ＬＰＰ方式のＥＵＶ光源とその発生方法
【課題】ターゲット物質及びエネルギーの利用効率を大幅に高めることができ、かつデブリの発生とチャンバーの真空度悪化を抑制することができるＬＰＰ方式のＥＵＶ光源とその発生方法を提供する。
【解決手段】所定の真空環境に保持された真空チャンバー１２と、真空チャンバー内にターゲット物質の極超音速定常ガスジェット１を回収可能に形成するガスジェット装置１４と、極超音速定常ガスジェット内の所定の集光点２に同一周波数のレーザー光３を交差させて集光し照射するレーザー装置１６とを備える。レーザー装置は、集光点における複数のレーザー光の干渉を調整する干渉調整装置２６を有し、集光点２においてレーザー光によりターゲット物質を励起してプラズマを発生させ、そこから極端紫外光４を発光させる。
【解決手段】所定の真空環境に保持された真空チャンバー１２と、真空チャンバー内にターゲット物質の極超音速定常ガスジェット１を回収可能に形成するガスジェット装置１４と、極超音速定常ガスジェット内の所定の集光点２に同一周波数のレーザー光３を交差させて集光し照射するレーザー装置１６とを備える。レーザー装置は、集光点における複数のレーザー光の干渉を調整する干渉調整装置２６を有し、集光点２においてレーザー光によりターゲット物質を励起してプラズマを発生させ、そこから極端紫外光４を発光させる。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ＬＰＰ方式のＥＵＶ光源とその発生方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
次世代半導体の微細加工のために極端紫外光源を用いるリソグラフィが期待されている。リソグラフィとは回路パターンの描かれたマスクを通して光やビームをシリコン基板上に縮小投影し、レジスト材料を感光させることで電子回路を形成する技術である。光リソグラフィで形成される回路の最小加工寸法は基本的には光源の波長に依存している。従って、次世代の半導体開発には光源の短波長化が必須であり、この光源開発に向けた研究が進められている。
【０００３】
次世代リソグラフィ光源として最も有力視されているのが、極端紫外光源（ＥＵＶ：Ｅｘｔｒｅｍｅ Ｕｌｔｒａ Ｖｉｏｌｅｔ、以下「ＥＵＶ光源」と呼ぶ）であり、およそ１〜１００ｎｍの波長領域の光を意味する。この領域の光はあらゆる物質に対し吸収率が高く、レンズ等の透過型光学系を利用することができないので、反射型光学系を用いることになる。また極端紫外光領域の光学系は非常に開発が困難で、限られた波長にしか反射特性を示さない。
【０００４】
現在、１３．５ｎｍに感度を有するＭｏ／Ｓｉ多層膜反射鏡が開発されており、この波長の光と反射鏡を組み合わせたリソグラフィ技術が開発されれば３０ｎｍ以下の加工寸法を実現できると予測されている。さらなる微細加工技術の実現のために、波長１３．５ｎｍのリソグラフィ光源の開発が急務であり、高エネルギー密度プラズマからの輻射光が注目されている。
【０００５】
光源プラズマ生成はレーザー照射方式（ＬＰＰ：Ｌａｓｅｒ Ｐｒｏｄｕｃｅｄ Ｐｌａｓｍａ）とパルスパワー技術によって駆動されるガス放電方式（ＤＰＰ：Ｄｉｓｃｈａｒｇｅ Ｐｒｏｄｕｃｅｄ Ｐｌａｓｍａ）に大別できる。
本発明は、ＬＰＰ方式のＥＵＶ光源に関する。ＬＰＰ方式ＥＵＶ光源は、例えば、特許文献１，２に開示されている。
【０００６】
図１（Ａ）は、特許文献１に開示された従来のＬＰＰ方式ＥＵＶ光源の構成図である。この方法は、少なくとも１つのターゲッ５７をチャンバー内で発生させるとともに、少なくとも１つのパルスレーザービーム５３をチャンバー内でターゲット５７に集光させるものである。ターゲットは液体の噴流の形態で発生し、レーザービーム５３は噴流の空間的に連続した部分に集光される。
またこの装置は、少なくとも１つのレーザービーム５３を発生するための手段と、チャンバーと、少なくとも１つのターゲット５７をチャンバー内で発生するための手段５０と、レーザービーム５３をチャンバー内でターゲット５７に集光させるための手段５４とを含む。ターゲット発生手段５０は、液体の噴流を発生し、集光手段５４は、レーザービーム５３を噴流の空間的に連続した部分に集光させるようになっている。
なお、この図で、５１は集光点、５２は液滴、５５は液滴形成点である。
【０００７】
図１（Ｂ）は、特許文献２に開示された従来のＬＰＰ方式ＥＵＶ光源の構成図である。
この装置は、レーザー発振部６１と、集光レンズ等の集光光学系６２と、ターゲット供給装置６３と、ターゲットノズル６４と、ＥＵＶ集光ミラー６５とを含んでいる。レーザー発振部６１は、ターゲット物質を励起させるためのレーザービームをパルス発振するレーザー光源である。レーザー発振部６１から射出したレーザービームは、集光レンズ６２によって所定の位置に集光される。一方、ターゲット供給装置６３は、ターゲット物質をターゲットノズル６４に供給し、ターゲットノズル６４は、供給されたターゲット物質を所定の位置に噴射する。
【０００８】
ターゲット物質にレーザービームを照射することにより、ターゲット物質が励起してプラズマ６６が発生し、そこから極端紫外光６７（ＥＵＶ）光が放射される。ＥＵＶ集光ミラー６５の反射面には、波長が１３．５ｎｍ付近のＥＵＶ光を選択的に反射するために、例えば、モリブデン及びシリコンを交互に積層した膜（Ｍｏ／Ｓｉ多層膜）が形成されている。プラズマ６６から放射されたＥＵＶ光６７は、ＥＵＶ集光ミラー６５により集光反射され、出力ＥＵＶ光として露光装置等に出力される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００９】
【特許文献１】特表２０００−５０９１９０号公報、「Ｘ線放射線または極紫外線放射線を発生するための方法および装置」
【特許文献２】特開２００７−２０７５７４号公報、「極端紫外光源装置」
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
上述した従来のＬＰＰ方式ＥＵＶ光源は、レーザー光源として高出力のパルスレーザー（例えば０．１Ｊ／Ｐｕｌｓｅ）を用い、これをターゲット物質に高繰り返し（例えば１００ｋＨｚ）で照射し、実用出力（例えば１００Ｊ／ｓ＝１００Ｗ）のＥＵＶ光源を得ることが原理的に可能である。
【００１１】
しかし、先行文献１及び２に記載したＥＵＶ光源では、ターゲット物質のショット毎に生成されたプラズマを排気しているため、ターゲット物質（錫、リチウム、キセノン等）の蒸気化、プラズマ化に要したエネルギーをショット毎に廃棄することとなり、ターゲット物質及びエネルギーの利用効率が低い問題点があった。
また、実用出力を目指す、高繰り返し運転化（１０〜１００ｋＨｚ）においては、発光源物質（すなわちターゲット物質）の廃棄は、デブリ発生、チャンバーの真空度悪化などの大きな問題を引き起こしていた。
