【課題】光ピックアップ用光学部品の製造コストの削減と同時に素子の複合化による性能の向上を図ることを可能とする偏光変換素子及びその製造方法を提供する。
【解決手段】 本発明による回折格子一体型偏光変換素子は、同一の樹脂基板で偏光変換素子と回折格子とを一体的に形成して製造する。例えば、樹脂からなる偏光変換素子に、前記樹脂と同一の樹脂基板からなる回折格子を溶着させて、回折格子を偏光変換素子に一体的に形成して、回折格子付き樹脂製偏光変換素子を製造する。 （もっと読む）

【課題】パターン検査における空気揺らぎの影響を軽減する。
【解決手段】第１と第２の開口部が形成されたスリット板１１２と、スリット板１１２を介して照明光を照射する照明光学系１１０と、照明光の一部を反射し、照明光の残部をパターン形成された対象物面１３１側に通過させる半透過反射板１２３と、半透過反射板１２３で反射された第１の像と、対象物面１３１で反射された第２の像とを結像する結像光学系１４０と、第１の像の内、第１の開口部を通過した第１の部分像の変位を測定する変位計測センサ１５３と、第２の像の内、第２の開口部を通過した第２の部分像を撮像する撮像センサ１５１と、第２の部分像の光学画像と比較するための基準画像を生成する基準画像生成回路１６２と、第１の部分像の位置の変位量を演算する演算回路１６１と、第１の部分像の位置の変位量を用いて光学画像と基準画像とを比較する比較回路１６３とを備える。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成で、極めて高いアライメントの精度を得ることのできる露光装置を提供する。
【解決手段】対象ワーク２３上に所定のマスク１８ａパターンを露光する露光装置１０である。露光光を用いたアライメント光をマスク１８ａのマスク側アライメントマーク５１に照射可能なアライメント照明ユニット３０と、アライメント照明ユニット３０から出射されマスク１８ａおよび投影レンズ２０を経たアライメント光を入射させるアライメントカメラユニット４０と、を備える。アライメントカメラユニット４０は、入射されたアライメント光におけるマスク１８ａに対する光学的な位置関係を、対象ワーク２３とは異なる位置で対象ワーク２３と等しくするダミーワーク領域（４２ａ）に、マスク側アライメントマーク像５３を形成する結像光学系と、撮像装置に対する対象ワーク２３とダミーワーク領域との光学的な位置関係を等しくする撮像光学系と、を有する。 （もっと読む）

【課題】睫毛が固視標の提示や特性取得を阻害するのを抑制可能な眼科装置を提供すること。
【解決手段】被検者の頭部ＨＢを支持台１で支持し測定用固視標を固視させた状態で、アライメント検出手段の検出に基づいてアライメント調整し、特性取得手段により被検眼の特性を取得する眼科装置であって、支持台１に頭部ＨＢを支持された被検者が視線ａを顔の正面方向よりも下向きにしたときに光軸Ｏ１が視線ａに一致可能なように、装置本体４が顔の正面方向を向いた視線ａに対して光軸Ｏ１を下方から上向きに傾斜させて配置され、装置本体４の外部であって光軸Ｏ１の外周位置に、点灯して支持台１に頭部ＨＢを支持された被検者の視線ａを顔の正面方向から下方に旋回誘導させるための誘導用固視標を提示する誘導用固視標提灯８２が設けられていることを特徴とする眼科装置とした。 （もっと読む）

【課題】レーザ光を被撮影対象物上に確実に合焦させることのできる走査型レーザ撮影装置を提供する。
【解決手段】レーザ光源４１,４２から射出されるレーザ光を被検眼Ｅの眼底Ｅｒ上に走査させる照射光学系４０と、眼底Ｅｒで反射されるレーザ光の反射光またはそのレーザ光により励起された蛍光を受光して眼底を観察する観察光学系６０とを備え、照射光学系４０は、前記レーザ光を眼底Ｅｒ上に合焦させる合焦光学系３１を有する走査型レーザ撮影装置において、眼底Ｅｒ上に集光するレーザ光の集光状態を検出する集光検出手段を設けた。 （もっと読む）

