露光装置及び露光方法
【課題】リアルタイムで高速にラスタデータへ変換できる露光装置を提供する。
【解決手段】重複するデータを削除したベクタデータを格納するベクタデータメモリ１と、シーケンス制御命令に基づき、前記ベクタデータメモリに格納されたベクタデータから所望のベクタデータ情報を読み出すシーケンス制御手段４と、前記シーケンス制御手段にて読み出したベクタデータ情報をラスタデータに変換する座標演算手段５と、前記座標演算手段により変換されたラスタデータに基づき露光するドライバ１１と、を備える露光装置である。
【解決手段】重複するデータを削除したベクタデータを格納するベクタデータメモリ１と、シーケンス制御命令に基づき、前記ベクタデータメモリに格納されたベクタデータから所望のベクタデータ情報を読み出すシーケンス制御手段４と、前記シーケンス制御手段にて読み出したベクタデータ情報をラスタデータに変換する座標演算手段５と、前記座標演算手段により変換されたラスタデータに基づき露光するドライバ１１と、を備える露光装置である。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、大型の液晶ガラス基板等の露光装置及び露光方法に関し、特に露光の描画技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、テレビ、パソコン、携帯電話、ポータブル機、デジタルサイネージ等、液晶パネルの活用先は急速に広がっている。特にテレビについては、デジタル放送への移行にあたり、液晶テレビに代表される薄型テレビの需要は年々増加している。また、液晶テレビの大型化とコスト削減を目的とした液晶パネルのマザーガラス大型化も進んでおり、２００９年には、第１０世代（２８５０ｍｍ×３１５０ｍｍ）に移行している。
液晶パネルは、アレイとカラーフィルタの２枚のガラス板で構成されており、その製造工程は、「アレイ製造工程」、「カラーフィルタ製造工程」、「セル製造工程」、「モジュール製造工程」の４工程となっている。アレイ製造工程は、カラーフィルタ基板に赤、緑、青（ＲＧＢ）の色をつける工程である。このカラーフィルタ製造工程は、ブラックマトリクス工程とＲＧＢ工程に分かれており、ブラックマトリクス工程は、ＲＧＢの各職の区切りとなる格子を作る工程で、ＲＧＢ工程は、各色の着色工程である。この工程の後、アレイ製造工程とカラーフィルタ製造工程で作られた基板を合わせ、液晶を注入するセイル製造工程、駆動用ＩＣ部品を実装するモジュール製造工程を経て、液晶パネルとなる。
【０００３】
大型ガラス基板露光装置は、主にカラーフィルタ製造工程のブラックマトリクス工程とＲＧＢ工程における露光工程で使用される。これら液晶パネル露光装置の背景技術として、特許文献１（特開２００５−２６５９８５号）がある。特許文献１には、マスクのパターンを基板に転写するプロキシミティ露光装置の構成が記載されている。プロキシミティ露光装置は、マスクと基板の間に微小な間隔（プロキシミティギャップ）を設けてマスクのパターンを基板へ転写する方式である。これら装置は露光するためのマスクが必要とであり、マスクのコストが必要である。
一方、マスクフィルムを用いずにプリント回路基板に配線パターンを露光する装置として、特許文献２（特開２００３−８４４４４号）がある。特許文献２には、露光描画装置の制御に関して、ＣＡＤ（Ｃｏｍｐｕｔｅｒ Ａｉｄｅｄ Ｄｅｓｉｇｎ）ステーションで得られた回路パターンデータ（ベクタデータ）をラスタデータに変換する技術が開示されている。露光装置は、ベクタデータをラスタデータに変換するラスタ変換回路、データ格納手段としてハードディスク装置が記載されており、ＣＡＤステーションからのベクタデータは一旦ハードディスク装置に書き込んで格納し、ラスタ変換回路はハードディスク装置からベクタデータを読み出してラスタデータへ変換される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００５−２６５９８５号
【特許文献２】特開２００３−８４４４４号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
近年の液晶パネルの需要拡大により、大型ガラス基板露光装置においては、液晶パネルの大型化、高精細化とコスト低減が必須である。特許文献１に開示された従来のプロキシミティ露光方式においては、パターンを基板へ転写するためのマスクのコストが必要である。また、特許文献２に開示された従来のマスクフィルムを用いずにマスクパターンを露光する装置においては、ベクタデータをハードディスクから読み出してラスタデータへ変換するため、リアルタイムで高速にラスタデータへ変換することが難しく、液晶パネルの大型化、高精細化への対応が困難である。
本発明の目的は、液晶パネルの大型化、高精細化に対応し、且つ液晶パネルのコストを低減する描画技術を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本願において開示される発明のうち、代表的なものの概要を簡単に説明すれば、次の通りである。
（１）重複するデータを削除したベクタデータを格納するベクタデータメモリと、シーケンス制御命令に基づき、前記ベクタデータメモリに格納されたベクタデータから所望のベクタデータ情報を読み出すシーケンス制御手段と、前記シーケンス制御手段にて読み出したベクタデータ情報をラスタデータに変換する座標演算手段と、前記座標演算手段により変換されたラスタデータに基づき露光するドライバと、を備える露光装置である。