【００１２】
本発明は、上述した問題点を解決するために創案されたものである。すなわち、本発明の目的は、ターゲット物質及びエネルギーの利用効率を大幅に高めることができ、かつデブリの発生とチャンバーの真空度悪化を抑制することができるＬＰＰ方式のＥＵＶ光源とその発生方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
本発明によれば、所定の真空環境に保持された真空チャンバーと、
該真空チャンバー内にターゲット物質の極超音速定常ガスジェットを形成するガスジェット装置と、
前記極超音速定常ガスジェット内の所定の集光点に同一周波数のレーザー光を交差させて集光し照射するレーザー装置と、を備え、
該レーザー装置は、前記集光点における複数のレーザー光の干渉を調整する干渉調整装置を有し、
前記集光点において前記レーザー光によりターゲット物質を励起してプラズマを発生させ、そこから極端紫外光を発光させる、ことを特徴とするＬＰＰ方式ＥＵＶ光源が提供される。
ここで、レーザー装置は連続出力のほか、パルス出力の装置の使用も可能である。
【００１４】
本発明の好ましい実施形態によれば、前記極超音速定常ガスジェットを回収可能に形成する。
前記ガスジェット装置は、真空チャンバー内に前記集光点を挟んで対向配置された極超音速ノズル及び極超音速ディフューザーと、前記極超音速定常ガスジェットを極超音速ノズルから噴射しかつ極超音速ディフューザーから回収して循環させるガス再循環装置とからなる。
【００１５】
また、ガスジェットの構成物質は常温気体物質である必要はなく、ガス供給部を高温にすることにより、金属ガスジェットを形成する事も可能である。この場合、ガスジェット形成は極超音速ノズルによりなされるが、回収側は極超音速ディフーザーである必要は無く、温度制御された回収プレート等により液体金属として回収する事も可能である。さらに、金属ガスジェットの場合、レーザー照射領域において金属原子が完全にバラバラのガス状でなく、複数原子が凝集したクラスタージェットとなる事もある。
【００１６】
また本発明によれば、真空チャンバー内を所定の真空環境に保持し、
該真空チャンバー内にターゲット物質の極超音速定常ガスジェットを回収可能に形成し、
前記極超音速定常ガスジェット内の所定の集光点に同一周波数のレーザー光を交差させて集光し照射し、かつ前記集光点における複数のレーザー光の干渉を調整し、
前記集光点において前記レーザー光によりターゲット物質を励起してプラズマを発生させ、そこから極端紫外光を発光させる、ことを特徴とするＬＰＰ方式ＥＵＶ光発生方法が提供される。
【発明の効果】
【００１７】
上記本発明の装置と方法によれば、ガスジェット装置により、真空チャンバー内にターゲット物質の極超音速定常ガスジェットを回収可能に形成し、レーザー装置により、極超音速定常ガスジェット内の所定の集光点に同一周波数のレーザー光を交差させて集光し照射し、かつ前記集光点における複数のレーザー光の干渉を調整して、その集光点においてレーザー光によりターゲット物質を励起してプラズマを発生させ、そこから極端紫外光を発光させることができる。
【００１８】
特に、レーザー装置が干渉調整装置を有し、前記集光点における複数のレーザー光の干渉を調整するので、この干渉により、レーザー光にエネルギー密度の高い領域と低い領域を生成することができる。この場合、高エネルギー密度領域Ｈのエネルギー密度は、単一のレーザー光の場合の約２倍以上となる。
従って、投入する総エネルギー量は同じでも、局所的に高エネルギー密度領域の生成が可能となり、この領域で高密度プラズマを生成して、ここから強い極端紫外光を発光させることができる。
【００１９】
従って、ショット毎に生成されたプラズマ及びターゲット物質を排気する従来例と比較して、ターゲット物質を回収し循環使用でき、かつレーザーエネルギーの干渉による高エネルギー密度領域を利用するので、ターゲット物質の利用効率を大幅に高めると共に、レーザーエネルギーの利用効率を大幅に高めることができる。またこれにより、デブリの発生とチャンバーの真空度悪化を抑制することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】特許文献１、２に開示された従来のＬＰＰ方式ＥＵＶ光源の構成図である。
【図２】本発明によるＬＰＰ方式ＥＵＶ光源の第１実施形態図である。
【図３】図２のプラズマ光源の部分拡大図である。
【図４】本発明によるＬＰＰ方式ＥＵＶ光源の第２、３実施形態図であり、図３（Ｂ）と同様の拡大図である。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
以下、本発明の好ましい実施形態を添付図面に基づいて詳細に説明する。なお、各図において共通する部分には同一の符号を付し、重複した説明を省略する。
【００２２】
図２は、本発明によるＬＰＰ方式ＥＵＶ光源の構成図である。この図において、本発明のＬＰＰ方式ＥＵＶ光源１０は、真空チャンバー１２、ガスジェット装置１４及びレーザー装置１６を備える。
【００２３】
真空チャンバー１２は、真空ポンプ１３を備え、これにより内部を所定の真空環境に保持する。真空チャンバー１２には、レーザー光３（後述する）を透過させる光学窓１２ａが設けられている。
【００２４】
ガスジェット装置１４は、真空チャンバー１２内にターゲット物質の極超音速定常ガスジェット１を連続的に形成し回収する。
ターゲット物質は、Ｘｅ（キセノン），Ｓｎ（スズ），Ｌｉ（リチウム）等のガスもしくはクラスターであることが好ましい。
【００２５】
この例において、ガスジェット装置１４は、極超音速ノズル１４ａ、極超音速ディフューザー１４ｂ及びガス再循環装置１５を有する。
【００２６】
極超音速ノズル１４ａと極超音速ディフューザー１４ｂは、真空チャンバー１２に集光点２を挟んで対向配置されている。
極超音速ノズル１４ａの末端（図で上端）と極超音速ディフューザー１４ｂの先端（図で下端）とは、集光点２を挟んで所定の隙間を隔てている。この隙間は、真空チャンバー１２内の真空環境に連通している。
【００２７】
極超音速ノズル１４ａは、スロート部を有するラバールノズルであり、亜音速で流入するガス（ターゲット物質）を極超音速まで加速して集光点２に向けて噴射する。また、極超音速ディフューザー１４ｂは、スロート部を有するラバールノズル形状を持ち、集光点２を通過した極超音速のガス（ターゲット物質）の大部分を内部に受け入れ、これを亜音速まで減速するようになっている。
【００２８】
ガス再循環装置１５は、この例では、吸引ポンプ１５ａ、ターゲットチャンバー１５ｂ、及び吐出ポンプ１５ｃからなる。
