【課題】安定したパルスレーザ光を生成する。
【解決手段】極端紫外光生成装置は、ターゲット物質に第１レーザ光を照射する第１レーザ装置と、前記第１レーザ光の照射によって拡散した前記ターゲット物質に第２レーザ光を照射して極端紫外光を生成する第２レーザ装置と、前記第１レーザ光の照射後、前記第２レーザ光の照射前に、該第２レーザ光よりもエネルギーの低い第３レーザ光を照射する第３レーザ装置とを備えてもよい。 （もっと読む）

【課題】チャンバ内に配置された要素の特性や性能が劣化することを抑制する。
【解決手段】チャンバ装置は、レーザ装置および前記レーザ装置から出力されるレーザ光を集光するための集光光学系と共に用いられるチャンバ装置であって、レーザ装置から出力されたレーザ光を通過させる入射口が設けられたチャンバと、チャンバ内の所定の領域にターゲット物質を供給するように構成されたターゲット供給部と、チャンバ内でターゲット物質にレーザ光が照射することで発生したターゲット物質のデブリを付着させるデブリ入射面を含む回収部と、回収部から流出したデブリを回収する回収容器とを備え、デブリ入射面は、前記デブリが入射する方向に対して垂直でない方向に傾いていてもよい。 （もっと読む）

【課題】チャンバ内を移動するデブリがＥＵＶ集光ミラー等の光学素子の反射率又は透過率を低下させることを防止して、長期間安定に極端紫外光を発生することができる極端紫外光源装置を提供する。
【解決手段】この極端紫外光源装置は、チャンバ内のプラズマ発光点に供給されたターゲットにレーザ光を照射して第１のプラズマを生成するドライバレーザと、チャンバ内にガスを供給するガス供給装置と、プラズマ発光点が中心となるように配置されたＲＦアンテナを含み、ガス及び電気的に中性のターゲット物質を励起して、電気的に中性のデブリを帯電させる第２のプラズマを生成する高周波励起装置と、帯電したデブリの移動方向を制限する磁場を発生する磁場発生装置と、チャンバ内を排気することにより、第１のプラズマから放出され第２のプラズマにおいてガス化されたデブリをチャンバ外に排出する排気装置とを具備する。 （もっと読む）

【課題】断層撮影の高速化に伴う回転時の遠心力と慣性力に対する耐性が向上したＣＴ装置用冷却機を実現する。
【解決手段】ＣＴ装置用冷却機においては、排気口を有するベースが回転体に固定され、ポンプ装置がベース上に配置されている。筐体がベース上に排気空間を規定し、Ｘ線発生器と配管で連結されるラジエータ・ユニットが吸気導入口を規定している。冷却ファン装置がベースに固定され、ラジエータ・ユニットを介して吸気している。支持構造体がベースに固定され、ラジエータ・ユニットを回転中心軸側に向けるように屋根型に突出させている。ベース固定部から筐体の頂部への高さがベース固定部間の距離より小さく、支持構造体固定部からのラジエータ・ユニット頂部への高さが支持構造体固定部間の距離より小さく、固定台座固定部からのラジエータ・ユニット頂部への高さが固定台座固定部間の距離より小さく設定される。 （もっと読む）

【課題】ターゲット供給装置の性能を安定させる。
【解決手段】ノズル部８６の下方に設けられ、第１の開口領域が形成された電極８８と、ターゲット物質と電極８８との間に電圧を印加する電源と、を備える。電極８８の第１の開口領域は、ターゲット物質がノズル部８６から重力方向に滴下するときにターゲット物質が第１の導電部材とは離間して通過するように形成されている。 （もっと読む）

