【課題】 十分に誘電率が低くかつ機械的強度の高い（層間絶縁膜を備えた）半導体装置を提供する。
【解決手段】 所望の素子領域の形成された半導体基板表面に、Ｓｉ−Ｏ結合を主成分とする骨格の周りに多数の空孔が配置された誘電体薄膜を成膜する工程と、前記誘電体薄膜表面に、マスクを介してパターニングする工程と、パターニングのなされた前記誘電体薄膜表面に、テトラメチルシクロテトラシロキサン（ＴＭＣＴＳ）、ヘキサメチルシラザン（ＨＭＤＳ）、トリメチルクロロシラン（ＴＭＣＳ）分子のうちの少なくとも１種を含むガスを接触させる工程とを含む。 （もっと読む）

【課題】 低誘電率絶縁膜の比誘電率の増加を防止すると共にレジスト残渣を生じさせないレジスト除去を可能にする。
【解決手段】 レジストマスクをエッチングマスクにして、被処理基板上の有機成分含有の層間絶縁膜をＲＩＥで加工した後（Ｓ１、Ｓ２）、上記レジストマスクを除去するために、はじめに、第１の温度下において水素ラジカル照射をして（Ｓ３）、レジストマスク表面に形成されている変質層を水素化分解する改質層に変換する（Ｓ４）。その後、第１の温度より高い第２の温度下において水素ラジカル照射を行い（Ｓ５）、上記改質層およびレジストマスクをアッシング除去する（Ｓ６）。このようにして、上記層間絶縁膜の組成変化およびその比誘電率の増加がなく、しかもレジスト残渣の生じないレジスト除去が可能になる。 （もっと読む）

【課題】 高速なプリチャージを行い、高精度な階調表現を行うことが可能な表示装置の駆動方式およびマトリクス型表示装置を提供する。
【解決手段】 走査線駆動回路によって、第１行目から第ｎ行目の走査信号ＳＳは、時刻Ｔ１、Ｔ４、Ｔ７、・・・と走査選択期間Ｔｓ経過ごとに接地電位に設定される。寄生容量Ｃのプリチャージを、走査信号ＳＳにより発光させる行が切り替えられる時刻Ｔ１よりも期間ΔＴだけ先だった時刻Ｔ０に開始し、データ線には定電圧Ｖｐｃが印加され、有機ＥＬ素子１０の寄生容量が充電される。時刻Ｔ１に走査信号ＳＳによって、第（ｊ−１）行目から第ｊ行目に発光させる行が切り替えられる。その後、時刻Ｔ２に有機ＥＬ素子の発光がＰＷＭデータ信号Ｉｐｗｍにより開始される。 （もっと読む）

【課題】 半導体チップがバンプを介して配線基板に電気的接続された半導体装置であって、半導体チップを配線基板に実装する際に、バンプからの反作用により半導体チップおよび配線基板に負荷される荷重が低減された信頼性の高い半導体装置およびその製造方法を提供する。
【解決手段】 半導体チップの電極表面および配線基板に接合された小さなばね定数を有するバンプの接合端面を平坦化および活性化し、高温高圧を負荷する必要のない常温接合技術を用い、バンプを介して半導体チップの電極と配線基板の電極とを電気的接続する。 （もっと読む）

【課題】 上面に抵抗膜１３等の素子とこれを被覆するカバーコート１４とを設けたチップ型の絶縁基板１２における左右両端に，前記素子に対する端子電極膜１５，１６を，当該端子電極膜が前記絶縁基板の下面１２ａにまで延びるように形成して成るチップ型部品において，このチップ型部品を，コレットノズル９にて真空吸着した状態でプリント回路基板７等に対して供給するとき，前記絶縁基板に割れが発生することを低減する。
【解決手段】 前記絶縁基板の下面のうち前記両端子電極膜の間の部分に，前記絶縁基板のうち両端子電極膜を結ぶ長さ方向における中心の部位又はこの中心に近傍する部位に最も高い峰部１８ａを形成して成る絶縁体製の突起部１８を設ける。 （もっと読む）