ガス再循環装置１５は、ターゲット物質を供給ライン１７ａを介して極超音速ノズル１４ａまで亜音速で供給し、極超音速ノズル１４ａからターゲット物質の極超音速定常ガスジェット１を極超音速（Ｍ＞５）で噴射し、かつ極超音速ディフューザー１４ｂからターゲット物質を極超音速（Ｍ＞５）で回収し、亜音速まで減速して戻りライン１７ｂを介して吸引ポンプ１５ａまで戻すことにより、ターゲット物質を循環使用するようになっている。なお、ターゲットチャンバー１５ｂには、ターゲット物質が外部から補給される。
【００２９】
さらに、ガスジェット装置１５は、真空チャンバー１２のバックプレッシャーを高めず、かつレーザー光３の吸収とＥＵＶ光４の放出に適した高密度のターゲット物質領域を集光点２に定常的に形成するように、気体力学的に設計されている。
なお、一般的に、極超音速及び極超音速定常ガスジェット１とは、Ｍ＞５の極超音速流を意味するが、本発明では、上記要件を満たす限りで、Ｍ＞１であればよい。
【００３０】
また、ターゲット物質を加熱するために、極超音速ノズル１４ａとガス再循環装置１５の間にターゲット加熱装置１８を設けるのが好ましい。ターゲット加熱装置１８はターゲット物質の温度を極超音速ディフューザー１４ｂを形成するのに適した温度まで加熱する。この加熱手段は、任意である。
【００３１】
レーザー装置１６は、レーザー光３を連続的あるいはパルス的に発振するレーザー発振器１６ａと、極超音速定常ガスジェット１内の所定の集光点２に同一周波数のレーザー光３を交差させて集光し照射する交差集光光学系２０とからなる。
この例において、レーザー光３の光路は、極超音速定常ガスジェット１の流路に直交しているが、本発明はこれに限定されず、斜めに交差してもよい。また、レーザー装置１６及びレーザー光３は、それぞれ１台に限定されず、２台以上を用いてもよい。
【００３２】
レーザー発振器１６ａには、ＣＯ2レーザー（波長約１０μｍ）、ＣＯレーザー（波長約５μｍ）、ＹＡＧレーザー（波長約１μｍ及び約０．５μｍ）等を用いることができる。特に、ＹＡＧレーザー又はＣＯレーザーを用いるのが好ましいが、本発明は、ＹＡＧレーザー又はＣＯレーザーに限定されず、ＣＯ2レーザーであってもよい。
【００３３】
この例において、交差集光光学系２０は、レーザー発振器１６ａから出射されるレーザー光３をレーザー光３ａ，３ｂに分割するビームスプリッタ２２と、分割された一方のレーザー光３ａを反射して同一の集光点２に導く反射ミラー２４ａ，２４ｂ，２４ｃ，２４ｄと、分割された他方のレーザー光３ｂを反射してレーザー光３ａと交差（この場合、正面衝突）する同一の集光点２に導く反射ミラー２５ａ，２５ｂ，２５ｃと、反射ミラー２４ｂ，２４ｃを図で上下方向に移動して集光点２における複数のレーザー光３ａ，３ｂの干渉を調整する干渉調整装置２６と、レーザー光３ａ，３ｂを集光点２に集光させる集光レンズ２８ａ，２８ｂとからなる。
【００３４】
集光レンズ２８ａ，２８ｂは、集光点２の直径を、約１０μｍ以下、さらに好ましくは約５μｍ以下に集光できる凸レンズ系であるのがよい。
【００３５】
この構成により、レーザー発振器１６ａから出射される同一周波数のレーザー光３を、ビームスプリッタ２２でレーザー光３ａ，３ｂに分割し、反射ミラー２４ａ，２４ｂ，２４ｃ，２４ｄで集光点２に導かれるレーザー光３ａと、反射ミラー２５ａ，２５ｂ，２５ｃで集光点２に導かれるレーザー光３ｂとを集光レンズ２８ａ，２８ｂで同一の集光点２に交差（この場合、正面衝突）させて集光し照射することができる。
また、干渉調整装置２６で反射ミラー２４ｂ，２４ｃを図で上下方向に移動することにより、レーザー光３ｂの光路長さを調整して、集光点２におけるレーザー光３ａ，３ｂの干渉を調整することができる。
【００３６】
なお、交差集光光学系２０は、この構成に限定されず、同一の集光点２における複数のレーザー光の干渉を調整する干渉調整装置を有し、超音速定常ガスジェット１内の所定の集光点２に同一周波数のレーザー光３を交差させて集光し照射できる限りで、異なる構成であってもよい。
【００３７】
図３（Ａ）は、図２のプラズマ光源の部分拡大図であり、図３（Ｂ）はレーザー光３ａ，３ｂの干渉説明図である。
【００３８】
ターゲット物質をプラズマ化して極端紫外光４を発光させるには、集光点２においてターゲット物質がプラズマ化する温度まで加熱する必要がある。このプラズマ化温度の最適温度条件は、キセノンガスの場合は約３０ｅＶであり、リチウムガスの場合は約１０ｅＶである。
プラズマ化して極端紫外光４を発光する発光プラズマの総輻射量は、黒体輻射体の場合最大であり、プラズマサイズ（すなわち集光点２の直径）が１０μｍの場合、３０ｅＶのキセノンガスからの輻射量は約１５０ｋＷに達し、１０ｅＶのリチウムガスからの輻射量はその１／８０程度（約１．９ｋＷ）となる。
実際の発光プラズマは黒体ではなく、ＥＵＶ発光プラズマからの総輻射量はこれより低くなる。エネルギーバランス調整の観点から、レーザーの最小集光径は、プラズマ総輻射量に相当するエネルギーを、レーザー発振器１６ａから集光点２に供給できる事が望ましい。
【００３９】
集光レンズ１６ｂで集光可能な集光点２の直径は、レーザー光の波長にほぼ相当し、ＣＯ2レーザーの場合は約１０μｍ、ＣＯレーザーの場合は約５μｍ、ＹＡＧレーザーの場合は約１μｍ又は約０．５μｍである。
上述した輻射量に相当するエネルギーを集光点２に集光させるために、集光点２の直径は、小さいほど好ましく、その観点から、ＹＡＧレーザー又はＣＯレーザーを用いるのが好ましい。
【００４０】
例えば、ＹＡＧレーザーを用い、集光点２の直径が２．５μｍの場合、３０ｅＶのキセノンガスからの輻射量は約９．４ｋＷ（１５０ｋＷの場合の１／４2）となる。同様に、例えば、ＣＯレーザーを用い、集光点２の直径が５μｍの場合、１０ｅＶのリチウムガスからの輻射量は約４７０Ｗ（１５０ｋＷ×１／８０×１／５2）となる。
【００４１】
一方、レーザーからの発光プラズマの入熱は、プラズマサイズ（すなわち集光点２の直径）を極超音速定常ガスジェット１が通過する間にレーザー発振器１６ａから受けるエネルギーであり、これはガスジェット１の速度及びレーザー発振器１６ａの出力から計算でき、集光点２の直径には影響されない。
【００４２】
従って、ＹＡＧレーザー又はＣＯレーザーを用い、集光点２の直径をできるだけ小さく（例えば、２．５μｍ〜５μｍ）することにより、連続出力を有する比較的小出力（例えば１〜１０ｋＷ）のレーザー発振器１６ａで、集光点２においてターゲット物質を励起してプラズマを発生させ、そこから極端紫外光４を発光させることができる。
【００４３】
しかし、１０ｋＷ程度のＣＯ2レーザーをスポット径１０μｍ程度に集光し照射することにより、１ｋＷ程度の連続ＥＵＶ光源を実現する場合において、レーザーの現実的集光径は光の波長による回折限界だけではなく、レーザー光の品質、集光距離にも依存し、ｋＷクラスの高出力レーザーの場合、十分に小さな集光径へのビーム集光（高温度プラズマに必要な高エネルギー密度への集光）が困難な場合がある。
【００４４】