【発明の効果】
【０００７】
本発明によれば、液晶パネルの大型化、高精細化に対応し、マスクコストの低減を実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】本発明に係る直描装置（露光装置）の制御ブロック図である。
【図２】本発明に係るベクタデータメモリ及びシーケンス制御手段へのデータ格納形態を示した図である。
【図３】本発明に係るシーケンス制御手段の構成を示す図である。
【図４】本発明に係るシーケンス制御例を示した図である。
【図５】本発明に係るベクタデータメモリの格納例を示した図である。
【図６】本発明に係るシーケンス制御動作フロー概要を示した図である。
【図７】本発明に係る描画図形のベクタデータ再利用イメージを示した図である
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下、本発明を実施するための形態を図面を用いて説明する。
【実施例１】
【００１０】
図１は、本発明に係る直描装置（露光装置）の制御ブロック図である。本発明に係る露光装置において、マスクパターンをマザーガラスに直接描画する制御ブロックを示している。
直描装置の制御ブロックは、描画図形のベクタデータを格納するベクタデータメモリ１、ベクタデータをラスタデータ（ビットマップデータ）へ変換するラスタデータ変換手段２、ラスタデータを格納する露光データメモリ１０、ＤＭＤ（デジタル・マイクロミラー・デバイス）及びＤＭＤを駆動するＤＭＤドライバ１１、ＣＡＤステーションで得られた回路パターンデータ（ベクタデータ）をラスタデータ変換手段へ出力するＰＣ（パソコン）９で構成されている。
【００１１】
ベクタデータメモリ１には、ベクタデータが格納されている。ＤＭＤ及びＤＭＤドライバ１１による描画動作に先立ち、予めＰＣ９からＰＣインタフェース８を介して描画図形のベクタデータが格納される。このとき、ベクタデータメモリ１に格納されるベクタデータは、共用できるデータを削除（データ圧縮）したデータである。ここで、ベクタデータメモリ１は、ラスタデータ変換手段２によりリアルタイムで高速にラスタデータへ変換されることができるよう、例えばＤＲＡＭ（Ｄｙｎａｍｉｃ Ｒａｎｄｏｍ Ａｃｃｅｓｓ Ｍｅｍｏｒｙ）等の高速アクセスが可能で大容量のメモリであることが望ましい。ＤＲＡＭの容量はモジュール（ＤＩＭＭ：Ｄｕａｌ Ｉｎｌｉｎｅ Ｍｅｍｏｒｙ Ｍｏｄｕｌｅ）で４ＧＢ（Ｇｉｇａｂｙｔｅ）、動作速度は、ＤＤＲ（Ｄｏｕｂｌｅ Ｄａｔａ Ｒａｔｅ）の第３世代（ＤＤＲ３）で、８００Ｍｂｐｓ〜１６００Ｍｂｐｓ（Ｍｂｐｓ：Ｍｅｇａ ｂｉｔ ｐｅｒ ｓｅｃｏｎｄ）と高速化している。
【００１２】
ラスタデータ変換手段２は、メモリインタフェース３、シーケンス制御手段４、座標演算手段５、露光データメモリ１０へラスタデータを出力するインタフェース６、制御部７、ＰＣインタフェース８とを備えて構成される。
以下、ラスタデータ変換手段２の概要について説明する。
【００１３】
メモリインターフェース３は、ベクタデータメモリ１に対するラスタデータ変換手段２側のインターフェースの役割を果たすものであり、ＰＣインターフェース８とともにＰＣ９からベクタデータメモリ１にベクタデータを送る。
【００１４】
シーケンス制御手段４には、ベクタデータメモリ１に格納された共用できるデータを再利用する命令であるシーケンス制御命令が格納される。ＰＣ９によりベクタデータをベクタデータメモリ１に格納した後、シーケンス制御手段４は、制御命令に基づきベクタデータメモリ１からベクタデータの読み出しを行う。
ここで、例えばシーケンス制御命令がベクタデータの所定の部分を複数回読み出すことを命令する内容である場合には、シーケンス制御命令によりベクタデータメモリ１の所定部分のデータを複数回読み出す等して、必要なベクタデータを得ることができる。
また、例えばシーケンス制御命令が、必要なベクタデータ群（重複するデータを含む）を示すものである場合には、シーケンス制御命令のベクタデータ群のうち重複するデータについては、ベクタデータメモリ１の当該箇所を複数回読み出すことにより、必要なベクタデータを得ることができる。
【００１５】
座標演算手段５は、シーケンス制御手段４で読み出したベクタデータをラスタデータに変換し、変換されたラスタデータをインターフェース６に送る。座標演算手段５は、シーケンス制御手段４によって読みだされたベクタデータから座標毎の“０”または“１”の２値化されたラスタデータ（ビットマップデータ）に変換するための演算を行う。
インターフェース６は、座標演算手段５から送られた変換されたラスタデータを露光データメモリ１０に出力する。
【００１６】
露光データメモリ１０は、ラスタデータ変換手段２から送られてきたラスタデータを露光データメモリとして格納するとともに、ＤＭＤ・ＤＭＤドライバ手段に該ラスタデータを送信する。
ＤＭＤ・ＤＭＤドライバ１１は、露光データメモリ１０から送られてきたラスタデータに基づき露光処理を行う。
【００１７】
このように、ベクタデータメモリ１には共用できるデータを削除（データ圧縮）したベクタデータを格納するためベクタデータメモリは高速アクセスが可能で、描画動作に先立ち描画する図形データを予め一括して格納しておくことが可能である。また、シーケンス制御手段４により、ベクタデータメモリ１に格納されたデータを再利用（同じデータを繰返し読出し）しながら、座標演算手段５にてベクタデータをラスタデータに変換することができるため、リアルタイムで高速にラスタデータへ変換することができる。
