【課題】基板に形成されたホールの内部にスパッタリングにより成膜した貴金属膜の厚みを、ホールの両サイドで対称なものとすることができ、したがって、貴金属膜に断線等の不具合が生じる虞がなく、信頼性をより向上させることができる貴金属膜の成膜装置及び貴金属膜の成膜方法を提供する。
【解決手段】本発明の貴金属膜の成膜装置は、基板２３に形成されたホールの内部に貴金属膜をスパッタリングにより成膜する装置であり、ターゲット２４と、このターゲット２４に対向配置されるステージ２２と、ターゲット２４にスパッタリング電力Ｐ_ｔ（Ｗ）を印加する電源２６とを備え、ターゲットの直径Ｔと、ターゲット２４とステージ２２上の基板２３との距離Ｌとの比Ｌ／Ｔを、０．５以上かつ１．５以下の範囲で変更可能とした。 （もっと読む）

【要 約】
【課題】吐出液の溶存気体濃度を低コストで低下させることができる技術を提供する。
【解決手段】この印刷装置１０では、インクジェットヘッド１５に吐出液を供給する供給タンク１４と、吐出液が蓄液されたメインタンク１１との間を接続する主配管２５ａに脱気装置１６を設け、脱気装置１６で脱気された吐出液が供給タンク１４に供給されており、切替バルブ３０によって脱気された吐出液を補助タンク１２に移動させる。メインタンク１１の吐出液が補助タンク１２に移動されると、補助タンク１２の吐出液は、戻り配管２５ｂを通してメインタンク１１に戻す。吐出液は脱気装置１６を通過するたびに溶存気体濃度を低下させることができる。メインタンク１１に溶存気体濃度測定装置２３を接続し、測定値が基準値以下になるまで繰り返し脱気装置１６を通過させることができる。 （もっと読む）

【課題】理想的なビーム分岐ができ、かつビーム間ピッチを任意に調整することができるレーザー加工装置、レーザービームのピッチ可変方法、及びレーザー加工方法の提供。
【解決手段】レーザービーム発振器２１と音響光学素子２２とこの音響光学素子に接続したＲＦ電源２３と集光レンズ２４、２５とを有し、レーザービーム発振器から発振される単一のレーザービームを音響光学素子を入射せしめ、音響光学素子にＲＦパワーを印加し、単一のレーザービームに音波振動を与え、ラマンナス回折により複数のビームに分岐してビームのピッチ間隔を調整し、ビーム間隔の調整された複数のビームを集光レンズを透過させ、被加工物表面に照射させてライン状の加工を行うために使用されるレーザー加工装置。この加工装置によるレーザービームのピッチ調整、及びこの加工装置を用いた被加工物表面のレーザー加工。 （もっと読む）

【課題】チャンバ内の所望の位置に、所望のプラズマ密度のプラズマを発生させることができるアンテナ、交流回路、及びプラズマ処理装置を提供すること。
【解決手段】
アンテナ１は、アンテナ１の中央を通る第１の経路１ａと、この第１の経路の上方を通る第２の経路１ｂと、第１の経路の下方を通る第３の経路１ｃとで形成されている。第１の幅ｗ_１は、第２の幅ｗ_２よりも狭く形成され、第１の間隙形状２ａと、第２の間隙形状２ｂとは、異なるように形成されている。これにより、チャンバ内の所望の位置に所望のプラズマ密度のプラズマを発生させることができるため、例えば、被処理基板のプラズマダメージの低減を図ることができる。さらに、アンテナ１は、並列３重巻きのアンテナであるため、並列２重巻きのアンテナよりもインピーダンスが減少し、並列２重巻きアンテナよりも高周波数の交流電圧を印加することができる。 （もっと読む）

【課題】
充填したＡｒガスの漏れ量を精度良くモニターして、基板温度異常を防ぐことができる真空処理装置を提供する。
【解決手段】
本発明による真空処理装置は、真空チャンバー内に、一対の電極を備え、上面に基板を吸着する静電チャックを配置し、静電チャックの表面にシール部材を設け、少なくとも一つの熱媒体導入系を介して基板と静電チャックとの間に熱媒体を導入し、基板と静電チャックとの間に導入される熱媒体の圧力を圧力監視手段で監視し、熱媒体導入系を介して基板と静電チャックとの間に導入される熱媒体の圧力が予め設定されている所定圧力になるように圧力監視手段を制御する制御手段を設け、そしてシール部と基板との間から真空チャンバーへの熱媒体の漏洩を検知する検知手段を設けている。 （もっと読む）