そのため、本発明では、この問題（高エネルギー密度集光）を解決するため、レーザー光の干渉を利用している。
すなわち、例えば図３（Ｂ）に示すように、２本のレーザー光３ａ，３ｂを同一の集光点２に集め、相互に干渉を生じさせる事により、エネルギー密度の高い領域Ｈと、低い領域Ｌが生成される。この場合、高エネルギー密度領域Ｈのエネルギー密度は、単一のレーザー光の場合の約２倍となる。
従って投入する総エネルギー量は同じでも、局所的にエネルギー密度の高い高エネルギー密度領域Ｈの生成が可能となり、この領域で高密度プラズマを生成して、ここからのＥＵＶ光（極端紫外光）を発光させることができる。なお、本発明では、集光領域内に多数のＥＵＶ発光点が分散存在することになるが、リソグラフィ光源としての性能には影響は与えない。
【００４５】
図４は、本発明によるＬＰＰ方式ＥＵＶ光源の第２、３実施形態図であり、図３（Ｂ）と同様の拡大図である。この図において、（Ａ）は、所定の集光点２に４本のレーザー光３ａ，３ｂ，３ｃ，３ｄを交差させて集光する場合、（Ｂ）は６本のレーザー光３ａ，３ｂ，３ｃ，３ｄ，３ｅ，３ｅ，３ｆを交差させて集光する場合を示している。
【００４６】
第２、３実施形態における交差集光光学系は、例えば、複数のビームスプリッタを用いて、レーザー発振器１６ａから出射されるレーザー光３を４又は６に分割し、分割されたそれぞれのレーザー光を反射ミラーを用いて所定の集光点２に交差させて集光するのがよい。また、集光点２における複数のレーザー光の干渉を調整する干渉調整装置を、第１実施形態と同様の構成で備えることができる。
【００４７】
なお、交差集光光学系２０は、この構成に限定されず、同一の集光点２における複数のレーザー光の干渉を調整する干渉調整装置を有し、超音速定常ガスジェット１内の所定の集光点２に同一周波数のレーザー光３を交差させて集光し照射できる限りで、異なる構成であってもよい。
その他の構成は、第１実施形態と同様である。
【００４８】
上述した図４（Ａ）（Ｂ）の場合、高エネルギー密度領域Ｈのエネルギー密度は、単一のレーザー光の場合の約４倍と約６倍となる。また、この場合も、集光領域内に多数のＥＵＶ発光点が分散存在することになるが、リソグラフィ光源としての性能には影響は与えない。
【００４９】
上述した装置を用い、本発明のＬＰＰ方式ＥＵＶ光発生方法では、
（Ａ） 真空チャンバー１２内を所定の真空環境に保持し、
（Ｂ） 真空チャンバー１２内にターゲット物質の極超音速定常ガスジェット１を回収可能に形成し、
（Ｃ） 極超音速定常ガスジェット１内の所定の集光点２に同一周波数のレーザー光３を交差させて集光し照射し、
（Ｄ） かつ前記集光点における複数のレーザー光の干渉を調整し、
これにより、集光点２においてレーザー光によりターゲット物質を励起してプラズマを発生させ、そこから極端紫外光４を発光させる。
【００５０】
上述した本発明の装置と方法によれば、ガスジェット装置１４により、真空チャンバー１２内にターゲット物質の極超音速定常ガスジェット１を回収可能に形成し、レーザー装置１６により、極超音速定常ガスジェット１の所定の集光点２に同一周波数のレーザー光３を交差させて集光し照射し、かつ前記集光点における複数のレーザー光の干渉を調整して、その集光点２においてレーザー光によりターゲット物質を励起してプラズマを発生させ、そこから極端紫外光４を発光させることができる。
【００５１】
特に、レーザー装置１６が干渉調整装置２６を有し、集光点２における複数のレーザー光の干渉を調整するので、この干渉により、レーザー光にエネルギー密度の高い領域Ｈと低い領域Ｌを生成することができる。この場合、高エネルギー密度領域Ｈのエネルギー密度は、単一のレーザー光の場合の約２倍以上となる。
従って、投入する総エネルギー量は同じでも、局所的に高エネルギー密度領域Ｈの生成が可能となり、この領域で高密度プラズマを生成して、ここから強い極端紫外光を発光させることができる。
【００５２】
従って、ショット毎に生成されたプラズマ及びターゲット物質を排気する従来例と比較して、ターゲット物質を回収し循環使用でき、かつレーザーエネルギーの干渉による高エネルギー密度領域を利用するので、ターゲット物質の利用効率を大幅に高めると共に、レーザーエネルギーの利用効率を大幅に高めることができる。またこれにより、デブリの発生とチャンバーの真空度悪化を抑制することができる。
【００５３】
なお、本発明は上述した実施形態に限定されず、特許請求の範囲の記載によって示され、さらに特許請求の範囲の記載と均等の意味および範囲内でのすべての変更を含むものである。
【符号の説明】
【００５４】
１ 極超音速定常ガスジェット、
２ 集光点、
３（３ａ，３ｂ，３ｃ，３ｄ，３ｅ，３ｆ） レーザー光、
１０ ＬＰＰ方式ＥＵＶ光源、１２ 真空チャンバー、
１２ａ 光学窓、１３ 真空ポンプ、
１４ ガスジェット装置、
１４ａ 極超音速ノズル、１４ｂ 極超音速ディフューザー、
１５ ガス再循環装置、１５ａ 吸引ポンプ、
１５ｂ ターゲットチャンバー、１５ｂ 吐出ポンプ、
１６ レーザー装置、
１６ａ レーザー発振器、
１７ａ 供給ライン、１７ｂ 戻りライン、
１８ ターゲット加熱装置、
２０ 交差集光光学系、２２ ビームスプリッタ、
２４ａ，２４ｂ，２４ｃ，２４ｄ 反射ミラー、
２５ａ，２５ｂ，２５ｃ 反射ミラー、
２６ 干渉調整装置、
２８ａ，２８ｂ 集光レンズ
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ＬＰＰ方式のＥＵＶ光源とその発生方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
次世代半導体の微細加工のために極端紫外光源を用いるリソグラフィが期待されている。リソグラフィとは回路パターンの描かれたマスクを通して光やビームをシリコン基板上に縮小投影し、レジスト材料を感光させることで電子回路を形成する技術である。光リソグラフィで形成される回路の最小加工寸法は基本的には光源の波長に依存している。従って、次世代の半導体開発には光源の短波長化が必須であり、この光源開発に向けた研究が進められている。
【０００３】
次世代リソグラフィ光源として最も有力視されているのが、極端紫外光源（ＥＵＶ：Ｅｘｔｒｅｍｅ Ｕｌｔｒａ Ｖｉｏｌｅｔ、以下「ＥＵＶ光源」と呼ぶ）であり、およそ１〜１００ｎｍの波長領域の光を意味する。この領域の光はあらゆる物質に対し吸収率が高く、レンズ等の透過型光学系を利用することができないので、反射型光学系を用いることになる。また極端紫外光領域の光学系は非常に開発が困難で、限られた波長にしか反射特性を示さない。
【０００４】
現在、１３．５ｎｍに感度を有するＭｏ／Ｓｉ多層膜反射鏡が開発されており、この波長の光と反射鏡を組み合わせたリソグラフィ技術が開発されれば３０ｎｍ以下の加工寸法を実現できると予測されている。さらなる微細加工技術の実現のために、波長１３．５ｎｍのリソグラフィ光源の開発が急務であり、高エネルギー密度プラズマからの輻射光が注目されている。
