説明

ローム・アンド・ハース・エレクトロニック・マテリアルズ,エル.エル.シー.により出願された特許

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【課題】鉛を含まないスズ合金電気めっき組成物および方法を提供する。
【解決手段】基体上にスズ合金を堆積するための電解質組成物が開示される。電解質組成物はスズイオン、一種以上の合金形成金属のイオン、フラボン化合物およびジヒドロキシビス−スルフィドを含む。電解質組成物は鉛およびシアン化物を含まない。基体上にスズ合金を堆積する方法および半導体素子上に相互接続バンプを形成する方法も開示される。 (もっと読む)


【課題】バルク実装のような被めっき物がぶつかり合う状況での錫の削れカスが少なく、チップ部品同士のくっつきが少なく、かつ他のめっき特性も良好な錫めっき皮膜を得られる錫めっき液及びチップ部品のめっき方法を提供する。
【解決手段】(1)第一錫イオン、(2)錯化剤、(3)ノニオン系界面活性剤及び(4)酸化防止剤を含有する電気錫めっき液において、ノニオン系界面活性剤として、下記一般式(A)で示される化合物及び下記一般式(B)で示される化合物を含有することを特徴とする、チップ部品用電気錫めっき液。一般式(A):R−(C)−RO(CHCHO)H一般式(B):HO−(CO)−(CO)−(CO)−H (もっと読む)


【課題】液浸リソグラフィーに有用な新規のフォトレジスト組成物が提供される
【解決手段】本発明の好ましいフォトレジスト組成物は、1種以上のブロックコポリマーを含む。特に好ましい本発明のフォトレジストは液浸リソグラフィー処理中にレジスト層に接触する液浸流体中にレジスト物質が漏出するのを低減することを示すことができる。 (もっと読む)


【課題】液浸リソグラフィーに有用な新規のフォトレジスト組成物が提供される
【解決手段】本発明の好ましいフォトレジスト組成物は、ヘテロ置換された炭素環式アリール基を有する1種以上の物質を含む。特に好ましい本発明のフォトレジストは液浸リソグラフィー処理中にレジスト層に接触する液浸流体中にレジスト物質が漏出するのを低減することを示すことができる。 (もっと読む)


【課題】液浸リソグラフィーに有用な新規のフォトレジスト組成物が提供される
【解決手段】好ましい態様において、提供されるフォトレジスト組成物は、(i)光酸不安定基を含む1種以上の樹脂、(ii)光活性成分、および(iii)前記1種以上の樹脂とは異なっていて、光酸不安定基を含む1種以上の物質を含み;前記1種以上の物質の光酸不安定基の脱保護活性化エネルギーが、前記1種以上の樹脂の光酸不安定基の脱保護活性化エネルギーより低いかまたはこれとほぼ同じである。別の好ましい態様において、提供されるフォトレジスト組成物は、(i)1種以上の樹脂、(ii)光活性成分、および(iii)少なくとも1オングストローム/秒のダークフィールド溶解速度を提供するのに充分な量の酸性基を含む1種以上の物質を含む。 (もっと読む)


【課題】液浸リソグラフィーに有用な新規のフォトレジスト組成物が提供される
【解決手段】本発明の好ましいフォトレジスト組成物は、スルホンアミド置換を有する1種以上の物質を含む。特に好ましい本発明のフォトレジストは液浸リソグラフィー処理中にレジスト層に接触する液浸流体中にレジスト物質が漏出するのを低減することを示すことができる。 (もっと読む)


【課題】酸ワックスおよび酸基非含有アクリラート官能性モノマーを含むホットメルト組成物を提供する。
【解決手段】酸ワックスおよび酸基非含有アクリラート官能性モノマーを含むホットメルト組成物。化学線の適用の際に、このホットメルト組成物は硬化してエッチングレジストを形成する。このホットメルト組成物はプリント回路板、光電子素子および光起電素子の製造に使用されうる。 (もっと読む)


【課題】電解質溶液中に第一スズイオンを補給する改良された方法を提供する。
【解決手段】酸化第一スズを含む酸性溶液を用いて、水性電解めっき浴中にスズおよび合金形成金属を補給する方法が開示される。スズまたはスズ合金の電気めっき中に第一スズイオンおよび合金形成金属イオンが枯渇する。継続的かつ効果的な電気めっきプロセスを維持するために、スズおよびその合金形成金属を含むめっき浴の所定量がベールアウトされる。ベールアウトは、次いで、酸化第一スズおよび任意の合金形成金属を含む酸性溶液の所定量と混合される。その混合物は、次いで、めっき浴に戻されて、第一スズイオンおよび合金形成金属イオンをその定常状態濃度に戻す。 (もっと読む)


【課題】樹脂基材およびガラス材などが混在する樹脂基体に対する金属めっきにおいて、乾式法による密着促進前処理や金属被膜形成を行うことなく、低粗化表面に対して高い密着性を有するめっき被膜を与える湿式法に用いるコンディショナー、表面処理方法及び金属めっき被膜形成方法を提供する。
【解決手段】樹脂基体の表面に無電解めっきを行うための前処理液として用いるコンディショナーであって、カチオンポリマー、ノニオン系界面活性剤、及び水を含有し、さらに二フッ化水素アンモニウム5〜200g/Lを含有する。 (もっと読む)


【課題】193nm放射線のような200nm以下の放射線を用いて効果的にイメージ形成することができる新規な樹脂およびかかる樹脂を含有するフォトレジストを提供する。
【解決手段】1個またはそれ以上のヘテロ原子含有基で置換された炭素環式アリール基、特に1個またはそれ以上の酸素または硫黄原子含有基で置換された炭素環式アリール単位を有する反復単位を有している樹脂。 (もっと読む)


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