【課題】発振段レーザと増幅段レーザからなる２ステージレーザにおいて、余剰光によるシード光検出器のオフセットを補正することによりレーザ特性をより安定化させる。
【解決手段】発振段レーザ１００と増幅段レーザ３００からなり、増幅段レーザが共振器を備えている２ステージレーザにおいて、シード光のエネルギを検出する第１モニタモジュール１９と、２ステージレーザから出力される出力レーザ光のエネルギを検出する第２モニタモジュール３９を備え、第１モニタモジュールで検出されたエネルギ検出値から、増幅段レーザから後方へ出力される成分に基づく過剰検出成分と、シード光が増幅段レーザの共振器で反射されて戻る成分に基づく過剰検出成分の少なくとも一方を補正してシード光エネルギ値とする補正手段を備えており、その補正手段で補正されたシード光エネルギ値に基づいてエネルギ制御を行う。 （もっと読む）

【課題】
半導体ウエハの表面における複数箇所の温度をより精度良く測定する。
【解決手段】
フィルム温度センサ６００は、絶縁材料製のベースフィルム５７と、温度を測定するための薄膜状の複数の感熱素子５５と、それらの感熱素子に接続された薄膜状の複数のリード５６と、それらのリードの末端に接続された薄膜状の複数の端子５８とを備える。感熱素子５５とリード５６と端子５８は、ベースフィルム５７の表面上又は厚み内に一体形成されている。ベースフィルム５７は、パドル状の平面形状を有し、半導体ウエハ６０１の表面に貼り付けられるヘッド部５７Aと、半導体ウエハ６０１の外へ延び出るストリップ状のテイル部５７Bからなる。複数の感熱素子５５はヘッド部５７A上に同心円状、螺旋上、マトリックス状又はラスタ状に配列され、複数の端子５８はテイル部５７B上に配置される。 （もっと読む）

【課題】 安全で、しかも精度良くハロゲンを供給できると共に、レーザ装置全体の小型化、及び信頼性の向上が図れるエキシマレーザのガス供給装置を提供する。
【解決手段】 ハロゲン発生器のハロゲン吸蔵物質を所定の温度に制御して所定の分圧で発生させたハロゲンガスをハロゲンガス供給ラインを介してレーザチャンバ内に注入し、レーザチャンバ内のハロゲンガス分圧を制御するエキシマレーザ装置において、レーザチャンバ内を真空にする第１の真空引き手段と、ハロゲンガス供給ラインに設けられ、ハロゲンガスのレーザチャンバへの注入を開閉するハロゲン注入用バルブと、レーザガス交換時に、第１の真空引き手段を作動させてレーザチャンバ内を真空にした後、ハロゲン発生器で発生したハロゲンガスのレーザチャンバへの注入量を所定量に制御するために、ハロゲン注入用バルブを所定時間開ける指令を出力するガスコントローラとを備えた。 （もっと読む）

【課題】 ＥＵＶ光源装置において、ミラーコーティングに有害であるとされるデブリから集光ミラーを保護する。
【解決手段】 ターゲットにレーザビームを照射することにより極端紫外光を発生する光源装置であって、極端紫外光の生成が行われるチャンバ１００と、該チャンバ内にターゲットとなる物質を供給するターゲット噴射装置１２０及びターゲット噴射ノズル１２１と、ターゲットにレーザビームを照射することによりプラズマを発生させるレーザ光源１１０と、プラズマから放射される極端紫外光を集光する集光ミラー１０２と、プラズマから放出される粒子に含まれている中性粒子をイオン化して帯電粒子とするＸ線源１３２と、少なくとも、Ｘ線源によってイオン化された中性粒子をトラップするために、チャンバ内に磁場を形成する磁石１３０及び１３１とを含む。 （もっと読む）

【課題】 バケットの上昇時にも減速ショックが小さく、作業機の動作に対するオペレータの違和感が小さい作業車両の作業機用油圧ポンプの容量制御方法及び容量制御装置を提供する。
【解決手段】 起伏自在なリフトアームの先端部にバケットを装着した作業機を有する作業車両の作業機用油圧ポンプの容量制御装置において、作業機を駆動する作業機用油圧ポンプの容量を制御するポンプコントローラと、ポンプコントローラの指示に基づいて作業機用油圧ポンプの容量を変更する容量変更装置と、リフトアームの地面に対する角度を検出するリフト角検出器と、バケットが積荷状態か否かを検出する積荷検出器とを備え、前記ポンプコントローラは、リフト角検出器及び積荷検出器の出力に基づいて、積荷状態のバケットが上昇時に所定高さを越えると、作業機用油圧ポンプの容量を徐々に低減させる制御を行なう。 （もっと読む）

