【課題】洗浄液供給システムで生成する過硫酸濃度を迅速に測定して洗浄側に供給する溶液の過硫酸濃度の制御を可能にする。
【解決手段】硫酸溶液の電解反応により、過硫酸イオンを生成する電解反応装置と、電解反応装置で生成した過硫酸イオンを含む硫酸溶液を洗浄液の一部又は全部として被洗浄材を洗浄する洗浄側に供給可能にし、洗浄側から返流される洗浄液として使用した硫酸溶液を受け、硫酸溶液の一部又は全部を電解反応装置に供給する循環ラインと、硫酸溶液を貯留して電解反応装置との間で硫酸溶液を循環し、１０〜９０℃に調整された硫酸溶液が返流側の循環ラインから導入されるとともに、貯留槽内の硫酸溶液が送出側の循環ラインに送られて１００〜１７０℃に加熱されて洗浄側に供給される貯留槽と、貯留槽内の硫酸溶液中の過硫酸濃度を測定する過硫酸濃度測定装置を備える。 （もっと読む）

【課題】尿素などの有機物であっても高精度に測定することができる溶存物質濃度の測定方法及び装置を提供する。
【解決手段】白金族金属触媒３ａを充填したカラム３に水素供給配管４から水素水を通水する工程と、次いで溶存酸素及び尿素を含有する試料水をカラム３に通水する工程と、次いで水素供給配管４から水素水をカラム３に通水し、流出水の抵抗率を抵抗率計７で測定する工程とを有する。濃度既知の試料水を用いて作成した検量線に基づいて濃度未知の試料水中の尿素濃度を求める。 （もっと読む）

【課題】高濃度に過酸化水素を含有する銅エッチング廃液中の過酸化水素を効率的に分解処理する。
【解決手段】過酸化水素を含む銅エッチング廃液をｐＨ４以上に調整する銅エッチング廃液の処理方法。通常ｐＨ３以下の強酸性液である銅エッチング廃液のｐＨを４以上に調整すると、銅を含有するＳＳが発生し、発生したＳＳが過酸化水素の分解触媒として機能するようになるため、銅エッチング廃液をｐＨ４以上に調整するのみで、希釈や加熱を必要とすることなく、また、ｐＨ調整のためのアルカリ剤以外の薬品を必要とすることなく、銅エッチング廃液中の過酸化水素を効率的に分解することができる。 （もっと読む）

【課題】ＳＰＭ法において、ウエハ等を効果的に洗浄することを可能にし、所望によっては洗浄後の溶液の循環使用を可能にする。
【解決手段】洗浄方法として、硫酸溶液と過酸化水素水とを混合した後、混合液を加熱して被洗浄材の洗浄に供するものとし、洗浄システムでは、硫酸溶液と過酸化水素水とを混合して貯液する混合貯液部と、前記混合貯液部から供給される混合液を通液しつつ加熱する加熱器と、前記加熱器から供給される加熱混合液を洗浄液として用いる洗浄部と、を備えるものとすることで、硫酸溶液と過酸化水素水との混合によって、酸化力の強い混合溶液が得られ、混合後、加熱された混合溶液を用いて被洗浄材を効果的に洗浄できる。 （もっと読む）

【課題】集水部材の各集水口からの流入水量の差異を少なくし、効率よく浮上分離処理を行うことができる浮上分離装置を提供する。
【解決手段】浮上槽１と、該浮上槽１内に微細気泡を含む原水を供給するフィードウェル１０と、該浮上槽１内の下部に設けられた、複数の集水口１２を有する集水管１１と、該集水管１１に連なる処理水取出管１３，１４とを備えた浮上分離装置において、少なくとも一部の集水口は、それよりも処理水取出管１３又は１４までの距離が小さい集水口よりも口径が大きいことを特徴とする浮上分離装置。 （もっと読む）

【課題】高い濾過性能と長い破過寿命と低い圧力損失とを併せ持つ液体濾過用フィルタと、このフィルタを用いた液体濾過方法とを提供する。
【解決手段】液体濾過用フィルタ１は、筒状有孔芯材２の外周囲に織編物３を巻回したものである。この織編物３は、相当直径１〜１０００ｎｍの複数本の単繊維を集束した繊維束を織編成したものであり、単繊維に、アニオン交換基、カチオン交換基及びキレート基の少なくとも１種の官能基を付与したものである。単繊維を集束して繊維束とし、この繊維束を織編成して織編物とする。 （もっと読む）

【課題】酢酸やさらには過酢酸を含有する排水から過酢酸及び酢酸を十分に除去することができ、しかも処理水中へのアミン類の溶出が防止され、臭気発生が防止される酢酸含有排水の処理方法及び装置を提供する。
【解決手段】オキソニア廃水などの過酢酸含有排水を活性炭塔１に通水して活性炭と接触させた後、アニオン交換塔２に通水してアニオン交換樹脂と接触させ、次いでカチオン交換塔３に通水してカチオン交換樹脂と接触させる。又は、過酢酸含有排水を活性炭塔１に通水した後、アニオン交換樹脂及びカチオン交換樹脂の混床樹脂塔４に通水する。 （もっと読む）

【課題】反応活性及び流動性に優れた小粒径の炭酸カルシウム粒子を用いて、反応塔にフッ素含有水を一過式で上向流通水することにより、フッ素を効率的に除去、回収する。
【解決手段】反応塔１の下部からフッ素含有水を上向流で通水して、反応塔１内の炭酸カルシウム粒子とフッ素含有水中のフッ素との反応でフッ素をフッ化カルシウムとして除去し、フッ素が除去された処理水を反応塔１の上部より取り出すフッ素含有水の処理方法において、フッ素含有水が通水されている反応塔１に、反応塔１の上部から炭酸カルシウム粒子を投入する。小粒径の炭酸カルシウム粒子を、反応塔１に充填して充填層を形成してからフッ素含有水を通水するのではなく、反応塔１に上向流でフッ素含有水を通水している際に反応塔１の上方から投入することにより、フッ素含有水中のフッ素と効率的に反応させることができる。 （もっと読む）

【課題】主として過熱器や蒸気タービンを有するボイラや、該ボイラと処理水とが混合する前記のボイラにおいて、りん酸塩を多量に添加したり、Ｎａ／ＰＯ₄のモル比を３より大きくすることなく、ボイラ水のｐＨをより効率的に維持し、ボイラ缶内だけでなく給復水も含めたボイラ全系を防食できる防食剤を提供する。
【解決手段】下記一般式（１）で表されるアミン化合物を含むボイラ用防食剤、及び脱酸素剤と、前記一般式（１）で表されるアミン化合物を含むボイラ用防食剤である。
ＮＨ₂−（ＣＨ₂）_m−Ｏ−（ＣＨ₂）_n−ＯＨ （１）
（式中、ｍ及びｎは、それぞれ独立に１〜３の整数を示す。） （もっと読む）

【課題】 原水中のＴＯＣ、特に尿素を高度に分解することができる水処理方法を提供する。
【解決手段】 原水Ｗを前処理システム１に供給して、原水Ｗ中の濁質成分を除去する。熱交換器２により、この前処理した原水Ｗの温度調節を実施する。続いて、原水Ｗを酸化反応槽３に供給し、この酸化反応槽３に水溶性臭化物塩及び酸化剤を添加することにより原水Ｗ中の尿素を粗除去を行う。続いて、この原水Ｗを生物処理手段５に通水する。このとき、第三の供給機構８により易分解性有機物又はアンモニア性の窒素源を添加することにより、残存する尿素の除去性能を高める。 （もっと読む）