押し当てられているカムフォロア７０には、直動軸受７１と同様にガイドシャフト６７に沿って上下動する直動軸受７２が接続されている。第４サーボモータ６４の回転は、開閉用カム６６、カムフォロア６９，７０、直動軸受７１，７２によって、上下方向の直線運動に変換される。なお、ガイドシャフト６７の両端部には、押し付け用バネ７５，７６及びバネ押さえ７７，７８が取り付けられており、押し付け用バネ７５，７６は、直動軸受７１，７２及びカムフォロア６９，７０を、開閉用カム６６に向かって付勢している。
【００３１】
図３に示すように、直動軸受７１は、第２上プローブ６１が固定されているプローブ支持ブロック７３を支持しており、第２上プローブ６１は、直動軸受７１の上下動に合わせて上下に移動する。また、直動軸受７２は、第２下プローブ６２が固定されているプローブ支持ブロック７４を支持しており、第２下プローブ６２は、直動軸受７２の上下動に合わせて上下に移動する。
【００３２】
第２回転テーブル５１は、回転しない固定部５２，５３を有しており、固定部５２，５３は、回転移動する回転盤５４を上下方向に挟むように配置されている。第２上プローブ６１及び第２下プローブ６２の先端は、固定部５２，５３に形成された貫通孔を通って、回転盤５４の第２収納部５５に収納されているチップ部品の電極部に到達することができる。
【００３３】
図２に示す第２進退駆動手段６３による第２プローブ６０の移動は、第２収納部５５を挟む上下方向の動きであるため、第２収納部５５に対する接近・離間であると言い換えることができる。すなわち、第２プローブ６０を構成する第２上プローブ６１及び第２下プローブ６２は、第２収納部５５に対して離間している第２離間位置と、第２離間位置より第２収納部５５に対して近接している第２近接位置との間を往復移動する。
【００３４】
図４は、第２収納部５５の周辺を表す断面図であり、第２プローブ６０が第２離間位置Ｐ２１にある状態を表している。第２プローブ６０が第２離間位置Ｐ２１にある時、第２上プローブ６１の先端６１ａは、固定部５２のプローブガイド５２ｂに収納されており、第２収納部５５に収納されているチップ部品８４の表面から離れている。また、この時、第２下プローブ６２の先端６２ａは、固定部５３のプローブガイド５３ｂに収納されており、第２上プローブ６１の先端６１ａと同様、第２収納部５５に収納されているチップ部品８４の表面から離れている。
【００３５】
図５は、第２収納部５５の周辺を表す断面図であり、第２プローブ６０が第２近接位置Ｐ２２にある状態を表している。第２プローブ６０が第２近接位置Ｐ２２にある時、第２上プローブ６１の先端６１ａは、第２収納部５５へ向かって進出しており、第２収納部５５に収納されているチップ部品８４の表面（一方の電極面）に接触している。また、この時、第２下プローブ６２の先端６２ａも、第２収納部５５へ向かって進出しており、第２上プローブ６１の先端６１ａと同様、チップ部品８４の表面（他方の電極面）に接触している。
【００３６】
図５に示すように、第２プローブ６０が第２近接位置Ｐ２２にある状態では、各先端６１ａ，６２ａがチップ部品８４の電極に接触するため、第２プローブ６０と電気的に接続されている測定手段８０によって、チップ部品８４の電気的特性を計測することが可能である。また、図４に示すように、第２プローブ６０が第２離間位置Ｐ２１にある状態では、各先端６１ａ，６２ａがチップ部品８４の電極から離れて固定部５２，５３へ退避しているため、回転盤５４を回転させ、第２収納部５５に収納されたチップ部品８４を搬送することができる。このように、第２プローブ６０を構成する第２上プローブ６１及び第２下プローブ６２は、第２収納部５５を中心として略対称な動きを繰り返すことによって、第２回転テーブル５１によって次々に搬送されるチップ部品８４の特性測定を実施することができる。
【００３７】
図１に示す第１プローブ２０も、第２プローブ６０と同様に、第１収納部１５に対して離間している第１離間位置と、第１離間位置より第１収納部１５に対して近接している第１近接位置との間を往復移動する。第１プローブ２０は、第２プローブ６０と同様に、測定手段８０に電気的に接続されており、第１収納部１５に収納されたチップ部品の電気的特性も、測定手段８０によって測定される。
【００３８】
図１に示す測定手段８０は、第１プローブ２０及び第２プローブ６０の双方と電気的に接続されているが、第１プローブ２０を用いる特性測定と第２プローブ６０を用いる特性測定とを、同時に行うことはできない。すなわち、測定手段８０は、第１回転テーブル１１と第２回転テーブル５１との共通の測定手段ではあるが、第１回転テーブル１１のチップ部品の特性測定と、第２回転テーブル５１のチップ部品の特性測定とを、時間をずらして行う必要がある。このような測定手段８０は、第１プローブ２０を用いる特性測定と第２プローブ６０を用いる特性測定とを同時に行えるものより、安価に構成することができる。
