【課題】面内均一性に極めて優れたＡｇ系薄膜を形成するのに有用なＡｇ系スパッタリングターゲットを提供する。
【解決手段】Ａｇ系スパッタリングターゲットのスパッタリング面の平均結晶粒径ｄ_aveを下記手順（１）〜（３）によって測定したとき、平均結晶粒径ｄ_aveは１０μｍ以下を満足する。（手順１）スパッタリング面の面内に任意に複数箇所を選択し、選択した各箇所の顕微鏡写真（倍率：４０〜２０００倍）を撮影する。（手順２）各顕微鏡写真について、井桁状または放射線状に４本以上の直線を引き、直線上にある結晶粒界の数ｎを調べ、各直線ごとに下式に基づいて結晶粒径ｄを算出する。ｄ＝Ｌ／ｎ／ｍ式中、Ｌは直線の長さ、ｎは直線上の結晶粒界の数、ｍは顕微鏡写真の倍率を示す。（手順３）全選択箇所の結晶粒径ｄの平均値をスパッタリング面の平均結晶粒径ｄ_aveとする。 （もっと読む）

【課題】円板状の２組の基板を上下に積層して成る貼合わせ基板において、素子形成などにあたって、基板中心位置のズレ量を一括して求められるようにする。
【解決手段】輪郭測定手段３によって、貼合わせ基板２の厚み方向の投影像から２組の基板２１，２２を合わせた輪郭形状を検出する一方、エッジ形状測定手段４によって、周方向の複数点において、貼合わせ基板２の接線方向の投影像から２組の基板２１，２２それぞれのエッジ形状を検出する。そして、演算手段６が、輪郭測定手段３の検出結果から、いずれか一方の組の基板の形状データを検出し、直径および中心位置を求める一方、他方の組の基板については、その一方の組の基板の形状データを基準に、エッジ形状測定手段４で検出された２組の基板間の相対的な位置関係から、形状データを求め、直径および中心位置を求める。その後、２組の基板間の中心位置の距離から、前記ズレ量を求める。 （もっと読む）

【課題】予備成形体を形成するスプレイフォーミング堆積方法において、前記予備成形体の温度斑に起因する空孔部分や熱応力による割れの発生を防止して、歩留まりの向上を図り得るスプレイフォーミング堆積方法を提供する。
【解決手段】流下する溶融金属Ｍに気体を噴射して金属液滴７のスプレイとなし、この金属液滴７を移動するコレクタ５上に堆積して予備成形体８を形成するスプレイフォーミング堆積方法において、前記コレクタ５内部または近傍に加熱手段６を配設し、この加熱手段６によって前記コレクタ５を予熱しながら、前記金属液滴７をコレクタ５上に順次堆積させるスプレイフォーミング堆積方法。 （もっと読む）

【課題】光切断線の湾曲成分を除去し、太陽電池ウエハの断面形状データを精度良く算出する。
【解決手段】ウエハ形状データ取得部２２１は、ウエハ画像から光切断線の形状を示すウエハ形状データを取得する。標準平面形状データ取得部２２２は、所定の標準平面の高さを数段階変化させ、標準平面画像から各高さにおける光切断線の形状を示す標準平面形状データを取得する。形状補正部３４１は、ウエハ形状データと形状が最も近い標準平面形状データを、標準平面形状データ記憶部８０から特定し、特定した標準平面形状データ及びウエハ形状データの差分を補正ウエハ形状データとして算出する。断面形状算出部３４２は、形状補正部３４１で算出された補正ウエハ形状データからウエハ断面形状データを算出する。 （もっと読む）

【課題】スキージが引っ掛かりやすいためにペーストを均等に引き伸ばし難い原因となるスキージ接触面での凹凸部がなく、厚さが比較的薄く、メッシュ部材として必要で均一な強度を有し、高精細な印刷に必要なメッシュ数を有するスクリーン印刷用メッシュ部材を提供する。
【解決手段】本発明のスクリーン印刷用メッシュ部材は、スクリーン印刷用メッシュ部材であって、圧延金属箔に多数の孔を開けることにより作製されると共に、線部を構成する少なくとも片面が平坦であり、作製したメッシュ部材から幅：１５ｍｍ、標点距離：１００ｍｍの試験片を切り出し、引張速度：１０ｍｍ／分で引張試験を行ったときの破断荷重（Ｎ）を引張試験片の幅１ｃｍあたりに換算した引張強度が２０Ｎ／ｃｍ以上であり、メッシュ数が２５０（本／インチ）以上であり、更に開口率が、２５％以上、所定の関係式で規定される値以下である。 （もっと読む）

