ＵＶナノインプリント成型体及びその製造方法
【課題】ＵＶナノインプリント法で成型され、生産性が良く、光学部品として適用できるために十分な透明性を有するＵＶナノインプリント成型体及びその製造方法を提供すること。
【解決手段】本発明のＵＶナノインプリント成型体は、樹脂全体に対して０．０１重量％〜０．２重量％のテトラキスペンタフルオロボレートと、前記樹脂全体に対して１重量％〜５重量％のヘキサフルオロホスフェートと、を含有する光酸発生剤と、カチオン反応系モノマーと、を含むカチオン系ＵＶ硬化樹脂を所定形状のキャビティを有する型に流入し、前記カチオン系ＵＶ硬化樹脂にＵＶ光を照射することにより、前記カチオン系ＵＶ硬化樹脂を硬化させることにより得られる。
【解決手段】本発明のＵＶナノインプリント成型体は、樹脂全体に対して０．０１重量％〜０．２重量％のテトラキスペンタフルオロボレートと、前記樹脂全体に対して１重量％〜５重量％のヘキサフルオロホスフェートと、を含有する光酸発生剤と、カチオン反応系モノマーと、を含むカチオン系ＵＶ硬化樹脂を所定形状のキャビティを有する型に流入し、前記カチオン系ＵＶ硬化樹脂にＵＶ光を照射することにより、前記カチオン系ＵＶ硬化樹脂を硬化させることにより得られる。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光学部品などに用いられるＵＶナノインプリント成型体及びその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
ナノインプリント技術は、射出成型では不可能なナノメータサイズからマイクロメータサイズの部品を、金型を使いて基材に転写する方法であり、ＵＶ（Ultra-Violet）ナノインプリント法と熱ナノインプリント法の２種類がある。ＵＶナノインプリント法は、金型に流入したＵＶ硬化樹脂にＵＶ光を照射してＵＶ硬化樹脂を硬化させて成型する方法であり、熱ナノインプリント法は、金型に流入した熱可塑性樹脂に熱及び圧力を加えて成型する方法である。ＵＶナノインプリント法では、硬化時間が数秒程度で短いが、ＵＶ硬化樹脂材料の種類が少ない。一方、熱ナノインプリント法では、加熱冷却工程があるため、成形時間が比較的長いが、熱可塑性材料の種類が多い。このように、両ナノインプリント法にはそれぞれ長所・短所があるが、生産性を考慮すると、ＵＶナノインプリント法が望ましい方法である。
【０００３】
ＵＶナノインプリント法に使用されるＵＶ硬化樹脂としては、ラジカル反応によるアクリル系のＵＶ硬化樹脂や、カチオン系ＵＶ硬化樹脂がある。カチオン系ＵＶ硬化樹脂は、ラジカル系ＵＶ硬化樹脂と比べて、耐熱性、密着性、酸素阻害（大気中で表面が硬化しない）が無いなどの優れた点がある（特許文献１）。
【０００４】
カチオン系ＵＶ硬化樹脂の硬化反応を決定する要因は、光酸発生剤とモノマーの種類である。光酸発生剤は、ＵＶ光照射で酸を発生させるものであり、その酸の強度と反応速度は比例しており、酸の強度が強ければ、反応速度が速くなる。市販されている光酸発生剤の強度は、アニオンの種類で、例えば、テトラキスペンタフルオロフェニルボレート＞ヘキサフルオロアンチモン＞ヘキサフルオロホスフェートの順である。
【特許文献１】国際公開第２００５／０１９２９９号パンフレット
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ＵＶナノインプリント法においては、硬化時間が短いことが要求され、さらに得られたナノインプリント成型体を光学部品に適用する場合は、併せて硬化後に変色が小さいことも要求される。カチオン系ＵＶ硬化樹脂に、硬化速度が速いテトラキスペンタフルオロボレートを適正量使用して硬化させると、硬化時に変色が発生することがある。あるいは、硬化時に変色しない場合でも、その後の加熱工程（加熱温度約１５０℃以上で数分）で変色が発生することがある。これは、高速硬化の光酸発生剤にＵＶ光が照射されると強力な酸が発生して、この酸が硬化後のポリマーも酸分解するからであると考えられる。また、この変色については、ナノインプリント成型体の膜厚やＵＶ光の照射強度に起因する。
【０００６】
ヘキサフルオロアンチモンは、テトラキスペンタフルオロボレートよりは、酸分解による変色は少なく、硬化速度もテトラキスペンタフルオロボレートと大きな差はないが、アンチモンの毒性のために、その使用を規制することが想定される。その点ヘキサフルオロホスフェートは、酸分解に起因する変色がなく毒性も低いが、硬化速度がテトラキスペンタフルオロボレートと比べて数倍遅いので、スループットに直接影響を考慮すると使用することは難しい。このように、ＵＶナノインプリント法で成型され、耐熱性、密着性、酸素阻害に優れると共に、生産性が良く、光学部品として適用できるために十分な透明性を有するＵＶナノインプリント成型体が望まれていた。
【０００７】
本発明はかかる点に鑑みてなされたものであり、ＵＶナノインプリント法で成型され、生産性が良く、光学部品として適用できるために十分な透明性を有するＵＶナノインプリント成型体及びその製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明のＵＶナノインプリント成型体は、カチオン系ＵＶ硬化樹脂を用いてナノインプリント技術により得られたＵＶナノインプリント成型体であって、前記カチオン系ＵＶ硬化樹脂は、カチオン反応系モノマーと、光酸発生剤とを含み、前記光酸発生剤は、前記カチオン系ＵＶ硬化樹脂全体に対して０．０１重量％〜０．２重量％のテトラキスペンタフルオロボレートと、前記カチオン系ＵＶ硬化樹脂全体に対して１重量％〜５重量％のヘキサフルオロホスフェートと、を含有することを特徴とする。
【０００９】
この構成によれば、テトラキスペンタフルオロボレートとヘキサフルオロホスフェートとを適正量含むカチオン系ＵＶ硬化樹脂を用いているので、ＵＶ光が照射された際に発生する酸によりポリマーが酸分解することなく、変色を防止できると共に、硬化速度を高めることが可能となり、光学部品として適用できるために十分な透明性を有するＵＶナノインプリント成型体を実現することができる。