【００３９】
第１プローブ２０を移動させる第１進退駆動手段２３と、第２プローブ６０を移動させる第２進退駆動手段６３は、双方とも制御手段８２によって制御される。制御手段８２は、第１及び第２進退駆動手段２３，６３だけでなく、第１及び第２回転テーブル１１，５１を回転させる第１及び第２回転駆動手段１７，５７や、測定手段８０の制御を行うことができる。すなわち、制御手段８２は、第１及び第２回転テーブル１１，５１の回転、第１及び第２プローブ２０，６０の移動及び測定手段８０による測定タイミングを、包括的に制御することができる。
【００４０】
図６から図８は、実施例１、実施例２、参考例１及び参考例２に係る特性測定装置において実施される特性測定のタイムチャートを表したものである。図６は実施例１に係る特性測定装置のタイムチャートであり、図７は実施例２に係る特性測定装置のタイムチャートであり、図８は参考例１及び参考例２に係る特性測定装置のタイムチャートである。図１に示す特性測定装置１０は、制御手段８２の設定を変更することにより、実施例１、実施例２、参考例１及び参考例２に係る各特性測定装置として動作することができる。
【００４１】
図６〜図８における「第１回転テーブル」の欄は、図１に示す第１回転テーブル１１の動作（速度）を表している。「第１回転テーブル」のチャートがローレベルにある時間は、第１回転テーブル１１が「停止」している時間に対応しており、ローレベルより上の位置にある時間は、第１回転テーブル１１が「回転」している時間に対応している。
【００４２】
図６〜図８における「第１回転テーブル」の欄に示すように、第１回転駆動手段１７（図１参照）は、第１回転テーブル１１の回転を開始させる第１回転開始動作Ｍ１１と、第１回転テーブル１１の回転を停止させる第１回転停止動作Ｍ１２を交互に行う。第１回転テーブル１１は、第１回転開始動作Ｍ１１から第１回転停止動作Ｍ１２の間、回転移動を行う。第１回転開始動作Ｍ１１から第１回転停止動作Ｍ１２までの時間を一回経過すると、各第１収納部１５は、第１の間隔１６（図１参照）移動する。図６〜図８に示す例では、第１回転テーブル１１及びこれを駆動する第１回転駆動手段１７は、第１回転開始動作Ｍ１１から第１回転停止動作Ｍ１２までの間に、すなわち第１回転テーブル１１の第１収納部１５を第１の間隔１６だけ回転させるために、２０ｍｓｅｃを要する。
【００４３】
図６〜図８における「第１プローブ」の欄は、図１に示す第１プローブ２０の位置を表している。「第１プローブ」のチャートがハイレベルにある時間は、第１プローブ２０が「第１離間位置Ｐ１１」（第２プローブ６０における「第２離間位置Ｐ２１」に対応（図４参照））にある時間に対応しており、ローレベルにある時間は、第１プローブ２０が「第１近接位置Ｐ１２」（第２プローブ６０における「第２近接位置Ｐ２２」に対応（図５参照））にある時間に対応している。
【００４４】
図６〜図８における「第１プローブ」の欄に示すように、第１進退駆動手段２３（図１参照）は、第１離間位置Ｐ１１から第１近接位置Ｐ１２に向かって第１プローブ２０の移動を開始させる第１前進開始動作Ｍ１３と、第１プローブ２０を第１近接位置Ｐ１２で停止させる第１前進完了動作Ｍ１４とを行う。また、第１進退駆動手段２３は、第１近接位置Ｐ１２から第１離間位置Ｐ１１に向かって第１プローブ２０の移動を開始させる第１後退開始動作Ｍ１５と、第１プローブ２０を第１離間位置Ｐ１１に到達させる第１後退完了動作Ｍ１６とを行う。第１進退駆動手段２３は、第１前進開始動作Ｍ１３、第１前進完了動作Ｍ１４、第１後退開始動作Ｍ１５及び第１後退完了動作Ｍ１６を順に行うことにより、第１収納部１５に収納されたチップ部品に対して、プローブの先端を接触・離間させることができる。
【００４５】
図６〜図８に示す例では、第１プローブ２０を駆動する第１進退駆動手段２３は、第１前進開始動作Ｍ１３から第１前進完了動作Ｍ１４までの間に、すなわち第１プローブ２０を第１離間位置Ｐ１１から第１近接位置Ｐ１２に移動させるために、１０ｍｓｅｃを要する。また、第１進退駆動手段２３は、第１後退開始動作Ｍ１５から第１後退完了動作Ｍ１６までの間に、すなわち第１プローブ２０を第１近接位置Ｐ１２から第１離間位置Ｐ１１に移動させるために、同じく１０ｍｓｅｃを要する。
【００４６】