【課題】燃料が予期しないまたは意図的ではない障害または制限に遭うことなくノズルを通過することができる放射源を提供する。
【解決手段】放射源は、リザーバ、ノズル、レーザおよび正のレンズを含む。リザーバは、燃料の体積を保持するように構成される。リザーバと流体接続されたノズルは、燃料の流れを軌道に沿ってプラズマ形成配置に向かって誘導するように構成される。レーザは、レーザ放射をプラズマ形成配置における流れに誘導して、使用中、放射生成プラズマを生成するように構成される。正のレンズ構成は、燃料の流れの軌道の少なくとも潜在的な広がりをプラズマ形成配置に向かって合焦させるように構成され、レンズは電界生成要素および／または磁界生成要素を含む。 （もっと読む）

【課題】流体流を生成する機構、およびそのような機構内における汚染制御方法を提供する。
【解決手段】本発明の第一の態様によれば、放射源であって、所定の体積の燃料を保持するように構成されたリザーバと、リザーバに流体連通し、かつ燃料流を軌道に沿ってプラズマ形成位置に向けて誘導するように構成されたノズルと、プラズマ形成位置の燃料流にレーザ放射を誘導して使用中に放射生成プラズマを生成するように構成されたレーザと、磁界を生成する磁界生成エレメントおよび電界を生成する電界生成エレメントを備える燃料汚染制御機構と、を備え、汚染の移動を制御するために、磁界生成エレメントおよび電界生成エレメントは、使用中、磁界および電界が、燃料内の汚染の位置または潜在位置において確実に重なり合うように、かつ磁界および電界の線束が当該位置において確実に非平行になるように、ともに構成される、放射源が提供される。 （もっと読む）

【課題】極端紫外光生成装置において、ターゲットの大きさやターゲットの位置の安定性を向上させる。
【解決手段】この極端紫外光生成装置は、ターゲット物質を貯蔵するターゲット貯蔵部と、ターゲット物質を出力するノズル部と、ターゲット物質との間に直流電圧が印加されたときにターゲット物質のターゲットを生成する電極と、ターゲットを検出して検出信号を出力するターゲット検出器と、内部で極端紫外光が生成されるチャンバと、ターゲット物質と電極との間に印加される直流電圧を調節する直流電圧調節器と、ターゲット貯蔵部に貯蔵されているターゲット物質に印加される圧力を調節する圧力調節器と、ターゲット検出器から出力される検出信号に基づいて、直流電圧調節器と圧力調節器との内の少なくとも１つを制御する制御装置とを備えてもよい。 （もっと読む）

【課題】装置の小型化、外囲器と放射線発生管との間の耐電圧の向上、放射線の減衰量の低減を実現した放射線発生装置及びそれを用いた放射線撮影装置を提供する。
【解決手段】放射線を透過する第一の窓２７を有する外囲器１２と、外囲器１２内に収納され、第一の窓２７と対向する位置に放射線を透過する第二の窓１９を有する放射線発生管１４と、外囲器１２の内壁と放射線発生管１４との間に充填された絶縁性流体１３と、を備える放射線発生装置であって、第一の窓２７及びその周縁部と第二の窓１９及びその周縁部との間に、複数枚の絶縁性板材が隙間を空けて並んで配置され、絶縁性板材間の隙間は、第一の窓２７と第二の窓１９との間の耐電圧が、複数枚の絶縁性板材に換えて各絶縁性板材の厚さの合計と同じ厚さを持った絶縁性板材を配置した場合に比べて大きくなる隙間であることを特徴とする放射線発生装置。 （もっと読む）

【課題】ターゲットの軌道を擾乱させることなく、ドロップレットターゲットをレーザ照射位置に高速に供給する機構と、プラズマから発生したイオン（帯電したデブリ）を磁場の作用によりトラップする機構とを両立させる。
【解決手段】極端紫外光源装置は、（ｉ）内部で極端紫外光が生成されるチャンバと、（ii）チャンバ内にターゲット物質を噴射するターゲットノズルと、（iii）ターゲットノズルから噴射されるターゲット物質を帯電させる電荷供給装置と、（iv）電磁石、超伝導磁石、及び、永久磁石の内のいずれかを含み、チャンバ内にミラー磁場を形成する１組の磁石と、ターゲット物質の軌道において該ミラー磁場の磁束線が略直線状且つターゲット物質の進入方向に対して略平行となるように、補助的な磁場を形成する少なくとも１つの補助磁場形成装置とを含む磁場形成装置とを有する。 （もっと読む）