【００１８】
図２は、本発明に係るベクタデータメモリ及びシーケンス制御手段へのデータ格納形態を示した図である。
シーケンス制御手段４は、インストラクションメモリ１４、順序制御手段１５、メモリ読出し制御手段１６、座標前処理手段１７を備えて構成される。また、前述の通り、ベクタデータメモリ１には共用できるデータを削除（データ圧縮）したベクタデータが格納され、シーケンス制御手段４にはシーケンス制御命令が格納されている。ベクタデータとしては、ＣＡＤステーションから例えばＧＤＳII（ＣＡＤツール用に開発されたＬＳＩレイアウト・データのフォーマット）等のフォーマット１２で出力されたものをソフトウエア処理１３により予め描画図形データとして解析し、その中から共用できるデータ（重複するデータ）を削除したものを用いる。シーケンス制御命令は、ソフトウエア処理１３により、ベクタデータを再利用する命令等をＰＣ９からＰＣインタフェース８を介してインストラクションメモリ１４へ格納する。
【００１９】
インストラクションメモリ１４は、ＰＣインターフェース８からのシーケンス制御命令を受けて、順序命令、メモリ読み出し命令および座標前処理命令をそれぞれ順序制御手段１５、メモリ読み出し制御手段１６、座標前処理手段１７に入力する。
【００２０】
図３は、本発明に係るシーケンス制御手段の構成を示す図である。
シーケンス制御手段４は、インストラクションメモリ１４、順序制御手段１５、メモリ読出し制御手段１６、座標前処理手段１７を備えて構成される。また、順序制御手段１５は、インストラクションメモリ１４のアドレスを出力するアドレスカウンタ１８、インストラクションメモリ１４からの順序命令に従ってアドレスをカウントするプログラムカウンタ１９、繰返し数をカウントするリピートカウンタ２０を備えて構成され、メモリ読出し手段１６は、メモリへのコマンドを制御するコマンド制御手段２１、メモリのアドレスを制御するアドレス制御手段２２、データの書き込み及び読出しを制御するデータ制御手段２３を備えて構成され、座標前処置手段１７は、オフセット演算２４を備えて構成される。
【００２１】
このように、インストラクションメモリ１４から、順序命令、メモリ読出し命令、座標前処理命令が出力され、順序制御手段１５は順序命令に、メモリ読出し制御手段１６はメモリ読出し命令に、座標前処理手段１７は座標前処理命令に従って動作することで、ベクタデータメモリ１からベクタデータを再利用しながら読出して座標演算手段５へ出力する。
【００２２】
図４は、本発明に係るシーケンス制御例を示した図である。
まず、以下にシーケンス制御について説明する。
シーケンス制御における最も基本的な方法は、メモリにすべてのデータを発生順序順に格納し、これをメモリアドレスの０番地から順番に読み出すことである。描画装置におけるデータは、通常、この方法とするのが基本である。しかし、この方法では、繰返しのデータがある場合でもすべてメモリに格納されているためメモリの使用効率が最も悪い。そのため、繰返しデータをメモリに１回分だけ格納し、メモリの読出し順序を制御して一度読みだされたデータを再利用する場合には、同じアドレスに戻って読み出すことでメモリの使用効率を向上させることができる。このメモリ読出し制御を行うために、シーケンス制御命令が必要となる。さらに、メモリにデータと制御命令を格納した場合、制御命令の中で次のシーケンスへ進む命令（ＮＯＰ命令）の割合が多く、このＮＯＰ命令が連続して格納されるためメモリの使用効率が低下する。そのため、データと制御命令を分離し、制御命令のＮＯＰを一つの命令として格納することでメモリの使用効率が向上する。
【００２３】
このように、インストラクションメモリ１４はシーケンス制御命令を格納し、ベクタデータメモリ１へはベクタデータを格納する。そして、インストラクションメモリ１４は、順序制御手段１５への命令をインストラクションメモリ１４のアドレスに従って出力する。順序命令の例として、繰返しの始まりを示すＬＯＯＰ命令、繰返しの終わりを示すＬＯＯＰＥＮＤ命令、次のアドレスへ進むＮＯＰ命令、指定された回数まで繰返すＲＥＰＥＡＴ命令があり、順序制御手段１５では、これら命令に従って、ベクタデータメモリ１からベクタデータを再利用しながら読み出す。
【００２４】
図５は、本発明に係るベクタデータメモリの格納例を示した図である。
ここでは、ベクタデータメモリフォーマットを６４ｂｉｔの幅とし、描画する座標のＸアドレス座標３０ｂｉｔ、Ｙアドレス座標３０ｂｉｔ、図形の始点及び終点等の座標情報を示すヘッダ４ｂｉｔで構成している。メモリの深さは格納するベクタデータメモリの容量によって決まり、例えば、１ＧＢ容量のＤＩＭＭを使用した場合、図形データを１２８Ｍまでの深さまで格納することができる。ベクタデータメモリ１へは共用可能なデータを削除（データ圧縮）したものを格納するため、高速アクセス可能なメモリを使用して予め描画する図形データを一括して格納しておくことが可能である。
【００２５】
図６は、本発明に係るシーケンス制御動作フロー概要を示した図である。