図６〜図８における「測定Ａ」の欄は、測定手段８０（図１参照）が、第１収納部１５に収納されたチップ部品の特性を測定しているか否かを表している。「測定Ａ」の欄のチャートがローレベル（「非測定中」）にある時間は、測定手段８０が、少なくとも第１収納部１５のチップ部品に対しては特性測定を実施していない時間に対応している。また、「測定Ａ」の欄のチャートがハイレベル（「測定中」）の位置にある時間は、測定手段８０が、第１収納部１５のチップ部品に対して、特性の測定を実施している時間に対応している。
【００４７】
測定手段８０が第１収納部１５のチップ部品に対して特性の測定を実施するためには、その前提条件として、第１プローブ２０が第１近接位置Ｐ１２にあることを要する。なお、図６〜図８に示す例では、測定手段８０は、第１収納部１５のチップ部品の特性を測定するために、１０ｍｓｅｃを要する。
【００４８】
図６〜図８における「第２回転テーブル」の欄は、図１に示す第２回転テーブル５１の動作（速度）を表しており、詳細については「第１回転テーブル」の欄と同様である。第２回転駆動手段５７（図１参照）は、第２回転テーブル５１の回転を開始させる第２回転開始動作Ｍ２１と、第２回転テーブル５１の回転を停止させる第２回転停止動作Ｍ２２を交互に行い、各第２収納部５５を第２の間隔５６ずつ移動させる。第２回転駆動手段５７及び第２回転テーブル５１の能力は、第１回転駆動手段１７及び第１回転テーブル１１と基本的に同様であり、第２回転駆動手段５７は、第２回転テーブル５１を第２の間隔５６だけ回転させるために、２０ｍｓｅｃを要する。
【００４９】
図６〜図８における「第２プローブ」の欄は、図１に示す第２プローブ６０の位置を表しており、詳細については「第１プローブ」の欄と同様である。第２進退駆動手段６３は、第２離間位置Ｐ２１から第２近接位置Ｐ２２に向かって第２プローブ６０の移動を開始させる第２前進開始動作Ｍ２３と、第２プローブ６０を第２近接位置Ｐ２２で停止させる第２前進完了動作Ｍ２４と、第２近接位置Ｐ２２から第２離間位置Ｐ２１に向かって第２プローブ６０の移動を開始させる第２後退開始動作Ｍ２５と、第２プローブ６０を第２離間位置Ｐ２１に到達させる第２後退完了動作Ｍ２６とを行う。第２進退駆動手段６３は、第２前進開始動作Ｍ２３、第２前進完了動作Ｍ２４、第２後退開始動作Ｍ２５及び第２後退完了動作Ｍ２６を順に行うことにより、第２収納部５５に収納されているチップ部品に対して、プローブの先端６１ａ，６２ａを接触・離間させることができる。第２進退駆動手段６３は、第１進退駆動手段２３と同様の能力を有しており、第２プローブ６０を第２離間位置Ｐ２１から第２近接位置Ｐ２２に移動させるため、及び第２プローブ６０を第２近接位置Ｐ２２から第２離間位置Ｐ２１に移動させるために、それぞれ１０ｍｓｅｃを要する。
【００５０】
図６〜図８における「測定Ｂ」の欄は、測定手段８０（図１参照）が、第２収納部５５に収納されたチップ部品の特性を測定しているか否かを表しており、詳細は「測定Ａ」の欄と同様である。測定手段８０が第２収納部５５のチップ部品に対して特性の測定を実施するためには、その前提条件として、第２プローブ６０が第２近接位置Ｐ２２にあることを要する。また、測定手段８０は、任意の時点に着目した場合、第１収納部１５に収納されたチップ部品の測定か、第２収納部５５に収納されたチップ部品の測定か、いずれか一方しか行うことができないため、一方が測定中であれば、他方は非測定中である必要がある。
【００５１】
表１は、実施例１、実施例２、参考例１及び参考例２の各特性測定装置で実施される特性測定の実施条件、測定周期及び測定手段稼働率を表したものである。
【００５２】
【表１】
【００５３】
表１に示すように、参考例１は、回転テーブルを１台だけ用いて、プローブの前進及び後退動作と、回転テーブルの回転動作を時間的にオーバーラップさせることなく特性測定を行っている。図８に示すタイムチャートの上半分のみ（若しくは下半分のみ）が、参考例１に係る特性測定装置のタイムチャートに対応する。
【００５４】
図８における「第１回転テーブル」及び「第１プローブ」の欄に示すように、参考例１に係る特性測定装置では、第１回転停止動作Ｍ１２と同時に第１前進開始動作Ｍ１３を行うことにより、第１回転テーブル１１の停止を待って第１プローブ２０が移動を開始する。また、第１後退完了動作Ｍ１６と同時に第１回転開始動作Ｍ１１を行うことにより、第１プローブ２０が第１離間位置Ｐ１１まで移動するのを待って第１回転テーブル１１の回転を開始する。
【００５５】