【課題】理想的なビーム分岐ができ、かつビーム間ピッチを任意に調整することができるレーザー加工装置、レーザービームのピッチ可変法、及びレーザー加工方法の提供。
【解決手段】レーザービーム分岐手段２１と集光レンズ２２、２３とイメージローテーター２４とからなり、レーザービーム発振器２０から発振される単一のレーザービームを複数のビームに分岐し、この分岐された複数のビームを被加工物２６表面に照射して、被加工物表面でライン状の加工を行うレーザー加工装置であって、ビームの光軸を中心にイメージローテーターを回転させ、回転角度の調整によりイメージローテーターから射出されるビームのピッチ間隔を調整するように構成したレーザー加工装置。この加工装置によるレーザービームのピッチ調整、及びこの加工装置を用いて被加工物表面をレーザー加工する。 （もっと読む）

【課題】短時間で、しかも再現性の高いインク吐出量の制御を行うことが可能なインクジェット成膜技術を提供する。
【解決手段】本発明方法では、塗布対象物に対する膜厚を評価するための膜厚評価領域に膜厚評価用部材を配置し（ステップＳ１、Ｓ４、Ｓ７）、インクジェットヘッドの複数のノズルの各々からインクを吐出して膜厚評価用部材上にインクを塗布し、膜厚評価用部材上に塗布して乾燥する（ステップＳ２、Ｓ５、Ｓ８）。そして、膜厚評価用部材上における複数のノズルの各々に対応するインクの光学膜厚を測定記憶する（ステップＳ３、Ｓ６、Ｓ９）。これら測定された光学膜厚に基づいてインクジェットヘッドの複数のノズルの各々におけるインクの吐出量を調整する（ステップＳ１０、Ｓ１１）。 （もっと読む）

【課題】微細な開口部、かつ高アスペクト比を持つトレンチ又はホール内を金属材料で埋め込む方法の提供。
【解決手段】円筒状トリガ電極１３と蒸発材料部材１２ａを有する円柱状カソード電極１２とが、円筒状絶縁碍子１５を介して同軸状に隣接して固定されて配置され、カソード電極の周りに同軸状にアノード電極１１が離間して配置されている同軸型真空アーク蒸着源１を用い、トリガ電極とカソード電極との間にトリガ放電を発生させ、カソード電極とアノード電極との間に間欠的にアーク放電を誘起させ、蒸発材料部材から生成される荷電粒子を真空チャンバー内に放出させ、トレンチ又はホール内へ金属材料を埋め込む。 （もっと読む）

【課題】太陽電池の光電変換体に大きなダメージを与えることなく、短時間で構造欠陥の発生箇所を正確に特定し、特定した構造欠陥を確実に除去、修復が可能な太陽電池の製造方法および太陽電池の製造装置を提供する。
【解決手段】欠陥部位特定工程では、前工程の欠陥区画特定工程において構造欠陥が存在するとされる区画素子に限って、その長手方向Ｌに沿って、隣接する区画素子２１との間の抵抗値を測定する。次に、抵抗値の測定によって区画素子内で狭い範囲に絞り込まれた、構造欠陥Ｒの存在する領域を画像撮像手段によって撮像する。画像撮像手段としては、例えばＣＣＤカメラに高倍率のレンズを組み合わせたものであれば良い。 （もっと読む）

【要 約】
【課題】ホットプレートの断線を防止する。
【解決手段】プレート本体２１内に配置された抵抗発熱体２３を、配線孔２６ａ，２６ｂから導出させる接続体２５に、緩和部を設け、プレート本体２１の熱膨張に伴う抵抗発熱体２３の断線を防止する。この緩和部は、プレート本体２１と同じ材料で形成し、緩和部がプレート本体２１と同程度に膨張するようにしてもよいし、低抵抗のバネで構成し、プレート本体２１の膨張によって抵抗発熱体２３が外周方向に移動する際に、緩和部が伸びるようにしても良い。 （もっと読む）