シーケンス制御はインストラクションメモリ１４に格納されたシーケンス制御命令に従って動作する。まず、動作開始後（Ｓ１００），インストラクションメモリのアドレス０番地の命令を読み出し（Ｓ１１０）、次にインストラクションメモリからのデータ読出し命令により、ベクタデータメモリからベクタデータの読出しを行う（Ｓ１２０）。その後、ベクタデータメモリから読みだされたリードデータに対し座標前処理を行う（Ｓ１３０）。このとき、ベクタデータメモリからの読出しは、インストラクションメモリ１４からのメモリ読出し命令に従って、メモリ読出し制御手段１６にてバースト長をカウントし読出しが終了するまで行う（Ｓ１４０）。読出しが終了すると、メモリ読出し制御手段１６より読出し終了信号を順序制御手段１５へ出力する（Ｓ１５０）。順序制御手段１５では、読出し終了信号が入力されると、インストラクションメモリ１４からのシーケンス終了命令があるか否かを判定し（Ｓ１６０）、シーケンス終了命令がない場合には、インストラクションメモリ１４のアドレスを更新し（Ｓ１７０）、シーケンス終了命令がある場合には、シーケンスを終了する（Ｓ１８０）。
【００２６】
以上のシーケンス制御により、ベクタデータメモリ１に格納されたベクタデータを繰返し読み出すことで、ベクタデータを再利用することが可能になる。
【００２７】
図７は、本発明に係る描画図形のベクタデータ再利用イメージを示した図である
ベクタデータの再利用は、例えば同じ図形の再利用（図形１を再利用）と、複数の図形を含む描画範囲での再利用（図形１と図形２を含む範囲）が可能である。再利用するデータは、描画するデータに依存するが、液晶パネルの大型ガラス基板はＲＧＢパターンのような比較的同じ図形のパターンが多く、データの再利用効果が期待できる。
【００２８】
以上により、本発明によれば、シーケンス制御手段により、描画図形のベクタデータを
再利用しながらリアルタイムで高速にラスタデータへ変換することで、液晶パネルの大型
化、高精細化に対応し、マスクパターンをマザーガラスに直接描画することでマスクコス
トの削減を実現する。
【符号の説明】
【００２９】
１ ベクタデータメモリ、２ ラスタデータ変換手段、３ メモリインタフェース、４ シーケンス制御手段、５ 座標演算手段、６ インタフェース、７ 制御部、８ ＰＣインタフェース、９ ＰＣ、１０ 露光データメモリ、１１ ＤＭＤ・ＤＭＤドライバ、１２ ＧＤＳIIデータ、１３ ソフトウエア処理、１４ インストラクションメモリ、１５ 順序制御手段、１６ メモリ読出し制御手段、１７ 座標前処理手段、１８ アドレスカウンタ、１９ プログラムカウンタ、２０ リピートカウンタ、２１ コマンド制御手段、２２ アドレス制御手段、２３ データ制御手段、２４ オフセット演算
【技術分野】
【０００１】
本発明は、大型の液晶ガラス基板等の露光装置及び露光方法に関し、特に露光の描画技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、テレビ、パソコン、携帯電話、ポータブル機、デジタルサイネージ等、液晶パネルの活用先は急速に広がっている。特にテレビについては、デジタル放送への移行にあたり、液晶テレビに代表される薄型テレビの需要は年々増加している。また、液晶テレビの大型化とコスト削減を目的とした液晶パネルのマザーガラス大型化も進んでおり、２００９年には、第１０世代（２８５０ｍｍ×３１５０ｍｍ）に移行している。
液晶パネルは、アレイとカラーフィルタの２枚のガラス板で構成されており、その製造工程は、「アレイ製造工程」、「カラーフィルタ製造工程」、「セル製造工程」、「モジュール製造工程」の４工程となっている。アレイ製造工程は、カラーフィルタ基板に赤、緑、青（ＲＧＢ）の色をつける工程である。このカラーフィルタ製造工程は、ブラックマトリクス工程とＲＧＢ工程に分かれており、ブラックマトリクス工程は、ＲＧＢの各職の区切りとなる格子を作る工程で、ＲＧＢ工程は、各色の着色工程である。この工程の後、アレイ製造工程とカラーフィルタ製造工程で作られた基板を合わせ、液晶を注入するセイル製造工程、駆動用ＩＣ部品を実装するモジュール製造工程を経て、液晶パネルとなる。
【０００３】
大型ガラス基板露光装置は、主にカラーフィルタ製造工程のブラックマトリクス工程とＲＧＢ工程における露光工程で使用される。これら液晶パネル露光装置の背景技術として、特許文献１（特開２００５−２６５９８５号）がある。特許文献１には、マスクのパターンを基板に転写するプロキシミティ露光装置の構成が記載されている。プロキシミティ露光装置は、マスクと基板の間に微小な間隔（プロキシミティギャップ）を設けてマスクのパターンを基板へ転写する方式である。これら装置は露光するためのマスクが必要とであり、マスクのコストが必要である。
一方、マスクフィルムを用いずにプリント回路基板に配線パターンを露光する装置として、特許文献２（特開２００３−８４４４４号）がある。特許文献２には、露光描画装置の制御に関して、ＣＡＤ（Ｃｏｍｐｕｔｅｒ Ａｉｄｅｄ Ｄｅｓｉｇｎ）ステーションで得られた回路パターンデータ（ベクタデータ）をラスタデータに変換する技術が開示されている。露光装置は、ベクタデータをラスタデータに変換するラスタ変換回路、データ格納手段としてハードディスク装置が記載されており、ＣＡＤステーションからのベクタデータは一旦ハードディスク装置に書き込んで格納し、ラスタ変換回路はハードディスク装置からベクタデータを読み出してラスタデータへ変換される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００５−２６５９８５号
【特許文献２】特開２００３−８４４４４号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