表１に示すように、参考例１における測定周期Ｔは、搬送時間（第１回転テーブル１１が第１の間隔１６だけ回転するために要する時間）と、プローブ前進移動時間（第１プローブ２０を第１離間位置Ｐ１１から第１近接位置Ｐ１２に移動させるために要する時間）と、測定時間（第１収納部１５のチップ部品の特性を測定するために要する時間）と、プローブ後退移動時間（第１プローブ２０を第１近接位置Ｐ１２から第１離間位置Ｐ１１に移動させるために要する時間）とを足し合わせた時間であり、５０ｍｓｅｃである。また、参考例１における測定手段稼働率（実際に測定手段８０がチップ部品の特性を行っている時間が測定周期Ｔに占める割合）は、２０％である。
【００５６】
参考例１のように、回転テーブルの回転とプローブの移動を時間的にオーバーラップさせることなく特性測定を行う装置は、測定周期Ｔを、搬送時間、プローブ前進移動時間、測定時間及びプローブ後退移動時間の和より小さくすることができない。したがって、参考例１では、搬送時間、プローブ前進移動時間、測定時間及びプローブ後退移動時間のいずれかを短縮しない限り、測定手段稼働率を向上させることが困難である。
【００５７】
表１に示すように、参考例２は、参考例１と同様に回転テーブルの回転とプローブの移動とをオーバーラップさせない状態で、回転テーブルを２台用いて特性測定を行っている。図８に示すタイムチャート全体が、参考例２に係る特性測定装置のタイムチャートに対応する。
【００５８】
図８に示すように、参考例２は、第１回転テーブル１１及び第１プローブ２０における測定タイミングと、第２回転テーブル５１及び第２プローブ６０における測定タイミングをずらすことによって、参考例１と同様の測定周期Ｔを有する。これにより、参考例２における測定手段稼働率は、参考例１のそれに対して２倍の４０％である。このように、参考例２は、一方の回転テーブルが回転しており当該一方の回転テーブルでは測定を行うことができない時間に、他方の回転テーブルで特性測定を行うことにより、測定手段稼働率を上昇させることができる。
【００５９】
しかし、参考例２も、参考例１と同様に、測定周期Ｔを、いずれかの回転テーブル１１，５１に関する搬送時間、プローブ前進移動時間、測定時間及びプローブ後退移動時間の和より小さくすることができないという問題点を有する。したがって、参考例２でも、搬送時間、プローブ前進移動時間、測定時間及びプローブ後退移動時間のいずれかを短縮しない限り、回転テーブルの数を維持したまま測定手段稼働率を向上させることは困難である。
【００６０】
表１に示すように、実施例１は、回転テーブルを２台用いて、プローブの前進及び後退動作と、回転テーブルの回転動作を時間的にオーバーラップさせて特性測定を実施するものである。図６に示すタイムチャートは、実施例１に係る特性測定装置のタイムチャートである。
【００６１】
図６における「第１回転テーブル」及び「第１プローブ」の欄に示すように、実施例１に係る特性測定装置では、第１前進開始動作Ｍ１３より後であって第１前進完了動作Ｍ１４より前に第１回転停止動作１２を行うことにより、第１回転テーブル１１の回転動作と第１プローブ２０の前進移動とを時間的にオーバーラップさせている。また、第１後退開始動作Ｍ１５より後であって第１後退完了動作Ｍ１６より前に第１回転開始動作Ｍ１１を行うことにより、第１回転テーブル１１の回転動作と第１プローブ２０の後退移動とを時間的にオーバーラップさせている。第１回転テーブル１１の回転動作と第１プローブ２０の前進移動とのオーバーラップ時間（搬送−前進重複時間）と、第１回転テーブル１１の回転動作と第１プローブ２０の後退移動とのオーバーラップ時間（搬送−後退重複時間）は、いずれも５ｍｓｅｃである。
【００６２】
また、実施例１における第２回転テーブル５１及び第２プローブ６０に対する制御は、制御の位相（電子部品の測定タイミング等）が異なることを除き、第１回転テーブル１１及び第１プローブ２０に対する制御と同様である。すなわち、図６における「第２回転テーブル」及び「第２プローブ」の欄に示すように、実施例１に係る特性測定装置では、第２前進開始動作Ｍ２３より後であって第２前進完了動作Ｍ２４より前に第２回転停止動作Ｍ２２を行うことにより、第２回転テーブル５１の回転動作と第２プローブ６０の前進移動とを時間的にオーバーラップさせている。また、第２後退開始動作Ｍ２５より後であって第２後退完了動作Ｍ２６より前に第２回転開始動作Ｍ２１を行うことにより、第２回転テーブル５１の回転動作と第２プローブ６０の後退移動とを時間的にオーバーラップさせている。第２回転テーブル５１の回転動作と第２プローブ６０の前進・後退移動のオーバーラップ時間（搬送−前進重複時間及び搬送−後退重複時間）は、それぞれ５ｍｓｅｃである。
【００６３】