【課題】 レギュレータ回路において、安定状態における消費電力を増加させることなく、入力電圧や出力電流が変動したときの出力電圧の変動を抑制する。
【解決手段】 レギュレータ回路１００は、誤差増幅器１０、出力トランジスタ１２、第１抵抗Ｒ１、第２抵抗Ｒ２、基準電圧源１４に加えて、検出回路２０、補助回路３０を含む。誤差増幅器１０、出力トランジスタ１２、第１抵抗Ｒ１、第２抵抗Ｒ２は一般的なリニアレギュレータを構成する。検出回路２０は、入力端子１０２と接地端子間に直列に接続された検出用コンデンサＣ１、第１トランジスタＭ１、利得調整抵抗Ｒ３を含む。入力電圧Ｖｉｎが変動すると、検出用コンデンサＣ１の一端の電位が入力電圧Ｖｉｎに伴って変動し、過渡的に検出電流Ｉｄｅｔが流れ、電圧変動を検出することができる。検出電流Ｉｄｅｔは補助回路３０により増幅され、帰還電流Ｉｆｂが出力トランジスタ１２のゲート端子へと帰還される。 （もっと読む）

【課題】 プロジェクタに備えられる複数の光源の積算点灯時間を相当程度、平坦化する。
【解決手段】 プロジェクタ１は、複数の光源５０ａ〜ｆを備える。画像生成部６０は、入力される画像データに応じて、複数の光源５０ａ〜ｆの少なくとも一つから発せられた光を変調し、画像を生成する。投射部７０は、画像生成部６０により生成された画像を拡大して、スクリーン８０に投射する。制御部１００は、主に、光源モジュール５０内における複数の光源５０ａ〜ｆの点灯制御を行う。輝度調整部１１０は、点灯させる光源の輝度を調整する。時間調整部１２０は、輝度調整を行う場合、タイマ２０のカウント値を調整する。開始位置記録部１３０は、操作部３０から入力されるユーザの指示などに基づき、プロジェクタ１の使用を終了する際、最後に点灯させていた光源の位置を取得し、次回使用する際の光源５０ａ〜ｆの開始位置を記録する。 （もっと読む）

【課題】 ノイズと休止区間を挟んで繰り返される信号とを判別でき尚かつ小型化を図ることができる判別回路を提供する。
【解決手段】 入力信号（バンドパスフィルタ４の出力信号）についてノイズと休止区間を挟んで繰り返される信号とを判別する判別回路であって、カットオフ周波数が前記ノイズの周波数より小さく前記休止区間を挟んで繰り返される信号の１フレームと前記休止区間とを合わせた周期の逆数より大きいローパスフィルタ１１と、ローパスフィルタ１１の出力に応じて前記入力信号がノイズか休止区間を挟んで繰り返される信号かを判定する判定回路１２とを備える判別回路１００。 （もっと読む）

【課題】 半導体チップが配線基板に電気的接続された半導体装置であって、分解が容易でリペアやリサイクルに有利で、高い信頼性を有する半導体装置を提供する。
【解決手段】 半導体チップ上に形成された電極および配線基板上に形成された電極を真空または電極と反応しないガスを封止した枠構造を用いて封止することによって、封止樹脂を用いることなく、これらの電極が酸素や水分からの攻撃により劣化することを防止し、さらに、半導体チップ上に形成された電極と配線基板上に形成された電極とを接触により電気的接続を達成することによって、分離可能性を向上させる。 （もっと読む）

【課題】 簡素な光学系で複数色の光を出射可能な装置を得る。
【解決手段】 発光装置２において、遮光膜２０は、各画素に対応した凹部を有する。複数の発光素子３２、３４、３６、例えば色の３原色Ｒ、Ｇ、Ｂの発光素子は、各凹部に埋設される。発光素子３２、３４、３６には、ＬＥＤや有機ＥＬ素子を用いることができる。カソード３８は、各発光素子３２、３４、３６に電源を供給する。透明の絶縁膜４０は、複数の発光素子および電極を凹部に封止する。遮光膜２０を導電性材で形成し、グランド側の共通電極とする。複数の発光素子３２、３４、３６は、各凹部内において光の照射方向に沿って設置される。 （もっと読む）