近年の液晶パネルの需要拡大により、大型ガラス基板露光装置においては、液晶パネルの大型化、高精細化とコスト低減が必須である。特許文献１に開示された従来のプロキシミティ露光方式においては、パターンを基板へ転写するためのマスクのコストが必要である。また、特許文献２に開示された従来のマスクフィルムを用いずにマスクパターンを露光する装置においては、ベクタデータをハードディスクから読み出してラスタデータへ変換するため、リアルタイムで高速にラスタデータへ変換することが難しく、液晶パネルの大型化、高精細化への対応が困難である。
本発明の目的は、液晶パネルの大型化、高精細化に対応し、且つ液晶パネルのコストを低減する描画技術を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本願において開示される発明のうち、代表的なものの概要を簡単に説明すれば、次の通りである。
（１）重複するデータを削除したベクタデータを格納するベクタデータメモリと、シーケンス制御命令に基づき、前記ベクタデータメモリに格納されたベクタデータから所望のベクタデータ情報を読み出すシーケンス制御手段と、前記シーケンス制御手段にて読み出したベクタデータ情報をラスタデータに変換する座標演算手段と、前記座標演算手段により変換されたラスタデータに基づき露光するドライバと、を備える露光装置である。
【発明の効果】
【０００７】
本発明によれば、液晶パネルの大型化、高精細化に対応し、マスクコストの低減を実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】本発明に係る直描装置（露光装置）の制御ブロック図である。
【図２】本発明に係るベクタデータメモリ及びシーケンス制御手段へのデータ格納形態を示した図である。
【図３】本発明に係るシーケンス制御手段の構成を示す図である。
【図４】本発明に係るシーケンス制御例を示した図である。
【図５】本発明に係るベクタデータメモリの格納例を示した図である。
【図６】本発明に係るシーケンス制御動作フロー概要を示した図である。
【図７】本発明に係る描画図形のベクタデータ再利用イメージを示した図である
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下、本発明を実施するための形態を図面を用いて説明する。
【実施例１】
【００１０】
図１は、本発明に係る直描装置（露光装置）の制御ブロック図である。本発明に係る露光装置において、マスクパターンをマザーガラスに直接描画する制御ブロックを示している。
直描装置の制御ブロックは、描画図形のベクタデータを格納するベクタデータメモリ１、ベクタデータをラスタデータ（ビットマップデータ）へ変換するラスタデータ変換手段２、ラスタデータを格納する露光データメモリ１０、ＤＭＤ（デジタル・マイクロミラー・デバイス）及びＤＭＤを駆動するＤＭＤドライバ１１、ＣＡＤステーションで得られた回路パターンデータ（ベクタデータ）をラスタデータ変換手段へ出力するＰＣ（パソコン）９で構成されている。
【００１１】
ベクタデータメモリ１には、ベクタデータが格納されている。ＤＭＤ及びＤＭＤドライバ１１による描画動作に先立ち、予めＰＣ９からＰＣインタフェース８を介して描画図形のベクタデータが格納される。このとき、ベクタデータメモリ１に格納されるベクタデータは、共用できるデータを削除（データ圧縮）したデータである。ここで、ベクタデータメモリ１は、ラスタデータ変換手段２によりリアルタイムで高速にラスタデータへ変換されることができるよう、例えばＤＲＡＭ（Ｄｙｎａｍｉｃ Ｒａｎｄｏｍ Ａｃｃｅｓｓ Ｍｅｍｏｒｙ）等の高速アクセスが可能で大容量のメモリであることが望ましい。ＤＲＡＭの容量はモジュール（ＤＩＭＭ：Ｄｕａｌ Ｉｎｌｉｎｅ Ｍｅｍｏｒｙ Ｍｏｄｕｌｅ）で４ＧＢ（Ｇｉｇａｂｙｔｅ）、動作速度は、ＤＤＲ（Ｄｏｕｂｌｅ Ｄａｔａ Ｒａｔｅ）の第３世代（ＤＤＲ３）で、８００Ｍｂｐｓ〜１６００Ｍｂｐｓ（Ｍｂｐｓ：Ｍｅｇａ ｂｉｔ ｐｅｒ ｓｅｃｏｎｄ）と高速化している。
【００１２】
ラスタデータ変換手段２は、メモリインタフェース３、シーケンス制御手段４、座標演算手段５、露光データメモリ１０へラスタデータを出力するインタフェース６、制御部７、ＰＣインタフェース８とを備えて構成される。
以下、ラスタデータ変換手段２の概要について説明する。
【００１３】
メモリインターフェース３は、ベクタデータメモリ１に対するラスタデータ変換手段２側のインターフェースの役割を果たすものであり、ＰＣインターフェース８とともにＰＣ９からベクタデータメモリ１にベクタデータを送る。
【００１４】
シーケンス制御手段４には、ベクタデータメモリ１に格納された共用できるデータを再利用する命令であるシーケンス制御命令が格納される。ＰＣ９によりベクタデータをベクタデータメモリ１に格納した後、シーケンス制御手段４は、制御命令に基づきベクタデータメモリ１からベクタデータの読み出しを行う。
ここで、例えばシーケンス制御命令がベクタデータの所定の部分を複数回読み出すことを命令する内容である場合には、シーケンス制御命令によりベクタデータメモリ１の所定部分のデータを複数回読み出す等して、必要なベクタデータを得ることができる。
また、例えばシーケンス制御命令が、必要なベクタデータ群（重複するデータを含む）を示すものである場合には、シーケンス制御命令のベクタデータ群のうち重複するデータについては、ベクタデータメモリ１の当該箇所を複数回読み出すことにより、必要なベクタデータを得ることができる。
【００１５】
座標演算手段５は、シーケンス制御手段４で読み出したベクタデータをラスタデータに変換し、変換されたラスタデータをインターフェース６に送る。座標演算手段５は、シーケンス制御手段４によって読みだされたベクタデータから座標毎の“０”または“１”の２値化されたラスタデータ（ビットマップデータ）に変換するための演算を行う。