実施例１は、プローブの前進及び後退動作と、回転テーブルの回転動作を時間的にオーバーラップさせることによって、測定周期Ｔを、搬送時間、プローブ前進移動時間、測定時間及びプローブ後退移動時間の和より小さくすることができる。これにより、実施例１は、搬送時間、プローブ前進移動時間、測定時間及びプローブ後退移動時間がすべて参考例２と同様であるにもかかわらず、参考例２より測定手段稼働率を向上させることができる。
【００６４】
実施例１におけるオーバーラップ時間（搬送−前進重複時間及び搬送−後退重複時間）は、図４に示すプローブ先端６１ａ，６２ａが、回転中のチップ部品８４に接触しない範囲で設定することができる。図４に示すように、第１及び第２離間位置Ｐ１１，Ｐ２１は、プローブ先端６１ａ，６２ａが回転盤５４及び収納部５５から固定部５２，５３に退避した位置に設定される。そのため、実施例１に係る特性測定装置は、オーバーラップ時間をある程度有していても、その割合を調整することにより、回転中のチップ部品８４に対する先端６１ａ，６２ａの接触を避け、チップ部品に摩擦傷が発生する問題を防止することができる。なお、プローブ２０，６０のストローク（第１及び第２離間位置Ｐ１１，Ｐ２１と第１及び第２近接位置Ｐ１２，Ｐ２２との距離）は、チップ部品の寸法バラツキ、チップ部品の上下動、チップ部品の電極部表面に形成される酸化被膜の存在等を考慮し、適切なマージンを有するように設定されることが好ましい。
【００６５】
また、実施例１では、図６に示すように、第１プローブ２０の第１前進開始動作Ｍ１３と第２後退開始動作Ｍ２５とが同期し、第１後退開始動作Ｍ１５と第２前進開始動作Ｍ２３とが同期する。これにより、実施例１は、第１プローブ２０が第１近接位置Ｐ１２にある時間と、第２プローブ６０が第２近接位置Ｐ２２にある時間とが重複することを確実に回避することができる。このように、実施例１は、第１プローブ２０と第２プローブ６０が同時にチップ部品に接触することを回避することができる。そのため、実施例１は、測定手段８０と第１又は第２プローブ２０，６０との間に切り換えスイッチ等を設けず、測定手段８０が第１及び第２プローブ２０，６０と常時接続された状態であっても、チップ部品の特性を精度良く測定することができる。
【００６６】
表１に示すように、実施例２は、実施例１と同様に、回転テーブルを２台用いて、プローブの前進及び後退動作と、回転テーブルの回転動作を時間的にオーバーラップさせて特性測定を実施するものである。図７に示すタイムチャートは、実施例２に係る特性測定装置のタイムチャートである。
【００６７】
図７に示すように、実施例２に係る特性測定装置では、実施例１と同様に、第１回転テーブル１１の回転動作と第１プローブ２０の前進・後退移動とを時間的にオーバーラップさせている。図７及び表１に示すように、第１回転テーブル１１の回転動作と第１プローブ２０の前進・後退移動とのオーバーラップ時間（搬送−前進重複時間，搬送−後退重複時間）は、それぞれ７．５ｍｓｅｃである。
【００６８】
また、実施例２における第２回転テーブル５１及び第２プローブ６０に対する制御は、制御の位相（電子部品の測定タイミング等）が異なることを除き、第１回転テーブル１１及び第１プローブ２０に対する制御と同様である。すなわち、実施例２に係る特性測定装置では、実施例１と同様に、第２回転テーブル５１の回転動作と第２プローブ６０の前進・後退移動とを時間的にオーバーラップさせている。図７及び表１に示すように、第２回転テーブル５１の回転動作と第２プローブ６０の前進・後退移動とのオーバーラップ時間（搬送−前進重複時間，搬送−後退重複時間）は、それぞれ７．５ｍｓｅｃである。
【００６９】
さらに、図７における「第１回転テーブル」及び「第２回転テーブル」の欄に示すように、実施例２に係る特性測定装置では、第１回転開始動作Ｍ１１及び第１回転停止動作Ｍ１２が、第２回転開始動作Ｍ２１より後であって第２回転停止動作Ｍ２２より前に行われる。したがって、実施例２は、プローブ２０，６０の移動動作と回転テーブル１１，５１の回転動作を時間的にオーバーラップさせるだけでなく、更に第１回転テーブル１１と第２回転テーブル５１の回転動作を時間的にオーバーラップさせている。第１回転テーブル１１と第２回転テーブル５１の回転動作がオーバーラップしている時間（第１−第２重複時間）は、５．０ｍｓｅｃ（第１回転開始動作Ｍ１１から第２回転停止動作Ｍ２２までの重複時間と、第２回転開始動作Ｍ２１から第１回転停止動作Ｍ１２までの重複時間がそれぞれ２．５ｍｓｅｃずつ）である。
【００７０】
表１及び図７に示すように、実施例２は、測定周期Ｔを、プローブ前進移動時間、プローブの後退移動時間、第１回転テーブル１１のチップ部品の測定時間及び第２回転テーブル５１のチップ部品の測定時間の和（実施例１）より小さくすることも可能である。これにより、実施例２は、搬送時間、プローブ前進移動時間、測定時間及びプローブ後退移動時間がすべて参考例２及び実施例１と同様であるにもかかわらず、これらより測定手段稼働率を向上させることができる。