【０００５】
光源プラズマ生成はレーザー照射方式（ＬＰＰ：Ｌａｓｅｒ Ｐｒｏｄｕｃｅｄ Ｐｌａｓｍａ）とパルスパワー技術によって駆動されるガス放電方式（ＤＰＰ：Ｄｉｓｃｈａｒｇｅ Ｐｒｏｄｕｃｅｄ Ｐｌａｓｍａ）に大別できる。
本発明は、ＬＰＰ方式のＥＵＶ光源に関する。ＬＰＰ方式ＥＵＶ光源は、例えば、特許文献１，２に開示されている。
【０００６】
図１（Ａ）は、特許文献１に開示された従来のＬＰＰ方式ＥＵＶ光源の構成図である。この方法は、少なくとも１つのターゲッ５７をチャンバー内で発生させるとともに、少なくとも１つのパルスレーザービーム５３をチャンバー内でターゲット５７に集光させるものである。ターゲットは液体の噴流の形態で発生し、レーザービーム５３は噴流の空間的に連続した部分に集光される。
またこの装置は、少なくとも１つのレーザービーム５３を発生するための手段と、チャンバーと、少なくとも１つのターゲット５７をチャンバー内で発生するための手段５０と、レーザービーム５３をチャンバー内でターゲット５７に集光させるための手段５４とを含む。ターゲット発生手段５０は、液体の噴流を発生し、集光手段５４は、レーザービーム５３を噴流の空間的に連続した部分に集光させるようになっている。
なお、この図で、５１は集光点、５２は液滴、５５は液滴形成点である。
【０００７】
図１（Ｂ）は、特許文献２に開示された従来のＬＰＰ方式ＥＵＶ光源の構成図である。
この装置は、レーザー発振部６１と、集光レンズ等の集光光学系６２と、ターゲット供給装置６３と、ターゲットノズル６４と、ＥＵＶ集光ミラー６５とを含んでいる。レーザー発振部６１は、ターゲット物質を励起させるためのレーザービームをパルス発振するレーザー光源である。レーザー発振部６１から射出したレーザービームは、集光レンズ６２によって所定の位置に集光される。一方、ターゲット供給装置６３は、ターゲット物質をターゲットノズル６４に供給し、ターゲットノズル６４は、供給されたターゲット物質を所定の位置に噴射する。
【０００８】
ターゲット物質にレーザービームを照射することにより、ターゲット物質が励起してプラズマ６６が発生し、そこから極端紫外光６７（ＥＵＶ）光が放射される。ＥＵＶ集光ミラー６５の反射面には、波長が１３．５ｎｍ付近のＥＵＶ光を選択的に反射するために、例えば、モリブデン及びシリコンを交互に積層した膜（Ｍｏ／Ｓｉ多層膜）が形成されている。プラズマ６６から放射されたＥＵＶ光６７は、ＥＵＶ集光ミラー６５により集光反射され、出力ＥＵＶ光として露光装置等に出力される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００９】
【特許文献１】特表２０００−５０９１９０号公報、「Ｘ線放射線または極紫外線放射線を発生するための方法および装置」
【特許文献２】特開２００７−２０７５７４号公報、「極端紫外光源装置」
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
上述した従来のＬＰＰ方式ＥＵＶ光源は、レーザー光源として高出力のパルスレーザー（例えば０．１Ｊ／Ｐｕｌｓｅ）を用い、これをターゲット物質に高繰り返し（例えば１００ｋＨｚ）で照射し、実用出力（例えば１００Ｊ／ｓ＝１００Ｗ）のＥＵＶ光源を得ることが原理的に可能である。
【００１１】
しかし、先行文献１及び２に記載したＥＵＶ光源では、ターゲット物質のショット毎に生成されたプラズマを排気しているため、ターゲット物質（錫、リチウム、キセノン等）の蒸気化、プラズマ化に要したエネルギーをショット毎に廃棄することとなり、ターゲット物質及びエネルギーの利用効率が低い問題点があった。
また、実用出力を目指す、高繰り返し運転化（１０〜１００ｋＨｚ）においては、発光源物質（すなわちターゲット物質）の廃棄は、デブリ発生、チャンバーの真空度悪化などの大きな問題を引き起こしていた。
【００１２】
本発明は、上述した問題点を解決するために創案されたものである。すなわち、本発明の目的は、ターゲット物質及びエネルギーの利用効率を大幅に高めることができ、かつデブリの発生とチャンバーの真空度悪化を抑制することができるＬＰＰ方式のＥＵＶ光源とその発生方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
本発明によれば、所定の真空環境に保持された真空チャンバーと、
該真空チャンバー内にターゲット物質の極超音速定常ガスジェットを形成するガスジェット装置と、
前記極超音速定常ガスジェット内の所定の集光点に同一周波数のレーザー光を交差させて集光し照射するレーザー装置と、を備え、
該レーザー装置は、前記集光点における複数のレーザー光の干渉を調整する干渉調整装置を有し、
前記集光点において前記レーザー光によりターゲット物質を励起してプラズマを発生させ、そこから極端紫外光を発光させる、ことを特徴とするＬＰＰ方式ＥＵＶ光源が提供される。
ここで、レーザー装置は連続出力のほか、パルス出力の装置の使用も可能である。
【００１４】
本発明の好ましい実施形態によれば、前記極超音速定常ガスジェットを回収可能に形成する。
前記ガスジェット装置は、真空チャンバー内に前記集光点を挟んで対向配置された極超音速ノズル及び極超音速ディフューザーと、前記極超音速定常ガスジェットを極超音速ノズルから噴射しかつ極超音速ディフューザーから回収して循環させるガス再循環装置とからなる。
【００１５】
また、ガスジェットの構成物質は常温気体物質である必要はなく、ガス供給部を高温にすることにより、金属ガスジェットを形成する事も可能である。この場合、ガスジェット形成は極超音速ノズルによりなされるが、回収側は極超音速ディフーザーである必要は無く、温度制御された回収プレート等により液体金属として回収する事も可能である。さらに、金属ガスジェットの場合、レーザー照射領域において金属原子が完全にバラバラのガス状でなく、複数原子が凝集したクラスタージェットとなる事もある。
【００１６】
また本発明によれば、真空チャンバー内を所定の真空環境に保持し、
該真空チャンバー内にターゲット物質の極超音速定常ガスジェットを回収可能に形成し、
前記極超音速定常ガスジェット内の所定の集光点に同一周波数のレーザー光を交差させて集光し照射し、かつ前記集光点における複数のレーザー光の干渉を調整し、
前記集光点において前記レーザー光によりターゲット物質を励起してプラズマを発生させ、そこから極端紫外光を発光させる、ことを特徴とするＬＰＰ方式ＥＵＶ光発生方法が提供される。
【発明の効果】
【００１７】