【００１０】
本発明のＵＶナノインプリント成型体においては、前記光酸発生剤は、前記カチオン系ＵＶ硬化樹脂全体に対して０．１重量％のテトラキスペンタフルオロボレートと、前記カチオン系ＵＶ硬化樹脂全体に対して２重量％のヘキサフルオロホスフェートと、を含むことが好ましい。
【００１１】
本発明のＵＶナノインプリント成型体においては、前記ＵＶナノインプリント成型体は、光学部品であることが好ましい。
【００１２】
本発明のＵＶナノインプリント成型体の製造方法は、樹脂全体に対して０．０１重量％〜０．２重量％のテトラキスペンタフルオロボレートと、前記樹脂全体に対して１重量％〜５重量％のヘキサフルオロホスフェートと、を含有する光酸発生剤と、カチオン反応系モノマーと、を含むカチオン系ＵＶ硬化樹脂を所定形状のキャビティを有する型に流入する工程と、前記カチオン系ＵＶ硬化樹脂にＵＶ光を照射することにより、前記カチオン系ＵＶ硬化樹脂を硬化させて前記所定形状のナノインプリント成型体を得る工程と、を具備することを特徴とする。
【００１３】
この方法によれば、テトラキスペンタフルオロボレートとヘキサフルオロホスフェートとを適正量含むカチオン系ＵＶ硬化樹脂を用いているので、ＵＶ光が照射された際に発生する酸によりポリマーが酸分解することなく、変色を防止できると共に、硬化速度を高めることが可能となる。これにより、光学部品として適用できるために十分な透明性を有するＵＶナノインプリント成型体を得ることができる。
【発明の効果】
【００１４】
本発明のＵＶナノインプリント成型体は、カチオン反応系モノマーと、光酸発生剤とを含み、前記光酸発生剤は、前記カチオン系ＵＶ硬化樹脂全体に対して０．０１重量％〜０．２重量％のテトラキスペンタフルオロボレートと、前記カチオン系ＵＶ硬化樹脂全体に対して１重量％〜５重量％のヘキサフルオロホスフェートと、を含有するカチオン系ＵＶ硬化樹脂を用いるので、生産性が良く、光学部品として適用できるために十分な透明性を有するものである。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下、本発明の実施の形態について、添付図面を参照して詳細に説明する。
本発明に係るＵＶナノインプリント成型体は、カチオン系ＵＶ硬化樹脂を用いてナノインプリント技術により得られたものであり、カチオン系ＵＶ硬化樹脂が、カチオン反応系モノマーと、光酸発生剤とを含み、その光酸発生剤が、カチオン系ＵＶ硬化樹脂全体に対して０．０１重量％〜０．２重量％のテトラキスペンタフルオロボレートと、カチオン系ＵＶ硬化樹脂全体に対して１重量％〜５重量％のヘキサフルオロホスフェートと、を含有することを特徴とする。
【００１６】
カチオン系ＵＶ硬化樹脂に含まれるカチオン反応系モノマーとしては、ビスフェノールＡ（又はビスフェノールＦ）グリシジルエーテル、脂環型エポキシ、オキセタン、ビニルエーテル、フルオレンエポキシ、ナフタレンエポキシなどが挙げられる。
【００１７】
カチオン系ＵＶ硬化樹脂に含まれる光酸発生剤は、カチオン系ＵＶ硬化樹脂全体に対して０．０１重量％〜０．２重量％のテトラキスペンタフルオロボレートと、カチオン系ＵＶ硬化樹脂全体に対して１重量％〜５重量％のヘキサフルオロホスフェートと、を含有する。テトラキスペンタフルオロボレートとヘキサフルオロホスフェートとを適正量含むことにより、ＵＶ光が照射された際に発生する酸によりポリマーが酸分解することなく、変色を防止できると共に、硬化速度を高めることが可能となる。これにより、光学部品として適用できるために十分な透明性を有するＵＶナノインプリント成型体を得ることができる。特に、光酸発生剤は、カチオン系ＵＶ硬化樹脂全体に対して０．１重量％のテトラキスペンタフルオロボレートと、カチオン系ＵＶ硬化樹脂全体に対して２重量％のヘキサフルオロホスフェートとを含むことが好ましい。
【００１８】
カチオン系ＵＶ硬化樹脂は、本発明の効果を損なわない質的、量的範囲内で他の成分を含有しても良い。例えば、カチオン系ＵＶ硬化樹脂は、ＵＶナノインプリント成型体を光学部品に適用する場合などには、高屈折率成分を含有させても良く、ＵＶ光の吸収率を高めるために、増感剤などを含有させても良い。
【００１９】
上記カチオン系ＵＶ硬化樹脂を用いて成型されたＵＶナノインプリント成型体は、光導波路型照光フィルム、光導波路、レンズなどの光学部品に適用することができる。
【００２０】
このように、本発明に係るＵＶナノインプリント成型体は、テトラキスペンタフルオロボレートとヘキサフルオロホスフェートとを適正量含むカチオン系ＵＶ硬化樹脂を用いているので、生産性が良く、光学部品として適用できるために十分な透明性を有するものである。また、このＵＶナノインプリント成型体は、カチオン系ＵＶ硬化樹脂を用いているので、耐熱性、密着性、酸素阻害のない優れた特性を持つ。
【００２１】
次に、本発明のＵＶナノインプリント成型体の製造方法について説明する。本発明のＵＶナノインプリント成型体の製造方法においては、樹脂全体に対して０．０１重量％〜０．２重量％のテトラキスペンタフルオロボレートと、前記樹脂全体に対して１重量％〜５重量％のヘキサフルオロホスフェートと、を含有する光酸発生剤と、カチオン反応系モノマーと、を含むカチオン系ＵＶ硬化樹脂を所定形状のキャビティを有する型に流入し、前記カチオン系ＵＶ硬化樹脂にＵＶ光を照射することにより、前記カチオン系ＵＶ硬化樹脂を硬化させて前記所定形状のナノインプリント成型体を得る。
【００２２】