【課題】高粘度のペーストを利用し、印刷パターンの幅を小さく（細く）した場合にも、印刷高さが高く、且つ印刷幅のばらつきの小さな印刷を実現できると共に、必要で均一な強度を有するスクリーン印刷用メッシュ部材を提供する。
【解決手段】本発明のスクリーン印刷用メッシュ部材は、感光性乳剤で印刷パターンを形成するためのスクリーン印刷用メッシュ部材であって、前記スクリーン印刷用メッシュ部材は圧延金属箔によって構成されており、前記圧延金属箔は、印刷対象物の印刷領域に相当する部分以外に、印刷対象物の非印刷領域に相当する部分を有し、前記印刷領域に相当する圧延金属箔の部分には、印刷対象物に向かって広がるような複数の孔が一列に配置され、且つメッシュ部材を構成する線部が交差する部分がないような領域が存在するものである。 （もっと読む）

【解決課題】金属などの高温溶湯を高圧のガスにより噴霧、微粒化して成形体を製造するに当って、機械的性質に優れた高品質の成形体を高い歩留で得るためのガスアトマイザーを提供すること。
【解決手段】流下する高温溶湯（Ｓ）を高圧ガスにより噴霧、微粒化して成形体（５）を製造するガスアトマイザー（Ａ）において、前記高温溶湯流（Ｓ）を包囲する高圧ガス室（ＧＲ）と、この高圧ガス室（ＧＲ）の下部内側に連通して配設された噴霧用ノズル（ＡＮ）と、同高圧ガス室（ＧＲ）の下部外側に連通して配設された冷却用ノズル（ＣＮ）とからなることを特徴とする高温溶湯のガスアトマイザー（Ａ）。 （もっと読む）

【課題】本発明は、軽量、コンパクトな載荷治具が使用でき、試験体と載荷治具との芯出し及び溶接も容易であり、運搬時等に試験体にねじれが発生することもなく、且つ試験体に純粋な曲げモーメントのみを付与させることが可能な曲げ試験装置および曲げ試験方法を提供することを目的とする。
【解決手段】鋼管６の軸方向の一端に第１の載荷治具７が固結され、他端に第２の載荷治具８が固結され、第１の載荷治具７と第２の載荷治具８の両方に、移動支点と加力点を有し、第１の油圧ジャッキ、第２の油圧ジャッキ６０、７０で第１、第２の載荷治具７、８の加力点にそれぞれ所定の力Ｐを加えることにより、第１の載荷治具７の支点と第２の載荷治具８の支点を中心にしてＸＹ平面内において鋼管６に所定の曲げモーメントが付与されるように構成されている。 （もっと読む）

【課題】被検体（特に、被検体に含まれるＳｎ）との低付着性を実現するとともに、長期間に亘って安定な接触抵抗を保つことのできるコンタクトプローブおよびそれを有する接続装置を提供する。
【解決手段】本発明のコンタクトプローブは、電極に繰返し接触するコンタクトプローブであって、電極と接触する前記コンタクトプローブ表面に、金属元素を含有する炭素被膜が形成されており、前記金属元素の炭素被膜表面での濃度が被膜全体の平均濃度よりも低いことを特徴とするものである。 （もっと読む）

【課題】本発明は、キャリア寿命をより精度よく測定し得る半導体キャリア寿命測定装置および該方法を提供する。
【解決手段】本発明の半導体キャリア寿命測定装置Ｘａは、波長の異なる第１および第２光を、被測定試料ＳＷの半導体における互いに異なる第１および第２領域に照射する光照射部１と、第１および第２領域のそれぞれに所定の測定波を照射するとともに、第１領域での測定波の第１反射波または第１透過波と第２領域での測定波の第２反射波または第２透過波との差である差測定波を、第１反射波または第１透過波のままで用いるとともに第２反射波または第２透過波のままで用いることによって生成する測定波入出力部２と、測定波入出力部２の差測定波を検出する検出部３と、検出部３の検出結果に基づいて被測定試料ＳＷの半導体におけるキャリア寿命を求める演算制御部４とを備える。 （もっと読む）