【課題】被洗浄基板の洗浄水中の不純物が被洗浄基板の汚染に及ぼす影響を評価する方法を提供する。
【解決手段】被洗浄基板としてのシリコンウエハの表面の汚染は、シリコンウエハ上に存在するＳｉＯＨに由来するＯＨ基が吸着活性点となり、ここ金属含有成分、有機物等が吸着することにより生じる。そこで超純水製造システム１を基本システムとして洗浄した後のＳｉＯＨ（ＯＨ基）の量と、シリコンウエハの洗浄条件や水質条件等の洗浄処理条件を変動させて洗浄した後のＳｉＯＨの量とを測定し、両者の比に基づき最適な水質を設定し、さらに当該設定水質の超純水を供給し得る最適なシステム設定となるように基本システムを組み換えたり、基本システムの構成要素の仕様を変更したりする。 （もっと読む）

【課題】汚泥の電気浸透脱水処理において、電気浸透脱水装置の陽極へのスケール析出を防止する。
【解決手段】排水の生物処理で発生する汚泥を電気浸透脱水処理するに当たり、脱水処理に供する汚泥に、塩酸、ポリ塩化アルミニウム、次亜塩素酸（塩）等の塩素を含む薬剤を添加する。塩素を含む薬剤の添加量は、Ｃｌ換算で０．３重量％／ＤＳ以上が好ましい。被処理汚泥に塩素を含む薬剤を添加することにより、電気浸透脱水装置の陽極でのスケール析出を効果的に防止することができ、陽極の通電性を維持して長期に亘り安定かつ効率的な電気浸透脱水処理を行うことができる。 （もっと読む）

【課題】レジスト剥離液成分含有水から効率よくレジスト剥離液を回収することができるレジスト剥離液の再生方法及び装置を提供する。
【解決手段】吸着工程では、レジスト剥離液成分含有水（原水）が原水供給ライン１１から吸着材充填塔１内に供給され、該原水中のレジスト剥離液成分が吸着材１ａに吸着される。レジスト剥離液成分が吸着された処理水は、処理水抜出ライン１２から抜き出されて系外に排出される。脱離工程では、過熱水蒸気が過熱水蒸気供給ライン１３ａから吸着材充填塔１内に供給され、吸着材１ａに吸着されたレジスト剥離液成分が脱離される。この脱離したレジスト剥離液成分と過熱水蒸気との混合流体（気体）が、混合流体抜出ライン１４ａから抜き出され、蒸留塔２に供給される。この蒸留塔２内において、レジスト剥離液成分（アルカノールアミン、有機溶媒等）と水蒸気とが分留される（蒸留工程）。 （もっと読む）

【課題】人体や環境面に対する安全性が高く、腐食防止効果に優れたボイラ水処理剤及びそれを用いるボイラの防食方法を提供する。
【解決手段】（１）防食剤として実質的にコハク酸及び／又はその塩のみを含有することを特徴とするボイラ水処理剤、及び（２）ボイラ給水に、防食剤として実質的にコハク酸及び／又はその塩のみを含有するボイラ水処理剤を添加することを特徴とするボイラの防食方法である。 （もっと読む）

【課題】過剰な電流印加によるエネルギーロスや加温による外部エネルギーの投入を行うことなく、電気浸透脱水装置における電力消費量を抑えた上で低含水率の脱水ケーキを得る。
【解決手段】汚泥を電気浸透脱水処理するに当たり、脱水処理に供する汚泥に、リグニンスルホン酸塩、メラミンスルホン酸塩等の分散剤を添加する。分散剤の添加量は、０．１〜１０重量％／ＤＳが好ましい。この分散剤の添加で、汚泥粒子を分散させて、汚泥粒子間の間隙水の脱水性を高めることができ、この結果、電気浸透脱水装置における電力消費量を抑えた上で低含水率の脱水ケーキを得ることができる。加温等の外部エネルギーを必要とせず、また、電力消費量を抑えることができるため、脱水コストの低減に有効である。 （もっと読む）