ＵＶナノインプリント成型体は、例えば、図１に示すようにして製造することができる。まず、図１（ａ）に示すように、所定形状のキャビティ（ここでは凹部）１ａを有する金型１のキャビティ１ａ内にＵＶ硬化樹脂２を流入する。次いで、図１（ｂ）に示すように、金型１を真空下において（少なくともキャビティ１ａ領域を枠材３などで覆って真空下において）、真空脱泡を行うことにより、ＵＶ硬化樹脂２に含まれるエア２ａを除去する。次いで、図１（ｃ）に示すように、ＵＶ硬化樹脂２上に透明基材４を置く。次いで、図１（ｄ）に示すように、ローラ５を押圧しながら透明基材４上を移動させてローラ５の押圧力によりＵＶ硬化樹脂２の厚さを均一にする。その後、図１（ｅ）に示すように、ＵＶ硬化樹脂２に対して光源６からＵＶ光を照射してＵＶ硬化樹脂２を硬化させる。そして、図１（ｆ）に示すように、ＵＶ硬化後に、金型１から透明基材４を外すことにより、透明基材４と共にＵＶナノインプリント成型体２’が得られる。
【００２３】
次に、本発明の効果を明確にするために行った実施例について説明する。なお、ＵＶナノインプリント成型体が光学部品に適用される場合について説明する。
（実施例１）
カチオン反応系モノマーとして、オキセタン（ＯＸＴ１０１：東亜合成社製、商品名）を２８重量％、オキセタン（ＯＸＴ２１１：東亜合成社製、商品名）を７重量％含み、脂環式エポキシとして、ＣＥＬ２０２１Ｐ（ダイセル工業社製、商品名）を２０重量％含み、光酸発生剤として、テトラキスヘキサフルオロボレートＰＩ２０７４（ローディア社製、商品名）を０．１３重量％、ペンタフルオロホスフェート イルガキュアＩＲＧＡ２５０（チバスペシャリティケミカルズ社製、商品名）を１．３重量％含み、高屈折率エポキシとして、ナフタレンＨＰ４０３２（大日本インキ社製、商品名）を２２重量％含み、フルオレン オグソールＥＧ０１（大阪ガス社製、商品名）を２２重量％含み、増感剤として、イルガキュアＩＲＧＡ１８４（チバスペシャリティケミカルズ社製、商品名）を０．４重量％含むカチオン系ＵＶ硬化樹脂を準備した。これらの組成比については、下記表１に示す。
【００２４】
上記カチオン系ＵＶ硬化樹脂を用いて、図１に示すようにして、ＵＶナノインプリント成型体を成型した。このとき、ＵＶ光の照射エネルギーを０ｍＪ／ｃｍ２、５０ｍＪ／ｃｍ２、１００ｍＪ／ｃｍ２、２００ｍＪ／ｃｍ２、５００ｍＪ／ｃｍ２、１０００ｍＪ／ｃｍ２と変えてその硬化速度を調べた。その結果を図２に示す。なお、硬化速度（反応性の評価）においては、エポキシ系の場合、反応（重合）が進むとエーテル構造が増え、それに起因する１０６９ｃｍ−１の赤外線吸収が増加するので、赤外線分光計を用いて１０６９ｃｍ−１の吸収と、他の赤外線吸収（１２２２ｃｍ−１）とを調べ、１０６９ｃｍ−１の吸収を１２２２ｃｍ−１の吸収で規格化し、その結果を重合の度合として、硬化速度として評価した（図３参照）。すなわち、一定のＵＶ光の強度でその吸収の増加量が時間当たり大きいほど硬化速度が速いことになる。
【００２５】
また、上記のカチオン系ＵＶ硬化樹脂を用いて、ＵＶ光の照射強度を２００ｍＪ／ｃｍ２でＵＶ硬化してなるＵＶナノインプリント成型体を、温度２６０℃、２分間の鉛フリー半田のリフロー工程に供し、その際の変色を調べた。その結果を下記表１に併記した。変色の評価としては、目視で明らかな褐変が認められない場合を○とし、認められた場合を×とした。
【００２６】
（実施例２）
カチオン反応系モノマーとして、オキセタン（ＯＸＴ１０１：東亜合成社製、商品名）を２７重量％、オキセタン（ＯＸＴ２１１：東亜合成社製、商品名）を７重量％含み、脂環式エポキシとして、ＣＥＬ２０２１Ｐ（ダイセル工業社製、商品名）を２０重量％含み、光酸発生剤として、テトラキスヘキサフルオロボレートＰＩ２０７４（ローディア社製、商品名）を０．１４重量％、ペンタフルオロホスフェート イルガキュアＩＲＧＡ２５０（チバスペシャリティケミカルズ社製、商品名）を２．７重量％含み、高屈折率エポキシとして、ナフタレンＨＰ４０３２（大日本インキ社製、商品名）を２１重量％含み、フルオレン オグソールＥＧ０１（大阪ガス社製、商品名）を２１重量％含み、増感剤として、イルガキュアＩＲＧＡ１８４（チバスペシャリティケミカルズ社製、商品名）を０．４重量％含むカチオン系ＵＶ硬化樹脂を準備した。
【００２７】
実施例１と同様にして、得られたカチオン系ＵＶ硬化樹脂について、ＵＶ光の照射エネルギーを変えてＵＶ硬化を行ってＵＶナノインプリント成型体を作製し、それらの硬化速度を調べた。その結果を図２に示す。また、実施例１と同様にして、カチオン系ＵＶ硬化樹脂を用いて得られたＵＶナノインプリント成型体の変色を調べた。その結果を下記表１に併記した。
【００２８】
（比較例１）
カチオン反応系モノマーとして、オキセタン（ＯＸＴ１０１：東亜合成社製、商品名）を２８重量％、オキセタン（ＯＸＴ２１１：東亜合成社製、商品名）を７重量％含み、脂環式エポキシとして、ＣＥＬ２０２１Ｐ（ダイセル工業社製、商品名）を２１重量％含み、光酸発生剤として、テトラキスヘキサフルオロボレートＰＩ２０７４（ローディア社製、商品名）を０．１４重量％含み、高屈折率エポキシとして、ナフタレンＨＰ４０３２（大日本インキ社製、商品名）を２１重量％含み、フルオレン オグソールＥＧ０１（大阪ガス社製、商品名）を２１重量％含み、増感剤として、イルガキュアＩＲＧＡ１８４（チバスペシャリティケミカルズ社製、商品名）を０．４重量％含むカチオン系ＵＶ硬化樹脂を準備した。
【００２９】
実施例１と同様にして、得られたカチオン系ＵＶ硬化樹脂について、ＵＶ光の照射エネルギーを変えてＵＶ硬化を行ってＵＶナノインプリント成型体を作製し、それらの硬化速度を調べた。その結果を図２に示す。また、実施例１と同様にして、カチオン系ＵＶ硬化樹脂を用いて得られたＵＶナノインプリント成型体の変色を調べた。その結果を下記表１に併記した。
【００３０】
（比較例２）