インターフェース６は、座標演算手段５から送られた変換されたラスタデータを露光データメモリ１０に出力する。
【００１６】
露光データメモリ１０は、ラスタデータ変換手段２から送られてきたラスタデータを露光データメモリとして格納するとともに、ＤＭＤ・ＤＭＤドライバ手段に該ラスタデータを送信する。
ＤＭＤ・ＤＭＤドライバ１１は、露光データメモリ１０から送られてきたラスタデータに基づき露光処理を行う。
【００１７】
このように、ベクタデータメモリ１には共用できるデータを削除（データ圧縮）したベクタデータを格納するためベクタデータメモリは高速アクセスが可能で、描画動作に先立ち描画する図形データを予め一括して格納しておくことが可能である。また、シーケンス制御手段４により、ベクタデータメモリ１に格納されたデータを再利用（同じデータを繰返し読出し）しながら、座標演算手段５にてベクタデータをラスタデータに変換することができるため、リアルタイムで高速にラスタデータへ変換することができる。
【００１８】
図２は、本発明に係るベクタデータメモリ及びシーケンス制御手段へのデータ格納形態を示した図である。
シーケンス制御手段４は、インストラクションメモリ１４、順序制御手段１５、メモリ読出し制御手段１６、座標前処理手段１７を備えて構成される。また、前述の通り、ベクタデータメモリ１には共用できるデータを削除（データ圧縮）したベクタデータが格納され、シーケンス制御手段４にはシーケンス制御命令が格納されている。ベクタデータとしては、ＣＡＤステーションから例えばＧＤＳII（ＣＡＤツール用に開発されたＬＳＩレイアウト・データのフォーマット）等のフォーマット１２で出力されたものをソフトウエア処理１３により予め描画図形データとして解析し、その中から共用できるデータ（重複するデータ）を削除したものを用いる。シーケンス制御命令は、ソフトウエア処理１３により、ベクタデータを再利用する命令等をＰＣ９からＰＣインタフェース８を介してインストラクションメモリ１４へ格納する。
【００１９】
インストラクションメモリ１４は、ＰＣインターフェース８からのシーケンス制御命令を受けて、順序命令、メモリ読み出し命令および座標前処理命令をそれぞれ順序制御手段１５、メモリ読み出し制御手段１６、座標前処理手段１７に入力する。
【００２０】
図３は、本発明に係るシーケンス制御手段の構成を示す図である。
シーケンス制御手段４は、インストラクションメモリ１４、順序制御手段１５、メモリ読出し制御手段１６、座標前処理手段１７を備えて構成される。また、順序制御手段１５は、インストラクションメモリ１４のアドレスを出力するアドレスカウンタ１８、インストラクションメモリ１４からの順序命令に従ってアドレスをカウントするプログラムカウンタ１９、繰返し数をカウントするリピートカウンタ２０を備えて構成され、メモリ読出し手段１６は、メモリへのコマンドを制御するコマンド制御手段２１、メモリのアドレスを制御するアドレス制御手段２２、データの書き込み及び読出しを制御するデータ制御手段２３を備えて構成され、座標前処置手段１７は、オフセット演算２４を備えて構成される。
【００２１】
このように、インストラクションメモリ１４から、順序命令、メモリ読出し命令、座標前処理命令が出力され、順序制御手段１５は順序命令に、メモリ読出し制御手段１６はメモリ読出し命令に、座標前処理手段１７は座標前処理命令に従って動作することで、ベクタデータメモリ１からベクタデータを再利用しながら読出して座標演算手段５へ出力する。
【００２２】
図４は、本発明に係るシーケンス制御例を示した図である。
まず、以下にシーケンス制御について説明する。
シーケンス制御における最も基本的な方法は、メモリにすべてのデータを発生順序順に格納し、これをメモリアドレスの０番地から順番に読み出すことである。描画装置におけるデータは、通常、この方法とするのが基本である。しかし、この方法では、繰返しのデータがある場合でもすべてメモリに格納されているためメモリの使用効率が最も悪い。そのため、繰返しデータをメモリに１回分だけ格納し、メモリの読出し順序を制御して一度読みだされたデータを再利用する場合には、同じアドレスに戻って読み出すことでメモリの使用効率を向上させることができる。このメモリ読出し制御を行うために、シーケンス制御命令が必要となる。さらに、メモリにデータと制御命令を格納した場合、制御命令の中で次のシーケンスへ進む命令（ＮＯＰ命令）の割合が多く、このＮＯＰ命令が連続して格納されるためメモリの使用効率が低下する。そのため、データと制御命令を分離し、制御命令のＮＯＰを一つの命令として格納することでメモリの使用効率が向上する。
【００２３】
このように、インストラクションメモリ１４はシーケンス制御命令を格納し、ベクタデータメモリ１へはベクタデータを格納する。そして、インストラクションメモリ１４は、順序制御手段１５への命令をインストラクションメモリ１４のアドレスに従って出力する。順序命令の例として、繰返しの始まりを示すＬＯＯＰ命令、繰返しの終わりを示すＬＯＯＰＥＮＤ命令、次のアドレスへ進むＮＯＰ命令、指定された回数まで繰返すＲＥＰＥＡＴ命令があり、順序制御手段１５では、これら命令に従って、ベクタデータメモリ１からベクタデータを再利用しながら読み出す。
【００２４】
図５は、本発明に係るベクタデータメモリの格納例を示した図である。
