【課題】アッパフォイルとバンプフォイルとを具備する動圧気体軸受において、軸受部材の加工精度や温度変化等による寸法変化に対する許容度が高く、その上で軸受として高い負荷容量を実現可能な動圧気体軸受を提供する。
【解決手段】軸２を取り付ける対象である軸受部材たる軸受ハウジング１と軸２との間に設けられ、軸２の回転の際に気体膜を形成すべく前記軸２との間にクサビ状空間を含む気体膜を形成するアッパフォイル３と、このアッパフォイル３と前記軸受ハウジング１との間に配してなり前記アッパフォイル３を前記軸２側に弾性付勢する凸部５ｂを有するバンプフォイル５と、前記バンプフォイル５と前記軸受ハウジング１との間に設けられ板状をなすプレーンフォイル６とを具備する構成を採用する。 （もっと読む）

【課題】ＴＦＴアレイのソース・ドレイン間のWeak-SD欠陥と呼ばれる抵抗を介して導通状態にある欠陥を、保持時間を長くすることなく短時間で検出する。
【解決手段】ＴＦＴ基板のＴＦＴアレイに対して電圧を印加し、電子線照射により得られる二次電子を検出してＴＦＴアレイの欠陥を検出するＴＦＴアレイの欠陥検出において、ＴＦＴのソースおよび／又はゲートへの電圧を印加する電圧パターンにおいて、電圧値および／又は印加時期によってＴＦＴの内部リークによるリーク電流を増加させる特性パラメータに設定する。特性パラメータの設定において電圧値および／又は印加時期を設定することによってＴＦＴの内部リークによるリーク電流を増加させ、増加させたリーク電流によってＴＦＴの内部欠陥を検出する。 （もっと読む）

【課題】回転始動性に優れた真空ポンプの提供。
【解決手段】真空ポンプは、ロータ４を磁気浮上させる磁気軸受３と、磁気軸受３の励磁電流を制御してロータ４の浮上位置を制御する軸受制御部８と、ロータ４に固定され、永久磁石を有するモータロータと、モータロータを回転駆動するモータステータと、磁気軸受３によりロータ４を軸受中心位置から所定径方向に偏心させ、かつ、モータステータにより所定径方向を向いた固定磁界を発生させて、ロータ４の回転方向の角度を調整する主制御部９と、主制御部９は回転方向の角度が調整されたロータ４を、所定径方向に偏心した状態から軸受中心位置に戻し、モータ制御部７は軸受中心位置に戻されたロータ４を回転させるための回転磁界をモータステータにより発生させる。 （もっと読む）

【課題】 省エネルギー化を図ることが可能な材料試験機を提供する。
【解決手段】 油圧源３８は、オイル(作動油)を貯留するオイルタンク４４と、このオイルタンク４４に貯留されたオイルをラムシリンダ２５に供給するためのピストンポンプ４１と、このピストンポンプ４１を回転させるためのサーボモータ４２と、ピストンポンプ４１からラムシリンダ２５に至るオイルの供給管路４５から分岐する回収管路４６中に配設され、供給管路４５からオイルタンク４４にオイルを逃がすために使用される流量制御弁４３とを備える。上記回収管路４６および流量制御弁４３は、この発明に係るブリードオフ回路を構成する。 （もっと読む）

【課題】放射線検出器と放射線グリッドとの相対位置を精密に調整することにより、放射線検出器を用いた撮影の際に放射線グリッドの影の影響により画像が乱れることを防止できる位置合わせ装置を提供する。
【解決手段】本発明に係る位置合わせ装置１０は、ＦＰＤ４とＸ線グリッド５との相対位置を調整するものとなっている。すなわち、実際に放射線を照射することによりＦＰＤ４の位置と放射線の入射量とが関連したマップｍを生成し、マップｍを元にＦＰＤ４の検出面に投影される吸収箔の影の幅が小さくなるようにＦＰＤ４に対するＸ線グリッド５の傾斜角度が調整される。これによりＦＰＤ４とＸ線グリッド５との相対位置の調整が精密なものとなり、ＦＰＤ４を用いた撮影の際にＸ線グリッド５の影の影響により画像が乱れることを防止できる。 （もっと読む）