カチオン反応系モノマーとして、オキセタン（ＯＸＴ１０１：東亜合成社製、商品名）を２８重量％、オキセタン（ＯＸＴ２１１：東亜合成社製、商品名）を７重量％含み、脂環式エポキシとして、ＣＥＬ２０２１Ｐ（ダイセル工業社製、商品名）を２３重量％含み、光酸発生剤として、テトラキスヘキサフルオロボレートＰＩ２０７４（ローディア社製、商品名）を０．５４重量％含み、高屈折率エポキシとして、ナフタレンＨＰ４０３２（大日本インキ社製、商品名）を２１重量％含み、フルオレン オグソールＥＧ０１（大阪ガス社製、商品名）を２１重量％含み、増感剤として、イルガキュアＩＲＧＡ１８４（チバスペシャリティケミカルズ社製、商品名）を０．４重量％含むカチオン系ＵＶ硬化樹脂を準備した。
【００３１】
実施例１と同様にして、得られたカチオン系ＵＶ硬化樹脂について、ＵＶ光の照射エネルギーを変えてＵＶ硬化を行ってＵＶナノインプリント成型体を作製し、それらの硬化速度を調べた。その結果を図２に示す。また、実施例１と同様にして、カチオン系ＵＶ硬化樹脂を用いて得られたＵＶナノインプリント成型体の変色を調べた。その結果を下記表１に併記した。
【００３２】
（比較例３）
カチオン反応系モノマーとして、オキセタン（ＯＸＴ１０１：東亜合成社製、商品名）を２８重量％、オキセタン（ＯＸＴ２１１：東亜合成社製、商品名）を７重量％含み、脂環式エポキシとして、ＣＥＬ２０２１Ｐ（ダイセル工業社製、商品名）を２２重量％含み、光酸発生剤として、ペンタフルオロホスフェート イルガキュアＩＲＧＡ２５０（チバスペシャリティケミカルズ社製、商品名）を２．６重量％含み、高屈折率エポキシとして、ナフタレンＨＰ４０３２（大日本インキ社製、商品名）を２１重量％含み、フルオレン オグソールＥＧ０１（大阪ガス社製、商品名）を２１重量％含み、増感剤として、イルガキュアＩＲＧＡ１８４（チバスペシャリティケミカルズ社製、商品名）を０．４重量％含むカチオン系ＵＶ硬化樹脂を準備した。
【００３３】
実施例１と同様にして、得られたカチオン系ＵＶ硬化樹脂について、ＵＶ光の照射エネルギーを変えてＵＶ硬化を行ってＵＶナノインプリント成型体を作製し、それらの硬化速度を調べた。その結果を図２に示す。また、実施例１と同様にして、カチオン系ＵＶ硬化樹脂を用いて得られたＵＶナノインプリント成型体の変色を調べた。その結果を下記表１に併記した。
【表１】
【００３４】
図２及び表１から分かるように、本発明に係るＵＶナノインプリント成型体（実施例１及び実施例２）は、テトラキスペンタフルオロボレートとヘキサフルオロホスフェートとが適正量で含まれているので、低い照射エネルギーで硬化が進んでおり、硬化速度が速くまた最終的な重合の度合いが高かった。また、本発明に係るＵＶナノインプリント成型体（実施例１及び実施例２）は、変色が非常に小さいものであった。一方、比較例１のＵＶナノインプリント成型体は、変色は小さいものの光酸発生剤としての効果が少なすぎ、硬化速度が遅く、また十分に照射エネルギーを与えても重合の度合いが高くならなかった。また、比較例２のＵＶナノインプリント成型体は、光酸発生剤としてテトラキスペンタフルオロボレートのみを用いているので、硬化速度が速いが、変色が発生した。また、比較例３のＵＶナノインプリント成型体は、光酸発生剤としてヘキサフルオロホスフェートのみを用いているので、変色は抑えられているが、硬化速度が遅く、重合の度合いも高くならなかった。また、実施例２と比較例３とを比較すると、実施例２の方が、光酸発生剤が半分程度と少なく光学特性に優れるにもかかわらず硬化速度も最終的な重合の度合いも高かった。
【００３５】
本発明は上記実施の形態に限定されず、種々変更して実施することが可能である。本発明は、図１に示すＵＶナノインプリント成型体の製造方法に限定されず、適宜変更して実施することができる。また、上記実施の形態においては、ＵＶナノインプリント成型体が光学部品に適用される場合について説明しているが、本発明はこれに限定されず、ＵＶナノインプリント成型体が他の用途に用いられる場合にも同様に適用することができる。その他、本発明の目的の範囲を逸脱しない限りにおいて適宜変更することが可能である。
【産業上の利用可能性】
【００３６】
本発明のＵＶナノインプリント成型体は、光導波路型照光フィルム、光導波路、レンズなどの光学部品に適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００３７】
【図１】（ａ）〜（ｆ）は、本発明の実施の形態に係るＵＶナノインプリント成型体の製造方法を説明するための図である。
【図２】赤外線吸収を規格化した結果とＵＶ照射エネルギーとの間の関係を示す図である。
【図３】赤外線吸収と波数との関係を示すＩＲチャートである。
【符号の説明】
【００３８】
１ 金型
２ ＵＶ硬化樹脂
２’ ＵＶナノインプリント成型体
３ 枠体
４ 透明基材
５ ローラ
６ 光源
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光学部品などに用いられるＵＶナノインプリント成型体及びその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
ナノインプリント技術は、射出成型では不可能なナノメータサイズからマイクロメータサイズの部品を、金型を使いて基材に転写する方法であり、ＵＶ（Ultra-Violet）ナノインプリント法と熱ナノインプリント法の２種類がある。ＵＶナノインプリント法は、金型に流入したＵＶ硬化樹脂にＵＶ光を照射してＵＶ硬化樹脂を硬化させて成型する方法であり、熱ナノインプリント法は、金型に流入した熱可塑性樹脂に熱及び圧力を加えて成型する方法である。ＵＶナノインプリント法では、硬化時間が数秒程度で短いが、ＵＶ硬化樹脂材料の種類が少ない。一方、熱ナノインプリント法では、加熱冷却工程があるため、成形時間が比較的長いが、熱可塑性材料の種類が多い。このように、両ナノインプリント法にはそれぞれ長所・短所があるが、生産性を考慮すると、ＵＶナノインプリント法が望ましい方法である。
【０００３】
ＵＶナノインプリント法に使用されるＵＶ硬化樹脂としては、ラジカル反応によるアクリル系のＵＶ硬化樹脂や、カチオン系ＵＶ硬化樹脂がある。カチオン系ＵＶ硬化樹脂は、ラジカル系ＵＶ硬化樹脂と比べて、耐熱性、密着性、酸素阻害（大気中で表面が硬化しない）が無いなどの優れた点がある（特許文献１）。
