【課題】出力が比較的大きい露光用の極端紫外光源装置において、ドライバレーザ光の照射に対する除熱を良好に行いつつ、固体のターゲットを高速かつ連続的に供給する。
【解決手段】この極端紫外光源装置は、極端紫外光の生成が行われるチャンバと、ワイヤにターゲット物質をコーティングするターゲット物質供給手段と、ターゲット物質がコーティングされたワイヤをチャンバ内の所定の位置に供給するワイヤ供給手段と、ターゲット物質がコーティングされたワイヤにレーザビームを照射することによってプラズマを生成するドライバレーザと、プラズマから放射される極端紫外光を集光して出射するコレクタミラーとを具備する。 （もっと読む）

【課題】 回し溶接する場合など、母材熱容量が変化することで過大な溶接電流による
溶接欠陥が生じるおそれがありしかも溶着ビード幅を一定にする必要がある溶接区間を溶
接するに際して、これを手溶接に頼らず自動的に行うことができるようにして、過大な溶
接電流による溶接欠陥を抑制し、溶着ビード幅を一定にする溶接作業を作業効率よく行な
えるようにする。
【解決手段】
コントローラ３０は、溶接区間Ｐ１０２〜Ｐ１０３で過大な溶接電流による溶接欠陥が
生じないように、この溶接区間Ｐ１０２〜Ｐ１０３において溶接ワイヤ２１の送り速度Ｆ
と溶接電極間電圧Ｖを徐々に変化させるとともに、溶接区間Ｐ１０２〜Ｐ１０３で溶着ビ
ード幅Ｗが一定となるように、溶接区間Ｐ１０２〜Ｐ１０３における溶接ワイヤ２１の送
り速度Ｆと溶接電極間電圧Ｖの変化に応じて、溶接トーチ１７先端移動速度Ｓを徐々に変
化させる制御を行う。
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【課題】ほぼ均一な強度で所望のパルス幅を実現できるドライバレーザを用いて、効率的にＥＵＶ光を得ることができる極端紫外光源装置を提供する。
【解決手段】この極端紫外光源装置は、ターゲットにレーザビームを照射することにより極端紫外光を発生するレーザ生成プラズマ型極端紫外光源装置であって、極端紫外光の生成が行われるチャンバと、チャンバ内の所定の位置に液体又は固体の金属ターゲットを供給するターゲット供給手段と、互いに異なる遅延を伴う複数のパルスレーザビームを合成して強度が略均一の単一パルスレーザビーム又はパルス列レーザビームを生成し、ターゲット供給手段によって供給されるターゲットに該レーザビームを照射することによりプラズマを生成するレーザビーム生成部と、プラズマから放射される極端紫外光を集光して出射するコレクタミラーとを具備する。 （もっと読む）

【課題】より操作性および利便性に優れた作業機械の始動ロックシステムの提供。
【解決手段】作業機械の始動ロックシステムは、オペレータが所有する携帯電話と、
オペレータによる操作時に操作信号を出力する作業機械の始動スイッチと、作業機械と携帯電話のメッセージ送信先情報とを関連付けるデータベースが構築された記憶手段５４と、始動スイッチからの操作信号に基づいてデータベースから作業機械に対応した携帯電話のメッセージ送信先情報を特定する携帯電話特定手段４６と、始動ロック解除用のパスワードを生成するパスワード生成手段４５と、始動ロック解除用のパスワードを携帯電話に送信する通信制御部４１と、携帯電話から返信されたパスワードが始動ロック解除用のパスワードと一致しているかを確認するパスワード確認手段４９と、パスワードが一致している時に作業機械の始動ロックを解除するための解除指令信号を生成する解除指令信号生成手段５２とを備えている。 （もっと読む）

【課題】発振効率を低下させることなく高繰返しの発振が可能な狭帯域化放電励起エキシマレーザ装置を提供すること。
【解決手段】ＬＭＮ３を有し、レーザチャンバ１１と該レーザチャンバ内部に、所定間隔離間して対向する一対の電極を備えた狭帯域発振段レーザ（ＭＯ）１０において、電極幅を１〜２ｍｍとし、電極幅と間隔のアスペクト比（電極の幅／電極間距離）を０．２５〜０．１２５とし、ＬＮＭ３のスリット幅を２ｍｍ以下とする。これにより、レーザチャンバの構造などのその他のパラメータに依存することなく、放電幅を設計どおりの所望の値にすることができ、また、狭帯域効率を低下させることなく、ガス流を生成するファンを駆動するモータへ供給する電力を増大させることなく、安定した１０ｋＨｚ以上の高繰返しの発振が可能となる。 （もっと読む）