【課題】極端紫外光生成装置に用いた場合生成される極端紫外光の強度を安定化させる。
【解決手段】チャンバ装置は、少なくとも１つのレーザ装置と共に用いられるチャンバ装置であって、前記少なくとも１つのレーザ装置から出力される少なくとも１つのレーザ光を内部に導入するための少なくとも１つの入射口が設けられたチャンバと、前記チャンバに設けられ、前記チャンバ内の所定の領域にターゲット物質を供給するためのターゲット供給部と、前記少なくとも１つのレーザ光を前記所定の領域で集光させるためのレーザ集光光学系と、前記少なくとも１つのレーザ光の前記所定の領域におけるビーム断面の光強度分布を補正するための光学素子と、を備えてもよい。 （もっと読む）

【課題】ＥＵＶ光放射後に発生するデブリが光学要素に付着して性能劣化することを抑制する。
【解決手段】極端紫外光生成装置１は、レーザ光を内部に入射させるための少なくとも１つの入射口が設けられたチャンバ１１と、チャンバに設けられ、チャンバ内の所定の領域にターゲット物質Ｄを供給するためのターゲット供給部１４ｂと、チャンバに接続される排気ポンプ１２と、チャンバ内に配置される少なくとも１つの光学要素Ｍ１〜Ｍ３と、チャンバに設けられ、チャンバ内でターゲット物質がレーザ光に照射される際に放出されて、少なくとも１つの光学要素に付着したターゲット物質のデブリを、エッチングするために導入されるエッチングガスが通過するエッチングガス導入部１６ａ〜１６ｃと、少なくとも１つの光学要素の温度を制御するための、少なくとも１つの温度調節機構Ｃ２，Ｃ４，Ｃ５と、を備えてもよい。 （もっと読む）

【課題】冷媒に混入したガスからなる気泡を好適に捕捉して、出射されるＸ線強度が気泡の影響によって変動することを抑制可能なＸ線装置を提供することを課題とする。
【解決手段】Ｘ線を透過するＸ線照射窓６を備える真空容器１ａ内でＸ線を発生するＸ線管１と、Ｘ線管１を収納するＸ線管容器７と、Ｘ線管１を冷却する冷媒１５をＸ線管容器７に送り込んでＸ線管１の周囲に流通させる冷却ユニット１４と、を含んで構成され、真空容器１ａ内で発生してＸ線照射窓６を透過したＸ線５が冷媒１５を通過してＸ線管容器７から出射するＸ線装置１００とする。そして、冷却ユニット１４からＸ線管容器７に送り込まれる冷媒１５内の気泡１５ａを、Ｘ線照射窓６の冷媒１５の流れに対する上流で捕捉する気泡トラップ２０を備え、気泡トラップ２０は、流通する冷媒１５に圧力差を生じさせ、当該圧力差を利用して気泡１５ａを捕捉する。 （もっと読む）

【課題】ＬＰＰ型ＥＵＶ光源装置のプラズマ発生室にターゲット物質を供給するターゲット物質供給装置において、ターゲット物質の温度を安定させる。
【解決手段】このターゲット物質供給装置は、外部から供給されるターゲット物質を冷却して液化するための液化室１０８と、液化室１０８において液化されたターゲット物質を噴出するためのノズル１０２と、液化室１０８内においてターゲット物質の温度を制御するためのロッド１０９、冷却装置１１０、ヒータ１１１、温度センサ１１２、及び、温度制御部１１３と、ノズル１０２内においてターゲット物質の温度を制御するためのロッド１１４、冷却装置１１５、ヒータ１１６、温度センサ１１７、及び、温度制御部１１８とを含む。 （もっと読む）