【０００４】
カチオン系ＵＶ硬化樹脂の硬化反応を決定する要因は、光酸発生剤とモノマーの種類である。光酸発生剤は、ＵＶ光照射で酸を発生させるものであり、その酸の強度と反応速度は比例しており、酸の強度が強ければ、反応速度が速くなる。市販されている光酸発生剤の強度は、アニオンの種類で、例えば、テトラキスペンタフルオロフェニルボレート＞ヘキサフルオロアンチモン＞ヘキサフルオロホスフェートの順である。
【特許文献１】国際公開第２００５／０１９２９９号パンフレット
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ＵＶナノインプリント法においては、硬化時間が短いことが要求され、さらに得られたナノインプリント成型体を光学部品に適用する場合は、併せて硬化後に変色が小さいことも要求される。カチオン系ＵＶ硬化樹脂に、硬化速度が速いテトラキスペンタフルオロボレートを適正量使用して硬化させると、硬化時に変色が発生することがある。あるいは、硬化時に変色しない場合でも、その後の加熱工程（加熱温度約１５０℃以上で数分）で変色が発生することがある。これは、高速硬化の光酸発生剤にＵＶ光が照射されると強力な酸が発生して、この酸が硬化後のポリマーも酸分解するからであると考えられる。また、この変色については、ナノインプリント成型体の膜厚やＵＶ光の照射強度に起因する。
【０００６】
ヘキサフルオロアンチモンは、テトラキスペンタフルオロボレートよりは、酸分解による変色は少なく、硬化速度もテトラキスペンタフルオロボレートと大きな差はないが、アンチモンの毒性のために、その使用を規制することが想定される。その点ヘキサフルオロホスフェートは、酸分解に起因する変色がなく毒性も低いが、硬化速度がテトラキスペンタフルオロボレートと比べて数倍遅いので、スループットに直接影響を考慮すると使用することは難しい。このように、ＵＶナノインプリント法で成型され、耐熱性、密着性、酸素阻害に優れると共に、生産性が良く、光学部品として適用できるために十分な透明性を有するＵＶナノインプリント成型体が望まれていた。
【０００７】
本発明はかかる点に鑑みてなされたものであり、ＵＶナノインプリント法で成型され、生産性が良く、光学部品として適用できるために十分な透明性を有するＵＶナノインプリント成型体及びその製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明のＵＶナノインプリント成型体は、カチオン系ＵＶ硬化樹脂を用いてナノインプリント技術により得られたＵＶナノインプリント成型体であって、前記カチオン系ＵＶ硬化樹脂は、カチオン反応系モノマーと、光酸発生剤とを含み、前記光酸発生剤は、前記カチオン系ＵＶ硬化樹脂全体に対して０．０１重量％〜０．２重量％のテトラキスペンタフルオロボレートと、前記カチオン系ＵＶ硬化樹脂全体に対して１重量％〜５重量％のヘキサフルオロホスフェートと、を含有することを特徴とする。
【０００９】
この構成によれば、テトラキスペンタフルオロボレートとヘキサフルオロホスフェートとを適正量含むカチオン系ＵＶ硬化樹脂を用いているので、ＵＶ光が照射された際に発生する酸によりポリマーが酸分解することなく、変色を防止できると共に、硬化速度を高めることが可能となり、光学部品として適用できるために十分な透明性を有するＵＶナノインプリント成型体を実現することができる。
【００１０】
本発明のＵＶナノインプリント成型体においては、前記光酸発生剤は、前記カチオン系ＵＶ硬化樹脂全体に対して０．１重量％のテトラキスペンタフルオロボレートと、前記カチオン系ＵＶ硬化樹脂全体に対して２重量％のヘキサフルオロホスフェートと、を含むことが好ましい。
【００１１】
本発明のＵＶナノインプリント成型体においては、前記ＵＶナノインプリント成型体は、光学部品であることが好ましい。
【００１２】
本発明のＵＶナノインプリント成型体の製造方法は、樹脂全体に対して０．０１重量％〜０．２重量％のテトラキスペンタフルオロボレートと、前記樹脂全体に対して１重量％〜５重量％のヘキサフルオロホスフェートと、を含有する光酸発生剤と、カチオン反応系モノマーと、を含むカチオン系ＵＶ硬化樹脂を所定形状のキャビティを有する型に流入する工程と、前記カチオン系ＵＶ硬化樹脂にＵＶ光を照射することにより、前記カチオン系ＵＶ硬化樹脂を硬化させて前記所定形状のナノインプリント成型体を得る工程と、を具備することを特徴とする。
【００１３】
この方法によれば、テトラキスペンタフルオロボレートとヘキサフルオロホスフェートとを適正量含むカチオン系ＵＶ硬化樹脂を用いているので、ＵＶ光が照射された際に発生する酸によりポリマーが酸分解することなく、変色を防止できると共に、硬化速度を高めることが可能となる。これにより、光学部品として適用できるために十分な透明性を有するＵＶナノインプリント成型体を得ることができる。
【発明の効果】
【００１４】
本発明のＵＶナノインプリント成型体は、カチオン反応系モノマーと、光酸発生剤とを含み、前記光酸発生剤は、前記カチオン系ＵＶ硬化樹脂全体に対して０．０１重量％〜０．２重量％のテトラキスペンタフルオロボレートと、前記カチオン系ＵＶ硬化樹脂全体に対して１重量％〜５重量％のヘキサフルオロホスフェートと、を含有するカチオン系ＵＶ硬化樹脂を用いるので、生産性が良く、光学部品として適用できるために十分な透明性を有するものである。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下、本発明の実施の形態について、添付図面を参照して詳細に説明する。
本発明に係るＵＶナノインプリント成型体は、カチオン系ＵＶ硬化樹脂を用いてナノインプリント技術により得られたものであり、カチオン系ＵＶ硬化樹脂が、カチオン反応系モノマーと、光酸発生剤とを含み、その光酸発生剤が、カチオン系ＵＶ硬化樹脂全体に対して０．０１重量％〜０．２重量％のテトラキスペンタフルオロボレートと、カチオン系ＵＶ硬化樹脂全体に対して１重量％〜５重量％のヘキサフルオロホスフェートと、を含有することを特徴とする。