【００７１】
また、実施例２は、参考例１、参考例２及び実施例１と同様に、第１プローブ２０が第１近接位置Ｐ１２にある間には第２プローブ６０が第２近接位置Ｐ２２に位置せず、第２プローブ６０が第２近接位置Ｐ２２にある間には第１プローブ２０が第１近接位置Ｐ１２に位置しない。したがって、実施例２に係る特性測定装置は、測定手段８０が第１及び第２プローブ２０，６０と常時接続された状態であっても、チップ部品の特性を精度良く測定することができる。
【符号の説明】
【００７２】
１０…特性測定装置
１１，５１…回転テーブル
１５,５５…収納部
１６…第１の間隔
１７,５７…回転駆動手段
２０,６０…プローブ
５２，５３…固定部
５２ｂ，５３ｂ…プローブガイド
５４…回転盤
６１…第２上プローブ
６１ａ,６２ａ…プローブ先端
６２…第２下プローブ
２３,６３…進退駆動手段
２４,５８,６４…サーボモータ
２５,６５…モータ取付台
３３,７３，７４…プローブ支持ブロック
５６…第２の間隔
５９…カップリング
６６…開閉用カム
６７…ガイドシャフト
６９,７０…カムフォロア
７１,７２…直動軸受
８０…測定手段
８２…制御手段
８４…チップ部品
Ｍ１１…第１回転開始動作
Ｍ１２…第１回転停止動作
Ｍ１３…第１前進開始動作
Ｍ１４…第１前進完了動作
Ｍ１５…第１後退開始動作
Ｍ１６…第１後退完了動作
Ｐ１１…第１離間位置
Ｐ１２…第１近接位置
Ｍ２１…第２回転開始動作
Ｍ２２…第２回転停止動作
Ｍ２３…第２前進開始動作
Ｍ２４…第２前進完了動作
Ｍ２５…第２後退開始動作
Ｍ２６…第２後退完了動作
Ｐ２１…第２離間位置
Ｐ２２…第２近接位置
【特許請求の範囲】
【請求項１】
周方向に沿って複数の第１収納部が設けられており、回転可能な第１回転テーブルと、
前記第１回転テーブルの回転を開始させる第１回転開始動作と、前記第１収納部が所定の間隔移動するように前記第１回転テーブルの回転を停止させる第１回転停止動作と、を行う第１回転駆動手段と、
少なくとも１つの前記第１収納部に対して離間している第１離間位置と、前記第１離間位置より前記第１収納部に対して近接している第１近接位置との間を移動可能な第１プローブと、
前記第１離間位置から前記第１近接位置に向かって前記第１プローブの移動を開始させる第１前進開始動作と、前記第１プローブを前記第１近接位置で停止させる第１前進完了動作と、前記第１近接位置から前記第１離間位置に向かって前記第１プローブの移動を開始させる第１後退開始動作と、前記第１プローブを前記第１離間位置に到達させる第１後退完了動作と、を行う第１進退駆動手段と、
前記第１プローブに対して電気的に接続しており、前記第１プローブが接触する電子部品の特性測定を行う測定手段と、
前記第１回転駆動手段及び前記第１進退駆動手段を制御する制御手段と、を有し、
前記制御手段は、前記第１前進開始動作より後であって前記第１前進完了動作より前に前記第１回転停止動作が行われ、前記第１後退開始動作より後であって前記第１後退完了動作より前に前記第１回転開始動作が行われるように、前記第１回転駆動手段及び前記第１進退駆動手段を制御することを特徴とする電子部品特性測定装置。
【請求項２】
周方向に沿って第１の間隔で複数の第１収納部が設けられており、回転可能な第１回転テーブルと、
周方向に沿って第２の間隔で複数の第２収納部が設けられており、前記第１回転テーブルとは独立して回転可能な第２回転テーブルと、
前記第１回転テーブルの回転を開始させる第１回転開始動作と、前記第１収納部が前記第１の間隔移動するように前記第１回転テーブルを停止させる第１回転停止動作と、を行う第１回転駆動手段と、
前記第２回転テーブルの回転を開始させる第２回転開始動作と、前記第２収納部が前記第２の間隔移動するように前記第２回転テーブルを停止させる第２回転停止動作と、を行う第２回転駆動手段と、
少なくとも１つの前記第１収納部に対して離間している第１離間位置と、前記第１離間位置より前記第１収納部に対して近接している第１近接位置との間を移動可能な第１プローブと、
少なくとも１つの前記第２収納部に対して離間している第２離間位置と、前記第２離間位置より前記第２収納部に対して近接している第２近接位置との間を移動可能な第２プローブと、
前記第１離間位置から前記第１近接位置に向かって前記第１プローブの移動を開始させる第１前進開始動作と、前記第１プローブを前記第１近接位置で停止させる第１前進完了動作と、前記第１近接位置から前記第１離間位置に向かって前記第１プローブの移動を開始させる第１後退開始動作と、前記第１プローブを前記第１離間位置に到達させる第１後退完了動作と、を行う第１進退駆動手段と、
