【課題】電子材料上のレジストを短時間で確実に剥離除去する。
【解決手段】電子材料を過硫酸含有硫酸溶液で洗浄してレジストを剥離洗浄し、その後ガス溶解水でウェット洗浄する。過硫酸含有硫酸溶液によるレジスト剥離後のウェット洗浄を、ガス溶解水を用いて行うことにより、洗浄に要する時間を従来法に比べて大幅に短縮することができる。過硫酸含有硫酸溶液は、硫酸溶液を電気分解することによって製造されたものであることが好ましく、レジストの剥離洗浄装置からの過硫酸濃度が低下した硫酸溶液を電解反応装置に送給して再生し、過硫酸濃度を十分に高めた硫酸溶液を洗浄装置に循環することにより、高濃度の過硫酸によりレジストを効率的に剥離除去すると共に、硫酸溶液を繰り返し使用することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】より低コストかつ省資源な洗浄を行うために、ガス溶解水を用いた高圧ジェット洗浄又は二流体洗浄のみにより、超音波洗浄を組み合わせる必要がない程度に十分な洗浄効果をあげる洗浄方法を提供する。
【解決手段】洗浄流体吐出ノズルから洗浄液又は洗浄液と気体との混合流体を被洗浄物に向けて吐出させて、被洗浄物を高圧ジェット洗浄又は二流体洗浄する洗浄方法において、流体吐出ノズルに導入される洗浄液に溶存ガスを含ませる。溶存ガスは、所定の圧力が加えられることにより洗浄液に溶解され、溶存ガスの洗浄液への溶解量は、洗浄液の液温における飽和溶解度を第１飽和溶解度とし、洗浄液の液温を保ったまま所定の圧力を加えた状態における飽和溶解度を第２飽和溶解度とした場合に、第２飽和溶解度と第１飽和溶解度との差の１０〜７０％を第１飽和溶解度に加えたものとする。 （もっと読む）

【課題】生物膜の剥離を防止ないし抑制しつつ、担体から付着気泡を放散させることができる流動床式生物処理装置を提供する。
【解決手段】流動床式生物処理装置１は、筒軸心方向を鉛直方向とした円筒形の槽体２と、該槽体２の軸心位置に配置された駆動軸３と、該駆動軸３に固着された回転翼４と、槽体２の上部に設けられた定置板８と、駆動軸３に設けられた回転板７と、槽体２の上部に設けられた処理水取出トラフ６とを備えている。回転板７が旋回し、浮上担体が回転板７と定置板８のゴム製の下部との間で挟まれて気泡が放散する。 （もっと読む）

【課題】 不純物となる成分を添加することなく、ケイフッ化水素酸の除去、さらにはホウフッ化水素酸の除去を効率よく行うことができ、処理液量を増加させることもなく、不純物の少ない処理液を得ることができ、処理液はそのまま回収して再利用する。
【解決手段】 ガラス加工・洗浄装置１からケイフッ化水素酸含有廃液を第１反応槽３に導入し、無機塩貯槽４から無機の炭酸塩または重炭酸塩を供給してケイフッ化水素酸の無機塩を析出させ、第１分離槽５で固液分離する。第１分離槽５の分離液を第２反応槽７へ導入し、カリウム塩貯槽８からカリウムの炭酸塩または重炭酸塩を供給してホウフッ化水素酸のカリウム塩を析出させ、第２分離槽９で固液分離し、第２分離槽９の分離液は処理液として回収し、加工・洗浄液槽２からフッ化水素酸を含む水溶液を添加して加工液または洗浄液を調製し、ガラス加工・洗浄装置１に供給する。 （もっと読む）

【課題】有機物含有水の生物処理汚泥を分離膜で固液分離し、透過水をＲＯ膜分離処理する有機物含有水の処理において、通常の固液分離処理を停止した状態で、膜の透過水側から濃縮水側へ洗浄液を通液して膜洗浄を行った際に、汚泥から溶出するＴＯＣ成分によるＲＯ膜のフラックス低下を防止して、ＲＯ膜の薬品洗浄頻度を低減すると共に水回収率を高め、安定かつ効率的な処理を行う。
【解決手段】膜洗浄後の固液分離の再開時において、得られる膜透過水をｐＨ９．５以上に調整すると共にスケール防止剤を添加してＲＯ膜分離処理する。ＲＯ給水のｐＨを９．５以上の高アルカリ性に調整すると共にスケール防止剤を添加することにより、汚泥から溶出したＴＯＣ成分のＲＯ膜への吸着を防止すると共に、スライムの発生を抑制することができ、ＲＯ膜フラックスの低下を防止することができる。 （もっと読む）