左前脚部（３１）は、センタフレーム側接合部（３１Ａ）と、サイドフレーム側接合部（３１Ｂ）と、中間筒部（３１Ｃ）とを鋳造手段によって一体成形する。この場合、センタフレーム側接合部（３１Ａ）の接合端（３１Ａ１）と、サイドフレーム側接合部（３１Ｂ）の接合端（３１Ｂ１）とは、長方形状をした開口端として形成する。これにより、トラックフレーム（１１）の製造コストを低減できると共に、各接合端（３１Ａ１），（３１Ｂ１）の周囲に形成される溶接ビードの長さを大きく確保し、センタフレーム側接合部（３１Ａ）とセンタフレーム（１２）との接合強度、サイドフレーム側接合部（３１Ｂ）とサイドフレーム（２２）との接合強度を高めることができる。
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【課題】簡単な構成でしかも方向制御弁としての場積を大きくすることのなく大流量の戻り圧油を流量制御することのでき、戻り圧油の流量調整を行う場合の応答特性を向上させた方向制御弁を提供する。
【解決手段】方向制御弁(8)には２分割された主スプール(11A)と制御スプール(11B)が内装され、制御スプール(11B)はバネ(10)により主スプール(11A)に当接している。主スプール(11A)を左方向に移動させると、ポンプポートからの圧油を単動型アクチュエータに出力できる。主スプール(11A)を右方向に移動させると、単動型アクチュエータからの戻り圧油をアクチュエータポート(24B)とタンクタンクポート(24E)とに流入させることができ、制御スプール(11B)に加わる背圧がバネ(10)による付勢力より大きくなると、制御スプール(11B)は単独で左方向に移動し、環状溝(77)とアクチュエータポート(24D)との間に流れる圧油の流量を減少させることができる。
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【課題】急激な高油圧負荷がかかった場合のエンジン停止を確実に防止する。
【解決手段】オペレータがステアリングハンドルを操作しながら、ローダ用操作レバーを上昇方向に急操作すると、ステアリング用油圧ポンプ７、ローダ用油圧ポンプ８の油圧負荷が急上昇する。このため、油圧負荷は、Ｔp1で示す高油圧負荷のラインに移動する。このためエンジン１としては、この高油圧負荷Ｔp1（レギュレーションラインＦL上のポイントＶ1）とマッチングさせるために、トルクを上昇させようとするが、Ｃ1で示すように、急激な油圧負荷上昇に、エンジンのトルク上昇が間に合わずに（時間遅れが生じ）、エンジン１の実際の回転数Ｎrが、しきい値Ｎc以下となる。コントローラ１８は、エンジン回転数検出センサ１ａで検出したエンジン回転数Ｎrが、しきい値Ｎc以下に低下したと判断すると、可変容量型油圧ポンプ７、８、９の吸収トルクを低下させる制御を実行する。 （もっと読む）

【課題】 サークルとの間に土砂が挟まりにくいモータグレーダのピニオンギヤを提供する。
【解決手段】 サークル歯と噛合してサークルを回転させるモータグレーダのピニオンギヤにおいて、上側フランジ部と、上側フランジ部に対向し、その上面が外周部に向かって低くなるような傾斜を有する下側フランジ部と、上側フランジ部と下側フランジ部との間を連結する複数のピニオン歯とを備え、前記サークル歯の下面からピニオン歯の最外周部と下側フランジ部との境界までの距離が、ピニオン歯の間隔よりも大きくなるようにしたことを特徴とするモータグレーダのピニオンギヤ。 （もっと読む）

【課題】 紫外線ガスレーザ装置における光学素子による真性複屈折及び応力複屈折による偏光純度の悪化を防止すると共に、カット面を平滑にしてレーザ照射により割れや欠陥の発生を防止する。
【解決手段】 ２つの平面２、２’を備えて紫外線がその１つの平面２から入射し、他の平面２’から射出するフッ化カルシウム結晶からなるウィンドウ等の紫外線ガスレーザ用光学素子１において、少なくとも一方の平面２がフッ化カルシウム結晶の（１１０）結晶面に平行である紫外線ガスレーザ用光学素子。 （もっと読む）