【課題】試料とＡＴＲプリズムとの圧着と離間を繰り返すことなく、しかも安価にＡＴＲマッピング分析を行うことができるＡＴＲマッピング方法及びＡＴＲマッピング装置を提供する。
【解決手段】本実施例の赤外線検出部９は、結像光学系の結像面に受光部１５１が配置された赤外線検出器１５と、結像面に平行に赤外線検出器１５を移動させることにより、結像面上で受光部１５１を移動させる検出器移動機構１６と、を備える。受光部１５１がある結像面では、試料とＡＴＲプリズムとの接触面の像が結像光学系の倍率に従い、拡大されて結像する。受光部１５１は、この拡大された像全体を網羅するように移動し、結像面上の接触面の像を走査することで、マッピング測定を行う。 （もっと読む）

【課題】スキャン測定のスキャン速度を上げた場合の質量分解能の低下を回避し、高い分解能のマススペクトルを提供可能とする。
【解決手段】標準試料をイオン源３１に導入し、大小２種類のスキャン速度でスキャン速度を実行して所定m/z範囲の信号強度を求める。スキャン速度が小であるときにはm/zが隣接するピークは孤立し、スキャン速度が大であるときにはm/zが隣接しているピークが重なって信号強度が互いに影響を受けているみなし、補正情報算出処理部５５は両者の信号強度の比較からピークの重なりに伴う強度増加分を推定し、これを除去する補正係数を計算する。この補正係数を補正情報記憶部５４に記憶しておき、信号強度補正演算部５２は目的試料の測定の際にスキャン速度及びm/zに応じて適当な補正係数を選択し、ピークの重なりによる強度増加分を差し引いて信号強度を補正する。 （もっと読む）

【課題】アッパフォイルとバンプフォイルとを具備する動圧気体軸受において、軸受部材の加工精度や温度変化等による寸法変化に対する許容度が高く、その上で軸受として高い負荷容量を実現可能な動圧気体軸受を提供する。
【解決手段】軸受ハウジング１の内壁１ａに設けられ、軸２の回転の際に気体膜Ｓを形成すべく前記軸２との間に気体膜Ｓを形成するアッパフォイル３と、このアッパフォイル３と前記軸受ハウジング１との間に配してなり前記アッパフォイル３を前記軸２側に弾性付勢する凸部５ｂを有するとともに外部から作用を受けない状態で前記軸受ハウジング１との間に隙間ＳＳを形成する複数枚のバンプフォイル５と、前記アッパフォイル３と前記バンプフォイル５との間に配してなるアンダフォイル４とを具備する。 （もっと読む）

【課題】プローバフレームの個数やプローバフレームストッカの容積を増やすことなく、多種類のパネル仕様に対するプローバフレームの対応を可能とする。
【解決手段】プローバフレームのコンタクトピンの配置位置を変更自在とし、コンタクトピンの配置位置変更をプローバフレームストッカにおいて行う。真空状態でＴＦＴアレイ基板の検査を行うメインチャンバと、大気側との間及びメインチャンバとの間でＴＦＴアレイ基板の搬出入を行うロードロックチャンバと、プローバフレームを格納するプローバフレームストッカとを備え、プローバフレームストッカ内にプローバフレームのコンタクトピンの配置位置を変更するコンタクトピン配置位置変更部を備える。プローバフレームストッカは、二つのプローバフレームをプローバフレームストッカとメインチャンバとの間で交互に入れ替え、コンタクトピン配置位置変更部は、プローバフレームのコンタクトピンの配置位置を変更する。 （もっと読む）

【課題】アッパフォイルとアンダフォイルとを具備する動圧気体軸受において、簡単な構成により適切なクサビ状空間の形状を容易に得ることができるようにする。
【解決手段】アッパフォイル４が、アンダフォイル５の凸部５ａの上方に位置する部分に該凸部５ａが通過する凸部通過孔を有するアッパフォイルプレート４１と、一端部４２ａを前記アッパフォイルプレート４１に支持させてなるとともに前記アンダフォイル５の凸部５ａに支持される複数のアッパフォイルセグメント４２とを有し、前記アッパフォイルセグメント４２の他端部４２ｂが隣接するアッパフォイルセグメント４２に重なり合う構成を採用する。 （もっと読む）