前記第２離間位置から前記第２近接位置に向かって前記第２プローブの移動を開始させる第２前進開始動作と、前記第２プローブを前記第２近接位置で停止させる第２前進完了動作と、前記第２近接位置から前記第２離間位置に向かって前記第２プローブの移動を開始させる第２後退開始動作と、前記第２プローブを前記第２離間位置に到達させる第２後退完了動作と、を行う第２進退駆動手段と、
前記第１プローブ及び前記第２プローブに対して電気的に接続しており、前記第１プローブ及び前記第２プローブが接触する電子部品の特性測定を行う測定手段と、
前記第１回転駆動手段及び前記第２回転駆動手段並びに前記第１進退駆動手段及び前記第２進退駆動手段を制御する制御手段と、を有し、
前記測定手段は、前記第１近接位置に位置する前記第１プローブによって前記第１収納部にある電子部品の特性測定を行う動作と、前記第２近接位置に位置する前記第２プローブによって前記第２収納部にある電子部品の特性測定を行う動作とを交互に行い、
前記制御手段は、前記第１前進開始動作より後であって前記第１前進完了動作より前に前記第１回転停止動作が行われ、前記第１後退開始動作より後であって前記第１後退完了動作より前に前記第１回転開始動作が行われるように、前記第１回転駆動手段及び前記第１進退駆動手段を制御し、
前記制御手段は、前記第２前進開始動作より後であって前記第２前進完了動作より前に、前記第２回転停止動作が行われ、前記第２後退開始動作より後であって前記第２後退完了動作より前に前記第２回転開始動作が行われるように、前記第２回転駆動手段及び前記第２進退駆動手段を制御することを特徴とする電子部品特性測定装置。
【請求項３】
前記制御手段は、前記第１プローブが前記第１近接位置にある間には前記第２プローブが前記第２近接位置に位置しないように、前記第１進退駆動手段及び前記第２進退駆動手段を制御することを特徴とする請求項２に記載の電子部品特性測定装置。
【請求項４】
前記制御手段は、前記第１前進開始動作と前記第２後退開始動作とが同期し、前記第１後退開始動作と前記第２前進開始動作とが同期するように、前記第１進退駆動手段及び前記第２進退駆動手段を制御することを特徴とする請求項２に記載の電子部品特性測定装置。
【請求項５】
前記制御手段は、前記第１回転開始動作および前記第１回転停止動作のうち少なくとも一方が、前記第２回転開始動作より後であって前記第２回転停止動作より前に行われるように、前記第１回転駆動手段及び前記第２回転駆動手段を制御することを特徴とする請求項２から請求項４までのいずれかに記載の電子部品特性測定装置。
【請求項１】
周方向に沿って複数の第１収納部が設けられており、回転可能な第１回転テーブルと、
前記第１回転テーブルの回転を開始させる第１回転開始動作と、前記第１収納部が所定の間隔移動するように前記第１回転テーブルの回転を停止させる第１回転停止動作と、を行う第１回転駆動手段と、
少なくとも１つの前記第１収納部に対して離間している第１離間位置と、前記第１離間位置より前記第１収納部に対して近接している第１近接位置との間を移動可能な第１プローブと、
前記第１離間位置から前記第１近接位置に向かって前記第１プローブの移動を開始させる第１前進開始動作と、前記第１プローブを前記第１近接位置で停止させる第１前進完了動作と、前記第１近接位置から前記第１離間位置に向かって前記第１プローブの移動を開始させる第１後退開始動作と、前記第１プローブを前記第１離間位置に到達させる第１後退完了動作と、を行う第１進退駆動手段と、
前記第１プローブに対して電気的に接続しており、前記第１プローブが接触する電子部品の特性測定を行う測定手段と、
前記第１回転駆動手段及び前記第１進退駆動手段を制御する制御手段と、を有し、
前記制御手段は、前記第１前進開始動作より後であって前記第１前進完了動作より前に前記第１回転停止動作が行われ、前記第１後退開始動作より後であって前記第１後退完了動作より前に前記第１回転開始動作が行われるように、前記第１回転駆動手段及び前記第１進退駆動手段を制御することを特徴とする電子部品特性測定装置。
【請求項２】
周方向に沿って第１の間隔で複数の第１収納部が設けられており、回転可能な第１回転テーブルと、
周方向に沿って第２の間隔で複数の第２収納部が設けられており、前記第１回転テーブルとは独立して回転可能な第２回転テーブルと、
前記第１回転テーブルの回転を開始させる第１回転開始動作と、前記第１収納部が前記第１の間隔移動するように前記第１回転テーブルを停止させる第１回転停止動作と、を行う第１回転駆動手段と、