【００１６】
カチオン系ＵＶ硬化樹脂に含まれるカチオン反応系モノマーとしては、ビスフェノールＡ（又はビスフェノールＦ）グリシジルエーテル、脂環型エポキシ、オキセタン、ビニルエーテル、フルオレンエポキシ、ナフタレンエポキシなどが挙げられる。
【００１７】
カチオン系ＵＶ硬化樹脂に含まれる光酸発生剤は、カチオン系ＵＶ硬化樹脂全体に対して０．０１重量％〜０．２重量％のテトラキスペンタフルオロボレートと、カチオン系ＵＶ硬化樹脂全体に対して１重量％〜５重量％のヘキサフルオロホスフェートと、を含有する。テトラキスペンタフルオロボレートとヘキサフルオロホスフェートとを適正量含むことにより、ＵＶ光が照射された際に発生する酸によりポリマーが酸分解することなく、変色を防止できると共に、硬化速度を高めることが可能となる。これにより、光学部品として適用できるために十分な透明性を有するＵＶナノインプリント成型体を得ることができる。特に、光酸発生剤は、カチオン系ＵＶ硬化樹脂全体に対して０．１重量％のテトラキスペンタフルオロボレートと、カチオン系ＵＶ硬化樹脂全体に対して２重量％のヘキサフルオロホスフェートとを含むことが好ましい。
【００１８】
カチオン系ＵＶ硬化樹脂は、本発明の効果を損なわない質的、量的範囲内で他の成分を含有しても良い。例えば、カチオン系ＵＶ硬化樹脂は、ＵＶナノインプリント成型体を光学部品に適用する場合などには、高屈折率成分を含有させても良く、ＵＶ光の吸収率を高めるために、増感剤などを含有させても良い。
【００１９】
上記カチオン系ＵＶ硬化樹脂を用いて成型されたＵＶナノインプリント成型体は、光導波路型照光フィルム、光導波路、レンズなどの光学部品に適用することができる。
【００２０】
このように、本発明に係るＵＶナノインプリント成型体は、テトラキスペンタフルオロボレートとヘキサフルオロホスフェートとを適正量含むカチオン系ＵＶ硬化樹脂を用いているので、生産性が良く、光学部品として適用できるために十分な透明性を有するものである。また、このＵＶナノインプリント成型体は、カチオン系ＵＶ硬化樹脂を用いているので、耐熱性、密着性、酸素阻害のない優れた特性を持つ。
【００２１】
次に、本発明のＵＶナノインプリント成型体の製造方法について説明する。本発明のＵＶナノインプリント成型体の製造方法においては、樹脂全体に対して０．０１重量％〜０．２重量％のテトラキスペンタフルオロボレートと、前記樹脂全体に対して１重量％〜５重量％のヘキサフルオロホスフェートと、を含有する光酸発生剤と、カチオン反応系モノマーと、を含むカチオン系ＵＶ硬化樹脂を所定形状のキャビティを有する型に流入し、前記カチオン系ＵＶ硬化樹脂にＵＶ光を照射することにより、前記カチオン系ＵＶ硬化樹脂を硬化させて前記所定形状のナノインプリント成型体を得る。
【００２２】
ＵＶナノインプリント成型体は、例えば、図１に示すようにして製造することができる。まず、図１（ａ）に示すように、所定形状のキャビティ（ここでは凹部）１ａを有する金型１のキャビティ１ａ内にＵＶ硬化樹脂２を流入する。次いで、図１（ｂ）に示すように、金型１を真空下において（少なくともキャビティ１ａ領域を枠材３などで覆って真空下において）、真空脱泡を行うことにより、ＵＶ硬化樹脂２に含まれるエア２ａを除去する。次いで、図１（ｃ）に示すように、ＵＶ硬化樹脂２上に透明基材４を置く。次いで、図１（ｄ）に示すように、ローラ５を押圧しながら透明基材４上を移動させてローラ５の押圧力によりＵＶ硬化樹脂２の厚さを均一にする。その後、図１（ｅ）に示すように、ＵＶ硬化樹脂２に対して光源６からＵＶ光を照射してＵＶ硬化樹脂２を硬化させる。そして、図１（ｆ）に示すように、ＵＶ硬化後に、金型１から透明基材４を外すことにより、透明基材４と共にＵＶナノインプリント成型体２’が得られる。
【００２３】
次に、本発明の効果を明確にするために行った実施例について説明する。なお、ＵＶナノインプリント成型体が光学部品に適用される場合について説明する。
（実施例１）
カチオン反応系モノマーとして、オキセタン（ＯＸＴ１０１：東亜合成社製、商品名）を２８重量％、オキセタン（ＯＸＴ２１１：東亜合成社製、商品名）を７重量％含み、脂環式エポキシとして、ＣＥＬ２０２１Ｐ（ダイセル工業社製、商品名）を２０重量％含み、光酸発生剤として、テトラキスヘキサフルオロボレートＰＩ２０７４（ローディア社製、商品名）を０．１３重量％、ペンタフルオロホスフェート イルガキュアＩＲＧＡ２５０（チバスペシャリティケミカルズ社製、商品名）を１．３重量％含み、高屈折率エポキシとして、ナフタレンＨＰ４０３２（大日本インキ社製、商品名）を２２重量％含み、フルオレン オグソールＥＧ０１（大阪ガス社製、商品名）を２２重量％含み、増感剤として、イルガキュアＩＲＧＡ１８４（チバスペシャリティケミカルズ社製、商品名）を０．４重量％含むカチオン系ＵＶ硬化樹脂を準備した。これらの組成比については、下記表１に示す。
【００２４】
上記カチオン系ＵＶ硬化樹脂を用いて、図１に示すようにして、ＵＶナノインプリント成型体を成型した。このとき、ＵＶ光の照射エネルギーを０ｍＪ／ｃｍ２、５０ｍＪ／ｃｍ２、１００ｍＪ／ｃｍ２、２００ｍＪ／ｃｍ２、５００ｍＪ／ｃｍ２、１０００ｍＪ／ｃｍ２と変えてその硬化速度を調べた。その結果を図２に示す。なお、硬化速度（反応性の評価）においては、エポキシ系の場合、反応（重合）が進むとエーテル構造が増え、それに起因する１０６９ｃｍ−１の赤外線吸収が増加するので、赤外線分光計を用いて１０６９ｃｍ−１の吸収と、他の赤外線吸収（１２２２ｃｍ−１）とを調べ、１０６９ｃｍ−１の吸収を１２２２ｃｍ−１の吸収で規格化し、その結果を重合の度合として、硬化速度として評価した（図３参照）。すなわち、一定のＵＶ光の強度でその吸収の増加量が時間当たり大きいほど硬化速度が速いことになる。