上記本発明の装置と方法によれば、ガスジェット装置により、真空チャンバー内にターゲット物質の極超音速定常ガスジェットを回収可能に形成し、レーザー装置により、極超音速定常ガスジェット内の所定の集光点に同一周波数のレーザー光を交差させて集光し照射し、かつ前記集光点における複数のレーザー光の干渉を調整して、その集光点においてレーザー光によりターゲット物質を励起してプラズマを発生させ、そこから極端紫外光を発光させることができる。
【００１８】
特に、レーザー装置が干渉調整装置を有し、前記集光点における複数のレーザー光の干渉を調整するので、この干渉により、レーザー光にエネルギー密度の高い領域と低い領域を生成することができる。この場合、高エネルギー密度領域Ｈのエネルギー密度は、単一のレーザー光の場合の約２倍以上となる。
従って、投入する総エネルギー量は同じでも、局所的に高エネルギー密度領域の生成が可能となり、この領域で高密度プラズマを生成して、ここから強い極端紫外光を発光させることができる。
【００１９】
従って、ショット毎に生成されたプラズマ及びターゲット物質を排気する従来例と比較して、ターゲット物質を回収し循環使用でき、かつレーザーエネルギーの干渉による高エネルギー密度領域を利用するので、ターゲット物質の利用効率を大幅に高めると共に、レーザーエネルギーの利用効率を大幅に高めることができる。またこれにより、デブリの発生とチャンバーの真空度悪化を抑制することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】特許文献１、２に開示された従来のＬＰＰ方式ＥＵＶ光源の構成図である。
【図２】本発明によるＬＰＰ方式ＥＵＶ光源の第１実施形態図である。
【図３】図２のプラズマ光源の部分拡大図である。
【図４】本発明によるＬＰＰ方式ＥＵＶ光源の第２、３実施形態図であり、図３（Ｂ）と同様の拡大図である。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
以下、本発明の好ましい実施形態を添付図面に基づいて詳細に説明する。なお、各図において共通する部分には同一の符号を付し、重複した説明を省略する。
【００２２】
図２は、本発明によるＬＰＰ方式ＥＵＶ光源の構成図である。この図において、本発明のＬＰＰ方式ＥＵＶ光源１０は、真空チャンバー１２、ガスジェット装置１４及びレーザー装置１６を備える。
【００２３】
真空チャンバー１２は、真空ポンプ１３を備え、これにより内部を所定の真空環境に保持する。真空チャンバー１２には、レーザー光３（後述する）を透過させる光学窓１２ａが設けられている。
【００２４】
ガスジェット装置１４は、真空チャンバー１２内にターゲット物質の極超音速定常ガスジェット１を連続的に形成し回収する。
ターゲット物質は、Ｘｅ（キセノン），Ｓｎ（スズ），Ｌｉ（リチウム）等のガスもしくはクラスターであることが好ましい。
【００２５】
この例において、ガスジェット装置１４は、極超音速ノズル１４ａ、極超音速ディフューザー１４ｂ及びガス再循環装置１５を有する。
【００２６】
極超音速ノズル１４ａと極超音速ディフューザー１４ｂは、真空チャンバー１２に集光点２を挟んで対向配置されている。
極超音速ノズル１４ａの末端（図で上端）と極超音速ディフューザー１４ｂの先端（図で下端）とは、集光点２を挟んで所定の隙間を隔てている。この隙間は、真空チャンバー１２内の真空環境に連通している。
【００２７】
極超音速ノズル１４ａは、スロート部を有するラバールノズルであり、亜音速で流入するガス（ターゲット物質）を極超音速まで加速して集光点２に向けて噴射する。また、極超音速ディフューザー１４ｂは、スロート部を有するラバールノズル形状を持ち、集光点２を通過した極超音速のガス（ターゲット物質）の大部分を内部に受け入れ、これを亜音速まで減速するようになっている。
【００２８】
ガス再循環装置１５は、この例では、吸引ポンプ１５ａ、ターゲットチャンバー１５ｂ、及び吐出ポンプ１５ｃからなる。
ガス再循環装置１５は、ターゲット物質を供給ライン１７ａを介して極超音速ノズル１４ａまで亜音速で供給し、極超音速ノズル１４ａからターゲット物質の極超音速定常ガスジェット１を極超音速（Ｍ＞５）で噴射し、かつ極超音速ディフューザー１４ｂからターゲット物質を極超音速（Ｍ＞５）で回収し、亜音速まで減速して戻りライン１７ｂを介して吸引ポンプ１５ａまで戻すことにより、ターゲット物質を循環使用するようになっている。なお、ターゲットチャンバー１５ｂには、ターゲット物質が外部から補給される。
【００２９】
さらに、ガスジェット装置１５は、真空チャンバー１２のバックプレッシャーを高めず、かつレーザー光３の吸収とＥＵＶ光４の放出に適した高密度のターゲット物質領域を集光点２に定常的に形成するように、気体力学的に設計されている。
なお、一般的に、極超音速及び極超音速定常ガスジェット１とは、Ｍ＞５の極超音速流を意味するが、本発明では、上記要件を満たす限りで、Ｍ＞１であればよい。
【００３０】
また、ターゲット物質を加熱するために、極超音速ノズル１４ａとガス再循環装置１５の間にターゲット加熱装置１８を設けるのが好ましい。ターゲット加熱装置１８はターゲット物質の温度を極超音速ディフューザー１４ｂを形成するのに適した温度まで加熱する。この加熱手段は、任意である。
【００３１】
レーザー装置１６は、レーザー光３を連続的あるいはパルス的に発振するレーザー発振器１６ａと、極超音速定常ガスジェット１内の所定の集光点２に同一周波数のレーザー光３を交差させて集光し照射する交差集光光学系２０とからなる。
この例において、レーザー光３の光路は、極超音速定常ガスジェット１の流路に直交しているが、本発明はこれに限定されず、斜めに交差してもよい。また、レーザー装置１６及びレーザー光３は、それぞれ１台に限定されず、２台以上を用いてもよい。
【００３２】
レーザー発振器１６ａには、ＣＯ2レーザー（波長約１０μｍ）、ＣＯレーザー（波長約５μｍ）、ＹＡＧレーザー（波長約１μｍ及び約０．５μｍ）等を用いることができる。特に、ＹＡＧレーザー又はＣＯレーザーを用いるのが好ましいが、本発明は、ＹＡＧレーザー又はＣＯレーザーに限定されず、ＣＯ2レーザーであってもよい。
【００３３】
この例において、交差集光光学系２０は、レーザー発振器１６ａから出射されるレーザー光３をレーザー光３ａ，３ｂに分割するビームスプリッタ２２と、分割された一方のレーザー光３ａを反射して同一の集光点２に導く反射ミラー２４ａ，２４ｂ，２４ｃ，２４ｄと、分割された他方のレーザー光３ｂを反射してレーザー光３ａと交差（この場合、正面衝突）する同一の集光点２に導く反射ミラー２５ａ，２５ｂ，２５ｃと、反射ミラー２４ｂ，２４ｃを図で上下方向に移動して集光点２における複数のレーザー光３ａ，３ｂの干渉を調整する干渉調整装置２６と、レーザー光３ａ，３ｂを集光点２に集光させる集光レンズ２８ａ，２８ｂとからなる。
【００３４】
集光レンズ２８ａ，２８ｂは、集光点２の直径を、約１０μｍ以下、さらに好ましくは約５μｍ以下に集光できる凸レンズ系であるのがよい。