前記第２回転テーブルの回転を開始させる第２回転開始動作と、前記第２収納部が前記第２の間隔移動するように前記第２回転テーブルを停止させる第２回転停止動作と、を行う第２回転駆動手段と、
少なくとも１つの前記第１収納部に対して離間している第１離間位置と、前記第１離間位置より前記第１収納部に対して近接している第１近接位置との間を移動可能な第１プローブと、
少なくとも１つの前記第２収納部に対して離間している第２離間位置と、前記第２離間位置より前記第２収納部に対して近接している第２近接位置との間を移動可能な第２プローブと、
前記第１離間位置から前記第１近接位置に向かって前記第１プローブの移動を開始させる第１前進開始動作と、前記第１プローブを前記第１近接位置で停止させる第１前進完了動作と、前記第１近接位置から前記第１離間位置に向かって前記第１プローブの移動を開始させる第１後退開始動作と、前記第１プローブを前記第１離間位置に到達させる第１後退完了動作と、を行う第１進退駆動手段と、
前記第２離間位置から前記第２近接位置に向かって前記第２プローブの移動を開始させる第２前進開始動作と、前記第２プローブを前記第２近接位置で停止させる第２前進完了動作と、前記第２近接位置から前記第２離間位置に向かって前記第２プローブの移動を開始させる第２後退開始動作と、前記第２プローブを前記第２離間位置に到達させる第２後退完了動作と、を行う第２進退駆動手段と、
前記第１プローブ及び前記第２プローブに対して電気的に接続しており、前記第１プローブ及び前記第２プローブが接触する電子部品の特性測定を行う測定手段と、
前記第１回転駆動手段及び前記第２回転駆動手段並びに前記第１進退駆動手段及び前記第２進退駆動手段を制御する制御手段と、を有し、
前記測定手段は、前記第１近接位置に位置する前記第１プローブによって前記第１収納部にある電子部品の特性測定を行う動作と、前記第２近接位置に位置する前記第２プローブによって前記第２収納部にある電子部品の特性測定を行う動作とを交互に行い、
前記制御手段は、前記第１前進開始動作より後であって前記第１前進完了動作より前に前記第１回転停止動作が行われ、前記第１後退開始動作より後であって前記第１後退完了動作より前に前記第１回転開始動作が行われるように、前記第１回転駆動手段及び前記第１進退駆動手段を制御し、
前記制御手段は、前記第２前進開始動作より後であって前記第２前進完了動作より前に、前記第２回転停止動作が行われ、前記第２後退開始動作より後であって前記第２後退完了動作より前に前記第２回転開始動作が行われるように、前記第２回転駆動手段及び前記第２進退駆動手段を制御することを特徴とする電子部品特性測定装置。
【請求項３】
前記制御手段は、前記第１プローブが前記第１近接位置にある間には前記第２プローブが前記第２近接位置に位置しないように、前記第１進退駆動手段及び前記第２進退駆動手段を制御することを特徴とする請求項２に記載の電子部品特性測定装置。
【請求項４】
前記制御手段は、前記第１前進開始動作と前記第２後退開始動作とが同期し、前記第１後退開始動作と前記第２前進開始動作とが同期するように、前記第１進退駆動手段及び前記第２進退駆動手段を制御することを特徴とする請求項２に記載の電子部品特性測定装置。
【請求項５】
前記制御手段は、前記第１回転開始動作および前記第１回転停止動作のうち少なくとも一方が、前記第２回転開始動作より後であって前記第２回転停止動作より前に行われるように、前記第１回転駆動手段及び前記第２回転駆動手段を制御することを特徴とする請求項２から請求項４までのいずれかに記載の電子部品特性測定装置。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【公開番号】特開２０１３−８８３５９（Ｐ２０１３−８８３５９Ａ）
【公開日】平成２５年５月１３日（２０１３．５．１３）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２０１１−２３１０２２（Ｐ２０１１−２３１０２２）
【出願日】平成２３年１０月２０日（２０１１．１０．２０）
【出願人】（０００００３０６７）ＴＤＫ株式会社 (7,238)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２５年５月１３日（２０１３．５．１３）
【国際特許分類】
【出願日】平成２３年１０月２０日（２０１１．１０．２０）
【出願人】（０００００３０６７）ＴＤＫ株式会社 (7,238)
【Ｆターム（参考）】
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