【課題】基板と塗布ノズルとの間の距離を適正に保つことができる塗布装置を提供すること。
【解決手段】光学センサ４０は、下基板Ｗ１上の距離センサ３０の測定位置Ｓ１に光Ｌ２を照射し、その反射された光Ｌ２を受光することで、測定位置Ｓ１において下基板Ｗ１の上面Ｗ１ａ上に塗布されたシール材が存在するか否かを判断する。制御装置は、測定位置Ｓ１にシール材が存在しないと判断した場合は距離センサ３０により下基板Ｗ１の上面Ｗ１ａと塗布ノズル２０の先端との間の距離を測定し、その測定値に基づきｚ軸ベース１８を昇降させ、測定位置Ｓ１にシール材Ｒ存在すると判断した場合は距離の測定を停止し、以前の測定値に基づいてｚ軸ベース１８を昇降させる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、水蒸気バリア性と特に剥離強度に優れる樹脂基板を提供することを目的とする。
【解決手段】ポリイミド樹脂層と、このポリイミド樹脂層の上に化学気相成長法により成膜開始温度が５０℃以上で成膜された窒化ケイ素を主成分とするＳｉＮ層を少なくとも１層有する表面層とを有することを特徴とする樹脂基板。 （もっと読む）

【課題】 バリアメタル膜とＣｕ膜との密着性を向上させた薄膜形成方法を提供する。
【解決手段】 被処理物表面にＰＶＤ法によりバリアメタル膜を形成する工程と、このバリアメタル膜表面にＣＶＤ法によりＣｕ膜を形成する工程と、前記バリア膜及びＣｕ膜を積層したものを所定温度で熱処理する工程とを実施する。前記バリアメタル膜としてＴｉ及びＲｕを含むものを用い、当該バリアメタル膜中のＴｉの組成比を５〜２５原子％の範囲とする （もっと読む）

【課題】 真空チャンバーを設置した後においても、ユーザーの要望等によって真空チャンバーの形状や大きさを簡易に変更することができるようにする。
【解決手段】 真空チャンバー１が、長方形状に形成されたチャンバー本体２と、チャンバー本体２の両側面にボルト留めで取り外し自在に密着接合される３角形状の側面枠３ａ、３ｂと、チャンバー本体２と側面枠３ａ、３ｂのそれぞれの開口している上面に接合される上板６、９ａ、９ｂと、チャンバー本体２と側面枠３ａ、３ｂのそれぞれの開口している底面に接合される底板７と、に分割自在に構成されているので、ユーザーの要望等によって真空チャンバーの形状や大きさを簡易に変更することができる。 （もっと読む）

【課題】ブラックマトリクスの開口部内に平坦な着色層を形成する。
【解決手段】樹脂膜１１の側面には撥液層１２を配置せず、上部表面に配置し、ブラックマトリクス１３を構成させる。ブラックマトリクス１３の側面の撥液性が上部表面の撥液性よりも弱くなり、ブラックマトリクス１３の開口部１４間の隔壁の機能を損なわずに、平坦な着色層１５を得ることができる。撥液層１２は、樹脂膜１１をパターニングする前に配置しておいてもよいし、パターニング後、１Ｐａよりも低圧のプラズマによる表面処理で、パターニングした樹脂膜１１の表面に形成してもよい。 （もっと読む）

【課題】試料には強い力をかけずに探針のとびを抑制できる試料の表面形状の測定方法及び装置を提供する。
【解決手段】センサによる被測定表面上における探針の垂直方向の変位の検出と、探針の変位の検出に基いた探針の速度及び加速度の算出と、及び探針の速度及び加速度の少なくとも一方のリアルタイムでのモニターによる探針のとびの検出と、探針の針圧発生装置への電流制御とから成る制御操作を短時間で行い、探針が空中にあるときにだけ探針にかける針圧を増大し、探針が試料に再び触れる前に探針の針圧を元の状態に戻す。 （もっと読む）

【課題】基板が損傷しない基板搬送ロボットを提供する。
【解決手段】第一、第二の従動アームによって回転され、互いに歯合した第一、第二の規制ギアに対し、それぞれ歯合する第一、第二のピニオンギアを設け、第一、第二のピニオンギアでピニオンギア用ラックを挟む。ハンドが放射方向外側から内側に向けて移動し、ハンドが搬送室内に位置する状態では、ピニオンギア用ラックは放射方向外側に移動し、緩衝部材を介して基板を押圧し、基板をクランプする。ハンドが放射方向外側に移動し、処理室内に位置するときは、ピニオンギア用ラックは放射方向内側に移動し、クランプは解除される。搬送室内でクランプされているので高速移動が可能である。 （もっと読む）

【課題】 液状の原料を確実に気化させることができ、配管や処理チャンバ内の汚染を防止して良好な表面処理を可能とする表面処理装置を提供する。
【解決手段】 被処理物Ｓが配置される処理チャンバ２と、この処理チャンバに接続された気化器６とを備え、この気化器にその表面処理を行う表面処理装置において、前記気化器６から処理チャンバ内に通じ被処理物に至る経路に原料が衝突する加熱体９、１０を設けた。 （もっと読む）

【課題】成膜フィルムの熱負けを防止できる巻取式成膜装置を提供する。
【解決手段】基体フィルム２２を主ローラ１２と密着させながら、成膜源１６₁〜１６₃から導電性粒子を到達させ、基体フィルム２２上に導電性薄膜を形成する巻取式成膜装置において、導電性薄膜と接触するガイドローラ１３ｃを浮遊電位に置く。また、導電性薄膜が巻取軸１８と接触しないようにするか、巻取軸１８を絶縁性材料で形成する。導電性薄膜に電流が流れないので、ジュール熱の発生が無く、成膜フィルム２３に熱負けが発生しない。 （もっと読む）

【要 約】
【課題】金属微粒子から品質のよい金属薄膜を形成する。
【解決手段】
金属微粒子の分散液を基板に塗布し、焼成して金属薄膜を形成する際、加熱槽１１中の雰囲気のＣＯ圧力を分圧測定器２０によって測定し、ＣＯ圧力の変化率を求める。ＣＯ圧力の変化率の絶対値が所定値よりも小さくなった時点を、有機分散剤が燃焼除去されたと判断し、加熱を終了させる。 （もっと読む）