【００３５】
この構成により、レーザー発振器１６ａから出射される同一周波数のレーザー光３を、ビームスプリッタ２２でレーザー光３ａ，３ｂに分割し、反射ミラー２４ａ，２４ｂ，２４ｃ，２４ｄで集光点２に導かれるレーザー光３ａと、反射ミラー２５ａ，２５ｂ，２５ｃで集光点２に導かれるレーザー光３ｂとを集光レンズ２８ａ，２８ｂで同一の集光点２に交差（この場合、正面衝突）させて集光し照射することができる。
また、干渉調整装置２６で反射ミラー２４ｂ，２４ｃを図で上下方向に移動することにより、レーザー光３ｂの光路長さを調整して、集光点２におけるレーザー光３ａ，３ｂの干渉を調整することができる。
【００３６】
なお、交差集光光学系２０は、この構成に限定されず、同一の集光点２における複数のレーザー光の干渉を調整する干渉調整装置を有し、超音速定常ガスジェット１内の所定の集光点２に同一周波数のレーザー光３を交差させて集光し照射できる限りで、異なる構成であってもよい。
【００３７】
図３（Ａ）は、図２のプラズマ光源の部分拡大図であり、図３（Ｂ）はレーザー光３ａ，３ｂの干渉説明図である。
【００３８】
ターゲット物質をプラズマ化して極端紫外光４を発光させるには、集光点２においてターゲット物質がプラズマ化する温度まで加熱する必要がある。このプラズマ化温度の最適温度条件は、キセノンガスの場合は約３０ｅＶであり、リチウムガスの場合は約１０ｅＶである。
プラズマ化して極端紫外光４を発光する発光プラズマの総輻射量は、黒体輻射体の場合最大であり、プラズマサイズ（すなわち集光点２の直径）が１０μｍの場合、３０ｅＶのキセノンガスからの輻射量は約１５０ｋＷに達し、１０ｅＶのリチウムガスからの輻射量はその１／８０程度（約１．９ｋＷ）となる。
実際の発光プラズマは黒体ではなく、ＥＵＶ発光プラズマからの総輻射量はこれより低くなる。エネルギーバランス調整の観点から、レーザーの最小集光径は、プラズマ総輻射量に相当するエネルギーを、レーザー発振器１６ａから集光点２に供給できる事が望ましい。
【００３９】
集光レンズ１６ｂで集光可能な集光点２の直径は、レーザー光の波長にほぼ相当し、ＣＯ2レーザーの場合は約１０μｍ、ＣＯレーザーの場合は約５μｍ、ＹＡＧレーザーの場合は約１μｍ又は約０．５μｍである。
上述した輻射量に相当するエネルギーを集光点２に集光させるために、集光点２の直径は、小さいほど好ましく、その観点から、ＹＡＧレーザー又はＣＯレーザーを用いるのが好ましい。
【００４０】
例えば、ＹＡＧレーザーを用い、集光点２の直径が２．５μｍの場合、３０ｅＶのキセノンガスからの輻射量は約９．４ｋＷ（１５０ｋＷの場合の１／４2）となる。同様に、例えば、ＣＯレーザーを用い、集光点２の直径が５μｍの場合、１０ｅＶのリチウムガスからの輻射量は約４７０Ｗ（１５０ｋＷ×１／８０×１／５2）となる。
【００４１】
一方、レーザーからの発光プラズマの入熱は、プラズマサイズ（すなわち集光点２の直径）を極超音速定常ガスジェット１が通過する間にレーザー発振器１６ａから受けるエネルギーであり、これはガスジェット１の速度及びレーザー発振器１６ａの出力から計算でき、集光点２の直径には影響されない。
【００４２】
従って、ＹＡＧレーザー又はＣＯレーザーを用い、集光点２の直径をできるだけ小さく（例えば、２．５μｍ〜５μｍ）することにより、連続出力を有する比較的小出力（例えば１〜１０ｋＷ）のレーザー発振器１６ａで、集光点２においてターゲット物質を励起してプラズマを発生させ、そこから極端紫外光４を発光させることができる。
【００４３】
しかし、１０ｋＷ程度のＣＯ2レーザーをスポット径１０μｍ程度に集光し照射することにより、１ｋＷ程度の連続ＥＵＶ光源を実現する場合において、レーザーの現実的集光径は光の波長による回折限界だけではなく、レーザー光の品質、集光距離にも依存し、ｋＷクラスの高出力レーザーの場合、十分に小さな集光径へのビーム集光（高温度プラズマに必要な高エネルギー密度への集光）が困難な場合がある。
【００４４】
そのため、本発明では、この問題（高エネルギー密度集光）を解決するため、レーザー光の干渉を利用している。
すなわち、例えば図３（Ｂ）に示すように、２本のレーザー光３ａ，３ｂを同一の集光点２に集め、相互に干渉を生じさせる事により、エネルギー密度の高い領域Ｈと、低い領域Ｌが生成される。この場合、高エネルギー密度領域Ｈのエネルギー密度は、単一のレーザー光の場合の約２倍となる。
従って投入する総エネルギー量は同じでも、局所的にエネルギー密度の高い高エネルギー密度領域Ｈの生成が可能となり、この領域で高密度プラズマを生成して、ここからのＥＵＶ光（極端紫外光）を発光させることができる。なお、本発明では、集光領域内に多数のＥＵＶ発光点が分散存在することになるが、リソグラフィ光源としての性能には影響は与えない。
【００４５】
図４は、本発明によるＬＰＰ方式ＥＵＶ光源の第２、３実施形態図であり、図３（Ｂ）と同様の拡大図である。この図において、（Ａ）は、所定の集光点２に４本のレーザー光３ａ，３ｂ，３ｃ，３ｄを交差させて集光する場合、（Ｂ）は６本のレーザー光３ａ，３ｂ，３ｃ，３ｄ，３ｅ，３ｅ，３ｆを交差させて集光する場合を示している。
【００４６】
第２、３実施形態における交差集光光学系は、例えば、複数のビームスプリッタを用いて、レーザー発振器１６ａから出射されるレーザー光３を４又は６に分割し、分割されたそれぞれのレーザー光を反射ミラーを用いて所定の集光点２に交差させて集光するのがよい。また、集光点２における複数のレーザー光の干渉を調整する干渉調整装置を、第１実施形態と同様の構成で備えることができる。
【００４７】
なお、交差集光光学系２０は、この構成に限定されず、同一の集光点２における複数のレーザー光の干渉を調整する干渉調整装置を有し、超音速定常ガスジェット１内の所定の集光点２に同一周波数のレーザー光３を交差させて集光し照射できる限りで、異なる構成であってもよい。
その他の構成は、第１実施形態と同様である。
【００４８】
上述した図４（Ａ）（Ｂ）の場合、高エネルギー密度領域Ｈのエネルギー密度は、単一のレーザー光の場合の約４倍と約６倍となる。また、この場合も、集光領域内に多数のＥＵＶ発光点が分散存在することになるが、リソグラフィ光源としての性能には影響は与えない。
【００４９】
上述した装置を用い、本発明のＬＰＰ方式ＥＵＶ光発生方法では、
（Ａ） 真空チャンバー１２内を所定の真空環境に保持し、
（Ｂ） 真空チャンバー１２内にターゲット物質の極超音速定常ガスジェット１を回収可能に形成し、
（Ｃ） 極超音速定常ガスジェット１内の所定の集光点２に同一周波数のレーザー光３を交差させて集光し照射し、
（Ｄ） かつ前記集光点における複数のレーザー光の干渉を調整し、
これにより、集光点２においてレーザー光によりターゲット物質を励起してプラズマを発生させ、そこから極端紫外光４を発光させる。