【課題】有機物含有排水を嫌気性生物処理及び逆浸透膜処理によって、効率よく処理することができる有機物含有排水の処理方法を提供する。
【解決手段】有機物含有排水を嫌気性生物処理し、この嫌気性生物処理により得られた処理液を第１の膜分離液で膜分離し、この第１の膜分離からの透過水を逆浸透膜で処理する有機物含有排水の処理方法において、該第１の膜分離手段からの透過水を脱炭酸処理した後、好ましくはアンモニアストリッピング処理し、その後、前記逆浸透膜で処理する。 （もっと読む）

【課題】充填剤を低圧域で精度よく加圧することができ、充填剤の損傷を防止することもできる液体クロマトグラフィー装置を提供する。
【解決手段】クロマトカラム２と、該クロマトカラム２内に供給された充填剤又はそのスラリーを加圧するための可動栓３と、該可動栓３を駆動する駆動手段とを有する液体クロマトグラフィー装置において、該駆動手段がガス圧シリンダ装置であり、好ましくはロック装置１９を有したロック付ガス圧シリンダ装置４であることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】原料ガス中の窒素ガス濃度が変動したとしても、安定的にオゾンガスを発生させることのできるオゾンガス発生システム及びオゾンガス発生方法を提供する。
【解決手段】オゾンガス発生システムは、少なくとも酸素ガスを含む原料ガスを用いてオゾンガスを発生させる放電式オゾンガス発生装置２と、放電式オゾンガス発生装置２に原料ガスを供給する原料ガス供給配管３と、原料ガス供給配管３に接続され、原料ガス供給配管３に助ガスを導入する助ガス供給配管４と、原料ガス供給配管３における助ガス供給配管４の接続部位よりも上流側に設けられ、原料ガス中の窒素ガス濃度を測定する窒素ガス濃度測定装置５と、助ガス供給配管４に設けられ、窒素ガス濃度測定装置５により測定された窒素ガス濃度に基づいて、助ガスの供給を制御する助ガス供給制御装置８とを備える。 （もっと読む）

【課題】後段の逆浸透膜処理手段に清澄な処理水を供給でき且つ閉塞し難く安価な濾過処
理手段を効率よく逆洗する濾過処理手段の逆洗方法及び水処理装置を提供する。
【解決手段】被処理水を逆浸透膜で処理する逆浸透膜処理の前に被処理水を並列に濾過処
理する濾過処理手段の逆洗方法であって、前記濾過処理手段が、シート状部材が渦巻状に
巻回される濾過体本体と、被処理水が通水され、前記濾過体本体の軸芯が通水方向に沿う
ように前記濾過体本体が内部に充填される濾過槽とを有し、前記シート状部材は、被処理
水が通過する空孔を有するシート状のメッシュシートと、メッシュシートに比べて被処理
水が通過し難いシート状のスペーサーのシート面同士が重ねられたものであり、前記逆浸
透膜処理で排出される濃縮水を、被処理水が通水されていない前記濾過処理手段に被処理
水の通水方向とは逆の方向から通水することにより、前記濾過処理手段を逆洗する。 （もっと読む）

【課題】充填剤スラリーをクロマトカラムに供給して充填剤の充填層を形成する際の異物の混入が防止される液体クロマトグラフィー装置と、充填剤の充填方法を提供する。
【解決手段】クロマトカラム２と、該クロマトカラム２内に供給された充填剤又はそのスラリーを加圧するための可動栓３とを有する液体クロマトグラフィー装置１において、該可動栓３は、該クロマトカラム２の一端側の待機位置と、該待機位置からクロマトカラム２内に前進した前進位置とをとるものであり、該クロマトカラム２の該一端側には、該可動栓３が該待機位置に位置した状態で該クロマトカラム２に充填剤スラリーを供給する供給口２０及びクロマトカラム内から気体を流出させる流出口２１が設けられている。 （もっと読む）