【課題】インプリント・リソグラフィによって基板上にパターンを形成するシステムを提供する。
【解決手段】インプリント・ヘッド３１００はインプリント・ヘッド支持体３９１０に取り付けられている。インプリント・ヘッド３９１０はインプリント・ヘッドが常に固定位置に留まるように取り付けられている。使用中、Ｘ−Ｙ面に沿ったすべての動きはモーション・ステージ３６００によって基板に対して実行される。システム３９００は硬化液を基板上に分配する液体分配システムも備える。液体分配システムは、インプリント・ヘッド３１００に結合される。インプリント・リソグラフィは液体を基板上に分配するプロセスである。テンプレートが液体に接触され、液体が硬化される。硬化した液体はテンプレート内に形成されるパターンのインプリントを含む。一実施形態では、基板上に予め形成された層に対するテンプレートの整列は散乱計測を用いて行われる。 （もっと読む）

インプリンティング及びインプリント・リソグラフィ・テンプレートを基板上のフィールドと位置合わせするためのシステム及び方法が説明される。基板のフィールドは細長い側を有することができ、細長い側の位置合わせ感度を意図的に最小にすることができる。 （もっと読む）

【課題】必要に応じテンプレートの寸法を容易に変えるための改良されたチャック・システムが依然必要とされている。
【解決手段】本発明は、複数の流体チャンバの配列を有するチャック本体より構成されるチャック・システムに関するものであり、各流体チャンバは、少なくとも第１のチャンバと第２のチャンバとを有し、複数の流体チャンバの配列が、ある基板の第１部分を保持すると同時に基板の第２部分を湾曲させるように、複数の流体チャンバのうち少なくとも１つを真空状態とし、複数の流体チャンバのうち少なくとも１つを加圧状態とすることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ナノリソグラフィステップを用いて機能ナノ粒子を形成する方法を提供すること。
【解決手段】機能ナノ粒子は、少なくとも１つのナノリソグラフィステップを使用して形成される。一実施例において、犠牲材料は、インプリントリソグラフィシステムを使用して多層基板上にパターン化される。このパターンは、この多層基板に更にエッチングされる。
機能材料は、次に、多層基板に蒸着され、凝固される。機能材料の少なくとも、一部は、次に、柱を晒すクラウン表面を提供するために除去される。
柱は、機能ナノ粒子を形成する多層基板から除去される。 （もっと読む）

基板の隣接するフィールドにインプリントする方法について記載する。一般に、インプリント・リソグラフィ・テンプレートを用いて、基板の第１のフィールドにインプリントすることができる。つぎに、基板の第２のフィールドにインプリントする際に、テンプレートの一部が基板の第１のフィールドにオーバラップするように、テンプレートを配置することができる。 （もっと読む）

インプリントリソグラフィシステムにおいて、テンプレートチャック上の引っ込んだ支持体が、上部に配置されたテンプレートの形状を変化させ、ナノインプリントリソグラフィプロセスにおいてテンプレートの外縁が早期に下方偏向するのを最小限に抑え、及び／又はこれを排除することができる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、基板上に付着した粘性液体層に存在するガス・ポケットを大幅に減少させることによって、インプリンティング層におけるパターン歪みを軽減する方法を対象とする。
【解決手段】この方法には、粘性液体に近接した位置にあるガスの輸送を変更するステップが含まれている。すなわち、パターンが記録されることになる基板に近接した大気が、付着している粘性液体に対して、溶解性が高いか、拡散性が高いか、あるいは、その両方であるガスで飽和させられる。大気の飽和に加えて、又は、その代わりに、大気圧を低下させることも可能である。 （もっと読む）

【課題】本発明は、基板上に付着した粘性液体層に存在するガス・ポケットを大幅に減少させることによって、インプリンティング層におけるパターン歪みを軽減する方法を対象とする。
【解決手段】この方法には、粘性液体に近接した位置にあるガスの輸送を変更するステップが含まれている。すなわち、パターンが記録されることになる基板に近接した大気が、付着している粘性液体に対して、溶解性が高いか、拡散性が高いか、あるいは、その両方であるガスで飽和させられる。大気の飽和に加えて、又は、その代わりに、大気圧を低下させることも可能である。 （もっと読む）

インプリント・リソグラフィ工程中にエアキャビティ・チャック上に保持された基板からテンプレートを剥離させる装置、方法、および工程。一般的にエアキャビティ・チャックによって供給される真空レベルを、重合可能な材料をテンプレートと基板の間に密着させている間、および、テンプレートと基板を剥離する間に制御可能とする。
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【課題】 ナノインプリント・モールドを保持するテンププレートのチャネル又は孔に関すること。
【解決手段】ナノインプリント・モールドを保持するテンププレートのチャネル又は孔を使用して部分真空を生成することによって、ナノインプリント・リソグラフィ・テンプレートの近傍に所望の環境を生成維持するための方法及びシステムを対象とする。 （もっと読む）