【００５０】
上述した本発明の装置と方法によれば、ガスジェット装置１４により、真空チャンバー１２内にターゲット物質の極超音速定常ガスジェット１を回収可能に形成し、レーザー装置１６により、極超音速定常ガスジェット１の所定の集光点２に同一周波数のレーザー光３を交差させて集光し照射し、かつ前記集光点における複数のレーザー光の干渉を調整して、その集光点２においてレーザー光によりターゲット物質を励起してプラズマを発生させ、そこから極端紫外光４を発光させることができる。
【００５１】
特に、レーザー装置１６が干渉調整装置２６を有し、集光点２における複数のレーザー光の干渉を調整するので、この干渉により、レーザー光にエネルギー密度の高い領域Ｈと低い領域Ｌを生成することができる。この場合、高エネルギー密度領域Ｈのエネルギー密度は、単一のレーザー光の場合の約２倍以上となる。
従って、投入する総エネルギー量は同じでも、局所的に高エネルギー密度領域Ｈの生成が可能となり、この領域で高密度プラズマを生成して、ここから強い極端紫外光を発光させることができる。
【００５２】
従って、ショット毎に生成されたプラズマ及びターゲット物質を排気する従来例と比較して、ターゲット物質を回収し循環使用でき、かつレーザーエネルギーの干渉による高エネルギー密度領域を利用するので、ターゲット物質の利用効率を大幅に高めると共に、レーザーエネルギーの利用効率を大幅に高めることができる。またこれにより、デブリの発生とチャンバーの真空度悪化を抑制することができる。
【００５３】
なお、本発明は上述した実施形態に限定されず、特許請求の範囲の記載によって示され、さらに特許請求の範囲の記載と均等の意味および範囲内でのすべての変更を含むものである。
【符号の説明】
【００５４】
１ 極超音速定常ガスジェット、
２ 集光点、
３（３ａ，３ｂ，３ｃ，３ｄ，３ｅ，３ｆ） レーザー光、
１０ ＬＰＰ方式ＥＵＶ光源、１２ 真空チャンバー、
１２ａ 光学窓、１３ 真空ポンプ、
１４ ガスジェット装置、
１４ａ 極超音速ノズル、１４ｂ 極超音速ディフューザー、
１５ ガス再循環装置、１５ａ 吸引ポンプ、
１５ｂ ターゲットチャンバー、１５ｂ 吐出ポンプ、
１６ レーザー装置、
１６ａ レーザー発振器、
１７ａ 供給ライン、１７ｂ 戻りライン、
１８ ターゲット加熱装置、
２０ 交差集光光学系、２２ ビームスプリッタ、
２４ａ，２４ｂ，２４ｃ，２４ｄ 反射ミラー、
２５ａ，２５ｂ，２５ｃ 反射ミラー、
２６ 干渉調整装置、
２８ａ，２８ｂ 集光レンズ
【特許請求の範囲】
【請求項１】
所定の真空環境に保持された真空チャンバーと、
該真空チャンバー内にターゲット物質の極超音速定常ガスジェットを形成するガスジェット装置と、
前記極超音速定常ガスジェット内の所定の集光点に同一周波数のレーザー光を交差させて集光し照射するレーザー装置と、を備え、
該レーザー装置は、前記集光点における複数のレーザー光の干渉を調整する干渉調整装置を有し、
前記集光点において前記レーザー光によりターゲット物質を励起してプラズマを発生させ、そこから極端紫外光を発光させる、ことを特徴とするＬＰＰ方式ＥＵＶ光源。
【請求項２】
前記極超音速定常ガスジェットを回収可能に形成する、ことを特徴とする請求項１に記載のＬＰＰ方式ＥＵＶ光源。
【請求項３】
前記ガスジェット装置は、真空チャンバー内に前記集光点を挟んで対向配置された極超音速ノズル及び極超音速ディフューザーと、前記極超音速定常ガスジェットを極超音速ノズルから噴射しかつ極超音速ディフューザーから回収して循環させるガス再循環装置とからなる、ことを特徴とする請求項１又は２に記載のＬＰＰ方式ＥＵＶ光源。
【請求項４】
真空チャンバー内を所定の真空環境に保持し、
該真空チャンバー内にターゲット物質の極超音速定常ガスジェットを回収可能に形成し、
前記極超音速定常ガスジェット内の所定の集光点に同一周波数のレーザー光を交差させて集光し照射し、かつ前記集光点における複数のレーザー光の干渉を調整し、
前記集光点において前記レーザー光によりターゲット物質を励起してプラズマを発生させ、そこから極端紫外光を発光させる、ことを特徴とするＬＰＰ方式ＥＵＶ光発生方法。
【請求項１】
所定の真空環境に保持された真空チャンバーと、
該真空チャンバー内にターゲット物質の極超音速定常ガスジェットを形成するガスジェット装置と、
前記極超音速定常ガスジェット内の所定の集光点に同一周波数のレーザー光を交差させて集光し照射するレーザー装置と、を備え、
該レーザー装置は、前記集光点における複数のレーザー光の干渉を調整する干渉調整装置を有し、
前記集光点において前記レーザー光によりターゲット物質を励起してプラズマを発生させ、そこから極端紫外光を発光させる、ことを特徴とするＬＰＰ方式ＥＵＶ光源。
【請求項２】
前記極超音速定常ガスジェットを回収可能に形成する、ことを特徴とする請求項１に記載のＬＰＰ方式ＥＵＶ光源。
【請求項３】
前記ガスジェット装置は、真空チャンバー内に前記集光点を挟んで対向配置された極超音速ノズル及び極超音速ディフューザーと、前記極超音速定常ガスジェットを極超音速ノズルから噴射しかつ極超音速ディフューザーから回収して循環させるガス再循環装置とからなる、ことを特徴とする請求項１又は２に記載のＬＰＰ方式ＥＵＶ光源。
【請求項４】
真空チャンバー内を所定の真空環境に保持し、
該真空チャンバー内にターゲット物質の極超音速定常ガスジェットを回収可能に形成し、
前記極超音速定常ガスジェット内の所定の集光点に同一周波数のレーザー光を交差させて集光し照射し、かつ前記集光点における複数のレーザー光の干渉を調整し、
前記集光点において前記レーザー光によりターゲット物質を励起してプラズマを発生させ、そこから極端紫外光を発光させる、ことを特徴とするＬＰＰ方式ＥＵＶ光発生方法。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図２】
【図３】
【図４】
【公開番号】特開２０１１−５４４０３（Ｐ２０１１−５４４０３Ａ）
【公開日】平成２３年３月１７日（２０１１．３．１７）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００９−２０１８４４（Ｐ２００９−２０１８４４）
【出願日】平成２１年９月１日（２００９．９．１）
【出願人】（０００００００９９）株式会社ＩＨＩ (5,014)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２３年３月１７日（２０１１．３．１７）
【国際特許分類】
【出願日】平成２１年９月１日（２００９．９．１）
【出願人】（０００００００９９）株式会社ＩＨＩ (5,014)
【Ｆターム（参考）】
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