【課題】骨塩量測定システム等に設けられるＸ線発生装置において、十分な放熱と散乱Ｘ線の遮蔽とが行われるようにする。
【解決手段】Ｘ線発生ユニット１４の上部には構造体４４が設けられている。構造体４４はフィルタユニット４２の周囲に設けられ、それは１つの水平板５２と複数の垂直板５４とからなる。フィルタユニット４２の内部において散乱Ｘ線が生じた場合、構造体４４によってそれが遮蔽される。また構造体４４の放熱作用により、Ｘ線管が効果的に冷却される。構造体４４は電磁シールド作用も発揮する。 （もっと読む）

【課題】 陽極ターゲットの冷却特性を向上させることができる、信頼性の高いＸ線管装置を提供する。
【解決手段】 Ｘ線管装置は、陰極と、陽極ターゲットと、真空外囲器と、陽極ターゲットへの電子の衝突に伴って発生する熱が伝えられる熱伝達面１ｓと、を有したＸ線管１と、循環流路１０と、循環ポンプ２０と、ベローズ機構と、圧力調整機構６０と、を備えている。ベローズ機構は、冷却液充満空間３３と、ガス充満空間３４と、に隔て、水系の冷却液３の温度変化による体積変化を吸収する伸縮自在のベローズ３２を有している。圧力調整機構６０は、ベローズ機構のガス充満空間３４に連通され、ガス充満空間のガスの圧力を調整可能である。 （もっと読む）

【課題】冷却液による壊食を低減することができ、長期にわたって信頼性が高く、冷却性能に優れた熱移動システム及び熱移動システムの動作方法を提供する。
【解決手段】熱移動システムは、外部からの熱が伝導される冷却液Ｌを収容する冷却流路３と、冷却液を収容する循環流路３０と、循環ポンプ１００と、冷却液充満領域７１と、脱気空間領域７２と、導入口７３と、排出口７４と、排気口７５とを有し、導入口７３、排出口７４及び排気口７５を閉じた状態で気密性を保持可能である容器と、排気口７５に気密に取付けられ、脱気空間領域７２のガスを排気し、脱気空間領域７２を減圧させるアスピレータ式の真空発生器１０と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】ターゲットの位置安定性を改善する。
【解決手段】極端紫外光生成装置は、レーザ装置から出力されるレーザ光をターゲット物質に照射してターゲット物質をプラズマ化することにより極端紫外光を生成する。この装置は、（ｉ）電気伝導性を有する構造部材を含み、レーザ光を導入する貫通孔が形成されたチャンバ２と、（ii）液体ターゲット物質の帯電ターゲットを生成し、チャンバ２内部のプラズマ生成領域２５に向けて帯電ターゲットを供給するターゲット生成器２６であって、帯電ターゲットが通過する貫通孔が形成された電極と、電極を保持する電気絶縁部材と、少なくとも電気絶縁部材とプラズマ生成領域２５との間に配置され、帯電ターゲットが通過する貫通孔が形成された遮蔽部材とを含み、遮蔽部材が電気伝導性を有してチャンバ２の構造部材に電気的に接続されているターゲット生成器２６とを備えてもよい。 （もっと読む）

【課題】ターゲット物質を効率よく加熱し、融点以上の温度を維持する。
【解決手段】ターゲット供給装置は、ターゲット物質を内部に収容したリザーバと、リザーバの内部に配置されたヒータであって、リザーバの内部に収容されたターゲット物質を加熱して溶融させるヒータと、ヒータに電流を供給するヒータ電源と、リザーバの内部において溶融したターゲット物質を外部に出力するターゲット出力部と、を含んでいてもよい。リザーバの周囲を外部から遮蔽する遮蔽部材であって、ターゲット出力部から出力されたドロップレットが通過する貫通孔を有する遮蔽部材をさらに含んでいてもよい。 （もっと読む）