【課題】ホウ素濃度の極めて低い純水を、高い水回収率で製造することのできる純水製造装置及び純水製造方法を提供する
【解決手段】純水製造装置は、原水Ｗ０を処理する前処理装置５と、前処理装置５からの処理水Ｗ１を脱塩室１１Ａに受け入れて脱イオン処理を行ってホウ素を除去する第１の電気脱イオン装置６Ａと、第１の電気脱イオン装置６Ａからの脱塩水の一部を第１の電気脱イオン装置６Ａの濃縮室に導入して得られた濃縮水Ｗ４を脱塩室１１Ｂに受け入れて脱イオン処理を行ってホウ素を除去する第２の電気脱イオン装置６Ｂとを備え、第２の電気脱イオン装置６Ｂからの脱塩水Ｗ５を第１の電気脱イオン装置６Ａの前段に供給する。 （もっと読む）

【課題】窒素ガスを純水又は超純水に溶解させて窒素ガス溶解水を製造するにあたり、効率的に凝縮水の排出を行うことにより、長期間に亘って連続的かつ安定的に運転可能な窒素ガス溶解水製造方法および窒素ガス溶解水製造システムを提供する。
【解決手段】ガス透過膜２１によって区画された気相室２２及び液相室２３を備えたガス溶解膜モジュール２を用い、窒素ガスを純水又は超純水に溶解させて窒素ガス溶解水を製造する方法において、気相室２２に生じた凝縮水を、気相室２２に接続された凝縮水排出部４に導入し、凝縮水排出部４と気相室２２との接続を遮断する。気相室２２との接続が遮断された状態で凝縮水排出部４に窒素ガスを供給することにより、凝縮水排出部４に導入された凝縮水を排出する。 （もっと読む）

【課題】濃度の高い過酢酸を速やかに生成させることができる過酢酸の製造方法及びそのための装置を提供する。
【解決手段】過硫酸と酢酸とを反応容器内で反応させて過酢酸を含む反応液を生成させ、該反応液を蒸留して過酢酸を得ることを特徴とする過酢酸の製造方法及び装置。蒸留残液中の硫酸を電解酸化処理することにより過硫酸を生成させ、この過硫酸を前記酢酸との反応に供する。電解酸化処理装置は、電極として導電性ダイヤモンド電極を有する。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成と操作により、アミン液中の不可逆的吸着物質を除去して、イオン交換膜の汚染を防除し、セル電圧の上昇および電流効率の低下を防止し、イオン交換膜の安定運転時間を長くするアミン液の再生方法、装置を得る。
【解決手段】 吸収塔１で酸性ガスを吸収させ、再生塔２で１次再生したアミン液を２次再生する際、活性炭、カチオン交換樹脂、アニオン交換樹脂を充填した前処理装置９で前処理した被処理アミン液を、陰極１１および陽極１２間に配置されたバイポーラ膜１３とアニオン交換膜１４間にアミン精製室１５を、アニオン交換膜１４の陽極１２側に酸濃縮室１６を形成し、アミン精製室１５へ被処理アミン液を導入し、アミン精製室１５から精製アミン液を取出し、酸濃縮室１６から酸濃縮液を取出す。 （もっと読む）

【課題】 アルカリなど不純物となる物質を添加することなく、アミンの損失を少なくし、熱安定性酸イオンを効率よく除去してアミン液を高度に精製し、再生することができるアミン液の再生方法および装置を提案する。
【解決手段】 吸収塔１で酸性ガスをアミン液に吸収させ、再生塔２で１次再生して熱分解性酸成分を放出させたリーンアミン液を２次再生する電気透析装置１０として、陰極１１および陽極１２間に配置されたバイポーラ膜１３およびアニオン交換膜１４間にアミン精製室１５を形成し、アニオン交換膜１４の陽極１２側に酸濃縮室１６を形成し、アミン精製室１５へ被処理アミン液を導入し、アミン精製室１５の被処理アミン液中の熱分解性アミン塩が残留するように電気透析を行い、アミン精製室１５から精製アミン液を取出し、酸濃縮室１６から酸濃縮液を取出すことによりアミン液を再生する。 （もっと読む）