説明

ローム・アンド・ハース・エレクトロニック・マテリアルズ,エル.エル.シー.により出願された特許

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【課題】浴の均一電着性に著しい影響を及ぼさず、平坦な銅堆積物を提供する、レベリング剤の提供。
【解決手段】窒素、硫黄および窒素と硫黄の混合から選択されるヘテロ原子を含む化合物の、エーテル結合を含有するポリエポキシド化合物との反応生成物であるレベリング剤を含有する銅メッキ浴であって、電子デバイスの表面上およびかかる基体上の開口部中に銅を堆積させる銅メッキ浴が提供される。かかるメッキ浴は、電解質濃度の範囲全体にわたって実質的に平面的な基体表面上に銅層を堆積させる。このような銅メッキ浴を用いて銅層を堆積させる方法も開示される。 (もっと読む)


【課題】傷および引っ掻き耐性であり、かつ少なくとも望ましくない光学的問題を低減する物品の提供。
【解決手段】組成物がナノ粒子、フッ素化合物、および該組成物を硬化させる化合物を含み、該組成物は支持膜の第1面に隣接し並びに接着剤が支持膜の第2面に隣接する物品である。フッ素化合物がフッ化ポリエーテル等および、フッ化ポリエーテルが組み込まれるポリウレタンからなり、ナノ粒子が表面処理されたナノ粒子、ニートのナノ粒子およびそれらの混合物の、分散体から選択される。 (もっと読む)



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【課題】オーバーコートされたフォトレジスト組成物と共に用いるための下地コーティング組成物を提供すること。
【解決手段】一態様において、このコーティング組成物は架橋可能であり、並びに架橋の後に反応性である1以上の酸不安定性基および/または1以上の塩基反応性基を含む1以上の成分を含有する。別の態様において、処理されて調製された水接触角を提供することができる下地コーティング組成物が提供される。好ましいコーティング組成物は関連づけられたフォトレジスト組成物のリソグラフィー性能を向上することができる。 (もっと読む)


【課題】改善された輝きおよび色の一様性を有する堆積物をもたらす、カドミウムを含まない金合金電解質の提供。
【解決手段】金合金を堆積させるための組成物および方法が開示される。組成物は、特定のジチオカルボン酸およびこれらの塩およびエステルと、メルカプト基含有化合物を含み、一様な色を呈する輝いた金合金堆積物を提供する。 (もっと読む)


【課題】基体からオーバーコートされたフォトレジスト層中へ戻る露光放射線の反射を減少することができ、および/または平坦化またはビア−フィル層として機能することができる反射防止コーティング組成物を含む有機コーティング組成物を提供する。
【解決手段】本発明の好ましい組成物は、リソグラフィー処理の過程における、昇華または組成物コーティング層からの他の移動を抑えるクロスリンカー成分を含有する。 (もっと読む)



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【課題】 高い規定度のアルカリ現像液を用いて、ミクロ橋かけを生ぜず、優れた解像力と感光速度を有するホトレジスト、およびそれに適する新規な重合体を提供する。
【解決手段】 フェノール単位および場合によってはシクロヘキサノール単位を含む(共)重合体において、上記の単位の環上のヒドルキシル基の一部を、不活性な閉塞基で置換した共重合体;およびそれを高分子結合剤として用いたネガ型ホトレジスト組成物。 (もっと読む)


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