ここでは、ベクタデータメモリフォーマットを６４ｂｉｔの幅とし、描画する座標のＸアドレス座標３０ｂｉｔ、Ｙアドレス座標３０ｂｉｔ、図形の始点及び終点等の座標情報を示すヘッダ４ｂｉｔで構成している。メモリの深さは格納するベクタデータメモリの容量によって決まり、例えば、１ＧＢ容量のＤＩＭＭを使用した場合、図形データを１２８Ｍまでの深さまで格納することができる。ベクタデータメモリ１へは共用可能なデータを削除（データ圧縮）したものを格納するため、高速アクセス可能なメモリを使用して予め描画する図形データを一括して格納しておくことが可能である。
【００２５】
図６は、本発明に係るシーケンス制御動作フロー概要を示した図である。
シーケンス制御はインストラクションメモリ１４に格納されたシーケンス制御命令に従って動作する。まず、動作開始後（Ｓ１００），インストラクションメモリのアドレス０番地の命令を読み出し（Ｓ１１０）、次にインストラクションメモリからのデータ読出し命令により、ベクタデータメモリからベクタデータの読出しを行う（Ｓ１２０）。その後、ベクタデータメモリから読みだされたリードデータに対し座標前処理を行う（Ｓ１３０）。このとき、ベクタデータメモリからの読出しは、インストラクションメモリ１４からのメモリ読出し命令に従って、メモリ読出し制御手段１６にてバースト長をカウントし読出しが終了するまで行う（Ｓ１４０）。読出しが終了すると、メモリ読出し制御手段１６より読出し終了信号を順序制御手段１５へ出力する（Ｓ１５０）。順序制御手段１５では、読出し終了信号が入力されると、インストラクションメモリ１４からのシーケンス終了命令があるか否かを判定し（Ｓ１６０）、シーケンス終了命令がない場合には、インストラクションメモリ１４のアドレスを更新し（Ｓ１７０）、シーケンス終了命令がある場合には、シーケンスを終了する（Ｓ１８０）。
【００２６】
以上のシーケンス制御により、ベクタデータメモリ１に格納されたベクタデータを繰返し読み出すことで、ベクタデータを再利用することが可能になる。
【００２７】
図７は、本発明に係る描画図形のベクタデータ再利用イメージを示した図である
ベクタデータの再利用は、例えば同じ図形の再利用（図形１を再利用）と、複数の図形を含む描画範囲での再利用（図形１と図形２を含む範囲）が可能である。再利用するデータは、描画するデータに依存するが、液晶パネルの大型ガラス基板はＲＧＢパターンのような比較的同じ図形のパターンが多く、データの再利用効果が期待できる。
【００２８】
以上により、本発明によれば、シーケンス制御手段により、描画図形のベクタデータを
再利用しながらリアルタイムで高速にラスタデータへ変換することで、液晶パネルの大型
化、高精細化に対応し、マスクパターンをマザーガラスに直接描画することでマスクコス
トの削減を実現する。
【符号の説明】
【００２９】
１ ベクタデータメモリ、２ ラスタデータ変換手段、３ メモリインタフェース、４ シーケンス制御手段、５ 座標演算手段、６ インタフェース、７ 制御部、８ ＰＣインタフェース、９ ＰＣ、１０ 露光データメモリ、１１ ＤＭＤ・ＤＭＤドライバ、１２ ＧＤＳIIデータ、１３ ソフトウエア処理、１４ インストラクションメモリ、１５ 順序制御手段、１６ メモリ読出し制御手段、１７ 座標前処理手段、１８ アドレスカウンタ、１９ プログラムカウンタ、２０ リピートカウンタ、２１ コマンド制御手段、２２ アドレス制御手段、２３ データ制御手段、２４ オフセット演算
【特許請求の範囲】
【請求項１】
重複するデータを削除したベクタデータを格納するベクタデータメモリと、
シーケンス制御命令に基づき、前記ベクタデータメモリに格納されたベクタデータから所望のベクタデータ情報を読み出すシーケンス制御手段と、
前記シーケンス制御手段にて読み出したベクタデータ情報をラスタデータに変換する座標演算手段と、
前記座標演算手段により変換されたラスタデータに基づき露光するドライバと、を備える露光装置。
【請求項２】
請求項１記載の露光装置であって、
前記シーケンス制御手段は、前記ベクタデータメモリに格納されたベクタデータを読み出す順序命令により順序を制御する順序制御手段を備えることを特徴とする露光装置。
【請求項３】
請求項２記載の露光装置であって、
前記シーケンス制御手段は、前記ベクタデータメモリに格納されたベクタデータのうちの所望のベクタデータを読み出すメモリ読み出し命令および該順序命令とに基づき、前記ベクタデータメモリからメモリを読み出すメモリ読み出し制御手段を備えることを特徴とする露光装置。
【請求項４】
請求項３に記載の露光装置であって、
前記メモリ読み出し制御手段では、該メモリ読み出し命令に基づき前記ベクタデータメモリに格納されたベクタデータのうちの所望のベクタデータを複数回読み出すことを特徴とする露光装置。
【請求項５】
請求項１乃至４のいずれかに記載の露光装置であって、
ベクタデータを格納するベクタデータメモリと、シーケンス制御命令を格納するインストラクションメモリとを備えることを特徴とする露光装置。
【請求項６】
請求項３記載の露光装置であって、
前記メモリ読み出し制御手段では、一の順序命令に基づき前記ベクタデータメモリから複数の図形のベクタデータメモリを含むベクタデータ情報を読み出すことを特徴とする露光装置。
【請求項７】
重複するデータを削除したベクタデータを格納するベクタデータ格納工程と、
シーケンス制御命令に基づき、前記ベクタデータ工程にて格納したベクタデータから所望のベクタデータ情報を読み出すシーケンス制御工程と、
前記シーケンス制御工程にて読み出したベクタデータ情報をラスタデータに変換する座標演算工程と、
