【課題】より再現性よく安定してエッチング対象物の特定の局所的な特定の領域のみをプラズマエッチング加工することが可能なプラズマエッチング技術を提供する。
【解決手段】吸引型かつドライエッチング型のプラズマエッチング装置は、エッチング対象物2を固定し、三次元方向に移動可能なステージ3と、一方の端部が、ステージ3に固定されたエッチング対象物2に対向して設置されるプラズマ発生管8と、プラズマ発生用電源10と、このプラズマ発生用電源10に接続され、プラズマ発生管8の外側と内側に配置される一対のプラズマ発生用電極9と、プラズマ発生管の他方の端部に連結される排気管を有する排気装置11,12とを備え、プラズマ発生管8両端の圧力および圧力差、プラズマの発光並びにプラズマ中に含まれる反応生成物の種類とその量のうちの少なくともいずれかを計測する計測手段と、該計測手段からの情報に基づきプラズマの発生状態を制御するコンピュータ14を有する。 （もっと読む）

【課題】高いキャリア移動度を有する電子材料組成物を提供する。
【解決手段】半導体特性を有するディスコチック液晶を少なくとも1種含むことを特徴とする電子材料組成物。 （もっと読む）

【課題】光路の切替時間が短く、切替後の状態保持において何らのエネルギーを必要とせず、安価に製造でき、更に、相変化部材の結晶状態からアモルファス状態への相変化を確実に行うことができる光路切替素子、該光路切替素子を有する光ファイバ及び前記相変化部材の相変化を誘起させる相変化誘起方法を提供すること。
【解決手段】光路切替素子は、透明基板と、前記透明基板上に直接又は間接的に配されるとともに、全体がグレーティング状に配され、熱を加えることにより結晶状態からアモルファス状態に可逆的に相変化し、該相変化に基づき照射される光の反射方向を変化させる複数の相変化部材と、前記相変化部材に接触させて配され、光通信波長帯における複素屈折率の値が２以下であり、熱伝導率が１Ｗ／ｍ／Ｋ〜５０Ｗ／ｍ／Ｋである放熱部材と、を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】排水が間欠的でもフィルタに目詰まりが生じにくい養液栽培排水の処理方法及び装置の提供。
【解決手段】養液栽培施設１の排水路１０に植物片の捕捉可能なフィルタ１４付き濾過器１１を設け、濾過器１１又はその上流排水路１０に導入弁ＷＡ付きガス導入路４０を接続し、排水路１０の排水休止時にガス導入路４０から不活性ガスを導入して濾過器１１内の水及び酸素を押し出す。好ましくは、排水路１０の排水休止時にガス導入路４０から圧縮空気Ａを導入して濾過器１１内の水を押し出したのち不活性ガスＧを導入して濾過器１１内の酸素を押し出す。更に好ましくは、フィルタ１４付き濾過器１１の上流排水路１０にそのフィルタ１４より孔の粗いプレフィルタ５４付き濾過器５１を設け、導入弁ＷＡ付きガス導入路４０をプレフィルタ５４付き濾過器５１又はその上流排水路１０に接続し、排水路１０の排水休止時に両濾過器１１、５１内の水及び酸素を押し出す。 （もっと読む）

【課題】高い透明度を保持し、屈折率が高く、複屈折性が小さいという光学的な特性を有し、電気的絶縁性に優れ、各種基材に密着性良くコーティングでき、かつ低温での形成が可能な炭素膜を提供するプラズマＣＶＤ装置を提供すること。
【解決手段】本発明のプラズマＣＶＤ装置は、結晶欠陥が、六方晶ダイヤモンド及び積層欠陥を備える積層体を製造するための表面波プラズマＣＶＤ装置であり、前記表面波プラズマＣＶＤ装置は、試料台と、試料台上の冷却ステージと、表面波プラズマ源とを備え、該表面波プラズマ源を制御して反応器内のガス圧力を５×１０^１から５×１０^２Ｐａに設定し、かつ試料台と冷却ステージと密着させ、前記基板と該表面波プラズマ源との距離を調節して基板温度を４５０℃以下に設定する。 （もっと読む）

【課題】リチウム二次電池用の高容量の正極活物質等として有用な金属硫化物について、硫黄成分の有機電解液への溶出を効果的に抑制して、サイクル特性が改善された優れた性能を有する新規な材料の製造方法を提供する。
【解決手段】硫化ニッケル、硫化銅、硫化鉄またはこれらの混合物からなる金属硫化物、及び該金属硫化物の表面を部分的に被覆した金属酸化物からなる金属硫化物と金属酸化物の複合体の製造方法であって、
硫化ニッケル、硫化銅、硫化鉄またはこれらの混合物からなる金属硫化物を、金属塩を含む水溶液中に分散させた後、該水溶液を乾燥させて金属塩を該金属硫化物に付着させ、その後、金属塩が付着した金属硫化物を硫黄含有雰囲気下において４００〜９００℃で熱処理することを特徴とする金属硫化物と金属酸化物の複合体の製造方法。 （もっと読む）

【課題】コンパクトでありながらも高性能化を図ることのできる通信機器、鳥インフルエンザ監視システムを提供する。
【解決手段】アンテナ２５０を、基板２６０の表面に設けられた導体層２６１上に、基板２６０の外周縁部に沿って周方向に連続してロ字状に環状をなす絶縁体層２５２と導体層２５３とからなる複数層のループアンテナ２５１が積層され、これら各層のループアンテナ２５１が並列接続された構成とした。 （もっと読む）

【課題】LPGとDME、都市ガスとDME、あるいは都市ガス、LPGとDMEに対応した改質触媒を開発し、各燃料に共通して使用できる改質器を提供する。
【解決手段】炭化水素又はジメチルエーテルを燃料として改質ガスを製造する改質装置であって、改質触媒を内部に有する改質反応器と、改質反応器へ水蒸気を供給する水蒸気発生器と、改質反応器に燃料を供給する燃料供給配管と、燃料供給配管に炭化水素とジメチルエーテルの内いずれか1種類を切り替えて供給する切替手段と、改質反応器からの改質ガスを固体酸化物形燃料電池に供給する改質ガス配管とを具備し、供給した燃料のいずれをも改質反応器内の同一の改質触媒上で水蒸気改質することを特徴とする固体酸化物形燃料電池用改質装置。 （もっと読む）

【課題】高率充放電特性に優れたリチウムイオン二次電池用電極の提供
【解決手段】
表面にカーボン被覆膜が形成されたリン酸遷移金属リチウムに０．５〜３０．０質量％の活性炭を含有させた正極活物質を用いるリチウムイオン二次電池用電極であって、カーボン被覆膜の被覆率が、リン酸遷移金属リチウム１００質量％に対して０．１〜１０質量％であることを特徴とするリチウムイオン二次電池用電極。 （もっと読む）

【課題】高い生体適合性と特異的体内貯留挙動を有するＭＲＩ造影剤用ナノダイヤモンド粒子の提供。
【解決手段】ナノダイヤモンド粒子がキレート機能を有する有機分子で化学修飾されることにより形成された前駆体が、ガドリニウムイオンで錯形成されていることを特徴とするＭＲＩ造影剤用ナノダイヤモンドであって、従来ＭＲＩ造影剤用のナノダイヤモンド粒子の製造方法に用いられてきたイオン注入及びアニールを施すことなく、簡便にナノダイヤモンド粒子にキレート機能を有する有機分子を化学修飾し、さらに、ＭＲＩ造影能を有するガドリニウムイオンを錯形成させる。 （もっと読む）