【００２５】
また、上記のカチオン系ＵＶ硬化樹脂を用いて、ＵＶ光の照射強度を２００ｍＪ／ｃｍ２でＵＶ硬化してなるＵＶナノインプリント成型体を、温度２６０℃、２分間の鉛フリー半田のリフロー工程に供し、その際の変色を調べた。その結果を下記表１に併記した。変色の評価としては、目視で明らかな褐変が認められない場合を○とし、認められた場合を×とした。
【００２６】
（実施例２）
カチオン反応系モノマーとして、オキセタン（ＯＸＴ１０１：東亜合成社製、商品名）を２７重量％、オキセタン（ＯＸＴ２１１：東亜合成社製、商品名）を７重量％含み、脂環式エポキシとして、ＣＥＬ２０２１Ｐ（ダイセル工業社製、商品名）を２０重量％含み、光酸発生剤として、テトラキスヘキサフルオロボレートＰＩ２０７４（ローディア社製、商品名）を０．１４重量％、ペンタフルオロホスフェート イルガキュアＩＲＧＡ２５０（チバスペシャリティケミカルズ社製、商品名）を２．７重量％含み、高屈折率エポキシとして、ナフタレンＨＰ４０３２（大日本インキ社製、商品名）を２１重量％含み、フルオレン オグソールＥＧ０１（大阪ガス社製、商品名）を２１重量％含み、増感剤として、イルガキュアＩＲＧＡ１８４（チバスペシャリティケミカルズ社製、商品名）を０．４重量％含むカチオン系ＵＶ硬化樹脂を準備した。
【００２７】
実施例１と同様にして、得られたカチオン系ＵＶ硬化樹脂について、ＵＶ光の照射エネルギーを変えてＵＶ硬化を行ってＵＶナノインプリント成型体を作製し、それらの硬化速度を調べた。その結果を図２に示す。また、実施例１と同様にして、カチオン系ＵＶ硬化樹脂を用いて得られたＵＶナノインプリント成型体の変色を調べた。その結果を下記表１に併記した。
【００２８】
（比較例１）
カチオン反応系モノマーとして、オキセタン（ＯＸＴ１０１：東亜合成社製、商品名）を２８重量％、オキセタン（ＯＸＴ２１１：東亜合成社製、商品名）を７重量％含み、脂環式エポキシとして、ＣＥＬ２０２１Ｐ（ダイセル工業社製、商品名）を２１重量％含み、光酸発生剤として、テトラキスヘキサフルオロボレートＰＩ２０７４（ローディア社製、商品名）を０．１４重量％含み、高屈折率エポキシとして、ナフタレンＨＰ４０３２（大日本インキ社製、商品名）を２１重量％含み、フルオレン オグソールＥＧ０１（大阪ガス社製、商品名）を２１重量％含み、増感剤として、イルガキュアＩＲＧＡ１８４（チバスペシャリティケミカルズ社製、商品名）を０．４重量％含むカチオン系ＵＶ硬化樹脂を準備した。
【００２９】
実施例１と同様にして、得られたカチオン系ＵＶ硬化樹脂について、ＵＶ光の照射エネルギーを変えてＵＶ硬化を行ってＵＶナノインプリント成型体を作製し、それらの硬化速度を調べた。その結果を図２に示す。また、実施例１と同様にして、カチオン系ＵＶ硬化樹脂を用いて得られたＵＶナノインプリント成型体の変色を調べた。その結果を下記表１に併記した。
【００３０】
（比較例２）
カチオン反応系モノマーとして、オキセタン（ＯＸＴ１０１：東亜合成社製、商品名）を２８重量％、オキセタン（ＯＸＴ２１１：東亜合成社製、商品名）を７重量％含み、脂環式エポキシとして、ＣＥＬ２０２１Ｐ（ダイセル工業社製、商品名）を２３重量％含み、光酸発生剤として、テトラキスヘキサフルオロボレートＰＩ２０７４（ローディア社製、商品名）を０．５４重量％含み、高屈折率エポキシとして、ナフタレンＨＰ４０３２（大日本インキ社製、商品名）を２１重量％含み、フルオレン オグソールＥＧ０１（大阪ガス社製、商品名）を２１重量％含み、増感剤として、イルガキュアＩＲＧＡ１８４（チバスペシャリティケミカルズ社製、商品名）を０．４重量％含むカチオン系ＵＶ硬化樹脂を準備した。
【００３１】
実施例１と同様にして、得られたカチオン系ＵＶ硬化樹脂について、ＵＶ光の照射エネルギーを変えてＵＶ硬化を行ってＵＶナノインプリント成型体を作製し、それらの硬化速度を調べた。その結果を図２に示す。また、実施例１と同様にして、カチオン系ＵＶ硬化樹脂を用いて得られたＵＶナノインプリント成型体の変色を調べた。その結果を下記表１に併記した。
【００３２】
（比較例３）
カチオン反応系モノマーとして、オキセタン（ＯＸＴ１０１：東亜合成社製、商品名）を２８重量％、オキセタン（ＯＸＴ２１１：東亜合成社製、商品名）を７重量％含み、脂環式エポキシとして、ＣＥＬ２０２１Ｐ（ダイセル工業社製、商品名）を２２重量％含み、光酸発生剤として、ペンタフルオロホスフェート イルガキュアＩＲＧＡ２５０（チバスペシャリティケミカルズ社製、商品名）を２．６重量％含み、高屈折率エポキシとして、ナフタレンＨＰ４０３２（大日本インキ社製、商品名）を２１重量％含み、フルオレン オグソールＥＧ０１（大阪ガス社製、商品名）を２１重量％含み、増感剤として、イルガキュアＩＲＧＡ１８４（チバスペシャリティケミカルズ社製、商品名）を０．４重量％含むカチオン系ＵＶ硬化樹脂を準備した。
【００３３】
実施例１と同様にして、得られたカチオン系ＵＶ硬化樹脂について、ＵＶ光の照射エネルギーを変えてＵＶ硬化を行ってＵＶナノインプリント成型体を作製し、それらの硬化速度を調べた。その結果を図２に示す。また、実施例１と同様にして、カチオン系ＵＶ硬化樹脂を用いて得られたＵＶナノインプリント成型体の変色を調べた。その結果を下記表１に併記した。
【表１】
【００３４】
図２及び表１から分かるように、本発明に係るＵＶナノインプリント成型体（実施例１及び実施例２）は、テトラキスペンタフルオロボレートとヘキサフルオロホスフェートとが適正量で含まれているので、低い照射エネルギーで硬化が進んでおり、硬化速度が速くまた最終的な重合の度合いが高かった。また、本発明に係るＵＶナノインプリント成型体（実施例１及び実施例２）は、変色が非常に小さいものであった。一方、比較例１のＵＶナノインプリント成型体は、変色は小さいものの光酸発生剤としての効果が少なすぎ、硬化速度が遅く、また十分に照射エネルギーを与えても重合の度合いが高くならなかった。また、比較例２のＵＶナノインプリント成型体は、光酸発生剤としてテトラキスペンタフルオロボレートのみを用いているので、硬化速度が速いが、変色が発生した。また、比較例３のＵＶナノインプリント成型体は、光酸発生剤としてヘキサフルオロホスフェートのみを用いているので、変色は抑えられているが、硬化速度が遅く、重合の度合いも高くならなかった。また、実施例２と比較例３とを比較すると、実施例２の方が、光酸発生剤が半分程度と少なく光学特性に優れるにもかかわらず硬化速度も最終的な重合の度合いも高かった。