【課題】廃棄物としての木材の破砕効率を向上させることのできる木材破砕用ビットを提供する。
【解決手段】軸部２５の先端側にフランジ部２６を介して略紡錘状の頭部２７が設けられてなるビット本体２８と、このビット本体２８の頭部２７先端部に形成された凹部２９に装着される略板状の超硬体３０とを備えて構成される木材破砕用ビット２３において、前記超硬体３０の先端部には、ビット本体２８の頭部２７から突出される二つの角部４１，４２が形成されているものとする。 （もっと読む）

【課題】高圧ガス設備の設置許可申請等の手続きを不要とすること等が可能なＬＰＰ型ＥＵＶ光源装置用ターゲット物質供給装置等を提供する。
【解決手段】このターゲット物質供給装置２０は、ＬＰＰターゲット物質を出射するための噴射口２１ａが形成されたスリーブ２１と、スリーブ２１内に摺動可能に嵌入されたプランジャー２２と、プランジャー２２を押圧することにより、スリーブ２１及びプランジャー２２によって形成される空間内に充填されたＬＰＰターゲット物質を加圧して、ＬＰＰターゲット物質をスリーブ２１の噴射口２１ａから出射させる押圧装置２３とを含む。 （もっと読む）

【課題】高い注入効率でＭＯレーザ光を増幅段レーザ（ＰＯ）に注入することができ、ミラーのアライメントが容易な露光装置用レーザ装置を提供すること。
【解決手段】発振段レーザ（ＭＯ）１０からのレーザ光はシード光として、高反射ミラー４ａ，４ｂを介してＰ偏光透過、Ｓ偏光を高反射したＰＳ分離膜をコートしたＢＳ２５に対してＳ偏光またはＰ偏光で導かれ、λ／４板２７で円偏光に変換される。このレーザ光は、ＯＣ２４、リアミラー２６に入反射して増幅され、ＯＣ２４により一部が反射されて再び増幅段レーザ（ＰＯ）２０の共振器内に戻される。また、ＯＣ２４から出力したレーザ光は再びλ／４板２７により、シード光の偏光方向に対して９０度偏波面を回転させた直線偏光に変換してＢＳ２５により出力レーザ光として取り出される。ＯＣ２４の反射率が２０％から３０％で動作するので、高い注入効率を得ることができる。 （もっと読む）

【課題】 エンジンの燃費を向上させ、しかも、作業機の最大速度が必要とされる場合には、必要とされる作業機の最大速度を低下させずに与えられるエンジンの制御装置及びその制御方法を提供する。
【解決手段】 指令手段による指令値に応じて第１目標回転数Ｎhと高速制御の領域Ｆ1とを設定する。第１目標回転数Ｎhに基づいて低回転側に第２目標回転数Ｎ2と高速制御の領域Ｆ2とを設定する。高速制御の領域Ｆ2での制御中は、油圧ポンプ6の最大ポンプ容量をハイのポンプ容量Hiとし、エンジン負荷とエンジン出力トルクとのマッチング点が最大トルク線で規制されるトルク値より低い所定のトルク値のところに到達したら、目標回転数を第２目標回転数Ｎ2から第１目標回転数Ｎhに変更制御するとともに、油圧ポンプ6の最大ポンプ容量をローのポンプ容量Loに制御する。
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【課題】
繰り返し周波数の増加に伴い発生する可飽和リアクトルのコアの過度の発熱を抑制し、磁気パルス圧縮器の高繰り返し運転を可能にする。
【解決手段】
磁気パルス圧縮回路１０の最終段の磁気スイッチ部２に、磁気圧縮用可飽和リアクトル（圧縮用リアクトル）２１-nと回路切替用可飽和リアクトル（切替用リアクトル）２２-nとが直列接続された２つの直列回路が互いに並列に接続されている並列回路を備える。切替制御部３は、パルス発振毎に切替用リアクトル２２-1、２２-2の磁気リセット量が交互にゼロおよび最大になるように、すなわち切替用リアクトル２２-1、２２-2が交互にオン・オフするように切替制御する。
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