【課題】 ワーク基板に生じている歪み変形に極力対応するマスクパターン像を投影可能な露光装置を提供する。
【解決手段】 本発明の露光装置は、ワーク基板１４に投影されるマスクパターン１３’の投影光路に設けられた平行平面板３１と、平行平面板３１の互いに交差する二辺により構成される角部３１Ａと角部３１Ａとの間の中間部を支点とする拘束部材と、平行平面板３１の各角部３１Ａに投影光路の光軸方向に加圧力を加えて拘束部材を支点にして平行平面板３１を歪み変形させる加圧部材とからなる歪み変形形成機構１７を備えている。 （もっと読む）

【課題】簡単、軽量な構造で、マルチビームを用いたレーザスキャナを提供する。
【解決手段】パルスビーム１２を全周走査するレーザスキャナ１に於いて、該レーザスキャナが本体部３と該本体部に回転可能に設けられた回動部４とを有し、該回動部がパルスビームを該回動部の中心軸に対して垂直方向に偏向して照射する偏向部材１５を具備し、前記本体部は、２次元的に配置され、複数のパルスビームを発する複数の発光源１１と、パルスビームを投光、受光する光学系６と、前記回動部の水平回転角を検出する回転角検出部１９と、対象物からの反射光１２′を前記偏向部材を介して受光し、前記発光源とそれぞれ共役の位置にある複数の受光部１８と、該受光部からの受光信号に基づき測距を行う測距部９と、前記発光源の配置位置、前記回転角検出部の検出結果に基づき前記偏向部材から照射されるパルスビームの照射方向を演算する制御演算部１０とを具備した。 （もっと読む）

【課題】複数の受光素子からなるラインセンサのＥＶＥＮ出力信号とＯＤＤ出力信号との間に生じる強度のズレに起因するノイズを低減させることができる信号処理方法を提供することを目的とする。
【解決手段】ＣＣＤイメージセンサ１２０によって得られた受光信号に基づいて光源からの出力光の強度に相当する背景成分の強度情報とノイズ成分の強度情報を求め、背景成分の強度情報とノイズ成分の強度情報に基づいて補正量の大きさを算出し、補正量の大きさに基づいて補正係数を算出する。その補正係数に基づいて複数の群による受光信号間の強度のズレ補正を行う。 （もっと読む）

【課題】複数のレーザ基準面間の境界部分での段差を解消する測量システム及び測量システムに於けるレーザ基準面平滑化方法を提供する。
【解決手段】既知点に設置され、レーザ光線３ａ，３ｂを回転照射し、複数のレーザ基準面ＲＰａ，ＲＰｂを形成する複数の回転レーザ装置１ａ，１ｂと、移動可能な支持体４に設けられ、レーザ光線を受光すると共に受光位置での各レーザ基準面の高さをそれぞれ検出する受光装置５と、支持体の座標位置を検出する座標位置測定装置６と、制御装置７とを具備し、回転レーザ装置は、レーザ基準面の有効範囲の少なくとも一部が重合する様にレーザ基準面を形成し、制御装置は有効範囲が重合する範囲内で平滑化領域を設定し、座標位置測定装置の測定結果に基づき支持体が平滑化領域にある場合は、座標位置測定装置の測定結果及び受光装置の検出結果に基づき平滑化領域でレーザ基準面を平滑化基準面により連続させる平滑化処理を行う。 （もっと読む）

【課題】デザインの自由度の向上や大きさ寸法の低減を可能としつつ高い精度で所望の斜入射光特性を得ることのできる測光機器の受光装置を提供する。
【解決手段】受光箇所への光軸方向に対する入射光の入射角度の変化に対する感度の変化度合いを示す斜入射光特性を所定のものとすべく設計される測光機器の受光装置１０である。完全拡散面に近い拡散性能を有する拡散板１２と、その拡散板１２により拡散された入射光を受光し、その受光量に応じた電気信号を出力する受光部材（１７）と、その受光部材と拡散板１２との間に配置され、受光部材の入射面（１７ａ）における入射光の入射角度を制限する入射角度制限部材（１４）と、を備える。 （もっと読む）