前記座標演算工程により変換されたラスタデータに基づき露光する露光工程と、を備える露光方法。
【請求項８】
請求項７記載の露光方法であって、
前記シーケンス制御工程は、前記ベクタデータメモリに格納されたベクタデータを読み出す順序命令により順序を制御する順序制御工程を備えることを特徴とする露光方法。
【請求項９】
請求項８記載の露光方法であって、
前記シーケンス制御工程は、前記ベクタデータメモリに格納されたベクタデータのうちの所望のベクタデータを読み出すメモリ読み出し命令および該順序命令とに基づき、前記ベクタデータメモリからメモリを読み出すメモリ読み出し制御工程を備えることを特徴とする露光方法。
【請求項１０】
請求項９に記載の露光方法であって、
前記メモリ読み出し制御工程では、該メモリ読み出し命令に基づき前記ベクタデータメモリに格納されたベクタデータのうちの所望のベクタデータを複数回読み出すことを特徴とする露光方法。
【請求項１１】
請求項９記載の露光方法であって、
前記メモリ読み出し制御工程では、一の順序命令に基づき前記ベクタデータメモリから複数の図形のベクタデータメモリを含むベクタデータ情報を読み出すことを特徴とする露光方法。
【請求項１】
重複するデータを削除したベクタデータを格納するベクタデータメモリと、
シーケンス制御命令に基づき、前記ベクタデータメモリに格納されたベクタデータから所望のベクタデータ情報を読み出すシーケンス制御手段と、
前記シーケンス制御手段にて読み出したベクタデータ情報をラスタデータに変換する座標演算手段と、
前記座標演算手段により変換されたラスタデータに基づき露光するドライバと、を備える露光装置。
【請求項２】
請求項１記載の露光装置であって、
前記シーケンス制御手段は、前記ベクタデータメモリに格納されたベクタデータを読み出す順序命令により順序を制御する順序制御手段を備えることを特徴とする露光装置。
【請求項３】
請求項２記載の露光装置であって、
前記シーケンス制御手段は、前記ベクタデータメモリに格納されたベクタデータのうちの所望のベクタデータを読み出すメモリ読み出し命令および該順序命令とに基づき、前記ベクタデータメモリからメモリを読み出すメモリ読み出し制御手段を備えることを特徴とする露光装置。
【請求項４】
請求項３に記載の露光装置であって、
前記メモリ読み出し制御手段では、該メモリ読み出し命令に基づき前記ベクタデータメモリに格納されたベクタデータのうちの所望のベクタデータを複数回読み出すことを特徴とする露光装置。
【請求項５】
請求項１乃至４のいずれかに記載の露光装置であって、
ベクタデータを格納するベクタデータメモリと、シーケンス制御命令を格納するインストラクションメモリとを備えることを特徴とする露光装置。
【請求項６】
請求項３記載の露光装置であって、
前記メモリ読み出し制御手段では、一の順序命令に基づき前記ベクタデータメモリから複数の図形のベクタデータメモリを含むベクタデータ情報を読み出すことを特徴とする露光装置。
【請求項７】
重複するデータを削除したベクタデータを格納するベクタデータ格納工程と、
シーケンス制御命令に基づき、前記ベクタデータ工程にて格納したベクタデータから所望のベクタデータ情報を読み出すシーケンス制御工程と、
前記シーケンス制御工程にて読み出したベクタデータ情報をラスタデータに変換する座標演算工程と、
前記座標演算工程により変換されたラスタデータに基づき露光する露光工程と、を備える露光方法。
【請求項８】
請求項７記載の露光方法であって、
前記シーケンス制御工程は、前記ベクタデータメモリに格納されたベクタデータを読み出す順序命令により順序を制御する順序制御工程を備えることを特徴とする露光方法。
【請求項９】
請求項８記載の露光方法であって、
前記シーケンス制御工程は、前記ベクタデータメモリに格納されたベクタデータのうちの所望のベクタデータを読み出すメモリ読み出し命令および該順序命令とに基づき、前記ベクタデータメモリからメモリを読み出すメモリ読み出し制御工程を備えることを特徴とする露光方法。
【請求項１０】
請求項９に記載の露光方法であって、
前記メモリ読み出し制御工程では、該メモリ読み出し命令に基づき前記ベクタデータメモリに格納されたベクタデータのうちの所望のベクタデータを複数回読み出すことを特徴とする露光方法。
【請求項１１】
請求項９記載の露光方法であって、
前記メモリ読み出し制御工程では、一の順序命令に基づき前記ベクタデータメモリから複数の図形のベクタデータメモリを含むベクタデータ情報を読み出すことを特徴とする露光方法。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【公開番号】特開２０１３−４５０２９（Ｐ２０１３−４５０２９Ａ）
【公開日】平成２５年３月４日（２０１３．３．４）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２０１１−１８４２７０（Ｐ２０１１−１８４２７０）
【出願日】平成２３年８月２６日（２０１１．８．２６）
【出願人】（５０１３８７８３９）株式会社日立ハイテクノロジーズ (4,325)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２５年３月４日（２０１３．３．４）
【国際特許分類】
【出願日】平成２３年８月２６日（２０１１．８．２６）
【出願人】（５０１３８７８３９）株式会社日立ハイテクノロジーズ (4,325)
【Ｆターム（参考）】
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