【００３５】
本発明は上記実施の形態に限定されず、種々変更して実施することが可能である。本発明は、図１に示すＵＶナノインプリント成型体の製造方法に限定されず、適宜変更して実施することができる。また、上記実施の形態においては、ＵＶナノインプリント成型体が光学部品に適用される場合について説明しているが、本発明はこれに限定されず、ＵＶナノインプリント成型体が他の用途に用いられる場合にも同様に適用することができる。その他、本発明の目的の範囲を逸脱しない限りにおいて適宜変更することが可能である。
【産業上の利用可能性】
【００３６】
本発明のＵＶナノインプリント成型体は、光導波路型照光フィルム、光導波路、レンズなどの光学部品に適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００３７】
【図１】（ａ）〜（ｆ）は、本発明の実施の形態に係るＵＶナノインプリント成型体の製造方法を説明するための図である。
【図２】赤外線吸収を規格化した結果とＵＶ照射エネルギーとの間の関係を示す図である。
【図３】赤外線吸収と波数との関係を示すＩＲチャートである。
【符号の説明】
【００３８】
１ 金型
２ ＵＶ硬化樹脂
２’ ＵＶナノインプリント成型体
３ 枠体
４ 透明基材
５ ローラ
６ 光源
【特許請求の範囲】
【請求項１】
カチオン系ＵＶ硬化樹脂を用いてナノインプリント技術により得られたＵＶナノインプリント成型体であって、前記カチオン系ＵＶ硬化樹脂は、カチオン反応系モノマーと、光酸発生剤とを含み、前記光酸発生剤は、前記カチオン系ＵＶ硬化樹脂全体に対して０．０１重量％〜０．２重量％のテトラキスペンタフルオロボレートと、前記カチオン系ＵＶ硬化樹脂全体に対して１重量％〜５重量％のヘキサフルオロホスフェートと、を含有することを特徴とするＵＶナノインプリント成型体。
【請求項２】
前記光酸発生剤は、前記カチオン系ＵＶ硬化樹脂全体に対して０．１重量％のテトラキスペンタフルオロボレートと、前記カチオン系ＵＶ硬化樹脂全体に対して２重量％のヘキサフルオロホスフェートと、を含むことを特徴とする請求項１記載のＵＶナノインプリント成型体。
【請求項３】
前記ＵＶナノインプリント成型体は、光学部品であることを特徴とする請求項１又は請求項２記載のＵＶナノインプリント成型体。
【請求項４】
樹脂全体に対して０．０１重量％〜０．２重量％のテトラキスペンタフルオロボレートと、前記樹脂全体に対して１重量％〜５重量％のヘキサフルオロホスフェートと、を含有する光酸発生剤と、カチオン反応系モノマーと、を含むカチオン系ＵＶ硬化樹脂を所定形状のキャビティを有する型に流入する工程と、前記カチオン系ＵＶ硬化樹脂にＵＶ光を照射することにより、前記カチオン系ＵＶ硬化樹脂を硬化させて前記所定形状のナノインプリント成型体を得る工程と、を具備することを特徴とするＵＶナノインプリント成型体の製造方法。
【請求項１】
カチオン系ＵＶ硬化樹脂を用いてナノインプリント技術により得られたＵＶナノインプリント成型体であって、前記カチオン系ＵＶ硬化樹脂は、カチオン反応系モノマーと、光酸発生剤とを含み、前記光酸発生剤は、前記カチオン系ＵＶ硬化樹脂全体に対して０．０１重量％〜０．２重量％のテトラキスペンタフルオロボレートと、前記カチオン系ＵＶ硬化樹脂全体に対して１重量％〜５重量％のヘキサフルオロホスフェートと、を含有することを特徴とするＵＶナノインプリント成型体。
【請求項２】
前記光酸発生剤は、前記カチオン系ＵＶ硬化樹脂全体に対して０．１重量％のテトラキスペンタフルオロボレートと、前記カチオン系ＵＶ硬化樹脂全体に対して２重量％のヘキサフルオロホスフェートと、を含むことを特徴とする請求項１記載のＵＶナノインプリント成型体。
【請求項３】
前記ＵＶナノインプリント成型体は、光学部品であることを特徴とする請求項１又は請求項２記載のＵＶナノインプリント成型体。
【請求項４】
樹脂全体に対して０．０１重量％〜０．２重量％のテトラキスペンタフルオロボレートと、前記樹脂全体に対して１重量％〜５重量％のヘキサフルオロホスフェートと、を含有する光酸発生剤と、カチオン反応系モノマーと、を含むカチオン系ＵＶ硬化樹脂を所定形状のキャビティを有する型に流入する工程と、前記カチオン系ＵＶ硬化樹脂にＵＶ光を照射することにより、前記カチオン系ＵＶ硬化樹脂を硬化させて前記所定形状のナノインプリント成型体を得る工程と、を具備することを特徴とするＵＶナノインプリント成型体の製造方法。
【図１】
【図２】
【図３】
【図２】
【図３】
【公開番号】特開２０１０−１４１９（Ｐ２０１０−１４１９Ａ）
【公開日】平成２２年１月７日（２０１０．１．７）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００８−１６２９４２（Ｐ２００８−１６２９４２）
【出願日】平成２０年６月２３日（２００８．６．２３）
【出願人】（００００１００９８）アルプス電気株式会社 (4,263)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２２年１月７日（２０１０．１．７）
【国際特許分類】
【出願日】平成２０年６月２３日（２００８．６．２３）
【出願人】（００００１００９８）アルプス電気株式会社 (4,263)
【Ｆターム（参考）】
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